JP2014205115A - 流路デバイスの製造方法及び流路デバイス - Google Patents
流路デバイスの製造方法及び流路デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014205115A JP2014205115A JP2013084382A JP2013084382A JP2014205115A JP 2014205115 A JP2014205115 A JP 2014205115A JP 2013084382 A JP2013084382 A JP 2013084382A JP 2013084382 A JP2013084382 A JP 2013084382A JP 2014205115 A JP2014205115 A JP 2014205115A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polyimide films
- channel device
- manufacturing
- films
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L11/00—Hoses, i.e. flexible pipes
- F16L11/04—Hoses, i.e. flexible pipes made of rubber or flexible plastics
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
- B32B15/04—Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
- B32B15/08—Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
- B32B15/20—Layered products comprising a layer of metal comprising aluminium or copper
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/06—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
- B32B27/08—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/28—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
- B32B27/281—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42 comprising polyimides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B3/00—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar form; Layered products having particular features of form
- B32B3/02—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar form; Layered products having particular features of form characterised by features of form at particular places, e.g. in edge regions
- B32B3/08—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar form; Layered products having particular features of form characterised by features of form at particular places, e.g. in edge regions characterised by added members at particular parts
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B3/00—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar form; Layered products having particular features of form
- B32B3/10—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar form; Layered products having particular features of form characterised by a discontinuous layer, i.e. formed of separate pieces of material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
- B01L2200/06—Fluid handling related problems
- B01L2200/0689—Sealing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
- B01L2300/0627—Sensor or part of a sensor is integrated
- B01L2300/0645—Electrodes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
- B01L2300/0809—Geometry, shape and general structure rectangular shaped
- B01L2300/0816—Cards, e.g. flat sample carriers usually with flow in two horizontal directions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
- B01L2300/0861—Configuration of multiple channels and/or chambers in a single devices
- B01L2300/0874—Three dimensional network
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
- B01L2300/0887—Laminated structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/16—Articles comprising two or more components, e.g. co-extruded layers
- B29C48/18—Articles comprising two or more components, e.g. co-extruded layers the components being layers
- B29C48/21—Articles comprising two or more components, e.g. co-extruded layers the components being layers the layers being joined at their surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
- B32B2307/30—Properties of the layers or laminate having particular thermal properties
- B32B2307/306—Resistant to heat
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
- B32B2307/70—Other properties
- B32B2307/714—Inert, i.e. inert to chemical degradation, corrosion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
Abstract
【課題】所定の環境下での耐性を有する流路デバイスの製造方法及びその流路デバイスを提供すること。
【解決手段】流路デバイスの製造方法は、ポートを有する1つ以上のポリイミドフィルムと、チャネルを有する1つ以上のポリイミドフィルムとを含み、かつ、1つ以上の熱可塑性ポリイミドフィルムを、前記各ポリイミドフィルムのうち少なくとも1つとして含む複数のポリイミドフィルムを積層することを含む。前記積層された複数のポリイミドフィルムを加熱しながら、前記ポートと前記チャネルとが連通するようにそれらが接合される。
【選択図】図1
【解決手段】流路デバイスの製造方法は、ポートを有する1つ以上のポリイミドフィルムと、チャネルを有する1つ以上のポリイミドフィルムとを含み、かつ、1つ以上の熱可塑性ポリイミドフィルムを、前記各ポリイミドフィルムのうち少なくとも1つとして含む複数のポリイミドフィルムを積層することを含む。前記積層された複数のポリイミドフィルムを加熱しながら、前記ポートと前記チャネルとが連通するようにそれらが接合される。
【選択図】図1
Description
本技術は、流体を流路内で流通させる流路デバイスの製造方法及びその流路デバイスに関する。
従来から、様々な材料や製造方法で製造された各種の用途の流路デバイスが提案されている。
例えば特許文献1には、ポートやチャネルが形成された複数の基板が積層されることにより、それらポートやチャネルが互いに連通するように構成された多層マイクロ流路デバイスが開示されている。特に、この特許文献1に記載された多層マイクロ流路デバイスは、各基板の間で分岐するチャネルを有している(例えば、特許文献1のカラム6,7及び12を参照)。
特許文献2には、固体高分子形の燃料電池が開示されている。この燃料電池は、ステンレス鋼、チタン、またはアルミニウム等でなる基体と、単数または複数のプラスチックフィルム製の成形体とが積層されて構成される。これら基体及び成形体には、燃料ガス及び冷媒を流路内に流通させるための貫通孔、また、その流路を形成するための溝等を有している。(例えば、特許文献2の明細書段落[0027]、[0043]等を参照)。
ユーザは、様々な環境下で流路デバイスを用いる。したがって、所定の環境下での耐性を持つ流路デバイスの実現が望まれる。
本技術の目的は、所定の環境下での耐性を有する流路デバイスの製造方法及びその流路デバイスを提供することにある。
上記目的を達成するため、本技術に係る流路デバイスの製造方法は、ポートを有する1つ以上のポリイミドフィルムと、チャネルを有する1つ以上のポリイミドフィルムとを含み、かつ、1つ以上の熱可塑性ポリイミドフィルムを、前記各ポリイミドフィルムのうち少なくとも1つとして含む複数のポリイミドフィルムを積層することを含む。
前記積層された複数のポリイミドフィルムを加熱しながら、前記ポートと前記チャネルとが連通するようにそれらが接合される。
前記積層された複数のポリイミドフィルムを加熱しながら、前記ポートと前記チャネルとが連通するようにそれらが接合される。
1以上の熱可塑性ポリイミドフィルムを含む複数のポリイミドフィルムを積層して加熱接合することにより、複数のポリイミドフィルム間の密着性を高めることができる。これにより、ポート及びチャネルにより形成される流路を流れる流体圧が高い環境下でも使用可能な流路デバイスを実現することができる。
前記複数のポリイミドフィルムのうち、1つ以上の非熱可塑性ポリイミドフィルムが、前記各ポリイミドフィルムのうち少なくとも1つとしてさらに用いられてもよい。加熱によっても変形が抑えられた非熱可塑性ポリイミドフィルムとを用いることにより、流路を高精度に形成することができる。
前記積層の工程では、前記熱可塑性ポリイミドフィルム及び前記非熱可塑性ポリイミドフィルムとが交互に積層されてもよい。これにより、上述した密着性が向上するという作用、または、流路が高精度に形成されるという作用が促進される。
前記接合の工程は、前記積層された複数のポリイミドフィルムを加圧する工程をさらに含んでもよい。これにより、各ポリイミドフィルムの密着性がさらに向上する。
前記加圧の工程では、2つの平行に配置された板材で前記積層された複数のポリイミドフィルムを挟むようにしてそれらが加圧されてもよい。これにより、各ポリイミドフィルムの表面に一様な加圧力を加えることができ、微細で高精度な流路を形成することができる。
前記接合の工程では、ポリイミドのガラス転移点付近の温度で、前記積層されたポリイミドフィルムが加熱されてもよい。
前記複数のポリイミドフィルムのうち少なくとも1つのポリイミドフィルムは、そのポリイミドフィルムの表面に設けられた金属層を有してもよい。そして、前記積層の工程前に、さらに、前記金属層を加工することにより任意形状の金属パターンが形成されてもよい。これにより、金属パターンを有する流路デバイスを実現できるので、電気的または機械的な機能を流路デバイスに与えることができる。
この製造方法は、さらに、前記積層された複数のポリイミドフィルムを、気密を維持可能なチャンバ内に収容する工程を含んでもよい。前記接合の工程では、前記チャンバ内を減圧した状態で、前記積層された複数のポリイミドフィルムが接合されてもよい。これにより、流路内にボイドが残存することを抑制することができる。
前記流路デバイスは、生体試料を含む流体を流通させるデバイスとして用いられてもよい。
本技術に係る流路デバイスは、本体と、ポートと、チャネルとを具備する。
前記本体は、1つ以上の熱可塑性ポリイミドフィルムと、1つ以上の非熱可塑性ポリイミドフィルムとを含む複数のポリイミドフィルムが積層されて接合されることにより構成される。
前記ポートは、前記複数のポリイミドフィルムのうち、1つ以上のポリイミドフィルムに設けらる。
前記チャネルは、前記複数のポリイミドフィルムのうち、前記ポートと連通して流路を形成するように、1つ以上のポリイミドフィルムに設けられる。
前記本体は、1つ以上の熱可塑性ポリイミドフィルムと、1つ以上の非熱可塑性ポリイミドフィルムとを含む複数のポリイミドフィルムが積層されて接合されることにより構成される。
前記ポートは、前記複数のポリイミドフィルムのうち、1つ以上のポリイミドフィルムに設けらる。
前記チャネルは、前記複数のポリイミドフィルムのうち、前記ポートと連通して流路を形成するように、1つ以上のポリイミドフィルムに設けられる。
1以上の熱可塑性ポリイミドフィルムと、1以上の非熱可塑性ポリイミドフィルムとを含む複数のポリイミドフィルムが積層されて接合された本体が設けられることにより、複数のポリイミドフィルム間の密着性を高めることができる。これにより、流路を流れる流体圧が高い環境下でも使用可能な、つまり、高い耐流体圧性能を持つ流路デバイスを実現することができる。
以上、本技術によれば、所定の環境下での耐性を有する流路デバイスを製造することができる。
以下、図面を参照しながら、本技術の実施形態を説明する。
1.第1の実施形態
(1)流路デバイスの構成
図1は、本技術の一実施形態に係る流路デバイスの分解斜視図である。本実施形態に係る流路デバイスは、後述するように、生体試料として例えば細胞等の粒子を含む流体を流路に流通させることにより、細胞を分析するデバイスとして用いられる。
(1)流路デバイスの構成
図1は、本技術の一実施形態に係る流路デバイスの分解斜視図である。本実施形態に係る流路デバイスは、後述するように、生体試料として例えば細胞等の粒子を含む流体を流路に流通させることにより、細胞を分析するデバイスとして用いられる。
流路デバイス50は、複数、例えば5枚のポリイミドフィルムP1、P2、P3、P4及びP5を備える。これらのポリイミドフィルムP1〜P5が積層されて構成されることにより、流路デバイス50の本体が形成されている。各ポリイミドフィルムP1〜P5は、実質的に同じサイズ及び外形を有する。図1中、上から第1、3及び5層のポリイミドフィルムP1、P3及びP5は、非熱可塑性ポリイミドフィルムであり、上から第2及び4層のポリイミドフィルムP2及びP4は、熱可塑性ポリイミドフィルムである。すなわち、非熱可塑性ポリイミドフィルムP1、P3及びP5と熱可塑性ポリイミドフィルムP2及びP4とが交互に積層される。
以降では、各ポリイミドフィルム(P1〜P5)を単に「フィルム(P1〜P5)」といい、必要に応じて、「ポリイミドフィルム」、「熱可塑性ポリイミドフィルム」、「非熱可塑性ポリイミドフィルム」の記載を用いる。
フィルムP1〜P5のうち、任意のフィルムの任意の位置に、孔であるポートA1、A2、、、が形成されている。また、フィルムP1〜P5のうち、任意のフィルムの任意の位置に、任意の形状で、スリットであるチャネルB1及びB2が形成されている。これらポート及びチャネルは、フィルムの表面(上面)から裏面(下面)を貫通している。したがって、これらのチャネルがポートを介して連通し、また、これらのポートがチャネルを介して連通することで、多層にわたり3次元的に任意の形状の流路が形成される。フィルムP1は、ポート及びチャネルを有しておらず、カバーの役割を果たす。
なお、図を理解しやすくするために、図1及び2では、ポート及びチャネルの幅は意図的に太く表されているが、実際には数μm〜数百μm程度の微細な幅である。
図2は、図1に示す流路デバイス50を模式的に示す平面図であり、主に流路の構成を説明するための図である。
フィルムP2及びP4に設けられたチャネルB1及びB2の一部同士が、図2に示すように平面で見て重なるように、これらフィルムP2〜P4が積層されている。これらチャネルB1及びB2は、フィルムP3に後述の狭窄孔として設けられたポートA8を介して連通している。
例えば、フィルムP5に設けられたポートA1が外部からの流体の入口を構成する。この入口であるポートA1は、フィルムP4及びP3に設けられたポートA2及びA3を介して、フィルムP2に設けられたチャネルB1の上流端と連通する。フィルムP5に設けられたポートA6及びA7は、例えば、外部への流体の出口を構成する。チャネルB1は、その途中でポートA8を介してチャネルB2に連通する。チャネルB1の下流端は、フィルムP3及びP4にそれぞれ設けられたポートA4及びA5を介して、出口であるポートA6に連通する。また、チャネルB2の下流端は、出口であるポートA6に連通する。
フィルムP1〜P5の厚さは、例えば5〜300μmであり、より好ましくは、10〜100μm、20〜80μm、40〜60μm、あるいは50μmである。非熱可塑性ポリイミドフィルムP1、P3及びP5の厚さと、熱可塑性ポリイミドフィルムP2及びP4の厚さとは、異なっていてもよい。本実施形態では、非熱可塑性ポリイミドフィルムP1、P3及びP5より、熱可塑性ポリイミドフィルムP2及びP4の方が厚くなっている。
(2)流路デバイスの製造方法
図3は、この流路デバイス50の製造工程を示すフローチャートである。図4A〜D及び図5A〜Dは、電極を有する層として、上記非熱可塑性ポリイミドフィルムP3の層の製造方法を順に示す図である。
図3は、この流路デバイス50の製造工程を示すフローチャートである。図4A〜D及び図5A〜Dは、電極を有する層として、上記非熱可塑性ポリイミドフィルムP3の層の製造方法を順に示す図である。
(a)電極を有する層の製造方法
図4Aに示すように、基材として非熱可塑性ポリイミドフィルム11が用いられ、その基材の両表面(表面及び裏面)に金属層12が設けられたフィルムが用意される(ステップ101)。金属層12は、メッキ法、キャスト法、接着法等により形成される。金属層12と非熱可塑性ポリイミドフィルム11との密着性を高めるための工夫がなされる場合もある。金属層12が設けられたポリイミドフィルムとして、例えば銅張積層板等、市販されているものも用いることができる。金属層12の材料としては、典型的には銅が用いられるが、アルミニウム等の他の金属が用いられてもよい。
図4Aに示すように、基材として非熱可塑性ポリイミドフィルム11が用いられ、その基材の両表面(表面及び裏面)に金属層12が設けられたフィルムが用意される(ステップ101)。金属層12は、メッキ法、キャスト法、接着法等により形成される。金属層12と非熱可塑性ポリイミドフィルム11との密着性を高めるための工夫がなされる場合もある。金属層12が設けられたポリイミドフィルムとして、例えば銅張積層板等、市販されているものも用いることができる。金属層12の材料としては、典型的には銅が用いられるが、アルミニウム等の他の金属が用いられてもよい。
図4Bに示すように、金属層12の表面に、感光性のレジストが塗布されるか、または、感光性のドライフィルムが貼り付けられる(ステップ102)。図4Cに示すように、予めチャネルや孔の形状のパターンを有する露光マスクを用いた露光及びその現像により、レジストまたはドライフィルムのパターン13’が形成される(ステップ103)。露光マスクとしては、例えばクロムマスクが用いられる。
図4Dに示すように、エッチングによって金属層の不要部分が除去される(ステップ104)。これにより、金属層のパターン12’が形成される。エッチングとして、ウェットエッチング法が用いられ、例えば塩化第二鉄、水酸化カリウム等のエッチング液が用いられる。
図5Aに示すように、レジストまたはドライフィルムが除去される(ステップ105)。図5Bに示すように、金属層のパターン12’をマスクとして、強アルカリ液中に対象物を浸漬することにより、基材である非熱可塑性ポリイミドフィルムの一部がエッチングされる(ステップ106)。これにより、基材に孔が形成された非熱可塑性ポリイミドフィルム11’が形成される。エッチングの代わりに、例えばUVレーザまたはエキシマレーザを用いたレーザ加工により、基材の一部が除去されてもよい。エッチングとしてハーフエッチングが用いられることにより、基材に凹状の溝が形成されてもよい。
図5C及びDに示すように、上記のパターニング処理(ステップ102〜106)を繰り返すことによって、任意形状の金属パターン、つまり任意の電極14のパターンを持つ非熱可塑性ポリイミドフィルム11’を形成することができる(ステップ107)。なお、この製造方法では、基材11の表面及び裏面の両面に、電極14が形成される。
図5Dに示すように、電極14にメッキ処理によりメッキ層15が形成されてもよい。メッキ層15としては、例えば金、プラチナ、パラジウム、ニッケル、またはクロム等が用いられる。これにより、電極14の耐薬品性、耐腐食性が向上する。
(b)電極層を持たない層の製造方法
以上は、金属層12を有するフィルムP3の製造方法を説明したが、フィルムP1、P2、P4及びP5は、金属層を有しないポリイミドフィルムの基材に、ポートである孔及び/またはチャネルであるスリットが、上記したパターニング処理と同様の手法によって形成される。その場合、基材のエッチングの時には、ドライフィルムをマスクとして用いることができる。
以上は、金属層12を有するフィルムP3の製造方法を説明したが、フィルムP1、P2、P4及びP5は、金属層を有しないポリイミドフィルムの基材に、ポートである孔及び/またはチャネルであるスリットが、上記したパターニング処理と同様の手法によって形成される。その場合、基材のエッチングの時には、ドライフィルムをマスクとして用いることができる。
各フィルムP1〜P5の4角に共通して設けられた孔51は、積層及び接合時の位置決め用のピン22が挿通される孔である。これらの孔は、上記したパターニング処理により形成されてもよいし、パターニング処理以外の別の機械的加工によって形成されてもよい。
なお、ポート及びチャネルが形成されたフィルムには、デスミア処理が行われてもよい。これにより、流路内の流体の流動性を向上させることができる。
(c)積層及び接合工程
図6Aに示すように、以上のように形成された各フィルムP1〜P5がアライメントされる。例えば、ベース板21及びこのベース板21から立設した4つのピン22を備える治具20が用意される。各フィルムP1〜P5の各孔51にピン22がそれぞれ挿通される。また、アライメントマーク等の図示しない基準マークが各フィルムP1〜P5に設けられ、その基準マークが撮影されて得られる画像の画像処理により、アライメントの合否が判定されてもよい。これにより、高精度にアライメントが可能となる。このようにして、各フィルムP1〜P5が積層される(ステップ108)。
図6Aに示すように、以上のように形成された各フィルムP1〜P5がアライメントされる。例えば、ベース板21及びこのベース板21から立設した4つのピン22を備える治具20が用意される。各フィルムP1〜P5の各孔51にピン22がそれぞれ挿通される。また、アライメントマーク等の図示しない基準マークが各フィルムP1〜P5に設けられ、その基準マークが撮影されて得られる画像の画像処理により、アライメントの合否が判定されてもよい。これにより、高精度にアライメントが可能となる。このようにして、各フィルムP1〜P5が積層される(ステップ108)。
図6Bに示すように、治具20は、ベース板21に平行に配置される押さえ板23を備える。この押さえ板23とベース板21との間に、フィルムP1〜P5が挟み込まれ、加圧及び加熱される(ステップ109)。この時の加熱温度は、熱可塑性ポリイミドのガラス転移点(250℃程度)付近の温度、例えば、250℃±50℃である。この加熱により、熱可塑性ポリイミドフィルムP2及びP4が軟化、膨張し、これにより、非熱可塑性ポリイミドフィルムP1、P3及びP5と接合される。その後、接合されたフィルムP1〜P5が冷却される。
ステップ109での加圧力は、熱可塑性ポリイミドフィルムP2及びP4の膨張量が、流路デバイス50の機能上問題ない程度、具体的には、流路を構成するスペースが残存する程度の加圧力である。加熱温度及び加圧力を適切に選定することにより、熱可塑性ポリイミドフィルムの膨張量を数μm程度に抑えることができる。加熱温度及び加圧力は、流路デバイス50の形状、用途、機能等に応じて、適宜選定されればよい。
ステップ109では、積層されたフィルムP1〜P5が、気密を維持可能なチャンバ内に収容され、そのチャンバ内を減圧した状態で、それらフィルムP1〜P5が接合されることがより望ましい。これにより、減圧処理によって流路を構成するスペース内のボイドが除去されるので、ボイドが流路内に残存することを防止できる。
ステップ108及び109において、流路幅(縦及び横の幅)が数十μmという微細な流路を高精度に形成するために、ベース板21及び押さえ板23の平面度や平行度をできるだけ高く設定することが望ましい。
(3)本技術に係る流路デバイスのメリット
本実施形態に係る流路デバイス50は、熱可塑性ポリイミドフィルムP2及びP4を含む。したがって、その熱可塑性ポリイミドフィルムP2及びP4と、非熱可塑性ポリイミドフィルムP1、P3及びP5との密着性を高めることができる。その結果、流路を流れる流体圧が高い環境下でも使用可能な、つまり、流路の高い耐流体圧性能(以下、これを耐圧性能という。)を持つ流路デバイス50を実現することができる。
本実施形態に係る流路デバイス50は、熱可塑性ポリイミドフィルムP2及びP4を含む。したがって、その熱可塑性ポリイミドフィルムP2及びP4と、非熱可塑性ポリイミドフィルムP1、P3及びP5との密着性を高めることができる。その結果、流路を流れる流体圧が高い環境下でも使用可能な、つまり、流路の高い耐流体圧性能(以下、これを耐圧性能という。)を持つ流路デバイス50を実現することができる。
特に、この流路デバイス50は、非熱可塑性ポリイミドフィルムP1、P3及びP5と、熱可塑性ポリイミドフィルムP2及びP4とを含む。これにより、上記加熱時に、熱可塑性ポリイミドフィルムP2及びP4の変形を非熱可塑性ポリイミドフィルムP1、P3及びP5が押さえるように作用するので、流路を高精度に形成することができる。微細な流路、例えば100μmより小さい幅や高さを有する微細な流路は、加熱時の熱可塑性ポリイミドフィルムの膨張によって、所期の形状を保てない場合がある。しかし、熱可塑性ポリイミドフィルムと非熱可塑性ポリイミドフィルムとが接合されることにより、微細な流路であってもその形状を維持することができる。
また、特に非熱可塑性ポリイミドフィルム及び熱可塑性ポリイミドフィルムとが交互に積層される。これにより、上述の密着性が向上するという作用、及び、上述の流路が高精度に形成されるという作用が促進される。
各フィルムP1〜P5の密着性が向上することから、流路の耐圧性能が向上するので、流体の流量を高めることができる。流体の流量を高めることができれば、流動性が低い試料でも高圧で流路内を輸送することができる。微細な流路ほど流路抵抗が大きいため、このような高流量及び高圧という流体条件の重要度は増す。
ここで、本発明者は、入口のポートの1つ(例えばポートA1)を介して、生理食塩水を加圧して流路内に送出し、出口のポート(例えばポートA6及びA7)を閉じて圧力を増大させていく実験を行った。本技術に係る流路デバイスに対する比較例として、接着層としてエポキシフィルムを用いて適切な接合を行った図示しない流路デバイスが用いられた。流路内の圧力の上昇を時間軸で逐次測定した曲線を描いた場合、流路が破壊されるタイミングで曲線が下降し始めるので、本発明者は、この変化点における圧力を耐圧と定義して、耐圧性能を評価した。
その結果、比較例に係る流路デバイスの耐圧は概ね100kPa程度以下であった。一方、本技術のように、接着剤を用いず、熱可塑性ポリイミドを用いた場合、準備した圧力測定器の上限である1MPaにおいても破壊されなかったため、耐圧は1MPa以上と認められた。
また、本技術ではフィルム同士を接着するための接着剤を用いる必要がないことから、生体試料を含む流体が流路デバイスの流路内を流れたとしても、接着剤に起因するダメージを生体試料に与えることがない。さらに、耐薬品性が高いので、流体として生理食塩水に限られず、アルコール類、有機溶媒、酸等を用いることもできる。
接着剤を用いる必要がなく、また、ポリイミドフィルムが用いられるので、耐薬品性及び耐熱性が高くなる。耐熱性が高くなることから、例えば、個々の流路デバイスごとに高圧蒸気滅菌が可能となる。あるいは、耐熱性が高くなることから、反応も含む化学合成、燃料電池等に、本技術に係る流路デバイスを適用することができる。
接着剤を用いる必要がないので、接着層を形成する工程を省略することができ、製造工程を簡略化でき、製造コストを抑えることができる。
本実施形態では、電極を備えた流路デバイスを、安価で大量に製造することができるので、検査コストの低減、反応コスト等の低減につながる。
さらに、本実施形態に係る流路デバイス50は、ポリイミドフィルムの積層により構成されるので、フレキシブルな流路デバイスを実現することができる。
(4)流路デバイスの使用例
図1及び2等で示した流路デバイス50の使用例について説明する。図7は、その使用例を説明するための図である。
図1及び2等で示した流路デバイス50の使用例について説明する。図7は、その使用例を説明するための図である。
流路デバイス50のフィルムP5の表面側のポートA1に、Oリング等のシール材Rを介して図示しないポンプが接続される。また、フィルムP5のポートA7には、流路内から排出された流体を溜める図示しない容器等がシール材Rを介して接続される。シール材Rは、シリコーンゴム等の柔軟な材料でなるフィルムを予め流路デバイス50に貼り付けることにより形成されてもよい。
なお、チャネルB1につながるポートA4は閉鎖しておいてもよいし、別の用途で用いられてもよい。別の用途とは、例えばチャネルB1とチャネルB2とがそれぞれ別の入口を持つ場合に、それらチャネルB1及びB2にそれぞれ異なる流量で流体を流すケースである。
例えば、生理食塩水を流体として、この流体に生体試料として血球等の細胞Cを含ませたものが用いられる。ポンプの駆動力によって、生理食塩水が流路デバイス50のポートA1を介して流路内に流入され、ポートA2及びA3を介して、チャネルB1へ流入する。チャネルB1へ流入した細胞Cを含む流体は、狭窄孔であるポートA8を介してチャネルB2へ流入し、出口となるポートA7から排出される。
狭窄孔であるポートA8の周囲には、この狭窄孔を間に挟むように対向して配置された上述の電極14が設けられている。例えば、電極14は、フィルムP3の基材の表面及び裏面側にそれぞれ配置されている。これら電極14でなる電極対には、交流電圧信号を印加する信号発生器、また、その電極対により測定される信号を解析する解析装置等、図示しない機器が電気的に接続される。当該解析装置は、細胞Cが狭窄孔を通過する時の、細胞の電気量を測定し、その細胞Cの種類を特定したり、またそれにより細胞Cを計数したりすることができる。
2.第2の実施形態
図8は、本技術の第2の実施形態に係る流路デバイスの分解斜視図であり、図9は、その断面図である。これ以降の説明では、図1等に示した実施形態に係る流路デバイス50が含む部材や機能等について同様のものは説明を簡略化または省略し、異なる点を中心に説明する。
この流路デバイス60は、複数の層、例えば5層のポリイミドフィルムP6〜P10を備える。この場合も、非熱可塑性ポリイミドフィルムP6、P8及びP10と、熱可塑性ポリイミドフィルムP7及びP9とが交互に積層さえている。フィルムP9は、フィルムP7のチャネルの下流端に連通するY字状の、分岐チャネルB3aを有するチャネルB3を有する。フィルムP10は、そのフィルムP9の分岐されたチャネルB3aの下流端にそれぞれ連通する、流体の出口となる2つのポートA6’及びA7’を有する。
図9に示すように、フィルムP8には、ポートA8である狭窄孔を挟む電極対(電極14)の他、その電極対が配置される位置より、流路の下流側に複数の電極15でなる作用電極部16が設けられている。この作用電極部16の下流側に、上述のように分岐されたチャネルB3aが配置されている。図示しないコンピュータ等の機器が、ポートA8である狭窄孔を細胞Cが通る時に検出された電気量に基づき、その細胞を特定した後、作用電極部16に作用電圧を印加する等することにより、その細胞Cに電気泳動力あるいは誘電泳動力が与えられる。作用電圧での電圧印加の有無による泳動力の発生の有無によって、細胞Cは、分岐された2つの流路のうち一方の流路へ選択的に導かれる。
このように、本技術によれば、セルソータような流路デバイスを実現することができる。
3.他の実施形態に係る流路デバイス及びその使用例
以上のように製造された流路デバイスは高いフレキシブル性を有するため、その屈曲性、可撓性を生かして、曲率や段差を持つ面に、流路デバイスを自由に配置することができる。
例えば、図10は、流路デバイスを人体に装着する例を示す。上述したように、流路デバイス100はフレキシブルであるため、例えばテーピング30等の手段により、流路デバイス100を人の腕に装着可能である。これにより、人体の汗の成分等、生体試料の継続的な取得が可能となる。流路デバイス100に設けられた流路は、液体に毛細管力を発生させることができるので、流路デバイス100は汗を流路内に取り込み、汗の成分を解析することができる。あるいは、流路デバイス100は、薬物の生体内への徐放にも適用可能である。
図11は、流路デバイスを複数の機器間に接続される、流路及び電気回路を含むデバイスとして使用する例を示す。他の例として、例えば図11に示すように、複数の機器間にフレキシブルな流路デバイス110が接続されてもよい。ここでは、流体を送出する流体送出装置41と、計測、反応またはその他の作業を行う計測部/反応部42とが、フレキシブルな流路デバイス110によって接続されている。流路デバイス110は、複数の平行した流路、あるいは、分離または合流する複雑な流路を持つことができる。例えば流路デバイス110は、流路及び電気回路を含み、これら複数の機器間で流体及び電気信号のやりとりを行う。
このようにフレキシブル性を生かし、複雑な装置内の複数の機器間を結ぶ配管を、本技術による流路デバイス110によって実現することができるので、装置のコンパクト化、低コスト化等を達成することができる。
さらに別の他の例として、プリンタ内のインクタンクに接続されたインクチューブ及び吐出ヘッドを、本技術に係る流路デバイス110に置き換えることもできる。
4.その他の実施形態
本技術は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態を実現することができる。
上記実施形態では、非熱可塑性ポリイミドフィルムと熱可塑性ポリイミドフィルムとが交互に積層されて流路デバイス50が構成された。しかし、流路デバイス50は、少なくとも1枚の熱可塑性ポリイミドフィルムを含んでいればよい。例えば積層されたすべてのポリイミドフィルムが複数連続して積層されていてもよい。すべての層が熱可塑性ポリイミドフィルムであってもよい。
上記実施形態に係る金属層は電極や電磁シールド等、電気的な機能を持つ部材として形成されたが、補強材等、機械的な機能を持つ部材として形成されてもよい。
上記実施形態では、フィルムに形成されたチャネルは、フィルムを貫通して形成されたスリットであったが、フィルムを貫通していない凹状の溝であってもよい。
以上説明した各形態の特徴部分のうち、少なくとも2つの特徴部分を組み合わせることも可能である。
本技術は以下のような構成もとることができる。
(1) ポートを有する1つ以上のポリイミドフィルムと、チャネルを有する1つ以上のポリイミドフィルムとを含み、かつ、1つ以上の熱可塑性ポリイミドフィルムを前記各ポリイミドフィルムのうち少なくとも1つとして含む複数のポリイミドフィルムを積層し、
前記積層された複数のポリイミドフィルムを加熱しながら、前記ポートと前記チャネルとが連通するようにそれらを接合する
流路デバイスの製造方法。
(2) (1)に記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記複数のポリイミドフィルムのうち、1つ以上の非熱可塑性ポリイミドフィルムを、前記各ポリイミドフィルムのうち少なくとも1つとしてさらに用いる
流路デバイスの製造方法。
(3)路デバイスの製造方法であって、
前記積層の工程では、前記熱可塑性ポリイミドフィルム及び前記非熱可塑性ポリイミドフィルムとが交互に積層される
流路デバイスの製造方法。
(4) (1)から(3)のうちいずれか1つに記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記接合の工程は、前記積層された複数のポリイミドフィルムを加圧する工程をさらに含む
流路デバイスの製造方法。
(5) (4)に記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記加圧の工程では、2つの平行に配置された板材で前記積層された複数のポリイミドフィルムを挟むようにしてそれらを加圧する
流路デバイスの製造方法。
(6) (1)から(5)のうちいずれか1つに記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記接合の工程では、ポリイミドのガラス転移点付近の温度で、前記積層されたポリイミドフィルムを加熱する
流路デバイスの製造方法。
(7) (1)から(6)のうちいずれか1つに記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記複数のポリイミドフィルムのうち少なくとも1つのポリイミドフィルムは、そのポリイミドフィルムの表面に設けられた金属層を有し、
前記積層の工程前に、さらに、前記金属層を加工することにより任意形状の金属パターンを形成する
流路デバイスの製造方法。
(8) (1)から(7)のうちいずれか1つに記載の流路デバイスの製造方法であって、
さらに、前記積層された複数のポリイミドフィルムを、気密を維持可能なチャンバ内に収容し、
前記接合の工程では、前記チャンバ内を減圧した状態で、前記積層された複数のポリイミドフィルムを接合する
流路デバイスの製造方法。
(9) (1)から(8)のうちいずれか1つに記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記流路デバイスは、生体試料を含む流体を流通させるデバイスとして用いられる
流路デバイスの製造方法。
(10) 1つ以上の熱可塑性ポリイミドフィルムと、1つ以上の非熱可塑性ポリイミドフィルムとを含む複数のポリイミドフィルムが積層されて接合された本体と、
前記複数のポリイミドフィルムのうち、1つ以上のポリイミドフィルムに設けられたポートと、
前記複数のポリイミドフィルムのうち、前記ポートと連通して流路を形成するように、1つ以上のポリイミドフィルムに設けられたチャネルと
を具備する流路デバイス。
(11) (10)に記載の流路デバイスであって、
前記流路デバイスは、生体試料を含む流体を流通させるデバイスとして用いられる
流路デバイス。
(1) ポートを有する1つ以上のポリイミドフィルムと、チャネルを有する1つ以上のポリイミドフィルムとを含み、かつ、1つ以上の熱可塑性ポリイミドフィルムを前記各ポリイミドフィルムのうち少なくとも1つとして含む複数のポリイミドフィルムを積層し、
前記積層された複数のポリイミドフィルムを加熱しながら、前記ポートと前記チャネルとが連通するようにそれらを接合する
流路デバイスの製造方法。
(2) (1)に記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記複数のポリイミドフィルムのうち、1つ以上の非熱可塑性ポリイミドフィルムを、前記各ポリイミドフィルムのうち少なくとも1つとしてさらに用いる
流路デバイスの製造方法。
(3)路デバイスの製造方法であって、
前記積層の工程では、前記熱可塑性ポリイミドフィルム及び前記非熱可塑性ポリイミドフィルムとが交互に積層される
流路デバイスの製造方法。
(4) (1)から(3)のうちいずれか1つに記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記接合の工程は、前記積層された複数のポリイミドフィルムを加圧する工程をさらに含む
流路デバイスの製造方法。
(5) (4)に記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記加圧の工程では、2つの平行に配置された板材で前記積層された複数のポリイミドフィルムを挟むようにしてそれらを加圧する
流路デバイスの製造方法。
(6) (1)から(5)のうちいずれか1つに記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記接合の工程では、ポリイミドのガラス転移点付近の温度で、前記積層されたポリイミドフィルムを加熱する
流路デバイスの製造方法。
(7) (1)から(6)のうちいずれか1つに記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記複数のポリイミドフィルムのうち少なくとも1つのポリイミドフィルムは、そのポリイミドフィルムの表面に設けられた金属層を有し、
前記積層の工程前に、さらに、前記金属層を加工することにより任意形状の金属パターンを形成する
流路デバイスの製造方法。
(8) (1)から(7)のうちいずれか1つに記載の流路デバイスの製造方法であって、
さらに、前記積層された複数のポリイミドフィルムを、気密を維持可能なチャンバ内に収容し、
前記接合の工程では、前記チャンバ内を減圧した状態で、前記積層された複数のポリイミドフィルムを接合する
流路デバイスの製造方法。
(9) (1)から(8)のうちいずれか1つに記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記流路デバイスは、生体試料を含む流体を流通させるデバイスとして用いられる
流路デバイスの製造方法。
(10) 1つ以上の熱可塑性ポリイミドフィルムと、1つ以上の非熱可塑性ポリイミドフィルムとを含む複数のポリイミドフィルムが積層されて接合された本体と、
前記複数のポリイミドフィルムのうち、1つ以上のポリイミドフィルムに設けられたポートと、
前記複数のポリイミドフィルムのうち、前記ポートと連通して流路を形成するように、1つ以上のポリイミドフィルムに設けられたチャネルと
を具備する流路デバイス。
(11) (10)に記載の流路デバイスであって、
前記流路デバイスは、生体試料を含む流体を流通させるデバイスとして用いられる
流路デバイス。
P1、P3、P5、P6、P8、P10…非熱可塑性ポリイミドフィルム(ポリイミドフィルム)
P2、P4、P7、P9…熱可塑性ポリイミドフィルム(ポリイミドフィルム)
A1、A2、A3、A4、A5、A6、A7、A6’、A7’
B1、B2、B3…チャネル
50、60、100、110…流路デバイス
11…非熱可塑性ポリイミドフィルム
12…金属層
14、15…電極
20…治具
21…ベース板
23…押さえ板
P2、P4、P7、P9…熱可塑性ポリイミドフィルム(ポリイミドフィルム)
A1、A2、A3、A4、A5、A6、A7、A6’、A7’
B1、B2、B3…チャネル
50、60、100、110…流路デバイス
11…非熱可塑性ポリイミドフィルム
12…金属層
14、15…電極
20…治具
21…ベース板
23…押さえ板
Claims (11)
- ポートを有する1つ以上のポリイミドフィルムと、チャネルを有する1つ以上のポリイミドフィルムとを含み、かつ、1つ以上の熱可塑性ポリイミドフィルムを前記各ポリイミドフィルムのうち少なくとも1つとして含む複数のポリイミドフィルムを積層し、
前記積層された複数のポリイミドフィルムを加熱しながら、前記ポートと前記チャネルとが連通するようにそれらを接合する
流路デバイスの製造方法。 - 請求項1に記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記複数のポリイミドフィルムのうち、1つ以上の非熱可塑性ポリイミドフィルムを、前記各ポリイミドフィルムのうち少なくとも1つとしてさらに用いる
流路デバイスの製造方法。 - 請求項2に記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記積層の工程では、前記熱可塑性ポリイミドフィルム及び前記非熱可塑性ポリイミドフィルムとが交互に積層される
流路デバイスの製造方法。 - 請求項1に記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記接合の工程は、前記積層された複数のポリイミドフィルムを加圧する工程をさらに含む
流路デバイスの製造方法。 - 請求項4に記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記加圧の工程では、2つの平行に配置された板材で前記積層された複数のポリイミドフィルムを挟むようにしてそれらを加圧する
流路デバイスの製造方法。 - 請求項1に記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記接合の工程では、ポリイミドのガラス転移点付近の温度で、前記積層されたポリイミドフィルムを加熱する
流路デバイスの製造方法。 - 請求項1に記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記複数のポリイミドフィルムのうち少なくとも1つのポリイミドフィルムは、そのポリイミドフィルムの表面に設けられた金属層を有する
前記積層の工程前に、さらに、前記金属層を加工することにより任意形状の金属パターンを形成する
流路デバイスの製造方法。 - 請求項1に記載の流路デバイスの製造方法であって、
さらに、前記積層された複数のポリイミドフィルムを、気密を維持可能なチャンバ内に収容し、
前記接合の工程では、前記チャンバ内を減圧した状態で、前記積層された複数のポリイミドフィルムを接合する
流路デバイスの製造方法。 - 請求項1に記載の流路デバイスの製造方法であって、
前記流路デバイスは、生体試料を含む流体を流通させるデバイスとして用いられる
流路デバイスの製造方法。 - 1つ以上の熱可塑性ポリイミドフィルムと、1つ以上の非熱可塑性ポリイミドフィルムとを含む複数のポリイミドフィルムが積層されて接合された本体と、
前記複数のポリイミドフィルムのうち、1つ以上のポリイミドフィルムに設けられたポートと、
前記複数のポリイミドフィルムのうち、前記ポートと連通して流路を形成するように、1つ以上のポリイミドフィルムに設けられたチャネルと
を具備する流路デバイス。 - 請求項10に記載の流路デバイスであって、
前記流路デバイスは、生体試料を含む流体を流通させるデバイスとして用いられる
流路デバイス。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013084382A JP2014205115A (ja) | 2013-04-12 | 2013-04-12 | 流路デバイスの製造方法及び流路デバイス |
US14/227,713 US9303796B2 (en) | 2013-04-12 | 2014-03-27 | Method of producing flow channel device, and flow channel device |
CN201410137352.1A CN104096600B (zh) | 2013-04-12 | 2014-04-04 | 制造流动通道设备的方法和流动通道设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013084382A JP2014205115A (ja) | 2013-04-12 | 2013-04-12 | 流路デバイスの製造方法及び流路デバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014205115A true JP2014205115A (ja) | 2014-10-30 |
Family
ID=51665373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013084382A Pending JP2014205115A (ja) | 2013-04-12 | 2013-04-12 | 流路デバイスの製造方法及び流路デバイス |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9303796B2 (ja) |
JP (1) | JP2014205115A (ja) |
CN (1) | CN104096600B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107583692A (zh) * | 2017-05-23 | 2018-01-16 | 深圳市博瑞生物科技有限公司 | 液滴微流控芯片及其制备方法 |
WO2021166629A1 (ja) * | 2020-02-20 | 2021-08-26 | Nok株式会社 | 粒子解析装置 |
WO2022009493A1 (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-13 | Nok株式会社 | マイクロ流路デバイスの製造方法、及びマイクロ流路デバイス |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6293012B1 (en) * | 1997-07-21 | 2001-09-25 | Ysi Incorporated | Method of making a fluid flow module |
US6167910B1 (en) | 1998-01-20 | 2001-01-02 | Caliper Technologies Corp. | Multi-layer microfluidic devices |
JP4362917B2 (ja) * | 2000-01-31 | 2009-11-11 | 宇部興産株式会社 | 金属箔積層体およびその製法 |
JP2004167607A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-17 | Tama Tlo Kk | マイクロ流体素子とその製造方法 |
JP2008078104A (ja) | 2006-08-23 | 2008-04-03 | Sumitomo Metal Ind Ltd | バイポーラプレート用部材、バイポーラプレート積層体、セル構造体および固体高分子形燃料電池 |
US20090074615A1 (en) * | 2007-09-17 | 2009-03-19 | Ysi Incorporated | Microfluidic module including an adhesiveless self-bonding rebondable polyimide |
-
2013
- 2013-04-12 JP JP2013084382A patent/JP2014205115A/ja active Pending
-
2014
- 2014-03-27 US US14/227,713 patent/US9303796B2/en active Active
- 2014-04-04 CN CN201410137352.1A patent/CN104096600B/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107583692A (zh) * | 2017-05-23 | 2018-01-16 | 深圳市博瑞生物科技有限公司 | 液滴微流控芯片及其制备方法 |
WO2021166629A1 (ja) * | 2020-02-20 | 2021-08-26 | Nok株式会社 | 粒子解析装置 |
WO2022009493A1 (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-13 | Nok株式会社 | マイクロ流路デバイスの製造方法、及びマイクロ流路デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140305533A1 (en) | 2014-10-16 |
CN104096600B (zh) | 2018-08-17 |
CN104096600A (zh) | 2014-10-15 |
US9303796B2 (en) | 2016-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20190247854A1 (en) | Microfluidic cartridge assembly | |
Metz et al. | Polyimide-based microfluidic devices | |
US20090114285A1 (en) | Flow channel structure, flow channel board having the same, and fluid control method | |
JP6493204B2 (ja) | 流路デバイス、分析装置及び流体装置 | |
JP5303028B2 (ja) | マイクロ流体センサの製造方法 | |
EP1561723A1 (en) | Micro fluid control device and process for producing the same | |
JP2014205115A (ja) | 流路デバイスの製造方法及び流路デバイス | |
KR101985639B1 (ko) | 기판의 부착 방법 및 마이크로칩의 제조 방법 | |
JP2011196716A (ja) | 流路チップ及び治具 | |
JP2007003414A (ja) | 分析装置用カートリッジ | |
TW201541579A (zh) | 用於流體及裝置共整合之低成本封裝 | |
WO2012011810A1 (en) | Lab-on-a-chip device, for instance for use of the analysis of semen | |
WO2020059554A1 (ja) | プレート | |
US11110451B2 (en) | Micro-channel device and method for manufacturing micro-channel device | |
Paredes et al. | Self-anchoring nickel microelectrodes for rapid fabrication of functional thermoplastic microfluidic prototypes | |
WO2018180508A1 (ja) | マイクロ流路チップの製造方法 | |
JP2005031064A (ja) | 液体検査用チップ及びその作製方法 | |
Donoghue | Design of a micro-interdigitated electrode for impedance measurement performance in a biochemical assay | |
US20230285959A1 (en) | Method of manufacturing micro flow path device, and micro flow path device | |
JP2008089382A (ja) | 血球計数検査チップおよびこれを使用する血球計数検査装置 | |
Jeffries et al. | Open Volume Microfluidic Probes | |
CN109415199B (zh) | 具有歧管的微流体装置 | |
Nerguizian et al. | Microfluidic device fabrication with serigraphy technique | |
Dawes | Design and Modeling Techniques for Impedance Based Flow Cytometry | |
Ma | An integrated polymer based polymerase chain reaction and capillary electrophoresis system for genetic diagnosis |