JP2014209451A - Ultraviolet ray lamp - Google Patents
Ultraviolet ray lamp Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014209451A JP2014209451A JP2014048451A JP2014048451A JP2014209451A JP 2014209451 A JP2014209451 A JP 2014209451A JP 2014048451 A JP2014048451 A JP 2014048451A JP 2014048451 A JP2014048451 A JP 2014048451A JP 2014209451 A JP2014209451 A JP 2014209451A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge vessel
- ultraviolet
- wavelength
- ultraviolet lamp
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/30—Vessels; Containers
- H01J61/35—Vessels; Containers provided with coatings on the walls thereof; Selection of materials for the coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/04—Electrodes; Screens; Shields
- H01J61/06—Main electrodes
- H01J61/073—Main electrodes for high-pressure discharge lamps
- H01J61/0732—Main electrodes for high-pressure discharge lamps characterised by the construction of the electrode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/38—Devices for influencing the colour or wavelength of the light
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/046—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using capacitive means around the vessel
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Abstract
Description
本発明は、ガラス製の放電容器内で発生した紫外線を光射出部から外部へと射出するように構成した紫外線ランプに関するものである。 The present invention relates to an ultraviolet lamp configured to emit ultraviolet light generated in a glass discharge vessel from a light emitting part to the outside.
例えば、基板の洗浄やインクの硬化等といった用途に紫外線を照射するための紫外線ランプが用いられている。このような紫外線ランプ１００Ａの一例としては、特許文献１及び図６に示されるように、内部に希ガスが封入された密閉空間１３Ａを有する概略扁平直方体形状の放電容器１Ａと、放電容器１Ａの外表面１１Ａに対向するように設けられたメッシュ状の一対の電極２Ａとを備え、前記放電容器１Ａにおいて一方のメッシュ状電極２２Ａが設けられている面を光射出部３Ａとして、内部で発生した紫外線を放電容器１Ａ外に取り出すように構成されたものがある。さらに、このものは放電容器１Ａで発生した紫外線を前記光射出部３Ａのみから射出されるようにし、光の取り出し効率を向上させられるように、放電容器１Ａの内表面１２Ａにおいて光射出部３Ａに対応する部分以外にＳｉＯ２粒子からなる紫外線反射膜４Ａが形成されている。 For example, an ultraviolet lamp for irradiating ultraviolet rays is used for applications such as substrate cleaning and ink curing. As an example of such an ultraviolet lamp 100A, as shown in Patent Document 1 and FIG. 6, a discharge vessel 1A having a substantially flat rectangular parallelepiped shape having a sealed space 13A in which a rare gas is enclosed, and a discharge vessel 1A A pair of mesh-like electrodes 2A provided so as to face the outer surface 11A, and a surface on which one mesh-like electrode 22A is provided in the discharge vessel 1A is used as a light emitting portion 3A and is generated inside Some are configured to take out ultraviolet rays out of the discharge vessel 1A. Further, in this case, the ultraviolet ray generated in the discharge vessel 1A is emitted only from the light emitting portion 3A, so that the light extraction efficiency is improved on the inner surface 12A of the discharge vessel 1A. An ultraviolet reflecting film 4A made of SiO 2 particles is formed in addition to the corresponding part.
ところで、放電容器１Ａ内で発生する紫外線は、基板の洗浄やインクの硬化等といった目的に合った所望の波長帯域の紫外線だけでなく、それよりも短波長の紫外線も併せて発生する。そして、この短波長の紫外線は放電容器１Ａの内表面１２Ａに形成された紫外線反射膜４Ａにより反射されるため、放電容器１Ａの内表面１２Ａにおいて光射出部３Ａに対応する部分にのみ照射されることになる。 By the way, the ultraviolet rays generated in the discharge vessel 1A are generated not only in a desired wavelength band suitable for purposes such as cleaning of the substrate and curing of the ink but also in a shorter wavelength than that. Since the short wavelength ultraviolet rays are reflected by the ultraviolet reflecting film 4A formed on the inner surface 12A of the discharge vessel 1A, only the portion corresponding to the light emitting portion 3A is irradiated on the inner surface 12A of the discharge vessel 1A. It will be.
この短波長の紫外線が放電容器１Ａを形成するガラスに照射されると、ガラスの劣化が少しずつ進行し、まず紫外線の透過率が低下し、紫外線の取り出し効率が落ちてしまう。さらにガラスの劣化が進行すると、放電容器１Ａにクラックが生じ不点灯となってしまい、交換が必要となる。 When the glass forming the discharge vessel 1A is irradiated with the short wavelength ultraviolet rays, the deterioration of the glass proceeds little by little, and the ultraviolet ray transmittance is lowered first, and the ultraviolet ray extraction efficiency is lowered. As the glass further deteriorates, the discharge vessel 1A cracks and becomes unlit, requiring replacement.
近年、稼働率を上げてライン全体においてコストを下げることが望まれているため、この光射出部３Ａにおける短波長の紫外線によるガラスの劣化を無くす、又は、遅らすことによりランプの交換頻度を低減できるようにすることが求められている。 In recent years, it has been desired to increase the operating rate and reduce the cost of the entire line. Therefore, it is possible to reduce the frequency of lamp replacement by eliminating or delaying the deterioration of the glass due to the short wavelength ultraviolet rays in the light emitting portion 3A. It is requested to do so.
このような光射出部３Ａにおける放電容器１Ａを形成するガラスの劣化を防ぐために、特許文献２に示される二重円筒管構造の放電容器１Ａを備えた紫外線ランプ１００Ａにおいては、放電容器１Ａの内表面１２Ａに形成される紫外線反射膜４Ａを光射出部３Ａの一部まで覆うように形成したものがある。 In order to prevent such deterioration of the glass forming the discharge vessel 1A in the light emitting portion 3A, an ultraviolet lamp 100A provided with a discharge vessel 1A having a double cylindrical tube structure shown in Patent Document 2 includes the inside of the discharge vessel 1A. There is one formed by covering the ultraviolet reflecting film 4A formed on the surface 12A up to a part of the light emitting portion 3A.
具体的にはこのものは、図７に示すように放電容器１Ａの内側管の内表面１１Ａに第１のベタ電極２１Ａが形成され、放電容器１Ａの外側管の外表面１１Ａに横断面視においてＣ字状となるように第２のベタ電極２２Ａが形成され、第２のベタ電極２２Ａが形成されていない開口部分を光射出部３Ａとしたものである。そして、放電容器１Ａの外側管の内表面１２Ａにおいて第２のベタ電極２２Ａと対応する部分と、放電容器１Ａの外側管の内表面１２Ａにおいて第２のベタ電極２２Ａの近傍であり、前記光射出部３Ａの一部に紫外線反射膜４Ａが形成されている。 Specifically, as shown in FIG. 7, the first solid electrode 21A is formed on the inner surface 11A of the inner tube of the discharge vessel 1A as shown in FIG. 7, and the outer surface 11A of the outer tube of the discharge vessel 1A is viewed in cross section. The second solid electrode 22A is formed so as to be C-shaped, and the opening where the second solid electrode 22A is not formed is used as the light emitting portion 3A. Then, the portion corresponding to the second solid electrode 22A on the inner surface 12A of the outer tube of the discharge vessel 1A and the vicinity of the second solid electrode 22A on the inner surface 12A of the outer tube of the discharge vessel 1A, the light emission An ultraviolet reflecting film 4A is formed on a part of the portion 3A.
すなわち、特許文献２では光射出部３Ａにおいて特に紫外線によるガラスの劣化が生じやすい、外側管の内表面１２Ａの第２のベタ電極２２Ａ近傍の一部を紫外線反射膜４Ａで覆うことにより長寿命化を達成できるとしている。 That is, in Patent Document 2, the light emission part 3A is particularly prone to glass deterioration due to ultraviolet rays, and the life of the outer tube inner surface 12A in the vicinity of the second solid electrode 22A is covered with the ultraviolet reflecting film 4A. Can be achieved.
しかしながら、上述した構成では短波長の光が光射出部に到達しないようにXeガスの封入圧やランプ形状、寸法を細かく設計する必要があるし、特許文献１のように一方のメッシュ状電極２２Ａが設けられている面を光射出部３Ａとしたランプにおいては、短波長の光が光射出部に到達するので、紫外線によるガラスの劣化を防ぐことはできない。かといって、光射出部３Ａにおける全領域における短波長の紫外線の劣化を防ぐために、放電容器１Ａにおける光射出部３Ａに対応する部分の全てに紫外線反射膜４Ａを内表面１２Ａに形成してしまうと、放電容器１Ａの内部において発生した紫外線を光射出部３Ａを介して外部にほとんど取り出すことができなくなってしまい、紫外線ランプ１００Ａ本来の機能を発揮できなくなってしまう。 However, in the above-described configuration, it is necessary to finely design the Xe gas sealing pressure, lamp shape, and dimensions so that short-wavelength light does not reach the light emitting portion. In the lamp having the light emitting portion 3A on the surface on which the light is provided, since short wavelength light reaches the light emitting portion, it is not possible to prevent deterioration of the glass due to ultraviolet rays. However, in order to prevent the deterioration of short wavelength ultraviolet rays in the entire region of the light emitting portion 3A, the ultraviolet reflecting film 4A is formed on the inner surface 12A in all the portions corresponding to the light emitting portion 3A in the discharge vessel 1A. Then, the ultraviolet rays generated inside the discharge vessel 1A can hardly be extracted outside through the light emitting portion 3A, and the original function of the ultraviolet lamp 100A cannot be exhibited.
本発明は上述したような問題を鑑みてなされたものであり、短波長の紫外線によるガラスの劣化を防ぎ、紫外線の取り出し効率の低下やクラックの発生等を無くす、又は、さらに遅らせることができる紫外線ランプを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and can prevent deterioration of glass due to short-wave ultraviolet rays, and can eliminate or further delay the reduction of ultraviolet extraction efficiency, generation of cracks, and the like. The purpose is to provide a lamp.
すなわち、本発明の紫外線ランプは、透光性ガラスからなり、内部に所定ガスが封入された密閉空間を有する放電容器と、前記放電容器の外表面に形成された少なくとも一対の電極と、前記密閉空間内において放電により発生した光が前記放電容器外へと射出される光射出部と、ピーク波長λ以上の紫外線は透過するとともに、ピーク波長λ未満の紫外線は反射又は吸収するものであり、前記放電容器の内表面において少なくとも前記光射出部に対応する領域に形成されている放電容器保護膜とを備えたことを特徴とする。
本願発明でいう透光性とは、放電によって発生した少なくとも紫外線光の波長領域の光を透過して外部に導出できる程度に光透過性であることをいい、透明であるのが好ましい。
また、本願でいうピーク波長とは、発光光のスペクトル分布のピーク値に対応する波長であり、詳しくは、前記密閉空間内において放電により発生した光が前記放電容器外へと射出される際の容器外で検出される前記スペクトル分布の最も強度の高い波長である。
That is, the ultraviolet lamp of the present invention comprises a discharge vessel having a sealed space made of translucent glass and enclosing a predetermined gas therein, at least a pair of electrodes formed on the outer surface of the discharge vessel, and the sealed Light emitted from the discharge in the space is emitted to the outside of the discharge vessel, ultraviolet light having a peak wavelength λ or more is transmitted, and ultraviolet light having a peak wavelength λ is reflected or absorbed, And a discharge vessel protective film formed at least in a region corresponding to the light emitting portion on the inner surface of the discharge vessel.
The term “translucency” as used in the present invention means that it is light transmissive to such an extent that light in the wavelength region of at least ultraviolet light generated by discharge can be transmitted to the outside, and is preferably transparent.
In addition, the peak wavelength referred to in the present application is a wavelength corresponding to the peak value of the spectrum distribution of the emitted light, and more specifically, when light generated by discharge in the sealed space is emitted outside the discharge vessel. It is the wavelength with the highest intensity of the spectral distribution detected outside the container.
このようなものであれば、ピーク波長λ以上の紫外線は透過するとともに、ピーク波長λ未満の紫外線は反射又は吸収する放電容器保護膜が、前記放電容器の内表面において前記光射出部に対応する領域に形成されているので、必要なピーク波長λ以上の紫外線を外部に取り出しつつ、放電容器における光射出部に対応する部分にはピーク波長λ未満の紫外線が直接照射されることはない。 If this is the case, a discharge vessel protective film that transmits ultraviolet rays having a peak wavelength λ or more and transmits or reflects ultraviolet rays having a peak wavelength λ or less corresponds to the light emitting portion on the inner surface of the discharge vessel. Since it is formed in the region, the ultraviolet light having the peak wavelength λ or more is taken out to the outside, and the ultraviolet light having the peak wavelength λ is not directly irradiated to the portion corresponding to the light emitting portion in the discharge vessel.
すなわち、従来ガラスの劣化の進行を防ぐことができなかった放電容器において光射出部に対応する領域についても短波長の紫外線であるピーク波長λ未満の紫外線が照射されるのを前記放電容器保護膜によって防ぐことができる。したがって、放電容器において光射出部に対応する部分での紫外線の透過率の低下や、クラックの発生を従来に比べて長期間に亘って防ぐことができる。
具体的には、特許文献２のように短波長の光が光射出部に到達しないようにXeガスの封入圧やランプ形状、寸法を細かく設計する必要がないし、特許文献１のように一方のメッシュ状電極が設けられている面を光射出部としたランプにおいて、短波長の光が光射出部に到達しても、紫外線によるガラスの劣化を防ぐことができる。
That is, in the discharge vessel that could not prevent the progress of deterioration of the conventional glass, the region corresponding to the light emitting portion is also irradiated with ultraviolet rays having a short wavelength less than the peak wavelength λ. Can be prevented by. Accordingly, it is possible to prevent a decrease in the transmittance of ultraviolet rays at the portion corresponding to the light emitting portion in the discharge vessel and the generation of cracks over a long period of time compared to the conventional case.
Specifically, it is not necessary to finely design the Xe gas sealing pressure, lamp shape, and dimensions so that short-wavelength light does not reach the light emitting portion as in Patent Document 2, and one of them as in Patent Document 1. In a lamp in which the surface on which the mesh electrode is provided is a light emitting part, even if light having a short wavelength reaches the light emitting part, deterioration of the glass due to ultraviolet rays can be prevented.
このように本発明であれば紫外線ランプ本来の機能を保ちながら、放電容器を形成するガラスの劣化を防ぎ、長寿命化を実現することができる。したがって、紫外線ランプの交換頻度を低減し、例えばラインにおける稼働率を向上させられる。 As described above, according to the present invention, it is possible to prevent the glass forming the discharge vessel from deteriorating and to extend the life while maintaining the original function of the ultraviolet lamp. Therefore, the replacement frequency of the ultraviolet lamp can be reduced, and for example, the operating rate in the line can be improved.
前記密閉空間内において発生する外部へと取り出したいピーク波長λ以上の紫外線は、前記光射出部へと集中させて取り出し効率を高めるとともに、前記密閉空間内において発生する短波長の紫外線が放電容器まで到達することがなく、放電容器におけるどの部分についても短波長紫外線によるガラスの劣化が生じるのを防ぐことができるようにするには、前記放電容器保護膜が、前記放電容器の内表面において前記光射出部に対応する領域に形成されており、紫外線を反射するものであり、前記放電容器の内表面において前記光射出部以外に対応する領域に形成された紫外線反射膜をさらに備えたものであればよい。 Ultraviolet rays having a peak wavelength λ or more that are generated in the sealed space and are desired to be extracted to the outside are concentrated on the light emitting portion to increase the extraction efficiency, and the short-wavelength ultraviolet rays generated in the sealed space can reach the discharge vessel. In order to prevent the glass from being deteriorated by short wavelength ultraviolet rays in any part of the discharge vessel without reaching, the discharge vessel protective film is formed on the inner surface of the discharge vessel. It is formed in a region corresponding to the emission part and reflects ultraviolet rays, and further includes an ultraviolet reflection film formed in a region corresponding to the area other than the light emission part on the inner surface of the discharge vessel. That's fine.
例えば基板の洗浄に用いるのに適した波長帯域の紫外線が前記光射出部から射出されるようにするとともに、前記放電容器を形成するガラスの劣化を防ぐことができるようにするための波長λの具体例としては、前記ピーク波長λが、１６５ｎｍ以上１７５ｎｍ以下の範囲内の波長であるものが挙げられる。 For example, ultraviolet light having a wavelength band suitable for use in substrate cleaning is emitted from the light emitting portion, and the wavelength of λ for preventing deterioration of the glass forming the discharge vessel can be prevented. As a specific example, the peak wavelength λ may be a wavelength within a range of 165 nm to 175 nm.
前記紫外線反射膜において光射出部から射出されてほしい所望の波長帯域の紫外線が透過せずに反射されるようにするとともに、放電容器を形成するガラスを劣化させる短波長の紫外線も反射されるようにするための具体的な構成例としては、前記紫外線反射膜が、平均粒径が前記ピーク波長λよりも大きいＳｉＯ２粒子で形成されているものが挙げられる。
なお、本願でいう平均粒径とは、透過型電子顕微鏡で観察した粒子の投影面積を真円に換算した時の円相当径を計算し、観測粒子数５００個での平均円相当径を示す。
In the ultraviolet reflection film, ultraviolet rays in a desired wavelength band desired to be emitted from the light emitting part are reflected without being transmitted, and ultraviolet rays having a short wavelength that deteriorates the glass forming the discharge vessel are also reflected. As a specific configuration example, the ultraviolet reflecting film is formed of SiO 2 particles having an average particle diameter larger than the peak wavelength λ.
The average particle diameter referred to in the present application means the equivalent circle diameter when the projected area of particles observed with a transmission electron microscope is converted into a perfect circle and the number of observed particles is 500. .
前記放電容器保護膜においてガラスを劣化させる短波長の紫外線のうち特に劣化を進行させる波長よりも短い波長の紫外線は反射又は吸収されるようにしつつ、所望の波長帯域の紫外線としてピーク波長λよりも長い波長を有した紫外線のみを透過するようにするための具体的な構成例としては、前記放電容器保護膜が、平均粒径が前記ピーク波長λよりも小さく、１６０ｎｍ以上のＳｉＯ２粒子で形成されていればよい。 In the discharge vessel protective film, ultraviolet light having a wavelength shorter than the wavelength that causes deterioration in particular among ultraviolet rays having a short wavelength that degrades glass is reflected or absorbed, and ultraviolet light having a desired wavelength band is more than the peak wavelength λ. As a specific configuration example for transmitting only ultraviolet rays having a long wavelength, the discharge vessel protective film is formed of SiO 2 particles having an average particle size smaller than the peak wavelength λ and 160 nm or more. It only has to be done.
前記放電容器保護膜において、ピーク波長λよりも長い波長の紫外線については透過させるとともに、ピーク波長λよりも短い波長の紫外線については吸収させるようにするには、前記放電容器保護膜が、Ａｌ２Ｏ３により形成された紫外線透過膜であればよい。 In the discharge vessel protective film, in order to transmit ultraviolet light having a wavelength longer than the peak wavelength λ and to absorb ultraviolet light having a wavelength shorter than the peak wavelength λ, the discharge vessel protective film is made of Al 2. Any ultraviolet transmissive film formed of O 3 may be used.
前記放電容器保護膜の別の態様として、前記放電容器保護膜において、ピーク波長λよりも長い波長の紫外線については透過させるとともに、ピーク波長λよりも短い波長の紫外線については反射させるようにするには、前記放電容器保護膜が、ＭｇＯ、ＣａＦ２又はＭｇＦ２のいずれかにより形成された単層反射膜であればよい。 As another aspect of the discharge vessel protective film, the discharge vessel protective film transmits ultraviolet light having a wavelength longer than the peak wavelength λ and reflects ultraviolet light having a wavelength shorter than the peak wavelength λ. The discharge vessel protective film may be a single-layer reflective film formed of either MgO, CaF 2 or MgF 2 .
このように本発明の紫外線ランプによれば、前記放電容器の内表面において少なくとも前記光射出部に対応する領域に対してピーク波長λ以上の紫外線は透過するとともに、ピーク波長λ未満の紫外線は反射又は吸収する前記放電容器保護膜が形成されているので、従来保護されていなかった光射出部における放電容器を形成するガラスの劣化を防ぐことができ、長寿命化を実現することができる。 As described above, according to the ultraviolet lamp of the present invention, ultraviolet rays having a peak wavelength λ or more pass through at least the region corresponding to the light emitting portion on the inner surface of the discharge vessel, and ultraviolet rays having a peak wavelength λ or less are reflected. Alternatively, since the discharge vessel protective film that absorbs is formed, it is possible to prevent deterioration of the glass forming the discharge vessel in the light emitting portion that has not been protected in the past, and to achieve a long life.
本発明の第１実施形態の紫外線ランプ（エキシマランプ）について図１及び図２を参照しながら説明する。 An ultraviolet lamp (excimer lamp) according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
第１実施形態の紫外線ランプ１００は、誘電体バリア放電により発生する紫外線を基板に照射して有機物の除去に用いられるものである。 The ultraviolet lamp 100 according to the first embodiment is used for removing organic substances by irradiating a substrate with ultraviolet rays generated by dielectric barrier discharge.
すなわち、図１の斜視図に示すように概略扁平直方体形状の前記紫外線ランプ１００から下側に紫外線が照射されて、帯状の紫外線照射領域が形成されるようにしてある。そして、この紫外線照射領域を横切るようにワークが搬送されることによって、ワークに対して紫外線が照射されるようにしてある。 That is, as shown in the perspective view of FIG. 1, ultraviolet rays are irradiated downward from the ultraviolet lamp 100 having a substantially flat rectangular parallelepiped shape to form a belt-like ultraviolet irradiation region. And a workpiece | work is conveyed so that this ultraviolet irradiation region may be crossed, and a ultraviolet-ray is irradiated with respect to a workpiece | work.
次に、この紫外線ランプ１００の詳細について説明する。 Next, details of the ultraviolet lamp 100 will be described.
図２の横断面図に示すように、前記紫外線ランプ１００は、透光性ガラスからなり、内部に密閉空間１３を有した概略中空直方体形状をなす放電容器１と、前記放電容器１の対向する幅広の上下面の外表面１１にそれぞれ形成された一対の電極２と、前記放電容器１の下側面に設定されており、前記密閉空間１３において放電により発生した光が前記放電容器１外へと射出される光射出部３とを備えたものである。 As shown in the cross-sectional view of FIG. 2, the ultraviolet lamp 100 is made of translucent glass and has a substantially hollow rectangular parallelepiped shape having a sealed space 13 therein, and the discharge vessel 1 faces the discharge vessel 1. A pair of electrodes 2 formed on the outer surface 11 of the wide upper and lower surfaces and the lower surface of the discharge vessel 1 are set, and light generated by discharge in the sealed space 13 is discharged to the outside of the discharge vessel 1. The light emission part 3 inject | emitted is provided.
さらに、この紫外線ランプ１００は、放電容器１の内表面１２において前記光射出部３以外に対応する部分に形成した紫外線反射膜４と、前記放電容器１の内表面１２において前記光射出部３に対応する部分に形成した放電容器保護膜５との２種類の膜が形成してある。また、第１実施形態の紫外線反射膜４は、前記密閉空間１３において発生する紫外線をその波長に関わらず略全て反射又は吸収するように構成してあるのに対して、前記放電容器保護膜５は、所定の波長帯域の紫外線は透過するとともに、所定の波長帯域よりも短波長の紫外線については反射又は吸収するように構成してある。すなわち、前記放電容器１の内表面１２には、それぞれ特性の異なる紫外線反射膜４及び放電容器保護膜５が形成してある。 Further, the ultraviolet lamp 100 includes an ultraviolet reflecting film 4 formed on a portion corresponding to the inner surface 12 of the discharge vessel 1 other than the light emitting portion 3, and the light emitting portion 3 on the inner surface 12 of the discharge vessel 1. Two types of films, the discharge vessel protective film 5 formed on the corresponding part, are formed. The ultraviolet reflecting film 4 of the first embodiment is configured to reflect or absorb substantially all the ultraviolet rays generated in the sealed space 13 regardless of the wavelength thereof, whereas the discharge vessel protective film 5 Is configured to transmit ultraviolet rays in a predetermined wavelength band and to reflect or absorb ultraviolet rays having a wavelength shorter than the predetermined wavelength band. That is, an ultraviolet reflection film 4 and a discharge container protective film 5 having different characteristics are formed on the inner surface 12 of the discharge container 1.
各部について詳述する。 Each part will be described in detail.
前記放電容器１は、石英ガラスにより形成された透光性を有するものであり、密閉空間１３内に希ガスとしてキセノンガスを封入してある。 The discharge vessel 1 is made of quartz glass and has translucency. A sealed space 13 is filled with xenon gas as a rare gas.
前記一対の電極２は、前記放電容器１の幅広面である上下面の外表面１１に対して形成されたメッシュ状電極であり、各電極２１、２２間に所定の高周波・高電圧の電圧を印加することによって誘電体バリア放電を前記密閉空間１３内に生じさせるようにしてある。前記密閉空間１３内にはキセノンガスが封入されているので、誘電体バリア放電を生じさせると１７２ｎｍをピークとし、所定の広がりを有した波長帯域の紫外線が生じることになる。また、前記一対の電極２はそれぞれメッシュ状に形成してあるので、前記密閉空間１３において発生した紫外線は電極２２の空隙部分を通って外部に出ていくことができる。 The pair of electrodes 2 are mesh electrodes formed on the upper and lower outer surfaces 11 which are the wide surfaces of the discharge vessel 1, and a predetermined high frequency / high voltage is applied between the electrodes 21 and 22. By applying the dielectric barrier discharge, a dielectric barrier discharge is generated in the sealed space 13. Since xenon gas is sealed in the sealed space 13, when dielectric barrier discharge is generated, ultraviolet light having a wavelength band having a predetermined spread and a peak of 172 nm is generated. Further, since the pair of electrodes 2 are respectively formed in a mesh shape, the ultraviolet rays generated in the sealed space 13 can go out through the gap portion of the electrode 22.
前記紫外線反射膜４は、図２に示すように上面に形成された一方のメッシュ状の電極２１に対して放電容器１の内表面１２において対向する面と、放電容器１の内表面１２において一対の幅細の左右側面とに形成してある。すなわち、前記紫外線反射膜４は、下面において形成されている他方のメッシュ状の電極２２に対して内表面１２において対向する面以外の部分を全て覆うように形成してある。 As shown in FIG. 2, the ultraviolet reflecting film 4 is paired on the inner surface 12 of the discharge vessel 1 with the mesh electrode 21 formed on the upper surface thereof and on the inner surface 12 of the discharge vessel 1. The narrow left and right side surfaces are formed. That is, the ultraviolet reflecting film 4 is formed so as to cover all portions other than the surface facing the inner surface 12 with respect to the other mesh-like electrode 22 formed on the lower surface.
また、この紫外線反射膜４は、所定の波長帯域の光として前記密閉空間１３において誘電体バリア放電により発生する略全ての波長帯域の紫外線を反射又は吸収するように構成してある。より具体的には、前記紫外線反射膜４は、前記所定の波長帯域において最も長い波長よりも平均粒径が大きいＳｉＯ２粒子で形成してある。このように紫外線反射膜４が構成してあるので、密閉空間１３において発生した略全ての紫外線は、紫外線反射膜４を構成するＳｉＯ２粒子に対して衝突し、反射又は吸収されることになる。したがって、紫外線反射膜４が形成してある放電容器１の内表面１２には紫外線が到達することはほぼない。 The ultraviolet reflecting film 4 is configured to reflect or absorb ultraviolet rays in almost all wavelength bands generated by dielectric barrier discharge in the sealed space 13 as light in a predetermined wavelength band. More specifically, the ultraviolet reflecting film 4 is formed of SiO 2 particles having an average particle size larger than the longest wavelength in the predetermined wavelength band. Since the ultraviolet reflection film 4 is configured in this way, almost all ultraviolet rays generated in the sealed space 13 collide with the SiO 2 particles constituting the ultraviolet reflection film 4 and are reflected or absorbed. . Therefore, the ultraviolet rays hardly reach the inner surface 12 of the discharge vessel 1 on which the ultraviolet reflecting film 4 is formed.
前記放電容器保護膜５は、放電容器１の下面において形成された他方のメッシュ状の電極２２に対して内表面１２において対向する面に形成してあり、ピーク波長λ以上の紫外線は透過するとともに、ピーク波長λ未満の波長の紫外線は反射又は吸収するように構成してある。第１実施形態においては、前記密閉空間１３内で発生した紫外線のうち照射用途として有効な波長成分のみが透過するように前記ピーク波長λは、１７０ｎｍに設定してある。言い換えると、前記ピーク波長λが１７０ｎｍに設定してあるので、この放電容器保護膜５は、少なくとも密閉空間１３で発生する紫外線のピーク波長である１７２ｎｍ及びその近傍の波長の紫外線を透過するものである。したがって、基板の洗浄等において優れた効果を示す波長帯域の光は遮られることなく外部へと射出されることとなる。 The discharge vessel protective film 5 is formed on the surface facing the inner surface 12 with respect to the other mesh electrode 22 formed on the lower surface of the discharge vessel 1 and transmits ultraviolet rays having a peak wavelength λ or more. The ultraviolet light having a wavelength shorter than the peak wavelength λ is configured to be reflected or absorbed. In the first embodiment, the peak wavelength λ is set to 170 nm so that only the wavelength component effective for irradiation use among the ultraviolet rays generated in the sealed space 13 is transmitted. In other words, since the peak wavelength λ is set to 170 nm, the discharge vessel protective film 5 transmits at least 172 nm, which is the peak wavelength of ultraviolet light generated in the sealed space 13, and a wavelength in the vicinity thereof. is there. Therefore, light in a wavelength band that exhibits an excellent effect in cleaning the substrate or the like is emitted to the outside without being blocked.
一方、少なくとも放電容器１を形成するガラスの劣化を進行させる波長帯域の紫外線、すなわち１６０ｎｍ未満のピーク波長の短波長の紫外線については、当該放電容器１に到達せずに反射又は吸収されるように設定してある。すなわち、１６０ｎｍ未満の波長を有する紫外線は、前記放電容器保護膜５により反射又は吸収されるため、放電容器１まで到達することがないようにしてある。 On the other hand, at least ultraviolet light in a wavelength band that promotes deterioration of the glass forming the discharge vessel 1, that is, short-wavelength ultraviolet light having a peak wavelength of less than 160 nm, is reflected or absorbed without reaching the discharge vessel 1. It is set. That is, ultraviolet rays having a wavelength of less than 160 nm are reflected or absorbed by the discharge vessel protective film 5 so that they do not reach the discharge vessel 1.
このような透過特性と反射、吸収特性を得られるようにこの放電容器保護膜５は、前記紫外線反射膜４よりも平均粒径の小さいＳｉＯ２粒子により形成してある。より具体的には、本第１実施形態では前記放電容器保護膜５は、平均粒径が前記ピーク波長λである１７０ｎｍよりも小さく、１６０ｎｍ以上のＳｉＯ２粒子で形成してある。したがって、１６０ｎｍよりも長く、１７０ｎｍ未満の波長の紫外線は、放電容器保護膜５を形成するＳｉＯ２粒子と衝突せずに放電容器１に到達し外部へと射出される一方、１６０ｎｍよりも短い波長の紫外線は、放電容器保護膜５を形成するＳｉＯ２粒子と衝突し、反射又は吸収されてしまい、前記放電容器１には到達できない。 The discharge vessel protective film 5 is formed of SiO 2 particles having an average particle diameter smaller than that of the ultraviolet reflective film 4 so as to obtain such transmission characteristics, reflection and absorption characteristics. More specifically, in the first embodiment, the discharge vessel protective film 5 is formed of SiO 2 particles having an average particle size smaller than 170 nm which is the peak wavelength λ and 160 nm or more. Therefore, the ultraviolet rays having a wavelength longer than 160 nm and shorter than 170 nm reach the discharge vessel 1 without colliding with the SiO 2 particles forming the discharge vessel protective film 5 and are emitted to the outside, while having a wavelength shorter than 160 nm. UV rays collide with the SiO 2 particles forming the discharge vessel protective film 5 and are reflected or absorbed, and cannot reach the discharge vessel 1.
このように前記放電容器１の内表面１２において放電容器保護膜５が形成されている部分のみが密閉空間１３で発生するピーク波長及びその近傍の波長帯域の紫外線を透過し、外部に紫外線が射出される光射出部３を形成している。逆に言うと、放電容器１において光射出部３としたい部分の内表面１２には放電容器保護膜５を形成し、光射出部３としたくない部分の内表面１２には前記紫外線反射膜４を形成してあるとも言える。また、前記紫外線反射膜４を形成するＳｉＯ２粒子の平均粒径は、密閉空間１３において発生する紫外線の略全てを反射又は吸収するように前記波長λよりも大きい平均粒径を有するようにしてあるとも言える。 In this way, only the portion where the discharge vessel protective film 5 is formed on the inner surface 12 of the discharge vessel 1 transmits ultraviolet rays having a peak wavelength generated in the sealed space 13 and a wavelength band in the vicinity thereof, and ultraviolet rays are emitted to the outside. The light emission part 3 to be formed is formed. In other words, the discharge vessel protective film 5 is formed on the inner surface 12 of the discharge vessel 1 where the light emitting portion 3 is desired, and the ultraviolet reflecting film 4 is formed on the inner surface 12 where the light emitting portion 3 is not desired. It can be said that it is formed. Further, the average particle diameter of the SiO 2 particles forming the ultraviolet reflecting film 4 has an average particle diameter larger than the wavelength λ so as to reflect or absorb substantially all of the ultraviolet rays generated in the sealed space 13. It can be said that there is.
このように構成された第１実施形態の紫外線ランプ１００であれば、放電容器１の内表面１２の全てに前記紫外線反射膜４又は前記放電容器保護膜５のいずれかが形成してあるので、密閉空間１３内で発生した少なくとも１６０ｎｍよりも短い波長を有し、前記放電容器１を形成するガラスを劣化させる作用を持つ紫外線は、前記紫外線反射膜４又は前記放電容器保護膜５において反射又は吸収されて放電容器１まで到達することはない。 In the case of the ultraviolet lamp 100 of the first embodiment configured as described above, either the ultraviolet reflection film 4 or the discharge container protective film 5 is formed on the entire inner surface 12 of the discharge container 1. Ultraviolet rays having a wavelength shorter than at least 160 nm generated in the sealed space 13 and deteriorating the glass forming the discharge vessel 1 are reflected or absorbed by the ultraviolet reflection film 4 or the discharge vessel protective film 5. And does not reach the discharge vessel 1.
したがって、放電容器１を形成するガラスが劣化して、外部へと射出させたい所望の波長帯域の紫外線についての透過率が低下したり、劣化が進行して放電容器１にクラックが発生し、密閉空間１３を保つことができなくなって不点灯となったりするのを長期間に亘って防ぐことができる。このため、紫外線ランプ１００の長寿命化を実現することができ、ランプハウス１０１に対して紫外線ランプ１００を交換する頻度を低減することができ、ラインにおけるワークの処理効率を向上させることができる。 Therefore, the glass forming the discharge vessel 1 is deteriorated, and the transmittance for ultraviolet rays in a desired wavelength band desired to be emitted to the outside is reduced, or the deterioration progresses so that cracks are generated in the discharge vessel 1, so that It can be prevented over a long period of time that the space 13 cannot be maintained and is not lit. For this reason, the lifetime of the ultraviolet lamp 100 can be extended, the frequency of replacing the ultraviolet lamp 100 with respect to the lamp house 101 can be reduced, and the workpiece processing efficiency in the line can be improved.
さらに、前記放電容器保護膜５は、１７０ｎｍよりも平均粒径を小さく形成してあるので所望の波長帯域である１７２ｎｍ及びその近傍の波長帯域の紫外線については透過させることができるので、光射出部３に対応する放電容器１の内表面１２の全領域に前記放電容器保護膜５を形成しているにもかかわらず、必要とされる紫外線は外部へと射出させることができる。言い換えると、前記放電容器保護膜５を形成したことにより、ワークに対して照射されるべき波長帯域の紫外線の取り出し効率が低下することはなく、光射出部３としての機能は損なわれない。 Further, since the discharge vessel protective film 5 is formed to have an average particle size smaller than 170 nm, it is possible to transmit ultraviolet light having a desired wavelength band of 172 nm and its nearby wavelength band. Although the discharge vessel protective film 5 is formed in the entire area of the inner surface 12 of the discharge vessel 1 corresponding to 3, the required ultraviolet rays can be emitted to the outside. In other words, since the discharge vessel protective film 5 is formed, the extraction efficiency of ultraviolet rays in the wavelength band to be irradiated on the workpiece is not lowered, and the function as the light emitting unit 3 is not impaired.
これらのことから、第１実施形態の紫外線ランプ１００によれば、基板の洗浄やインクの硬化等といったワークの処理能力を低下させることなく、長寿命化を実現することができる。 From these facts, according to the ultraviolet lamp 100 of the first embodiment, it is possible to realize a long life without reducing the work throughput such as cleaning of the substrate and curing of the ink.
次に第２実施形態の紫外線ランプ１００について図３を参照しながら説明する。なお、第２実施形態において第１実施形態に対応する部材については同じ符号を付すこととする。 Next, an ultraviolet lamp 100 according to a second embodiment will be described with reference to FIG. In the second embodiment, the same reference numerals are assigned to members corresponding to the first embodiment.
第２実施形態の紫外線ランプ１００は、第１実施形態と比較して前記放電容器保護膜５が異なっており、その他の部分については共通させてある。 The ultraviolet lamp 100 of the second embodiment is different from the first embodiment in the discharge vessel protective film 5, and other parts are made common.
より具体的には、第２実施形態の前記放電容器保護膜５は、Ａｌ２Ｏ３により形成された紫外線透過膜であり、波長λ以上の紫外線は透過するとともに波長λよりも短い波長の紫外線を吸収するように構成してある。ここで、Ａｌ２Ｏ３の紫外線の吸収端は１６０ｎｍ近辺であることから、この放電容器保護膜５を用いた場合、１６０ｎｍ近辺よりも長波長の紫外線を透過させるとともに、１６０ｎｍ近辺よりも短波長の紫外線についてはこの放電容器保護膜５において吸収させることができる。 More specifically, the discharge vessel protective film 5 of the second embodiment is an ultraviolet transmissive film formed of Al 2 O 3 , and transmits ultraviolet light having a wavelength λ or longer and has a wavelength shorter than the wavelength λ. It is comprised so that it may absorb. Here, since the ultraviolet absorption edge of Al 2 O 3 is near 160 nm, when this discharge vessel protective film 5 is used, it transmits ultraviolet light having a wavelength longer than that near 160 nm and has a wavelength shorter than that near 160 nm. The ultraviolet ray can be absorbed in the discharge vessel protective film 5.
このようなものであっても第１実施形態と同様の効果を得ることができ、紫外線ランプ１００の長寿命化を実現することができる。 Even if it is such, the effect similar to 1st Embodiment can be acquired and the lifetime improvement of the ultraviolet lamp 100 can be implement | achieved.
次に第３実施形態の紫外線ランプ１００について図４を参照しながら説明する。なお、第３実施形態において第１実施形態に対応する部材については同じ符号を付すこととする。 Next, the ultraviolet lamp 100 of 3rd Embodiment is demonstrated, referring FIG. In the third embodiment, the same reference numerals are assigned to members corresponding to the first embodiment.
第３実施形態の紫外線ランプ１００も、第１実施形態と比較して前記放電容器保護膜５を異ならせてあり、その他の部分については共通させてある。 The ultraviolet lamp 100 of the third embodiment also has the discharge vessel protective film 5 different from that of the first embodiment, and other parts are made common.
より具体的には、第３実施形態の前記放電容器保護膜５は、ＭｇＯ、ＣａＦ２又はＭｇＦ２のいずれかにより形成された単層反射膜であり、波長λ以上の紫外線は透過するとともに波長λよりも短い波長の紫外線を反射するように構成してある。 More specifically, the discharge vessel protective film 5 of the third embodiment is a single-layer reflective film formed of any one of MgO, CaF 2, and MgF 2 , and transmits ultraviolet light having a wavelength λ or more and has a wavelength. It is configured to reflect ultraviolet rays having a wavelength shorter than λ.
このようなものであっても第１実施形態と同様の効果を得ることができる。 Even if it is such, the effect similar to 1st Embodiment can be acquired.
次に第４実施形態の紫外線ランプ１００について図５を参照しながら説明する。なお、第４実施形態において第１実施形態に対応する部材については同じ符号を付すこととする。 Next, an ultraviolet lamp 100 according to a fourth embodiment will be described with reference to FIG. In the fourth embodiment, the same reference numerals are assigned to members corresponding to the first embodiment.
第４実施形態の紫外線ランプ１００は、第１実施形態と比較して放電容器１において前記光射出部３が設けられている面を異ならせてあり、放電容器１の幅細の側面から紫外線が射出されるように構成してある。すなわち、放電容器１の内表面１２に形成されている紫外線反射膜４及び放電容器保護膜５の位置を第１実施形態とは異ならせてある。 The ultraviolet lamp 100 of the fourth embodiment differs from the first embodiment in that the surface on which the light emitting part 3 is provided in the discharge vessel 1 is different, and ultraviolet rays are emitted from the narrow side surface of the discharge vessel 1. It is configured to be injected. That is, the positions of the ultraviolet reflecting film 4 and the discharge vessel protective film 5 formed on the inner surface 12 of the discharge vessel 1 are different from those in the first embodiment.
より具体的には、図５に示すように前記紫外線反射膜４は、各電極２１、２２に対向する内表面１２の面と、一方の幅細面と対向する内表面１２を全て覆うように形成してあるとともに、前記光射出部３に対応する部分である他方の幅広面に対向する内表面１２を全て覆うようにして前記放電容器保護膜５が形成してある。 More specifically, as shown in FIG. 5, the ultraviolet reflecting film 4 is formed so as to cover all of the inner surface 12 facing the electrodes 21 and 22 and the inner surface 12 facing one narrow surface. In addition, the discharge vessel protective film 5 is formed so as to cover the entire inner surface 12 facing the other wide surface, which is a portion corresponding to the light emitting portion 3.
このように前記紫外線反射膜４及び前記放電容器保護膜５を形成する場所を適宜設定することにより、任意の位置に光射出部３を設定することができるとともに、放電容器１の長寿命化を実現することもできる。すなわち、光射出部３の位置は必ずしも前記電極２１、２２により規定されるものではなく、自由に設定することもできる。 Thus, by appropriately setting the place where the ultraviolet reflecting film 4 and the discharge vessel protective film 5 are formed, the light emitting part 3 can be set at an arbitrary position, and the life of the discharge vessel 1 can be extended. It can also be realized. That is, the position of the light emitting portion 3 is not necessarily defined by the electrodes 21 and 22 and can be set freely.
その他の実施形態について説明する。 Other embodiments will be described.
前記各実施形態では扁平直方体形状の放電容器を有した放電容器を用いたものであったが、本発明は図７に記載しているような二重円筒管形状の放電容器を備えた紫外線ランプであっても適用することができる。すなわち、図７において放電容器の内表面において光射出部に対応する部分の全領域に亘って各実施形態に記載した放電容器保護膜を形成することによって、従来よりも紫外線ランプの長寿命化を図ることができるとともに、所望の波長帯域の紫外線を光射出部から射出させることができる。 In each of the above embodiments, a discharge vessel having a flat rectangular parallelepiped discharge vessel was used, but the present invention is an ultraviolet lamp provided with a double cylindrical tube discharge vessel as shown in FIG. Even can be applied. That is, in FIG. 7, the life of the ultraviolet lamp is made longer than before by forming the discharge vessel protective film described in each embodiment over the entire region corresponding to the light emitting portion on the inner surface of the discharge vessel. In addition, it is possible to emit ultraviolet rays having a desired wavelength band from the light emitting portion.
前記各実施形態では、各電極はメッシュ状の電極を用いていたが、例えば、電極を通過させて紫外線を射出する必要が無い場合には、ベタ電極を用いても構わない。また、放電容器内に封入される気体は、キセノン以外にもクリプトン等の希ガスであってもよい。また、ハロゲン化された希ガス等であっても構わない。この場合、発生する紫外線の波長帯域に合わせて、前記紫外線反射膜及び前記放電容器保護膜の特性を選べばよい。 In each of the embodiments described above, mesh electrodes are used as the electrodes. However, for example, when there is no need to emit ultraviolet rays through the electrodes, solid electrodes may be used. Further, the gas sealed in the discharge vessel may be a rare gas such as krypton in addition to xenon. Further, it may be a halogenated rare gas or the like. In this case, the characteristics of the ultraviolet reflecting film and the discharge vessel protective film may be selected in accordance with the wavelength band of the generated ultraviolet light.
前記各実施形態において記載した波長λは一例であって、ワークに対して照射したい紫外線の波長帯域、及び、前記放電容器まで到達させたくない紫外線の波長帯域に応じて波長λを設定すればよい。また、波長λについては、放電容器に使用する透光性ガラスの性質に応じて定めてもよい。前記実施形態であれば、１６０ｎｍ未満の波長の紫外線は反射するとともに、１６０ｎｍ以上の波長の紫外線は透過させるように放電容器保護膜を形成してもよい。 The wavelength λ described in each of the above embodiments is merely an example, and the wavelength λ may be set according to the wavelength band of ultraviolet light that is desired to be irradiated onto the workpiece and the wavelength band of ultraviolet light that is not desired to reach the discharge vessel. . Further, the wavelength λ may be determined according to the properties of the translucent glass used for the discharge vessel. In the above embodiment, the discharge vessel protective film may be formed so as to reflect ultraviolet rays having a wavelength of less than 160 nm and transmit ultraviolet rays having a wavelength of 160 nm or more.
例えば、基板の洗浄等において好ましい洗浄効果が得られるようにしつつ、放電容器の劣化を防ぎ、紫外線ランプの長寿命化を実現するための具体例としては、前記波長λが、１６５ｎｍ以上１７５ｎｍ以下の波長であるものも挙げられる。 For example, as a specific example for preventing deterioration of the discharge vessel and realizing a long life of the ultraviolet lamp while obtaining a preferable cleaning effect in cleaning the substrate, the wavelength λ is 165 nm or more and 175 nm or less. The thing which is a wavelength is also mentioned.
その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて様々な実施形態の変形や組み合わせを行っても構わない。 In addition, various modifications and combinations of the embodiments may be made without departing from the spirit of the present invention.
１００ 紫外線ランプ
１ 放電容器
１１ 外表面
１２ 内表面
１３ 密閉空間
２ 一対の電極
３ 光射出部
４ 紫外線反射膜
５ 放電容器保護膜
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Ultraviolet lamp 1 Discharge vessel 11 Outer surface 12 Inner surface 13 Sealed space 2 A pair of electrodes 3 Light emission part 4 Ultraviolet reflective film 5 Discharge vessel protective film
Claims (11)
前記放電容器の外表面に形成された少なくとも一対の電極と、
前記密閉空間内において放電により発生した光が前記放電容器外へと射出される光射出部と、
ピーク波長λ以上の紫外線は透過するとともに、ピーク波長λ未満の紫外線は反射又は吸収するものであり、前記放電容器の内表面において少なくとも前記光射出部に対応する領域に形成されている放電容器保護膜とを備えたことを特徴とする紫外線ランプ。 A discharge vessel made of translucent glass and having a sealed space in which a predetermined gas is sealed;
At least a pair of electrodes formed on the outer surface of the discharge vessel;
A light emitting portion for emitting light generated by discharge in the sealed space to the outside of the discharge vessel;
Ultraviolet light having a peak wavelength λ or more is transmitted, and ultraviolet light having a wavelength less than the peak wavelength λ is reflected or absorbed. The discharge vessel protection formed at least in the region corresponding to the light emitting portion on the inner surface of the discharge vessel An ultraviolet lamp characterized by comprising a film.
紫外線を反射するものであり、前記放電容器の内表面において前記光射出部以外に対応する領域に形成された紫外線反射膜をさらに備えた請求項１記載の紫外線ランプ。 The discharge vessel protective film is formed in a region corresponding to the light emitting portion on the inner surface of the discharge vessel;
The ultraviolet lamp according to claim 1, further comprising an ultraviolet reflecting film that reflects ultraviolet rays and is formed in a region corresponding to a portion other than the light emitting portion on the inner surface of the discharge vessel.
前記放電容器内においてエキシマ放電を発生させることを特徴とする請求項１乃至１０い
ずれか一項に記載の紫外線ランプ。 The ultraviolet lamp is an excimer lamp,
The ultraviolet lamp according to any one of claims 1 to 10, wherein excimer discharge is generated in the discharge vessel.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014048451A JP6202332B2 (en) | 2013-03-28 | 2014-03-12 | UV lamp |
| KR1020140031447A KR20140118780A (en) | 2013-03-28 | 2014-03-18 | Uv lamp |
| CN201410105380.5A CN104078304A (en) | 2013-03-28 | 2014-03-20 | Uv lamp |
| TW103110580A TW201447970A (en) | 2013-03-28 | 2014-03-21 | Ultraviolet lamp |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013070441 | 2013-03-28 | ||
| JP2013070441 | 2013-03-28 | ||
| JP2014048451A JP6202332B2 (en) | 2013-03-28 | 2014-03-12 | UV lamp |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014209451A true JP2014209451A (en) | 2014-11-06 |
| JP6202332B2 JP6202332B2 (en) | 2017-09-27 |
Family
ID=51903561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014048451A Active JP6202332B2 (en) | 2013-03-28 | 2014-03-12 | UV lamp |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6202332B2 (en) |
| KR (1) | KR20140118780A (en) |
| TW (1) | TW201447970A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021072274A (en) * | 2019-11-01 | 2021-05-06 | 崇翌科技股▲ふん▼有限公司Ａｓｔｒｏ Ｃｌｅａｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | Excimer lamp |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6950522B2 (en) * | 2017-12-27 | 2021-10-13 | ウシオ電機株式会社 | Microorganism inactivation treatment device and cell activation treatment device, and microorganism inactivation treatment method |
| TWI745630B (en) * | 2018-10-25 | 2021-11-11 | 日商牛尾電機股份有限公司 | Long arc discharge lamp |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080061667A1 (en) * | 2004-07-09 | 2008-03-13 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Uvc/Vuv Dielectric Barrier Discharge Lamp with Reflector |
| JP2010056007A (en) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Ushio Inc | Fluorescent lamp |
| JP2010218833A (en) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Ushio Inc | Excimer lamp |
| JP2011175823A (en) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Ushio Inc | Fluorescent lamp |
| JP2013109991A (en) * | 2011-11-22 | 2013-06-06 | Ushio Inc | Rare gas fluorescent lamp |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5057071B2 (en) * | 2008-01-31 | 2012-10-24 | ウシオ電機株式会社 | Excimer lamp |
| JP5287928B2 (en) * | 2011-05-17 | 2013-09-11 | ウシオ電機株式会社 | Excimer lamp |
-
2014
- 2014-03-12 JP JP2014048451A patent/JP6202332B2/en active Active
- 2014-03-18 KR KR1020140031447A patent/KR20140118780A/en not_active Application Discontinuation
- 2014-03-21 TW TW103110580A patent/TW201447970A/en unknown
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080061667A1 (en) * | 2004-07-09 | 2008-03-13 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Uvc/Vuv Dielectric Barrier Discharge Lamp with Reflector |
| JP2010056007A (en) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Ushio Inc | Fluorescent lamp |
| JP2010218833A (en) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Ushio Inc | Excimer lamp |
| JP2011175823A (en) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Ushio Inc | Fluorescent lamp |
| JP2013109991A (en) * | 2011-11-22 | 2013-06-06 | Ushio Inc | Rare gas fluorescent lamp |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021072274A (en) * | 2019-11-01 | 2021-05-06 | 崇翌科技股▲ふん▼有限公司Ａｓｔｒｏ Ｃｌｅａｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | Excimer lamp |
| CN112786433A (en) * | 2019-11-01 | 2021-05-11 | 崇翌科技股份有限公司 | Excimer lamp |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP6202332B2 (en) | 2017-09-27 |
| TW201447970A (en) | 2014-12-16 |
| KR20140118780A (en) | 2014-10-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20210231292A1 (en) | Plasma Cell for Providing VUV Filtering in a Laser-Sustained Plasma Light Source | |
| JP6202332B2 (en) | UV lamp | |
| JP6664402B2 (en) | System and method for inhibiting radiant radiation of a laser sustained plasma light source | |
| TWI641020B (en) | Discharging lamp | |
| CN112331552A (en) | Excimer lamp | |
| JP2007048592A (en) | Excimer lamp | |
| EP2249376B1 (en) | Fluorescent lamp with UV-blocking layer and protective sleeve | |
| JP5397455B2 (en) | Noble gas fluorescent lamp | |
| JP5092700B2 (en) | Excimer lamp | |
| CN213304066U (en) | Excimer lamp | |
| JP2011009238A (en) | Silent discharge lamp, and irradiation device | |
| JP6557011B2 (en) | Excimer lamp | |
| JP6660594B2 (en) | Discharge lamp | |
| JPH03280345A (en) | Reflex type ultraviolet lamp | |
| KR100760307B1 (en) | High Intensity Discharge Lamp | |
| KR102219742B1 (en) | Discharge lamp | |
| CN104078304A (en) | Uv lamp | |
| JP2018055966A (en) | Electric discharge lamp | |
| KR20110010059A (en) | Ultraviolet discharge lamp | |
| JP4818054B2 (en) | Low pressure nitrogen gas discharge lamp | |
| KR20060073953A (en) | Electric lamp comprising aluminum oxide and cerium oxide | |
| WO2017212683A1 (en) | Laser-driving light source device | |
| JP5629985B2 (en) | Discharge lamp device | |
| KR20120028811A (en) | Fluorescent lamp | |
| KR101424571B1 (en) | Excimer lamp with separable reflector |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160805 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170518 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170523 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170721 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170803 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170816 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6202332 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |