JP2014117854A - Method for manufacturing mold for producing antiglare film and method for producing antiglare film - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a mold for producing an antiglare film, the mold having a fine rugged pattern on a surface thereof with high accuracy, for obtaining an antiglare film having good antiglare property, developing a good contrast, and suppressing generation of white blur or glare as well as generation of unevenness.SOLUTION: A method for manufacturing a mold for producing an antiglare film includes: a polishing step of polishing a surface of a mold base material; a first rugged surface forming step of forming a first rugged surface comprising flat portions and recessed portions on the polished surface; and a plating step of subjecting the first rugged surface to chromium or nickel plating to form a second rugged surface. An area percentage A (%) of the flat portions occupying the first rugged surface, an average depth B (μm) of the recessed portions, an average linear distance C (μm) between centers of the recessed portions, and a plating thickness D (μm) in the plating step satisfy specified conditions.

Description

本発明は、低ヘイズでありながら防眩特性に優れた防眩(アンチグレア)フィルムを製造するための金型の製造方法および防眩フィルムの製造方法に関する。   The present invention relates to a mold manufacturing method and an antiglare film manufacturing method for manufacturing an antiglare (antiglare) film having low anti-glare properties while having low haze.

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイパネル、ブラウン管(陰極線管:CRT)ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイなどの画像表示装置は、その表示面に外光が映り込むと視認性が著しく損なわれてしまう。このような外光の映り込みを防止するために、画質を重視するテレビやパーソナルコンピュータ、外光の強い屋外で使用されるビデオカメラやデジタルカメラ、反射光を利用して表示を行う携帯電話などにおいては、従来から画像表示装置の表面に外光の映り込みを防止するフィルム層が設けられている。このフィルム層は、光学多層膜による干渉を利用した無反射処理が施されたフィルムからなるものと、表面に微細な凹凸を形成することにより入射光を散乱させて映り込み像をぼかす防眩処理が施されたフィルムからなるものとに大別される。このうち、前者の無反射フィルムは、均一な光学膜厚の多層膜を形成する必要があるため、コスト高になる。これに対して後者の防眩フィルムは、比較的安価に製造することができるため、大型のパーソナルコンピュータやモニタなどの用途に広く用いられている。   In an image display device such as a liquid crystal display, a plasma display panel, a cathode ray tube (CRT) display, an organic electroluminescence (EL) display, and the like, when external light is reflected on the display surface, visibility is significantly impaired. In order to prevent such reflection of external light, TVs and personal computers that emphasize image quality, video cameras and digital cameras used outdoors with strong external light, mobile phones that display using reflected light, etc. In the conventional art, a film layer for preventing external light from being reflected is provided on the surface of the image display device. This film layer consists of a film that has been subjected to anti-reflection treatment using interference by the optical multilayer film, and anti-glare treatment that scatters incident light by blurring the incident light by forming fine irregularities on the surface. It is divided roughly into the thing which consists of the film which was given. Among these, the former non-reflective film needs to form a multilayer film having a uniform optical film thickness, and thus increases the cost. On the other hand, since the latter anti-glare film can be produced at a relatively low cost, it is widely used in applications such as large personal computers and monitors.

このような防眩フィルムは従来から、たとえば微粒子を分散させた樹脂溶液を基材シート上に塗布し、塗布膜厚を調整して微粒子を塗布膜表面に露出させることでランダムな凹凸をシート上に形成する方法などによって製造されている。しかしながら、このような微粒子を分散させることにより製造された防眩フィルムは、樹脂溶液中の微粒子の分散状態や塗布状態などによって凹凸の配置や形状が左右されてしまうため、意図したとおりの凹凸を得ることが困難であり、ヘイズが低いものでは十分な防眩効果が得られないという問題があった。さらに、このような従来の防眩フィルムを画像表示装置の表面に配置した場合、散乱光によって表示面全体が白っぽくなり、表示が濁った色になる、いわゆる「白ちゃけ」が発生しやすいという問題があった。また、最近の画像表示装置の高精細化に伴って、画像表示装置の画素と防眩フィルムの表面凹凸形状とが干渉し、結果として輝度分布が発生して見えにくくなる、いわゆる「ギラツキ」現象が発生しやすいという問題もあった。ギラツキを解消するために、バインダー樹脂と分散微粒子との間に屈折率差を設けて光を散乱させる試みもあるが、そのような防眩フィルムを画像表示装置の表面に配置した際には、微粒子とバインダー樹脂界面における光の散乱によって、コントラストが低下しやすいという問題もあった。   Conventionally, such an antiglare film has a random unevenness on the sheet by, for example, applying a resin solution in which fine particles are dispersed on a base sheet, adjusting the coating thickness, and exposing the fine particles to the coating film surface. It is manufactured by the method to form in. However, the antiglare film produced by dispersing such fine particles has irregularities as intended because the arrangement and shape of the irregularities depend on the dispersion state and application state of the fine particles in the resin solution. There is a problem that it is difficult to obtain and a sufficient anti-glare effect cannot be obtained if the haze is low. Furthermore, when such a conventional anti-glare film is disposed on the surface of the image display device, the entire display surface becomes whitish due to scattered light, and the display becomes cloudy, so-called “whiteness” is likely to occur. There was a problem. Also, with the recent high definition of image display devices, the pixels of the image display device interfere with the surface uneven shape of the anti-glare film, resulting in a so-called “glare” phenomenon in which a luminance distribution is generated and becomes difficult to see. There was also a problem that was likely to occur. In order to eliminate glare, there is an attempt to scatter light by providing a refractive index difference between the binder resin and the dispersed fine particles, but when such an antiglare film is disposed on the surface of the image display device, There is also a problem that the contrast tends to decrease due to light scattering at the interface between the fine particles and the binder resin.

一方、微粒子を含有させずに、透明樹脂層の表面に形成された微細な凹凸だけで防眩性を発現させる試みもある。このような防眩フィルムとして、例えば、特許文献1(特開2006−53371号公報)には、基材を研磨し、サンドブラスト加工を施した後、無電解ニッケルめっきを施すことによって、表面に微細な凹凸を有するロールを製造し、かかるロールの凹凸面をTACフィルム上に形成された光硬化性樹脂層に押し付けながら硬化して作製された防眩フィルムが記載されている。すなわち、金型の凹凸面の形状を透明樹脂フィルムに転写した後、金型の凹凸面の形状が転写された透明樹脂フィルムを金型から剥がすことを含む防眩フィルムの製造方法が開示されている。   On the other hand, there is also an attempt to develop anti-glare properties only by fine irregularities formed on the surface of the transparent resin layer without containing fine particles. As such an antiglare film, for example, in Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-53371), a substrate is polished, sandblasted, and then subjected to electroless nickel plating so that the surface is fine. An anti-glare film produced by producing a roll having unevenness and curing it while pressing the uneven surface of the roll against a photocurable resin layer formed on a TAC film is described. That is, a method for producing an antiglare film is disclosed that includes transferring the shape of the uneven surface of a mold to a transparent resin film, and then peeling the transparent resin film having the transferred shape of the uneven surface of the mold from the mold. Yes.

しかし、特許文献1に開示された防眩フィルムは、サンドブラスト加工によって凹凸形状を形成した金型を使用して作製されるため凹凸形状の精度の点で充分ではなく、特に、50μm以上の周期を持つ比較的大きな凹凸形状を有する場合があるため「ギラツキ」が発生しやすかった。   However, the antiglare film disclosed in Patent Document 1 is not sufficient in terms of the accuracy of the concavo-convex shape because it is produced using a mold in which the concavo-convex shape is formed by sandblasting, and in particular, has a period of 50 μm or more. Since it sometimes has a relatively large uneven shape, “glare” was likely to occur.

また、特許文献2(特開2012−51175号公報)には、金型用基材の表面を研磨する研磨工程と、研磨された面に平坦部と凹部からなる第1凹凸面を形成する第1凹凸面形成工程と、第1凹凸面をエッチング処理によって鈍らせて第2凹凸面を形成する第2凹凸面形成工程と、形成された第2凹凸面にクロムめっきを施すめっき工程とを含み、かつ、第1凹凸面における平坦部の占める面積をA(%)とし、凹部の平均深さをB(μm)とし、凹部の中心間直線距離の平均値をC(μm)とし、第2凹凸面形成工程におけるエッチング深さをD(μm)としたときに、特定の条件を満たすことを特徴とする防眩フィルム製造用金型の製造方法について記載されている。   Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2012-511175) discloses a polishing process for polishing the surface of a mold base, and a first uneven surface including a flat portion and a concave portion on the polished surface. A first uneven surface forming step, a second uneven surface forming step of forming the second uneven surface by dulling the first uneven surface by an etching process, and a plating step of performing chromium plating on the formed second uneven surface. In addition, the area occupied by the flat portion on the first concavo-convex surface is A (%), the average depth of the recesses is B (μm), the average linear distance between the centers of the recesses is C (μm), and the second It describes a method for producing a mold for producing an antiglare film, wherein a specific condition is satisfied when the etching depth in the uneven surface forming step is D (μm).

すなわち、特許文献2には、パターン露光によって金型用基材に表面凹凸形状を形成することで、低ヘイズで、十分な防眩性、良好なコントラスト、白ちゃけ発生の抑制、およびギラツキ発生の抑制が可能な防眩フィルムを製造するための金型が得られることが開示されている。   That is, Patent Document 2 discloses that a surface irregularity shape is formed on a mold substrate by pattern exposure, thereby achieving low haze, sufficient anti-glare properties, good contrast, suppression of occurrence of whitening, and generation of glare. It is disclosed that a mold for producing an antiglare film capable of suppressing the above can be obtained.

しかし、特許文献2に記載される方法では、第1凹凸面をエッチングすることによって第2凹凸面を形成している。このように第2凹凸面をエッチングによって形成する場合には、金型の表面凹凸形状パターンに欠陥が発生しやすいという問題があった。具体的には、例えば、第2凹凸面をエッチングによって形成する前の第1凹凸面に異物の付着や錆が存在している場合には、エッチングが阻害され、第2凹凸面に凸状の欠陥が発生しやすかった。   However, in the method described in Patent Document 2, the second uneven surface is formed by etching the first uneven surface. Thus, when the 2nd uneven surface was formed by etching, there was a problem that a defect was easy to occur in the surface uneven shape pattern of the mold. Specifically, for example, when foreign matter adheres or rust exists on the first uneven surface before the second uneven surface is formed by etching, the etching is inhibited, and the second uneven surface has a convex shape. Defects were likely to occur.

防眩フィルムには、防眩性、画像表示装置の表面に配置した際に良好なコントラストを発現すること、画像表示装置の表面に配置した際に散乱光によって表示面全体が白っぽくなり、表示が濁った色になる、いわゆる「白ちゃけ」の発生を抑制すること、及び、画像表示装置の表面に配置した際に画像表示装置の画素と防眩フィルムの表面凹凸形状とが干渉し、結果として輝度分布が発生して見えにくくなる、いわゆる「ギラツキ」の発生を抑制することが要望されている。さらに欠陥などの品質上の不具合が無いことが必要である。   Anti-glare film has anti-glare properties, exhibits good contrast when placed on the surface of an image display device, and the entire display surface becomes whitish due to scattered light when placed on the surface of the image display device. Suppresses the occurrence of so-called “whitening” that becomes a cloudy color, and when arranged on the surface of the image display device, the pixel of the image display device and the surface uneven shape of the antiglare film interfere with each other. As described above, it is desired to suppress the occurrence of so-called “glare” that is difficult to see due to the occurrence of a luminance distribution. Furthermore, it is necessary that there are no defects in quality such as defects.

特許文献2に記載の方法を用いて防眩フィルム製造用の金型を作製する場合において、上記欠陥を解消し、このような防眩フィルムに求められる特性(防眩性、良好なコントラストの発現、白ちゃけ発生の抑制、ギラツキ発生の抑制)を満足するための手段としては、第2凹凸面を形成するためのエッチング処理前に第1凹凸面を十分に洗浄し、付着した異物や錆を除去する方法が考えられる。しかし、エッチング処理前の洗浄を徹底しても完全に異物を除去することは困難であり、また、通常、洗浄は処理液を用いて実施されるために、表面の錆は洗浄後にすぐに発生する可能性があった。   In the case of producing a mold for producing an antiglare film using the method described in Patent Document 2, the above-mentioned defects are eliminated, and the characteristics required for such an antiglare film (antiglare property, good contrast expression) As a means for satisfying the suppression of the occurrence of whitish and the occurrence of glare), the first uneven surface is sufficiently washed before the etching process for forming the second uneven surface, and the adhered foreign matter and rust It is conceivable to remove this. However, even if thorough cleaning before the etching process is performed, it is difficult to completely remove foreign matter. Also, since cleaning is usually performed using a processing solution, surface rust occurs immediately after cleaning. There was a possibility.

特開2006−53371号公報JP 2006-53371 A 特開2012−51175号公報JP 2012-511175 A

本発明は、良好な防眩性を有し、良好なコントラストを発現し、白ちゃけやギラツキの発生が抑制され、かつ、欠陥の発生が抑制された防眩フィルムを得るために、表面に微細な凹凸形状を有する防眩フィルム製造用金型を精度良く製造しうる方法を提供することを目的とする。   In order to obtain an anti-glare film having good anti-glare properties, expressing good contrast, suppressing the occurrence of whitish and glare, and suppressing the occurrence of defects, It is an object of the present invention to provide a method capable of accurately producing a mold for producing an antiglare film having a fine uneven shape.

本発明は、金型用基材の表面を研磨する研磨工程と、
研磨された面に平坦部と凹部からなる第1凹凸面を形成する第1凹凸面形成工程と、
第1凹凸面にクロムめっきまたはニッケルめっきを施し、第2凹凸面を形成するめっき工程とを含み、
前記第1凹凸面における平坦部の占める面積をA(%)とし、凹部の平均深さをB(μm)とし、凹部の中心間直線距離の平均値をC(μm)とし、前記めっき工程におけるめっき厚みをD(μm)としたときに、以下の条件を満たすことを特徴とする防眩フィルム製造用金型の製造方法である。
The present invention comprises a polishing step for polishing the surface of a mold substrate;
A first concavo-convex surface forming step of forming a first concavo-convex surface comprising a flat portion and a concave portion on the polished surface;
A plating step of performing chromium plating or nickel plating on the first uneven surface and forming a second uneven surface,
In the plating step, the area occupied by the flat portion on the first concavo-convex surface is A (%), the average depth of the recesses is B (μm), and the average linear distance between the centers of the recesses is C (μm). It is the manufacturing method of the metal mold | die for anti-glare film manufacture characterized by satisfy | filling the following conditions, when plating thickness is set to D (micrometer).

本発明の金型の製造方法における第1凹凸面形成工程は、以下の(1)〜(3)のいずれかの方法によって第1凹凸面を形成することが好ましい。   In the first uneven surface forming step in the mold manufacturing method of the present invention, it is preferable to form the first uneven surface by any one of the following methods (1) to (3).

(1)研磨された面に感光性樹脂膜を塗布形成する感光性樹脂膜塗布工程と、感光性樹脂膜上にパターンを露光する露光工程と、パターンが露光された感光性樹脂膜を現像する現像工程と、現像された感光性樹脂膜をマスクとしてエッチング処理を行い、研磨されためっき面に凹凸を形成するエッチング工程と、エッチング処理後に感光性樹脂膜を剥離する感光性樹脂膜剥離工程とを含む方法(第1の好ましい第1凹凸面形成工程)。   (1) A photosensitive resin film coating process for coating and forming a photosensitive resin film on the polished surface, an exposure process for exposing a pattern on the photosensitive resin film, and developing the photosensitive resin film on which the pattern is exposed A developing step, an etching step of performing an etching process using the developed photosensitive resin film as a mask and forming irregularities on the polished plated surface, and a photosensitive resin film peeling step of peeling the photosensitive resin film after the etching process (1st preferable 1st uneven surface formation process).

(2)研磨された面に凹部を切削加工によって形成する切削工程からなり、該切削加工は金型用基材の表面と平行な方向に相対的に直線移動し、かつ直線移動と同時に金型用基材の表面と垂直な方向に微小往復移動する切削工具によって行われる方法(第2の好ましい第1凹凸面形成工程)。   (2) It comprises a cutting step in which a recess is formed on the polished surface by cutting, and the cutting moves relatively linearly in a direction parallel to the surface of the mold base, and simultaneously with the linear movement, the mold (Second preferred first uneven surface forming step) performed by a cutting tool that reciprocally moves in a direction perpendicular to the surface of the substrate for use.

(3)研磨された面に着色塗料を塗布し、着色塗膜を形成する着色塗料塗布工程と、着色塗膜上にレーザーによってパターンを描画するレーザー照射工程と、パターンが描画された着色塗膜をマスクとしてエッチング処理を行い、研磨されためっき面に凹凸を形成するエッチング工程と、エッチング処理後に着色塗膜を剥離する着色塗膜剥離工程とを含む方法(第3の好ましい第1凹凸面形成工程)。   (3) A colored paint application process for applying a colored paint on the polished surface to form a colored paint film, a laser irradiation process for drawing a pattern on the colored paint film by a laser, and a colored paint film on which the pattern is drawn A method including an etching process for forming irregularities on the polished plated surface and a colored coating film peeling process for stripping the colored coating film after the etching process (third preferred first irregular surface formation) Process).

また、本発明は、上記の防眩フィルム製造用金型の製造方法により製造された防眩フィルム製造用金型の凹凸面を透明樹脂フィルムに転写した後、金型の凹凸面が転写された透明樹脂フィルムを前記防眩フィルム製造用金型から剥がすことを特徴とする防眩フィルムの製造方法にも関する。   Further, in the present invention, after the uneven surface of the antiglare film manufacturing mold manufactured by the above method for manufacturing the antiglare film manufacturing mold is transferred to the transparent resin film, the uneven surface of the mold is transferred. The present invention also relates to a method for producing an antiglare film, comprising peeling off the transparent resin film from the mold for producing the antiglare film.

本発明の防眩フィルム製造用金型の製造方法においては、めっき加工によって第2凹凸面を形成するため、金型表面の付着異物や錆によるエッチング阻害と、それによる凹凸パターンの点欠陥発生が抑えられる。すなわち、エッチングのみによって第2凹凸面を形成する場合には、付着異物や錆によってエッチングが阻害されると第2凹凸面を形成する際のエッチング深さと同程度の凸状の欠陥が発生することになる。一方、めっき加工によって第2凹凸面を形成する場合には、例え付着異物や錆があったとしてもめっきがそれらの不具合を被覆する方向で形成されるため、実害性のある欠陥とはならない。   In the method for producing a mold for producing an antiglare film according to the present invention, the second uneven surface is formed by plating, so that etching defects due to adhering foreign matter and rust on the surface of the mold and the occurrence of point defects in the uneven pattern are caused. It can be suppressed. That is, when the second uneven surface is formed only by etching, if the etching is hindered by adhering foreign matter or rust, a convex defect equivalent to the etching depth when forming the second uneven surface may occur. become. On the other hand, in the case where the second uneven surface is formed by plating, even if there are adhered foreign matters or rust, the plating is formed in a direction to cover those defects, so that it does not become a detrimental defect.

従って、本発明の防眩フィルム製造用金型の製造方法によれば、表面に微細な凹凸形状が高い精度で形成された金型を製造することができる。さらに、この金型を用いた本発明の防眩フィルムの製造方法によれば、良好な防眩性を有し、良好なコントラストを発現し、白ちゃけやギラツキの発生が抑制され、かつ、欠陥の発生が抑制された防眩フィルムを製造することが可能となる。   Therefore, according to the manufacturing method of the metal mold | die for anti-glare film manufacture of this invention, the metal mold | die with which the fine uneven | corrugated shape was formed in the surface with high precision can be manufactured. Furthermore, according to the method for producing an antiglare film of the present invention using this mold, it has a good antiglare property, expresses a good contrast, suppresses the occurrence of whitish and glare, and It becomes possible to produce an antiglare film in which the occurrence of defects is suppressed.

本発明の金型の製造方法の好ましい一例を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically a preferable example of the manufacturing method of the metal mold | die of this invention. 第1凹凸面を上方から観察した状態を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the state which observed the 1st uneven surface from upper direction. 第1凹凸面の断面を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the cross section of a 1st uneven surface. 第1凹凸面を上方から顕微鏡で観察した結果を示す図である。It is a figure which shows the result of having observed the 1st uneven surface with the microscope from upper direction. 図4の第1凹凸面の顕微鏡画像から計算された自己相関関数R(x,y)のy=0における断面を示す図である。It is a figure which shows the cross section in y = 0 of the autocorrelation function R (x, y) calculated from the microscope image of the 1st uneven surface of FIG. 第1凹凸面形成工程の好ましい一例を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically a preferable example of a 1st uneven surface formation process. 感光性樹脂膜上に露光されるパターンを模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the pattern exposed on the photosensitive resin film. 第1凹凸面形成工程の好ましい一例を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically a preferable example of a 1st uneven surface formation process. 金型用基材の表面と平行な方向に相対的に直線移動し、かつ直線移動と同時に金型用基材の表面と垂直な方向に微小往復移動する切削工具の様子を模式的に示す図である。The figure which shows typically the mode of the cutting tool which carries out a linear reciprocation to the direction perpendicular | vertical to the surface of the mold base material simultaneously with a linear movement relatively to the direction parallel to the surface of the mold base material. It is. 平板状の金型用基材に微細凹部を切削加工するための装置を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the apparatus for cutting a fine recessed part in the flat base material for metal mold | dies. 円筒状の金型用基材に微細凹部を切削加工するための装置を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the apparatus for cutting a micro recessed part in a cylindrical base material for metal mold | die. 第1凹凸面形成工程の好ましい一例を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically a preferable example of a 1st uneven surface formation process. 第1凹凸面がめっき工程によって鈍化し、第2凹凸面となる様子を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically a mode that a 1st uneven surface becomes dull by a plating process and becomes a 2nd uneven surface. 実施例1の金型作製の際に使用したパターンの一部を示す図である。It is a figure which shows a part of pattern used in the case of metal mold | die preparation of Example 1. FIG.

<金型の製造方法>
図1は、本発明の金型の製造方法の好ましい一例を模式的に示す図である。図1には各工程での金型の断面を模式的に示している。本発明の金型の製造方法は、〔1〕研磨工程と、〔2〕第1凹凸面形成工程と、〔3〕めっき工程とを基本的に含む。以下、図1を参照しながら、本発明の金型の製造方法の各工程について詳細に説明する。
<Manufacturing method of mold>
FIG. 1 is a diagram schematically showing a preferred example of the mold manufacturing method of the present invention. FIG. 1 schematically shows a cross section of a mold in each step. The mold manufacturing method of the present invention basically includes [1] polishing step, [2] first uneven surface forming step, and [3] plating step. Hereafter, each process of the manufacturing method of the metal mold | die of this invention is demonstrated in detail, referring FIG.

〔1〕研磨工程
本発明の金型の製造方法ではまず、金型に用いる基材の表面を研磨する。当該工程を経て、基材表面は、鏡面に近い状態に研磨されることが好ましい。これは、基材となる金属板や金属ロールは、所望の精度にするために、切削や研削などの機械加工が施されていることが多く、それにより基材表面に加工目が残っているためである。また、後述するように金型に用いる基材が表面に銅めっきまたはニッケルめっきが施された状態であっても、上述した加工目が残ることがあるし、また、めっきした状態で、表面が完全に平滑になるとは限らないためである。すなわち、このような深い加工目などが残った表面に後述する工程を施したとしても、各工程を施した後に形成される凹凸よりも加工目などの凹凸の方が深いことがあり、加工目などの影響が残る可能性があり、そのような金型を用いて防眩フィルムを製造した場合には、光学特性に予期できない影響を及ぼすことがある。図1(a)には、平板状の金型用基材1が研磨工程によって鏡面研磨された表面2を有するようにされた状態を模式的に示している。
[1] Polishing Step In the mold manufacturing method of the present invention, first, the surface of the base material used for the mold is polished. It is preferable that the base material surface is grind | polished in the state close | similar to a mirror surface through the said process. This is because the metal plate or metal roll serving as a base material is often subjected to machining such as cutting or grinding in order to obtain a desired accuracy, and as a result, the processing surface remains on the base material surface. Because. Further, as described later, even if the base material used for the mold is in a state where copper plating or nickel plating is applied to the surface, the above-mentioned processed eyes may remain, and in the plated state, the surface may be This is because it is not always smooth. That is, even if a process described later is performed on the surface where such deep processed marks remain, unevenness such as processed marks may be deeper than the unevenness formed after each process is performed. Such effects may remain, and when an antiglare film is produced using such a mold, the optical characteristics may be unexpectedly affected. FIG. 1A schematically shows a state in which a flat mold base 1 has a mirror-polished surface 2 by a polishing process.

金型に用いる基材の表面を研磨する方法については特に制限されるものではなく、機械研磨法、電解研磨法、化学研磨法のいずれも使用できる。機械研磨法としては、超仕上げ法、ラッピング、流体研磨法、バフ研磨法などが例示される。また、研磨工程において切削工具を用いて鏡面切削することによって、金型用基材1の表面2を鏡面としてもよい。その際の切削工具の材質や形状などは特に制限されるものではなく、超硬バイト、CBNバイト、セラミックバイト、ダイヤモンドバイトなどを使用することができるが、加工精度の観点からダイヤモンドバイトを用いることが好ましい。研磨工程後の表面粗度は、JIS B 0601の規定に準拠した中心線平均粗さRaが0.1μm以下であることが好ましく、0.05μm以下であることがより好ましい。研磨後の中心線平均粗さRaが0.1μmより大きいと、最終的な金型表面の凹凸形状に研磨後の表面粗度の影響が残る可能性があるので好ましくない。また、中心線平均粗さRaの下限については特に制限されず、加工時間や加工コストの観点から、おのずと限界があるので、特に指定する必要性はない。   The method for polishing the surface of the substrate used in the mold is not particularly limited, and any of mechanical polishing, electrolytic polishing, and chemical polishing can be used. Examples of the mechanical polishing method include super finishing, lapping, fluid polishing, and buff polishing. Moreover, it is good also considering the surface 2 of the base material 1 for metal mold | die as a mirror surface by carrying out mirror surface cutting using a cutting tool in a grinding | polishing process. The material and shape of the cutting tool at that time are not particularly limited, and carbide tools, CBN tools, ceramic tools, diamond tools, etc. can be used, but diamond tools should be used from the viewpoint of processing accuracy. Is preferred. The surface roughness after the polishing step is preferably such that the center line average roughness Ra conforming to the provisions of JIS B 0601 is 0.1 μm or less, and more preferably 0.05 μm or less. If the center line average roughness Ra after polishing is greater than 0.1 μm, the final unevenness of the mold surface may be affected by the surface roughness after polishing, which is not preferable. In addition, the lower limit of the center line average roughness Ra is not particularly limited, and there is no limit in particular because there is a natural limit from the viewpoint of processing time and processing cost.

なお、本発明の金型の製造方法において、基材の形成に好適に用いられる金属材料としては、コストの観点からアルミニウム、鉄などが挙げられる。さらに取扱いの利便性から、軽量なアルミニウムがより好ましい。ここでいうアルミニウムや鉄は、それぞれ純金属であることができるほか、アルミニウムまたは鉄を主体とする合金であってもよい。   In the metal mold manufacturing method of the present invention, examples of the metal material suitably used for forming the base material include aluminum and iron from the viewpoint of cost. Furthermore, lightweight aluminum is more preferable from the convenience of handling. The aluminum and iron here may be pure metals, respectively, or may be an alloy mainly composed of aluminum or iron.

また、基材の形状は、当分野において従来より採用されている適宜の形状であれば特に制限されず、平板状であってもよいし、円柱状または円筒状のロールであってもよい。ロール状の基材を用いて金型を作製すれば、防眩フィルムを連続的なロール状で製造することができるという利点がある。   The shape of the substrate is not particularly limited as long as it is an appropriate shape that has been conventionally employed in this field, and may be a flat plate shape, or a columnar or cylindrical roll. If a mold is produced using a roll-shaped substrate, there is an advantage that the antiglare film can be produced in a continuous roll shape.

さらに、本発明の金型の製造方法においては、研磨工程の前に金型に用いる基材の表面に、めっきを施すことも好ましい。金型に用いる基材の表面に施されるめっきの種類は、第1凹凸面形成工程において良好な加工性を有するものであれば特に制限されず、銅めっき、ニッケルめっき、亜鉛めっきなどが挙げられる。この中でも加工性、被覆性、および平滑化作用の観点から銅めっきまたはニッケルめっきが好ましい。銅めっきまたはニッケルめっきは、被覆性が高く、また平滑化作用が強いことから、金型用基材の微小な凹凸や鬆などを埋めて平坦で光沢のある表面を形成するためである。   Furthermore, in the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, it is also preferable to plate on the surface of the base material used for a metal mold | die before a grinding | polishing process. The type of plating applied to the surface of the base material used for the mold is not particularly limited as long as it has good workability in the first uneven surface forming step, and examples thereof include copper plating, nickel plating, and zinc plating. It is done. Among these, copper plating or nickel plating is preferable from the viewpoints of workability, coverage, and smoothing action. This is because copper plating or nickel plating has a high covering property and a strong smoothing action, so that a flat and glossy surface is formed by filling minute irregularities and voids of the mold base.

ここでいう銅またはニッケルとしては、それぞれの純金属であることができるほか、銅を主体とする合金、またはニッケルを主体とする合金であってもよく、したがって、本明細書でいう「銅」は、銅および銅合金を含む意味であり、また「ニッケル」は、ニッケルおよびニッケル合金を含む意味である。銅めっきおよびニッケルめっきは、それぞれ電解めっきで行っても無電解めっきで行ってもよいが、銅めっきであれば通常は電解めっきが採用され、ニッケルめっきであれば通常無電解めっきが採用される。   As used herein, copper or nickel may be a pure metal, or may be an alloy mainly composed of copper, or an alloy mainly composed of nickel. Therefore, “copper” referred to in the present specification. Is meant to include copper and copper alloys, and “nickel” is meant to include nickel and nickel alloys. Copper plating and nickel plating may be performed by electrolytic plating or electroless plating, respectively, but if copper plating is used, electrolytic plating is usually adopted, and if nickel plating, usually electroless plating is adopted. .

金型用基材の表面にめっきを施す際には、めっき層が余り薄いと、下地表面の影響が排除しきれないことから、その厚みは50μm以上であるのが好ましい。めっき層厚みの上限は臨界的でないが、コストなどとのからみから、一般的には500μm程度までで十分である。   When plating is performed on the surface of the mold base material, if the plating layer is too thin, the influence of the base surface cannot be completely eliminated. Therefore, the thickness is preferably 50 μm or more. Although the upper limit of the plating layer thickness is not critical, generally about 500 μm is sufficient from the viewpoint of cost and the like.

以下では、金型に用いる基材の表面にめっきを施していない場合および金型に用いる基材の表面にめっきを施している場合ともに金型用基材もしくは基材と呼ぶ。   Hereinafter, both the case where the surface of the substrate used for the mold is not plated and the case where the surface of the substrate used for the mold is plated are referred to as a mold substrate or a substrate.

〔2〕第1凹凸面形成工程
続く第1凹凸面形成工程では、上述した研磨工程によって鏡面研磨を施した基材1の表面2に、平坦部と凹部からなる第1凹凸面を形成する。図1(b)には、基材1の表面2に凹部3が形成され、平坦部5と凹部3からなる第1凹凸面4が形成された状態を模式的に示している。
[2] First Irregular Surface Formation Step In the subsequent first uneven surface formation step, a first uneven surface comprising a flat portion and a concave portion is formed on the surface 2 of the substrate 1 that has been mirror-polished by the above-described polishing step. FIG. 1B schematically shows a state in which the concave portion 3 is formed on the surface 2 of the substrate 1 and the first concave and convex surface 4 including the flat portion 5 and the concave portion 3 is formed.

本発明の金型の製造方法においては、第1凹凸面の平坦部の占める面積の割合をA(%)とし、凹部の深さをB(μm)とし、凹部の中心間直線距離の平均値をC(μm)としたとき、上述した式(1)〜(3)の条件を満たすことが好ましい。   In the mold manufacturing method of the present invention, the ratio of the area occupied by the flat portion of the first concavo-convex surface is A (%), the depth of the recess is B (μm), and the average value of the linear distance between the centers of the recesses Is C (μm), it is preferable to satisfy the conditions of the above-mentioned formulas (1) to (3).

ここで平坦部5の占める面積の割合Aとは、第1凹凸面を上方から観察した際の金型用基材投影面に対する平坦部の面積の割合のことを指している。図2は、第1凹凸面を上方から観察した状態を示す模式図である。図2において凹部3を灰色で示し、平坦部5を白色で示した。図2に示す場合では、平坦部5の占める面積の割合Aは次の式:

(平坦部の占める面積の割合A)=(白色領域の面積)/[(白色領域の面積)+(灰色領域の面積)]×100 式(5)

で表すことができる。
Here, the area ratio A occupied by the flat portion 5 refers to the ratio of the area of the flat portion to the mold base projection surface when the first uneven surface is observed from above. FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a state in which the first uneven surface is observed from above. In FIG. 2, the concave portion 3 is shown in gray, and the flat portion 5 is shown in white. In the case shown in FIG. 2, the ratio A of the area occupied by the flat portion 5 is expressed by the following formula:

(Ratio A of area occupied by flat portion) = (area of white region) / [(area of white region) + (area of gray region)] × 100 Formula (5)

Can be expressed as

本発明の金型の製造方法において、第1凹凸面において形成される平坦部5の占める面積の割合Aは式(1)を満たすことが好ましい。図3は、第1凹凸面の断面を模式的に示す図である。図3に示すように第1凹凸面において形成されるある一つの平坦部5の直線距離およびある一つの凹部3の直線距離をそれぞれXおよびYとしたとき、精度良く第1凹凸面を形成するためにはXの平均値XAVEおよびYの平均値YAVEはともに10μm以上であることが好ましい。それぞれの平均値XAVEもしくはYAVEが10μm未満である場合には、直線距離XもしくはYのわずかな変動の及ぼす影響が大きくなり、結果として得られる表面形状に予期せぬムラなどが発生するためである。ここである一つの平坦部の直線距離Xの平均値XAVEおよびある一つの凹部の直線距離Yの平均値YAVEは平坦部の占める面積の割合Aと後述する凹部間の中心間直線距離の平均値Cを用いて次のように表すことができる。 In the mold manufacturing method of the present invention, it is preferable that the ratio A of the area occupied by the flat portion 5 formed on the first uneven surface satisfies the formula (1). FIG. 3 is a diagram schematically showing a cross section of the first uneven surface. As shown in FIG. 3, when the linear distance of one flat portion 5 and the linear distance of one concave portion 3 formed on the first uneven surface are X and Y, respectively, the first uneven surface is formed with high accuracy. Therefore, it is preferable that the average value X AVE of X and the average value Y AVE of Y are both 10 μm or more. When each average value X AVE or Y AVE is less than 10 μm, the influence of slight fluctuations in the linear distance X or Y increases, resulting in unexpected unevenness in the resulting surface shape. It is. Here, the average value X AVE of the straight line distance X of one flat part and the average value Y AVE of the straight line distance Y of a certain concave part are the ratio A of the area occupied by the flat part and the linear distance between the centers between the concave parts described later. The average value C can be used to express as follows.

これらの直線距離の平均値XAVEおよびYAVEがともに10μm以上であることから、式(1)の条件が得られる。 Since the average values X AVE and Y AVE of these linear distances are both 10 μm or more, the condition of formula (1) is obtained.

凹部の深さBは図3に示したように平坦部と凹部最深部の高低差を意味している。本発明の金型の製造方法においては、凹部の深さBは式(2)を満たすことが好ましい。凹部の深さBが2μmを下回る場合には、第1凹凸面が略平坦な状態となってしまい、めっき工程において表面形状を鈍らせた際に、表面凹凸形状が十分に形成されないこととなる。このような金型から作製された防眩フィルムもまた表面凹凸形状が十分に形成されず防眩効果が不十分となる。一方、凹部の深さBが10μmを超える場合には、続くめっき工程において表面形状を鈍らせることが困難となり、適切な第2凹凸面を形成することが困難となるため好ましくない。すなわち、第1の表面凹凸形状が効果的に鈍化せず、第2の表面凹凸形状に傾斜角度の急峻な箇所が残ることとなる。このような金型から作製された防眩フィルムもまた表面凹凸形状に傾斜角度が急峻な箇所が存在することとなり、白ちゃけが発生する。   The depth B of the recess means a difference in height between the flat portion and the deepest portion of the recess as shown in FIG. In the manufacturing method of the metal mold | die of this invention, it is preferable that the depth B of a recessed part satisfy | fills Formula (2). When the depth B of the recess is less than 2 μm, the first uneven surface is in a substantially flat state, and the surface uneven shape is not sufficiently formed when the surface shape is dulled in the plating process. . The antiglare film produced from such a mold also has an insufficient antiglare effect due to insufficient surface irregularity. On the other hand, when the depth B of the recess exceeds 10 μm, it is difficult to dull the surface shape in the subsequent plating step and it is difficult to form an appropriate second uneven surface, which is not preferable. That is, the first surface uneven shape is not effectively blunted, and a portion having a steep inclination angle remains in the second surface uneven shape. The antiglare film produced from such a mold also has a portion having a steep inclination angle in the surface irregularity shape, resulting in whitening.

また、凹部の中心間直線距離の平均値Cは最近接の凹部の底面における中心点間の直線距離(間隔)の平均値を意味しており、第1凹凸面を上方から観察した顕微鏡画像もしくは後述するパターンの画像解析によって求めることができる。すなわち、まず顕微鏡画像もしくはパターンを凹部と平坦部が区別できるように2階調の二値化画像データに変換する。得られた画像データの階調を二次元関数h(x,y)で表し、得られた二次元関数h(x,y)をフーリエ変換して二次元関数H(f,f)を計算する。次に、得られた二次元関数H(f,f)を二乗することによって求められるパワースペクトルを逆フーリエ変換して自己相関関数R(x,y)を計算する。この自己相関関数R(x,y)において原点から最も近い極大値が凹部の中心間直線距離の平均値である。ここで本発明の金型の製造方法において形成される第1凹凸面は、後述するように凹部がランダムに形成されているため、自己相関関数R(x,y)は原点を中心に対称となる。よって、自己相関関数R(x,y)において原点を通る断面から、原点から最も近い極大値を求めることができる。ここで、xおよびyは画像データ面内の直交座標を表し(例えばx方向が画像データの横方向、y方向が画像データの縦方向である)、fおよびfはx方向の周波数およびy方向の周波数を表している。 In addition, the average value C of the center-to-center linear distances of the recesses means the average value of the linear distances (intervals) between the center points on the bottom surface of the nearest recess, and a microscope image obtained by observing the first uneven surface from above or It can be obtained by image analysis of a pattern to be described later. That is, first, the microscopic image or pattern is converted into binary image data of two gradations so that the concave portion and the flat portion can be distinguished. The resulting image gradation two-dimensional function h (x, y) of the data expressed in the resulting two-dimensional function h (x, y) to Fourier transform the two-dimensional function H (f x, f y) a calculate. Next, an autocorrelation function R (x, y) is calculated by performing inverse Fourier transform on the power spectrum obtained by squaring the obtained two-dimensional function H (f x , f y ). In this autocorrelation function R (x, y), the maximum value closest to the origin is the average value of the linear distance between the centers of the recesses. Here, since the first uneven surface formed in the mold manufacturing method of the present invention has concave portions formed randomly as described later, the autocorrelation function R (x, y) is symmetrical about the origin. Become. Therefore, the maximum value closest to the origin can be obtained from the cross section passing through the origin in the autocorrelation function R (x, y). Here, x and y are (a horizontal direction, the vertical y-direction image data in the example x-direction image data) orthogonal coordinates represents the image data plane, f x and f y are frequency in the x direction and It represents the frequency in the y direction.

実際には、画像データの階調を示す二次元関数h(x,y)は各画素毎の階調が離散的なデータ点の集合として得られるため離散関数である。よって、式(8)で定義される離散フーリエ変換によって離散関数H(f,f)を計算し、離散関数H(f,f)を二乗することによってパワースペクトルH(f,f)が求められる。このパワースペクトルH(f,f)と式(9)で定義される逆離散フーリエ変換によって自己相関関数R(x,y)が求められる。ここで式(8)および式(9)中のπは円周率、iは虚数単位である。また、Mはx方向の画素数であり、Nはy方向の画素数であり、jは0以上M−1以下の整数であり、kは0以上N−1以下の整数であり、lは0以上M−1以下の整数であり、mは0以上N−1以下の整数である。さらに、ΔfおよびΔfはそれぞれx方向およびy方向の周波数間隔であり、式(10)および式(11)で定義される。ここで式(10)および式(11)中のΔxおよびΔyはそれぞれ、x方向、y方向の画素の間隔である。 Actually, the two-dimensional function h (x, y) indicating the gradation of the image data is a discrete function because the gradation for each pixel is obtained as a set of discrete data points. Therefore, to calculate the discrete function H (f x, f y) by a discrete Fourier transform defined by equation (8), discrete function H (f x, f y) power spectrum by squaring the H 2 (f x , F y ). The autocorrelation function R (x, y) is obtained by the inverse discrete Fourier transform defined by the power spectrum H 2 (f x , f y ) and the equation (9). Here, π in the formulas (8) and (9) is a pi, and i is an imaginary unit. M is the number of pixels in the x direction, N is the number of pixels in the y direction, j is an integer from 0 to M−1, k is an integer from 0 to N−1, and l is It is an integer from 0 to M-1, and m is an integer from 0 to N-1. Further, Δf x and Δf y are frequency intervals in the x direction and the y direction, respectively, and are defined by Expression (10) and Expression (11). Here, Δx and Δy in the equations (10) and (11) are the pixel intervals in the x and y directions, respectively.

図4には第1凹凸面を上方から観察した顕微鏡画像の一例を示した。また、図5には図4の顕微鏡画像より計算された自己相関関数R(x,y)におけるy=0の断面を示した。図5より凹部の中心間平均距離の平均値Cは31μmであることが分かる。   FIG. 4 shows an example of a microscope image obtained by observing the first uneven surface from above. FIG. 5 shows a cross section of y = 0 in the autocorrelation function R (x, y) calculated from the microscope image of FIG. FIG. 5 shows that the average value C of the average distance between the centers of the recesses is 31 μm.

ここで、防眩フィルムの微細凹凸表面は、防眩フィルムの微細凹凸表面によって発生するギラツキを抑制するという観点から、50μm以上の長周期成分を含まないことが好ましい。しかしながら、10μm以下の短周期成分のみを含む微細凹凸表面では優れた防眩性能が発現しない。よって、防眩フィルムの微細凹凸表面は、十分な防眩効果を発現しつつ、ギラツキを十分に防止するために、10〜50μmの周期を持つ表面形状を主成分として含むことが好ましい。よって、十分な防眩効果を発現しつつ、ギラツキを十分に防止する防眩フィルムを製造するための金型は、10〜50μmの周期を持つ表面形状を主成分として含むことが好ましい。凹部間の中心間直線距離の平均値Cが35μmを上回る場合には、得られる金型に周期が50μm以上である微細凹凸表面形状が形成されやすくなり、結果として、得られる防眩フィルムを高精細の画像表示装置の表面に配置したときにギラツキが発生することとなる。また、凹部間の中心間直線距離の平均値Cが15μmを下回る場合には、得られる金型に周期が10μm以下の短周期成分が多く含まれるようになり、得られる防眩フィルムに優れた防眩性能が発現しない。よって、凹部間の中心間直線距離の平均値Cは式(3)の条件を満たすことが好ましい。   Here, it is preferable that the fine uneven surface of the antiglare film does not contain a long-period component of 50 μm or more from the viewpoint of suppressing glare generated by the fine uneven surface of the antiglare film. However, an excellent antiglare performance is not exhibited on a fine uneven surface containing only a short period component of 10 μm or less. Therefore, the fine uneven surface of the antiglare film preferably includes a surface shape having a period of 10 to 50 μm as a main component in order to sufficiently prevent glare while exhibiting a sufficient antiglare effect. Therefore, it is preferable that the metal mold | die for manufacturing the glare-proof film which fully prevents glare while expressing sufficient anti-glare effect contains the surface shape with a period of 10-50 micrometers as a main component. When the average value C of the center-to-center linear distance between the recesses exceeds 35 μm, a fine uneven surface shape having a period of 50 μm or more is likely to be formed on the resulting mold, and as a result, the resulting antiglare film is highly enhanced. Glare will occur when placed on the surface of a fine image display device. Moreover, when the average value C of the center-to-center linear distance between the recesses is less than 15 μm, the resulting mold contains a lot of short-period components with a period of 10 μm or less, and the resulting antiglare film is excellent. Anti-glare performance does not appear. Therefore, it is preferable that the average value C of the center-to-center linear distance between the recesses satisfies the condition of the expression (3).

第1凹凸面形成工程は平坦部と凹部が精度良く形成される工程であれば特に制限されないが、平坦部と凹部を精度よく、かつ、再現性よく製造するために、以下のいずれかの方法を用いることが好ましい。   The first concavo-convex surface forming step is not particularly limited as long as the flat portion and the concave portion are formed with high accuracy, but in order to manufacture the flat portion and the concave portion with high accuracy and reproducibility, any of the following methods Is preferably used.

〔2−1〕第1の好ましい第1凹凸面形成工程
第1の好ましい第1凹凸面形成工程は、〔2−1−1〕感光性樹脂膜塗布工程と、〔2−1−2〕露光工程と、〔2−1−3〕現像工程と、〔2−1−4〕エッチング工程と、〔2−1−5〕感光性樹脂膜剥離工程とを基本的に含む。図6は、本発明の金型の製造方法における第1の好ましい第1凹凸面形成工程を模式的に示す図である。図6には各工程での金型の断面を模式的に示している。
[2-1] First Preferred First Irregular Surface Forming Step The first preferred first irregular surface forming step includes [2-1-1] photosensitive resin film coating step and [2-1-2] exposure. The process basically includes a [2-1-3] development process, a [2-1-4] etching process, and a [2-1-5] photosensitive resin film peeling process. FIG. 6 is a diagram schematically showing a first preferable first uneven surface forming step in the method for manufacturing a mold of the present invention. FIG. 6 schematically shows a cross section of the mold in each step.

〔2−1−1〕感光性樹脂膜塗布工程
感光性樹脂膜塗布工程では、上述した研磨工程によって鏡面研磨を施した基材1の表面2に、感光性樹脂を溶媒に溶解した溶液として塗布し、加熱・乾燥することにより、感光性樹脂膜を形成する。図6(a)には、基材1の表面2に感光性樹脂膜6が形成された状態を模式的に示している。
[2-1-1] Photosensitive resin film coating step In the photosensitive resin film coating step, the photosensitive resin is applied as a solution in which the photosensitive resin is dissolved in a solvent to the surface 2 of the substrate 1 that has been mirror-polished by the polishing step described above. Then, a photosensitive resin film is formed by heating and drying. FIG. 6A schematically shows a state where the photosensitive resin film 6 is formed on the surface 2 of the substrate 1.

感光性樹脂としては従来公知の感光性樹脂を用いることができる。たとえば、感光部分が硬化する性質をもったネガ型の感光性樹脂としては分子中にアクリル基またはメタアクリル基を有するアクリル酸エステルの単量体やプレポリマー、ビスアジドとジエンゴムとの混合物、ポリビニルシンナマート系化合物などを用いることができる。また、現像により感光部分が溶出し、未感光部分だけが残る性質をもったポジ型の感光性樹脂としてはフェノール樹脂系やノボラック樹脂系などを用いることができる。また、感光性樹脂には、必要に応じて、増感剤、現像促進剤、密着性改質剤、塗布性改良剤などの各種添加剤を配合してもよい。   A conventionally known photosensitive resin can be used as the photosensitive resin. For example, a negative photosensitive resin having a property of curing the photosensitive part includes an acrylic ester monomer or prepolymer having an acrylic group or a methacrylic group in the molecule, a mixture of bisazide and diene rubber, polyvinyl thinner. Mart compounds and the like can be used. In addition, as a positive photosensitive resin having a property that a photosensitive portion is eluted by development and only an unexposed portion remains, a phenol resin type or a novolac resin type can be used. Moreover, you may mix | blend various additives, such as a sensitizer, a development accelerator, an adhesiveness modifier, and a coating property improving agent, with a photosensitive resin as needed.

これらの感光性樹脂を基材1の表面2に塗布する際には、良好な塗膜を形成するために、適当な溶媒に希釈して塗布することが好ましく、セロソルブ系溶媒、プロピレングリコール系溶媒、エステル系溶媒、アルコール系溶媒、ケトン系溶媒、高極性溶媒などを使用することができる。   When these photosensitive resins are applied to the surface 2 of the substrate 1, in order to form a good coating film, it is preferable to dilute and apply in an appropriate solvent. Cellosolve solvents, propylene glycol solvents An ester solvent, an alcohol solvent, a ketone solvent, a highly polar solvent, or the like can be used.

感光性樹脂溶液を塗布する方法としては、メニスカスコート、ファウンティンコート、ディップコート、回転塗布、ロール塗布、ワイヤーバー塗布、エアーナイフ塗布、ブレード塗布、カーテン塗布、リングコートなどの公知の方法を用いることができるが、これらの方法の中でも、塗布条件の調整が容易である回転塗布、ロール塗布、ワイヤーバー塗布、リングコートなどの方法が好ましく用いられる。   As a method for applying the photosensitive resin solution, known methods such as meniscus coating, fountain coating, dip coating, spin coating, roll coating, wire bar coating, air knife coating, blade coating, curtain coating, ring coating, etc. are used. Among these methods, methods such as spin coating, roll coating, wire bar coating, and ring coating that can easily adjust coating conditions are preferably used.

感光性樹脂膜塗布工程において形成される感光性樹脂膜の厚さは乾燥後で1〜6μmの範囲とすることが好ましい。また、感光性樹脂膜の厚さの変動係数は10%未満であることが好ましい。ここで感光性樹脂膜の厚さの変動係数とは感光性樹脂膜の厚さの標準偏差を感光性樹脂膜の平均厚さで割ったもので定義される。感光性樹脂膜の厚さの変動係数が10%以上であることは、すなわち感光性樹脂膜の厚さの変動が大きいことを示している。感光性樹脂膜の厚さが異なると露光工程における感度が変化し、また、現像工程における現像時間も変化する。よって、感光性樹脂膜の厚さの変動が大きい場合には、現像工程後に金型用基材表面に残存する感光性樹脂膜に感光性樹脂膜の厚さ変動に依存するムラが発生する。このムラによって最終的な金型にもムラが発生することとなる。感光性樹脂膜の厚さの変動係数は金型用基材1の表面2に形成された感光性樹脂膜6の厚さを3箇所以上測定し、その平均値と標準偏差を計算することによって求めることができる。ここで精度良く変動係数を求めるためには感光性樹脂膜6の厚さは10箇所以上測定することが好ましい。   The thickness of the photosensitive resin film formed in the photosensitive resin film coating step is preferably in the range of 1 to 6 μm after drying. The coefficient of variation of the thickness of the photosensitive resin film is preferably less than 10%. Here, the coefficient of variation in the thickness of the photosensitive resin film is defined as the standard deviation of the thickness of the photosensitive resin film divided by the average thickness of the photosensitive resin film. The variation coefficient of the thickness of the photosensitive resin film being 10% or more indicates that the variation of the thickness of the photosensitive resin film is large. When the thickness of the photosensitive resin film is different, the sensitivity in the exposure process changes, and the development time in the development process also changes. Therefore, when the variation in the thickness of the photosensitive resin film is large, unevenness depending on the variation in the thickness of the photosensitive resin film occurs in the photosensitive resin film remaining on the surface of the mold base after the development process. This unevenness also causes unevenness in the final mold. The coefficient of variation in the thickness of the photosensitive resin film is obtained by measuring three or more thicknesses of the photosensitive resin film 6 formed on the surface 2 of the mold substrate 1 and calculating the average value and standard deviation. Can be sought. Here, in order to obtain the coefficient of variation with high accuracy, the thickness of the photosensitive resin film 6 is preferably measured at 10 or more locations.

感光性樹脂膜の厚さの変動係数を10%未満とするためには、感光性樹脂を溶媒に溶解した溶液のレベリング性をレベリング剤で調整したり、溶媒による希釈率を調整したり、塗布する際の塗布方法および塗布条件を調整したりすることによって達成することができる。   In order to make the variation coefficient of the thickness of the photosensitive resin film less than 10%, the leveling property of the solution in which the photosensitive resin is dissolved in the solvent is adjusted with a leveling agent, the dilution rate with the solvent is adjusted, This can be achieved by adjusting the coating method and the coating conditions in doing so.

感光性樹脂を溶媒に溶解した溶液に添加するレベリング剤としては、アルキル変性シリコーンオイル、ポリエーテル変性シリコーンオイル、エポキシ変性シリコーンオイル、アミノ変性シリコーンオイル、カルボキシ変性シリコーンオイル、カルビノール変性シリコーンオイル、アルコキシ変性シリコーンオイル、両末端変性シリコーンオイル、ポリエステル変性シリコーンオイル、アラルキル変性シリコーンオイル、アクリル系シリコーンオイルなどの有機変性されたシリコーンオイルが好ましく使用することができる。このような有機変性シリコーンオイルとしては、たとえば、東レダウコーニング社製のアルキル変性シリコーンオイル「SH203」、「SH230」、「SF8416」、「BY16−846」、「FZ−49」、ポリエーテル変性シリコーンオイル「FZ−77」、「FZ−2105」、「SH3746」、「FZ−2118」、「FZ−7604」、「FZ−2161」、「SH3771」、「FZ−2162」、「FZ−2203」、「FZ−2207」、「FZ−2208」、エポキシ変性シリコーンオイル「FZ−3720」、「BY16−839」、「SF8411」、「SF8413」、「SF8421」、「BY16−876」、「FZ−3736」、「BY16−855D」、アミノ変性シリコーンオイル「FZ−3707」、「FZ−3504」、「BY16−205」、「FZ−3760」、「FZ−3705」、「BY16−209」、「FZ−3710」、「SF8417」、「BY16−849」、「BY16−850」、「BY16−879B」、「BY16−892」、「FZ−3501」、「FZ−3785」、「BY16−872」、「BY16−213」、「BY16−203」、「BY16−898」、「BY16−890」、「BY16−878」、「BY16−891」、「BY16−893」、「FZ−3789」、カルボキシ変性シリコーン「BY16−880」、カルビノール変性シリコーンオイル「SF8428」、アルコキシ変性シリコーンオイル「FZ−3704」、「BY16−606」、両末端変性シリコーンオイル「BY16−871」、「BY16−853」、「BY16−201」、「BY16−004」、「SF−8427」、「BY16−799」、「BY16−752」、ビックケミー・ジャパン株式会社製のポリエーテル変性シリコーンオイル「BYK−300/302」、「BYK−306」、「BYK−307」、「BYK−320」、「BYK−325」、「BYK−330」、「BYK−331」、「BYK−333」、「BYK−337」、「BYK−341」、「BYK−344」、「BYK−345/346」「BYK−347」、「BYK−348」、「BYK−375」、「BYK−377」、「BYK−378」、「BYK−UV3500」、「BYK−UV3510」、ポリエステル変性シリコーンオイル「BYK−310」、「BYK−315」、「BYK−370」、「BYK−UV3570」、アラルキル変性シリコーンオイル「BYK−322」、「BYK−323」、アクリル系シリコーンオイル「BYK−350」、「BYK−352」、「BYK−354」、「BYK−355」、「BYK−358N/361N」、「BYK−380N」、「BYK−381」、「BYK−392」などが挙げられる。これらの表面調整剤は、単独で用いても2種以上を併用しても良い。また、感光性樹脂を溶媒に溶解した溶液に添加するレベリング剤の添加量は、感光性樹脂100重量部に対して0.1〜5重量部であることが好ましい。   Leveling agents that are added to a solution in which a photosensitive resin is dissolved in a solvent include alkyl-modified silicone oil, polyether-modified silicone oil, epoxy-modified silicone oil, amino-modified silicone oil, carboxy-modified silicone oil, carbinol-modified silicone oil, alkoxy Organically modified silicone oils such as modified silicone oils, double-end modified silicone oils, polyester modified silicone oils, aralkyl modified silicone oils and acrylic silicone oils can be preferably used. Examples of such organically modified silicone oil include, for example, alkyl-modified silicone oils “SH203”, “SH230”, “SF8416”, “BY16-846”, “FZ-49” manufactured by Toray Dow Corning, polyether modified silicone Oils “FZ-77”, “FZ-2105”, “SH3746”, “FZ-2118”, “FZ-7604”, “FZ-2161”, “SH3771”, “FZ-2162”, “FZ-2203” , "FZ-2207", "FZ-2208", epoxy-modified silicone oils "FZ-3720", "BY16-839", "SF8411", "SF8413", "SF8421", "BY16-876", "FZ- 3736 "," BY16-855D ", amino-modified silicone oil" FZ-37 " 7 "," FZ-3504 "," BY16-205 "," FZ-3760 "," FZ-3705 "," BY16-209 "," FZ-3710 "," SF8417 "," BY16-849 "," BY16-850 "," BY16-879B "," BY16-892 "," FZ-3501 "," FZ-3785 "," BY16-872 "," BY16-213 "," BY16-203 "," BY16- 898 "," BY16-890 "," BY16-878 "," BY16-891 "," BY16-893 "," FZ-3789 ", carboxy-modified silicone" BY16-880 ", carbinol-modified silicone oil" SF8428 " , Alkoxy-modified silicone oil “FZ-3704”, “BY16-606”, both-end-modified silicone oil "BY16-871", "BY16-853", "BY16-201", "BY16-004", "SF-8427", "BY16-799", "BY16-752", manufactured by BYK Japan Polyether-modified silicone oils “BYK-300 / 302”, “BYK-306”, “BYK-307”, “BYK-320”, “BYK-325”, “BYK-330”, “BYK-331”, “ "BYK-333", "BYK-337", "BYK-341", "BYK-344", "BYK-345 / 346", "BYK-347", "BYK-348", "BYK-375", "BYK-" -377 "," BYK-378 "," BYK-UV3500 "," BYK-UV3510 ", polyester-modified silicone oil" BYK " -310 "," BYK-315 "," BYK-370 "," BYK-UV3570 ", aralkyl-modified silicone oils" BYK-322 "," BYK-323 ", acrylic silicone oils" BYK-350 "," BYK " -352 "," BYK-354 "," BYK-355 "," BYK-358N / 361N "," BYK-380N "," BYK-381 "," BYK-392 ", and the like. These surface conditioners may be used alone or in combination of two or more. Moreover, it is preferable that the addition amount of the leveling agent added to the solution which melt | dissolved photosensitive resin in the solvent is 0.1-5 weight part with respect to 100 weight part of photosensitive resin.

感光性樹脂を溶媒に溶解した溶液における感光性樹脂の重量分率は5〜50重量%であることが好ましく、10〜30重量%であることがより好ましい。重量分率が50重量%を上回る場合には、感光性樹脂溶液を塗布し、乾燥させる際のレベリング性が不十分となり、感光性樹脂膜の厚さの変動係数が大きくなる虞がある。一方、重量分率が5重量%を下回る場合には、感光性樹脂溶液を塗布し、乾燥させる際に液垂れなどが発生し、感光性樹脂膜の厚さの変動係数が大きくなる虞がある。感光性樹脂を溶解するための溶媒としては上述したものが好ましく用いられる。   The weight fraction of the photosensitive resin in a solution obtained by dissolving the photosensitive resin in a solvent is preferably 5 to 50% by weight, and more preferably 10 to 30% by weight. When the weight fraction exceeds 50% by weight, the leveling property when the photosensitive resin solution is applied and dried is insufficient, and the variation coefficient of the thickness of the photosensitive resin film may be increased. On the other hand, when the weight fraction is less than 5% by weight, dripping or the like may occur when the photosensitive resin solution is applied and dried, and the variation coefficient of the thickness of the photosensitive resin film may increase. . As the solvent for dissolving the photosensitive resin, those described above are preferably used.

感光性樹脂膜の厚さの変動係数を10%未満とするための、感光性樹脂溶液の塗布方法および塗布条件は、感光性樹脂溶液の物性によって変化するため、一概には言えないが、塗布方法としては塗布条件の調整が容易である回転塗布、ロール塗布、ワイヤーバー塗布、リングコートなどの方法が好ましく用いられる。その際の塗布ヘッドの相対移動速度は0.5〜300mm/secであることが好ましい。また、感光性樹脂溶液を塗布後の加熱もしくは乾燥温度は20〜80℃であることが好ましく、より好ましくは25〜40℃である。加熱もしくは乾燥温度が20℃を下回る場合には、乾燥時間が長くなり、乾燥中に液垂れが発生したりする可能性が高くなるため好ましくない。一方、加熱もしくは乾燥温度が80℃を上回る場合には、乾燥時間が短くなり、乾燥中のレベリング効果が発現せず、感光性樹脂膜の厚さの変動係数が大きくなる可能性がある。   The coating method and coating conditions of the photosensitive resin solution for setting the coefficient of variation of the thickness of the photosensitive resin film to less than 10% vary depending on the physical properties of the photosensitive resin solution. As a method, methods such as spin coating, roll coating, wire bar coating, and ring coating, which can easily adjust coating conditions, are preferably used. In this case, the relative movement speed of the coating head is preferably 0.5 to 300 mm / sec. Moreover, it is preferable that the heating or drying temperature after apply | coating the photosensitive resin solution is 20-80 degreeC, More preferably, it is 25-40 degreeC. When the heating or drying temperature is lower than 20 ° C., the drying time becomes long, and there is a high possibility that dripping occurs during drying. On the other hand, when the heating or drying temperature exceeds 80 ° C., the drying time is shortened, the leveling effect during drying is not exhibited, and the coefficient of variation in the thickness of the photosensitive resin film may increase.

〔2−1−2〕露光工程
続く露光工程では、所定のパターンを上述した感光性樹脂膜形成工程で形成された感光性樹脂膜6上に露光する。露光工程に用いる光源は塗布された感光性樹脂の感光波長や感度等に合わせて適宜選択すればよく、たとえば、高圧水銀灯のg線(波長:436nm)、高圧水銀灯のh線(波長:405nm)、高圧水銀灯のi線(波長:365nm)、半導体レーザー(波長:830nm、532nm、488nm、405nmなど)、YAGレーザー(波長:1064nm)、KrFエキシマーレーザー(波長:248nm)、ArFエキシマーレーザー(波長:193nm)、F2エキシマーレーザー(波長:157nm)などを用いることができる。
[2-1-2] Exposure Step In the subsequent exposure step, a predetermined pattern is exposed on the photosensitive resin film 6 formed in the above-described photosensitive resin film forming step. The light source used in the exposure process may be appropriately selected according to the photosensitive wavelength, sensitivity, etc. of the coated photosensitive resin. For example, g line (wavelength: 436 nm) of a high pressure mercury lamp, h line (wavelength: 405 nm) of a high pressure mercury lamp. , I line (wavelength: 365 nm) of high pressure mercury lamp, semiconductor laser (wavelength: 830 nm, 532 nm, 488 nm, 405 nm, etc.), YAG laser (wavelength: 1064 nm), KrF excimer laser (wavelength: 248 nm), ArF excimer laser (wavelength: 193 nm), F2 excimer laser (wavelength: 157 nm), or the like.

本発明の金型の製造方法において表面凹凸形状を精度良く形成するためには、露光工程において、所定のパターンを感光性樹脂膜上に精密に制御された状態で露光することが好ましい。本発明の金型の製造方法においては、上述したパターンを感光性樹脂膜上に精度よく露光するために、コンピュータ上でパターンを画像データとして作成し、その画像データに基づいたパターンを、コンピュータ制御されたレーザヘッドから発するレーザー光によって描画することが好ましい。レーザー描画を行うに際しては、たとえばLaser Stream FX((株)シンク・ラボラトリー製)などの印刷版作成用のレーザー描画装置を好適に用いることができる。   In order to form the surface unevenness shape with high accuracy in the mold manufacturing method of the present invention, it is preferable to expose a predetermined pattern on the photosensitive resin film in a precisely controlled manner in the exposure step. In the mold manufacturing method of the present invention, in order to accurately expose the above-described pattern on the photosensitive resin film, the pattern is created as image data on the computer, and the pattern based on the image data is controlled by the computer. It is preferable to draw with a laser beam emitted from the laser head. When performing laser drawing, a laser drawing apparatus for making a printing plate such as Laser Stream FX (manufactured by Sink Laboratory Co., Ltd.) can be preferably used.

図6(b)には、感光性樹脂膜6にパターンが露光された状態を模式的に示している。感光性樹脂膜をネガ型の感光性樹脂で形成した場合には、露光された領域7は露光によって樹脂の架橋反応が進行し、後述する現像液に対する溶解性が低下する。よって、現像工程において露光されていない領域8が現像液によって溶解され、露光された領域7のみ基材表面上に残りマスクとなる。一方、感光性樹脂膜をポジ型の感光性樹脂で形成した場合には、露光された領域7は露光によって樹脂の結合が切断され、後述する現像液に対する溶解性が増加する。よって、現像工程において露光された領域7が現像液によって溶解され、露光されていない領域8のみ基材表面上に残りマスクとなる。   FIG. 6B schematically shows a state where the pattern is exposed to the photosensitive resin film 6. When the photosensitive resin film is formed of a negative photosensitive resin, the exposed region 7 undergoes a crosslinking reaction of the resin by exposure, and the solubility in a developing solution described later decreases. Therefore, the unexposed area 8 in the developing process is dissolved by the developer, and only the exposed area 7 remains on the substrate surface as a mask. On the other hand, in the case where the photosensitive resin film is formed of a positive photosensitive resin, the exposed region 7 is broken by the resin bond due to the exposure, and the solubility in the developer described later increases. Therefore, the region 7 exposed in the developing process is dissolved by the developer, and only the unexposed region 8 remains on the substrate surface as a mask.

ここで基材表面上にマスクのある領域は後述するエッチング工程によってエッチング処理が基本的には進行しない。よってマスクの存在する領域が第1凹凸面の平坦部となる。これより上述した平坦部の占める面積の割合Aが式(1)を満たすように第1凹凸面を形成するためには、マスクの存在する領域の基材表面に占める面積の割合Aが式(1)を満たすようにパターンを作成すればよい。すなわち、感光性樹脂膜をネガ型の感光性樹脂で形成する場合には、露光される領域の基材表面に占める面積の割合AMNが平坦部の占める面積の割合Aの式(1)を満たすようにパターンを作成する。また、感光性樹脂膜をポジ型の感光性樹脂で形成する場合には、露光されない領域の基材表面に占める面積の割合AMPが平坦部の占める面積の割合Aの式(1)を満たすようにパターンを作成する。 Here, in the region where the mask is present on the substrate surface, the etching process basically does not proceed by the etching process described later. Therefore, the region where the mask exists becomes the flat portion of the first uneven surface. Thus, in order to form the first uneven surface so that the ratio A of the area occupied by the flat portion satisfies the formula (1), the ratio of the area A M to the surface of the substrate in the region where the mask exists is expressed by the formula A pattern may be created so as to satisfy (1). That is, in the case where the photosensitive resin film is formed of a negative photosensitive resin, the area ratio A MN occupying the surface of the substrate in the exposed region is expressed by the formula (1) of the area ratio A occupying the flat portion. Create a pattern to meet. In the case of forming a photosensitive resin film with a positive type photosensitive resin, the proportion A MP of the area occupied by the substrate surface of the unexposed region satisfies the formula (1) in the proportion A of the area occupied by the flat portion Create a pattern as follows.

また、マスクの存在しない領域が第1凹凸面の凹部となることから、凹部の中心間直線距離の平均値Cが式(3)を満たすように第1凹凸面を形成するためには、マスクの存在しない領域間の中心間直線距離の平均値Cが式(3)を満たすようにパターンを作成すればよい。すなわち、感光性樹脂膜をネガ型の感光性樹脂で形成する場合には、露光されない領域の中心間直線距離の平均値CMNが凹部の中心間直線距離の平均値Cの式(3)を満たすようにパターンを作成し、感光性樹脂膜をポジ型の感光性樹脂で形成する場合には、露光される領域の中心間直線距離の平均値CMPが凹部の中心間直線距離の平均値Cの式(3)を満たすようにパターンを作成する。 Moreover, since the area | region where a mask does not exist becomes a recessed part of a 1st uneven surface, in order to form a 1st uneven surface so that the average value C of the linear distance between the centers of a recessed part may satisfy | fill Formula (3), a mask is used. mean value C M between the centers linear distance between the nonexistent areas of it is sufficient to create a pattern so as to satisfy the equation (3). That is, when the photosensitive resin film is formed of a negative photosensitive resin, the average value CMN of the center-to-center linear distance of the unexposed region is expressed by the equation (3) of the average value C of the center-to-center linear distance of the recess. When a pattern is formed so as to satisfy the condition, and the photosensitive resin film is formed of a positive photosensitive resin, the average value CMP of the center-to-center linear distance of the exposed region is the average value of the center-to-center linear distance of the recess. A pattern is created so as to satisfy the expression (3) of C.

露光工程において感光性樹脂膜上に露光されるパターンはランダムなパターンであることが好ましい。規則的なパターンを露光した場合には、得られる金型の最終的な微細凹凸表面が規則的なものとなり、このような金型を用いて製造される防眩フィルムの微細凹凸表面も規則的なものとなる。規則的な微細凹凸表面を有する防眩フィルムはその規則性に起因する干渉色が発生する可能性がある。よって、露光工程において露光されるパターンはランダムであることがより好ましい。   The pattern exposed on the photosensitive resin film in the exposure step is preferably a random pattern. When a regular pattern is exposed, the final fine uneven surface of the resulting mold becomes regular, and the fine uneven surface of the antiglare film produced using such a mold is also regular. It will be something. An antiglare film having a regular fine uneven surface may generate interference colors due to its regularity. Therefore, the pattern exposed in the exposure step is more preferably random.

露光工程において感光性樹脂膜上に露光されるパターンはランダムで、かつ、マスクの存在する領域の基材表面に占める面積の割合Aとマスクの存在しない領域の中心間直線距離の平均値Cが上述した条件を満たすものであれば特に制限されず、たとえば、ドット径が10μm以上20μm未満のドットをランダムかつ均一に配置したパターン、ドットをランダムに配置して作成したパターンから特定の空間周波数以下の成分を除去するハイパスフィルターを通過させて得られたパターン、ドットをランダムに配置して作成したパターンから特定の空間周波数以下の成分と特定の空間周波数以上の成分を除去するバンドパスフィルターを通過させて得られたパターン、乱数もしくは計算機によって生成された擬似乱数により濃淡を決定したランダムな明度分布を有するパターンから特定の空間周波数以下の成分を除去するハイパスフィルターを通過させて得られたパターン、乱数もしくは計算機によって生成された擬似乱数により濃淡を決定したランダムな明度分布を有するパターンから特定の空間周波数以下の成分と特定の空間周波数以上の成分を除去するバンドパスフィルターを通過させて得られたパターンなどを用いることができる。図7にランダムなパターンを模式的に示した。図7(a)は16μmのドット径を有するドットをランダムに配置したパターンであり、図7(b)はドットをランダムに配置して作成したパターンから、特定の空間周波数範囲のみを抽出するバンドパスフィルターを通過させて得られたパターンである。 The pattern exposed on the photosensitive resin film in the exposure process is random, and the average ratio C of the area ratio A M of the area where the mask exists to the substrate surface and the center-to-center linear distance of the area where the mask does not exist There is no particular limitation as long as M satisfies the above-mentioned conditions, for example, a specific space from a pattern in which dots having a dot diameter of 10 μm or more and less than 20 μm are randomly and uniformly arranged, or a pattern created by randomly arranging dots. Bandpass filter that removes components below a specific spatial frequency and components above a specific spatial frequency from a pattern created by passing a high-pass filter that removes components below the frequency, and a pattern created by randomly arranging dots. The shade is determined by the pattern, random number obtained by passing through or a pseudo random number generated by a computer. A pattern obtained by passing a high-pass filter that removes components below a specific spatial frequency from a pattern having a random brightness distribution, a pattern having a random brightness distribution whose density is determined by a random number or a pseudo-random number generated by a computer A pattern obtained by passing a bandpass filter that removes a component below a specific spatial frequency and a component above a specific spatial frequency can be used. FIG. 7 schematically shows a random pattern. FIG. 7A shows a pattern in which dots having a dot diameter of 16 μm are randomly arranged, and FIG. 7B shows a band in which only a specific spatial frequency range is extracted from a pattern created by randomly arranging dots. It is a pattern obtained by passing through a pass filter.

〔2−1−3〕現像工程
続く現像工程においては、感光性樹脂膜6にネガ型の感光性樹脂を用いた場合には、露光されていない領域8は現像液によって溶解され、露光された領域7のみ金型用基材上に残存し、続くエッチング工程においてマスクとして作用する。一方、感光性樹脂膜6にポジ型の感光性樹脂を用いた場合には、露光された領域7のみ現像液によって溶解され、露光されていない領域8が金型用基材上に残存して、続くエッチング工程におけるマスクとして作用する。
[2-1-3] Development Step In the subsequent development step, when a negative photosensitive resin was used for the photosensitive resin film 6, the unexposed region 8 was dissolved by the developer and exposed. Only the region 7 remains on the mold base and acts as a mask in the subsequent etching process. On the other hand, when a positive photosensitive resin is used for the photosensitive resin film 6, only the exposed region 7 is dissolved by the developer, and the unexposed region 8 remains on the mold base. It acts as a mask in the subsequent etching process.

現像工程に用いる現像液については従来公知のものを使用することができる。たとえば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水などの無機アルカリ類、エチルアミン、n−プロピルアミンなどの第一アミン類、ジエチルアミン、ジ−n−ブチルアミンなどの第二アミン類、トリエチルアミン、メチルジエチルアミンなどの第三アミン類、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミンなどのアルコールアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルヒドロキシエチルアンモニウムヒドロキシドなどの第四級アンモニウム塩、ピロール、ピヘリジンなどの環状アミン類などのアルカリ性水溶液、キシレン、トルエンなどの有機溶剤などを挙げることができる。   A conventionally well-known thing can be used about the developing solution used for a image development process. For example, inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, aqueous ammonia, primary amines such as ethylamine and n-propylamine, diethylamine, di-n-butylamine, etc. Secondary amines, tertiary amines such as triethylamine and methyldiethylamine, alcohol amines such as dimethylethanolamine and triethanolamine, secondary amines such as tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide and trimethylhydroxyethylammonium hydroxide Examples include alkaline aqueous solutions such as quaternary ammonium salts, cyclic amines such as pyrrole and pihelidine, and organic solvents such as xylene and toluene.

現像工程における現像方法については特に制限されず、浸漬現像、スプレー現像、ブラシ現像、超音波現像などの方法を用いることができる。   The development method in the development step is not particularly limited, and methods such as immersion development, spray development, brush development, and ultrasonic development can be used.

図6(c)には、感光性樹脂膜6にポジ型の感光性樹脂を用いて、現像処理を行った状態を模式的に示している。図6(b)において露光された領域7が現像液によって溶解され、露光されていない領域8のみ基材表面上に残りマスク9となる。   FIG. 6C schematically shows a state in which a development process is performed using a positive photosensitive resin for the photosensitive resin film 6. In FIG. 6B, the exposed region 7 is dissolved by the developer, and only the unexposed region 8 becomes the remaining mask 9 on the substrate surface.

〔2−1−4〕エッチング工程
続くエッチング工程では、上述した現像工程後に金型用基材表面上に残存した感光性樹脂膜をマスクとして用いて、主にマスクの無い箇所の金型用基材をエッチングする。図6(e)にはエッチング工程によって、主にマスクの無い箇所10の金型用基材1がエッチングされる状態を模式的に示している。
[2-1-4] Etching Step In the subsequent etching step, the mold base is mainly used in a portion where there is no mask, using the photosensitive resin film remaining on the surface of the mold base after the development step as a mask. Etch the material. FIG. 6E schematically shows a state in which the mold base 1 in the portion 10 where no mask is mainly etched by the etching process.

エッチング工程におけるエッチング処理は、通常、塩化第二鉄(FeCl3)液、塩化
第二銅(CuCl2)液、アルカリエッチング液(Cu(NH34Cl2)などを用いて、金属表面を腐食させることによって行われるが、塩酸や硫酸などの強酸を用いることもできるし、電解めっき時と逆の電位をかけることによる逆電解エッチングを用いることもできる。このエッチング処理によるエッチング量が第1凹凸面の凹部深さBとなるため、エッチング量Bは第1凹凸面の凹部深さBの式(2)を満たすように設定する。ここでいうエッチング量とは、エッチングにより削られる基材の厚みである。
Etching treatment in the etching process is usually performed by using a ferric chloride (FeCl 3 ) solution, a cupric chloride (CuCl 2 ) solution, an alkali etching solution (Cu (NH 3 ) 4 Cl 2 ), etc. Although it is performed by corroding, a strong acid such as hydrochloric acid or sulfuric acid can be used, or reverse electrolytic etching by applying a potential opposite to that during electrolytic plating can also be used. Since the etching amount by this etching process becomes the recess depth B of the first uneven surface, the etching amount BE is set so as to satisfy the equation (2) of the recess depth B of the first uneven surface. The etching amount here is the thickness of the base material to be cut by etching.

エッチング工程におけるエッチング処理は1回のエッチング処理によって行ってもよいし、エッチング処理を2回以上に分けて行ってもよい。ここでエッチング処理を2回以上に分けて行う場合には、2回以上のエッチング処理におけるエッチング量Bの合計が第1凹凸面の凹部深さBの式(2)を満たすことが好ましい。 The etching process in the etching process may be performed by one etching process, or the etching process may be performed in two or more times. Here, when the etching process is performed twice or more, it is preferable that the sum of the etching amounts BE in the two or more etching processes satisfies the formula (2) of the recess depth B of the first uneven surface.

〔2−1−5〕感光性樹脂膜剥離工程
続く感光性樹脂膜剥離工程では、エッチング工程でマスクとして使用した残存する感光性樹脂膜を完全に溶解し除去する。感光性樹脂膜剥離工程では剥離液を用いて感光性樹脂膜を溶解する。剥離液としては、上述した現像液と同様のものを用いることができ、pH、温度、濃度および浸漬時間などを変化させることによって、ネガ型の感光性樹脂膜を用いた場合には露光部の、ポジ型の感光性樹脂膜を用いた場合には非露光部の感光性樹脂膜を完全に溶解して除去する。感光性樹脂膜剥離工程における剥離方法についても特に制限されず、浸漬剥離、スプレー剥離、ブラシ剥離、超音波剥離などの方法を用いることができる。
[2-1-5] Photosensitive resin film peeling step In the subsequent photosensitive resin film peeling step, the remaining photosensitive resin film used as a mask in the etching step is completely dissolved and removed. In the photosensitive resin film peeling step, the photosensitive resin film is dissolved using a peeling solution. As the stripper, the same developer as that described above can be used, and by changing the pH, temperature, concentration, immersion time, etc., when using a negative photosensitive resin film, When a positive photosensitive resin film is used, the photosensitive resin film in the non-exposed area is completely dissolved and removed. The peeling method in the photosensitive resin film peeling step is not particularly limited, and methods such as immersion peeling, spray peeling, brush peeling, and ultrasonic peeling can be used.

図6(e)は、感光性樹脂膜剥離工程によって、エッチング工程でマスクとして使用した感光性樹脂膜を完全に溶解し除去した状態を模式的に示している。感光性樹脂膜によるマスク9とエッチングによって、第1凹凸面4が金型用基材表面に形成される。   FIG. 6E schematically shows a state where the photosensitive resin film used as a mask in the etching process is completely dissolved and removed by the photosensitive resin film peeling process. The first concavo-convex surface 4 is formed on the surface of the mold substrate by the mask 9 and etching using the photosensitive resin film.

〔2−2〕第2の好ましい第1凹凸面形成工程
第2の好ましい第1凹凸面形成工程は、上記研磨された面に凹部を切削加工によって形成する切削工程を基本的に含む。図8には、金型用基材の表面に凹部が形成された状態を模式的に示している。
[2-2] Second Preferred First Irregular Surface Formation Step The second preferred first uneven surface formation step basically includes a cutting step of forming a concave portion on the polished surface by cutting. FIG. 8 schematically shows a state in which a recess is formed on the surface of the mold base.

切削工程における凹部の切削加工は、研磨された金型用基材の表面と平行な方向に相対的に直線移動し、かつ直線移動と同時に金型用基材の表面と垂直な方向に微小往復移動する切削工具によって行われることが好ましい。図9に研磨された金型用基材1の表面と平行な方向12に相対的に直線移動し、かつ直線移動と同時に金型用基材の表面と垂直な方向13に微小往復移動する切削工具14の様子を模式的に示した。図9においては、金型用基材1を固定して図示したため、切削工具14のみが直線移動と垂直方向への微小往復移動を行っている。このような切削加工を行うことによって、金型用基材1上に所望のピッチ、深さで凹部3を高精度に形成することができる。   In the cutting process, the concave portion is moved relatively linearly in a direction parallel to the surface of the polished mold base material, and at the same time as the linear movement, the micro-reciprocation is performed in a direction perpendicular to the surface of the mold base material. It is preferably done by a moving cutting tool. FIG. 9 shows a cutting that moves relatively linearly in a direction 12 parallel to the surface of the polished mold base 1 and reciprocally moves in a direction 13 perpendicular to the surface of the mold base simultaneously with the linear movement. A state of the tool 14 is schematically shown. In FIG. 9, since the mold base 1 is shown fixed, only the cutting tool 14 performs a linear movement and a minute reciprocation in the vertical direction. By performing such a cutting process, the recesses 3 can be formed on the mold base 1 with a desired pitch and depth with high accuracy.

このような切削加工を行うための装置を図10および図11に模式的に示した。図10は、金型用基材1が平板状である場合の装置であり、金型用基材1を設置し金型用基材1の表面と平行な第1の方向(以下、「X方向」とする)と、金型用基材1の表面と平行でX方向に垂直な第2の方向(以下、「Y方向」とする)に移動可能な加工テーブル15と、金型用基材1の表面と垂直な方向(以下、「Z方向」とする)に移動可能なZ軸駆動部16と、Z軸駆動部16に取り付けられた微小往復移動用駆動機構部17と、微小往復移動用駆動機構部に取り付けられた切削工具14を有する。この加工テーブル15に金型用基材1を設置し、加工装置のZ軸駆動部16を用いて微小往復移動用駆動機構部17をZ軸方向に移動させて、切削工具14と金型用基材1とを加工可能である所定量まで近づける。次に、加工テーブル15のX方向への駆動により金型用基材1を一定速度で移動させる。その際、微小往復移動用駆動機構部17を用いて切削工具14をZ方向に所定の微小量だけ往復移動させる。これによって、切削工具14の先端部14aは、金型用基材1に対して図9に示す工具移動軌跡18a,18bを描くように移動し、高精度に凹部3を形成することができる。   An apparatus for performing such a cutting process is schematically shown in FIGS. FIG. 10 shows an apparatus in the case where the mold base 1 has a flat plate shape. The mold base 1 is installed in a first direction parallel to the surface of the mold base 1 (hereinafter referred to as “X”). A working table 15 movable in a second direction (hereinafter referred to as “Y direction”) parallel to the surface of the mold base 1 and perpendicular to the X direction, and a mold base A Z-axis drive unit 16 movable in a direction perpendicular to the surface of the material 1 (hereinafter referred to as “Z direction”), a micro-reciprocating drive mechanism unit 17 attached to the Z-axis drive unit 16, and a micro-reciprocation It has the cutting tool 14 attached to the drive mechanism part for a movement. The mold base 1 is placed on the machining table 15, and the micro reciprocating drive mechanism 17 is moved in the Z-axis direction by using the Z-axis drive unit 16 of the machining apparatus. The base material 1 is brought close to a predetermined amount that can be processed. Next, the mold base 1 is moved at a constant speed by driving the processing table 15 in the X direction. At that time, the cutting tool 14 is reciprocated by a predetermined minute amount in the Z direction by using the minute reciprocating drive mechanism 17. As a result, the distal end portion 14a of the cutting tool 14 moves so as to draw the tool movement trajectories 18a and 18b shown in FIG. 9 with respect to the mold base 1, and the concave portion 3 can be formed with high accuracy.

図11には、金型用基材1が円筒状である場合の装置を模式的に示した。図11の装置は、円筒状の金型用基材1であるロールの両端を支持する支持機構19と、円筒状の金型用基材1であるロールをその長手方向軸線を中心に回転させるモータ20(回転方向を以下では「X方向」とする)と、その長手方向(以下、「Y方向」とする)に移動可能なY軸駆動部21と、Y軸駆動部21に取り付けられた金型用基材1の表面と垂直な方向(以下、「Z方向」とする)に移動可能なZ軸駆動部16と、Z軸駆動部に取り付けられた微小往復移動用駆動機構部17と、微小往復移動用駆動機構部17に取り付けられた切削工具14を有する。この支持機構19に円筒状の金型用基材1を設置し、加工装置のZ軸駆動部16を用いて微小往復移動用駆動機構部17をZ軸方向に移動させて、切削工具14と金型用基材1とを加工可能である所定量まで近づける。次に、モータ20の駆動により金型用基材1をX方向に一定速度で回転させる。その際、微小往復移動用駆動機構部17を用いて切削工具14をZ方向に所定の微小量だけ往復移動させる。これにより、切削工具14の先端部14aは金型用基材1に対して、図9に示す工具移動軌跡18a,18bを描くように移動し、高精度に凹部3を形成することができる。   FIG. 11 schematically shows an apparatus when the mold base 1 is cylindrical. The apparatus of FIG. 11 rotates the roll which is the cylindrical mold base material 1 centering on the longitudinal axis about the support mechanism 19 which supports the both ends of the roll which is the cylindrical mold base material 1. The motor 20 (hereinafter referred to as “X direction”), a Y-axis drive unit 21 movable in the longitudinal direction (hereinafter referred to as “Y-direction”), and the Y-axis drive unit 21 are attached. A Z axis drive unit 16 movable in a direction perpendicular to the surface of the mold base 1 (hereinafter referred to as “Z direction”), and a micro reciprocating drive mechanism unit 17 attached to the Z axis drive unit; The cutting tool 14 is attached to the micro reciprocating drive mechanism 17. The cylindrical mold base 1 is installed on the support mechanism 19, and the micro reciprocating drive mechanism 17 is moved in the Z-axis direction using the Z-axis drive unit 16 of the processing apparatus. The mold base 1 is brought close to a predetermined amount that can be processed. Next, the mold base 1 is rotated in the X direction at a constant speed by driving the motor 20. At that time, the cutting tool 14 is reciprocated by a predetermined minute amount in the Z direction by using the minute reciprocating drive mechanism 17. Thereby, the front-end | tip part 14a of the cutting tool 14 moves so that the tool movement traces 18a and 18b shown in FIG. 9 may be drawn with respect to the base material 1 for metal mold | dies, and the recessed part 3 can be formed with high precision.

微小往復移動用駆動機構部の駆動源としては切削工具を微小駆動できるものであれば特に制限されず、圧電素子、磁歪素子、超音波発振機などを使用することができるが、加工精度、加工速度の観点から圧電素子を用いることが好ましい。微小往復移動用駆動機構部に取り付ける切削工具の材質は特に制限されるものではなく、超硬バイト、CBNバイト、セラミックバイト、ダイヤモンドバイトなどを使用することができるが、加工精度の観点からダイヤモンドバイトを用いることが好ましい。   The drive source of the micro reciprocating drive mechanism is not particularly limited as long as it can drive the cutting tool microscopically, and a piezoelectric element, a magnetostrictive element, an ultrasonic oscillator, etc. can be used. It is preferable to use a piezoelectric element from the viewpoint of speed. The material of the cutting tool to be attached to the micro reciprocating drive mechanism is not particularly limited, and carbide tools, CBN tools, ceramic tools, diamond tools, etc. can be used. Is preferably used.

切削加工によって第1凹凸面を形成する場合にも、形成される凹部はランダムに配置されていることが好ましく、第1凹凸面の平坦部の占める面積の割合Aと凹部の深さBと凹部の中心間直線距離の平均値Cが上述した式(1)〜(3)を満たすことが好ましい。よって、切削加工によって第1凹凸面を形成する場合には、切削加工によって形成される凹部の深さは式(2)を満たすように設定した上で、〔2−1−2〕露光工程で述べたパターンに基づいて凹部を切削することが好ましい。すなわち、ネガ型の感光性樹脂膜を用いる場合のパターンにおいては露光されない領域を切削して凹部とすることが好ましく、ポジ型の感光性樹脂膜を用いる場合のパターンにおいては露光される領域を切削して凹部とすることが好ましい。   Even when the first uneven surface is formed by cutting, the formed recesses are preferably arranged at random, the ratio A of the area occupied by the flat portion of the first uneven surface, the depth B of the recesses, and the recesses It is preferable that the average value C of the center-to-center linear distance satisfies the above-described formulas (1) to (3). Therefore, when the first uneven surface is formed by cutting, the depth of the recess formed by the cutting is set so as to satisfy the formula (2), and then in the [2-1-2] exposure step. It is preferable to cut the recess based on the described pattern. That is, it is preferable to cut a region that is not exposed in a pattern when using a negative photosensitive resin film to form a concave portion, and a region that is exposed in a pattern when using a positive photosensitive resin film. It is preferable to form a recess.

〔2−3〕第3の好ましい第1凹凸面形成工程
第3の好ましい第1凹凸面形成工程は、〔2−3−1〕着色塗料塗布工程と、〔2−3−2〕レーザー照射工程と、〔2−3−3〕エッチング工程と、〔2−3−4〕着色塗膜剥離工程を基本的に含む。図12は、本発明の金型の製造方法における第3の好ましい第1凹凸面形成工程を模式的に示す図である。図12には各工程での金型の断面を模式的に示している。
[2-3] Third Preferred First Irregular Surface Forming Step The third preferred first irregular surface forming step includes: [2-3-1] Colored paint application step; [2-3-2] Laser irradiation step And [2-3-3] etching step and [2-3-4] colored coating film peeling step. FIG. 12 is a diagram schematically showing a third preferable first uneven surface forming step in the mold manufacturing method of the present invention. FIG. 12 schematically shows a cross section of the mold in each step.

〔2−3−1〕着色塗料塗布工程
着色塗料塗布工程では、上述した研磨工程によって鏡面研磨を施した基材1の表面2に、着色塗料を塗布し、加熱・乾燥することにより、着色塗膜22を形成する。図12(a)には、基材1の表面2に着色塗膜22が形成された状態を模式的に示している。
[2-3-1] Colored paint application process In the colored paint application process, a colored paint is applied to the surface 2 of the base material 1 that has been mirror-polished by the above-described polishing process, and heated and dried. A film 22 is formed. FIG. 12A schematically shows a state in which the colored coating film 22 is formed on the surface 2 of the substrate 1.

着色塗料塗布工程に用いられる着色塗料は続くレーザー照射工程においてレーザーアブレーションが可能であり、その後のエッチング工程において耐エッチング性を有するものであれば特に制限されないが、たとえば、ニトロセルロース、エチレン酢酸ビニル強重合体、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、アリル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリアセタール、天然ゴムなどの可燃性物質のいずれか一種または複数種と、硝酸アンモニウムや塩素酸化合物などの酸化剤と、カーボンブラック等の光吸収体をセロソルブ系溶媒、プロピレングリコール系溶媒、エステル系溶媒、アルコール系溶媒、ケトン系溶媒、高極性溶媒などの適当な溶媒で希釈したものを使用することができる。また、着色塗料には、必要に応じて、密着性改質剤、塗布性改良剤などの各種添加剤を配合してもよい。   The colored paint used in the colored paint coating process is not particularly limited as long as it can be laser ablated in the subsequent laser irradiation process and has etching resistance in the subsequent etching process. For example, nitrocellulose, ethylene vinyl acetate strong Polymer, unsaturated polyester resin, epoxy resin, allyl resin, polyurethane resin, polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyacetal, natural rubber and any one or more flammable substances, and oxidizing agents such as ammonium nitrate and chloric acid compounds In addition, a light absorber such as carbon black diluted with an appropriate solvent such as a cellosolve solvent, a propylene glycol solvent, an ester solvent, an alcohol solvent, a ketone solvent, or a highly polar solvent can be used. Moreover, you may mix | blend various additives, such as an adhesiveness modifier and a coating property improving agent, with a coloring paint as needed.

着色塗料を塗布する方法としては、メニスカスコート、ファウンティンコート、ディップコート、回転塗布、ロール塗布、ワイヤーバー塗布、エアーナイフ塗布、ブレード塗布、カーテン塗布、リングコートなどの公知の方法を用いることができるが、これらの方法の中でも、塗布条件の調整が容易である回転塗布、ロール塗布、ワイヤーバー塗布、リングコートなど方法が好ましく用いられる。また、着色塗料塗布工程において形成される着色塗膜の厚さは乾燥後で1〜6μmの範囲とすることが好ましい。   As a method for applying the colored paint, known methods such as meniscus coating, fountain coating, dip coating, spin coating, roll coating, wire bar coating, air knife coating, blade coating, curtain coating, and ring coating may be used. However, among these methods, methods such as spin coating, roll coating, wire bar coating, and ring coating that can easily adjust coating conditions are preferably used. Moreover, it is preferable that the thickness of the colored coating film formed in the colored paint coating step is in the range of 1 to 6 μm after drying.

着色塗料に添加するレベリング剤としては、感光性樹脂を溶媒に溶解した溶液に添加するレベリング剤と同様のものを使用することができて、アルキル変性シリコーンオイル、ポリエーテル変性シリコーンオイル、エポキシ変性シリコーンオイル、アミノ変性シリコーンオイル、カルボキシ変性シリコーンオイル、カルビノール変性シリコーンオイル、アルコキシ変性シリコーンオイル、両末端変性シリコーンオイル、ポリエステル変性シリコーンオイル、アラルキル変性シリコーンオイル、アクリル系シリコーンオイルなどの有機変性されたシリコーンオイルが好ましく使用することができる。このような有機変性シリコーンオイルとしては、例えば、東レダウコーニング社製のアルキル変性シリコーンオイル「SH203」、「SH230」、「SF8416」、「BY16−846」、「FZ−49」、ポリエーテル変性シリコーンオイル「FZ−77」、「FZ−2105」、「SH3746」、「FZ−2118」、「FZ−7604」、「FZ−2161」、「SH3771」、「FZ−2162」、「FZ−2203」、「FZ−2207」、「FZ−2208」、エポキシ変性シリコーンオイル「FZ−3720」、「BY16−839」、「SF8411」、「SF8413」、「SF8421」、「BY16−876」、「FZ−3736」、「BY16−855D」、アミノ変性シリコーンオイル「FZ−3707」、「FZ−3504」、「BY16−205」、「FZ−3760」、「FZ−3705」、「BY16−209」、「FZ−3710」、「SF8417」、「BY16−849」、「BY16−850」、「BY16−879B」、「BY16−892」、「FZ−3501」、「FZ−3785」、「BY16−872」、「BY16−213」、「BY16−203」、「BY16−898」、「BY16−890」、「BY16−878」、「BY16−891」、「BY16−893」、「FZ−3789」、カルボキシ変性シリコーン「BY16−880」、カルビノール変性シリコーンオイル「SF8428」、アルコキシ変性シリコーンオイル「FZ−3704」、「BY16−606」、両末端変性シリコーンオイル「BY16−871」、「BY16−853」、「BY16−201」、「BY16−004」、「SF−8427」、「BY16−799」、「BY16−752」、ビックケミー・ジャパン株式会社製のポリエーテル変性シリコーンオイル「BYK−300/302」、「BYK−306」、「BYK−307」、「BYK−320」、「BYK−325」、「BYK−330」、「BYK−331」、「BYK−333」、「BYK−337」、「BYK−341」、「BYK−344」、「BYK−345/346」「BYK−347」、「BYK−348」、「BYK−375」、「BYK−377」、「BYK−378」、「BYK−UV3500」、「BYK−UV3510」、ポリエステル変性シリコーンオイル「BYK−310」、「BYK−315」、「BYK−370」、「BYK−UV3570」、アラルキル変性シリコーンオイル「BYK−322」、「BYK−323」、アクリル系シリコーンオイル「BYK−350」、「BYK−352」、「BYK−354」、「BYK−355」、「BYK−358N/361N」、「BYK−380N」、「BYK−381」、「BYK−392」などが挙げられる。これらの表面調整剤は、単独で用いても2種以上を併用しても良い。また、着色塗料に添加するレベリング剤の添加量は、着色塗料の固形分100重量部に対して0.1〜5重量部であることが好ましい。   As the leveling agent to be added to the colored paint, the same leveling agent as that added to the solution in which the photosensitive resin is dissolved in the solvent can be used. Alkyl-modified silicone oil, polyether-modified silicone oil, epoxy-modified silicone Organically modified silicone such as oil, amino-modified silicone oil, carboxy-modified silicone oil, carbinol-modified silicone oil, alkoxy-modified silicone oil, both-end-modified silicone oil, polyester-modified silicone oil, aralkyl-modified silicone oil, acrylic silicone oil Oil can be preferably used. Examples of such organically modified silicone oil include alkyl-modified silicone oils “SH203”, “SH230”, “SF8416”, “BY16-846”, “FZ-49” manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd., polyether-modified silicones Oils “FZ-77”, “FZ-2105”, “SH3746”, “FZ-2118”, “FZ-7604”, “FZ-2161”, “SH3771”, “FZ-2162”, “FZ-2203” , "FZ-2207", "FZ-2208", epoxy-modified silicone oils "FZ-3720", "BY16-839", "SF8411", "SF8413", "SF8421", "BY16-876", "FZ- 3736 "," BY16-855D ", amino-modified silicone oil" FZ-370 " ”,“ FZ-3504 ”,“ BY16-205 ”,“ FZ-3760 ”,“ FZ-3705 ”,“ BY16-209 ”,“ FZ-3710 ”,“ SF8417 ”,“ BY16-849 ”,“ BY16 ” -850 "," BY16-879B "," BY16-892 "," FZ-3501 "," FZ-3785 "," BY16-872 "," BY16-213 "," BY16-203 "," BY16-898 " ”,“ BY16-890 ”,“ BY16-878 ”,“ BY16-891 ”,“ BY16-893 ”,“ FZ-3789 ”, carboxy-modified silicone“ BY16-880 ”, carbinol-modified silicone oil“ SF8428 ”, Alkoxy-modified silicone oil “FZ-3704”, “BY16-606”, both-end modified silicone oil “BY16-871”, “BY16-853”, “BY16-201”, “BY16-004”, “SF-8427”, “BY16-799”, “BY16-752”, poly manufactured by BYK Japan Ether-modified silicone oils “BYK-300 / 302”, “BYK-306”, “BYK-307”, “BYK-320”, “BYK-325”, “BYK-330”, “BYK-331”, “BYK” -333 "," BYK-337 "," BYK-341 "," BYK-344 "," BYK-345 / 346 "," BYK-347 "," BYK-348 "," BYK-375 "," BYK- " 377 "," BYK-378 "," BYK-UV3500 "," BYK-UV3510 ", polyester-modified silicone oil" BYK- 310 ”,“ BYK-315 ”,“ BYK-370 ”,“ BYK-UV3570 ”, aralkyl-modified silicone oils“ BYK-322 ”,“ BYK-323 ”, acrylic silicone oils“ BYK-350 ”,“ BYK- ” 352 "," BYK-354 "," BYK-355 "," BYK-358N / 361N "," BYK-380N "," BYK-381 "," BYK-392 ", and the like. These surface conditioners may be used alone or in combination of two or more. Moreover, it is preferable that the addition amount of the leveling agent added to a colored paint is 0.1-5 weight part with respect to 100 weight part of solid content of a colored paint.

着色塗料における着色塗料の固形分率は重量分率で5〜50重量%であることが好ましく、10〜30重量%であることがより好ましい。重量分率が50重量%を上回る場合には、着色塗料を塗布し、乾燥させる際のレベリング性が不十分となり、乾燥後の着色塗膜の厚さが不均一になる虞がある。一方、重量分率が5重量%を下回る場合には、着色塗料を塗布し、乾燥させる際に液垂れなどが発生し、着色塗膜の厚さが不均一になる虞がある。着色塗料を溶解するための溶媒としては上述したものが好ましく用いられる。   The solid content of the colored paint in the colored paint is preferably 5 to 50% by weight, more preferably 10 to 30% by weight. When the weight fraction exceeds 50% by weight, the leveling property when the colored paint is applied and dried is insufficient, and the thickness of the colored coating film after drying may be uneven. On the other hand, when the weight fraction is less than 5% by weight, dripping or the like may occur when the colored paint is applied and dried, and the thickness of the colored coating film may become uneven. As the solvent for dissolving the colored paint, those described above are preferably used.

〔2−3−2〕レーザー照射工程
続くレーザー照射工程では、所定のパターンを上述した着色塗料塗布工程で形成された着色塗膜22上にレーザーアブレーションによって描画する。すなわち、レーザー光を着色塗膜22上に照射し、着色塗膜22中の光吸収体でレーザー光を吸収して熱に変換し、可燃物質を酸化剤の下で瞬間に加熱蒸発させ、後のエッチング工程の際にエッチング処理を行う領域の金型用基材表面を露出する。この際にレーザー光を照射しなかった領域は後のエッチング工程においてマスクとして作用する。レーザー照射工程に用いる光源は着色塗膜22をレーザーアブレーション可能であるものを適宜選択すればよく、たとえば、YAGレーザー(波長:1064nm)や波長が800nm前後の半導体レーザーなどを用いることができる。
[2-3-2] Laser irradiation step In the subsequent laser irradiation step, a predetermined pattern is drawn by laser ablation on the colored coating film 22 formed in the above-described colored paint application step. That is, a laser beam is irradiated onto the colored coating film 22, the laser beam is absorbed by the light absorber in the colored coating film 22 and converted into heat, and the combustible substance is instantaneously heated and evaporated under an oxidant. In the etching step, the surface of the mold base in the region where the etching process is performed is exposed. At this time, the region not irradiated with the laser beam acts as a mask in a later etching process. The light source used in the laser irradiation process may be appropriately selected from those capable of laser ablating the colored coating film 22. For example, a YAG laser (wavelength: 1064 nm) or a semiconductor laser having a wavelength of about 800 nm can be used.

本発明の金型の製造方法において表面凹凸形状を精度良く形成するためには、レーザー照射工程において、上述したパターンを着色塗膜上に精密に制御された状態で描画することが好ましい。本発明の金型の製造方法においては、上述したパターンを着色塗膜上に精度よく描画するために、コンピュータ上でパターンを画像データとして作成し、その画像データに基づいたパターンを、コンピュータ制御されたレーザヘッドから発するレーザー光によって描画することが好ましい。レーザー描画を行うに際しては印刷版作成用のレーザー描画装置を使用することができる。このようなレーザー描画装置としては、たとえばLaser Stream FX((株)シンク・ラボラトリー製)、DIGILAS(シェパーズ・オハイオ社製)などが挙げられる。   In order to form the surface uneven shape with high accuracy in the method for producing a mold of the present invention, it is preferable to draw the above-described pattern on the colored coating film in a precisely controlled state in the laser irradiation step. In the mold manufacturing method of the present invention, in order to accurately draw the above-described pattern on the colored coating film, the pattern is created as image data on a computer, and the pattern based on the image data is computer-controlled. It is preferable to draw with a laser beam emitted from a laser head. When performing laser drawing, a laser drawing apparatus for making a printing plate can be used. Examples of such a laser drawing apparatus include Laser Stream FX (manufactured by Sink Laboratories) and DIGILAS (manufactured by Shepherds Ohio).

レーザー照射工程において着色塗膜上に描画されるパターンが、第1凹凸面の平坦部と凹部に対応することから、描画されるパターンの凹部はランダムに配置されていることが好ましく、レーザーアブレーションされない領域(第1凹凸面の平坦部に対応する)の占める面積の割合Aとレーザーアブレーションされる領域(第1凹凸面の凹部に対応する)の中心間直線距離の平均値Cが上述した式(1)および式(3)を満たすことが好ましい。よって、レーザー照射工程において描画されるパターンも、〔2−1−2〕露光工程で述べたパターンと同様のものであることが好ましい。すなわち、ネガ型の感光性樹脂膜を用いる場合のパターンにおいては露光されない領域をレーザーアブレーションによって露出させることが好ましく、ポジ型の感光性樹脂膜を用いる場合のパターンにおいては露光される領域をレーザーアブレーションによって露出させることが好ましい。 Since the pattern drawn on the colored coating film in the laser irradiation step corresponds to the flat part and the concave part of the first uneven surface, the concave part of the drawn pattern is preferably arranged at random, and laser ablation is not performed. area average value C L between the centers linear distance ratio a L and the laser ablated regions of the area occupied by the (corresponding to the flat portion of the first concave-convex surface) (corresponding to the concave portion of the first concave-convex surface) described above It is preferable to satisfy | fill Formula (1) and Formula (3). Therefore, the pattern drawn in the laser irradiation process is preferably the same as the pattern described in [2-1-2] exposure process. That is, it is preferable to expose a region that is not exposed in the pattern in the case of using the negative type photosensitive resin film by laser ablation, and in the pattern in the case of using the positive type photosensitive resin film, the region to be exposed is laser ablated. It is preferable to expose by.

図12(b)には、着色塗膜22にレーザー光を照射し、着色塗膜22の一部を加熱蒸発させ、金型用基材1の表面2を露出させた状態を模式的に示している。図12(b)において基材1の表面2上に残った着色塗膜22が後のエッチング工程におけるマスクとなる。   FIG. 12B schematically shows a state in which the colored coating film 22 is irradiated with laser light, a part of the colored coating film 22 is heated and evaporated, and the surface 2 of the mold base 1 is exposed. ing. In FIG. 12B, the colored coating film 22 remaining on the surface 2 of the substrate 1 becomes a mask in the subsequent etching process.

〔2−3−3〕エッチング工程
続くエッチング工程では、上述したレーザー照射工程後に金型用基材表面上に残存した着色塗膜をマスクとして用いて、主にマスクの無い箇所の金型用基材をエッチングする。図12(c)にはエッチング工程によって、主にマスクの無い箇所の金型用基材1がエッチングされる状態を模式的に示している。
[2-3-3] Etching process In the subsequent etching process, the colored coating film remaining on the surface of the mold substrate after the laser irradiation process described above is used as a mask. Etch the material. FIG. 12C schematically shows a state in which the mold base 1 in a portion mainly without a mask is etched by the etching process.

エッチング工程におけるエッチング処理は、通常、塩化第二鉄(FeCl)液、塩化第二銅(CuCl)液、アルカリエッチング液(Cu(NHCl)などを用いて、金属表面を腐食させることによって行われるが、塩酸や硫酸などの強酸を用いることもできるし、電解めっき時と逆の電位をかけることによる逆電解エッチングを用いることもできる。このエッチング処理によるエッチング量が第1凹凸面の凹部深さBとなるため、エッチング量Bは第1凹凸面の凹部深さBの式(2)を満たすように設定する。ここでいうエッチング量とは、エッチングにより削られる基材の厚みである。 The etching process in the etching process is usually performed by using a ferric chloride (FeCl 3 ) solution, a cupric chloride (CuCl 2 ) solution, an alkaline etching solution (Cu (NH 3 ) 4 Cl 2 ), etc. Although it is performed by corroding, a strong acid such as hydrochloric acid or sulfuric acid can be used, or reverse electrolytic etching by applying a potential opposite to that during electrolytic plating can also be used. Since the etching amount by this etching process becomes the recess depth B of the first uneven surface, the etching amount BE is set so as to satisfy the equation (2) of the recess depth B of the first uneven surface. The etching amount here is the thickness of the base material to be cut by etching.

エッチング工程におけるエッチング処理は1回のエッチング処理によって行ってもよいし、エッチング処理を2回以上に分けて行ってもよい。ここでエッチング処理を2回以上に分けて行う場合には、2回以上のエッチング処理におけるエッチング量Bの合計が第1凹凸面の凹部深さBの式(2)を満たすことが好ましい。 The etching process in the etching process may be performed by one etching process, or the etching process may be performed in two or more times. Here, when the etching process is performed twice or more, it is preferable that the sum of the etching amounts BE in the two or more etching processes satisfies the formula (2) of the recess depth B of the first uneven surface.

〔2−3−4〕着色塗膜剥離工程
続く着色塗膜剥離工程では、エッチング工程でマスクとして使用した残存する着色塗膜22を完全に溶解し除去する。着色塗膜剥離工程では剥離液を用いて着色塗膜22を溶解する。剥離液としては、たとえば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水などの無機アルカリ類、エチルアミン、n−プロピルアミンなどの第一アミン類、ジエチルアミン、ジ−n−ブチルアミンなどの第二アミン類、トリエチルアミン、メチルジエチルアミンなどの第三アミン類、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミンなどのアルコールアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルヒドロキシエチルアンモニウムヒドロキシドなどの第四級アンモニウム塩、ピロール、ピヘリジンなどの環状アミン類などのアルカリ性水溶液、キシレン、トルエンなどの有機溶剤などを使用することができる。着色塗膜剥離工程における剥離方法についても特に制限されず、浸漬剥離、スプレー剥離、ブラシ剥離、超音波剥離などの方法を用いることができる。
[2-3-4] Colored coating film peeling step In the subsequent colored coating film peeling step, the remaining colored coating film 22 used as a mask in the etching step is completely dissolved and removed. In the colored coating film peeling step, the colored coating film 22 is dissolved using a stripping solution. Examples of the stripping solution include inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, and aqueous ammonia, primary amines such as ethylamine and n-propylamine, diethylamine, and diamine. Secondary amines such as n-butylamine, tertiary amines such as triethylamine and methyldiethylamine, alcohol amines such as dimethylethanolamine and triethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, trimethylhydroxyethylammonium Quaternary ammonium salts such as hydroxide, alkaline aqueous solutions such as cyclic amines such as pyrrole and pihelidine, and organic solvents such as xylene and toluene can be used. The peeling method in the colored coating film peeling step is not particularly limited, and methods such as immersion peeling, spray peeling, brush peeling, and ultrasonic peeling can be used.

図12(d)は、着色塗膜剥離工程によって、エッチング工程でマスクとして使用した着色塗膜22を完全に溶解し除去した状態を模式的に示している。着色塗膜22によるマスクとエッチングによって、第1凹凸面4が金型用基材表面に形成される。   FIG. 12D schematically shows a state in which the colored coating film 22 used as a mask in the etching process is completely dissolved and removed by the colored coating film peeling process. The first concavo-convex surface 4 is formed on the surface of the mold substrate by masking and etching with the colored coating film 22.

〔3〕めっき工程
続くめっき工程において、金型の最表面に、高い硬度と小さい摩擦係数を有するクロムめっき層又はニッケルめっき層を形成することによって、金型の最表面を保護すると共に、第1凹凸面形成工程によって形成された第1凹凸面4の表面形状を、めっき処理によって鈍らせる。図1(c)には、めっき工程によって形成されたクロムめっき層(又はニッケルめっき層)23を形成し、第2凹凸表面11が形成された状態が示されている。
[3] Plating step In the subsequent plating step, the outermost surface of the mold is protected by forming a chromium plating layer or a nickel plating layer having a high hardness and a small friction coefficient on the outermost surface of the mold. The surface shape of the first uneven surface 4 formed by the uneven surface forming step is blunted by plating. FIG. 1C shows a state in which the chromium plating layer (or nickel plating layer) 23 formed by the plating process is formed and the second uneven surface 11 is formed.

このめっき工程によって、第1凹凸面4の表面形状における表面傾斜の急峻な部分がなくなり、得られた金型を用いて製造された防眩フィルムの光学特性が好ましい方向へと変化する。図1(c)には、めっき処理によって、基材1の第1凹凸面4の表面形状が鈍化し、表面傾斜が急峻な部分が鈍らされ、緩やかな表面傾斜を有する第2凹凸面11が形成された状態が示されている。   By this plating step, a portion having a steep surface inclination in the surface shape of the first uneven surface 4 is eliminated, and the optical characteristics of the antiglare film manufactured using the obtained mold are changed in a preferable direction. In FIG. 1C, the surface of the first concavo-convex surface 4 of the substrate 1 is blunted by the plating process, the portion having a steep surface inclination is blunted, and the second concavo-convex surface 11 having a gradual surface inclination is formed. The formed state is shown.

本発明の金型の製造方法においては、めっき工程のめっき厚みDは第1凹凸面形成工程によって形成された第1凹凸面4の表面形状に応じて決定されることが好ましい。すなわち、めっき厚みDは上述した式(4)を満たすことが好ましい。上述した式(4)を満たすめっき厚みDによって形成される第2凹凸面11の形状は後述するように防眩フィルムを製造するために好適なものとなる。ここでめっき厚みは、金型用基材の一部にマスキングテープを貼り付けることによってめっきを形成しない領域を作製し、めっきが形成されている領域とめっきが形成されていない領域の段差を測定することによって求めることが出来る。また、防眩フィルム製造用金型を形成する際と同じ条件で小型の金属片や小型のロールにめっきを形成した後、それらの断面を観察することによっても求めることが出来る。   In the mold manufacturing method of the present invention, it is preferable that the plating thickness D in the plating step is determined according to the surface shape of the first uneven surface 4 formed in the first uneven surface forming step. That is, the plating thickness D preferably satisfies the above-described formula (4). The shape of the second uneven surface 11 formed by the plating thickness D satisfying the above-described formula (4) is suitable for manufacturing an antiglare film as will be described later. Here, the plating thickness is measured by measuring the level difference between the area where plating is not formed and the area where plating is not formed by applying a masking tape to a part of the mold base. It can be obtained by doing. Moreover, after forming metal plating on a small metal piece and a small roll on the same conditions as the time of forming the metal mold | die for anti-glare film manufacture, it can obtain | require by observing those cross sections.

以下では、第1凹凸面4の表面形状に応じて決定されるめっき厚みDの好ましい範囲について説明する。図13には、第1凹凸面4に対してめっき処理を実施し、表面凹凸形状を鈍らせて第2凹凸面11を形成する様子を模式的に示した。   Below, the preferable range of the plating thickness D determined according to the surface shape of the 1st uneven surface 4 is demonstrated. FIG. 13 schematically shows a state in which the first uneven surface 4 is plated and the surface uneven shape is blunted to form the second uneven surface 11.

図13(a)にはめっき工程におけるめっき厚みDが凹部の直線距離Yの半分未満である場合を模式的に示した。めっき厚みDが凹部の直線距離Yの半分未満である場合には、第2凹凸面11に平坦な領域が残ることとなり、また、平坦部から凹部へと続く斜面の傾斜角度が略90°となる。このような表面凹凸形状を有する金型から作製された防眩フィルムもまた平坦な領域と傾斜角度が略90°の斜面を有することとなる。結果として、得られた防眩フィルムは白ちゃけが発生し、防眩効果が不十分なものとなる。よって、めっき工程におけるめっき厚みDは凹部の直線距離Yの平均値YAVEの半分以上であることが好ましい。 FIG. 13A schematically shows a case where the plating thickness D in the plating process is less than half of the linear distance Y of the recesses. When the plating thickness D is less than half of the linear distance Y of the recess, a flat region remains on the second uneven surface 11, and the inclination angle of the slope leading from the flat portion to the recess is approximately 90 °. Become. An anti-glare film produced from a mold having such a surface uneven shape also has a flat region and a slope having an inclination angle of approximately 90 °. As a result, the obtained antiglare film is whitish and has an insufficient antiglare effect. Therefore, the plating thickness D in the plating step is preferably half or more of the average value Y AVE of the linear distance Y of the recesses.

ここで凹部の直線距離Yの平均値YAVEは上述した式(7)で表わすことができる。よって、めっき工程におけるめっき厚みDは以下の式(12)を満たすことが好ましい。 Here, the average value Y AVE of the linear distance Y of the recesses can be expressed by the above-described equation (7). Therefore, the plating thickness D in the plating process preferably satisfies the following formula (12).

一方、めっき工程におけるめっき厚みDが凹部の直線距離Yを超える場合には、図13(c)に示したように得られる第2凹凸面11の傾斜角度が小さくなりすぎる虞がある。このように傾斜角度の小さい表面凹凸形状を有する金型から作製された防眩フィルムもまた傾斜角度が小さくなりすぎる虞がある。結果として、得られた防眩フィルムは防眩効果が不十分なものとなる。よって、めっき工程におけるめっき厚みDは凹部の直線距離Yの平均値YAVE以下であることが好ましい。よって、めっき工程におけるめっき厚みDは以下の式(13)を満たすことが好ましい。 On the other hand, when the plating thickness D in the plating process exceeds the linear distance Y of the recess, the inclination angle of the second uneven surface 11 obtained as shown in FIG. 13C may be too small. Thus, the anti-glare film produced from the mold having the surface irregularity shape with a small inclination angle may also have an excessively small inclination angle. As a result, the obtained antiglare film has an insufficient antiglare effect. Therefore, the plating thickness D in the plating process is preferably equal to or less than the average value Y AVE of the linear distance Y of the recesses. Therefore, it is preferable that the plating thickness D in the plating process satisfies the following formula (13).

上述した式(12)および式(13)よりめっき厚みDの好ましい条件として式(4)が得られる。式(4)を満たすめっき厚みDによってめっき処理を行なうことによって、第2凹凸面11は傾斜角度が好適に制御される。結果として、得られる防眩フィルムは白ちゃけが発生せず、防眩性に優れたものとなる。   As a preferable condition of the plating thickness D, the formula (4) is obtained from the above-described formula (12) and the formula (13). By performing the plating process with the plating thickness D satisfying the formula (4), the inclination angle of the second uneven surface 11 is suitably controlled. As a result, the resulting antiglare film does not generate whiteness and has excellent antiglare properties.

本発明では、平板やロールなどの表面に、光沢があって、硬度が高く、摩擦係数が小さく、良好な離型性を与え得るクロムめっき又はニッケルめっきを採用する。ここでいうクロムまたはニッケルとしては、それぞれの純金属であることができるほか、クロムを主体とする合金、またはニッケルを主体とする合金であってもよく、したがって、本明細書でいう「クロム」は、クロムおよびクロム合金を含む意味であり、また「ニッケル」は、ニッケルおよびニッケル合金を含む意味である。   In the present invention, chrome plating or nickel plating that has a glossy surface, a high hardness, a low friction coefficient, and good releasability is employed on the surface of a flat plate or a roll. As used herein, chromium or nickel may be a pure metal, or may be an alloy mainly composed of chromium or an alloy mainly composed of nickel. Is meant to include chromium and chromium alloys, and “nickel” is meant to include nickel and nickel alloys.

クロムめっき又はニッケルめっきの種類は特に制限されないが、いわゆる光沢めっきや装飾用めっきなどと呼ばれる、良好な光沢を発現するクロムめっき又はニッケルめっきを用いることが好ましい。クロムめっきは、通常、電解によって行われ、そのめっき浴としては、無水クロム酸(CrO3)と少量の硫酸を含む水溶液が用いられる。ニッケルめっきであれば電解めっきもしくは無電解めっきが採用される。電界めっきによってニッケルめっきを施す場合には、そのめっき浴としては硫酸ニッケル、塩化ニッケル、ホウ酸などを含む水溶液が用いられる。また、無電解めっきによってニッケルめっきを施す場合には、そのめっき浴としては硫酸ニッケル、塩化ニッケル、還元剤(次亜リン酸ナトリウム、次亜リン酸、ホウ水素化合物、ヒドラジンなど)などを含む水溶液が用いられる。電界めっきであれば電流密度と電解時間を調節することにより、クロムめっき又はニッケルめっきの厚みを制御することができる。無電解めっきであればpH、温度、処理時間を調節することによりニッケルめっきの厚みを制御することができる。 The type of chromium plating or nickel plating is not particularly limited, but it is preferable to use chromium plating or nickel plating that expresses good gloss, which is called so-called bright plating or decorative plating. Chromium plating is usually performed by electrolysis, and an aqueous solution containing chromic anhydride (CrO 3 ) and a small amount of sulfuric acid is used as the plating bath. For nickel plating, electrolytic plating or electroless plating is employed. When nickel plating is performed by electroplating, an aqueous solution containing nickel sulfate, nickel chloride, boric acid or the like is used as the plating bath. When nickel plating is performed by electroless plating, the plating bath includes an aqueous solution containing nickel sulfate, nickel chloride, a reducing agent (sodium hypophosphite, hypophosphorous acid, borohydride, hydrazine, etc.), etc. Is used. In the case of electroplating, the thickness of chromium plating or nickel plating can be controlled by adjusting the current density and electrolysis time. In the case of electroless plating, the thickness of nickel plating can be controlled by adjusting pH, temperature, and treatment time.

なお、めっき工程において、クロムめっき又はニッケルめっき以外のめっきを施すことは好ましくない。何故なら、クロムめっき又はニッケルめっき以外のめっきでは、光沢度が不十分であり、かつ、硬度や耐摩耗性が低くなるため、金型としての耐久性が低下し、使用中に凹凸が磨り減ったり、金型が損傷したりする。そのような金型から得られた防眩フィルムでは、十分な防眩機能が得られにくい可能性が高く、また、フィルム上に欠陥が発生する可能性も高くなる。   In the plating step, it is not preferable to perform plating other than chromium plating or nickel plating. This is because plating other than chrome plating or nickel plating has insufficient glossiness and low hardness and wear resistance, so that the durability as a mold is reduced and the unevenness is polished down during use. Or the mold may be damaged. In an antiglare film obtained from such a mold, there is a high possibility that a sufficient antiglare function cannot be obtained, and there is a high possibility that defects will occur on the film.

また、めっき後の表面を研磨することも、やはり本発明では好ましくない。研磨することにより、最表面に平坦な部分が生じるため、光学特性の悪化を招く可能性があること、また、形状の制御因子が増えるため、再現性のよい形状制御が困難になることなどの理由による。このように本発明では、クロムめっき又はニッケルめっきを施した後、表面を研磨せず、そのままクロムめっき又はニッケルめっき面を金型の凹凸面として用いることが好ましい。   Further, polishing the surface after plating is also not preferable in the present invention. By polishing, a flat part is generated on the outermost surface, which may lead to deterioration of optical characteristics, and since shape control factors increase, shape control with good reproducibility becomes difficult. Depending on the reason. As described above, in the present invention, it is preferable to use the chrome plating or nickel plating surface as the uneven surface of the mold as it is without polishing the surface after chrome plating or nickel plating.

<防眩フィルムの製造方法>
本発明の防眩フィルムの製造方法では、上述した本発明の金型の製造方法で得られた金型を用いる。すなわち、本発明の防眩フィルムの製造方法は、本発明の金型の製造方法で製造された金型の凹凸面を透明樹脂フィルムに転写する工程と、金型の凹凸面が転写された透明樹脂フィルムを金型から剥がす工程とを含む。このような本発明の防眩フィルムの製造方法によって、好ましい光学特性を示す防眩フィルムが好適に製造される。
<Method for producing antiglare film>
In the method for producing an antiglare film of the present invention, a mold obtained by the above-described mold production method of the present invention is used. That is, the manufacturing method of the antiglare film of the present invention includes a step of transferring the uneven surface of the mold manufactured by the manufacturing method of the mold of the present invention to a transparent resin film, and a transparent surface on which the uneven surface of the mold is transferred. And a step of peeling the resin film from the mold. By such a method for producing an antiglare film of the present invention, an antiglare film exhibiting preferable optical properties is suitably produced.

金型形状のフィルムへの転写は、エンボスにより行うことが好ましい。エンボスとしては、光硬化性樹脂を用いるUVエンボス法、熱可塑性樹脂を用いるホットエンボス法が例示され、中でも、生産性の観点から、UVエンボス法が好ましい。   The transfer to the mold-shaped film is preferably performed by embossing. Examples of the embossing include a UV embossing method using a photocurable resin and a hot embossing method using a thermoplastic resin. Among these, the UV embossing method is preferable from the viewpoint of productivity.

UVエンボス法は、透明樹脂フィルムの表面に光硬化性樹脂層を形成し、その光硬化性樹脂層を金型の凹凸面に押し付けながら硬化させることで、金型の凹凸面が光硬化性樹脂層に転写される方法である。具体的には、透明樹脂フィルム上に紫外線硬化型樹脂を塗工し、塗工した紫外線硬化型樹脂を金型の凹凸面に密着させた状態で透明樹脂フィルム側から紫外線を照射して紫外線硬化型樹脂を硬化させ、その後金型から、硬化後の紫外線硬化型樹脂層が形成された透明樹脂フィルムを剥離することにより、金型の形状を紫外線硬化型樹脂に転写する。   The UV embossing method forms a photocurable resin layer on the surface of a transparent resin film, and cures the photocurable resin layer while pressing the photocurable resin layer against the uneven surface of the mold. It is a method of transferring to a layer. Specifically, an ultraviolet curable resin is applied onto the transparent resin film, and the ultraviolet curable resin is irradiated with ultraviolet rays from the transparent resin film side in a state where the applied ultraviolet curable resin is in close contact with the uneven surface of the mold. The mold resin is cured, and then the transparent resin film on which the cured ultraviolet curable resin layer is formed is peeled from the mold, thereby transferring the shape of the mold to the ultraviolet curable resin.

UVエンボス法を用いる場合、透明樹脂フィルムとしては、実質的に光学的に透明なフィルムであればよく、たとえばトリアセチルセルロースフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリメチルメタクリレートフィルム、ポリカーボネートフィルム、ノルボルネン系化合物をモノマーとする非晶性環状ポリオレフィンなどの熱可塑性樹脂の溶剤キャストフィルムや押出フィルムなどの樹脂フィルムが挙げられる。   When the UV embossing method is used, the transparent resin film may be a substantially optically transparent film. For example, a triacetyl cellulose film, a polyethylene terephthalate film, a polymethyl methacrylate film, a polycarbonate film, or a norbornene compound is used as a monomer. And a resin film such as a solvent cast film of thermoplastic resin such as amorphous cyclic polyolefin and an extruded film.

またUVエンボス法を用いる場合における紫外線硬化型樹脂の種類は特に限定されないが、市販の適宜のものを用いることができる。また、紫外線硬化型樹脂に適宜選択された光開始剤を組み合わせて、紫外線より波長の長い可視光でも硬化が可能な樹脂を用いることも可能である。具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートなどの多官能アクリレートをそれぞれ単独で、あるいはそれら2種以上を混合して用い、それと、イルガキュアー907(チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製)、イルガキュアー184(チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製)、ルシリンTPO(BASF社製)などの光重合開始剤とを混合したものを好適に用いることができる。   Further, the type of the ultraviolet curable resin in the case of using the UV embossing method is not particularly limited, but a commercially available appropriate one can be used. It is also possible to use a resin that can be cured by visible light having a wavelength longer than that of ultraviolet rays by combining an ultraviolet curable resin with an appropriately selected photoinitiator. Specifically, polyfunctional acrylates such as trimethylolpropane triacrylate and pentaerythritol tetraacrylate are used alone or in admixture of two or more thereof, and Irgacure 907 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) ), Irgacure 184 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals), and a photopolymerization initiator such as Lucillin TPO (manufactured by BASF) can be suitably used.

一方、ホットエンボス法は、熱可塑性樹脂で形成された透明樹脂フィルムを加熱状態で金型に押し付け、金型の表面形状を透明樹脂フィルムに転写する方法である。ホットエンボス法に用いる透明樹脂フィルムとしては、実質的に透明なものであればいかなるものであってもよく、たとえば、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、トリアセチルセルロース、ノルボルネン系化合物をモノマーとする非晶性環状ポリオレフィンなどの熱可塑性樹脂の溶剤キャストフィルムや押出フィルムなどを用いることができる。これらの透明樹脂フィルムはまた、上で説明したUVエンボス法における紫外線硬化型樹脂を塗工するための基材フィルムとしても好適に用いることができる。   On the other hand, the hot embossing method is a method in which a transparent resin film formed of a thermoplastic resin is pressed against a mold in a heated state, and the surface shape of the mold is transferred to the transparent resin film. The transparent resin film used in the hot embossing method may be any material as long as it is substantially transparent. For example, polymethyl methacrylate, polycarbonate, polyethylene terephthalate, triacetyl cellulose, norbornene compounds are used as monomers. A solvent cast film or an extruded film of a thermoplastic resin such as amorphous cyclic polyolefin can be used. These transparent resin films can also be suitably used as a base film for applying the ultraviolet curable resin in the UV embossing method described above.

本発明の製造方法によって得られた金型を用いて製造される防眩フィルムは、微細凹凸表面を精度よく制御されて形成されるため、十分な防眩性を発現し、かつ、白ちゃけが発生せず、画像表示装置の表面に配置した際にもギラツキが発生せず、高いコントラストを示すものとなる。   The anti-glare film produced using the mold obtained by the production method of the present invention is formed by controlling the fine concavo-convex surface with high precision, so that it exhibits sufficient anti-glare properties and is also whiteish. It does not occur, and no glare occurs even when it is arranged on the surface of the image display device, so that high contrast is exhibited.

以下に実施例を挙げて、本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples.

〔1〕第1凹凸面の表面形状の評価
(平坦部の占める面積の割合A)
顕微鏡eclipse 80i((株)ニコン製)を用いて第1凹凸面を上方から観察する。測定の際、対物レンズの倍率は10倍として測定を行う。水平分解能ΔxおよびΔyはともに1.93μmであり、測定面積は1236μm×927μmである。得られる顕微鏡観察画像の中央部から256個×256個(測定面積で494μm×494μm)のデータをサンプリングし、画像処理ソフトImageJ(アメリカ国立衛生研究所製)を用いて、平坦部が白表示で、凹部が黒表示である二階調の二値化画像に変換する。この二値化画像より白色の画素数と黒色の画素数を求め、以下の式で平坦部の占める面積の割合Aを求める。
[1] Evaluation of surface shape of first uneven surface (Ratio A of area occupied by flat portion)
The first uneven surface is observed from above using a microscope Eclipse 80i (manufactured by Nikon Corporation). At the time of measurement, measurement is performed with the magnification of the objective lens being 10 times. The horizontal resolutions Δx and Δy are both 1.93 μm and the measurement area is 1236 μm × 927 μm. 256 × 256 data (494 μm × 494 μm in measurement area) are sampled from the center of the obtained microscopic observation image, and the flat portion is displayed in white using image processing software ImageJ (manufactured by National Institutes of Health, USA). Then, the image is converted into a binary image having two gradations in which the concave portion is black. The number of white pixels and the number of black pixels are obtained from this binarized image, and the area ratio A occupied by the flat portion is obtained by the following equation.

(平坦部の占める面積の割合A)=[(白色の画素数)/(画像全体の画素数)]×100 式(12)
(凹部の深さB)
三次元顕微鏡PLμ2300(Sensofar社製)を用いて、防眩フィルムの表面形状を測定し、凹部の深さを求める。測定の際、対物レンズの倍率は50倍として測定を行う。
(Ratio A of area occupied by flat portion) = [(number of white pixels) / (number of pixels of entire image)] × 100 Expression (12)
(Depth of recess B)
Using a three-dimensional microscope PLμ2300 (manufactured by Sensofar), the surface shape of the antiglare film is measured to determine the depth of the recess. At the time of measurement, the measurement is performed with the magnification of the objective lens being 50 times.

(凹部の中心間直線距離の平均値C)
平坦部の占める面積の割合Aを求める際に得られた二値化画像の階調を二次元関数h(x,y)として求める。得られた二次元関数h(x,y)を離散フーリエ変換して二次元関数H(fx,fy)を求める。二次元関数H(fx,fy)を二乗してパワースペクトルの二次元関数H(fx,fy)を計算し、二次元関数H(fx,fy)の逆フーリエ変換より自己相関関数R(x,y)を計算する。得られた自己相関関数R(x,y)のy=0の断面から、原点から最も近い極大値を求めることによって凹部の中心間直線距離の平均値Cを求める。
(Average value C of linear distance between centers of recesses)
The gradation of the binarized image obtained when obtaining the area ratio A occupied by the flat portion is obtained as a two-dimensional function h (x, y). The obtained two-dimensional function h (x, y) is subjected to discrete Fourier transform to obtain a two-dimensional function H (fx, fy). Two-dimensional function H (fx, fy) two-dimensional function H 2 (fx, fy) of the power spectrum calculated by squaring the two-dimensional function H 2 (fx, fy) autocorrelation function from the inverse Fourier transform of R ( x, y) is calculated. The average value C of the center-to-center linear distances of the recesses is obtained by obtaining the maximum value closest to the origin from the y = 0 section of the obtained autocorrelation function R (x, y).

〔2〕防眩フィルムの光学特性の測定
(ヘイズ)
防眩フィルムのヘイズは、JIS K 7136に規定される方法で測定する。具体的には、この規格に準拠したヘイズメータHM−150型(村上色彩技術研究所製)を用いてヘイズを測定する。防眩フィルムの反りを防止するため、光学的に透明な粘着剤を用いて凹凸面が表面となるようにガラス基板に貼合してから、測定に供する。一般的にヘイズが大きくなると、画像表示装置に適用したときに画像が暗くなり、その結果、正面コントラストが低下しやすくなる。それ故に、ヘイズは低い方が好ましい。
[2] Measurement of optical properties of antiglare film (haze)
The haze of the antiglare film is measured by a method defined in JIS K 7136. Specifically, haze is measured using a haze meter HM-150 type (manufactured by Murakami Color Research Laboratory) that complies with this standard. In order to prevent warping of the antiglare film, it is used for measurement after being bonded to a glass substrate using an optically transparent adhesive so that the uneven surface becomes the surface. In general, when haze increases, an image becomes dark when applied to an image display device, and as a result, front contrast tends to decrease. Therefore, a lower haze is preferable.

(透過鮮明度)
JIS K 7105に準拠したスガ試験機(株)製の写像性測定器「ICM−1DP」を用いて、防眩フィルムの透過鮮明度を測定する。この場合も、サンプルの反りを防止するため、光学的に透明な粘着剤を用いて防眩層の微細な凹凸形状面が表面となるようにガラス基板に貼合してから、測定に供する。この状態でガラス側から光を入射させ、測定を行なう。ここでの測定値は、暗部と明部との幅がそれぞれ0.125mm、0.5mm、1.0mmおよび2.0mmである4種類の光学くしを用いて測定された値の合計値である。この場合の透過鮮明度の最大値は400%となる。一般的に透過鮮明度は低くなると、画像表示装置に適用した時に画像の鮮明性が低下する。それ故に、透過鮮明度は高い方が好ましい。
(Transparency definition)
The transmission clarity of the antiglare film is measured using an image clarity measuring device “ICM-1DP” manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd. based on JIS K 7105. Also in this case, in order to prevent the sample from warping, it is used for measurement after being bonded to a glass substrate using an optically transparent adhesive so that the fine uneven surface of the antiglare layer becomes the surface. In this state, light is incident from the glass side and measurement is performed. The measured value here is a total value of values measured using four types of optical combs in which the widths of the dark part and the bright part are 0.125 mm, 0.5 mm, 1.0 mm, and 2.0 mm, respectively. . In this case, the maximum value of the transmission clarity is 400%. In general, when the transmission definition is low, the definition of the image is lowered when applied to an image display device. Therefore, it is preferable that the transmission clarity is high.

(反射鮮明度)
JIS K 7105に準拠したスガ試験機(株)製の写像性測定器「ICM−1DP」を用いて、防眩フィルムの反射鮮明度を測定する。この場合も、サンプルの反りを防止するため、光学的に透明な粘着剤を用いて防眩層の微細な凹凸形状面が表面となるように黒色アクリル基板に貼合してから、測定に供する。この状態で凹凸形状面側から光を45°で入射させ、測定を行なう。ここでの測定値は、暗部と明部との幅がそれぞれ0.5mm、1.0mmおよび2.0mmである4種類の光学くしを用いて測定された値の合計値である。この場合の反射鮮明度の最大値は300%となる。一般的に反射鮮明度は高くなると、防眩性が低下し、映り込みが発生しやすくなる。それ故に、反射鮮明度は低い方が好ましい。
(Reflection sharpness)
The reflection sharpness of the antiglare film is measured using an image clarity measuring device “ICM-1DP” manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd. based on JIS K 7105. Also in this case, in order to prevent the sample from warping, it is used for measurement after being bonded to a black acrylic substrate using an optically transparent adhesive so that the fine uneven surface of the antiglare layer becomes the surface. . In this state, light is incident at 45 ° from the concave and convex surface side, and measurement is performed. The measured value here is a total value of values measured using four types of optical combs in which the widths of the dark part and the bright part are 0.5 mm, 1.0 mm, and 2.0 mm, respectively. In this case, the maximum value of the reflection definition is 300%. In general, when the reflection definition becomes high, the antiglare property is lowered and reflection tends to occur. Therefore, it is preferable that the reflection definition is low.

〔3〕防眩フィルムの防眩性能の評価
(映り込み、白ちゃけの目視評価)
防眩フィルムの裏面からの反射を防止するために、凹凸面が表面となるように黒色アクリル樹脂板に防眩フィルムを貼合し、蛍光灯のついた明るい室内で凹凸面側から目視で観察し、蛍光灯の映り込みの有無、白ちゃけの程度を目視で評価する。
[3] Evaluation of anti-glare performance of anti-glare film (Visual evaluation of reflections and whitishness)
In order to prevent reflection from the back surface of the antiglare film, the antiglare film is bonded to the black acrylic resin plate so that the uneven surface becomes the surface, and visually observed from the uneven surface side in a bright room with a fluorescent lamp. Then, visually evaluate the presence or absence of reflection of the fluorescent lamp and the degree of whitishness.

(ギラツキの評価)
ギラツキは、以下の方法で評価する。まず、市販の液晶テレビ(LC−32GH3、シャープ(株)製)から表裏両面の偏光板を剥離する。それらオリジナル偏光板の代わりに、背面側および表示面側とも、偏光板(スミカラン SRDB31E、住友化学(株)製)を、それぞれの吸収軸がオリジナルの偏光板の吸収軸と一致するように粘着剤を介して貼合し、さらに表示面側偏光板の上には、以下の各例に示す防眩フィルムを凹凸面が表面となるように粘着剤を介して貼合する。この状態で、サンプルから約30cm離れた位置から、目視観察することにより、ギラツキの程度を官能評価する。
(Evaluation of glare)
Glare is evaluated by the following method. First, the polarizing plates on both the front and back sides are peeled off from a commercially available liquid crystal television (LC-32GH3, manufactured by Sharp Corporation). Instead of these original polarizing plates, both the back side and the display side are polarizing plates (Sumikaran SRDB31E, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.). Adhesive so that each absorption axis coincides with the absorption axis of the original polarizing plate. Further, the antiglare film shown in the following examples is laminated on the display surface side polarizing plate via an adhesive such that the uneven surface is the surface. In this state, the degree of glare is sensory evaluated by visual observation from a position about 30 cm away from the sample.

<実施例1>
直径200mmのアルミロール(JISによるA5056)の表面に銅バラードめっきが施されたものを用意する。銅バラードめっきは、銅めっき層/薄い銀めっき層/表面銅めっき層からなるものであり、めっき層全体の厚みは、約200μmとなるように設定する。その銅めっき表面を鏡面研磨し、研磨された銅めっき表面に感光性樹脂を塗布、乾燥して感光性樹脂膜を形成する。ついで、図14に示すパターン(ランダムな明度分布を有するパターンから、0.039μm−1以下の低空間周波数成分と0.146μm−1以上の高空間周波数成分を除去するバンドパスフィルターを通過させて、33mm×33mmの大きさで、解像度12800dpiで作成した)を繰り返し並べたパターンを感光性樹脂膜上にレーザー光によって露光し、現像する。レーザー光による露光、および現像はLaser Stream FX((株)シンク・ラボラトリー製)を用いて行う。感光性樹脂膜にはポジ型の感光性樹脂を使用する。
<Example 1>
A surface of a 200 mm diameter aluminum roll (JIS A5056) with copper ballad plating is prepared. Copper ballad plating consists of a copper plating layer / thin silver plating layer / surface copper plating layer, and the thickness of the entire plating layer is set to be about 200 μm. The copper plating surface is mirror-polished, and a photosensitive resin is applied to the polished copper plating surface and dried to form a photosensitive resin film. Then, the pattern having a pattern (random brightness distribution shown in FIG. 14, is passed through a bandpass filter for removing 0.039Myuemu -1 or lower spatial frequency components and 0.146Myuemu -1 or more high spatial frequency components A pattern in which a size of 33 mm × 33 mm and a resolution of 12800 dpi) is repeatedly arranged is exposed on a photosensitive resin film with a laser beam and developed. The laser beam exposure and development are performed using Laser Stream FX (manufactured by Sink Laboratories). A positive photosensitive resin is used for the photosensitive resin film.

その後、塩化第二銅液でエッチング処理を行う。その際のエッチング量は3μmとなるように設定する。その後、ロールから感光性樹脂膜を完全に除去して第1凹凸面を形成する。このとき、第1凹凸面の平坦部の占める割合(A)は48%とし、凹部の平均深さ(B)は2.8μmとし、凹部の中心間直線距離の平均値(C)は16μmとする。   Thereafter, an etching process is performed with cupric chloride solution. In this case, the etching amount is set to 3 μm. Thereafter, the photosensitive resin film is completely removed from the roll to form the first uneven surface. At this time, the ratio (A) of the flat portion of the first uneven surface is 48%, the average depth (B) of the recesses is 2.8 μm, and the average value (C) of the center-to-center linear distance of the recesses is 16 μm. To do.

次に、第1凹凸面に対してクロムめっき加工を行い、金型を作製する。その際のクロムめっき厚みは8μmとなるように設定する。   Next, chromium plating is performed on the first uneven surface to produce a mold. In this case, the chromium plating thickness is set to 8 μm.

光硬化性樹脂組成物GRANDIC 806T(大日本インキ化学工業(株)製)を酢酸エチルにて溶解して、50重量%濃度の溶液とし、さらに、光重合開始剤であるルシリンTPO(BASF社製、化学名:2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド)を、硬化性樹脂成分100重量部あたり5重量部添加して塗布液を調製する。厚み80μmのトリアセチルセルロース(TAC)フィルム上に、この塗布液を乾燥後の塗布厚みが6μmとなるように塗布し、60℃に設定した乾燥機中で3分間乾燥させる。乾燥後のフィルムを、先に得られた金型の凹凸面に、光硬化性樹脂組成物層が金型側となるようにゴムロールで押し付けて密着させる。この状態でTACフィルム側より、強度20mW/cmの高圧水銀灯からの光をh線換算光量で200mJ/cmとなるように照射して、光硬化性樹脂組成物層を硬化させる。この後、TACフィルムを硬化樹脂ごと金型から剥離して、表面に凹凸を有する硬化樹脂とTACフィルムとの積層体からなる、透明な防眩フィルムを作製する。 A photocurable resin composition GRANDIC 806T (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) is dissolved in ethyl acetate to obtain a 50% strength by weight solution. Further, a photopolymerization initiator, Lucillin TPO (manufactured by BASF). Chemical name: 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide) is added at 5 parts by weight per 100 parts by weight of the curable resin component to prepare a coating solution. This coating solution is applied onto a triacetylcellulose (TAC) film having a thickness of 80 μm so that the coating thickness after drying is 6 μm, and is dried for 3 minutes in a dryer set at 60 ° C. The dried film is brought into close contact with the uneven surface of the previously obtained mold by pressing with a rubber roll so that the photocurable resin composition layer is on the mold side. In this state, light from a high-pressure mercury lamp having an intensity of 20 mW / cm 2 is irradiated from the TAC film side so that the amount of light in terms of h-line is 200 mJ / cm 2 to cure the photocurable resin composition layer. Thereafter, the TAC film is peeled from the mold together with the cured resin, and a transparent antiglare film made of a laminate of the cured resin having irregularities on the surface and the TAC film is produced.

本発明の要件を全て満たす製造方法によって作製した金型から得られる防眩フィルムは、ギラツキが発生せず、十分な防眩性を示し、白ちゃけも発生しない。また、ヘイズも低いため、画像表示装置に配置した際にもコントラストの低下を引き起こすことが無い。さらに、欠陥も少ないものとなる。   An antiglare film obtained from a mold produced by a production method that satisfies all the requirements of the present invention does not cause glare, exhibits sufficient antiglare properties, and does not cause whiteness. In addition, since the haze is low, the contrast does not decrease even when it is arranged in an image display device. Furthermore, there are few defects.

1 金型用基材、2 表面、3 凹部、4 第1凹凸面、6 感光性樹脂膜、7 露光された領域、8 露光されない領域、9 マスク、10 マスクの無い箇所、11 第2凹凸面、12 金型用基材の表面と平行な方向、13 金型用基材の表面と垂直な方向、14 切削工具、14a 切削工具の刃先、15 加工テーブル、16 Z軸駆動部、17 微小往復移動用駆動機構部、18a 切削工具の先端部の移動軌跡、18b 切削工具の移動軌跡、19 円筒状金型の支持機構、20 円筒状金型を回転させるためのモータ、21 Y軸駆動部、22 着色塗膜、23 クロムめっき層。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Mold base material, 2 Surface, 3 Concave, 4 1st uneven surface, 6 Photosensitive resin film, 7 Exposed area | region, 8 Unexposed area | region, 9 Mask, 10 Unmasked area, 11 2nd uneven surface , 12 Direction parallel to the surface of the mold base material, 13 Direction perpendicular to the surface of the mold base material, 14 Cutting tool, 14a Cutting edge of the cutting tool, 15 Processing table, 16 Z-axis drive unit, 17 Minute reciprocation Movement mechanism for movement, 18a Movement locus of tip of cutting tool, 18b Movement locus of cutting tool, 19 Cylindrical mold support mechanism, 20 Motor for rotating cylindrical mold, 21 Y-axis driving section, 22 Colored coating film, 23 Chromium plating layer.

Claims (5)

金型用基材の表面を研磨する研磨工程と、
研磨された面に平坦部と凹部からなる第1凹凸面を形成する第1凹凸面形成工程と、
第1凹凸面にクロムめっきまたはニッケルめっきを施し、第2凹凸面を形成するめっき工程とを含み、
前記第1凹凸面における平坦部の占める面積をA(%)とし、凹部の平均深さをB(μm)とし、凹部の中心間直線距離の平均値をC(μm)とし、前記めっき工程におけるめっき厚みをD(μm)としたときに、以下の条件を満たすことを特徴とする防眩フィルム製造用金型の製造方法。
A polishing step for polishing the surface of the mold substrate;
A first concavo-convex surface forming step of forming a first concavo-convex surface comprising a flat portion and a concave portion on the polished surface;
A plating step of performing chromium plating or nickel plating on the first uneven surface and forming a second uneven surface,
In the plating step, the area occupied by the flat portion on the first concavo-convex surface is A (%), the average depth of the recesses is B (μm), and the average linear distance between the centers of the recesses is C (μm). The manufacturing method of the metal mold | die for glare-proof film manufacture characterized by satisfy | filling the following conditions, when plating thickness is set to D (micrometer).
前記第1凹凸面形成工程が、
研磨された面に感光性樹脂膜を塗布形成する感光性樹脂膜塗布工程と、
感光性樹脂膜上にパターンを露光する露光工程と、
パターンが露光された感光性樹脂膜を現像する現像工程と、
現像された感光性樹脂膜をマスクとしてエッチング処理を行い、研磨されためっき面に凹凸を形成するエッチング工程と、
エッチング処理後に感光性樹脂膜を剥離する感光性樹脂膜剥離工程とを含む、請求項1に記載の防眩フィルム製造用金型の製造方法。
The first uneven surface forming step includes
A photosensitive resin film coating step of coating and forming a photosensitive resin film on the polished surface;
An exposure step of exposing a pattern on the photosensitive resin film;
A development step of developing the photosensitive resin film on which the pattern is exposed;
Etching process using the developed photosensitive resin film as a mask to form irregularities on the polished plated surface;
The manufacturing method of the metal mold | die for glare-proof film manufacture of Claim 1 including the photosensitive resin film peeling process of peeling the photosensitive resin film after an etching process.
前記第1凹凸面形成工程が、金型用基材の表面と平行な方向に相対的に直線移動し、かつ直線移動と同時に金型用基材の表面と垂直な方向に微小往復移動する切削工具による切削加工によって行われる、請求項1に記載の防眩フィルム製造用金型の製造方法。   Cutting in which the first concavo-convex surface forming step moves relatively linearly in a direction parallel to the surface of the mold base and moves reciprocally in a direction perpendicular to the surface of the mold base simultaneously with the linear movement. The manufacturing method of the metal mold | die for glare-proof film manufacture of Claim 1 performed by the cutting process by a tool. 前記第1凹凸面形成工程が、
研磨された面に着色塗料を塗布し、着色塗膜を形成する着色塗料塗布工程と、
着色塗膜上にレーザーによってパターンを描画するレーザー照射工程と、
パターンが描画された着色塗膜をマスクとしてエッチング処理を行い、研磨されためっき面に凹凸を形成するエッチング工程と、
エッチング処理後に着色塗膜を剥離する着色塗膜剥離工程とを含む、請求項1に記載の防眩フィルム製造用金型の製造方法。
The first uneven surface forming step includes
A colored paint application process for applying a colored paint to the polished surface to form a colored coating film,
A laser irradiation process for drawing a pattern on the colored coating film with a laser;
Etching process using the colored coating film on which the pattern is drawn as a mask, and forming irregularities on the polished plating surface,
The manufacturing method of the metal mold | die for anti-glare film manufacture of Claim 1 including the colored coating-film peeling process of peeling a colored coating film after an etching process.
請求項1〜4のいずれかに記載の防眩フィルム製造用金型の製造方法により製造された防眩フィルム製造用金型の凹凸面を透明樹脂フィルムに転写した後、金型の凹凸面が転写された透明樹脂フィルムを前記防眩フィルム製造用金型から剥がすことを特徴とする防眩フィルムの製造方法。   The uneven surface of the mold is transferred to the transparent resin film after transferring the uneven surface of the anti-glare film manufacturing mold manufactured by the method for manufacturing the anti-glare film manufacturing mold according to claim 1. A method for producing an antiglare film, comprising: peeling the transferred transparent resin film from the mold for producing the antiglare film.
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