JP2014172015A - Cleaning method of coating head - Google Patents

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Yasuki Shimizu
泰樹 清水
Hiroshi Ogawa
博史 小川
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Toray Industries Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cleaning method of a coating head which can efficiently and securely clean paste adhered on a discharge port of the coating head and a discharge surface having the discharge port by using an adhesive tape.SOLUTION: A cleaning method of a coating head removes a coating liquid adhered on a discharge port of the coating head having a plurality of discharge ports arranged on a line approximately, and a discharge surface in a periphery of the discharge port with an adhesive tape. The method includes: a pressing process of pressing the discharge surface of the coating head to the adhesive tape and a pressing member which supports the tape from a non-adhesive surface, and contact-pressing the adhesive tape to the discharge surface; and a peeling process of peeling the adhesive tape from the discharge surface. When an alignment direction of the discharge ports is a Y-direction, a direction vertical to the discharge surface is a Z-direction, and a direction vertical to the Y-direction and the Z-direction is an X-direction, a form, that tension of the adhesive tape contacting with the discharge surface is asymmetric to a bisector H in an X-direction cross section of the discharge surface in the peeling process, is included in the method.

Description

本発明は、塗布ヘッド清浄方法に関する。   The present invention relates to a coating head cleaning method.

近年、液晶ディスプレイなど、薄型ディスプレイの普及が拡大しているが、これらの多くは、小さな画素を多数形成し、画素毎の色、明るさを電気的に制御して画像を構成する、いわゆる画素型ディスプレイである。そのようなディスプレイの例としてAC型プラズマディスプレイを挙げることができる。   In recent years, the spread of thin displays such as liquid crystal displays has increased. Many of these are so-called pixels in which a large number of small pixels are formed and an image is formed by electrically controlling the color and brightness of each pixel. Type display. An AC type plasma display can be given as an example of such a display.

プラズマディスプレイには画素の仕切り等の諸機能を持った構造体が形成されている。その構造体は隔壁と呼ばれ、放電の広がりを一定領域に抑え、表示を規定のセル内で行わせると同時に、均一な放電空間を確保するために設けられている。その隔壁の形状は、一般にはおよそ幅20〜120μm、高さ50〜250μmのストライプ状や格子状のものなどがある。   In the plasma display, a structure having various functions such as pixel partitioning is formed. The structure is called a barrier rib, and is provided in order to suppress the spread of the discharge to a certain region and perform display in a prescribed cell, and at the same time, ensure a uniform discharge space. The shape of the partition generally includes a stripe shape or a lattice shape having a width of 20 to 120 μm and a height of 50 to 250 μm.

そして、蛍光体層は蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストとして、所定の隔壁間に塗布、乾燥させて形成される。この蛍光体ペーストは蛍光体粉末を高濃度で含むため、10000mPa・s以上の高粘度であることが多い。蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗布する方法としては、スクリーン印刷法、ディスペンサー法等があり、材料ロスの少ないディスペンサー法が注目されている。   The phosphor layer is formed as a phosphor paste mainly composed of phosphor powder, an organic binder and an organic solvent, and is applied between predetermined barrier ribs and dried. Since this phosphor paste contains phosphor powder at a high concentration, it often has a high viscosity of 10,000 mPa · s or more. As a method for applying the phosphor paste between predetermined barrier ribs, there are a screen printing method, a dispenser method, and the like, and a dispenser method with little material loss is attracting attention.

ディスペンサー法とは、図1および図3に示すように、内部に蛍光体ペースト2を貯留する空間を持った塗布ヘッド1を、被塗布部材である基板3に対向させて配置し、塗布ヘッド1の吐出面6と基板3を所定のクリアランスを保って相対移動させながら、空間に接続された加圧配管4を通して圧力を制御された圧縮空気を導入することで吐出口5から蛍光体ペースト2を吐出し、隔壁24の間にペーストを塗布する方法である。   In the dispenser method, as shown in FIGS. 1 and 3, a coating head 1 having a space for storing the phosphor paste 2 inside is disposed so as to face a substrate 3 that is a member to be coated. The phosphor paste 2 is discharged from the discharge port 5 by introducing the compressed air whose pressure is controlled through the pressure pipe 4 connected to the space while relatively moving the discharge surface 6 and the substrate 3 with a predetermined clearance. This is a method of discharging and applying a paste between the partition walls 24.

塗布を行う装置として、多くの場合において、X軸、Y軸およびZ軸の3軸を有するステージからなる塗布装置が用いられ、基板と塗布ヘッドを相対移動させながら、吐出口から塗液を吐出することにより、基板表面に上記表層の形成がおこなわれる。
ディスペンサー法による蛍光体ペーストの塗布は、枚葉間欠塗布であることが多く、1枚の基板を塗布する間に吐出開始と吐出終了とがある。特に、塗布開始部は吐出開始部であり、毎回の塗布開始に際して塗布ヘッドからのペーストの吐出が再現性良く安定していることが重要である。そのためには、図2(a)に示すように塗布開始前の吐出面、特に吐出口周りは清浄化されていることが重要である。
In many cases, as a device for performing coating, a coating device including a stage having three axes of the X axis, the Y axis, and the Z axis is used, and the coating liquid is discharged from the discharge port while relatively moving the substrate and the coating head. As a result, the surface layer is formed on the substrate surface.
The application of the phosphor paste by the dispenser method is often a single-wafer intermittent application, and there are a discharge start and a discharge end while a single substrate is applied. In particular, the application start portion is a discharge start portion, and it is important that the discharge of the paste from the application head is stable with good reproducibility at the start of each application. For this purpose, as shown in FIG. 2A, it is important that the discharge surface before the start of application, particularly the periphery of the discharge port, is cleaned.

一方、塗布終了後の吐出面には、ペースト吐出時のバラス効果の影響や、塗布終了時に吐出面と基板との間のクリアランス部でつながっているペーストの影響などにより、ペーストが付着し、残留してしまう。つまり、このような塗布ヘッドによって1枚の基板への塗布が完了した後に、次の基板へ塗布を再開しようとすると、図2(b)に示すように、塗液の一部が塗液吐出口周辺部に滴状になって付着および残存している状態となる場合がほとんどである。ここで、吐出口5周辺の吐出面6にペーストが残ったまま次の基板へ塗布を行えば、塗布開始部で吐出量のばらつきが生じたり、ペーストの吐出挙動が乱れたりといった諸問題が生じ、塗布が不安定になるため、基板の塗布品位が大きく損なわれ、不良品を発生させることになる。   On the other hand, the paste adheres to the discharge surface after the application due to the influence of the ballast effect when the paste is discharged or the paste connected at the clearance between the discharge surface and the substrate when the application is completed. Resulting in. That is, when the application to one substrate is completed after such application head completes application to one substrate, as shown in FIG. 2B, a part of the application liquid is discharged. In most cases, it is in the form of droplets adhering to and remaining on the periphery of the outlet. Here, if application is performed on the next substrate while the paste remains on the discharge surface 6 around the discharge port 5, various problems such as variations in the discharge amount at the application start portion and disturbance in the discharge behavior of the paste occur. Since the coating becomes unstable, the coating quality of the substrate is greatly impaired, and defective products are generated.

よって、このような基板の量産ラインでは、所定のタクトタイムの内で、次の基板への塗布を再開するまで塗布が間欠停止されるわずかな時間に、この吐出面に付着した残留ペーストを除去清浄しないと、次の基板の塗布品位が大きく損なわれる事となる。   Therefore, in such a mass production line for substrates, residual paste adhering to the discharge surface is removed within a predetermined tact time within a short period of time when application is intermittently stopped until application to the next substrate is resumed. If it is not cleaned, the coating quality of the next substrate will be greatly impaired.

したがって、1枚の基板への塗布動作が完了する毎に、付着塗液となった塗液を短時間で除去して、塗布ヘッドの吐出面を清浄化することは、塗布基板を量産するにあたって重要な生産技術であり、基板を含む最終製品例えばディスプレイ装置などの機能向上と、コスト競争力の向上という両面に影響するため、従来から多くの清浄技術が開発されてきている。   Therefore, every time a coating operation on a single substrate is completed, the coating liquid that has become an adhesion coating liquid is removed in a short time to clean the discharge surface of the coating head. Since this is an important production technique and affects both the improvement of functions of a final product including a substrate, such as a display device, and the improvement of cost competitiveness, many cleaning techniques have been developed.

塗布ヘッドの清浄技術として、図13(a)および(b)に示すように、溶剤吸収能力のある粘着テープ104を蛍光体ペーストが付着した塗布ヘッド1の吐出面に当接保持し、残留ペーストから溶剤成分を吸収しつつ、図13(c)および(d)に示すように、粘着テープを被清浄材表面から略垂直に剥離することで、その残留ペーストを粘着テープの粘着力により粘着テープへ転写して清浄する技術が知られている(特許文献1および2)。   As a coating head cleaning technique, as shown in FIGS. 13A and 13B, an adhesive tape 104 having a solvent absorption capability is held in contact with the discharge surface of the coating head 1 to which the phosphor paste is adhered, and a residual paste. As shown in FIGS. 13C and 13D, the adhesive tape is peeled off substantially perpendicularly from the surface of the material to be cleaned, while the solvent component is absorbed from the adhesive paste. A technique for transferring to and cleaning is known (Patent Documents 1 and 2).

国際公開W02008/149758号International Publication No. W02008 / 149758 特開2012−205977号公報JP 2012-205977 A

しかしながら、従来の粘着テープを単純に略垂直に剥離することによる清浄は、粘着テープへの押し当て回数や押し当て時間といった清浄条件を適宜選定しているが、日々改良が進められ、その種類が多岐にわたる塗液によっては、清浄不良が発生する場合があった。このため、粘着テープを用いる清浄方法において、より清浄性を向上させる清浄技術の確立が求められているのが現状であった。   However, the cleaning by simply peeling off the conventional adhesive tape almost perpendicularly selects the cleaning conditions such as the number of times of pressing to the adhesive tape and the pressing time as appropriate. Depending on a wide variety of coating liquids, poor cleaning may occur. For this reason, in the cleaning method using an adhesive tape, the present condition is that establishment of a cleaning technique that further improves the cleanliness is required.

そこで本発明は、塗布ヘッドの吐出口および吐出口が設けられている吐出面に付着したペーストを、粘着テープを用いて効率的かつ確実に清浄することが可能な、塗布ヘッド清浄方法を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention provides a coating head cleaning method capable of efficiently and reliably cleaning the paste adhering to the ejection port of the coating head and the ejection surface provided with the ejection port using an adhesive tape. For the purpose.

そこで本発明者らは、粘着テープを用いる塗布ヘッドの清浄方法において、被清浄材表面からの素早いテープ剥離が重要であり、安定してより素早く粘着テープを吐出面から剥離することが、清浄性を向上させるのに効果的であることを見出した。   Therefore, in the cleaning method of the coating head using an adhesive tape, the present inventors need to quickly remove the tape from the surface of the material to be cleaned. Has been found to be effective in improving

すなわち本発明は、略一列に配置された複数の吐出口を有する塗布ヘッドの吐出口および吐出口近傍の吐出面に付着した塗液を粘着テープで除去する塗布ヘッド清浄方法であり、上記塗布ヘッドの吐出面を上記粘着テープとその非粘着面からテープを支持する押し当て部材に押し当てて上記粘着テープを吐出面に接圧する押し当て工程と、上記粘着テープを、上記吐出面から剥離する、剥離工程と、を備え、上記吐出口の配列方向をY方向、上記吐出面に垂直な方向をZ方向、上記Y方向および上記Z方向に対して垂直な方向をX方向、とした場合において、上記剥離工程で上記吐出面に接している粘着テープの張力が、上記吐出面のX方向断面における等分線Hに対して非対称となる形態を含むことを特徴とする、塗布ヘッド清浄方法を提供する。   That is, the present invention is a coating head cleaning method for removing a coating liquid adhering to a discharge port of a coating head having a plurality of discharge ports arranged in substantially one row and a discharge surface in the vicinity of the discharge port with an adhesive tape. A pressing step of pressing the pressure-sensitive adhesive tape against the pressure-sensitive adhesive tape and a pressing member that supports the tape from the non-sticky surface and pressing the pressure-sensitive adhesive tape against the discharge surface; and peeling the pressure-sensitive adhesive tape from the discharge surface; A separation step, wherein the discharge port array direction is the Y direction, the direction perpendicular to the discharge surface is the Z direction, and the Y direction and the direction perpendicular to the Z direction are the X direction, There is provided a coating head cleaning method characterized in that the tension of the adhesive tape in contact with the discharge surface in the peeling step includes an asymmetric shape with respect to the equidistant line H in the X-direction cross section of the discharge surface. To.

本発明の塗布ヘッド清浄方法によれば、吐出面に接している粘着テープの張力が、吐出面のX方向断面における等分線Hに対して非対称となるため、安定してより素早く粘着テープを吐出面から剥離することができ、塗布ヘッドの吐出口および吐出面に残留した塗液を確実に除去できるため、塗布欠点の発生を抑制でき、かつ生産性を向上させることが可能となる。   According to the coating head cleaning method of the present invention, the tension of the adhesive tape in contact with the ejection surface becomes asymmetric with respect to the equidistant line H in the X-direction cross section of the ejection surface. Since the coating liquid can be peeled off from the ejection surface and the coating liquid remaining on the ejection port and ejection surface of the coating head can be surely removed, the occurrence of coating defects can be suppressed and the productivity can be improved.

ディスペンサー法による蛍光体ペースト塗布方法を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the fluorescent substance paste coating method by the dispenser method. 吐出口近傍の残留ペーストの付着状態を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the adhesion state of the residual paste of the discharge port vicinity. 塗布ヘッドと残留ペーストの状態を示した断面模式図である。It is the cross-sectional schematic diagram which showed the state of the coating head and the residual paste. 塗布ヘッド吐出面のX方向断面における等分線Hを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the equivalent line H in the X direction cross section of the coating head discharge surface. ディスペンサー法による蛍光体ペースト塗布装置を示した斜視模式図である。It is the isometric view schematic diagram which showed the fluorescent substance paste coating device by the dispenser method. ディスペンサー法による蛍光体ペースト塗布装置を示した側面模式図である。It is the side surface schematic diagram which showed the fluorescent substance paste coating device by the dispenser method. 本発明における塗布ヘッド清浄方法の一実施形態を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed one Embodiment of the coating head cleaning method in this invention. 本発明における塗布ヘッド清浄方法を実現する押し当て部材の一実施形態を示した断面模式図である。It is the cross-sectional schematic diagram which showed one Embodiment of the pressing member which implement | achieves the coating head cleaning method in this invention. 本発明における塗布ヘッド清浄方法を実現する押し当て部材の一実施形態を示した断面模式図である。It is the cross-sectional schematic diagram which showed one Embodiment of the pressing member which implement | achieves the coating head cleaning method in this invention. 本発明における塗布ヘッド清浄方法の第1実施形態を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed 1st Embodiment of the coating head cleaning method in this invention. 本発明における塗布ヘッド清浄方法の第2実施形態を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed 2nd Embodiment of the coating head cleaning method in this invention. 本発明における塗布ヘッド清浄方法の第3実施形態を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed 3rd Embodiment of the coating head cleaning method in this invention. 従来の塗布ヘッド清浄方法の一実施形態を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed one Embodiment of the conventional coating head cleaning method. 本発明における塗布ヘッド清浄方法で、吐出面の粘着テープが剥がれる様相を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the aspect from which the adhesive tape of a discharge surface peeled by the coating head cleaning method in this invention.

本発明の塗布ヘッド清浄方法は、略一列に配置された複数の吐出口を有する塗布ヘッドの吐出口および吐出口近傍の吐出面に付着した塗液を粘着テープで除去する塗布ヘッド清浄方法であり、上記塗布ヘッドの吐出面を上記粘着テープとその非粘着面から粘着テープを支持する押し当て部材に押し当てて上記粘着テープを吐出面に接圧する押し当て工程と、上記粘着テープを、上記吐出面から剥離する、剥離工程と、を備え、上記吐出口の配列方向をY方向、上記吐出面に垂直な方向をZ方向、上記Y方向および上記Z方向に対して垂直な方向をX方向、とした場合において、上記剥離工程で上記吐出面に接している粘着テープの張力が、上記吐出面のX方向断面における等分線Hに対して非対称となる形態を含むことを特徴とする。   The coating head cleaning method of the present invention is a coating head cleaning method that removes the coating liquid adhering to the discharge port of the coating head having a plurality of discharge ports arranged in substantially one row and the discharge surface near the discharge port with an adhesive tape. A pressing step in which the discharge surface of the coating head is pressed against the pressure-sensitive adhesive tape and a pressing member that supports the pressure-sensitive adhesive tape from its non-stick surface, and the pressure-sensitive adhesive tape is brought into contact with the discharge surface; Peeling from the surface, and a step of arranging the discharge ports in the Y direction, the direction perpendicular to the discharge surface in the Z direction, the Y direction and the direction perpendicular to the Z direction in the X direction, In this case, the tension of the adhesive tape that is in contact with the discharge surface in the peeling step includes a form that is asymmetric with respect to the equidistant line H in the X-direction cross section of the discharge surface.

ここで塗布ヘッドとは、塗布装置を構成する塗布ノズルや口金などの部材であって、塗液を吐出するための吐出口を有する部材をいう。また吐出口とは、塗布ヘッドに供給された塗液が被塗布物に向かって吐出される開口をいう。さらに吐出面とは、塗布ヘッド外面のうち吐出口周辺部を含む面、すなわち吐出口が開口する面を指す。また、吐出口近傍とは、吐出口外縁の近傍領域であり、この領域に塗液が残留したまま塗布すると、塗布品位が著しく損なわれる。   Here, the coating head refers to a member having a discharge port for discharging a coating liquid, which is a member such as a coating nozzle or a base constituting the coating apparatus. The discharge port refers to an opening through which the coating liquid supplied to the coating head is discharged toward the object to be coated. Further, the discharge surface refers to a surface including the periphery of the discharge port on the outer surface of the coating head, that is, a surface where the discharge port opens. Further, the vicinity of the discharge port is a region near the outer edge of the discharge port. If the coating liquid remains applied in this region, the coating quality is significantly impaired.

また、吐出面に接している粘着テープの張力とは、吐出面から粘着テープを引き剥がす力をいう。この力によって、吐出面から粘着テープを剥離し塗液を除去することが可能となる。   Moreover, the tension | tensile_strength of the adhesive tape which is in contact with the discharge surface means the force which peels off an adhesive tape from a discharge surface. This force makes it possible to peel the adhesive tape from the discharge surface and remove the coating liquid.

また、吐出面のX方向断面における等分線Hとは、吐出面6のX方向の幅の中心線を表す(例えば、図4参照)。本発明の塗布ヘッド清浄方法によれば、吐出面に接している粘着テープの張力が、吐出面のX方向断面における等分線Hに対して非対称となり、張力の差から粘着テープの剥離開始方向が定められることから、短時間で素早く粘着テープを剥がすことが可能となる。   Further, the equipartition line H in the X-direction cross section of the ejection surface represents the center line of the width of the ejection surface 6 in the X direction (see, for example, FIG. 4). According to the coating head cleaning method of the present invention, the tension of the pressure-sensitive adhesive tape in contact with the discharge surface is asymmetric with respect to the equidistant line H in the X-direction cross section of the discharge surface, Therefore, the adhesive tape can be quickly removed in a short time.

吐出口に付着することとなる塗液としては、例えば、プラズマディスプレイパネル(以下、「PDP」)製造に用いられる蛍光体ペースト、反射層用ペースト、誘電体ペーストまたは電極ペーストが挙げられるが、本発明は、ペースト粘度が10〜100Pa・sの場合に好適であり、20〜70Pa・sの場合により好適である。ペースト粘度が10Pa・s未満であると、塗布していないときに塗布ヘッドからペーストが浸み出し垂れ易く、付着量が増加して拭き残りが発生し易くなる。一方で、100Pa・sより大きいと、高粘度ゆえ吐出が困難となり、塗布速度を上げにくい。なお、ペースト粘度は、ブルックフィールド型の粘度計を用いて、測定温度25℃およびずり速度2.4s−1で測定することができる。 Examples of the coating liquid that adheres to the discharge port include a phosphor paste, a reflective layer paste, a dielectric paste, or an electrode paste used for manufacturing a plasma display panel (hereinafter, “PDP”). The invention is preferable when the paste viscosity is 10 to 100 Pa · s, and more preferable when the paste viscosity is 20 to 70 Pa · s. When the paste viscosity is less than 10 Pa · s, the paste easily oozes out from the application head when it is not applied, and the amount of adhesion increases, and wiping residue tends to occur. On the other hand, if it is greater than 100 Pa · s, it becomes difficult to discharge due to high viscosity, and it is difficult to increase the coating speed. The paste viscosity can be measured using a Brookfield viscometer at a measurement temperature of 25 ° C. and a shear rate of 2.4 s −1 .

さらに本発明は、塗布ヘッドがPDP用蛍光体塗布ヘッドであり、塗液としてPDP用蛍光体ペーストである場合において、特に好適である。一面毎に塗布の開始および終了を行う枚葉方式の塗布では、吐出面の清浄が不十分であったり、拭取り傷が発生したりしていたが、本発明の塗布ヘッド清浄方法であれば吐出面に傷を生じることなく清浄できるので、非常に均一で高品位な塗布面を得ることができる。そこで以下、PDP製造用蛍光体塗布ノズルを用いて、PDP用蛍光体ペーストを塗布する場合の塗布ヘッド清浄方法を例として図面を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   Furthermore, the present invention is particularly suitable when the coating head is a PDP phosphor coating head and the coating liquid is a PDP phosphor paste. In the single-wafer coating method in which the coating is started and finished for each surface, the ejection surface was not sufficiently cleaned or a wiping wound occurred. Since the discharge surface can be cleaned without causing scratches, a very uniform and high-quality coated surface can be obtained. Accordingly, a coating head cleaning method in the case of applying a PDP phosphor paste using a PDP manufacturing phosphor coating nozzle will be described in detail below with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto. It is not a thing.

まず、PDP用蛍光体塗布装置の全体構成の一例について簡単に説明する。   First, an example of the overall configuration of the PDP phosphor coating apparatus will be briefly described.

図5はPDP用蛍光体塗布装置の一例の全体斜視図、図6はその側面図である。   FIG. 5 is an overall perspective view of an example of a PDP phosphor coating apparatus, and FIG. 6 is a side view thereof.

図5に示される装置は基台15の上に一対のX方向ガイドレール16を備えており、このガイドレール16上の案内ガイド17をリニアに走行するように、塗布ヘッドを備えた門型のフレーム(ガントリ)18が設置されている。さらにガイドレール16の間にテーブル19が設置されている。このテーブル19の上面には、基板20が真空吸引によってテーブル19の上面に固定可能となるように、図示しない複数の吸引孔または吸着溝が設けられている。基板20は図示しないリフトピンによってテーブル19上を昇降する。または、基板搬送が可能なコロがテーブル19に内蔵されており、コロの昇降により基板20を昇降させられるものでもよい。一対のガイドレール16には、ガントリ18全体を駆動せしめる駆動系(図示しない)が具備されている。ガントリ18は、これら駆動系により、ガイドレール16上をX軸方向に往復動自在となっている。   The apparatus shown in FIG. 5 is provided with a pair of X-direction guide rails 16 on a base 15, and a portal type with an application head so that the guide guides 17 on the guide rails 16 travel linearly. A frame (gantry) 18 is installed. Further, a table 19 is installed between the guide rails 16. A plurality of suction holes or suction grooves (not shown) are provided on the upper surface of the table 19 so that the substrate 20 can be fixed to the upper surface of the table 19 by vacuum suction. The substrate 20 moves up and down on the table 19 by lift pins (not shown). Alternatively, a roller capable of transporting the substrate may be built in the table 19 and the substrate 20 may be raised and lowered by raising and lowering the roller. The pair of guide rails 16 are provided with a drive system (not shown) that drives the entire gantry 18. The gantry 18 can reciprocate on the guide rail 16 in the X-axis direction by these drive systems.

テーブル19はY方向移動機構22を備えており、X方向と直角方向に動作可能である。また、図示しない回転機構を有しており、テーブル19自体がXY平面内で回転(θ方向)可能な構成である。   The table 19 includes a Y-direction moving mechanism 22 and can operate in a direction perpendicular to the X direction. In addition, a rotation mechanism (not shown) is included, and the table 19 itself can rotate (θ direction) in the XY plane.

ガントリ18には、テーブル19の基板載置面に対して垂直方向に動作可能な1対のZ軸25があり、このZ軸に付随するホルダ23に、塗液を吐出する塗布ヘッド1が取り付けられている。塗布ヘッド1の長手方向は基板20の幅方向に一致するよう配置されている。   The gantry 18 has a pair of Z axes 25 operable in a direction perpendicular to the substrate mounting surface of the table 19, and a coating head 1 for discharging a coating liquid is attached to a holder 23 associated with the Z axis. It has been. The longitudinal direction of the coating head 1 is arranged to coincide with the width direction of the substrate 20.

これらの構成によって、塗布ヘッド1はX軸、Z軸方向に自在に移動させることができる。テーブル19に備えたY方向移動機構22と合わせ、塗布ヘッドとテーブルおよび基板はXYZ3方向への相対移動が可能となる構成である。   With these configurations, the coating head 1 can be freely moved in the X-axis and Z-axis directions. Along with the Y-direction moving mechanism 22 provided in the table 19, the coating head, the table, and the substrate are configured to be relatively movable in the XYZ3 directions.

塗布ヘッド1は、ガントリ18の往復動方向と直交する方向、つまりY軸方向に水平に延びているが、Z軸25の個別操作により、基板20およびテーブル19との平行を保つ事が可能となる。塗布ヘッドの吐出口は単数であっても複数であってもよく、スリット状、円形、楕円形または多角形等、どのような形状であってもよいが、塗布ヘッドがPDP用蛍光体塗布ヘッドである場合は、PDPにおいて1画面に必要な蛍光体ペーストを少なくとも各色につき1回の吐出で塗布できるように、走査方向の画素数に応じた数以上の数(約1000〜4000個程度)の吐出口(円形であれば直径50〜200μm程度、場合によっては楕円形または多角形でもよい)を塗布ヘッドの長手方向に一直線上に配列して備えたものであることが好ましい。吐出口の配列位置は、吐出面6のX方向断面における等分線上に一直線上に配列しても、等分線上から離れた位置に形成してもよい。加工上の制約、塗布時の制約等鑑み、適した位置に配列するのが好ましい。   The coating head 1 extends horizontally in the direction perpendicular to the reciprocating direction of the gantry 18, that is, in the Y-axis direction, but can be kept parallel to the substrate 20 and the table 19 by individual operation of the Z-axis 25. Become. The discharge head of the coating head may be single or plural, and may have any shape such as a slit, a circle, an ellipse, or a polygon, but the coating head is a PDP phosphor coating head. In such a case, the number of the phosphor pastes necessary for one screen in the PDP can be applied by at least one ejection for each color (about 1000 to 4000) according to the number of pixels in the scanning direction. It is preferable that the discharge ports (diameter of about 50 to 200 μm, in some cases may be oval or polygonal) are arranged in a straight line in the longitudinal direction of the coating head. The arrangement positions of the discharge ports may be arranged on a straight line in the X-direction cross section of the discharge surface 6 or may be formed at a position away from the equal line. In view of processing restrictions, application restrictions, etc., it is preferable to arrange them at suitable positions.

基台15上には、塗布ヘッド清浄装置26が有る。塗布ヘッド清浄装置26は、ガイドレール16間に位置するよう設置されており、ガントリ18が塗布ヘッド清浄装置26の位置まで移動し、その位置で塗布ヘッド1の清浄操作を行う。   On the base 15, there is a coating head cleaning device 26. The coating head cleaning device 26 is installed so as to be positioned between the guide rails 16, and the gantry 18 moves to the position of the coating head cleaning device 26 and cleans the coating head 1 at that position.

続いて、本発明の塗布ヘッド清浄を実現するための、塗布ヘッド清浄装置の構成の一例を説明する。図7は塗布ヘッド清浄装置の一実施形態を示した模式図である。   Next, an example of the configuration of the coating head cleaning device for realizing the coating head cleaning of the present invention will be described. FIG. 7 is a schematic view showing an embodiment of a coating head cleaning device.

塗布ヘッド清浄装置26は、粘着テープへの押し当て/剥離動作による清浄を行う転写清浄部100を備えている。転写清浄部100の構成としては、ロール状から巻出された粘着テープを間欠的に供給する巻出し手段と、清浄後の粘着テープをロール状に巻き取る巻取り手段と、粘着テープの張力を制御する手段と、粘着テープの送り量を制御する手段とを有することが好ましい。   The coating head cleaning device 26 includes a transfer cleaning unit 100 that performs cleaning by pressing / peeling to the adhesive tape. The structure of the transfer cleaning unit 100 includes unwinding means for intermittently supplying the adhesive tape unwound from the roll, winding means for winding the cleaned adhesive tape into a roll, and tension of the adhesive tape. It is preferable to have a means for controlling and a means for controlling the feed amount of the adhesive tape.

転写清浄部100では、転写用消耗部材である粘着テープ104を巻出す巻出粘着ロール101と、巻出された粘着テープ104の非粘着面が部分的に接触し、粘着テープ104の粘着面を塗布ヘッドの吐出面へ接圧、すなわち押し当てる弾性体である転写押し当て部材103と、粘着テープ104を巻き取る巻取粘着ロール102を有する。ここで、転写押し当て部材103の設置位置が塗布ヘッド押し当て位置であり、転写押し当て部材103上の粘着テープ104の粘着面へ、塗布ヘッド1の吐出面6を押し当てる。この転写押し当て部材103は、固定の転写押し当て部材芯部105を弾性体106で包み込み、転写時に塗布ヘッド1の吐出面6と接触する部分が円筒または円弧状となっているものを用いるのが好ましい。   In the transfer cleaning unit 100, the unwinding adhesive roll 101 that unwinds the adhesive tape 104 that is a consumable member for transfer and the non-adhesive surface of the unrolled adhesive tape 104 are in partial contact, and the adhesive surface of the adhesive tape 104 is removed. A transfer pressing member 103, which is an elastic body that is pressed against the discharge surface of the coating head, that is, an elastic body, and a winding adhesive roll 102 that winds the adhesive tape 104 are provided. Here, the installation position of the transfer pressing member 103 is the coating head pressing position, and the discharge surface 6 of the coating head 1 is pressed against the adhesive surface of the adhesive tape 104 on the transfer pressing member 103. As this transfer pressing member 103, a member that wraps a fixed transfer pressing member core portion 105 with an elastic body 106 and that is in contact with the ejection surface 6 of the coating head 1 at the time of transfer is cylindrical or arcuate is used. Is preferred.

押し当ては、転写清浄部100をZ方向に昇降駆動させることで行ってもよいが、構成簡略化のため、塗布装置のZ軸を利用し、塗布ヘッド1を昇降させることで行っても良い。弾性体106は適度な硬さを有し、押し当てた際に粘着テープ104とノズルの間で適度な圧力を生じるものが適している。   The pressing may be performed by driving the transfer cleaning unit 100 up and down in the Z direction. However, for simplification of the configuration, it may be performed by moving up and down the coating head 1 using the Z axis of the coating device. . The elastic body 106 is suitable to have an appropriate hardness and generate an appropriate pressure between the adhesive tape 104 and the nozzle when pressed.

押し当て部材の支持部を構成する弾性体として各種材料が使用できるが、ゴムが好ましく、繰り返し押し当てても残留ひずみなどのダメージを受けず、回復が早いゴムがより好ましい。そのようなゴムとしては、例えば、シリコンゴムまたは天然ゴムが挙げられる。また、万一ペーストが付着しても劣化しにくいゴム材質が好ましいが、そのようなゴム材質が選択できない場合は、ゴム表面にカバーフィルムなどを設けてもよい。   Various materials can be used as the elastic body constituting the support portion of the pressing member. However, rubber is preferable, and rubber that does not suffer damage such as residual strain even when repeatedly pressed, and that recovers quickly is more preferable. Examples of such rubber include silicon rubber and natural rubber. In addition, a rubber material that does not easily deteriorate even if a paste is attached is preferable. However, when such a rubber material cannot be selected, a cover film or the like may be provided on the rubber surface.

弾性体として用いるゴムの硬度は、A20〜A60度(JIS K 6253(2006))が好ましく、A30〜A40度がより好ましい。ゴムの硬度がA20度未満であると、押し当て圧力が不足気味になり転写不良が発生し易くなる。一方で、A60度より大きいと、弾性が損なわれ均一な押し当て圧力が得られないのみならず、塗布ヘッドにダメージが発生し易くなる。押し当て部材当接面のゴムの硬度のバラツキは、均一な押し当て圧力を得るため、20度以下が好ましく、10度以下がより好ましい。   The hardness of the rubber used as the elastic body is preferably A20 to A60 degrees (JIS K 6253 (2006)), more preferably A30 to A40 degrees. When the hardness of the rubber is less than A20 degrees, the pressing pressure tends to be insufficient and transfer defects tend to occur. On the other hand, if it is larger than A60 degrees, the elasticity is impaired and a uniform pressing pressure cannot be obtained, and the coating head is liable to be damaged. The variation in the hardness of the rubber on the pressing member contact surface is preferably 20 degrees or less and more preferably 10 degrees or less in order to obtain a uniform pressing pressure.

転写押し当て部材の形状精度は、均一な押し当て圧力を得るため、押し当て部材の塗布ヘッドとの当接面の真直度が1mm以下であることが好ましく、0.5mm以下であれることがより好ましく、0.2mm以下であることがさらに好ましい。また、押し当て部材の当接面の表面粗さは、均一な接圧を得るため、0.2mm以下であることが好ましく、0.1mm以下であることがより好ましい。   As for the shape accuracy of the transfer pressing member, in order to obtain a uniform pressing pressure, the straightness of the contact surface of the pressing member with the coating head is preferably 1 mm or less, and preferably 0.5 mm or less. More preferably, it is more preferably 0.2 mm or less. Further, the surface roughness of the abutting surface of the pressing member is preferably 0.2 mm or less, and more preferably 0.1 mm or less in order to obtain a uniform contact pressure.

弾性体として用いるゴムの厚みは、1〜30mmが好ましく、5〜15mmがより好ましい。ゴムの厚みが1mm未満であると、弾性が損なわれ適度な押し当て圧力が得られない。一方で、30mmより大きいと、不要な材料が多くなる上、装置が大きくなり不経済である。   1-30 mm is preferable and, as for the thickness of the rubber | gum used as an elastic body, 5-15 mm is more preferable. If the rubber thickness is less than 1 mm, the elasticity is impaired and an appropriate pressing pressure cannot be obtained. On the other hand, if it is larger than 30 mm, unnecessary materials increase and the apparatus becomes large, which is uneconomical.

押し当て部材の当接面の断面形状は、平面または凹型では接圧が不十分な部分が発生し易いため、特に重要な吐出面への接圧を確実に行うことができる凸型が好ましく、当接面の形状が円筒の一部であるとより好ましい。つまり、押し当て部材は、X方向における断面が円筒状の弾性体を備えることが好ましい。   The cross-sectional shape of the abutting surface of the pressing member is preferably a convex shape that can surely perform contact pressure on the particularly important discharge surface because a portion where the contact pressure is insufficient is likely to occur in a flat or concave shape, More preferably, the shape of the contact surface is part of a cylinder. That is, the pressing member preferably includes an elastic body having a cylindrical cross section in the X direction.

この場合、円筒の頂部に吐出口を押し当てれば、接圧が略一列に並んだ吐出口近くで開始され、続いて吐出口周辺部へ拡大するため、押し当て時にペーストの広がりが均一化されるので好ましい。つまり、円筒状の弾性体のX方向断面略頂点と、略一列に配列された複数の吐出口とを、粘着テープを介して当接させることが好ましい。   In this case, if the discharge port is pressed against the top of the cylinder, the contact pressure starts near the discharge ports arranged in a line and then expands to the periphery of the discharge port, so that the spread of the paste is made uniform when pressed. Therefore, it is preferable. That is, it is preferable that the substantially vertex of the cross section in the X direction of the cylindrical elastic body is brought into contact with the plurality of discharge ports arranged in a line through the adhesive tape.

また場合によっては、図8に示す様な、断面形状が断面中心に対して非対称である押し当て部材を用いることも好ましい。つまり、押し当て部材のX方向断面形状が、断面中心に対して非対称であることも好ましい。この場合、除去すべきペーストが付着した吐出口近傍の押し当て圧力は上記円筒形状と同様に維持しつつ、押し当て部材を介して吐出面へ密着する粘着テープの様相が、吐出面のX方向断面からみて非対称となり、これにより後工程である剥離工程での剥離方向が吐出面の断面方向となるため、短時間で素早く粘着テープを剥がすことが可能となる。   In some cases, it is also preferable to use a pressing member whose cross-sectional shape is asymmetric with respect to the cross-sectional center as shown in FIG. That is, it is also preferable that the X-direction cross-sectional shape of the pressing member is asymmetric with respect to the cross-sectional center. In this case, the pressure of the pressure-sensitive adhesive tape in close contact with the discharge surface via the pressing member is maintained in the X direction of the discharge surface while maintaining the pressing pressure in the vicinity of the discharge port to which the paste to be removed is adhered in the same manner as the cylindrical shape. As a result of the cross-section being asymmetric, the peeling direction in the peeling step, which is a subsequent process, becomes the cross-sectional direction of the discharge surface, and thus the adhesive tape can be quickly peeled off in a short time.

また場合によっては、図9に示す様な、異なる弾性体硬度を有する押し当て部材を用いることも好ましい。つまり、押し当て部材の弾性体の硬度が、X方向断面中心に対して非対称であることも好ましい。この場合、除去すべきペーストが付着した吐出口近傍の押し当て圧力は硬度一定の押し当て部材と同様に維持しつつ、押し当て部材を介して吐出面へ密着する粘着テープの様相が、吐出面のX方向断面からみて非対称となり、これにより後工程である剥離工程での剥離方向が吐出面の断面方向となるため、短時間で素早く粘着テープを剥がすことが可能となる。   In some cases, it is also preferable to use a pressing member having different elastic body hardness as shown in FIG. That is, it is also preferable that the hardness of the elastic body of the pressing member is asymmetric with respect to the X-direction cross-sectional center. In this case, while maintaining the pressing pressure in the vicinity of the discharge port to which the paste to be removed is adhered in the same manner as the pressing member having a constant hardness, the appearance of the adhesive tape that adheres to the discharging surface through the pressing member is As a result, the pressure-sensitive adhesive tape can be quickly peeled off in a short time because the peeling direction in the peeling process, which is a subsequent process, becomes the cross-sectional direction of the discharge surface.

また、図3に示すような塗布ヘッド1を円筒の頂部からX方向へ離れた位置へ吐出口を押し当てる場合でも、ペーストの広がりはX方向に均一化されるとともに、吐出面への粘着テープの貼付状態が吐出面のX方向断面からみた等分線Hに対して非対称となり、後工程である粘着テープ剥離工程での剥離方向が吐出面の断面方向となるため好ましい。つまり、等分線Hと弾性体のX方向断面略頂点とが、X方向において一致していないことも好ましい。この場合、等分線Hと弾性体のX方向断面略頂点とが、X方向において1mm以上離れていることがより好ましい。   Further, even when the ejection head 1 is pressed against the position away from the top of the cylinder in the X direction as shown in FIG. 3, the spread of the paste is made uniform in the X direction and the adhesive tape to the ejection surface Is asymmetric with respect to the equipartition line H seen from the X-direction cross section of the discharge surface, and the peeling direction in the subsequent adhesive tape peeling step is preferably the cross-sectional direction of the discharge surface. That is, it is also preferable that the equipartition line H and the substantially vertex in the X direction cross section of the elastic body do not coincide with each other in the X direction. In this case, it is more preferable that the equidistant line H and the approximate vertex of the X-direction cross section of the elastic body are separated by 1 mm or more in the X direction.

また、当接面の形状が円筒の一部であれば当接面の加工が容易になり、結果として真直度が向上するので好ましい。   In addition, it is preferable that the shape of the contact surface is a part of a cylinder because the processing of the contact surface is facilitated, and as a result, the straightness is improved.

円筒の直径は、10〜1000mmが好ましく、20〜100mmがより好ましい。円筒の直径が10mm未満であると、吐出面に均等適切な圧力がかからなくなる。一方で、1000mmより大きいと、凸型の効果が薄れ、押し当て圧力不足の部分が発生し易くなる。   The diameter of the cylinder is preferably 10 to 1000 mm, and more preferably 20 to 100 mm. When the diameter of the cylinder is less than 10 mm, an appropriate pressure is not uniformly applied to the discharge surface. On the other hand, if it is larger than 1000 mm, the convex effect is weakened, and a portion with insufficient pressing pressure tends to occur.

押し当て圧力は、0.01〜1MPaが好ましく、0.05〜0.3MPaがより好ましい。押し当て圧力が0.01MPa未満であると、ペーストの転写が不均一となる。一方で、1MPaより大きいと、接圧機構に多大な負荷が発生し、かつ塗布ヘッドにもダメージが発生し易くなる。押し当て圧力の測定には、例えば富士写真フィルム社製感圧シート(商品名プレスケール)等が用いられる。または、接圧センサを押し当て部材に組み合わせて設置し、押し当て圧力の計測結果を接圧動作のコントローラにフィードバックすることで均一な押し当て圧力を得られるようにしてもよい。   The pressing pressure is preferably 0.01 to 1 MPa, and more preferably 0.05 to 0.3 MPa. When the pressing pressure is less than 0.01 MPa, the transfer of the paste becomes non-uniform. On the other hand, when the pressure is larger than 1 MPa, a great load is generated on the contact pressure mechanism, and the coating head is easily damaged. For the measurement of the pressing pressure, for example, a pressure sensitive sheet (trade name: Prescale) manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd. is used. Alternatively, a contact pressure sensor may be installed in combination with the pressing member, and the measurement result of the pressing pressure may be fed back to the controller for the contact pressure operation to obtain a uniform pressing pressure.

このような押し当て圧力は、特に塗布ヘッドの転写押し当て部材への押し込み量が0mm〜5mmとなる場合に好適に実現できる。当該押し込み量が5mmより大きくなると、塗布ヘッドにダメージが発生し易く、接圧機構にも多大な負荷が発生する。   Such a pressing pressure can be suitably realized particularly when the pressing amount of the coating head to the transfer pressing member is 0 mm to 5 mm. When the pressing amount is larger than 5 mm, the coating head is liable to be damaged, and a great load is generated on the contact mechanism.

巻出粘着ロール101と巻取粘着ロール102とは、図示しない駆動伝達機構を介して、巻出モーター109および巻取モーター110によって駆動され、粘着テープ104の巻出しおよび巻き取りが行なわれる。巻出粘着ロール101からの粘着テープ104の転写清浄1回毎の巻出し量は、拭取り回数を多くできるよう粘着テープの使用量を節約して設定することが好ましい。例えば塗布ヘッドの吐出面幅が4〜16mmである場合は、2〜8mmとすることが望ましい。巻出し量は、例えば図示しないロール径検知センサで巻取粘着ロール102の直径を測定し、直径から算出される巻取粘着ロール102の駆動速度および駆動時間によって制御されることが望ましい。また、転写押し当て部材103上で、粘着テープ104にしわが発生しないように、常に粘着テープ104に張力を付加した状態とする。そのために、(i)ブレーキ力を生じるように巻出モーター109をトルク制御しながら、巻取粘着ロール102で粘着テープ104を巻き取る、(ii)粘着テープ104の巻出し以外の停止時には、巻出モーター109によって粘着テープ104に張力を付加する、ことが好ましい。   The unwinding adhesive roll 101 and the winding adhesive roll 102 are driven by an unwinding motor 109 and a winding motor 110 via a drive transmission mechanism (not shown), and unwinding and winding of the adhesive tape 104 are performed. It is preferable to set the unwinding amount for each transfer cleaning of the adhesive tape 104 from the unwinding adhesive roll 101 while saving the amount of the adhesive tape used so that the number of wiping operations can be increased. For example, when the discharge surface width of the coating head is 4 to 16 mm, it is preferably 2 to 8 mm. The unwinding amount is desirably controlled by, for example, measuring the diameter of the winding adhesive roll 102 with a roll diameter detection sensor (not shown), and driving speed and driving time of the winding adhesive roll 102 calculated from the diameter. Further, the tension is always applied to the adhesive tape 104 so that the adhesive tape 104 is not wrinkled on the transfer pressing member 103. Therefore, (i) winding the adhesive tape 104 with the winding adhesive roll 102 while controlling the torque of the unwinding motor 109 so as to generate a braking force. (Ii) When stopping other than unwinding the adhesive tape 104, It is preferable to apply tension to the adhesive tape 104 by the take-out motor 109.

本発明の塗布ヘッド清浄方法に用いる粘着テープは、塗液の種類や付着量に応じて適宜選択すればよいが、基材と粘着剤層とからなる構成であることが好ましく、粘着剤層が溶剤吸収性の粘着剤からなることがより好ましい。これは、粘着剤がペーストまたはペースト溶剤を吸収することでペーストの流動性が低下(固化)し、剥離転写しやすくなるためである。このためには、粘着剤の溶解度パラメータがペーストまたはペースト溶剤のそれと近い値であるのが好ましい。   The pressure-sensitive adhesive tape used in the coating head cleaning method of the present invention may be appropriately selected according to the type of coating liquid and the amount of adhesion, but is preferably composed of a substrate and a pressure-sensitive adhesive layer. More preferably, it consists of a solvent-absorbing adhesive. This is because when the adhesive absorbs the paste or paste solvent, the fluidity of the paste decreases (solidifies), and it becomes easy to peel and transfer. For this purpose, the solubility parameter of the pressure-sensitive adhesive is preferably close to that of the paste or paste solvent.

粘着テープの溶媒吸収能力は、面積1mあたり10mL以上であることが好ましく、20mL以上であることがより好ましい。溶媒吸収能力が面積1mあたり10mL未満であると、溶媒吸収残りが生じ易い。ここで粘着テープの溶媒吸収能力とは、粘着テープを塗液を構成する溶媒中に1分間浸漬し、吸収により増加した重量から算出した値をいう。 The solvent absorption capacity of the adhesive tape is preferably 10 mL or more, more preferably 20 mL or more per 1 m 2 area. When the solvent absorption capacity is less than 10 mL per 1 m 2 , the solvent absorption residue tends to occur. Here, the solvent absorption capacity of the pressure-sensitive adhesive tape refers to a value calculated from the weight increased by absorption after the pressure-sensitive adhesive tape is immersed in the solvent constituting the coating liquid for 1 minute.

粘着テープの溶媒吸収速度は、面積1mあたり1mL/秒以上であることが好ましく、3mL/秒以上であることがより好ましい。溶媒吸収速度が面積1mあたり1mL/秒未満であると、ペースト溶媒吸収に時間がかかりすぎ、清浄にかかる時間が長くなる傾向がある。ここで粘着テープの溶媒吸収速度とは、粘着テープを塗液を構成する溶媒中に5秒間浸漬し、吸収により増加した重量を単位面積あたり、単位時間あたりで割返すことにより算出した値をいう。 The solvent absorption rate of the pressure-sensitive adhesive tape is preferably 1 mL / second or more, more preferably 3 mL / second or more per 1 m 2 of area. If the solvent absorption rate is less than 1 mL / second per area of 1 m 2 , paste solvent absorption takes too much time and the time required for cleaning tends to increase. Here, the solvent absorption rate of the pressure-sensitive adhesive tape refers to a value calculated by immersing the pressure-sensitive adhesive tape in a solvent constituting the coating solution for 5 seconds, and then reverting the weight increased by absorption per unit area per unit time. .

粘着テープの粘着力は、20mm幅あたり0.5〜4.0Nであることが好ましく、2.0〜3.0Nであることがより好ましい。20mm幅あたりの粘着力が0.5N未満であると、吐出面に残ったペースト中の溶媒を吸収した後に残る固化物を除去しきれなくなる傾向がある。一方で、4.0Nより大きいと、粘着テープ剥離に時間がかかり、粘着剤層が粘着テープの基材から剥離する傾向がある。なお、粘着テープの粘着力とは、JIS Z 0237(2000)に準拠した方法で、厚さ25μmのPETフィルムと粘着テープとを貼り合わせ、23℃、引張速度300mm/minで180°方向に引きはがして測定した値をいう。なお、粘着テープは、溶剤吸収後でも粘着力を有することが重要である。   The adhesive strength of the adhesive tape is preferably 0.5 to 4.0 N per 20 mm width, and more preferably 2.0 to 3.0 N. If the adhesive force per 20 mm width is less than 0.5 N, the solidified product remaining after absorbing the solvent in the paste remaining on the ejection surface tends to be unable to be removed. On the other hand, when it is larger than 4.0 N, it takes time to peel off the pressure-sensitive adhesive tape, and the pressure-sensitive adhesive layer tends to peel from the base material of the pressure-sensitive adhesive tape. The adhesive strength of the adhesive tape is a method based on JIS Z 0237 (2000), and a 25 μm thick PET film and an adhesive tape are bonded together and pulled in the 180 ° direction at 23 ° C. and a pulling speed of 300 mm / min. The value measured after peeling. In addition, it is important that an adhesive tape has adhesive force even after solvent absorption.

粘着テープの粘着剤層の厚みは、0.005〜0.3mmが好ましく、0.01〜0.15mmがより好ましい。粘着剤層の厚みが0.005mm未満であると、ペースト中の溶媒を吸収しきれない傾向がある。一方で、0.3mmより大きいと、粘着テープが厚いため巻き長さが短くなり、粘着テープ使用時間が短くなり、ロール交換が頻繁になる傾向がある。   The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive tape is preferably 0.005 to 0.3 mm, and more preferably 0.01 to 0.15 mm. There exists a tendency which cannot fully absorb the solvent in a paste as the thickness of an adhesive layer is less than 0.005 mm. On the other hand, if the thickness is larger than 0.3 mm, the winding length is shortened because the adhesive tape is thick, the usage time of the adhesive tape is shortened, and roll replacement tends to be frequent.

塗布ヘッドの吐出面へ接圧する前の粘着テープの張力としては、10〜1000N/mが好ましく、30〜200N/mがより好ましい。張力が10N/m未満であると、粘着テープの搬送が不安定になり、蛇行やシワが発生する。一方で、1000N/mより大きいと、高張力をかけるための駆動設備が大型化したり、装置負荷が増大する。30〜200N/mであればより好ましい。   The tension of the pressure-sensitive adhesive tape before contact with the ejection surface of the coating head is preferably 10 to 1000 N / m, more preferably 30 to 200 N / m. When the tension is less than 10 N / m, the conveyance of the adhesive tape becomes unstable, and meandering and wrinkling occur. On the other hand, if it is larger than 1000 N / m, the driving equipment for applying high tension becomes large or the load on the apparatus increases. More preferably, it is 30 to 200 N / m.

塗布ヘッド清浄装置には、公知の各種シワ伸ばし手段を設置するほか、特に粘着テープには帯電を防止する手段を設置することが好ましいが、放電を防止し易くし、ゴミの吸着を防止し易くするため、粘着テープの帯電量は10kV以下が好ましく、1kV以下がより好ましい。   In addition to the installation of various known wrinkle-stretching means in the coating head cleaning device, it is preferable to install means for preventing charging, particularly in the adhesive tape, but it is easy to prevent discharge and to prevent adsorption of dust. Therefore, the charge amount of the adhesive tape is preferably 10 kV or less, and more preferably 1 kV or less.

本発明の塗布ヘッド清浄方法では、図7に示すように転写清浄部100が着脱可能なカセット式であることが好ましい。カセット式の場合は、使い終わった粘着ロールの交換といった作業を効率よく行える。また、予備カセットを準備しておけば、カセット入れ替えでロール交換作業が完了となるため、より短時間でロール交換を行うことが可能となる。   In the coating head cleaning method of the present invention, it is preferable that the transfer cleaning unit 100 be a detachable cassette type as shown in FIG. In the case of the cassette type, it is possible to efficiently perform work such as replacement of a sticky roll that has been used. In addition, if a spare cassette is prepared, the roll replacement operation is completed by replacing the cassette, so that the roll can be replaced in a shorter time.

図10、図11および図12には、本発明の塗布ヘッド清浄方法における塗布ヘッド等の動作態様例を示している。以下順に説明する。   FIG. 10, FIG. 11 and FIG. 12 show examples of operation modes of the coating head and the like in the coating head cleaning method of the present invention. This will be described in order below.

図10は、本発明の塗布ヘッド清浄方法を表す第1の実施形態である。(a)塗布後、吐出口周りにペーストが付着した状態の吐出面を、(b)粘着テープへ押し当て適宜時間保持した後、(c)吐出面から粘着テープが剥離しない高さまで塗布ヘッドをZ方向に上昇させる。繰り返すが、この時点で吐出面から粘着テープが剥離してはいない。その後(d)塗布ヘッドをX方向に移動させる、一実施態様である。なお、上記(c)において、塗布ヘッドをZ方向に上昇させるのに代えて、転写押し当て部材103を含む塗布ヘッド清浄装置26をZ方向に下降させてもよいし、上記(d)において、塗布ヘッドをX方向に移動させるのに代えて、塗布ヘッド清浄装置26をX方向に移動させてもよい。こうすることにより、吐出面から粘着テープを素早く剥離することが可能となり、清浄性が向上して好ましい。つまり、上記(c)および(d)に対応する剥離工程で、塗布ヘッドまたは塗布ヘッド清浄装置をZ方向に移動させた後に、X方向に相対移動させることが好ましい。   FIG. 10 is a first embodiment showing the coating head cleaning method of the present invention. (A) After application, the discharge surface with the paste adhering around the discharge port is pressed against (b) the adhesive tape and held for an appropriate period of time, and (c) the application head is moved to a height at which the adhesive tape does not peel from the discharge surface. Raise in the Z direction. Again, at this point in time, the adhesive tape has not peeled from the discharge surface. Thereafter, (d) an application head is moved in the X direction. In (c), instead of raising the coating head in the Z direction, the coating head cleaning device 26 including the transfer pressing member 103 may be lowered in the Z direction. In (d), Instead of moving the coating head in the X direction, the coating head cleaning device 26 may be moved in the X direction. By doing so, it is possible to quickly peel the adhesive tape from the discharge surface, which is preferable because it improves cleanliness. That is, it is preferable to move the coating head or the coating head cleaning device relative to the X direction after moving the coating head or the coating head cleaning device in the peeling direction corresponding to the above (c) and (d).

本発明の塗布ヘッド清浄方法において、粘着テープが吐出面から剥がれる模式図を図14に示す。図14では、吐出面に接している粘着テープ104を引き剥がそうとする張力が、吐出面のX方向断面における等分線Hに対して非対称となり、粘着テープを剥がす向きが吐出面のX方向向きの挙動となる。吐出面のX方向は幅が狭いため、これによって吐出面から粘着テープを安定してより素早く剥離することが可能となるため好ましい。   In the coating head cleaning method of the present invention, FIG. 14 shows a schematic diagram in which the adhesive tape is peeled off from the ejection surface. In FIG. 14, the tension to peel off the adhesive tape 104 in contact with the discharge surface is asymmetric with respect to the equidistant line H in the X-direction cross section of the discharge surface, and the direction of peeling the adhesive tape is the X direction of the discharge surface. It becomes the behavior of the direction. Since the width of the discharge surface in the X direction is narrow, it is preferable because this makes it possible to stably and more quickly peel the adhesive tape from the discharge surface.

塗布ヘッドのZ方向への上昇移動距離は、(i)押し当て部材と塗布ヘッド吐出面間の押し当て圧力が0MPaになること、(ii)その後のX方向移動に支障がなきこと(物理的干渉など)、(iii)粘着テープが吐出面から剥離しないこと、を少なくとも満たす距離であれば、状況に応じて適宜設定するのが好ましい。   The upward movement distance of the coating head in the Z direction is (i) that the pressing pressure between the pressing member and the coating head discharge surface is 0 MPa, and (ii) that there is no hindrance to the subsequent movement in the X direction (physical If the distance satisfies at least the conditions such as interference) and (iii) that the adhesive tape does not peel from the discharge surface, it is preferably set as appropriate according to the situation.

塗布ヘッドのZ方向への移動は、粘着テープが吐出面から剥離しない僅かな距離の移動であるため、少なくとも10mm/s以上の速度であれば充分である。   The movement of the coating head in the Z direction is a slight distance movement in which the adhesive tape does not peel from the ejection surface, so that a speed of at least 10 mm / s or more is sufficient.

塗布ヘッドのX方向への移動は、粘着テープを素早く引き剥がすため少なくとも10mm/s以上の速度で、50mm/s^以上の加速度で動作するのが好ましい。 The movement of the coating head in the X direction is preferably performed at a speed of at least 10 mm / s and an acceleration of 50 mm / s ^ 2 or more in order to quickly peel off the adhesive tape.

図11は、本発明の塗布ヘッド清浄方法を表す第2の実施形態である。図10同様、(a)塗布後吐出口周りにペーストが付着した状態の吐出面を、(b)粘着テープへ押し当て適宜時間保持した後、(c)および(d)に示す通り塗布ヘッドをZ方向へ上昇させると同時にX方向へも移動させる一実施態様である。これにより、第1の実施態様と同じく、吐出面から粘着テープを素早く剥離することが可能となり、清浄性が向上して好ましい。つまり、上記(c)および(d)に対応する剥離工程で、塗布ヘッドまたは塗布ヘッド清浄装置をZ方向およびX方向に同時に移動させることが好ましい。X方向、Z方向への移動速度は、いずれも10mm/s以上、加速度50mm/s^であることが好ましい。 FIG. 11 is a second embodiment showing the coating head cleaning method of the present invention. As in FIG. 10, (a) the discharge surface with the paste attached around the discharge port after application is pressed against (b) the adhesive tape and held for an appropriate period of time, and then the application head is placed as shown in (c) and (d). This is one embodiment in which it is raised in the Z direction and simultaneously moved in the X direction. Thereby, like the first embodiment, it is possible to quickly peel the adhesive tape from the discharge surface, which is preferable because it improves cleanliness. That is, it is preferable to simultaneously move the coating head or the coating head cleaning device in the Z direction and the X direction in the peeling step corresponding to the above (c) and (d). The moving speeds in the X direction and the Z direction are preferably 10 mm / s or more and acceleration 50 mm / s ^ 2 .

図12は、本発明の塗布ヘッド清浄方法を示す第3の実施形態である。(a)塗布後吐出口周りにペーストが付着した状態の吐出面を、(b)粘着テープへ押し当てるが、吐出面のX方向中心と円筒状断面を有する押し当て部材の略頂点をずらして押し当てるものである。こうすることにより、吐出面への粘着テープの密着状態が吐出面のX方向中心で左右不均一となる。そして(c)および(d)に示すとおり、その後Z方向へ塗布ヘッドを移動させる一実施態様である。これにより、吐出面に貼り付いた粘着テープはZ方向移動時にX方向断面から見て左右で張力差が生じ、図14に示すようなX方向への粘着テープ剥離挙動となり、素早い剥離が可能となるため好ましい。   FIG. 12 is a third embodiment showing the coating head cleaning method of the present invention. (a) The discharge surface with the paste around the discharge port after application is pressed against (b) the adhesive tape, but the center of the discharge surface in the X direction is shifted from the approximate apex of the pressing member having a cylindrical cross section. It is what you press. By doing so, the adhesive state of the adhesive tape to the ejection surface becomes non-uniform at the center in the X direction of the ejection surface. And as shown in (c) and (d), it is one embodiment which moves a coating head to a Z direction after that. As a result, the adhesive tape attached to the discharge surface has a difference in tension between the left and right when viewed from the X-direction cross section when moving in the Z direction, resulting in an adhesive tape peeling behavior in the X direction as shown in FIG. Therefore, it is preferable.

上記に挙げた各動作について、使用する塗液の性状等鑑み適宜選択できるよう、通常動作シーケンスとして塗布装置の制御系に予めプログラミングしておく事が好ましい。   About each operation | movement mentioned above, it is preferable to program in the control system of a coating device beforehand as a normal operation sequence so that it can select suitably in view of the property etc. of the coating liquid to be used.

以下にPDP用蛍光体塗布ヘッドの清浄の一例を実施例および比較例を挙げて詳細に説明するが、本発明はこれら限定されるものではない。   Hereinafter, an example of cleaning the phosphor coating head for PDP will be described in detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited thereto.

塗液として、赤(R)、青(B)、緑(G)の蛍光体ペーストを用いた。それぞれの粘度はR蛍光体ペースト:52Pa・s、B蛍光体ペースト:39Pa・s、G蛍光体ペースト:40Pa・sであった。   As the coating liquid, phosphor pastes of red (R), blue (B), and green (G) were used. The respective viscosities were R phosphor paste: 52 Pa · s, B phosphor paste: 39 Pa · s, and G phosphor paste: 40 Pa · s.

(塗布装置および清浄装置の構成)
該蛍光体ペーストを塗布する塗布ヘッドは、孔径100μmの吐出口を塗布ヘッドの長手方向に1920個配列して有し、吐出面のX方向断面における等分線上に吐出口を配列したものを用いた(図3参照)。該塗布ヘッドを用いて、その内部に空気によって200〜1000kPaの圧力をかけ、基板とのクリアランスを200μmにとり、基板に対する進行速度を20〜200mm/sの範囲内で変化させて蛍光体ペーストを吐出し、所定の隔壁間に蛍光体ペーストを塗布した。塗布する基板は42インチサイズを用いた。
(Configuration of coating device and cleaning device)
The coating head for applying the phosphor paste has 1920 discharge ports with a hole diameter of 100 μm arranged in the longitudinal direction of the coating head, and the discharge ports are arranged on the equipartition line in the X-direction section of the discharge surface. (See FIG. 3). Using this coating head, a pressure of 200 to 1000 kPa is applied to the inside by air, the clearance with the substrate is set to 200 μm, and the traveling speed with respect to the substrate is changed within the range of 20 to 200 mm / s to discharge the phosphor paste. Then, a phosphor paste was applied between predetermined barrier ribs. The substrate to be applied was a 42 inch size.

塗布ヘッドを用いて塗布する塗布装置としては、XYZθ4軸を有するステージと、XYZθ4軸を制御駆動させる制御部、塗布装置と清浄装置との動作をあらかじめ定めたプログラムにて制御動作させる記憶制御部などから構成される塗布装置を用いた。   Examples of the coating apparatus that applies using the coating head include a stage having an XYZθ4 axis, a control unit that controls and drives the XYZθ4 axis, and a storage control unit that controls the operation of the coating apparatus and the cleaning apparatus using a predetermined program. The coating apparatus comprised from this was used.

清浄装置には、粘着テープを用いた転写清浄部を備える清浄装置を用いた。なおこの清浄装置は、交換可能なカセット式になっているものを用いた。   As the cleaning device, a cleaning device including a transfer cleaning portion using an adhesive tape was used. This cleaning device used was a replaceable cassette type.

粘着テープとしては、エレップ(登録商標;日東電工株式会社製)を用いた。   As the adhesive tape, ELEP (registered trademark; manufactured by Nitto Denko Corporation) was used.

(実施例1)
塗布ヘッドに蛍光体ペーストを充填して、所定の隔壁間に塗布した。その後、粘着テープをロール状にしたものを使用して、吐出口および吐出面に蛍光体ペーストが付着した塗布ヘッドの清浄を行なった。転写押し当て部材として、ゴムロール(直径60mm、ゴム硬度A30、ゴム厚み10mm)を塗布ヘッドの吐出面に対向するように設置し、円筒の略頂点が吐出口の配列位置と一致する位置で押し当て動作を実施した。
Example 1
The coating head was filled with phosphor paste and applied between predetermined partitions. Thereafter, a roll of adhesive tape was used to clean the application head in which the phosphor paste adhered to the discharge port and the discharge surface. As a transfer pressing member, a rubber roll (diameter 60 mm, rubber hardness A30, rubber thickness 10 mm) is installed so as to face the discharge surface of the coating head, and pressed at a position where the approximate vertex of the cylinder coincides with the arrangement position of the discharge ports. The operation was carried out.

本実施例では、押し当て工程と剥離工程とを、図10に示す模式図の形態を用いて行った。粘着テープには4kg/mの張力を付与しておいた。次いで粘着テープの粘着剤層を塗布後の塗布ヘッドの吐出口および吐出面に接触させ、塗布ヘッドの吐出面を押し当て部材に2mm押し込んで4秒間保持した後、塗布ヘッドを転写押し当て部材から離間する方向に4mm移動させた後(この際には、粘着テープはまだ吐出面に密着していた)、塗布ヘッドをX方向に200mm/sで30mm移動させて粘着テープの粘着面を吐出面から素早く引き剥がした。この清浄方法により、吐出面、吐出口周りのペーストは除去された。   In this example, the pressing step and the peeling step were performed using the form of the schematic diagram shown in FIG. A tension of 4 kg / m was applied to the adhesive tape. Next, the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive tape is brought into contact with the discharge port and the discharge surface of the coating head after application, the discharge surface of the coating head is pressed into the pressing member by 2 mm and held for 4 seconds, and then the coating head is removed from the transfer pressing member. After moving 4 mm in the direction of separation (in this case, the adhesive tape was still in close contact with the ejection surface), the coating head was moved 30 mm in the X direction at 200 mm / s to remove the adhesive surface of the adhesive tape. I peeled off quickly. By this cleaning method, the paste around the discharge surface and the discharge port was removed.

この清浄方法を行いながら500枚の基板へ塗布を行ったが、塗布欠点の発生といった品質の低下なく塗布することができた。   While this cleaning method was applied to 500 substrates, the coating could be applied without any deterioration in quality such as the occurrence of coating defects.

(実施例2)
本実施例では、剥離工程は図11に示す模式図の形態を用い、その他は実施例1に挙げた清浄方法を用いて行った。剥離工程は、塗布ヘッドを転写押し当て部材から離間する方向に50mm/sで20mm移動させると同時にX方向にも200mm/sで50mm移動させて粘着テープの粘着面を吐出面から素早く引き剥がした。この清浄方法により、吐出面、吐出口周りのペーストは除去された。
(Example 2)
In this example, the peeling process was performed using the form of the schematic diagram shown in FIG. 11, and the others were performed using the cleaning method described in Example 1. In the peeling step, the coating head is moved 20 mm at 50 mm / s in a direction away from the transfer pressing member, and at the same time, it is also moved 50 mm at 200 mm / s in the X direction to quickly peel off the adhesive surface of the adhesive tape from the ejection surface. . By this cleaning method, the paste around the discharge surface and the discharge port was removed.

この清浄方法を行いながら500枚の基板へ塗布を行ったが、塗布欠点の発生といった品質の低下なく塗布することができた。   While this cleaning method was applied to 500 substrates, the coating could be applied without any deterioration in quality such as the occurrence of coating defects.

(実施例3)
本実施例では、押し当て工程と剥離工程は図12に示す模式図の形態を用い、その他は実施例1に挙げた清浄方法を用いて行った。押し当て工程は、転写押し当て部材としてのゴムロール円筒の略頂点と、吐出面のX方向断面における等分線(本実施例では吐出口の配列方向位置)とを4mm離した位置で押し当て動作を実施した。剥離工程は、塗布ヘッドを転写押し当て部材から離間する方向に50mm/sで移動させて、粘着テープの粘着面を吐出面から素早く引き剥がした。この清浄方法により、吐出面、吐出口周りのペーストは除去された。
(Example 3)
In this example, the pressing step and the peeling step were performed using the form of the schematic diagram shown in FIG. 12, and the others were performed using the cleaning method described in Example 1. In the pressing process, the pressing operation is performed at a position where the approximate vertex of the rubber roll cylinder as the transfer pressing member is separated from the equipartition line in the X-direction cross section of the discharge surface (position in the arrangement direction of the discharge ports in this embodiment) by 4 mm. Carried out. In the peeling step, the coating head was moved at a speed of 50 mm / s in a direction away from the transfer pressing member, and the pressure-sensitive adhesive surface of the pressure-sensitive adhesive tape was quickly peeled off from the discharge surface. By this cleaning method, the paste around the discharge surface and the discharge port was removed.

この清浄方法を行いながら500枚の基板へ塗布を行ったが、塗布欠点の発生といった品質の低下なく塗布することができた。   While this cleaning method was applied to 500 substrates, the coating could be applied without any deterioration in quality such as the occurrence of coating defects.

(実施例4)
本実施例では、転写押し当て部材に図8の様に段差を有する部材を用い、押し当て工程と剥離工程は押し当て部材と吐出面のX方向断面中心が略一致する位置で押し当て動作(図13に示す模式図の形態)を適用し、その他は実施例3に挙げた清浄方法を用いた。この清浄方法により、吐出面、吐出口周りのペーストは除去された。
Example 4
In this embodiment, a member having a step as shown in FIG. 8 is used as the transfer pressing member, and the pressing step and the peeling step are performed at the position where the center of the X direction cross section of the pressing member and the discharge surface substantially coincide ( The cleaning method described in Example 3 was used except for the application of the schematic diagram shown in FIG. By this cleaning method, the paste around the discharge surface and the discharge port was removed.

この清浄方法を行いながら500枚の基板へ塗布を行ったが、塗布欠点の発生といった品質の低下なく塗布することができた。   While this cleaning method was applied to 500 substrates, the coating could be applied without any deterioration in quality such as the occurrence of coating defects.

(実施例5)
本実施例では、転写押し当て部材に図9のものを用いた以外は、実施例4と同じ清浄方法を用いた。この清浄方法により、吐出面、吐出口周りのペーストは除去された。
(Example 5)
In this example, the same cleaning method as that of Example 4 was used except that the transfer pressing member shown in FIG. 9 was used. By this cleaning method, the paste around the discharge surface and the discharge port was removed.

この清浄方法を行いながら500枚の基板へ塗布を行ったが、塗布欠点の発生といった品質の低下なく塗布することができた。   While this cleaning method was applied to 500 substrates, the coating could be applied without any deterioration in quality such as the occurrence of coating defects.

(比較例1)
本比較例では、図13に示す動作を用いる他は、実施例1と同じ清浄方法を用いた。この清浄方法により、吐出面および吐出口周りのペーストを除去しつつ基板へ500枚塗布した。
(Comparative Example 1)
In this comparative example, the same cleaning method as in Example 1 was used except that the operation shown in FIG. 13 was used. By this cleaning method, 500 sheets were applied to the substrate while removing the paste around the discharge surface and the discharge port.

その結果、32枚に塗布欠点が発生しており、それは清浄不良が起因と考えられる塗布開始部の異常であったため、この後塗布をしながら適宜清浄実施後の吐出面の確認を行ったところ、吐出面にわずかながら拭き残りのペーストがある場合が散見された。これが塗布開始部の異常原因と考えられるため、この清浄方法を用いた塗布は中断した。   As a result, a coating defect occurred on 32 sheets, and it was an abnormality of the coating start part considered to be caused by poor cleaning. In some cases, there was a slight amount of paste left on the discharge surface. Since this is considered to be the cause of the abnormality in the application start part, application using this cleaning method was interrupted.

本発明は、プラズマディスプレイや液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの製造に好適である。本発明は固体粒子を高濃度で含む高粘度ペーストへの適用が好適であるが、インクジェットなどの塗液に対しても適用することができる。   The present invention is suitable for manufacturing flat panel displays such as plasma displays and liquid crystal displays. The present invention is preferably applied to a high-viscosity paste containing solid particles at a high concentration, but can also be applied to a coating liquid such as an ink jet.

1 塗布ヘッド
2 蛍光体ペースト
3 基板
4 加圧配管
5 吐出口
6 吐出面
7 吐出される蛍光体ペースト
8 残留ペースト
15 基台
16 ガイドレール
17 案内ガイド
18 門型フレーム(ガントリ)
19 テーブル
20 基板
21 スライド脚
22 Y方向移動機構
23 ホルダ
24 隔壁
25 Z軸
26 塗布ヘッド清浄装置
100 転写清浄部
101 巻出粘着ロール
102 巻取粘着ロール
103 転写押し当て部材
104 粘着テープ
105 転写押し当て部材芯部
106 弾性体
107 転写押し当て部材支持部
109 巻出モーター
110 巻取モーター
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Coating head 2 Phosphor paste 3 Substrate 4 Pressurized piping 5 Discharge port 6 Discharge surface 7 Phosphor paste 8 discharged Residual paste 15 Base 16 Guide rail 17 Guide guide 18 Portal frame (gantry)
19 Table 20 Substrate 21 Slide leg 22 Y-direction moving mechanism 23 Holder 24 Partition 25 Z-axis 26 Coating head cleaning device 100 Transfer cleaning unit 101 Unwinding adhesive roll 102 Winding adhesive roll 103 Transfer pressing member 104 Adhesive tape 105 Transfer pressing Member core portion 106 Elastic body 107 Transfer pressing member support portion 109 Unwinding motor 110 Rewinding motor

Claims (10)

略一列に配置された複数の吐出口を有する塗布ヘッドの吐出口および吐出口近傍の吐出面に付着した塗液を粘着テープで除去する塗布ヘッド清浄方法であり、
前記塗布ヘッドの吐出面を前記粘着テープとその非粘着面からテープを支持する押し当て部材に押し当てて前記粘着テープを吐出面に接圧する押し当て工程と、
前記粘着テープを、前記吐出面から剥離する、剥離工程と、を備え、
前記吐出口の配列方向をY方向、前記吐出面に垂直な方向をZ方向、前記Y方向および前記Z方向に対して垂直な方向をX方向、とした場合において、
前記剥離工程で前記吐出面に接している粘着テープの張力が、前記吐出面のX方向断面における等分線Hに対して非対称となる形態を含むことを特徴とする、塗布ヘッド清浄方法。
It is a coating head cleaning method for removing the coating liquid adhering to the discharge port of the coating head having a plurality of discharge ports arranged in a substantially line and the discharge surface near the discharge port with an adhesive tape,
A pressing step of pressing the pressure-sensitive adhesive tape against the discharge surface by pressing the discharge surface of the coating head against the pressure-sensitive adhesive tape and a pressing member that supports the tape from the non-stick surface;
A peeling step for peeling the adhesive tape from the discharge surface,
In the case where the arrangement direction of the discharge ports is the Y direction, the direction perpendicular to the discharge surface is the Z direction, and the direction perpendicular to the Y direction and the Z direction is the X direction,
The coating head cleaning method characterized by including the form from which the tension | tensile_strength of the adhesive tape which is in contact with the said discharge surface at the said peeling process becomes asymmetric with respect to the equidistant line H in the X direction cross section of the said discharge surface.
前記剥離工程で、前記塗布ヘッドを前記Z方向に移動させた後に、前記X方向に移動させる、請求項1記載の塗布ヘッド清浄方法。   The coating head cleaning method according to claim 1, wherein, in the peeling step, the coating head is moved in the X direction after being moved in the Z direction. 前記剥離工程で、前記塗布ヘッドを前記Z方向および前記X方向に同時に移動させる、請求項1記載の塗布ヘッド清浄方法。   The coating head cleaning method according to claim 1, wherein in the peeling step, the coating head is moved simultaneously in the Z direction and the X direction. 前記押し当て部材は、前記X方向における断面が円筒状の弾性体を備える、請求項1〜3のいずれか一項記載の塗布ヘッド清浄方法。   The said pressing member is a coating head cleaning method as described in any one of Claims 1-3 provided with the elastic body whose cross section in the said X direction is cylindrical. 前記押し当て工程は、前記弾性体のX方向断面略頂点と、前記略一列に配列された複数の吐出口とを、前記粘着テープを介して当接させる工程である、請求項4記載の塗布ヘッド清浄方法。   The application according to claim 4, wherein the pressing step is a step of bringing the substantially vertex in the X-direction cross section of the elastic body into contact with the plurality of discharge ports arranged in a substantially line through the adhesive tape. Head cleaning method. 前記押し当て工程は、前記等分線Hと前記弾性体のX方向断面略頂点とが、X方向において一致していない、請求項4記載の塗布ヘッド清浄方法。   5. The coating head cleaning method according to claim 4, wherein in the pressing step, the equipartition line H and a substantially vertex of the X-direction cross section of the elastic body do not coincide with each other in the X direction. 前記等分線Hと前記弾性体のX方向断面略頂点とが、X方向において1mm以上離れている、請求項6記載の塗布ヘッド清浄方法。   The coating head cleaning method according to claim 6, wherein the equipartition line H and the approximate apex of the cross section of the elastic body in the X direction are separated by 1 mm or more in the X direction. 前記押し当て部材のX方向断面形状が、断面中心に対して非対称である、請求項1〜7のいずれか一項記載の塗布ヘッド清浄方法。   The coating head cleaning method according to claim 1, wherein a cross-sectional shape in the X direction of the pressing member is asymmetric with respect to a center of the cross section. 前記押し当て部材の弾性体の硬度が、X方向断面中心に対して非対称である、請求項1〜7のいずれか一項記載の塗布ヘッド清浄方法。   The coating head cleaning method according to claim 1, wherein the hardness of the elastic body of the pressing member is asymmetric with respect to the center in the X-direction section. 前記塗液がプラズマディスプレイパネル用蛍光体ペーストである、請求項1〜9のいずれか一項記載の塗布ヘッド清浄方法。   The coating head cleaning method according to claim 1, wherein the coating liquid is a phosphor paste for a plasma display panel.
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