JP2014114188A - Sealing device, and sealing tray - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sealing device in which a space between two sealing plates can be made a vacuum atmosphere easily and surely.SOLUTION: A first sealing plate 31 is mounted on a base plate 11 of a sealing tray 2a, and a second sealing plate 32 is arranged at an elastic member 16 provided at mounting rails 15, 15that are movably provided at the base plate 11. A cyclic sealing material 36 is arranged on the first sealing plate 31, a spacer 37 is arranged in an inside thereof, a weight 38 suspended by a suspending part 22 is mounted on the first sealing plate 31 in a vacuum atmosphere, and a sealing material 36 that is heated to be softened is pressing-forced by weight of the weight 38 to be deformed to make the second sealing plate 32 contact with the spacer 37. In this condition, a region surrounded by the sealing material 36 is made a vacuum atmosphere, slow cooling is performed and solidification is performed in a condition in which the weight 38 is mounted on the second sealing plate 32, and thereby a laminate in which a space between the first and second sealing plates 31, 32 is made a vacuum atmosphere is obtained.

Description

本発明は、封着板を積層する技術に係り、特に、封着板の間を真空状態にした積層板を製造する技術に関する。   The present invention relates to a technique for laminating sealing plates, and more particularly to a technique for producing a laminated plate in which a space between sealing plates is evacuated.

ガラス板から成る二枚の封着板が積層された窓ガラス材料は、防音、断熱性の観点から広く用いられており、特に、二枚の封着板の間の隙間が真空雰囲気にされた真空積層ガラス板は、防音性と断熱性の効果が高く、注目されている。   A window glass material in which two sealing plates made of glass are laminated is widely used from the viewpoint of soundproofing and heat insulation, and in particular, vacuum lamination in which the gap between the two sealing plates is in a vacuum atmosphere. Glass plates are attracting attention because of their high soundproofing and heat insulation effects.

二枚の封着板の間の隙間を真空雰囲気にするためには、封着板に設けた排気口から、積層された二枚の封着板の間の隙間に位置する気体を真空排気するのが普通の製造工程であり、隙間に所定圧力の真空雰囲気が形成された後に、排気口を閉塞させ、二枚の封着板の間の隙間を真空雰囲気に維持する方法が用いられている。
また、ガラス板同士を接着するためのガラスペーストに切れ目を設け、切れ目から真空排気した後、切れ目を塞いで、封着板の間の隙間を真空雰囲気に維持する技術がある。 In order to create a vacuum atmosphere between the two sealing plates, it is usual to evacuate the gas located in the gap between the two sealing plates stacked from the exhaust port provided in the sealing plate. In the manufacturing process, after a vacuum atmosphere of a predetermined pressure is formed in the gap, a method is used in which the exhaust port is closed and the gap between the two sealing plates is maintained in a vacuum atmosphere.
In addition, there is a technique in which a cut is provided in a glass paste for bonding glass plates, and after evacuating from the cut, the cut is closed and the gap between the sealing plates is maintained in a vacuum atmosphere.

しかしながら、排気口から封着板の間を真空排気する場合には、排気口が小さいため、真空雰囲気を形成するために長時間を必要とする。ガラスペーストに切れ目を設ける場合には、二枚の封着板の間の空間の真空雰囲気を維持できない不良品が発生するという問題がある。   However, when evacuating the space between the sealing plate and the exhaust port, since the exhaust port is small, it takes a long time to form a vacuum atmosphere. When the cut is provided in the glass paste, there is a problem that a defective product that cannot maintain the vacuum atmosphere in the space between the two sealing plates is generated.

特開２００８−２０１６６２号公報JP 2008-201662 A

本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、封着板の間の空間を、確実、簡単に真空雰囲気にして封着できる技術を提供することにある。   The present invention was created in order to solve the above-described disadvantages of the prior art, and an object of the present invention is to provide a technique capable of reliably and easily sealing a space between sealing plates in a vacuum atmosphere.

上記課題を解決するために本発明は、搬入室と、封着室と、前記搬入室と前記封着室とを真空排気する真空排気装置とを有する封着装置であって、第一の封着板を配置するベース板と、前記ベース板上に互いに平行に配置された複数本数の取付レールと、各前記取付レールに複数個ずつ設けられた弾性部材と、前記ベース板に設けられ、前記取付レールを前記ベース板上で移動させる際に、前記取付レールの移動方向を、前記取付レールが伸びる方向に対して直角な方向に規制する規制部材とを有する封着用トレイの、前記ベース板上に前記第一の封着板が配置され、前記弾性部材に設けられた配置部に第二の封着板が配置された処理対象物を、前記搬入室から前記封着室に移動させ、前記第二の封着板の上に重りを乗せ、前記第一、第二の封着板の間に配置され、軟化された環状の封着材料によって、前記第一、第二の封着板を真空雰囲気の隙間を持って接着させる封着装置であって、前記封着室には、前記重りを降下させる封着装置と、前記封着材料を加熱する加熱装置とが設けられ、前記重りが前記第二の封着板上に乗せられる前は、前記第一の封着板と前記封着材料の間、又は、前記第二の封着板と前記封着材料の間の少なくともいずれか一方には隙間が形成され、前記第一、第二の封着板の間の気体は前記隙間を通過して真空排気され、前記封着室では、前記封着装置によって前記重りを前記第二の封着板上に乗せて前記弾性部材を押圧し、前記第一、第二の封着板の間を真空雰囲気にした状態で、前記第二の封着板と前記第一の封着板とを近接させて、前記第一、第二の封着板を、軟化した前記封着材料と接触させた後、前記重りを前記第二の封着板上に乗せた状態で前記第一、第二の封着板と前記封着材料とを冷却し、固化された前記封着材料によって前記第一、第二の封着板を互いに固定させる封着装置である。
本発明は封着装置であって、前記第一、第二の封着板を昇温させる昇温装置が設けられた加熱室を有し、前記処理対象物を前記搬入室から前記封着室に移動させる間に、前記第一、第二の封着板と前記封着材料とを昇温させる封着装置である。
本発明は封着装置であって、前記封着室には、前記重りが配置された仕込室が接続され、前記仕込室に配置された前記重りを前記封着室に移動させるように構成された封着装置である。
本発明は封着装置であって、前記封着材料によって固定された前記第一、第二の封着板を大気中に搬出する搬出室と、前記封着材料と前記第一、第二の封着板とを冷却する冷却装置が設けられた徐冷室とを有し、前記処理対象物を前記封着室から前記搬出室に移動させる間に、前記第一、第二の封着板と前記封着材料とを前記徐冷室で冷却する封着装置である。
本発明は封着装置であって、前記搬出室と前記搬入室とは同一の室である封着装置である。
本発明は封着装置であって、前記封着用トレイは、前記ベース板に貫通孔が設けられ、前記貫通孔内を真空排気すると、前記ベース板上に配置された前記第一の封着板が真空吸着されるように構成された封着装置である。
本発明は封着装置であって、前記取付レールには、前記処理対象物の一辺に当接される板ストッパが設けられた封着装置である。
本発明は、第一の封着板を配置するベース板と、前記ベース板上に互いに平行に配置された複数本数の取付レールと、各前記取付レールに複数個ずつ設けられた弾性部材と、前記弾性部材によって前記ベース板上に支持され、第二の封着板を前記第一の封着板上で支持する配置部とを有し、前記ベース板には、前記取付レールを前記ベース板上で移動させる際に、前記取付レールの移動方向を、前記取付レールが伸びる方向に対して直角な方向に規制する規制部材が設けられた封着用トレイである。
本発明は封着用トレイであって、前記ベース板には貫通孔が設けられ、前記貫通孔内を真空排気すると、前記ベース板上に配置された前記第一の封着板が真空吸着されるように構成された封着用トレイである。
本発明は封着用トレイであって、前記取付レールには、前記処理対象物の一辺に当接される板ストッパが設けられた封着用トレイである。 In order to solve the above-described problems, the present invention provides a sealing device including a loading chamber, a sealing chamber, and a vacuum exhaust device that evacuates the loading chamber and the sealing chamber. A base plate on which a mounting plate is arranged; a plurality of mounting rails arranged parallel to each other on the base plate; a plurality of elastic members provided on each of the mounting rails; and provided on the base plate, On the base plate, a sealing tray having a restricting member for restricting a moving direction of the mounting rail in a direction perpendicular to a direction in which the mounting rail extends when the mounting rail is moved on the base plate. The first sealing plate is disposed, and the processing object in which the second sealing plate is disposed in the disposition portion provided in the elastic member is moved from the carry-in chamber to the sealing chamber, and A weight is placed on the second sealing plate, and the first and second A sealing device that is disposed between the sealing plates and is bonded to the first and second sealing plates with a gap in a vacuum atmosphere by a softened annular sealing material, and the sealing chamber includes: A sealing device for lowering the weight and a heating device for heating the sealing material are provided, and before the weight is placed on the second sealing plate, the first sealing plate and the A gap is formed between the sealing materials or at least one of the second sealing plate and the sealing material, and the gas between the first and second sealing plates passes through the gap. Passed and evacuated. In the sealing chamber, the weight is placed on the second sealing plate by the sealing device to press the elastic member, and between the first and second sealing plates. In a vacuum atmosphere, the second sealing plate and the first sealing plate are brought close to each other, and the first and second After the sealing plate is brought into contact with the softened sealing material, the first and second sealing plates and the sealing material are placed with the weight placed on the second sealing plate. The sealing device fixes the first and second sealing plates to each other by the cooled and solidified sealing material.
The present invention is a sealing device, comprising a heating chamber provided with a temperature raising device for raising the temperature of the first and second sealing plates, and transferring the processing object from the carry-in chamber to the sealing chamber. In the sealing device, the temperature of the first and second sealing plates and the sealing material is increased during the movement.
The present invention is a sealing device, wherein the sealing chamber is connected to a preparation chamber in which the weight is arranged, and the weight arranged in the preparation chamber is moved to the sealing chamber. Sealing device.
The present invention is a sealing device, wherein the first and second sealing plates fixed by the sealing material are transported into the atmosphere, the sealing material, and the first and second sealing materials. A cooling chamber provided with a cooling device for cooling the sealing plate, and the first and second sealing plates while moving the object to be processed from the sealing chamber to the carry-out chamber And a sealing device for cooling the sealing material in the slow cooling chamber.
The present invention is a sealing device, wherein the carry-out chamber and the carry-in chamber are the same chamber.
The present invention is a sealing device, wherein the sealing tray is provided with a through hole in the base plate, and the first sealing plate disposed on the base plate when the inside of the through hole is evacuated. Is a sealing device configured to be vacuum-adsorbed.
The present invention is a sealing device, wherein the mounting rail is provided with a plate stopper that comes into contact with one side of the object to be processed.
The present invention includes a base plate on which a first sealing plate is disposed, a plurality of mounting rails disposed in parallel with each other on the base plate, and a plurality of elastic members provided on each of the mounting rails, An arrangement portion supported on the base plate by the elastic member and supporting a second sealing plate on the first sealing plate, and the mounting rail is provided on the base plate. The sealing tray is provided with a restricting member that restricts a moving direction of the mounting rail in a direction perpendicular to a direction in which the mounting rail extends when moving the mounting rail.
The present invention is a sealing tray, wherein the base plate is provided with a through hole, and when the inside of the through hole is evacuated, the first sealing plate disposed on the base plate is vacuum-adsorbed. It is the sealing tray comprised as follows.
This invention is a sealing tray, Comprising: The said mounting rail is a sealing tray provided with the plate stopper contact | abutted by the one side of the said process target object.

本発明によれば、短い時間で二枚の封着板の間を真空雰囲気にして確実に封着することができる。
また、封着用トレイに複数枚数の封着板を配置し、一枚の封着用トレイ上に複数の積層板を製造することができるので、大量生産に向いており、また、異なる大きさの封着板を封着用トレイに配置することができるので、多品種生産にも適している。 According to the present invention, between two sealing plates can be reliably sealed in a short time in a vacuum atmosphere.
In addition, since a plurality of sealing plates can be arranged on the sealing tray and a plurality of laminated plates can be manufactured on a single sealing tray, it is suitable for mass production and seals of different sizes. Since the landing plate can be arranged on the sealing tray, it is suitable for multi-product production.

また、本発明の封着用トレイでは、取付レールの間隔を変更することができるので、配置できる封着板の大きさを変更することができる。従って、本願発明は、生産品種の変更に柔軟に対応した生産を行うことができる。   Moreover, in the sealing tray of this invention, since the space | interval of an attachment rail can be changed, the magnitude | size of the sealing plate which can be arrange | positioned can be changed. Therefore, the present invention can perform production flexibly corresponding to a change in production type.

本発明の一例の封着装置を説明するための図The figure for demonstrating the sealing apparatus of an example of this invention (ａ)、(ｂ)：本発明の封着用トレイを説明するための図(a), (b): The figure for demonstrating the sealing tray of this invention (ａ)、(ｂ)：その封着用トレイに第一の封着板を配置した状態を説明するための図(a), (b): The figure for demonstrating the state which has arrange | positioned the 1st sealing board to the sealing tray (ａ)、(ｂ)：更に第二の封着板を配置して処理対象物を構成した状態を説明するための図(a), (b): The figure for demonstrating the state which has arrange | positioned the 2nd sealing board and comprised the process target object. (ａ)：重りを処理対象物の上に吊り下げた状態を示す図 (ｂ)：重りを処理対象物上に接触させた状態を示す図 (ｃ)：軟化した封着材料が押圧され、第一、第二の封着板が接着された状態を示す図(a): The figure which shows the state which suspended the weight on the process target object (b): The figure which shows the state which made the weight contact on the process target object (c): The softened sealing material is pressed, The figure which shows the state with which the 1st, 2nd sealing board was adhere | attached 吸引孔を示す図Diagram showing suction holes (ａ)〜(ｃ)：弾性部材を説明するための図(a)-(c): The figure for demonstrating an elastic member 各室の内部を説明するための図Illustration for explaining the interior of each room (ａ)〜(ｅ)：重りを処理対象物上に配置する手順を説明するための図(a)-(e): The figure for demonstrating the procedure which arrange | positions a weight on a process target object. (ａ)〜(ｆ)：一台の配置装置に複数の第一、第二の封着板が配置された処理対象物を作成する手順を説明するための図(a)-(f): The figure for demonstrating the procedure which produces the process target object by which the some 1st, 2nd sealing board is arrange | positioned at one arrangement | positioning apparatus. (ａ)、(ｂ)：複数台の配置装置が配置され、同じ大きさの第一の封着板と、同じ大きさの第二の封着板とが配置される処理対象物を作成する手順を説明するための図(a), (b): Create a processing object in which a plurality of arrangement devices are arranged and a first sealing plate of the same size and a second sealing plate of the same size are arranged. Illustration for explaining the procedure (ａ)、(ｂ)：一台の配置装置には、同じ大きさの複数の第一の封着板が配置されるが、異なる配置装置間の第一の封着板の大きさは異なる処理装置を作成する手順を説明するための図(a), (b): A plurality of first sealing plates having the same size are arranged in one arrangement device, but the sizes of the first sealing plates between different arrangement devices are different. Diagram for explaining the procedure for creating a processing device 複数の配置装置を有する処理対象物と重りとの位置関係を説明するための図The figure for demonstrating the positional relationship of the process target which has several arrangement | positioning apparatuses, and a weight. 本発明の封着装置の他の例Another example of the sealing device of the present invention

＜封着装置例＞
図１の符号９１は、本発明の封着装置を示している。
この封着装置９１は、搬入室１０１と、一乃至複数の加熱室１０２ａ〜１０２ｃと、封着室１０５と、一乃至複数の徐冷室１０７ａ〜１０７ｄと、搬出室１０８と、仕込室１１１とを有している。各室１０１、１０２ａ〜１０２ｃ、１０５、１０７ａ〜１０７ｄ、１０８、１１１は、真空排気装置２に接続されており、それぞれ内部を真空排気できるようにされている。 <Example of sealing device>
The code | symbol 91 of FIG. 1 has shown the sealing apparatus of this invention.
The sealing device 91 includes a carry-in chamber 101, one or more heating chambers 102a to 102c, a sealing chamber 105, one or more slow cooling chambers 107a to 107d, a carry-out chamber 108, and a preparation chamber 111. have. Each of the chambers 101, 102a to 102c, 105, 107a to 107d, 108, and 111 is connected to the evacuation device 2 so that the inside can be evacuated.

一乃至複数の加熱室１０２ａ〜１０２ｃは、直列接続され、一端に位置する加熱室１０２ａはゲートバルブ１０４ａを介して搬入室１０１に接続され、他端に位置する加熱室１０２ｃは封着室１０５に接続されている。   One or a plurality of heating chambers 102 a to 102 c are connected in series, the heating chamber 102 a located at one end is connected to the carry-in chamber 101 via the gate valve 104 a, and the heating chamber 102 c located at the other end is connected to the sealing chamber 105. It is connected.

また、一乃至複数の徐冷室１０７ａ〜１０７ｄも直列接続され、一端に位置する徐冷室１０７ｄがゲートバルブ１０４ｂを介して搬出室１０８に接続され、他端に位置する徐冷室１０７ａは、封着室１０５に接続されている。   One or more annealing chambers 107a to 107d are also connected in series, the annealing chamber 107d located at one end is connected to the carry-out chamber 108 via the gate valve 104b, and the annealing chamber 107a located at the other end is It is connected to the sealing chamber 105.

加熱室１０２ｃと封着室１０５との間と、徐冷室１０７ａと封着室１０５との間には、ゲートバルブはあってもなくてもよい。
仕込室１１１は、ゲートバルブ１０４ｃを介して封着室１０５に接続されている。 There may or may not be a gate valve between the heating chamber 102 c and the sealing chamber 105 and between the slow cooling chamber 107 a and the sealing chamber 105.
The preparation chamber 111 is connected to the sealing chamber 105 through the gate valve 104c.

この封着装置９１で封着処理を行う場合には、各ゲートバルブ１０４ａ〜１０４ｃを閉じ、加熱室１０２ａ〜１０２ｃと、封着室１０５と、徐冷室１０７ａ〜１０７ｄとを、真空排気装置２によって、真空排気し、内部に真空雰囲気を形成する。真空排気装置２は、封着処理中継続して動作し、加熱室１０２ａ〜１０２ｃと、封着室１０５と、徐冷室１０７ａ〜１０７ｄとの内部を真空排気し続ける。   When the sealing process is performed by the sealing device 91, the gate valves 104a to 104c are closed, and the heating chambers 102a to 102c, the sealing chamber 105, and the slow cooling chambers 107a to 107d are connected to the vacuum exhaust device 2. To evacuate and form a vacuum atmosphere inside. The vacuum exhaust device 2 continues to operate during the sealing process, and continues to exhaust the inside of the heating chambers 102a to 102c, the sealing chamber 105, and the slow cooling chambers 107a to 107d.

搬入室１０１の壁面の大気雰囲気に接する部分には、搬入扉１０３ａが設けられており、また、搬出室１０８の壁面の大気雰囲気に接する部分には、搬出扉１０３ｂが設けられている。   A part of the wall surface of the carry-in chamber 101 in contact with the air atmosphere is provided with a carry-in door 103a, and a part of the wall surface of the carry-out chamber 108 in contact with the air atmosphere is provided with a carry-out door 103b.

図８の符号１０ａは、この封着装置９１によって、封着処理を行う処理対象物を示している。
搬入室１０１と、加熱室１０２ａ〜１０２ｃと、封着室１０５と、徐冷室１０７ａ〜１０７ｄと、搬出室１０８の内部には、これら各室１０１、１０２ａ〜１０２ｃ、１０５、１０７ａ〜１０７ｄ、１０８の間に亘って処理対象物１０ａを搬送する搬送装置１２１が、底面側に設けられている。 A reference numeral 10 a in FIG. 8 indicates a processing object to be sealed by the sealing device 91.
Inside the carry-in chamber 101, the heating chambers 102a to 102c, the sealing chamber 105, the slow cooling chambers 107a to 107d, and the carry-out chamber 108, these chambers 101, 102a to 102c, 105, 107a to 107d, 108 are provided. A conveying device 121 that conveys the processing object 10a is provided on the bottom surface side.

処理対象物１０ａを搬入扉１０３ａから搬入室１０１内に配置し、搬送装置１２１に乗せ、加熱室１０２ａ〜１０２ｃと、封着室１０５と、徐冷室１０７ａ〜１０７ｄと、搬出室１０８との内部をこの順序で移動させ、搬出室１０８の搬出扉１０３ｂから大気中に搬出する。   The object 10a to be processed is placed in the carry-in chamber 101 from the carry-in door 103a, placed on the transfer device 121, and inside the heating chambers 102a to 102c, the sealing chamber 105, the slow cooling chambers 107a to 107d, and the carry-out chamber 108. Are moved in this order and carried out into the atmosphere from the carry-out door 103b of the carry-out chamber 108.

ここでは、搬送装置１２１は、ローラで構成されており、各ローラは二列に並べられ、各ローラの二列は、処理対象物１０ａの進行方向を向いたときに左右となる各室１０１、１０２ａ〜１０２ｃ、１０５、１０７ａ〜１０７ｄ、１０８の壁面に設けられている。   Here, the conveying device 121 is configured by rollers, and each roller is arranged in two rows, and the two rows of each roller are the respective chambers 101 that become left and right when facing the traveling direction of the processing target 10a, 102a to 102c, 105, 107a to 107d, 108 are provided on the wall surface.

処理対象物１０ａの底面は四角形であり、処理対象物１０ａの平行な二辺のうち、一辺が一方の列のローラ上に乗り、他辺が他方の列のローラ上に乗り、モータ等の駆動装置(不図示)によってローラが回転することで、処理対象物１０ａは、搬送装置１２１上を移動する。   The bottom surface of the processing object 10a is a quadrangle, and one of the two parallel sides of the processing object 10a rides on one row of rollers, and the other side rides on the other row of rollers. As the roller rotates by an apparatus (not shown), the processing object 10a moves on the transport device 121.

＜第一例＞
この処理対象物１０ａは、図４(ａ)、(ｂ)に示されており、封着用トレイ２ａ上に、長方形又は正方形の第一、第二の封着板３１、３２が配置されて、第一、第二の封着板３１、３２の封着処理がされるものである。
第一、第二の封着板３１、３２は、板状の透明な部材であり、典型的にはガラスである。 <First example>
The processing object 10a is shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b). On the sealing tray 2a, rectangular or square first and second sealing plates 31, 32 are arranged, The first and second sealing plates 31 and 32 are sealed.
The first and second sealing plates 31 and 32 are plate-like transparent members, and are typically glass.

図２(ａ)、(ｂ)には、第一、第二の封着板３１、３２が配置される前の封着用トレイ２ａが示されている。
封着用トレイ２ａは、長方形又は正方形のベース板１１を有しており、ベース板１１上には、複数本の棒状の取付レール１５1、１５2が配置されている。ベース板１１は、ベース板１１とは別の枠体に取り付けてもよいが、ここでは、枠体に取り付けられていても、枠体を含む四辺形の板をベース板１１と呼ぶことにする。 2A and 2B show the sealing tray 2a before the first and second sealing plates 31 and 32 are arranged.
The sealing tray 2 a has a rectangular or square base plate 11, and a plurality of rod-shaped mounting rails 15 1 and 15 2 are arranged on the base plate 11. The base plate 11 may be attached to a frame different from the base plate 11, but here, even if attached to the frame, a quadrilateral plate including the frame is referred to as the base plate 11. .

ベース板１１には、直線状の溝から成る二本の規制部材１３ａ、１３ｂが互いに平行に設けられている。
規制部材１３ａ、１３ｂは、ベース板１１の平行な二辺と平行にされており、一方の規制部材１３ａと他方の規制部材１３ｂは、ベース板１１の平行な二辺の一方の近くと他方の近くにそれぞれ位置している。 The base plate 11 is provided with two restricting members 13a and 13b made of linear grooves in parallel with each other.
The restricting members 13a and 13b are parallel to the two parallel sides of the base plate 11, and one restricting member 13a and the other restricting member 13b are close to one of the two parallel sides of the base plate 11 and the other Located near each other.

各取付レール１５1、１５2は、ベース板１１の表面と平行にされ、ベース板１１の表面と平行な平面内で、規制部材１３ａ、１３ｂに対して直角にされた状態で、一端が一方の規制部材１３ａに取り付けられ、他端が他方の規制部材１３ｂに取り付けられている。 Each of the mounting rails 15 1 , 15 2 is parallel to the surface of the base plate 11, and one end of the mounting rails 15 1 , 15 2 is perpendicular to the regulating members 13 a, 13 b in a plane parallel to the surface of the base plate 11. The other regulating member 13b is attached to the other regulating member 13b.

そして、各取付レール１５1、１５2は、規制部材１３ａ、１３ｂに取り付けられた状態で、ベース板１１上で移動と固定が可能に構成されているが、移動する際には、規制部材１３ａ、１３ｂによって移動方向を規制され、取付レール１５1、１５2は、規制部材１３ａ、１３ｂと直角な状態を維持しながら、ベース板１１上で移動し、また、固定できるようにされている。
各取付レール１５1、１５2には、弾性部材１６がそれぞれ複数個取り付けられている。 The mounting rails 15 1 and 15 2 are configured to be movable and fixed on the base plate 11 while being attached to the regulating members 13a and 13b. The mounting rails 15 1 and 15 2 can be moved and fixed on the base plate 11 while maintaining a state perpendicular to the regulating members 13a and 13b.
A plurality of elastic members 16 are attached to the mounting rails 15 1 and 15 2 , respectively.

一個の弾性部材１６を、図７(ａ)〜(ｃ)に示す。
弾性部材１６は、弾性部２８と、弾性部２８に設けられた配置部２４とを有しており、配置部２４は、弾性部２８が変形すると、位置が移動する。ここでは、弾性部材１６は、底板２６と、底板２６に根本部分が取り付けられた変位板２３とを有しており、配置部２４は、根本部分とは反対側の変位板２３の先端に設けられている。 One elastic member 16 is shown in FIGS.
The elastic member 16 has an elastic part 28 and an arrangement part 24 provided on the elastic part 28, and the arrangement part 24 moves when the elastic part 28 is deformed. Here, the elastic member 16 includes a bottom plate 26 and a displacement plate 23 having a root portion attached to the bottom plate 26, and the disposing portion 24 is provided at the tip of the displacement plate 23 on the side opposite to the root portion. It has been.

底板２６と変位板２３とが成す角度は、０度よりも大きく、９０度よりも小さい角度にされており、底板２６は、取付レール１５1又は１５2にネジ止め固定され、配置部２４は、取付レール１５1、１５2よりも高く位置するようにされ、配置部２４が上方から下方に向けて押圧されると、変位板２３が下方に向けて曲がることで弾性部２８が圧縮変形する。弾性部２８のこの変形によって、配置部２４は下方に移動し、ベース板１１に近接する。押圧が解除されるときには弾性部２８は伸張変形し、配置部２４は上方に移動する。 The angle formed between the bottom plate 26 and the displacement plate 23 is larger than 0 degree and smaller than 90 degrees. The bottom plate 26 is fixed to the mounting rail 15 1 or 15 2 with screws, and the arrangement portion 24 is , is to be positioned higher than the mounting rails 15 1, 15 2, arranging portion 24 when it is pressed toward the top to bottom, the elastic part 28 compressed and deformed by the displacement plate 23 is bent downward . Due to this deformation of the elastic portion 28, the placement portion 24 moves downward and approaches the base plate 11. When the pressing is released, the elastic portion 28 is stretched and deformed, and the placement portion 24 moves upward.

図２(ａ)、(ｂ)を参照し、各取付レール１５1、１５2には、各取付レール１５1、１５2の伸びる方向に沿って、複数の弾性部材１６が並んで配置されている。
図２(ａ)、(ｂ)には、第一、第二の封着板３１、３２は図示されていないが、一枚の第二の封着板３２は、一辺が一本の取付レール１５1上に並んだ複数の弾性部材１６の配置部２４に乗せられるものであり、その一辺と平行な他辺が、他の取付レール１５2上に並んだ弾性部材１６の配置部２４に乗せられて、第二の封着板３２は、二本の取付レール１５1、１５2によって支持されるようになっている。一枚の第二の封着板３２を支持すべき取付レール１５1、１５2の間には、他の取付レールは位置しないようにされている。 FIG. 2 (a), the reference to (b), each mounting rail 15 1, 15 2, along the extending direction of the mounting rail 15 1, 15 2, are arranged side by side a plurality of elastic members 16 Yes.
The first and second sealing plates 31 and 32 are not shown in FIGS. 2A and 2B, but one second sealing plate 32 has one mounting rail on one side. 15 1 is placed on the arrangement part 24 of the plurality of elastic members 16 aligned on the other side, and the other side parallel to one side is placed on the arrangement part 24 of the elastic member 16 arranged on the other mounting rail 15 2. Thus, the second sealing plate 32 is supported by the two mounting rails 15 1 and 15 2 . No other mounting rail is positioned between the mounting rails 15 1 and 15 2 that should support the single second sealing plate 32.

ベース板１１上に配置された複数の取付レール１５1、１５2のうち、同じ第二の封着板３２が配置される二本の取付レール１５1、１５2と、その二本の取付レール１５1、１５2に設けられた弾性部材１６とを有する装置を配置装置９1と呼ぶと、ベース板１１上には、一乃至複数台の配置装置９1が配置されている。 A plurality of mounting rail 15 1 disposed on the base plate 11, 15 of the two, the same second two the mounting rails 15 1, 15 2 of the sealing plate 32 is disposed, the two mounting rails 15 1, 15 when a device having an elastic member 16 provided in the 2 called the placement device 9 1, on the base plate 11 may include one or placement device 9 1 a plurality are arranged.

ここで、配置装置９1の二本の取付レール１５1、１５2が伸びる方向を、封着用トレイ２ａの長手方向とし、ベース板１１の表面と平行な平面内で長手方向と垂直な方向を封着用トレイ２ａの幅方向と呼ぶと、規制部材１３ａ、１３ｂは、幅方向に伸びていることになる。
そして、一台の配置装置９1では、二本の取付レール１５1、１５2に設けられた弾性部材１６は、配置部２４が、二本の取付レール１５1、１５2の間の領域に位置するようにされている。 Here, the direction in which the two mounting rails 15 1 and 15 2 of the arrangement device 9 1 extend is defined as the longitudinal direction of the sealing tray 2a, and the direction perpendicular to the longitudinal direction in a plane parallel to the surface of the base plate 11 is defined. When referred to as the width direction of the sealing tray 2a, the regulating members 13a and 13b extend in the width direction.
Then, in a single deployment device 9 1, two mounting rails 15 1, 15 elastic member 16 provided in the 2, the arrangement 24 is, in a region between the mounting rail 15 1, 15 2 of the two It is supposed to be located.

第一、第二の封着板３１、３２をベース板１１上に配置する際には、予め、配置装置９1の二本の取付レール１５1、１５2は、規制部材１３ａ、１３ｂに沿って相対的に移動され、二本の取付レール１５1、１５2は、配置装置９1の一方の取付レール１５1の配置部２４と、他方の取付レール１５2の配置部２４との間の距離が、第一の封着板３１の幅よりも大きく離間する位置で固定されている。 When the first and second sealing plates 31 and 32 are arranged on the base plate 11, the two mounting rails 15 1 and 15 2 of the arrangement device 9 1 are arranged along the regulating members 13 a and 13 b in advance. are relatively moved Te, two mounting rails 15 1, 15 2, and one arrangement portion 24 of the mounting rail 15 first placement device 9 1, between the other arrangement portion 24 of the mounting rail 15 2 The distance is fixed at a position that is larger than the width of the first sealing plate 31.

第一の封着板３１を、取付レール１５1、１５2の間のベース板１１の表面上に配置するときには、第一の封着板３１は、ベース板１１上の第一の封着板３１の真上よりも外側に配置部２４が位置するように、ベース板１１上に配置されている。 When the first sealing plate 31 is disposed on the surface of the base plate 11 between the mounting rails 15 1 and 15 2 , the first sealing plate 31 is the first sealing plate on the base plate 11. It arrange | positions on the base board 11 so that the arrangement | positioning part 24 may be located in the outer side rather than just above 31. FIG.

封着装置９１の前工程が行われる場所には、図２(ｂ)に示された配置台５１が設けられている。
配置台５１には、開口が上方に向けられた凹部５２が形成されており、配置装置９1に、第一、第二の封着板３１、３２を配置する際には、先ず、封着用トレイ２ａは、取付レール１５1、１５2が取り付けられた表面を上方に向け、ベース板１１が配置台５１の凹部５２を蓋するように、凹部５２の開口に水平に配置し、封着用トレイ２ａを配置台５１に固定する。 An arrangement table 51 shown in FIG. 2B is provided at a place where the pre-process of the sealing device 91 is performed.
The placement base 51, an opening is formed a recess 52 directed upwardly, the placement device 9 1, when arranging the first, second sealing plates 31 and 32, first, sealing The tray 2a is disposed horizontally at the opening of the recess 52 so that the surface on which the mounting rails 15 1 and 15 2 are attached faces upward, and the base plate 11 covers the recess 52 of the placement table 51, and the sealing tray 2 a is fixed to the arrangement table 51.

図２(ａ)の符号１４は、板ストッパ１４であり、それぞれ、取付レール１５1、１５2の同じ側の端部に設けられている。
板ストッパ１４の先端は、二本の取付レール１５1、１５2の間の領域に向けられ、一方の取付レール１５1に設けられた配置部２４と、他方の取付レール１５2に設けられた配置部２４との間に位置しており、互いに向き合う板ストッパ１４の先端の間は、配置装置９1に配置される第一の封着板３１の幅よりも狭くなるようにされている。 Reference numeral 14 in FIG. 2A denotes a plate stopper 14, which is provided at the end on the same side of the mounting rails 15 1 and 15 2 , respectively.
The tip of the plate stopper 14 is directed to the area between the mounting rail 15 1, 15 2 of the two, an arrangement section 24 provided on one of the mounting rails 15 1, provided on the other mounting rail 15 2 located between the placement portion 24, which is the way between the tip of the plate stopper 14 facing each other, it is narrower than the first width of the sealing plate 31 which is arranged in the arrangement unit 9 1.

第一の封着板３１を配置装置９1に配置する際に、先ず、第一の封着板３１を水平にし、第一の封着板３１の四辺を長手方向又は幅方向と平行にし、第一の封着板３１を取付レール１５1、１５2の板ストッパ１４が配置された端部とは反対側の端部から、二本の取付レール１５1、１５2の間に挿入し、板ストッパ１４が位置する方向に進行させると、第一の封着板３１の進行方向の先頭の辺が板ストッパ１４に当接し、第一の封着板３１の進行は停止する。 When placing the first sealing plate 31 to the placement device 9 1, first, the first sealing plate 31 to the horizontal, and the four sides of the first sealing plate 31 in parallel to the longitudinal direction or the width direction, The first sealing plate 31 is inserted between the two mounting rails 15 1 and 15 2 from the end opposite to the end where the plate stoppers 14 of the mounting rails 15 1 and 15 2 are disposed, When the plate stopper 14 is moved in the direction in which the plate stopper 14 is positioned, the leading side of the first sealing plate 31 in the moving direction comes into contact with the plate stopper 14 and the first sealing plate 31 stops moving.

図３(ａ)、(ｂ)はその状態を示している。第一の封着板３１は先頭の一辺が二個の板ストッパ１４に当接され、板ストッパ１４は、その状態では、第一の封着板３１の四辺が、幅方向又は長手方向に平行になるように配置されている。   FIGS. 3A and 3B show this state. The first sealing plate 31 is in contact with the two plate stoppers 14 at the front side, and in this state, the four sides of the first sealing plate 31 are parallel to the width direction or the longitudinal direction. It is arranged to be.

一方の取付レール１５1の配置部２４と、他方の取付レール１５2の配置部２４との間の距離は、第一の封着板３１の幅よりも大きくされているから、配置部２４は、第一の封着板３１の真上位置よりも外側に位置している。 And one placement portion 24 of the mounting rail 15 1, the distance between the other arrangement portion 24 of the mounting rail 15. 2, from being greater than the width of the first sealing plate 31, disposed 24 The first sealing plate 31 is positioned outside the position directly above the first sealing plate 31.

ベース板１１には、図６に示すように、貫通孔である吸引孔１７が複数個設けられており、ベース板１１上に配置された第一の封着板３１の底面下には、複数の吸引孔１７が配置されている。   As shown in FIG. 6, the base plate 11 is provided with a plurality of suction holes 17 that are through holes. A plurality of suction holes 17 are provided below the bottom surface of the first sealing plate 31 disposed on the base plate 11. The suction hole 17 is arranged.

配置台５１の凹部５２には、真空ポンプ５３が接続されており、真空ポンプ５３を動作させ、ベース板１１によって蓋がされた凹部５２の空間に充満する気体を真空排気すると、凹部５２の空間が減圧され、第一の封着板３１は吸引孔１７によって、ベース板１１上に真空吸着され、第一の封着板３１は、ベース板１１上に吸着力で固定される。   A vacuum pump 53 is connected to the recess 52 of the arrangement table 51. When the vacuum pump 53 is operated and the gas filling the space of the recess 52 covered by the base plate 11 is evacuated, the space of the recess 52 is obtained. The first sealing plate 31 is vacuum-adsorbed onto the base plate 11 by the suction holes 17, and the first sealing plate 31 is fixed onto the base plate 11 with an adsorbing force.

第一の封着板３１の表面には、第一、第二の封着板３１、３２よりも軟化点が低いガラス材料を含有する封着材料３６が配置されている。
この封着材料３６は細長で、環状に成形されており、封着材料３６は、第一の封着板３１の縁付近に沿って配置されており、封着材料３６は、第一の封着板３１の中央を取り囲んで配置されている。封着材料３６と第一の封着板３１との接触部分も環状であり、第一の封着板３１の四辺は、環状の接触部分の外側に位置している。 A sealing material 36 containing a glass material having a softening point lower than that of the first and second sealing plates 31 and 32 is disposed on the surface of the first sealing plate 31.
The sealing material 36 is elongated and is formed in an annular shape. The sealing material 36 is disposed along the vicinity of the edge of the first sealing plate 31, and the sealing material 36 is the first sealing plate 36. It is arranged so as to surround the center of the landing plate 31. The contact portion between the sealing material 36 and the first sealing plate 31 is also annular, and the four sides of the first sealing plate 31 are located outside the annular contact portion.

封着材料３６が取り囲む第一の封着板３１上の領域には、封着材料３６の軟化点では軟化しない透明材料から成る複数のスペーサ３７が配置されている。ここでは、スペーサ３７は球形であり、各スペーサ３７の直径は等しくされている。   A plurality of spacers 37 made of a transparent material that does not soften at the softening point of the sealing material 36 are arranged in a region on the first sealing plate 31 that is surrounded by the sealing material 36. Here, the spacers 37 are spherical, and the diameters of the spacers 37 are equal.

封着材料３６の高さは、スペーサ３７の直径よりも大きくされており、封着材料３６の上端はスペーサ３７の上端よりも高いことになる。配置部２４の上端は、封着材料３６の上端よりも高くなるようにされている。   The height of the sealing material 36 is larger than the diameter of the spacer 37, and the upper end of the sealing material 36 is higher than the upper end of the spacer 37. The upper end of the arrangement portion 24 is set higher than the upper end of the sealing material 36.

第一の封着板３１の上に、第二の封着板３２を配置して、第一、第二の封着板３１、３２が積層された積層板を作成するためには、二辺間の距離の幅が、配置部２４間の距離よりも長い第二の封着板３２を用い、二辺のうちの一辺を、配置装置９1の一方の取付レール１５1に設けられた配置部２４上に乗せ、他の一辺を、他方の取付レール１５2に設けられた配置部２４上に乗せ、第二の封着板３２を、弾性部材１６によって支持させる。
図４(ａ)、(ｂ)は、第二の封着板３２を、弾性部材１６によって支持した状態を示しており、第二の封着板３２は、第一の封着板３１の真上に位置している。 In order to arrange the second sealing plate 32 on the first sealing plate 31 and create a laminated plate in which the first and second sealing plates 31 and 32 are laminated, two sides width of the distance between is used longer second sealing plate 32 than the distance between the placement portion 24, one side of the two sides, provided on one of the mounting rail 15 first placement device 9 1 arranged placed on section 24, the other side, placed on placement portion 24 provided on the other mounting rail 15 2, the second sealing plate 32, is supported by an elastic member 16.
4 (a) and 4 (b) show a state in which the second sealing plate 32 is supported by the elastic member 16, and the second sealing plate 32 is a true member of the first sealing plate 31. FIG. Located on the top.

第二の封着板３２の、配置部２４上への配置手順を説明すると、先ず、第二の封着板３２は、吸着装置等によって保持し、持ち上げて弾性部材１６上で静止させる。
第一、第二の封着板３１、３２には、アラインメントマークがそれぞれ設けられており、配置台５１の上方に設けられたカメラ３９によって、第二の封着板３２上から第一、第二の封着板３１、３２のアラインメントマークを撮影する。 The procedure for placing the second sealing plate 32 on the placement portion 24 will be described. First, the second sealing plate 32 is held by a suction device or the like, and is lifted and stopped on the elastic member 16.
Alignment marks are provided on the first and second sealing plates 31 and 32, respectively, and the first and second sealing plates 32 are placed on the first and second sealing plates 32 by a camera 39 provided above the arrangement table 51. The alignment marks of the second sealing plates 31 and 32 are photographed.

撮影した画像はコンピュータに電送され、コンピュータによって解析されて位置合わせ誤差が求められ、誤差を解消して予め設定された位置関係になるように、第一、第二の封着板３１、３２は相対的に移動される。   The captured images are transmitted to a computer and analyzed by the computer to obtain an alignment error. The first and second sealing plates 31 and 32 are arranged so as to eliminate the error and have a preset positional relationship. It is moved relatively.

ここでは、第一の封着板３１は静止されており、第二の封着板３２が移動され、第一、第二の封着板３１、３２が予め設定された位置関係になったところで、相対的に静止させ、第二の封着板３２を降下させ、第二の封着板３２を配置部２４と接触させて配置部２４上に配置する。   Here, the first sealing plate 31 is stationary, the second sealing plate 32 is moved, and the first and second sealing plates 31 and 32 are in a preset positional relationship. The second sealing plate 32 is moved down relatively, the second sealing plate 32 is lowered, and the second sealing plate 32 is placed in contact with the placement portion 24 and placed on the placement portion 24.

第二の封着板３２の幅は、第一の封着板３１の幅よりも長く、第二の封着板３２の真下に位置する領域内には、複数の配置部２４が位置しており、第二の封着板３２を持ち上げておいた力を解除すると、複数の弾性部材１６によって、第二の封着板３２は支持される。   The width of the second sealing plate 32 is longer than the width of the first sealing plate 31, and a plurality of arrangement portions 24 are located in an area located directly below the second sealing plate 32. When the force that lifts up the second sealing plate 32 is released, the second sealing plate 32 is supported by the plurality of elastic members 16.

なお、第二の封着板３２の重量によって、第二の封着板３２と接触している配置部２４は下方に押圧され、押圧された配置部２４は、変位板２３の上端に下方に向く力を加えるので、変位板２３は、変位板２３の根本を中心として下方に回転移動する。この回転移動は弾性部２８が変形したことであり、回転した変位板２３が元の位置にもどろうとする復元力は、弾性部２８の変形を元の状態に戻そうとする復元力である。   The placement portion 24 that is in contact with the second sealing plate 32 is pressed downward by the weight of the second sealing plate 32, and the pressed placement portion 24 is placed downward on the upper end of the displacement plate 23. Since a direction force is applied, the displacement plate 23 rotates downward about the root of the displacement plate 23. This rotational movement is the deformation of the elastic portion 28, and the restoring force that the rotated displacement plate 23 tries to return to the original position is the restoring force that tries to return the deformation of the elastic portion 28 to the original state.

弾性部２８の変形量、ここでは、変位板２３の回転移動量が大きくなると、復元力も大きくなるので、弾性部２８の変形量が大きくなると、復元力も大きくなり、第二の封着板３２を支持する弾性部材１６の復元力(配置部２４が第二の封着板３２と接触する弾性部材１６の復元力の合計値)と第二の封着板３２の重量とが釣り合ったところで、弾性部２８の変形は停止し、第二の封着板３２は、弾性部材１６によって支持され、第二の封着板３２は静止する。   As the amount of deformation of the elastic portion 28, here, the amount of rotational movement of the displacement plate 23 increases, the restoring force also increases. When the restoring force of the elastic member 16 to be supported (the total value of the restoring force of the elastic member 16 with which the arrangement portion 24 contacts the second sealing plate 32) and the weight of the second sealing plate 32 are balanced, the elasticity The deformation of the portion 28 stops, the second sealing plate 32 is supported by the elastic member 16, and the second sealing plate 32 stops.

ここでは、第二の封着板３２の重量と、弾性部材１６の変形量と、復元力と、第二の封着板３２が配置されない配置部２４と第一の封着板３１上の封着材料３６の上端との間の距離との関係は、弾性部材１６で支持された第二の封着板３２が、第一の封着板３１上の封着材料３６の上端よりも上方に離間して静止するように設定されており、従って、弾性部材１６で支持された第二の封着板３２の底面と封着材料３６の上端との間には、隙間７が形成されている。   Here, the weight of the second sealing plate 32, the amount of deformation of the elastic member 16, the restoring force, the sealing portion 24 on the first sealing plate 31 and the arrangement portion 24 where the second sealing plate 32 is not disposed. The relationship with the distance between the upper end of the adhesive material 36 is that the second sealing plate 32 supported by the elastic member 16 is located above the upper end of the sealing material 36 on the first sealing plate 31. Accordingly, the gap 7 is formed between the bottom surface of the second sealing plate 32 supported by the elastic member 16 and the upper end of the sealing material 36. .

本例では、封着材料３６は第一の封着板３１表面と接触して配置されているが、本発明は、第一の封着板３１と第二の封着板３２との間に封着材料３６が位置した状態で、第一の封着板３１と封着材料３６の間、又は、第二の封着板３２と封着材料３６の間の、少なくともいずれか一方に隙間７が形成されていればよく、この状態の封着用トレイ２ａと、第一、第二の封着板３１、３２とで、上述した処理対象物１０ａが形成されている。   In this example, the sealing material 36 is disposed in contact with the surface of the first sealing plate 31, but the present invention is arranged between the first sealing plate 31 and the second sealing plate 32. In a state where the sealing material 36 is positioned, a gap 7 is provided between at least one of the first sealing plate 31 and the sealing material 36 or between the second sealing plate 32 and the sealing material 36. The above-described processing object 10a is formed by the sealing tray 2a in this state and the first and second sealing plates 31 and 32.

真空吸着を停止し、この処理対象物１０ａを配置台５１から取り外し、封着装置９１に向けて移動させる。
封着装置９１では、各ゲートバルブ１０４ａ〜１０４ｃは閉じられており、加熱室１０２ａ〜１０２ｃの内部と、封着室１０５の内部と、徐冷室１０７ａ〜１０７ｄの内部とは、所定圧力の真空雰囲気にされている。 The vacuum suction is stopped, the processing object 10 a is removed from the placement table 51, and moved toward the sealing device 91.
In the sealing device 91, the gate valves 104a to 104c are closed, and the inside of the heating chambers 102a to 102c, the inside of the sealing chamber 105, and the inside of the slow cooling chambers 107a to 107d are vacuums of a predetermined pressure. It is in the atmosphere.

搬入扉１０３ａは開けられており、移動された複数の処理対象物１０ａを搬入扉１０３ａから搬入室１０１内に搬入する。
搬入室１０１の内部に所定枚数の処理対象物１０ａが配置されたところで、搬入扉１０３ａを閉じ、搬入室１０１の内部に大気が侵入しないようにして、真空排気装置２によって、搬入室１０１の内部を真空排気する。 The carry-in door 103a is opened, and the plurality of moved processing objects 10a are carried into the carry-in chamber 101 from the carry-in door 103a.
When a predetermined number of processing objects 10a are arranged inside the carry-in chamber 101, the carry-in door 103a is closed so that the atmosphere does not enter the inside of the carry-in chamber 101. Is evacuated.

搬入室１０１の内部が所定圧力の真空雰囲気にされた後、搬入室１０１と加熱室１０２ａとの間のゲートバルブ１０４ａを開け、搬入室１０１の内部と加熱室１０２ａの内部とを接続し、搬送装置１２１によって、搬入室１０１の内部に位置する処理対象物１０ａを、加熱室１０２ａ内に移動させる。   After the inside of the carry-in chamber 101 is made a vacuum atmosphere of a predetermined pressure, the gate valve 104a between the carry-in chamber 101 and the heating chamber 102a is opened, the inside of the carry-in chamber 101 and the inside of the heating chamber 102a are connected, and The processing object 10a located inside the carry-in chamber 101 is moved into the heating chamber 102a by the apparatus 121.

搬入室１０１内に位置する所定枚数の処理対象物１０ａが搬入室１０１から加熱室１０２ａ内に移動された後、搬入室１０１と加熱室１０２ａとの間のゲートバルブ１０４ａを閉じ、搬入室１０１に大気を導入し、新しい処理対象物１０ａを搬入室１０１内に搬入する。
搬入室１０１から加熱室１０２ａの内部に移動された処理対象物１０ａは、各加熱室１０２ａ〜１０２ｃの内部を通って、封着室１０５の内部に移動する。 After a predetermined number of objects to be processed 10a located in the carry-in chamber 101 are moved from the carry-in chamber 101 into the heating chamber 102a, the gate valve 104a between the carry-in chamber 101 and the heating chamber 102a is closed to enter the carry-in chamber 101. Air is introduced and a new object 10a is carried into the carry-in chamber 101.
The processing object 10a moved from the carry-in chamber 101 to the inside of the heating chamber 102a moves to the inside of the sealing chamber 105 through the inside of each of the heating chambers 102a to 102c.

各加熱室１０２ａ〜１０２ｃには、処理対象物１０ａを加熱する昇温装置１１２ａ〜１１２ｃがそれぞれ設けられており、処理対象物１０ａは、各加熱室１０２ａ〜１０２ｃの内部に位置するときに、昇温装置１１２ａ〜１１２ｃによって加熱され、昇温されるようになっており、封着室１０５に接続された加熱室１０２ｃから封着室１０５の内部に移動される処理対象物１０ａは、封着材料３６の軟化温度よりも低い温度の範囲内で、できるだけ高い温度に昇温されており、短時間で封着材料３６を軟化させることができる状態で封着室１０５の内部に搬入される。   Each of the heating chambers 102a to 102c is provided with a temperature raising device 112a to 112c for heating the processing object 10a. When the processing object 10a is located inside each of the heating chambers 102a to 102c, the heating object is heated up. The processing object 10a that is heated by the heating devices 112a to 112c to be heated and moved from the heating chamber 102c connected to the sealing chamber 105 to the inside of the sealing chamber 105 is a sealing material. The temperature is raised as high as possible within a temperature range lower than the softening temperature 36, and the sealing material 36 is carried into the sealing chamber 105 in a state where the sealing material 36 can be softened in a short time.

封着室１０５には、加熱装置１１５と、封着装置２５とが設けられている。
封着装置２５は、封着室１０５の天井側に配置されており、封着室１０５内に搬入された処理対象物１０ａは、封着室１０５内で加熱装置１１５上に乗せられる。
封着装置２５は、支持部２７と、懸吊部２２とを有しており、支持部２７上には、重り３８が乗せられている。図９(ａ)は、その状態を示しており、重り３８は、水平にされている。 The sealing chamber 105 is provided with a heating device 115 and a sealing device 25.
The sealing device 25 is arranged on the ceiling side of the sealing chamber 105, and the processing object 10 a carried into the sealing chamber 105 is placed on the heating device 115 in the sealing chamber 105.
The sealing device 25 has a support portion 27 and a suspension portion 22, and a weight 38 is placed on the support portion 27. FIG. 9A shows this state, and the weight 38 is horizontal.

重り３８には被懸吊部２０が設けられており、処理対象物１０ａが封着室１０５内に搬入される前に、懸吊部２２が移動して被懸吊部２０と接触し、懸吊部２２と被懸吊部２０とが係合する。同図(ｂ)は、その状態を示している。   The weight 38 is provided with a suspended portion 20, and the suspension portion 22 moves and comes into contact with the suspended portion 20 before the processing object 10 a is carried into the sealing chamber 105. The suspended portion 22 and the suspended suspended portion 20 are engaged. FIG. 2B shows this state.

懸吊部２２と被懸吊部２０とが係合した状態では、重り３８を懸吊部２２によって懸吊できるようになっており、その様態で、同図(ｃ)に示すように、支持部２７を処理対象物１０ａの真下位置よりも外側に移動させ、重り３８を懸吊部２２によって懸吊する。   In the state where the suspended portion 22 and the suspended portion 20 are engaged, the weight 38 can be suspended by the suspended portion 22, and in this manner, as shown in FIG. The part 27 is moved to the outside of the position just below the processing object 10 a, and the weight 38 is suspended by the suspension part 22.

次に、同図(ｄ)に示すように、処理対象物１０ａが封着室１０５内に搬入されて、重り３８の真下位置で静止され、次いで、処理対象物１０ａは、上昇された加熱装置１１５上に乗せられ、加熱装置１１５によって加熱されながら、懸吊部２２を重り３８と共に降下させる。図５(ａ)は、降下によって、重り３８が処理対象物１０ａに近接した状態を示している。   Next, as shown in FIG. 4D, the processing object 10a is carried into the sealing chamber 105 and stopped at a position just below the weight 38, and then the processing object 10a is moved up to the heating device. The suspension part 22 is lowered together with the weight 38 while being placed on 115 and being heated by the heating device 115. FIG. 5A shows a state in which the weight 38 comes close to the processing object 10a due to the lowering.

重り３８が懸吊部２２によって懸吊された状態では、第二の封着板３２の表面と重り３８の底面との間には、懸吊部２２や他の装置は位置しないようにされており、従って、第二の封着板３２の表面と、重り３８の底面とは対面する。   In a state where the weight 38 is suspended by the suspension portion 22, the suspension portion 22 and other devices are not positioned between the surface of the second sealing plate 32 and the bottom surface of the weight 38. Therefore, the surface of the second sealing plate 32 and the bottom surface of the weight 38 face each other.

そして、更に懸吊部２２と重り３８とが降下すると、図５(ｂ)、図９(ｅ)に示すように、重り３８の底面は第二の封着板３２の表面に接触する。
この状態では、重り３８の重量は懸吊部２２によって支持されている。 When the suspension portion 22 and the weight 38 are further lowered, the bottom surface of the weight 38 comes into contact with the surface of the second sealing plate 32 as shown in FIGS. 5B and 9E.
In this state, the weight 38 is supported by the suspension portion 22.

重り３８の底面と第二の封着板３２の表面とが接触したときでは、第一又は第二の封着板３１、３２の少なくとも一方と、封着材料３６との間には、隙間７が形成されているが、更に、懸吊部２２が鉛直にゆっくり降下すると、第二の封着板３２を介して、重り３８の重量の一部が弾性部材１６に印加され、弾性部材１６が鉛直下方に向けて押圧され、配置部２４が第二の封着板３２と共に下方に移動する。このとき、弾性部２８の変形量は増大する。   When the bottom surface of the weight 38 and the surface of the second sealing plate 32 are in contact with each other, there is a gap 7 between at least one of the first or second sealing plates 31 and 32 and the sealing material 36. In addition, when the suspension portion 22 slowly descends vertically, a part of the weight of the weight 38 is applied to the elastic member 16 via the second sealing plate 32, and the elastic member 16 is The arrangement portion 24 is moved downward together with the second sealing plate 32 by being pressed vertically downward. At this time, the deformation amount of the elastic portion 28 increases.

第二の封着板３２が降下すると、第二の封着板３２の底面は封着材料３６の上端に接触する。第二の封着板３２は、封着材料３６によって形成された環よりも大面積であり、第二の封着板３２の四辺は、環状の接触部分の外側に位置しているから、封着材料３６と第二の封着板３２との接触部分は環形状になり、更に懸吊部２２が降下すると、重り３８の重量の一部が押圧力となって、第二の封着板３２に印加される。   When the second sealing plate 32 is lowered, the bottom surface of the second sealing plate 32 comes into contact with the upper end of the sealing material 36. The second sealing plate 32 has a larger area than the ring formed by the sealing material 36, and the four sides of the second sealing plate 32 are located outside the annular contact portion. The contact portion between the dressing material 36 and the second sealing plate 32 has an annular shape, and when the suspension portion 22 is further lowered, a part of the weight of the weight 38 becomes a pressing force, and the second sealing plate. 32.

封着時間短縮のため、封着材料３６が第二の封着板３２の重量によって押圧される前に、封着材料３６は、加熱装置１１５によって、軟化点以上の温度に昇温されており、従って、封着材料３６は軟化しており、押圧されると変形するようになっている。   In order to shorten the sealing time, before the sealing material 36 is pressed by the weight of the second sealing plate 32, the sealing material 36 is heated to a temperature equal to or higher than the softening point by the heating device 115. Therefore, the sealing material 36 is softened and is deformed when pressed.

懸吊部２２が降下し、封着材料３６が重り３８の重量の一部によって押圧されて変形すると、第二の封着板３２と重り３８とは降下し、図５(ｃ)に示すように、第二の封着板３２はスペーサ３７と接触する。   When the suspension portion 22 is lowered and the sealing material 36 is pressed and deformed by a part of the weight of the weight 38, the second sealing plate 32 and the weight 38 are lowered, as shown in FIG. In addition, the second sealing plate 32 contacts the spacer 37.

スペーサ３７は、加熱装置１１５によって、封着材料３６と同じ温度に加熱されているが、スペーサ３７は軟化しておらず、変形しない材料で形成されている。
従って、第二の封着板３２は、スペーサ３７によって支持される。この状態では、第二の封着板３２と重り３８の降下は終了し、懸吊部２２が更に降下すると、懸吊部２２は被懸吊部２０から離間し、懸吊部２２と被懸吊部２０との係合は解除される。 The spacer 37 is heated to the same temperature as the sealing material 36 by the heating device 115, but the spacer 37 is not softened and is formed of a material that does not deform.
Therefore, the second sealing plate 32 is supported by the spacer 37. In this state, the lowering of the second sealing plate 32 and the weight 38 is finished, and when the suspension portion 22 is further lowered, the suspension portion 22 is separated from the suspended portion 20 and is suspended from the suspended portion 22 and the suspended portion. The engagement with the hanging part 20 is released.

この状態では、封着材料３６の変形量は大きくなっているが、封着材料３６が第二の封着板３２によって押圧されて変形したので、封着材料３６と第一、第二の封着板３１、３２との間の密着性は向上している。封着材料３６は、第一、第二の封着板３１、３２の両方に環状に接触しており、また、封着材料３６は、第一、第二の封着板３１、３２よりも外側にはみ出さないようにされている。
懸吊部２２は、支持部２７よりも上方に移動される。 In this state, the deformation amount of the sealing material 36 is large. However, since the sealing material 36 is pressed and deformed by the second sealing plate 32, the sealing material 36 and the first and second sealing materials are deformed. The adhesion between the landing plates 31 and 32 is improved. The sealing material 36 is in annular contact with both the first and second sealing plates 31 and 32, and the sealing material 36 is more than the first and second sealing plates 31 and 32. It does not protrude outside.
The suspension part 22 is moved upward from the support part 27.

なお、第一の封着板３１は、一方の取付レール１５1に配置された弾性部材１６の配置部２４と、他方の取付レール１５2に配置された弾性部材１６の配置部２４との間に位置するようにされているので、第二の封着板３２が、重り３８が第二の封着板３２上に配置されていないときの高さから、第二の封着板３２がスペーサ３７と接触したときの高さまで移動する間に、第二の封着板３２を支持する弾性部材１６の配置部２４は、第一の封着板３１やベース板１１とは接触しない。従って、第一、第二の封着板３１、３２は、スペーサ３７の直径の距離まで近接させることができる。 Incidentally, the first sealing plate 31, between the placement portion 24 of the elastic member 16 disposed on one of the mounting rails 15 1, the arrangement section 24 of the elastic member 16 disposed in the other mounting rail 15 2 Since the second sealing plate 32 is positioned at the height of the second sealing plate 32 when the weight 38 is not disposed on the second sealing plate 32, the second sealing plate 32 is a spacer. While moving to the height at which it contacts 37, the placement portion 24 of the elastic member 16 that supports the second sealing plate 32 does not contact the first sealing plate 31 or the base plate 11. Accordingly, the first and second sealing plates 31 and 32 can be brought close to the distance of the diameter of the spacer 37.

環状の封着材料３６は、第一、第二の封着板３１、３２の両方に密着されており、加熱されて軟化した後の封着材料３６は気体を透過させないから、環状の封着材料３６で取り囲まれた空間は、封着材料３６と、第一、第二の封着板３１、３２とで外部から遮断されており、真空雰囲気になっている。   The annular sealing material 36 is in close contact with both the first and second sealing plates 31 and 32, and the sealing material 36 that has been heated and softened does not allow gas to pass therethrough. The space surrounded by the material 36 is blocked from the outside by the sealing material 36 and the first and second sealing plates 31 and 32, and is in a vacuum atmosphere.

第二の封着板３２上に重り３８を配置した状態で、搬送装置１２１によって、処理対象物１０ａを封着室１０５から徐冷室１０７ａに移動させる。図８に示すように、各徐冷室１０７ａ〜１０７ｄには、処理対象物１０ａを徐冷する冷却装置１１７ａ〜１１７ｄが設けられており、搬入された処理対象物１０ａを、各徐冷室１０７ａ〜１０７ｄの内部で冷却装置１１７ａ〜１１７ｄに接触させ、徐冷すると、封着材料３６は、その軟化点よりも低い温度に冷却され、固化する。処理対象物１０ａの第一、第二の封着板３１、３２は、固化した封着材料３６によって互いに固定され、積層板が構成される。   With the weight 38 disposed on the second sealing plate 32, the processing object 10 a is moved from the sealing chamber 105 to the slow cooling chamber 107 a by the transport device 121. As shown in FIG. 8, each of the slow cooling chambers 107a to 107d is provided with cooling devices 117a to 117d for gradually cooling the processing target object 10a. When contacted with the cooling devices 117a to 117d inside -107d and gradually cooled, the sealing material 36 is cooled to a temperature lower than its softening point and solidifies. The first and second sealing plates 31 and 32 of the processing object 10a are fixed to each other by the solidified sealing material 36 to constitute a laminated plate.

図５(ｃ)の符号４は、封着材料３６によって第一、第二の封着板３１、３２とが固定された積層板を示している。
この積層板４でも、環状の封着材料３６で取り囲まれた空間は、封着材料３６と、第一、第二の封着板３１、３２とによって外部から遮断されており、積層板４が大気雰囲気に置かれた状態でも、真空雰囲気は維持される。 Reference numeral 4 in FIG. 5C indicates a laminated plate in which the first and second sealing plates 31 and 32 are fixed by the sealing material 36.
Also in this laminated plate 4, the space surrounded by the annular sealing material 36 is blocked from the outside by the sealing material 36 and the first and second sealing plates 31, 32. The vacuum atmosphere is maintained even in a state of being placed in an air atmosphere.

搬出扉１０３ｂを閉じ、真空排気装置２によって、搬出室１０８内を真空排気し、搬出室１０８内に真空雰囲気を形成しておき、徐冷室１０７ｄと搬出室１０８との間のゲートバルブ１０４ｂを開け、徐冷室１０７ｄの内部を搬出室１０８の内部に接続した後、封着材料３６が固化された処理対象物１０ａを、重り３８を乗せた状態で、徐冷室１０７ｄ内から搬出室１０８内に移動させる。   The unloading door 103b is closed, the inside of the unloading chamber 108 is evacuated by the vacuum exhaust device 2, a vacuum atmosphere is formed in the unloading chamber 108, and the gate valve 104b between the slow cooling chamber 107d and the unloading chamber 108 is set. After opening and connecting the inside of the slow cooling chamber 107d to the inside of the carry-out chamber 108, the processing object 10a on which the sealing material 36 has been solidified is placed in the carry-out chamber 108d from the slow-cooling chamber 107d with the weight 38 placed thereon. Move in.

搬出室１０８に、徐冷室１０７ｄから所定枚数の処理対象物１０ａが移動されたところで、ゲートバルブ１０４ｂを閉じ、搬出室１０８の内部を、徐冷室１０７ｄの内部と遮断した後、搬出扉１０３ｂを開け、徐冷室１０７ｄ側の真空雰囲気を維持しながら、搬出室１０８の内部に、大気等の気体を導入する。   When a predetermined number of objects to be processed 10a are moved from the slow cooling chamber 107d to the unloading chamber 108, the gate valve 104b is closed, and the inside of the unloading chamber 108 is shut off from the inside of the slow cooling chamber 107d, and then the unloading door 103b. And a gas such as the atmosphere is introduced into the carry-out chamber 108 while maintaining the vacuum atmosphere on the slow cooling chamber 107d side.

導入した気体は、第一、第二の封着板３１、３２や封着材料３６に接触するが、第一、第二の封着板３１、３２や封着材料３６は冷却されているから、導入したガスが室温であっても温度差は大きくなく、第一、第二の封着板３１、３２や封着材料３６にひび割れが発生することはない。   The introduced gas contacts the first and second sealing plates 31 and 32 and the sealing material 36, but the first and second sealing plates 31 and 32 and the sealing material 36 are cooled. Even if the introduced gas is at room temperature, the temperature difference is not large, and the first and second sealing plates 31 and 32 and the sealing material 36 are not cracked.

搬出室１０８の内部の圧力が大気圧力になった後、搬出扉１０３ｂを開け、重り３８が乗った処理対象物１０ａを搬出室１０８の外部に移動させ、重り３８と、封着された第一、第二の封着板３１、３２を有する積層板４と、封着用トレイ２ａとを分離し、積層板４は後工程に送る。   After the pressure inside the carry-out chamber 108 becomes atmospheric pressure, the carry-out door 103b is opened, the processing object 10a on which the weight 38 is placed is moved to the outside of the carry-out chamber 108, and the weight 38 and the first sealed The laminated plate 4 having the second sealing plates 31 and 32 and the sealing tray 2a are separated, and the laminated plate 4 is sent to a subsequent process.

封着用トレイ２ａでは、第二の封着板３２と重り３８とが、配置部２４上から除去された状態では、弾性部２８を変形させる力は解除され、復元力によって弾性部材１６は元の状態に戻っており、封着用トレイ２ａは、再使用をするために、配置台５１方向に送る。また、重り３８も、再使用をするために、仕込室１１１方向に送る。   In the sealing tray 2a, in a state where the second sealing plate 32 and the weight 38 are removed from the arrangement portion 24, the force that deforms the elastic portion 28 is released, and the elastic member 16 is restored to the original by the restoring force. Returning to the state, the sealing tray 2a is sent in the direction of the placement table 51 for reuse. The weight 38 is also sent in the direction of the charging chamber 111 for reuse.

仕込室１１１の大気雰囲気に接する壁面には、仕込扉１０３ｃが設けられており、仕込扉１０３ｃを開け、重り３８を搬入する。
仕込室１１１の内部に所定枚数の重り３８が配置されたところで、仕込扉１０３ｃを閉じ、真空排気装置２によって、仕込室１１１の内部を真空排気する。 A charging door 103c is provided on the wall surface in contact with the atmospheric atmosphere of the charging chamber 111, the charging door 103c is opened, and the weight 38 is carried in.
When a predetermined number of weights 38 are disposed inside the preparation chamber 111, the preparation door 103 c is closed and the inside of the preparation chamber 111 is evacuated by the vacuum exhaust device 2.

仕込室１１１には、重り加熱装置が設けられており、仕込室１１１内に配置された重り３８は、重り加熱装置によって、封着材料３６の軟化温度以上の温度に加熱されている。従って、重り３８が、第二の封着板３２上に乗せられたときに、第二の封着板３２や封着材料３６は冷却されず、第二の封着板３２や封着材料３６の温度が低下しないようにされている。   The preparation chamber 111 is provided with a weight heating device, and the weight 38 disposed in the preparation chamber 111 is heated to a temperature equal to or higher than the softening temperature of the sealing material 36 by the weight heating device. Therefore, when the weight 38 is placed on the second sealing plate 32, the second sealing plate 32 and the sealing material 36 are not cooled, and the second sealing plate 32 and the sealing material 36 are not cooled. The temperature is not lowered.

仕込室１１１の内部が所定圧力の真空雰囲気になったところで、封着室１０５と仕込室１１１との間のゲートバルブ１０４ｃを開ける。
封着室１０５と仕込室１１１の内部には、仕込室１１１から封着室１０５に重り３８を移動させる重り移動装置が設けられており、封着室１０５内の支持部２７上に配置された重り３８が、封着室１０５内に配置された処理対象物１０ａ上に乗せられた後、重り移動装置によって仕込室１１１の内部に配置された重り３８が封着室１０５の内部に移動され、支持部２７上に配置され、上記手順に従って、搬入された処理対象物１０ａ上に乗せられる。 When the inside of the preparation chamber 111 becomes a vacuum atmosphere of a predetermined pressure, the gate valve 104c between the sealing chamber 105 and the preparation chamber 111 is opened.
Inside the sealing chamber 105 and the preparation chamber 111, a weight moving device for moving the weight 38 from the preparation chamber 111 to the sealing chamber 105 is provided, and is disposed on the support portion 27 in the sealing chamber 105. After the weight 38 is placed on the processing object 10a arranged in the sealing chamber 105, the weight 38 arranged inside the preparation chamber 111 is moved into the sealing chamber 105 by the weight moving device, It arrange | positions on the support part 27, and carries it on the process target object 10a carried in according to the said procedure.

なお、上記積層板４では、第一、第二の封着板３１、３２間は、スペーサ３７の直径だけ離間しているが、第一、第二の封着板３１、３２間にスペーサ３７を配置しない場合は、封着用トレイ２ａ上に隙間形成用のストッパを設け、重り装置３８の重量が印加されて軟化した封着材料３６を変形させながら降下する第二の封着板３２が、第一の封着板３１から所定距離の位置まで近接したときに、隙間形成用のストッパによって第二の封着板３２の降下を停止させ、その状態で処理対象物１０ａを徐冷して、第一、第二の封着板３１、３２を、隙間形成用のストッパによる距離だけ離間した積層板を構成してもよい。   In the laminated plate 4, the first and second sealing plates 31 and 32 are separated from each other by the diameter of the spacer 37, but the spacer 37 is interposed between the first and second sealing plates 31 and 32. Is not disposed, a stopper for gap formation is provided on the sealing tray 2a, and the second sealing plate 32 that descends while deforming the softening sealing material 36 applied with the weight of the weight device 38, When approaching a predetermined distance from the first sealing plate 31, the lowering of the second sealing plate 32 is stopped by the gap forming stopper, and the processing object 10 a is gradually cooled in this state, You may comprise the laminated board which separated the 1st, 2nd sealing board 31 and 32 only the distance by the stopper for gap formation.

また、上記例では、第一の封着板３１上に、環状の封着材料３６が配置されており、封着材料３６と第二の封着板３２との間の隙間７から、第一、第二の封着板３１、３２の間に位置する気体が真空排気されたが、環状の封着材料が下方を向く表面に接着された第二の封着板３２を配置部２４に配置して、第一の封着板３１の上方に位置させ、第一の封着板３１と、封着材料の下端との間に形成される隙間から気体を真空排気するようにしても良い。   Further, in the above example, the annular sealing material 36 is disposed on the first sealing plate 31, and the first clearance plate 36 has a gap 7 between the sealing material 36 and the second sealing plate 32. The gas positioned between the second sealing plates 31 and 32 is evacuated, but the second sealing plate 32 having the annular sealing material bonded to the surface facing downward is arranged in the arrangement portion 24. Then, the gas may be positioned above the first sealing plate 31 and the gas may be evacuated from a gap formed between the first sealing plate 31 and the lower end of the sealing material.

この場合は、第二の封着板３２の下方を向く表面の、環状の封着材料の外側に位置する部分が配置部２４と接触している。
スペーサは、第一の封着板３１の封着材料３６で囲まれる部分に配置してもよいし、第二の封着板３２の封着材料が取り囲む領域に接着しておいても良い。 In this case, a portion of the surface facing the lower side of the second sealing plate 32 that is located outside the annular sealing material is in contact with the arrangement portion 24.
The spacer may be disposed in a portion surrounded by the sealing material 36 of the first sealing plate 31, or may be adhered to a region surrounded by the sealing material of the second sealing plate 32.

＜第二例＞
次に、一台の配置装置９1の取付レール１５1、１５2間の距離を変更する手順の例を説明する。
図１０(ａ)の封着用トレイ２ｂは、ベース板１１上に一台の配置装置９1が配置されており、その配置装置９1の一方の取付レール１５1が、ベース板１１上に固定され、他方の取付レール１５2は規制部材１３ａ、１３ｂに沿って移動可能な状態にされている。 <Second example>
Next, an example of how to change the distance between the single mounting rail 15 first placement device 9 1, 15 2.
Sealing the tray 2b of FIG. 10 (a), there is disposed a single placement device 9 1 on a base plate 11, is one of the mounting rails 15 1 of the placement device 9 1, fixed on the base plate 11 is, the other mounting rail 15 2 is restricted member 13a, a movable state along 13b.

この封着用トレイ２ｂは、そのベース板１１が、配置台５１の凹部５２上に配置されており、ベース板１１は、配置台５１上で動かないようにされている。配置台５１の側方には、取付レール１５1、１５2と同じ高さで、押圧装置４１が配置されている。 In the sealing tray 2 b, the base plate 11 is arranged on the recess 52 of the arrangement table 51, and the base plate 11 is prevented from moving on the arrangement table 51. A pressing device 41 is arranged on the side of the arrangement table 51 at the same height as the mounting rails 15 1 and 15 2 .

押圧装置４１は、移動可能な取付レール１５2の側面と対面し、離間して配置されており、その状態から、押圧装置４１を取付レール１５2に向けて移動させ、取付レール１５2に接触させる。 Pressing device 41, facing the movable mounting rail 15 second side are spaced apart, the contact from that state, is moved toward the pressing device 41 to the mounting rail 15 2, the mounting rail 15 2 Let

二本の取付レール１５1、１５2は、できるだけ大きく離間するように配置されており、更に押圧装置４１を移動させ、押圧装置４１で取付レール１５2を押すと、押された取付レール１５2が、他方の取付レール１５1方向に向けて移動し、一台の配置装置９1の二本の取付レール１５1、１５2間の距離は短くなる。 Two mounting rails 15 1, 15 2 is disposed so as to be separated as large as possible, and further moving the pressing device 41, pressing the mounting rail 15 2 by the pressing device 41, pressed mounting rail 15 2 but moves toward the other mounting rail 15 in one direction, two mounting rails 15 one single placement device 9 1, 15 distance between the two is shorter.

ベース板１１上には、移動された取付レール１５2が停止すべき位置に、予め、レールストッパ４０が設けられており、同図(ｂ)に示すように、移動する取付レール１５2がレールストッパ４０に当接されると移動が停止され、二本の取付レール１５1、１５2が所望距離で離間した状態になるので、その位置で移動した取付レール１５2はベース板１１に固定される。 On the base plate 11, the moved mounting rail 15 2 should stop position, advance, rail stopper 40 is provided, as shown in FIG. (B), moving the mounting rail 15 2 rail When contacted with the stopper 40, the movement is stopped and the two mounting rails 15 1 and 15 2 are separated by a desired distance, so that the mounting rail 15 2 moved at that position is fixed to the base plate 11. The

この取付レール１５1、１５2にも、長手方向の同じ側の一端に板ストッパ１４が設けられており、同図(ｄ)に示すように、一枚目の第一の封着板３１1を、取付レール１５1、１５2間に挿入して移動させ、第一の封着板３１1の移動方向先頭の一辺を板ストッパ１４に当接させ、その一辺とは逆の一辺に、ストッパ部材４３を接触させて配置する。 Also the mounting rail 15 1, 15 2, the plate stopper 14 at one end of the same side of the longitudinal direction are provided, as shown in FIG. 2 (d), the first sheet of the first sealing plate 31 1 Is inserted between the mounting rails 15 1 and 15 2 and moved, the one side in the moving direction of the first sealing plate 31 1 is brought into contact with the plate stopper 14, and the stopper is placed on one side opposite to the one side. The member 43 is placed in contact.

次に、同図(ｅ)に示すように、取付レール１５1、１５2間に二枚目の第一の封着板３１2を挿入して移動させ、ストッパ部材４３に移動方向先頭の一辺を当接させ、配置装置９1に二枚目の第一の封着板３１2を配置する。 Next, as shown in FIG. (E), it is moved by inserting the first sealing plate 31 2 of second sheet between the mounting rail 15 1, 15 2, moving direction the head of the one side to the stopper member 43 the abut to position the first sealing plate 31 2 of second sheet placement device 9 1.

このように、一台の配置装置９1に複数の第一の封着板３１1、３１2を配置し、同図(ｆ)に示すように、第二の封着板３２1、３２2を弾性部材１６の配置部２４上に乗せ、各第一の封着板３１1、３１2の上方に位置させると、処理対象物１０ｂが得られる。 Thus, a plurality of first sealing plate 31 1, 31 2 arranged on a single placement device 9 1, as shown in FIG. (F), the second sealing plate 32 1, 32 2 Is placed on the arrangement portion 24 of the elastic member 16 and positioned above the first sealing plates 31 1 and 31 2 , the processing object 10b is obtained.

＜第三例＞
上記第一、第二例では一枚のベース板１１上に一台の配置装置９1が配置されていたが、一枚のベース板１１上に複数台の配置装置を配置することができる。 <Third example>
The first, but one of the base plate 11 disposed device 9 1 single on the second example had been placed, can be arranged a plurality of placement device on a single base plate 11.

図１１(ａ)の封着用トレイ２ｃは、ベース板１１上に二台の配置装置９1、９2が配置されており、各配置装置９1、９2には、それぞれ複数枚(ここでは、それぞれ４枚)の同じ大きさの第一の封着板３１1〜３１4、３１5〜３１8が配置されている。 In the sealing tray 2c of FIG. 11 (a), two arrangement devices 9 1 and 9 2 are arranged on the base plate 11, and each of the arrangement devices 9 1 and 9 2 includes a plurality of (here, , the first sealing plate 31 of the same size for each four) 1-31 4 31 5-31 8 is arranged.

同図(ｂ)には、第一の封着板３１1〜３１8よりも大きく、互いに同じ大きさの第二の封着板３２1〜３２8が各第一の封着板３１1〜３１8上に、それぞれ１枚ずつ配置された処理対処物１０ｃが示されている。 In FIG. (B) it is greater than the first sealing plate 31 1-31 8, mutually the same size of the second sealing plate 32 1-32 8 each first sealing plate 31 1 - on 31 8, and the process dealing product 10c disposed one by one each is shown.

図１３は、この処理対象物１０ｃが、封着室１０５内に配置され、重り３８が第二の封着板３２1〜３２8に接触する前の重り３８の降下中の状態を示す図面であり、各第二の封着板３２1〜３２8は重り３８の真下の領域の範囲内に位置し、一枚のベース板１１上に配置された複数の第二の封着板３２1〜３２8に対して、一枚の重り３８が乗せられるようになっている。 FIG. 13 is a view showing a state in which the weight 38 is being lowered before the processing object 10c is disposed in the sealing chamber 105 and the weight 38 contacts the second sealing plates 32 1 to 32 8. Each of the second sealing plates 32 1 to 32 8 is located within a region immediately below the weight 38, and a plurality of second sealing plates 32 1 to 32 1 disposed on the single base plate 11. against 32 8, so that a single weight 38 is placed.

各第一の封着板３１1〜３１8上には、環状の封着材料３６がそれぞれ配置されており各封着材料３６が配置された範囲は、重り３８の真下位置内に位置しており、各封着材料３６は、一枚の重り３８の重量によって、均等に押圧される。 Each on the first sealing plate 31 1-31 8 ranges annular sealing material 36 is the sealing material 36 are arranged is arranged is positioned in the position directly below the weight 38 Each sealing material 36 is pressed evenly by the weight of one weight 38.

＜第四例＞
図１２(ａ)の封着用トレイ２ｄも、ベース板１１上に二台の配置装置９1、９2が配置されており、各配置装置９1、９2には、それぞれ複数枚の第一の封着板３１1〜３１4、３１5、３１6が配置されている。この例では、同じ配置装置９1、９2に配置された第一の封着板３１1〜３１6の大きさは同じであるが、一方の配置装置９1の第一の封着板３１1〜３１4と他方の配置装置９2の第一の封着板３１5、３１6とでは、大きさは異なっている。 <Fourth example>
Also in the sealing tray 2d of FIG. 12 (a), two placement devices 9 1 and 9 2 are placed on the base plate 11, and each of the placement devices 9 1 and 9 2 includes a plurality of first sheets. Sealing plates 31 1 to 31 4 , 31 5 , and 31 6 are arranged. In this example, the first sealing plates 31 1 to 31 6 arranged in the same arrangement devices 9 1 and 9 2 have the same size, but the first sealing plate 31 of one arrangement device 9 1 is the same. 1-31 4 and the in the first sealing plate 31 5, 31 6 of the other placement device 9 2, the size is different.

同図(ｂ)には、各第一の封着板３１1〜３１6上に第二の封着板３２1〜３２6がそれぞれ１枚ずつ配置された処理対処物１０ｄが示されている。各第二の封着板３２1〜３２6は、真下に位置する第一の封着板３１1〜３１6よりも大きくなっている。 FIG. 2B shows a processing object 10d in which one second sealing plate 32 1 to 32 6 is arranged on each of the first sealing plates 31 1 to 31 6 . . Each of the second sealing plates 32 1 to 32 6 is larger than the first sealing plates 31 1 to 31 6 positioned immediately below.

＜他の例＞
図１４の符号９２は、本発明の他の例の封着装置である。
この封着装置９２は、大気炉１３２と、搬入室（Ｌ／ＵＬ室）１３１と、封着室１３５と、加熱徐冷室１３９とを有している。
搬入室１３１と大気炉１３２との間には、搬入扉１３３が設けられており、搬入室１３１と封着室１３５との間には、ゲートバルブ１３４が設けられている。 <Other examples>
Reference numeral 92 in FIG. 14 is a sealing device according to another example of the present invention.
The sealing device 92 includes an atmospheric furnace 132, a carry-in chamber (L / UL chamber) 131, a sealing chamber 135, and a heating annealing chamber 139.
A carry-in door 133 is provided between the carry-in chamber 131 and the atmospheric furnace 132, and a gate valve 134 is provided between the carry-in chamber 131 and the sealing chamber 135.

各室１３１、１３５、１３９には、真空排気装置１２９が接続されており、先ず、ゲートバルブ１３４を閉じ、封着室１３５と加熱徐冷室１３９の内部を真空排気しておく。この真空排気は継続して行う。   A vacuum exhaust device 129 is connected to each of the chambers 131, 135, and 139. First, the gate valve 134 is closed, and the inside of the sealing chamber 135 and the heating annealing chamber 139 is evacuated. This evacuation is continuously performed.

大気炉１３２の内部は大気雰囲気又は窒素ガス等のガスの大気圧雰囲気にされており、上述した処理対象物１０ａ〜１０ｄは、先ず、大気炉１３２内に搬入され、大気炉１３２の内部に於いて、常圧下で加熱され、昇温する。   The inside of the atmospheric furnace 132 is an atmospheric atmosphere or an atmospheric pressure atmosphere of a gas such as nitrogen gas, and the processing objects 10 a to 10 d described above are first carried into the atmospheric furnace 132, and are then placed inside the atmospheric furnace 132. And heated under normal pressure to raise the temperature.

処理対象物１０ａ〜１０ｄを、封着材料３６が軟化する温度よりも低い所定温度に昇温させた後、搬入扉１３３から搬入室１３１の内部に移動させ、搬入扉１３３を閉じ、搬入室１３１の内部を真空排気する。
搬入室１３１の内部が、所定圧力の真空雰囲気になった後、ゲートバルブ１３４を開け、搬入室１３１の内部を封着室１３５の内部と接続する。 After the processing objects 10a to 10d are heated to a predetermined temperature lower than the temperature at which the sealing material 36 is softened, the processing objects 10a to 10d are moved from the carry-in door 133 into the carry-in chamber 131, the carry-in door 133 is closed, and the carry-in chamber 131 is closed. The inside of is evacuated.
After the inside of the carry-in chamber 131 becomes a vacuum atmosphere at a predetermined pressure, the gate valve 134 is opened, and the inside of the carry-in chamber 131 is connected to the inside of the sealing chamber 135.

各室１３１、１３５、１３９の内部には、各室１３１、１３５、１３９に亘って搬送装置が設けられており、処理対象物１０ａ〜１０ｄを、搬送装置によって、搬入室１３１の内部から封着室１３５の内部に移動させる。   Inside each of the chambers 131, 135, and 139, a transfer device is provided across the chambers 131, 135, and 139, and the processing objects 10a to 10d are sealed from the inside of the carry-in chamber 131 by the transfer device. The inside of the chamber 135 is moved.

加熱徐冷室１３９内には、複数の重り３８が配置されている。
加熱徐冷室１３９の内部には、重り加熱装置が設けられており、加熱徐冷室１３９に配置された重り３８を、重り加熱装置によって加熱し、封着材料の軟化点以上の温度に昇温させておく。 A plurality of weights 38 are arranged in the heating slow cooling chamber 139.
A weight heating device is provided inside the heating slow cooling chamber 139, and the weight 38 disposed in the heating slow cooling chamber 139 is heated by the weight heating device to rise to a temperature equal to or higher than the softening point of the sealing material. Keep warm.

封着室１３５の内部には、上記封着装置２５と同じ封着装置が配置されており、封着室１３５の内部に移動させた重り３８を、支持部２７上に乗せて懸吊部２２によって懸吊し、処理対象物１０ａ〜１０ｄ上に乗せると、第一、第二の封着板３１、３２は、環状の封着材料３６によって、間隔を持って接着される。   The same sealing device as the sealing device 25 is disposed inside the sealing chamber 135, and the weight 38 moved to the inside of the sealing chamber 135 is placed on the support portion 27 and the suspension portion 22. And the first and second sealing plates 31 and 32 are bonded to each other with an annular sealing material 36 at intervals.

第一、第二の封着板３１、３２の間の気体は、搬入室１３１内や封着室１３５内で、封着材料３６と第一の封着板３１との間の隙間、又は封着材料３６と第二の封着板３２との間の隙間のいずれか一方又は両方から真空排気されており、第一、第二の封着板３１、３２と封着材料３６で囲まれた空間は真空雰囲気にされている。   The gas between the first and second sealing plates 31, 32 is a gap between the sealing material 36 and the first sealing plate 31 in the carry-in chamber 131 or the sealing chamber 135, or the sealing. It is evacuated from one or both of the gaps between the bonding material 36 and the second sealing plate 32 and surrounded by the first and second sealing plates 31 and 32 and the sealing material 36. The space is in a vacuum atmosphere.

軟化した封着材料３６で接着された第一、第二の封着板３１、３２を有する処理対象物１０ａ〜１０ｄは、封着室１３５から加熱徐冷室１３９に移動させ、徐冷すると封着材料３６は固化し、第一、第二の封着板３１、３２が固定された積層板４が得られる。   The processing objects 10a to 10d having the first and second sealing plates 31 and 32 bonded with the softened sealing material 36 are moved from the sealing chamber 135 to the heating slow cooling chamber 139 and sealed when slowly cooled. The adhesive material 36 is solidified to obtain the laminated plate 4 to which the first and second sealing plates 31 and 32 are fixed.

この封着装置９２では、処理対象物１０ａ〜１０ｄの積層板４上に重り３８を乗せた状態で、封着室１３５を通過させ、搬入室１３１内に戻す。
ゲートバルブ１３４を閉じた後、搬入室１３１に大気を導入し、処理対象物１０ａ〜１０ｄに開けた搬入扉１３３を通過させ、大気雰囲気に移動させる。処理対象物１０ａ〜１０ｄから分離した重り３８は、搬入室１３１から封着室１３５を通過させて加熱徐冷室１３９内に搬入することができる。 In this sealing device 92, the weight 38 is put on the laminate 4 of the processing objects 10 a to 10 d, and the sealing chamber 135 is passed through and returned to the carry-in chamber 131.
After closing the gate valve 134, the atmosphere is introduced into the carry-in chamber 131, and the carry-in door 133 opened in the processing objects 10a to 10d is passed through to move to the atmospheric atmosphere. The weight 38 separated from the processing objects 10a to 10d can be carried into the heating annealing chamber 139 from the carry-in chamber 131 through the sealing chamber 135.

このように、本発明は、処理対象物１０ａ〜１０ｄの第一、第二の封着板３１、３２間の空間の気体を、第一の封着板３１と封着材料３６との間の隙間、又は、第二の封着板３２と封着材料３６との間の隙間のいずれか一方又は両方から、真空排気すればよく、その真空排気は、処理対象物１０ａ〜１０ｄを昇温させる前であっても、昇温させた後であってもよい。
但し、急冷による第一、第二の封着板３１、３２へのクラック発生を防止するために、徐冷については真空雰囲気中で行い、処理対象物１０ａ〜１０ｄを一定温度まで冷却することが望ましい。 Thus, in the present invention, the gas in the space between the first and second sealing plates 31 and 32 of the processing objects 10 a to 10 d is transferred between the first sealing plate 31 and the sealing material 36. What is necessary is just to evacuate from any one or both of a clearance gap or the clearance gap between the 2nd sealing board 32 and the sealing material 36, and the evacuation raises temperature of the process target object 10a-10d. It may be before or after the temperature is raised.
However, in order to prevent cracks from occurring in the first and second sealing plates 31 and 32 due to rapid cooling, the slow cooling may be performed in a vacuum atmosphere to cool the processing objects 10a to 10d to a constant temperature. desirable.

また、第二の封着板３２上に重り３８を配置し、軟化している封着材料３６を、軟化点よりも低い温度に冷却して、第一、第二の封着板３１、３２が固化した封着材料３６によって互いに固定されるまでは、配置部２４上の第二の封着板３２が持ち上げられないように、重り３８を第二の封着板３２上に配置して弾性部２８を変形させておくことが望ましい。   Further, a weight 38 is disposed on the second sealing plate 32, and the softened sealing material 36 is cooled to a temperature lower than the softening point, so that the first and second sealing plates 31, 32 are provided. The weight 38 is arranged on the second sealing plate 32 so that the second sealing plate 32 on the arrangement portion 24 is not lifted until the two are fixed to each other by the solidified sealing material 36. It is desirable to deform the portion 28.

２ａ〜２ｄ……封着用トレイ
９1、９2……配置装置
１０ａ〜１０ｄ……処理対象物
１１……ベース板
１３ａ、１３ｂ……規制部材
１５1〜１５4……取付レール
３１、３１1〜３１8……第一の封着板
３２、３２1〜３２8……第二の封着板
３８……重り
９１、９２……封着装置
１１５……加熱装置
１１２ａ〜１１２ｃ……昇温装置
１１７ａ〜１１７ｄ……冷却装置
１０１……搬入室
１０２ａ〜１０２ｃ……加熱室
１０５……封着室
１０７ａ〜１０７ｄ……徐冷室
１０８……搬出室 2 a to 2 d ...... sealing tray 9 1, 9 2 ...... placement device 10 a to 10 d ...... processing object 11 ...... base plate 13a, 13b ...... regulating member 15 1-15 4 ...... mounting rails 31 1 ... 31 8 ... First sealing plate 32, 32 1 to 32 8 ... Second sealing plate 38. Weights 91 and 92... Sealing device 115. Apparatus 117a-117d ...... Cooling apparatus 101 ... Incoming chamber 102a-102c ... Heating chamber 105 ... Sealing chamber 107a-107d ... Slow cooling chamber 108 ... Unloading chamber

Claims (10)

搬入室と、封着室と、前記搬入室と前記封着室とを真空排気する真空排気装置とを有する封着装置であって、
第一の封着板を配置するベース板と、
前記ベース板上に互いに平行に配置された複数本数の取付レールと、
各前記取付レールに複数個ずつ設けられた弾性部材と、
前記ベース板に設けられ、前記取付レールを前記ベース板上で移動させる際に、前記取付レールの移動方向を、前記取付レールが伸びる方向に対して直角な方向に規制する規制部材とを有する封着用トレイの、前記ベース板上に前記第一の封着板が配置され、前記弾性部材に設けられた配置部に第二の封着板が配置された処理対象物を、
前記搬入室から前記封着室に移動させ、前記第二の封着板の上に重りを乗せ、前記第一、第二の封着板の間に配置され、軟化された環状の封着材料によって、前記第一、第二の封着板を真空雰囲気の隙間を持って接着させる封着装置であって、
前記封着室には、前記重りを降下させる封着装置と、前記封着材料を加熱する加熱装置とが設けられ、
前記重りが前記第二の封着板上に乗せられる前は、前記第一の封着板と前記封着材料の間、又は、前記第二の封着板と前記封着材料の間の少なくともいずれか一方には隙間が形成され、前記第一、第二の封着板の間の気体は前記隙間を通過して真空排気され、
前記封着室では、前記封着装置によって前記重りを前記第二の封着板上に乗せて前記弾性部材を押圧し、前記第一、第二の封着板の間を真空雰囲気にした状態で、前記第二の封着板と前記第一の封着板とを近接させて、前記第一、第二の封着板を、軟化した前記封着材料と接触させた後、前記重りを前記第二の封着板上に乗せた状態で前記第一、第二の封着板と前記封着材料とを冷却し、固化された前記封着材料によって前記第一、第二の封着板を互いに固定させる封着装置。 A sealing device having a carry-in chamber, a sealing chamber, and a vacuum exhaust device for evacuating the carry-in chamber and the sealing chamber;
A base plate on which the first sealing plate is disposed;
A plurality of mounting rails arranged parallel to each other on the base plate;
A plurality of elastic members provided on each of the mounting rails;
A sealing member provided on the base plate and restricting a moving direction of the mounting rail in a direction perpendicular to a direction in which the mounting rail extends when the mounting rail is moved on the base plate. A processing object in which the first sealing plate is arranged on the base plate of the wearing tray, and the second sealing plate is arranged in the arrangement portion provided in the elastic member,
Move from the carry-in chamber to the sealing chamber, place a weight on the second sealing plate, and be placed between the first and second sealing plates, with a softened annular sealing material, A sealing device for bonding the first and second sealing plates with a gap in a vacuum atmosphere,
The sealing chamber is provided with a sealing device for lowering the weight, and a heating device for heating the sealing material,
Before the weight is placed on the second sealing plate, at least between the first sealing plate and the sealing material, or between the second sealing plate and the sealing material. A gap is formed in either one of them, and the gas between the first and second sealing plates passes through the gap and is evacuated.
In the sealing chamber, the weight is placed on the second sealing plate by the sealing device to press the elastic member, and a vacuum atmosphere is formed between the first and second sealing plates. After the second sealing plate and the first sealing plate are brought close to each other, the first and second sealing plates are brought into contact with the softened sealing material, and then the weight is moved to the first sealing plate. The first and second sealing plates and the sealing material are cooled in a state where they are placed on the second sealing plate, and the first and second sealing plates are formed by the solidified sealing material. Sealing device that fixes each other. 前記第一、第二の封着板を昇温させる昇温装置が設けられた加熱室を有し、
前記処理対象物を前記搬入室から前記封着室に移動させる間に、前記第一、第二の封着板と前記封着材料とを昇温させる請求項１記載の封着装置。 A heating chamber provided with a temperature raising device for raising the temperature of the first and second sealing plates;
The sealing device according to claim 1, wherein the temperature of the first and second sealing plates and the sealing material is increased while the object to be processed is moved from the carry-in chamber to the sealing chamber. 前記封着室には、前記重りが配置された仕込室が接続され、前記仕込室に配置された前記重りを前記封着室に移動させるように構成された請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の封着装置。   The charging chamber in which the weight is arranged is connected to the sealing chamber, and the weight arranged in the charging chamber is moved to the sealing chamber. The sealing device according to claim 1. 前記封着材料によって固定された前記第一、第二の封着板を大気中に搬出する搬出室と、
前記封着材料と前記第一、第二の封着板とを冷却する冷却装置が設けられた徐冷室とを有し、
前記処理対象物を前記封着室から前記搬出室に移動させる間に、前記第一、第二の封着板と前記封着材料とを前記徐冷室で冷却する請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の封着装置。 An unloading chamber for unloading the first and second sealing plates fixed by the sealing material into the atmosphere;
An annealing chamber provided with a cooling device for cooling the sealing material and the first and second sealing plates;
4. The first and second sealing plates and the sealing material are cooled in the slow cooling chamber while the processing object is moved from the sealing chamber to the carry-out chamber. The sealing device according to any one of the above. 前記搬出室と前記搬入室とは同一の室である請求項４記載の封着装置。   The sealing apparatus according to claim 4, wherein the carry-out chamber and the carry-in chamber are the same chamber. 前記封着用トレイは、前記ベース板に貫通孔が設けられ、前記貫通孔内を真空排気すると、前記ベース板上に配置された前記第一の封着板が真空吸着されるように構成された請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の封着装置。   The sealing tray is configured such that a through hole is provided in the base plate, and when the inside of the through hole is evacuated, the first sealing plate disposed on the base plate is vacuum-sucked. The sealing device according to any one of claims 1 to 5. 前記取付レールには、前記処理対象物の一辺に当接される板ストッパが設けられた請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の封着装置。   The sealing device according to any one of claims 1 to 6, wherein the mounting rail is provided with a plate stopper that comes into contact with one side of the processing object. 第一の封着板を配置するベース板と、
前記ベース板上に互いに平行に配置された複数本数の取付レールと、
各前記取付レールに複数個ずつ設けられた弾性部材と、
前記弾性部材によって前記ベース板上に支持され、第二の封着板を前記第一の封着板上で支持する配置部とを有し、
前記ベース板には、前記取付レールを前記ベース板上で移動させる際に、前記取付レールの移動方向を、前記取付レールが伸びる方向に対して直角な方向に規制する規制部材が設けられた封着用トレイ。 A base plate on which the first sealing plate is disposed;
A plurality of mounting rails arranged parallel to each other on the base plate;
A plurality of elastic members provided on each of the mounting rails;
An arrangement part that is supported on the base plate by the elastic member and supports a second sealing plate on the first sealing plate;
The base plate is provided with a regulating member that restricts the moving direction of the mounting rail in a direction perpendicular to the direction in which the mounting rail extends when the mounting rail is moved on the base plate. Wearing tray. 前記ベース板には貫通孔が設けられ、前記貫通孔内を真空排気すると、前記ベース板上に配置された前記第一の封着板が真空吸着されるように構成された請求項８記載の封着用トレイ。   9. The base plate according to claim 8, wherein the base plate is provided with a through hole, and the first sealing plate disposed on the base plate is vacuum-sucked when the inside of the through hole is evacuated. Sealing tray. 前記取付レールには、前記処理対象物の一辺に当接される板ストッパが設けられた請求項８又は請求項９のいずれか１項記載の封着用トレイ。   The sealing tray according to any one of claims 8 and 9, wherein the mounting rail is provided with a plate stopper that comes into contact with one side of the processing object.
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