JP2014190756A - グロー放電質量分析装置及びそれを用いたグロー放電質量分析法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 放電用電極と、対電極となる試料を支持するための試料ホルダーと、放電用電極と試料ホルダーとの電気的短絡を防ぐための絶縁性リングとを備え、絶縁性リングの厚さが1.5mm以上であるフラットセル式のグロー放電質量分析装置。
【選択図】図2
Description
図2及び図3に示したようなフラットセル式のグロー放電質量分析装置を用いて、円柱状及び角形状の銅板を測定対象の試料として、グロー放電質量分析を行った。絶縁性リングとして、厚みが0.5mmのものを用いた。放電電流を2mAとし、放電電圧を1kVとした。試料表面のスパッタ速度は0.25μm/分とした。
絶縁性リングの厚みが1.0mmであること以外は、例1と同様の条件にてグロー放電質量分析を行った。
絶縁性リングの厚みが1.5mmであること以外は、例1と同様の条件にてグロー放電質量分析を行った。
絶縁性リングの厚みが2.0mmであること以外は、例1と同様の条件にてグロー放電質量分析を行った。
Claims (3)
- フラットセル式のグロー放電質量分析装置であって、
放電用電極と、対電極となる試料を支持するための試料ホルダーと、前記放電用電極と前記試料ホルダーとの電気的短絡を防ぐための絶縁性リングとを備え、
前記絶縁性リングの厚さが1.5mm以上であるグロー放電質量分析装置。 - 前記絶縁性リングの厚さが1.5〜3.0mmである請求項1に記載のグロー放電質量分析装置。
- 請求項1又は2に記載のグロー放電質量分析装置を用いて試料の質量分析を行うグロー放電質量分析法。
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