JP2014135352A - Method of manufacturing laminated wiring board and laminated wiring board - Google Patents

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俊浩 中村
Eiji Yabuta
英二 藪田
Shinji Imada
真嗣 今田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a lamination of both layers without causing a gap between a plurality of conductors, in a laminated wiring board where a first layer and a second layer are laminated, and a plurality of conductors becoming interlayer wiring are formed between both layers.SOLUTION: A plurality of conductors 30 are arranged on one surface 11 of a first layer 10 while spaced apart from each other, and a heat dissipation member 40 harder than a second layer 20 and having a thermal conductivity larger than that of the second layer 20 is mounted on the conductor 30 independently for every plurality of conductors 30, thus brings about a state where the heat dissipation members 40 on the conductor 30 are separated from each other between the plurality of conductors 30. Subsequently, one surface 21 of the second layer 20 is made to face the one surface 11 of the first layer 10, and then both layers 10, 20 are pressed thus sticking the one surfaces 11, 21 of both layers 10, 20 while embedding the plurality of conductors 30 and the heat dissipation members 40 in the second layer 20.

Description

本発明は、第1の層と樹脂よりなる第2の層との少なくとも2層以上の層を積層するとともに、これら両層の間に層間配線となる複数個の導体を設けることにより形成される積層配線基板、および、そのような積層配線基板の製造方法に関する。   The present invention is formed by laminating at least two layers of a first layer and a second layer made of a resin, and providing a plurality of conductors serving as interlayer wirings between the two layers. The present invention relates to a multilayer wiring board and a method for manufacturing such a multilayer wiring board.

一般に、この種の積層配線基板としては、少なくとも第1の層と樹脂よりなる第2の層との2層以上の層が積層され、当該両層間に層間配線となる複数個の導体が形成されてなるものが提案されている。   Generally, in this type of laminated wiring board, at least two layers of a first layer and a second layer made of a resin are laminated, and a plurality of conductors serving as interlayer wirings are formed between the two layers. It has been proposed.

このような積層配線基板は、一般的には次のようにして形成される。第1の層の一面上に複数個の導体を離間して配置し、この状態で、第2の層の一面を第1の層の一面に対向させ、これら両層をプレスする。これにより、複数個の導体を第2の層にめり込ませた状態としつつ当該両層の一面同士を貼り合わせる。   Such a laminated wiring board is generally formed as follows. A plurality of conductors are spaced apart on one surface of the first layer, and in this state, one surface of the second layer is opposed to one surface of the first layer, and both the layers are pressed. As a result, one surface of both the layers is bonded together while the plurality of conductors are embedded in the second layer.

近年、このような積層配線基板において高放熱化の要求が高まっており、導体の放熱性向上が要望されている。その点に対して、従来では、基板用の高熱伝導性の樹脂材料として、たとえば熱伝導率が10W/m・K程度の材料が提案されている(特許文献1参照)。この高熱伝導性の樹脂材料は、高熱伝導化のために電気絶縁性且つ熱伝導性を有するフィラーを樹脂に含有してなる。   In recent years, there is an increasing demand for high heat dissipation in such a multilayer wiring board, and there is a demand for improvement in heat dissipation of conductors. In contrast, conventionally, a material having a thermal conductivity of about 10 W / m · K, for example, has been proposed as a highly thermally conductive resin material for a substrate (see Patent Document 1). This highly heat-conductive resin material contains a filler having electrical insulation and heat conductivity in the resin for high heat conductivity.

特開2001−348488号公報JP 2001-348488 A

本発明者は、上記積層配線基板において、第2の層を上記高熱伝導性の樹脂材料で構成した場合について、試作検討を行った。その結果、図9、図10に示されるような問題が生じることがわかった。   The present inventor has conducted a trial examination on the case where the second layer is made of the high thermal conductivity resin material in the multilayer wiring board. As a result, it was found that problems as shown in FIGS. 9 and 10 occur.

本試作品としての積層配線基板は次のようにして作成する。まず、図9に示されるように、第1の層10の一面11上に複数個の導体30を離間して配置し、この状態で、第2の層20の一面21を第1の層10の一面11に対向させる。   The multilayer wiring board as the prototype is created as follows. First, as shown in FIG. 9, a plurality of conductors 30 are arranged on one surface 11 of the first layer 10 so as to be separated from each other, and in this state, one surface 21 of the second layer 20 is disposed on the first layer 10. It is made to oppose the one surface 11.

次に、図10に示されるように、これら両層10、20をプレスすることにより、複数個の導体30を第2の層20にめり込ませた状態としつつ当該両層10、20の一面11、21同士を貼り合わせる。その後は、樹脂の硬化等を行い、当該基板ができあがる。これにより、高熱伝導性材料よりなる第2の層20を介して、導体30の放熱が行われることになる。   Next, as shown in FIG. 10, the two layers 10, 20 are pressed so that the plurality of conductors 30 are embedded in the second layer 20. The surfaces 11 and 21 are bonded together. Thereafter, the resin is cured and the substrate is completed. Thereby, the heat radiation of the conductor 30 is performed through the second layer 20 made of a high thermal conductivity material.

ここで、第2の層20は、上記した高熱伝導性の樹脂材料で構成するのであるが、当該材料は、一般的な樹脂材料に比べて、樹脂中に含有されるフィラー含有量が多い。そのため、第2の層20は一般的なものに比べて硬いものとなり、プレス時に複数個の導体30の埋め込み性が悪くなってしまう。   Here, although the 2nd layer 20 is comprised with the above-mentioned highly heat conductive resin material, the said material has much filler content contained in resin compared with a general resin material. Therefore, the second layer 20 is harder than a general layer, and the embedding property of the plurality of conductors 30 is deteriorated during pressing.

そうすると、図10に示されるように、第1の層10と第2の層20とをプレスで積層した時点で、複数個の導体30の間では、第2の層20の埋まり度合が不十分となり、隙間Kが生じてしまうことになる。このような隙間Kは、互いに異電位である導体30間の短絡等につながり好ましくない。   Then, as shown in FIG. 10, when the first layer 10 and the second layer 20 are stacked by pressing, the degree of filling of the second layer 20 is insufficient between the plurality of conductors 30. Thus, the gap K is generated. Such a gap K is undesirable because it leads to a short circuit between the conductors 30 having different potentials.

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、第1の層と第2の層との少なくとも2層以上の層を積層するとともに、これら両層の間に層間配線となる複数個の導体を形成してなる積層配線基板において、複数個の導体の間に隙間を生じさせることなく、当該両層を積層した構成を実現することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and a plurality of layers of at least two layers of a first layer and a second layer are laminated, and a plurality of layers serving as interlayer wirings between the two layers are provided. An object of the present invention is to realize a configuration in which both layers are laminated without causing a gap between a plurality of conductors in a laminated wiring board formed with conductors.

上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、第1の層(10)と樹脂よりなる第2の層(20)との少なくとも2層以上の層を積層するとともに、第1の層と第2の層との両層の間に層間配線となる複数個の導体(30)を形成してなる積層配線基板の製造方法であって、
第1の層と第2の層とを用意する用意工程と、第1の層の一面(11)上に複数個の導体(30)を離間して配置する導体配置工程と、第2の層よりも硬く且つ熱伝導率の大きい放熱部材(40)を、複数個の導体毎に独立して当該導体上に搭載することにより、複数個の導体間では当該導体上の放熱部材同士が離間した状態とする放熱部材工程と、第2の層の一面(21)を第1の層の一面に対向させ、これら両層をプレスすることにより、複数個の導体および放熱部材を前記第2の層に埋め込んだ状態としつつ当該両層の一面同士を貼り合わせるプレス工程と、を備えることを特徴とする。
In order to achieve the above object, in the invention described in claim 1, at least two layers of the first layer (10) and the second layer (20) made of resin are laminated, A method for manufacturing a laminated wiring board, wherein a plurality of conductors (30) serving as interlayer wirings are formed between both layers of a layer and a second layer,
A preparation step of preparing the first layer and the second layer, a conductor arrangement step of arranging a plurality of conductors (30) separately on one surface (11) of the first layer, and a second layer By mounting the heat radiating member (40) which is harder and has a higher thermal conductivity on the conductor independently for each of the plurality of conductors, the heat radiating members on the conductor are separated from each other between the plurality of conductors. The heat radiation member step to be in a state and one surface (21) of the second layer are made to face one surface of the first layer, and both the layers are pressed, whereby a plurality of conductors and heat radiation members are attached to the second layer. And a pressing step of bonding the surfaces of the two layers together while being embedded.

それによれば、放熱が必要な層間配線である導体を、第1の層に複数個設け、第2の層よりも硬い放熱部材を、各導体間で当該放熱部材同士が離間するように、これら導体毎に設けた状態で、当該両層をプレスするから、このプレスによって、各導体間においても、軟らかい第2の層が放熱部材を押しのけつつ第1の層の一面まで到達し、当該各導体間を埋めることができる。よって、本発明によれば、放熱が必要な層間配線である複数個の導体の間に隙間を生じさせることなく、第1の層と第2の層とを積層した構成を実現することができる。   According to this, a plurality of conductors that are interlayer wirings that require heat dissipation are provided in the first layer, and a heat dissipation member that is harder than the second layer is disposed so that the heat dissipation members are separated from each other between the conductors. Since both the layers are pressed in a state of being provided for each conductor, the soft second layer reaches one surface of the first layer while pushing the heat radiating member between the conductors by this pressing. You can fill the gap. Therefore, according to the present invention, it is possible to realize a configuration in which the first layer and the second layer are stacked without generating a gap between a plurality of conductors that are interlayer wirings that require heat dissipation. .

また、請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の製造方法において、第2の層と放熱部材としては、同一の熱硬化性樹脂材料よりなるものであって且つ当該熱硬化性樹脂材料に含有される電気絶縁性且つ熱伝導性を有するフィラーの含有量が異なるものであり、さらに、放熱部材の方が、フィラーの含有量が多いものであるものを用い、プレス工程後に、第2の層および放熱部材を加熱して硬化する硬化工程を行うことを特徴とする。   Moreover, in invention of Claim 2, in the manufacturing method of Claim 1, as a 2nd layer and a heat radiating member, it consists of the same thermosetting resin material, and the said thermosetting resin The content of the filler having electrical insulation and thermal conductivity contained in the material is different, and further, the heat radiating member has a higher filler content. A curing step is performed in which the layer 2 and the heat dissipation member are heated and cured.

それによれば、第2の層と放熱部材とは同一の熱硬化性樹脂材料よりなるから、硬化工程後には、これら両者の界面の密着を強固なものにできる。   According to this, since the second layer and the heat radiating member are made of the same thermosetting resin material, it is possible to strengthen the adhesion between the interfaces of the two after the curing step.

また、請求項3に記載の発明では、請求項1または2に記載の製造方法において、プレス工程では、放熱部材が第2の層の一面とは反対側の他面(22)にて露出するまでプレスを行うことを特徴とする。   In the invention according to claim 3, in the manufacturing method according to claim 1 or 2, in the pressing step, the heat dissipation member is exposed on the other surface (22) opposite to the one surface of the second layer. It is characterized by pressing until.

それによれば、放熱部材が第2の層の他面にて露出するから、当該他面側にて放熱部材と他の部材との熱的接続を行いやすい。   According to this, since the heat radiating member is exposed on the other surface of the second layer, it is easy to thermally connect the heat radiating member and the other member on the other surface side.

請求項4に記載の発明では、第1の層(10)と、第1の層の一面(11)上に積層された樹脂よりなる第2の層(20)と、第2の層に埋め込まれた状態で第1の層の一面上に離間して配置されることにより、層間配線として構成される複数個の導体(30)と、第2の層に埋め込まれた状態で、複数個の導体上に設けられ、第2の層よりも硬く且つ熱伝導率の大きい材料よりなる放熱部材(40)と、を備え、
放熱部材は、複数個の導体毎に独立して搭載されることにより、複数個の導体間では当該導体上の放熱部材同士が離間した状態とされており、それぞれの導体間では第2の層が第1の層の一面まで到達することで、当該導体間を埋めていることを特徴とする。
In the invention described in claim 4, the first layer (10), the second layer (20) made of resin laminated on one surface (11) of the first layer, and the second layer are embedded. The plurality of conductors (30) configured as interlayer wirings and a plurality of conductors (30) embedded in the second layer are disposed on one surface of the first layer in a separated state. A heat dissipating member (40) made of a material harder than the second layer and having a higher thermal conductivity provided on the conductor,
The heat dissipating member is mounted independently for each of the plurality of conductors, so that the heat dissipating members on the conductor are separated from each other between the plurality of conductors, and the second layer is provided between the conductors. Between the conductors by reaching one surface of the first layer.

本発明の積層配線基板は、上記請求項1に記載の製造方法により適切に製造され得るものであるから、本発明によれば、放熱が必要な層間配線である複数個の導体の間に隙間を生じさせることなく、第1の層と第2の層とを積層した構成を実現することができる。   Since the multilayer wiring board of the present invention can be appropriately manufactured by the manufacturing method according to claim 1, according to the present invention, there is a gap between a plurality of conductors that are interlayer wirings that require heat dissipation. A structure in which the first layer and the second layer are stacked can be realized without causing the above.

なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in the claim and this column is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

本発明の第1実施形態にかかる積層配線基板の概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a multilayer wiring board according to a first embodiment of the present invention. 図1に示される積層配線基板の製造方法を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the manufacturing method of the laminated wiring board shown by FIG. 図2に続く積層配線基板の製造方法を示す概略断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a method for manufacturing the laminated wiring board following FIG. 2. 図2中の第1の層の一面側における導体の平面形状の一例を示す概略平面図である。FIG. 3 is a schematic plan view illustrating an example of a planar shape of a conductor on one surface side of a first layer in FIG. 2. 図4における導体上に、さらに放熱部材を配置した状態を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the state which has arrange | positioned the heat radiating member further on the conductor in FIG. 本発明の第2実施形態にかかる積層配線基板の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the laminated wiring board concerning 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態にかかる積層配線基板の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the laminated wiring board concerning 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4実施形態にかかる積層配線基板を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the laminated wiring board concerning 4th Embodiment of this invention. 本発明者の試作品としての積層配線基板の製造方法を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the manufacturing method of the multilayer wiring board as a prototype of this inventor. 図9に続く試作品としての積層配線基板の製造方法を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the manufacturing method of the multilayer wiring board as a prototype following FIG.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, parts that are the same or equivalent to each other are given the same reference numerals in the drawings in order to simplify the description.

(第1実施形態)
本発明の第1実施形態にかかる積層配線基板について、図1を参照して述べる。この積層配線基板S1は、たとえば自動車に搭載される電子装置等の一部を構成するものとして適用される。
(First embodiment)
The multilayer wiring board according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The multilayer wiring board S1 is applied as a part of an electronic device or the like mounted on an automobile, for example.

本実施形態の積層配線基板S1は、大きくは、第1の層10と、第1の層10の一面11上に積層された樹脂よりなる第2の層20との2層を備えて構成されている。ここで、第1の層10の一面11とこれに対向する第2の層20の一面21とは、第2の層20を構成する樹脂の接着力により接合されている。   The multilayer wiring board S1 of the present embodiment is roughly configured to include two layers, a first layer 10 and a second layer 20 made of a resin laminated on one surface 11 of the first layer 10. ing. Here, the one surface 11 of the first layer 10 and the one surface 21 of the second layer 20 opposed to the first layer 10 are joined by the adhesive force of the resin constituting the second layer 20.

これら両層10、20は、ともに同程度の平面サイズを有するもので、それぞれ一面11、21と他面12、22とが表裏の関係にある。本実施形態では、第1の層10も樹脂よりなる。具体的には、両層10、20は、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂よりなるものである。   Both the layers 10 and 20 have the same plane size, and the one side 11 and 21 and the other side 12 and 22 are in a front-back relationship. In the present embodiment, the first layer 10 is also made of resin. Specifically, both layers 10 and 20 are made of a thermosetting resin such as an epoxy resin.

ここで、第2の層20は、さらに、電気絶縁性且つ熱伝導性を有するフィラーが、熱硬化性樹脂中に含有されたものであり、当該フィラーは熱硬化性樹脂中に分散している。このフィラーは、たとえばアルミナやシリカ等の無機材料よりなり、球状、フレーク状、繊維状等の形状をなすものである。   Here, in the second layer 20, a filler having electrical insulation and thermal conductivity is further contained in the thermosetting resin, and the filler is dispersed in the thermosetting resin. . The filler is made of an inorganic material such as alumina or silica, and has a spherical shape, a flake shape, a fiber shape, or the like.

また、両層10、20の一面11、21同士の界面にて、層間配線として構成される複数個の導体30および他の導体31が、第1の層10の一面11上に離間して配置されている。複数個の導体30は、図1では3個示されているが、たとえば大電流用の配線として機能し、放熱が必要なものである。   In addition, a plurality of conductors 30 and other conductors 31 configured as interlayer wirings are arranged on the one surface 11 of the first layer 10 so as to be separated from each other at the interface between the one surfaces 11 and 21 of the both layers 10 and 20. Has been. Although a plurality of conductors 30 are shown in FIG. 1, they function as, for example, a wiring for a large current and require heat dissipation.

また、他の導体31は、図1では1個示されているが、これは必要に応じて複数個あってもよいし、無いものであってもよい。この他の導体31は、たとえば比較的低電流用の配線として機能するもので放熱が不要なものである。これら導体30および他の導体は、導電性の金属箔等よりなり、たとえばCu箔を第1の層10の一面11に貼り付けて所望の配線パターンにエッチングされたものとして形成されている。   Further, one other conductor 31 is shown in FIG. 1, but a plurality of other conductors 31 may be provided or not provided as necessary. The other conductor 31 functions as a wiring for relatively low current, for example, and does not require heat dissipation. These conductors 30 and other conductors are made of a conductive metal foil or the like, and are formed, for example, by bonding a Cu foil to one surface 11 of the first layer 10 and etching it to a desired wiring pattern.

さらに、第1の層10の一面11上にて放熱が必要な複数個の導体30上には、放熱部材40が設けられている。この放熱部材40は、導体30に発生する熱を、放熱する機能を有する。そして、放熱部材40は、複数個の導体30毎に独立して搭載されることによって、複数個の導体30間では各導体30上の放熱部材40同士が離間した状態とされている。   Furthermore, a heat radiating member 40 is provided on the plurality of conductors 30 that need to dissipate heat on the one surface 11 of the first layer 10. The heat radiating member 40 has a function of radiating heat generated in the conductor 30. The heat dissipating member 40 is mounted independently for each of the plurality of conductors 30 so that the heat dissipating members 40 on the conductors 30 are separated from each other between the plurality of conductors 30.

そして、複数個の導体30、放熱部材40および他の導体31は、第1の層10の一面11上より突出し、第2の層に埋め込まれた状態とされている。本実施形態では、放熱部材40は、第2の層20の他面22にて露出している。   The plurality of conductors 30, the heat dissipation member 40, and the other conductors 31 protrude from the one surface 11 of the first layer 10 and are embedded in the second layer. In the present embodiment, the heat dissipation member 40 is exposed on the other surface 22 of the second layer 20.

ここで、隣り合う導体30、31間では、当該導体30、31同士および導体30上の放熱部材40同士が非接触とされている。そのため、それぞれの導体30、31間では、第2の層20が第1の層10の一面11まで到達することで、当該導体30、31間が第2の層20によって埋められている。   Here, between the adjacent conductors 30 and 31, the conductors 30 and 31 and the heat dissipating members 40 on the conductor 30 are not in contact with each other. Therefore, between the conductors 30 and 31, the second layer 20 reaches the one surface 11 of the first layer 10, so that the space between the conductors 30 and 31 is filled with the second layer 20.

ここで、放熱部材40の平面サイズは、放熱部材40が導体30の直上に搭載可能なものであれば、放熱部材40直下に位置する導体30部分の平面サイズに対して同等でもよいし、多少大きくてもよいし、多少小さくてもよい。   Here, the planar size of the heat radiating member 40 may be the same as the planar size of the portion of the conductor 30 located immediately below the heat radiating member 40 as long as the heat radiating member 40 can be mounted directly above the conductor 30. It may be larger or slightly smaller.

本実施形態では、放熱性を極力確保するべく、図1に示されるように、放熱部材40は、平面サイズが放熱部材直下の導体30部分よりも一回り大きいものとしている。たとえば、放熱部材直下の導体30部分が矩形状の場合、放熱部材40は、それよりも一回り大きい矩形板状をなすものにできる(後述の図5参照)。   In this embodiment, in order to ensure heat dissipation as much as possible, as shown in FIG. 1, the heat radiating member 40 has a plane size that is slightly larger than the conductor 30 portion directly below the heat radiating member. For example, when the portion of the conductor 30 immediately below the heat radiating member is rectangular, the heat radiating member 40 can be a rectangular plate that is slightly larger than that (see FIG. 5 described later).

また、放熱部材40は、第2の層20よりも硬く且つ熱伝導率の大きい材料よりなる。本実施形態では、この放熱部材40は第2の層20と同様に、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂に上記フィラーを分散して含有させたものであるが、放熱部材40の方が第2の層20よりもフィラー含有量が多いものとしている。   The heat dissipation member 40 is made of a material that is harder than the second layer 20 and has a high thermal conductivity. In this embodiment, the heat radiating member 40 is the same as the second layer 20 in which the filler is dispersed and contained in a thermosetting resin such as an epoxy resin, but the heat radiating member 40 is the second one. It is assumed that the filler content is higher than that of the layer 20.

限定するものではないが、たとえば、当該フィラー含有量としては、放熱部材40が80重量%以上であり、第2の層20が50重量%以下である。このように、放熱部材40と第2の層20とでフィラー含有量を異ならせることで、放熱部材40の方が第2の層20よりも硬く且つ熱伝導率の大きい材料よりなるものとされている。   Although it does not limit, for example, as the filler content, the heat dissipation member 40 is 80% by weight or more, and the second layer 20 is 50% by weight or less. Thus, by making the filler content different between the heat radiating member 40 and the second layer 20, the heat radiating member 40 is made of a material harder than the second layer 20 and having a higher thermal conductivity. ing.

また、第2の層20を構成する熱硬化性樹脂と放熱部材40を構成する熱硬化性樹脂とは、同一材料でもよいし、異種材料でもよい。同一材料とする場合は、当該両熱硬化性樹脂を、たとえば同一組成のエポキシ樹脂よりなるものとする。異種材料とする場合は、当該両熱硬化性樹脂を、たとえば組成の異なるエポキシ樹脂としたり、一方をエポキシ樹脂とし他方をポリイミド樹脂とするというように、樹脂の種類を相違させたりすることになる。   Further, the thermosetting resin that constitutes the second layer 20 and the thermosetting resin that constitutes the heat dissipation member 40 may be the same material or different materials. When the same material is used, both the thermosetting resins are made of, for example, epoxy resins having the same composition. When different materials are used, the two thermosetting resins may be epoxy resins having different compositions, for example, or one resin may be an epoxy resin and the other a polyimide resin. .

たとえば放熱部材40を、第2の層20よりも多くのフィラー含有量とされたポリイミド樹脂より構成すれば、放熱部材40は、高放熱性に加えてより高い絶縁性を有するものとなる。   For example, if the heat radiating member 40 is made of a polyimide resin having a filler content higher than that of the second layer 20, the heat radiating member 40 has higher insulation in addition to high heat radiating properties.

次に、本実施形態にかかる積層配線基板S1の製造方法について、図2〜図5を参照して述べる。なお、図4、図5では、第1の層10の一面11上の導体30、31の配置パターンを、より具体化して示したものであるが、あくまで一例である。   Next, a method for manufacturing the multilayer wiring board S1 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5 show more specific arrangement patterns of the conductors 30 and 31 on the first surface 11 of the first layer 10, but they are only examples.

まず、図2に示されるように、第1の層10と第2の層20とを用意する(用意工程)。具体的に、この用意工程では、第1の層10は、熱硬化性樹脂を層状に形成し、これを硬化完了させたものとして用意される。   First, as shown in FIG. 2, the first layer 10 and the second layer 20 are prepared (preparation process). Specifically, in this preparation step, the first layer 10 is prepared as a layer in which a thermosetting resin is formed and cured.

一方、第2の層20は、上記したフィラーが含有された熱硬化性樹脂を層状に成形し、これを加熱して、たとえばBステージ状態に半硬化したものとして用意する。これにより、第2の層20は第1の層10よりも軟らかいものとして用意される。   On the other hand, the second layer 20 is prepared by forming the thermosetting resin containing the above-described filler into a layer shape, heating it, and semi-curing it into a B-stage state, for example. Thus, the second layer 20 is prepared as being softer than the first layer 10.

また、図2、図4に示されるように、第1の層10の一面11上に複数個の導体30および他の導体31を離間して配置する(導体配置工程)。具体的に、導体配置工程では、第1の層10の一面11上に複数個の導体30を、上記したCu箔の貼り付けおよびエッチングにより、離間して配置された状態に形成する。   Also, as shown in FIGS. 2 and 4, a plurality of conductors 30 and other conductors 31 are arranged apart from each other on one surface 11 of the first layer 10 (conductor arrangement step). Specifically, in the conductor placement step, a plurality of conductors 30 are formed on the first surface 11 of the first layer 10 so as to be spaced apart by pasting and etching the Cu foil.

次に、放熱部材工程を行う。この放熱部材工程では、図2、図5に示されるように、放熱部材40を、複数個の導体30毎に独立して導体30上に搭載することにより、複数個の導体30間では各導体30上の放熱部材40同士が離間した状態とする。具体的には、放熱部材40は、マスクを用いた印刷法やディスペンス法等により、導体30毎に独立して導体30の直上に塗布される。   Next, a heat radiating member process is performed. In this heat radiating member process, as shown in FIGS. 2 and 5, the heat radiating member 40 is mounted on the conductor 30 independently for each of the plurality of conductors 30. The heat radiating members 40 on the 30 are separated from each other. Specifically, the heat radiating member 40 is applied directly on the conductor 30 independently for each conductor 30 by a printing method using a mask, a dispensing method, or the like.

ここで、導体30パターンの高精細化のためには印刷法が望ましい。そして、この塗布後に、各放熱部材40は加熱され、たとえばBステージ状態に半硬化される。なお、放熱部材工程では、半硬化状態のシート状の放熱部材40を、各導体30上に搭載するようにしてもよい。   Here, a printing method is desirable for high definition of the conductor 30 pattern. And after this application | coating, each heat radiating member 40 is heated, for example, is semi-hardened to a B-stage state. In the heat radiating member process, the semi-cured sheet-like heat radiating member 40 may be mounted on each conductor 30.

そして、この半硬化された放熱部材40についても、上記用意された半硬化状態の第2の層20に対して上記フィラー含有量が多いことから、当該半硬化状態の第2の層20より硬く且つ熱伝導率の大きいものとなる。   The semi-cured heat radiation member 40 is also harder than the semi-cured second layer 20 because the filler content is higher than the prepared semi-cured second layer 20. In addition, the thermal conductivity is large.

次に。図2から図3に示されるように、プレス工程を行う。このプレス工程では、第2の層20の一面21を第1の層10の一面11に対向させ、これら両層10、20をプレスする。このプレスは、この種の積層配線基板を形成するのに用いられる通常のプレス装置により行える。   next. As shown in FIGS. 2 to 3, a pressing process is performed. In this pressing step, the one surface 21 of the second layer 20 is opposed to the one surface 11 of the first layer 10 and both the layers 10 and 20 are pressed. This pressing can be performed by a normal pressing device used to form this type of laminated wiring board.

このプレスにより、複数個の導体30および放熱部材40を第2の層20に埋め込んだ状態としつつ、両層10、20の一面11、21同士を貼り合わせる。このとき、本実施形態では、放熱部材40が第2の層20の他面22にて露出するまでプレスを行うようにする。   By this pressing, the surfaces 11 and 21 of the two layers 10 and 20 are bonded together while the plurality of conductors 30 and the heat dissipation member 40 are embedded in the second layer 20. At this time, in the present embodiment, the pressing is performed until the heat radiating member 40 is exposed on the other surface 22 of the second layer 20.

このプレス工程では、各導体30間で放熱部材40同士を離間させるとともに、放熱部材40は第2の層20よりも硬いものとしているので、各導体30間においても第2の層20が放熱部材40を押しのけつつ第1の層10の一面11まで到達し、各導体30間が第2の層20で埋められる。   In this pressing step, the heat dissipating members 40 are separated from each other between the conductors 30 and the heat dissipating member 40 is harder than the second layer 20, so that the second layer 20 is also between the conductors 30. While reaching 40, it reaches the one surface 11 of the first layer 10, and the space between the conductors 30 is filled with the second layer 20.

そして、このプレス工程後は、硬化工程を行い、半硬化状態の第2の層20および放熱部材40を硬化完了状態とする。こうして、本実施形態にかかる積層配線基板ができあがる。   And after this press process, a hardening process is performed and the 2nd layer 20 and the thermal radiation member 40 of a semi-hardened state are made into a completion state of hardening. Thus, the multilayer wiring board according to the present embodiment is completed.

このように、本実施形態によれば、プレスによって、各導体30間においても第1の層10の一面11まで到達し、各導体30間を埋めることができる。そのため、本実施形態によれば、放熱が必要な層間配線である複数個の導体30の間に隙間を生じさせることなく、第1の層10と第2の層20とを積層した構成を実現することができる。   Thus, according to the present embodiment, it is possible to reach the one surface 11 of the first layer 10 even between the conductors 30 by pressing and fill the spaces between the conductors 30. Therefore, according to the present embodiment, a configuration in which the first layer 10 and the second layer 20 are stacked without generating a gap between the plurality of conductors 30 that are interlayer wirings that require heat dissipation is realized. can do.

また、本実施形態においては、第2の層20と放熱部材40としては、同一の熱硬化性樹脂材料よりなるものであることが望ましい。この場合には、第2の層20を構成する熱硬化性樹脂材料と放熱部材40を構成する熱硬化性樹脂とを同一材料にするとともに、放熱部材40の方が、フィラーの含有量が多いものであるものとする。   In the present embodiment, the second layer 20 and the heat dissipation member 40 are preferably made of the same thermosetting resin material. In this case, the thermosetting resin material constituting the second layer 20 and the thermosetting resin constituting the heat radiation member 40 are made of the same material, and the heat radiation member 40 has a higher filler content. It shall be a thing.

この場合、上記プレス工程後に、上記硬化工程にて第2の層20および放熱部材40を加熱して硬化完了させることになる。そして、第2の層20と放熱部材40とは同一の熱硬化性樹脂材料よりなるから、硬化工程後には、これら両者20、40の界面の密着を強固なものにできる。   In this case, after the pressing step, the second layer 20 and the heat radiating member 40 are heated in the curing step to complete the curing. And since the 2nd layer 20 and the heat radiating member 40 consist of the same thermosetting resin material, the adhesion | attachment of the interface of these both 20 and 40 can be strengthened after a hardening process.

また、本実施形態によれば、放熱部材40が第2の層20の他面22にて露出するから、当該他面22側にて放熱部材40と他の部材との熱的接続を行いやすい。たとえば、第2の層20の他面22側に、さらに、樹脂よりなる他の層を積層した構成を形成する場合、この他の層側についても、放熱部材を介した熱伝導経路を形成しやすい。   Moreover, according to this embodiment, since the heat radiating member 40 is exposed in the other surface 22 of the 2nd layer 20, it is easy to perform thermal connection with the heat radiating member 40 and another member in the said other surface 22 side. . For example, in the case of forming a configuration in which another layer made of resin is further laminated on the other surface 22 side of the second layer 20, a heat conduction path through the heat dissipation member is also formed on the other layer side. Cheap.

(第2実施形態)
本発明の第2実施形態について、上記第1実施形態との相違点を中心に、図6を参照して述べる。上記第1実施形態では、上記図1に示されるように、放熱部材40の側面が第2の層20の厚さ方向(つまり両層10、20の積層方向)に平行であった。
(Second Embodiment)
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 6 with a focus on differences from the first embodiment. In the first embodiment, as shown in FIG. 1, the side surface of the heat dissipation member 40 is parallel to the thickness direction of the second layer 20 (that is, the stacking direction of both layers 10 and 20).

それに対して、本実施形態では、図6に示されるように、放熱部材40の側面41を、第2の層20の厚さ方向に傾斜したものとすることで、放熱部材40を、第2の層20の一面21側から他面22側に窄まるテーパ形状としている。この場合、プレス工程時に、放熱部材40が第2の層20に埋め込まれやすくなるという点で望ましい。   On the other hand, in this embodiment, as shown in FIG. 6, the side surface 41 of the heat dissipation member 40 is inclined in the thickness direction of the second layer 20, so that the heat dissipation member 40 is The layer 20 has a tapered shape constricted from the one surface 21 side to the other surface 22 side. In this case, it is desirable in that the heat dissipation member 40 is easily embedded in the second layer 20 during the pressing step.

(第3実施形態)
本発明の第3実施形態について、上記第1実施形態との相違点を中心に、図7を参照して述べる。本実施形態では、図7に示されるように、第2の層20の他面22上に、更に放熱部材40と同じ材料よりなる放熱層50を積層し、さらに放熱性向上を図ったものである。
(Third embodiment)
A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 7 with a focus on differences from the first embodiment. In the present embodiment, as shown in FIG. 7, a heat dissipation layer 50 made of the same material as the heat dissipation member 40 is further laminated on the other surface 22 of the second layer 20 to further improve heat dissipation. is there.

この場合、放熱層50は、第2の層20の他面22に露出する放熱部材40に接触することにより、放熱部材40と熱的に接続されている。このような放熱層50は、上記第1実施形態の製造方法にて硬化工程まで行い、第1の層10と第2の層20とを積層した後、放熱層50を第2の層20に貼り合わせ、硬化して取り付けられる。   In this case, the heat dissipation layer 50 is thermally connected to the heat dissipation member 40 by contacting the heat dissipation member 40 exposed on the other surface 22 of the second layer 20. Such a heat dissipation layer 50 is performed up to the curing step by the manufacturing method of the first embodiment, and after the first layer 10 and the second layer 20 are laminated, the heat dissipation layer 50 is formed on the second layer 20. Bonded, cured and attached.

(第4実施形態)
本発明の第4実施形態について、上記第1実施形態との相違点を中心に、図8を参照して述べる。放熱部材40としては、第2の層20の他面22にて露出しているものに限定されるものではなく、図8に示されるように、放熱部材40の全体が第2の層20内に埋まっていてもよい。この構造は、図8の状態となるように、プレスを行うことで形成される。
(Fourth embodiment)
A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 8 with a focus on differences from the first embodiment. The heat radiating member 40 is not limited to the one exposed at the other surface 22 of the second layer 20, and the entire heat radiating member 40 is within the second layer 20 as shown in FIG. 8. It may be buried in. This structure is formed by pressing so as to be in the state of FIG.

(他の実施形態)
なお、上記各実施形態では、第1の層10は熱硬化性樹脂よりなり、第2の層20および放熱部材40は、フィラーを含有する熱硬化性樹脂よりなるものであった。しかし、これら3者は、たとえば光硬化性樹脂等よりなるものであってもよい。さらに、第1の層10および放熱部材40の2者については、上記した各特性が確保されるものであるならば、たとえばセラミック等よりなるものであってもよい。
(Other embodiments)
In each of the above embodiments, the first layer 10 is made of a thermosetting resin, and the second layer 20 and the heat dissipation member 40 are made of a thermosetting resin containing a filler. However, these three members may be made of, for example, a photocurable resin. Further, the first layer 10 and the heat radiating member 40 may be made of, for example, ceramic or the like as long as the above-described characteristics are ensured.

また、上記各実施形態における積層配線基板は、第1の層10と第2の層20との2層が積層されたものであったが、上記第1および第2の層10、20の積層構成を有するものであれば、積層配線基板としては、3層以上の層が積層されたものであってもよい。   In the multilayer wiring board in each of the above embodiments, two layers of the first layer 10 and the second layer 20 are stacked. However, the stacked layers of the first and second layers 10 and 20 are stacked. As long as it has a configuration, the laminated wiring board may be a laminate of three or more layers.

そのような積層配線基板としては図示しないが、たとえば、上記図1における第1の層10の他面12側または第2の層20の他面22側に、さらに樹脂よりなる他の層が積層されたものであってもよい。   Although not shown as such a laminated wiring board, for example, another layer made of resin is laminated on the other surface 12 side of the first layer 10 or the other surface 22 side of the second layer 20 in FIG. It may be what was done.

この場合、当該他の層は、第1の層10と第2の層20とを上記製造方法で形成した後、さらに、Bステージ等の状態で積層して硬化することで形成すればよい。当該他の層が複数の場合には、当該他の層を順次1層ずつ積層および硬化するか、全ての他の層を一括して積層および硬化すればよい。   In this case, the other layer may be formed by forming the first layer 10 and the second layer 20 by the above manufacturing method, and further laminating and curing them in a B-stage or the like state. When there are a plurality of other layers, the other layers may be stacked and cured sequentially one by one, or all the other layers may be stacked and cured at once.

また、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能であり、また、上記各実施形態は、上記の図示例に限定されるものではない。   Further, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed within the scope described in the claims. The above embodiments are not irrelevant to each other, and can be combined as appropriate unless the combination is clearly impossible, and the above embodiments are not limited to the illustrated examples. Absent.

10 第1の層
11 第1の層の一面
20 第2の層
30 導体
40 放熱部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 1st layer 11 One surface of 1st layer 20 2nd layer 30 Conductor 40 Heat radiation member

Claims (6)

第1の層(10)と樹脂よりなる第2の層(20)との少なくとも2層以上の層を積層するとともに、前記第1の層と前記第2の層との両層の間に層間配線となる複数個の導体(30)を形成してなる積層配線基板の製造方法であって、
前記第1の層と前記第2の層とを用意する用意工程と、
前記第1の層の一面(11)上に前記複数個の導体(30)を離間して配置する導体配置工程と、
前記第2の層よりも硬く且つ熱伝導率の大きい放熱部材(40)を、前記複数個の導体毎に独立して当該導体上に搭載することにより、前記複数個の導体間では当該導体上の前記放熱部材同士が離間した状態とする放熱部材工程と、
前記第2の層の一面(21)を前記第1の層の一面に対向させ、これら両層をプレスすることにより、前記複数個の導体および前記放熱部材を前記第2の層に埋め込んだ状態としつつ当該両層の一面同士を貼り合わせるプレス工程と、を備えることを特徴とする積層配線基板の製造方法。
Laminating at least two layers of a first layer (10) and a second layer (20) made of resin, and an interlayer between both the first layer and the second layer A method of manufacturing a laminated wiring board formed by forming a plurality of conductors (30) to be wiring,
A preparation step of preparing the first layer and the second layer;
A conductor placement step of placing the plurality of conductors (30) separately on one surface (11) of the first layer;
A heat radiating member (40) that is harder than the second layer and has a high thermal conductivity is mounted on the conductor independently for each of the plurality of conductors, so that the conductors between the plurality of conductors A heat radiating member step in which the heat radiating members are separated from each other,
A state in which the one surface (21) of the second layer is opposed to one surface of the first layer and both the layers are pressed to embed the plurality of conductors and the heat dissipation member in the second layer. And a pressing step of bonding the surfaces of the two layers together.
前記第2の層と前記放熱部材としては、同一の熱硬化性樹脂材料よりなるものであって且つ当該熱硬化性樹脂材料に含有される電気絶縁性且つ熱伝導性を有するフィラーの含有量が異なるものであり、さらに、前記放熱部材の方が、前記フィラーの含有量が多いものであるものを用い、
前記プレス工程後に、前記第2の層および前記放熱部材を加熱して硬化する硬化工程を行うことを特徴とする請求項1に記載の積層配線基板の製造方法。
As said 2nd layer and said heat radiating member, content of the filler which consists of the same thermosetting resin material and has the electrical insulation and heat conductivity contained in the said thermosetting resin material is included. It is different, and further, the heat radiating member uses a material having a higher content of the filler,
The method for manufacturing a multilayer wiring board according to claim 1, wherein after the pressing step, a curing step of heating and curing the second layer and the heat dissipation member is performed.
前記プレス工程では、前記放熱部材が前記第2の層の一面とは反対側の他面(22)にて露出するまで前記プレスを行うことを特徴とする請求項1または2に記載の積層配線基板の製造方法。   3. The multilayer wiring according to claim 1, wherein, in the pressing step, the pressing is performed until the heat radiating member is exposed on the other surface (22) opposite to the one surface of the second layer. A method for manufacturing a substrate. 第1の層(10)と、
前記第1の層の一面(11)上に積層された樹脂よりなる第2の層(20)と、
前記第2の層に埋め込まれた状態で前記第1の層の一面上に離間して配置されることにより、層間配線として構成される複数個の導体(30)と、
前記第2の層に埋め込まれた状態で、前記複数個の導体上に設けられ、前記第2の層よりも硬く且つ熱伝導率の大きい材料よりなる放熱部材(40)と、を備え、
前記放熱部材は、前記複数個の導体毎に独立して搭載されることにより、前記複数個の導体間では当該導体上の前記放熱部材同士が離間した状態とされており、
それぞれの前記導体間では前記第2の層が前記第1の層の一面まで到達することで、当該導体間を埋めていることを特徴とする積層配線基板。
A first layer (10);
A second layer (20) made of a resin laminated on one surface (11) of the first layer;
A plurality of conductors (30) configured as interlayer wiring by being spaced apart on one surface of the first layer in a state of being embedded in the second layer;
A heat dissipating member (40) made of a material harder than the second layer and having a higher thermal conductivity provided on the plurality of conductors in a state of being embedded in the second layer,
The heat dissipating member is mounted independently for each of the plurality of conductors, and the heat dissipating members on the conductors are separated from each other between the plurality of conductors.
A laminated wiring board characterized in that the second layer reaches one surface of the first layer between the conductors to fill the space between the conductors.
前記第2の層と前記放熱部材とは、同一の熱硬化性樹脂材料よりなるものであって且つ当該熱硬化性樹脂材料に含有される電気絶縁性且つ熱伝導性を有するフィラーの含有量が異なるものであり、さらに、前記放熱部材の方が、前記フィラーの含有量が多いものであることを特徴とする請求項4に記載の積層配線基板。   The second layer and the heat radiating member are made of the same thermosetting resin material, and the content of the electrically insulating and thermally conductive filler contained in the thermosetting resin material is the same. The multilayer wiring board according to claim 4, wherein the laminated wiring board is different, and further, the heat radiating member has a higher content of the filler. 前記放熱部材が前記第2の層の一面とは反対側の他面(22)にて露出していることを特徴とする請求項4または5に記載の積層配線基板。   6. The multilayer wiring board according to claim 4, wherein the heat dissipating member is exposed on the other surface (22) opposite to the one surface of the second layer.
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