JP2014150099A - 光学素子収納用パッケージ、光学フィルターデバイス、光学モジュール、および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】内部気密性をより良好に維持できる光学素子収納用パッケージを提供する。
【解決手段】光学素子収納用パッケージ１００は、光学素子（エタロン１）を収納する収納部２を有し、収納部２の底部を構成する基部１０と、収納部２の側面部を構成する側壁部２０と、収納部２を覆うように、収納部２の底部に対向する天部を構成する蓋部３０を備え、基部１０は、収納部２の一部が開口する第１開口部２１を備え、第１開口部２１は、収納部２を気密封止する第１窓部４０を備え、蓋部３０は、収納部２の一部が開口する第２開口部３１を備え、第２開口部３１は、収納部２を気密封止する第２窓部５０を備え、基部１０と、側壁部２０と、蓋部３０が同様の材料から構成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、光学素子収納用パッケージ、光学フィルターデバイス、光学モジュール、および電子機器に関する。

従来、光学素子として、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）を用いた撮像素子、ＤＭＤ（Digital Mirror Device）などの表示素子、エタロンフィルターなどの光学フィルターが知られている。これら光学素子は、一般に、外部からの機械的衝撃による破損や水分の浸入を防いだり、減圧環境にすることで良好な素子特性を得たりするために、光透過部を備えた蓋体により密閉された収納容器（光学素子収納用パッケージ）に収納される。
これら光学素子は、様々な環境下で使用される様々な電子機器に搭載されるため、その収納容器に対しては、小型化、軽量化、高信頼性化、および高い耐環境性能が求められる。例えば、特許文献１には、蓋体を構成する金属枠体と窓部材との接合部分の形状を工夫することにより、金属枠体と窓部材との間に大きな熱応力が発生しても、窓部材が破壊したり接合部の低融点ガラスの破損が起こったりすることがなく、金属枠体と窓部材との間が剥離することなく気密信頼性が良好な封止が得られるとする収納容器が提案されている。

特開２００５−７９１４６号公報

しかしながら、特許文献１に記載の収納容器では、光学素子を収容し搭載するための凹部を有する基体と基体に接合される金属枠体との熱膨張係数の差が大きくなる場合など、より大きな熱応力が発生した場合には、金属枠体と基体間の接合部が破損してしまうという課題があった。また窓部材から取り入れた光が金属枠体内側にて反射し、光素子に対する迷光として影響を与えてしまうという課題があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例または形態として実現することが可能である。

［適用例１］ 本適用例に係る光学素子収納用パッケージは、光学素子を収納する収納部を有し、前記収納部の底部を構成する基部と、前記収納部の側面部を構成する側壁部と、前記収納部を覆うように、前記収納部の前記底部に対向する天部を構成する蓋部を備え、前記基部は、前記収納部の一部が開口する第１開口部を備え、前記第１開口部は、前記収納部を気密封止する第１窓部を備え、前記蓋部は、前記収納部の一部が開口する第２開口部を備え、前記第２開口部は、前記収納部を気密封止する第２窓部を備え、前記基部と、前記側壁部と、前記蓋部が同様の材料から構成されていることを特徴とする。

本適用例の光学素子収納用パッケージは、収納部の底部を構成する基部と、側面部を構成する側壁部と、収納部の天部を構成する蓋部を備え、基部と側壁部と蓋部が同様の材料から構成されている。基部と側壁部と蓋部が同様の材料であるため熱膨張係数の差が無くなり、大きな熱応力が発生した場合でも、基部と側壁部と蓋部の接合部が破損することなく気密封止性の高いパッケージを提供することができる。

［適用例２］ 上記適用例に係る光学素子収納用パッケージにおいて、前記第１窓部と前記第２窓部は、光透過性部材によって構成されていることを特徴とする。

本適用例によれば、基部に収納部の一部が開口する第１開口部を備え、第１開口部には、収納部を気密封止する光透過性の第１窓部を備え、蓋部に収納部の一部が開口する第２開口部を備え、第２開口部には、収納部を気密封止する光透過性の第２窓部を備える。つまり、天部および底部において光透過性の蓋部を備えている。このように構成することで、光学素子収納用パッケージには、受光するばかりでなく光を透過する、例えば光学フィルターなどの光学素子を収納することができる。
特に、エタロンフィルターのように可動部を有する光学フィルターにおいては、安定した光学特性を維持するために、光学素子の収納部を減圧環境に維持する必要がある。本適用例のような光学素子収納用パッケージは、封止気密性の高いパッケージを提供することができるため、このような光学素子の収納に適している。

［適用例３］ 上記適用例に係る光学素子収納用パッケージにおいて、前記基部と、前記側壁部と、前記蓋部がセラミック材料から構成されていることを特徴とする。

本適用例によれば、基部と側壁部と蓋部がセラミック材料から構成されるため、金属部材と比較して、光透過性の第２窓部から入ってくる光が、収納部内で反射（迷光）することなく光学素子に取り込まれ、光透過性の第２窓部より精度良く必要な波長の光のみを射出することができる。

［適用例４］ 本適用例に係る光学フィルターデバイスは、光学素子収納用パッケージと、前記光学素子収納用パッケージに収納された光学素子としての光学フィルターを備える光学フィルターデバイスであって、前記光学素子収納用パッケージは、前記光学素子を収納する収納部を有し、前記収納部の底部を構成する基部と、前記収納部の側面部を構成する側壁部と、前記収納部を覆うように、前記収納部の前記底部に対向する天部を構成する蓋部を備え、前記基部は、前記収納部の一部が開口する第１開口部を備え、前記第１開口部は、前記収納部を気密封止する第１窓部を備え、前記蓋部は、前記収納部の一部が開口する第２開口部を備え、前記第２開口部は、前記収納部を気密封止する第２窓部を備え、前記基部と、前記側壁部と、前記蓋部が同様の材料から構成されている、ことを特徴とする。

本適用例によれば、光学フィルターが、熱ストレスを受けても内部気密性がより良好に維持できる光学素子収納用パッケージに収納されているため、より高い耐環境性能を有する光学フィルターデバイスを提供することができる。

［適用例５］ 本適用例に係る光学モジュールは、光学素子収納用パッケージと、前記光学素子収納用パッケージに収納された光学素子を備える光学モジュールであって、前記光学素子収納用パッケージは、前記光学素子を収納する収納部を有し、前記収納部の底部を構成する基部と、前記収納部の側面部を構成する側壁部と、前記収納部を覆うように、前記収納部の前記底部に対向する天部を構成する蓋部を備え、前記基部は、前記収納部の一部が開口する第１開口部を備え、前記第１開口部は、前記収納部を気密封止する第１窓部を備え、前記蓋部は、前記収納部の一部が開口する第２開口部を備え、前記第２開口部は、前記収納部を気密封止する第２窓部を備え、前記基部と、前記側壁部と、前記蓋部が同様の材料から構成されている、ことを特徴とする。

本適用例によれば、光学素子が、熱ストレスを受けても内部気密性がより良好に維持できる光学素子収納用パッケージに収納されているため、より高い耐環境性能を有する光学モジュールを提供することができる。

［適用例６］ 本適用例に係る電子機器は、光学素子収納用パッケージと、前記光学素子収納用パッケージに収納された光学素子を備える電子機器であって、前記光学素子収納用パッケージは、前記光学素子を収納する収納部を有し、前記収納部の底部を構成する基部と、前記収納部の側面部を構成する側壁部と、前記収納部を覆うように、前記収納部の前記底部に対向する天部を構成する蓋部を備え、前記基部は、前記収納部の一部が開口する第１開口部を備え、前記第１開口部は、前記収納部を気密封止する第１窓部を備え、前記蓋部は、前記収納部の一部が開口する第２開口部を備え、前記第２開口部は、前記収納部を気密封止する第２窓部を備え、前記基部と、前記側壁部と、前記蓋部が同様の材料から構成されている、ことを特徴とする。

本適用例によれば、電子機器が備える光学素子が、熱ストレスを受けても内部気密性がより良好に維持できる光学素子収納用パッケージに収納されているため、より高い耐環境性能を有する電子機器を提供することができる。

実施形態１に係る光学素子収納用パッケージおよび光学フィルターデバイスを示す断面図。 従来技術により構成された光学素子収納用パッケージ、および光学フィルターデバイスを示す断面図。 実施形態２に係る光学モジュールとしての測色センサー、および電子機器としての測色装置の概略構成を示すブロック図。 （ａ）、（ｂ）変形例に係る光学素子収納用パッケージを示す断面図。

以下に本発明を具体化した実施形態について、図面を参照して説明する。以下は、本発明の一実施形態であって、本発明を限定するものではない。なお、以下の各図においては、説明を分かりやすくするため、実際とは異なる尺度で記載している場合がある。

（実施形態１）
まず、実施形態１に係る光学素子収納用パッケージ１００、および光学フィルターデバイス２００について説明する。
図１は、光学フィルターデバイスの例として、光学素子としてのエタロンフィルター（以下エタロン１）を光学素子収納用パッケージ１００に収納した光学フィルターデバイス２００を示す断面図である。
光学フィルターデバイス２００は、入射した光から、所定の目的波長の光を取り出して射出させる装置であり、光学素子としてのエタロン１、エタロン１を内部に収納する光学素子収納用パッケージ１００から構成されている。このような光学フィルターデバイス２００は、例えば測色センサー等の光学モジュールや、測色装置やガス分析装置等の電子機器に組み込むことができる。なお、光学フィルターデバイス２００を備えた光学モジュールや電子機器の構成については、後述の実施形態２において説明する。

エタロン１は、波長可変干渉フィルター（optical element with parallel surfaces used to increase the coherent length of a laser）であり、矩形板状の光学素子である。エタロン１についての説明は省略する。
光学素子収納用パッケージ１００は、エタロン１を収納する収納部２を備える光学素子収納用パッケージであって、基部１０、側壁部２０、蓋部３０、第１窓部４０、第１開口部２１、第２窓部５０、第２開口部３１などから構成されている。
なお、本実施形態における光学素子収納用パッケージ１００は、光学素子の例としてエタロン１を収納しているが、エタロン１に限定するものではなく、他の光学素子であっても良い。

基部１０は、収納部２の底部を構成する平板であり、例えば単層セラミック基板により構成される。この基部１０には、エタロン１が設置される。エタロン１は、基部１０に、例えば接着剤を介して固定されている。なお、接着剤による固定ではなく、他の固定部材に嵌合される、あるいは挟持されることで固定されるなどの方法であってもよい。
基部１０のエタロン１が搭載される面には、エタロン１の電装面と接続される導電パターン１４が設けられている。エタロン１の電装面と導電パターン１４との具体的な接続に係る図示は省略しているが、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）などを用い、Ａｇペースト、ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）、ＡＣＰ（Anisotropic Conductive Paste）などにより接続することができる。なお、収納部２を減圧状態に維持するためにガスの放出が少ないＡｇペーストを用いることが好ましい。また、ＦＰＣによる接続に限られず、例えばワイヤーボンディングなどによる配線接続を実施してもよい。

基部１０には、エタロン１に対向する領域に、光を通過させる円形の第１開口部２１が、また蓋部３０には、エタロン１と対向する領域に、光を通過させる円形の第２開口部３１が形成されている。なお、第１開口部２１と第２開口部３１の形状は、円形に限定するものではなく、三角形、矩形、多角形、またはこれらを組み合わせた形状であっても良い。
基部１０の外壁面１０ｓ（エタロン１が搭載される面とは反対側の面）には、外部接続端子１６が形成されている。導電パターン１４と外部接続端子１６とは、基部１０の内部に形成された配線パターンにより接続されている。

側壁部２０は、収納部２の側面部を構成する枠状体であり、例えば積層セラミック基板により構成される。側壁部２０は、基部１０に積層するように基部１０と一体に成形されていても良い。

蓋部３０は、収納部２の底部に対向する天部を構成する単層セラミック基板である。蓋部３０は、収納部２を覆うように側壁部２０に接合されている。

第１窓部４０は第１開口部２１を収納部２の外側から覆うガラス基板である。第１窓部４０は、第１開口部２１を形成する基部１０の外壁面１０ｓに接合され、収納部２を気密封止している。
第２窓部５０は第２開口部３１を収納部２の外側から覆うガラス基板である。第２窓部５０は、第２開口部３１を形成する蓋部３０の外壁面３０ｓに接合され、収納部２を気密封止している。
つまり、収納部２は、基部１０、側壁部２０、蓋部３０、第１窓部４０、第２窓部５０によって囲まれる空洞部であり、蓋部３０、第１窓部４０、第２窓部５０によって気密封止されている。

第１窓部４０、第２窓部５０の平面中心点は、第１開口部２１、第２開口部３１およびエタロン１の略平面中心点を通り、基部１０、蓋部３０に垂直な直線Ａ−Ａの線上に位置するように配置されている。
このような構成において、第２窓部５０から光が入射し、エタロン１により取り出された所望の波長の光は第１窓部４０から射出される。
なお、第１窓部４０、第２窓部５０は、ガラス基板に限定するものではなく、透過させる光の波長により、水晶、シリコン、ゲルマニウムなどの基板であっても良い。

側壁部２０と蓋部３０との接合、基部１０と第１窓部４０との接合、および蓋部３０と第２窓部５０との接合は、接合部材２２により行なわれている。接合部材２２としては、例えば、ガラス原料を高温で熔解し、急冷したガラスのかけらであるガラスフリットを用いても良い。ガラスフリットを焼成して行なう接合（ガラスフリット接合）では、接合部分に隙間が生じることがなく、また、ガス放出の少ないガラスフリットを用いることで、収納部２を減圧状態に維持することができる。なお、ガラスフリット接合に限られず、低融点ガラスを用いた溶着、ガラス封着などによる接合や、ろう材（例えばはんだなど）による接合を行なってもよい。

図２は、従来技術により構成された光学素子収納用パッケージ９９、および光学フィルターデバイス１９９を示す断面図である。
光学素子収納用パッケージ９９は、エタロン１を収納する収納部２ｃを備え、基部１０、リッド２０ｃ、第１窓部４０、第１開口部２１、第２窓部５０、第２開口部３１などから構成されている。

基部１０は、収納部２ｃの底部を構成する平板であり、例えば単層セラミック基板により構成される。この基部１０には、エタロン１が配置される。基部１０には、エタロン１に対向する領域に、光を通過させる第１開口部２１が形成されている。

リッド２０ｃは、収納部２ｃの底部を構成する基部１０に対して、収納部２ｃの側面部および天部を構成する金属製の蓋部材であり、外部からの光を透過しない。そのため、収納部２ｃに光を透過させるために、リッド２０ｃは、天部の中央領域に第２開口部３１を備えている。具体的には、リッド２０ｃは、図２に示すように、基部１０の周縁部に接合されるリッド接合部Ｄｘと、リッド接合部Ｄｘから連続し基部１０から離れる方向に立ち上がる側壁部Ｄｚと、側壁部Ｄｚから連続しエタロン１を覆う天面部Ｄｙとから構成されている。リッド２０ｃは、例えばコバール、４２アロイ、アルミ、銅、ジュラルミンなどにより形成されている。基部１０の周縁部上には、例えばＮｉやＡｕなどにより構成された接合用パターン１５を備えており、リッド接合部Ｄｘと基部１０の周縁部とが、接合用パターン１５を介してろう材２３（例えば銀ろうなど）により基部１０にろう付けされている。

このように、ろう付けする領域は、基部１０とリッド２０ｃの外周であり、基部１０とリッド２０ｃとの熱膨張係数の差が大きくなる場合など、より大きな熱応力が発生した場合には、基部１０とリッド２０ｃ間のろう材２３が破損してしまうという課題があった。またリッド２０ｃの第２開口部３１から入射した光が、金属製の蓋部材であるリッド２０ｃの裏面２０ｃｂ（収納部２ｃと接する面）にて反射（迷光）し、精度良く必要な波長の光のみを射出できないという課題があった。

これらの課題に対し、本実施形態による光学素子収納用パッケージ１００および光学フィルターデバイス２００によれば、以下の効果を得ることができる。

光学素子収納用パッケージ１００は、収納部２の底部を構成する基部１０と、収納部２の側面部を構成する側壁部２０と、収納部２の天部を構成する蓋部３０などを備えている。基部１０と、側壁部２０と、蓋部３０が同様の材料から構成されており、熱膨張係数の差がないため、より大きな熱応力が発生した場合にも、光学素子収納用パッケージ外周の破損を防止し、接合部材２２が破損することなく、封止気密の信頼性をより高めることができる。

また、基部１０、側壁部２０、蓋部３０を含めてセラミック材料より構成されているため、金属部材と比較して、光透過性の第２窓部から入ってくる光が、収納部内で反射（迷光）することなくエタロン１に取り込まれ、光透過性の第２窓部より精度良く必要な波長の光のみを射出することができる。

（実施形態２）
次に、実施形態２に係る光学モジュール、および電子機器について説明する。なお、説明にあたり、上述した実施形態と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。

実施形態２では、光学フィルターデバイス２００が組み込まれた光学モジュールとしての測色センサー１０００、および測色センサー１０００が組み込まれた電子機器としての測色装置２０００を説明する。なお、ここでは、光学フィルターデバイス２００が組み込まれた例で説明するが、後述する光学フィルターデバイス２０１や光学フィルターデバイス２０２であっても良い。

図３は、測色装置２０００の概略構成を示すブロック図である。
測色装置２０００は、図３に示すように、検査対象Ｘに光を射出する光源装置１１００と、測色センサー１０００と、測色装置２０００の全体動作を制御する制御装置１２００とを備える。測色装置２０００は、光源装置１１００から射出される光を検査対象Ｘにて反射させ、反射された検査対象光を測色センサー１０００にて受光し、測色センサー１０００から出力される検出信号に基づいて、検査対象光の色度、すなわち検査対象Ｘの色を分析して測定する装置である。

光源装置１１００は、光源２１０、複数のレンズ２２０（図３には１つのみ記載）を備え、検査対象Ｘに対して白色光を射出する。また、複数のレンズ２２０には、コリメーターレンズが含まれてもよく、この場合、光源装置１１００は、光源２１０から射出された白色光をコリメーターレンズにより平行光とし、図示しない投射レンズから検査対象Ｘに向かって射出する。なお、本実施形態では、光源装置１１００を備える測色装置２０００を例示するが、例えば検査対象Ｘが液晶パネルなどの発光部材である場合、光源装置１１００を含まない構成としてもよい。

測色センサー１０００は、光学フィルターデバイス２００を備えている。この測色センサー１０００は、図３に示すように、光学フィルターデバイス２００と、光学フィルターデバイス２００のエタロン１を透過した光を受光する検出部３１０と、エタロン１で透過させる光の波長を可変する電圧制御部３２０とを備える。
また、測色センサー１０００は、エタロン１に対向する位置に、検査対象Ｘで反射された反射光（検査対象光）を、内部に導光する図示しない入射光学レンズを備えている。そして、この測色センサー１０００は、光学フィルターデバイス２００内のエタロン１により、入射光学レンズから入射した検査対象光のうち、所定波長の光を分光し、分光した光を検出部３１０にて受光する。
なお、光学フィルターデバイス２００の前面（光が入射してくる面）には、遮光板５を備えることによって、エタロン１に対する迷光の入射を防いでいるが、測色センサー１０００の筐体の構成や、図示しない入射光学レンズによっては、遮光板５を必要としない。

検出部３１０は、複数の光電交換素子により構成されており、受光量に応じた電気信号を生成する。ここで、検出部３１０は、例えば回路基板３１１を介して、制御装置１２００に接続されており、生成した電気信号を受光信号として制御装置１２００に出力する。
また、この回路基板３１１には、基部１０に形成された外部接続端子１６（図１（ａ）参照）が接続されており、回路基板３１１に形成された回路を介して、電圧制御部３２０に接続されている。
このような構成では、回路基板３１１を介して、光学フィルターデバイス２００および検出部３１０を一体的に構成でき、測色センサー１０００の構成を簡略化することができる。

電圧制御部３２０は、回路基板３１１を介して光学フィルターデバイス２００の外部接続端子１６に接続される。そして、電圧制御部３２０は、制御装置１２００からの入力される制御信号に基づいて、エタロン１に所定のステップ電圧を印加することで、分光する所定の波長を設定することが可能となる。

制御装置１２００は、測色装置２０００の全体動作を制御する。
制御装置１２００としては、例えば汎用パーソナルコンピューターや、携帯情報端末、その他、測色専用コンピューターなどを用いることができる。
制御装置１２００は、図３に示すように、光源制御部４１０、測色センサー制御部４２０、および測色処理部４３０などを備えて構成されている。
光源制御部４１０は、光源装置１１００に接続されており、例えば利用者の設定入力に基づいて、光源装置１１００に所定の制御信号を出力し、光源装置１１００から所定の明るさの白色光を射出させる。
測色センサー制御部４２０は、測色センサー１０００に接続されており、例えば利用者の設定入力に基づいて、測色センサー１０００にて受光させる光の波長を設定し、この波長の光の受光量を検出する旨の制御信号を測色センサー１０００に出力する。これにより、測色センサー１０００の電圧制御部３２０は、制御信号に基づいて、利用者が所望する波長の光のみを透過させるよう、エタロン１への印加電圧を設定する。
測色処理部４３０は、検出部３１０により検出された受光量から、検査対象Ｘの色度を分析する。

以上述べたように、本実施形態による光学モジュールとしての測色センサー１０００、および電子機器としての測色装置２０００によれば、以下の効果を得ることができる。
本実施形態の測色装置２０００は、光学フィルターデバイス２００を備えている。上述したように、光学フィルターデバイス２００は、光学フィルター（エタロン１）が、構成される部品点数が少なく、熱ストレスを受けても内部気密性がより良好に維持できる光学素子収納用パッケージ１００に収納されている。従って、より高い耐環境性能を有する光学モジュール、および電子機器を提供することができる。

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。ここで、上述した実施形態と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略している。

（変形例）
図４（ａ）、（ｂ）は、変形例に係る光学素子収納用パッケージ１０１，１０２（光学フィルターデバイス２０１，２０２）を示す断面図である。
変形例として、基部１０と、側壁部２０と、蓋部３０の構成の違いを示している。
実施形態１では、側壁部２０は、基部１０に積層するように基部１０と一体に形成されていたが、この構成に限定するものではない。
図４（ａ）に示す光学素子収納用パッケージ１０１のように、側壁部２０は、蓋部３０に積層するように蓋部３０と一体に形成される構成であっても良い。
また、図４（ｂ）に示す光学素子収納用パッケージ１０２のように、側壁部２０が、基部１０と蓋部３０それぞれに接合部材２２にて接合される構成であっても良い。

側壁部２０を蓋部３０と一体に構成する、または基部１０と側壁部２０と蓋部３０とをそれぞれ別体として構成することで、基部１０を平板形状で構成することができるため、基部１０にエタロン１を接続する際に、側壁部２０が妨げとならない。その結果、効率よく、接続信頼性の高い接続を行うことができる。
また、基部１０と側壁部２０と蓋部３０とは同様の材料から構成されるため、側壁部２０を蓋部３０と一体に構成した構造、または基部１０と側壁部２０と蓋部３０とをそれぞれ別体として構成した場合においても、接合部材２２が破損することなく、封止気密の信頼性をより高めることができる。
このように、使用する部材や利用する環境に対応した接合構造を適宜採用することが好ましい。

１…エタロン、２…収納部、１０…基部、１０ｓ…外壁面、１４…導電パターン、１６…外部接続端子、２０…側壁部、２１…第１開口部、２２…接合部材、２３…ろう材、３０…蓋部、３１…第２開口部、４０…第１窓部、５０…第２窓部、１００〜１０２…光学素子収納用パッケージ、２００〜２０２…光学フィルターデバイス。

Claims (6)

1. 光学素子を収納する収納部を有し、
   前記収納部の底部を構成する基部と、
   前記収納部の側面部を構成する側壁部と、
   前記収納部を覆うように、前記収納部の前記底部に対向する天部を構成する蓋部を備え、
   前記基部は、前記収納部の一部が開口する第１開口部を備え、
   前記第１開口部は、前記収納部を気密封止する第１窓部を備え、
   前記蓋部は、前記収納部の一部が開口する第２開口部を備え、
   前記第２開口部は、前記収納部を気密封止する第２窓部を備え、
   前記基部と、前記側壁部と、前記蓋部が同様の材料から構成されていることを特徴とする光学素子収納用パッケージ。
2. 前記第１窓部と前記第２窓部は、光透過性部材によって構成されていることを特徴とする請求項１に記載の光学素子収納用パッケージ。
3. 前記基部と、前記側壁部と、前記蓋部がセラミック材料から構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光学素子収納用パッケージ。
4. 光学素子収納用パッケージと、前記光学素子収納用パッケージに収納された光学素子としての光学フィルターを備える光学フィルターデバイスであって、
   前記光学素子収納用パッケージは、
   前記光学素子を収納する収納部を有し、
   前記収納部の底部を構成する基部と、
   前記収納部の側面部を構成する側壁部と、
   前記収納部を覆うように、前記収納部の前記底部に対向する天部を構成する蓋部を備え、
   前記基部は、前記収納部の一部が開口する第１開口部を備え、
   前記第１開口部は、前記収納部を気密封止する第１窓部を備え、
   前記蓋部は、前記収納部の一部が開口する第２開口部を備え、
   前記第２開口部は、前記収納部を気密封止する第２窓部を備え、
   前記基部と、前記側壁部と、前記蓋部が同様の材料から構成されている、ことを特徴とする光学フィルターデバイス。
5. 光学素子収納用パッケージと、前記光学素子収納用パッケージに収納された光学素子を備える光学モジュールであって、
   前記光学素子収納用パッケージは、
   前記光学素子を収納する収納部を有し、
   前記収納部の底部を構成する基部と、
   前記収納部の側面部を構成する側壁部と、
   前記収納部を覆うように、前記収納部の前記底部に対向する天部を構成する蓋部を備え、
   前記基部は、前記収納部の一部が開口する第１開口部を備え、
   前記第１開口部は、前記収納部を気密封止する第１窓部を備え、
   前記蓋部は、前記収納部の一部が開口する第２開口部を備え、
   前記第２開口部は、前記収納部を気密封止する第２窓部を備え、
   前記基部と、前記側壁部と、前記蓋部が同様の材料から構成されている、ことを特徴とする光学モジュール。
6. 光学素子収納用パッケージと、前記光学素子収納用パッケージに収納された光学素子を備える電子機器であって、
   前記光学素子収納用パッケージは、
   前記光学素子を収納する収納部を有し、
   前記収納部の底部を構成する基部と、
   前記収納部の側面部を構成する側壁部と、
   前記収納部を覆うように、前記収納部の前記底部に対向する天部を構成する蓋部を備え、
   前記基部は、前記収納部の一部が開口する第１開口部を備え、
   前記第１開口部は、前記収納部を気密封止する第１窓部を備え、
   前記蓋部は、前記収納部の一部が開口する第２開口部を備え、
   前記第２開口部は、前記収納部を気密封止する第２窓部を備え、
   前記基部と、前記側壁部と、前記蓋部が同様の材料から構成されている、ことを特徴とする電子機器。

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