JP2014175617A - 高電気抵抗強磁性薄膜 - Google Patents
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【解決手段】一軸磁気異方性を有する強磁性薄膜の組成は一般式L100−a−bMaFbで示され、LはFe,Coおよび/またはNiであり、MはLi、Be、Mg、Al、Ca、Sr、Baおよび/またはYであり、Fはフッ素であり、かつ組成比a、bは原子比率であり、aが9%以上50%以下、bの原子比率が16%以上60%以下であり、かつa+bの合計の原子比率が25%以上70%以下である。薄膜の電気抵抗率が1.5×103μohm・cm以上、飽和磁化が5kG以上、かつ異方性磁界が10Oe以上である。
【選択図】図1
Description
これらの金属材料としては、Fe、Co、Niもしくはそれらを含む合金が代表的なものである。金属材料は、材料物性としての磁気特性は非常に良好であるものの、電気抵抗率が1×100 〜1×101 μohm・cm台と極めて小さいために、一般に、1 MHz以上の高周波帯域では、磁性材料内部に渦電流が発生し大きな損失をもたらす。後に詳しく説明するように、この損失低減のためにこれらを薄膜化するならば、膜厚は極めて薄くなってしまい、デバイス適用時の実効的透磁率は小さい。他方、上記の磁性金属とPdやPtなどの貴金属との合金は、大きな磁気異方性を示す。大きな磁気異方性は、所望する高周波材料を得るために有利な特性であるが、その一方で保磁力も大きくなるため、信号処理用電子機器部品への材料として取り扱うことが困難である。
一方、フェライトは酸化物であり電気抵抗率が大きいので、渦電流による損失は小さい。しかし、飽和磁化および異方性磁界が本質的に小さく、磁気モーメントの回転における歳差運動の散逸摩擦係数(ダンピング定数)が大きいので、周波数に対し緩慢な透磁率の共鳴が比較的低い周波数で起こる、言い換えれば透磁率の虚数部が所望の使用周波数帯域で大きくなることによって、GHz帯域での低損失利用には制限がある。このように、フェライトがGHz帯域での応用に不向きなため、特にGHzを超えて十分な磁気特性を有するものとしては金属材料の他なかった。
アモルファス材料は、メタロイドや電気抵抗率の高い金属を含有することによって電気抵抗率が高くなり、非晶質構造に起因する磁気特性を有しているので、結晶系材料に替わり高周波磁性の研究が活発に行われてきた。その電気抵抗率は1×103 μohm・cm程度に大きいものもあるが、このような高電気抵抗率を示すアモルファス磁性材料については磁気特性の大幅な劣化を伴うため、良好な高周波磁気特性を得るためには、1×102 μohm・cmオーダーの低い電気抵抗率の材料を用いることになることから、上記の合金系金属材料と同様に、実用に耐えうるGHz対応の磁性材料は現時点で存在しないと言える。
既存材料を本出願で対象とする周波数帯域で低損失動作するデバイスに適応しうるようにするため、これらを薄膜化した上で、膜厚を表皮深さの3分の1以下の厚さになるようにし、さらにその薄膜をスリット加工するなどして渦電流の経路を寸断するなどの工夫によって、渦電流損失を最小限にする検討が多く試されてきた。ところが、電気抵抗率の小さな磁性薄膜の表皮深さは、ごく浅いことから、渦電流損失を低減させるためには膜厚を極めて薄く、具体的にはサブミクロンオーダーまで薄くせざるをえないため、磁性体の体積を著しく減少させる。また、スリット加工は、同様に磁性体の体積減少や、意図せぬ形状効果によって反磁界および磁束の局所集中を発生させるなどの不具合もある。スピネル型フェライトにおけるスネークの限界則のように一義的ではないものの、金属材料においても透磁率の絶対値と高周波限界性能にはトレードオフの関係にあるため、GHzに対応するような材料は透磁率が比較的小さいこともあり、このような体積減少や不具合は、デバイスの磁気回路における実効透磁率を極めて小さくする。よって、従来のコイル構造に磁性体を導入した電子部品のインピーダンスは、磁性体を用いない同構造の空芯部品との有意差を十分に示すことができなくなるどころか、むしろ損失の大きさが顕著となる。つまり、既存材料では数〜数十μmの厚い膜を用いる必要が生じてしまうので、高周波帯域での低損失駆動のためには磁性体の電気抵抗率の向上が必須である。
従来技術では、高周波帯域(特にGHz帯域)での用途において、磁性体を用いた電子部品は未だ実用化に至っていない。ところで、非特許文献1:「まてりあ」Vol.41, 2002(No.6),第402〜409頁、「ナノグラニュラー磁性薄膜の動向と展望」では、本出願人の研究者が、優れた高周波軟磁性特性を得るためには、大きな異方性磁界(Hk)、飽和磁化(Bs)及び高い電気抵抗率が同時に実現される必要があることを解説し、また酸化物系ナノグラニュラー薄膜の研究例を紹介している。例えば、FeやCoなどの強磁性金属が酸化物のセラミックスからなるマトリックスに分散したナノグラニュラー構造材料などである。ナノグラニュラー材料では、酸化物や窒化物の絶縁体にナノサイズ粒子状のFe、Coもしくはそれらの合金からなる強磁性グラニュールが分散した構造であり、磁性グラニュールによる高い飽和磁化と絶縁体セラミックスによる高い電気抵抗率を併せ持っている。
続いて、特許文献で発表された高電気抵抗膜の従来技術を述べる。
上記(イ)〜(ハ)は、ナノグラニュラー材料がこのような軟磁性を示すためには、(a)それぞれの磁性グラニュールが互いに磁気的な相互作用を及ぼす間隔で接近し、かつ(b)グラニュールの粒径が実効的な結晶磁気異方性の低下をもたらす直径より小さいことが必要であることを示している。一方、特許文献3から、磁性Co粒子の粒径が100オングストローム(10nm)を超えると垂直磁気異方性が現れ、かつ軟磁性が失われることが分かる。
特許文献4:特開2007−173863号公報も同様に本出願人が提案した酸化物系一軸磁気異方性膜である。
特許文献2:特開平7−86035号公報
特許文献3:特開平9−82522号公報
特許文献4:特開2007−173863号公報
特許文献5:特開2012−69428号公報
電気抵抗率:渦電流損失は、周波数に比例し電気抵抗率に反比例する。準マイクロ波領域もしくはそれ以上での渦電流損失を少なくするためには、従来よりも十分に高い電気抵抗率が必要である。ナノグラニュラー材料で電気抵抗率を高くするためには、電気伝導がグラニュール間の絶縁体セラミックスからなるトンネルバリア(粒界)を介したトンネル伝導によることが必要である。これを達成し、例えば、電気抵抗率が1.5×103 μohm・cmとなった場合、電気抵抗率の平方根に比例および周波数と透磁率を掛け合わせた値の平方根に反比例する表皮深さは、仮に透磁率が100で、周波数が1 GHzでは約6 μm、透磁率15では5 GHzで約6μmとなるので、いずれの例でも2 μmの厚さの膜を利用できる。電気抵抗率がそれ以上となると、より厚い膜を利用することができる一方、膜厚を増加させない場合は、より渦電流が流れにくくなる。
強磁性:特許文献3など従来の薄膜はナノグラニュラー構造の磁性金属グラニュールの粒径がナノサイズであり、磁性金属グラニュール間の磁気的な相互作用によって強磁性を発現することを利用して、高周波帯域において安定した透磁率を達成している。一方、特許文献3では不所望とされている超常磁性は、(A)それぞれの磁性金属グラニュールが互いに磁気的相互作用を及ぼさない距離に離れ、かつ(B)磁性金属グラニュールの粒径が室温において超常磁性の臨界粒径より小さいことが必要である。本発明者らの研究によると、超常磁性ナノグラニュラー材料の透磁率は極めて小さく、準マイクロ帯域において実用に十分な大きさの透磁率を得ることができない。
異方性磁界:非特許文献1が考察しているように透磁率の磁気共鳴周波数を高くするためには、異方性磁界が高いことが必要である。
透磁率の共鳴周波数:材料が強磁性共鳴したとき、その透磁率の虚数部(損失項)は、共鳴周波数で極大となるが、この極大値をメジアンとしたガウス分布的分散を示しており、共鳴周波数周辺でもある程度の値を示す。よって、300 MHz以上で安定した透磁率(実数部)を低損失で発現するために、透磁率の共鳴周波数は、一般的に使用周波数の2倍以上必要であると言われている。つまり、600 MHz以上であり、特に近年の最新機器の駆動周波数の増加に対応させるなら1 GHzを超えることが重要となる。透磁率の共鳴周波数は飽和磁化と異方性磁界を掛け合わせた値の平方根に比例し、例えば飽和磁化が5 kG以上、かつ異方性磁界が10 Oe以上の組み合わせで1 GHz以上となる。
第一発明は、一般式L100-a-bMaFbで示され、LはFe、CoおよびNiから選択される1種以上の元素であり、MはLi、Be、Mg、Al、Ca、Sr、BaおよびYから選択される少なくとも1種以上の元素であり、Fはフッ素であり、かつ組成比a,bは原子比率であり、aが9%以上50%以下で、bの原子比率が16%以上60%以下であり、かつa+bの合計の原子比率が25%以上70%以下であるとともに、電気抵抗率が1.5×103 μohm・cm以上、飽和磁化が5kG以上、かつ異方性磁界が10 Oe以上であることを特徴とする一軸磁気異方性を有する強磁性薄膜に関する。
以下、本発明を詳しく説明する。
続いて、本発明の強磁性薄膜の成膜方法を説明する。
また、基板近傍に永久磁石を配置するなど、成膜中に静磁界を印加することによって磁気異方性を誘導し、異方性磁界を付与することで、所望の磁気特性の薄膜が得られる。
(イ)フッ化物絶縁体は酸化物絶縁体に比べて大きなバンドギャップを有するため、グラニュールが磁気的な相互作用を及ぼすほどに接近しても、伝導電子のトンネル確率は従来材料の窒化物・酸化物絶縁体に比べて非常に低いので、トンネル伝導電子のコンダンクタンスが小さくなり、大きな電気抵抗率を示す。さらに、フッ化物粒界相は結晶構造を有するために、アモルファス化する従来材料とは異なってバンドギャップが減少しない。
(ロ)従来材料とは異なり、高電気抵抗率を示す領域においても強磁性を示す。本出願人が提案した特許文献3の図5には、絶縁体が酸化イットリウムで、金属グラニュールがCoであるCo70Y7O23薄膜の磁化曲線が示されている。この図5の薄膜にあっては、磁化容易方向の磁化曲線のループが垂直に立ち上がっており、保磁力がほとんどゼロであるために強磁性でかつ一軸異方性を有しているが、電気抵抗率は3×102 μohm・cmと低い。この組成系において、電気抵抗率を本請求範囲内にまで高めるためにCo量を減少させると、強磁性は失われ超常磁性になってしまう。つまりは、磁化容易および困難方向が判別できず、保磁力や残留磁化を生じない磁化挙動となる。一方、本発明の薄膜の磁化曲線は後述の試料番号7に関して図4に示すように、金属総量が57%程度まで少なくなって、電気抵抗率が1×106μohm・cmのオーダーとなっても、磁化容易方向と困難方向が容易に判別でき、保磁力や残留磁化、そして困難方向からは異方性磁界も観測される強磁性を示す。
(ハ)本出願人の提案した特許文献3の図5の膜と、後述する本発明の試料番号22の膜に関して表2に示した特性と比較すると、磁化困難方向の磁化特性の傾きから読み取られる異方性磁界は、前者で80 Oeであるのに対し、後者で500 Oeと極めて大きくなっており、かつ電気抵抗率も2×103 μohm・cmと、前者の約10倍になる高い値を保っていることから、GHz領域での実用化に適した透磁率特性の発現に有効である。
(ニ)マイクロ波領域での安定した透磁率特性を得るためには、強磁性共鳴周波数が高い必要がある。共鳴周波数を高くするためには、大きな異方性磁界と同時に大きな飽和磁化が必要である。本出願人の提案した特許文献3の図5の膜と、後述する本発明の試料番号4の膜に関して表2に示した特性と比較すると、飽和磁化は同等であるが、前者の電気抵抗率が3×102 μohm・cmであるのに対し、後者は100倍以上の値(5.1×104 μohm・cm)を呈している。試料番号4の試料からさらに金属グラニュール成分を増加させた試料番号21においては、飽和磁化が12 kGに増加する一方で、電気抵抗率も5.0×103 μΩ・cmと高い値を保っているため、GHz領域での安定した透磁率を示す実用的材料を得ることができる。
〔実施例1〕
予備実験
基板には、約0.5mm厚のコーニング社製#7059(コーニング社の商品名)ガラス、約0.5mm厚のコーニング社製イーグル2000(コーニング社の商品名)ガラス、0.5mm厚で表面を熱酸化したSiウエハ、0.5mm厚の石英ガラス、もしくは同様に約0.5mm厚のMgOを用い、さらに、膜厚を0.5〜3μmの範囲で変化させた試料番号7の薄膜の磁気特性を測定したところ、基板種類や膜厚と関係なく磁気特性ほとんど同じであったために、以下の実験では次のような実験条件の範囲で行った。
成膜装置:RFマグネトロンスパッタ装置・DC対向ターゲットスパッタ装置
基板:#7059ガラス、イーグル2000ガラス、石英ガラス、Siウエハ
膜厚:0.3〜10μm
基板温度:水冷〜800℃
スパッタ圧力:0.3〜20mTorr
スパッタ電力:50〜350W
基板への印加磁界:80〜320 Oe
熱処理:未処理、または100℃〜800℃の所定の温度で真空中の磁界無し、10 Oe〜10 kOeの静磁界中または回転磁界中にて5分〜5時間保持
前記のようにして作製した薄膜試料は、その磁化曲線を試料振動型磁化測定装置(VSM)で測定し、高周波透磁率特性をシールデッド・ループコイル法で測定した。また、電気抵抗率は直流4端子法を基本とする電気抵抗率の測定装置を用いて測定し、膜組成はエネルギー分散型分光分析法(EDS)、あるいは波長分散型分光分析法(WDS)によって分析した。また、膜の構造は、Cu−Kα線を用いたX線回折法(XRD)および高分解能透過型電子顕微鏡(TEM)によって解析した。それぞれの薄膜試料の組成および各温度条件を表1に、諸特性を表2に示す。
RFマグネトロンスパッタリング装置を用いて、直径4インチのターゲットをスパッタリングして、厚さ約2μmの薄膜を作製した。尚、このときのターゲット組成はCo85Al15であり、基板には約0.5mm厚のコーニング社製#7059ガラスを用いた。成膜時のスパッタ圧力は1〜10mTorrで、アルゴンガスに対する酸素の流量比は0〜3%であった。また、成膜中の基板には一軸磁気異方性が付与されるように、一対の永久磁石によって約130Oeの磁場が印加されている。なお、スパッタ投入電力は200W一定とした。
出来た試料の構造は粒径が50オングストローム以下の主Co相からなる微粒子と、厚さが約1 nmのAl-O系セラミックス相か粒界からなるネットワーク状の組織からなっていることが認められた。試料は成膜時の印加磁場方向と平行な一軸磁気異方性を有しており、その異方性磁界(Hk)の大きさは83 Oeであった。困難方向の保磁力(Hc)は2.2Oeであり、また、飽和磁化は11kGで、電気抵抗率は980μΩcmであり、磁気特性は本発明実施例と同等であるものの、電気抵抗率が一桁低いという結果が得られた。
電気抵抗率を向上させるために、ターゲット組成中のAlを増加させ、酸素流量比も増加させた。その結果、磁気特性が、安定した高周波透磁率の発現のためには不十分となるほど低下した。さらにAlおよび酸素を増加させると電気抵抗率はより増加するものの、本発明においては十分に強磁性を示す電気抵抗率領域である1×104 μohm・cmのオーダーでも強磁性は失われ超常磁性に磁化挙動が遷移した。
これは、金属グラニュールと絶縁体との体積比率が同じである前提において、絶縁体が、酸化物、この場合酸化アルミニウムであると、アモルファス構造であるが故に、電気抵抗率が低く、所望の電気抵抗率を得ようとして絶縁体の体積比率を増加させると、金属グラニュール間の距離が大きくなって超常磁性になってしまうことに起因する。本発明においては、絶縁体がフッ化物であるため電気抵抗率が高く、同様に金属グラニュール間距離が超常磁性に至るまで増加した際には、従来材料と比べて電気抵抗率が極めて高くなっている。
Claims (4)
- 一般式L100-a-bMaFbで示され、LはFe、CoおよびNiから選択される1種以上の元素であり、MはLi、Be、Mg、Al、Ca、Sr、BaおよびYから選択される少なくとも1種以上の元素であり、Fはフッ素であり、かつ組成比a,bは原子比率であり、aが9%以上50%%以下、bの原子比率が16% 以上60%以下であり、かつa+bの合計の原子比率が25%以上70%以下であるとともに、電気抵抗率が1.5×103 μohm・cm以上、飽和磁化が5 kG以上、かつ異方性磁界が10 Oe以上であることを特徴とする一軸磁気異方性を有する強磁性薄膜。
- 前記Lが、前記Fe、CoおよびNiから選択される1種以上の元素と、Pd、Ptから選択される1種以上の元素の合金であり、該合金中のPd、Ptの含有量は50原子%以下であることを特徴とする請求項1に記載の一軸磁気異方性を有する強磁性薄膜。
- 前記Lからなり、平均粒径が2〜50 nmの磁性微粒子が、前記MとFのフッ化物からなる絶縁体マトリックスに均一に分布したナノグラニュラー構造を有することを特徴とする請求項1または2に記載の一軸磁気異方性を有する強磁性薄膜。
- GHz帯域で使用されるインダクタ、カプラ、バランなどの電子機器に組み込まれる磁性材料部品として使用される請求項1から3までの何れか1項に記載の一軸磁気異方性を有する強磁性薄膜。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017041599A (ja) * | 2015-08-21 | 2017-02-23 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 超高周波強磁性薄膜とその製造方法 |
JP2017098423A (ja) * | 2015-11-25 | 2017-06-01 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 透光性磁性体 |
JP2021027222A (ja) * | 2019-08-07 | 2021-02-22 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 磁気光学薄膜およびその製造方法 |
JP2021086901A (ja) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 強磁性薄膜積層体 |
CN114300232A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-08 | Oppo广东移动通信有限公司 | 电感、电路板集成电感、电源管理芯片及电子设备 |
WO2023021877A1 (ja) * | 2021-08-20 | 2023-02-23 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 磁気光学材料およびその製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0786038A (ja) * | 1993-09-09 | 1995-03-31 | Amorphous Denshi Device Kenkyusho:Kk | 磁性薄膜及びその製造方法 |
JPH0786035A (ja) * | 1993-09-09 | 1995-03-31 | Amorphous Denshi Device Kenkyusho:Kk | 一軸磁気異方性薄膜 |
JP2001094175A (ja) * | 1999-09-22 | 2001-04-06 | Res Inst Electric Magnetic Alloys | 高電気比抵抗磁気抵抗膜 |
JP2001273622A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-05 | Res Inst Electric Magnetic Alloys | ナノグラニュラー薄膜および磁気記録媒体 |
JP2002158486A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Res Inst Electric Magnetic Alloys | 電磁波吸収膜 |
JP2006108258A (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Gunma Univ | 磁性膜及びその製造方法 |
-
2013
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0786038A (ja) * | 1993-09-09 | 1995-03-31 | Amorphous Denshi Device Kenkyusho:Kk | 磁性薄膜及びその製造方法 |
JPH0786035A (ja) * | 1993-09-09 | 1995-03-31 | Amorphous Denshi Device Kenkyusho:Kk | 一軸磁気異方性薄膜 |
JP2001094175A (ja) * | 1999-09-22 | 2001-04-06 | Res Inst Electric Magnetic Alloys | 高電気比抵抗磁気抵抗膜 |
JP2001273622A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-05 | Res Inst Electric Magnetic Alloys | ナノグラニュラー薄膜および磁気記録媒体 |
JP2002158486A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Res Inst Electric Magnetic Alloys | 電磁波吸収膜 |
JP2006108258A (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Gunma Univ | 磁性膜及びその製造方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017041599A (ja) * | 2015-08-21 | 2017-02-23 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 超高周波強磁性薄膜とその製造方法 |
JP2017098423A (ja) * | 2015-11-25 | 2017-06-01 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 透光性磁性体 |
JP2021027222A (ja) * | 2019-08-07 | 2021-02-22 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 磁気光学薄膜およびその製造方法 |
JP7256715B2 (ja) | 2019-08-07 | 2023-04-12 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 磁気光学薄膜およびその製造方法 |
JP2021086901A (ja) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 強磁性薄膜積層体 |
JP7353149B2 (ja) | 2019-11-27 | 2023-09-29 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 強磁性薄膜積層体 |
WO2023021877A1 (ja) * | 2021-08-20 | 2023-02-23 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 磁気光学材料およびその製造方法 |
JP2023028766A (ja) * | 2021-08-20 | 2023-03-03 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 磁気光学材料およびその製造方法 |
JP7324807B2 (ja) | 2021-08-20 | 2023-08-10 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 磁気光学材料およびその製造方法 |
CN114300232A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-08 | Oppo广东移动通信有限公司 | 电感、电路板集成电感、电源管理芯片及电子设备 |
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