JP2014228088A - Actuator - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator prevented from intrusion of foreign matters, such as spatter and dust, generated in welding into the inside of the actuator.SOLUTION: An actuator includes a housing, a slider provided to allow movement along the housing, drive means driving the slider provided in the housing, and an air jet part provided in the slider for jetting air.

Description

本発明は、例えば、溶接機などが搭載されるアクチュエータに係り、特に、溶接時に発生するスパッタ（溶接中に飛散するスラグや金属粒）、塵埃などの異物がアクチュエータの内部に侵入しないようにするとともに、長期にわたってその機能を維持することができるように工夫したものに関する。   The present invention relates to an actuator on which, for example, a welding machine is mounted, and in particular, foreign matter such as spatter (slag and metal particles scattered during welding) and dust generated during welding does not enter the inside of the actuator. In addition, it relates to a device designed to maintain its function over a long period of time.

例えば、アクチュエータに溶接機を搭載して使用すると、スパッタが上記アクチュエータの内部に侵入し、不具合が生じてしまうことが懸念される。
そこで、従来のアクチュエータにおいては、このようなスパッタの内部への侵入を防止する工夫が施されている。
そのようなアクチュエータの構成を開示するものとして、例えば、特許文献１、特許文献２などがある。 For example, when the actuator is used with a welding machine mounted, there is a concern that spatter may enter the actuator and cause problems.
Therefore, the conventional actuator is devised to prevent such spatter from entering the inside.
For example, Patent Literature 1 and Patent Literature 2 disclose the configuration of such an actuator.

特許文献１に記載された発明は、次のような構成となっている。まず、直動装置としてのリニアガイドがあり、このリニアガイドは、案内レールと、この案内レールに沿って移動可能に設けられたスライダとから構成されている。このリニアガイドには、蛇腹状の防塵カバーが設けられていて、この防塵カバーの一端が上記リニアガイドの端部に接続されているとともに、その他端は上記スライダに接続されている。そして、上記防塵カバーによって、スパッタの内部への侵入を防止している。   The invention described in Patent Document 1 has the following configuration. First, there is a linear guide as a linear motion device, and this linear guide is composed of a guide rail and a slider provided so as to be movable along the guide rail. The linear guide is provided with a bellows-shaped dustproof cover. One end of the dustproof cover is connected to the end of the linear guide, and the other end is connected to the slider. The dust cover prevents the spatter from entering the inside.

また、特許文献２に記載された考案は、次のような構成となっている。まず、Ｘ軸テーブルとＹ軸テーブルがある。上記Ｙ軸テーブルはベッド上に設置されており、上記Ｘ軸テーブルは上記Ｙ軸テーブル上に設置されている。また、上記Ｙ軸テーブルは上記ベッド上に設置された軌道に沿ってＹ軸方向に移動するものであり、上記Ｘ軸テーブルは上記Ｙ軸テーブル上に設置された軌道に沿ってＸ軸方向に移動するものである。また、上記Ｘ軸テーブル上には、例えば、溶接機が設置されている。そして、上記Ｘ軸テーブルとＹ軸テーブルの軌道の両側面側には、それぞれ蛇腹状の側面防塵カバーが設置されているとともに、上記軌道の上面側には、上記Ｘ軸テーブルやＹ軸テーブルを貫通した状態で上面防塵カバーが設置されており、これにより、上記軌道がスパッタなどによって損傷しないように保護している。   Moreover, the device described in Patent Document 2 has the following configuration. First, there are an X-axis table and a Y-axis table. The Y-axis table is installed on a bed, and the X-axis table is installed on the Y-axis table. The Y-axis table moves in the Y-axis direction along a track installed on the bed, and the X-axis table moves in the X-axis direction along a track installed on the Y-axis table. It is something that moves. Moreover, for example, a welding machine is installed on the X-axis table. Further, bellows-shaped side dust covers are installed on both side surfaces of the X-axis table and Y-axis table tracks, and the X-axis table and Y-axis table are mounted on the upper surface side of the track. A top dustproof cover is installed in a penetrating state, thereby protecting the track from being damaged by sputtering or the like.

特開２０００−３４３３７４号公報JP 2000-343374 A 実開平５−８０６４４号公報Japanese Utility Model Publication No. 5-80644

しかし、上記従来の構成では、次のような問題があった。
特許文献１に記載された発明の場合には、蛇腹状の防塵カバーによって、スパッタのアクチュエータ内部への侵入を防止する構成となっている。また、特許文献２に記載された発明の場合には、蛇腹状の側面防塵カバーと上面防塵カバーとによって、スパッタのアクチュエータ内部への侵入を防止する構成となっている。
ところが、上記蛇腹状の防塵カバー、蛇腹状の側面防塵カバーは、使用時に伸縮される上に、高温のスパッタなどに曝されているため、損傷・劣化してしまう。そのため、上記蛇腹状の防塵カバー、蛇腹状の側面防塵カバーを頻繁に交換しなければならず、維持・管理が面倒であるという問題があった。
なお、この問題は、溶接機を搭載したアクチュエータに限られるものではなく、その他の機器やワークなどが搭載されて駆動されるアクチュエータにおいて、塵埃などが侵入する場合についても同様にいえる問題である。 However, the conventional configuration has the following problems.
In the case of the invention described in Patent Document 1, it is configured to prevent spatter from entering the actuator by means of a bellows-shaped dustproof cover. Further, in the case of the invention described in Patent Document 2, a structure in which the spatter is prevented from entering the actuator by the bellows-shaped side dust cover and the top dust cover.
However, since the bellows-shaped dustproof cover and the bellows-shaped side dustproof cover are expanded and contracted during use and exposed to high-temperature spatter and the like, they are damaged and deteriorated. Therefore, the bellows-shaped dustproof cover and the bellows-shaped side dustproof cover have to be frequently replaced, and there is a problem that maintenance and management are troublesome.
Note that this problem is not limited to an actuator equipped with a welding machine, and can also be said to be the case when dust or the like enters an actuator that is driven by other equipment or a workpiece.

本発明は、このような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、溶接時に発生するスパッタや塵埃などの異物が内部に侵入しないようにするとともに、長期にわたってその機能を維持することができるアクチュエータを提供することにある。   The present invention has been made on the basis of these points, and the object of the present invention is to prevent foreign matters such as spatter and dust generated during welding from entering the inside and to maintain the function for a long period of time. An object of the present invention is to provide an actuator that can be used.

上記課題を解決するべく請求項１に記載されたアクチュエータは、ハウジングと、上記ハウジングに沿って移動可能に設置されたスライダと、上記ハウジングに設けられ上記スライダを駆動する駆動手段と、上記スライダに設けられ空気を噴射する空気噴射部と、を具備したことを特徴とするものである。
又、請求項２に記載されたアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記空気噴射部は上記スライダの移動方向両端に設けられていることを特徴とするものである。
又、請求項３に記載されたアクチュエータは、請求項１又は請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記スライダ内には空気供給部が設けられており、空気供給源より供給される空気はこの空気供給部を介して上記空気噴射部に供給されて噴射されるものであることを特徴とするものである。
又、請求項４に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダは上記ハウジングを貫通しており、上記空気噴射部は上記貫通している部位に指向・配置されていることを特徴とするものである。
又、請求項５に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項４の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記空気噴射部はノズルであることを特徴とするものである。
又、請求項６に記載されたアクチュエータは、請求項５記載のアクチュエータにおいて、上記ノズルには噴射方向が異なる複数種類があり、任意の噴射方向のノズルが選択・固定されるものであることを特徴とするものである。
又、請求項７に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項６の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジングの上記スライダが配置されている側はカバーによって覆われていることを特徴とするものである。
又、請求項８に記載されたアクチュエータは、請求項７記載のアクチュエータにおいて、上記スライダには上記カバーと上記ハウジングとの間の開口部を覆う補助カバーが設けられていることを特徴とするものである。
又、請求項９に記載されたアクチュエータは、請求項７又は請求項８記載のアクチュエータにおいて、上記カバーにはスパッタ付着防止表面処理が施されていることを特徴とするものである。
又、請求項１０に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダの移動方向両端にはスクレーパが取り付けられていることを特徴とするものである。
又、請求項１１に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項１０の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジング内は加圧されていることを特徴とするものである。
又、請求項１２に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項１１の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダには溶接機が搭載されていることを特徴とするものである。 In order to solve the above-described problem, an actuator described in claim 1 includes a housing, a slider installed to be movable along the housing, a drive unit provided in the housing for driving the slider, and a slider. And an air ejecting section that ejects air.
According to a second aspect of the present invention, in the actuator according to the first aspect, the air ejecting portions are provided at both ends of the slider in the moving direction.
According to a third aspect of the present invention, in the actuator according to the first or second aspect, an air supply unit is provided in the slider, and the air supplied from the air supply source is the air supply. It is supplied to the said air injection part via a part, and is injected, It is characterized by the above-mentioned.
According to a fourth aspect of the present invention, in the actuator according to any one of the first to third aspects, the slider penetrates the housing, and the air injection portion penetrates the part. It is characterized by being oriented and arranged in
According to a fifth aspect of the present invention, in the actuator according to any one of the first to fourth aspects, the air injection portion is a nozzle.
According to a sixth aspect of the present invention, in the actuator according to the fifth aspect of the present invention, there are a plurality of types of nozzles having different injection directions, and a nozzle having an arbitrary injection direction is selected and fixed. It is a feature.
According to a seventh aspect of the present invention, in the actuator according to the first to sixth aspects, the side of the housing where the slider is disposed is covered with a cover. To do.
The actuator described in claim 8 is the actuator according to claim 7, wherein the slider is provided with an auxiliary cover that covers an opening between the cover and the housing. It is.
According to a ninth aspect of the present invention, in the actuator according to the seventh or eighth aspect, the cover is subjected to a spatter adhesion preventing surface treatment.
According to a tenth aspect of the present invention, in the actuator according to any one of the first to ninth aspects, a scraper is attached to both ends of the slider in the moving direction. .
An actuator according to an eleventh aspect is the actuator according to any one of the first to tenth aspects, wherein the inside of the housing is pressurized.
According to a twelfth aspect of the present invention, in the actuator according to any one of the first to eleventh aspects, a welding machine is mounted on the slider.

以上述べたように、請求項１記載のアクチュエータによると、ハウジングと、上記ハウジングに沿って移動可能に設置されたスライダと、上記ハウジングに設けられ上記スライダを駆動する駆動手段と、上記スライダに設けられ空気を噴射する空気噴射部と、を具備したため、上記空気噴射部からの空気噴射により、溶接時に発生するスパッタ、塵埃などの異物の上記ハウジング内への侵入を防止できる。また、例えば、蛇腹のような、使用時に伸縮され劣化しやすい覆いを設ける必要がないため、上記ハウジング内への異物の侵入を防止する機能を長期にわたって維持することができる。また、このことにより、上記アクチュエータを、メンテナンスが容易で運用コストが低いものとすることができる。
また、請求項２に記載されたアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記空気噴射部は上記スライダの移動方向両端に設けられているため、上記効果をより確実なものとすることかできる。
また、請求項３記載のアクチュエータによると、請求項１又は請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記スライダ内には空気供給部が設けられており、空気供給源より供給される空気はこの空気供給部を介して上記空気噴射部に供給されて噴射されるものであるため、上記空気供給源から空気が供給されることで上記空気噴射部からの空気噴射を安定して行うことができる。
また、請求項４記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダは上記ハウジングを貫通しており、上記空気噴射部は上記貫通している部位に指向・配置されているため、上記貫通している部位からの異物の侵入を防止することができる。
また、請求項５記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項４の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記空気噴射部はノズルであるため、効果的に空気噴射を行い、上記ハウジング内への異物の侵入を防止することができる。
また、請求項６記載のアクチュエータによると、請求項５記載のアクチュエータにおいて、上記ノズルには噴射方向が異なる複数種類があり、任意の噴射方向のノズルが選択・固定されるものであるため、上記ノズルの噴射方向を変更することで様々な状況に対応することができる。
また、請求項７記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項６の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジングの上記スライダが配置されている側はカバーによって覆われているため、上記ハウジング内への異物の侵入を確実に防止できる。
また、請求項８記載のアクチュエータによると、請求項７記載のアクチュエータにおいて、上記スライダには上記カバーと上記ハウジングとの間の開口部を覆う補助カバーが設けられているため、上記開口部からの異物の侵入を防止することができる。
また、請求項９記載のアクチュエータによると、請求項７又は請求項８記載のアクチュエータにおいて、上記カバーにはスパッタ付着防止表面処理が施されているため、上記カバーへの異物の付着を防止し、長期にわたって上記カバーの機能を維持することができる。
また、請求項１０記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダの移動方向両端にはスクレーパが取り付けられているため、上記スクレーパによって上記アクチュエータや上記カバーの表面の異物を除去することができる。
また、請求項１１記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項１０の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジング内は加圧されているため、上記ハウジング内への異物の侵入を確実に防止できる。
また、請求項１２記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項１１の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダには溶接機が搭載されているため、上記溶接機によって発生されるスパッタ等の異物の侵入を長期にわたって防止することができる。 As described above, according to the actuator of the first aspect, the housing, the slider installed to be movable along the housing, the driving means provided in the housing for driving the slider, and the slider are provided. Since the air injection unit for injecting air is provided, it is possible to prevent foreign matter such as spatter and dust generated during welding from entering the housing by the air injection from the air injection unit. In addition, for example, since it is not necessary to provide a cover that is stretched and deteriorated during use, such as an accordion, the function of preventing the entry of foreign matter into the housing can be maintained over a long period of time. This also makes the actuator easy to maintain and low in operating costs.
According to the actuator described in claim 2, in the actuator according to claim 1, since the air ejecting portions are provided at both ends of the slider in the moving direction, the effect can be further ensured. it can.
According to the actuator of claim 3, in the actuator of claim 1 or claim 2, an air supply unit is provided in the slider, and the air supplied from the air supply source is the air supply unit. Therefore, the air injection from the air injection unit can be stably performed by supplying air from the air supply source.
According to an actuator of a fourth aspect, in the actuator according to any one of the first to third aspects, the slider passes through the housing, and the air injection portion is located at the penetrating portion. Since it is oriented and arranged, it is possible to prevent foreign matter from entering from the penetrating portion.
Further, according to the actuator according to claim 5, in the actuator according to any one of claims 1 to 4, since the air injection portion is a nozzle, the air injection is effectively performed, and the air is injected into the housing. Intrusion of foreign matter can be prevented.
Further, according to the actuator according to claim 6, in the actuator according to claim 5, the nozzle has a plurality of types having different injection directions, and the nozzle in an arbitrary injection direction is selected and fixed. Various situations can be dealt with by changing the injection direction of the nozzle.
According to the actuator according to claim 7, in the actuator according to any one of claims 1 to 6, the side of the housing on which the slider is disposed is covered with a cover, so It is possible to reliably prevent foreign matter from entering.
Further, according to the actuator according to claim 8, in the actuator according to claim 7, the slider is provided with an auxiliary cover that covers the opening between the cover and the housing. Intrusion of foreign matter can be prevented.
Further, according to the actuator according to claim 9, in the actuator according to claim 7 or claim 8, since the cover is subjected to a spatter adhesion preventing surface treatment, the adhesion of foreign matter to the cover is prevented, The function of the cover can be maintained over a long period of time.
Further, according to the actuator according to claim 10, in the actuator according to any one of claims 1 to 9, since the scraper is attached to both ends of the slider in the moving direction, the scraper causes the actuator or the Foreign matter on the surface of the cover can be removed.
According to the actuator described in claim 11, in the actuator according to any one of claims 1 to 10, since the inside of the housing is pressurized, the entry of foreign matter into the housing is surely prevented. it can.
According to the actuator of claim 12, in the actuator of any one of claims 1 to 11, a welding machine is mounted on the slider. Intrusion of foreign substances can be prevented over a long period of time.

本発明の第１の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの使用状態を示す斜視図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the use condition of the actuator by this Embodiment. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの平面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is a top view of the actuator by this Embodiment. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの正面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a front view of the actuator by this Embodiment. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＩＶ−ＩＶ矢視図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is the IV-IV arrow line view of FIG. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＶ−Ｖ断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is VV sectional drawing of FIG. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図５のＶＩ−ＶＩ断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is VI-VI sectional drawing of FIG. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is VII-VII sectional drawing of FIG. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ矢視図であって、本実施の形態によるアクチュエータのスライダを構成するスライダプレートのみを抽出して示した図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is the VIII-VIII arrow line view of FIG. 2, Comprising: It is the figure which extracted and showed only the slider plate which comprises the slider of the actuator by this Embodiment. . 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図８のＩＸ−ＩＸ断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is IX-IX sectional drawing of FIG. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの使用状態を示す斜視図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the use condition of the actuator by this Embodiment. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、図１０のＸＩ−ＸＩ断面図であり、スライダ本体のベース側部分の中央付近を切断するようにしたものである。FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line XI-XI in FIG. 10 showing a second embodiment of the present invention, in which the vicinity of the center of the base side portion of the slider body is cut. 本発明の第３の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの正面図である。It is a figure which shows the 3rd Embodiment of this invention, and is a front view of the actuator by this Embodiment. 本発明の第３の実施の形態を示す図で、図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ断面図である。It is a figure which shows the 3rd Embodiment of this invention, and is XIII-XIII sectional drawing of FIG. 本発明の第４の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータを示す斜視図である。It is a figure which shows the 4th Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the actuator by this Embodiment.

以下、図１〜図９を参照しながら、本発明の第１の実施の形態について説明する。
まず、本実施の形態によるアクチュエータ１の概要について説明する。
図１〜図４に示すように、上記アクチュエータ１は、ハウジング３と、このハウジング３に沿って移動可能に設置されたスライダ５とから構成されている。そして、図１に示すように、上記アクチュエータ１は、上記スライダ５上に、例えば、溶接機６が設置された状態で使用される。 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
First, an outline of the actuator 1 according to the present embodiment will be described.
As shown in FIGS. 1 to 4, the actuator 1 includes a housing 3 and a slider 5 installed so as to be movable along the housing 3. And as shown in FIG. 1, the said actuator 1 is used in the state in which the welding machine 6 was installed on the said slider 5, for example.

上記溶接機６は、ロボットアーム７と、その先端に設置された溶接ノズル８とから構成されている。
また、上記ロボットアーム７は、基盤８と、第１アーム支持部９と、第１アーム１０と、第２アーム１１とから構成されている。
上記基盤８は、上記スライダ５上に設置されている。また、上記第１アーム支持部９は上記基盤８上に設置されており、上記基盤８に対して図１中上下方向の回転軸ａ１を中心に、駆動モータ１２によって、回転・駆動される構成になっている。また、上記第１アーム１０は、その基端側（図１中下側）が上記第１アーム支持部９に支持されているとともに、上記第１アーム支持部９に対して上記第１アーム支持部９の回転軸ａ１に直交する回動軸ａ２を中心に、駆動モータ１４によって、回動・駆動される構成になっている。また、上記第２アーム１１は、上記第１アーム１０の先端側（図１中上側）に支持されているとともに、上記第１アーム１０に対して、上記第１アーム１０の回動軸ａ２に平行な回転軸ａ３を中に、図示しない駆動モータによって、回動・駆動されるとともに、その回転軸ａ３に直交する回転軸ａ４を中心に、駆動モータ１６によって、回転・駆動される構成になっている。また、上記溶接ノズル８は、上記第２アーム１１の先端側（図１中左側）に設置されているとともに、上記第２アーム１１に直交する回転軸ａ５を中心に、駆動モータ２０によって、回転・駆動される構成になっている。 The welding machine 6 includes a robot arm 7 and a welding nozzle 8 installed at the tip thereof.
The robot arm 7 includes a base 8, a first arm support 9, a first arm 10, and a second arm 11.
The base 8 is installed on the slider 5. The first arm support portion 9 is installed on the base 8, and is configured to be rotated and driven by the drive motor 12 around the rotary shaft a1 in the vertical direction in FIG. It has become. The first arm 10 is supported at the base end (lower side in FIG. 1) by the first arm support portion 9, and is supported by the first arm support portion 9 with respect to the first arm support portion 9. The drive motor 14 rotates and drives the rotation axis a2 orthogonal to the rotation axis a1 of the section 9 as a center. The second arm 11 is supported on the distal end side (upper side in FIG. 1) of the first arm 10 and on the rotation axis a <b> 2 of the first arm 10 with respect to the first arm 10. The parallel rotation shaft a3 is rotated and driven by a drive motor (not shown), and the drive motor 16 is rotated and driven around a rotation shaft a4 orthogonal to the rotation shaft a3. ing. The welding nozzle 8 is installed on the distal end side (left side in FIG. 1) of the second arm 11 and is rotated by a drive motor 20 around a rotation axis a5 orthogonal to the second arm 11.・ It is configured to be driven.

上記溶接ノズル８はロボットアーム７によって上記スライダ５を中心とした所定の範囲内で移動される。また、上記溶接機６自体も、上記アクチュエータ１のスライダ５が移動されることによって、上記アクチュエータ１の長さ方向両側（図１中右下から左上に向かう方向の両側）に移動される。   The welding nozzle 8 is moved by the robot arm 7 within a predetermined range around the slider 5. The welding machine 6 itself is also moved to both sides in the length direction of the actuator 1 (both sides in the direction from the lower right to the upper left in FIG. 1) by moving the slider 5 of the actuator 1.

次に、本実施の形態によるアクチュエータ１の詳細について説明する。
ハウジング３には、図６に示すように、略Ｕ字形の断面形状を成し図６中紙面垂直方向に延長・形成されたベース１３がある。また、上記ベース１３の幅方向（図６中左右方向）両端には側壁支持部材１５、１５が設置されており、この側壁支持部材１５、１５それぞれの外側（図６中右側又は左側）には、側壁１７、１７が設置されている。上記側壁支持部材１５と側壁１７は、上記ベース１３と同様に図６中紙面垂直方向に延長・形成されている。
また、図３に示すように、上記側壁１７は、上記側壁１７を貫通し、上記側壁支持部材１５に螺合される複数（本実施の形態の場合は、１つの上記側壁１７について３つ）のボルト１８によって固定されている。
また、上記側壁１７の表面には、スパッタ付着防止表面処理としてのフッ素コーティングが施されている。 Next, details of the actuator 1 according to the present embodiment will be described.
As shown in FIG. 6, the housing 3 has a base 13 having a substantially U-shaped cross-sectional shape and extending and formed in a direction perpendicular to the paper surface in FIG. 6. Further, side wall support members 15 and 15 are provided at both ends of the base 13 in the width direction (left and right direction in FIG. 6), and on the outer sides (right side or left side in FIG. 6) of the side wall support members 15 and 15, respectively. Side walls 17 and 17 are installed. The side wall support member 15 and the side wall 17 are extended and formed in the direction perpendicular to the paper surface in FIG.
Further, as shown in FIG. 3, the side wall 17 penetrates the side wall 17 and is screwed into the side wall support member 15 (in the case of the present embodiment, three for one side wall 17). The bolt 18 is fixed.
Further, the surface of the side wall 17 is coated with fluorine as a surface treatment for preventing spatter adhesion.

また、上記側壁支持部材１５、１５のそれぞれの図６中上側の端面には、上部側端カバー１９、１９が設置されている。この上部側端カバー１９、１９も、図６中紙面垂直方向に延長・形成されている。
また、上記上部側端カバー１９、１９と側壁支持部材１５、１５は、その長さ方向両端側（図６中紙面垂直方向両端側）において、上記上部側端カバー１９、１９と側壁支持部材１５、１５を貫通し、上記ベース１３に螺合される図示しないボルトによって固定されている。 Further, upper side end covers 19 and 19 are provided on the upper end surfaces of the side wall support members 15 and 15 in FIG. The upper side end covers 19 and 19 are also extended and formed in the direction perpendicular to the paper surface in FIG.
Further, the upper side end covers 19 and 19 and the side wall support members 15 and 15 are arranged at both ends in the length direction (both ends in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 6). , 15 and fixed by bolts (not shown) screwed into the base 13.

また、図６に示すように、上記上部側端カバー１９、１９間には、上部中央カバー２１が設置されている。この上部中央カバー２１も、図６中紙面垂直方向に延長・形成されている。
また、図５に示すように、上記ベース１３の長さ方向両端側（図５中左右方向両端側）にはストッパ２３、２３が設置されている。上記上部中央カバー２１の両端側（図５中左右両端側）は、上記上部中央カバー２１を貫通し上記ストッパ２３、２３に螺合される図示しないボルトによって固定されている。また、上記ストッパ２３、２３は、上記ストッパ２３、２３を貫通し、上記ベース１３に螺合される図示しないボルトによって固定されている。 As shown in FIG. 6, an upper center cover 21 is installed between the upper side end covers 19, 19. The upper center cover 21 is also extended and formed in the direction perpendicular to the paper surface in FIG.
Further, as shown in FIG. 5, stoppers 23 are provided on both ends in the length direction of the base 13 (both ends in the left-right direction in FIG. 5). Both end sides (left and right end sides in FIG. 5) of the upper center cover 21 are fixed by bolts (not shown) that pass through the upper center cover 21 and are screwed into the stoppers 23, 23. The stoppers 23, 23 are fixed by bolts (not shown) that pass through the stoppers 23, 23 and are screwed to the base 13.

また、図６に示すように、上記ベース１３には、ハウジング側エア供給継手２５が設置されている。上記ベース１３には、空気供給路２７が形成されており、この空気供給路２７は上記ベース１３に形成された複数の連通孔２９を介してハウジング３内部と連通されている。また、上記ハウジング側エア供給継手２５はこの空気供給路２７と連通された状態で設置されている。そして、上記ハウジング側エア供給継手２５には、図示しないチューブを介して図示しないコンプレッサが接続されている。このコンプレッサによって、上記ハウジング側エア供給継手２５、空気供給路２７を介して上記ハウジング３内に加圧空気が供給され、上記ハウジング３内を加圧している。これによって、上記ハウジング３内部への異物の侵入を防止している。
なお、上記図示しないチューブとしては、一重のもののほか、耐スパッタ強度を高めるために、二重管や三重管等が用いられることが考えられる。 As shown in FIG. 6, the base 13 is provided with a housing-side air supply joint 25. An air supply path 27 is formed in the base 13, and the air supply path 27 communicates with the inside of the housing 3 through a plurality of communication holes 29 formed in the base 13. The housing-side air supply joint 25 is installed in communication with the air supply path 27. A compressor (not shown) is connected to the housing side air supply joint 25 via a tube (not shown). Pressurized air is supplied into the housing 3 by the compressor via the housing-side air supply joint 25 and the air supply path 27 to pressurize the housing 3. This prevents foreign matter from entering the housing 3.
In addition to the single tube, a double tube or a triple tube may be used as the tube (not shown) in order to increase the spatter resistance.

また、図６に示すように、上記上部側端カバー１９、１９の上記上部中央カバー２１側には、それぞれシール係合溝３１が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されており、このシール係合溝３１にはシール部材３３が係合・固定されている。
また、図６に示すように、上記上部中央カバー２１の幅方向両端側（図６中左右方向両側）にも、それぞれシール係合溝３５が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されており、このシール係合溝３５にはシール部材３７が係合・固定されている。 Further, as shown in FIG. 6, seal engagement grooves 31 are extended and formed in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 6) on the upper center cover 21 side of the upper side end covers 19, 19. A seal member 33 is engaged and fixed in the seal engagement groove 31.
Also, as shown in FIG. 6, the seal engaging grooves 35 extend in the length direction (perpendicular to the plane of the paper in FIG. 6) on both ends in the width direction of the upper central cover 21 (both sides in the left-right direction in FIG. 6). A seal member 37 is engaged and fixed in the seal engagement groove 35.

上記シール部材３３、３７は、長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されており、互いにその先端部が重合されることで上記上部中央カバー２１と上記上部側端カバー１９との間の隙間が閉塞されるように構成されている。
また、上記シール部材３３、３７の表面には耐熱コーティングが施されている。 The sealing members 33 and 37 are extended and formed in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 6), and the top center cover 21 and the top side end cover 19 It is comprised so that the clearance gap between may be obstruct | occluded.
The surfaces of the seal members 33 and 37 are heat-resistant coated.

また、上記ハウジング３の先端側（図５中左端側）には、端部カバー４１が設置されており、上記ハウジング３の後端側（図５中右端側）には、端部カバー４３が設置されている。上記端部カバー４１、４３によって、上記ハウジング３の長さ方向両端側（図５中左右方向両端側）が閉塞されている。   Further, an end cover 41 is provided on the front end side (left end side in FIG. 5) of the housing 3, and an end cover 43 is provided on the rear end side (right end side in FIG. 5) of the housing 3. is set up. The end covers 41 and 43 close both ends in the length direction of the housing 3 (both ends in the left-right direction in FIG. 5).

上記ハウジング３内の上記端部カバー４１側（図５中左側）には軸受ハウジング５３が設置されており、この軸受ハウジング５３内には軸受５５、５５が内装されている。この軸受５５は、図５に示すように、外輪５７と、この外輪５７の内側に回転可能に内装された内輪５９と、上記外輪５７と上記内輪５９との間に設置されたリテイナ６１によって転動可能に保持された複数の鋼球６３とから構成されている。
また、上記軸受ハウジング５３の図５中右端側には、軸受押え６４が圧入されており、この軸受押え６４によって、上記軸受５５の外輪５７が押えられている。 A bearing housing 53 is installed on the end cover 41 side (left side in FIG. 5) in the housing 3, and bearings 55 and 55 are housed inside the bearing housing 53. As shown in FIG. 5, the bearing 55 is rotated by an outer ring 57, an inner ring 59 rotatably mounted inside the outer ring 57, and a retainer 61 installed between the outer ring 57 and the inner ring 59. It is comprised from the several steel ball 63 hold | maintained so that movement is possible.
A bearing retainer 64 is press-fitted to the right end side of the bearing housing 53 in FIG. 5, and the outer ring 57 of the bearing 55 is retained by the bearing retainer 64.

図５に示すように、上記端部カバー４３には貫通孔６５が形成されており、この貫通孔６５内には軸受６７、６７が内装されている。この軸受６７も、既に述べた軸受５５と同様に、外輪６９、内輪７１、リテイナ７３、複数の鋼球７５から構成されている。
上記軸受６７、６７は軸受押え７７によって、上記端部カバー４３に固定されている。 As shown in FIG. 5, a through hole 65 is formed in the end cover 43, and bearings 67 and 67 are housed in the through hole 65. This bearing 67 is also composed of an outer ring 69, an inner ring 71, a retainer 73, and a plurality of steel balls 75, similarly to the bearing 55 already described.
The bearings 67 and 67 are fixed to the end cover 43 by bearing retainers 77.

また、図５に示すように、上記ハウジング３内には、ボールネジ８１が回転可能に設置されている。このボールネジ８１の先端側（図５中左側）は、既に述べた軸受５５、５５の内輪５９、５９に圧入されているとともに、上記ボールネジ８１の後端側（図５中右側）は、既に述べた軸受６７、６７の内輪７１、７１に圧入されている。すなわち、上記ボールネジ８１は、その両端側を上記軸受５５、５５、及び、軸受５９、５９によって回転可能に軸支されている。
また、上記ボールネジ８１の後端側（図５中右側）であって、上記軸受６７、６７の図５中左側には内輪押え８３が設置されており、上記軸受６７、６７の図５中右側には内輪押え８５が設置されている。この内輪押え８３、８５によっても、上記ボールネジ８１と上記軸受６７、６７の内輪７１、７１とが一体とされている。 As shown in FIG. 5, a ball screw 81 is rotatably installed in the housing 3. The front end side (left side in FIG. 5) of the ball screw 81 is press-fitted into the inner rings 59 and 59 of the bearings 55 and 55 already described, and the rear end side (right side in FIG. 5) of the ball screw 81 has already been described. The inner rings 71 and 71 of the bearings 67 and 67 are press-fitted. That is, the ball screw 81 is rotatably supported at both ends by the bearings 55 and 55 and the bearings 59 and 59.
Further, an inner ring presser 83 is installed on the rear end side (right side in FIG. 5) of the ball screw 81 and on the left side of the bearings 67 and 67 in FIG. 5, and the right side of the bearings 67 and 67 in FIG. Is provided with an inner ring presser 85. Also by the inner ring pressers 83 and 85, the ball screw 81 and the inner rings 71 and 71 of the bearings 67 and 67 are integrated.

また、図５に示すように、既に述べたストッパ２３には貫通孔８７が形成されており、上記ボールネジ８１は上記貫通孔８７、８７を貫通して設置されている。
また、上記ボールネジ８１の外周面には螺旋状の溝である雄ネジ部８９が形成されている。 As shown in FIG. 5, the stopper 23 already described has a through hole 87, and the ball screw 81 is installed through the through holes 87 and 87.
Further, a male screw portion 89 that is a spiral groove is formed on the outer peripheral surface of the ball screw 81.

また、図２に示すように、上記ハウジング３の後端側（図２中右端側）にはプーリカバーベース９１を介して、プーリカバー９３が設置されている。
図５に示すように、上記プーリカバーベース９１にも貫通孔９５が形成されており、上記ボールネジ８１の後端側（図５中右側）は、既に述べた端部カバー４３と上記プーリカバーベース９１を貫通して、上記プーリカバー９３内に突出・配置されている。
上記プーリカバー９３は、上記プーリカバー９３と上記プーリカバーベース９１を貫通し、上記端部カバー４３に螺合される複数（本実施の形態の場合は４つ）のネジ９７によって固定されている。 As shown in FIG. 2, a pulley cover 93 is installed on the rear end side (right end side in FIG. 2) of the housing 3 via a pulley cover base 91.
As shown in FIG. 5, the pulley cover base 91 is also formed with a through hole 95, and the rear end side (right side in FIG. 5) of the ball screw 81 is the end cover 43 and the pulley cover base already described. 91 is protruded and arranged in the pulley cover 93 through the 91.
The pulley cover 93 is fixed by a plurality of (four in this embodiment) screws 97 that pass through the pulley cover 93 and the pulley cover base 91 and are screwed to the end cover 43. .

上記プーリカバー９３内であって、上記ボールネジ８１の後端側（図５中右側）には、ボールネジ側プーリ１０１が固着されている。このボールネジ側プーリ１０１には貫通孔１０３が形成されている。この貫通孔１０３の図５中左側は小径部１０３ａとなっており、図５中右側は大径部１０３ｂとなっている。そして、上記貫通孔１０３の小径部１０３ａ内に上記ボールネジ８１の後端部（図５中右側部分）が圧入されている。   A ball screw side pulley 101 is fixed to the rear end side (right side in FIG. 5) of the ball screw 81 in the pulley cover 93. A through hole 103 is formed in the ball screw side pulley 101. The left side of the through hole 103 in FIG. 5 is a small diameter portion 103a, and the right side in FIG. 5 is a large diameter portion 103b. A rear end portion (right side portion in FIG. 5) of the ball screw 81 is press-fitted into the small diameter portion 103a of the through hole 103.

また、上記ボールネジ側プーリ１０１の図５中右側にはプーリ押え１０５が設置されている。このプーリ押え１０５は、図５中左側に凸部１０７が形成されており、この凸部１０７が上記ボールネジ側プーリ１０１の貫通孔１０３の大径部１０３ｂ内に圧入されている。これにより、上記ボールネジ８１と上記ボールネジ側プーリ１０１とが、より強固に固定される。また、上記ボールネジ側プーリ１０１に螺合される複数の（本実施の形態の場合は４つの）ボルト１０９によって、上記プーリ押え１０５は上記ボールネジ側プーリ１０１に固定される。   A pulley presser 105 is installed on the right side of the ball screw side pulley 101 in FIG. The pulley presser 105 has a convex portion 107 formed on the left side in FIG. 5, and this convex portion 107 is press-fitted into the large diameter portion 103 b of the through hole 103 of the ball screw side pulley 101. Thereby, the ball screw 81 and the ball screw side pulley 101 are more firmly fixed. Further, the pulley retainer 105 is fixed to the ball screw side pulley 101 by a plurality of (four in the present embodiment) bolts 109 screwed onto the ball screw side pulley 101.

また、例えば、図２や図４に示すように、上記プーリカバーベース９１は、既に述べたハウジング３の図２中上側に延長・突出されており、上記プーリカバーベース９１の反ハウジング３側（図２中上側）にはモータケース１１１が設置されている。
図７に示すように、上記モータケース１１１内には、モータ１１３が内装されている。このモータ１１３は、モータハウジング１１５と、このモータハウジング１１５の内周面に固定された図示しないステータと、このステータの内側に回転可能に設置されたロータと、このロータに固着され上記モータハウジング１１５外に突出された出力軸１１７とから構成されている。 For example, as shown in FIGS. 2 and 4, the pulley cover base 91 extends and protrudes to the upper side in FIG. 2 of the housing 3 already described, and the pulley cover base 91 is opposite to the housing 3 side ( A motor case 111 is installed on the upper side in FIG.
As shown in FIG. 7, a motor 113 is built in the motor case 111. The motor 113 includes a motor housing 115, a stator (not shown) fixed to the inner peripheral surface of the motor housing 115, a rotor rotatably installed inside the stator, and the motor housing 115 fixed to the rotor. It is comprised from the output shaft 117 protruded outside.

図７に示すように、上記モータケース１１３の図７中下側には、ケーブル１２１とケーブル１２３が設置されている。上記ケーブル１２１は上記モータ１１３に電力を供給し、上記ケーブル１２３は上記モータ１１３に送信される制御信号を伝達するとともに、上記モータ１１３に設置された図示しないエンコーダから出力される上記出力軸１１７の回転数や回転角度等を示す信号を伝達する。
上記モータ１１３は、上記ケーブル１２１を介して電力を供給されると、上記出力軸１１７を正転又は逆転させる。
また、上記モータ１１３は、上記モータハウジング１１５を貫通し上記プーリカバーベース９１に螺合される複数（本実施の形態の場合は４つ）のボルト１２５によって固定されている。 As shown in FIG. 7, a cable 121 and a cable 123 are installed on the lower side of the motor case 113 in FIG. 7. The cable 121 supplies electric power to the motor 113, and the cable 123 transmits a control signal transmitted to the motor 113, and the output shaft 117 output from an encoder (not shown) installed in the motor 113. A signal indicating the rotation speed, rotation angle, etc. is transmitted.
When electric power is supplied via the cable 121, the motor 113 rotates the output shaft 117 forward or backward.
The motor 113 is fixed by a plurality (four in the case of this embodiment) of bolts 125 that pass through the motor housing 115 and are screwed onto the pulley cover base 91.

また、図７に示すように、上記モータ１１３の出力軸１１７には、モータ側プーリ１３１が固着されている。このモータ側プーリ１３１は、既に述べたボールネジ側プーリ１０１と同様に、上記出力軸１１７が圧入され、プーリ押え１３３によって強固に固定される。また、上記プーリ押え１３３は、上記プーリ押え１３３を貫通し上記モータ側プーリ１３１に螺合される複数（本実施の形態においては３つ）のボルト１３５によって、上記モータ側プーリ１３１に固定されている。   As shown in FIG. 7, a motor-side pulley 131 is fixed to the output shaft 117 of the motor 113. In the same manner as the ball screw pulley 101 already described, the motor side pulley 131 is press-fitted with the output shaft 117 and is firmly fixed by the pulley presser 133. The pulley presser 133 is fixed to the motor-side pulley 131 by a plurality of (three in this embodiment) bolts 135 that pass through the pulley presser 133 and are screwed to the motor-side pulley 131. Yes.

また、上記モータ側プーリ１３３と上記ボールネジ側プーリ１０１との間には、動力伝達ベルト１３７が巻回されている。この動力伝達ベルト１３７により、上記モータ１１３の出力軸１１７の回転が、既に述べたボールネジ８１に伝達される。   A power transmission belt 137 is wound between the motor-side pulley 133 and the ball screw-side pulley 101. By the power transmission belt 137, the rotation of the output shaft 117 of the motor 113 is transmitted to the ball screw 81 already described.

また、図５に示すように、上記ボールネジ８１には、ボールナット１４１が螺合されている。このボールナット１４１は、ボールナット本体１４３と、このボールナット本体１４３の先端側（図５中左端側）と後端側（図５中右端側）に設置されたエンドキャップ１４５、１４７とから構成されている。図６に示すように、上記ボールナット本体１４３は上記ボールネジ８１によって貫通されており、その貫通孔の内周面には上記ボールネジ８１の雄ネジ部８９に螺合する雌ネジ部１４９が形成されている。そして、上記雌ネジ部１４９と上記ボールネジ８１の雄ネジ部８９との間の空間と、上記ボールナット本体１４３内に形成された無負荷循環路１５１、及び、上記エンドキャップ１４５、１４７に形成された図示しないリターン路内を複数の鋼球１５３が転動しながら循環するように構成されている。   As shown in FIG. 5, a ball nut 141 is screwed onto the ball screw 81. The ball nut 141 includes a ball nut main body 143 and end caps 145 and 147 installed on the front end side (left end side in FIG. 5) and rear end side (right end side in FIG. 5) of the ball nut main body 143. Has been. As shown in FIG. 6, the ball nut body 143 is penetrated by the ball screw 81, and a female screw portion 149 that is screwed into the male screw portion 89 of the ball screw 81 is formed on the inner peripheral surface of the through hole. ing. A space between the female screw portion 149 and the male screw portion 89 of the ball screw 81, a no-load circulation path 151 formed in the ball nut main body 143, and the end caps 145 and 147 are formed. A plurality of steel balls 153 circulate while rolling in a return path (not shown).

また、上記ボールナット１４１には、既に述べたスライダ５が固着されている。図６に示すように、上記スライダ５は、ハウジング３内に配置され、その図６中上側が既に述べたシール部材３３、３７の間を貫通して上記ハウジング３の上方に突出されたスライダ本体１５５と、後述するスライダプレート２４１及び搭載プレート２５１とから構成されている。   The slider 5 already described is fixed to the ball nut 141. As shown in FIG. 6, the slider 5 is disposed in the housing 3, and the upper body in FIG. 6 penetrates between the seal members 33 and 37 already described and protrudes above the housing 3. 155, and a slider plate 241 and a mounting plate 251 which will be described later.

図５に示すように、上記スライダ本体１５５には、長さ方向（図５中左右方向）に延長された貫通孔１５７が形成されている。この貫通孔１５７内に上記ボールナット１４１が設置されている。また、上記ボールナット１４１の後端側（図５中右側）は押え部材１５９によって押えられている。   As shown in FIG. 5, the slider body 155 is formed with a through hole 157 extending in the length direction (left-right direction in FIG. 5). The ball nut 141 is installed in the through hole 157. Further, the rear end side (right side in FIG. 5) of the ball nut 141 is pressed by a pressing member 159.

また、上記スライダ本体１５５の幅方向両端側（図６中左右方向両端側）にはシール係合溝１６３、１６５が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されていて、上記シール係合溝１６３にはシール部材１６７が係合・固定されており、上記シール係合溝１６５にはシール部材１６９が係合・固定されている。このシール部材１６７、１６９の先端側（図６中左側又は右側）は、上記ハウジング３のベース１３の内周面に摺接している。   In addition, seal engagement grooves 163 and 165 are extended and formed in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 6) on both ends in the width direction (both ends in the left and right direction in FIG. 6) of the slider body 155. A seal member 167 is engaged and fixed in the seal engagement groove 163, and a seal member 169 is engaged and fixed in the seal engagement groove 165. The front end sides (left side or right side in FIG. 6) of the seal members 167 and 169 are in sliding contact with the inner peripheral surface of the base 13 of the housing 3.

また、図６に示すように、上記スライダ本体１５５の幅方向両端側（図６中左右方向両端側）であって、上記シール部材１６７、１６９の図６中下側には、レール係合溝１８１、１８３が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されている。そして、上記レール係合溝１８１にはレール１８５が係合・固定されており、上記レール係合溝１８３にはレール１８７が係合・固定されている。上記レール１８５には凹部１８９が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されており、上記レール１８７には凹部１９１が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されている。   Further, as shown in FIG. 6, rail engagement grooves are provided at both ends in the width direction of the slider body 155 (both ends in the left-right direction in FIG. 6) and below the seal members 167 and 169 in FIG. 181 and 183 are extended and formed in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 6). A rail 185 is engaged and fixed in the rail engaging groove 181, and a rail 187 is engaged and fixed in the rail engaging groove 183. A concave portion 189 is extended and formed in the rail 185 in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 6), and a concave portion 191 is extended and formed in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 6). Has been.

また、上記ハウジング３のベース１３の内周面にも、幅方向両側（図６中左右方向両側）にレール係合溝２０１、２０３が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されている。そして、上記レール係合溝２０１にはレール２０５が係合・固定されており、上記レール係合溝２０３にはレール２０７が係合・固定されている。上記レール２０５には凹部２０９が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されており、上記レール２０７には凹部２１１が長さ方向（図６中紙面垂直方向）に延長・形成されている。
また、上記レール１８５と上記レール２０５は凹部１８９と凹部２０９が向かい合うように配置されており、上記レール１８７と上記レール２０７は凹部１９１と凹部２１１が向かい合うように配置されている。 In addition, rail engagement grooves 201 and 203 are extended and formed on the inner peripheral surface of the base 13 of the housing 3 in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 6) on both sides in the width direction (both sides in the left and right direction in FIG. 6). Has been. A rail 205 is engaged and fixed in the rail engaging groove 201, and a rail 207 is engaged and fixed in the rail engaging groove 203. A concave portion 209 extends and is formed in the rail 205 in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 6), and a concave portion 211 extends and is formed in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 6). Has been.
The rail 185 and the rail 205 are arranged so that the concave portion 189 and the concave portion 209 face each other, and the rail 187 and the rail 207 are arranged so that the concave portion 191 and the concave portion 211 face each other.

そして、図６に示すように、上記レール１８５の凹部１８９と上記レール２０５の凹部２０９との間の空間、上記スライダ本体１５５の内部であって図６中左側に形成された無負荷循環路２１３、及び、上記スライダ本体１５５の先端側（図６中紙面垂直方向手前側）及び後端側（図６中紙面垂直方向奥側）に設置された図示しないエンドキャップ内に設けられたリターン路内を、複数の鋼球２１５が循環している。
また、同様に、上記レール１８７の凹部１９１と上記レール２０７の凹部２１１との間の空間、上記スライダ本体１５５の内部であって図６中右側に形成された無負荷循環路２１７、及び、上記スライダ本体１５５の先端側（図６中紙面垂直方向手前側）及び後端側（図６中紙面垂直方向奥側）に設置された図示しないエンドキャップ内に設けられたリターン路内を、複数の鋼球２１９が循環している。 As shown in FIG. 6, a space between the recess 189 of the rail 185 and the recess 209 of the rail 205, the inside of the slider main body 155 and the no-load circuit 213 formed on the left side in FIG. And in a return path provided in an end cap (not shown) installed on the front end side (front side in the vertical direction of the paper surface in FIG. 6) and rear end side (rear side in the vertical direction of the paper surface in FIG. 6) of the slider body 155. A plurality of steel balls 215 circulate.
Similarly, the space between the recess 191 of the rail 187 and the recess 211 of the rail 207, the no-load circuit 217 formed on the right side in FIG. 6 inside the slider body 155, and the above A plurality of return paths provided in end caps (not shown) installed on the front end side (the front side in the vertical direction of the paper surface in FIG. 6) and the rear end side (the rear side in the vertical direction of the paper surface in FIG. 6) of the slider body 155 A steel ball 219 is circulating.

このような構成から、上記ボールネジ８１が回転されても、上記スライダ本体１５５、ひいては、ボールナット１４１の上記ボールネジ８１を中心とした回転が規制される。そのため、上記ボールネジ８１の回転により、上記ボールナット１４１、ひいては、スライダ５が上記ボールネジ８１の長さ方向（図５中左右方向）に移動されることになる。   With such a configuration, even when the ball screw 81 is rotated, the rotation of the slider main body 155 and consequently the ball nut 141 around the ball screw 81 is restricted. Therefore, the rotation of the ball screw 81 moves the ball nut 141 and, by extension, the slider 5 in the length direction of the ball screw 81 (the left-right direction in FIG. 5).

また、上記スライダ本体１５５の既に述べたシール部材３３とシール部材３７との間を貫通する部分の、先端側（図５中左側）と後端側（図５中右側）には、複数（先端側（図５中左側）と後端側（図５中右側）のそれぞれに２つずつ、合計４つ）のシール掻き分け部材２３１が設置されている。このシール掻き分け部材２３１によって、上記スライダ５の移動時に上記シール部材３３、３７を掻き分けることで、必要なシール機能を担保しつつ上記スライダ５の移動を円滑なものとしている。   In addition, there are a plurality of (front end) on the front end side (left side in FIG. 5) and rear end side (right side in FIG. 5) of the portion of the slider main body 155 penetrating between the seal member 33 and the seal member 37 already described. There are four seal scraping members 231 on the side (left side in FIG. 5) and the rear end side (right side in FIG. 5). By the seal separating member 231, the seal members 33 and 37 are separated when the slider 5 is moved, so that the slider 5 can be moved smoothly while ensuring a necessary sealing function.

また、図６に示すように、上記スライダ本体１５５には、既に述べた中央カバー２１によって貫通される貫通孔２３５が形成されている。この貫通孔２３５の内周面であって、上記中央カバー２１の図６中上側には中央カバー支持部材２３７が設置されており、上記中央カバー２１の図６中下側には中央カバー支持部材２３９が設置されている。この中央カバー支持部材２３７、２３９は上記中央カバー２１の撓みを防止するものである。   Further, as shown in FIG. 6, the slider body 155 has a through hole 235 that is penetrated by the already described center cover 21. A central cover support member 237 is installed on the inner peripheral surface of the through hole 235 on the upper side of the central cover 21 in FIG. 6, and on the lower side of the central cover 21 in FIG. 239 is installed. The center cover support members 237 and 239 prevent the center cover 21 from being bent.

図６に示すように、上記スライダ本体１５５の上側にはスライダプレート２４１が設置されている。図８や図９に示すように、上記スライダプレート２４１の側面側（図９中上側）にはエア供給継手２４３が設置されているとともに、スライダ５の進行方向前端側（図９中上側）及びスライダ５進行方向後端側（図９中下側）に、複数の（本実施の形態の場合は、先端側（図９中左側）と後端側（図９中右側）のそれぞれに２つずつ、合計４つ）の空気噴射部としてのノズル２４５が設置されている。   As shown in FIG. 6, a slider plate 241 is installed on the upper side of the slider body 155. As shown in FIGS. 8 and 9, an air supply joint 243 is installed on the side surface side (upper side in FIG. 9) of the slider plate 241, and the front end side in the moving direction of the slider 5 (upper side in FIG. 9) and There are two sliders 5 on the rear end side (lower side in FIG. 9) on each of a plurality (in the case of this embodiment, on the front end side (left side in FIG. 9) and rear end side (right side in FIG. 9). Nozzles 245 as a total of 4) air injection portions are installed.

そして、上記スライダプレート２４１内には上記エア供給継手２４３と上記ノズル２４５のそれぞれとを連絡する空気供給部２４７が形成されている。上記エア供給継手２４３には、図示しないチューブを介して、空気供給源としての図示しないコンプレッサが接続されている。上記図示しないコンプレッサから供給された空気は、上記空気供給部２４７を介して、上記ノズル２４５から噴射される。
また、上記ノズル２４５は、本実施の形態の場合は、その先端部（図９中右端又は左端）からスライダ５の進行方向（図９中右側又は左側）に向けて、放射状に空気を噴射するものである。 An air supply unit 247 is formed in the slider plate 241 to communicate the air supply joint 243 and each of the nozzles 245. A compressor (not shown) as an air supply source is connected to the air supply joint 243 via a tube (not shown). The air supplied from the compressor (not shown) is jetted from the nozzle 245 through the air supply unit 247.
Further, in the case of the present embodiment, the nozzle 245 radiates air radially from the tip portion (the right end or the left end in FIG. 9) toward the traveling direction of the slider 5 (the right side or the left side in FIG. 9). Is.

また、上記スライダプレート２４１は、図９に示すように、上記ノズル２４５が設置されるスライダプレート本体２４８ａと、上記エア供給継手２４３が設置される継手取付部２４８ｂとから構成されている。また、上記空気供給部２４７は、上記スライダプレート本体２４８ａ側に形成された空気供給路２４９ａと、上記継手取付部２４８ｂに形成された凹部２４９ｂが上記スライダプレート本体２４８ａの図９中右側の端面によって閉塞された空間２４９ｃとから構成されている。
また、上記継手取付部２４８ｂは、上記継手取付部２４８ｂを貫通し上記スライダプレート本体２４８ａに螺合される複数(本実施の形態の場合は２つ)のボルト２５０によって固定されている。 As shown in FIG. 9, the slider plate 241 includes a slider plate main body 248a where the nozzle 245 is installed and a joint mounting portion 248b where the air supply joint 243 is installed. Further, the air supply portion 247 includes an air supply passage 249a formed on the slider plate main body 248a side and a concave portion 249b formed on the joint mounting portion 248b by the right end surface in FIG. 9 of the slider plate main body 248a. And a closed space 249c.
The joint mounting portion 248b is fixed by a plurality of (two in this embodiment) bolts 250 that pass through the joint mounting portion 248b and are screwed into the slider plate body 248a.

なお、上記図示しないチューブとしては、一重のもののほか、耐スパッタ強度を高めるために、二重管や三重管等が用いられることが考えられる。
また、上記ノズル２４５の種類には様々なものがあり、それぞれ空気噴射の方向や形状が異なっている。例えば、上記ノズル２４５としては、下側に空気を噴射するようなものも考えられる。また、上記ノズル２４５として、例えば、広がらないように直線状に空気を噴射するようなものも考えられる。また、上記空気噴射の方向は、上記ノズル２４５の設置方向によっても、様々に設定される。 In addition to the single tube, a double tube or a triple tube may be used as the tube (not shown) in order to increase the spatter resistance.
There are various types of the nozzle 245, and the direction and shape of air injection are different. For example, the nozzle 245 may be one that injects air downward. Further, as the nozzle 245, for example, a nozzle that injects air in a straight line so as not to spread may be considered. Further, the direction of the air injection is variously set according to the installation direction of the nozzle 245.

また、図６に示すように、上記ノズル２４５は、既に述べたシール部材３３、３７の上方（図６中上側）に配置されており、上記シール部材３３、３７の長さ方向（図６中紙面垂直方向）に指向されている。そのため、上記ノズル２４５から噴射される空気によって、既に述べたシール掻き分け部材２３１によって掻き分けられた上記シール部材３３、３７間の隙間からハウジング３内部への異物の侵入を防止するように構成されている。また、既に、上記ハウジング３の上面（図６中上側の面）に図示しない異物が存在していても、スライダ５が接近した際、上記ノズル２４５からの空気噴射によって上記異物を排除する構成になっている。   Further, as shown in FIG. 6, the nozzle 245 is arranged above the seal members 33 and 37 (upper side in FIG. 6), and the length direction of the seal members 33 and 37 (in FIG. 6). It is oriented in the direction perpendicular to the page). Therefore, it is configured to prevent foreign matter from entering the inside of the housing 3 from the gap between the seal members 33 and 37 that have been scraped by the seal scraping member 231 already described by the air jetted from the nozzle 245. . Further, even if foreign matter (not shown) already exists on the upper surface (upper surface in FIG. 6) of the housing 3, when the slider 5 approaches, the foreign matter is removed by air injection from the nozzle 245. It has become.

また、図６に示すように、上記スライダプレート２４１の図６中上側には、搭載プレート２５１が設置されている。この搭載プレート２５１上に、既に述べた溶接機６等が設置される。
また、上記搭載プレート２５１の進行方向前端側（図９中左側）及び進行方向後端側（図９中右側）には、それぞれ、スクレーパ２５３が設置されている。このスクレーパ２５３は、例えば、樹脂製である。また、上記スクレーパ２５３は、上記スクレーパ２５３を貫通し、上記搭載プレート２５１に螺合される複数（本実施の形態の場合は、１つの上記スクレーパ２５３につき３つ）のボルト２５５によって固定されている。また、上記スクレーパ２５３については後述する。 As shown in FIG. 6, a mounting plate 251 is installed on the upper side of the slider plate 241 in FIG. On the mounting plate 251, the welding machine 6 and the like already described are installed.
Further, scrapers 253 are respectively installed on the front end side (left side in FIG. 9) and the rear end side (right side in FIG. 9) of the mounting plate 251. The scraper 253 is made of resin, for example. The scraper 253 passes through the scraper 253 and is fixed by a plurality of bolts 255 (three in the present embodiment, one for the scraper 253) that are screwed into the mounting plate 251. . The scraper 253 will be described later.

図５や図６に示すように、ハウジング３の上方には、カバー２６１が設置されている。このカバー２６１は、図６に示すように、略逆Ｕ字型の断面形状を成している。また、図２に示すように、その前端側（図２中左側）は、上記カバー２６１を貫通し端部カバー４１の上端側（図２中紙面垂直方向手前側）に螺合される複数（本実施の形態の場合は２つ）のボルト２６２によって固定されており、その後端側（図２中右側）は、上記カバー２６１を貫通し端部カバー４３の上端側（図２中紙面垂直方向手前側）に螺合される複数（本実施の形態の場合は２つ）のボルト２６２によって固定されている。また、上記カバー２６１は、スライダ５のスライダプレート２４１と搭載プレート２５１との間の隙間を貫通して設置されている。
また、図６に示すように、上記スライダプレート２４１の図６上側の面には、カバー支持部材２６３が設置されている。このカバー支持部材２６３は、上記カバー２６１の撓みを防止するものである。 As shown in FIGS. 5 and 6, a cover 261 is provided above the housing 3. As shown in FIG. 6, the cover 261 has a substantially inverted U-shaped cross-sectional shape. 2, the front end side (the left side in FIG. 2) passes through the cover 261 and is screwed to the upper end side (the front side in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 2) of the end cover 41. In this embodiment, two bolts 262 are fixed, and the rear end side (the right side in FIG. 2) penetrates the cover 261 and the upper end side of the end cover 43 (the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 2). It is fixed by a plurality of (two in the case of this embodiment) bolts 262 screwed to the front side. Further, the cover 261 is installed through a gap between the slider plate 241 of the slider 5 and the mounting plate 251.
Further, as shown in FIG. 6, a cover support member 263 is installed on the upper surface of the slider plate 241 in FIG. The cover support member 263 prevents the cover 261 from bending.

また、上記カバー２６１は、その表面にスパッタ付着防止表面処理としてのフッ素コーティング処理がされている。また、既に述べたスライダ５に設置されたスクレーパ２５３は、その図６中下側端面を、上記カバー２６１の図６中上側の面に近接させた状態で設置されている。そのため、上記スライダ５が移動されると、上記スクレーパ２５３によって、上記カバー２６１の図６中上側の面上に付着したスパッタが掻き取り・除去されるようになっている。   Further, the cover 261 is subjected to fluorine coating treatment as a sputter adhesion preventing surface treatment on the surface thereof. Further, the scraper 253 installed on the slider 5 already described is installed with its lower end surface in FIG. 6 being close to the upper surface of the cover 261 in FIG. Therefore, when the slider 5 is moved, the scraper 253 scrapes and removes the spatter adhering to the upper surface of the cover 261 in FIG.

また、例えば、図６に示すように、アクチュエータ１の側面側（図６中左右方向両側）においては、上記ハウジング３と上記カバー２６１との間に隙間がある。この隙間の上記スライダ５近傍については、上記スライダ５の幅方向両側（図６中左右方向両側）に設置された補助カバー２７１、２７１によって閉塞されている。これら補助カバー２７１、２７１も、その表面にスパッタ付着防止表面処理としてのフッ素コーティング処理が施されている。
以上が、本実施の形態によるアクチュエータ１の構成の説明である。 For example, as shown in FIG. 6, there is a gap between the housing 3 and the cover 261 on the side surface side of the actuator 1 (both sides in the left-right direction in FIG. 6). The vicinity of the slider 5 in the gap is closed by auxiliary covers 271 and 271 installed on both sides in the width direction of the slider 5 (both sides in the left and right direction in FIG. 6). These auxiliary covers 271 and 271 are also subjected to a fluorine coating treatment as a surface treatment for preventing spatter adhesion.
The above is the description of the configuration of the actuator 1 according to the present embodiment.

次に、本実施の形態によるアクチュエータ１の作用について説明する。
まず、モータ１１３に電力を供給し、その出力軸１１７を正転又は逆転させると、モータ側プーリ１３１、動力伝達ベルト１３７、及び、ボールネジ側プーリ１０１を介して、ボールネジ８１が回転される。これにより、上記ボールネジ８１に螺合されたボールナット１４１ひいてはスライダ５が、上記アクチュエータ１の長さ方向（例えば、図５中左右方向）両側の何れかに移動される。 Next, the operation of the actuator 1 according to this embodiment will be described.
First, when electric power is supplied to the motor 113 and the output shaft 117 is rotated forward or backward, the ball screw 81 is rotated via the motor-side pulley 131, the power transmission belt 137, and the ball screw-side pulley 101. As a result, the ball nut 141 and the slider 5 screwed to the ball screw 81 are moved to either side of the length direction of the actuator 1 (for example, the left-right direction in FIG. 5).

上記スライダ５上には、例えば、溶接機６が設置されており、溶接作業が行われる。この溶接作業により、例えば、高温のスパッタなどが発生する。このスパッタには、比較的大きな粒状のスパッタや塊状のスパッタと、細かい霧状のスパッタとがある。
そして、上記粒状のスパッタや塊状のスパッタは上記アクチュエータ１上に落下する。しかし、上記アクチュエータ１にはカバー２６１が設置されており、これによりハウジング３内部への上記粒状のスパッタや塊状のスパッタの侵入が防止される。 On the slider 5, for example, a welding machine 6 is installed, and a welding operation is performed. By this welding operation, for example, high-temperature spatter is generated. The sputter includes a relatively large granular spatter and a lump spatter and a fine mist spatter.
The granular spatter and lump spatter fall on the actuator 1. However, the actuator 1 is provided with a cover 261, which prevents the granular spatter and massive spatter from entering the housing 3.

また、上記粒状のスパッタや塊状のスパッタは、上記アクチュエータ１のカバー２６１の上側の面（例えば、図５中上側の面）に落下する。上記カバー２６１にはスパッタ付着防止表面処理としてのフッ素コーティング処理が施されており、上記粒状のスパッタや塊状のスパッタは上記カバー２６１に付着しにくい。   Further, the granular spatter and the lump spatter fall on the upper surface of the cover 261 of the actuator 1 (for example, the upper surface in FIG. 5). The cover 261 is subjected to a fluorine coating treatment as a spatter adhesion preventing surface treatment, and the granular spatter and the lump spatter are less likely to adhere to the cover 261.

また、上記スライダ５が移動される際には、上記カバー２６１の上方(例えば、図５中上側)であって、上記スライダ５の進行方向両側（例えば、図５中左右方向両側）に設置されたスクレーパ２５３、２５３によって、上記カバー２６１上の上記粒状のスパッタや塊状のスパッタが掻き取り・除去される。   When the slider 5 is moved, the slider 5 is installed above the cover 261 (for example, the upper side in FIG. 5) and on both sides in the moving direction of the slider 5 (for example, both sides in the left-right direction in FIG. 5). The scrapers 253 and 253 scrape and remove the granular spatter and lump spatter on the cover 261.

また、上記細かい霧状のスパッタは、塵埃と共に上記アクチュエータ１周辺の雰囲気中を漂っている。上記カバー２６１とハウジング３との間の隙間からの上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入は、上記カバー２６１の下方（例えば、図５中下側）の上記スライダ５の進行方向両側（例えば、図５中左右方向両側）に備えられた複数（本実施の形態の場合は、先端側（図５中左側）と後端側（図５中右側）のそれぞれに２つずつ、合計４つ）のノズル２４５からの空気噴射によって防止される。これらノズル２４５からの空気噴射は、図示しないコンプレッサ、チューブや、エア供給継手２４３及び空気供給部２４７を介して供給される空気によって行われる。   Further, the fine mist-like spatter floats in the atmosphere around the actuator 1 together with dust. The fine mist-like spatter or dust intrusion from the gap between the cover 261 and the housing 3 is caused by both sides of the slider 5 in the traveling direction below the cover 261 (for example, the lower side in FIG. 5) (for example, 5 provided in both the left and right directions in FIG. 5 (in the case of this embodiment, two on each of the front end side (left side in FIG. 5) and the rear end side (right side in FIG. 5), a total of four) This is prevented by the air injection from the nozzle 245 of the nozzle. Air injection from these nozzles 245 is performed by air supplied through a compressor, a tube, an air supply joint 243 and an air supply unit 247 (not shown).

また、本実施の形態の場合、上記ノズル２４５によって、上記スライダ５の進行方向両側（例えば、図５中左右方向両側）に放射状に空気が噴射される。この放射状の空気噴射が上記ハウジング３の幅方向両端部（図６中左右方向両端部）まで達し、これにより、上記カバー２６１とハウジング３との間の隙間からの上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入が防止される。
なお、上記ノズル２４５よる空気噴射の形状や方向は、上記ノズル２４５の種類によってさまざまな場合が考えられる。また、上記空気噴射の方向は、上記ノズル２４５の設置方向によっても、様々に設定される。 Further, in the case of the present embodiment, air is radially ejected by the nozzle 245 to both sides of the slider 5 in the traveling direction (for example, both sides in the left-right direction in FIG. 5). The radial air injection reaches both end portions in the width direction of the housing 3 (both end portions in the left-right direction in FIG. 6), and thereby the fine mist-like spatter and dust from the gap between the cover 261 and the housing 3. Intrusion is prevented.
Note that the shape and direction of air injection by the nozzle 245 may vary depending on the type of the nozzle 245. Further, the direction of the air injection is variously set according to the installation direction of the nozzle 245.

また、上記スライダ５のシール掻き分け部材２３１によって上記シール部材３３、３７が掻き分けられ、上記シール部材３３、３７間に隙間が生じることになるが、この隙間を介した上記ハウジング３内への上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入も、上記ノズル２４５からの空気噴射によって防止される。上記ノズル２４５はシール部材３３、３７の上方（図６中上側）において、上記シール部材３３、３７の長さ方向（図６中紙面垂直方向）に指向されて配置されているからである。   In addition, the seal members 33 and 37 are separated by the seal separating member 231 of the slider 5, and a gap is generated between the seal members 33 and 37. Misty spatter and dust intrusion are also prevented by air injection from the nozzle 245. This is because the nozzle 245 is disposed above the seal members 33 and 37 (upper side in FIG. 6) and oriented in the length direction of the seal members 33 and 37 (perpendicular to the paper surface in FIG. 6).

また、上記ハウジング３のカバー２６１側の面（例えば、図５中上側の面）上に既に上記細かい霧状のスパッタや塵埃が存在していた場合であっても、上記スライダ５が接近した際、上記ノズル２４５からの空気噴射により上記細かい霧状のスパッタや塵埃が排除される。   Further, even when the fine mist-like spatter or dust already exists on the cover 261 side surface of the housing 3 (for example, the upper surface in FIG. 5), when the slider 5 approaches The fine mist-like spatter and dust are eliminated by the air jet from the nozzle 245.

また、上記ハウジング３内は、図示しないコンプレッサ、図示しないチューブ、及び、エア供給継手２５を介して供給される空気によって加圧される。これによっても、上記ハウジング内３への上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入を防止している。   The inside of the housing 3 is pressurized by air supplied via a compressor (not shown), a tube (not shown), and an air supply joint 25. This also prevents the fine mist-like spatter and dust from entering the housing 3.

また、上記スライダ５近傍においては、上記スライダ５の幅方向両側（例えば、図５中左右方向両側）に設置された補助カバー２７１、２７１によっても、上記ハウジング３と上記カバー２６１との間の隙間を介した上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入が防止される。
以上が、本実施の形態におけるアクチュエータ１の作用についての説明である。 Further, in the vicinity of the slider 5, a gap between the housing 3 and the cover 261 is also provided by auxiliary covers 271 and 271 installed on both sides in the width direction of the slider 5 (for example, both sides in the left and right direction in FIG. 5). The above fine mist-like spatter and dust can be prevented from entering.
The above is description about the effect | action of the actuator 1 in this Embodiment.

次に、本実施の形態におけるアクチュエータ１の効果について説明する。
まず、スライダ５の進行方向両側（例えば、図５中左右方向両側）それぞれには、シール部材３３、３７の上方（図６中上側）にノズル２４５が設置されている。そのため、これらノズル２４５からの空気噴射により、上記シール部材３３、３７間の隙間からのハウジング３内への細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入を防止することができる。 Next, the effect of the actuator 1 in the present embodiment will be described.
First, nozzles 245 are installed above the seal members 33 and 37 (upper side in FIG. 6) on both sides of the slider 5 in the traveling direction (for example, both sides in the left and right direction in FIG. 5). For this reason, air injection from the nozzles 245 can prevent fine mist-like spatter and dust from entering the housing 3 from the gap between the seal members 33 and 37.

また、上記ハウジング３のカバー２６１側の面（例えば、図５中上側の面）上に既に上記細かい霧状のスパッタや塵埃が存在していた場合であっても、上記スライダ５が接近した際、上記ノズル２４５からの空気噴射により上記細かい霧状のスパッタや塵埃を排除することができる。
また、上記ノズル２４５からの空気噴射は放射状であり、上記ハウジング３の幅方向両端部（図６中左右方向両端部）まで達するため、上記ノズル２４５からの空気噴射により上記カバー２６１と上記ハウジング３との間の隙間を介した上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入を防止することができる。 Further, even when the fine mist-like spatter or dust already exists on the cover 261 side surface of the housing 3 (for example, the upper surface in FIG. 5), when the slider 5 approaches The fine mist-like spatter and dust can be eliminated by air injection from the nozzle 245.
Further, since the air jet from the nozzle 245 is radial and reaches both ends in the width direction of the housing 3 (both ends in the left-right direction in FIG. 6), the cover 261 and the housing 3 are blown by the air jet from the nozzle 245. The fine mist-like spatter and dust can be prevented from entering through the gap between the two.

また、上記スライダ５の幅方向両側（図６中左右方向両側）には補助カバー２７１、２７１が設置されている。そのため、上記スライダ５近傍においては、上記補助カバー２７１、２７１によっても、上記カバー２６１と上記ハウジング３との間の隙間を介した上記細かい霧状のスパッタや塵埃の異物の侵入を防止することができる。   Further, auxiliary covers 271 and 271 are installed on both sides in the width direction of the slider 5 (both sides in the left and right direction in FIG. 6). Therefore, in the vicinity of the slider 5, the auxiliary covers 271 and 271 can also prevent the fine mist-like spatter and dust foreign matter from entering through the gap between the cover 261 and the housing 3. it can.

また、上記ノズル２４５からの空気噴射は、図示しないコンプレッサから、図示しないチューブ、エア供給継手２４３、及び、スライダプレート２４１内の空気供給部２４７を介して供給される空気によって行われる。そのため、上記アクチュエータ１とは別体として設けられた上記図示しないコンプレッサから空気の供給を受けることで、上記ノズル２４５からの空気噴射を安定して行うことができる。   Air injection from the nozzle 245 is performed by air supplied from a compressor (not shown) through a tube (not shown), an air supply joint 243, and an air supply unit 247 in the slider plate 241. Therefore, the air injection from the nozzle 245 can be stably performed by receiving the supply of air from the compressor (not shown) provided separately from the actuator 1.

また、上記空気噴射は上記ノズル２４５によって行われるため、効果的な空気噴射により上記ハウジング３内への上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入を防止することができる。
また、上記ノズル２４５として、噴射方向や噴射の形状が異なる複数種類のノズルがあり、これら複数種類のノズルを使い分けることで、様々な状況に対応することができる。 Further, since the air injection is performed by the nozzle 245, the fine mist-like spatter and dust can be prevented from entering the housing 3 by effective air injection.
Further, as the nozzle 245, there are a plurality of types of nozzles having different injection directions and injection shapes, and various types of nozzles can be used appropriately to cope with various situations.

また、上記ハウジング３内は、図示しないコンプレッサ、図示しないチューブ、及び、エア供給継手２５を介して供給される空気によって加圧されているため、これによっても、上記ハウジング内３への上記細かい霧状のスパッタや塵埃の侵入を防止することができる。   Moreover, since the inside of the housing 3 is pressurized by air supplied through a compressor (not shown), a tube (not shown), and an air supply joint 25, the fine mist into the housing 3 also by this. Intrusion of the spatter and dust can be prevented.

また、上記アクチュエータ１にはカバー２６１が設置されているため、これにより、上記ハウジング３内への粒状のスパッタや塊状のスパッタの侵入を防止することができる。   Further, since the actuator 1 is provided with the cover 261, it is possible to prevent the granular spatter and the lump spatter from entering the housing 3.

また、上記スライダ５には、その進行方向前端側（図９中左側）及び進行方向後端側（図９中右側）に、それぞれ、スクレーパ２５３が設置されている。そのため、上記スライダ５が移動される際、上記スクレーパ２５３によって、上記カバー２６１上の上記粒状のスパッタや塊状のスパッタを掻き取り・除去することができる。   The slider 5 is provided with scrapers 253 on the front end side in the traveling direction (left side in FIG. 9) and the rear end side in the traveling direction (right side in FIG. 9). Therefore, when the slider 5 is moved, the scraper 253 can scrape and remove the granular spatter and lump spatter on the cover 261.

上記カバー２６１や上記補助カバー２７１にはスパッタ付着防止表面処理としてのフッ素コーティング処理が施されているため、上記カバー２６１や上記補助カバー２７１に上記粒状のスパッタや塊状のスパッタ、又は、上記細かい霧状のスパッタや塵埃が付着しにくくし、その機能を長期にわたって維持させることができる。   Since the cover 261 and the auxiliary cover 271 are subjected to a fluorine coating treatment as a surface treatment for preventing spatter adhesion, the granular spatter, massive spatter, or fine mist is applied to the cover 261 and the auxiliary cover 271. It is difficult for spatter and dust to adhere, and the function can be maintained for a long time.

また、以上述べたような構成により、上記ハウジング３内への上記粒状のスパッタ、塊状のスパッタ、上記細かい霧状のスパッタ、及び、塵埃の侵入を防止できる。そのため、例えば、蛇腹などのような、上記スライダ５の移動の際に変形されたり、高温の環境下に置かれたりすることにより劣化しやすい部材を用いる必要がなく、上記アクチュエータ１の機能を長期にわたって維持することができる。また、そのため、上記アクチュエータ１をメンテナンスが容易で、運用コストが安価なものとすることができる。
以上が、本発明の第１の実施の形態の説明である。 Further, with the configuration as described above, it is possible to prevent the granular spatter, lump spatter, fine mist spatter, and dust from entering the housing 3. Therefore, for example, there is no need to use a member that is deformed when the slider 5 is moved, such as a bellows, or is placed in a high temperature environment, and the function of the actuator 1 can be extended for a long time. Can be maintained over time. For this reason, the actuator 1 can be easily maintained and the operation cost can be reduced.
The above is the description of the first embodiment of the present invention.

次に、図１０及び図１１を参照しながら、本発明の第２の実施の形態について説明する。
図１０や図１１に示すように、本実施の形態によるアクチュエータ３０１は、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様の構成であるが、設置される向きが異なっている。すなわち、上記アクチュエータ３０１は、カバー２６１とハウジング３との間の隙間が、上面側(図１０中上側)と底面側（図１０中下側）に指向されるように設置される。
また、上記アクチュエータ３０１は、モータケース１１１やモータ１１３等の設置される位置が、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１とは異なっている。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 10 and FIG. 11, the actuator 301 according to the present embodiment has the same configuration as the actuator 1 according to the first embodiment described above, but the installation direction is different. That is, the actuator 301 is installed so that the gap between the cover 261 and the housing 3 is directed to the upper surface side (upper side in FIG. 10) and the bottom surface side (lower side in FIG. 10).
The actuator 301 is different from the actuator 1 according to the first embodiment described above in the positions where the motor case 111 and the motor 113 are installed.

また、上記アクチュエータ３０１には、溶接機３０３が設置されている。この溶接機３０３は、上記アクチュエータ３０１のスライダ５に設置される溶接機本体３０５と、この溶接機本体３０５に対して図１０中上下方向の回転軸を中心に回転可能なアーム３０７と、このアーム３０７の先端側（図１０中上端側）に設置され上記アーム３０７に直交する方向の回転軸を中心に回転可能な溶接ノズル３０９とから構成されている。
なお、上記溶接機３０３の代わりに、前述した第１の実施の形態における溶接機６のような構成の溶接機を設置することもできる。 The actuator 301 is provided with a welding machine 303. The welding machine 303 includes a welding machine main body 305 installed on the slider 5 of the actuator 301, an arm 307 that can rotate around the rotation axis in the vertical direction in FIG. The welding nozzle 309 is installed on the distal end side (upper end side in FIG. 10) of 307 and is rotatable about a rotation axis in a direction orthogonal to the arm 307.
Instead of the welding machine 303, a welding machine having a configuration similar to the welding machine 6 in the first embodiment described above may be installed.

本実施の形態によるアクチュエータ３０１も、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様の作用・効果を奏する。
また、上記アクチュエータ３０１は、図１１に示すように、カバー２６１とハウジング３との間の隙間が、上面側(図１１中上側)と底面側（図１１中下側）に指向されるように設置されるため、上面側（図１１中上側）から上記カバー２６１と上記ハウジング３との間の空間に侵入した粒状のスパッタや塊状のスパッタは、そのまま底面側（図１１中下側）の上記カバー２６１とハウジング３との間の隙間から上記アクチュエータ３０１の下側へと落下していくことになる。そのため、このことによっても、上記ハウジング３内への上記粒状のスパッタや塊状のスパッタの侵入を防止することができる。 The actuator 301 according to the present embodiment also has the same operations and effects as the actuator 1 according to the first embodiment described above.
In addition, as shown in FIG. 11, the actuator 301 is configured such that the gap between the cover 261 and the housing 3 is directed to the upper surface side (upper side in FIG. 11) and the bottom surface side (lower side in FIG. 11). Therefore, the granular spatter and the lump spatter that have entered the space between the cover 261 and the housing 3 from the upper surface side (upper side in FIG. 11) are directly on the bottom side (lower side in FIG. 11). It falls from the gap between the cover 261 and the housing 3 to the lower side of the actuator 301. For this reason, it is also possible to prevent the granular spatter and the lump spatter from entering the housing 3.

なお、本実施の形態の説明においては、上記アクチュエータ３０１の構成要素については、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１の構成要素と同じ符号を付し、その説明を省略した。   In the description of the present embodiment, constituent elements of the actuator 301 are denoted by the same reference numerals as those of the actuator 1 according to the first embodiment described above, and the description thereof is omitted.

次に、図１２及び図１３を参照しながら、本発明の第３の実施の形態について説明する。
本実施の形態によるアクチュエータ４０１は、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１と略同様の構成であるが、カバー２６１と補助カバー２７１が設置されていない。
また、上記アクチュエータ４０１は、上記スライダ５上に、例えば、図示しない把持ロボットが設置された状態で使用される。 Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
The actuator 401 according to the present embodiment has substantially the same configuration as the actuator 1 according to the first embodiment described above, but the cover 261 and the auxiliary cover 271 are not installed.
The actuator 401 is used in a state where, for example, a gripping robot (not shown) is installed on the slider 5.

上記アクチュエータ４０１は、前述したように、第１の実施の形態におけるアクチュエータ１のようなカバー２６１や補助カバー２７１、２７１は設置されていないものの、ノズル２４５からの空気噴射により、ハウジング３内への塵埃などの侵入を防止することができる。
なお、本実施の形態の説明においても、上記アクチュエータ４０１の構成要素については、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１の構成要素と同じ符号を付し、その説明を省略した。 As described above, the actuator 401 is not provided with the cover 261 and the auxiliary covers 271 and 271 like the actuator 1 in the first embodiment, but the air is injected from the nozzle 245 into the housing 3. Intrusion of dust and the like can be prevented.
Also in the description of the present embodiment, the constituent elements of the actuator 401 are denoted by the same reference numerals as those of the actuator 1 according to the first embodiment described above, and the description thereof is omitted.

次に、図１４を参照しながら、本発明の第４の実施の形態について説明する。
本実施の形態によるアクチュエータ５０１は、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様に、ハウジング５０３と、このハウジング５０３に沿って長さ方向（図１４中左下から右上に向かう方向)両側に移動可能なスライダ５がある。 Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
The actuator 501 according to the present embodiment is similar to the actuator 1 according to the first embodiment described above on the housing 503 and on both sides in the length direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 14) along the housing 503. There is a movable slider 5.

上記ハウジング５０３の後端側（図１４中右上側）にはモータユニット５０７が設置されている。このモータユニット５０７内には図示しないモータが設置されている。また、上記ハウジング５０３内には、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１におけるボールネジ８１やボールナット１４１と同様の、図示しないボールネジ・ボールナット機構があり、このボールネジ・ボールナット機構は図示しないモータによって駆動される。
そして、上記ボールネジ・ボールナット機構により上記スライダ５０５の移動が行われる。 A motor unit 507 is installed on the rear end side of the housing 503 (upper right side in FIG. 14). A motor (not shown) is installed in the motor unit 507. The housing 503 includes a ball screw / ball nut mechanism (not shown) similar to the ball screw 81 and the ball nut 141 in the actuator 1 according to the first embodiment described above, and this ball screw / ball nut mechanism is not shown. It is driven by a motor.
The slider 505 is moved by the ball screw / ball nut mechanism.

また、上記ハウジング５０３の上面側（図１４中上側）の中央には、長さ方向（図１４中左下から右上に向かう方向)に延長された開口部５０９がある。この開口部５０９は、上記スライダ５０５によって貫通されている。また、上記開口部５０９は、ステンレスシート５１１によって閉塞されている。このステンレスシート５１１は、その長さ方向（図１４中左下から右上に向かう方向)両端側を上記ハウジング５０３の長さ方向（図１４中左下から右上に向かう方向)両端側に固定されている。また、上記ステンレスシート５１１は、湾曲可能であり、上記スライダ５０５内に形成された空間を貫通して設置されている。   An opening 509 extending in the length direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 14) is provided at the center of the upper surface side (the upper side in FIG. 14) of the housing 503. The opening 509 is penetrated by the slider 505. The opening 509 is closed by a stainless sheet 511. The stainless sheet 511 is fixed at both ends in the length direction (from the lower left to the upper right in FIG. 14) at both ends in the length direction of the housing 503 (from the lower left to the upper right in FIG. 14). The stainless steel sheet 511 can be bent and is installed through a space formed in the slider 505.

そして、上記スライダ５０５の進行方向（図１４中左下から右上に向かう方向)両側には、複数の（本実施の形態の場合は、先端側（図１４中左下側）と後端側（図１４中右上側）のそれぞれに２つずつ、合計４つ）の空気噴射部としてのノズル５１５が設置されている。
これらノズル５１５からは、前述した第１の実施の形態によるアクチュエータ１のノズル２４５と同様、図示しないコンプレッサにより供給された空気が噴射される。 A plurality of (in the case of the present embodiment, a front end side (lower left side in FIG. 14) and a rear end side (FIG. 14) are provided on both sides of the slider 505 in the traveling direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 14). Two nozzles 515 as a total of 4) air injection portions are installed on each of the middle right side).
From these nozzles 515, air supplied by a compressor (not shown) is ejected in the same manner as the nozzle 245 of the actuator 1 according to the first embodiment described above.

また、上記アクチュエータ５０１も、上記スライダ５０５上に、例えば、図示しない把持ロボットが設置された状態で使用される。   The actuator 501 is also used in a state where, for example, a gripping robot (not shown) is installed on the slider 505.

本実施の形態によるアクチュエータ５０１も、ノズル５１５からの空気噴射により、開口部５０９を介したハウジング５０３内への塵埃などの侵入を防止することができる。   The actuator 501 according to this embodiment can also prevent dust and the like from entering the housing 503 through the opening 509 by air injection from the nozzle 515.

本発明は、前述した第１〜第４の実施の形態に限定されない。
例えば、上記ノズル２４５や上記ノズル５１５の個数には、様々な場合が考えられる。
また、空気噴射部はノズルに限定されるものではなく、例えば、スライダに設けられた噴射孔のようなものでも良い。この場合、上記噴射孔の開口部付近の角度や形状によって、空気が噴射される角度や形状を様々に設定することも考えられる。
又、前記第１〜第４の実施の形態の場合には、空気噴射部をスライダの進行方向両端に設けた例を挙げて説明したが、それに限定されるものではなく、スライダの上面であって両端部に斜め下向きに指向させた状態で空気噴射部を設ける場合等、空気噴射部の位置、個数、向き等については様々なものが想定される。 The present invention is not limited to the first to fourth embodiments described above.
For example, various cases can be considered for the number of the nozzles 245 and the nozzles 515.
Further, the air injection unit is not limited to the nozzle, and may be an injection hole provided in the slider, for example. In this case, it is also conceivable to set various angles and shapes of air to be ejected depending on the angles and shapes in the vicinity of the opening of the injection hole.
Further, in the case of the first to fourth embodiments, the example in which the air injection portions are provided at both ends in the moving direction of the slider has been described. However, the present invention is not limited to this, and the upper surface of the slider is used. For example, when the air injection unit is provided in a state in which both ends are directed obliquely downward, various positions, numbers, directions, and the like of the air injection unit are assumed.

また、カバー２６１や補助カバー２７１の表面処理としては、異物の付着を防ぐことができるものであれば、様々な種類のものが考えられる。
また、スクレーパ２５３の材質や取付位置は、前記第１〜第３の実施の形態に限定されない。例えば、上記スクレーパ２５３を上記空気噴射部の下側に設置する場合も考えられる。
また、上記アクチュエータ１はモータ１１３によって駆動されるものであるが、例えば、空気圧・油圧などのその他の方式によって駆動される場合も考えられる。 Further, as the surface treatment of the cover 261 and the auxiliary cover 271, various types can be considered as long as they can prevent the adhesion of foreign matters.
Further, the material and the mounting position of the scraper 253 are not limited to the first to third embodiments. For example, the scraper 253 may be installed below the air injection unit.
The actuator 1 is driven by the motor 113. However, for example, the actuator 1 may be driven by other methods such as air pressure and hydraulic pressure.

本発明は、例えば、溶接機などが搭載されるアクチュエータに関し、特に、溶接時に発生するスパッタ、塵埃などの異物がアクチュエータの内部に侵入しないようにするとともに、長期にわたってその機能を維持することができるように工夫したものに関し、特に、金属製品の生産ラインに用いられるアクチュエータに好適である。   The present invention relates to an actuator on which, for example, a welding machine is mounted, and in particular, foreign substances such as spatter and dust generated during welding can be prevented from entering the inside of the actuator, and its function can be maintained over a long period of time. In particular, it is suitable for an actuator used in a metal product production line.

１ アクチュエータ
３ ハウジング
５ スライダ
６ 溶接機
２４５ ノズル（空気噴射部）
２４７ 空気供給部
２５３ スクレーパ
２６１ カバー
２７１ 補助カバー
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Actuator 3 Housing 5 Slider 6 Welding machine 245 Nozzle (air injection part)
247 Air supply unit 253 Scraper 261 Cover 271 Auxiliary cover

Claims (12)

ハウジングと、上記ハウジングに沿って移動可能に設置されたスライダと、上記ハウジングに設けられ上記スライダを駆動する駆動手段と、上記スライダに設けられ空気を噴射する空気噴射部と、を具備したことを特徴とするアクチュエータ。 A housing, a slider installed so as to be movable along the housing, a drive unit provided in the housing for driving the slider, and an air injection unit provided in the slider for injecting air. Characteristic actuator. 請求項１記載のアクチュエータにおいて、
上記空気噴射部は上記スライダの移動方向両端に設けられていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 1, wherein
The actuator according to claim 1, wherein the air ejecting portions are provided at both ends of the slider in the moving direction. 請求項１又は請求項２記載のアクチュエータにおいて、
上記スライダ内には空気供給部が設けられており、空気供給源より供給される空気はこの空気供給部を介して上記空気噴射部に供給されて噴射されるものであることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 1 or 2,
An actuator is provided, wherein an air supply unit is provided in the slider, and air supplied from an air supply source is supplied to the air injection unit via the air supply unit and is injected. . 請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記スライダは上記ハウジングを貫通しており、上記空気噴射部は上記貫通している部位に指向・配置されていることを特徴とするアクチュエータ。 In the actuator according to any one of claims 1 to 3,
The actuator is characterized in that the slider penetrates the housing, and the air ejecting portion is directed and arranged in the penetrating portion. 請求項１〜請求項４の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記空気噴射部はノズルであることを特徴とするアクチュエータ。 In the actuator according to any one of claims 1 to 4,
The actuator according to claim 1, wherein the air injection unit is a nozzle. 請求項５記載のアクチュエータにおいて、
上記ノズルには噴射方向が異なる複数種類があり、任意の噴射方向のノズルが選択・固定されるものであることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 5, wherein
There is a plurality of types of nozzles having different ejection directions, and an nozzle having an arbitrary ejection direction is selected and fixed. 請求項１〜請求項６の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記ハウジングの上記スライダが配置されている側はカバーによって覆われていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to any one of claims 1 to 6,
The actuator is characterized in that a side of the housing on which the slider is disposed is covered with a cover. 請求項７記載のアクチュエータにおいて、
上記スライダには上記カバーと上記ハウジングとの間の開口部を覆う補助カバーが設けられていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 7, wherein
An actuator, wherein the slider is provided with an auxiliary cover that covers an opening between the cover and the housing. 請求項７又は請求項８記載のアクチュエータにおいて、
上記カバーにはスパッタ付着防止表面処理が施されていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 7 or claim 8,
An actuator characterized in that a spatter adhesion preventing surface treatment is applied to the cover. 請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記スライダの移動方向両端にはスクレーパが取り付けられていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to any one of claims 1 to 9,
An actuator characterized in that scrapers are attached to both ends of the slider in the moving direction. 請求項１〜請求項１０の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記ハウジング内は加圧されていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to any one of claims 1 to 10,
An actuator characterized in that the inside of the housing is pressurized. 請求項１〜請求項１１の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記スライダには溶接機が搭載されていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 1 to 11,
An actuator characterized in that a welding machine is mounted on the slider.
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