JP2014156515A - Curable resin composition - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a curable resin composition excellent in fracture elongation, low in not only arithmetic average roughness of an insulator layer surface in a wet type roughening process but also square root-mean-square roughness, capable of forming a plated conductor layer having enough peel strength, and low in linear thermal expansion coefficient.SOLUTION: There is provided a curable resin composition containing (A) a phenoxy resin having a fluorene structure, (B) an epoxy resin and (C) a curing agent, in which (C) the curing agent contains one or more kind selected from among a phenol curing agent, a cyanate ester curing agent and an active ester curing agent, and (A) the phenoxy resin is at 1 to 20 mass% based on the 100 mass% of total of (A) the phenoxy resin, (B) the epoxy resin and (C) the curing agent.

Description

本発明は、硬化性の樹脂組成物に関する。さらに本発明は、当該硬化性樹脂組成物を含有する、絶縁層用硬化性樹脂組成物、シート状積層材料、多層プリント配線板、半導体装置に関する。   The present invention relates to a curable resin composition. Furthermore, this invention relates to the curable resin composition for insulating layers, the sheet-like laminated material, the multilayer printed wiring board, and a semiconductor device containing the said curable resin composition.

近年、電子機器の小型化、高性能化が進み、多層プリント配線板においては、ビルドアップ層が複層化され、配線の微細化及び高密度化が求められている。   2. Description of the Related Art In recent years, electronic devices have been reduced in size and performance, and in multilayer printed wiring boards, build-up layers have been multilayered, and miniaturization and high density of wiring have been demanded.

これに対して様々な取組みがなされてきた。例えば、特許文献1は、特定構造の高分子エポキシ樹脂をプリント配線板用の樹脂組成物として使用し、耐熱性、低吸水性、電気的特性、成形性、可とう性、耐衝撃性及び接着性を改善することを開示している(請求項及び段落番号0003等)。しかし、特許文献1の樹脂組成物は、特定のフルオレン構造を有するフェノキシ樹脂とエポキシ樹脂とを特定比率で組み合わせ、フェノール硬化剤、シアネートエステル硬化剤、活性エステル硬化剤から選択される特定の硬化剤を含むことを特徴とする硬化性樹脂組成物については何ら記載されていない。   Various approaches have been made against this. For example, Patent Document 1 uses a polymer epoxy resin having a specific structure as a resin composition for a printed wiring board, and has heat resistance, low water absorption, electrical characteristics, moldability, flexibility, impact resistance and adhesion. To improve the performance (claims and paragraph number 0003 and the like). However, the resin composition of Patent Document 1 is a specific curing agent selected from a phenol curing agent, a cyanate ester curing agent, and an active ester curing agent by combining a phenoxy resin having a specific fluorene structure and an epoxy resin in a specific ratio. There is no description of a curable resin composition characterized by containing any of the above.

特開2003−252951号公報JP 2003-252951 A

本発明が解決しようとする課題は、特定の強度(破壊伸び)を有し、湿式粗化工程において絶縁層表面の算術平均粗さが低いのみならず、二乗平均平方根粗さも低く(低粗度)、その上に十分なピール強度を有するめっき導体層を形成することができ、線熱膨張係数も低い硬化性樹脂組成物を提供することである。   The problem to be solved by the present invention has a specific strength (breaking elongation), and not only the arithmetic average roughness of the insulating layer surface is low in the wet roughening process, but also the root mean square roughness is low (low roughness) And providing a curable resin composition that can form a plated conductor layer having a sufficient peel strength and has a low linear thermal expansion coefficient.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、(A)フルオレン構造を有するフェノキシ樹脂、(B)エポキシ樹脂、及び(C)硬化剤を含有する樹脂組成物であって、(C)硬化剤がフェノール硬化剤、シアネートエステル硬化剤、活性エステル硬化剤から選択される1種以上を含み、(A)フェノキシ樹脂と(B)エポキシ樹脂と(C)硬化剤の合計を100質量%とした場合に、(A)フェノキシ樹脂が1〜20質量%であることを特徴とする硬化性樹脂組成が、上述した優れた強度、低粗度、高いピール強度及び低い線熱膨張係数を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は以下の態様を含むものである。
[1]
(A)フルオレン構造を有するフェノキシ樹脂、(B)エポキシ樹脂、及び(C)硬化剤を含有する樹脂組成物であって、
(C)硬化剤がフェノール硬化剤、シアネートエステル硬化剤、活性エステル硬化剤から選択される1種以上を含み、
前記(A)フェノキシ樹脂と前記(B)エポキシ樹脂と前記(C)硬化剤の合計を100質量%とした場合に、前記(A)フェノキシ樹脂が1〜20質量%であることを特徴とする硬化性樹脂組成物。
[2]
前記(A)フェノキシ樹脂の重量平均分子量が、8000〜100000である、[1]記載の硬化性樹脂組成物。
[3]
前記(A)フェノキシ樹脂が、無置換ビスフェノールフルオレン構造又はビスクレゾールフルオレン構造を有する、[1]又は[2]記載の硬化性樹脂組成物。
[4]
前記(B)エポキシ樹脂が、ビスフェノール型エポキシ樹脂、結晶性2官能エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂及びこれらのエポキシ樹脂の混合物からなる群から選択される、[1]〜[3]のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物。
[5]
前記硬化性樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(A)フェノキシ樹脂の含有量が0.3〜10質量%であり、前記(B)エポキシ樹脂の含有量が5〜30質量%であり、前記(C)硬化剤の含有量が3〜20質量%である、[1]〜[4]のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物。
[6]
さらに、(D)無機充填材を含む、[1]〜[5]のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物。
[7]
前記(D)無機充填材の平均粒径が、0.01〜5μmである、[6]記載の硬化性樹脂組成物。
[8]
前記硬化性樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合の前記(D)無機充填材の含有量が30〜90質量%である、[6]又は[7]記載の硬化性樹脂組成物。
[9]
前記(D)無機充填材がシリカである、[6]〜[8]のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物。
[10]
[1]〜[9]のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物を含有することを特徴とする、多層プリント配線板の絶縁層用硬化性樹脂組成物。
[11]
[1]〜[10]のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物を含有することを特徴とする、多層プリント配線板のビルドアップ層用硬化性樹脂組成物。
[12]
[1]〜[11]のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物を含有することを特徴とする、シート状積層材料。
[13]
[1]〜[11]のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物若しくは[12]に記載のシート状積層材料を熱硬化して得られた絶縁層を含むことを特徴とする、多層プリント配線板。
[14]
[13]記載の多層プリント配線板を含むことを特徴とする、半導体装置。
As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have obtained a resin composition containing (A) a phenoxy resin having a fluorene structure, (B) an epoxy resin, and (C) a curing agent, C) The curing agent includes one or more selected from a phenol curing agent, a cyanate ester curing agent, and an active ester curing agent, and the total of (A) phenoxy resin, (B) epoxy resin, and (C) curing agent is 100 masses. %, The curable resin composition characterized in that (A) the phenoxy resin is 1 to 20% by mass has the above-described excellent strength, low roughness, high peel strength, and low linear thermal expansion coefficient. The inventors have found that this can be achieved and have completed the present invention.
That is, the present invention includes the following aspects.
[1]
(A) A resin composition containing a phenoxy resin having a fluorene structure, (B) an epoxy resin, and (C) a curing agent,
(C) The curing agent includes one or more selected from a phenol curing agent, a cyanate ester curing agent, and an active ester curing agent,
When the total of the (A) phenoxy resin, the (B) epoxy resin, and the (C) curing agent is 100% by mass, the (A) phenoxy resin is 1 to 20% by mass. Curable resin composition.
[2]
The curable resin composition according to [1], wherein the (A) phenoxy resin has a weight average molecular weight of 8000 to 100,000.
[3]
The curable resin composition according to [1] or [2], wherein the (A) phenoxy resin has an unsubstituted bisphenol fluorene structure or a biscresol fluorene structure.
[4]
The (B) epoxy resin is selected from the group consisting of a bisphenol type epoxy resin, a crystalline bifunctional epoxy resin, a dicyclopentadiene type epoxy resin, a naphthalene type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, and a mixture of these epoxy resins. The curable resin composition according to any one of [1] to [3].
[5]
When the nonvolatile component in the curable resin composition is 100% by mass, the content of the (A) phenoxy resin is 0.3 to 10% by mass, and the content of the (B) epoxy resin is 5 to 5%. The curable resin composition according to any one of [1] to [4], which is 30% by mass and the content of the (C) curing agent is 3 to 20% by mass.
[6]
Furthermore, (D) The curable resin composition of any one of [1]-[5] containing an inorganic filler.
[7]
The curable resin composition according to [6], wherein the average particle diameter of the (D) inorganic filler is 0.01 to 5 μm.
[8]
The curable resin composition according to [6] or [7], wherein the content of the inorganic filler (D) is 30 to 90% by mass when the nonvolatile component in the curable resin composition is 100% by mass. object.
[9]
The curable resin composition according to any one of [6] to [8], wherein the (D) inorganic filler is silica.
[10]
A curable resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board, comprising the curable resin composition according to any one of [1] to [9].
[11]
A curable resin composition for a buildup layer of a multilayer printed wiring board, comprising the curable resin composition according to any one of [1] to [10].
[12]
[1] A sheet-like laminate material comprising the curable resin composition according to any one of [11].
[13]
A multilayer print comprising an insulating layer obtained by thermosetting the curable resin composition according to any one of [1] to [11] or the sheet-like laminated material according to [12] Wiring board.
[14]
[13] A semiconductor device comprising the multilayer printed wiring board according to [13].

また、本発明は、好ましくは以下の態様を含むものである。
[A](A)8000〜100000の重量平均分子量を有し、無置換ビスフェノールフルオレン構造又はビスクレゾールフルオレン構造を有し、かつビキシレノール構造又はビスフェノールアセトフェノン構造を有するフェノキシ樹脂、
(B)ビスフェノール型エポキシ樹脂、結晶性2官能エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂及びこれらのエポキシ樹脂の混合物からなる群から選択されるエポキシ樹脂、
(C)フェノール硬化剤、シアネートエステル硬化剤、活性エステル硬化剤から選択される1種以上を含む硬化剤、及び
(D)0.01〜5μmの平均粒径を有するシリカである無機充填材
を含有する樹脂組成物であって、
前記(A)フェノキシ樹脂と前記(B)エポキシ樹脂と前記(C)硬化剤の合計を100質量%とした場合に、前記(A)フェノキシ樹脂が1〜20質量%であり、
前記硬化性樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、前記(A)フェノキシ樹脂の含有量が0.3〜10質量%、前記(B)エポキシ樹脂の含有量が5〜30質量%、前記(C)硬化剤の含有量が3〜20質量%、及び前記(D)無機充填材の含有量が30〜90質量%であることを特徴とする硬化性樹脂組成物。
The present invention preferably includes the following aspects.
[A] (A) a phenoxy resin having a weight average molecular weight of 8000 to 100,000, an unsubstituted bisphenol fluorene structure or a biscresol fluorene structure, and a bixylenol structure or a bisphenol acetophenone structure;
(B) an epoxy resin selected from the group consisting of a bisphenol type epoxy resin, a crystalline bifunctional epoxy resin, a dicyclopentadiene type epoxy resin, a naphthalene type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, and a mixture of these epoxy resins,
(C) a curing agent containing at least one selected from a phenol curing agent, a cyanate ester curing agent, and an active ester curing agent, and (D) an inorganic filler that is silica having an average particle diameter of 0.01 to 5 μm. A resin composition comprising:
When the total of the (A) phenoxy resin, the (B) epoxy resin and the (C) curing agent is 100% by mass, the (A) phenoxy resin is 1 to 20% by mass,
When the non-volatile component in the curable resin composition is 100% by mass, the content of the (A) phenoxy resin is 0.3 to 10% by mass, and the content of the (B) epoxy resin is 5 to 30%. A curable resin composition, wherein the content of the curing agent (C) is 3 to 20% by mass and the content of the (D) inorganic filler is 30 to 90% by mass.

本発明の硬化性樹脂組成物を熱硬化して作成された多層プリント配線板の絶縁層は、優れた強度(破壊伸び)を有すると共に、湿式粗化工程において絶縁層表面の算術平均粗さが低いのみならず、二乗平均平方根粗さも低く、その上に十分なピール強度を有するめっき導体層を形成することができ、かつ線熱膨張係数も低い。
特に、本発明では、成分(A)のフルオレン構造を有するフェノキシ樹脂を用いることで上記低粗度及び高ピール強度を達成できる。また、通常無機充填材を比較的多く含むエポキシ樹脂組成物は、薄膜での樹脂流れに劣り、積層する導体間にボイドが発生する場合があり、さらにピール強度が低下しやすいが、本発明のように成分(A)を用いることによりピール強度を向上させることが可能である。
The insulating layer of the multilayer printed wiring board produced by thermosetting the curable resin composition of the present invention has excellent strength (breaking elongation) and the arithmetic average roughness of the insulating layer surface in the wet roughening step. Not only low, but also the root mean square roughness is low, a plated conductor layer having a sufficient peel strength can be formed thereon, and the linear thermal expansion coefficient is also low.
In particular, in the present invention, the low roughness and high peel strength can be achieved by using a phenoxy resin having a fluorene structure as component (A). In addition, the epoxy resin composition usually containing a relatively large amount of an inorganic filler is inferior in resin flow in a thin film, and voids may be generated between laminated conductors, and the peel strength is likely to decrease. Thus, it is possible to improve a peel strength by using a component (A).

[硬化性樹脂組成物]
本発明の態様の一つである硬化性樹脂組成物は、(A)フルオレン構造を有するフェノキシ樹脂、(B)エポキシ樹脂、及び(C)硬化剤を含有する樹脂組成物であって、(C)硬化剤がフェノール硬化剤、シアネートエステル硬化剤、活性エステル硬化剤から選択される1種以上を含み、前記(A)フェノキシ樹脂と前記(B)エポキシ樹脂と前記(C)硬化剤の合計を100質量%とした場合に、前記(A)フェノキシ樹脂が1〜20質量%であることを特徴とする硬化性樹脂組成物である。以下、本発明の硬化性樹脂組成物について、詳細に説明する。
[Curable resin composition]
A curable resin composition which is one embodiment of the present invention is a resin composition containing (A) a phenoxy resin having a fluorene structure, (B) an epoxy resin, and (C) a curing agent, wherein (C ) The curing agent includes one or more selected from a phenol curing agent, a cyanate ester curing agent, and an active ester curing agent, and the total of the (A) phenoxy resin, the (B) epoxy resin, and the (C) curing agent. When the content is 100% by mass, the curable resin composition is characterized in that the (A) phenoxy resin is 1 to 20% by mass. Hereinafter, the curable resin composition of the present invention will be described in detail.

(A)フルオレン構造を有するフェノキシ樹脂
本発明で使用し得るフルオレン構造を有するフェノキシ樹脂としては、以下に示すフルオレン構造を少なくとも1種以上有するフェノキシ樹脂であれば、あらゆるフェノキシ樹脂を使用することができる。
フルオレン構造:

Figure 2014156515

フルオレン構造として好ましくは、ビスフェノールフルオレン構造である。当該フェノキシ樹脂は、フルオレン構造の他、任意にビキシレノール構造及びビスフェノールアセトフェノン構造を少なくとも1種以上有していてもよい。各構造は以下の式(1)〜(3)で表すことができる。 (A) Phenoxy resin having a fluorene structure As the phenoxy resin having a fluorene structure that can be used in the present invention, any phenoxy resin can be used as long as it has at least one fluorene structure shown below. .
Fluorene structure:
Figure 2014156515

The fluorene structure is preferably a bisphenol fluorene structure. The phenoxy resin may optionally have at least one bixylenol structure and bisphenolacetophenone structure in addition to the fluorene structure. Each structure can be represented by the following formulas (1) to (3).

ビスフェノールフルオレン構造(特開2003−252951参照)

Figure 2014156515

(式(1)中、R1は、互いに同一であっても異なっていてもよく、水素原子、C1~10の炭化水素基及びハロゲン元素からなる群から選ばれる基であり、R2は、互いに同一であっても異なっていてもよく、水素原子、C1~10の炭化水素基又はハロゲン元素から選ばれる基であり、nは、互いに同一であっても異なっていてもよく、0〜4の整数である。) Bisphenol fluorene structure (see JP2003-252951)
Figure 2014156515

(In the formula (1), R 1 is a group selected from the group consisting of hydrocarbon radicals and halogen elements was to or different, a hydrogen atom, C 1 ~ 10 are identical to each other, R 2 is May be the same or different from each other, and is a hydrogen atom, a C 1-10 hydrocarbon group or a halogen element, and n may be the same or different from each other, and It is an integer of ~ 4.)

ビスフェノールフルオレン構造としては、特に以下の構造が好ましい。

無置換ビスフェノールフルオレン構造

Figure 2014156515
ビスクレゾールフルオレン構造

Figure 2014156515
As the bisphenolfluorene structure, the following structures are particularly preferable.

Unsubstituted bisphenol fluorene structure

Figure 2014156515
Biscresol fluorene structure

Figure 2014156515

ビキシレノール構造

Figure 2014156515
Bixylenol structure

Figure 2014156515

ビスフェノールアセトフェノン構造(特開2003−252951参照)

Figure 2014156515
(式(3)中、R3は、互いに同一であっても異なっていてもよく、水素原子、C1~10の炭化水素基及びハロゲン元素からなる群から選ばれる基であり、R4は、水素原子、C1~10の炭化水素基及びハロゲン元素からなる群から選ばれる基であり、R5は、水素原子又はC1~10の炭化水素基であり、mは0〜5の整数である。) Bisphenol acetophenone structure (see JP2003-252951)
Figure 2014156515
(In the formula (3), R 3 is a group selected from the group consisting of hydrocarbon radicals and halogen elements was to or different, a hydrogen atom, C 1 ~ 10 are identical to each other, R 4 is , A hydrogen atom, a group selected from the group consisting of a C 1-10 hydrocarbon group and a halogen element, R 5 is a hydrogen atom or a C 1-10 hydrocarbon group, and m is an integer of 0-5. .)

更に好ましい態様としては、式(1)中、R1は、互いに同一であっても異なっていてもよく、水素原子又はC1~8の炭化水素基、より好ましくは水素原子又はC1~6のアルキル基、更に好ましくは水素原子又はメチル基であり、R2は、互いに同一であっても異なっていてもよく、水素原子又はC1~8の炭化水素基、より好ましくは水素原子又はC1~6のアルキル基、更に好ましくは水素原子又はメチル基、特に好ましくは水素原子であり、nは、互いに同一であっても異なっていてもよく、0〜3、より好ましくは1〜2の整数である。
また、式(3)中、R3は、互いに同一であっても異なっていてもよく、水素原子又はC1~8の炭化水素基、より好ましくは水素原子又はC1~6のアルキル基、更に好ましくは水素原子又はメチル基、特に好ましくは水素原子であり、R4は、水素原子又はC1~8の炭化水素基、より好ましくは水素原子又はC1~6のアルキル基、更に好ましくは水素原子又はメチル基、特に好ましくは水素原子であり、R5は、水素原子又はC1~8の炭化水素基、より好ましくは水素原子又はC1~6のアルキル基、更に好ましくは水素原子又はメチル基、特に好ましくはメチル基であり、mは0〜3、より好ましくは1〜2の整数である。
In a more preferred embodiment, in the formula (1), R 1 s may be the same or different from each other, and are a hydrogen atom or a C 1-8 hydrocarbon group, more preferably a hydrogen atom or C 1-6. An alkyl group, more preferably a hydrogen atom or a methyl group, and R 2 s may be the same or different from each other, and are a hydrogen atom or a C 1-8 hydrocarbon group, more preferably a hydrogen atom or C 1 to 6 alkyl groups, more preferably a hydrogen atom or a methyl group, particularly preferably a hydrogen atom, and n may be the same or different from each other, and may be 0 to 3, more preferably 1 to 2. It is an integer.
Further, in formula (3), R 3 may be the being the same or different, a hydrogen atom or a hydrocarbon group of C 1 ~ 8, and more preferably a hydrogen atom or an alkyl group of C 1 ~ 6, more preferably a hydrogen atom or a methyl group, particularly preferably a hydrogen atom, R 4 is a hydrogen atom or a hydrocarbon group of C 1 ~ 8, and more preferably hydrogen atom or an alkyl group C 1 ~ 6, more preferably hydrogen atom or a methyl group, particularly preferably a hydrogen atom, R 5 is a hydrogen atom or a hydrocarbon group of C 1 ~ 8, and more preferably a hydrogen atom or a C 1 ~ 6 alkyl group, more preferably a hydrogen atom or A methyl group, particularly preferably a methyl group, and m is an integer of 0 to 3, more preferably 1 to 2.

フルオレン構造を有するフェノキシ樹脂としては、少なくとも1種以上のフルオレン構造と、少なくとも1種以上のフルオレン構造以外の任意の構造を有するフェノキシ樹脂が好ましい。具体的にはビキシレノール構造及び置換又は無置換のビスフェノールフルオレン構造を有するフェノキシ樹脂や、ビキシレノール構造、ビスフェノールアセトフェノン構造及びビスクレゾールフルオレン構造を有するフェノキシ樹脂が好ましい。より具体的には、ビスフェノールフルオレン構造は、式(1)中、R1が水素原子及びメチル基を有し、R2が水素原子(即ち、ビスクレゾールフルオレン構造(1−2))であることが好ましい。ビスフェノールアセトフェノン構造は、式(3)中、R3が水素原子、R4が水素原子、R5がメチル基であることが好ましい。 The phenoxy resin having a fluorene structure is preferably a phenoxy resin having at least one or more fluorene structures and any structure other than at least one or more fluorene structures. Specifically, a phenoxy resin having a bixylenol structure and a substituted or unsubstituted bisphenolfluorene structure, or a phenoxy resin having a bixylenol structure, a bisphenolacetophenone structure, and a biscresol fluorene structure is preferable. More specifically, in the bisphenol fluorene structure, in formula (1), R 1 has a hydrogen atom and a methyl group, and R 2 is a hydrogen atom (that is, biscresol fluorene structure (1-2)). Is preferred. In the bisphenol acetophenone structure, in formula (3), R 3 is preferably a hydrogen atom, R 4 is a hydrogen atom, and R 5 is a methyl group.

フルオレン構造を有するフェノキシ樹脂の製造方法の一例としては、ビキシレノール型エポキシ樹脂のエポキシ基と、ビスフェノールフルオレン誘導体のフェノール基とを反応させることで製造することができる。具体的には、ビキシレノール型エポキシ樹脂のエポキシ基数と、ビスフェノールフルオレン誘導体由来のフェノール基数との比が、1:1〜1.3:1が好ましく、1:1〜1.2:1がより好ましく、1.01:1〜1.1:1が更に好ましい。さらに、ビスフェノールアセトフェノン構造とビスクレゾールフルオレン構造とを有するフェノキシ樹脂の場合、ビスフェノールアセトフェノン誘導体由来のフェノール基数と、ビスクレゾールフルオレン誘導体由来のフェノール基数との比が1:5〜1:15が好ましく、1:7〜1:11がより好ましい。これによりエポキシ樹脂Aの線熱膨張係数を低くすることができる。   As an example of the manufacturing method of the phenoxy resin which has a fluorene structure, it can manufacture by making the epoxy group of a bixylenol type epoxy resin react with the phenol group of a bisphenol fluorene derivative. Specifically, the ratio of the number of epoxy groups of the bixylenol type epoxy resin to the number of phenol groups derived from the bisphenolfluorene derivative is preferably 1: 1 to 1.3: 1, more preferably 1: 1 to 1.2: 1. 1.01-1 to 1.1: 1 are more preferable. Furthermore, in the case of a phenoxy resin having a bisphenol acetophenone structure and a biscresol fluorene structure, the ratio of the number of phenol groups derived from the bisphenol acetophenone derivative to the number of phenol groups derived from the biscresol fluorene derivative is preferably 1: 5 to 1:15. : 7 to 1:11 is more preferable. Thereby, the linear thermal expansion coefficient of the epoxy resin A can be lowered.

フルオレン構造を有するフェノキシ樹脂の含有量は、(A)フェノキシ樹脂と、後述する(B)エポキシ樹脂と、後述する(C)硬化剤の合計を100質量%とした場合に、(A)フェノキシ樹脂が1〜20質量%、好ましくは、2〜15質量%であり、より好ましくは、5〜12質量%である。フェノキシ樹脂の含有量が1質量%以上であれば、低い算術平均粗さ及び低い二乗平均平方根粗さとなり、また、20質量%以下であれば架橋部位を十分保てるのでやはり低い算術平均粗さ及び低い二乗平均平方根粗さとなり、かつ、低い線熱膨張係数を維持できる。
また、(A)フェノキシ樹脂と、後述する(B)エポキシ樹脂との合計を100質量%とした場合、(A)フェノキシ樹脂が好ましくは、2〜30質量%であり、より好ましくは、4〜20質量%である。
フルオレン構造を有するフェノキシ樹脂のエポキシ当量(1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量)は、好ましくは5000〜30000(g/当量)、より好ましくは7000〜20000(g/当量)、更に好ましくは9000〜15000(g/当量)であることが適当である。フルオレン構造を有するフェノキシ樹脂のエポキシ当量が5000以上であれば、優れた破壊伸びを有し、また、30000以下であれば架橋部位を十分保てるので低い算術平均粗さ及び低い二乗平均平方根粗さとなり、かつ、低い線熱膨張係数を維持できる。なお、エポキシ当量は、JIS K7236(2001)に従って測定することができる。
フルオレン構造を有するフェノキシ樹脂の重量平均分子量は、例えば、8000〜100000、好ましくは15000〜80000、より好ましくは20000〜60000、更に好ましくは25000〜40000である。フェノキシ樹脂の重量平均分子量が、8000以上であれば、優れた破壊伸びを有し、また、100000以下であれば樹脂組成物との相溶性が向上し、低い算術平均粗さ及び低い二乗平均平方根粗さとすることができる。当該フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法で測定することができる。具体的には、熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。
The content of the phenoxy resin having a fluorene structure is as follows: (A) phenoxy resin when the total of (A) phenoxy resin, (B) epoxy resin described later, and (C) curing agent described later is 100% by mass. Is 1 to 20% by mass, preferably 2 to 15% by mass, and more preferably 5 to 12% by mass. If the content of the phenoxy resin is 1% by mass or more, low arithmetic average roughness and low root-mean-square roughness are obtained, and if it is 20% by mass or less, the cross-linked site can be sufficiently maintained, so that low arithmetic average roughness and Low root mean square roughness and low coefficient of linear thermal expansion can be maintained.
Moreover, when the sum total of (A) phenoxy resin and the (B) epoxy resin mentioned later is 100 mass%, (A) phenoxy resin becomes like this. Preferably it is 2-30 mass%, More preferably, 4- 20% by mass.
The epoxy equivalent of the phenoxy resin having a fluorene structure (the mass of the resin containing 1 equivalent of an epoxy group) is preferably 5000 to 30000 (g / equivalent), more preferably 7000 to 20000 (g / equivalent), and still more preferably 9000. ˜15000 (g / equivalent) is suitable. If the epoxy equivalent of the phenoxy resin having a fluorene structure is 5000 or more, it has excellent elongation at break, and if it is 30000 or less, the cross-linked site can be kept sufficiently, so that low arithmetic average roughness and low root mean square roughness are obtained. And a low linear thermal expansion coefficient can be maintained. The epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236 (2001).
The weight average molecular weight of the phenoxy resin having a fluorene structure is, for example, 8000 to 100,000, preferably 15000 to 80000, more preferably 20000 to 60000, and further preferably 25000 to 40000. If the weight average molecular weight of the phenoxy resin is 8000 or more, it has excellent breaking elongation, and if it is 100,000 or less, compatibility with the resin composition is improved, and low arithmetic average roughness and low root mean square are obtained. It can be roughness. The weight average molecular weight of the phenoxy resin can be measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. Specifically, the polystyrene-reduced weight average molecular weight of the thermoplastic resin is LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, and Shodex K-800P / K- manufactured by Showa Denko KK as a column. 804L / K-804L can be measured at a column temperature of 40 ° C. using chloroform or the like as a mobile phase, and can be calculated using a standard polystyrene calibration curve.

上記硬化性樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、(A)フルオレン構造を有するフェノキシ樹脂の含有量が好ましくは0.3〜10質量%であり、より好ましくは0.5〜7質量%、より好ましくは0.7〜5質量%であることが適当である。   When the non-volatile component in the said curable resin composition is 100 mass%, content of (A) phenoxy resin which has a fluorene structure becomes like this. Preferably it is 0.3-10 mass%, More preferably, it is 0.5- It is suitable that it is 7 mass%, More preferably, it is 0.7-5 mass%.

(B)エポキシ樹脂
(B)成分のエポキシ樹脂は、(A)成分のフェノキシ樹脂とは異なるエポキシ樹脂である。(B)成分のエポキシ樹脂として好ましくは、(A)成分のフェノキシ樹脂とは異なるエポキシ当量を有するものである。(B)成分のエポキシ樹脂のエポキシ当量(1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量)は、好ましくは50〜3000(g/当量)、より好ましくは100〜2000(g/当量)、更に好ましくは150〜1000(g/当量)、特に好ましくは200〜500(g/当量)であることが適当である。これにより、硬化性樹脂組成物から得られる絶縁層の架橋密度が十分となり、低粗度化に有利となる。なお、エポキシ当量は、JIS K7236(2001)に従って測定することができる。また、好ましくは、エポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂である。
具体的なエポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂のようなビスフェノール型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂、結晶性2官能エポキシ樹脂等が挙げられる。より好ましくは、(B)エポキシ樹脂は、ビスフェノール型エポキシ樹脂、結晶性2官能エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂及びこれらのエポキシ樹脂の混合物からなる群から選択される。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。
(B) Epoxy Resin The (B) component epoxy resin is an epoxy resin different from the (A) component phenoxy resin. The (B) component epoxy resin preferably has an epoxy equivalent that is different from the (A) component phenoxy resin. The epoxy equivalent of the component (B) epoxy resin (the mass of the resin containing 1 equivalent of an epoxy group) is preferably 50 to 3000 (g / equivalent), more preferably 100 to 2000 (g / equivalent), and still more preferably. It is suitable that it is 150-1000 (g / equivalent), Most preferably, it is 200-500 (g / equivalent). Thereby, the crosslinking density of the insulating layer obtained from the curable resin composition becomes sufficient, which is advantageous for low roughness. The epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236 (2001). Preferably, the epoxy resin is an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule.
Specific epoxy resins include, for example, bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol S type epoxy resins, bisphenol type epoxy resins such as bisphenol AF type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, and phenol novolacs. Type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, biphenyl type Epoxy resin, anthracene epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having butadiene structure, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, Ring-containing epoxy resins, cyclohexanedimethanol type epoxy resins, trimethylol type epoxy resins, halogenated epoxy resins, and crystalline bifunctional epoxy resin. More preferably, the (B) epoxy resin is selected from the group consisting of a bisphenol type epoxy resin, a crystalline bifunctional epoxy resin, a dicyclopentadiene type epoxy resin, a naphthalene type epoxy resin, and a mixture of these epoxy resins. These may be used alone or in combination of two or more.

これらのエポキシ樹脂の中でも、耐熱性向上という観点から、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、結晶性2官能エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂及びこれらの2種以上の混合物が好ましい。具体的には、例えば、ビスフェノールA型とF型の混合エポキシ樹脂(新日鐵化学(株)製「ZX1059」)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「エピコート828EL」、「YL980」、「jER1009」)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「jER806H」、「YL983U」)、ナフタレン型2官能エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」、「EXA4032SS」)、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP4700」、「HP4710」)、ナフトール型エポキシ樹脂(新日鐵化学(株)製「ESN−475V」)、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂(ダイセル化学工業(株)製「PB−3600」)、ビフェニル構造を有するエポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000H」、「NC3000L」、「NC3100」)、ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX4000」、「YX4000H」、「YX4000HK」、「YL6121」)、アントラセン型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX8800」)、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂(DIC(株)製「EXA−7310」、「EXA−7311」、「EXA−7311L」、「EXA7311−G3」)、グリシジルエステル型エポキシ樹脂(ナガセケムテックス(株)製「EX711」、「EX721」、(株)プリンテック製「R540」)、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP−7200H」)などが挙げられる。   Among these epoxy resins, from the viewpoint of improving heat resistance, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, crystalline bifunctional epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin and two or more of these Is preferred. Specifically, for example, mixed epoxy resin of bisphenol A type and F type (“ZX1059” manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), bisphenol A type epoxy resin (“Epicoat 828EL” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), “YL980” ”,“ JER1009 ”), bisphenol F type epoxy resin (“ jER806H ”,“ YL983U ”manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), naphthalene type bifunctional epoxy resin (“ HP4032 ”,“ HP4032D ”,“ HP4032SS ”manufactured by DIC Corporation). , “EXA4032SS”), naphthalene type tetrafunctional epoxy resin (“HP4700”, “HP4710” manufactured by DIC Corporation), naphthol type epoxy resin (“ESN-475V” manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), butadiene structure Epoxy resin ("PB-3600" manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) Epoxy resins having a biphenyl structure (“NC3000H”, “NC3000L”, “NC3100” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), bixylenol type epoxy resins (“YX4000”, “YX4000H”, “YX4000HK” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) , “YL6121”), anthracene type epoxy resin (“YX8800” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), naphthylene ether type epoxy resin (“EXA-7310”, “EXA-7311”, “EXA-7311L manufactured by DIC Corporation) ”,“ EXA7311-G3 ”), glycidyl ester type epoxy resin (“ EX711 ”,“ EX721 ”manufactured by Nagase ChemteX Corporation,“ R540 ”manufactured by Printec Co., Ltd.), dicyclopentadiene type epoxy resin (DIC ( "HP-7200H") manufactured by Co., Ltd.

なお、HP4032SSの主成分の構造式は以下の通りである。

Figure 2014156515
The structural formula of the main component of HP4032SS is as follows.
Figure 2014156515

また、YX4000HKの構造式は以下の通りである。

Figure 2014156515
(式中、Grはグリシジル基。) The structural formula of YX4000HK is as follows.
Figure 2014156515
(In the formula, Gr is a glycidyl group.)

また、HP−7200Hの構造式は以下の通りである。

Figure 2014156515
(式中、nは1〜20までの整数。) The structural formula of HP-7200H is as follows.

Figure 2014156515
(In the formula, n is an integer from 1 to 20.)

また、NC3000Lの構造式は以下の通りである。

Figure 2014156515
(式中、nは1〜20までの整数。) The structural formula of NC3000L is as follows.
Figure 2014156515
(In the formula, n is an integer from 1 to 20.)

また、jER1009の構造式は以下の通りである。

Figure 2014156515
The structural formula of jER1009 is as follows.

Figure 2014156515

(B)エポキシ樹脂の含有量は、(A)フェノキシ樹脂と前記(B)エポキシ樹脂と前記(C)硬化剤の合計を100質量%とした場合、好ましくは30〜80質量%、より好ましくは、35〜75質量%であり、より好ましくは、40〜70質量%である。
本発明の硬化性樹脂組成物中の(B)エポキシ樹脂の含有量は、特に限定されるものではないが、絶縁層の低粗度化と高ピール強度とを両立させるという観点から、当該硬化樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、5〜30質量%が好ましく、7〜25質量%がより好ましく、10〜20質量%が更に好ましい。
The content of the (B) epoxy resin is preferably 30 to 80% by mass, more preferably 100% by mass when the total of the (A) phenoxy resin, the (B) epoxy resin and the (C) curing agent is 100% by mass. It is 35-75 mass%, More preferably, it is 40-70 mass%.
The content of the (B) epoxy resin in the curable resin composition of the present invention is not particularly limited, but from the viewpoint of achieving both low roughness of the insulating layer and high peel strength, the curing is performed. When the non-volatile component in a resin composition is 100 mass%, 5-30 mass% is preferable, 7-25 mass% is more preferable, and 10-20 mass% is still more preferable.

(C)硬化剤
本願発明で使用される硬化剤は、上記フェノキシ樹脂及びエポキシ樹脂を架橋して硬化することができるものであり、フェノール硬化剤、シアネートエステル硬化剤、活性エステル硬化剤から選択される1種以上を含む。これらフェノール硬化剤、シアネートエステル硬化剤及び活性エステル硬化剤をそれぞれ構成するフェノール樹脂、シアネートエステル樹脂及び活性エステル樹脂は、有意に絶縁層の表面粗度を低下することができる。
(C) Curing agent The curing agent used in the present invention can be cured by crosslinking the phenoxy resin and the epoxy resin, and is selected from a phenol curing agent, a cyanate ester curing agent, and an active ester curing agent. 1 or more types. The phenol resin, cyanate ester resin, and active ester resin that constitute these phenol curing agent, cyanate ester curing agent, and active ester curing agent, respectively, can significantly reduce the surface roughness of the insulating layer.

フェノール樹脂としては、特に制限はないが、ビフェニル型フェノール樹脂、ナフタレン型フェノール樹脂、フェノールノボラック樹脂、ナフチレンエーテル型フェノール樹脂、トリアジン骨格含有フェノール樹脂が好ましい。具体的には、ビフェニル型フェノール樹脂のMEH−7700、MEH−7810、MEH−7851(明和化成(株)製)、ナフタレン型フェノール樹脂のNHN、CBN、GPH(日本化薬(株)製)、SN−170、SN−180、SN−190、SN−475、SN−485、SN−495、SN−375、SN−395(新日鐵化学(株)製)、EXB9500(DIC(株)製)、フェノールノボラック樹脂のTD2090(DIC(株)製)、ナフチレンエーテル型フェノール樹脂のEXB−6000(DIC(株)製)、トリアジン骨格含有フェノール樹脂のLA−3018、LA−7052、LA−7054、LA−1356(DIC(株)製)、等が挙げられる。これらは1種又は2種以上を併用してもよい。   Although there is no restriction | limiting in particular as a phenol resin, A biphenyl type phenol resin, a naphthalene type phenol resin, a phenol novolak resin, a naphthylene ether type phenol resin, and a triazine skeleton containing phenol resin are preferable. Specifically, MEH-7700, MEH-7810, MEH-7785 (Maywa Kasei Co., Ltd.) of biphenyl type phenol resin, NHN, CBN, GPH (Nippon Kayaku Co., Ltd.) of naphthalene type phenol resin, SN-170, SN-180, SN-190, SN-475, SN-485, SN-495, SN-375, SN-395 (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), EXB9500 (manufactured by DIC Corporation) , Phenol novolac resin TD2090 (manufactured by DIC Corporation), naphthylene ether type phenol resin EXB-6000 (manufactured by DIC Corporation), triazine skeleton-containing phenol resins LA-3018, LA-7052, LA-7054, LA-1356 (manufactured by DIC Corporation), and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

なお、SN−485の構造式は以下式(4)の通りである。

Figure 2014156515

(nは1〜20までの整数。) The structural formula of SN-485 is as shown in the following formula (4).

Figure 2014156515

(N is an integer from 1 to 20.)

また、LA−7054の構造式は以下式(5)の通りである。

Figure 2014156515

(nは1〜20までの整数。) The structural formula of LA-7054 is as shown in the following formula (5).

Figure 2014156515

(N is an integer from 1 to 20.)

シアネートエステル樹脂としては、特に制限はないが、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ジシクロペンタジエン型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、及びこれらが一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。具体的には、下式(6)で表されるフェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン(株)製、PT30S:数平均分子量380、PT60:数平均分子量560)、下式(7)で表されるビスフェノールA型シアネートエステル樹脂の一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマーであるビスフェノールA型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン(株)製、BA230S75)、下式(8)で表されるジシクロペンタジエン型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン(株)製、DT−4000、DT−7000)、等が挙げられる。具体的には、数平均分子量は、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。ここれらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   The cyanate ester resin is not particularly limited, and examples thereof include novolak-type cyanate ester resins, dicyclopentadiene-type cyanate ester resins, bisphenol-type cyanate ester resins, and prepolymers in which these are partially triazine. Specifically, a phenol novolak polyfunctional cyanate ester resin represented by the following formula (6) (manufactured by Lonza Japan KK, PT30S: number average molecular weight 380, PT60: number average molecular weight 560), the following formula (7) A bisphenol A type cyanate ester resin (BA230S75, manufactured by Lonza Japan Co., Ltd.), which is a prepolymer in which a part or all of the bisphenol A type cyanate ester resin represented by the above formula is triazine is converted into a trimer, ) Dicyclopentadiene type cyanate ester resin (Lonza Japan Co., Ltd., DT-4000, DT-7000), and the like. Specifically, the number average molecular weight is LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, and Shodex K-800P / K-804L / K-804L manufactured by Showa Denko KK as a column. Using chloroform or the like as a mobile phase, the measurement can be made at a column temperature of 40 ° C. and calculated using a standard polystyrene calibration curve. These may be used alone or in combination of two or more.

Figure 2014156515

[式中、nは平均値として任意の数(好ましくは0〜20、より好ましくは1〜10)を示す。]
Figure 2014156515

[In formula, n shows arbitrary numbers (preferably 0-20, more preferably 1-10) as an average value. ]

Figure 2014156515
Figure 2014156515

Figure 2014156515
(式中、nは平均値として0〜5の数を表す。)
Figure 2014156515
(In formula, n represents the number of 0-5 as an average value.)

本発明で使用し得る活性エステル樹脂は、1分子中に活性エステル基を1個以上有する樹脂化合物である。ここで、「活性エステル基」とは、エポキシ樹脂と反応するエステル基を意味する。活性エステル樹脂は、エポキシ樹脂と反応することができ、1分子中に活性エステル基を2個以上有する樹脂化合物が好ましい。一般的には、フェノールエステル、チオフェノールエステル、N−ヒドロキシアミンエステル及び複素環ヒドロキシ化合物エステルからなる群より選択される、反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する樹脂化合物が、活性エステル樹脂として好ましく用いられる。活性エステル樹脂は1種又は2種以上を併用してもよい。   The active ester resin that can be used in the present invention is a resin compound having one or more active ester groups in one molecule. Here, the “active ester group” means an ester group that reacts with an epoxy resin. The active ester resin can react with the epoxy resin, and a resin compound having two or more active ester groups in one molecule is preferable. Generally, a resin compound selected from the group consisting of phenol ester, thiophenol ester, N-hydroxyamine ester and heterocyclic hydroxy compound ester, having two or more ester groups with high reaction activity in one molecule, It is preferably used as an active ester resin. The active ester resin may be used alone or in combination of two or more.

耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物とを縮合反応させたものから得られる活性エステル樹脂がより好ましい。フェノール化合物、ナフトール化合物及びチオール化合物とから選択される1種又は2種以上と、カルボン酸化合物とを反応させたものから得られる活性エステル樹脂が更に好ましい。カルボン酸化合物とフェノール性水酸基を有する芳香族化合物とを反応させたものから得られる1分子中に2個以上の活性エステル基を有する芳香族樹脂化合物が更に一層好ましい。少なくとも2個以上のカルボン酸を1分子中に有する化合物と、フェノール性水酸基を有する芳香族化合物とを反応させたものから得られる芳香族樹脂化合物であり、かつ該芳香族樹脂化合物の1分子中に2個以上の活性エステル基を有する芳香族樹脂化合物が殊更好ましい。活性エステル樹脂は、直鎖状または多分岐状であってもよい。また、少なくとも2個以上のカルボン酸を1分子中に有する化合物が脂肪族鎖を含む化合物であれば樹脂組成物との相溶性を高くすることができ、芳香族環を有する化合物であれば耐熱性を高くすることができる。   From the viewpoint of improving heat resistance, an active ester resin obtained from a condensation reaction of a carboxylic acid compound and / or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and / or a thiol compound is more preferable. An active ester resin obtained from a product obtained by reacting one or more selected from a phenol compound, a naphthol compound and a thiol compound with a carboxylic acid compound is more preferable. An aromatic resin compound having two or more active ester groups in one molecule obtained by reacting a carboxylic acid compound with an aromatic compound having a phenolic hydroxyl group is even more preferable. An aromatic resin compound obtained by reacting a compound having at least two or more carboxylic acids in one molecule with an aromatic compound having a phenolic hydroxyl group, and in one molecule of the aromatic resin compound Particularly preferred are aromatic resin compounds having two or more active ester groups. The active ester resin may be linear or hyperbranched. In addition, if the compound having at least two carboxylic acids in one molecule is a compound containing an aliphatic chain, the compatibility with the resin composition can be increased, and if it is a compound having an aromatic ring, it is heat resistant. Sexuality can be increased.

上記カルボン酸化合物としては、具体的には、安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。なかでも耐熱性の観点からコハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸が好ましく、イソフタル酸、テレフタル酸がより好ましい。チオカルボン酸化合物としては、具体的には、チオ酢酸、チオ安息香酸等が挙げられる。   Specific examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Of these, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid and terephthalic acid are preferred, and isophthalic acid and terephthalic acid are more preferred from the viewpoint of heat resistance. Specific examples of the thiocarboxylic acid compound include thioacetic acid and thiobenzoic acid.

上記フェノール化合物又はナフトール化合物としては、具体的には、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラック等が挙げられる。なかでも耐熱性向上、溶解性向上の観点から、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラックが好ましく、カテコール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラックがより好ましく、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラックが更に好ましく、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラックが更に一層好ましく、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジシクロペンタジエニルジフェノールが殊更好ましく、ジシクロペンタジエニルジフェノールが特に好ましい。チオール化合物としては、具体的には、ベンゼンジチオール、トリアジンジチオール等が挙げられる。   Specific examples of the phenol compound or naphthol compound include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o- Cresol, m-cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxy Examples include benzophenone, phloroglucin, benzenetriol, dicyclopentadienyl diphenol, and phenol novolac. Among them, from the viewpoint of improving heat resistance and solubility, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5 -Dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, benzenetriol, dicyclopentadienyl diphenol, phenol novolac are preferred, catechol, 1 , 5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophene Non-tetrahydrobenzophenone, phloroglucin, benzenetriol, dicyclopentadienyl diphenol, and phenol novolak are more preferable. 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxy More preferred are hydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, dicyclopentadienyl diphenol, phenol novolac, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dicyclopentadienyl diphenol, Phenol novolac is even more preferred, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthal Emissions, dicyclopentadienyl diphenol especially preferred, dicyclopentadienyl diphenol is particularly preferred. Specific examples of the thiol compound include benzenedithiol and triazinedithiol.

活性エステル樹脂としては、具体的には、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル樹脂、ナフタレン構造を含む活性エステル樹脂、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル樹脂、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル樹脂が好ましく、なかでもナフタレン構造を含む活性エステル樹脂、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル樹脂がより好ましい。市販品としては、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル樹脂として、EXB9451、EXB9460、EXB9460S、HPC−8000−65T(DIC(株)製)、ナフタレン構造を含む活性エステル樹脂としてEXB9416−70BK(DIC(株)製)、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル樹脂としてDC808(三菱化学(株)製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル樹脂としてYLH1026(三菱化学(株)製)、などが挙げられる。   Specifically, the active ester resin includes an active ester resin containing a dicyclopentadienyl diphenol structure, an active ester resin containing a naphthalene structure, an active ester resin containing an acetylated product of phenol novolac, and a benzoylated product of phenol novolac. An active ester resin containing a naphthalene structure and an active ester resin containing a dicyclopentadienyl diphenol structure are more preferable. Commercially available products include EXB9451, EXB9460, EXB9460S, HPC-8000-65T (manufactured by DIC Corporation) as active ester resins containing a dicyclopentadienyl diphenol structure, and EXB9416-70BK as an active ester resin containing a naphthalene structure. (Manufactured by DIC Corporation), DC808 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester resin containing an acetylated product of phenol novolac, YLH1026 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester resin containing a benzoylated product of phenol novolac, Etc.

特に好ましい活性エステル樹脂は、以下の一般式(9)

Figure 2014156515
(式中、mは0又は1であり、nが平均値として0.25〜1.5、好ましくは、0.4〜1.2である)で表されるジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含み、末端にX−基及びXO−基(ここでXは置換基を有していてもよいフェニル基又はナフチル基である)を有する樹脂化合物である。当該活性エステル樹脂の重量平均分子量は、好ましくは1500〜4000であり、より好ましくは2000〜3000である。
殊更好ましい活性エステル樹脂は、以下の式(10)で表されるジシクロペンタジエニルジフェノール構造を有し、末端にX−基及びXO−基(ここでXは置換基を有していてもよいナフチル基である)を有し、重量平均分子量が約2700の活性エステル樹脂であるHPC−8000−65Tである。 Particularly preferred active ester resins are those represented by the following general formula (9):
Figure 2014156515
(Wherein m is 0 or 1 and n is 0.25 to 1.5 as an average value, preferably 0.4 to 1.2), and a dicyclopentadienyl diphenol structure represented by And a terminal compound having an X-group and an XO-group (wherein X is an optionally substituted phenyl group or naphthyl group). The weight average molecular weight of the active ester resin is preferably 1500 to 4000, and more preferably 2000 to 3000.
A particularly preferred active ester resin has a dicyclopentadienyl diphenol structure represented by the following formula (10), and has an X-group and an XO-group (where X has a substituent). HPC-8000-65T, which is an active ester resin having a weight average molecular weight of about 2700.

Figure 2014156515
(式中、mは0又は1であり、nが平均値として0.4〜1.2である)
Figure 2014156515
(In the formula, m is 0 or 1, and n is 0.4 to 1.2 as an average value)

本発明の硬化性樹脂組成物中の(C)硬化剤の含有量は、特に限定されるものではないが、絶縁層の低粗度化と高ピール強度とを両立させるという観点から、当該硬化樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、3〜20質量%が好ましく、5〜18質量%がより好ましく、7〜15質量%が更に好ましい。   The content of the curing agent (C) in the curable resin composition of the present invention is not particularly limited, but from the viewpoint of achieving both low roughness of the insulating layer and high peel strength, the curing is performed. When the non-volatile component in a resin composition is 100 mass%, 3-20 mass% is preferable, 5-18 mass% is more preferable, and 7-15 mass% is still more preferable.

また、エポキシ樹脂全体のエポキシ基数を1とした場合、硬化剤の反応基数は0.2〜2が好ましく、0.3〜1.5がより好ましく、0.4〜1が更に好ましい。ここで、「エポキシ樹脂全体のエポキシ基数」とは、硬化性樹脂組成物中に存在する各エポキシ樹脂の固形分質量をエポキシ当量で除した値をすべてのエポキシ樹脂について合計した値である。また、「反応基」とはエポキシ基と反応することができる官能基のことを意味し、「反応基数」とは、樹脂組成物中に存在する硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値を全て合計した値である。   Moreover, when the epoxy group number of the whole epoxy resin is set to 1, 0.2-2 are preferable, as for the reactive group number of a hardening | curing agent, 0.3-1.5 are more preferable, and 0.4-1 are still more preferable. Here, the “number of epoxy groups in the entire epoxy resin” is a value obtained by adding the values obtained by dividing the solid mass of each epoxy resin present in the curable resin composition by the epoxy equivalent for all epoxy resins. Further, “reactive group” means a functional group capable of reacting with an epoxy group, and “reactive group number” means the solid content mass of the curing agent present in the resin composition divided by the reactive group equivalent. This is the total value of all the values.

(D)無機充填材
本発明で使用し得る無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、雲母、マイカ、珪酸塩、硫酸バリウム、水酸化マグネシウム、酸化チタン等が挙げられ、シリカ、アルミナが好ましく、特に無定形シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ、球状シリカ等のシリカが好ましく、球状シリカ、溶融シリカがより好ましい。硬化性樹脂組成物を含む本発明のシート状積層材料に対する無機充填材の充填性向上の観点から、球状溶融シリカが更に好ましい。1種又は2種以上の無機充填材を使用することができる。市販されている球状溶融シリカとして、(株)アドマテックス製「SOC2」、「SOC1」が挙げられる。
(D) Inorganic filler Examples of the inorganic filler that can be used in the present invention include silica, alumina, mica, mica, silicate, barium sulfate, magnesium hydroxide, and titanium oxide. Silica and alumina are preferable. In particular, silica such as amorphous silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, hollow silica, and spherical silica is preferable, and spherical silica and fused silica are more preferable. Spherical fused silica is more preferable from the viewpoint of improving the filling property of the inorganic filler with respect to the sheet-shaped laminated material of the present invention containing the curable resin composition. One or more inorganic fillers can be used. Examples of commercially available spherical fused silica include “SOC2” and “SOC1” manufactured by Admatechs.

無機充填材の平均粒径は、特に限定されるものではないが、絶縁層上へ微細配線形成を行うという観点から、5μm以下が好ましく、3μm以下がより好ましく、1μm以下が更に好ましく、0.8μm以下が更に一層好ましく、0.6μm以下が殊更好ましい。一方、硬化性樹脂組成物をワニスとした場合に、ワニスの粘度が上昇し、取り扱い性が低下するのを防止するという観点から、0.01μm以上が好ましく、0.03μm以上がより好ましく、0.07μm以上が更に好ましく、0.1μm以上が更に一層好ましい。上記無機充填材の平均粒径はミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折散乱式粒度分布測定装置により、無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折散乱式粒度分布測定装置としては、(株)堀場製作所製 LA−950等を使用することができる。   The average particle size of the inorganic filler is not particularly limited, but is preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, still more preferably 1 μm or less, from the viewpoint of forming fine wiring on the insulating layer. 8 μm or less is even more preferable, and 0.6 μm or less is particularly preferable. On the other hand, when the curable resin composition is used as a varnish, it is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.03 μm or more, from the viewpoint of preventing the viscosity of the varnish from increasing and handleability from decreasing. 0.07 μm or more is more preferable, and 0.1 μm or more is even more preferable. The average particle diameter of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler can be prepared on a volume basis by a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus, and the median diameter can be measured as the average particle diameter. As the measurement sample, an inorganic filler dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used. As a laser diffraction scattering type particle size distribution measuring apparatus, LA-950 manufactured by Horiba, Ltd. or the like can be used.

無機充填材の含有量は、特に制限されないが、シート状積層材料のシート形態の可撓性が低下するのを防止するという観点から、硬化性樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、無機充填材の量が30〜90質量%であることが好ましく、40〜85質量%がより好ましく、50〜85質量%が更に好ましい。とくに本発明においては、無機充填材を50質量%以上含む硬化性樹脂組成物においても、ピール強度を向上させることが可能となる。     Although content in particular of an inorganic filler is not restrict | limited, From a viewpoint of preventing that the flexibility of the sheet | seat form of a sheet-like laminated material falls, the non-volatile component in curable resin composition was 100 mass%. In this case, the amount of the inorganic filler is preferably 30 to 90% by mass, more preferably 40 to 85% by mass, and still more preferably 50 to 85% by mass. In particular, in the present invention, it is possible to improve the peel strength even in a curable resin composition containing 50% by mass or more of an inorganic filler.

無機充填材は、耐湿性向上、分散性向上のためにカップリング剤等で表面処理(コーティング)されたものが好ましい。表面処理剤(カップリング剤)としては、エポキシシラン系カップリング剤、アミノシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤から選択される1種以上が好ましい。これらのなかでもアミノシラン系カップリング剤は耐湿性、分散性、硬化物の特性などに優れていて好ましく、フェニルアミノシラン系カップリング剤がより好ましい。市販品としては、信越化学工業(株)製「KBM403」(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM803」(3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBE903」(3−アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM573」(N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「SZ−31」(ヘキサメチルジシラザン)等が挙げられる。   The inorganic filler is preferably subjected to surface treatment (coating) with a coupling agent or the like in order to improve moisture resistance and dispersibility. The surface treatment agent (coupling agent) is selected from an epoxysilane coupling agent, an aminosilane coupling agent, a mercaptosilane coupling agent, a silane coupling agent, an organosilazane compound, and a titanate coupling agent. One or more are preferred. Among these, aminosilane coupling agents are preferable because they are excellent in moisture resistance, dispersibility, and properties of cured products, and phenylaminosilane coupling agents are more preferable. Commercially available products include “KBM403” (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM803” (3-mercaptopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane) manufactured by Co., Ltd., "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM103" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. ”(Phenyltrimethoxysilane),“ SZ-31 ”(hexamethyldisilazane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and the like.

[その他の成分]
本発明の硬化性樹脂組成物には、上述した成分の他、その他の成分として、硬化促進剤;熱可塑性樹脂;ビニルベンジル化合物、アクリル化合物、マレイミド化合物、ブロックイソシアネート化合物のような熱硬化性樹脂;リン系化合物、水酸化金属物等の難燃剤;シリコンパウダー、ナイロンパウダー、フッ素パウダー、ゴム粒子等の有機充填剤;有機溶媒;オルベン、ベントン等の増粘剤;シリコーン系、フッ素系、高分子系の消泡剤;イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系、シランカップリング剤等の密着性付与剤;フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック等の着色剤;添加剤などを適宜配合することができる。
[Other ingredients]
In addition to the components described above, the curable resin composition of the present invention includes, as other components, a curing accelerator; a thermoplastic resin; a thermosetting resin such as a vinylbenzyl compound, an acrylic compound, a maleimide compound, and a blocked isocyanate compound. Flame retardants such as phosphorus compounds and metal hydroxides; Organic fillers such as silicon powder, nylon powder, fluorine powder, and rubber particles; Organic solvents; Thickeners such as Orben and Benton; Silicone, fluorine, and high Molecular antifoaming agents; adhesion-imparting agents such as imidazole, thiazole, triazole and silane coupling agents; coloring agents such as phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodin green, disazo yellow and carbon black; added An agent or the like can be appropriately blended.

硬化促進剤としては、上記硬化剤による上記エポキシ樹脂の架橋及び硬化を促進することができるものであればいかなる硬化促進剤も使用することができるが、例えば、アミン化合物、グアニジン化合物、イミダゾール化合物、ホスホニウム化合物及び金属系硬化促進剤などが挙げられる。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   As the curing accelerator, any curing accelerator can be used as long as it can accelerate the crosslinking and curing of the epoxy resin by the curing agent. For example, an amine compound, a guanidine compound, an imidazole compound, Examples thereof include phosphonium compounds and metal curing accelerators. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明で使用し得るアミン化合物としては、特に限定されるものではないが、トリエチルアミン、トリブチルアミンなどのトリアルキルアミン、4−ジメチルアミノピリジン(DMAP)、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセン(以下、DBUと略記する。)などのアミン化合物などが挙げられる。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   The amine compound that can be used in the present invention is not particularly limited, but trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine (DMAP), benzyldimethylamine, 2,4,6,- And amine compounds such as tris (dimethylaminomethyl) phenol and 1,8-diazabicyclo (5,4,0) -undecene (hereinafter abbreviated as DBU). You may use these 1 type or in combination of 2 or more types. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明で使用し得るイミダゾール化合物としては、以下の一般式(11)

Figure 2014156515
(式中、R6〜R9は、それぞれ同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、ホルミル基、C1~20アルキル基、C2~20アルケニル基、C2~20アルキニル基、C3~20アリル基、C4~20アルキルジエニル基、C4~20ポリエニル基、C6~20アリール基、C6~20アルキルアリール基、C6~20アリールアルキル基、C4~20シクロアルキル基、C4~20シクロアルケニル基、(C5~10シクロアルキル)C1~10アルキル基、C1~10炭化水素基を有していてもよいシリル基、エポキシ樹脂に由来するヒドロキシエチル基である)で表される化合物であってもよい。 As an imidazole compound that can be used in the present invention, the following general formula (11)

Figure 2014156515
(Wherein, R 6 to R 9 may be the same as or different from each other, a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, a nitro group, formyl groups, C 1 ~ 20 alkyl groups, C 2 ~ 20 alkenyl groups, C 2-20 alkynyl group, C 3 ~ 20 aryl group, C 4 ~ 20 alkyldienyl group, C 4 ~ 20 polyenyl group, C 6 ~ 20 aryl group, C 6 ~ 20 alkylaryl group, C 6 ~ 20 arylalkyl group, C 4 ~ 20 cycloalkyl group, C 4 ~ 20 cycloalkenyl group, (C 5 ~ 10 cycloalkyl) C 1 ~ 10 alkyl group, C 1 ~ 10 hydrocarbon group a silyl group, which may have a It may be a compound represented by a hydroxyethyl group derived from an epoxy resin.

より具体的には、イミダゾール化合物は、1−ベンジル−2-フェニルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−S−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、イミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体及び2,4−ジアミノ−6−ビニル−S−トリアジンからなる群から選択される化合物であり得る。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   More specifically, imidazole compounds are 1-benzyl-2-phenylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole. 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-S-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-un Decylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-S-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-S-triazine, 2,4 -Diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-S-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole Cyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, an adduct of an imidazole compound and an epoxy resin, and It may be a compound selected from the group consisting of 2,4-diamino-6-vinyl-S-triazine. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明で使用し得る金属系硬化促進剤としては、特に限定されるものではないが、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体の具体例としては、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体、銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅錯体、亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体、鉄(III)アセチルアセトナート等の有機鉄錯体、ニッケル(II)アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体、マンガン(II)アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体などが挙げられる。有機金属塩としては、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛などが挙げられる。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   Although it does not specifically limit as a metal type hardening accelerator which can be used by this invention, The organometallic complex or organometallic salt of metals, such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, and tin, is mentioned. It is done. Specific examples of the organometallic complex include organic cobalt complexes such as cobalt (II) acetylacetonate and cobalt (III) acetylacetonate, organic copper complexes such as copper (II) acetylacetonate, and zinc (II) acetylacetonate. Organic zinc complexes such as iron (III) acetylacetonate, organic nickel complexes such as nickel (II) acetylacetonate, and organic manganese complexes such as manganese (II) acetylacetonate. Examples of the organic metal salt include zinc octylate, tin octylate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate, and zinc stearate. These may be used alone or in combination of two or more.

硬化促進剤の含有量は、硬化性樹脂組成物中の不揮発成分の合計を100質量%とした場合、0.005〜3質量%の範囲で使用することが好ましく、0.01〜1質量%の範囲で使用することがより好ましい。   The content of the curing accelerator is preferably used in the range of 0.005 to 3% by mass, when the total of nonvolatile components in the curable resin composition is 100% by mass, 0.01 to 1% by mass It is more preferable to use in the range.

熱可塑性樹脂としては、本発明の効果を阻害しない程度において、例えば、(A)フルオレン構造を有するフェノキシ樹脂以外のフェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、シクロオレフィンポリマー及びポリスルホン樹脂等が挙げられ、ポリビニルアセタール樹脂が好ましい。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   As the thermoplastic resin, for example, (A) a phenoxy resin other than a phenoxy resin having a fluorene structure, a polyvinyl acetal resin, a polyimide resin, a polyamideimide resin, a polyethersulfone resin, a cycloolefin, to the extent that the effects of the present invention are not impaired. Examples thereof include a polymer and a polysulfone resin, and a polyvinyl acetal resin is preferable. These may be used alone or in combination of two or more.

熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は8000〜70000の範囲が好ましく、10000〜60000の範囲がより好ましく、20000〜60000の範囲が更に好ましい。熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、(A)フェノキシ樹脂の重量平均分子量の測定方法と同様に、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法で測定することができる。   The polystyrene-reduced weight average molecular weight of the thermoplastic resin is preferably in the range of 8000 to 70000, more preferably in the range of 10,000 to 60000, and still more preferably in the range of 20000 to 60000. The polystyrene-reduced weight average molecular weight of the thermoplastic resin can be measured by gel permeation chromatography (GPC) as in the method of measuring the weight average molecular weight of (A) phenoxy resin.

有機溶媒としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ、ブチルカルビトール等のカルビトール類、ソルベントナフサ、トルエン、キシレン、等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド系溶媒等を挙げることができる。有機溶剤は2種以上を組みわせて用いてもよい。   Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and cyclohexanone, acetates such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate, and carbitols such as cellosolve and butyl carbitol. And aromatic hydrocarbons such as solvent naphtha, toluene and xylene, and amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone. Two or more organic solvents may be used in combination.

[硬化性樹脂組成物の調製]
本発明の硬化性樹脂組成物は、上記成分を適宜混合し、また、必要に応じて三本ロール、ボールミル、ビーズミル、サンドミル等の混練手段、あるいは高速回転ミキサー、スーパーミキサー、プラネタリーミキサー等の撹拌手段により混練または混合することにより調製することができる。また、さらに上述した有機溶剤を加えることで樹脂ワニスとしても調製することができる。
[Preparation of curable resin composition]
The curable resin composition of the present invention is appropriately mixed with the above components, and if necessary, a kneading means such as a three roll, ball mill, bead mill, sand mill, or a high-speed rotating mixer, a super mixer, a planetary mixer, etc. It can be prepared by kneading or mixing with stirring means. Moreover, it can also prepare as a resin varnish by adding the organic solvent mentioned above.

本発明の硬化性樹脂組成物においては、絶縁層表面の算術平均粗さが低いのみならず、二乗平均平方根粗さも低く、その上に十分なピール強度を有するめっき導体層を形成することができるので、多層プリント配線板の製造において、多層プリント配線板の絶縁層用硬化性樹脂組成物として好適に使用することができる。更に、めっきにより導体層を形成するための硬化性樹脂組成物(めっきにより導体層を形成する多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物)として好適に使用することができ、更に多層プリント配線板のビルドアップ層用硬化性樹脂組成物として好適である。   In the curable resin composition of the present invention, not only the arithmetic average roughness of the insulating layer surface is low, but also the root mean square roughness is low, and a plated conductor layer having sufficient peel strength can be formed thereon. Therefore, in manufacture of a multilayer printed wiring board, it can use suitably as a curable resin composition for insulating layers of a multilayer printed wiring board. Furthermore, it can be suitably used as a curable resin composition for forming a conductor layer by plating (resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board in which a conductor layer is formed by plating), and further a multilayer printed wiring board It is suitable as a curable resin composition for a buildup layer.

本発明の硬化性樹脂組成物の形態としては、特に限定されないが、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料、回路基板(積層板用途、多層プリント配線板用途等)に適用することが出来る。本発明の樹脂組成物は、ワニス状態で回路基板に塗布して絶縁層を形成することもできるが、工業的には一般に、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料の形態で用いるのが好ましい。樹脂組成物の軟化点は、シート状積層材料のラミネート性の観点から40〜150℃が好ましい。   Although it does not specifically limit as a form of the curable resin composition of this invention, It can apply to sheet-like laminated materials, such as an adhesive film and a prepreg, and a circuit board (a laminated board use, a multilayer printed wiring board use, etc.). The resin composition of the present invention can be applied to a circuit board in a varnish state to form an insulating layer, but in general, it is preferably used in the form of a sheet-like laminated material such as an adhesive film or a prepreg. . The softening point of the resin composition is preferably 40 to 150 ° C. from the viewpoint of the laminate property of the sheet-like laminated material.

[多層プリント配線板]
本発明の硬化性樹脂組成物は、多層プリント配線板の絶縁層用硬化性樹脂組成物として用いることができる。本発明で使用され得る多層プリント配線板は、本発明の硬化性樹脂組成物やシート状積層材料を熱硬化して得られた絶縁層を含む、多層プリント配線板である。
ここで、熱硬化の条件は、硬化性樹脂組成物中のエポキシ樹脂の種類、含有量などに応じて適宜選択すればよいが、例えば硬化温度は90〜220℃、好ましくは160℃〜210℃であり、硬化時間は10分〜180分、好ましくは20〜120分として加熱されることによって行う。また、2段階に分けて熱硬化を行っても良い。
ここで絶縁層の線熱膨張係数(CTE)(JIS K7197)は、25〜150℃の平均の線熱膨張係数で測定して、20ppm/℃以下となるのが好ましく、19ppm/℃以下となるのがより好ましい。下限値に特に制限はないが、一般的に4ppm/℃となる。これにより、絶縁層(ビルドアップ層)と導体層(配線)とのひずみを防止し、信頼性の高い多層プリント配線板を得ることができる。
[Multilayer printed wiring board]
The curable resin composition of the present invention can be used as a curable resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board. The multilayer printed wiring board which can be used by this invention is a multilayer printed wiring board containing the insulating layer obtained by thermosetting the curable resin composition and sheet-like laminated material of this invention.
Here, the thermosetting conditions may be appropriately selected according to the type and content of the epoxy resin in the curable resin composition. For example, the curing temperature is 90 to 220 ° C., preferably 160 to 210 ° C. The curing time is 10 minutes to 180 minutes, preferably 20 to 120 minutes. In addition, thermosetting may be performed in two stages.
Here, the linear thermal expansion coefficient (CTE) (JIS K7197) of the insulating layer is preferably 20 ppm / ° C. or less, preferably 19 ppm / ° C. or less, as measured by an average linear thermal expansion coefficient of 25 to 150 ° C. Is more preferable. The lower limit is not particularly limited, but is generally 4 ppm / ° C. Thereby, distortion with an insulating layer (build-up layer) and a conductor layer (wiring) can be prevented, and a highly reliable multilayer printed wiring board can be obtained.

絶縁層表面は粗化処理してもよい。乾式の粗化処理としてはプラズマ処理等が挙げられる。湿式の粗化処理は、例えば、種々の処理液を適用することによって行われる。膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理及び中和液による中和処理をこの順に行う方法が挙げられる。従って、処理液はこれら膨潤液、酸化剤、中和液のキットであってもよい。湿式の粗化処理の方が、大面積や複数枚を一度に処理でき生産性が高い点で好ましい。
膨潤液による膨潤処理は、絶縁層を50〜80℃で5〜20分間(好ましくは55〜70℃で8〜15分間)、膨潤液に浸漬させることで行われる。膨潤液としては、例えばアルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液である。該アルカリ溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液等が挙げられる。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のスウェリング・ディップ・セキュリガントP(Swelling Dip Securiganth P)、スウェリング・ディップ・セキュリガントSBU(Swelling Dip Securiganth SBU)等を挙げることができる。
酸化剤による粗化処理は、絶縁層を60〜80℃で10〜30分間(好ましくは70〜80℃で15〜25分間)、酸化剤溶液に浸漬させることで行われる。酸化剤としては、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液、重クロム酸塩、オゾン、過酸化水素/硫酸、硝酸等を挙げることができる。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5〜10質量%とするのが好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のコンセントレート・コンパクト CP、ドージングソリューション セキュリガントP等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。
中和液による中和処理は、30〜50℃で3〜10分間(好ましくは35〜45℃で3〜8分間)、中和液に浸漬させることで行われる。中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、アトテックジャパン(株)製のリダクションソリューシン・セキュリガントPが挙げられる。
粗化処理後、絶縁層を50〜120℃で10〜60分間(好ましくは60〜100℃で20〜40分間)乾燥してもよい。
The surface of the insulating layer may be roughened. Examples of the dry roughening treatment include plasma treatment. The wet roughening treatment is performed, for example, by applying various treatment liquids. The method of performing the swelling process by a swelling liquid, the roughening process by an oxidizing agent, and the neutralization process by a neutralization liquid in this order is mentioned. Therefore, the treatment liquid may be a kit of these swelling liquid, oxidizing agent, and neutralizing liquid. The wet roughening treatment is preferable in that a large area or a plurality of sheets can be processed at a time, and the productivity is high.
The swelling treatment with the swelling liquid is performed by immersing the insulating layer in the swelling liquid at 50 to 80 ° C. for 5 to 20 minutes (preferably at 55 to 70 ° C. for 8 to 15 minutes). Examples of the swelling liquid include an alkaline solution and a surfactant solution, and an alkaline solution is preferable. Examples of the alkaline solution include sodium hydroxide solution and potassium hydroxide solution. Examples of commercially available swelling liquids include Swelling Dip Securiganth P (Swelling Dip Securiganth P) and Swelling Dip Securiganth SBU manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. be able to.
The roughening treatment with an oxidizing agent is performed by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution at 60 to 80 ° C. for 10 to 30 minutes (preferably at 70 to 80 ° C. for 15 to 25 minutes). Examples of the oxidizing agent include alkaline permanganate solution in which potassium permanganate and sodium permanganate are dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide, dichromate, ozone, hydrogen peroxide / sulfuric acid, nitric acid and the like. it can. Moreover, it is preferable that the density | concentration of the permanganate in an alkaline permanganic acid solution shall be 5-10 mass%. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganic acid solutions such as Concentrate Compact CP, Dosing Solution Securigant P manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.
Neutralization treatment with a neutralizing solution is performed by immersing in a neutralizing solution at 30 to 50 ° C for 3 to 10 minutes (preferably at 35 to 45 ° C for 3 to 8 minutes). As the neutralizing solution, an acidic aqueous solution is preferable, and as a commercially available product, Reduction Solution / Secligant P manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. may be mentioned.
After the roughening treatment, the insulating layer may be dried at 50 to 120 ° C. for 10 to 60 minutes (preferably at 60 to 100 ° C. for 20 to 40 minutes).

粗化処理後の絶縁層表面の表面粗さは、微細配線形成向上のために、算術平均粗さ(Ra)が350nm以下となるのが好ましく、300nm以下となるのがより好ましく、200nm以下となるのがさらに好ましく、100nm以下となるのが特に好ましい。算術平均粗さ(Ra)の下限値に制限はないが、一般的に10nm以上、40nm以上、70nm以上などとなる。二乗平均平方根粗さ(Rq)は450nm以下となるのが好ましく、350nm以下となるのがより好ましく、250nm以下となるのが更に好ましく、150nm以下となるのが特に好ましい。二乗平均平方根粗さ(Rq)の下限値に制限はないが、一般的に20nm以上、50nm以上、90nm以上などとなる。なお、二乗平均平方根粗さ(Rq)は絶縁層表面の局所的な状態が反映されるため、Rqの把握によってより緻密で平滑な絶縁層表面になっていることが確認でき、ピール強度が安定化する。これは、硬化性樹脂組成物を熱硬化して、粗化処理した後の絶縁層の表面粗さに相当する。   The surface roughness of the surface of the insulating layer after the roughening treatment is preferably such that the arithmetic average roughness (Ra) is 350 nm or less, more preferably 300 nm or less, and 200 nm or less in order to improve fine wiring formation. More preferably, it is more preferably 100 nm or less. Although there is no restriction | limiting in the lower limit of arithmetic mean roughness (Ra), Generally it will be 10 nm or more, 40 nm or more, 70 nm or more, etc. The root mean square roughness (Rq) is preferably 450 nm or less, more preferably 350 nm or less, still more preferably 250 nm or less, and particularly preferably 150 nm or less. Although there is no restriction | limiting in the lower limit of root mean square roughness (Rq), Generally it will be 20 nm or more, 50 nm or more, 90 nm or more. In addition, since the root mean square roughness (Rq) reflects the local state of the insulating layer surface, it can be confirmed by grasping Rq that the surface of the insulating layer is denser and smoother, and the peel strength is stable. Turn into. This corresponds to the surface roughness of the insulating layer after the curable resin composition is thermally cured and roughened.

ピール強度は、絶縁層とこれに隣接する層、例えば導体層とを十分に密着させておくために0.45kgf/cm(4.41N/cm)以上が好ましく、0.50kgf/cm(4.90N/cm)以上がより好ましい。ピール強度の上限値は高いほどよく、特に制限は無いが、一般的に1.5kgf/cm(14.7N/cm)以下、1.2kgf/cm(11.8N/cm)以下、1.0kgf/cm(9.81N/cm)以下、0.8kgf/cm(7.85N/cm)以下などとなる。   The peel strength is preferably 0.45 kgf / cm (4.41 N / cm) or more, and 0.50 kgf / cm (4. 4 N / cm) in order to keep the insulating layer and a layer adjacent thereto, for example, a conductor layer sufficiently adhered. 90 N / cm) or more is more preferable. The upper limit of peel strength is preferably as high as possible and is not particularly limited, but is generally 1.5 kgf / cm (14.7 N / cm) or less, 1.2 kgf / cm (11.8 N / cm) or less, 1.0 kgf. / Cm (9.81 N / cm) or less, 0.8 kgf / cm (7.85 N / cm) or less, and the like.

破断点伸びは、硬化性樹脂組成物を熱硬化させて得られた硬化物の引張強度を、JIS K7127に準拠して測定する。具体的に、この硬化物からダンベル状に切り出された試験片を作成し、PETフィルムを剥がして、オリエンテック社製引張試験機RTC−1250Aを用いて測定することができる。破断点伸びは、1.5%であることが好ましく、1.7%以上であることがより好ましい。   The elongation at break is measured in accordance with JIS K7127, the tensile strength of a cured product obtained by thermosetting the curable resin composition. Specifically, a test piece cut out in a dumbbell shape from this cured product can be prepared, the PET film can be peeled off, and measurement can be performed using an orientec tensile tester RTC-1250A. The elongation at break is preferably 1.5%, more preferably 1.7% or more.

[シート状積層材料]
本発明で用いられるシート状積層材料は、上記硬化性樹脂組成物を層形成した、硬化前のシート状材料である。当該シート状積層材料は、当業者に公知の方法、例えば、上述した有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーターなどを用いて、支持体に塗布し、更に加熱、あるいは熱風吹きつけ等により有機溶剤を乾燥させて支持体上に樹脂組成物層(シート状積層材料)を形成させることにより支持体付きシート状積層材料として製造することができる。また、樹脂ワニスをガラスクロス等のシート状補強基材にホットメルト法又はソルベント法により含浸、乾燥させることで、シート状積層材料をプリプレグとすることもできる。なお、支持体付きシート状積層材料を接着フィルムという場合もある。
[Sheet laminated material]
The sheet-like laminated material used in the present invention is a sheet-like material before curing, in which the curable resin composition is layered. The sheet-like laminated material is prepared by a method known to those skilled in the art, for example, by preparing a resin varnish in which the resin composition is dissolved in the organic solvent described above, and applying the resin varnish to a support using a die coater or the like. Further, the organic solvent is further dried by heating or hot air blowing to form a resin composition layer (sheet-like laminate material) on the support, whereby a sheet-like laminate material with a support can be produced. Moreover, a sheet-like laminated material can also be made into a prepreg by impregnating and drying a resin varnish on a sheet-like reinforcing base material such as glass cloth by a hot melt method or a solvent method. In addition, a sheet-like laminated material with a support may be referred to as an adhesive film.

乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層への有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。ワニス中の有機溶剤量、有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30〜60質量%の有機溶剤を含むワニスを50〜150℃で3〜10分程度乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。
得られたシート状積層材料の厚さは特に限定されないが、例えば1〜150μmの範囲が好ましく、2〜100μmの範囲がより好ましく、3〜50μmの範囲がさらに好ましく、5〜30μmの範囲が特に好ましい。
The drying conditions are not particularly limited, but the drying is performed so that the content of the organic solvent in the resin composition layer is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Depending on the amount of organic solvent in the varnish and the boiling point of the organic solvent, for example, a resin composition layer is formed by drying a varnish containing 30 to 60% by mass of an organic solvent at 50 to 150 ° C. for about 3 to 10 minutes. can do.
Although the thickness of the obtained sheet-like laminated material is not particularly limited, for example, a range of 1 to 150 μm is preferable, a range of 2 to 100 μm is more preferable, a range of 3 to 50 μm is further preferable, and a range of 5 to 30 μm is particularly preferable. preferable.

当該シート状積層材料は、樹脂組成物層が複数層になっていてもよく、樹脂組成物層の一方の面に支持体を有していてもよく、他方の面に保護フィルム有していても良い。   The sheet-like laminated material may have a plurality of resin composition layers, may have a support on one side of the resin composition layer, and have a protective film on the other side. Also good.

[支持体]
本発明で使用し得る支持体としては、プラスチックフィルムや金属箔が挙げられる。具体的に、プラスチックフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET 」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、アクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース、ポリエーテルサルファイド、ポリエーテルケトン、ポリイミドなどが挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルムが好ましく、特に安価で入手容易なポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。
金属箔としては、銅箔、アルミニウム箔などが挙げられる。
[Support]
Examples of the support that can be used in the present invention include plastic films and metal foils. Specifically, as a plastic film, polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as “PET”), polyester such as polyethylene naphthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, acrylic, cyclic polyolefin, triacetyl cellulose, polyether sulfide , Polyether ketone, polyimide and the like. Among these, a polyethylene terephthalate film and a polyethylene naphthalate film are preferable, and a polyethylene terephthalate film that is inexpensive and easily available is particularly preferable.
Examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil.

汎用性の点から、プラスチックフィルムが好ましく、プラスチックフィルムを使用する場合、剥離性を向上させるために、硬化性樹脂組成物を含む層と接する面が離型処理された支持体を使用するのが好ましい。離型処理に使用する離型剤としては、硬化性樹脂組成物を含む層が支持体から剥離可能であれば特に限定されず、例えば、シリコン系離型剤、アルキッド樹脂系離型剤、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、フッ素樹脂等が挙げられる。なお、離型処理された支持体として、市販されている離型層付きプラスチックフィルムを用いてもよく、好ましいものとしては、例えば、アルキッド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムであるSK−1、AL−5、AL−7(リンテック(株)製)などが挙げられる。また、プラスチックフィルムは、マット処理又はコロナ処理を施してあってもよく、当該処理面上に離型層を形成してもよい。一方、金属箔はエッチング溶液により除去することもできるし、除去せずに該金属箔を導体層として利用してもよい。
支持体の厚さは特に限定されないが、10〜150μmの範囲が好ましく、20〜50μmの範囲がより好ましく、25〜45μmの範囲がさらに好ましい。
From the viewpoint of versatility, a plastic film is preferable. When a plastic film is used, in order to improve peelability, it is necessary to use a support whose surface in contact with the layer containing the curable resin composition is subjected to a release treatment. preferable. The release agent used for the release treatment is not particularly limited as long as the layer containing the curable resin composition can be peeled from the support, and examples thereof include silicon release agents, alkyd resin release agents, and polyolefins. Resins, urethane resins, fluororesins and the like can be mentioned. In addition, you may use the plastic film with a release layer marketed as a support body by which the mold release process was carried out, As a preferable thing, for example, it has a release layer which has an alkyd resin type release agent as a main component. Examples of the PET film include SK-1, AL-5, and AL-7 (manufactured by Lintec Corporation). The plastic film may be subjected to mat treatment or corona treatment, and a release layer may be formed on the treated surface. On the other hand, the metal foil can be removed by an etching solution, or the metal foil may be used as a conductor layer without being removed.
Although the thickness of a support body is not specifically limited, The range of 10-150 micrometers is preferable, The range of 20-50 micrometers is more preferable, The range of 25-45 micrometers is further more preferable.

本発明で使用し得る保護フィルムは、硬化性樹脂組成物を含む層へのごみ等の付着防止等を目的として設けられてもよい。当該保護フィルムとしては、支持体と同様のプラスチックフィルムを使用することができる。また保護フィルムには、マッド処理、コロナ処理等の表面処理が施してあってもよく、上記と同様の離型処理が施してあってもよい。保護フィルムの厚みは、3〜30μmが好ましく、5〜20μmがより好ましい。   The protective film that can be used in the present invention may be provided for the purpose of preventing adhesion of dust and the like to the layer containing the curable resin composition. As the protective film, a plastic film similar to the support can be used. The protective film may be subjected to a surface treatment such as a mud treatment or a corona treatment, or may be subjected to a mold release treatment similar to the above. 3-30 micrometers is preferable and, as for the thickness of a protective film, 5-20 micrometers is more preferable.

[シート状積層材料を用いた多層プリント配線板]
次に、上記のようにして製造したシート状積層材料を用いて多層プリント配線板を製造する方法の一例を説明する。
まず、シート状積層材料を、真空ラミネーターを用いて回路基板の片面又は両面にラミネート(積層)する。回路基板に用いられる基板としては、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。なお、ここで回路基板とは、上記のような基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成されたものをいう。また導体層と絶縁層とを交互に積層してなる多層プリント配線板において、該多層プリント配線板の最外層の片面又は両面がパターン加工された導体層(回路)となっているものも、ここでいう回路基板に含まれる。なお導体層表面には、黒化処理、銅エッチング等により予め粗化処理が施されていてもよい。
[Multilayer printed wiring board using sheet-like laminated material]
Next, an example of a method for producing a multilayer printed wiring board using the sheet-like laminated material produced as described above will be described.
First, a sheet-like laminated material is laminated (laminated) on one side or both sides of a circuit board using a vacuum laminator. Examples of the substrate used for the circuit substrate include a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate, and the like. In addition, a circuit board means here that the conductor layer (circuit) patterned was formed in the one or both surfaces of the above boards. Also, in a multilayer printed wiring board in which conductor layers and insulating layers are alternately laminated, one of the outermost layers of the multilayer printed wiring board is a conductor layer (circuit) in which one or both sides are patterned. It is included in the circuit board. The surface of the conductor layer may be previously roughened by blackening, copper etching, or the like.

上記ラミネートにおいて、シート状積層材料が保護フィルムを有している場合には該保護フィルムを除去した後、必要に応じてシート状積層材料及び回路基板をプレヒートし、シート状積層材料を加圧及び加熱しながら回路基板にラミネートする。本発明のシート状積層材料においては、真空ラミネート法により減圧下で回路基板にラミネートする方法が好適に用いられる。ラミネートの条件は、特に限定されるものではないが、例えば、空気圧20mmHg(26.7hPa)以下に10〜120秒間程度減圧し、その後圧着温度(ラミネート温度)を好ましくは70〜140℃、圧着圧力(ラミネート圧力)を好ましくは0.1〜1.5MPa、より好ましくは0.5〜1.2MPaとし、圧着時間(ラミネート時間)を好ましくは5〜180秒としてラミネートするのが好ましい。また、ラミネートの方法は、バッチ式であってもロールでの連続式であってもよい。真空ラミネートは、市販の真空ラミネーターを使用して行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、ニチゴー・モートン(株)製バキュームアップリケーター、(株)名機製作所製真空加圧式ラミネーター、(株)日立インダストリイズ製ロール式ドライコータ、日立エーアイーシー(株)製真空ラミネーター等を挙げることができる。
その後、室温付近に冷却してから、支持体を剥離する場合は剥離し、樹脂組成物を熱硬化して硬化物を形成することで、回路基板上に絶縁層を形成することができる。熱硬化の条件は、樹脂組成物中の樹脂成分の種類、含有量などに応じて適宜選択すればよいが、たとえば硬化温度は100〜220℃、好ましくは160℃〜210℃であり、硬化時間は20分〜180分、好ましくは30〜120分として加熱されることによって行う。また、2段階に分けて熱硬化を行っても良い。絶縁層を形成した後、硬化前に支持体を剥離しなかった場合は、必要によりここで剥離することもできる。
In the above laminate, when the sheet-like laminate material has a protective film, after removing the protective film, the sheet-like laminate material and the circuit board are preheated as necessary, and the sheet-like laminate material is pressurized and Laminate to circuit board while heating. In the sheet-like laminated material of the present invention, a method of laminating on a circuit board under reduced pressure by a vacuum laminating method is suitably used. Lamination conditions are not particularly limited. For example, the pressure is reduced to an air pressure of 20 mmHg (26.7 hPa) or less for about 10 to 120 seconds, and then the pressure bonding temperature (laminating temperature) is preferably 70 to 140 ° C., pressure bonding pressure. (Lamination pressure) is preferably 0.1 to 1.5 MPa, more preferably 0.5 to 1.2 MPa, and pressure bonding time (laminating time) is preferably 5 to 180 seconds. The laminating method may be a batch method or a continuous method using a roll. The vacuum lamination can be performed using a commercially available vacuum laminator. Commercially available vacuum laminators include, for example, a vacuum applicator manufactured by Nichigo-Morton Co., Ltd., a vacuum pressurizing laminator manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., a roll dry coater manufactured by Hitachi Industries, Ltd., and Hitachi AIC Co., Ltd. ) Made vacuum laminator and the like.
Thereafter, after cooling to near room temperature, the support is peeled off, and the resin composition is heat-cured to form a cured product, whereby an insulating layer can be formed on the circuit board. The heat curing conditions may be appropriately selected according to the type and content of the resin component in the resin composition. For example, the curing temperature is 100 to 220 ° C., preferably 160 ° C. to 210 ° C., and the curing time. Is carried out by heating for 20 to 180 minutes, preferably 30 to 120 minutes. In addition, thermosetting may be performed in two stages. After the insulating layer is formed, if the support is not peeled before curing, it can be peeled off here if necessary.

また、シート状積層材料を、真空プレス機を用いて回路基板の片面又は両面に積層することもできる。減圧下、加熱及び加圧を行う積層工程は、一般の真空ホットプレス機を用いて行うことが可能である。例えば、加熱されたSUS板等の金属板を支持体側からプレスすることにより行うことができる。プレス条件は、70〜250℃、好ましくは100〜230℃の温度で、減圧度を通常0.01MPa以下、好ましくは0.001MPa以下の減圧下とし、プレス圧力が0.5〜4MPaの範囲、プレス時間を30〜150分間として行うのが好ましい。加熱及び加圧は、1段階で行うことも出来るが、樹脂のしみだしを制御する観点から2段階以上に条件を分けて行うのが好ましい。例えば、1段階目のプレスを、温度が70〜150℃、プレス圧力が0.1〜1.5MPaの範囲、2段階目のプレスを、温度が150〜200℃、圧力が0.5〜4MPaの範囲で行うのが好ましい。各段階の時間は20〜120分間で行うのが好ましく、である。このように樹脂組成物層を熱硬化することにより回路基板上に絶縁層を形成することができる。市販されている真空ホットプレス機としては、例えば、MNPC−V−750−5−200((株)名機製作所製)、VH1−1603(北川精機(株)製)等が挙げられる。   Moreover, a sheet-like laminated material can also be laminated | stacked on the single side | surface or both surfaces of a circuit board using a vacuum press machine. The lamination process for heating and pressurizing under reduced pressure can be performed using a general vacuum hot press machine. For example, it can be performed by pressing a metal plate such as a heated SUS plate from the support side. The pressing conditions are 70 to 250 ° C., preferably 100 to 230 ° C., and the degree of vacuum is usually 0.01 MPa or less, preferably 0.001 MPa or less, and the pressing pressure is in the range of 0.5 to 4 MPa. The pressing time is preferably 30 to 150 minutes. Although heating and pressurization can be carried out in one stage, it is preferable to carry out the conditions separately in two or more stages from the viewpoint of controlling the bleeding of the resin. For example, the first stage press has a temperature in the range of 70 to 150 ° C. and the press pressure is in the range of 0.1 to 1.5 MPa. The second stage press has a temperature in the range of 150 to 200 ° C. and the pressure is 0.5 to 4 MPa. It is preferable to perform in the range. The time for each stage is preferably 20 to 120 minutes. Thus, an insulating layer can be formed on a circuit board by thermosetting the resin composition layer. Examples of commercially available vacuum hot press machines include MNPC-V-750-5-200 (manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.), VH1-1603 (manufactured by Kitagawa Seiki Co., Ltd.), and the like.

次いで、回路基板上に形成された絶縁層に穴開け加工を行ってビアホール、スルーホールを形成してもよい。穴あけ加工は、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等の公知の方法により、また必要によりこれらの方法を組み合わせて行うことができるが、炭酸ガスレーザー、YAGレーザー等のレーザーによる穴あけ加工が最も一般的な方法である。穴あけ加工前に支持体を剥離しなかった場合は、ここで剥離することになる。   Next, a via hole or a through hole may be formed by drilling the insulating layer formed on the circuit board. For example, the drilling can be performed by a known method such as drilling, laser, or plasma, or a combination of these methods if necessary, but drilling by a laser such as a carbon dioxide gas laser or a YAG laser is the most common. Is the method. If the support is not peeled off before drilling, it will be peeled off here.

次いで、絶縁層表面に上述した粗化処理を行い、さらに乾式めっき又は湿式めっきにより絶縁層上に導体層を形成し得る。乾式めっきとしては、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の公知の方法を使用することができる。湿式めっきとしては、無電解めっきと電解めっきとを組み合わせて導体層を形成する方法、導体層とは逆パターンのめっきレジストを形成し、無電解めっきのみで導体層を形成する方法、等が挙げられる。その後のパターン形成の方法として、例えば、当業者に公知のサブトラクティブ法、セミアディティブ法などを用いることができ、上述の一連の工程を複数回繰り返すことで、ビルドアップ層を多段に積層した多層プリント配線板となる。本発明においては、低粗度、高ピールであるため、多層プリント配線板のビルドアップ層として好適に使用することができる。   Next, the above-described roughening treatment is performed on the surface of the insulating layer, and a conductor layer can be formed on the insulating layer by dry plating or wet plating. As the dry plating, a known method such as vapor deposition, sputtering, or ion plating can be used. Examples of wet plating include a method in which a conductive layer is formed by combining electroless plating and electrolytic plating, a method in which a plating resist having a pattern opposite to that of the conductive layer is formed, and a conductive layer is formed only by electroless plating. It is done. As a pattern formation method thereafter, for example, a subtractive method or a semi-additive method known to those skilled in the art can be used. By repeating the above-described series of steps a plurality of times, a multilayer in which build-up layers are stacked in multiple stages It becomes a printed wiring board. In the present invention, since it has low roughness and high peel, it can be suitably used as a build-up layer of a multilayer printed wiring board.

[半導体装置]
上述のようにして製造された多層プリント配線板を用いることで半導体装置を製造することができる。本発明で使用され得る多層プリント配線板の導通箇所に、半導体チップを実装することにより半導体装置を製造することができる。「導通箇所」とは、「多層プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、導通するのであれば、導体層の一部であってもそれ以外のコネクタ等の導電部分であってもよい。「半導体チップ」とは、半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。
[Semiconductor device]
A semiconductor device can be manufactured by using the multilayer printed wiring board manufactured as described above. A semiconductor device can be manufactured by mounting a semiconductor chip on a conductive portion of a multilayer printed wiring board that can be used in the present invention. The “conduction location” is a “location where an electrical signal is transmitted in a multilayer printed wiring board”, and the location may be a surface or an embedded location. Moreover, as long as it conduct | electrically_connects, it may be a part of conductor layers, or other conductive parts, such as a connector. The “semiconductor chip” is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

本発明の半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、などが挙げられる。   The semiconductor chip mounting method for manufacturing the semiconductor device of the present invention is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively, but specifically, a wire bonding mounting method, a flip chip mounting method, and no bumps. Examples include a mounting method using a build-up layer (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), and a mounting method using a non-conductive film (NCF).

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下の記載中の「部」は、特に断らない限り「質量部」を意味し、「%」は特に断らない限り「質量%」を意味する。  EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following description, “part” means “part by mass” unless otherwise specified, and “%” means “% by mass” unless otherwise specified.

<測定方法・評価方法>
まずは各種測定方法・評価方法について説明する。
<Measurement method / Evaluation method>
First, various measurement methods and evaluation methods will be described.

〔ピール強度、算術平均粗さ(Ra値)、二乗平均平方根粗さ(Rq値)測定用サンプルの調製〕
(1)積層板の下地処理
ガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板厚み0.3mm、松下電工(株)製R5715ES)の両面をメック(株)製CZ8100にて1μmエッチングして銅表面の粗化処理をおこなった。
(2)接着フィルムのラミネート
実施例及び比較例で作成した接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーターMVLP-500(名機製作所製)を用いて、上記粗化処理したエポキシ樹脂両面銅張積層板の両面にラミネートした。ラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃、圧力0.74MPaで圧着することにより行った。
[Preparation of samples for peel strength, arithmetic average roughness (Ra value), root mean square roughness (Rq value)]
(1) Substrate treatment of laminated board Glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.3 mm, R5715ES manufactured by Matsushita Electric Works) CZ8100 manufactured by MEC The copper surface was roughened by etching at 1 μm.
(2) Lamination of adhesive film Epoxy resin double-sided copper-clad laminate obtained by roughening the adhesive films prepared in Examples and Comparative Examples using a batch-type vacuum pressure laminator MVLP-500 (manufactured by Meiki Seisakusho). Laminated on both sides. Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to a pressure of 13 hPa or less, and then pressure bonding for 30 seconds at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa.

(3)樹脂組成物の硬化
ラミネートされた接着フィルムから支持体であるポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを剥離した後、100℃、30分続けて180℃、30分の硬化条件で樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成した。
(3) Curing of resin composition After peeling a polyethylene terephthalate (PET) film as a support from a laminated adhesive film, the resin composition is cured under curing conditions of 100 ° C for 30 minutes and 180 ° C for 30 minutes. Thus, an insulating layer was formed.

(4)粗化処理
絶縁層を形成した積層板を、膨潤液である、アトテックジャパン(株)のジエチレングリコールモノブチルエーテル含有のスウェリング・ディップ・セキュリガントP(グリコールエーテル類、水酸化ナトリウムの水溶液)に、60℃で5分間(実施例1、比較例1、4、5)又は10分間(実施例2、3、比較例2、3、6)浸漬した。次に粗化液として、アトテックジャパン(株)のコンセントレート・コンパクトP(KMnO4:60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液)に、80℃で15分間(実施例1、比較例1、4、5)、20分間(実施例2、3、比較例2、3、6)浸漬した。最後に中和液として、アトテックジャパン(株)のリダクションショリューシン・セキュリガントP(硫酸の水溶液)に40℃で5分間浸漬した。80℃で30分乾燥後、この基板を評価基板Aとした。
(4) Roughening treatment The laminated plate on which the insulating layer is formed is a swelling liquid, a swelling ring dip securigant P (glycol ethers, aqueous solution of sodium hydroxide) containing diethylene glycol monobutyl ether of Atotech Japan Co., Ltd. For 5 minutes (Example 1, Comparative Examples 1, 4, 5) or 10 minutes (Examples 2, 3, Comparative Examples 2, 3, 6) at 60 ° C. Next, as a roughening solution, Atotech Japan Co., Ltd. Concentrate Compact P (KMnO 4 : 60 g / L, NaOH: 40 g / L aqueous solution) at 80 ° C. for 15 minutes (Example 1, Comparative Example 1, 4, 5) for 20 minutes (Examples 2, 3, Comparative Examples 2, 3, 6). Finally, as a neutralizing solution, it was immersed for 5 minutes at 40 ° C. in Reduction Sholysin Securigant P (an aqueous solution of sulfuric acid) of Atotech Japan Co., Ltd. After drying at 80 ° C. for 30 minutes, this substrate was designated as evaluation substrate A.

(5)セミアディティブ工法によるめっき
評価基板Aをめっきして導体層を形成した。具体的には、評価基板Aを、PdCl2を含む無電解めっき用溶液に40℃で5分間浸漬し、次に無電解銅めっき液に25℃で20分間浸漬した。150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによるパターン形成の後に、硫酸銅電解めっきを行い、30μmの厚さで導体層を形成した。次に、アニール処理を190℃にて60分間行った。この基板を評価基板Bとした。
(5) Plating by semi-additive method Evaluation substrate A was plated to form a conductor layer. Specifically, the evaluation substrate A was immersed in an electroless plating solution containing PdCl 2 at 40 ° C. for 5 minutes, and then immersed in an electroless copper plating solution at 25 ° C. for 20 minutes. An annealing treatment was performed by heating at 150 ° C. for 30 minutes, and then an etching resist was formed. After pattern formation by etching, copper sulfate electrolytic plating was performed to form a conductor layer with a thickness of 30 μm. Next, annealing treatment was performed at 190 ° C. for 60 minutes. This substrate was designated as evaluation substrate B.

〔粗化後の算術平均粗さ(Ra値)、二乗平均平方根粗さ(Rq値)の測定〕
評価基板Aを、非接触型表面粗さ計(ビーコインスツルメンツ社製WYKO NT3300)を用いて、VSIコンタクトモード、50倍レンズにより測定範囲を121μm×92μmとして得られる数値によりRa値、Rq値を求めた。それぞれ10点の平均値を求めることにより測定した。
[Measurement of arithmetic average roughness (Ra value) and root mean square roughness (Rq value) after roughening]
Using a non-contact type surface roughness meter (WYKO NT3300, manufactured by Bee Coins Instruments Co., Ltd.), Ra value and Rq value are obtained from numerical values obtained with a measurement range of 121 μm × 92 μm using a 50 × lens. It was. Each was measured by obtaining an average value of 10 points.

〔めっき導体層の引き剥がし強さ(ピール強度)の測定〕
評価基板Bの導体層に、幅10mm、長さ100mmの部分の切込みをいれ、この一端を剥がしてつかみ具(株式会社ティー・エス・イー、オートコム型試験機 AC−50C−SL)で掴み、室温(25℃)中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重(kgf/cm(N/cm))を測定した。
[Measurement of peeling strength (peel strength) of plating conductor layer]
Cut the 10mm width and 100mm length into the conductor layer of the evaluation board B, peel off one end and grasp it with a gripping tool (TSE Co., Ltd., Autocom type testing machine AC-50C-SL). The load (kgf / cm (N / cm)) when 35 mm was peeled off in the vertical direction at a speed of 50 mm / min at room temperature (25 ° C.) was measured.

〔線熱膨張係数(CTE)の測定〕
実施例及び比較例において得られた接着フィルムを200℃で90分間加熱することで熱硬化させ、支持体であるPETフィルムから剥離することによりシート状の硬化物を得た。その硬化物を、幅5mm、長さ15mm、厚さ30mmの試験片に切断し、熱機械分析装置Thermo Plus TMA8310((株)リガク製)を使用して、引張加重法で熱機械分析を行った。試験片を前記装置に装着後、荷重1g、昇温速度5℃/分の測定条件にて連続して2回測定した。2回目の測定における25℃から150℃までの平均線熱膨張係数(ppm)を算出した。
[Measurement of linear thermal expansion coefficient (CTE)]
The adhesive films obtained in the examples and comparative examples were thermally cured by heating at 200 ° C. for 90 minutes, and peeled from the PET film as a support to obtain a sheet-like cured product. The cured product is cut into a test piece having a width of 5 mm, a length of 15 mm, and a thickness of 30 mm, and thermomechanical analysis is performed by a tensile load method using a thermomechanical analyzer Thermo Plus TMA8310 (manufactured by Rigaku Corporation). It was. After mounting the test piece on the apparatus, the test piece was measured twice continuously under the measurement conditions of a load of 1 g and a heating rate of 5 ° C./min. The average linear thermal expansion coefficient (ppm) from 25 ° C. to 150 ° C. in the second measurement was calculated.

〔破壊伸びの測定〕
実施例及び比較例において得られた接着フィルムを200℃で90分間加熱することで熱硬化させ、この硬化物をダンベル状に切り出し、PETフィルムを剥がして、試験片を得た。その試験片を、JIS K7127に準拠し、オリエンテック社製引張試験機RTC−1250Aを用いて引張強度測定を行い、23℃における破壊伸びを求めた。
(Measurement of fracture elongation)
The adhesive films obtained in Examples and Comparative Examples were thermally cured by heating at 200 ° C. for 90 minutes, the cured product was cut out in a dumbbell shape, and the PET film was peeled off to obtain a test piece. The test piece was measured for tensile strength using an orientec tensile tester RTC-1250A in accordance with JIS K7127, and the elongation at break at 23 ° C. was determined.

<合成例1>
ビキシレノール構造、ビスフェノールフルオレン構造を有するフェノキシ樹脂の合成
反応容器に、ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製YX4000、エポキシ当量185)190g、ビスフェノールフルオレン(フェノール性水酸基当量175)175g、シクロヘキサノン150gを入れ、攪拌して溶解させた。次いで、テトラメチルアンモニウムクロライド溶液0.5gを滴下し、窒素雰囲気下、180℃5時間にて反応させた。反応終了後、濾布を用いて濾過して、溶剤により希釈することでフェノキシ樹脂Aを得た。
・エポキシ当量:12200
・重量平均分子量:38000
・固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液
なお、フェノキシ樹脂Aは、以下の構造を有していた。

Figure 2014156515
<Synthesis Example 1>
Synthesis of phenoxy resin having bixylenol structure and bisphenolfluorene structure In a reaction vessel, 190 g of bixylenol type epoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation YX4000, epoxy equivalent 185), 175 g of bisphenolfluorene (phenolic hydroxyl group equivalent 175), 150 g of cyclohexanone And dissolved by stirring. Next, 0.5 g of a tetramethylammonium chloride solution was added dropwise and reacted at 180 ° C. for 5 hours in a nitrogen atmosphere. After completion of the reaction, the mixture was filtered using a filter cloth and diluted with a solvent to obtain phenoxy resin A.
Epoxy equivalent: 12200
-Weight average molecular weight: 38000
A 1: 1 solution of MEK and cyclohexanone having a solid content of 30% by mass The phenoxy resin A had the following structure.
Figure 2014156515

<合成例2>
ビキシレノール構造、ビスフェノールアセトフェノン構造、ビスクレゾールフルオレン構造を有するフェノキシ樹脂の合成
反応容器に、ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製YX4000、エポキシ当量185)190g、ビスフェノールアセトフェノン(フェノール性水酸基当量145)14g、ビスクレゾールフルオレン(JFEケミカル(株)製、フェノール性水酸基当量190)170g、シクロヘキサノン150gを入れ、攪拌して溶解させた。次いで、テトラメチルアンモニウムクロライド溶液0.5gを滴下し、窒素雰囲気下、180℃5時間にて反応させた。反応終了後、濾布を用いて濾過して、溶剤により希釈することでフェノキシ樹脂Bを得た。
・エポキシ当量:11000
・重量平均分子量:36000
・固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液
なお、フェノキシ樹脂Bは、以下の構造を有していた。

Figure 2014156515
<Synthesis Example 2>
Synthesis of phenoxy resin having bixylenol structure, bisphenolacetophenone structure, and biscresol fluorene structure In a reaction vessel, 190 g of bixylenol type epoxy resin (YX4000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 185), bisphenolacetophenone (phenolic hydroxyl group equivalent 145) 14 g, 170 g of biscresol fluorene (manufactured by JFE Chemical Co., Ltd., phenolic hydroxyl group equivalent 190) and 150 g of cyclohexanone were stirred and dissolved. Next, 0.5 g of a tetramethylammonium chloride solution was added dropwise and reacted at 180 ° C. for 5 hours in a nitrogen atmosphere. After completion of the reaction, the mixture was filtered using a filter cloth and diluted with a solvent to obtain phenoxy resin B.
Epoxy equivalent: 11000
-Weight average molecular weight: 36000
A 1: 1 solution of MEK and cyclohexanone having a solid content of 30% by mass The phenoxy resin B had the following structure.
Figure 2014156515

<合成例3>
ビキシレノール構造、ビスフェノールアセトフェノン構造を有するフェノキシ樹脂の合成
反応容器に、ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX4000」、エポキシ当量185)100g、ビスフェノールアセトフェノン80g、およびシクロヘキサノン150gを入れ攪拌して溶解させた。次いで、テトラメチルアンモニウムクロライド溶液0.5gを滴下し、窒素雰囲気下、180℃5時間にて反応させた。反応終了後、濾布を用いて濾過して、溶剤により希釈することでフェノキシ樹脂Cを得た。なお、フェノキシ樹脂Cは、フルオレン構造を有していないため、本発明の参考例である。
・エポキシ当量:13000
・重量平均分子量:38000
・固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液とした。
なお、フェノキシ樹脂Cは、以下の構造を有していた。

Figure 2014156515
<Synthesis Example 3>
Synthesis of phenoxy resin having bixylenol structure and bisphenolacetophenone structure
In a reaction vessel, 100 g of bixylenol type epoxy resin (“YX4000” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 185), 80 g of bisphenol acetophenone, and 150 g of cyclohexanone were stirred and dissolved. Next, 0.5 g of a tetramethylammonium chloride solution was added dropwise and reacted at 180 ° C. for 5 hours in a nitrogen atmosphere. After completion of the reaction, the reaction mixture was filtered using a filter cloth and diluted with a solvent to obtain phenoxy resin C. Note that the phenoxy resin C is a reference example of the present invention because it does not have a fluorene structure.
Epoxy equivalent: 13000
-Weight average molecular weight: 38000
A 1: 1 solution of MEK and cyclohexanone having a solid content of 30% by mass was used.
The phenoxy resin C had the following structure.
Figure 2014156515

<実施例1>
ビスフェノール型エポキシ樹脂(新日鐵化学(株)製「ZX1059」、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品、エポキシ当量169)10部、結晶性2官能エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX4000HK」、エポキシ当量約185)10部、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP−7200H」、エポキシ当量275)20部を、ソルベントナフサ35部に撹拌しながら加熱溶解させた。室温にまで冷却後、そこへ、フェノキシ樹脂Aを12部、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC(株)製「LA−7054」水酸基当量125の固形分60%のMEK溶液)12部、ナフタレン型硬化剤(新日鐵化学(株)製「SN−485」水酸基当量215の固形分60%のMEK溶液)15部、硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン(DMAP)、固形分2質量%のMEK溶液)3部、難燃剤(三光(株)製「HCA−HQ」、10-(2,5-ジヒドロキシフェニル)-10-ヒドロ-9-オキサ-10-フォスファフェナンスレン-10-オキサイド、平均粒径2μm)2部、フェニルアミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.24μm、(株)アドマテックス製「SOC1」、単位面積当たりのカーボン量0.36mg/m2)150部、を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。次いで、離型処理付きポリエチレンテレフタレートフィルム(リンテック(株)製「AL5」、厚さ38μm、及び線熱膨張係数(CTE)、破壊伸びの測定用硬化物作製には「PET501010」、厚さ50μm)の離型面上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが30μmとなるように樹脂ワニスを均一に塗布し、80〜120℃(平均100℃)で4分間乾燥させて、接着フィルムを作製した。
<Example 1>
Bisphenol type epoxy resin (“ZX1059” manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., 1: 1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type, epoxy equivalent 169), 10 parts of crystalline bifunctional epoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation) 10 parts of “YX4000HK”, epoxy equivalent of about 185) and 20 parts of dicyclopentadiene type epoxy resin (“HP-7200H” made by DIC Corporation, epoxy equivalent of 275) are dissolved in 35 parts of solvent naphtha with stirring. It was. After cooling to room temperature, 12 parts of phenoxy resin A, 12 parts of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent (“LA-7054” manufactured by DIC Corporation, MEK solution having a 60% solid content of hydroxyl group equivalent of 125), naphthalene Type curing agent (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. "SN-485" hydroxyl equivalent 215 MEK solution with 60% solid content), curing accelerator (4-dimethylaminopyridine (DMAP), 2% solid content) 3 parts of MEK solution), flame retardant (“HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd., 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -10-hydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10- 2 parts of oxide, average particle size 2 μm), spherical silica (average particle size 0.24 μm, manufactured by Admatechs Co., Ltd.) surface-treated with a phenylaminosilane coupling agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM573”) “SOC1” Carbon amount 0.36mg / m 2) 150 parts per unit area, were mixed, and uniformly dispersed in a high-speed rotary mixer to prepare a resin varnish. Next, a polyethylene terephthalate film with a release treatment (“AL5” manufactured by Lintec Co., Ltd., thickness 38 μm, linear thermal expansion coefficient (CTE), and “PET 501010”, thickness 50 μm for producing a cured product for measuring fracture elongation) A resin varnish is uniformly applied on the mold release surface so that the thickness of the dried resin composition layer is 30 μm, and dried at 80 to 120 ° C. (average 100 ° C.) for 4 minutes to produce an adhesive film. did.

<実施例2>
液状ナフタレン型エポキシ樹脂(エポキシ当量144、DIC(株)製「HP4032SS」)5部、結晶性2官能エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX4000HK」、エポキシ当量約185)5部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」、エポキシ当量269)12部を、ソルベントナフサ30部に撹拌しながら加熱溶解させた。室温にまで冷却後、そこへ、フェノキシ樹脂Aを5部、ビスフェノールAジシアネートのプレポリマー(ロンザジャパン(株)製「BA230S75」、シアネート当量約232、不揮発分75質量%のMEK溶液)20部、フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン(株)製「PT30S」、シアネート当量約133、不揮発分85質量%のMEK溶液)6部、硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン、固形分2質量%のMEK溶液)1部、硬化促進剤(東京化成(株)製、コバルト(III)アセチルアセトナート(Co(III)Ac)、固形分1質量%のMEK溶液)3部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)2部、難燃剤(三光(株)製「HCA−HQ」、10-(2,5-ジヒドロキシフェニル)-10-ヒドロ-9-オキサ-10-フォスファフェナンスレン-10-オキサイド、平均粒径2μm)2部、フェニルアミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」、単位面積当たりのカーボン量0.39mg/m2)100部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。次いで、実施例1と同様にして、接着フィルムを作製した。
<Example 2>
5 parts of liquid naphthalene type epoxy resin (epoxy equivalent 144, “HP4032SS” manufactured by DIC Corporation), 5 parts of crystalline bifunctional epoxy resin (“YX4000HK” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of about 185), biphenyl type epoxy 12 parts of a resin (“NC3000L” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent 269) was dissolved by heating in 30 parts of solvent naphtha while stirring. After cooling to room temperature, there are 5 parts of phenoxy resin A, 20 parts of a prepolymer of bisphenol A dicyanate (“BA230S75” manufactured by Lonza Japan Co., Ltd., cyanate equivalent of about 232, MEK solution having a nonvolatile content of 75% by mass), 6 parts of phenol novolac type polyfunctional cyanate ester resin ("PT30S" manufactured by Lonza Japan KK, cyanate equivalent of about 133, MEK solution with non-volatile content of 85 mass%), curing accelerator (4-dimethylaminopyridine, solid content of 2 mass) % Of MEK solution), 3 parts of a curing accelerator (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., cobalt (III) acetylacetonate (Co (III) Ac), MEK solution having a solid content of 1% by mass), rubber particles (Gantz) 2 parts by Kasei Co., Ltd., Staphyloid AC3816N, flame retardant (“HCA-HQ” by Sanko Co., Ltd., 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -1 Surface treatment with 2 parts of 0-hydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide, average particle size 2 μm, phenylaminosilane coupling agent (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 100 parts of spherical silica (average particle size 0.5 μm, “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd., carbon amount 0.39 mg / m 2 per unit area) is mixed and dispersed uniformly with a high-speed rotary mixer. A resin varnish was prepared. Next, an adhesive film was produced in the same manner as in Example 1.

<実施例3>
ビスフェノール型エポキシ樹脂(新日鐵化学(株)製「ZX1059」、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品、エポキシ当量169)10部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」、エポキシ当量269)12部を、ソルベントナフサ30部に撹拌しながら加熱溶解させた。室温にまで冷却後、そこへ、フェノキシ樹脂Bを17部、活性エステル化合物(DIC(株)製「HPC8000−65T」、重量平均分子量が約2700、活性基当量約223の不揮発分65質量%のトルエン溶液)34部、硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン、固形分2質量%のMEK溶液)6部、難燃剤(三光(株)製「HCA−HQ」、10-(2,5-ジヒドロキシフェニル)-10-ヒドロ-9-オキサ-10-フォスファフェナンスレン-10-オキサイド、平均粒径2μm)2部、フェニルアミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」、単位面積当たりのカーボン量0.39mg/m2)150部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。次いで、実施例1と同様にして、接着フィルムを作製した。
<Example 3>
Bisphenol type epoxy resin (“ZX1059” manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., 1: 1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type, epoxy equivalent 169), 10 parts of biphenyl type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 12 parts of “NC3000L”, epoxy equivalent 269) were heated and dissolved in 30 parts of solvent naphtha with stirring. After cooling to room temperature, 17 parts of phenoxy resin B, active ester compound (“HPC8000-65T” manufactured by DIC Corporation), weight average molecular weight of about 2700, active group equivalent of about 223 with a non-volatile content of 65% by mass 34 parts of toluene solution, 6 parts of curing accelerator (4-dimethylaminopyridine, MEK solution having a solid content of 2% by mass), flame retardant (“HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd.), 10- (2,5-dihydroxy Phenyl) -10-hydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide, average particle size 2 μm, 2 parts, phenylaminosilane coupling agent (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 150 parts of spherical silica (average particle size 0.5 μm, “SOC2” manufactured by Admatechs Co., Ltd., carbon amount 0.39 mg / m 2 per unit area) was mixed with a high-speed rotating mixer. A resin varnish was prepared by dispersing in a single unit. Next, an adhesive film was produced in the same manner as in Example 1.

<比較例1>
実施例1のフェノキシ樹脂A12部を、ビスフェノールA型フェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「E1256B40」、固形分40質量%のMEK溶液、エポキシ当量8000、重量平均分子量約50000)10部に変更する以外は、実施例1と全く同様にして接着フィルムを作製した。
<比較例2>
実施例2のフェノキシ樹脂A5部を、合成例3のフェノキシ樹脂C5部に変更する以外は、実施例2と全く同様にして接着フィルムを作製した。
<Comparative Example 1>
12 parts of phenoxy resin A in Example 1 is changed to 10 parts of bisphenol A type phenoxy resin (“E1256B40” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, MEK solution having a solid content of 40 mass%, epoxy equivalent 8000, weight average molecular weight of about 50000). Except for this, an adhesive film was produced in the same manner as in Example 1.
<Comparative example 2>
An adhesive film was prepared in exactly the same manner as in Example 2, except that the phenoxy resin A5 part of Example 2 was changed to the phenoxy resin C5 part of Synthesis Example 3.

<比較例3>
実施例3のフェノキシ樹脂B17部を、合成例3のフェノキシ樹脂C17部に変更する以外は、実施例3と全く同様にして接着フィルムを作製した。
<比較例4>
実施例1のフェノキシ樹脂12部を、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「jER1009」、エポキシ当量2740、固形分40質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)10部に変更する以外は、実施例1と全く同様にして接着フィルムを作製した。
<比較例5>
実施例1のエポキシ樹脂Aの添加量を12部から50部に変更する以外は、実施例1と全く同様にして接着フィルムを作製した。
<比較例6>
実施例1のエポキシ樹脂Aのトリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC(株)製「LA−7054」水酸基当量125の固形分60%のMEK溶液)12部、ナフタレン型硬化剤(新日鐵化学(株)製「SN−485」水酸基当量215の固形分60%のMEK溶液)15部を、硬化剤(ジシアンジアミド、三菱化学(株)製「DICY7」)3部に変更する以外は、実施例1と全く同様にして接着フィルムを作製した。なお、上記DICY7はジシアンジアミドであるため、フェノール硬化剤、シアネートエステル硬化剤、活性エステル硬化剤のどれにも該当しない。
結果を表1及び表2に示す。
<Comparative Example 3>
An adhesive film was produced in exactly the same manner as in Example 3, except that the phenoxy resin B17 part of Example 3 was changed to the phenoxy resin C17 part of Synthesis Example 3.
<Comparative example 4>
12 parts of the phenoxy resin of Example 1 is changed to 10 parts of a bisphenol A type epoxy resin ("jER1009" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 2740, 1: 1 solution of MEK and cyclohexanone having a solid content of 40% by mass). Except for this, an adhesive film was produced in the same manner as in Example 1.
<Comparative Example 5>
An adhesive film was produced in exactly the same manner as in Example 1 except that the amount of the epoxy resin A added in Example 1 was changed from 12 parts to 50 parts.
<Comparative Example 6>
12 parts of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent of epoxy resin A of Example 1 ("LA-7054" manufactured by DIC Corporation, MEK solution having a solid content of 60% of a hydroxyl group equivalent of 125), naphthalene type curing agent (Nippon Chemical Co., Ltd.) Example except that 15 parts of “SN-485” manufactured by Co., Ltd. and a MEK solution having a solid content of 60% having a hydroxyl group equivalent of 215 are changed to 3 parts of a curing agent (Dicyandiamide, “DICY7” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation). An adhesive film was prepared in exactly the same manner as in Example 1. Since DICY7 is dicyandiamide, it does not fall under any of phenol curing agents, cyanate ester curing agents, and active ester curing agents.
The results are shown in Tables 1 and 2.

Figure 2014156515
Figure 2014156515

Figure 2014156515
Figure 2014156515

表1及び2の結果から、本願発明の硬化性樹脂組成物を用いている実施例1〜3では、低粗度、十分なピール強度、低い線熱膨張係数、十分な破壊伸びを有する。一方、比較例1〜6では本願発明の硬化性樹脂組成物を用いていないため、では、算術平均粗さ、二乗平均平方根粗さが大きくなり、ピール強度も小さく、線熱膨張係数も大きくなった。   From the results of Tables 1 and 2, Examples 1 to 3 using the curable resin composition of the present invention have low roughness, sufficient peel strength, low linear thermal expansion coefficient, and sufficient breaking elongation. On the other hand, in Comparative Examples 1 to 6, since the curable resin composition of the present invention is not used, the arithmetic mean roughness and root mean square roughness are large, the peel strength is small, and the linear thermal expansion coefficient is large. It was.

Claims (14)

(A)フルオレン構造を有するフェノキシ樹脂、(B)エポキシ樹脂、及び(C)硬化剤を含有する樹脂組成物であって、
(C)硬化剤がフェノール硬化剤、シアネートエステル硬化剤、活性エステル硬化剤から選択される1種以上を含み、
前記(A)フェノキシ樹脂と前記(B)エポキシ樹脂と前記(C)硬化剤の合計を100質量%とした場合に、前記(A)フェノキシ樹脂が1〜20質量%であることを特徴とする硬化性樹脂組成物。
(A) A resin composition containing a phenoxy resin having a fluorene structure, (B) an epoxy resin, and (C) a curing agent,
(C) The curing agent includes one or more selected from a phenol curing agent, a cyanate ester curing agent, and an active ester curing agent,
When the total of the (A) phenoxy resin, the (B) epoxy resin, and the (C) curing agent is 100% by mass, the (A) phenoxy resin is 1 to 20% by mass. Curable resin composition.
前記(A)フェノキシ樹脂の重量平均分子量が、8000〜100000である、請求項1記載の硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition of Claim 1 whose weight average molecular weights of the said (A) phenoxy resin are 8000-100,000. 前記(A)フェノキシ樹脂が、無置換ビスフェノールフルオレン構造又はビスクレゾールフルオレン構造を有する、請求項1又は2記載の硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition according to claim 1 or 2, wherein the (A) phenoxy resin has an unsubstituted bisphenol fluorene structure or a biscresol fluorene structure. 前記(B)エポキシ樹脂が、ビスフェノール型エポキシ樹脂、結晶性2官能エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂及びこれらのエポキシ樹脂の混合物からなる群から選択される、請求項1〜3のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物。   The (B) epoxy resin is selected from the group consisting of a bisphenol type epoxy resin, a crystalline bifunctional epoxy resin, a dicyclopentadiene type epoxy resin, a naphthalene type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, and a mixture of these epoxy resins. The curable resin composition of any one of Claims 1-3. 前記硬化性樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、前記(A)フェノキシ樹脂の含有量が0.3〜10質量%であり、前記(B)エポキシ樹脂の含有量が5〜30質量%であり、前記(C)硬化剤の含有量が3〜20質量%である、請求項1〜4のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物。   When the nonvolatile component in the curable resin composition is 100% by mass, the content of the (A) phenoxy resin is 0.3 to 10% by mass, and the content of the (B) epoxy resin is 5 to 5%. The curable resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the content is 30% by mass and the content of the (C) curing agent is 3 to 20% by mass. さらに、(D)無機充填材を含む、請求項1〜5のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物。   Furthermore, (D) Curable resin composition of any one of Claims 1-5 containing an inorganic filler. 前記(D)無機充填材の平均粒径が、0.01〜5μmである、請求項6記載の硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition according to claim 6, wherein the average particle diameter of the (D) inorganic filler is 0.01 to 5 μm. 前記硬化性樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合の前記(D)無機充填材の含有量が30〜90質量%である、請求項6又は7記載の硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition according to claim 6 or 7, wherein the content of the inorganic filler (D) is 30 to 90% by mass when the nonvolatile component in the curable resin composition is 100% by mass. 前記(D)無機充填材がシリカである、請求項6〜8のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition according to any one of claims 6 to 8, wherein the (D) inorganic filler is silica. 請求項1〜9のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物を含有することを特徴とする、多層プリント配線板の絶縁層用硬化性樹脂組成物。   A curable resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board, comprising the curable resin composition according to claim 1. 請求項1〜10のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物を含有することを特徴とする、多層プリント配線板のビルドアップ層用硬化性樹脂組成物。   A curable resin composition for a buildup layer of a multilayer printed wiring board, comprising the curable resin composition according to any one of claims 1 to 10. 請求項1〜11のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物を含有することを特徴とする、シート状積層材料。   A sheet-like laminated material comprising the curable resin composition according to any one of claims 1 to 11. 請求項1〜11のいずれか1項記載の硬化性樹脂組成物若しくは請求項12に記載のシート状積層材料を熱硬化して得られた絶縁層を含むことを特徴とする、多層プリント配線板。   A multilayer printed wiring board comprising an insulating layer obtained by thermosetting the curable resin composition according to any one of claims 1 to 11 or the sheet-like laminated material according to claim 12. . 請求項13記載の多層プリント配線板を含むことを特徴とする、半導体装置。   A semiconductor device comprising the multilayer printed wiring board according to claim 13.
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