JP2014124242A - Photoacoustic microscope - Google Patents

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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photoacoustic microscope which can perform high-speed scanning and whose detection accuracy can be improved over a wide range of scan.SOLUTION: A photoacoustic microscope 10 includes an object lens 13, a photo scanning part 12, a photoacoustic wave detecting part 15, and a synthesis part 20. The object lends 13 makes a sample S to be irradiated with an excitation light L. The photo scanning part 12 deflects the excitation light L and makes it scan the sample S along at least a first scanning direction. The photoacoustic wave detecting part 15 has a plurality of detectors. The plurality of detectors are arranged along a first array direction corresponding to the first scanning direction. The detectors detect a photoacoustic wave generated from the sample S by the irradiation with the excitation light L. The synthesis part 20 synthesizes the photoacoustic waves by matching a phase of the photoacoustic wave detected by each detector.

Description

本発明は、光音響顕微鏡に関するものである。   The present invention relates to a photoacoustic microscope.

光音響波とは、物質に吸収波長域の光を照射した際に生じる熱弾性過程にて発生する弾性波の一種である。そのため、光音響波は、吸収特性をイメージングする手法として注目されている。また、光音響波は、超音波の一種で、光に比べて散乱の影響を受けにくい特徴を有していることから、生体内部のイメージング手段として適用されている。   A photoacoustic wave is a type of elastic wave generated in a thermoelastic process that occurs when a substance is irradiated with light in the absorption wavelength range. Therefore, photoacoustic waves are attracting attention as a technique for imaging absorption characteristics. In addition, photoacoustic waves are a kind of ultrasonic waves and have a characteristic that they are less susceptible to scattering than light, and thus are applied as imaging means inside a living body.

光音響波を検出信号としてイメージングに適用する光音響顕微鏡では、観察対象物の吸収波長域に合わせたパルス光を励起光として用い、該励起光を対物レンズにより集光して標本内を集光スポットにより走査し、これにより各集光スポット位置で発生する光音響波をトランスデューサ等で検出する手法が用いられている。かかる光音響顕微鏡によると、標本を集光スポットで走査した際に、集光スポット位置に吸収物質が存在すると光音響波が発生するので、その光音響波を検出することにより、標本内の吸収特性をイメージングすることができる。   In photoacoustic microscopes that apply photoacoustic waves to imaging as detection signals, pulsed light that matches the absorption wavelength region of the observation object is used as excitation light, and the excitation light is collected by the objective lens and collected in the specimen. A method is used in which scanning is performed by a spot, and thereby a photoacoustic wave generated at each focused spot position is detected by a transducer or the like. According to such a photoacoustic microscope, when a specimen is scanned with a condensing spot, a photoacoustic wave is generated if an absorbing substance is present at the condensing spot position. Therefore, by detecting the photoacoustic wave, absorption within the specimen Characteristics can be imaged.

このような光音響顕微鏡として、例えば特許文献1に開示のものが知られている。図13は、特許文献1に開示された光音響顕微鏡を示すものである。図13において、図示しないレーザパルス光源からの励起光Lは、集光レンズ101、ピンホール102、振動ミラー103、対物レンズ104、補正レンズ105、二等辺プリズム106、シリコンオイル層107、菱形プリズム108及び音響レンズ109を経て標本Sの内部に集光される。また、励起光Lの照射により標本S内の集光位置から発生する光音響波Uは、音響レンズ109により集波されて波面変換され、菱形プリズム108内で反射されて超音波トランスデューサ110で検出される。   As such a photoacoustic microscope, for example, the one disclosed in Patent Document 1 is known. FIG. 13 shows a photoacoustic microscope disclosed in Patent Document 1. In FIG. In FIG. 13, excitation light L from a laser pulse light source (not shown) includes a condensing lens 101, a pinhole 102, a vibrating mirror 103, an objective lens 104, a correction lens 105, an isosceles prism 106, a silicon oil layer 107, and a rhombus prism 108. And it is condensed inside the sample S through the acoustic lens 109. In addition, the photoacoustic wave U generated from the condensing position in the sample S by the irradiation of the excitation light L is collected by the acoustic lens 109, wavefront converted, reflected in the rhomboid prism 108, and detected by the ultrasonic transducer 110. Is done.

図13において、二等辺プリズム106及び菱形プリズム108は、シリコンオイル層107を介して結合されている。音響レンズ109は、光学レンズの光軸に相当する音軸が対物レンズ104の光軸と一致し、かつ音響レンズ109の焦点位置と対物レンズ104の焦点位置とが一致するように菱形プリズム108に接合されている。超音波トランスデューサ110は、音響レンズ109の焦点からの光音響波Uの波面が、音響レンズ109により平面波に変換されて、超音波トランスデューサ110の検出面に垂直に入射するように菱形プリズム108に接合されている。また、標本Sは、液体に浸漬される。   In FIG. 13, an isosceles prism 106 and a rhombus prism 108 are coupled via a silicon oil layer 107. The acoustic lens 109 has a rhombus prism 108 so that the sound axis corresponding to the optical axis of the optical lens coincides with the optical axis of the objective lens 104 and the focal position of the acoustic lens 109 coincides with the focal position of the objective lens 104. It is joined. The ultrasonic transducer 110 is joined to the rhomboid prism 108 so that the wavefront of the photoacoustic wave U from the focal point of the acoustic lens 109 is converted into a plane wave by the acoustic lens 109 and is perpendicularly incident on the detection surface of the ultrasonic transducer 110. Has been. The specimen S is immersed in the liquid.

特表2011−519281号公報Special table 2011-519281 gazette

図13に示した構成の光音響顕微鏡では、振動ミラー103を振動させることにより、標本Sに照射される励起光Lを偏向して、標本Sを励起光Lの集光スポットで走査する。しかしながら、振動ミラー103により励起光Lを偏向すると、音響レンズ109の焦点位置からずれて照射される集光スポットにより発生する光音響波Uは、音響レンズ109で波面変換された後、超音波トランスデューサ110の検出面に対して傾いて入射することになる。   In the photoacoustic microscope having the configuration shown in FIG. 13, the excitation mirror L irradiated to the specimen S is deflected by vibrating the oscillating mirror 103, and the specimen S is scanned with a condensing spot of the excitation light L. However, when the excitation light L is deflected by the oscillating mirror 103, the photoacoustic wave U generated by the condensed spot irradiated with a deviation from the focal position of the acoustic lens 109 is subjected to wavefront conversion by the acoustic lens 109, and then an ultrasonic transducer. Incidently with respect to the detection surface 110.

ここで、超音波トランスデューサ110は、平面波が垂直に入射する場合に検出感度がもっとも高くなるように設定される。そのため、振動ミラー103による標本Sの走査範囲を広くしようとすると、超音波トランスデューサ110に入射する光音響波Uの最大傾きが大きくなって検出精度が低下することになる。なお、標本Sからの光音響波Uが超音波トランスデューサ110に常に垂直に入射するように、振動ミラー103による走査に代えて、対物レンズ104を含む励起光Lの入射系及び音響レンズ109を含む光音響波Uの検出系と、標本Sを載置する標本ステージとを相対的に移動させることが想定される。しかし、この場合は、走査に時間がかかることになる。   Here, the ultrasonic transducer 110 is set so that the detection sensitivity is highest when a plane wave is incident vertically. Therefore, if the scanning range of the sample S by the vibrating mirror 103 is to be widened, the maximum inclination of the photoacoustic wave U incident on the ultrasonic transducer 110 is increased, and the detection accuracy is lowered. In addition, in place of scanning by the vibrating mirror 103, the excitation light L incident system including the objective lens 104 and the acoustic lens 109 are included so that the photoacoustic wave U from the sample S is always perpendicularly incident on the ultrasonic transducer 110. It is assumed that the photoacoustic wave U detection system and the sample stage on which the sample S is placed are relatively moved. In this case, however, scanning takes time.

本発明は、かかる観点に鑑みてなされたもので、高速走査が可能で、かつ広い走査範囲に亘って検出精度を向上できる光音響顕微鏡を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of such a viewpoint, and an object of the present invention is to provide a photoacoustic microscope capable of high-speed scanning and capable of improving detection accuracy over a wide scanning range.

上記目的を達成する本発明に係る光音響顕微鏡は、
励起光を標本に照射させる対物レンズと、
前記励起光を偏向して、少なくとも第1の走査方向に沿って前記標本を走査させる光走査部と、
前記励起光の照射により前記標本から発生される光音響波を検出する複数の検出器を有し、前記複数の検出器は前記第1の走査方向に対応する第1の配列方向に沿って並べられる光音響波検出部と、
各前記検出器が検出する光音響波の位相を合わせて合成する合成部とを備える
を備えることを特徴とするものである。
The photoacoustic microscope according to the present invention for achieving the above object is
An objective lens for irradiating the specimen with excitation light;
An optical scanning unit that deflects the excitation light and scans the sample along at least a first scanning direction;
A plurality of detectors for detecting photoacoustic waves generated from the sample by irradiation of the excitation light, wherein the plurality of detectors are arranged along a first arrangement direction corresponding to the first scanning direction; A photoacoustic wave detection unit,
And a synthesizing unit that synthesizes the phases of the photoacoustic waves detected by the respective detectors.

本発明によれば、高速走査が可能で、かつ広い走査範囲に亘って検出精度を向上できる光音響顕微鏡を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a photoacoustic microscope capable of performing high-speed scanning and improving detection accuracy over a wide scanning range.

第1の実施形態に係る光音響顕微鏡の要部の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the principal part of the photoacoustic microscope which concerns on 1st Embodiment. 図1の光音響波検出部の検出面における検出器の配置図である。FIG. 2 is a layout diagram of detectors on a detection surface of the photoacoustic wave detection unit in FIG. 1. 図1の合成部の内部構成を概略的に示す機能ブロック図である。It is a functional block diagram which shows roughly the internal structure of the synthetic | combination part of FIG. 合成部における位相合わせを説明するための第1の図である。It is a 1st figure for demonstrating the phase alignment in a synthetic | combination part. 合成部における位相合わせを説明するための第2の図である。It is a 2nd figure for demonstrating the phase alignment in a synthetic | combination part. 第2の実施形態に係る光音響顕微鏡の要部の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the principal part of the photoacoustic microscope which concerns on 2nd Embodiment. 図1の光音響波検出部の検出面における検出器の配置図である。FIG. 2 is a layout diagram of detectors on a detection surface of the photoacoustic wave detection unit in FIG. 1. 図6の駆動部の動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the drive part of FIG. 光音響波を平面波として検出するときの合成部における位相合わせを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the phase alignment in a synthetic | combination part when detecting a photoacoustic wave as a plane wave. 第2の実施形態に係る光音響顕微鏡の第1の変形例の要部の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the principal part of the 1st modification of the photoacoustic microscope which concerns on 2nd Embodiment. 第2の実施形態に係る光音響顕微鏡の第2の変形例の要部の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the principal part of the 2nd modification of the photoacoustic microscope which concerns on 2nd Embodiment. 第2の実施形態に係る光音響顕微鏡の第3の変形例における光音響波検出部の検出面の形状を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the shape of the detection surface of the photoacoustic wave detection part in the 3rd modification of the photoacoustic microscope which concerns on 2nd Embodiment. 従来の光音響顕微鏡の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the conventional photoacoustic microscope.

以下、本発明のある態様に係る実施の形態について、図を参照して説明する。   Hereinafter, an embodiment according to an aspect of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る光音響顕微鏡の要部の構成を示す模式図である。光音響顕微鏡10は、パルス光源11から射出される励起光Lを、光走査部12により偏向して、対物レンズ13により光音響波反射部14を経て標本S内に集光スポットとして照射させる。また、標本Sから発生する光音響波Uは、光音響波反射部14により励起光Lの光路とは異なる方向に反射されて光音響波検出部15により検出される。
(First embodiment)
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a main part of the photoacoustic microscope according to the first embodiment. The photoacoustic microscope 10 deflects the excitation light L emitted from the pulse light source 11 by the optical scanning unit 12 and irradiates the sample S as a condensed spot through the photoacoustic wave reflection unit 14 by the objective lens 13. The photoacoustic wave U generated from the sample S is reflected by the photoacoustic wave reflection unit 14 in a direction different from the optical path of the excitation light L and detected by the photoacoustic wave detection unit 15.

パルス光源11は、例えば、標本Sが生体で、生体内の血管をイメージングする場合、ヘモグロビンの吸収波長の励起光Lを射出する。なお、観察対象は血管に限定するものではなく、メラニン等の内因性物質のイメージングに適用することが可能である。この際、励起光Lは対象となる物質の吸収波長域の光を用いればよい。また、蛍光体や金属ナノ粒子等の外因性物質のイメージングに適用することも可能である。この際、励起光Lは、蛍光体の場合には対象となる蛍光体の吸収波長域の光を、金属ナノ粒子の場合には対象となる金属ナノ粒子の共鳴波長域の光をそれぞれ用いればよい。また、標本S内に複数の吸収体が存在する場合には、観察対象物の特徴的な吸収スペクトルのピークの波長の光を用いるのが望ましい。パルス光源11は、制御部21によりパルス光の発光タイミングが制御される。   For example, when the specimen S is a living body and the blood vessel in the living body is imaged, the pulsed light source 11 emits excitation light L having an absorption wavelength of hemoglobin. Note that the observation target is not limited to blood vessels, and can be applied to imaging of endogenous substances such as melanin. At this time, the excitation light L may be light in the absorption wavelength region of the target substance. It can also be applied to imaging of exogenous substances such as phosphors and metal nanoparticles. In this case, as the excitation light L, light in the absorption wavelength region of the target phosphor in the case of a phosphor is used, and light in the resonance wavelength region of the target metal nanoparticle in the case of a metal nanoparticle. Good. When there are a plurality of absorbers in the sample S, it is desirable to use light having a peak wavelength of the characteristic absorption spectrum of the observation object. In the pulse light source 11, the light emission timing of the pulsed light is controlled by the control unit 21.

光走査部12は、例えば、2個のガルバノミラーを有し、標本S内を励起光Lの集光スポットにより第1の走査方向および第2の走査方向に沿って二次元走査するように、制御部21によりパルス光源11の発光タイミングに同期して駆動制御される。   The optical scanning unit 12 includes, for example, two galvanometer mirrors, and performs two-dimensional scanning in the sample S along the first scanning direction and the second scanning direction by the condensed spot of the excitation light L. Drive control is performed in synchronization with the light emission timing of the pulse light source 11 by the control unit 21.

対物レンズ13は、焦点距離の異なるものが適宜選択されて装着される。   The objective lens 13 having a different focal length is appropriately selected and mounted.

光音響波反射部14は、2個の直角三角プリズム14a、14bを有し、それらの斜面同士が光音響波反射部材14cにより結合されて構成される。光音響波反射部材14cは、励起光Lに対しては透明で、標本S側の直角三角プリズム14bに対しては、音響インピーダンスが異なる部材、例えばシリコンオイル、あるいは空気からなる。直角三角プリズム14bの音響インピーダンスと、光音響波反射部材14cの音響インピーダンスと、の差が所定の関係を満たすので、光音響波Uは、光音響波反射部材14cによって反射される。   The photoacoustic wave reflection unit 14 includes two right triangular prisms 14a and 14b, and their slopes are coupled by a photoacoustic wave reflection member 14c. The photoacoustic wave reflecting member 14c is transparent to the excitation light L, and is made of a member having different acoustic impedance, such as silicon oil or air, for the right triangular prism 14b on the sample S side. Since the difference between the acoustic impedance of the right triangular prism 14b and the acoustic impedance of the photoacoustic wave reflection member 14c satisfies a predetermined relationship, the photoacoustic wave U is reflected by the photoacoustic wave reflection member 14c.

対物レンズ13および光音響波反射部14を透過した励起光Lは、対物レンズ13の焦点位置に集光する。標本Sは励起光Lの集光スポットと重なるように配置される。標本Sの励起光Lの集光スポット位置から発生する光音響波Uは、直角三角プリズム14bに入射される。そして、光音響波Uは、直角三角プリズム14bと光音響波反射部材14cとの境界面で、励起光Lの光路と異なる方向に反射されて直角三角プリズム14bから光音響波検出部15に射出される。なお、少なくとも対物レンズ13と標本Sとの間、及び直角三角プリズム14bと光音響波検出部15との間には、光音響波Uが伝播し易い水等の光音響波伝達媒質が充填されるのが好ましい。   The excitation light L that has passed through the objective lens 13 and the photoacoustic wave reflection unit 14 is collected at the focal position of the objective lens 13. The specimen S is arranged so as to overlap with the condensing spot of the excitation light L. The photoacoustic wave U generated from the condensing spot position of the excitation light L of the sample S is incident on the right triangular prism 14b. The photoacoustic wave U is reflected at a boundary surface between the right triangular prism 14b and the photoacoustic wave reflecting member 14c in a direction different from the optical path of the excitation light L, and is emitted from the right triangular prism 14b to the photoacoustic wave detecting unit 15. Is done. Note that at least the space between the objective lens 13 and the sample S and between the right triangular prism 14b and the photoacoustic wave detector 15 is filled with a photoacoustic wave transmission medium such as water through which the photoacoustic wave U easily propagates. It is preferable.

光音響波検出部15は、例えば、超音波トランスデューサからなる複数の検出器16を有する。図2に示すように、検出器16は、第1の走査方向に対応する第1の配列方向、および第2の走査方向に対応する第2の配列方向に沿って2次元状に並ぶように配置される。各検出器16は直角三角プリズム14bから射出される光音響波Uを検出する。   The photoacoustic wave detection unit 15 includes a plurality of detectors 16 including, for example, ultrasonic transducers. As shown in FIG. 2, the detectors 16 are arranged two-dimensionally along a first arrangement direction corresponding to the first scanning direction and a second arrangement direction corresponding to the second scanning direction. Be placed. Each detector 16 detects the photoacoustic wave U emitted from the right triangular prism 14b.

合成部20は、図3に示すように、遅延器20a、積算器20b、およびピーク検出器20cを含んで構成される。遅延器20aは、第1の配列方向および第2の配列方向に沿って並ぶ各検出器16が検出した光音響波Uの位相が合うように、各位相を遅延させる。なお、光音響波Uの位相合わせは、遅延器20aを用いて各位相を遅延させる構成でなく、相対的に遅い位相を早める構成によっても実行可能である。積算器20bは、全遅延器20aから出力される光音響波Uを積算、すなわち合成する。ピーク検出器20cは、積算器20bが合成した光音響波Uのピーク値を出力信号として検出して、出力する。   As shown in FIG. 3, the synthesizer 20 includes a delay device 20a, an integrator 20b, and a peak detector 20c. The delay device 20a delays each phase so that the phases of the photoacoustic waves U detected by the detectors 16 arranged along the first arrangement direction and the second arrangement direction match. Note that the phase matching of the photoacoustic wave U can be performed not only by a configuration in which each phase is delayed using the delay device 20a but also by a configuration in which a relatively slow phase is advanced. The accumulator 20b integrates, that is, synthesizes the photoacoustic waves U output from the total delay device 20a. The peak detector 20c detects and outputs the peak value of the photoacoustic wave U synthesized by the integrator 20b as an output signal.

制御部21は、光音響顕微鏡10の全体の動作を制御する。制御部21には、記憶部22が接続される。記憶部22には、各検出器16が検出する光音響波Uの位相を合わせるように、励起光Lの集光スポットの位置に対応付けた各遅延器20aにおける遅延量がデータベース化されて記憶される。集光スポットの位置に対応付けた遅延量の関係は、当該光音響顕微鏡に装着可能な対物レンズの焦点距離別に、予め算出され、記憶される。制御部21は、装着された対物レンズ13の焦点距離に対応する、集光スポットの位置に対応付けた遅延量の関係を記憶部22から読み出して、合成部20を光走査部12による励起光Lの走査に同期して制御する。また、記憶部22には、必要に応じて制御部21による動作プログラム等が記憶される。なお、記憶部22は、制御部21の内蔵メモリであってもよい。   The control unit 21 controls the overall operation of the photoacoustic microscope 10. A storage unit 22 is connected to the control unit 21. In the storage unit 22, the amount of delay in each delay unit 20 a associated with the position of the condensed spot of the excitation light L is stored in a database so that the phase of the photoacoustic wave U detected by each detector 16 is matched. Is done. The relationship of the delay amount associated with the position of the focused spot is calculated and stored in advance for each focal length of the objective lens that can be attached to the photoacoustic microscope. The control unit 21 reads the relationship of the delay amount corresponding to the position of the focused spot corresponding to the focal length of the mounted objective lens 13 from the storage unit 22, and the combining unit 20 is excited by the optical scanning unit 12. Control is performed in synchronization with L scanning. The storage unit 22 stores an operation program or the like by the control unit 21 as necessary. Note that the storage unit 22 may be a built-in memory of the control unit 21.

また、制御部21には、信号処理部23が接続される。信号処理部23は、制御部21による光走査部12の駆動に同期して、すなわち標本Sを対物レンズ13の光軸Oと直交する平面内で二次元走査する際の励起光Lの照射タイミングに同期して、合成部20から得られる出力信号に基づいて、励起光Lの照射位置と出力信号の対応関係をデータ化する。例えば、励起光Lの照射位置および取得した信号強度を対応付けてもよいし、励起光Lの照射位置および取得した出力波形を対応付けてもよい。また、標本Sの走査面のデータを画像化する場合には、信号処理部23にて画像化され、図示しないが、例えば画像記憶部に記憶されてモニタに表示される。なお、信号処理部23は、制御部21に内蔵されてもよい。   A signal processing unit 23 is connected to the control unit 21. The signal processing unit 23 is synchronized with the driving of the optical scanning unit 12 by the control unit 21, that is, the irradiation timing of the excitation light L when the sample S is two-dimensionally scanned in a plane orthogonal to the optical axis O of the objective lens 13. The correspondence relationship between the irradiation position of the excitation light L and the output signal is converted into data based on the output signal obtained from the synthesizing unit 20 in synchronization with the above. For example, the irradiation position of the excitation light L may be associated with the acquired signal intensity, or the irradiation position of the excitation light L may be associated with the acquired output waveform. Further, when the data of the scanning surface of the specimen S is imaged, it is imaged by the signal processing unit 23 and is stored in the image storage unit and displayed on the monitor, for example, although not shown. The signal processing unit 23 may be incorporated in the control unit 21.

第1の実施形態に係る光音響顕微鏡によれば、標本Sからの光音響波Uを各検出器16が検出し、検出器16毎に異なる位相が合わせられ、合成される。   According to the photoacoustic microscope according to the first embodiment, each detector 16 detects the photoacoustic wave U from the specimen S, and a different phase is adjusted for each detector 16 and synthesized.

例えば、励起光Lの集光スポットが光軸O上に形成される光走査部12の駆動位置では、図4に示すように、曲線状の波面を有する光音響波Uが検出面15aに垂直な方向から検出器16に入射する。このような波面の光音響波Uの場合、検出器16が検出する光音響波Uの位相は中央付近を頂点として端部にいくほど、遅延している(符号“A1”参照)。それゆえ、中央によるほど大きな遅延量で位相を遅延させることにより、全遅延器20aから出力される光音響波Uの位相が合わせられる(符号“B1”参照)。位相を合わせた光音響波Uを積算させることにより、ピークの大きな出力信号が生成される(符号“C1”参照)。   For example, at the drive position of the optical scanning unit 12 where the condensing spot of the excitation light L is formed on the optical axis O, as shown in FIG. 4, the photoacoustic wave U having a curved wavefront is perpendicular to the detection surface 15a. The light enters the detector 16 from any direction. In the case of the photoacoustic wave U having such a wavefront, the phase of the photoacoustic wave U detected by the detector 16 is delayed toward the end with the center near the apex (see reference sign “A1”). Therefore, the phase of the photoacoustic wave U output from all the delay devices 20a is matched by delaying the phase by a larger delay amount toward the center (see reference numeral “B1”). By integrating the photoacoustic waves U in phase with each other, an output signal having a large peak is generated (see reference sign “C1”).

また、励起光Lの集光スポットが対物レンズ13の光軸Oから離間して形成される、光走査部12の駆動位置では、図5に示すように、曲線状の波面を有する光音響波Uが検出面15aに垂直な方向に対して傾斜した方向から検出器16に入射する。このような波面の光音響波の場合、検出器16が検出する光音響波Uの位相は中央から一方の端部にずれた位置(図5において下側)を頂点として端部にいくほど、遅延している(符号“A2”参照)。それゆえ、頂点位置によるほど大きな遅延量で位相を遅延させることにより、全遅延器20aから出力される光音響波Uの位相が合わせられる(符号“B2”参照)。位相を合わせた光音響波Uを積算させることにより、ピークの大きな出力信号が生成される(符号“C2”参照)。   Further, at the drive position of the optical scanning unit 12 where the condensing spot of the excitation light L is formed apart from the optical axis O of the objective lens 13, as shown in FIG. 5, a photoacoustic wave having a curved wavefront. U enters the detector 16 from a direction inclined with respect to the direction perpendicular to the detection surface 15a. In the case of a photoacoustic wave having such a wavefront, the phase of the photoacoustic wave U detected by the detector 16 shifts from the center to one end (lower side in FIG. 5) as the vertex, There is a delay (see symbol “A2”). Therefore, the phase of the photoacoustic wave U output from all the delay devices 20a is matched by delaying the phase by a larger delay amount depending on the vertex position (see reference sign “B2”). By integrating the photoacoustic waves U in phase with each other, an output signal having a large peak is generated (see reference sign “C2”).

したがって、第1の実施形態に係る光音響顕微鏡によれば、標本Sの広い走査範囲に亘って、標本Sからの光音響波Uの検出精度を向上することができる。また、光走査部12により励起光Lを偏向して標本Sを走査するので、高速走査が可能となる。また、装着可能な対物レンズの焦点距離に対応する集光スポットおよび遅延量の関係を記憶部22に記憶するようにしたので、種々の焦点距離の対物レンズの使用に容易に対処することが可能となる。また、音響レンズを用いることなく信号強度の大きな出力信号を生成させることが可能である。   Therefore, according to the photoacoustic microscope according to the first embodiment, it is possible to improve the detection accuracy of the photoacoustic wave U from the sample S over a wide scanning range of the sample S. Further, since the sample S is scanned by deflecting the excitation light L by the optical scanning unit 12, high-speed scanning is possible. In addition, since the relationship between the focal spot and the delay amount corresponding to the focal length of the mountable objective lens is stored in the storage unit 22, it is possible to easily cope with the use of objective lenses having various focal lengths. It becomes. Further, it is possible to generate an output signal having a large signal intensity without using an acoustic lens.

(第2実施の形態)
次に、第2の実施形態を説明する。第2の実施形態では、音響レンズおよび駆動部が設けられる点、光音響波検出部の構成および機能、ならびに制御部の機能が第1の実施形態と異なっている。以下に、第1の実施形態と異なる点を中心に第2の実施形態について説明する。なお、第1の実施形態と同じ構成を有する部位には同じ符号を付す。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment will be described. The second embodiment is different from the first embodiment in that an acoustic lens and a drive unit are provided, the configuration and function of the photoacoustic wave detection unit, and the function of the control unit. The second embodiment will be described below with a focus on differences from the first embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the site | part which has the same structure as 1st Embodiment.

図6に示すように、本実施形態の光音響顕微鏡100は、第1の実施形態における光音響顕微鏡10において、さらに音響レンズ170および駆動部180を含んで構成される。   As shown in FIG. 6, the photoacoustic microscope 100 of the present embodiment is configured to further include an acoustic lens 170 and a driving unit 180 in the photoacoustic microscope 10 of the first embodiment.

音響レンズ170は光学レンズの光軸に相当する音軸Aが、対物レンズ13の光軸Oと同軸となるように、直角三角プリズム14bの励起光Lの射出面に接合して配置される。音響レンズ170の焦点位置は、対物レンズ13の焦点位置と略一致している。これにより、標本Sの励起光Lの集光スポット位置から発生する光音響波Uは、音響レンズ170により平面波に変換されて直角三角プリズム14bに入射される。   The acoustic lens 170 is disposed so as to be joined to the exit surface of the excitation light L of the right triangular prism 14b so that the sound axis A corresponding to the optical axis of the optical lens is coaxial with the optical axis O of the objective lens 13. The focal position of the acoustic lens 170 substantially coincides with the focal position of the objective lens 13. Thereby, the photoacoustic wave U generated from the condensing spot position of the excitation light L of the sample S is converted into a plane wave by the acoustic lens 170 and is incident on the right triangular prism 14b.

光音響波検出部150は、音響レンズ170の音軸Aと検出面150aが直交するように、直角三角プリズム14bの光音響波Uの射出面に接合して配置される。光音響波検出部150において、第1の実施形態と異なり、図7に示すように、第1の配列方向に沿ってのみ並ぶように検出器160が配置される。   The photoacoustic wave detection unit 150 is arranged to be joined to the emission surface of the photoacoustic wave U of the right triangular prism 14b so that the sound axis A of the acoustic lens 170 and the detection surface 150a are orthogonal to each other. In the photoacoustic wave detection unit 150, unlike the first embodiment, as shown in FIG. 7, detectors 160 are arranged so as to be arranged only along the first arrangement direction.

駆動部180は、例えば、ピエゾアクチュエータ又はステッピングモータを備える。駆動部180は、光音響波反射部14、光音響波検出部150、および音響レンズ170を一体に、制御部210からの取得する制御量に基づいて、第2の走査方向に沿って変位させる。   The drive unit 180 includes, for example, a piezo actuator or a stepping motor. The drive unit 180 integrally displaces the photoacoustic wave reflection unit 14, the photoacoustic wave detection unit 150, and the acoustic lens 170 along the second scanning direction based on a control amount acquired from the control unit 210. .

制御部210は、光音響顕微鏡100の全体の動作を制御する。制御部210には、記憶部22が接続される。記憶部22には、光音響顕微鏡100に装着可能な対物レンズの焦点距離に対応して、光走査部12による励起光Lの走査に同期した駆動部180の制御量、つまり光音響波反射部14、光音響波検出部150、および音響レンズ170の変位量がデータベース化されて記憶される。そして、制御部210は、装着された対物レンズ13の焦点距離に対応する制御量(変位量)を記憶部22から読み出して、駆動部180を光走査部12による励起光Lの走査に同期して制御する。   The control unit 210 controls the overall operation of the photoacoustic microscope 100. The storage unit 22 is connected to the control unit 210. In the storage unit 22, the control amount of the driving unit 180 synchronized with the scanning of the excitation light L by the optical scanning unit 12, that is, the photoacoustic wave reflection unit, corresponding to the focal length of the objective lens that can be attached to the photoacoustic microscope 100. 14, the displacement amounts of the photoacoustic wave detection unit 150 and the acoustic lens 170 are stored in a database. Then, the control unit 210 reads a control amount (displacement amount) corresponding to the focal length of the mounted objective lens 13 from the storage unit 22, and synchronizes the driving unit 180 with the scanning of the excitation light L by the optical scanning unit 12. Control.

第2の実施形態に係る光音響顕微鏡によれば、第1の実施形態と同様に、標本Sからの光音響波Uを各検出器160が検出し、第1の配列方向に沿って並ぶ検出器160毎に異なる位相が合わせられ、合成される。なお、第2の実施形態においては、音響レンズ170が設けられるので、光音響波Uは平面波として光音響波検出部150に入射するが、平面波に対しても、第1の実施形態と同様に、光音響波の位相合わせが行なわれる。   According to the photoacoustic microscope according to the second embodiment, as in the first embodiment, each detector 160 detects the photoacoustic wave U from the sample S, and the detection is arranged along the first arrangement direction. Different phases are adjusted for each unit 160 and synthesized. In the second embodiment, since the acoustic lens 170 is provided, the photoacoustic wave U is incident on the photoacoustic wave detection unit 150 as a plane wave, but the plane wave is also the same as in the first embodiment. The phase of the photoacoustic wave is adjusted.

また、第2の実施形態に係る光音響顕微鏡によれば、光走査部12による励起光Lの走査に同期して、標本Sからの光音響波Uの第1の走査方向から見た平面波が、光音響波検出部150の検出面150aに垂直に入射するように、光音響波反射部14、光音響波検出部150、および音響レンズ170が、駆動部180により第2の走査方向に沿って一体に移動される。すなわち、励起光Lの集光スポットが対物レンズ13の光軸O上に形成される光走査部12の駆動位置では、音響レンズ170の焦点位置が、図8(a)に示すように、励起光Lの集光スポット位置に一致するように制御される。また、励起光Lの集光スポットが対物レンズ13の光軸Oから離間して形成される光走査部12の駆動位置では、音響レンズ170の焦点位置が、図8(b)に示すように、光軸Oから離間した励起光Lの集光スポット位置に一致するように制御される。つまり、第2の実施形態においては、光走査部12による励起光Lの走査に同期して、音響レンズ170の焦点位置が、励起光Lの集光スポット位置に一致するように、音響レンズ170が光音響波反射部14および光音響波検出部150と一体に駆動部180により第2の走査方向に移動される。   In addition, according to the photoacoustic microscope according to the second embodiment, the plane wave viewed from the first scanning direction of the photoacoustic wave U from the sample S is synchronized with the scanning of the excitation light L by the optical scanning unit 12. The photoacoustic wave reflection unit 14, the photoacoustic wave detection unit 150, and the acoustic lens 170 are moved along the second scanning direction by the driving unit 180 so as to be perpendicularly incident on the detection surface 150 a of the photoacoustic wave detection unit 150. Moved together. That is, at the driving position of the optical scanning unit 12 where the condensing spot of the excitation light L is formed on the optical axis O of the objective lens 13, the focal position of the acoustic lens 170 is excited as shown in FIG. It is controlled so as to coincide with the condensing spot position of the light L. Further, at the driving position of the optical scanning unit 12 where the condensing spot of the excitation light L is formed away from the optical axis O of the objective lens 13, the focal position of the acoustic lens 170 is as shown in FIG. Control is performed so as to coincide with the condensing spot position of the excitation light L separated from the optical axis O. That is, in the second embodiment, the acoustic lens 170 is synchronized with the scanning position of the excitation light L by the optical scanning unit 12 so that the focal position of the acoustic lens 170 coincides with the condensed spot position of the excitation light L. Are moved in the second scanning direction by the drive unit 180 together with the photoacoustic wave reflection unit 14 and the photoacoustic wave detection unit 150.

したがって、本実施の形態に係る光音響顕微鏡においても、第1の実施形態に係る光音響顕微鏡と同様の効果が得られる。   Therefore, also in the photoacoustic microscope according to the present embodiment, the same effect as the photoacoustic microscope according to the first embodiment can be obtained.

本発明を諸図面や実施形態に基づき説明してきたが、当業者であれば本開示に基づき種々の変形や修正を行うことが容易であることに注意されたい。従って、これらの変形や修正は本発明の範囲に含まれることに留意されたい。   Although the present invention has been described based on the drawings and embodiments, it should be noted that those skilled in the art can easily make various changes and modifications based on the present disclosure. Therefore, it should be noted that these variations and modifications are included in the scope of the present invention.

例えば、第1の実施形態において、第2の実施形態と同様に、音響レンズ170を設けてもよい。音響レンズ170を設けることにより、曲面状の光音響波Uを平面波に変換させて検出器16に検出させることが可能である。平面波に変換することにより、図9に示すように、遅延量が線形化し、低減化するので、光音響波検出部15の検出精度を向上させることが可能である。   For example, in the first embodiment, the acoustic lens 170 may be provided as in the second embodiment. By providing the acoustic lens 170, the curved photoacoustic wave U can be converted into a plane wave and detected by the detector 16. By converting to a plane wave, as shown in FIG. 9, the delay amount is linearized and reduced, so that the detection accuracy of the photoacoustic wave detection unit 15 can be improved.

また、第2の実施形態において、標本Sからの光音響波Uの第1の走査方向から見た平面波を光音響波検出部150の検出面150aに垂直に入射させる構成は、駆動部180による、光音響波反射部14、光音響波検出部150、および音響レンズ170の変位に限定されない。   In the second embodiment, the configuration in which the plane wave viewed from the first scanning direction of the photoacoustic wave U from the sample S is incident on the detection surface 150a of the photoacoustic wave detection unit 150 perpendicularly is based on the driving unit 180. The displacement of the photoacoustic wave reflection unit 14, the photoacoustic wave detection unit 150, and the acoustic lens 170 is not limited.

例えば、図10に示すように、駆動部181が光音響波検出部150を駆動して、光走査部12による励起光Lの走査に同期して、光音響波検出部150に光音響波Uが垂直に入射するように、制御部21からの制御量に基づいて音響レンズ170の音軸Aに対する光音響波検出部150の検出面150aの傾きを制御してもよい。   For example, as illustrated in FIG. 10, the driving unit 181 drives the photoacoustic wave detection unit 150, and the photoacoustic wave U is sent to the photoacoustic wave detection unit 150 in synchronization with the scanning of the excitation light L by the optical scanning unit 12. May be controlled based on the control amount from the control unit 21 so that the inclination of the detection surface 150a of the photoacoustic wave detection unit 150 with respect to the sound axis A of the acoustic lens 170 is controlled.

または、図11に示すように、音響レンズ170を、直角三角プリズム14bの光音響波Uの射出面に変位可能に接合し、該射出面内でつまり音軸Aと直交する平面内で、駆動部182により制御部21からの制御量に基づいて、移動させてもよい。   Alternatively, as shown in FIG. 11, the acoustic lens 170 is movably joined to the exit surface of the photoacoustic wave U of the right triangular prism 14b, and is driven in the exit surface, that is, in a plane orthogonal to the sound axis A. The movement may be performed by the unit 182 based on the control amount from the control unit 21.

また、第2の実施形態において、光走査部が、例えば1個のガルバノミラーを有し、該ガルバノミラーにより第1の走査方向に沿った集光スポットの主走査を行い、副走査は標本Sが載置される標本ステージを移動させて行うように構成されてもよい。この場合、駆動部は、副走査方向に対応する変位制御を省略することができる。なお、このような構成においては、音響レンズ170を省いてもよい。ただし、音響レンズ170を省くときには、第2の配列方向において曲面状の光音響波Uを高精度で検出するべく、検出器160は第1の配列方向から見て曲線上に沿って配置され、検出器160が配置される面が曲面となることが好ましい(図12参照)。   In the second embodiment, the optical scanning unit includes, for example, one galvanometer mirror, and the main scanning of the condensed spot along the first scanning direction is performed by the galvanometer mirror. May be configured to be performed by moving the sample stage on which is mounted. In this case, the drive unit can omit the displacement control corresponding to the sub-scanning direction. In such a configuration, the acoustic lens 170 may be omitted. However, when the acoustic lens 170 is omitted, in order to detect the curved photoacoustic wave U with high accuracy in the second arrangement direction, the detector 160 is arranged along the curve as viewed from the first arrangement direction, The surface on which the detector 160 is disposed is preferably a curved surface (see FIG. 12).

また、第2の実施形態において、光音響波検出部150を同様に光音響波反射部14から離間して配置して、光音響波反射部14および音響レンズ170を駆動部180により一体に移動させる構成であってもよい。   In the second embodiment, the photoacoustic wave detection unit 150 is similarly disposed away from the photoacoustic wave reflection unit 14, and the photoacoustic wave reflection unit 14 and the acoustic lens 170 are moved together by the driving unit 180. The structure to be made may be sufficient.

また、第1の実施形態及び第2の実施形態において、集光スポットの位置および遅延量の関係ならびに駆動部180の制御量は、必ずしも記憶部22にデータベース化して記憶する必要はなく、ハード的又はソフト的な関数発生回路等の出力に基づいて合成部20および駆動部180を制御することも可能である。したがって、本発明において、記憶部は必ずしも必須の構成ではない。   In the first and second embodiments, the relationship between the position of the focused spot and the delay amount and the control amount of the drive unit 180 are not necessarily stored in the storage unit 22 as a database. Alternatively, the synthesizing unit 20 and the driving unit 180 can be controlled based on the output of a software function generation circuit or the like. Therefore, in the present invention, the storage unit is not necessarily an essential configuration.

10、100 光音響顕微鏡
11 パルス光源
12 光走査部
13 対物レンズ
14 光音響波反射部
14a、14b 直角三角プリズム
14c 光音響波反射部材
15、150 光音響波検出部
15a、150a 検出面
16、160 検出器
170 音響レンズ
180、181,182 駆動部
20 合成部
20a 遅延器
20b 積算器
20c ピーク検出器
21、210 制御部
22 記憶部
23 信号処理部
A 音軸
L 励起光
O 光軸
U 光音響波
S 標本
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10,100 Photoacoustic microscope 11 Pulse light source 12 Optical scanning part 13 Objective lens 14 Photoacoustic wave reflection part 14a, 14b Right-angled triangular prism 14c Photoacoustic wave reflection member 15,150 Photoacoustic wave detection part 15a, 150a Detection surface 16,160 Detector 170 Acoustic lens 180, 181, 182 Drive unit 20 Combining unit 20a Delay unit 20b Accumulator 20c Peak detector 21, 210 Control unit 22 Storage unit 23 Signal processing unit A Sound axis L Excitation light O Optical axis U Photoacoustic wave S specimen

Claims (6)

励起光を標本に照射させる対物レンズと、
前記励起光を偏向して、少なくとも第1の走査方向に沿って前記標本を走査させる光走査部と、
前記励起光の照射により前記標本から発生される光音響波を検出する複数の検出器を有し、前記複数の検出器は前記第1の走査方向に対応する第1の配列方向に沿って並べられる光音響波検出部と、
各前記検出器が検出する光音響波の位相を合わせて合成する合成部とを備える
ことを特徴とする光音響顕微鏡。
An objective lens for irradiating the specimen with excitation light;
An optical scanning unit that deflects the excitation light and scans the sample along at least a first scanning direction;
A plurality of detectors for detecting photoacoustic waves generated from the sample by irradiation of the excitation light, wherein the plurality of detectors are arranged along a first arrangement direction corresponding to the first scanning direction; A photoacoustic wave detection unit,
A photoacoustic microscope comprising: a synthesizing unit that synthesizes the phase of photoacoustic waves detected by each of the detectors.
請求項1に記載の光音響顕微鏡であって、前記光音響波検出部における前記検出器が配置される面は、曲面を有することを特徴とする光音響顕微鏡。   The photoacoustic microscope according to claim 1, wherein a surface of the photoacoustic wave detection unit on which the detector is disposed has a curved surface. 請求項1または請求項2に記載の光音響顕微鏡であって、
前記対物レンズは、焦点距離の異なるものが装着可能であり、
前記合成部は、前記焦点距離に基づいて前記光音響波の位相を合わせる
ことを特徴とする光音響顕微鏡。
The photoacoustic microscope according to claim 1 or 2,
The objective lens can be mounted with different focal lengths,
The synthesizing unit adjusts the phase of the photoacoustic wave based on the focal length.
請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の光音響顕微鏡であって、
前記励起光の照射により前記標本から発生される光音響波の波面を変換する音響レンズを、さらに備え、
前記検出器は、前記音響レンズにより波面を変換された光音響波を検出する
ことを特徴とする光音響顕微鏡。
The photoacoustic microscope according to any one of claims 1 to 3,
An acoustic lens that converts a wavefront of a photoacoustic wave generated from the sample by irradiation of the excitation light, further comprising:
The detector detects a photoacoustic wave whose wavefront has been converted by the acoustic lens.
請求項4に記載の光音響顕微鏡であって、
前記音響レンズ及び前記光音響波検出部の少なくとも一方を変位させる駆動部と、
前記第1の走査方向と異なる第2の走査方向にも前記励起光を偏向する前記光走査部による前記励起光の前記第2の走査方向に沿った走査に同期して、前記光音響波検出部に前記光音響波が垂直に入射するように前記駆動部を制御する制御部とを、さらに備える
ことを特徴とする光音響顕微鏡。
The photoacoustic microscope according to claim 4,
A drive unit that displaces at least one of the acoustic lens and the photoacoustic wave detection unit;
The photoacoustic wave detection is performed in synchronization with scanning of the excitation light along the second scanning direction by the optical scanning unit that deflects the excitation light in a second scanning direction different from the first scanning direction. The photoacoustic microscope further comprising: a control unit that controls the driving unit so that the photoacoustic wave is vertically incident on the unit.
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の光音響顕微鏡であって、
前記光走査部は、前記第1の走査方向と異なる第2の走査方向にも走査するように、前記励起光を偏向し、
前記光音響波検出部には、複数の前記検出器が前記第2の走査方向に対応する第2の配列方向に沿って並べられる
ことを特徴とする光音響顕微鏡。
The photoacoustic microscope according to any one of claims 1 to 4,
The optical scanning unit deflects the excitation light so as to scan in a second scanning direction different from the first scanning direction;
A plurality of the detectors are arranged in the photoacoustic wave detection unit along a second arrangement direction corresponding to the second scanning direction.
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