JP2014145658A - フィルム試料固定方法及び固定ホルダ並びにそれらを用いたフィルム特性分析方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルム試料1を湾曲させることによって発生するフィルム自身の張力によって、湾曲部1a以外に存在しフィルム特性の分析対象部を含むフィルム試料部位の位置を、分析のための基準面上に固定することを特徴とするフィルム試料固定方法、フィルム試料固定ホルダ3a、およびそれらを用いたフィルム特性分析方法。
【選択図】図4
Description
本発明者らは、分析する試料が有機物やフィルムなどの比較的柔らかい材質の場合において、高精度かつ繰り返し再現性を良好に分析できる方法について鋭意検討を重ねた結果、試料が湾曲により発生する自身の張力によって、位置を固定されることによって、前述の課題を一挙に解決できることを見いだしたものである。
図1、図2は、本発明のフィルム試料固定方法の例を示している。本発明に係る方法は、分光エリプソメーターやX線分析装置などでフィルム試料1を分析するために使用される方法であって、フィルム試料1の両端を例えば粘着テープ2で接合することによって、フィルム試料1の自重及び張力がつり合い、フィルム試料1に湾曲部1a、1aを形成して、該湾曲部1a、1aの形成によって発生するフィルム自身の張力によって、湾曲部以外に存在しフィルム特性の分析対象部(例えば、X線が照射される範囲の分析面1c)を含むフィルム試料部位(例えば,分析面1cを含むフィルム試料分析面の全体にわたる分析面1b)の位置を、分析のための基準面上に(図示例では試料台20上に)固定する方法である。この位置を固定することができるフィルム試料1の張力が大きい場合には、図2に示すように、例えば、特定の方向(図示例では下方)に向けて力を加えることができる負荷手段3、例えば、以下に示すようなフィルム試料固定ホルダ、によって下方に力を加えることで、フィルム試料1の位置を固定することができる。
本発明において使用されるフィルム試料としては、有機高分子化合物からなるフィルム基材単体でもよく、フィルム基材上に無機化合物層や有機化合物層が形成されていても構わない。
本発明に係るフィルム試料固定ホルダが使用される分析法は特に限定されず、蛍光X線分析、X線光電子分光法(XPS法)、X線反射率法、ICP発光分光分析、ラザフォード後方散乱法、分光エリプソメトリ、オージェ電子分光法、反射型赤外吸収法などに使用される。これらの中でも、特に分析試料の平面性が要求されるX線反射率法(例えば、「X線反射率入門」(桜井健次編集)p.51〜78に記載の方法)に好ましく用いられる。なお、X線反射率法においては、波長の異なるX線(いわゆる白色X線)を用いて試料を固定したまま測定するエネルギー分散法や、単色X線の角度を大きく分散させて試料表面に入射させ、試料を固定したまま測定する方法がある。これらのいずれの方法においても、X線の全反射臨界角程度(入射角0.1〜0.3(deg)程度)の角度で試料表面に対し精密にX線を入射する必要があり、本発明を用いることにより、高精度かつ優れた繰り返し再現性をもって所望の分析を行うことができる。
まず、各実施例および比較例における評価方法を説明する。
(1)X線反射率法による密度、表面粗さ、薄膜の膜厚分析方法
図11のX線反射率法(「X線反射率入門」(桜井健次編集)p.51〜78)の分析装置により、測定サンプルの密度、表面粗さを測定した。すなわち、試料台20にフィルム試料1を載置し、分析面1bに対して角度θ(deg)で入射X線31をX線源30から照射し、入射X線31とのなす角度が2θ(deg)である反射X線32の強度をX線検出器33で測定することにより、入射X線強度に対する反射X線強度の入射角度依存性を測定した。
測定条件は下記の通りとした。
・装置:Rigaku社製“Smart Lab”
・解析ソフト:Rigaku社製“Global Fit”
・測定範囲(試料表面とのなす角):2θ=0〜4.0(deg)
・ステップ幅:0.004(deg)
・入射スリットサイズ:0.05mm×10.0mm
・受光スリットサイズ:0.15mm×20.0mm
図3、図4に示したフィルム試料固定ホルダ3aを使用し、X線が入射、反射する側にホルダ3aの開口部(通過口)を設定して、測定サンプルである縦25mm、横160mm、厚み188μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製“ルミラー(登録商標)”U35)の密度、表面粗さを測定した。連結部材5aの内側面の保持板8でポリエチレンテレフタレートフィルムの両端を固定し、試料台20と2つの支持部材4の間で分析面を上側にして試料台20上に載置し、ポリエチレンテレフタレートフィルムが湾曲により発生する自身の張力によって、分析面の位置が固定されるように設定した。次に、上記したX線反射率法によって、ポリエチレンテレフタレートフィルムのX線強度プロファイルを得た。具体的には、測定毎に、試料ホルダのポリエチレンテレフタレートフィルムを取り外し、再度載置する方法で、繰り返し4回測定し、横軸をX線検出器33の角度2θ、縦軸を入射X線強度に対する反射X線強度の相対値(Reflectivity)としたX線強度プロファイルを得た。得られたX線強度プロファイルのうち角度2θ=0〜4.0(deg)の範囲を表す図を図15(a)に、角度2θ=0〜1(deg)の範囲の拡大図を図15(b)に、それぞれ示す。次に、得られたX線強度プロファイルの実測データをParrattの理論式に非線形最小二乗法でフィッティングさせることで密度、表面粗さを求めた。結果を表1に示す。
図5、図6に示したフィルム試料固定ホルダ3bを使用した以外は、実施例1と同様にしてポリエチレンテレフタレートフィルムの密度、表面粗さを測定した。結果を図16(a)、図16(b)、表1に示す。
図7、8に示したフィルム試料固定ホルダ3cを使用した以外は、実施例1と同様にしてポリエチレンテレフタレートフィルムの密度を測定した。結果を図17(a)、図17(b)、表1に示す。
図9、10に示したフィルム試料固定ホルダ3dを使用した以外は、実施例1と同様にしてポリエチレンテレフタレートフィルムの密度、表面粗さを測定した。すなわち、ロール状支持部材10にポリエチレンテレフタレートフィルムの両端部を粘着テープで固定して測定した。結果を図18(a)、図18(b)、表1に示す。
ポリエチレンテレフタレートフィルム上に酸化アルミニウム(Al2O3)膜を膜厚がおよそ35nmとなるように形成したフィルムを測定サンプルとして使用した以外は、実施例4と同様にして、ポリエチレンテレフタレートフィルム及び酸化アルミニウム膜の密度、表面粗さ、膜厚を測定した。具体的には、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に酸化アルミニウム膜が形成されている状態の測定サンプルを用いて、X線反射率法により繰り返し4回測定し、図19(a)および図19(b)に示すような微細な振動構造を有するX線強度プロファイルを得た。そして、この微細な振動構造を有するX線強度プロファイルの実測データを、上記したParrattの理論式に非線形最小二乗法でフィッティングさせることで、ポリエチレンテレフタレートフィルム及び酸化アルミニウム膜のそれぞれについて、密度、表面粗さを算出した。また、酸化アルミニウム膜については膜厚も求めた。結果を表1に示す。
図12に示すように、フィルム試料固定ホルダを使用せず、試料台20上に載置した以外は、実施例1と同様にしてポリエチレンテレフタレートフィルムの密度、表面粗さを測定した。なお、X線反射率法で1回測定する毎に、ポリエチレンテレフタレートフィルムを置き直す方法で、繰り返し4回測定し、密度、表面粗さを求めた。結果を図20(a)、図20(b)、表1に示す。
図13に示すように、両面粘着テープ11でポリエチレンテレフタレートフィルムを固定した以外は、実施例1と同様にしてポリエチレンテレフタレートフィルムの密度、表面粗さを測定した。なお、X線反射率法で1回測定する毎に、ポリエチレンテレフタレートフィルムを固定し直す方法で、繰り返し4回測定し、密度、表面粗さを測定した。結果を図21(a)、図21(b)、表1に示す。
図14に示すように、引っ張りながらポリエチレンテレフタレートフィルムの周囲に粘着テープ12を貼って固定した以外は、実施例1と同様にしてポリエチレンテレフタレートフィルムの密度、表面粗さを測定した。なお、X線反射率法で1回測定する毎に、ポリエチレンテレフタレートフィルムを固定し直す方法で、繰り返し4回測定し、密度、表面粗さを求めた。結果を図22(a)、図22(b)、表1に示す。
1a 湾曲部
1b 分析面
1c 実際に測定に供される分析面
2 粘着テープ
3 負荷手段
3a、3b、3c、3d フィルム試料固定ホルダ
4 支持部材
5a、5b、5c 連結部材
6 伸縮機構
7 高さ調整機構
8 保持板
9 ねじ
10 ロール状支持部材
11 両面粘着テープ
12 粘着テープ
20 基準面形成手段としての試料台
30 X線源
31 入射X線
32 反射X線
33 X線検出器
Claims (12)
- フィルム試料を湾曲させることによって発生するフィルム自身の張力によって、湾曲部以外に存在しフィルム特性の分析対象部を含むフィルム試料部位の位置を、分析のための基準面上に固定することを特徴とするフィルム試料固定方法。
- 請求項1に記載のフィルム試料固定方法を用いるフィルム特性分析方法であって、前記基準面上に固定されたフィルム試料に向けて分析用ビームを照射し、フィルム試料で反射した分析用ビームの強度を測定するフィルム特性分析方法。
- フィルム特性の分析のための基準面上に設けられ、分析用ビームの通過口を有するフィルム試料固定ホルダであって、湾曲されたフィルム試料の湾曲状態をフィルム試料に特定方向の力を加えることによって維持し、フィルム試料が湾曲されることによって発生するフィルム自身の張力によって、湾曲部以外に存在しフィルム特性の分析対象部を含むフィルム試料部位の位置を、前記基準面上に固定するように構成されていることを特徴とするフィルム試料固定ホルダ。
- フィルム試料の両端部に形成された湾曲部の形態を維持するための2つの支持部材を有し、該2つの支持部材の間で前記分析対象部を含むフィルム試料部位の位置が前記基準面上に固定される、請求項3に記載のフィルム試料固定ホルダ。
- 前記2つの支持部材と該2つの支持部材を繋ぐ連結部材を有する、請求項4に記載のフィルム試料固定ホルダ。
- 前記連結部材が伸縮可能に構成されている、請求項5に記載のフィルム試料固定ホルダ。
- 前記2つの支持部材が自身の高さを調整可能な機構を有する、請求項5または6に記載のフィルム試料固定ホルダ。
- フィルム試料の両端をそれぞれ保持する保持板が設けられている、請求項3〜7のいずれかに記載のフィルム試料固定ホルダ。
- 両保持板間の距離を調整可能な機構を有する、請求項8に記載のフィルム試料固定ホルダ。
- 前記2つの支持部材がロール形状に構成されている、請求項4〜9のいずれかに記載のフィルム試料固定ホルダ。
- 請求項に3〜10のいずれかに記載のフィルム試料固定ホルダを用いるフィルム特性分析方法であって、前記基準面上に固定されたフィルム試料に向け前記通過口を通して分析用ビームを照射し、フィルム試料で反射し前記通過口を通して出射してきた分析用ビームの強度を測定するフィルム特性分析方法。
- 蛍光X線分析、X線光電子分光法、X線反射率法、ICP発光分光分析、ラザフォード後方散乱法、分光エリプソメトリ、オージェ電子分光法、反射型赤外吸収法のいずれかである、請求項2または11に記載のフィルム特性分析方法。
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