JP2014157108A - 偏光解消効果を評価するための偏光解析装置 - Google Patents
偏光解消効果を評価するための偏光解析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014157108A JP2014157108A JP2013028811A JP2013028811A JP2014157108A JP 2014157108 A JP2014157108 A JP 2014157108A JP 2013028811 A JP2013028811 A JP 2013028811A JP 2013028811 A JP2013028811 A JP 2013028811A JP 2014157108 A JP2014157108 A JP 2014157108A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- polarization
- analyzer
- measured
- optical system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000010287 polarization Effects 0.000 title claims abstract description 74
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 title claims abstract description 29
- 230000000694 effects Effects 0.000 title abstract description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 60
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 15
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 7
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 3
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 6
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 229920006289 polycarbonate film Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】偏光解析装置は、所定位置に載置された被測定物に直線偏光を照射する照射光学系と、前記被測定物からの透過光を受光する位置に配置された受光光学系と、前記受光光学系の光軸上で前記被測定物と前記受光光学系の間に配置され、前記光軸の周りに回転可能に構成された検光子と、前記検光子を経た透過光を、前記受光光学系を経て受光する位置に配置された二次元受光素子と、前記検光子を回転させたときの複数の回転角ごとに前記二次元受光素子の各画素による検出光強度をデータとして取り込み、前記被測定物の複数位置からの透過光の偏光特性を算出する演算処理部10と、演算処理部10により算出された被測定物の複数位置からの透過光の偏光特性をポアンカレ球赤道面に表示する表示部11と、を備えている。
【選択図】図3
Description
I(θ)=I0{cos2φcos2(θ−φ)+sin2φsin2(θ−φ)
−C/2・sin2φsin2(θ−φ)
により表されるものであり、関係式算出部16はその式中の未知数I0,φ,Cを算出するものであり、偏光特性算出部18では式I(θ)の最小値=Imin、最大値=Imax及び最大値を与えるθ=Ψを算出し、偏光特性として楕円率(Imin /Imax )1/2と、楕円方位角Ψを求める。ここで、C=cos(2πR/λ)、θは検光子の回転角度、I0 は最大検出光強度、φは入射直線偏光の透過軸と被測定物の遅相軸(2つの光学軸のうち、屈折率が大きい方の光学軸)とのなす角度、λは測定波長、Rは被測定物の位相差である。
二次元受光素子としてR(赤)、G(緑)及びB(青)の3色を同時に検出する3CCDカラーカメラを使用するようにしてもよい。その場合には、R、G及びBの3波長分を同時に測定でき、複数波長での偏光特性も評価できるようになる。
I(λ)=I0(λ)sin22φ・sin2{πR(λ)/λ} (1)
ここで、λは波長、φは偏光板の透過軸と位相差物質の遅相軸とのなす角、I0(λ)は入射光の強度、R(λ)は位相差物質の位相差である。
R(λ)=A+B/(λ2−c2) (2)
関係式算出部16では、3CCDカラーカメラ9の同一画素の検光子回転角の異なる6個の検出光強度データを1組として前記データメモリ12から読み出し、それらのデータを使って、偏光方位と検出光強度との関係を表す関係式を算出する(ステップS3)。具体的には次のように行う。
I(θ)
=I0{cos2φcos2(θ−φp−φ)+sin2φsin2(θ−φp−φ)
−C/2・sin2φsin2(θ−φp−φ)} (3)
ここで、C=cos(2πR/λ)、θは検光子の回転角度、I0 は最大検出光強度、φは入射直線偏光の透過軸と被測定物の遅相軸とのなす角度、φpは入射直線偏光の透過軸方位、λは測定波長及びRは被測定物の位相差である。
偏光特性として偏光の楕円率と楕円方位角を算出する(ステップS4)。具体的には、関係式算出部16で求められた未知数I0、φ及びCを(3)式に当てはめ、図5に示すI(θ)の図形を再現する。その再現された図形に基づいて、θを0°から180°まで変化(実施例では0°,30°,60°,90°,120°,150°の6点)させたときの最大値Imax、最小値Imin及び最大値を与える角度Ψ を求め、偏光特性として(Imin/Imax)1/2 を楕円率、Ψを楕円方位角とする。
二次元分布制御部20は、偏光特性の二次元分布を測定する(ステップS5,S6)ようにデータメモリ12から関係式算出部16へのデータ読出しを制御する。
特許文献1には、位相差が3000〜30000nmの超高位相差フィルムを、その遅相軸が入射直線偏光の透過軸に対して45°になるように配置して偏光解消をするとある。
2 ライトガイド
3 光源
4 偏光子
5 自動一軸テーブル
6 被測定物
7 検光子
8 光学顕微鏡
9 3CCDカラーカメラ
10 演算処理部
11 表示部
12 データメモリ
14 データ補正部
16 関係式算出部
18 偏光特性算出部
20 二次元分布測定制御部
30 偏光解消円
Claims (5)
- 所定位置に載置された被測定物に直線偏光を照射する照射光学系と、
前記被測定物からの透過光を受光する位置に配置された受光光学系と、
前記受光光学系の光軸上で前記被測定物と前記受光光学系の間に配置され、前記光軸の周りに回転可能に構成された検光子と、
前記検光子を経た透過光を、前記受光光学系を経て受光する位置に配置された二次元受光素子と、
前記検光子を回転させたときの複数の回転角ごとに、前記二次元受光素子の各画素による検出光強度をデータとして取り込み、前記被測定物の複数位置からの透過光の偏光特性を算出する演算処理部と、
前記演算処理部により算出された被測定物の複数位置からの透過光の偏光特性をポアンカレ球赤道面に表示する表示部と、を備え、
前記演算処理部は、
前記二次元受光素子からの検出光強度データを保持するデータメモリと、
前記二次元受光素子の同一画素の検光子回転角の異なる複数個の検出光強度データを1組として前記データメモリから読み出し、それらのデータを使って偏光方位と検出光強度との関係を表す関係式を算出する関係式算出部と、
前記関係式算出部により算出された関係式から、透過光の偏光特性として偏光の楕円率と楕円方位角を算出する偏光特性算出部と、
被測定物の複数位置からの透過光の偏光特性を得るように、前記関係式算出部による前記データメモリからのデータの読み出し動作を制御する二次元分布測定制御部と、を備えている偏光解析装置。 - 前記表示部に表示されるポアンカレ球赤道面の中心部には、偏光が解消したと評価される楕円率を示す範囲が偏光解消円として表示されており、
前記演算処理部により算出された被測定物の複数位置からの透過光の偏光特性が前記偏光解消円内に表示されることにより、被測定物の偏光が解消されていると評価できるようにした請求項1に記載の偏光解析装置。 - 前記関係式は検光子の偏光方位θと検出光強度I(θ)との間の関係を示す次式、
I(θ)=I0{cos2φcos2(θ−φ)+sin2φsin2(θ−φ)
−C/2・sin2φsin2(θ−φ)
であり、
前記関係式算出部は前記式中のI0,φ,Cを算出するものであり、
前記偏光特性算出部では前記式I(θ)の最小値=Imin、最大値=Imax及び最大値を与えるθ=Ψを算出し、前記偏光特性として楕円率(Imin/Imax)1/2と楕円方位角Ψを求める請求項1又は2に記載の偏光解析装置。
ただし、C=cos(2πR/λ)、θは検光子の回転角度、I0は最大検出光強度、φは入射直線偏光の透過軸と被測定物の遅相軸とのなす角度、λは測定波長、Rは被測定物の位相差である。 - 前記二次元受光素子の画素ごとの暗電流及び感度の補正を、暗視野及び2つの異なる照度条件での光量取り込み値をもとに行って前記データメモリに保持された検出光強度データを補正するデータ補正部をさらに備えている請求項1から3のいずれか一項に記載の偏光解析装置。
- 前記二次元受光素子としてRGB3色を同時に検出する3CCDカラーカメラを使用する請求項1から4のいずれか一項に記載の偏光解析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013028811A JP5991226B2 (ja) | 2013-02-18 | 2013-02-18 | 偏光解消効果を評価するための偏光解析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013028811A JP5991226B2 (ja) | 2013-02-18 | 2013-02-18 | 偏光解消効果を評価するための偏光解析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014157108A true JP2014157108A (ja) | 2014-08-28 |
JP5991226B2 JP5991226B2 (ja) | 2016-09-14 |
Family
ID=51578051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013028811A Expired - Fee Related JP5991226B2 (ja) | 2013-02-18 | 2013-02-18 | 偏光解消効果を評価するための偏光解析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5991226B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112630156A (zh) * | 2020-02-18 | 2021-04-09 | 合肥工业大学 | 一种高精度分振幅同时偏振成像系统的制备方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112146760B (zh) * | 2020-09-28 | 2021-08-31 | 浙江大学 | 一种完全非均匀偏振光的偏振均匀度度量方法、应用、装置、电子设备及存储介质 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0518856A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-01-26 | Asahi Optical Co Ltd | 偏光及び複屈折測定装置 |
JPH08159956A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-21 | New Oji Paper Co Ltd | 複屈折測定方法及び装置 |
JP2003149081A (ja) * | 2001-11-08 | 2003-05-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表示装置の検査方法及びそれを用いた検査装置 |
JP2009042040A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Oji Keisoku Kiki Kk | 偏光イメージングカメラを利用した偏光解析装置 |
-
2013
- 2013-02-18 JP JP2013028811A patent/JP5991226B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0518856A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-01-26 | Asahi Optical Co Ltd | 偏光及び複屈折測定装置 |
JPH08159956A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-21 | New Oji Paper Co Ltd | 複屈折測定方法及び装置 |
JP2003149081A (ja) * | 2001-11-08 | 2003-05-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表示装置の検査方法及びそれを用いた検査装置 |
JP2009042040A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Oji Keisoku Kiki Kk | 偏光イメージングカメラを利用した偏光解析装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112630156A (zh) * | 2020-02-18 | 2021-04-09 | 合肥工业大学 | 一种高精度分振幅同时偏振成像系统的制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5991226B2 (ja) | 2016-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2015101352A1 (zh) | 光的偏振态调制、检测装置及检测方法 | |
CN104457995B (zh) | 一种快速偏振检测仪和检测方法 | |
Vedel et al. | Full Stokes polarization imaging camera | |
TWI591322B (zh) | Birefringence measurement apparatus, birefringence measurement method, film inspection apparatus, and film inspection method | |
US20140168417A1 (en) | Inspection device and inspection method | |
JP2009042040A (ja) | 偏光イメージングカメラを利用した偏光解析装置 | |
KR20150093569A (ko) | 왜곡 검사기 | |
JPH10332533A (ja) | 複屈折評価装置 | |
CN101545854A (zh) | 双折射测定装置以及双折射测定方法 | |
JP5991226B2 (ja) | 偏光解消効果を評価するための偏光解析装置 | |
JP2007171029A (ja) | 検査装置、表示デバイスシミュレート装置及び検査方法 | |
US20160091416A1 (en) | Unambiguous retardance measurement | |
JP5115928B2 (ja) | 位相差分布測定装置 | |
JP2006250721A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
CN108225630A (zh) | 光学材料应力量测系统 | |
Lefaudeux et al. | Compact and robust linear Stokes polarization camera | |
Stabo-Eeg et al. | Well-conditioned multiple laser Mueller matrix ellipsometer | |
CA2955391A1 (en) | Method and apparatus for measuring optical systems and surfaces with optical ray metrology | |
Rosenberger et al. | Investigation on surface inspection using polarizing image sensors | |
TWI473990B (zh) | Surface inspection device | |
EP4004639B1 (en) | Panel retardance measurement | |
CN103091014B (zh) | 光学测量装置 | |
KR102517637B1 (ko) | 렌즈 품질 검사용 편광 분석 장치 및 그 방법, 이를 이용한 편광 분석 시스템 | |
Winker et al. | Liquid crystal tunable polarization filter for target detection applications | |
CN113984346B (zh) | 用于表征偏振成像系统光学传递矩阵的装置和表征方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150608 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160526 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160719 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160801 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5991226 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |