JP2014155241A - 永久磁石型電磁駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定部と可動部を備え、固定部は、磁性体板11、12の片面にブロック状のネオジュウム磁石16aを複数個整列配置して固定してなり、前記ネオジュウム磁石の磁極面が対向するように組み立てられた一対の永久磁石体と、一対の前記磁性体板の両端の間に介在するように設けられた一対の継鉄13、14と、整列配置された前記複数個のネオジュウム磁石のすべての磁極面を覆うように取り付けられた一対の整磁板と、前記一対の継鉄の間に掛け渡された磁性体材料による中心磁極体15と、を含む。可動部は、前記中心磁極体を内包するように組み立てられた可動線輪42を有し、該可動線輪に流れる電流と前記一対の永久磁石体による磁束との相互作用により往復振動するように前記固定部に組み合わされて成る。
【選択図】図2
Description
本発明の実施形態を説明する前に、本発明の概念を説明する。
図1〜図6を参照して、本発明の実施形態に係る永久磁石型電磁駆動装置について説明する。
以上の説明のように、本発明の実施形態による永久磁石型電磁駆動装置は、ネオジュウム磁石を使用した閉鎖型磁気回路の高性能化により、小型で且つ高性能な永久磁石型電磁駆動装置はもとより、従来永久磁石では困難であった大推力且つ大ストロークの大型永久磁石型電磁駆動装置の製作が可能となり、電磁石式電磁駆動装置あるいは油圧式駆動装置の分野での永久磁石型電磁駆動装置の採用により、省エネルギー化はもとより、省スペース化、低騒音化、メンテナンスの省力化等多大の効果が得られる。
11 上磁極板
12 下磁極板
13、14 継鉄
15 中心磁極体
16a、16b ネオジュウム磁石
17a、17b 整磁板
18 ショートリング
21 前コラム
22 後コラム
23 案内軸
31 可動導線
32a、32b 弾性ゴム
40 作動片
41 フレーム
41−1、41−2 脚部
42 可動線輪
43a、43b 軸受
45a、45b ガイド
50−1、50−2 外側カバー
Claims (5)
- 磁性体板の片面にブロック状のネオジュウム磁石を複数個整列配置して固定してなり、前記ネオジュウム磁石の磁極面が対向するように組み立てられた一対の永久磁石体と、
一対の前記磁性体板の両端の間に介在するように設けられた一対の継鉄と、
整列配置された前記複数個のネオジュウム磁石のすべての磁極面を覆うように取り付けられた一対の整磁板と、
互いに対向しあう前記一対の永久磁石体における前記複数個のネオジュウム磁石の磁極面の間に介在するように前記一対の継鉄の間に掛け渡された磁性体材料による中心磁極体と、を含む固定部と、
前記中心磁極体を内包するように組み立てられた可動線輪を有し、該可動線輪に流れる電流と前記一対の永久磁石体による磁束との相互作用により往復振動するように前記固定部に組み合わされた可動部と、
を備えることを特徴とする永久磁石型電磁駆動装置。 - 請求項1に記載の永久磁石型電磁駆動装置において、
前記一対の永久磁石体の一方において前記ネオジュウム磁石-ギャップ-前記中心磁極体-前記一対の継鉄-一方の前記磁性体板-前記ネオジュウム磁石という一方の磁気回路が形成されると共に、前記一対の永久磁石体の他方においても前記ネオジュウム磁石-ギャップ-前記中心磁極体-前記一対の継鉄-他方の前記磁性体板-前記ネオジュウム磁石という他方の磁気回路が形成され、
前記一方の磁気回路の前記ギャップ及び前記他方の磁気回路の前記ギャップ中に挿入された前記可動線輪に内包されている前記中心磁極体の外周全面を電気抵抗の低い金属板で被うことにより、電気的な短絡回路を付加した磁気回路を用いることを特徴とする永久磁石型電磁駆動装置。 - 請求項1又は2に記載の永久磁石型電磁駆動装置において、
前記一対の継鉄にそれぞれコラムを取り付け、該一対のコラムの間に前記往復振動方向と同じ方向に延びる案内軸を掛け渡し、該案内軸を前記可動部に設けた軸受で支持することにより前記可動部のガイド機構を構成したことを特徴とする永久磁石型電磁駆動装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の永久磁石型電磁駆動装置において、
前記可動線輪に電流を導く為の可動導線として、屈曲性に優れた極細撚り線の樹脂被覆線を適度なピッチでジグザグ状に折り畳み可能に成型し、該折り畳み可能な前記可動導線を、相互摩擦の少ない樹脂で製作した箱状のガイド内に収納した可動導線案内機構を備えたことを特徴とする永久磁石型電磁駆動装置。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の永久磁石型電磁駆動装置において、
前記固定部の前部及び後部よりそれぞれ前記可動部を紐状の弾性ゴムで引っ張る構造とすることにより、前記可動部の機械的な零点位置を保持するための中心保持機構を備えたことを特徴とする永久磁石型電磁駆動装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021516357A (ja) * | 2018-03-09 | 2021-07-01 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置のための位置決めシステム |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61214380A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-24 | 株式会社日立製作所 | 電気回路の接続方法 |
JPS61247263A (ja) * | 1985-04-24 | 1986-11-04 | Seiko Epson Corp | ボイスコイルモ−タ |
JPS6359786A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-15 | Hitachi Ltd | 振動式リニアモ−タ |
JPS63311673A (ja) * | 1987-06-13 | 1988-12-20 | Hitachi Ltd | 磁気デイスク装置 |
JPH02193561A (ja) * | 1989-01-23 | 1990-07-31 | Hitachi Metals Ltd | リニアモータ |
JPH02208903A (ja) * | 1989-02-08 | 1990-08-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 永久磁石を用いた磁場発生装置 |
JPH0380680U (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-19 | ||
JPH10201211A (ja) * | 1996-12-27 | 1998-07-31 | Delta Tsuuring:Kk | 動電型アクチュエータ |
JP2012075287A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Thk Co Ltd | リニアモータアクチュエータ |
JP2012118213A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Nidec Sankyo Corp | 光学装置 |
WO2013006383A1 (en) * | 2011-07-01 | 2013-01-10 | Nucleus Scientific, Inc. | Magnetic stator assembly |
-
2013
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61214380A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-24 | 株式会社日立製作所 | 電気回路の接続方法 |
JPS61247263A (ja) * | 1985-04-24 | 1986-11-04 | Seiko Epson Corp | ボイスコイルモ−タ |
JPS6359786A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-15 | Hitachi Ltd | 振動式リニアモ−タ |
JPS63311673A (ja) * | 1987-06-13 | 1988-12-20 | Hitachi Ltd | 磁気デイスク装置 |
JPH02193561A (ja) * | 1989-01-23 | 1990-07-31 | Hitachi Metals Ltd | リニアモータ |
JPH02208903A (ja) * | 1989-02-08 | 1990-08-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 永久磁石を用いた磁場発生装置 |
JPH0380680U (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-19 | ||
JPH10201211A (ja) * | 1996-12-27 | 1998-07-31 | Delta Tsuuring:Kk | 動電型アクチュエータ |
JP2012075287A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Thk Co Ltd | リニアモータアクチュエータ |
JP2012118213A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Nidec Sankyo Corp | 光学装置 |
WO2013006383A1 (en) * | 2011-07-01 | 2013-01-10 | Nucleus Scientific, Inc. | Magnetic stator assembly |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021516357A (ja) * | 2018-03-09 | 2021-07-01 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置のための位置決めシステム |
US11156925B2 (en) | 2018-03-09 | 2021-10-26 | Asml Netherlands B.V. | Positioning system for a lithographic apparatus |
JP7051261B2 (ja) | 2018-03-09 | 2022-04-11 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置のための位置決めシステム |
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