JP5968732B2 - Actuator - Google Patents

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Description

本発明は、例えば、産業用ロボットに用いられるアクチュエータに係り、特に、モータを含んだアクチュエータ本体をハウジング内に内装し、且つ、ハウジングを構成するハウジング本体と該ハウジング本体の両端開口部を閉塞するフロントカバとリアカバとの間にシール部材を介挿して、組立・分解を容易に行うことができると共に、防塵・防水性能を高めるように工夫したものに関する。   The present invention relates to an actuator used in, for example, an industrial robot, and in particular, an actuator main body including a motor is housed in a housing, and the housing main body constituting the housing and both end openings of the housing main body are closed. The present invention relates to a device in which a seal member is interposed between a front cover and a rear cover so that assembly and disassembly can be easily performed, and the dust and waterproof performance is improved.

従来のアクチュエータ、例えば、リニアアクチュエータを開示するものとして、例えば、特許文献1がある。この特許文献1に開示されているリニアアクチュエータは次のような構成になっている。まず、ケースがあり、このケース内にはモータが内装されている。また、ケース内には、モータによって回転される中空状回転軸も内装されている。この中空状回転軸内にはネジナットが固着されていて、このネジナットには出力用ネジ軸が螺合・配置されている。
よって、上記モータが回転することにより上記中空状回転軸が回転され、この中空状回転軸の回転によってネジナットも一体的に回転される。このネジナットの回転によって上記出力用ネジ軸がその長さ方向両側に直線運動することになる。
また、上記ケースの両端の開口部はエンドプレートによってそれぞれ固着・閉塞されている。
For example, Patent Document 1 discloses a conventional actuator, for example, a linear actuator. The linear actuator disclosed in Patent Document 1 has the following configuration. First, there is a case, and a motor is built in this case. A hollow rotating shaft that is rotated by a motor is also provided in the case. A screw nut is fixed inside the hollow rotary shaft, and an output screw shaft is screwed and arranged on the screw nut.
Therefore, when the motor rotates, the hollow rotating shaft is rotated, and the screw nut is also rotated integrally by the rotation of the hollow rotating shaft. The rotation of the screw nut causes the output screw shaft to linearly move on both sides in the length direction.
The openings at both ends of the case are fixed and closed by end plates.

特許第4918234号公報Japanese Patent No. 4918234

しかし、従来の構成では、次のような問題があった。
まず、前述したリニアアクチュエータにおいては、エンドプレートがケースの両端に対して固着されている。固着の方法としては、例えば、接着剤の使用が考えられるが、仮に、接着剤による固着の場合には、リニアアクチュエータの組立・分解が困難になってしまうという問題があった。
また、接着剤による固着の場合には、別途シール部材を介在させることはなく、専ら、接着剤のみによってシール性能を得ることになる。しかしながら、接着剤のみで所望のシール性能を得ることは困難であった。
However, the conventional configuration has the following problems.
First, in the linear actuator described above, end plates are fixed to both ends of the case. For example, an adhesive may be used as the fixing method. However, in the case of fixing with an adhesive, there is a problem that assembly / disassembly of the linear actuator becomes difficult.
Further, in the case of fixing with an adhesive, a sealing member is not interposed separately, and the sealing performance is obtained solely by the adhesive. However, it has been difficult to obtain a desired sealing performance using only an adhesive.

本発明は、このような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、容易に組立・分解を行うことができ、且つ、防塵・防水性能を高めることが可能なアクチュエータを提供することにある。   The present invention has been made based on such points, and an object of the present invention is to provide an actuator that can be easily assembled and disassembled and that can improve dustproof and waterproof performance. There is.

上記課題を解決するべく請求項1に記載されたアクチュエータは、両端にフロント開口部とリア開口部を備えたハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバと、からなるハウジングと、上記ハウジング本体内に内装され、モータと、該モータにより回転される駆動用ネジと、該駆動用ネジに螺合されるナットと、該ナットに固着され上記フロントカバを貫通して上記ハウジング外部へその一部を突出され上記駆動用ネジの回転により進退するロッドと、からなるアクチュエータ本体と、上記フロントカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたフロントカバ用シール部材と、上記リアカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたリアカバ用シール部材と、を具備し、上記フロントカバは、フロントブラケットと、該フロントブラケットの軸方向内側に配置された軸受ブラケットと、から構成されており、上記フロントブラケットと軸受ブラケットとの間にはグリス溜りが設けられていて、上記フロントブラケットは上記ハウジング本体側に固定用ネジ部材により締結・固定され、上記軸受ブラケットは上記アクチュエータ本体側に固定用ネジ部材により締結・固定され、上記リアカバは上記ハウジング本体側に固定用ネジ部材により締結・固定されることを特徴とするものである。
また、請求項2に記載されたアクチュエータは、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバの上記ロッドの貫通部にはロッド用シール部材が設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項3に記載されたアクチュエータは、請求項2記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材として、ハウジング外部側に設けられた第1ロッド用シール部材と、ハウジング内部側に設けられた第2ロッド用シール部材とが設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項4に記載されたアクチュエータは、請求項2又は請求項3記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材は上記フロントブラケット側に設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項5に記載されたアクチュエータは、請求項2〜請求項4の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドの外表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするものである。
また、請求項6に記載されたアクチュエータは、請求項5記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドに施された表面硬化処理は硬質クロムメッキであることを特徴とするものである。
また、請求項7に記載されたアクチュエータは、請求項2〜請求項4の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材の少なくとも内表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするものである。
また、請求項8に記載されたアクチュエータは、請求項記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材に施された表面硬化処理はDLC(Diamond Like Carbon)コーティングであることを特徴とするものである。
また、請求項9に記載されたアクチュエータは、請求項1〜請求項の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記アクチュエータ本体はハウジング本体の外側から固定用ネジ部材を螺合することによりハウジング本体に固定されていて、上記固定用ネジ部材の上記ハウジング本体の貫通部にはハウジング用シール部材が設置されていることを特徴とするものである。
また、請求項10に記載されたアクチュエータは、請求項1〜請求項9の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバにはエアパージ機構が設けられていることを特徴とするものである。
In order to solve the above-described problem, an actuator according to claim 1 includes a housing main body having a front opening and a rear opening at both ends, a front cover for closing the front opening, and the rear opening. A housing comprising a rear cover, and a motor, a driving screw rotated by the motor, a nut screwed to the driving screw, a nut screwed to the driving screw, and a front cover fixed to the nut. For a front cover that is inserted between the front cover and the housing body, and an actuator body that includes a rod that protrudes from the housing and protrudes and retreats by rotation of the drive screw. and the seal member, and a rear cover sealing member interposed between said rear cover and said housing body comprises, above Freon The cover is composed of a front bracket and a bearing bracket arranged on the inner side in the axial direction of the front bracket, and a grease reservoir is provided between the front bracket and the bearing bracket. Is fastened and fixed to the housing body side by a fixing screw member, the bearing bracket is fastened and fixed to the actuator body side by a fixing screw member, and the rear cover is fastened to the housing body side by a fixing screw member. It is characterized by being fixed .
According to a second aspect of the present invention, there is provided the actuator according to the first aspect, wherein a rod sealing member is provided in a penetrating portion of the rod of the front cover.
According to a third aspect of the present invention, in the actuator according to the second aspect, as the rod sealing member, a first rod sealing member provided on the outer side of the housing and a first rod provided on the inner side of the housing. A two-rod seal member is provided.
According to a fourth aspect of the present invention, in the actuator according to the second or third aspect, the rod seal member is provided on the front bracket side .
The actuator described in claim 5 is the actuator according to any one of claims 2 to 4, characterized in that the outer surface of the rod is subjected to surface hardening treatment. is there.
Further, the actuator according to claim 6, in the actuator according to claim 5, wherein a surface hardening treatment applied to the rod is characterized in hard chrome plating der Rukoto.
The actuator according to claim 7, characterized in the actuator according to any one of claims 2 to 4, that you have a surface hardening treatment is applied at least an inner surface of the rod sealing member It is what.
The actuator of claim 8, in the actuator according to claim 7, wherein the surface hardening treatment applied to the sealing member for the rod is characterized in DLC (Diamond Like Carbon) coating der Rukoto is there.
The actuator according to claim 9 is the actuator according to any one of claims 1 to 8 , wherein the actuator body is engaged with the housing body by screwing a fixing screw member from the outside of the housing body. be fixed, the through portion of the housing body of the fixing screw member in which characterized that you have placed a sealing member housing.
Further, the actuators may claim 10, in the actuator according to any one of claims 1 to 9, in the front cover is characterized in that the air purge mechanism is al provided.

以上述べたように、請求項1記載のアクチュエータによると、両端にフロント開口部とリア開口部を備えたハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバと、からなるハウジングと、上記ハウジング本体内に内装され、モータと、該モータにより回転されるネジと、該ネジに螺合されるナットと、該ナットに固着され上記フロントカバを貫通して上記ハウジング外部へその一部を突出され上記ネジの回転により進退するロッドと、からなるアクチュエータ本体と、上記フロントカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたフロントカバ用シール部材と、上記リアカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたリアカバ用シール部材と、を具備したため、上記フロントカバや上記リアカバの着脱により容易に上記アクチュエータの組立・分解を行うことができる。また、上記フロントカバ用シール部材及び上記リアカバ用シール部材によって防塵・防水機能を高めることができる。
また、請求項2記載のアクチュエータによると、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバの上記ロッドの貫通部にはロッド用シール部材が設けられているため、更に防塵・防水機能を高めることができる。
また、請求項3記載のアクチュエータによると、請求項2記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材として、ハウジング外部側に設けられた第1ロッド用シール部材と、ハウジング内部側に設けられた第2ロッド用シール部材とが設けられているため、更に防塵・防水機能を高めることができる。
また、請求項4記載のアクチュエータによると、請求項1〜請求項3の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバは、フロントブラケットと、該フロントブラケットの軸方向内側に配置された軸受ブラケットと、から構成されており、上記フロントブラケットと軸受ブラケットとの間にはグリス溜りが設けられているため、例えば、上記フロントブラケットや上記軸受ブラケットの互いに向かい合う側に溝を形成することによって、複雑な加工を要することなく、容易に上記グリス溜りを形成することができる。
また、請求項5記載のアクチュエータによると、請求項4記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材は上記フロントブラケット側に設けられているため、上記フロントブラケットを取り外すだけで、容易に上記ロッド用シール部材の交換を行うことができる。また、上記フロントブラケットを取り外すだけで上記ロッド用シール部材が除去された状態となるため、上記ロッド用シール部材による摺動抵抗が生じない状態において上記ロッドの軸心調整を容易に行うことができる。
また、請求項6記載のアクチュエータによると、請求項2〜請求項5の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドの外表面には表面硬化処理が施されているため、上記ロッドとロッド用シール部材間の摩擦係数を減少させて滑らかな動作を行うことができるとともに、耐摩耗性を高めることができる。
また、請求項7記載のアクチュエータによると、請求項6記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドに施された表面硬化処理は硬質クロムメッキであるため、より耐摩耗性を高めることができる。
また、請求項8記載のアクチュエータによると、請求項2〜請求項5の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材の少なくとも内表面には表面硬化処理が施されているため、上記ロッドと上記ロッド用シール部材間の摩擦係数を減少させて滑らかな動作を行うことができるとともに、耐摩耗性を高めることができる。
また、請求項9記載のアクチュエータによると、請求項8記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド用シール部材に施された表面硬化処理はDLC(Diamond Like Carbon)コーティングであるため、より耐摩耗性を高めることができる。
また、請求項10記載のアクチュエータによると、請求項1〜請求項9の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記アクチュエータ本体はハウジング本体の外側からねじ部材を螺合することによりハウジング本体に固定されていて、上記ネジ部材の上記ハウジング本体の貫通部にはハウジング用シール部材が設置されているため、より防塵・防水性を高めることができる。
また、請求項11記載のアクチュエータによると、請求項1〜請求項10の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記フロントカバにはエアパージ機構が設けられているため、より防塵・防水性を高めることができる。
As described above, according to the actuator of the first aspect, the housing body having the front opening and the rear opening at both ends, the front cover for closing the front opening, and the rear cover for closing the rear opening. And a housing, a motor, a screw rotated by the motor, a nut screwed to the screw, a nut fixed to the nut and passing through the front cover. A rod part of which protrudes to the outside of the housing and advances and retreats by the rotation of the screw ; a front cover sealing member interposed between the front cover and the housing body; and the rear cover. A rear cover sealing member interposed between the housing body and the front cover or the rear cover. It is possible to easily perform assembly and disassembly of the actuator by detaching the bar. Further, the dustproof / waterproof function can be enhanced by the front cover sealing member and the rear cover seal member.
According to the actuator described in claim 2, in the actuator described in claim 1, since the rod sealing member is provided in the penetrating portion of the rod of the front cover, the dustproof / waterproof function can be further enhanced. it can.
According to an actuator of a third aspect, in the actuator of the second aspect, as the rod sealing member, a first rod sealing member provided on the housing outer side and a second rod provided on the housing inner side. Since the rod seal member is provided, the dustproof / waterproof function can be further enhanced.
According to the actuator according to claim 4, in the actuator according to any one of claims 1 to 3, the front cover includes a front bracket, and a bearing bracket disposed inside the front bracket in the axial direction. Since a grease reservoir is provided between the front bracket and the bearing bracket, for example, by forming a groove on the opposite side of the front bracket or the bearing bracket, it is complicated. The grease reservoir can be easily formed without requiring processing.
According to the actuator of claim 5, in the actuator of claim 4, since the rod seal member is provided on the front bracket side, the rod seal can be easily removed by simply removing the front bracket. The member can be exchanged. Further, since the rod seal member is removed simply by removing the front bracket, the rod axis can be easily adjusted in a state where no sliding resistance is generated by the rod seal member. .
According to the actuator of claim 6, in the actuator according to any of claims 2 to 5, since the outer surface of the rod is subjected to surface hardening treatment, the rod and the seal for the rod The friction coefficient between the members can be reduced to perform a smooth operation, and the wear resistance can be improved.
According to the actuator of claim 7, in the actuator of claim 6, since the surface hardening treatment applied to the rod is hard chrome plating, the wear resistance can be further improved.
Further, according to the actuator according to claim 8, in the actuator according to any one of claims 2 to 5, since at least the inner surface of the rod sealing member is subjected to surface hardening treatment, the rod In addition, the friction coefficient between the rod seal member and the rod can be reduced to perform a smooth operation and to improve wear resistance.
Further, according to the actuator according to claim 9, in the actuator according to claim 8, the surface hardening treatment applied to the rod seal member is a DLC (Diamond Like Carbon) coating, so that the wear resistance is further improved. Can do.
According to the actuator of claim 10, in the actuator of any one of claims 1 to 9, the actuator body is fixed to the housing body by screwing a screw member from the outside of the housing body. In addition, since the housing seal member is installed in the through-hole portion of the housing body of the screw member, it is possible to further improve the dust resistance and waterproofness.
Further, according to the actuator of the eleventh aspect, in the actuator according to any one of the first to tenth aspects, since the front cover is provided with an air purge mechanism, it is possible to further improve dust resistance and waterproofness. it can.

本発明の第1の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの斜視図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is a perspective view of the actuator by this Embodiment. 本発明の第1の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの分解斜視図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is an exploded perspective view of the actuator by this Embodiment. 本発明の第1の実施の形態を示す図で、図1におけるIII−III断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is III-III sectional drawing in FIG. 本発明の第1の実施の形態を示す図で、図3におけるIV部の拡大図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is an enlarged view of the IV section in FIG. 本発明の第1の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータに用いられるフロントブラケットの背面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a rear view of the front bracket used for the actuator by this Embodiment. 本発明の第1の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータに用いられる軸受ブラケットとアクチュエータ本体の先端部分の拡大図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is an enlarged view of the front-end | tip part of the bearing bracket used for the actuator by this Embodiment, and an actuator main body. 本発明の第1の実施の形態を示す図で、図3におけるVII−VII断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is VII-VII sectional drawing in FIG. 本発明の第2の実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの先端部分の拡大断面図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is an expanded sectional view of the front-end | tip part of the actuator by this Embodiment.

以下、図1乃至図7を参照して、本発明の第1の実施の形態について説明する。
本実施の形態によるアクチュエータ1は、図1乃至図3に示すように、まず、ハウジング3を備えている。このハウジング3は、ハウジング本体5と、上記ハウジング本体5の前端側(図3中左側)に設けられたフロントカバ7と、上記ハウジング本体5の後端側(図3中右側)に設けられたリアカバ9とから構成されている。
また、上記アクチュエータ1のハウジング3内には、アクチュエータ本体10が内装されている。
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
The actuator 1 according to this embodiment includes a housing 3 as shown in FIGS. The housing 3 is provided on the housing body 5, the front cover 7 provided on the front end side (left side in FIG. 3) of the housing body 5, and the rear end side (right side in FIG. 3) of the housing body 5. It is composed of the rear cover 9.
An actuator body 10 is housed in the housing 3 of the actuator 1.

まず、上記ハウジング本体5について説明する。
上記ハウジング本体5は、図2や図3に示すように、筒状の部材であり、その前方端(図3中左側端)にはフロント開口部11aが形成されていると共に、その後方端(図3中右側端)にはリア開口部11bが形成されている。また、図2に示すように、上記ハウジング本体5の前端面(図2中左下側の面)には、雌ネジ部13、13、13、13が形成されており、上記ハウジング本体5の後端面(図2中右上側の面)にも、上記雌ネジ部13、13、13、13と同様の図示しない雌ネジ部が形成されている。また、上記ハウジング本体5の底面15には、複数の取付ボルト用貫通孔17が穿孔されている。
また、図2に示すように、上記ハウジング本体5の底面15には、アクチュエータ1が設置場所に設置される際に使用される取付用溝16、16が長さ方向(図2中左下から右上に向かう方向)に延長・形成されている。
First, the housing body 5 will be described.
As shown in FIGS. 2 and 3, the housing body 5 is a cylindrical member. A front opening 11a is formed at the front end (the left end in FIG. 3) and the rear end ( A rear opening 11b is formed at the right end in FIG. Further, as shown in FIG. 2, female screw portions 13, 13, 13, 13 are formed on the front end surface (the lower left surface in FIG. 2) of the housing body 5, and the housing body 5 has a rear end. A female screw portion (not shown) similar to the female screw portions 13, 13, 13, 13 is also formed on the end surface (the upper right surface in FIG. 2). A plurality of mounting bolt through holes 17 are formed in the bottom surface 15 of the housing body 5.
Further, as shown in FIG. 2, mounting grooves 16 and 16 used when the actuator 1 is installed at the installation location are provided in the bottom surface 15 of the housing body 5 in the length direction (from the lower left to the upper right in FIG. 2). It is extended and formed in the direction toward.

また、図2や図3に示すように、上記ハウジング本体5の上面19には工具用貫通孔21aが穿孔されている。この工具用貫通孔21aは、常時においては、シールキャップ21bによって閉塞されている。このシールキャップ21bは上記ハウジング本体5に対して着脱可能なものとなっており、後述するように上記工具用貫通孔21aから図示しない治具を挿入する際には取り外されるものである。
また、上記ハウジング本体5の上面19にはグリス供給用貫通孔22aが穿孔されている。このグリス供給用貫通孔22aは、常時においては、シールキャップ22bによって閉塞されている。このシールキャップ22bは上記ハウジング本体5に対して着脱可能なものとなっており、後述するように上記グリス供給用貫通孔22aからグリスを供給する際には取り外されるものである。
以上が、上記ハウジング本体5についての説明である。
Further, as shown in FIGS. 2 and 3, a tool through hole 21 a is formed in the upper surface 19 of the housing body 5. The tool through hole 21a is normally closed by a seal cap 21b. The seal cap 21b is detachable from the housing body 5, and is removed when a jig (not shown) is inserted from the tool through hole 21a as will be described later.
Further, a grease supply through hole 22 a is formed in the upper surface 19 of the housing body 5. The grease supply through-hole 22a is normally closed by a seal cap 22b. The seal cap 22b is detachable from the housing body 5 and is removed when supplying grease from the grease supply through-hole 22a as will be described later.
The above is the description of the housing body 5.

次に、フロントカバ7について説明する。
上記フロントカバ7は、図3や図4に示すように、フロントブラケット23aと軸受ブラケット23bとから構成される。
上記フロントブラケット23aには、まず、ロッド用貫通孔25が穿孔されている。このロッド用貫通孔25の前端側(図4中左側)には、第1シール部材嵌合部25aが形成されており、上記ロッド用貫通孔25の後端側(図4中左側)には第2シール部材嵌合部25bが形成されている。上記第1シール部材嵌合部25aは、前方側(図4中左側)と上記ロッド用貫通孔25の内周面側が開口された凹部である。一方、上記第2シール部材嵌合部25bは上記ロッド用貫通孔25の内周面に設けられた環状溝である。
Next, the front cover 7 will be described.
The front cover 7 includes a front bracket 23a and a bearing bracket 23b as shown in FIGS.
A rod through hole 25 is first drilled in the front bracket 23a. A first seal member fitting portion 25a is formed on the front end side (left side in FIG. 4) of the rod through hole 25, and on the rear end side (left side in FIG. 4) of the rod through hole 25. A second seal member fitting portion 25b is formed. The first seal member fitting portion 25a is a recess in which the front side (left side in FIG. 4) and the inner peripheral surface side of the rod through hole 25 are opened. On the other hand, the second seal member fitting portion 25 b is an annular groove provided on the inner peripheral surface of the rod through hole 25.

また、図4や図5に示すように、上記フロントブラケット23aの軸受ブラケット23b側(図4中右側)の面には、グリス溜り用凹部27aが形成されている。このグリス溜り用凹部27aは、上記ロッド用貫通孔25の外周側に設けられた環状溝である。また、図4に示すように、上記グリス溜り用凹部27aの内側にはグリス溜り用凸部27bが形成されている。また、上記フロントブラケット23aの上面側(図4中上側)には、ニップル取付用凹部29aが形成されており、その底面側にはニップル取付用貫通孔29bが穿孔されている。また、上記ニップル取付用貫通孔29bと上記グリス溜り用凹部27aとは、グリス供給路29cによって連絡されている。また、上記グリス供給路29cと上記ロッド用貫通孔25とは、グリス供給路29dによって連絡されている。   As shown in FIGS. 4 and 5, a grease reservoir recess 27a is formed on the surface of the front bracket 23a on the bearing bracket 23b side (right side in FIG. 4). The grease retaining recess 27 a is an annular groove provided on the outer peripheral side of the rod through hole 25. Further, as shown in FIG. 4, a grease reservoir convex portion 27b is formed inside the grease reservoir concave portion 27a. A nipple mounting recess 29a is formed on the upper surface side (upper side in FIG. 4) of the front bracket 23a, and a nipple mounting through hole 29b is formed on the bottom surface side thereof. The nipple mounting through hole 29b and the grease reservoir recess 27a are connected to each other by a grease supply passage 29c. The grease supply path 29c and the rod through hole 25 are connected to each other by a grease supply path 29d.

また、上記フロントブラケット23aには、エアパージ用貫通孔30が形成されている。このエアパージ用貫通孔30は、図1乃至図4に示すように、上記フロントブラケット23aの前面(図4中左側の面)と上記ロッド用貫通孔25の内周面に開口されている。また、上記エアパージ用貫通孔30の上記ロッド用貫通孔25側の開口部は、上記第1シール部材嵌合部25aと上記第2シール部材嵌合部25bとの間に位置している。
また、上記フロントブラケット23aのハウジング本体5側の端面には、シール部材用溝31が形成されている。
また、図2や図5に示すように、上記フロントブラケット23aには、ボルト用貫通孔32、32、32、32が形成されている。
Further, an air purge through hole 30 is formed in the front bracket 23a. As shown in FIGS. 1 to 4, the air purge through hole 30 is opened on the front surface (the left surface in FIG. 4) of the front bracket 23 a and the inner peripheral surface of the rod through hole 25. The opening of the air purge through hole 30 on the rod through hole 25 side is located between the first seal member fitting part 25a and the second seal member fitting part 25b.
A seal member groove 31 is formed on the end surface of the front bracket 23a on the housing body 5 side.
As shown in FIG. 2 and FIG. 5, bolt through holes 32, 32, 32, 32 are formed in the front bracket 23a.

上記フロントブラケット23aの第1シール部材嵌合部25aには、第1ロッド用シール部材33が嵌合されている。第1ロッド用シール部材33は、例えば、表面硬化処理としてDLC(Diamond Like Carbon)コーティングが施されたゴム製の部材である。また、上記第1ロッド用シール部材33は、上記第1シール部材嵌合部25aに嵌合される環状部33aと、この環状部33aの前面側から突出・形成されたダストシール部33bとから構成されている。また、上記第1ロッド用シール部材33には、前後方向(図4中左右方向)に延長された貫通孔33cが形成されている。また、上記環状部33aの後端側(図4中右側)にはソフトワイパ用嵌合部33dが形成されており、このソフトワイパ用嵌合部33dにソフトワイパ33eが嵌合されている。このソフトワイパ33eは、例えば、フェルト製である。
また、上記環状部33a内には、例えば、金属製の環状部材33fが埋設されている。
なお、上記第1ロッド用シール部材33の表面硬化処理(DLCコーティング)は、上記第1ロッド用シール部材33の内表面、もしくは、全体に施されている。
A first rod seal member 33 is fitted to the first seal member fitting portion 25a of the front bracket 23a. The first rod sealing member 33 is, for example, a rubber member that has been subjected to DLC (Diamond Like Carbon) coating as a surface hardening treatment. The first rod seal member 33 is composed of an annular portion 33a fitted to the first seal member fitting portion 25a and a dust seal portion 33b protruding and formed from the front side of the annular portion 33a. Has been. The first rod seal member 33 is formed with a through hole 33c extending in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 4). A soft wiper fitting portion 33d is formed on the rear end side (right side in FIG. 4) of the annular portion 33a, and the soft wiper 33e is fitted to the soft wiper fitting portion 33d. The soft wiper 33e is made of felt, for example.
Further, for example, a metal annular member 33f is embedded in the annular portion 33a.
The surface hardening treatment (DLC coating) of the first rod sealing member 33 is applied to the inner surface of the first rod sealing member 33 or the entire surface.

また、上記フロントブラケット23aの第2シール部材嵌合部25bには、第2ロッド用シール部材35が嵌合されている。この第2ロッド用シール部材35は、表面硬化処理としてDLC(Diamond Like Carbon)コーティングが施されたゴム製の部材である。また、上記第2ロッド用シール部材35は、図4に示すように、X字型の断面形状を有するリング状の部材である。なお、上記第2ロッド用シール部材35の表面硬化処理(DLCコーティング)は、上記第2ロッド用シール部材35の内表面、もしくは、全体に施されている。
また、上記ニップル取付用貫通孔29b内には、グリスニップル37が圧入されている。上記グリスニップル37内には図示しないコイルスプリングによって付勢されたボール37aが内装されていて、常時はこのボール37aがコイルスプリングによって付勢されていて閉じられている。グリスを供給する場合には、図示しない供給ホースを上記グリスニップル37に接続してグリスを注入する。それによって、ボール37aがコイルスプリングのスプリング力に抗して押し下げられ、それによって、グリスの注入が行われる。
The second rod seal member 35 is fitted to the second seal member fitting portion 25b of the front bracket 23a. The second rod sealing member 35 is a rubber member to which a DLC (Diamond Like Carbon) coating is applied as a surface hardening treatment. The second rod sealing member 35 is a ring-shaped member having an X-shaped cross section as shown in FIG. The surface hardening treatment (DLC coating) of the second rod seal member 35 is applied to the inner surface or the entire surface of the second rod seal member 35.
A grease nipple 37 is press-fitted into the nipple mounting through hole 29b. A ball 37a urged by a coil spring (not shown) is housed inside the grease nipple 37, and the ball 37a is normally urged by a coil spring and closed. When supplying grease, a supply hose (not shown) is connected to the grease nipple 37 to inject grease. As a result, the ball 37a is pushed down against the spring force of the coil spring, whereby grease is injected.

上記フロントブラケット23aは、上記ボルト用貫通孔32、32、32、32を貫通し、ハウジング本体5の前端面(図2中左下側の面)の雌ネジ部13、13、13、13に螺合されるボルト39、39、39、39によって、上記ハウジング本体5に固定される。
また、上記フロントブラケット23aのシール部材用溝31内には、フロントカバ用シール部材41が嵌合されており、このフロントカバ用シール部材41は上記フロントブラケット23aと上記ハウジング本体5との間に介挿された状態となっている。なお、上記フロントカバ用シール部材41はOリングであるが、上記シール部材用溝31内に嵌合された際、図2に示すような形状となる。
The front bracket 23 a passes through the bolt through holes 32, 32, 32, 32, and is screwed into the female screw portions 13, 13, 13, 13 on the front end surface (the lower left surface in FIG. 2) of the housing body 5. The housing body 5 is fixed by bolts 39, 39, 39 and 39 to be joined.
A front cover seal member 41 is fitted in the seal member groove 31 of the front bracket 23a, and the front cover seal member 41 is interposed between the front bracket 23a and the housing body 5. It is in an inserted state. The front cover sealing member 41 is an O-ring, but when fitted in the sealing member groove 31, the shape is as shown in FIG.

軸受ブラケット23bには、図4に示すように、前後方向(図4中左右方向)に延長された貫通孔43が形成されている。この貫通孔43の前端側(図4中左端側)は径が大きくなっておりグリス溜り用凹部45aとなっているとともに、その外周側にグリス溜り用凸部45bが形成されている。また、上記軸受ブラケット23bの上記グリス溜り用凸部45bの外周面には段付部が形成されており、この段付部がOリング用係合部47となっている。
また、図2に示すように、上記軸受ブラケット23bの下側にはボルト用貫通孔49、49、49、49が形成されている。
As shown in FIG. 4, the bearing bracket 23b is formed with a through hole 43 extending in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 4). The front end side (the left end side in FIG. 4) of the through-hole 43 has a large diameter and forms a grease retaining recess 45a, and a grease retaining projection 45b is formed on the outer peripheral side thereof. Further, a stepped portion is formed on the outer peripheral surface of the grease retaining convex portion 45 b of the bearing bracket 23 b, and this stepped portion serves as an O-ring engagement portion 47.
As shown in FIG. 2, bolt through holes 49, 49, 49, 49 are formed below the bearing bracket 23b.

上記フロントブラケット23aと上記軸受ブラケット23bとは、上記フロントブラケット23aのグリス溜り用凹部27aと上記軸受ブラケット23bのグリス溜り用凸部45bとが係合されることで一体となっている。また、上記フロントブラケット23aと上記軸受ブラケット23bとが一体化されると、上記グリス溜り用凹部27aと上記グリス溜り用凸部45bとの間及び上記グリス溜り用凸部27bと上記グリス溜り用凹部45aとの間に、グリス溜り50が形成される。
また、上記軸受ブラケット23bのOリング用係合部47にはOリング51が係合されている。また、このOリング51は、上記フロントブラケット23aのグリス溜り用凹部27aの内周面と上記軸受ブラケット23bのグリス溜り用凸部45bの外周面との間に介挿された状態となっている。
また、上記軸受ブラケット23bの貫通孔43の後端側(図4中右側)には円筒形状の軸受53が内装されている。
以上が、フロントカバ7についての説明である。
The front bracket 23a and the bearing bracket 23b are integrated by engaging the grease retaining recess 27a of the front bracket 23a and the grease retaining convex 45b of the bearing bracket 23b. Further, when the front bracket 23a and the bearing bracket 23b are integrated, the gap between the grease reservoir concave portion 27a and the grease reservoir convex portion 45b, and between the grease reservoir convex portion 27b and the grease reservoir concave portion. A grease reservoir 50 is formed between 45a and 45a.
An O-ring 51 is engaged with the O-ring engaging portion 47 of the bearing bracket 23b. The O-ring 51 is interposed between the inner peripheral surface of the grease retaining recess 27a of the front bracket 23a and the outer peripheral surface of the grease retaining convex portion 45b of the bearing bracket 23b. .
A cylindrical bearing 53 is housed on the rear end side (right side in FIG. 4) of the through hole 43 of the bearing bracket 23b.
The above is the description of the front cover 7.

次に、リアカバ9について説明する。
上記リアカバ9には、図2や図3に示すように、ハウジング本体5側(図3中左側)に開口された中空部55が形成されている。また、上記リアカバ9の後端側には、吸排気ポート用貫通孔57aやケーブル用貫通孔57bが形成されている。
また、上記リアカバ9のハウジング本体5側(図3中左側)の端面には、シール部材用溝59が形成されている。
また、図2に示すように、上記リアカバ9には、ボルト用貫通孔61、61、61、61が形成されている。
Next, the rear cover 9 will be described.
As shown in FIGS. 2 and 3, the rear cover 9 is formed with a hollow portion 55 opened on the housing body 5 side (left side in FIG. 3). An intake / exhaust port through hole 57a and a cable through hole 57b are formed on the rear end side of the rear cover 9.
A seal member groove 59 is formed on the end surface of the rear cover 9 on the housing body 5 side (left side in FIG. 3).
As shown in FIG. 2, the rear cover 9 is formed with bolt through holes 61, 61, 61, 61.

上記リアカバ9は、上記ボルト用貫通孔61、61、61、61を貫通し、ハウジング本体5の後端面(図2中右上側の面)の図示しない雌ネジ部に螺合されるボルト39、39、39、39によって、上記ハウジング本体5に固定される。
また、上記リアカバ9のシール部材用溝59内にはリアカバ用シール部材62が嵌合されており、このリアカバ用シール部材62は上記リアカバ9と上記ハウジング本体5との間に介挿された状態となっている。なお、上記リアカバ用シール部材62はOリングであるが、上記シール部材用溝59内に嵌合された際、図2に示すような形状となる。
The rear cover 9 passes through the bolt through holes 61, 61, 61, 61 and is bolted to a female screw portion (not shown) on the rear end surface (the upper right side in FIG. 2) of the housing body 5. The housing body 5 is fixed by 39, 39, 39.
A rear cover seal member 62 is fitted in the seal member groove 59 of the rear cover 9, and the rear cover seal member 62 is inserted between the rear cover 9 and the housing body 5. It has become. The rear cover seal member 62 is an O-ring, but when fitted in the seal member groove 59, the shape is as shown in FIG.

また、上記吸排気ポート用貫通孔57aを貫通して、吸排気ポート63が設置されている。また、上記ケーブル用貫通孔57bを貫通して、ケーブル64が設置されている。このケーブル64は電力線や信号線等がまとめられたものである。
以上がリアカバ9についての説明である。
An intake / exhaust port 63 is provided through the intake / exhaust port through hole 57a. A cable 64 is installed through the cable through hole 57b. The cable 64 is a collection of power lines, signal lines, and the like.
The above is the description of the rear cover 9.

次に、アクチュエータ本体10について説明する。
上記アクチュエータ本体10には、まず、ベース65がある。図7に示すように、このベース65の幅方向(図7中左右方向)両端側には、長さ方向(図7中紙面垂直方向)に延長されたガイドレール用溝65a、65aが形成されている。このガイドレール用溝65a、65a内には、それぞれガイドレール65bが圧入されている。このガイドレール65bには長さ方向(図7中紙面垂直方向)に延長されたガイド用凹部65cが形成されている。
また、上記ベース65の底面側(図7中下側)には複数の雌ネジ部65dが形成されている。図7には、上記複数の雌ネジ部65dのうちの2つが図示されている。上記ベース65とハウジング本体5とは、上記ハウジング本体5の取付ボルト用貫通孔17を貫通し上記ベース65の雌ネジ部65dに螺合されるボルト65eによって固定されている。また、上記ボルト65eの頭部と上記ハウジング本体5との間には、ワッシャ状のハウジング用シール部材65fが介挿されている。
Next, the actuator body 10 will be described.
The actuator body 10 has a base 65 first. As shown in FIG. 7, guide rail grooves 65a and 65a extending in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 7) are formed on both ends of the base 65 in the width direction (left and right direction in FIG. 7). ing. Guide rails 65b are press-fitted into the guide rail grooves 65a and 65a, respectively. The guide rail 65b is formed with a guide recess 65c extending in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 7).
A plurality of female screw portions 65d are formed on the bottom surface side (lower side in FIG. 7) of the base 65. FIG. 7 shows two of the plurality of female screw portions 65d. The base 65 and the housing main body 5 are fixed by bolts 65 e that pass through the mounting bolt through holes 17 of the housing main body 5 and are screwed into the female screw portions 65 d of the base 65. A washer-like housing seal member 65f is interposed between the head of the bolt 65e and the housing body 5.

また、図6に示すように、上記ベース65の前端面(図6中左下側の面)には、軸受ブラケット23bが固定されている。上記ベース65と上記軸受ブラケット23bとの固定は、上記軸受ブラケット23bのボルト用貫通孔49を貫通して上記ベース65の図示しない複数の雌ネジ部のそれぞれに螺合されるボルト65gによって行われている。
また、上記軸受ブラケット23bのボルト用貫通孔49の径は、上記ボルト65gの径に対して、遊びを持たせたものとなっている。そのため、上記軸受ブラケット23bの上記ベース65に対する取付位置を、上記遊びの範囲内で調整することができるようになっている。また、上記軸受ブラケット23bの上記ベース65に対する取付位置を調整することで、後述するロッド85の軸心調整を行うことができるようになっている。
As shown in FIG. 6, a bearing bracket 23b is fixed to the front end surface of the base 65 (the surface on the lower left side in FIG. 6). The base 65 and the bearing bracket 23b are fixed by bolts 65g that pass through the bolt through holes 49 of the bearing bracket 23b and are screwed into a plurality of female screw portions (not shown) of the base 65, respectively. ing.
Further, the diameter of the bolt through hole 49 of the bearing bracket 23b is such that play is provided with respect to the diameter of the bolt 65g. Therefore, the mounting position of the bearing bracket 23b with respect to the base 65 can be adjusted within the range of play. Further, by adjusting the mounting position of the bearing bracket 23b with respect to the base 65, the axial center of the rod 85 described later can be adjusted.

また、図3に示すように、上記ベース65の後方(図3中右側)にはベアリングハウジング67が設置されている。上記ベアリングハウジング67は、前端側(図3中左側)と後端側(図3中右側)に開口された中空形状の部材である。上記ベアリングハウジング67には、ボールベアリング67a、67aが内装されている。このボールベアリング67aには、外輪67bと、この外輪67bの内側に内装された内輪67cがある。上記外輪67bと上記内輪67cとの間には複数の貫通孔が設けられたリテーナ67dが設置されており、このリテーナ67dの複数の貫通孔内にはそれぞれボール67eが保持されている。この複数のボール67eが転動することで、上記外輪67bに対して上記内輪67cが回転することになる。   As shown in FIG. 3, a bearing housing 67 is installed behind the base 65 (on the right side in FIG. 3). The bearing housing 67 is a hollow member opened on the front end side (left side in FIG. 3) and the rear end side (right side in FIG. 3). The bearing housing 67 includes ball bearings 67a and 67a. The ball bearing 67a includes an outer ring 67b and an inner ring 67c installed inside the outer ring 67b. A retainer 67d having a plurality of through holes is provided between the outer ring 67b and the inner ring 67c, and balls 67e are held in the plurality of through holes of the retainer 67d. As the plurality of balls 67e roll, the inner ring 67c rotates with respect to the outer ring 67b.

また、前端側(図3中左側)のボールベアリング67aの外輪67bは上記ベアリングハウジング67の内面の前端側(図3中左側)に当接している。また、後端側(図3中右側)のボールベアリング67aの後端側(図3中右側)には、ボールベアリング固定部材67fが設置されている。このボールベアリング固定部材67fは、後端側(図3中右側)のボールベアリング67aの外輪67bに当接された状態となっている。
また、上記ベース65と上記ベアリングハウジング67とは、上記ベアリングハウジング67を貫通し上記ベース65の図示しない複数の雌ネジ部のそれぞれに螺合される図示しないボルトによって固定されている。
Further, the outer ring 67b of the ball bearing 67a on the front end side (left side in FIG. 3) is in contact with the front end side (left side in FIG. 3) of the inner surface of the bearing housing 67. A ball bearing fixing member 67f is installed on the rear end side (right side in FIG. 3) of the ball bearing 67a on the rear end side (right side in FIG. 3). The ball bearing fixing member 67f is in contact with the outer ring 67b of the ball bearing 67a on the rear end side (right side in FIG. 3).
The base 65 and the bearing housing 67 are fixed by bolts (not shown) that pass through the bearing housing 67 and are screwed into a plurality of female screw portions (not shown) of the base 65.

また、上記ベアリングハウジング67の後方(図3中右側)にはモータブラケット69が設置されている。このモータブラケット69には貫通孔69aが形成されている。また、上記貫通孔69aの前端側(図3中左側)は径が大きくなっており、ベアリングハウジング係合部69bとなっている。このベアリングハウジング係合部69bに上記ベアリングハウジング67の後端側(図3中右側)を係合させることで、上記ベアリングハウジング67と上記モータブラケット69とが一体となっている。   A motor bracket 69 is installed behind the bearing housing 67 (on the right side in FIG. 3). The motor bracket 69 has a through hole 69a. Further, the front end side (the left side in FIG. 3) of the through hole 69a has a large diameter, and serves as a bearing housing engaging portion 69b. The bearing housing 67 and the motor bracket 69 are integrated by engaging the rear end side (the right side in FIG. 3) of the bearing housing 67 with the bearing housing engaging portion 69b.

また、上記モータブラケット69の上部(図3中上側の部分)の前端側(図3中左側)には、セットスクリュ用雌ネジ部69cが形成されている。上記モータブラケット69と上記ベアリングハウジング67とは、上記モータブラケット69のセットスクリュ用雌ネジ部69cに螺合され、上記ベアリングハウジング67の後端側(図3中右側)の上面(図3中上側の面)を押圧するセットスクリュ71によって固定されている。そのため、上記セットスクリュ71を除去するだけで、上記ベアリングハウジング67から上記モータブラケット69が分離されるようになっている。
なお、上記セットスクリュ71の上記セットスクリュ用雌ネジ部69cへの螺合及び除去は、ハウジング本体5の工具用貫通孔21aから挿入される図示しない治具によって行われる。
A set screw female thread 69c is formed on the front end side (left side in FIG. 3) of the upper part (upper part in FIG. 3) of the motor bracket 69. The motor bracket 69 and the bearing housing 67 are screwed into the female screw portion 69c for the set screw of the motor bracket 69, and an upper surface (upper side in FIG. 3) on the rear end side (right side in FIG. 3) of the bearing housing 67. Are fixed by a set screw 71 for pressing the surface. Therefore, the motor bracket 69 is separated from the bearing housing 67 only by removing the set screw 71.
The set screw 71 is screwed into and removed from the set screw female thread 69c by a jig (not shown) inserted from the tool through hole 21a of the housing body 5.

また、上記アクチュエータ本体10にはモータ73がある。図3に示すように、モータ73にはモータケース73aがあり、このモータケース73aの内周側にはステータ73bが固着されている。このステータ73bの内周側には永久磁石からなるロータ73cが回転可能に内装されている。このロータ73cの中心位置には出力軸73dが固着されている。上記モータ73は、ケーブル64によって供給される電力により駆動されるものである。そして、上記ケーブル64を介して電力が供給されると、ロータ73c及び出力軸73dが一体的に正転・逆転することになる。
上記モータ73のモータケース73aの先端側(図3中左端側)は、上記モータブラケット69の貫通孔69aの後端側(図3中右端側)に圧入されている。また、上記モータブラケット69と上記モータ73とは、上記モータブラケット69を貫通し上記モータケース73aの図示しない雌ネジ部に螺合される図示しないボルトによって固定されている。
また、上記モータ73の出力軸73dは、上記モータブラケット69の貫通孔69a内に位置している。
The actuator body 10 has a motor 73. As shown in FIG. 3, the motor 73 has a motor case 73a, and a stator 73b is fixed to the inner peripheral side of the motor case 73a. A rotor 73c made of a permanent magnet is rotatably mounted on the inner peripheral side of the stator 73b. An output shaft 73d is fixed to the center position of the rotor 73c. The motor 73 is driven by electric power supplied by the cable 64. When electric power is supplied via the cable 64, the rotor 73c and the output shaft 73d are integrally rotated forward and reverse.
The front end side (left end side in FIG. 3) of the motor case 73a of the motor 73 is press-fitted into the rear end side (right end side in FIG. 3) of the through hole 69a of the motor bracket 69. The motor bracket 69 and the motor 73 are fixed by bolts (not shown) that pass through the motor bracket 69 and are screwed into female screws (not shown) of the motor case 73a.
Further, the output shaft 73 d of the motor 73 is positioned in the through hole 69 a of the motor bracket 69.

また、上記モータ73の後端側(図3中右側)には、エンコーダ75が設置されている。このエンコーダ75には、上記モータケース73aの後端側(図3中右側)に設置されたエンコーダカバ75aがある。このエンコーダカバ75aの内部には、上記モータケース73aの後端面(図3中右側の面)にスペーサ75bを介して基板75cが設置されている。この基板75cには、電子部品75d、75eが実装されている。 An encoder 75 is installed on the rear end side (right side in FIG. 3) of the motor 73. The encoder 75 has an encoder cover 75a installed on the rear end side (right side in FIG. 3) of the motor case 73a. Inside the encoder cover 75a, a substrate 75c is installed on the rear end surface (right surface in FIG. 3) of the motor case 73a via a spacer 75b. Electronic components 75d and 75e are mounted on the substrate 75c.

また、上記モータ73の出力軸73dの上記エンコーダカバ75a内に突出された部分には、エンコーダスケール75fが固着されている。このエンコーダスケール75fの後端面(図3中右側の面)には図示しないスケールが表示されている。この図示しないスケールにより上記エンコーダスケール75fの後端面(図3中右側の面)に、反射される反射光の強度が強い部分と弱い部分が提供される。そして、上記基板75c上の電子部品75d、75eには、光源とセンサが含まれており、上記光源から光を上記エンコーダスケール75fに照射して、上記エンコーダスケール75fの後端面(図3中右側の面)によって反射された反射光を上記センサにより検出するようになっている。そのため、上記出力軸73dの回転により上記エンコーダスケール75f、ひいては、上記図示しないスケールが回転されると、上記センサにより検出される反射光の強度が変化する。上記エンコーダ75は、上記反射光の変化から、上記モータ73の出力軸73dの回転の方向や速度等を検出するものである。 An encoder scale 75f is fixed to a portion of the output shaft 73d of the motor 73 that protrudes into the encoder cover 75a. A scale (not shown) is displayed on the rear end face (right face in FIG. 3) of the encoder scale 75f. The scale (not shown) provides a portion where the intensity of reflected light reflected is strong and a portion where the reflected light is strong on the rear end surface (the right side surface in FIG. 3) of the encoder scale 75f. The electronic components 75d and 75e on the substrate 75c include a light source and a sensor. The encoder scale 75f is irradiated with light from the light source, and the rear end surface of the encoder scale 75f (right side in FIG. 3). The reflected light reflected by the surface) is detected by the sensor. Therefore, when the encoder scale 75f and thus the scale (not shown) are rotated by the rotation of the output shaft 73d, the intensity of the reflected light detected by the sensor changes. The encoder 75 detects the direction and speed of rotation of the output shaft 73d of the motor 73 from the change in the reflected light.

なお、前述したように、セットスクリュ71を除去するだけで上記ベアリングハウジング67から上記モータブラケット69が分離されるようになっているが、上記モータブラケット69には上記モータ73及び上記エンコーダ75が一体となっているので、上記セットスクリュ71を除去するだけで上記モータブラケット69、上記モータ73、及び、上記エンコーダ75が一体となった部分をアクチュエータ本体10から分離することが可能となっている。   As described above, the motor bracket 69 is separated from the bearing housing 67 simply by removing the set screw 71. However, the motor 73 and the encoder 75 are integrated with the motor bracket 69. Therefore, the portion where the motor bracket 69, the motor 73, and the encoder 75 are integrated can be separated from the actuator body 10 simply by removing the set screw 71.

図3に示すように、上記モータ73の出力軸73dの前端側(図3中左側)には、カップリング部材76aがボルト76bによって固着されており、上記カップリング部材76aにはカップリング部材76cが係合されている。上記カップリング部材76a、76cは上記モータブラケット69の貫通孔69a内に位置している。
また、上記カップリング部材76cにはボールネジ接続部材77が固着されている。このボールネジ接続部材77は、上記ベアリングハウジング67に内装されたボールベアリング67a、67aの内輪67c、67cに圧入されている。
そして、上記ボールネジ接続部材77には接続穴77aが形成されており、この接続穴77aにボールネジ78が圧入・固定されている。このボールネジ78は、ネジ部78aと後端側(図3中右側)の接続部78bとから構成されている。上記ボールネジ78の接続部78bは上記ボールネジ接続部材77の接続穴77a内に圧入されている。上記ボールネジ78のネジ部78aの外周面には螺旋状の溝78cが形成されている。
As shown in FIG. 3, a coupling member 76a is fixed to the front end side (left side in FIG. 3) of the output shaft 73d of the motor 73 by a bolt 76b, and the coupling member 76a is coupled to the coupling member 76c. Are engaged. The coupling members 76 a and 76 c are located in the through hole 69 a of the motor bracket 69.
A ball screw connecting member 77 is fixed to the coupling member 76c. The ball screw connecting member 77 is press-fitted into inner rings 67c and 67c of ball bearings 67a and 67a housed in the bearing housing 67.
A connection hole 77a is formed in the ball screw connection member 77, and a ball screw 78 is press-fitted and fixed in the connection hole 77a. The ball screw 78 includes a screw portion 78a and a connecting portion 78b on the rear end side (right side in FIG. 3). The connection portion 78 b of the ball screw 78 is press-fitted into the connection hole 77 a of the ball screw connection member 77. A spiral groove 78c is formed on the outer peripheral surface of the threaded portion 78a of the ball screw 78.

上記ボールネジ78のネジ部78aには、ボールナット79が螺合されている。このボールナット79には、まず、ボールナット本体79aがあり、このボールナット本体79aの前後端(図3中左右両側端)にはエンドキャップ79c、79cが設けられている。このボールナット本体79a及びエンドキャップ79c、79cの内部には図示しないボール循環路が形成されており、このボール循環路内を図示しない複数のボールが循環している。この図示しない複数のボールは上記ボールネジ78の螺旋状の溝78cに係合されており、これによって上記ボールナット79は上記ボールネジ78に螺合されることになる。   A ball nut 79 is screwed into the threaded portion 78 a of the ball screw 78. The ball nut 79 has a ball nut main body 79a. End caps 79c and 79c are provided at the front and rear ends of the ball nut main body 79a (the left and right ends in FIG. 3). A ball circulation path (not shown) is formed inside the ball nut main body 79a and the end caps 79c and 79c, and a plurality of balls (not shown) circulate in the ball circulation path. The plurality of balls (not shown) are engaged with a spiral groove 78 c of the ball screw 78, whereby the ball nut 79 is screwed into the ball screw 78.

上記ボールナット79には、ロッド接続部材81が固着されている。このロッド接続部材81の内部に上記ボールネジ78が内装されている。また、上記ロッド接続部材81の前端側(図3中左側)には、雌ネジ部81aが形成されている。
また、上記ロッド接続部材81の上部(図3中上側部分)には、上記ロッド接続部材81を貫通してグリスニップル81bが設置されている。このグリスニップル81bは、上記ボールナット79の図示しないボール循環路に連通されている。
上記グリスニップル81b内には図示しないコイルスプリングによって付勢されたボール81b′が内装されていて、常時はこのボール81b′がコイルスプリングによって付勢されていて閉じられている。グリスを供給する場合には、グリス供給用貫通孔22aからハウジング3内に挿入した図示しない供給ホースを上記グリスニップル81bに接続してグリスを注入する。それによって、ボール81b′がコイルスプリングのスプリング力に抗して押し下げられ、それによって、グリスの注入が行われる。
A rod connecting member 81 is fixed to the ball nut 79. The ball screw 78 is housed inside the rod connecting member 81. A female screw portion 81a is formed on the front end side (left side in FIG. 3) of the rod connecting member 81.
Further, a grease nipple 81b is installed in the upper portion (upper portion in FIG. 3) of the rod connecting member 81 so as to penetrate the rod connecting member 81. The grease nipple 81b communicates with a ball circulation path (not shown) of the ball nut 79.
A ball 81b 'biased by a coil spring (not shown) is housed in the grease nipple 81b, and the ball 81b' is normally biased by the coil spring and closed. When supplying grease, a supply hose (not shown) inserted into the housing 3 from the grease supply through hole 22a is connected to the grease nipple 81b to inject the grease. As a result, the ball 81b 'is pushed down against the spring force of the coil spring, whereby grease is injected.

また、上記ロッド接続部材81には、被ガイド部材83が固着されている。図7に示すように、この被ガイド部材83の幅方向(図7中左右方向)両端には、長さ方向(図7中紙面垂直方向)に延長された凸部83aが形成されている。また、上記凸部83aの表面には滑り部材83bが固定されており、上記凸部83aと上記滑り部材83bとによって、被ガイド用凸部83cが構成されている。   A guided member 83 is fixed to the rod connecting member 81. As shown in FIG. 7, convex portions 83a extending in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 7) are formed at both ends of the guided member 83 in the width direction (left-right direction in FIG. 7). A sliding member 83b is fixed to the surface of the convex portion 83a, and the convex portion 83c to be guided is constituted by the convex portion 83a and the sliding member 83b.

上記被ガイド部材83の被ガイド用凸部83cは、それぞれ対応する上記ベース65のガイドレール65bに対して摺動可能に係合されている。そのため、上記ボールネジ78が回転された際、上記ボールナット79の回転が上記被ガイド部材83を介して上記ベース65によって防止され、上記ボールナット79は上記ボールネジ78の長さ方向(図3中左右方向)両側に移動することになる。   The guided convex portions 83c of the guided member 83 are slidably engaged with the corresponding guide rails 65b of the base 65, respectively. Therefore, when the ball screw 78 is rotated, the rotation of the ball nut 79 is prevented by the base 65 via the guided member 83, and the ball nut 79 is moved in the length direction of the ball screw 78 (left and right in FIG. Direction) will move to both sides.

また、上記ロッド接続部材81にはロッド85が接続されている。このロッド85は、略円筒形状のロッド本体85aと、該ロッド本体85aの先端側に設置された対象物取付部材85bとから構成されている。上記ロッド本体85aの後端側(図3中右端側)の外周面には雄ネジ部85cが形成されている。そして、上記雄ネジ部85cが上記ロッド接続部材81の雌ネジ部81aに螺合されることで、上記ロッド85は上記ロッド接続部材81に接続されている。
また、上記ロッド本体85aの前端側(図3中左端側)の内周面には雌ネジ部85dが形成されている。一方、上記対象物取付部材85bの後端側(図3中右端側)には雄ネジ部85eが形成されている。そして、上記ロッド本体85aの雌ネジ部85dに上記対象物取付部材85bの雄ネジ部85eが螺合されることで、上記ロッド本体85aに上記対象物取付部材85bが取り付けられている。
また、上記ロッド本体85aの外周面には、表面硬化処理として、硬質クロムメッキが施されている。
また、上記ロッド85内に上記ボールネジ78が位置していることになる。
A rod 85 is connected to the rod connecting member 81. The rod 85 includes a substantially cylindrical rod main body 85a and an object mounting member 85b installed on the distal end side of the rod main body 85a. A male screw portion 85c is formed on the outer peripheral surface of the rear end side (right end side in FIG. 3) of the rod body 85a. The rod 85 is connected to the rod connecting member 81 by screwing the male screw portion 85 c into the female screw portion 81 a of the rod connecting member 81.
An internal thread portion 85d is formed on the inner peripheral surface of the front end side (left end side in FIG. 3) of the rod body 85a. On the other hand, a male screw portion 85e is formed on the rear end side (right end side in FIG. 3) of the object mounting member 85b. And the said object attachment member 85b is attached to the said rod main body 85a because the external thread part 85e of the said object attachment member 85b is screwed by the internal thread part 85d of the said rod main body 85a.
Further, the outer peripheral surface of the rod body 85a is subjected to hard chrome plating as a surface hardening treatment.
Further, the ball screw 78 is positioned in the rod 85.

上記対象物取付部材85bの先端側には雄ネジ部85fが形成されている。この雄ネジ部85fに対して、図示しない対象物の雌ネジ部が螺合されることで、上記ロッド85に対する上記図示しない対象物の取り付けが行われる。
また、上記ロッド85は、軸受ブラケット23aに内装された軸受53、フロントブラケットのロッド用貫通孔25、第2ロッド用シール部材35、ソフトワイパ33e、及び、第1ロッド用シール部材33を貫通して、ハウジング3外部へと突出している。また、上記ロッド85は、上記第1ロッド用シール部材33や上記第2ロッド用シール部材35、上記ソフトワイパ33e、及び、上記軸受53の内周面に摺動可能に接触している。
以上が、本実施の形態によるアクチュエータ本体10の構成についての説明である。
A male screw portion 85f is formed on the distal end side of the object mounting member 85b. The object (not shown) is attached to the rod 85 by screwing the female screw part (not shown) into the male screw part 85f.
The rod 85 passes through the bearing 53 housed in the bearing bracket 23a, the rod through-hole 25 for the front bracket, the second rod seal member 35, the soft wiper 33e, and the first rod seal member 33. Projecting out of the housing 3. The rod 85 is slidably in contact with the first rod seal member 33, the second rod seal member 35, the soft wiper 33 e, and the inner peripheral surface of the bearing 53.
The above is the description of the configuration of the actuator body 10 according to the present embodiment.

次に、本実施の形態によるアクチュエータ1の作用について説明する。
まず、上記アクチュエータ1の動作について説明する。
ケーブル64の図示しない信号線を介して伝達される動作指示により、モータ73が駆動されると、その出力軸73dが動作指示に従った方向・速度にて回転される。上記出力軸73dの回転は、カップリング部材76a、76c、及び、ボールネジ接続部材77を介してボールネジ78に伝達され、上記ボールネジ78も上記出力軸73dと同じ方向・速度にて回転される。
Next, the operation of the actuator 1 according to this embodiment will be described.
First, the operation of the actuator 1 will be described.
When the motor 73 is driven by an operation instruction transmitted through a signal line (not shown) of the cable 64, the output shaft 73d is rotated at a direction and speed according to the operation instruction. The rotation of the output shaft 73d is transmitted to the ball screw 78 via the coupling members 76a and 76c and the ball screw connecting member 77, and the ball screw 78 is also rotated at the same direction and speed as the output shaft 73d.

その際、上記ボールネジ78に螺合されたボールナット79は上記ボールネジ78の長さ方向(図3中左右方向)の何れかの方向に移動する。このボールナット79の移動は、上記ボールネジ78の回転によって上記ボールネジ78に形成された螺旋状の溝78cと上記ボールナット79内の図示しない複数のボールとが相互作用し、上記ボールナット79が上記ボールネジ78の長さ方向(図3中左右方向)の何れかの方向に付勢されることによるものである。このとき、上記ボールナット79は上記ボールネジ78の回転力によって、上記ボールネジ78の回転方向と同方向に回転しようとする。しかし、上記ボールナット79に接続された被ガイド部材83がベース65のガイドレール65b、65bによって長さ方向(図3中左右方向)にガイドされるため、上記ボールネジ78の回転による上記ボールナット79の回転が規制されている。   At that time, the ball nut 79 screwed into the ball screw 78 moves in any direction of the length direction of the ball screw 78 (left and right direction in FIG. 3). The movement of the ball nut 79 is caused by interaction between a spiral groove 78c formed in the ball screw 78 and a plurality of balls (not shown) in the ball nut 79 by the rotation of the ball screw 78. This is because the ball screw 78 is urged in any direction in the length direction (left and right direction in FIG. 3). At this time, the ball nut 79 tends to rotate in the same direction as the rotation direction of the ball screw 78 by the rotational force of the ball screw 78. However, since the guided member 83 connected to the ball nut 79 is guided in the length direction (left and right direction in FIG. 3) by the guide rails 65 b and 65 b of the base 65, the ball nut 79 by the rotation of the ball screw 78. The rotation of is regulated.

そして、上記ボールナット79の移動によって、ロッド85及びこのロッド85に取り付けられた図示しない対象物も、上記ボールネジ78の長さ方向(図3中左右方向)に移動されることになる。
また、フロントブラケット23aと軸受ブラケット23bとの間にグリス溜り50が形成されている。このグリス溜り50内には図示しないグリスが保持されている。また、上記グリスは、グリス供給路29c、29dを通過しての移動や、上記ロッド85の移動によって、ロッド用貫通孔25、軸受53、及び、第2ロッド用シール部材35の内周面と上記ロッド85の外周面との間に供給され、上記ロッド85の移動を円滑なものとする。
また、上記グリスは、上記貫通孔25内を移動してソフトワイパ33eにも吸収される。これによって、第1シール部材側へも上記グリスが供給される。
なお、上記グリス溜り50内等へのグリスの補充は、グリスニップル37を介して行われる。
As the ball nut 79 moves, the rod 85 and the object (not shown) attached to the rod 85 are also moved in the length direction of the ball screw 78 (left and right in FIG. 3).
Further, a grease reservoir 50 is formed between the front bracket 23a and the bearing bracket 23b. In the grease reservoir 50, grease (not shown) is held. Further, the grease passes through the grease supply passages 29c and 29d, and the rod 85 moves, so that the rod through hole 25, the bearing 53, and the inner peripheral surface of the second rod seal member 35 Supplied between the rod 85 and the outer peripheral surface, the rod 85 moves smoothly.
The grease moves through the through hole 25 and is absorbed by the soft wiper 33e. Accordingly, the grease is also supplied to the first seal member side.
Note that the grease is replenished into the grease reservoir 50 and the like through the grease nipple 37.

また、上記ボールナット79の図示しないボール循環路内もグリスが充填されており、このグリスによって上記ボールネジ78と上記ボールナット79内の図示しない複数のボールとの相互作用が円滑なものとなっている。上記ボールナット79の図示しないボール循環路内へのグリスの補充はハウジング本体5のグリス補充用貫通孔22a及びロッド接続部材81のグリスニップル81bを介して行われる。   The ball circulation path (not shown) of the ball nut 79 is also filled with grease, and the grease makes the interaction between the ball screw 78 and a plurality of balls (not shown) in the ball nut 79 smooth. Yes. The replenishment of grease into the ball circulation path (not shown) of the ball nut 79 is performed through the grease replenishing through hole 22 a of the housing body 5 and the grease nipple 81 b of the rod connecting member 81.

また、上記ロッド85の移動を円滑なものとするため、上記ロッド85の軸心調整が行われる。上記ロッド85の軸心調整は、次のようにして行われる。
まず、ボルト39を除去し、フロントブラケット23aをハウジング本体5から取り外す。このとき、フロントブラケット23aとともに第1ロッド用シール部材33、ソフトワイパ33e、及び、第2ロッド用シール部材35も上記ロッド85から取り外されることになる。
次に、ボルト65gを緩め、上記軸受ブラケット23bのボルト用貫通孔49の遊びの範囲内において上記軸受ブラケット23bを移動させる。
次に、上記ロッド85が上記フロントブラケット23a内の軸受53に対して摺接しながら円滑に移動できるように、上記軸受ブラケット23bの位置を調整する。
そして、上記ボルト65gを締めて上記軸受ブラケット23bを所望の位置にて固定する。
以上が、上記アクチュエータ1の動作についての説明である。
Moreover, in order to make the movement of the rod 85 smooth, the axis of the rod 85 is adjusted. The axial center adjustment of the rod 85 is performed as follows.
First, the bolt 39 is removed, and the front bracket 23 a is removed from the housing body 5. At this time, the first rod seal member 33, the soft wiper 33e, and the second rod seal member 35 are also removed from the rod 85 together with the front bracket 23a.
Next, the bolt 65g is loosened, and the bearing bracket 23b is moved within the play range of the bolt through hole 49 of the bearing bracket 23b.
Next, the position of the bearing bracket 23b is adjusted so that the rod 85 can move smoothly while sliding on the bearing 53 in the front bracket 23a.
Then, the bolt 65g is tightened to fix the bearing bracket 23b at a desired position.
The above is the description of the operation of the actuator 1.

次に、上記アクチュエータ1のシール構造の作用について説明する。
まず、ハウジング本体5とフロントブラケット23aとの間にはフロントカバ用シール部材41が介挿されているとともに、上記ハウジング本体5とリアカバ9との間にはリアカバ用シール部材62が介挿されている。そのため、上記ハウジング本体5の両端面においては、上記フロントカバ用シール部材41と上記リアカバ用シール部材62とによって、上記フロントカバ用シール部材41と上記リアカバ用シール部材62によって、ハウジング3内部への異物の侵入が防止されている。
また、ボルト65eの頭部と上記ハウジング本体5との間には、ワッシャ状のハウジング用シール部材65fが介挿されている。そのため、上記ハウジング用シール部材65fによって、上記ハウジング本体5の貫通孔17における上記ハウジング3内部への異物や水滴等の侵入が防止されている。
Next, the operation of the seal structure of the actuator 1 will be described.
First, a front cover seal member 41 is inserted between the housing body 5 and the front bracket 23a, and a rear cover seal member 62 is inserted between the housing body 5 and the rear cover 9. Yes. For this reason, the front cover sealing member 41 and the rear cover sealing member 62 are connected to the inside of the housing 3 by the front cover sealing member 41 and the rear cover sealing member 62 on both end surfaces of the housing body 5. Intrusion of foreign objects is prevented.
A washer-like housing seal member 65f is interposed between the head of the bolt 65e and the housing body 5. Therefore, the housing sealing member 65f prevents foreign matter, water droplets, and the like from entering the housing 3 through the through hole 17 of the housing body 5.

また、上記フロントブラケット23aには第1ロッド用シール部材33と第2ロッド用シール部材35が設置されている。この第1ロッド用シール部材33及び第2ロッド用シール部材35によって、上記ハウジング3のロッド85が貫通する部分における上記ハウジング3内部への異物や水滴等の侵入が防止されている。
また、上記第1ロッド用シール部材33は上記ハウジング3の外部側(図3中左側)に設置されているとともに、上記第2シール部材33は上記ハウジング3の内部側(図3中右側)にも設置されている。そのため、仮に、上記第1ロッド用シール部材33と上記ロッド85との隙間から異物や水滴等が侵入したとしても、上記第2シール部材33によって、上記異物や水滴等の上記ハウジング3内部への更なる侵入は防止される。
A first rod seal member 33 and a second rod seal member 35 are installed on the front bracket 23a. The first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35 prevent foreign matter, water droplets, and the like from entering the inside of the housing 3 at the portion of the housing 3 through which the rod 85 passes.
The first rod sealing member 33 is installed on the outer side of the housing 3 (left side in FIG. 3), and the second sealing member 33 is installed on the inner side of the housing 3 (right side in FIG. 3). Is also installed. Therefore, even if foreign matter or water droplets or the like enter from the gap between the first rod seal member 33 and the rod 85, the second seal member 33 causes the foreign matter or water droplets or the like to enter the housing 3. Further intrusion is prevented.

また、上記第1ロッド用シール部材33の内周面の後端側(図3中右側)にはソフトワイパ33eが設置されている。このソフトワイパ33eによっても、上記第1ロッド用シール部材33と上記第2ロッド用シール部材35との間において、上記異物や水滴等を捕捉するようになっている。   A soft wiper 33e is installed on the rear end side (right side in FIG. 3) of the inner peripheral surface of the first rod sealing member 33. The soft wiper 33e also captures the foreign matter, water droplets, etc. between the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35.

また、上記第1ロッド用シール部材33と第2ロッド用シール部材35は、上記ハウジング3内部から外部への、図示しないグリスや上記ハウジング3内部で発生した摩耗粉等の異物の流出を防止するようにもなっている。また、上記ソフトワイパ33eによっても、上記ハウジング3外部への上記グリスや上記摩耗粉等の異物の流出を防止するようになっている。
また、上記フロントブラケット23aのグリス溜り用凹部27aの内周面と上記軸受ブラケット23bのグリス溜り用凸部45bの外周面との間にOリング51が介挿されている。このOリング51によって、グリス溜り50内の図示しないグリスの流出を防止している。
Further, the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35 prevent outflow of foreign matters such as grease (not shown) and abrasion powder generated inside the housing 3 from the inside of the housing 3 to the outside. It is also like. The soft wiper 33e also prevents foreign matter such as grease and wear powder from flowing out of the housing 3.
An O-ring 51 is inserted between the inner peripheral surface of the grease retaining recess 27a of the front bracket 23a and the outer peripheral surface of the grease retaining convex portion 45b of the bearing bracket 23b. The O-ring 51 prevents grease (not shown) from flowing out in the grease reservoir 50.

また、上記フロントブラケット23aのエアパージ用貫通孔30を介して、図示しないポンプによって、上記フロントブラケット23aのロッド用貫通孔25の内周面と上記ロッド本体85aの外周面との間に図示しないエアパージ用気体(例えば、空気)を送り込むようにしている。上記エアパージ用貫通孔30の上記ロッド用貫通孔25側の開口部は、上記第1ロッド用シール部材33と上記第2ロッド用シール部材35との間に位置しているため、上記エアパージ用気体は、まず、上記第1ロッド用シール部材33と上記第2ロッド用シール部材35との間に送り込まれる。そして、上記エアパージ用気体によって、上記第1ロッド用シール部材33の内側の空間と上記貫通孔25内の上記第2ロッド用シール部材35より前方側(図4中左側)の空間における気圧が高くなる。これによって、上記第1ロッド用シール部材33の先端側を介しての上記ハウジング3外部から上記ハウジング3内部への異物や水滴等の侵入を防止する。   Also, an air purge (not shown) is provided between the inner peripheral surface of the rod through hole 25 of the front bracket 23a and the outer peripheral surface of the rod body 85a by a pump (not shown) through the air purge through hole 30 of the front bracket 23a. A working gas (for example, air) is fed. Since the opening of the air purge through hole 30 on the rod through hole 25 side is located between the first rod seal member 33 and the second rod seal member 35, the air purge gas Is first fed between the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35. The air purge gas increases the pressure in the space inside the first rod seal member 33 and in the space on the front side (left side in FIG. 4) of the second rod seal member 35 in the through hole 25. Become. This prevents foreign matter, water droplets, and the like from entering the housing 3 from the outside of the housing 3 via the distal end side of the first rod seal member 33.

また、上記のようにハウジング3内は密閉されているため、前述したボールナット79及びロッド85の移動によって上記ハウジング3内の気圧の偏りが生じ、上記ボールナット79及びロッド85の移動が阻害されてしまうことが懸念される。これに対しては、吸排気ポート63を介して、上記ハウジング3内への外気の取り込み、又は、上記ハウジング3内の空気の外部への排出を行うことで、上記ボールナット79及びロッド85の移動が阻害されないようにしている。
以上が、上記アクチュエータ1のシール構造の作用についての説明である。
Further, since the inside of the housing 3 is sealed as described above, the movement of the ball nut 79 and the rod 85 described above causes an uneven pressure in the housing 3, and the movement of the ball nut 79 and the rod 85 is hindered. There is a concern that In response to this, by taking in outside air into the housing 3 through the intake / exhaust port 63 or discharging the air in the housing 3 to the outside, the ball nut 79 and the rod 85 are removed. The movement is not disturbed.
The above is the description of the operation of the seal structure of the actuator 1.

次に、本実施の形態によるアクチュエータ1の効果について説明する。
まず、上記ハウジング本体5の両端面において、例えば、接着剤を塗布されているようなシール構造とはしておらず、防塵・防水性能の確保についてはシール部材用溝31、59への上記フロントカバ用シール部材41や上記リアカバ用シール部材62の嵌合と除去を行うだけで足りるため、上記ハウジング3の分解・組み立てが行いやすいものとなっている。
また、ハウジング本体5とフロントブラケット23aとの間にはフロントカバ用シール部材41が介挿されているとともに、上記ハウジング本体5とリアカバ9との間にはリヤカバ用シール部材62が介挿されているため、上記ハウジング本体5の両端面におけるハウジング3内部への異物や水滴等の侵入が確実に防止され、上記アクチュエータ1の防塵・防水性能を高めることができる。
Next, the effect of the actuator 1 according to the present embodiment will be described.
First, the both ends of the housing main body 5 are not made to have a sealing structure in which, for example, an adhesive is applied, and the front to the sealing member grooves 31 and 59 is ensured for ensuring the dustproof and waterproof performance. Since it is only necessary to fit and remove the cover sealing member 41 and the rear cover sealing member 62, the housing 3 can be easily disassembled and assembled.
A front cover seal member 41 is inserted between the housing body 5 and the front bracket 23a, and a rear cover seal member 62 is inserted between the housing body 5 and the rear cover 9. Therefore, it is possible to reliably prevent foreign matter, water droplets, and the like from entering the inside of the housing 3 at both end faces of the housing body 5 and to improve the dustproof / waterproof performance of the actuator 1.

また、上記フロントブラケット23aには第1ロッド用シール部材33と第2ロッド用シール部材35が設置されているため、この第1ロッド用シール部材33及び第2ロッド用シール部材35によって、上記ハウジング3のロッド85が貫通する部分における上記ハウジング3内部への異物や水滴等の侵入を防止することができる。
また、上記第1ロッド用シール部材33は上記ハウジング3の外部側(図3中左側)に設置されているとともに、上記第2シール部材33は上記ハウジング3の内部側(図3中右側)にも設置されている。そのため、仮に、上記第1ロッド用シール部材33と上記ロッド85との隙間から異物や水滴等が侵入したとしても、上記第2シール部材33によって、上記異物や水滴等の上記ハウジング3内への更なる侵入を防止することができる。
Further, since the first rod seal member 33 and the second rod seal member 35 are installed in the front bracket 23a, the first rod seal member 33 and the second rod seal member 35 are used to form the housing. Intrusion of foreign matter, water droplets or the like into the inside of the housing 3 at a portion through which the three rods 85 penetrate can be prevented.
The first rod sealing member 33 is installed on the outer side of the housing 3 (left side in FIG. 3), and the second sealing member 33 is installed on the inner side of the housing 3 (right side in FIG. 3). Is also installed. Therefore, even if foreign matter or water droplets or the like enter from the gap between the first rod seal member 33 and the rod 85, the second seal member 33 causes the foreign matter or water droplets or the like to enter the housing 3. Further intrusion can be prevented.

また、上記第1ロッド用シール部材33の内周面の後端側(図3中右側)にはソフトワイパ33eが設置されているため、このソフトワイパ33eによって上記第1ロッド用シール部材33と上記第2ロッド用シール部材35との間において、上記異物や水滴等を捕捉することができる。   Further, since a soft wiper 33e is installed on the rear end side (right side in FIG. 3) of the inner peripheral surface of the first rod seal member 33, the soft wiper 33e and the first rod seal member 33 The foreign matter, water droplets, and the like can be captured between the second rod seal member 35 and the second rod seal member 35.

また、上記第1ロッド用シール部材33と第2ロッド用シール部材35は、上記ハウジング3内部から外部への、図示しないグリスや上記ハウジング3内部で発生した摩耗粉等の異物の流出を防止することもできる。また、前述した上記ハウジング3外部からの異物や水滴等の侵入の場合と同様、上記第1ロッド用シール部材33と第2ロッド用シール部材35の2段階のロッド用シール部材が設置されているため、より確実に上記グリスや上記ハウジング3内部で発生した摩耗粉等の異物の流出を防止することができる。また、上記ソフトワイパ33eによっても、上記ハウジング3外部への上記グリスや上記ハウジング3内部で発生した摩耗粉等の異物の流出を防止することができる。
このように、上記第1ロッド用シール部材33、上記第2ロッド用シール部材35、及び、上記ソフトワイパ33eによって、上記アクチュエータ1の防塵・防水性能を高めることができる。
Further, the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35 prevent outflow of foreign matters such as grease (not shown) and abrasion powder generated inside the housing 3 from the inside of the housing 3 to the outside. You can also. Further, as in the case of entry of foreign matter or water droplets from the outside of the housing 3 described above, a two-stage rod seal member, the first rod seal member 33 and the second rod seal member 35, is installed. Therefore, it is possible to more reliably prevent foreign matters such as the grease and wear powder generated inside the housing 3 from flowing out. Further, the soft wiper 33e can also prevent foreign matters such as the grease to the outside of the housing 3 and the wear powder generated inside the housing 3 from flowing out.
As described above, the first rod sealing member 33, the second rod sealing member 35, and the soft wiper 33e can enhance the dustproof and waterproof performance of the actuator 1.

また、上記第2ロッド用シール部材35は、X字型の断面形状を有するリング状の部材であり、前端側(図4中左側)と後端側(図4中右側)の2か所においてロッド85を接触しているため、防塵・防水性能を高めることができる。また、上記第2ロッド用シール部材35はロッド85との接触面積が少ないため、摺動抵抗を低減させることができる。
また、上記ボルト65eの頭部と上記ハウジング本体5との間にはハウジング用シール部材65fが介挿されているため、貫通孔17における上記ハウジング3内部への異物や水滴等の侵入を確実に防止し、上記アクチュエータ1の防塵・防水性能を高めることができる。
また、上記フロントブラケット23aにはエアパージ用貫通孔30が形成されている。このエアパージ用貫通孔30にエアパージ用気体を送り込むことで、上記ハウジング3外部からの異物や水滴等の侵入を防止して、上記アクチュエータ1の防塵・防水性能を高めることができる。
The second rod sealing member 35 is a ring-shaped member having an X-shaped cross-sectional shape, and is provided at two locations on the front end side (left side in FIG. 4) and the rear end side (right side in FIG. 4). Since the rod 85 is in contact, the dustproof / waterproof performance can be enhanced. Further, since the second rod sealing member 35 has a small contact area with the rod 85, the sliding resistance can be reduced.
In addition, since a housing seal member 65f is interposed between the head of the bolt 65e and the housing body 5, it is possible to ensure that foreign matter, water droplets, etc. enter the through hole 17 into the housing 3. And the dustproof / waterproof performance of the actuator 1 can be improved.
An air purge through hole 30 is formed in the front bracket 23a. By sending the air purge gas into the air purge through hole 30, it is possible to prevent foreign matter and water droplets from entering from the outside of the housing 3 and to improve the dustproof and waterproof performance of the actuator 1.

また、フロントカバ7はフロントブラケット23aと軸受ブラケット23bとから構成されており、上記フロントブラケット23aと上記軸受ブラケット23bとの間にグリス溜り50が形成されるようになっているため、複雑な加工を要することなく、容易に上記グリス溜り50を形成することができる。
また、上記グリス溜り50内に保持されたグリスによって、上記ロッド85の移動を円滑にすることができる。また、ソフトワイパ33eによって第1ロッド用シール部材33側においてもグリスが保持されるので、上記ロッド85の移動をより円滑なものとすることができる。
また、上記フロントブラケット23a側に上記第1ロッド用シール部材33と上記第2ロッド用シール部材35の両方が設置されているため、上記フロントブラケット23aのみを取り外すことによって、容易に上記第1ロッド用シール部材33と上記第2ロッド用シール部材35の交換を行うことができる。
また、上記フロントカバ7から上記フロントブラケット23aのみを取り外した状態では、上記ロッド85は上記第1ロッド用シール部材33と上記第2ロッド用シール部材35による摩擦抵抗の影響を受けなくなるため、上記ロッド85の軸心調整を容易に行うことができる。
The front cover 7 is composed of a front bracket 23a and a bearing bracket 23b, and a grease reservoir 50 is formed between the front bracket 23a and the bearing bracket 23b. Therefore, the grease reservoir 50 can be easily formed.
Moreover, the movement of the rod 85 can be facilitated by the grease retained in the grease reservoir 50. Further, since the grease is held also on the first rod seal member 33 side by the soft wiper 33e, the rod 85 can be moved more smoothly.
Since both the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35 are installed on the front bracket 23a side, the first rod can be easily removed by removing only the front bracket 23a. The seal member 33 and the second rod seal member 35 can be exchanged.
In the state where only the front bracket 23a is removed from the front cover 7, the rod 85 is not affected by the frictional resistance of the first rod seal member 33 and the second rod seal member 35. The axial center adjustment of the rod 85 can be easily performed.

また、上記第1ロッド用シール部材33と上記第2ロッド用シール部材35には表面硬化処理としてDLC(Diamond Like Carbon)コーティングが施されていると共に、ロッド85の外周面には表面硬化処理として硬質クロムメッキが施されている。そのため、上記第1ロッド用シール部材33及び上記第2ロッド用シール部材35と上記ロッド85間の摩擦係数を減少させてアクチュエータ1の滑らかな動作を実現することができるとともに、上記第1ロッド用シール部材33、上記第2ロッド用シール部材35、及び、上記ロッド85の耐摩耗性を高めることができる。   The first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35 are DLC (Diamond Like Carbon) coating as a surface hardening treatment, and the outer peripheral surface of the rod 85 is subjected to a surface hardening treatment. Hard chrome plating is applied. Therefore, the friction coefficient between the first rod seal member 33 and the second rod seal member 35 and the rod 85 can be reduced to realize a smooth operation of the actuator 1 and the first rod seal. The wear resistance of the seal member 33, the second rod seal member 35, and the rod 85 can be improved.

また、上記モータブラケット69と上記ベアリングハウジング67とは、セットスクリュ71によって固定されている。そのため、上記セットスクリュ71を除去するだけで、上記モータブラケット69、モータ73、及び、エンコーダ75が一体になった部分をアクチュエータ本体10から容易に分離することができる。また、上記ハウジング3のリアカバ9を取り外せば、上記モータブラケット69、上記モータ73、及び、エンコーダ75が一体になった部分を容易に上記ハウジング3外に取り出すことができ、上記モータ73や上記エンコーダ75等の修理・交換を容易なものとすることができる。
以上が、本実施の形態についての説明である。
The motor bracket 69 and the bearing housing 67 are fixed by a set screw 71. Therefore, the part where the motor bracket 69, the motor 73, and the encoder 75 are integrated can be easily separated from the actuator body 10 simply by removing the set screw 71. Further, if the rear cover 9 of the housing 3 is removed, a portion in which the motor bracket 69, the motor 73 and the encoder 75 are integrated can be easily taken out of the housing 3, and the motor 73 and the encoder can be removed. Repair and replacement of 75 etc. can be made easy.
The above is the description of the present embodiment.

次に、図8を参照しながら、本発明の第2の実施の形態について説明する。
まず、本実施の形態によるアクチュエータ87の構成について説明する。
本実施の形態によるアクチュエータ87は、前述した第1の実施の形態によるアクチュエータ1とほぼ同様の構成となっているが、フロントカバ89は、前述した第1の実施の形態におけるフロントカバ7のようにフロントブラケット23aと軸受ブラケット23bの2つの部材からなる構成ではなく、1つの部材から構成されている。そのため、前述した第1の実施の形態におけるフロントカバ7に存在していたグリス溜り50は形成されていない。また、前述した第1の実施の形態におけるグリス供給路29cも存在していない。また、1つの部材から構成されているため、上記フロントカバ89には、前述した第1の実施の形態において上記フロントブラケット23aと上記軸受ブラケット23bとの間に設けられていたOリング51も設置されていない。また、本実施の形態の場合には、貫通孔25は上記フロントカバ89の全体を貫通する貫通孔であり、その後端側(図8中右端側)に軸受53が設置された構成となっている。
上記アクチュエータ87は、その他の構成については、前述した第1の実施の形態によるアクチュエータ1と同様であり、第1の実施の形態の場合と同一の符号を付すとともに、その説明を省略する。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
First, the configuration of the actuator 87 according to the present embodiment will be described.
The actuator 87 according to the present embodiment has substantially the same configuration as the actuator 1 according to the first embodiment described above, but the front cover 89 is similar to the front cover 7 according to the first embodiment described above. The front bracket 23a and the bearing bracket 23b are not composed of two members, but are composed of one member. Therefore, the grease reservoir 50 present in the front cover 7 in the first embodiment described above is not formed. Further, the grease supply path 29c in the first embodiment described above does not exist. Further, since it is composed of one member, the front cover 89 is also provided with an O-ring 51 provided between the front bracket 23a and the bearing bracket 23b in the first embodiment described above. It has not been. Further, in the case of the present embodiment, the through hole 25 is a through hole penetrating the entire front cover 89, and the bearing 53 is installed on the rear end side (the right end side in FIG. 8). Yes.
The other configuration of the actuator 87 is the same as that of the actuator 1 according to the first embodiment described above, and the same reference numerals as those in the first embodiment are given, and the description thereof is omitted.

次に、本実施の形態によるアクチュエータ87の作用について説明する。
本実施の形態によるアクチュエータ87も、前述した第1の実施の形態によるアクチュエータ1とほぼ同様の作用を奏する。
しかし、上記アクチュエータ87においては、フロントカバ89のグリス溜りがないため、上記グリス溜りにおけるグリスの保持や上記グリス溜りからのグリスの供給が行われない。
なお、穴加工等を行うことによりグリス溜りを設けることも可能である。
以上が、本実施の形態によるアクチュエータ87の作用についての説明である。
Next, the operation of the actuator 87 according to the present embodiment will be described.
The actuator 87 according to the present embodiment also exhibits substantially the same operation as the actuator 1 according to the first embodiment described above.
However, in the actuator 87, since there is no grease accumulation in the front cover 89, the grease is not held in the grease accumulation or supplied from the grease accumulation.
It is also possible to provide a grease reservoir by drilling or the like.
The above is the description of the operation of the actuator 87 according to the present embodiment.

次に、本実施の形態によるアクチュエータ87の効果について説明する。
本実施の形態によるアクチュエータ87も、前述した第1の実施の形態によるアクチュエータ1とほぼ同様の効果を奏する。
しかし、上記アクチュエータ87においては、フロントカバ89は1つの部材から構成されているため、前述した第1の実施の形態におけるフロントブラケット23aのみの取り外しにより第1ロッド用シール部材33と第2ロッド用シール部材35の交換が容易となる効果はない。これは、上記フロントカバ89を取り外す際には、第1ロッド用シール部材33と第2ロッド用シール部材35のみならず、軸受53をもロッド85から抜き取ることが必要となるからである。
以上が、本実施の形態によるアクチュエータ87の効果についての説明である。
Next, effects of the actuator 87 according to the present embodiment will be described.
The actuator 87 according to the present embodiment also has substantially the same effect as the actuator 1 according to the first embodiment described above.
However, in the actuator 87, since the front cover 89 is composed of one member, the first rod sealing member 33 and the second rod are removed by removing only the front bracket 23a in the first embodiment. There is no effect that the replacement of the seal member 35 becomes easy. This is because when removing the front cover 89, it is necessary to remove not only the first rod seal member 33 and the second rod seal member 35 but also the bearing 53 from the rod 85.
The above is the description of the effect of the actuator 87 according to the present embodiment.

なお、本発明は、前述の第1の実施の形態や第2の実施の形態に限定されない。
ロッド本体85aや第1ロッド用シール部材33や第2ロッド用シール部材35に施される表面硬化処理には、様々な種類のものが考えられる。また、前述の第1の実施の形態や第2の実施の形態の場合には、上記第1ロッド用シール部材33と上記第2ロッド用シール部材35の両方に表面硬化処理(DLCコーティング)を施しているが、上記第1ロッド用シール部材33と上記第2ロッド用シール部材35の何れか一方のみに表面硬化処理(DLCコーティング)を施すことも考えられる。また、上記ロッド本体85a側のみに表面硬化処理を施すことや、上記第1ロッド用シール部材33や上記第2ロッド用シール部材35側のみに表面硬化処理を施すことも考えられる。
また、前述の第1の実施の形態や第2の実施の形態においては、ロッド用シール部材として、第1ロッド用シール部材33や第2ロッド用シール部材35の2つのロッド用シール部材が設けられているが、ロッド用シール部材を1つ、又は、3つ以上設けることも考えられる。
また、前述の第1の実施の形態や第2の実施の形態の場合には、摺動可能に係合された被ガイド部材83の被ガイド用凸部83cとベース65のガイドレール65bによって、ボールナット79ひいてはロッド85がガイドされる構成となっていたが、このような摺動タイプのガイドではなく、例えば、上記ガイドレール65bと、上記ガイドレール65bに係合されるとともに上記被ガイド部材83の内部を循環する複数のボールによってガイドされるようなものも考えられる。
その他、本願発明は、図示した構成に限定されず、様々な変形が考えられる。
Note that the present invention is not limited to the first embodiment and the second embodiment described above.
Various types of surface hardening treatments can be considered for the surface hardening treatment applied to the rod body 85a, the first rod sealing member 33, and the second rod sealing member 35. In the case of the first embodiment or the second embodiment described above, surface hardening treatment (DLC coating) is applied to both the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35. However, it is also conceivable that only one of the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35 is subjected to surface hardening treatment (DLC coating). It is also conceivable that the surface hardening treatment is performed only on the rod body 85a side, or the surface hardening treatment is performed only on the first rod sealing member 33 or the second rod sealing member 35 side.
In the first and second embodiments described above, two rod sealing members, the first rod sealing member 33 and the second rod sealing member 35, are provided as rod sealing members. However, it is also conceivable to provide one or more rod sealing members.
In the case of the first embodiment and the second embodiment described above, the guided projection 83c of the guided member 83 and the guide rail 65b of the base 65, which are slidably engaged, The ball nut 79 and the rod 85 are guided. However, instead of such a slide type guide, for example, the guide rail 65b and the guide rail 65b are engaged with the guided member. A thing guided by a plurality of balls circulating inside 83 is also conceivable.
In addition, the present invention is not limited to the illustrated configuration, and various modifications can be considered.

本発明は、例えば、産業用ロボットに用いられるアクチュエータに係り、特に、モータを含んだアクチュエータ本体をハウジング内に内装し、且つ、ハウジングを構成するハウジング本体と該ハウジング本体の両端開口部を閉塞するフロントカバとリアカバとの間にシール部材を介挿して、組立・分解を容易に行うことができると共に、防塵・防水性能を高めるように工夫したものに関し、例えば、食品製造用ロボットに用いられるアクチュエータに好適である。   The present invention relates to an actuator used in, for example, an industrial robot, and in particular, an actuator main body including a motor is housed in a housing, and the housing main body constituting the housing and both end openings of the housing main body are closed. A seal member is inserted between the front and rear covers to facilitate assembly and disassembly, as well as to improve dustproof and waterproof performance. For example, actuators used in food manufacturing robots It is suitable for.

1 アクチュエータ
3 ハウジング
5 ハウジング本体
7 フロントカバ
9 リアカバ
10 アクチュエータ本体
11a フロント開口部
11b リア開口部
23a フロントブラケット
23b 軸受ブラケット
30 エアパージ用貫通孔
33 第1ロッド用シール部材
35 第2ロッド用シール部材
41 フロントカバ用シール部材
50 グリス溜り
62 リアカバ用シール部材
73 モータ
78 ボールネジ
65f ハウジング用シール部材
79 ボールナット
85 ロッド
87 アクチュエータ
89 フロントカバ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Actuator 3 Housing 5 Housing main body 7 Front cover 9 Back cover 10 Actuator main body 11a Front opening part 11b Rear opening part 23a Front bracket 23b Bearing bracket 30 Air purge through-hole 33 First rod seal member 35 Second rod seal member 41 Front Cover seal member 50 Grease reservoir 62 Seal member for rear cover 73 Motor 78 Ball screw 65f Housing seal member 79 Ball nut 85 Rod 87 Actuator 89 Front cover

Claims (10)

両端にフロント開口部とリア開口部を備えたハウジング本体と、上記フロント開口部を閉塞するフロントカバと、上記リア開口部を閉塞するリアカバと、からなるハウジングと、
上記ハウジング本体内に内装され、モータと、該モータにより回転される駆動用ネジと、該駆動用ネジに螺合されるナットと、該ナットに固着され上記フロントカバを貫通して上記ハウジング外部へその一部を突出され上記駆動用ネジの回転により進退するロッドと、からなるアクチュエータ本体と、
上記フロントカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたフロントカバ用シール部材と、
上記リアカバと上記ハウジング本体との間に介挿されたリアカバ用シール部材と、
を具備し
上記フロントカバは、フロントブラケットと、該フロントブラケットの軸方向内側に配置された軸受ブラケットと、から構成されており、
上記フロントブラケットと軸受ブラケットとの間にはグリス溜りが設けられていて、
上記フロントブラケットは上記ハウジング本体側に固定用ネジ部材により締結・固定され、
上記軸受ブラケットは上記アクチュエータ本体側に固定用ネジ部材により締結・固定され、
上記リアカバは上記ハウジング本体側に固定用ネジ部材により締結・固定されることを特徴とするアクチュエータ。
A housing comprising a housing body having a front opening and a rear opening at both ends, a front cover for closing the front opening, and a rear cover for closing the rear opening;
A motor, a driving screw rotated by the motor, a nut screwed to the driving screw, a nut fixed to the nut and passing through the front cover and extending to the outside of the housing. A rod that protrudes partly and advances and retreats by the rotation of the driving screw, and an actuator body,
A front cover seal member interposed between the front cover and the housing body;
A seal member for a rear cover inserted between the rear cover and the housing body;
Equipped with,
The front cover is composed of a front bracket and a bearing bracket disposed inside the front bracket in the axial direction.
A grease reservoir is provided between the front bracket and the bearing bracket.
The front bracket is fastened and fixed to the housing body by a fixing screw member.
The bearing bracket is fastened and fixed to the actuator body by a fixing screw member.
The actuator is characterized in that the rear cover is fastened and fixed to the housing body by a fixing screw member .
請求項1記載のアクチュエータにおいて、
上記フロントカバの上記ロッドの貫通部にはロッド用シール部材が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 1, wherein
An actuator characterized in that a rod sealing member is provided in a through portion of the rod of the front cover.
請求項2記載のアクチュエータにおいて、
上記ロッド用シール部材として、ハウジング外部側に設けられた第1ロッド用シール部材と、ハウジング内部側に設けられた第2ロッド用シール部材とが設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 2, wherein
An actuator comprising: a first rod sealing member provided on the housing outer side and a second rod sealing member provided on the housing inner side as the rod sealing member.
請求項2又は請求項3記載のアクチュエータにおいて、
上記ロッド用シール部材は上記フロントブラケット側に設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 2 or claim 3,
The actuator according to claim 1, wherein the rod sealing member is provided on the front bracket side .
請求項2〜請求項4の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記ロッドの外表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 2 to 4,
An actuator, wherein the outer surface of the rod is subjected to a surface hardening treatment .
請求項5記載のアクチュエータにおいて、
上記ロッドに施された表面硬化処理は硬質クロムメッキであることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 5, wherein
Actuator surface hardening treatment applied to the rod, characterized in hard chrome plating der Rukoto.
請求項2〜請求項4の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記ロッド用シール部材の少なくとも内表面には表面硬化処理が施されていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 2 to 4 ,
Actuator characterized that you have a surface hardening treatment is applied at least an inner surface of the rod sealing member.
請求項記載のアクチュエータにおいて、
上記ロッド用シール部材に施された表面硬化処理はDLC(Diamond Like Carbon)コーティングであることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 7 , wherein
Surface hardening treatment applied to the sealing member for the rod actuator, characterized in DLC (Diamond Like Carbon) coating der Rukoto.
請求項1〜請求項の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記アクチュエータ本体はハウジング本体の外側から固定用ネジ部材を螺合することによりハウジング本体に固定されていて、上記固定用ネジ部材の上記ハウジング本体の貫通部にはハウジング用シール部材が設置されていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 1 to 8,
The actuator body is fixed to the housing body by screwing a fixing screw member from the outside of the housing body, the through portion of the housing body of the fixing screw member that is installed sealing member housing An actuator characterized by that.
請求項1〜請求項9の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記フロントカバにはエアパージ機構が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 1 to 9,
The actuator for the front cover, wherein the air purge mechanism is al provided.
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