JP2014156440A - New compound, photosensitive transfer material, color filter, and liquid-crystal display - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、新規化合物、並びに、それを含む感光性転写材料、カラーフィルタ、及び液晶表示装置に関する。 The present invention relates to a novel compound, and a photosensitive transfer material, a color filter, and a liquid crystal display device including the same.
基体上に感光性樹脂層を転写するための画像形成材料は、例えば特公昭56−40824号公報などによって公知である。画像形成材料は、プリント配線、凹版凸版印刷版、ネームプレート、多色試し刷り見本、オフセット印刷版及びスクリーン印刷ステンシル等の製造に用いられる。感光性転写材料は、仮支持体、中間層、光重合性層を含んでなり、基体と光重合性層とを貼り合わせて、その後仮支持体のみを剥離し、中間層を通して露光、現像し基体上に画像を形成する。この場合、中間層は酸素遮断の役割を果し、空気中での露光に対して有利に働き、またその厚みも0.5μmから5μm程度と非常に薄いので解像力の面でも問題はない。 An image forming material for transferring a photosensitive resin layer onto a substrate is known, for example, from JP-B-56-40824. The image forming material is used for the production of printed wiring, intaglio letterpress printing plates, name plates, multicolor test printing samples, offset printing plates, screen printing stencils and the like. The photosensitive transfer material comprises a temporary support, an intermediate layer, and a photopolymerizable layer. The substrate and the photopolymerizable layer are bonded together, and then only the temporary support is peeled off, and then exposed and developed through the intermediate layer. An image is formed on the substrate. In this case, the intermediate layer plays a role of blocking oxygen, works favorably for exposure in air, and has a very thin thickness of about 0.5 μm to 5 μm, so there is no problem in terms of resolving power.
しかしながら、近年、コストの観点から高速転写性、仮支持体の剥離性、高照度短時間露光適性、現像液疲労度抑制への要求がますます強くなっている。高速で基体に光重合性層を転写する場合、転写される基体上にある程度の凹凸が存在すると、その上に非常に薄い光重合性層を高速で転写する際に光重合性層と基体との間に気泡等がとじ込められてしまい、転写不良を起こしてしまっていた。例えば、カラーフィルタの作製のように、多色の画像形成時には、第一色目の画素(以下、先行画素と略す)の上に第二色目の光重合性層を転写する場合が該当する。また、プリント基板の作製のように、銅張り積層板の銅表面が整面により生ずる微小な傷や打痕を有するときに、ドライフィルムレジスト層を転写する場合が該当する。 However, in recent years, from the viewpoint of cost, there are increasing demands for high-speed transfer properties, peelability of temporary supports, high illuminance short-time exposure suitability, and suppression of developer fatigue. When transferring a photopolymerizable layer to a substrate at a high speed, if there is a certain degree of irregularities on the transferred substrate, a very thin photopolymerizable layer is transferred onto the substrate at a high speed. During this time, bubbles and the like were trapped, resulting in poor transfer. For example, when a multicolor image is formed, as in the case of producing a color filter, a case where a photopolymerizable layer of the second color is transferred onto a pixel of the first color (hereinafter abbreviated as a preceding pixel) is applicable. In addition, the case where the dry film resist layer is transferred when the copper surface of the copper-clad laminate has fine scratches or dents caused by the leveling as in the production of a printed circuit board is applicable.
仮支持体の剥離性に関しては、従来、感光性転写材料を基体に貼り合わせ、仮支持体を剥離する際に、熱可塑性樹脂層若しくは中間層の一部が破壊してしまうことがあり、熱可塑性樹脂層と中間層を介してパターン露光する光路が屈折したりするため、解像度、画質が劣化することがあった。また、熱可塑性樹脂層若しくは中間層の一部が破壊まで至らず、変形のみにとどまった場合でも、変形が回復するための緩和時間が長く、コストダウンに結びついていない状況であった。 Regarding the peelability of the temporary support, conventionally, when the photosensitive transfer material is bonded to the substrate and the temporary support is peeled off, a part of the thermoplastic resin layer or the intermediate layer may be destroyed. Since the optical path for pattern exposure is refracted through the plastic resin layer and the intermediate layer, resolution and image quality may be deteriorated. Further, even when a part of the thermoplastic resin layer or the intermediate layer does not reach destruction and remains only in the deformation, the relaxation time for recovering the deformation is long and the cost is not reduced.
特許文献1には、仮支持体と感光性樹脂層との間にポリビニルアルコール誘導体等の中間層を設けた転写材料が開示されている。特許文献1は仮支持体との剥離性、溶解特性の改良を目的としており、下地に凹凸がある場合の転写性についてはなんら考慮されていない。 Patent Document 1 discloses a transfer material in which an intermediate layer such as a polyvinyl alcohol derivative is provided between a temporary support and a photosensitive resin layer. Patent Document 1 is intended to improve the peelability from the temporary support and the dissolution properties, and does not consider transferability when the substrate has irregularities.
特許文献2には、永久支持体上の微少な不規則性または、永久支持体上もしくは転写層上または両者の上にある微少なゴミ、ホコリ等の粒子により永久支持体に対する転写層の十分な接着が妨げられるので、転写不良を生じる。この好ましくない接着不良の防止のため、圧縮性の一時支持体を使用することが記載されている。 In Patent Document 2, there is a slight irregularity on the permanent support, or a small amount of dust, dust, or other particles on the permanent support or the transfer layer, or both of which the transfer layer is sufficient for the permanent support. Since adhesion is hindered, transfer defects occur. In order to prevent this unfavorable adhesion failure, the use of a compressible temporary support is described.
特許文献3には、仮支持体、特にゼラチン下塗りしたプラスチツクフィルムの上に、熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層を、この順に設けた感光性転写材料を用いて、感光性樹脂層を支持体に密着させた後、仮支持体と熱可塑性樹脂層を同時に剥離除去して感光性樹脂層を支持体に転写する方法が記載されている。 Patent Document 3 discloses a photosensitive resin layer using a photosensitive transfer material in which a thermoplastic resin layer, an intermediate layer, and a photosensitive resin layer are provided in this order on a temporary support, in particular, a plastic film primed with gelatin. Is a method of transferring the photosensitive resin layer to the support by peeling off and removing the temporary support and the thermoplastic resin layer at the same time.
特許文献4には、仮支持体上に、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層をこの順に設けた感光性転写材料が記載されている。
また、特許文献5には、感光性転写材料におけるアルカリ可溶性熱可塑性樹脂層に、特定構造のポリプロピレングリコール誘導体と光重合性モノマーとを含有し、転写不良の問題を解消し、迅速にアルカリ可溶性熱可塑性樹脂層を仮支持体上から除去できることが開示されている。
特許文献5には、アルカリ可溶性熱可塑性樹脂層中に、ジオール若しくはトリオール型ポリプロピレングリコール誘導体の少なくとも一種を、10質量%以上40質量%以下含有することにより、転写不良(気泡の発生)が無く、高速で転写する事が可能で、レチキュレーションや現像液の疲労を抑制できることが開示されている。
さらに、特許文献6には、感光性転写材料の熱可塑性樹脂層と仮支持体との接着力や転写性を改良するために、可塑剤を含んでもよいことが記載され、可塑剤の具体例として、ジオクチルフタレート、トリクレジルホスフェート、2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパンなどが記載されている。
Patent Document 4 describes a photosensitive transfer material in which an alkali-soluble thermoplastic resin layer, an intermediate layer, and a photosensitive resin layer are provided in this order on a temporary support.
Patent Document 5 discloses that an alkali-soluble thermoplastic resin layer in a photosensitive transfer material contains a polypropylene glycol derivative having a specific structure and a photopolymerizable monomer, eliminates the problem of transfer failure, and promptly dissolves alkali-soluble heat. It is disclosed that the plastic resin layer can be removed from the temporary support.
In Patent Document 5, the alkali-soluble thermoplastic resin layer contains at least one diol or triol-type polypropylene glycol derivative in an amount of 10% by mass or more and 40% by mass or less, so that there is no transfer failure (occurrence of bubbles). It has been disclosed that transfer at high speed is possible and reticulation and developer fatigue can be suppressed.
Further, Patent Document 6 describes that a plasticizer may be included in order to improve the adhesive force and transferability between the thermoplastic resin layer of the photosensitive transfer material and the temporary support, and specific examples of the plasticizer As dioctyl phthalate, tricresyl phosphate, 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane and the like are described.
特許文献2に記載の方法は、接着不良の防止に有効ではあるが、室温で非粘着性の感光性樹脂層をその層の厚みと同様な厚みの凹凸を持った永久支持体上に気泡を生じることなく転写するには不十分であった。
また、特許文献3に記載の方法は、サンプル作製直後は仮支持体と熱可塑性樹脂層を同時に剥離除去可能であるが、経時により層間の密着バランスが変化するため、熱可塑性樹脂層と中間層の剥離性を制御することが必ずしも容易ではなく、剥離作業の自動化等の面から、十分に満足できる方法とは言い難かつた。
さらに、特許文献4に記載の方法は、高温で転写しても、感光性樹脂層をその層の厚みと同様な厚みの凹凸を持った永久支持体上に気泡を生じることなく高速、高得率で転写するには不十分であった。また、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層をアルカリ水溶液で除去する際に、時間がかかり製造のライン速度を上げることが困難であった。さらに、転写速度を向上させるために、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層に用いる樹脂に柔軟な素材を用いたり、可塑剤を多量に添加した場合、仮支持体上にアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層、中間層を設けた段階で中間層に微細なシワが発生し、表面に凹凸の形状が残る現象(以下、レチキュレーション)が起こる。レチキュレーションは、中間層上に塗布される感光性樹脂層の平滑な塗布面を得ることを阻害するという問題があった。このため、高速転写性の実現とレチキュレーション防止の両立が困難であった。
また可塑剤として光重合性モノマーを用いた熱可塑性樹脂層に、高照度短時間露光した場合、露光された光重合性モノマーが現像されにくくなり、溶解性が低下するとともに、解像力が低下し、さらに露光し溶解性の低下した光重合性モノマーが、現像液の疲労度を上げる結果となっていた。
Although the method described in Patent Document 2 is effective in preventing adhesion failure, a non-adhesive photosensitive resin layer is formed at a room temperature on a permanent support having irregularities having a thickness similar to the thickness of the layer. It was insufficient to transfer without occurring.
The method described in Patent Document 3 can remove and remove the temporary support and the thermoplastic resin layer at the same time immediately after the preparation of the sample. However, since the adhesion balance between the layers changes with time, the thermoplastic resin layer and the intermediate layer It is not always easy to control the peelability, and it is difficult to say that the method is sufficiently satisfactory from the viewpoint of automation of the peeling work.
Furthermore, the method described in Patent Document 4 can achieve high speed and high yield without generating bubbles on a permanent support having irregularities having a thickness similar to the thickness of the photosensitive resin layer even when transferred at a high temperature. It was insufficient to transfer at a rate. Moreover, when removing the alkali-soluble thermoplastic resin layer with an alkaline aqueous solution, it takes time and it is difficult to increase the production line speed. Furthermore, in order to improve the transfer speed, when a flexible material is used for the resin used in the alkali-soluble thermoplastic resin layer or a large amount of plasticizer is added, an alkali-soluble thermoplastic resin on the temporary support. At the stage where the layer and the intermediate layer are provided, fine wrinkles are generated in the intermediate layer, and a phenomenon in which uneven shapes remain on the surface (hereinafter, reticulation) occurs. Reticulation has a problem that it obstructs obtaining a smooth coated surface of the photosensitive resin layer coated on the intermediate layer. For this reason, it has been difficult to achieve both high-speed transferability and prevention of reticulation.
When the thermoplastic resin layer using a photopolymerizable monomer as a plasticizer is exposed to a high illuminance for a short time, the exposed photopolymerizable monomer is difficult to be developed, the solubility is lowered, and the resolution is lowered. Further, the photopolymerizable monomer that had been exposed to light and decreased in solubility resulted in increasing the fatigue level of the developer.
特許文献5には、感光性転写材料の転写性改良、レチキュレーションや現像液の疲労を抑制するために、熱可塑性樹脂層中に、ジオール若しくはトリオール型ポリプロピレングリコール誘導体の少なくとも一種を含有させることが提案されている。この方法は、基体にシート状の感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を支持体に密着させた後、転写方向に対して直角から45度程度の範囲で剥離する場合は、剥離性に問題ない。しかしながら、ロール状の感光性転写材料を転写して、仮支持体をロール状に剥離・回収する場合、転写方向とほぼ同じ方向に仮支持体を剥離する場合には、熱可塑性樹脂層が一部破壊して仮支持体に付着することがあった。そのため熱可塑性樹脂層に欠けを生じ、パターン露光時の光路が屈折し、解像力を低下させ、画質を低下させていた。 In Patent Document 5, in order to improve transferability of a photosensitive transfer material, to prevent reticulation and fatigue of a developer, the thermoplastic resin layer contains at least one of a diol or a triol type polypropylene glycol derivative. Has been proposed. In this method, when a photosensitive resin layer is adhered to a support using a sheet-like photosensitive transfer material on a substrate and then peeled in a range of about 45 degrees from a right angle to the transfer direction, the peelability is improved. no problem. However, when a roll-shaped photosensitive transfer material is transferred, and the temporary support is peeled and collected in a roll shape, when the temporary support is peeled in the same direction as the transfer direction, the thermoplastic resin layer is one layer. Some parts were destroyed and adhered to the temporary support. Therefore, the thermoplastic resin layer is chipped, the optical path during pattern exposure is refracted, the resolution is lowered, and the image quality is lowered.
さらに、特許文献6には、感光性転写材料の熱可塑性樹脂層と仮支持体との接着力や転写性を改良するために、可塑剤を含んでもよいことが記載され、可塑剤の具体例として、ジオクチルフタレート、トリクレジルホスフェート、2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパンなどが記載されている。現像プロセスにおいては、現像液に熱可塑性樹脂層のジオクチルフタレート、トリクレジルホスフェートの可塑剤や溶解または分散しきれず、現像槽の配管詰まり等、送液トラブルを頻発させていた。また、2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパンも高照度露光した際に、露光硬化した光重合性モノマーが同様のトラブルを発生させていた。 Further, Patent Document 6 describes that a plasticizer may be included in order to improve the adhesive force and transferability between the thermoplastic resin layer of the photosensitive transfer material and the temporary support, and specific examples of the plasticizer As dioctyl phthalate, tricresyl phosphate, 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane and the like are described. In the developing process, dioctyl phthalate of the thermoplastic resin layer and the plasticizer of tricresyl phosphate cannot be dissolved or dispersed in the developer, and liquid feeding problems such as clogging of the developing tank piping frequently occur. In addition, when 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane was exposed to high illuminance, the photocured monomer that had been cured by exposure caused similar troubles.
近年、液晶表示装置等の画像表示装置の製造には、高画質が求められるようになり、色再現性が高いことや、コントラストに加えて、解像力の更なる向上が求められており、カラーフィルタを形成する感光性転写材料においては、さらに良好な転写性と共に、転写した後の熱可塑性樹脂層と仮支持体の剥離性、熱可塑性樹脂層の現像性、現像液の疲労防止の更なる向上が求められている。 In recent years, the manufacture of image display devices such as liquid crystal display devices has come to require high image quality, high color reproducibility, and further improvement in resolving power in addition to contrast. In addition to better transferability, the photosensitive transfer material that forms the film further improves the peelability of the thermoplastic resin layer and temporary support after transfer, the developability of the thermoplastic resin layer, and the prevention of developer fatigue. Is required.
本発明の第1の課題は、新規なビスフェノール骨格を有する化合物を提供することである。また、本発明の第2の課題は、前記のビスフェノール骨格を有する化合物を含むことによって、現像液の劣化が抑制され、転写性と剥離性とを両立した感光性転写材料を提供し、それを用いたカラーフィルタ、液晶表示装置を提供することである。
なお、本発明において転写性とは、感光性転写材料を基板に転写したときに、気泡を巻き込むことがなく、基板の形状に沿って感光性転写材料が転写されることである。また、剥離性とは、感光性転写材料を転写した後、仮支持体と感光性転写材料の熱可塑性樹脂層との間で剥離され、熱可塑性樹脂層の一部が仮支持体に残らないで、熱可塑性樹脂層が平坦で均一な状態を保ち、仮支持体だけが全面で除去されていることをいう。
The first object of the present invention is to provide a compound having a novel bisphenol skeleton. In addition, the second problem of the present invention is to provide a photosensitive transfer material in which deterioration of the developer is suppressed by including the compound having the bisphenol skeleton, and both transferability and releasability are achieved. It is to provide a color filter and a liquid crystal display device used.
In the present invention, transferability means that when a photosensitive transfer material is transferred to a substrate, the photosensitive transfer material is transferred along the shape of the substrate without entraining bubbles. In addition, peelability refers to peeling between the temporary support and the thermoplastic resin layer of the photosensitive transfer material after transferring the photosensitive transfer material, and a portion of the thermoplastic resin layer does not remain on the temporary support. In this case, the thermoplastic resin layer is kept flat and uniform, and only the temporary support is removed on the entire surface.
本発明の上記課題は、以下の手段によって達成される。
<1> 下記一般式(1)で表される化合物。
The above object of the present invention is achieved by the following means.
<1> A compound represented by the following general formula (1).
一般式(1)中、2個あるRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の飽和アルキル基を表す。m及びnは、それぞれ独立に、1〜10の整数を表し、m+nは4〜16の範囲である。 In General Formula (1), two R's each independently represent a saturated alkyl group having 1 to 10 carbon atoms. m and n each independently represents an integer of 1 to 10, and m + n is in the range of 4 to 16.
<2> 仮支持体と、<1>に記載の化合物を含む熱可塑性樹脂層と、重合性モノマーを含む感光性樹脂層とを有する感光性転写材料。
<3> <2>に記載の感光性転写材料を用いて形成したカラーフィルタ。
<4> <3>に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示装置。
The photosensitive transfer material which has a <2> temporary support body, the thermoplastic resin layer containing the compound as described in <1>, and the photosensitive resin layer containing a polymerizable monomer.
<3> A color filter formed using the photosensitive transfer material according to <2>.
<4> A liquid crystal display device comprising the color filter according to <3>.
本発明においては、一般式(1)で表される化合物は、ビスフェノール骨格と末端をアルキル基で置換したエチレンオキシ鎖とを有するので、有機溶剤への溶解性が良好で、且つ、感光性転写材料の熱可塑性樹脂層に含まれる熱可塑性樹脂等との相溶性が良好であり、均一な熱可塑性樹脂層を形成することができるものと考えられる。
そして、基板に凹凸があっても、本発明の感光性転写材料は、基板の凹凸に応じて微細な形状に変形するものと考えられ、基板に転写したときには、気泡の巻き込みが抑制されて良好な転写性が得られる。仮支持体を剥離したときには、熱可塑性樹脂層等の一部が仮支持体に残ることなく、仮支持体だけが剥離される良好な剥離性を示し、熱可塑性樹脂層を介してパターン露光されるため、光が屈折したり散乱することなく、感光性樹脂層をパターン露光でき、現像による欠けなどのないパターンが形成できる。
In the present invention, since the compound represented by the general formula (1) has a bisphenol skeleton and an ethyleneoxy chain having a terminal substituted with an alkyl group, the compound has good solubility in an organic solvent, and photosensitive transfer. It is considered that the compatibility with the thermoplastic resin contained in the thermoplastic resin layer of the material is good and a uniform thermoplastic resin layer can be formed.
Even if the substrate is uneven, the photosensitive transfer material of the present invention is considered to be deformed into a fine shape according to the unevenness of the substrate. Transferability is obtained. When the temporary support is peeled off, a part of the thermoplastic resin layer or the like does not remain on the temporary support, and only the temporary support is peeled off, and pattern exposure is performed through the thermoplastic resin layer. Therefore, the photosensitive resin layer can be subjected to pattern exposure without light being refracted or scattered, and a pattern free from chipping due to development can be formed.
さらに詳細には、本発明の一般式(1)で表される化合物は、ビスフェノール骨格を有しているので、熱可塑性樹脂に含まれる熱可塑性樹脂との相溶性が良好で、均一な熱可塑性樹脂層を形成することができる。一方、エチレンオキシ鎖の末端はアルキル基で封鎖されているので、仮支持体や中間層との相互作用が小さく、末端がOH基や(メタ)アクリロイル基を有する特許文献5、6に示されるような化合物を用いた場合に比べて、転写や剥離シートの剥離のときに感光性転写材料に加わる力に対して柔軟に対応するのではないかと推測される。
また、アルカリ水溶液等で熱可塑性樹脂層を除去する場合には、一般式(1)で表される化合物は、エチレンオキシ基を有しているので、アルカリ水溶液の浸透性が良好で、迅速に、且つ、均一に溶解するので、パターンの解像力が高く、アルカリ水溶液の劣化も小さいものと考えられる。
本発明の一般式(1)で表される化合物は、適度な親水性部位と疎水性部位とを併せ持つ特徴を有し、このために、感光性転写材料に含ませることによって、感光性転写材料の転写性と剥離性という一見矛盾する性能を両立させることができると考えられる。
More specifically, since the compound represented by the general formula (1) of the present invention has a bisphenol skeleton, the compatibility with the thermoplastic resin contained in the thermoplastic resin is good and uniform thermoplasticity. A resin layer can be formed. On the other hand, since the terminal of the ethyleneoxy chain is blocked with an alkyl group, the interaction with the temporary support and the intermediate layer is small, and the terminal is shown in Patent Documents 5 and 6 having an OH group or a (meth) acryloyl group. Compared to the case where such a compound is used, it is estimated that the force applied to the photosensitive transfer material at the time of transfer or peeling of the release sheet may be flexibly handled.
In addition, when removing the thermoplastic resin layer with an alkaline aqueous solution or the like, the compound represented by the general formula (1) has an ethyleneoxy group, so that the permeability of the alkaline aqueous solution is good and quickly. In addition, since it dissolves uniformly, it is considered that the resolution of the pattern is high and the deterioration of the alkaline aqueous solution is small.
The compound represented by the general formula (1) of the present invention has a characteristic of having both an appropriate hydrophilic portion and a hydrophobic portion. For this reason, the photosensitive transfer material can be incorporated into the photosensitive transfer material. It is thought that the seemingly contradictory performances of transferability and releasability can be made compatible.
本発明によれば、新規なビスフェノール骨格を有する化合物が提供される。
また、本発明によれば、前記のビスフェノール骨格を有する化合物を含むことによって、現像液の劣化が抑制され、転写性と剥離性とを両立した感光性転写材料が提供され、それを用いたカラーフィルタ、液晶表示装置が提供される。
According to the present invention, a compound having a novel bisphenol skeleton is provided.
In addition, according to the present invention, by including the compound having the bisphenol skeleton, deterioration of the developer is suppressed, and a photosensitive transfer material having both transferability and releasability is provided, and a color using the same A filter and a liquid crystal display device are provided.
本発明の感光性転写材料は、転写される感光性樹脂層及び仮支持体の間に転写性及び剥離性の改良された熱可塑性樹脂層、必要に応じて中間層を設けてあるので、基板に凹凸があっても、また通常のラミネーターでも高速な気泡残りが無い転写が可能であり、レチキュレーションの発生もなく、簡便な方法で質の優れた単色もしくは多色のパターンを形成することができる。該熱可塑性樹脂層は迅速にアルカリ水溶液に溶解するので、工程の速度向上に効果がある。また、レチキュレーションの発生がないため、安定した感光性転写材料の製造が可能である。さらに、熱可塑性樹脂層のアルカリ水溶液への溶解性が高いので、アルカリ水溶液の劣化も抑制される。 In the photosensitive transfer material of the present invention, a thermoplastic resin layer having improved transferability and peelability is provided between the photosensitive resin layer to be transferred and the temporary support, and an intermediate layer is provided as necessary. Even if there is unevenness on the surface, even with a normal laminator, it is possible to transfer without high-speed bubble remaining, no reticulation occurs, and a simple method of forming a single color or multicolor pattern with excellent quality. Can do. Since the thermoplastic resin layer quickly dissolves in the alkaline aqueous solution, it is effective in improving the process speed. In addition, since no reticulation occurs, a stable photosensitive transfer material can be produced. Furthermore, since the solubility of the thermoplastic resin layer in the alkaline aqueous solution is high, deterioration of the alkaline aqueous solution is also suppressed.
まず、本発明の下記一般式(1)で表される化合物について説明する。
下記一般式(1)で表される化合物は、新規化合物である。
First, the compound represented by the following general formula (1) of the present invention will be described.
The compound represented by the following general formula (1) is a novel compound.
一般式(1)中、2個あるRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の飽和アルキル基を表す。m及びnは、それぞれ独立に、1〜10の整数を表し、m+nは4〜16の範囲である。 In General Formula (1), two R's each independently represent a saturated alkyl group having 1 to 10 carbon atoms. m and n each independently represents an integer of 1 to 10, and m + n is in the range of 4 to 16.
Rが表す飽和アルキル基としては、炭素数1〜5の飽和アルキル基であることが好ましく、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、2−ペンチル基、3−ペンチル基、4−ペンチル基、2−メチルペンチル基、3−メチルブチル基、1,1−ジメチルプロピル基、2,2−ジメチルプロピル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、2−エチルヘキシル基、n−デシル基等であり、より好ましくは、メチル基、エチル基、i−プロピル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基である。 The saturated alkyl group represented by R is preferably a saturated alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, for example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, sec-butyl. Group, tert-butyl group, n-pentyl group, 2-pentyl group, 3-pentyl group, 4-pentyl group, 2-methylpentyl group, 3-methylbutyl group, 1,1-dimethylpropyl group, 2,2- A dimethylpropyl group, an n-hexyl group, an n-heptyl group, an n-octyl group, a 2-ethylhexyl group, an n-decyl group, and the like, more preferably a methyl group, an ethyl group, an i-propyl group, and a sec-butyl group. Group, a tert-butyl group.
m及びnは、それぞれ一般式(1)で表される化合物のエチレンオキシ基数であり、分子中に含まれる平均のエチレンオキシ基数を示す。m+nとしては、5〜14の整数であることが好ましい。より好ましくは、8〜12の整数である。
一般式(1)で表される化合物は、2個あるRが同一であり、Rがメチル基、エチル基、i−プロピル基、tert−ブチル基であり、m+nが6〜12の整数であることがより好ましい。
特に好ましい化合物を下記に示す。但し、本発明の一般式(1)で表される化合物は下記の化合物に制限されるものではない。なお、下記表でRが2個あるのは、それぞれのRを示す。
m and n are the number of ethyleneoxy groups of the compound represented by the general formula (1), respectively, and indicate the average number of ethyleneoxy groups contained in the molecule. m + n is preferably an integer of 5 to 14. More preferably, it is an integer of 8-12.
In the compound represented by the general formula (1), two Rs are the same, R is a methyl group, an ethyl group, an i-propyl group, or a tert-butyl group, and m + n is an integer of 6 to 12. It is more preferable.
Particularly preferred compounds are shown below. However, the compound represented by the general formula (1) of the present invention is not limited to the following compounds. In the table below, two Rs indicate each R.
一般式(1)で表される化合物は、以下の方法で合成することができるが、これらの方法に限定されるものではない。
(a)ビスフェノールAが有する両末端のOH基にエチレンオキシドを付加し、得られたビスフェノールA骨格を有するエチレンオキシ付加物の両末端OH基に、(メタ)アクリル酸ハライド等を反応させて得られた化合物の(メタ)アクリロイル基の炭素炭素不飽和二重結合を水素添加することによる方法。
(b)ビスフェノールAが有する両末端のOH基にエチレンオキシドを付加し、得られたビスフェノールA骨格を有するエチレンオキシ付加物の両末端OH基に、飽和アルキル基を有する酸ハライド等を反応させてエステル結合を形成して得る方法。
The compound represented by the general formula (1) can be synthesized by the following method, but is not limited to these methods.
(A) It is obtained by adding ethylene oxide to the OH groups at both ends of bisphenol A, and reacting (meth) acrylic acid halide with the OH groups at both ends of the resulting ethyleneoxy adduct having a bisphenol A skeleton. By hydrogenating the carbon-carbon unsaturated double bond of the (meth) acryloyl group of the compound.
(B) An ester obtained by adding ethylene oxide to OH groups at both ends of bisphenol A and reacting an acid halide having a saturated alkyl group with the OH groups at both ends of the resulting ethyleneoxy adduct having a bisphenol A skeleton. A method obtained by forming a bond.
上記(a)の方法における、ビスフェノールA骨格を有するエチレンオキシ付加物は、新中村化学工業株式会社から、NKエステルABE−300、同A−BPE−10、同A−BPE−4、同BPE−500などが、また、共栄社化学株式会社から、ライトアクリレートBP−4EALなどが市販されており、これらを水素添加して本発明の一般式(1)で表される化合物として用いることができる。 The ethyleneoxy adduct having a bisphenol A skeleton in the above method (a) is available from NK Ester ABE-300, A-BPE-10, A-BPE-4, and BPE- from Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. 500, and Kyoeisha Chemical Co., Ltd. also sell light acrylate BP-4EAL and the like, and these can be hydrogenated and used as the compound represented by the general formula (1) of the present invention.
本発明の一般式(1)で表される化合物は、メチルエチルケトン等のケトン系溶剤、メチルアルコール等のアルコール系溶剤、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素溶剤等の有機溶剤への溶解性が良好で、また、感光性転写材料の熱可塑性樹脂層に含まれるポリマー等との相溶性が良好である。 The compound represented by the general formula (1) of the present invention has good solubility in organic solvents such as ketone solvents such as methyl ethyl ketone, alcohol solvents such as methyl alcohol, and aromatic hydrocarbon solvents such as toluene and xylene. In addition, the compatibility with the polymer and the like contained in the thermoplastic resin layer of the photosensitive transfer material is good.
〔感光性転写材料〕
本発明の感光性転写材料は、仮支持体、熱可塑性樹脂層、及び感光性樹脂層を少なくとも含むが、一般式(1)で表される化合物を少なくとも熱可塑性樹脂層に、可塑剤として含むことが好ましい。
前述のように、本発明の一般式(1)で表される化合物は、有機溶剤への溶解性が良好で、また、感光性転写材料の熱可塑性樹脂層に含まれるポリマー等との相溶性が良好であるので、本発明の一般式(1)で表される化合物は、感光性転写材料、特に感光性転写材料の熱可塑性樹脂層の可塑剤成分として好適である。感光性転写材料の熱可塑性樹脂層に一般式(1)で表される化合物を含むことによって、得られた感光性転写材料は転写性と剥離性とに優れたものとなる。
以下に、本発明の一般式(1)で表される化合物を可塑剤として、熱可塑性樹脂層に含む感光性転写材料について説明する。
[Photosensitive transfer material]
The photosensitive transfer material of the present invention includes at least a temporary support, a thermoplastic resin layer, and a photosensitive resin layer, but includes at least the compound represented by the general formula (1) as a plasticizer in the thermoplastic resin layer. It is preferable.
As described above, the compound represented by the general formula (1) of the present invention has good solubility in an organic solvent and is compatible with a polymer and the like contained in the thermoplastic resin layer of the photosensitive transfer material. Therefore, the compound represented by the general formula (1) of the present invention is suitable as a plasticizer component of a photosensitive transfer material, particularly a thermoplastic resin layer of the photosensitive transfer material. By including the compound represented by the general formula (1) in the thermoplastic resin layer of the photosensitive transfer material, the obtained photosensitive transfer material is excellent in transferability and peelability.
Below, the photosensitive transfer material which contains a compound represented by General formula (1) of this invention as a plasticizer in a thermoplastic resin layer is demonstrated.
本発明における感光性転写材料は、仮支持体上に、少なくとも熱可塑性樹脂層、及び感光性樹脂層をこの順に設けて構成される。必要によって、熱可塑性樹脂層の上に中間層、また、感光性樹脂層の上に保護層を設けてもよく、さらに必要によって、その他の層を上記した各層の間に設けてもよい。 The photosensitive transfer material in the present invention is constituted by providing at least a thermoplastic resin layer and a photosensitive resin layer in this order on a temporary support. If necessary, an intermediate layer may be provided on the thermoplastic resin layer and a protective layer may be provided on the photosensitive resin layer, and other layers may be provided between the above-described layers as necessary.
(仮支持体)
感光性転写材料の仮支持体としては、熱可塑性樹脂層と申し分の無い剥離性を有し、化学的および熱的に安定であって、また可撓性の物質で構成されるべきであり、具体的にはテフロン(登録商標)、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等の薄いシートもしくはこれらの積層物が好ましい。良好な剥離性を得るためには、グロー放電等の表面処理はせず、また、ゼラチン等の下塗層を設けないことが好ましい。仮支持体の厚みは5μm〜300μmが適当であり、好ましくは20μm〜150μmである。
(Temporary support)
As a temporary support for the photosensitive transfer material, it should have a perfect releasability from the thermoplastic resin layer, be chemically and thermally stable, and be composed of a flexible substance, Specifically, a thin sheet such as Teflon (registered trademark), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, or a laminate thereof is preferable. In order to obtain good peelability, it is preferable that surface treatment such as glow discharge is not performed and an undercoat layer such as gelatin is not provided. The thickness of the temporary support is suitably 5 μm to 300 μm, preferably 20 μm to 150 μm.
(熱可塑性樹脂層)
仮支持体と感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層を設けることによって、感光性転写材料を基板(永久支持体)に転写する際に、転写の圧力に呼応して熱可塑性樹脂層が変形し感光性転写材料と基板との間に隙間を生じることなく、感光性転写材料が基板に貼り合わせることができる。本発明においては、熱可塑性樹脂層は、前記一般式(1)で表される化合物を含んでいるので、熱可塑性樹脂層は、転写時の圧力により自由に変形することができるので、良好な貼り合わせができ、転写性が良好である。
また、被覆シートを有する感光性転写材料から、被覆シートを剥離して基板上に感光性転写材料を転写し、仮支持体を剥離しようとするときに、熱可塑性樹脂層は、前記一般式(1)で表される化合物を含んでいるので、仮支持体と感光性転写材料の熱可塑性樹脂層との間で剥離され、熱可塑性樹脂層等の一部が仮支持体に残らないで、仮支持体だけが全面で除去され、剥離性が良好である。
(Thermoplastic resin layer)
By providing a thermoplastic resin layer between the temporary support and the photosensitive resin layer, when the photosensitive transfer material is transferred to the substrate (permanent support), the thermoplastic resin layer is responsive to the transfer pressure. The photosensitive transfer material can be bonded to the substrate without deforming and generating a gap between the photosensitive transfer material and the substrate. In the present invention, since the thermoplastic resin layer contains the compound represented by the general formula (1), the thermoplastic resin layer can be freely deformed by the pressure at the time of transfer. Bonding is possible and transferability is good.
In addition, when the photosensitive transfer material having the covering sheet is peeled off, the photosensitive transfer material is transferred onto the substrate, and the temporary support is peeled off, the thermoplastic resin layer has the general formula ( Since the compound represented by 1) is contained, it is peeled between the temporary support and the thermoplastic resin layer of the photosensitive transfer material, and a part of the thermoplastic resin layer or the like does not remain on the temporary support. Only the temporary support is removed on the entire surface, and the peelability is good.
熱可塑性樹脂層は、熱可塑性樹脂を含み、一般式(1)で表される化合物を含むことが好ましい。さらに、必要によってその他の成分を含むことができる。
前記その他の成分としては、一般式(1)で表される化合物とは構造が異なる可塑剤、界面活性剤、離型剤、密着改良剤などである。
The thermoplastic resin layer contains a thermoplastic resin and preferably contains a compound represented by the general formula (1). Furthermore, other components can be included as required.
Examples of the other components include a plasticizer, a surfactant, a release agent, and an adhesion improving agent having a structure different from that of the compound represented by the general formula (1).
熱可塑性樹脂層に含まれる熱可塑性樹脂は、アルカリ可溶性であることが好ましい。アルカリ可溶性の熱可塑性樹脂を用いることによって、基板に感光性転写材料を転写した後に熱可塑性樹脂層をアルカリ水溶液で除去することが容易となる。
感光性転写材料の転写条件によっては、転写中に熱可塑性樹脂が周囲にはみ出して永久支持体を汚染することがある。この汚染の悪影響を無くすためには、熱可塑性樹脂としては、アルカリ水溶液に溶解するものが好ましい。
アルカリ水溶液は、後述の感光性樹脂層のアルカリ現像液と同じものでもよいし、異なっていてもよい。
また、本発明におけるアルカリ水溶液とはアルカリ性物質の希薄水溶液であるが、さらに水と混和性のある有機溶剤を少量添加したものも含まれる。適当なアルカリ性物質はアルカリ金属水酸化物類(例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重炭酸塩類(炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム)アルカリ金属メタケイ酸塩類(メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類(例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキシド)または燐酸三ナトリウムである。アルカリ性物質の濃度は、0.01質量%〜30質量%が好ましく、pHは8〜14が好ましい。
The thermoplastic resin contained in the thermoplastic resin layer is preferably alkali-soluble. By using an alkali-soluble thermoplastic resin, it becomes easy to remove the thermoplastic resin layer with an alkaline aqueous solution after transferring the photosensitive transfer material to the substrate.
Depending on the transfer conditions of the photosensitive transfer material, the thermoplastic resin may ooze out during the transfer and contaminate the permanent support. In order to eliminate the adverse effect of this contamination, the thermoplastic resin is preferably one that dissolves in an alkaline aqueous solution.
The alkaline aqueous solution may be the same as or different from the alkaline developer of the photosensitive resin layer described later.
Further, the alkaline aqueous solution in the present invention is a dilute aqueous solution of an alkaline substance, and further includes a solution in which a small amount of an organic solvent miscible with water is added. Suitable alkaline substances are alkali metal hydroxides (eg sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (eg sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (sodium bicarbonate, potassium bicarbonate), Alkali metal silicates (sodium silicate, potassium silicate) Alkali metal metasilicates (sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (eg Tetramethylammonium hydroxide) or trisodium phosphate. The concentration of the alkaline substance is preferably 0.01% by mass to 30% by mass, and the pH is preferably 8-14.
水と混和性のある有機溶剤としては、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドンである。水と混和性のある有機溶剤の濃度は0.1質量%〜30質量%が好ましい。またさらに公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は0.01質量%〜10質量%が好ましい。 Examples of organic solvents miscible with water include methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether, benzyl alcohol, Acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone. The concentration of the organic solvent miscible with water is preferably 0.1% by mass to 30% by mass. Furthermore, a known surfactant can be added. The concentration of the surfactant is preferably 0.01% by mass to 10% by mass.
熱可塑性樹脂層に含まれる熱可塑性樹脂としては、膜強度を維持する樹脂(A)と加熱時の溶融性付与する樹脂(B)とを併用するのが好ましい。
膜強度を維持する樹脂(A)としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレン/(メタ)アクリル酸/(メタ)アクリル酸エステル3元共重合体、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、「プラスチック性能便覧」(日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、1968年10月25日発行)による有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものなどから少なくとも1つを、重量平均分子量5万〜50万(Tg=0〜140℃)の範囲で、更に好ましくは重量平均分子量6万〜20万(Tg=30〜110℃)の範囲で選択して使用することができる。
As the thermoplastic resin contained in the thermoplastic resin layer, it is preferable to use a resin (A) that maintains film strength and a resin (B) that imparts meltability during heating.
Resins (A) for maintaining film strength include saponified products of ethylene and acrylate copolymers, saponified products of styrene and (meth) acrylate copolymers, styrene / (meth) acrylic acid / (meth) Acrylic ester terpolymer, saponified product of vinyl toluene and (meth) acrylic acid ester copolymer, poly (meth) acrylic acid ester, (meth) acrylic acid ester such as (meth) acrylic acid butyl and vinyl acetate Saponified products such as copolymers, “Plastic Performance Handbook” (edited by the Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastics Molding Industry Association, published by the Industrial Research Council, published on October 25, 1968). More preferably, at least one of the soluble materials is in the range of 50,000 to 500,000 (Tg = 0 to 140 ° C.) weight average molecular weight. Properly it can be used to select a range of weight average molecular weight 60,000 to 200,000 (Tg = 30~110 ℃).
具体例としては、特公昭54−34327号、特公昭55−38961号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭61−134756号、特公昭59−44615号、特開昭54−92723号、特開昭54−99418号、特開昭54−137085号、特開昭57−20732号、特開昭58−93046号、特開昭59−97135号、特開昭60−159743号、OLS3504254号、特開昭60−247638号、特開昭60−208748号、特開昭60−214354号、特開昭60−230135号、特開昭60−258539号、特開昭61−169829号、特開昭61−213213号、特開昭63−147159号、特開昭63−213837号、特開昭63−266448号、特開昭64−55551号、特開昭64−55550号、特開平2−191955号、特開平2−199403号、特開平2−199404号、特開平2−208602号、特開平5−241340号の各公報、各明細書に記載されているアルカリ水溶液に可溶な樹脂を挙げることができる。特に好ましいのは、特開昭63−147159号公報に記載されたメタクリル酸/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メチルメタクリレート共重合体である。 Specific examples include JP-B-54-34327, JP-B-55-38961, JP-B-58-12777, JP-B-54-25957, JP-A-61-134756, JP-B-59-44615, JP 54-92723, JP 54-99418, JP 54-137085, JP 57-20732, JP 58-93046, JP 59-97135, JP 60 159743, OLS 3504254, JP 60-247638, JP 60-208748, JP 60-214354, JP 60-230135, JP 60-258539, JP JP 61-1669829, JP 61-213213, JP 63-147159, JP 63-213837, JP 63-266448, JP Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 64-55551, 64-55550, 2-191955, 2-199403, 2-199404, 2-208602, and 5-241340 Resins that are soluble in an alkaline aqueous solution described in the gazette and each specification can be mentioned. Particularly preferred is a methacrylic acid / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methyl methacrylate copolymer described in JP-A-63-147159.
加熱時の溶融性を付与する樹脂(B)としては、樹脂(A)で説明した種々の樹脂の中から重量平均分子量3千〜3万(Tg=30〜170℃)の範囲で、更に好ましくは重量平均分子量4千〜2万(Tg=60〜140℃)の範囲で選択して使用することができる。好ましい具体例は、上記の特許明細書に記載されているものの中から選ぶことができるが、特に好ましくは、特公昭55−38961号、特開平5−241340号各公報に記載のスチレン/(メタ)アクリル酸共重合体が挙げられる。 The resin (B) imparting meltability at the time of heating is more preferably in the range of a weight average molecular weight of 3,000 to 30,000 (Tg = 30 to 170 ° C.) among various resins described in the resin (A). Can be selected and used within a range of weight average molecular weight of 4,000 to 20,000 (Tg = 60 to 140 ° C.). Preferable specific examples can be selected from those described in the above patent specifications, and particularly preferable are styrene / (metabolites described in JP-B-55-38961 and JP-A-5-241340. ) Acrylic acid copolymer.
熱可塑性樹脂層を構成する樹脂(A)の重量平均分子量が5万以上またはTgが0℃以上であると、レチキュレーションの発生や転写中に熱可塑性樹脂が周囲にはみ出して基板(永久支持体)を著しく汚染する等の不具合がより解消される。また、樹脂(A)の重量平均分子量が50万未満、またはTgが140℃未満では、転写時に画素間に気泡が入ったり、熱可塑性樹脂のアルカリ水溶液除去性が低下したりすることがない。
熱可塑性樹脂層を構成する樹脂(B)の重量平均分子量が3千以上またはTgが30℃以上であると、レチキュレーションの発生がなく、転写中に熱可塑性樹脂が周囲にはみ出して基板(永久支持体)を著しく汚染することがなく、また、樹脂(B)の重量平均分子量が3万未満、またはTgが170℃未満では、転写時に画素間に気泡が入ったり、熱可塑性樹脂のアルカリ水溶液除去性が低下したりする等の問題が生じない。
If the weight average molecular weight of the resin (A) constituting the thermoplastic resin layer is 50,000 or more or Tg is 0 ° C. or more, the thermoplastic resin protrudes to the periphery during reticulation generation or transfer, and the substrate (permanent support) Such as remarkably contaminating the body). Further, when the weight average molecular weight of the resin (A) is less than 500,000 or Tg is less than 140 ° C., bubbles do not enter between pixels at the time of transfer, and the alkaline aqueous solution removability of the thermoplastic resin does not deteriorate.
When the weight average molecular weight of the resin (B) constituting the thermoplastic resin layer is 3,000 or more or Tg is 30 ° C. or more, no reticulation occurs, and the thermoplastic resin protrudes to the periphery during transfer (substrate ( If the resin (B) has a weight average molecular weight of less than 30,000, or Tg of less than 170 ° C., bubbles may enter between pixels during transfer, or the alkali of the thermoplastic resin. There is no problem such as a decrease in aqueous solution removability.
熱可塑性樹脂層における、熱可塑性樹脂は1種であっても、前記のように樹脂(A)と樹脂(B)とを1種以上含んでもよく、また、樹脂(A)を2種以上、或いは樹脂(B)を2種以上含んでもよい。
熱可塑性樹脂層における、熱可塑性樹脂の合計の含有量は、熱可塑性樹脂層の全固形分に対して、30質量%〜90質量%の範囲であることが好ましく、熱可塑性樹脂層の全固形分に対して、40質量%〜80質量%の範囲であることがより好ましい。熱可塑性樹脂の合計の含有量がこの範囲内であると、転写性及び剥離性が良好である。
Even if the thermoplastic resin in the thermoplastic resin layer is one kind, it may contain one or more kinds of the resin (A) and the resin (B) as described above, and two or more kinds of the resin (A), Or you may contain 2 or more types of resin (B).
The total content of the thermoplastic resin in the thermoplastic resin layer is preferably in the range of 30% by mass to 90% by mass with respect to the total solid content of the thermoplastic resin layer, and the total solid content of the thermoplastic resin layer. More preferably, it is in the range of 40% by mass to 80% by mass with respect to the minute. When the total content of the thermoplastic resin is within this range, transferability and releasability are good.
熱可塑性樹脂層における、本発明の一般式(1)で表される化合物の含有量は、熱可塑性樹脂層の全固形分に対して、10質量%〜40質量%の範囲であることが好ましく、20質量%〜38質量%の範囲がより好ましく、30質量%〜35質量%の範囲がさらに好ましい。一般式(1)で表される化合物の含有量がこの範囲内であると、転写性及び剥離性が良好である。 The content of the compound represented by the general formula (1) of the present invention in the thermoplastic resin layer is preferably in the range of 10% by mass to 40% by mass with respect to the total solid content of the thermoplastic resin layer. The range of 20% by mass to 38% by mass is more preferable, and the range of 30% by mass to 35% by mass is more preferable. When the content of the compound represented by the general formula (1) is within this range, transferability and releasability are good.
熱可塑性樹脂層に含まれるその他の成分として性能を悪化させない範囲内で、一般式(1)で表される化合物とは構造が異なるその他の可塑剤を含んでいてもよい。その他の可塑剤の例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェートなどを挙げることができる。 Other plasticizers having a structure different from that of the compound represented by the general formula (1) may be included as long as the other components contained in the thermoplastic resin layer do not deteriorate the performance. Examples of other plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, biphenyl diphenyl phosphate, and the like.
また、界面活性剤としては、本発明の前記熱可塑性樹脂と混ざり合うものであれば使用可能である。本発明に用いる好ましい界面活性剤としては、特開2003−337424号公報[0015]〜[0024]、特開2003−177522号公報[0012]〜[0017]、特開2003−177523号公報[0012]〜[0015]、特開2003−177521号公報[0010]〜[0013]、特開2003−177519号公報[0010]〜[0013]、特開2003−177520号公報[0012]〜[0015]、特開平11−133600号公報の[0034]〜[0035]、特開平6−16684号公報に記載されている界面活性剤が好適なものとして挙げられる。
より高い効果を得る為にはフッ素系界面活性剤、及び/又はシリコン系界面活性剤(フッ素系界面活性剤、又は、シリコン系界面活性剤、フッ素原子と珪素原子の両方を含有する界面活性剤)のいずれか、あるいは2種以上を含有することが好ましく、フッ素系界面活性剤が最も好ましい。
As the surfactant, any surfactant can be used as long as it is mixed with the thermoplastic resin of the present invention. Preferred surfactants used in the present invention include JP 2003-337424 A [0015] to [0024], JP 2003-177522 A [0012] to [0017], and JP 2003-177523 A [0012]. ] To [0015], JP2003-177521A [0010] to [0013], JP2003-177519A [0010] to [0013], JP2003-177520A [0012] to [0015] The surfactants described in JP-A-11-133600, [0034] to [0035] and JP-A-6-16684 are preferred.
In order to obtain a higher effect, a fluorosurfactant and / or a silicon surfactant (a fluorosurfactant or a silicon surfactant, a surfactant containing both a fluorine atom and a silicon atom) ) Or two or more types are preferable, and a fluorine-based surfactant is most preferable.
フッ素系界面活性剤を用いる場合、該界面活性剤分子中のフッ素含有置換基のフッ素原子数は1〜38が好ましく、5〜25がより好ましく、7〜20が最も好ましい。フッ素原子数が多すぎるとフッ素を含まない通常の有機溶剤に対する溶解性が落ちる点で好ましくない。フッ素原子数が少なすぎると、ムラの改善効果が得られない点で好ましくない。
上記界面活性剤の具体例は特開2003−337424号公報の段落番号[0068]の表1に記載されている。
When using a fluorosurfactant, the number of fluorine atoms in the fluorine-containing substituent in the surfactant molecule is preferably 1 to 38, more preferably 5 to 25, and most preferably 7 to 20. When the number of fluorine atoms is too large, it is not preferable in that the solubility in a normal organic solvent containing no fluorine is lowered. When the number of fluorine atoms is too small, it is not preferable in that the effect of improving unevenness cannot be obtained.
Specific examples of the surfactant are described in Table 1 of paragraph No. [0068] of JP-A No. 2003-337424.
また、市販の界面活性剤をそのまま用いることもできる。使用できる市販の界面活性剤として、例えばエフトップEF301、EF303、(新秋田化成(株)製)、フロラードFC430、431(住友スリーエム(株)製)、メガファックF−780−F、F−784−F、F171、F173、F176、F189、R08(DIC(株)製)、サーフロンS−382、SC101、102、103、104、105、106(旭硝子(株)製)等のフッ素系界面活性剤、又は、シリコン系界面活性剤を挙げることができる。またポリシロキサンポリマーKP−341(信越化学工業(株)製)、トロイゾルS−366(トロイケミカル(株)製)もシリコン系界面活性剤として用いることができる。 Commercially available surfactants can also be used as they are. Examples of commercially available surfactants that can be used include EFTOP EF301 and EF303 (manufactured by Shin-Akita Kasei Co., Ltd.), Florard FC430 and 431 (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), MegaFuck F-780-F, and F-784. Fluorine-based surfactants such as -F, F171, F173, F176, F189, R08 (manufactured by DIC Corporation), Surflon S-382, SC101, 102, 103, 104, 105, 106 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) Or a silicon-based surfactant. Polysiloxane polymers KP-341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and Troisol S-366 (manufactured by Troy Chemical Co., Ltd.) can also be used as the silicon surfactant.
熱可塑性樹脂層は、熱可塑性樹脂層に含まれる各成分を、前記水と混和性のある有機溶剤等に溶解して、仮支持体上に塗布等の方法で設けられ、塗設後に乾燥されて熱可塑性樹脂層が形成される。
熱可塑性樹脂層の厚みは6μm以上が好ましい。この理由としては熱可塑性樹脂層の厚みが6μm以上であれば、下地(仮支持体等)の凹凸を完全に吸収することができる。また、熱可塑性樹脂層の厚みの上限については、アルカリ水溶液除去性、製造適性から約100μm以下が好ましく、より好ましくは約50μm以下である。
The thermoplastic resin layer is prepared by dissolving each component contained in the thermoplastic resin layer in an organic solvent miscible with water and applying it on a temporary support, and is dried after coating. Thus, a thermoplastic resin layer is formed.
The thickness of the thermoplastic resin layer is preferably 6 μm or more. For this reason, if the thickness of the thermoplastic resin layer is 6 μm or more, the unevenness of the base (temporary support or the like) can be completely absorbed. In addition, the upper limit of the thickness of the thermoplastic resin layer is preferably about 100 μm or less, more preferably about 50 μm or less, from the viewpoint of alkaline aqueous solution removability and production suitability.
(中間層)
中間層としては、水またはアルカリ水溶液に分散または溶解し、低い酸素透過性を示す成分であればよく、公知のものが使用できる。例えば、特開昭46−2121号や特公昭56−40824号の各公報に記載のポリビニルエーテル/無水マレイン酸共重合体、カルボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポリアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性塩、スチレン/マレイン酸の共重合体、およびマレイン酸樹脂、マレイン酸樹脂のハーフエステル、各種ラテックス類、さらにこれらの2種以上の組み合わせが挙げられる。
(Middle layer)
The intermediate layer may be any component that is dispersed or dissolved in water or an aqueous alkali solution and exhibits low oxygen permeability, and a known one can be used. For example, polyvinyl ether / maleic anhydride copolymers, water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose, water-soluble cellulose ethers and carboxyalkyl starch described in JP-A Nos. 46-2121 and 56-40824. Water soluble salt, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, various polyacrylamides, various water soluble polyamides, water soluble salts of polyacrylic acid, gelatin, ethylene oxide polymers, various starches and the like Examples thereof include a salt, a copolymer of styrene / maleic acid, a maleic acid resin, a half ester of a maleic acid resin, various latexes, and a combination of two or more thereof.
特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組み合わせである。ポリビニルアルコールは鹸化率が80%以上であるものが好ましく、ポリビニルピロリドンの含有量は中間層の全固形分に対して、1質量%〜75質量%が好ましく、より好ましくは1質量%〜60質量%、更に好ましくは10質量%〜50質量%である。1質量%以上であると、感光性樹脂層との十分な密着性を有し、75質量%未満であると、酸素遮断能が低下しにくい。中間層の厚みは非常に薄く、約0.1〜5μm、特に0.5〜2μmであることが好ましい。約0.1μm以上であると、酸素の透過性が抑制でき、かつ約5μm未満であると、現像時または中間層除去時に時間を要しない。
中間層の成分として、一般式(1)で表される化合物を含んでいてもよい。
Particularly preferred is a combination of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone. The polyvinyl alcohol preferably has a saponification rate of 80% or more, and the content of polyvinyl pyrrolidone is preferably 1% by mass to 75% by mass, more preferably 1% by mass to 60% by mass with respect to the total solid content of the intermediate layer. %, More preferably 10% by mass to 50% by mass. When it is 1% by mass or more, it has sufficient adhesiveness with the photosensitive resin layer, and when it is less than 75% by mass, the oxygen blocking ability is hardly lowered. The thickness of the intermediate layer is very thin, preferably about 0.1 to 5 μm, particularly 0.5 to 2 μm. If it is about 0.1 μm or more, oxygen permeability can be suppressed, and if it is less than about 5 μm, no time is required for development or removal of the intermediate layer.
As a component of the intermediate layer, a compound represented by the general formula (1) may be included.
(感光性樹脂層)
感光性樹脂層は、基板(永久支持体)上に感光性転写材料を貼り合わせた後に、露光・現像することにより、基板上にパターンを形成する層であり、紫外線等の放射線の露光によって潜像を形成し、アルカリ水溶液(現像液)によって、パターン形成できる機能を有するものである。
このような機能を有していれば、本発明における感光性樹脂層に用いる感光性樹脂組成物としては、どのようなものでも使用できる。
(Photosensitive resin layer)
The photosensitive resin layer is a layer that forms a pattern on a substrate by exposing and developing after bonding a photosensitive transfer material on the substrate (permanent support), and is exposed to radiation such as ultraviolet rays. It has a function of forming an image and forming a pattern with an aqueous alkaline solution (developer).
If it has such a function, what kind of thing can be used as a photosensitive resin composition used for the photosensitive resin layer in this invention.
感光性樹脂組成物は、光、電子線などの放射線を受容する部分が硬化するネガ型感光性樹脂組成物でも放射線未受容部が硬化するポジ型感光性樹脂組成物でもよい。
ポジ型感光性樹脂組成物に用いられるポジ型感光性樹脂には、ノボラック系の樹脂が挙げられる。例えば、特開平7−43899号公報記載のアルカリ可溶性ノボラック系樹脂を使用することができる。また、特開平6−148888号公報記載のポジ型感光性樹脂層、即ち、該公報記載のアルカリ可溶性樹脂と、感光剤として1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルと該公報記載の熱硬化剤の混合物を含む感光性樹脂層を用いることができる。また、特開平5−262850号公報記載の組成物も活用可能である。
The photosensitive resin composition may be a negative photosensitive resin composition in which a part that receives radiation such as light or an electron beam is cured, or a positive photosensitive resin composition in which a radiation non-receiving part is cured.
Examples of the positive photosensitive resin used in the positive photosensitive resin composition include novolac resins. For example, an alkali-soluble novolak resin described in JP-A-7-43899 can be used. Further, a positive photosensitive resin layer described in JP-A-6-148888, that is, an alkali-soluble resin described in the publication, 1,2-naphthoquinonediazide sulfonic acid ester as a photosensitive agent, and a thermosetting agent described in the publication. A photosensitive resin layer containing a mixture can be used. Further, the composition described in JP-A-5-262850 can also be used.
ネガ型感光性樹脂組成物としては、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダーとを含む感光性樹脂組成物、光重合性組成物、アジド化合物とバインダーとを含む感光性樹脂組成物、桂皮酸型感光性樹脂組成物等が挙げられる。その中でも特に好ましいのは光重合開始剤、光重合性モノマーおよびバインダーを基本構成要素として含む感光性樹脂組成物である。該感光性樹脂組成物には、特開平11−133600号公報記載の「重合性化合物B」、「重合開始剤C」、「界面活性剤」、「接着助剤」や、その他の成分が利用できる。
例えば、ネガ型感光性樹脂組成物で、アルカリ水溶液現像可能な感光性樹脂組成物は、主成分としてカルボン酸基含有のバインダー(前述のアルカリ可溶な熱可塑性樹脂等)と光の照射によって付加重合することのできるエチレン性不飽和二重結合含有モノマーと光重合開始剤を含んでいる。
The negative photosensitive resin composition includes a photosensitive resin composition containing a negative diazo resin and a binder, a photopolymerizable composition, a photosensitive resin composition containing an azide compound and a binder, and a cinnamic acid type photosensitive resin. Examples thereof include compositions. Among these, a photosensitive resin composition containing a photopolymerization initiator, a photopolymerizable monomer, and a binder as basic components is particularly preferable. The photosensitive resin composition uses “polymerizable compound B”, “polymerization initiator C”, “surfactant”, “adhesion aid” and other components described in JP-A-11-133600. it can.
For example, a negative photosensitive resin composition that can be developed in an aqueous alkali solution is added by irradiation with light containing a binder containing a carboxylic acid group as a main component (such as the alkali-soluble thermoplastic resin described above). It contains an ethylenically unsaturated double bond-containing monomer that can be polymerized and a photopolymerization initiator.
感光性樹脂層は、光重合開始剤、光重合性モノマー、および樹脂を基本構成要素として含むことが好ましい。前記樹脂としてはアルカリ水溶液により現像可能なものと、有機溶剤により現像可能なものが知られているが、公害防止、労働安全性の確保の観点からアルカリ水溶液に現像可能なものが好ましい。
アルカリ水溶液により現像可能な樹脂としては、熱可塑性樹脂層の項で述べた熱可塑性樹脂が挙げられ、50mgKOH/g〜200mgKOH/gの酸価を有する樹脂が好ましい。
また、感光性樹脂層は少なくとも150℃以下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、この観点からも感光性樹脂層に含まれる樹脂は、熱可塑性樹脂であることが好ましい。
The photosensitive resin layer preferably contains a photopolymerization initiator, a photopolymerizable monomer, and a resin as basic components. As the resin, those that can be developed with an aqueous alkali solution and those that can be developed with an organic solvent are known, and those that can be developed in an aqueous alkaline solution are preferable from the viewpoint of preventing pollution and ensuring occupational safety.
Examples of the resin that can be developed with an aqueous alkaline solution include the thermoplastic resins described in the section of the thermoplastic resin layer, and resins having an acid value of 50 mgKOH / g to 200 mgKOH / g are preferable.
Further, the photosensitive resin layer is preferably softened or tacky at a temperature of at least 150 ° C., and from this viewpoint, the resin contained in the photosensitive resin layer is preferably a thermoplastic resin.
また、光重合性樹脂組成物に含まれる、光重合開始剤としては、従来公知の光重合開始剤が使用可能である。
光重合開始剤としては、およそ300nm〜500nmの波長領域に約50以上の分子吸光係数を有する成分を少なくとも1種含有しているものが好ましく、例えば、特開平2−48664号公報、特開平1−152449号公報、及び特開平2−153353号公報に記載の芳香族ケトン類、ロフィン2量体、ベンゾイン、ベンゾインエーテル類、ポリハロゲン類、ハロゲン化炭化水素誘導体、ケトン化合物、ケトオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、などが挙げられる。
Moreover, a conventionally well-known photoinitiator can be used as a photoinitiator contained in a photopolymerizable resin composition.
As the photopolymerization initiator, those containing at least one component having a molecular extinction coefficient of about 50 or more in a wavelength region of about 300 nm to 500 nm are preferable. For example, JP-A-2-48664 and JP-A-1 -152449 and JP-A-2-153353, aromatic ketones, lophine dimers, benzoin, benzoin ethers, polyhalogens, halogenated hydrocarbon derivatives, ketone compounds, ketoxime compounds, organic peroxides. Examples thereof include oxides, thio compounds, hexaarylbiimidazoles, aromatic onium salts, ketoxime ethers, and the like.
上記の中でも、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンと2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体との組合せ、4−〔p−N,N’−ジ(エトキシカルボニルメチル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン〕、2,4−ビス−(トリクロロメチル)−6−[4−(N,N’−ジエトキシカルボニルメチルアミノ)−3−ブロモフェニル]−s−トリアジン、2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−(o−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、1−(o−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノンなどが好ましい。 Among them, a combination of 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone and 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 4- [pN, N′-di (ethoxycarbonyl) Methyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine], 2,4-bis- (trichloromethyl) -6- [4- (N, N′-diethoxycarbonylmethylamino) -3-bromo Phenyl] -s-triazine, 2-trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2- (o-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-octanedione, 1- (o-acetyloxime) -1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone It is preferred.
上記の光重合開始剤は、1種単独で用いる以外に、2種以上を併用するようにしてもよい。感光性樹脂層中における光重合開始剤の含有量としては、後述の重合性モノマーの量に対して、0.1〜20質量%が好ましく、0.5〜15質量%がより好ましい。 The above photopolymerization initiators may be used in combination of two or more, in addition to being used alone. As content of the photoinitiator in the photosensitive resin layer, 0.1-20 mass% is preferable with respect to the quantity of the below-mentioned polymerizable monomer, and 0.5-15 mass% is more preferable.
また、光重合性樹脂組成物に含まれる、光重合性モノマーとしては、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有するものであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、エステル化合物、アミド化合物、並びにその他の化合物が挙げられる。 The photopolymerizable monomer contained in the photopolymerizable resin composition is not particularly limited as long as it has at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group, and is appropriately selected depending on the purpose. can do. Examples include ester compounds, amide compounds, and other compounds.
前記エステル化合物としては、例えば、単官能(メタ)アクリル酸エステル、多官能(メタ)アクリル酸エステル、イタコン酸エステル、クロトン酸エステル、イソクロトン酸エステル、マレイン酸エステル、その他のエステル化合物、などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよいが、これらの中でも、単官能(メタ)アクリル酸エステル、多官能(メタ)アクリル酸エステル等が好ましい。 Examples of the ester compound include monofunctional (meth) acrylic acid ester, polyfunctional (meth) acrylic acid ester, itaconic acid ester, crotonic acid ester, isocrotonic acid ester, maleic acid ester, and other ester compounds. It is done. These may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together, Among these, monofunctional (meth) acrylic acid ester, polyfunctional (meth) acrylic acid ester, etc. are preferable.
前記単官能(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチルモノ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。 Examples of the monofunctional (meth) acrylic acid ester include polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, and phenoxyethyl mono (meth) acrylate.
前記多官能(メタ)アクリル酸エステルしては、例えば、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、ソルビトールトリ(メタ)アクリレート、ソルビトールテトラ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。中でも特に、ジペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレートが好ましい。 Examples of the polyfunctional (meth) acrylic acid ester include polyethylene glycol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, and 1,3-butanediol di (meth). Acrylate, tetramethylene glycol di (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol di (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) ) Acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol poly (meth) acrylate, sorbitol Tri (meth) acrylate, sorbitol tetra (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, tripentaerythritol tetra (meth) acrylate, tripenta Examples include erythritol penta (meth) acrylate, tripentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, and tripentaerythritol octa (meth) acrylate. Of these, dipentaerythritol poly (meth) acrylate is particularly preferable.
前記多官能(メタ)アクリル酸エステルの他の例としては、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号公報、特公昭50−6034号公報、特開昭51−37193号公報に記載のウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号公報、特公昭49−43191号公報、及び特公昭52−30490号公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類、特開昭60−258539号公報に記載の(メタ)アクリル酸エステルやウレタン(メタ)アクリレートやビニルエステル、などが挙げられる。 Other examples of the polyfunctional (meth) acrylic acid ester include those obtained by adding ethylene oxide or propylene oxide to a polyfunctional alcohol such as glycerin or trimethylolethane and then (meth) acrylate, Japanese Patent Publication No. 48-41708. Urethane acrylates described in Japanese Patent Publication No. 50-6034, Japanese Patent Publication No. 51-37193, Japanese Patent Publication No. 48-64183, Japanese Patent Publication No. 49-43191, and Japanese Patent Publication No. 52-30490. Polyester acrylates described in the publication, epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid esters and urethane (meth) acrylates described in JP-A-60-258539 And vinyl esters.
前記「その他のエステル化合物」としては、例えば、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、日本接着協会誌Vol.20,No.7,300〜308頁に記載の光硬化性モノマー及びオリゴマー、などが挙げられる。 Examples of the “other ester compounds” include trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, Japan Adhesion Association Vol. 20, no. Examples include photocurable monomers and oligomers described on pages 7,300 to 308.
また、上記のアミド化合物としては、例えば、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド(モノマー)などが挙げられ、具体的には、メチレンビス(メタ)アクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス(メタ)アクリルアミド、ジエチレントリアミントリス(メタ)アクリルアミド、キシリレンビス(メタ)アクリルアミド、などが挙げられ、また、特開昭60−258539号公報に記載の(メタ)アクリル酸アミド、などが挙げられる。 Examples of the amide compound include an amide (monomer) of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyvalent amine compound. Specific examples include methylene bis (meth) acrylamide, 1,6-hexamethylene. Examples thereof include bis (meth) acrylamide, diethylenetriamine tris (meth) acrylamide, and xylylene bis (meth) acrylamide, and (meth) acrylic acid amide described in JP-A-60-258539.
また、上記の「その他の化合物」としては、例えば、特開昭60−258539号公報に記載のアリル化合物、などが挙げられる。 Examples of the “other compounds” include allyl compounds described in JP-A-60-258539.
上記した光重合性モノマーは、1種単独で用いる以外に、2種以上を併用するようにしてもよい。光重合性モノマーの感光性樹脂層中における含有量としては、該層の全固形分に対して、10〜60質量%が好ましく、20〜50質量%がより好ましい。 The above-mentioned photopolymerizable monomers may be used in combination of two or more, in addition to being used alone. As content in the photosensitive resin layer of a photopolymerizable monomer, 10-60 mass% is preferable with respect to the total solid of this layer, and 20-50 mass% is more preferable.
感光性樹脂層にはさらに、染料、顔料等の着色剤を添加することができる。
赤色、青色、黄色や黒色の着色剤を含むことによって、感光性樹脂層は、所望の色に着色したパターンが得られ、液晶画像表示装置等のカラーフィルタを製造することができる。感光性樹脂層は、着色剤を含有せずに透明なパターンを形成することもできる。
Further, a colorant such as a dye or a pigment can be added to the photosensitive resin layer.
By including red, blue, yellow, and black colorants, the photosensitive resin layer can have a pattern colored in a desired color, and a color filter such as a liquid crystal image display device can be manufactured. The photosensitive resin layer can also form a transparent pattern without containing a colorant.
着色剤として顔料を用いる場合には、公知の顔料分散剤、顔料誘導体を用いることができ、感光性樹脂層中に均一に分散されていることが好ましい。顔料の粒子径としては、好ましくは5μm以下であり、1μm以下であることがより好ましく、カラーフィルタの作製にあたっては、顔料としては0.5μm以下の粒子径のものが特に好ましい。 When a pigment is used as the colorant, a known pigment dispersant or pigment derivative can be used, and it is preferable that the pigment is uniformly dispersed in the photosensitive resin layer. The particle diameter of the pigment is preferably 5 μm or less, and more preferably 1 μm or less. In producing a color filter, the pigment having a particle diameter of 0.5 μm or less is particularly preferable.
感光性樹脂層に含まれる着色剤である、染料ないし顔料の例は次の通りである。
ビクトリア・ピュアーブルーBO(C.I.42595)、オーラミン(C.I.41000)、ファット・ブラックHB(C.I.26150)、モノライト・エローGT(C.I.ピグメントエロー12)、パーマネント・エローGR(C.I.ピグメント・エロー17)、パーマネント・エローHR(C.I.ピグメント・エロー83)、パーマネント・カーミンFBB(C.I.ピグメント・レッド146)、ホスターバームレッドESB(C.I.ピグメント・バイオレット19)、パーマネント・ルビーFBH(C.I.ピグメント・レッド11)ファステル・ピンクBスプラ(C.I.ピグメント・レッド81)モナストラル・ファースト・ブルー(C.I.ピグメント・ブルー15)、モノライト・ファースト・ブラックB(C.I.ピグメント・ブラック1)及びカーボン。
Examples of dyes or pigments which are colorants contained in the photosensitive resin layer are as follows.
Victoria Pure Blue BO (C.I. 42595), Auramin (C.I. 41000), Fat Black HB (C.I. 26150), Monolite Yellow GT (C.I. Pigment Yellow 12), Permanent -Yellow GR (CI Pigment Yellow 17), Permanent Yellow HR (CI Pigment Yellow 83), Permanent Carmine FBB (CI Pigment Red 146), Hoster Balm Red ESB (C CI Pigment Violet 19), Permanent Ruby FBH (CI Pigment Red 11) Fastel Pink B Spula (CI Pigment Red 81) Monastral First Blue (CI Pigment Red 11) Blue 15), Monolite First Black B C.I. Pigment Black 1) and carbon.
さらに、カラーフィルタを形成するのに適当な顔料としては、C.I.ピグメント・レッド97、C.I.ピグメント・レッド122、C.I.ピグメント・レッド149、C.I.ピグメント・レッド168、C.I.ピグメント・レッド177、C.I.ピグメント・レッド180、C.I.ピグメント・レッド192、C.I.ピグメント・レッド209、C.I.ピグメント・レッド215、C.I.ピグメント・レッド254、C.I.ピグメント・グリーン7、C.I.ピグメント・グリーン36、C.I.ピグメント・グリーン58、C.I.ピグメント・ブルー15:1、C.I.ピグメント・ブルー15:4、C.I.ピグメント・ブルー15:6、C.I.ピグメント・ブルー22、C.I.ピグメント・ブルー60、C.I.ピグメント・ブルー64、C.I.ピグメント・エロー138、C.I.ピグメント・エロー139、C.I.ピグメント・エロー150、C.I.ピグメント・エロー185、C.I.ピグメント・バイオレット23、カーボンブラックなどを挙げることができる。 Further, as pigments suitable for forming a color filter, C.I. I. Pigment red 97, C.I. I. Pigment red 122, C.I. I. Pigment red 149, C.I. I. Pigment red 168, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 180, C.I. I. Pigment red 192, C.I. I. Pigment red 209, C.I. I. Pigment red 215, C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36, C.I. I. Pigment green 58, C.I. I. Pigment blue 15: 1, C.I. I. Pigment blue 15: 4, C.I. I. Pigment blue 15: 6, C.I. I. Pigment blue 22, C.I. I. Pigment blue 60, C.I. I. Pigment blue 64, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 185, C.I. I. Pigment violet 23, carbon black and the like.
感光性樹脂層のパターン形成に用いるアルカリ現像液としては、アルカリ性物質の水溶液であるが、さらに水と混和性のある有機溶剤を少量添加したものも含まれる。適当なアルカリ性物質はアルカリ金属水酸化物類(例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重炭酸塩類(炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム)アルカリ金属メタケイ酸塩類(メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類(例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキシド)または燐酸三ナトリウムである。
アルカリ現像液のアルカリ性物質の濃度は、0.01質量%〜30質量%であり、pHは8〜14が好ましい。
The alkaline developer used for pattern formation of the photosensitive resin layer is an aqueous solution of an alkaline substance, but further includes a solution to which a small amount of an organic solvent miscible with water is added. Suitable alkaline substances are alkali metal hydroxides (eg sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (eg sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (sodium bicarbonate, potassium bicarbonate), Alkali metal silicates (sodium silicate, potassium silicate) Alkali metal metasilicates (sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (eg Tetramethylammonium hydroxide) or trisodium phosphate.
The concentration of the alkaline substance in the alkaline developer is 0.01% by mass to 30% by mass, and the pH is preferably 8-14.
水と混和性のある有機溶剤は、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドンである。
水と混和性のある有機溶剤の濃度は0.1質量%〜30質量%である。またさらに公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は0.01質量%〜10質量%が好ましい。
アルカリ現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。感光性樹脂層の未硬化部分を除去するには現像液中で回転ブラシで擦るか湿潤スポンジで擦るなどの方法を組み合わせることもできる。アルカリ現像液の液温度は通常室温付近から40℃が好ましい。現像処理の後に水洗工程を入れることも可能である。
Organic solvents miscible with water are methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether, benzyl alcohol, acetone Methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam and N-methylpyrrolidone.
The concentration of the organic solvent miscible with water is 0.1% by mass to 30% by mass. Furthermore, a known surfactant can be added. The concentration of the surfactant is preferably 0.01% by mass to 10% by mass.
The alkaline developer can be used as a bath solution or a spray solution. In order to remove the uncured portion of the photosensitive resin layer, it is possible to combine methods such as rubbing with a rotating brush or rubbing with a wet sponge in the developer. The temperature of the alkaline developer is usually preferably from about room temperature to 40 ° C. It is also possible to put a water washing step after the development processing.
さらに、感光性転写材料としては、感光性樹脂層の上に、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄い被覆シートを設けることが好ましい。被覆シートは仮支持体と同じかまたは類似の材料でもよいが、感光性樹脂層から容易に剥離されることが必要である。
被覆シートの材料としては、例えばシリコン紙、ポリオレフィンもしくはポリテトラフルオルエチレンシートが適当である。
被覆シートの厚みは約5〜100μmであるのが好ましい。特に好ましくは10〜30μm厚のポリエチレンまたはポリプロピレンフィルムである。
Further, as the photosensitive transfer material, it is preferable to provide a thin cover sheet on the photosensitive resin layer in order to protect it from contamination and damage during storage. The covering sheet may be made of the same or similar material as the temporary support, but it needs to be easily peeled off from the photosensitive resin layer.
As a material for the covering sheet, for example, silicon paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheet is suitable.
The thickness of the covering sheet is preferably about 5 to 100 μm. Particularly preferred is a polyethylene or polypropylene film having a thickness of 10 to 30 μm.
本発明の感光性転写材料の製造方法は、仮支持体上に熱可塑性樹脂層溶液を施し、乾燥することにより熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶液を塗布し、乾燥し、その後中間層を溶解しない溶剤を用いて、感光性樹脂層を塗布、乾燥して設ける。
または、別の被覆シート上に感光性樹脂層を設けて、仮支持体上に熱可塑性樹脂層及び中間層を有するシートの両方のシートを中間層と感光性樹脂層とが接するように相互に貼り合わせること、または、別の被覆シートとして、熱可塑性樹脂層を有する仮支持体を用意し、この熱可塑性樹脂層を、被覆シート上の感光性樹脂層及び中間層からなるシートの中間層とを貼り合わせることにより有利に製造される。
In the method for producing a photosensitive transfer material according to the present invention, a thermoplastic resin layer solution is applied on a temporary support and dried to provide a thermoplastic resin layer, and then the thermoplastic resin layer is not dissolved on the thermoplastic resin layer. A solution of an intermediate layer material composed of a solvent is applied and dried, and then a photosensitive resin layer is applied and dried using a solvent that does not dissolve the intermediate layer.
Alternatively, a photosensitive resin layer is provided on another coated sheet, and both sheets of the thermoplastic resin layer and the sheet having the intermediate layer are placed on the temporary support so that the intermediate layer and the photosensitive resin layer are in contact with each other. Bonding or preparing a temporary support having a thermoplastic resin layer as another coating sheet, and this thermoplastic resin layer is an intermediate layer of a sheet composed of a photosensitive resin layer and an intermediate layer on the coating sheet Are advantageously manufactured by bonding.
本発明の感光性転写材料は、熱可塑性樹脂層を設けない側の面にさらに、導電性層、接着防止層等を有することが好ましく、以下にこれらの層について詳細に説明する。
転写の工程において、基板(永久支持体)上に感光性転写材料の感光性樹脂層を貼り合わせた後で仮支持体を剥そうとすると、仮支持体であるフィルムと人体とが帯電して不快な電撃ショックを受けることがあり、また、この帯電のために周囲からゴミを吸い寄せて感光性転写材料等に付着し、引き続く露光工程でゴミ付着部に未露光部が生じ、ピンホールの原因となることがある。本発明の感光性転写材料においては、帯電を防止するため、仮支持体の少なくとも一方の面に導電性層を設けてその表面電気抵抗を1012Ω以下としたか、あるいは仮支持体自体に導電性を付与してその表面電気抵抗を1012Ω以下としたものを用いることが好ましい。
The photosensitive transfer material of the present invention preferably further has a conductive layer, an adhesion preventing layer and the like on the surface on which the thermoplastic resin layer is not provided. These layers will be described in detail below.
In the transfer process, if the temporary support is peeled off after the photosensitive resin layer of the photosensitive transfer material is bonded to the substrate (permanent support), the temporary support film and the human body are charged. It may cause unpleasant electric shocks, and because of this charging, dust is attracted from the surroundings and adheres to the photosensitive transfer material. It may become. In the photosensitive transfer material of the present invention, in order to prevent electrification, a conductive layer is provided on at least one surface of the temporary support so that the surface electrical resistance is 1012Ω or less, or the temporary support itself is electrically conductive. It is preferable to use those having a surface electrical resistance of 1012Ω or less.
仮支持体に導電性を付与するには、仮支持体中に導電性物質を含有させればよい。例えば、金属酸化物の微粒子や帯電防止剤を練り込んでおく方法が好適である。
金属酸化物としては、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化錫、酸化アルミニウム、酸化インジウム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化バリウム、酸化モリブデンの中から選ばれた少なくとも1種の結晶性金属酸化物、及び/またはその複合酸化物の微粒子である。
帯電防止剤としては例えば、アニオン界面活性剤としてアルキル燐酸塩系(例えば、花王(株)のエレクトロストリッパーA、第一工業製薬(株)のエレノンNo19等が、両性界面活性剤としてベタイン系(例えば、第一工業製薬(株)のアモーゲンK、等)が、非イオン界面活性剤としてポリオキシエチレン脂肪酸エステル系(例えば、日油(株)のニツサンノニオンL、等)、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系(例えば、花王(株)のエマルゲン106、120、147、420、220、905、910、日油(株)のニツサンノニオンE、等)が有用である。
In order to impart conductivity to the temporary support, a conductive substance may be contained in the temporary support. For example, a method of kneading metal oxide fine particles or an antistatic agent is suitable.
Examples of the metal oxide include at least one crystalline metal oxide selected from zinc oxide, titanium oxide, tin oxide, aluminum oxide, indium oxide, silicon oxide, magnesium oxide, barium oxide, and molybdenum oxide, and / or Alternatively, fine particles of the composite oxide.
As the antistatic agent, for example, an alkyl phosphate type anionic surfactant (for example, Electro Stripper A of Kao Corporation, Elenon No19 of Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.), and a betaine type (for example, amphoteric surfactant) Amogen K of Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.) is a polyoxyethylene fatty acid ester-based non-ionic surfactant (for example, Nissan Nonion L of NOF Corporation), polyoxyethylene alkyl ether The systems (for example, Emulgen 106, 120, 147, 420, 220, 905, and 910 from Kao Corporation, Natsusan Nonion E from NOF Corporation, etc.) are useful.
その他、非イオン界面活性剤としてポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテル系、多価アルコール脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンアルキルアミン系等のものが用いられる。
アニオン界面活性剤及び、両性界面活性剤はイオンが帯電防止に効果を示し、非イオン界面活性剤は接触面に、非イオン界面活性剤が転写して帯電列の差を小さくし、剥離帯電を防止する。
仮支持体上に導電性層を設ける場合には、導電性層としては公知のものの中から適宜選択して用いることができるが、特に導電性物質として、ZnO、TiO2、SnO2、Al2O3、In2O3、SiO2、MgO、BaO、MoO3の中から選ばれた少なくとも1種の結晶性金属酸化物、及び/またはその複合酸化物の微粒子を含有させる方法が、湿度に影響されない導電性を示すので好ましい。結晶性金属酸化物またはその複合酸化物の微粒子は、その体積抵抗が107Ω・cm以下であることが好ましく、特に105Ω・cm以下であることが好ましい。その粒子サイズは、0.01μm〜0.7μm、特に0.02μm〜0.5μmであることが好ましい。
Other nonionic surfactants include polyoxyethylene alkylphenol ethers, polyhydric alcohol fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene alkylamines, and the like.
Anionic surfactants and amphoteric surfactants are effective in preventing ions from being charged.Nonionic surfactants are transferred to the contact surface, and nonionic surfactants transfer to reduce the difference in charge trains, thereby eliminating peeling charges. To prevent.
When the conductive layer is provided on the temporary support, the conductive layer can be appropriately selected from known ones. In particular, as the conductive material, ZnO, TiO 2 , SnO 2 , Al 2 can be used. A method of containing fine particles of at least one crystalline metal oxide selected from O 3 , In 2 O 3 , SiO 2 , MgO, BaO, and MoO 3 and / or fine particles of a composite oxide thereof in humidity. It is preferable because it shows conductivity that is not affected. The fine particles of the crystalline metal oxide or the composite oxide thereof preferably have a volume resistance of 10 7 Ω · cm or less, particularly preferably 10 5 Ω · cm or less. The particle size is preferably 0.01 μm to 0.7 μm, particularly preferably 0.02 μm to 0.5 μm.
導電性の結晶性金属酸化物及びその複合酸化物の微粒子の製造方法については、特開昭56−143430号公報に詳細に記載されているが、それらについて略述すれば、第1に金属酸化物微粒子を焼成により作製し、導電性を向上させる異種原子の存在下で熱処理する方法、第2に焼成により金属酸化物微粒子を製造するときに導電性を向上させる為の異種原子を共存させる方法、第3に焼成により金属微粒子を製造する際に雰囲気中の酸素濃度を下げて、酸素欠陥を導入する方法等である。異種原子を含む例としてはZnOに対してAl、In等、TiO2に対してはNb、Ta等、SnO2に対しては、Sb、Nb、ハロゲン元素等が挙げられる。異種原子の添加量は0.01mol%〜30mol%の範囲が好ましく、0.1mol%〜10mol%が特に好ましい。導電性粒子の使用量は0.05g/m2〜20g/m2がよく、0.1g/m2〜10g/m2が特に好ましい。 A method for producing conductive crystalline metal oxide and fine particles of the composite oxide is described in detail in Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-143430. A method of producing fine particles of particles by firing and heat-treating them in the presence of different atoms to improve conductivity, and a second method of coexisting different types of atoms to improve conductivity when producing fine metal oxide particles by firing. Third, there is a method of introducing oxygen defects by reducing the oxygen concentration in the atmosphere when producing fine metal particles by firing. Examples containing different atoms include Al and In for ZnO, Nb and Ta for TiO 2 , and Sb, Nb and halogen elements for SnO 2 . The amount of different atoms added is preferably in the range of 0.01 mol% to 30 mol%, particularly preferably 0.1 mol% to 10 mol%. The amount of the conductive particles is 0.05g / m 2 ~20g / m 2 selfishness, 0.1g / m 2 ~10g / m 2 is particularly preferred.
導電性層には、バインダーとして、ゼラチン、セルロースナイトレート、セルローストリアセテート、セルロースジアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート等のようなセルロースエステル、塩化ビニリデン、塩化ビニル、スチレン、アクリロニトリル、酢酸ビニル、アルキル(アルキル基C1〜C4)アクリレート、ビニルピロリドン等を含むホモポリマーまたは、共重合体、可溶性ポリエステル、ポリカーボネート、可溶性ポリアミド等を使用することができる。これらのバインダー中への導電性粒子の分散に際しては、チタン系分散剤或いはシラン系分散剤のような分散液を添加してもよい。またバインダー架橋剤等を加えても何らさしつかえはない。
チタン系分散剤としては、米国特許4,069,192号、同4,080,353号等明細書に記載されているチタネート系カップリング剤、及びプレンアクト(商品名:味の素(株)製)等を挙げることができる。シラン系分散剤としては、例えばビニルトリクロルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等が知られており「シランカップリング剤」として信越化学(株)等から市販されている。バインダー架橋剤としては、例えば、エポキシ系架橋剤、イソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤等を挙げる事ができる。本発明における好ましい導電性層は、導電性微粒子をバインダーに分散させ仮支持体上に設けることにより、または仮支持体に下引処理をほどこし、その上に伝導性微粒子を被着させることにより設けることができる。
For conductive layer, binder, gelatin ester, cellulose nitrate, cellulose triacetate, cellulose diacetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate, etc., vinylidene chloride, vinyl chloride, styrene, acrylonitrile, acetic acid Homopolymers or copolymers, soluble polyesters, polycarbonates, soluble polyamides and the like containing vinyl, alkyl (alkyl group C1 to C4) acrylate, vinyl pyrrolidone and the like can be used. In dispersing the conductive particles in these binders, a dispersion liquid such as a titanium-based dispersant or a silane-based dispersant may be added. There is no problem even if a binder cross-linking agent is added.
Examples of titanium-based dispersants include titanate-based coupling agents described in U.S. Pat. Nos. 4,069,192 and 4,080,353, and Plenact (trade name: manufactured by Ajinomoto Co., Inc.). Can be mentioned. As silane-based dispersants, for example, vinyltrichlorosilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane and the like are known. It is commercially available from Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. as a “silane coupling agent”. Examples of the binder crosslinking agent include an epoxy crosslinking agent, an isocyanate crosslinking agent, an aziridine crosslinking agent, and an epoxy crosslinking agent. A preferred conductive layer in the present invention is provided by dispersing conductive fine particles in a binder and providing them on a temporary support, or by applying a subbing treatment to the temporary support and depositing the conductive fine particles thereon. be able to.
本発明において、導電性層が仮支持体の感光性樹脂層とは反対側の面に設けられることが好ましく、この場合には、耐傷性を良好なものとするために、導電性層の上に更に疎水性重合体層を設けることが好ましい。この場合、疎水性重合体層は、有機溶剤に溶解した溶液または水性ラテックスの状態で塗布すればよく、塗布量は乾燥質量にして0.05g/m2〜1g/m2程度がよい。疎水性重合体としては、セルロースエステル(例えばニトロセルロース、セルロースアセテート)、塩化ビニル、塩化ビニリデン、ビニルアクリレート等を含むビニル系ポリマーや有機溶剤可溶性ポリアミド、ポリエステル等のポリマーを挙げることができる。この層には、すべり性を付与するためのすべり剤、例えば特開昭55−79435号公報に記載があるような有機カルボン酸アミド等を使用しても差しつかえないし、またマット剤等を加えることも何ら支障はない。このような疎水性重合体層を設けても本発明の導電性層の効果は実質的に影響を受けない。 In the present invention, the conductive layer is preferably provided on the surface of the temporary support opposite to the photosensitive resin layer. In this case, in order to improve the scratch resistance, It is preferable to further provide a hydrophobic polymer layer. In this case, the hydrophobic polymer layer may be applied in the form of a solution or an aqueous latex dissolved in an organic solvent, and the coating amount is preferably about 0.05 g / m 2 to 1 g / m 2 in terms of dry mass. Examples of the hydrophobic polymer include polymers such as vinyl esters including cellulose esters (for example, nitrocellulose and cellulose acetate), vinyl chloride, vinylidene chloride, vinyl acrylate, organic solvent-soluble polyamides, and polyesters. For this layer, a slipping agent for imparting slipperiness, for example, an organic carboxylic acid amide as described in JP-A No. 55-79435 may be used, and a matting agent or the like is added. There is no problem. Even if such a hydrophobic polymer layer is provided, the effect of the conductive layer of the present invention is not substantially affected.
仮支持体に下塗層を設ける場合には、特開昭51−135526号、米国特許3,143,421号、同3,586,508号、同2,698,235号、同3,567,452号各公報・明細書等に記載されているような塩化ビニリデン系共重合体、特開昭51−114120号公報、米国特許3,615,556号明細書等に記載されているようなブタジエン等のジオレフイン系共重合体、特開昭51−58469号公報等に記載されているようなグリシジルアクリレートまたはグリシジルメタアクリレート含有共重合体、特開昭48−24923号公報等に記載されているようなポリアミド・エピクロルヒドリン樹脂、特開昭50−39536号公報に記載されているような無水マレイン酸含有共重合体等を用いることができる。本発明においては、また、特開昭56−82504号、特開昭56−143443号、特開昭57−104931号、特開昭57−118242号、特開昭58−62647号、特開昭60−258541号等各公報に示されている導電性層も適宜用いることができる。 In the case where an undercoat layer is provided on the temporary support, JP-A-51-135526, U.S. Pat. Nos. 3,143,421, 3,586,508, 2,698,235, and 3,567 are disclosed. No. 452, each vinylidene chloride copolymer as described in each publication / specification, etc., as described in JP-A-51-114120, US Pat. No. 3,615,556, etc. Diolefin-based copolymers such as butadiene, glycidyl acrylate or glycidyl methacrylate-containing copolymers as described in JP-A-51-58469, etc., and JP-A-48-24923 Such a polyamide-epichlorohydrin resin and a maleic anhydride-containing copolymer as described in JP-A No. 50-39536 can be used. In the present invention, JP-A 56-82504, JP-A 56-143443, JP-A 57-104931, JP-A 57-118242, JP 58-62647, JP The conductive layer shown in each publication such as 60-258541 can also be used as appropriate.
導電性層を、仮支持体と同一または異なったプラスチック原料に含有せしめ、仮支持体用フィルムを押し出す際に同時に共押し出しした場合には、接着性、耐傷性に優れた導電性層を容易に得ることができるので、この場合には前記の疎水性重合体層や下塗層を設ける必要がなく、本発明における導電性層の特に好ましい実施態様である。導電性層を塗布する場合には、ローラーコート、エアナイフコート、グラビアコート、バーコート、カーテンコート等、通常の方法が採用できる。本発明の感光性転写材料を使用して帯電による静電ショックを防止するためには、導電性層または導電性を付与した仮支持体の表面電気抵抗値を1012Ω以下とすることが必要であり、特に1011Ω以下とすることが好ましい。 When the conductive layer is contained in the same or different plastic raw material as the temporary support and coextruded at the same time as the temporary support film is extruded, the conductive layer with excellent adhesion and scratch resistance can be easily obtained. In this case, it is not necessary to provide the hydrophobic polymer layer or the undercoat layer, and this is a particularly preferred embodiment of the conductive layer in the present invention. When the conductive layer is applied, usual methods such as roller coating, air knife coating, gravure coating, bar coating, curtain coating, etc. can be employed. In order to prevent electrostatic shock due to charging using the photosensitive transfer material of the present invention, it is necessary that the surface electrical resistance value of the conductive layer or the temporary support provided with conductivity is 10 12 Ω or less. In particular, it is preferably 10 11 Ω or less.
滑り性を良化するため、または該感光性樹脂層の仮支持体裏面との不都合な接着を防止するため、仮支持体の裏面に公知の微粒子含有滑り性組成物や、シリコン化合物を含有する離型剤組成物、等を塗布することも有用である。 In order to improve slipperiness or to prevent inadvertent adhesion of the photosensitive resin layer to the backside of the temporary support, the backside of the temporary support contains a known fine particle-containing slipping composition or a silicon compound. It is also useful to apply a release agent composition or the like.
仮支持体の、熱可塑性樹脂層を設けない側の面に導電性層を設ける場合には、該熱可塑性樹脂層と仮支持体との接着力を上げるため、仮支持体に、例えばグロー放電処理、コロナ処理、紫外線照射処理などの表面処理、フェノール性物質、ポリ塩化ビニリデン樹脂、スチレンブタジエンゴム、ゼラチン等の下塗り処理、さらにこれらの処理を組み合わせた処理を行うことができる。熱可塑性樹脂層に含まれる熱可塑性樹脂がアルカリ可溶性である場合には、これらの中で、コロナ処理後に導電性層を設けたポリエチレンテレフタレートフィルムがコストと密着の観点から好ましい。 When a conductive layer is provided on the surface of the temporary support that is not provided with the thermoplastic resin layer, in order to increase the adhesive force between the thermoplastic resin layer and the temporary support, Surface treatments such as treatment, corona treatment and ultraviolet irradiation treatment, undercoating treatments such as phenolic substances, polyvinylidene chloride resin, styrene butadiene rubber, gelatin, and a combination of these treatments can be performed. When the thermoplastic resin contained in the thermoplastic resin layer is alkali-soluble, among these, a polyethylene terephthalate film provided with a conductive layer after corona treatment is preferable from the viewpoint of cost and adhesion.
次に、本発明の感光性転写材料を用いた画像形成方法について説明する。先ず、感光性転写材料の被覆シートを取除き、感光性樹脂層を加圧、加温下で基板(永久支持体)上に貼り合わせる。貼り合わせには、従来公知のラミネーター、真空ラミネーターが使用でき、より生産性を高めるためには、オートカットラミネーターの使用も可能である。その後仮支持体を剥がした後で、所定のマスク、熱可塑性樹脂層、及び中間層を介して露光し、次いで除去する。除去は公知の方法で溶剤もしくは水性の現像液、特にアルカリ水溶液に浸漬するか、スプレーからの処理液の噴霧を与えること、さらにブラシでのこすりまたは超音波を照射しつつ処理することで行なわれる。異なる色に着色した感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用い、この工程を複数回繰り返せば多色画像を形成することができる。 Next, an image forming method using the photosensitive transfer material of the present invention will be described. First, the cover sheet of the photosensitive transfer material is removed, and the photosensitive resin layer is bonded onto the substrate (permanent support) under pressure and heating. Conventionally known laminators and vacuum laminators can be used for bonding, and an auto-cut laminator can also be used in order to increase productivity. Thereafter, the temporary support is peeled off, and then exposed through a predetermined mask, a thermoplastic resin layer, and an intermediate layer, and then removed. Removal is performed by immersing in a solvent or an aqueous developer, particularly an alkaline aqueous solution, or by spraying the processing liquid from a spray, and further by rubbing with a brush or irradiating ultrasonic waves by a known method. . By using a photosensitive transfer material having a photosensitive resin layer colored in a different color and repeating this process a plurality of times, a multicolor image can be formed.
現像は熱可塑性樹脂層、中間層および感光性樹脂層を一度に処理してもよいが、現像むらや感光性樹脂層現像時の現像液疲労を少なくするため熱可塑性樹脂層および中間層を先に溶解除去した後で感光性樹脂層の現像を行ってもよい。熱可塑性樹脂層および中間層の現像液には、前記溶剤もしくは水性の現像液が用いられるが、該熱可塑性樹脂層および中間層の除去の際に感光性樹脂層に影響の少ない現像液を用いることが好ましい。
この方法は熱可塑性樹脂層および中間層と感光性樹脂層との間に溶解速度の差を持つ現像液を選ぶことにより、また液温、スプレー圧、擦りの力など現像処理条件を組み合わせることによって達成できる。例えば、感光性樹脂層の現像に要する最小の時間が、熱可塑性樹脂層および中間層の現像に要する最小時間の2倍以上になるような現像液を熱可塑性樹脂層および中間層の現像液として選べば、感光性樹脂層が現像されることなく熱可塑性樹脂層および中間層のみを除去することができる。その後さらに感光性樹脂層用の現像液で現像することによって、該感光性樹脂層用現像液が熱可塑性樹脂層および中間層の除去で疲労することなく、さらに感光性樹脂層の現像の際前もって熱可塑性樹脂層および中間層を除去しているので、同一現像液で一度に現像する場合に比べて、基板内での熱可塑性樹脂層の除去むらに起因する感光性樹脂層の現像むらは発生せず、現像状態の均一な画像が得られる。
また、熱可塑性樹脂層および中間層は、水または前記現像液で剥離除去させてもよい。剥離除去の方法は浴液、スプレー、および現像液中で回転ブラシや湿潤したスポンジで擦るなどの方法を組み合わせることができる。
For development, the thermoplastic resin layer, the intermediate layer and the photosensitive resin layer may be processed at one time. However, the development of the thermoplastic resin layer and the intermediate layer may be reduced in order to reduce development unevenness and developer fatigue during development of the photosensitive resin layer. The photosensitive resin layer may be developed after being dissolved and removed. As the developer for the thermoplastic resin layer and the intermediate layer, the solvent or the aqueous developer is used. However, a developer that has little influence on the photosensitive resin layer is used when removing the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. It is preferable.
This method involves selecting a developer having a difference in dissolution rate between the thermoplastic resin layer and the intermediate layer and the photosensitive resin layer, and combining development processing conditions such as liquid temperature, spray pressure, and rubbing force. Can be achieved. For example, a developer whose minimum time required for developing the photosensitive resin layer is at least twice the minimum time required for developing the thermoplastic resin layer and the intermediate layer is used as the developer for the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. If selected, only the thermoplastic resin layer and the intermediate layer can be removed without developing the photosensitive resin layer. Thereafter, development is further performed with a developer for the photosensitive resin layer, so that the developer for the photosensitive resin layer is not fatigued by the removal of the thermoplastic resin layer and the intermediate layer, and further, in advance of the development of the photosensitive resin layer. Since the thermoplastic resin layer and the intermediate layer are removed, uneven development of the photosensitive resin layer due to uneven removal of the thermoplastic resin layer in the substrate occurs compared to when developing with the same developer at once. Thus, a uniform image in a developed state can be obtained.
Further, the thermoplastic resin layer and the intermediate layer may be peeled off with water or the developer. The stripping and removing method can be combined with a bath solution, a spray, and a method of rubbing with a rotating brush or wet sponge in a developer.
本発明の感光性転写材料の主な用途はプリント配線基板の作製の他、多色画像、特に液晶ディスプレー用等のカラーフィルタ作製やカラーフィルタの保護層作製に都合がよい。プリント配線基板の作製には、基体として公知の銅張り積層板が用いられ、カラーフィルタの作製のためには、基板としては、公知のガラス板、表面に酸化珪素皮膜を形成したソーダガラス板などが用いられる。 The main use of the photosensitive transfer material of the present invention is convenient for the production of a printed wiring board, the production of a color filter for a multicolor image, particularly a liquid crystal display, and the production of a protective layer for the color filter. A known copper-clad laminate is used as a substrate for the production of a printed wiring board. For production of a color filter, a known glass plate, a soda glass plate having a silicon oxide film formed on the surface, or the like is used as a substrate. Is used.
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「%」「部」は質量基準である。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further more concretely, it is not limited to a following example. Unless otherwise specified, “%” and “part” are based on mass.
(実施例1)
原料BPE500(新中村化学社製)10g、およびパラジウムカーボン(東京化成社製)0.3gを、酢酸エチルエステル 100ml中に添加し、常圧下で室温にて、水素を作用させた。14時間後、ろ過をして、ろ液の溶媒を減圧下留去して、化合物1(下記構造)を得た。透明液体。収量10.2g。
1H−NMR(CDCl3) δ(ppm):1.08(d、12H)、1.62(s、6H)、2.6(m、2H)、3.8−4.2(m、40H)、6.80(d、4H)、7.08(d、4H)
Example 1
10 g of raw material BPE500 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) and 0.3 g of palladium carbon (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) were added to 100 ml of ethyl acetate, and hydrogen was allowed to act at room temperature under normal pressure. After 14 hours, filtration was performed, and the solvent of the filtrate was distilled off under reduced pressure to obtain Compound 1 (the following structure). Transparent liquid. Yield 10.2 g.
1 H-NMR (CDCl 3 ) δ (ppm): 1.08 (d, 12H), 1.62 (s, 6H), 2.6 (m, 2H), 3.8-4.2 (m, 40H), 6.80 (d, 4H), 7.08 (d, 4H)
(実施例2)
原料A−BPE(新中村化学社製)10g、およびパラジウムカーボン(東京化成社製)0.3gを、酢酸エチルエステル 100ml中に添加し、常圧下で室温にて、水素を作用させた。14時間後、ろ過をして、ろ液の溶媒を減圧下留去して、化合物2(下記構造)を得た。透明液体。収量10.2g。
1H−NMR(CDCl3) δ(ppm):1.08(t、6H)、1.62(s、6H)、2.4(m、4H)、3.8−4.2(m、40H)、6.80(d、4H)、7.08(d、4H)
(Example 2)
10 g of raw material A-BPE (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) and 0.3 g of palladium carbon (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) were added to 100 ml of ethyl acetate, and hydrogen was allowed to act at room temperature under normal pressure. After 14 hours, filtration was performed, and the solvent of the filtrate was distilled off under reduced pressure to obtain Compound 2 (the following structure). Transparent liquid. Yield 10.2 g.
1 H-NMR (CDCl 3 ) δ (ppm): 1.08 (t, 6H), 1.62 (s, 6H), 2.4 (m, 4H), 3.8-4.2 (m, 40H), 6.80 (d, 4H), 7.08 (d, 4H)
(実施例3)
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、下記の処方Cu1からなる塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥後の膜厚が16μmの熱可塑性樹脂層を設けた。
(熱可塑性樹脂層 処方Cu1)
・熱可塑性樹脂(A)
メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=55/30/10/5、重量平均分子量=10万、Tg≒70℃) ・・・7部
・熱可塑性樹脂(B)
スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=65/35、重量平均分子量=1万、Tg≒100℃) ・・・13部
・可塑剤:化合物1 ・・・9部
・メチルエチルケトン ・・・63部
・メタノール ・・・15部
・弗素系ポリマー ・・・0.15部
C8F17SO2N(C4H9)CH2CH2OCOCH=CH2 60部と、H(O(CH3)CHCH2)6OCOCH=CH2 40部との共重合体、重量平均分子量:3万
(Example 3)
On the 75-micrometer-thick polyethylene terephthalate film temporary support body, the coating liquid which consists of the following prescription Cu1 was apply | coated and dried, and the thermoplastic resin layer whose film thickness after drying was 16 micrometers was provided.
(Thermoplastic resin layer formula Cu1)
・ Thermoplastic resin (A)
Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 55/30/10/5, weight average molecular weight = 100,000, Tg≈70 ° C.) 7 Part / thermoplastic resin (B)
Styrene / acrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 65/35, weight average molecular weight = 10,000, Tg≈100 ° C.)... 13 parts Plasticizer: Compound 1... 9 parts. Methyl ethyl ketone: 63 parts, methanol: 15 parts, fluorine-based polymer: 0.15 parts C 8 F 17 SO 2 N (C 4 H 9 ) CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 60 parts; Copolymer with 40 parts of (O (CH 3 ) CHCH 2 ) 6 OCOCH═CH 2 , weight average molecular weight: 30,000
次に上記熱可塑性樹脂層上に、下記処方P1から成る塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥後の膜厚が1.6μmの中間層を設けた。 Next, a coating liquid having the following formulation P1 was applied and dried on the thermoplastic resin layer, and an intermediate layer having a thickness of 1.6 μm after drying was provided.
(中間層 処方P1)
・ポリビニルアルコール(クラレ(株)製PVA205、鹸化度=88%、重合度550) ・・・100部
・ポリビニルピロリドン(GAFコーポレーション社製、K−30) ・・・50部
・蒸留水 ・・・1850部
・メタノール ・・・1000部
(Intermediate layer prescription P1)
・ Polyvinyl alcohol (PVA205 manufactured by Kuraray Co., Ltd., degree of saponification = 88%, degree of polymerization 550) ・ ・ ・ 100 parts ・ Polyvinylpyrrolidone (manufactured by GAF Corporation, K-30) ・ ・ ・ 50 parts ・ Distilled water ・ ・ ・1850 parts ・ Methanol ・ ・ ・ 1000 parts
上記熱可塑性樹脂層及び中間層を有する仮支持体の上に、それぞれ表1の処方を有する、黒色(K層用)、赤色(R層用)、緑色(G層用)、及び青色(B層用)の4色の感光性樹脂層用組成物を塗布、乾燥させ、乾燥後の膜厚が2μmの着色感光性樹脂層を形成した。
表2における数値は、各処方における各成分の質量(g)である。
On the temporary support having the thermoplastic resin layer and the intermediate layer, black (for K layer), red (for R layer), green (for G layer), and blue (B The composition for 4 color photosensitive resin layers (for layer) was applied and dried, and a colored photosensitive resin layer having a thickness of 2 μm after drying was formed.
The numerical value in Table 2 is the mass (g) of each component in each formulation.
さらに、形成した感光性樹脂層の上に、ポリプロピレン(厚さ12μm)の被覆シートを圧着し、赤色、青色、緑色および黒色の感光性転写材料を作製した。 Further, a coated sheet of polypropylene (thickness 12 μm) was pressure-bonded on the formed photosensitive resin layer to produce red, blue, green and black photosensitive transfer materials.
この感光性転写材料を用いて、以下の方法でカラーフィルタを作製した。
赤色感光性転写材料の被覆シートを剥離し、感光性樹脂層面を透明ガラス基板(厚さ1.1mm)にラミネーター(大成ラミネータ(株)製VP−II)を用いて、加圧(10kg/cm)、加熱(130℃)して貼り合わせ(速度0.7m/min)、続いて仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去した。
次に所定のフォトマスクを介して露光し、1%トリエタノールアミン水溶液で熱可塑性樹脂層および中間層を溶解除去した。これらの層を完全に除去できる最短除去時間は30秒であった。
次いで、1%炭酸ナトリウム水溶液で感光性樹脂層を現像して未露光部を除去し、透明ガラス基板上に赤色画素パターンを形成した。
次いで、赤色画素パターンが形成されたガラス基板上に、緑色感光性転写材料を上記と同様にして貼り合わせ、剥離、露光、現像を行ない、緑色画素パターンを形成した。
同様な工程を青色、黒色感光性転写材料で繰り返し、透明ガラス基板上にカラーフィルタを形成した。
このようにして、得られたカラーフィルタを用いて、以下の評価を行った。
Using this photosensitive transfer material, a color filter was produced by the following method.
The coated sheet of the red photosensitive transfer material is peeled off, and the photosensitive resin layer surface is pressed (10 kg / cm) using a laminator (VP-II manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.) on a transparent glass substrate (thickness 1.1 mm). ), Heating (130 ° C.) and bonding (speed 0.7 m / min), followed by peeling at the interface between the temporary support and the thermoplastic resin layer to remove the temporary support.
Next, exposure was performed through a predetermined photomask, and the thermoplastic resin layer and the intermediate layer were dissolved and removed with a 1% triethanolamine aqueous solution. The shortest removal time that could completely remove these layers was 30 seconds.
Next, the photosensitive resin layer was developed with a 1% aqueous sodium carbonate solution to remove unexposed portions, and a red pixel pattern was formed on a transparent glass substrate.
Next, a green photosensitive transfer material was bonded to the glass substrate on which the red pixel pattern was formed in the same manner as described above, and peeling, exposure, and development were performed to form a green pixel pattern.
A similar process was repeated with the blue and black photosensitive transfer materials to form a color filter on the transparent glass substrate.
Thus, the following evaluation was performed using the obtained color filter.
[転写性の評価]
転写性は、上記ラミネーターで貼り合わせた際の気泡のまきこみを観察して、A、B、C、D、及びEの5段階で評価をした。C以上が実用レベルである。
A:全く泡を巻き込まず、転写性極めて良好。
B:非表示部である基板の4隅に極めてわずかの気泡が入るものの、その他は泡を巻き込まず、転写性良好。
C:非表示部である基板の4辺にわずかの気泡が入るものの、その他は泡を巻き込まず、転写性普通。
D:表示部に少し気泡が入り、転写性悪い。
E:全面に気泡が入り、極めて転写性悪い。
[Evaluation of transferability]
The transferability was evaluated in five stages of A, B, C, D, and E by observing the entrainment of bubbles when pasted with the laminator. C and above are practical levels.
A: No bubble is involved and transferability is very good.
B: Although very few bubbles enter at the four corners of the substrate, which is a non-display area, the others do not entrain bubbles and have good transferability.
C: Although few bubbles enter four sides of the substrate which is a non-display portion, the others do not entrain bubbles, and transferability is normal.
D: A little air bubbles enter the display part, and transferability is poor.
E: Bubbles enter the entire surface and transferability is extremely poor.
[現像液の劣化の評価]
現像液の劣化は基板サイズ360mm×460mmあたり500mlの1%トリエタノールアミン水溶液を現像液として用いて現像し、その現像液の濁り及び沈殿物の状況を目視で観察し、A、B、C、D、及びEの5段階で評価をした。C以上が実用レベルである。
A:全く無色透明で、溶解性極めて良好。
B:見かけ上無色透明であるが、透過光にかざすと微かに白濁が観察されるものの、静置させておいても何も沈降せず、溶解性良好。
C:見かけ上微かに白濁が観察され、静置させておくと微かに沈降物が見られ、溶解性普通。
D:白い浮遊物が観察され、溶解性悪い。
E:沈殿物が多く、極めて溶解性悪い。
[Evaluation of developer deterioration]
The deterioration of the developer was developed using a 1% triethanolamine aqueous solution of 500 ml per 360 mm × 460 mm substrate size as the developer, and the turbidity of the developer and the state of the precipitate were visually observed, and A, B, C, Evaluation was carried out in 5 stages of D and E. C and above are practical levels.
A: Completely colorless and transparent, very good solubility.
B: Apparently colorless and transparent, but slightly turbid when observed over transmitted light, but does not settle even when left standing, and has good solubility.
C: Apparently white turbidity was observed, and when allowed to stand, a slight precipitate was observed and solubility was normal.
D: A white floating substance is observed and the solubility is poor.
E: Many precipitates and extremely poor solubility.
[解像力の評価]
上記カラーフィルタの作製において、フォトマスクを4μm〜40μmの範囲で種々のマスク幅を有するものに変更した以外は、前記カラーフィルタの作製と同様にして、露光、現像し、フォトマスクを再現したパターンの幅をもって、解像力として評価した。パターンの幅が狭いほど解像力が高い。得られた結果をA、B、C、D、及びEの5段階に分けて評価した。
A:5μm未満で解像力極めて良好。
B:5μm以上8μm未満で解像力良好。
C:8μm以上14μm未満で解像力普通。
D:14μm以上30μm未満で解像力悪い。
E:30μm未満で解像力極めて悪い。
[Evaluation of resolution]
In the production of the above color filter, the photomask was exposed and developed in the same manner as the production of the color filter except that the photomask was changed to one having various mask widths in the range of 4 μm to 40 μm. The resolution was evaluated with the width of. The narrower the pattern, the higher the resolution. The obtained results were evaluated in five stages of A, B, C, D, and E.
A: The resolution is very good at less than 5 μm.
B: Good resolution at 5 μm or more and less than 8 μm.
C: Normal resolution is 8 μm or more and less than 14 μm.
D: The resolution is poor at 14 μm or more and less than 30 μm.
E: Resolving power is very poor at less than 30 μm.
[レチキュレーションの評価]
感光性転写材料の被覆シートを剥離し、常温で1日間放置してその表面性状を観察し、A、B、C、D、及びEの段階に分けて評価した。C以上が実用レベルである。
A:表面が平滑で光沢も高く、極めて良好。
B:感光性転写材料の切り口部のみに微かに微細なシワが発生するが、それ以外は表面が平滑で光沢も高く良好。
C:表面の一部に微かに微細なシワが発生するが、得られたカラーフィルタには悪影響無く普通。
D:全面微細なシワが発生し、感光記録層の現像性が悪化し、悪い。
E:全面に強いシワが発生し、感光記録層の転写性が悪化し、極めて悪い。
[Evaluation of reticulation]
The coated sheet of the photosensitive transfer material was peeled off and allowed to stand at room temperature for 1 day, and the surface properties were observed. The evaluation was divided into A, B, C, D, and E stages. C and above are practical levels.
A: The surface is smooth, the gloss is high, and it is very good.
B: Slightly fine wrinkles are generated only at the cut edge of the photosensitive transfer material, but other than that, the surface is smooth and gloss is high and good.
C: Slightly fine wrinkles are generated on a part of the surface, but the obtained color filter is normal without adverse effects.
D: Fine wrinkles are generated on the entire surface, and the developability of the photosensitive recording layer is deteriorated.
E: Strong wrinkles are generated on the entire surface, and the transferability of the photosensitive recording layer is deteriorated.
[剥離性の評価]
感光性転写材料の仮支持体を剥離する際の挙動を評価した。剥離性について、A、B、C、D、及びEの段階に分けて評価した。C以上が実用レベルである。
A:仮支持体が全面剥離できており、熱可塑性樹脂の表面に欠陥が全くない。
B:仮支持体が全面剥離できており、エッジ部のみに微かに剥離痕が残るのみで画像部となる領域には熱可塑性樹脂の表面に欠陥が全くない。
C:仮支持体は全面剥離できているが、エッジ部のみに少し剥離痕が残り、画像部となる領域には剥離直後、剥離方向と直角に線状剥離痕が僅かに残る。
このレベルのものは、熱可塑性樹脂が変形したのみであり、すぐに緩和して平坦になりうる。
D:仮支持体は全面剥離できているが、エッジ部のみに少し剥離痕が残り、画像部となる領域には剥離直後、剥離方向と直角に線状剥離痕が僅かに残る。
このレベルのものは、熱可塑性樹脂が変形したのみであるものの、10分放置して緩和させても完全に平坦にならず、生産性が著しく悪化することが多い。
E:仮支持体が綺麗に剥離できず、熱可塑性樹脂の一部がちぎれて仮支持体に付着してしまう。
[Evaluation of peelability]
The behavior of the photosensitive transfer material when the temporary support was peeled was evaluated. The peelability was evaluated in stages A, B, C, D, and E. C and above are practical levels.
A: The temporary support was peeled off entirely, and there was no defect on the surface of the thermoplastic resin.
B: The temporary support was peeled off entirely, and only a slight trace of peeling remained only at the edge portion, and there was no defect on the surface of the thermoplastic resin in the region serving as the image portion.
C: The temporary support has been peeled over the entire surface, but a little peeling trace remains only at the edge portion, and a slight linear peeling trace remains at right angles to the peeling direction immediately after peeling in the region to be the image portion.
At this level, the thermoplastic resin is only deformed, and it can immediately relax and become flat.
D: Although the temporary support has been peeled over the entire surface, a little peeling trace remains only at the edge portion, and a slight linear peeling trace remains at right angles to the peeling direction immediately after peeling in the region to be the image portion.
At this level, the thermoplastic resin is only deformed, but even if it is left to relax for 10 minutes, it does not become completely flat, and the productivity is often significantly deteriorated.
E: The temporary support cannot be peeled cleanly, and a part of the thermoplastic resin is torn off and adheres to the temporary support.
(実施例4)
実施例3のCu1において、可塑剤である化合物1を化合物2に変更した以外は、実施例3と同様にして感光性転写材料を作製し、同様に評価した。
Example 4
A photosensitive transfer material was prepared in the same manner as in Example 3 except that Compound 1 as a plasticizer was changed to Compound 2 in Cu1 of Example 3, and evaluated in the same manner.
(比較例1)
実施例3のCu1において、可塑剤を2,2−ビス[4−(メタクリロオキシポリエトキシ)フェニル]プロパン(新中村化学(株)製 BPE−500、化合物Aと称する。)に変更した以外は、実施例3と同様にして感光性転写材料を作製し、同様に評価した。
(Comparative Example 1)
In Cu1 of Example 3, the plasticizer was changed to 2,2-bis [4- (methacrylooxypolyethoxy) phenyl] propane (Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. BPE-500, referred to as Compound A). Were produced in the same manner as in Example 3 and evaluated in the same manner.
(比較例2)
実施例3のCu1において、可塑剤をポリプロピレングリコールである、アデカ(株)製アデカポリエーテルP1000に変更した以外は、実施例3と同様にして感光性転写材料を作製し、同様に評価した。
(Comparative Example 2)
A photosensitive transfer material was prepared in the same manner as in Example 3 except that the plasticizer was changed to Adeka Polyether P1000 manufactured by Adeka Co., Ltd., which was a polypropylene glycol in Cu1 of Example 3, and was similarly evaluated.
表3の結果から、熱可塑性樹脂層に可塑剤として、一般式(1)で表される化合物を含む感光性転写材料は、現像液の劣化が抑制され、転写性と剥離性とを両立し、且つ、得られた感光性樹脂層のパターンの解像力が高く、パターンの表面にシワ(レチキュレーション)の発生がないことがわかる。 From the results shown in Table 3, the photosensitive transfer material containing the compound represented by the general formula (1) as a plasticizer in the thermoplastic resin layer suppresses the deterioration of the developer, and achieves both transferability and peelability. And it turns out that the resolution of the pattern of the obtained photosensitive resin layer is high, and there is no generation | occurrence | production of a wrinkle (reticulation) on the surface of a pattern.
Claims (4)
一般式(1)中、2個あるRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の飽和アルキル基を表す。m及びnは、それぞれ独立に、1〜10の整数を表し、m+nは4〜16の範囲である。 A compound represented by the following general formula (1).
In General Formula (1), two R's each independently represent a saturated alkyl group having 1 to 10 carbon atoms. m and n each independently represents an integer of 1 to 10, and m + n is in the range of 4 to 16.
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