JP2014174146A - 標本検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】一度に検査できる標本の数を増やして、検査時間の短縮を図ることができる標本検査装置を提供する。
【解決手段】標本検査装置１００は、テラヘルツ波を発生する第１テラヘルツ波発生部２２と、被検査物としての標本が載置される載置面１２を有し、載置面１２の法線方向Ｐに複数の標本２を重ねて搬送可能に構成された搬送部１０と、第１テラヘルツ波発生部２２から射出され、載置面１２の法線方向Ｐに重ねられた複数の標本を透過したテラヘルツ波を検出する第１テラヘルツ波検出部２４と、を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、標本検査装置に関する。

近年、１００ＧＨｚ以上３０ＴＨｚ以下の周波数を有する電磁波であるテラヘルツ波が注目されている。テラヘルツ波は、イメージング、分光計測等の各種計測、非破壊検査等に用いることができる。

例えば特許文献１には、薬剤（標本）にテラヘルツ波を照射し、薬剤を透過したテラヘルツ波または薬剤で反射されたテラヘルツ波に基づいて、薬剤に異物が含まれているか否かを検査する標本検査装置が記載されている。

特許文献１の標本検査装置では、複数の薬剤が搬送面の幅方向に配列されている。そして、この搬送面の幅方向に配列された複数の薬剤を串刺しするように、テラヘルツ波の光線を真横（搬送面の幅方向）から放射して透過させることによって、同時に複数の薬剤を検査している。これにより、特許文献１の標本検査装置では、大量の薬剤を高速に検査することができる。

国際公開第２００８／１７８５号

しかしながら、特許文献１の標本検査装置では、複数の薬剤が搬送面の幅方向に配列されているため、一度に検査できる標本の数は、搬送面の幅によって上限が決まってしまう。

本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、一度に検査できる標本の数を増やして、検査時間の短縮を図ることができる標本検査装置を提供することにある。

本発明に係る標本検査装置は、
テラヘルツ波を発生する第１テラヘルツ波発生部と、
被検査物としての標本が載置される載置面を有し、前記載置面の法線方向に複数の前記標本を重ねて搬送可能に構成された搬送部と、
前記第１テラヘルツ波発生部から射出され、前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前記標本を透過したテラヘルツ波を検出する透過波検出部と、
を備える。

このような標本検査装置によれば、搬送部が載置面の法線方向に複数の標本を重ねて搬送可能に構成され、透過波検出部が載置面の法線方向に重ねられた複数の標本を透過したテラヘルツ波を検出する。そのため、例えば搬送部の幅によって制限されることなく、一度に検査できる標本の数を増やして、検査時間の短縮を図ることができる。

本発明に係る標本検査装置において、
前記第１テラヘルツ波発生部は、
光パルスを発生する第１光パルス発生部と、
前記第１光パルス発生部で発生した光パルスが照射される第１光伝導アンテナと、
を含んでいてもよい。

このような標本検査装置によれば、例えば搬送部の幅によって制限されることなく、一度に検査できる標本の数を増やして、検査時間の短縮を図ることができる。

本発明に係る標本検査装置において、
テラヘルツ波を発生する第２テラヘルツ波発生部と、
前記第２テラヘルツ波発生部から射出され、前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前記標本で反射されたテラヘルツ波を検出する反射波検出部と、
を備えていてもよい。

このような標本検査装置によれば、透過波検出部によって、載置面の法線方向に重ねられた複数の標本が異物を含むか否かを一括して検査することができ、反射波検出部によって、例えばテラヘルツ時間領域分光法を用いて、載置面の法線方向に重ねられた複数の標本から異物を含む標本を特定することができる。

本発明に係る標本検査装置において、
前記第１テラヘルツ波発生部および前記透過波検出部を含む第１検査部と、
前記第２テラヘルツ波発生部および前記反射波検出部を含む第２検査部と、
を備え、
前記搬送部は、前記第１検査部で検査された前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前記標本を、前記第２検査部に搬送してもよい。

このような標本検査装置によれば、第１検査部によって載置面の法線方向に重ねられた複数の標本が異物を含むか否かを一括して検査し、搬送部によって第１検査部で検査された載置面の法線方向に重ねられた複数の標本を第２検査部に搬送し、第２検査部によって異物を含む標本を特定することができる。したがって、検査の効率化を図ることができる。

本発明に係る標本検査装置において、
前記第２テラヘルツ波発生部は、
光パルスを発生する第２光パルス発生部と、
第２光パルス発生部で発生した光パルスを、ポンプ光と、プローブ光と、に分割する光学素子と、
前記ポンプ光が照射されて、テラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波生成部と、
前記プローブ光の光路長を変化させて、前記プローブ光が前記反射波検出部を照射するタイミングを制御する光路長変更部と、
を含み、
前記反射波検出部は、前記プローブ光によって、前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前記標本で反射されたテラヘルツ波を検出するタイミングが制御されてもよい。

このような標本検査装置によれば、第２テラヘルツ波発生部および反射波検出部では、テラヘルツ時間領域分光法を用いて、テラヘルツ波の発生および検出を行うことができる。したがって、載置面の法線方向に重ねられた複数の標本から、異物を含む標本を特定することができる。

本発明に係る標本検査装置において、
前記反射波検出部の検出結果に基づいて、前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前
記標本で反射されたテラヘルツ波の時間波形を生成する時間波形生成部と、
前記時間波形に基づいて、前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前記標本から、異物が含まれている前記標本を特定する異物特定部と、
を備えていてもよい。

このような標本検査装置によれば、載置面の法線方向に重ねられた複数の標本から、異物が含まれている標本を特定することができる。

本発明に係る標本検査装置は、
テラヘルツ波を発生する第１テラヘルツ波発生部と、
被検査物としての標本が載置される載置面を有し、前記載置面の法線方向に複数の前記標本を重ねて搬送可能に構成された搬送部と、
前記第１テラヘルツ波発生部から射出され、前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前記標本で反射されたテラヘルツ波を検出する反射波検出部と、
を備える。

このような標本検査装置によれば、搬送部が載置面の法線方向に複数の標本を重ねて搬送可能に構成され、載置面の法線方向に重ねられた複数の標本で反射されたテラヘルツ波を検出する。そのため、例えば搬送部の幅によって制限されることなく、一度に検査できる標本の数を増やして、検査時間の短縮を図ることができる。

本実施形態に係る標本検査装置の構成を模式的に示す図。 本実施形態に係る標本検査装置の搬送部の構成を模式的に示す図。 本実施形態に係る標本検査装置の第１検査部の構成を模式的に示す図。 第１テラヘルツ波発生部の光源の構成を模式的に示す図。 第１テラヘルツ波検出部のフィルターおよび検出部を模式的に示す図。 本実施形態に係る標本検査装置の第２検査部の構成を模式的に示す図。 本実施形態の第２テラヘルツ波検出部の構成を模式的に示す図。 本実施形態の標本検査装置における薬剤検査処理の一例を示すフローチャート。 薬剤のテラヘルツ帯でのスペクトルを示すグラフ。 時間波形生成部で生成されたテラヘルツ波の時間波形の一例を示す図。 第１変形例に係る搬送部および第１検査部の構成を模式的に示す図。 第２変形例に係る搬送部および第１検査部の構成を模式的に示す図。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

１． 標本検査装置の構成
まず、本実施形態に係る標本検査装置について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る標本検査装置１００の構成を模式的に示す図である。

以下では、被検査物としての標本として、薬剤（錠剤）２を検査するための標本検査装置１００について説明する。ここで、薬剤２の検査とは、薬剤２および複数の薬剤２（薬剤群２Ａ）の少なくとも一方が異物（異種の元素または分子）を含むか否かを調べることをいう。標本検査装置１００では、抜き取りした標本（薬剤２）を並べて連続的に検査し
てもよいし、例えば薬剤製造ラインに組み込んで標本（薬剤２）の全数を検査してもよい。

標本検査装置１００は、図１に示すように、搬送部１０と、第１テラヘルツ波発生部２２および第１テラヘルツ波検出部２４を含む第１検査部２０と、を備える。さらに、標本検査装置１００は、第２テラヘルツ波発生部３２および第２テラヘルツ波検出部３４を含む第２検査部３０と、処理部（ＣＰＵ）４０と、操作部５０と、表示部５２と、記憶部５４と、を備えることができる。

標本検査装置１００では、第１検査部２０において、載置面１２の法線方向Ｐに重ねられた複数の薬剤２（薬剤群２Ａ）に異物が含まれているか否かを判定するための測定を行い、第２検査部３０において、薬剤群２Ａから異物を含む薬剤２を特定するための測定を行う。

搬送部１０は、薬剤２が載置される載置面１２を有し、載置面１２の法線方向Ｐ（載置面１２に垂直な方向）に複数の薬剤２を重ねて搬送可能に構成されている。ここで、載置面１２の法線方向Ｐに複数の薬剤２が重なるとは、複数の薬剤２が載置面１２の法線に沿って配列されている状態をいい、法線方向Ｐから見て、複数の薬剤２の少なくとも一部が重なっている状態をいう。法線方向Ｐは、例えば、鉛直方向（重力の方向）である。載置面１２は、例えば、面内方向が薬剤２の搬送方向Ｘを含む面である。この場合、法線方向Ｐは、薬剤２の搬送方向Ｘに垂直な方向である。

図２は、搬送部１０および供給部１８の構成を模式的に示す図である。搬送部１０は、図示の例では、複数（６個）の薬剤２を収容する円筒状の容器１４を有している。薬剤２は、容器１４に収容されることで、容器１４の底面である載置面１２の法線方向Ｐに重ねられる。図示の例では、法線方向Ｐに重ねられた複数の薬剤２は、法線方向Ｐからみて完全に重なっている（薬剤２の全体が重なっている）。容器１４の形状は、複数の薬剤２を重ねて収容することができれば特に限定されない。容器１４の形状は、薬剤２の形状および重ねられる薬剤２の数に応じて決定される。すなわち、容器１４の法線方向Ｐの大きさを大きくすることで、法線方向Ｐに重ねられる薬剤２の数を増やすことができる。これにより、第１検査部２０で一度に検査することができる薬剤２の数（薬剤群２Ａを構成する薬剤２の数）を増やすことができる。

搬送部１０は、容器１４を搬送することで、容器１４に収容された複数の薬剤２を重ねて搬送することができる。搬送部１０は、ベルト１６を有しており、ベルト１６を移動（循環）させることで、ベルト１６に固定された複数の容器１４を搬送している。なお、図示の例では、ベルト１６の下側に容器１４が位置しているが、ベルト１６の上側に容器１４が位置していてもよい。すなわち、ベルト１６上に容器１４を固定して、複数の薬剤２を重ねて搬送してもよい。

容器１４は、テラヘルツ波を透過することができる。容器１４の材質は、例えば、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミドなどの熱可塑性樹脂や、ポリウレタンなどの熱硬化性樹脂である。なお、容器１４は、紙や布によって構成されていてもよい。

供給部１８は、搬送部１０に薬剤２を供給する。供給部１８は、図２に示す例では、ベルト１６上に薬剤２を供給し、ベルト駆動部（図示しない）が、ベルト１６を振動させることでベルト１６に設けられた開口１６ａから薬剤２を容器１４内に導いてもよい。これにより、容器１４内に、複数の薬剤２を重ねて収容することができる。供給部１８は、搬送部１０（薬剤２）の搬送速度に応じて、薬剤２の供給量を調整することができる。

なお、供給部１８は、図示はしないが、複数の薬剤２を、直接、容器１４に供給してもよい。例えば、供給部１８は、供給部１８の薬剤供給口の下に位置している容器１４に対して当該容器１４の容量に応じた複数の薬剤２を落下させることにより、容器１４内に複数の薬剤２を供給してもよい。

搬送部１０は、図１に示すように、供給部１８から供給された薬剤２を、載置面１２の法線方向Ｐに重ねて薬剤群２Ａとして、第１検査部２０に搬送する。図示の例では、法線方向Ｐに重ねられた複数（６個）の薬剤２が、１つの薬剤群２Ａを構成しており、搬送部１０は、薬剤２を薬剤群２Ａごとに搬送する。そして、搬送部１０は、第１検査部２０の測定結果から異物を含むと判定された薬剤群２Ａを、第２検査部３０に搬送する。また、搬送部１０は、第１検査部２０の測定結果から、異物を含まないと判定された薬剤群２Ａを、例えば薬剤２を包装するための装置（図示せず）に搬送する。

また、搬送部１０は、第２検査部３０に搬送され、第２検査部３０の測定結果から異物を含む薬剤２が特定された薬剤群２Ａを、異物を含む薬剤２を取り除くための装置（図示せず）に搬送する。搬送部１０は、処理部４０の制御部４８によって制御されている。

第１検査部２０は、第１テラヘルツ波発生部２２および第１テラヘルツ波検出部２４を含む。図３は、第１検査部２０の構成を模式的に示す図である。第１検査部２０では、第１テラヘルツ波発生部２２が、テラヘルツ波を発生させ、第１テラヘルツ波検出部２４（透過波検出部）が、第１テラヘルツ波発生部２２から射出され、載置面１２の法線方向Ｐに重ねられた複数の薬剤２を透過したテラヘルツ波を、検出する。これにより、第１テラヘルツ波検出部２４の検出結果に基づいて、法線方向Ｐに重ねられた複数（６個）の薬剤２（薬剤群２Ａ）に異物が含まれているか否かを検査することができる。

第１検査部２０では、第１テラヘルツ波発生部２２と第１テラヘルツ波検出部２４とが、搬送部１０（載置面１２）を挟んで配置されている。

第１テラヘルツ波発生部２２は、テラヘルツ波を発生する。テラヘルツ波とは、周波数が、１００ＧＨｚ以上３０ＴＨｚ以下の電磁波、特に、３００ＧＨｚ以上１０ＴＨｚ以下の電磁波をいう。第１テラヘルツ波発生部２２は、図３に示すように、光源２３を含む。

光源２３は、図３に示すように、複数設けられている。なお、光源２３は、単数であってもよい。図４は、第１テラヘルツ波発生部２２の光源２３の構成を模式的に示す図である。光源２３は、図４に示すように、第１光パルス発生部２３０と、第１光伝導アンテナ２３２と、を有している。

第１光パルス発生部２３０は、励起光である光パルスを発生する。ここで、光パルスとは、短時間に急峻に強度が変化する光をいう。光パルスのパルス幅（半値全幅ＦＷＨＭ）は、例えば、１ｆｓ（フェムト秒）以上８００ｆｓ以下である。

第１光パルス発生部２３０としては、例えば、半導体材料からなるパルス圧縮部を備えた半導体レーザー、フェムト秒ファイバーレーザー、チタンサファイアレーザーを用いる。特に半導体レーザーは、小型化を図ることができるため、第１光パルス発生部２３０として好適に用いることができる。

第１光伝導アンテナ２３２は、第１光パルス発生部２３０で発生した光パルスが照射されることによりテラヘルツ波を発生する。図示の例では、第１光伝導アンテナ２３２は、ダイポール形状光伝導アンテナ（Ｐｈｏｔｏ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ａｎｔｅｎｎａ：ＰＣＡ）である。第１光伝導アンテナ２３２は、半導体基板である基板２３４と、基板２
３４上に設けられ、ギャップ２３５を介して対向配置された１対の電極２３６と、を有している。この電極２３６間に、光パルスが照射されると、第１光伝導アンテナ２３２は、テラヘルツ波を発生させる。

基板２３４は、例えば、半絶縁性ＧａＡｓ（ＳＩ−ＧａＡｓ）基板と、ＳＩ−ＧａＡｓ基板上に設けられている低温成長ＧａＡｓ（ＬＴ−ＧａＡｓ）層と、を有している。電極２３６の材質は、例えば、金である。１対の電極２３６間の距離は、特に限定されず条件に応じて適宜設定されるが、例えば、１μｍ以上１０μｍ以下である。

ここで、光源２３の動作原理について説明する。光源２３では、まず、第１光パルス発生部２３０が、光パルスを発生させ、第１光伝導アンテナ２３２のギャップ２３５に向けて、光パルスを射出する。第１光伝導アンテナ２３２では、ギャップ２３５に光パルスが照射されることにより、自由電子が励起される。そして、この自由電子を電極２３６間に電圧を印加することによって加速させる。これにより、テラヘルツ波が発生する。

なお、光源２３は、図４に示す第１光パルス発生部２３０および第１光伝導アンテナ２３２を有する形態に限定されず、例えば、光源２３として、量子カスケードレーザーや、非線形光学結晶を用いた差周波発生方式、パラメトリック方式を用いてもよい。

図３に示すように、第１テラヘルツ波発生部２２は、光源２３から射出されるテラヘルツ波を平行化して、薬剤群２Ａに導くためのレンズ２７を含んでいてもよい。これにより、光源２３から射出されるテラヘルツ波を、効率よく薬剤群２Ａに導くことができる。

第１テラヘルツ波発生部２２は、光源２３から射出されたテラヘルツ波を、レンズ２７を介して、法線方向Ｐに射出する。ここで、搬送部１０で搬送されている複数の薬剤２は、法線方向Ｐに重ねられている。すなわち、搬送部１０で搬送されている複数の薬剤２は、法線方向Ｐから見て、複数の薬剤２の少なくとも一部が重なっている。そのため、第１テラヘルツ波発生部２２から法線方向Ｐに射出されたテラヘルツ波は、法線方向Ｐに重ねられた複数（６個）の薬剤２（薬剤群２Ａ）の全部を透過することができる。

第１テラヘルツ波検出部２４は、図３に示すように、第１テラヘルツ波発生部２２から射出され、載置面１２の法線方向Ｐに重ねられた複数の薬剤２を透過したテラヘルツ波を検出する。すなわち、第１テラヘルツ波検出部２４は、法線方向Ｐに重ねられた複数（６個）の薬剤２の全部の情報を含むテラヘルツ波を検出する。第１テラヘルツ波検出部２４は、フィルター２５と、検出部２６と、を含む。

フィルター２５は、目的の波長のテラヘルツ波を透過させる。フィルター２５の材質は、例えば、金属である。図５は、第１テラヘルツ波検出部２４のフィルター２５および検出部２６を模式的に示す図である。

フィルター２５は、図５に示すように、２次元的に配置された複数の画素（単位フィルター部）２５ａを有している。複数の画素２５ａは、マトリックス状に配置されている。画素２５ａは、互いに異なる波長のテラヘルツ波を通過させる複数の領域、すなわち、通過させるテラヘルツ波の波長（以下、「通過波長」とも言う）が互いに異なる複数の領域を有している。図示の例では、画素２５ａは、第１領域２５１、第２領域２５２、第３領域２５３、および第４領域２５４を有している。

検出部２６としては、例えば、テラヘルツ波を熱に変換して検出するもの、すなわち、テラヘルツ波を熱に変換し、そのテラヘルツ波のエネルギー（強度）を検出し得るものを用いる。具体的には、検出部２６は、焦電センサー、ボロメーターである。

検出部２６は、フィルター２５を透過した目的の波長のテラヘルツ波を検出する。検出部２６は、画素２５ａの第１領域２５１、第２領域２５２、第３領域２５３、および第４領域２５４に対応して、それぞれ設けられた第１単位検出部２６１、第２単位検出部２６２、第３単位検出部２６３、および第４単位検出部２６４を有している。第１単位検出部２６１、第２単位検出部２６２、第３単位検出部２６３、および第４単位検出部２６４は、それぞれ、画素２５ａの第１領域２５１、第２領域２５２、第３領域２５３、および第４領域２５４を通過したテラヘルツ波を、熱に変換して検出する。これにより、画素２５ａのそれぞれにおいて、４つの目的の波長のテラヘルツ波を検出することができる。

第１テラヘルツ波検出部２４は、図３に示すように、薬剤群２Ａを透過したテラヘルツ波を集光して、フィルター２５に導くためのレンズ２８を含んでいてもよい。これにより、薬剤群２Ａを透過したテラヘルツ波を、効率よくフィルター２５に導くことができる。

第１検査部２０では、図３に示すように、光源２３、レンズ２７、レンズ２８、フィルター２５、および検出部２６は、法線方向Ｐに並んで配置されている。

第２検査部３０は、第２テラヘルツ波発生部３２および第２テラヘルツ波検出部（反射波検出部）３４を含む。図６は、第２検査部３０の構成を模式的に示す図である。第２検査部３０では、テラヘルツ時間領域分光法（ｔｉｍｅ−ｄｏｍａｉｎ ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を用いて、テラヘルツ波の発生および検出を行う。これにより、第２テラヘルツ波検出部３４の検出結果に基づいて、第１検査部２０で検査された薬剤群２Ａから、異物を含む薬剤２を特定することができる。

第２テラヘルツ波発生部３２は、図６に示すように、第２光パルス発生部３２０と、光学素子（ビームスプリッター）３２２と、第２光伝導アンテナ（テラヘルツ波生成部）３２４と、光路長変更部３２６と、ミラー３２７ａ，３２７ｂ，３２７ｃと、ミラー３２８ａ，３２８ｂ，３２８ｃ，３２８ｄと、を含む。

第２光パルス発生部３２０は、光パルスを発生する。光パルスのパルス幅は、例えば、１ｆｓ以上８００ｆｓ以下である。第２光パルス発生部３２０としては、例えば、半導体材料からなるパルス圧縮部を備えた半導体レーザー、フェムト秒ファイバーレーザー、チタンサファイアレーザーを用いる。

光学素子（ビームスプリッター）３２２は、第２光パルス発生部３２０で発生した光パルスを、ポンプ光Ｌ１と、プローブ光Ｌ２とに分割する。光学素子（ビームスプリッター）３２２は、図６に示す例では、第２光パルス発生部３２０から射出された光パルスの一部を透過させてポンプ光Ｌ１とし、第２光パルス発生部３２０から射出された光パルスの一部を反射させてプローブ光Ｌ２とする。

第２光伝導アンテナ３２４は、光学素子（ビームスプリッター）３２２を透過したポンプ光Ｌ１が照射されることによりテラヘルツ波を発生する。第２光伝導アンテナ３２４は、図４に示す第１光伝導アンテナ２３２と同様の構成を有する、ダイポール形状光伝導アンテナ（ＰＣＡ）である。

ミラー３２７ａおよびミラー３２７ｂは、第２光伝導アンテナ３２４から射出されたテラヘルツ波を、薬剤群２Ａに導く。ミラー３２７ａおよびミラー３２７ｂは、例えば、楕円面ミラー、放物面ミラー等である。

ミラー３２７ｃは、薬剤群２Ａで反射されたテラヘルツ波を、第２テラヘルツ波検出部
３４に導く。ミラー３２７ｃは、例えば、楕円面ミラー、放物面ミラー等である。

ミラー３２８ａおよびミラー３２８ｂは、光学素子（ビームスプリッター）３２２で反射されたプローブ光Ｌ２を、光路長変更部３２６に導く。

光路長変更部３２６は、プローブ光Ｌ２の光路長を変化させて、プローブ光Ｌ２が第２テラヘルツ波検出部３４に入射するタイミングを制御する。光路長変更部３２６は、可動ミラー３２６ａ，３２６ｂと、ミラー駆動部３２６ｃと、を含む。光路長変更部３２６は、ミラー駆動部３２６ｃによって、可動ミラー３２６ａ，３２６ｂを移動させることにより、プローブ光Ｌ２の光路長を変化させることができる。これにより、プローブ光Ｌ２に光学的な時間遅延を生じさせ、プローブ光Ｌ２が第２テラヘルツ波検出部３４を照射するタイミングを制御することができる。

ミラー３２８ｃおよびミラー３２８ｄは、プローブ光Ｌ２を光路長変更部３２６から第２テラヘルツ波検出部３４に導く。

第２テラヘルツ波検出部３４は、法線方向Ｐに重ねられた複数（６個）の薬剤２（薬剤群２Ａ）で反射されたテラヘルツ波を検出する。第２テラヘルツ波検出部３４は、プローブ光Ｌ２が照射されたときに、テラヘルツ波を検出する。すなわち、第２テラヘルツ波検出部３４は、プローブ光Ｌ２によって、テラヘルツ波を検出するタイミングが制御される。図７は、第２テラヘルツ波検出部３４の構成を模式的に示す図である。

第２テラヘルツ波検出部３４は、例えば、ダイポール形状光伝導アンテナ（ＰＣＡ）である。第２テラヘルツ波検出部３４は、半導体基板である基板３４４と、基板３４４上に設けられ、ギャップ３４５を介して対向配置された１対の電極３４６と、を有している。この電極３４６間に、テラヘルツ波が照射され、同時に、プローブ光Ｌ２が照射されると、テラヘルツ波の強度（振動電場）に応じた電流が電極３４６に流れる。

基板３４４は、例えば、半絶縁性ＧａＡｓ（ＳＩ−ＧａＡｓ）基板と、ＳＩ−ＧａＡｓ基板上に設けられている低温成長ＧａＡｓ（ＬＴ−ＧａＡｓ）層と、を有している。電極３４６の材質は、例えば、金である。１対の電極３４６間の距離は、特に限定されず条件に応じて適宜設定されるが、例えば、１μｍ以上１０μｍ以下である。

ここで、第２検査部３０の動作原理について説明する。第２検査部３０では、第２光パルス発生部３２０が光パルスを射出すると、光学素子（ビームスプリッター）３２２によって、ポンプ光Ｌ１とプローブ光Ｌ２とに分割される。ポンプ光Ｌ１は、第２光伝導アンテナ３２４を照射し、第２光伝導アンテナ３２４からテラヘルツ波が発生する。このテラヘルツ波は、ミラー３２７ａ，３２７ｂを介して、薬剤群２Ａを照射し、薬剤群２Ａで反射される。反射されたテラヘルツ波は、ミラー３２７ｃを介して、第２テラヘルツ波検出部３４を照射する。

一方、プローブ光Ｌ２は、ミラー３２８ａ，３２８ｂを介して、光路長変更部３２６に入射する。光路長変更部３２６からのプローブ光Ｌ２は、ミラー３２８ｃ，３２８ｄを介して、第２テラヘルツ波検出部３４を照射する。

ここで、光路長変更部３２６は、ミラー駆動部３２６ｃによって可動ミラー３２６ａ，３２６ｂを連続的に移動させることで、プローブ光Ｌ２の光路長を変化させ、ポンプ光Ｌ１とプローブ光Ｌ２の光路差を連続的に変化させる。これにより、ポンプ光Ｌ１とプローブ光Ｌ２の間に光学的な時間遅延が生じる。第２テラヘルツ波検出部３４が、ポンプ光Ｌ１とプローブ光Ｌ２との光路差に応じた遅延時間でテラヘルツ波を検出することにより、
テラヘルツ波の異なる位置（位相）において、テラヘルツ波の強度（振動電場）に応じた信号（電流）を取得することができる。この信号をプロットすることで、テラヘルツ波の時間経過が記録され、横軸がプローブ光Ｌ２の遅延時間、縦軸が信号強度（電流値）で示されるテラヘルツ波の時間波形（図１０参照）を得ることができる。

なお、上述の第２検査部３０の第２テラヘルツ波発生部３２および第２テラヘルツ波検出部３４は、ダイポール形状光伝導アンテナ（ＰＣＡ）を用いる形態に限定されない。例えば、非線形光学結晶を用いた方式でもよい。

操作部５０は、図１に示すように、ユーザーによる操作に応じた操作信号を取得し、処理部４０に送る処理を行う。操作部５０は、例えば、タッチパネル型ディスプレイ、ボタン、キー、マイクなどである。

表示部５２は、処理部４０から入力される表示信号に基づいて、処理部４０の処理結果等を文字やグラフその他の情報として表示する。例えば、表示部５２は、検査結果を表示する。表示部５２は、例えば、ＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）、タッチパネル型ディスプレイなどである。なお、１つのタッチパネル型ディスプレイで操作部５０と表示部５２との機能を実現するようにしてもよい。

記憶部５４は、処理部４０が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。また、記憶部５４は、処理部４０の作業領域として用いられ、操作部５０から入力された操作信号、第１検査部２０および第２検査部３０から取得したデータ（検出結果）、および処理部４０が各種プログラムに従って実行した演算結果等を一時的に記憶するためにも使用される。

処理部（ＣＰＵ）４０は、記憶部５４に記憶されているプログラムに従って、第１検査部２０、および第２検査部３０から取得したデータに基づく各種の計算処理や、各種の制御処理（搬送部１０の制御や、表示部５２に対する表示制御等）を行う。具体的には、処理部４０は、記憶部５４に記憶されているプログラムを実行することで、異物判定部４２、時間波形生成部４４、異物特定部４６、制御部４８として機能する。

異物判定部４２は、第１テラヘルツ波検出部２４の検出結果に基づいて、薬剤群２Ａが異物を含むか否かを判定する処理を行う。

時間波形生成部４４は、第２テラヘルツ波検出部３４の検出結果に基づいて、薬剤群２Ａで反射されたテラヘルツ波の時間波形を生成する処理を行う。

異物特定部４６は、時間波形生成部４４が生成したテラヘルツ波の時間波形に基づいて、載置面１２の法線方向Ｐに重ねられた複数の薬剤２（薬剤群２Ａ）から、異物が含まれている薬剤２を特定する処理を行う。

制御部４８は、異物判定部４２の判定結果に基づいて、搬送部１０を制御する処理を行う。具体的には、制御部４８は、異物判定部４２が薬剤群２Ａに異物が含まれていると判定した場合に、搬送部１０を制御して、当該薬剤群２Ａを第２検査部３０に搬送する。また、制御部４８は、異物判定部４２が薬剤群２Ａに異物が含まれていないと判定した場合に、搬送部１０を制御して、例えば、当該薬剤群２Ａを、薬剤２を包装するための装置に搬送する。

２． 薬剤検査処理
次に、標本検査装置１００における薬剤（標本）検査の処理の流れについて、図面を参照しながら説明する。図８は、標本検査装置１００における薬剤（標本）検査処理の一例を示すフローチャートである。

制御部４８は、搬送部１０を制御して、図１および図２に示すように、供給部１８から供給された薬剤２を、容器１４に収容することで載置面１２の法線方向Ｐに重ねて第１検査部２０に搬送する。供給部１８から供給される複数の薬剤２は、容器１４に収容され、薬剤群２Ａとして、第１検査部２０に搬送される。

第１検査部２０では、図３に示すように、第１検査部２０に搬送された薬剤群２Ａに対して、第１テラヘルツ波発生部２２がテラヘルツ波を照射し、薬剤群２Ａを透過したテラヘルツ波を第１テラヘルツ波検出部２４が検出する。異物判定部４２は、第１テラヘルツ波検出部２４の検査結果に基づいて、薬剤群２Ａが異物を含むか否かを判定する処理を行う（異物判定処理Ｓ１０）。

ここで、異物判定処理Ｓ１０について具体的に説明する。ここでは、薬剤２が、３つの物質Ａ，Ｂ，Ｃ（物質Ｂ，Ｃは異物）で構成されている場合について説明する。図９は、薬剤２のテラヘルツ帯でのスペクトルを示すグラフである。

図５に示す第１テラヘルツ波検出部２４のフィルター２５の画素２５ａにおいて、第１領域２５１および第２領域２５２を使用する。第１領域２５１の通過波長をλ１、第２領域２５２の通過波長をλ２とし、薬剤群２Ａを透過したテラヘルツ波の波長λ１の成分の強度をα１、波長λ２の成分の強度をα２としたとき、その強度α２と強度α１の差分（α２−α１）が、物質Ａと物質Ｂと物質Ｃとで、互いに顕著に区別できるように、第１領域２５１の通過波長λ１および第２領域２５２の通過波長λ２を、設定する。

図９に示すように、物質Ａにおいては、薬剤群２Ａを透過したテラヘルツ波の波長λ２の成分の強度α２と波長λ１の成分の強度α１との差分（α２−α１）は、正値となる。物質Ｂにおいては、強度α２と強度α１との差分（α２−α１）は、零となる。物質Ｃにおいては、強度α２と強度α１との差分（α２−α１）は、負値となる。

第１テラヘルツ波検出部２４では、上記の強度α１および強度α２を検出する。第１テラヘルツ波検出部２４は、この検出結果の情報を含む信号Ｉ２４（図１参照）を、異物判定部４２に送る。なお、薬剤群２Ａへのテラヘルツ波の照射および薬剤群２Ａを透過したテラヘルツ波の検出は、薬剤群２Ａの全体に対して行われる。

異物判定部４２は、第１テラヘルツ波検出部２４の検出結果に基づいて、強度α２と強度α１との差分（α２−α１）を求め、強度α２と強度α１の差分（α２−α１）が零および負値となった場合に、薬剤群２Ａに異物（物質Ｂ，Ｃ）があると判定する。また、異物判定部４２は、強度α２と強度α１との差分（α２−α１）が正値となった場合に、薬剤群２Ａに異物がないと判定する。

なお、上記では、強度α２と強度α１との差分の符号から、異物の有無を判定する例を示したが、この方法に限定されない。例えば、強度α２と強度α１の差分の値を用いて、異物の有無を判定しても良い。この場合、検出された強度α２と強度α１の差分の値と、異物が含まれない場合の強度α２と強度α１との差分の値とを比較して、両者の値が一致しなければ異物が含まれると判定することができる。

異物判定部４２によって薬剤群２Ａが異物を含むと判定された場合（Ｓ１２でＹｅｓの場合）、制御部４８は、搬送部１０を制御して、異物を含むと判定された薬剤群２Ａを、
第２検査部３０に搬送する。

第２検査部３０は、テラヘルツ時間領域分光法を用いて、異物を含むと判定された薬剤群２Ａの測定を行う。第２テラヘルツ波検出部３４は、図６に示すように、ポンプ光Ｌ１とプローブ光Ｌ２との光路差に応じた遅延時間でテラヘルツ波を検出して、テラヘルツ波の強度（振動電場）に応じた信号Ｉ３４（図１参照）を出力する。時間波形生成部４４は、第２テラヘルツ波検出部３４の検出結果（信号Ｉ３４）に基づいて、テラヘルツ波の時間波形を生成する。異物特定部４６は、時間波形生成部４４が生成したテラヘルツ波の時間波形に基づいて、異物を含む薬剤群２Ａから、異物を含む薬剤２を特定する（異物特定処理Ｓ１４）。

ここで、異物特定処理Ｓ１４について具体的に説明する。ここでは、図６に示す薬剤２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ，２ｆを重ねた薬剤群２Ａを測定した場合について説明する。なお、薬剤２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｅ，２ｆは、物質Ａで構成され、薬剤２ｄは、物質Ａと物質Ｂ（異物）を含んで構成されているものとする。また、物質Ａのテラヘルツ波の吸収量は、物質Ｂのテラヘルツ波の吸収量よりも大きいものとする。なお、標準標本として、薬剤２ａ〜２ｆがすべて物質Ａで構成されている（すなわち、異物（物質Ｂ）を含まない）薬剤群２Ａを用意し、測定を行った。

図１０は、時間波形生成部４４で生成されたテラヘルツ波の時間波形の一例を示す図である。図１０において、時間波形Ｓｐ１は、標準標本（異物を含まない薬剤群２Ａ）を透過したテラヘルツ波の時間波形（標準時間波形）であり、時間波形Ｓｐ２は、異物（物質Ｂ）を含む薬剤群２Ａを透過したテラヘルツ波の時間波形である。なお、図１０の横軸は、時間（プローブ光Ｌ２の遅延時間）であり、縦軸は、第２テラヘルツ波検出部３４で検出されたテラヘルツ波の強度に対応する信号強度である。

図１０に示すように、異物（物質Ｂ）を含む薬剤群２Ａの時間波形Ｓｐ２において、薬剤２ａ，２ｂ，２ｃに対応する各シグナルの強度は、標準時間波形Ｓｐ１の薬剤２ａ，２ｂ，２ｃに対応する各シグナルの強度と同じであるが、薬剤２ｄ，２ｅ，２ｆに対応する各シグナルの強度は、標準時間波形Ｓｐ１の薬剤２ｄ，２ｅ，２ｆに対応する各シグナルの強度よりも大きい。これは、薬剤２ｄが、テラヘルツ波の吸収量の大きい物質Ｂ（異物）を含むためである。このように、測定で得られたテラヘルツ波の時間波形Ｓｐ２を、標準標本を測定して得られたテラヘルツ波の時間波形（標準時間波形）Ｓｐ１と比較することにより、薬剤群２Ａから、異物を含む薬剤２ｄを特定することができる。

このように、異物特定部４６は、時間波形生成部４４が生成したテラヘルツ波の時間波形と標準時間波形とを比較することで、薬剤群２Ａから、異物を含む薬剤２を特定する。処理部４０は、例えば、異物特定部４６が特定した異物を含む薬剤２の情報（異物を含む薬剤２が薬剤群２Ａの何段目に位置しているか等）を、表示部５２に表示する（表示処理Ｓ１６）。そして、処理部４０は、薬剤検査処理を終了する。

一方、異物判定部４２によって薬剤群２Ａが異物を含まないと判定された場合（Ｓ１２でＮｏの場合）、制御部４８は、搬送部１０を制御して、異物を含まないと判定された薬剤群２Ａを、例えば、薬剤２を包装するための装置（図示せず）に搬送する。そして、処理部４０は、薬剤検査処理を終了する。

標本検査装置１００は、供給部１８から順次供給される薬剤２に対して、薬剤検査処理（Ｓ１０〜Ｓ１６）を繰り返し行う。

標本検査装置１００は、例えば、以下の特徴を有する。

標本検査装置１００では、搬送部１０は、薬剤２が載置される載置面１２を有し、載置面１２の法線方向Ｐに複数の薬剤２を重ねて搬送可能に構成されている。そのため、標本検査装置１００では、例えば搬送部１０のベルト１６の幅Ｗ（ベルト１６の搬送方向Ｘと垂直な方向の大きさ、図２参照）によって制限されることなく、一度に検査できる標本の数を増やして、検査時間の短縮を図ることができる。これにより、検査コストの削減を図ることができる。

標本検査装置１００では、第１テラヘルツ波検出部２４は、載置面１２の法線方向Ｐに重ねられた複数の薬剤２（薬剤群２Ａ）を透過したテラヘルツ波を検出するため、複数の薬剤２が異物を含むか否かを一括して検査することができる。これにより、検査時間の短縮を図ることができる。

標本検査装置１００では、第２テラヘルツ波検出部３４は、載置面１２の法線方向Ｐに重ねられた複数の薬剤２（薬剤群２Ａ）で反射されたテラヘルツ波を検出するため、例えばテラヘルツ時間領域分光法を用いて、薬剤群２Ａから異物を含む薬剤２を特定することができる。

標本検査装置１００では、第１テラヘルツ波発生部２２および第１テラヘルツ波検出部２４を含む第１検査部２０と、第２テラヘルツ波発生部３２および第２テラヘルツ波検出部３４を含む第２検査部３０と、を備え、搬送部１０は、第１検査部２０で検査された薬剤群２Ａを第２検査部３０に搬送する。これにより、第１検査部２０によって薬剤群２Ａが異物を含むか否かを一括して検査し、搬送部１０によって第１検査部２０で検査された薬剤群２Ａを第２検査部３０に搬送し、第２検査部３０によって異物を含む薬剤２を特定することができる。したがって、標本検査装置１００によれば、検査の効率化を図ることができる。

標本検査装置１００では、第２テラヘルツ波発生部３２は、図６に示すように、光パルスを発生する第２光パルス発生部３２０と、第２光パルス発生部３２０で発生した光パルスを、ポンプ光Ｌ１と、プローブ光Ｌ２と、に分割する光学素子３２２と、ポンプ光Ｌ１が照射されて、テラヘルツ波を発生させる第２光伝導アンテナ３２４と、プローブ光Ｌ２の光路長を変化させて、プローブ光Ｌ２が第２テラヘルツ波検出部３４を照射するタイミングを制御する光路長変更部３２６と、を含み、第２テラヘルツ波検出部３４は、プローブ光Ｌ２によって、載置面１２の法線方向Ｐに重ねられた複数の薬剤２で反射されたテラヘルツ波を検出するタイミングが制御される。これにより、第２検査部３０では、テラヘルツ時間領域分光法を用いて、テラヘルツ波の発生および検出を行うことができる。したがって、薬剤群２Ａから、異物を含む薬剤２を特定することができる。

標本検査装置１００では、時間波形生成部４４が、第２テラヘルツ波検出部３４の検出結果に基づいて、テラヘルツ波の時間波形を生成し、異物特定部４６が当該時間波形に基づいて、載置面１２の法線方向Ｐに重ねられた複数の薬剤２（薬剤群２Ａ）から、異物が含まれている薬剤２を特定する。これにより、第１検査部２０によって一括して検査された薬剤群２Ａから、異物を含む薬剤２を特定することができる。

３． 変形例
（１）第１変形例
次に、本実施形態に係る標本検査装置の第１変形例について、図面を参照しながら説明する。図１１は、本実施形態の第１変形例に係る搬送部１０および第１検査部２０の構成を示す図である。以下、第１変形例において、上述した標本検査装置１００の搬送部１０および第１検査部２０の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し
、その詳細な説明を省略する。

上述した標本検査装置１００の搬送部１０は、図２に示すように、薬剤群２Ａを、ベルト１６の幅Ｗの方向に１つ配置して搬送していた。

これに対して、本変形例では、搬送部１０は、図１１に示すように、薬剤群２Ａを、ベルト１６の幅Ｗの方向（載置面１２の法線方向Ｐから見て、搬送方向Ｘに垂直な方向）Ｙに、複数の薬剤群２Ａを並べて搬送している。図示の例では、搬送部１０には、ベルト１６の幅Ｗの方向Ｙに、４つの薬剤群２Ａが並べられているが、その数は特に限定されない。

第１テラヘルツ波発生部２２は、ベルト１６の幅方向Ｙに並べられた複数（４つ）の薬剤群２Ａに、テラヘルツ波を照射する。図示の例では、第１テラヘルツ波発生部２２は、レンズ２７を介して、ベルト１６の幅方向Ｙに並べられた複数の薬剤群２Ａに、テラヘルツ波を照射している。

第１テラヘルツ波検出部２４は、ベルト１６の幅方向Ｙに並べられた複数の薬剤群２Ａを透過したテラヘルツ波を検出する。図示の例では、第１テラヘルツ波検出部２４は、レンズ２８を介して、ベルト１６の幅方向Ｙに並べられた複数の薬剤群２Ａを透過したテラヘルツ波を検出している。これにより、複数の薬剤群２Ａを同時に検査することができる。したがって、大量の薬剤２の検査を、より短時間で行うことができる。

（２）第２変形例
次に、本実施形態に係る標本検査装置の変形例について、図面を参照しながら説明する。図１２は、本実施形態の第２変形例に係る搬送部１０および第１検査部２０の構成を示す図である。以下、第２変形例において、上述した標本検査装置１００の搬送部１０および第１検査部２０の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

上述した標本検査装置１００の第１テラヘルツ波検出部２４は、図３に示すように、薬剤群２Ａを透過したテラヘルツ波を検出していた。

これに対して、本変形例では、第１テラヘルツ波検出部（反射波検出部）２４は、図１２に示すように、薬剤群２Ａで反射されたテラヘルツ波を検出する。

第１テラヘルツ波発生部２２は、ハーフミラー６０およびレンズ６２を含んで構成されている。ハーフミラー６０は、光源２３から射出されたテラヘルツ波を透過させる。また、ハーフミラー６０は、薬剤群２Ａで反射されたテラヘルツ波を第１テラヘルツ波検出部２４のミラー６４に向けて反射させる。また、レンズ６２は、ハーフミラー６０を透過したテラヘルツ波を集光して薬剤群２Ａに向けて射出し、薬剤群２Ａで反射されたテラヘルツ波をハーフミラー６０に向けて射出する。

第１テラヘルツ波検出部２４は、ミラー６４を含んで構成されている。ミラー６４は、ハーフミラー６０で反射されたテラヘルツ波をフィルター２５に向けて反射させる。

本変形例に係る第１検査部２０の動作について説明する。光源２３からテラヘルツ波が射出されると、射出されたテラヘルツ波は、ハーフミラー６０を透過し、レンズ６２で集光されて薬剤群２Ａを照射する。そして、薬剤群２Ａで反射されたテラヘルツ波は、レンズ６２で集光され、ハーフミラー６０およびミラー６４で反射されてフィルター２５に入射し、検出部２６で検出される。

本変形例では、第１テラヘルツ波検出部２４は、薬剤群２Ａで反射されたテラヘルツ波を検出するため、異物判定部４２（図１参照）は、薬剤群２Ａで反射されたテラヘルツ波の検出結果に基づいて、薬剤群２Ａが異物を含むか否かを判定する処理を行うことができる。

なお、図示はしないが、第１検査部２０は、薬剤群２Ａを透過したテラヘルツ波を検出する第１テラヘルツ波検出部２４（図３参照）、および薬剤群２Ａで反射されたテラヘルツ波を検出する第１テラヘルツ波検出部２４（図１２参照）の両方を含んで構成されていてもよい。この場合、異物判定部４２（図１参照）は、薬剤群２Ａを透過したテラヘルツ波の検出結果、および薬剤群２Ａで反射されたテラヘルツ波の検出結果の少なくとも一方に基づいて、薬剤群２Ａが異物を含むか否かを判定する処理を行うことができる。

なお、上述した実施形態および各変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。

例えば、上述した実施形態および変形例に係る標本検査装置では、非検査物としての標本が薬剤２である場合について説明したが、当該標本は薬剤に限定されず、例えば、塩や菓子類等の食品、穀物や果物等の農作物、石鹸や口紅等の化粧品、半導体基板や超電導材料等の電子材料、皮膚や骨等の生体であってもよい。

また、例えば、上述した実施形態および変形例に係る標本検査装置では、図９に示す薬剤２のテラヘルツ帯でのスペクトルに基づいて、薬剤群２Ａが異物を含みか否かの検査を行い、図１０に示すテラヘルツ波の時間波形に基づいて、薬剤群２Ａから異物を含む薬剤２を特定する場合について説明した。これに対して、例えば、図９に示すスペクトルを薬剤群２Ａの部位を変えて取得して物質Ａ、物質Ｂ、物質Ｃの分布を示す画像を作成し（イメージング）、当該画像に基づいて、薬剤群２Ａが異物を含みか否かの検査を行ってもよい。また、例えば、図１０に示すテラヘルツ波の時間波形を薬剤群２Ａの部位を変えて取得して物質Ａ、物質Ｂの分布を示す画像を作成し（イメージング）、当該画像に基づいて、薬剤群２Ａから異物を含む薬剤２を特定してもよい。

また、例えば、実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

２…薬剤、２Ａ…薬剤群、１０…搬送部、１２…載置面、１４…容器、１６…ベルト、１６ａ…開口、１８…供給部、２０…第１検査部、２２…第１テラヘルツ波発生部、２３…光源、２４…第１テラヘルツ波検出部、２５…フィルター、２５ａ…画素、２６…検出部、２７，２８…レンズ、３０…第２検査部、３２…第２テラヘルツ波発生部、３４…第２テラヘルツ波検出部、４０…処理部、４２…異物判定部、４４…時間波形生成部、４６…異物特定部、４８…制御部、５０…操作部、５２…表示部、５４…記憶部、６０…ハーフミラー、６２…レンズ、６４…ミラー、１００…標本検査装置、２３０…第１光パルス発生部、２３２…第１光伝導アンテナ、２３４…基板、２３５…ギャップ、２３６…電極、２５１…第１領域、２５２…第２領域、２５３…第３領域、２５４…第４領域、２６１…
第１単位検出部、２６２…第２単位検出部、２６３…第３単位検出部、２６４…第４単位検出部、３２０…第２光パルス発生部、３２２…光学素子、３２４…第２光伝導アンテナ、３２６…光路長変更部、３２６ａ，３２６ｂ…可動ミラー、３２６ｃ…ミラー駆動部、３２７ａ，３２７ｂ，３２７ｃ…ミラー、３２８ａ，３２８ｂ，３２８ｃ，３２８ｄ…ミラー、３４４…基板、３４５…ギャップ、３４６…電極

Claims (7)

1. テラヘルツ波を発生する第１テラヘルツ波発生部と、
   被検査物としての標本が載置される載置面を有し、前記載置面の法線方向に複数の前記標本を重ねて搬送可能に構成された搬送部と、
   前記第１テラヘルツ波発生部から射出され、前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前記標本を透過したテラヘルツ波を検出する透過波検出部と、
   を備えることを特徴とする標本検査装置。
2. 前記第１テラヘルツ波発生部は、
   光パルスを発生する第１光パルス発生部と、
   前記第１光パルス発生部で発生した光パルスが照射される第１光伝導アンテナと、
   を含むことを特徴とする請求項１に記載の標本検査装置。
3. テラヘルツ波を発生する第２テラヘルツ波発生部と、
   前記第２テラヘルツ波発生部から射出され、前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前記標本で反射されたテラヘルツ波を検出する反射波検出部と、
   を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の標本検査装置。
4. 前記第１テラヘルツ波発生部および前記透過波検出部を含む第１検査部と、
   前記第２テラヘルツ波発生部および前記反射波検出部を含む第２検査部と、
   を備え、
   前記搬送部は、前記第１検査部で検査された前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前記標本を、前記第２検査部に搬送することを特徴とする請求項３に記載の標本検査装置。
5. 前記第２テラヘルツ波発生部は、
   光パルスを発生する第２光パルス発生部と、
   第２光パルス発生部で発生した光パルスを、ポンプ光と、プローブ光と、に分割する光学素子と、
   前記ポンプ光が照射されて、テラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波生成部と、
   前記プローブ光の光路長を変化させて、前記プローブ光が前記反射波検出部を照射するタイミングを制御する光路長変更部と、
   を含み、
   前記反射波検出部は、前記プローブ光によって、前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前記標本で反射されたテラヘルツ波を検出するタイミングが制御されることを特徴とする請求項３または４に記載の標本検査装置。
6. 前記反射波検出部の検出結果に基づいて、前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前記標本で反射されたテラヘルツ波の時間波形を生成する時間波形生成部と、
   前記時間波形に基づいて、前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前記標本から、異物が含まれている前記標本を特定する異物特定部と、
   を備えることを特徴とする請求項５に記載の標本検査装置。
7. テラヘルツ波を発生する第１テラヘルツ波発生部と、
   被検査物としての標本が載置される載置面を有し、前記載置面の法線方向に複数の前記標本を重ねて搬送可能に構成された搬送部と、
   前記第１テラヘルツ波発生部から射出され、前記載置面の法線方向に重ねられた複数の前記標本で反射されたテラヘルツ波を検出する反射波検出部と、
   を備えることを特徴とする標本検査装置。

Images