JP2014202566A - 測定機 - Google Patents
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Abstract
【課題】使い勝手の良い測定機を提供する。
【解決手段】測定機1は、被測定物Wに光を照射する照明装置24と、照明装置24の動作を制御する制御装置3とを備える。制御装置3は、測定機1の使用状態が被測定物Wを測定する測定状態または非測定状態のいずれの状態であるかを検知する状態検知手段35と、測定状態に応じた第1の照射条件を記憶する第1記憶手段37と、非測定状態に応じた第2の照射条件を記憶する第2記憶手段38と、状態検知手段35にて検知された使用状態に基づいて、第1の照射条件または第2の照射条件を読み出し、当該読み出した照射条件で照明装置24から光を照射させる照明制御手段36とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】測定機1は、被測定物Wに光を照射する照明装置24と、照明装置24の動作を制御する制御装置3とを備える。制御装置3は、測定機1の使用状態が被測定物Wを測定する測定状態または非測定状態のいずれの状態であるかを検知する状態検知手段35と、測定状態に応じた第1の照射条件を記憶する第1記憶手段37と、非測定状態に応じた第2の照射条件を記憶する第2記憶手段38と、状態検知手段35にて検知された使用状態に基づいて、第1の照射条件または第2の照射条件を読み出し、当該読み出した照射条件で照明装置24から光を照射させる照明制御手段36とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、被測定物の寸法等を測定する画像測定機や測定顕微鏡等の測定機に関する。
従来、被測定物に光を照射する照明装置と、被測定物を撮像する撮像装置(CCD(Charge Coupled Device)カメラ)と、照明装置の動作を制御する制御装置とを備えた画像測定機が知られている(例えば、非特許文献1参照)。
このような画像測定機は、一般的に、以下に示すように用いられる。
すなわち、利用者は、撮像装置にて撮像された画像を観察しながら、撮像装置及び被測定物を相対移動させて、被測定物の測定箇所を撮像装置の撮像範囲内に収める(以下、画像測定機の上記使用状態を観察モードと記載)。
そして、利用者が画像測定機に対して所定の操作をすることで、画像測定機は、被測定物(測定箇所)を撮像し、撮像した画像データに対してエッジ検出等の画像処理を施し、被測定物の寸法等を測定する(以下、画像測定機の上記使用状態を測定モードと記載)。
このような画像測定機は、一般的に、以下に示すように用いられる。
すなわち、利用者は、撮像装置にて撮像された画像を観察しながら、撮像装置及び被測定物を相対移動させて、被測定物の測定箇所を撮像装置の撮像範囲内に収める(以下、画像測定機の上記使用状態を観察モードと記載)。
そして、利用者が画像測定機に対して所定の操作をすることで、画像測定機は、被測定物(測定箇所)を撮像し、撮像した画像データに対してエッジ検出等の画像処理を施し、被測定物の寸法等を測定する(以下、画像測定機の上記使用状態を測定モードと記載)。
株式会社ミツトヨ、CNC画像測定機 製品カタログ Catalog No.4371(5)
ところで、照明装置から被測定物に光を照射させる際、画像測定機の使用状態が測定モードである場合に適した照射条件(画像処理の精度を向上できる照射条件)と、観察モードである場合に適した照射条件(測定箇所が観察し易い照射条件)とは異なるものである。
このため、画像測定機の使用状態に応じて、利用者が適宜、照明装置の照射条件を変更することが考えられる。
しかしながら、照明装置の照射条件としては、透過照明用光源からの光の強度、落射照明用光源からの光の強度、及びリング照明用光源からの光の強度等、多くの項目がある。
したがって、画像測定機の使用状態に応じて、多くの項目からなる照射条件を利用者に変更させる構成を採用した場合には、利用者に煩雑な作業を強いることとなり、使い勝手が悪いものとなる。
このため、画像測定機の使用状態に応じて、利用者が適宜、照明装置の照射条件を変更することが考えられる。
しかしながら、照明装置の照射条件としては、透過照明用光源からの光の強度、落射照明用光源からの光の強度、及びリング照明用光源からの光の強度等、多くの項目がある。
したがって、画像測定機の使用状態に応じて、多くの項目からなる照射条件を利用者に変更させる構成を採用した場合には、利用者に煩雑な作業を強いることとなり、使い勝手が悪いものとなる。
本発明の目的は、使い勝手の良い測定機を提供することにある。
本発明の測定機は、前記被測定物に光を照射する照明装置と、前記照明装置の動作を制御する制御装置とを備えた測定機であって、前記制御装置は、当該測定機の使用状態が前記被測定物を測定する測定状態または非測定状態のいずれの状態であるかを検知する状態検知手段と、前記測定状態に応じた第1の照射条件を記憶する第1記憶手段と、前記非測定状態に応じた第2の照射条件を記憶する第2記憶手段と、前記状態検知手段にて検知された前記使用状態に基づいて、前記第1の照射条件または前記第2の照射条件を読み出し、当該読み出した照射条件で前記照明装置から光を照射させる照明制御手段とを備えることを特徴とする。
本発明では、制御装置は、上述した状態検知手段を備えるので、測定機の使用状態が測定状態(測定モード)であるか、または非測定状態(観察モード)であるかを検知できる。
また、制御装置は、上述した第1,第2記憶手段、及び照明制御手段を備えるので、測定モードである場合には、当該測定モードに適した第1の照射条件(以下、測定用照射条件と記載)で照明装置から被測定物に光を照射させることができる。また、観察モードである場合には、当該観察モードに適した第2の照射条件(以下、観察用照射条件と記載)で照明装置から被測定物に光を照射させることができる。
したがって、測定機の使用状態に応じて利用者に照射条件を適宜、変更させる煩雑な作業を強いることがなく、使い勝手の良い測定機を実現できる。
なお、以下では、説明の便宜上、測定用照射条件で照明装置から照射される光を測定用照明と記載し、観察用照射条件で照明装置から照射される光を観察用照明と記載する。
また、制御装置は、上述した第1,第2記憶手段、及び照明制御手段を備えるので、測定モードである場合には、当該測定モードに適した第1の照射条件(以下、測定用照射条件と記載)で照明装置から被測定物に光を照射させることができる。また、観察モードである場合には、当該観察モードに適した第2の照射条件(以下、観察用照射条件と記載)で照明装置から被測定物に光を照射させることができる。
したがって、測定機の使用状態に応じて利用者に照射条件を適宜、変更させる煩雑な作業を強いることがなく、使い勝手の良い測定機を実現できる。
なお、以下では、説明の便宜上、測定用照射条件で照明装置から照射される光を測定用照明と記載し、観察用照射条件で照明装置から照射される光を観察用照明と記載する。
本発明の測定機では、前記被測定物を撮像する撮像装置を備え、前記制御装置は、画像処理に関する処理情報の入力を受け付ける処理情報受付手段と、前記処理情報に基づいて、前記撮像装置にて撮像された画像に対して画像処理を施す画像処理手段とを備え、前記状態検知手段は、前記処理情報受付手段が前記処理情報の入力を受け付けた場合に、前記測定状態であると検知することが好ましい。
本発明では、状態検知手段は、処理情報受付手段が上述した処理情報の入力を受け付けた場合に、測定モードであると検知する。
このことにより、例えば、測定機に別途、スイッチ等の入力手段を設け、当該入力手段への操作に応じて状態検知手段が測定モードであると検知する構成と比較して、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、上述した入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段に測定モードであると検知させることができる。
このことにより、例えば、測定機に別途、スイッチ等の入力手段を設け、当該入力手段への操作に応じて状態検知手段が測定モードであると検知する構成と比較して、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、上述した入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段に測定モードであると検知させることができる。
ところで、撮像装置にて撮像された画像に画像処理を施す際、測定機の使用状態は、測定モードである。
そして、状態検知手段は、処理情報受付手段が上述した処理情報の入力を受け付けた場合に測定モードであると検知するので、画像処理を行う直前に測定モードであると検知できる。
このため、撮像装置にて撮像された画像を確認しながら、被測定物の測定箇所を探索している際に、観察用照明から測定用照明に不要に変更されることがなく、測定箇所の探索の能率を損なうことがない。
そして、状態検知手段は、処理情報受付手段が上述した処理情報の入力を受け付けた場合に測定モードであると検知するので、画像処理を行う直前に測定モードであると検知できる。
このため、撮像装置にて撮像された画像を確認しながら、被測定物の測定箇所を探索している際に、観察用照明から測定用照明に不要に変更されることがなく、測定箇所の探索の能率を損なうことがない。
本発明の測定機では、当該測定機及び前記被測定物を相対移動させる移動機構を備え、前記状態検知手段は、前記移動機構が当該測定機及び前記被測定物を相対移動させる場合に、前記非測定状態であると検知することが好ましい。
本発明では、状態検知手段は、例えば、以下の(1),(2)に示すように観察モードであると検知する。
(1)利用者によるマウスやキーボード等の操作に応じて、制御装置が移動機構を動作させて測定機及び被測定物を相対移動させる構成(以下、第1の構成)では、状態検知手段は、利用者により上記操作が行われた場合に、観察モードであると検知する。
(2)ハンドル等を手動で操作することで移動機構を動作させ、測定機及び被測定物を相対移動させる構成(以下、第2の構成)では、状態検知手段は、測定機及び被測定物の相対位置を検出する位置検出装置の検出結果に基づいて、観察モードであると検知する。
このことにより、測定機に別途、スイッチ等の入力手段を設け、当該入力手段への操作に応じて状態検知手段が観察モードであると検知する構成と比較して、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、上述した入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段に観察モードであると検知させることができる。
(1)利用者によるマウスやキーボード等の操作に応じて、制御装置が移動機構を動作させて測定機及び被測定物を相対移動させる構成(以下、第1の構成)では、状態検知手段は、利用者により上記操作が行われた場合に、観察モードであると検知する。
(2)ハンドル等を手動で操作することで移動機構を動作させ、測定機及び被測定物を相対移動させる構成(以下、第2の構成)では、状態検知手段は、測定機及び被測定物の相対位置を検出する位置検出装置の検出結果に基づいて、観察モードであると検知する。
このことにより、測定機に別途、スイッチ等の入力手段を設け、当該入力手段への操作に応じて状態検知手段が観察モードであると検知する構成と比較して、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、上述した入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段に観察モードであると検知させることができる。
ところで、測定機及び被測定物を相対移動させている際、測定機の使用状態は、観察モードである。
そして、状態検知手段は、上述した(1),(2)に示すように観察モードであると検知するので、観察モードを正確に検知できる。
そして、状態検知手段は、上述した(1),(2)に示すように観察モードであると検知するので、観察モードを正確に検知できる。
本発明の測定機では、前記状態検知手段は、前記移動機構が当該測定機及び前記測定物を相対移動させた際の、当該測定機及び前記被測定物の相対位置の静止位置からの変化量が第1閾値以上となった場合に、前記測定状態から前記非測定状態に変更されたことを検知することが好ましい。
本発明では、状態検知手段が上述したように測定モードから観察モードに変更されたことを検知するので、観察用照明に切り替わることなく測定用照明が継続した状態で、測定機及び被測定物の相対位置を微調整することができる。
また、測定機及び被測定物の相対位置を微調整する場合には、測定用照明から観察用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
本発明では、状態検知手段が上述したように測定モードから観察モードに変更されたことを検知するので、観察用照明に切り替わることなく測定用照明が継続した状態で、測定機及び被測定物の相対位置を微調整することができる。
また、測定機及び被測定物の相対位置を微調整する場合には、測定用照明から観察用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
本発明の測定機では、当該測定機及び前記被測定物を相対移動させる移動機構を備え、前記状態検知手段は、前記移動機構が当該測定機及び前記被測定物を相対移動させず、当該測定機に対して前記被測定物が静止する場合に前記測定状態であると検知することが好ましい。
本発明では、状態検知手段は、例えば、以下の(3),(4)に示すように測定モードまたは観察モードであると検知する。
(3)第1の構成では、状態検知手段は、利用者によるマウスやキーボード等の操作に応じて、測定モードまたは観察モードであると検知する。
(4)第2の構成では、状態検知手段は、測定機及び被測定物の相対位置を検出する位置検出装置の検出結果に応じて、測定モードまたは観察モードであると検知する。
このことにより、測定機に別途、スイッチ等の入力手段を設け、当該入力手段への操作に応じて状態検知手段が測定モードまたは観察モードであると検知する構成と比較して、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、上述した入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。
(3)第1の構成では、状態検知手段は、利用者によるマウスやキーボード等の操作に応じて、測定モードまたは観察モードであると検知する。
(4)第2の構成では、状態検知手段は、測定機及び被測定物の相対位置を検出する位置検出装置の検出結果に応じて、測定モードまたは観察モードであると検知する。
このことにより、測定機に別途、スイッチ等の入力手段を設け、当該入力手段への操作に応じて状態検知手段が測定モードまたは観察モードであると検知する構成と比較して、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、上述した入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。
本発明の測定機では、前記状態検知手段は、当該測定機に対する前記被測定物の静止時間が第2閾値以上となった場合に、前記非測定状態から前記測定状態に変更されたことを検知することが好ましい。
本発明では、状態検知手段が上述した場合に観察モードから測定モードに変更されたことを検知するので、測定機に対して被測定物が停止してから所定時間(第2閾値)、観察用照明が継続し、前記所定時間の経過後、測定用照明に変更されることとなる。すなわち、測定機に対して被測定物を停止させた直後、前記所定時間だけ、観察用照明で被測定物を観察できる。
また、測定機及び被測定物の相対移動を一瞬(第2閾値未満)、休んで続行する場合には、観察用照明から測定用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
本発明では、状態検知手段が上述した場合に観察モードから測定モードに変更されたことを検知するので、測定機に対して被測定物が停止してから所定時間(第2閾値)、観察用照明が継続し、前記所定時間の経過後、測定用照明に変更されることとなる。すなわち、測定機に対して被測定物を停止させた直後、前記所定時間だけ、観察用照明で被測定物を観察できる。
また、測定機及び被測定物の相対移動を一瞬(第2閾値未満)、休んで続行する場合には、観察用照明から測定用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
本発明の測定機では、前記制御装置は、前記使用状態に関する状態情報の入力を受け付ける状態情報受付手段を備え、前記状態検知手段は、前記状態情報受付手段にて入力を受け付けた前記状態情報に基づいて、前記測定状態または前記非測定状態のいずれの状態であるかを検知することが好ましい。
本発明では、状態検知手段は、状態情報受付手段が上述した状態情報の入力を受け付けた場合に、測定モードまたは観察モードのいずれの状態であるかを検知する。
このことにより、上述した移動機構がない構成や、撮像装置がない構成であっても、状態検知手段に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。
本発明では、状態検知手段は、状態情報受付手段が上述した状態情報の入力を受け付けた場合に、測定モードまたは観察モードのいずれの状態であるかを検知する。
このことにより、上述した移動機構がない構成や、撮像装置がない構成であっても、状態検知手段に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。
[第1実施形態]
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
〔画像測定機の構成〕
図1は、第1実施形態における画像測定機1の構成を示すブロック図である。
なお、以下では、説明の便宜上、鉛直軸をZ軸とし、Z軸に直交する2つの軸をX軸及びY軸とする。
測定機としての画像測定機1は、被測定物Wを撮像し、当該撮像した画像データに基づいて、被測定物Wの寸法等を測定するものであり、図1に示すように、測定機本体2と、制御装置3と、入力装置4と、表示装置5とを備える。
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
〔画像測定機の構成〕
図1は、第1実施形態における画像測定機1の構成を示すブロック図である。
なお、以下では、説明の便宜上、鉛直軸をZ軸とし、Z軸に直交する2つの軸をX軸及びY軸とする。
測定機としての画像測定機1は、被測定物Wを撮像し、当該撮像した画像データに基づいて、被測定物Wの寸法等を測定するものであり、図1に示すように、測定機本体2と、制御装置3と、入力装置4と、表示装置5とを備える。
〔測定機本体の構成〕
測定機本体2は、制御装置3による制御の下、被測定物Wに対して光を照射するとともに、被測定物Wを撮像し、当該撮像した画像データを制御装置3に出力する。
この測定機本体2は、図1に示すように、ステージ21と、本体部22と、移動機構としての三次元移動機構23とを備える。
ステージ21は、被測定物Wが載置される部分である。
このステージ21には、板状のガラス等の透光性材料で構成された載置部211が設けられている。
測定機本体2は、制御装置3による制御の下、被測定物Wに対して光を照射するとともに、被測定物Wを撮像し、当該撮像した画像データを制御装置3に出力する。
この測定機本体2は、図1に示すように、ステージ21と、本体部22と、移動機構としての三次元移動機構23とを備える。
ステージ21は、被測定物Wが載置される部分である。
このステージ21には、板状のガラス等の透光性材料で構成された載置部211が設けられている。
そして、載置部211は、板面がXY平面に沿うように配設され、当該載置部211上に被測定物Wが載置される。
また、ステージ21において、載置部211の真下(被測定物Wの真下)には、透過照明用光源241が配設されている。
透過照明用光源241は、制御装置3による制御の下、被測定物Wの真下から、被測定物Wに対して光を照射する光源である。
また、ステージ21において、載置部211の真下(被測定物Wの真下)には、透過照明用光源241が配設されている。
透過照明用光源241は、制御装置3による制御の下、被測定物Wの真下から、被測定物Wに対して光を照射する光源である。
本体部22は、ステージ21の上側に配設される。
この本体部22は、対物レンズ221と、ビームスプリッタ222と、撮像装置としてのカメラ223と、落射照明用光源242と、リング照明用光源243とを備える。
対物レンズ221、ビームスプリッタ222、及びカメラ223は、載置部211(被測定物W)に近接する側から順に、Z軸に沿うように配設される。
落射照明用光源242は、制御装置3による制御の下、ビームスプリッタ222を介して、被測定物Wの真上から光を照射する光源である。
リング照明用光源243は、Z軸を囲む円環状に形成され、制御装置3による制御の下、被測定物Wの斜め上から光を照射する光源である。
この本体部22は、対物レンズ221と、ビームスプリッタ222と、撮像装置としてのカメラ223と、落射照明用光源242と、リング照明用光源243とを備える。
対物レンズ221、ビームスプリッタ222、及びカメラ223は、載置部211(被測定物W)に近接する側から順に、Z軸に沿うように配設される。
落射照明用光源242は、制御装置3による制御の下、ビームスプリッタ222を介して、被測定物Wの真上から光を照射する光源である。
リング照明用光源243は、Z軸を囲む円環状に形成され、制御装置3による制御の下、被測定物Wの斜め上から光を照射する光源である。
このリング照明用光源243は、具体的な図示は省略したが、図1の紙面手前側(−Y軸方向(以下、フロント))、図1の紙面奥側(+Y軸方向(以下、バック))、図1の右側(+X軸方向(以下、ライト))、及び図1の左側(−X軸方向(以下、レフト)の4つに分割され、制御装置3により個別に制御される。
上述した透過照明用光源241、落射照明用光源242、及びリング照明用光源243は、本発明に係る照明装置24(図1)に相当する。
なお、照明装置24は、具体的な図示は省略したが、制御装置3による制御の下、出射光(各光源241〜243から照射される光の色)を変更可能(例えば、赤色光のみを出射、または、白色光を出射等)に構成されているものである。
上述した透過照明用光源241、落射照明用光源242、及びリング照明用光源243は、本発明に係る照明装置24(図1)に相当する。
なお、照明装置24は、具体的な図示は省略したが、制御装置3による制御の下、出射光(各光源241〜243から照射される光の色)を変更可能(例えば、赤色光のみを出射、または、白色光を出射等)に構成されているものである。
そして、照明装置24から発せられた光は、被測定物Wを透過、あるいは、被測定物Wにて反射され、対物レンズ221及びビームスプリッタ222を介して、カメラ223に集光され、被測定物Wがカメラ223にて撮像される。カメラ223にて撮像された被測定物Wの画像データは、制御装置3に出力される。
三次元移動機構23は、制御装置3による制御の下、ステージ21、本体部22、及びリング照明用光源243を以下に示す方向に移動させる。
すなわち、三次元移動機構23は、ステージ21をX,Y軸方向に移動させる。
また、三次元移動機構23は、本体部22をZ軸方向に移動させる。
さらに、三次元移動機構23は、リング照明用光源243をZ軸方向に移動させる。
なお、三次元移動機構23には、図1に示すように、ステージ21のX,Y軸方向の位置、本体部22のZ軸方向の位置、及びリング照明用光源243のZ軸方向の位置を検出するリニアエンコーダ等の位置検出装置25がそれぞれ設けられている。
そして、各位置検出装置25にて検出された位置は、制御装置3に出力される。
すなわち、三次元移動機構23は、ステージ21をX,Y軸方向に移動させる。
また、三次元移動機構23は、本体部22をZ軸方向に移動させる。
さらに、三次元移動機構23は、リング照明用光源243をZ軸方向に移動させる。
なお、三次元移動機構23には、図1に示すように、ステージ21のX,Y軸方向の位置、本体部22のZ軸方向の位置、及びリング照明用光源243のZ軸方向の位置を検出するリニアエンコーダ等の位置検出装置25がそれぞれ設けられている。
そして、各位置検出装置25にて検出された位置は、制御装置3に出力される。
〔制御装置の構成〕
制御装置3は、CPU(Central Processing Unit)やハードディスク等を備え、測定機本体2の動作を制御するとともに、測定機本体2から出力された画像データに基づいて、被測定物Wの寸法等を測定する。
この制御装置3は、図1に示すように、入力受付手段31と、GUI制御手段32と、画像処理手段33と、移動制御手段34と、状態検知手段35と、照明制御手段36と、第1記憶手段37と、第2記憶手段38等を備える。
入力受付手段31は、マウスやキーボード等の入力装置4からの操作信号に基づいて、利用者による入力装置4への操作を認識する。
上述した入力受付手段31は、本発明に係る処理情報受付手段及び状態情報受付手段に相当する。
制御装置3は、CPU(Central Processing Unit)やハードディスク等を備え、測定機本体2の動作を制御するとともに、測定機本体2から出力された画像データに基づいて、被測定物Wの寸法等を測定する。
この制御装置3は、図1に示すように、入力受付手段31と、GUI制御手段32と、画像処理手段33と、移動制御手段34と、状態検知手段35と、照明制御手段36と、第1記憶手段37と、第2記憶手段38等を備える。
入力受付手段31は、マウスやキーボード等の入力装置4からの操作信号に基づいて、利用者による入力装置4への操作を認識する。
上述した入力受付手段31は、本発明に係る処理情報受付手段及び状態情報受付手段に相当する。
GUI制御手段32は、メモリ(図示略)に記憶された情報に基づいて、後述する操作ウィンドウW1、設定ウィンドウW2、及び選択ウィンドウW3(図7参照)等を生成し、当該各ウィンドウW1〜W3等をディスプレイ等の表示装置5に表示させる。
画像処理手段33は、表示装置5に表示された選択ウィンドウW3に基づき、入力装置4を介して利用者にて設定された画像処理条件(処理情報)に基づいて、カメラ223にて撮像された画像データに対して画像処理を施す。そして、画像処理手段33は、画像処理を施した結果を表示装置5に表示させる。
移動制御手段34は、入力受付手段31にて認識された利用者による入力装置4への操作等に基づいて、三次元移動機構23の動作を制御する。
画像処理手段33は、表示装置5に表示された選択ウィンドウW3に基づき、入力装置4を介して利用者にて設定された画像処理条件(処理情報)に基づいて、カメラ223にて撮像された画像データに対して画像処理を施す。そして、画像処理手段33は、画像処理を施した結果を表示装置5に表示させる。
移動制御手段34は、入力受付手段31にて認識された利用者による入力装置4への操作等に基づいて、三次元移動機構23の動作を制御する。
状態検知手段35は、画像測定機1の使用状態を検知する。
具体的に、状態検知手段35は、入力受付手段31にて入力を受け付けた情報に基づいて、画像測定機1の使用状態(測定モード(測定状態)、観察モード(非測定状態))を検知する。
なお、状態検知手段35は、画像測定機1の電源が投入された直後では、画像測定機1の使用状態を観察モードであると検知するように設定されている。
具体的に、状態検知手段35は、入力受付手段31にて入力を受け付けた情報に基づいて、画像測定機1の使用状態(測定モード(測定状態)、観察モード(非測定状態))を検知する。
なお、状態検知手段35は、画像測定機1の電源が投入された直後では、画像測定機1の使用状態を観察モードであると検知するように設定されている。
照明制御手段36は、状態検知手段35にて検知された結果に基づいて、第1記憶手段37または第2記憶手段38から照射条件を読み出し、当該読み出した照射条件にて照明装置24から光を照射させる。
第1記憶手段37は、測定モード時に照明装置24から光を照射させる測定用照射条件(第1の照射条件)を記憶する。
第2記憶手段38は、観察モード時に照明装置24から光を照射させる観察用照射条件(第2の照射条件)を記憶する。
第1記憶手段37は、測定モード時に照明装置24から光を照射させる測定用照射条件(第1の照射条件)を記憶する。
第2記憶手段38は、観察モード時に照明装置24から光を照射させる観察用照射条件(第2の照射条件)を記憶する。
〔画像測定機の動作〕
次に、上述した画像測定機1の動作について説明する。
図2は、画像測定機1の動作を説明するフローチャートである。図3は、測定モードにおける動作を説明するフローチャートである。図4は、観察モードにおける動作を説明するフローチャートである。
先ず、利用者が画像測定機1の電源を投入すると、状態検知手段35は、画像測定機1の使用状態が観察モードであると検知する(ステップST11)。
次に、照明制御手段36は、第2記憶手段38に記憶された観察用照射条件を読み出し、当該観察用照射条件で照明装置24から光を照射させる(ステップST12)。すなわち、照明装置24からの照明は、観察用照明となる。
また、GUI制御手段32は、以下に示す各ウィンドウW1〜W3を表示装置5に表示させる。
次に、上述した画像測定機1の動作について説明する。
図2は、画像測定機1の動作を説明するフローチャートである。図3は、測定モードにおける動作を説明するフローチャートである。図4は、観察モードにおける動作を説明するフローチャートである。
先ず、利用者が画像測定機1の電源を投入すると、状態検知手段35は、画像測定機1の使用状態が観察モードであると検知する(ステップST11)。
次に、照明制御手段36は、第2記憶手段38に記憶された観察用照射条件を読み出し、当該観察用照射条件で照明装置24から光を照射させる(ステップST12)。すなわち、照明装置24からの照明は、観察用照明となる。
また、GUI制御手段32は、以下に示す各ウィンドウW1〜W3を表示装置5に表示させる。
図5は、操作ウィンドウW1を示す図である。
操作ウィンドウW1は、ステージ21及び本体部22を操作するためのウィンドウである。
具体的に、操作ウィンドウW1において、上下左右に配列された4つの各アイコンIS1〜IS4のうち、上下に配列された2つのアイコンIS1,IS2は、利用者に、ステージ21のY軸方向への移動を促すものである。一方、左右に配列された2つのアイコンIS3,IS4は、利用者に、ステージ21のX軸方向への移動を促すものである。
また、各アイコンIS1〜IS4に挟まされる位置にアイコンIS5が配置され、利用者に、ステージ21のX軸方向及びY軸方向への移動を促す。
操作ウィンドウW1は、ステージ21及び本体部22を操作するためのウィンドウである。
具体的に、操作ウィンドウW1において、上下左右に配列された4つの各アイコンIS1〜IS4のうち、上下に配列された2つのアイコンIS1,IS2は、利用者に、ステージ21のY軸方向への移動を促すものである。一方、左右に配列された2つのアイコンIS3,IS4は、利用者に、ステージ21のX軸方向への移動を促すものである。
また、各アイコンIS1〜IS4に挟まされる位置にアイコンIS5が配置され、利用者に、ステージ21のX軸方向及びY軸方向への移動を促す。
すなわち、利用者が入力装置4により各アイコンIS1〜IS4を操作すると、入力受付手段31は、利用者による入力装置4への操作を認識する。そして、移動制御手段34は、入力受付手段31にて認識された操作(各アイコンIS1〜IS4の操作)に応じて、三次元移動機構23の動作を制御し、ステージ21をX軸方向またはY軸方向に移動させる。
また、利用者の入力装置4の操作により、アイコンIS5が所定方向にドラッグ移動操作されると、入力受付手段31は、利用者による入力装置4への操作から、アイコンIS5のドラッグ移動方向、ドラッグ移動量を認識する。そして、移動制御手段34は、三次元移動機構23の動作を制御し、ステージ21をドラッグ移動方向に沿った方向(X軸方向またはY軸方向)に、ドラッグ移動量に応じた速度で移動させる。なお、アイコンIS5が操作された際の速度を、アイコンIS1〜4が操作された際の速度よりも大きくしてもよい。この場合、例えば、アイコンIS5によりステージ21を粗動移動させ、アイコンIS1〜4によりステージ21を微動移動(微調整)させる等の動作が可能となる。
これにより、本体部22に対してステージ21がX軸方向またはY軸方向に移動し、ステージ21上に載置された被測定物Wの測定箇所が変更される。
また、利用者の入力装置4の操作により、アイコンIS5が所定方向にドラッグ移動操作されると、入力受付手段31は、利用者による入力装置4への操作から、アイコンIS5のドラッグ移動方向、ドラッグ移動量を認識する。そして、移動制御手段34は、三次元移動機構23の動作を制御し、ステージ21をドラッグ移動方向に沿った方向(X軸方向またはY軸方向)に、ドラッグ移動量に応じた速度で移動させる。なお、アイコンIS5が操作された際の速度を、アイコンIS1〜4が操作された際の速度よりも大きくしてもよい。この場合、例えば、アイコンIS5によりステージ21を粗動移動させ、アイコンIS1〜4によりステージ21を微動移動(微調整)させる等の動作が可能となる。
これにより、本体部22に対してステージ21がX軸方向またはY軸方向に移動し、ステージ21上に載置された被測定物Wの測定箇所が変更される。
また、操作ウィンドウW1において、上下方向に4つ整列された各アイコンIF1〜IF4は、利用者に、本体部22のZ軸方向への移動を促すものである。
すなわち、利用者が入力装置4により各アイコンIF1〜IF4を操作すると、入力受付手段31は、利用者による入力装置4への操作を認識する。そして、移動制御手段34は、入力受付手段31にて認識された操作(各アイコンIF1〜IF4の操作)に応じて、三次元移動機構23の動作を制御し、本体部22をZ軸方向に移動させる。
これにより、ステージ21に対して本体部22がZ軸方向に移動し、カメラ223にて撮像される被測定物Wの画像の焦点が調整される。
すなわち、利用者が入力装置4により各アイコンIF1〜IF4を操作すると、入力受付手段31は、利用者による入力装置4への操作を認識する。そして、移動制御手段34は、入力受付手段31にて認識された操作(各アイコンIF1〜IF4の操作)に応じて、三次元移動機構23の動作を制御し、本体部22をZ軸方向に移動させる。
これにより、ステージ21に対して本体部22がZ軸方向に移動し、カメラ223にて撮像される被測定物Wの画像の焦点が調整される。
図6は、観察モード時の設定ウィンドウW2を示す図である。
設定ウィンドウW2は、照明装置24の照射条件を表示及び設定するための表示設定領域Ar1を有する。
また、設定ウィンドウW2は、図6に示すように、表示設定領域Ar1の他、カメラ223にて撮像された画像が表示される画像領域Ar2、各種の測定及び作業を実施するためのアイコンが表示された選択バー領域Ar3、及び測定箇所のX,Y,Z軸方向の各軸位置が表示された座標表示領域Ar4等を有する。
なお、図6に示す例では、被測定物Wとしてプリント配線基板を採用しているため、画像領域Ar2には、印刷パターンPや貫通穴H等を有するプリント配線基板(被測定物W)が表示されている。
また、以下では、説明の便宜上、貫通穴Hの内径等を測定する場合を例に説明する。
設定ウィンドウW2は、照明装置24の照射条件を表示及び設定するための表示設定領域Ar1を有する。
また、設定ウィンドウW2は、図6に示すように、表示設定領域Ar1の他、カメラ223にて撮像された画像が表示される画像領域Ar2、各種の測定及び作業を実施するためのアイコンが表示された選択バー領域Ar3、及び測定箇所のX,Y,Z軸方向の各軸位置が表示された座標表示領域Ar4等を有する。
なお、図6に示す例では、被測定物Wとしてプリント配線基板を採用しているため、画像領域Ar2には、印刷パターンPや貫通穴H等を有するプリント配線基板(被測定物W)が表示されている。
また、以下では、説明の便宜上、貫通穴Hの内径等を測定する場合を例に説明する。
表示設定領域Ar1は、図6に示すように、モード選択領域Ar11と、強度位置選択領域Ar12と、連動選択領域Ar13と、色選択領域Ar14とを備える。
モード選択領域Ar11は、現状の画像測定機1の使用状態が観察モードまたは測定モードのいずれのモードであるかを表示するとともに、いずれかのモードの選択を促す領域である。
そして、モード選択領域Ar11は、観察モードに応じたラジオボタンR1と、測定モードに応じたラジオボタンR2を有する。
なお、ステップST11,ST12では画像測定機1の使用状態が観察モードであると検知されているため、GUI制御手段32は、図6に示すように、ラジオボタンR1が操作(選択)された状態を表示させる。
モード選択領域Ar11は、現状の画像測定機1の使用状態が観察モードまたは測定モードのいずれのモードであるかを表示するとともに、いずれかのモードの選択を促す領域である。
そして、モード選択領域Ar11は、観察モードに応じたラジオボタンR1と、測定モードに応じたラジオボタンR2を有する。
なお、ステップST11,ST12では画像測定機1の使用状態が観察モードであると検知されているため、GUI制御手段32は、図6に示すように、ラジオボタンR1が操作(選択)された状態を表示させる。
強度位置選択領域Ar12は、図6に示すように、第1〜第7領域Ar12A〜Ar12Gで構成され、照明装置24からの光の強度、及びリング照明用光源243のZ軸方向の位置を表示するとともに、当該強度及び位置の変更を促す領域である。
第1,第2領域Ar12A,Ar12Bは、透過照明用光源241及び落射照明用光源242からの光の強度を表示するとともに、当該強度の変更を促す領域である。
第3〜第6領域Ar12C〜Ar12Fは、リング照明用光源243のフロント、バック、ライト、及びレフトの各部分からの光の強度を表示するとともに、当該強度の変更を促す領域である。
第7領域Ar12Gは、リング照明用光源243のZ軸方向の位置を表示するとともに、当該位置の変更を促す領域である。
第1,第2領域Ar12A,Ar12Bは、透過照明用光源241及び落射照明用光源242からの光の強度を表示するとともに、当該強度の変更を促す領域である。
第3〜第6領域Ar12C〜Ar12Fは、リング照明用光源243のフロント、バック、ライト、及びレフトの各部分からの光の強度を表示するとともに、当該強度の変更を促す領域である。
第7領域Ar12Gは、リング照明用光源243のZ軸方向の位置を表示するとともに、当該位置の変更を促す領域である。
連動選択領域Ar13は、第3〜第6領域Ar12C〜Ar12Fの設定値が自動的に揃う連動の有無を表示するとともに、当該連動の有無の変更を促す領域である。
例えば、連動選択領域Ar13が選択された状態では、第3〜第6領域Ar12C〜Ar12Fのいずれか1つの領域の設定値が設定されると、その設定値が自動的に他の3つの領域の設定値として設定される状態となる(図6に示す状態)。
一方、連動選択領域Ar13が選択されていない状態では、第3〜第6領域Ar12C〜Ar12Fを独自に設定できる状態となる。
色選択領域Ar14は、照明装置24からの光の色を表示するとともに、当該色の変更を促す領域である。
例えば、連動選択領域Ar13が選択された状態では、第3〜第6領域Ar12C〜Ar12Fのいずれか1つの領域の設定値が設定されると、その設定値が自動的に他の3つの領域の設定値として設定される状態となる(図6に示す状態)。
一方、連動選択領域Ar13が選択されていない状態では、第3〜第6領域Ar12C〜Ar12Fを独自に設定できる状態となる。
色選択領域Ar14は、照明装置24からの光の色を表示するとともに、当該色の変更を促す領域である。
なお、ステップST11,ST12では画像測定機1の使用状態が観察モードであると検知されているため、GUI制御手段32は、図6に示すように、各領域Ar12〜Ar14に第2記憶手段38に記憶された観察用照射条件を表示させる。
具体的に、観察用照射条件は、被測定物Wの材質及び形状等に対応させて、測定箇所を観察し易くするために、以下に示すように設定されている。
すなわち、被測定物W(プリント配線基板)の貫通穴Hが目立つように、透過照明用光源241からの光の強度が比較的に高めに設定されている(図6中、第1領域Ar12A参照)。
具体的に、観察用照射条件は、被測定物Wの材質及び形状等に対応させて、測定箇所を観察し易くするために、以下に示すように設定されている。
すなわち、被測定物W(プリント配線基板)の貫通穴Hが目立つように、透過照明用光源241からの光の強度が比較的に高めに設定されている(図6中、第1領域Ar12A参照)。
また、被測定物Wの印刷パターンPを観察し易くするために、リング照明用光源243が使用される(図6中、第3〜第6領域Ar12C〜Ar12F参照)。
さらに、被測定物Wの半田メッキ(図示略)を観察し易くするために、落射照明用光源242が使用される(図6中、第2領域Ar12B参照)。
また、被測定物Wの緑色レジストの背景を暗くして、他の部分とのコントラストを上げるために、照明装置24からの光の色が「赤」に設定されている(図6中、色選択領域Ar14参照)。
なお、観察モード時に設定ウィンドウW2が表示された状態で、利用者が入力装置4により表示設定領域Ar1を操作(変更)した場合には、入力受付手段31が当該操作を認識し、第2記憶手段38に記憶された観察用照射条件を変更する。
さらに、被測定物Wの半田メッキ(図示略)を観察し易くするために、落射照明用光源242が使用される(図6中、第2領域Ar12B参照)。
また、被測定物Wの緑色レジストの背景を暗くして、他の部分とのコントラストを上げるために、照明装置24からの光の色が「赤」に設定されている(図6中、色選択領域Ar14参照)。
なお、観察モード時に設定ウィンドウW2が表示された状態で、利用者が入力装置4により表示設定領域Ar1を操作(変更)した場合には、入力受付手段31が当該操作を認識し、第2記憶手段38に記憶された観察用照射条件を変更する。
図7は、選択ウィンドウW3を示す図である。
選択ウィンドウW3は、エッジ検出等の画像処理を実行するための各種のツール(アイコン)が表示され、当該ツールの利用を促すツールボックスである。
なお、各種のツールについては、QVPAK(登録商標)ソフトウエア等で実現されている公知技術であるため、具体的な説明については省略する。
選択ウィンドウW3は、エッジ検出等の画像処理を実行するための各種のツール(アイコン)が表示され、当該ツールの利用を促すツールボックスである。
なお、各種のツールについては、QVPAK(登録商標)ソフトウエア等で実現されている公知技術であるため、具体的な説明については省略する。
図2に戻り、ステップST12の後、状態検知手段35は、ステージ21が静止状態であるか否かを判定する(ステップST13)。
具体的に、状態検知手段35は、入力受付手段31にて各アイコンIS1〜IS5の操作が認識されていない時間(各アイコンIS1〜IS5が操作されていない時間)を計測し、当該計測した時間と第2閾値(例えば、1sec)とを比較する。そして、状態検知手段35は、上記計測した時間が第2閾値以上となった場合に、ステージ21が静止状態であると判定する。
具体的に、状態検知手段35は、入力受付手段31にて各アイコンIS1〜IS5の操作が認識されていない時間(各アイコンIS1〜IS5が操作されていない時間)を計測し、当該計測した時間と第2閾値(例えば、1sec)とを比較する。そして、状態検知手段35は、上記計測した時間が第2閾値以上となった場合に、ステージ21が静止状態であると判定する。
ステップST13において、「Y」と判定された場合には、測定モードでの照明動作を実施する(ステップST14)。
このステップST14では、図3に示すように、まず、照明制御手段36は、使用状態が測定モードであるか否かを判断する(ステップST141)。
ステップST141で「N」と判定された場合、照明制御手段36は、使用状態を測定モードに設定する(ステップST142)。そして、照明制御手段36は、第1記憶手段37に記憶された測定用照射条件を読み出し、当該測定用照射条件で照明装置24から光を照射させる(ステップST143)。
一方、ステップST141で「Y」と判定された場合、照明装置24から測定用照射条件での光が照射されているため、照明制御手段36は当該条件での光の照射を継続させる。
ステップST14の後、ステップST13の処理に戻る。
このステップST14では、図3に示すように、まず、照明制御手段36は、使用状態が測定モードであるか否かを判断する(ステップST141)。
ステップST141で「N」と判定された場合、照明制御手段36は、使用状態を測定モードに設定する(ステップST142)。そして、照明制御手段36は、第1記憶手段37に記憶された測定用照射条件を読み出し、当該測定用照射条件で照明装置24から光を照射させる(ステップST143)。
一方、ステップST141で「Y」と判定された場合、照明装置24から測定用照射条件での光が照射されているため、照明制御手段36は当該条件での光の照射を継続させる。
ステップST14の後、ステップST13の処理に戻る。
また、測定モードでは、GUI制御手段32は、図5及び図7に示す各ウィンドウW1,W3の他、以下に示す設定ウィンドウW2(図6に示す設定ウィンドウW2に対して表示設定領域Ar1が異なるのみ)及び画像処理を実行させるか否かを選択させる実行ウィンドウ(図示略)を表示装置5に表示させる。
図8は、測定モード時の設定ウィンドウW2を示す図である。
ステップST14,ST15では画像測定機1の使用状態が測定モードであると検知されているため、GUI制御手段32は、図8に示すように、ラジオボタンR2が操作(選択)された状態を表示させるとともに、各領域Ar12〜Ar14に第1記憶手段37に記憶された測定用照射条件を表示させる。
具体的に、測定用照射条件は、被測定物Wの材質及び形状等に対応させて、測定箇所の測定をし易く(画像処理をし易く(エッジを検出し易く))するために、以下に示すように設定されている。
ステップST14,ST15では画像測定機1の使用状態が測定モードであると検知されているため、GUI制御手段32は、図8に示すように、ラジオボタンR2が操作(選択)された状態を表示させるとともに、各領域Ar12〜Ar14に第1記憶手段37に記憶された測定用照射条件を表示させる。
具体的に、測定用照射条件は、被測定物Wの材質及び形状等に対応させて、測定箇所の測定をし易く(画像処理をし易く(エッジを検出し易く))するために、以下に示すように設定されている。
すなわち、被測定物Wの貫通穴Hのエッジをはっきりさせるために、透過照明用光源241のみが使用される(図8中、第1〜第6領域Ar12A〜Ar12F参照)。
また、透過照明用光源241からの光の強度は、カメラ223が飽和しないように、観察モード時での強度に対して、低めに設定されている(図8中、第1領域Ar12A参照)。
さらに、照明装置24からの光の色が「白」に設定されている(図8中、色選択領域Ar14参照)。
そして、上記のような測定用照射条件で照明装置24から被測定物Wに光が照射されることで、被測定物Wは、図8の画像領域Ar2に示すように、貫通穴Hのエッジがはっきりとした状態でカメラ223にて撮像されることとなる。
また、透過照明用光源241からの光の強度は、カメラ223が飽和しないように、観察モード時での強度に対して、低めに設定されている(図8中、第1領域Ar12A参照)。
さらに、照明装置24からの光の色が「白」に設定されている(図8中、色選択領域Ar14参照)。
そして、上記のような測定用照射条件で照明装置24から被測定物Wに光が照射されることで、被測定物Wは、図8の画像領域Ar2に示すように、貫通穴Hのエッジがはっきりとした状態でカメラ223にて撮像されることとなる。
図2に戻り、ステップST13において、「N」と判定された場合には、入力受付手段31は、さらに、利用者による入力装置4への操作により、設定ウィンドウW2の測定モードに応じたラジオボタンR2が操作された(使用状態に関する状態情報が入力された)か否かを監視する(ステップST15)。
ステップST15において、「Y」と判定された場合、ステップST14の処理を実施する。
ステップST15において、「Y」と判定された場合、ステップST14の処理を実施する。
一方、ステップST15において、「N」と判定された場合(ラジオボタンR2が操作された場合)、さらに、入力受付手段31は、利用者による入力装置4への操作により、選択ウィンドウW3の各種のツールが操作(画像処理条件(処理情報)が設定)されたか否かを監視する(ステップST16)。
ステップST16において、「Y」と判定された場合、ステップST14の処理を実施する。
ステップST16において、「Y」と判定された場合、ステップST14の処理を実施する。
一方、ステップST16において、「N」と判定された場合、入力受付手段31は、利用者による入力装置4への操作により、表示装置5に表示された実行ウィンドウ(図示略)を介して、画像処理を実行させる旨の操作が実施されたか否かを監視する(ステップST17)。
ステップST17において、「Y」と判定された場合、照明制御手段36は、測定モードでの照明動作を実施する(ステップST18)。
ステップST18は、ステップST14と同様、図3に示すステップST141,ST142,ST143の処理を実施する。すなわち、照明装置24からの照明は、測定用照明となる。
そして、ステップST18の後、画像処理手段33は、ステップST16において利用者にて設定された画像処理条件に基づいて、カメラ223にて撮像された画像データに対して画像処理を施す(ステップST19)。このステップST19の後、ステップST13に戻る。
ステップST17において、「Y」と判定された場合、照明制御手段36は、測定モードでの照明動作を実施する(ステップST18)。
ステップST18は、ステップST14と同様、図3に示すステップST141,ST142,ST143の処理を実施する。すなわち、照明装置24からの照明は、測定用照明となる。
そして、ステップST18の後、画像処理手段33は、ステップST16において利用者にて設定された画像処理条件に基づいて、カメラ223にて撮像された画像データに対して画像処理を施す(ステップST19)。このステップST19の後、ステップST13に戻る。
一方、ステップST17において、「N」と判定された場合、状態検知手段35は、ステージ21が移動状態であるか否かを判定する(ステップST20)。
ステップST20において、「Y」と判定された場合、観察モードでの照明動作を実施する(ステップST21)。
このステップST21では、図4に示すように、まず、照明制御手段36は、使用状態が観察モードであるか否かを判断する(ステップST211)。
ステップST211で「N」と判定された場合、照明制御手段36は、使用状態を観察モードに設定する(ステップST212)。そして、照明制御手段36は、第2記憶手段38に記憶された観察用照射条件を読み出し、当該観察用照射条件で照明装置24から光を照射させる(ステップST213)。
一方、ステップST211で「Y」と判定された場合、照明装置24から観察用照射条件での光が照射されているため、照明制御手段36は当該条件での光の照射を継続させる。
ステップST21の後、ステップST13の処理に戻る。
ステップST20において、「Y」と判定された場合、観察モードでの照明動作を実施する(ステップST21)。
このステップST21では、図4に示すように、まず、照明制御手段36は、使用状態が観察モードであるか否かを判断する(ステップST211)。
ステップST211で「N」と判定された場合、照明制御手段36は、使用状態を観察モードに設定する(ステップST212)。そして、照明制御手段36は、第2記憶手段38に記憶された観察用照射条件を読み出し、当該観察用照射条件で照明装置24から光を照射させる(ステップST213)。
一方、ステップST211で「Y」と判定された場合、照明装置24から観察用照射条件での光が照射されているため、照明制御手段36は当該条件での光の照射を継続させる。
ステップST21の後、ステップST13の処理に戻る。
ステップST20において、「N」と判定された場合、入力受付手段31は、利用者による入力装置4への操作により、設定ウィンドウW2の観察モードに応じたラジオボタンR1が操作された(使用状態に関する状態情報が入力された)か否かを判定する(ステップST22)。
ステップST22において、「Y」と判定された場合、ステップST21の処理を実施する。
ステップST22において、「Y」と判定された場合、ステップST21の処理を実施する。
また、ステップST22において、「N」と判定された場合、入力受付手段31は、利用者による入力装置4への操作により、ステップST16において設定された画像処理条件が破棄される等により、画像設定が中止されたか否かを判定する(ステップST23)。
ステップST23において、「Y」と判定された場合、ステップST21の処理を実施する。
ステップST23において、「Y」と判定された場合、ステップST21の処理を実施する。
一方、ステップST23において、「N」と判定された場合、利用者が画像測定機1の電源を切る等により、測定が中止されたか否かを判定する(ステップST24)。ステップST24により「Y」と判定されると、一連の測定動作を終了させる。一方、ステップST24により「N」と判定されると、ステップST13の処理に戻る。
上述した第1実施形態によれば、以下の効果がある。
本実施形態では、制御装置3は、状態検知手段35を備えるので、画像測定機1の使用状態が測定モードであるか、観察モードであるかを検知できる。
また、制御装置3は、第1,第2記憶手段37,38、及び照明制御手段36を備えるので、測定モードである場合には、当該測定モードに適した測定用照射条件で照明装置24から被測定物Wに光を照射させることができる。また、観察モードである場合には、当該観察モードに適した観察用照射条件で照明装置24から被測定物Wに光を照射させることができる。
したがって、画像測定機1の使用状態に応じて利用者に照射条件を適宜、変更させる煩雑な作業を強いることがなく、使い勝手の良い画像測定機1を実現できる。
本実施形態では、制御装置3は、状態検知手段35を備えるので、画像測定機1の使用状態が測定モードであるか、観察モードであるかを検知できる。
また、制御装置3は、第1,第2記憶手段37,38、及び照明制御手段36を備えるので、測定モードである場合には、当該測定モードに適した測定用照射条件で照明装置24から被測定物Wに光を照射させることができる。また、観察モードである場合には、当該観察モードに適した観察用照射条件で照明装置24から被測定物Wに光を照射させることができる。
したがって、画像測定機1の使用状態に応じて利用者に照射条件を適宜、変更させる煩雑な作業を強いることがなく、使い勝手の良い画像測定機1を実現できる。
また、状態検知手段35は、入力受付手段31にて利用者による入力装置4への操作(選択ウィンドウW3の各種のツールの操作)が認識された場合に、測定モードであると検知する。
このことにより、利用者にラジオボタンR2を操作させなくても、画像処理条件を設定する操作にて状態検知手段35に測定モードであると検知させることができる。このため、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、状態検知手段35に測定モードであると検知させるために、画像測定機1に別途、スイッチ等の入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段35に測定モードであると検知させることができる。
さらに、状態検知手段35が上述した場合に測定モードであると検知するので、画像処理を行う直前に測定モードであると検知できる。
このため、カメラ223にて撮像された画像(画像領域Ar2)を確認しながら、被測定物Wの測定箇所を探索している際に、観察用照明から測定用照明に不要に変更されることがなく、測定箇所の探索の能率を損なうことがない。
このことにより、利用者にラジオボタンR2を操作させなくても、画像処理条件を設定する操作にて状態検知手段35に測定モードであると検知させることができる。このため、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、状態検知手段35に測定モードであると検知させるために、画像測定機1に別途、スイッチ等の入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段35に測定モードであると検知させることができる。
さらに、状態検知手段35が上述した場合に測定モードであると検知するので、画像処理を行う直前に測定モードであると検知できる。
このため、カメラ223にて撮像された画像(画像領域Ar2)を確認しながら、被測定物Wの測定箇所を探索している際に、観察用照明から測定用照明に不要に変更されることがなく、測定箇所の探索の能率を損なうことがない。
また、状態検知手段35は、利用者によるステージ21を移動させる操作(各アイコンIS1〜IS4の操作)に応じて、観察モードであると検知する。
このことにより、利用者にラジオボタンR1を操作させなくても、ステージ21を移動させる操作にて状態検知手段35に観察モードであると検知させることができる。このため、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
さらに、状態検知手段35に観察モードであると検知させるために、画像測定機1に別途、スイッチ等の入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段35に観察モードであると検知させることができる。
また、状態検知手段35は、上述した場合に観察モードであると検知するので、観察モードを正確に検知できる。
このことにより、利用者にラジオボタンR1を操作させなくても、ステージ21を移動させる操作にて状態検知手段35に観察モードであると検知させることができる。このため、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
さらに、状態検知手段35に観察モードであると検知させるために、画像測定機1に別途、スイッチ等の入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段35に観察モードであると検知させることができる。
また、状態検知手段35は、上述した場合に観察モードであると検知するので、観察モードを正確に検知できる。
さらに、状態検知手段35は、各アイコンIS1〜IS4が操作されていない時間(ステージ21の静止時間)が第2閾値以上となった場合に、観察モードから測定モードに変更されたことを検知する。
このことにより、ステージ21が静止してから所定時間(第2閾値)、観察用照明が継続し、所定時間の経過後、測定用照明に変更されることとなる。すなわち、ステージ21を静止させた直後、所定時間だけ、観察用照明で被測定物Wを観察できる。
また、ステージ21の移動を一瞬(第2閾値未満)、休んで続行する場合には、観察用照明から測定用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
このことにより、ステージ21が静止してから所定時間(第2閾値)、観察用照明が継続し、所定時間の経過後、測定用照明に変更されることとなる。すなわち、ステージ21を静止させた直後、所定時間だけ、観察用照明で被測定物Wを観察できる。
また、ステージ21の移動を一瞬(第2閾値未満)、休んで続行する場合には、観察用照明から測定用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
さらに、状態検知手段35は、利用者によるラジオボタンR1,R2の操作によっても、観察モードまたは測定モードであると検知する。
このことにより、例えば、画像処理条件を設定した後に、ラジオボタンR1を操作すれば、測定用照明から観察用照明に容易に切り替えることができる。同様に、ステージ21の移動中に、ラジオボタンR2を操作すれば、観察用照明から測定用照明に容易に切り替えることができる。
したがって、状況に応じて適切な照明に切り替えることができる。
このことにより、例えば、画像処理条件を設定した後に、ラジオボタンR1を操作すれば、測定用照明から観察用照明に容易に切り替えることができる。同様に、ステージ21の移動中に、ラジオボタンR2を操作すれば、観察用照明から測定用照明に容易に切り替えることができる。
したがって、状況に応じて適切な照明に切り替えることができる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下では、前記第1実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明については省略する。
図9は、第2実施形態における画像測定機1の構成を示すブロック図である。
前記第1実施形態では、制御装置3は、利用者にステージ21、本体部22、及びリング照明用光源243の移動を促すために、表示装置5に操作ウィンドウW1や設定ウィンドウW2(第7領域Ar12G)を表示している。そして、三次元移動機構23は、利用者が入力装置4にて操作ウィンドウW1や設定ウィンドウW2(第7領域Ar12G)が操作されることで、移動制御手段34による制御の下、ステージ21等を移動させていた。
次に、本発明の第2実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下では、前記第1実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明については省略する。
図9は、第2実施形態における画像測定機1の構成を示すブロック図である。
前記第1実施形態では、制御装置3は、利用者にステージ21、本体部22、及びリング照明用光源243の移動を促すために、表示装置5に操作ウィンドウW1や設定ウィンドウW2(第7領域Ar12G)を表示している。そして、三次元移動機構23は、利用者が入力装置4にて操作ウィンドウW1や設定ウィンドウW2(第7領域Ar12G)が操作されることで、移動制御手段34による制御の下、ステージ21等を移動させていた。
これに対して第2実施形態では、図9に示すように、測定機本体2に、利用者にて操作されるハンドル26が設けられている。そして、三次元移動機構23は、利用者によるハンドル26の操作に連動し、ステージ21等を移動させるように構成されている。
すなわち、第2実施形態では、GUI制御手段32は、前記第1実施形態で説明した操作ウィンドウW1を表示装置5に表示させることはなく、さらに、前記第1実施形態で説明した設定ウィンドウW2において、第7領域Ar12Gを表示装置5に表示させることはない。また、移動制御手段34は、省略されている。
すなわち、第2実施形態では、GUI制御手段32は、前記第1実施形態で説明した操作ウィンドウW1を表示装置5に表示させることはなく、さらに、前記第1実施形態で説明した設定ウィンドウW2において、第7領域Ar12Gを表示装置5に表示させることはない。また、移動制御手段34は、省略されている。
そして、第2実施形態では、具体的には後述するが、状態検知手段35によるステージ21の静止状態の判定処理(前記第1実施形態で説明したステップST13)及び移動状態の判定処理(前記第1実施形態で説明したステップST20)が前記第1実施形態とは異なるものとなっている。
次に、第2実施形態における画像測定機1の動作について説明する。
図10は、第2実施形態における画像測定機1の動作を説明するフローチャートである。
なお、第2実施形態における画像測定機1の動作は、図10に示すように、前記第1実施形態に対して、ステージ21の静止状態及び移動状態の判定処理が異なるのみである。このため、以下では、前記第1実施形態で説明したステップST13,ST20の代わりに実行されるステージ21の静止状態の判定処理(ステップST25,ST26,ST27)のみを説明する。
図10は、第2実施形態における画像測定機1の動作を説明するフローチャートである。
なお、第2実施形態における画像測定機1の動作は、図10に示すように、前記第1実施形態に対して、ステージ21の静止状態及び移動状態の判定処理が異なるのみである。このため、以下では、前記第1実施形態で説明したステップST13,ST20の代わりに実行されるステージ21の静止状態の判定処理(ステップST25,ST26,ST27)のみを説明する。
本実施形態における状態検知手段35は、以下に示すように、ステージ21が静止状態であるか否かを判定する。
すなわち、ステップST12の後、状態検知手段35は、位置検出装置25にて検出されたステージ21の位置を所定周期(例えば、10msec周期)で認識し、当該周期で認識したステージ21の各位置(例えば、直近10回の各位置)の散布度を算出するとともに、算出した散布度が第3閾値未満であるか否かを監視する(ステップST25)。
ここで、散布度としては、ステージ21の位置のばらつき(ふらつき)を示す指標値であればよく、例えば、標準偏差等が例示できる。
すなわち、ステップST12の後、状態検知手段35は、位置検出装置25にて検出されたステージ21の位置を所定周期(例えば、10msec周期)で認識し、当該周期で認識したステージ21の各位置(例えば、直近10回の各位置)の散布度を算出するとともに、算出した散布度が第3閾値未満であるか否かを監視する(ステップST25)。
ここで、散布度としては、ステージ21の位置のばらつき(ふらつき)を示す指標値であればよく、例えば、標準偏差等が例示できる。
ステップST25において、制御装置3は、「N」と判定した場合には、ステップST15の処理に移行する。
一方、状態検知手段35は、ステップST25において、「Y」と判定した場合には、算出した散布度が第3閾値未満である状態が継続している時間(ステージ21の静止時間)を計測し、当該計測した時間が第2閾値(例えば、1sec)以上となったか否かを監視する(ステップST26)。
一方、状態検知手段35は、ステップST25において、「Y」と判定した場合には、算出した散布度が第3閾値未満である状態が継続している時間(ステージ21の静止時間)を計測し、当該計測した時間が第2閾値(例えば、1sec)以上となったか否かを監視する(ステップST26)。
ステップST26において、制御装置3は、「N」と判定した場合には、ステップST15の処理に移行する。
一方、制御装置3は、ステップST26において、「Y」と判定した場合には、ステップST14の処理を実施して、照明装置24からの照明を測定用照明に変更する。
すなわち、状態検知手段35は、ステップST25において「Y」と判定し、かつ、ステップST26において「Y」と判定した場合に、ステージ21が静止状態であると判定する。
一方、制御装置3は、ステップST26において、「Y」と判定した場合には、ステップST14の処理を実施して、照明装置24からの照明を測定用照明に変更する。
すなわち、状態検知手段35は、ステップST25において「Y」と判定し、かつ、ステップST26において「Y」と判定した場合に、ステージ21が静止状態であると判定する。
また、第一実施形態のステップST20の代わりに実施されるステップST27では、状態検知手段35は、ステージ21の静止位置からの移動量が第1閾値以上である否かを判定する。具体的には、状態検知手段35は、静止状態から測定状態に遷移する際にその位置を検出しておき、当該位置と現在位置との距離が第1閾値以上となるか否かを判定する。
そして、ステップS27で「Y」と判定された場合、ステージ21が移動状態であると判定し、照明装置24からの照明を観察用照明に変更する。
一方、ステップST27において、「N」と判定された場合は、ステップST22の処理に移行する。
そして、ステップS27で「Y」と判定された場合、ステージ21が移動状態であると判定し、照明装置24からの照明を観察用照明に変更する。
一方、ステップST27において、「N」と判定された場合は、ステップST22の処理に移行する。
上述した第2実施形態によれば、前記第1実施形態と同様の効果の他、以下の効果がある。
本実施形態では、状態検知手段35は、位置検出装置25の検出結果に基づいて、ステージ21の静止状態または移動状態を判定し、判定結果に基づいて、測定モードまたは観察モードであると検知する。
このことにより、利用者にラジオボタンR1,R2を操作させなくても、位置検出装置25の検出結果に応じて状態検知手段35に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。このため、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、状態検知手段に測定モードまたは観察モードであると検知させるために、画像測定機1に別途、スイッチ等の入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段35に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。
本実施形態では、状態検知手段35は、位置検出装置25の検出結果に基づいて、ステージ21の静止状態または移動状態を判定し、判定結果に基づいて、測定モードまたは観察モードであると検知する。
このことにより、利用者にラジオボタンR1,R2を操作させなくても、位置検出装置25の検出結果に応じて状態検知手段35に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。このため、利用者による操作の手数を少なくすることができ、使い勝手をさらに良くすることができる。
また、状態検知手段に測定モードまたは観察モードであると検知させるために、画像測定機1に別途、スイッチ等の入力手段を設ける必要がなく、既存の構成を利用して、状態検知手段35に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。
さらに、状態検知手段35は、ステージ21の静止位置からの移動量が第1閾値以上となった場合に、ステージ21が移動状態であると判定する(観察モードであると検知する)。
このことにより、観察用照明に切り替わることなく測定用照明が継続した状態で、ステージ21の位置を微調整することができる。
また、ステージ21の位置を微調整する場合には、測定用照明から観察用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
さらに、ステージ21が移動中であって、ステージ21の移動が停止した際に、その停止時間が第2閾値以上である場合に、観察用照明から測定用照明に切り替わり、第2閾値未満である場合では観察用照明が継続される。これにより、移動操作中の一瞬の一時停止(第2閾値未満)等では、観察用照明から測定用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
このことにより、観察用照明に切り替わることなく測定用照明が継続した状態で、ステージ21の位置を微調整することができる。
また、ステージ21の位置を微調整する場合には、測定用照明から観察用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
さらに、ステージ21が移動中であって、ステージ21の移動が停止した際に、その停止時間が第2閾値以上である場合に、観察用照明から測定用照明に切り替わり、第2閾値未満である場合では観察用照明が継続される。これにより、移動操作中の一瞬の一時停止(第2閾値未満)等では、観察用照明から測定用照明に切り替わることがないため、照明がちらつかない。
また、状態検知手段35は、所定周期でのステージ21の各位置の散布度を算出し、散布度が第3閾値以上である場合に、ステージ21が静止状態ではないと判定する(観察モードであると検知する)。
このことにより、状態検知手段35は、利用者の微小な手の震え等がハンドル26を介してステージ21に伝達された場合や、画像測定機1に振動が生じて当該振動がステージ21に伝達された場合であっても、ステージ21が静止状態であると判定できる(測定モードであると検知できる)。すなわち、照明が切り替わることがないため、照明がちらつかない。
このことにより、状態検知手段35は、利用者の微小な手の震え等がハンドル26を介してステージ21に伝達された場合や、画像測定機1に振動が生じて当該振動がステージ21に伝達された場合であっても、ステージ21が静止状態であると判定できる(測定モードであると検知できる)。すなわち、照明が切り替わることがないため、照明がちらつかない。
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記各実施形態では、本発明に係る測定機として、画像測定機1を採用していたが、これに限らず、測定顕微鏡として構成しても構わない。
この際、前記各実施形態と同様に、カメラ223を備えた構成としてもよく、カメラ223を省略した構成としても構わない。
ここで、本発明に係る測定機として、カメラ223のない測定顕微鏡を採用した場合には、状態検知手段35は、前記第2実施形態と同様に、位置検出装置25の検出結果に基づいて、測定モード及び観察モードを検知すればよい。
前記各実施形態では、本発明に係る測定機として、画像測定機1を採用していたが、これに限らず、測定顕微鏡として構成しても構わない。
この際、前記各実施形態と同様に、カメラ223を備えた構成としてもよく、カメラ223を省略した構成としても構わない。
ここで、本発明に係る測定機として、カメラ223のない測定顕微鏡を採用した場合には、状態検知手段35は、前記第2実施形態と同様に、位置検出装置25の検出結果に基づいて、測定モード及び観察モードを検知すればよい。
前記第2実施形態では、状態検知手段35は、位置検出装置25の検出結果に基づいて、画像測定機1の使用状態を検知していたが、これに限らない。
例えば、利用者がハンドル26を把持した際に、利用者の手にて押圧されるスイッチ等の入力手段をハンドル26に設けておき、当該スイッチ等からの信号により、画像測定機1の使用状態を検知する構成を採用しても構わない。
また、例えば、ハンドル26の回転を検出する回転センサ等をハンドル26に設けておき、当該回転センサからの信号により、画像測定機1の使用状態を検知する構成を採用しても構わない。
さらに、例えば、ハンドル26に力が掛かっていることを検知する応力センサをハンドル26に設けておき、当該応力センサからの信号により、画像測定機1の使用状態を検知する構成を採用しても構わない。
例えば、利用者がハンドル26を把持した際に、利用者の手にて押圧されるスイッチ等の入力手段をハンドル26に設けておき、当該スイッチ等からの信号により、画像測定機1の使用状態を検知する構成を採用しても構わない。
また、例えば、ハンドル26の回転を検出する回転センサ等をハンドル26に設けておき、当該回転センサからの信号により、画像測定機1の使用状態を検知する構成を採用しても構わない。
さらに、例えば、ハンドル26に力が掛かっていることを検知する応力センサをハンドル26に設けておき、当該応力センサからの信号により、画像測定機1の使用状態を検知する構成を採用しても構わない。
前記各実施形態では、ステージ21が移動する構成を採用していたが、これに限らない。すなわち、被測定物Wと本体部22(カメラ223)とが相対移動する構成であれば、ステージ21が移動せずに本体部22が移動する構成や、ステージ21及び本体部22の双方が移動する構成等を採用しても構わない。
前記各実施形態では、ステージ21が移動する構成を採用していたが、ステージ21が移動しない構成、すなわち、利用者がステージ21上の被測定物Wを手で移動する構成を採用しても構わない。
この際、測定機に使用状態に関する状態情報を入力するためのスイッチ等の入力手段を設けておく。そして、状態検知手段は、入力受付手段にて入力を受け付けた状態情報に基づいて、当該測定機の使用状態を検知することが好ましい。
このように構成することで、ステージ21や本体部22(カメラ223)が移動しない構成や、カメラ223がない構成であっても、状態検知手段に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。
前記各実施形態では、ステージ21が移動する構成を採用していたが、ステージ21が移動しない構成、すなわち、利用者がステージ21上の被測定物Wを手で移動する構成を採用しても構わない。
この際、測定機に使用状態に関する状態情報を入力するためのスイッチ等の入力手段を設けておく。そして、状態検知手段は、入力受付手段にて入力を受け付けた状態情報に基づいて、当該測定機の使用状態を検知することが好ましい。
このように構成することで、ステージ21や本体部22(カメラ223)が移動しない構成や、カメラ223がない構成であっても、状態検知手段に測定モードまたは観察モードであると検知させることができる。
前記第2実施形態において、第1〜第3閾値については、例えば、表示装置5の表示画面上で、適宜、変更可能に構成することが好ましい。
このように構成すれば、利用者の好みに応じた仕様とすることができ、より一層、使い勝手の良い測定機を実現できる。
また、前記第2実施形態において、ステップST25の代わりに、以下の処理を採用しても構わない。
例えば、状態検知手段35は、位置検出装置25にて検出されたステージ21の位置を所定周期(例えば、10msec周期)で認識し、当該周期の各期間(10msec)でのステージ21の各移動量と所定の閾値とを比較し、連続して前記所定の閾値を下回ったか否かを監視する。
このように構成すれば、利用者の好みに応じた仕様とすることができ、より一層、使い勝手の良い測定機を実現できる。
また、前記第2実施形態において、ステップST25の代わりに、以下の処理を採用しても構わない。
例えば、状態検知手段35は、位置検出装置25にて検出されたステージ21の位置を所定周期(例えば、10msec周期)で認識し、当該周期の各期間(10msec)でのステージ21の各移動量と所定の閾値とを比較し、連続して前記所定の閾値を下回ったか否かを監視する。
本発明は、被測定物の寸法等を測定する画像測定機や測定顕微鏡等の測定機に利用できる。
1・・・画像測定機
3・・・制御装置
23・・・三次元移動機構(移動機構)
24・・・照明装置
25・・・位置検出装置
223・・・カメラ(撮像装置)
31・・・入力受付手段(処理情報受付手段、状態情報受付手段)
33・・・画像処理手段
35・・・状態検知手段
36・・・照明制御手段
37・・・第1記憶手段
38・・・第2記憶手段
3・・・制御装置
23・・・三次元移動機構(移動機構)
24・・・照明装置
25・・・位置検出装置
223・・・カメラ(撮像装置)
31・・・入力受付手段(処理情報受付手段、状態情報受付手段)
33・・・画像処理手段
35・・・状態検知手段
36・・・照明制御手段
37・・・第1記憶手段
38・・・第2記憶手段
Claims (7)
- 被測定物に光を照射する照明装置と、前記照明装置の動作を制御する制御装置とを備えた測定機であって、
前記制御装置は、
当該測定機の使用状態が前記被測定物を測定する測定状態または非測定状態のいずれの状態であるかを検知する状態検知手段と、
前記測定状態に応じた第1の照射条件を記憶する第1記憶手段と、
前記非測定状態に応じた第2の照射条件を記憶する第2記憶手段と、
前記状態検知手段にて検知された前記使用状態に基づいて、前記第1の照射条件または前記第2の照射条件を読み出し、当該読み出した照射条件で前記照明装置から光を照射させる照明制御手段とを備える
ことを特徴とする測定機。 - 請求項1に記載の測定機において、
前記被測定物を撮像する撮像装置を備え、
前記制御装置は、
画像処理に関する処理情報の入力を受け付ける処理情報受付手段と、
前記処理情報に基づいて、前記撮像装置にて撮像された画像に対して画像処理を施す画像処理手段とを備え、
前記状態検知手段は、
前記処理情報受付手段が前記処理情報の入力を受け付けた場合に、前記測定状態であると検知する
ことを特徴とする測定機。 - 請求項1又は請求項2に記載の測定機において、
当該測定機及び前記被測定物を相対移動させる移動機構を備え、
前記状態検知手段は、
前記移動機構が当該測定機及び前記測定物を相対移動させる場合に、前記非測定状態であると検知する
ことを特徴とする測定機。 - 請求項3に記載の測定機において、
前記状態検知手段は、前記移動機構が当該測定機及び前記測定物を相対移動させた際の、当該測定機及び前記被測定物の相対位置の静止位置からの変化量が第1閾値以上となった場合に、前記測定状態から前記非測定状態に変更されたことを検知する
ことを特徴とする測定機。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の測定機において、
当該測定機及び前記被測定物を相対移動させる移動機構を備え、
前記状態検知手段は、
前記移動機構が当該測定機及び前記被測定物を相対移動させず、当該測定機に対して前記被測定物が静止する場合に前記測定状態であると検知する
ことを特徴とする測定機。 - 請求項5に記載の測定機において、
前記状態検知手段は、当該測定機に対する前記被測定物の静止時間が第2閾値以上となった場合に、前記非測定状態から前記測定状態に変更されたことを検知する
ことを特徴とする測定機。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の測定機において、
前記制御装置は、
前記使用状態に関する状態情報の入力を受け付ける状態情報受付手段を備え、
前記状態検知手段は、
前記状態情報受付手段にて入力を受け付けた前記状態情報に基づいて、前記測定状態または前記非測定状態のいずれの状態であるかを検知する
ことを特徴とする測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013078087A JP2014202566A (ja) | 2013-04-03 | 2013-04-03 | 測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2013078087A JP2014202566A (ja) | 2013-04-03 | 2013-04-03 | 測定機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014202566A true JP2014202566A (ja) | 2014-10-27 |
Family
ID=52353129
Family Applications (1)
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JP2013078087A Pending JP2014202566A (ja) | 2013-04-03 | 2013-04-03 | 測定機 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110998406A (zh) * | 2017-07-12 | 2020-04-10 | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 | 角度可变的照明时的闪烁 |
-
2013
- 2013-04-03 JP JP2013078087A patent/JP2014202566A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN110998406A (zh) * | 2017-07-12 | 2020-04-10 | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 | 角度可变的照明时的闪烁 |
CN110998406B (zh) * | 2017-07-12 | 2023-03-24 | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 | 角度可变的照明时的闪烁 |
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