JP2014110217A - Electronic device and manufacturing method therefor - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electronic device capable of easily connecting between a minute terminal of a battery and an external terminal.SOLUTION: The electronic device includes: a battery including an electrode pad formation area 1x having a positive electrode pad 1a and a negative electrode pad 1b formed thereon; an anisotropic conductive film 4 stuck on the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b; first waiting 9a and second wiring 9b respectively formed upward of the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b of the anisotropic conductive film 4; a thermoelectric element 2 having a positive electrode terminal 2a and a negative electrode terminal 2b; third wiring 9d and fourth wiring 9d respectively connected to the positive electrode terminal 2a and the negative electrode terminal 2b of the thermoelectric element 2; and heat conduction patterns 9a, 9b formed on an area from the upward of the thermoelectric element 2 to the anisotropic conductive film 4.

Description

本発明は、電子デバイス及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an electronic device and a manufacturing method thereof.

新しい二次電池の形態の一つとして、全ての要素が固体で形成された全固体二次電池が開発され、市販されている。   As one form of a new secondary battery, an all-solid secondary battery in which all elements are formed of a solid has been developed and marketed.

従前のリチウムイオン(Li)二次電池では、電解質に液体電解質が用いられてきたため、液漏れや高温時での加熱・発火などの危険性があった。液漏れ防止構造については、硫酸系液体と極板群を筐体内に収納し、極板群に接続したピン状端子を筐体の穴から引出し、その穴とピン状端子の隙間を樹脂により埋め込んで液漏れを防止する構造が知られている。また、その樹脂として導電樹脂剤を使用し、その導電樹脂剤をピン状端子の周囲にも巻き付け、さらに導電樹脂剤を介してピン状端子と外部出力端子を互いに接続する構造が知られている。   In a conventional lithium ion (Li) secondary battery, since a liquid electrolyte has been used as an electrolyte, there is a risk of liquid leakage, heating and ignition at a high temperature. Concerning the liquid leakage prevention structure, the sulfuric acid-based liquid and the electrode plate group are stored in the housing, the pin-shaped terminal connected to the electrode plate group is pulled out from the hole in the housing, and the gap between the hole and the pin-shaped terminal is embedded with resin. A structure for preventing liquid leakage is known. Also known is a structure in which a conductive resin agent is used as the resin, the conductive resin agent is wound around the pin-shaped terminal, and the pin-shaped terminal and the external output terminal are connected to each other via the conductive resin agent. .

しかし、全固体二次電池ではこのような危険性がほとんどなく、しかも液体を使わないため電解質の劣化が非常に少なく、充放電に伴う電池容量の寿命も極めて長いと考えられている。   However, all solid-state secondary batteries have almost no such danger, and since no liquid is used, the deterioration of the electrolyte is very small, and the life of the battery capacity associated with charging / discharging is considered to be extremely long.

特開平6−196151号公報JP-A-6-196151

全固体二次電池は薄膜プロセスを用いて製造されるものであり、使用される正極層、負極層、電解質層などはμmオーダーの薄膜である。その電池容量は数mAh程度のものである。そこで、このような形状の特徴を生かし、他の発電デバイスと組み合わせて集積し、一つのチップ形態にして利用することが考えられる。発電される電力が比較的小さい場合には、その電力の蓄電に必要な電池の容量は小さくてもよい。例えば、環境発電など、発電量がわずかであって、発電が定常的ではなく間欠的に行われるような場合に、全固体二次電池は適した蓄電手法であるといえる。   The all-solid-state secondary battery is manufactured using a thin film process, and the positive electrode layer, negative electrode layer, electrolyte layer, and the like used are thin films on the order of μm. The battery capacity is about several mAh. In view of this, it is conceivable to take advantage of such shape features and integrate them in combination with other power generation devices to form a single chip. When the generated electric power is relatively small, the capacity of the battery required for storing the electric power may be small. For example, an all-solid-state secondary battery can be said to be a suitable power storage technique when the amount of power generation is small, such as energy harvesting, and power generation is performed not intermittently but intermittently.

しかし、そのような用途に使用される全固体二次電池の大きさは例えば数ミリ角と小さい場合があり、その表面に現れる微細な端子と外部端子の接続が難しい。   However, the size of an all-solid-state secondary battery used for such an application may be as small as several millimeters, for example, and it is difficult to connect fine terminals appearing on the surface to external terminals.

本発明の目的は、電池の微細な端子と外部端子を容易に接続できる電子デバイス及びその製造方法を提供することにある。   The objective of this invention is providing the electronic device which can connect the fine terminal and external terminal of a battery easily, and its manufacturing method.

本実施形態の1つの観点によれば、正電極パッドと負電極パッドが形成される電極パッド形成領域を有する電池と、前記正電極パッドと前記負電極パッドの上に貼り付けられる異方性導電フィルムと、前記異方性導電フィルムのうち前記正電極パッドと前記負電極パッドのそれぞれの上方に形成される第1配線、第2配線と、正電極端子と負電極端子を有する熱電素子と、前記熱電素子の前記正電極端子と前記負電極端子にそれぞれ接続される第3配線と第4配線と、前記熱電素子の上から前記異方性導電フィルムに至る範囲に形成される熱伝導パターンと、を有する電子デバイスが提供される。
発明の目的および利点は、請求の範囲に具体的に記載された構成要素および組み合わせによって実現され達成される。前述の一般的な説明および以下の詳細な説明は、典型例および説明のためのものであって、本発明を限定するためのものではない、と理解されるものである。
According to one aspect of the present embodiment, a battery having an electrode pad forming region in which a positive electrode pad and a negative electrode pad are formed, and an anisotropic conductive material attached on the positive electrode pad and the negative electrode pad. A film, a first wiring formed above each of the positive electrode pad and the negative electrode pad of the anisotropic conductive film, a second wiring, a thermoelectric element having a positive electrode terminal and a negative electrode terminal, A third wiring and a fourth wiring respectively connected to the positive electrode terminal and the negative electrode terminal of the thermoelectric element; and a heat conduction pattern formed in a range from the top of the thermoelectric element to the anisotropic conductive film; , An electronic device is provided.
The objects and advantages of the invention will be realized and attained by means of the elements and combinations particularly pointed out in the appended claims. It is to be understood that the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory only and are not restrictive of the invention.

本実施形態によれば、電池の微細な端子と外部端子を容易に接続できる。   According to this embodiment, the fine terminal of a battery and an external terminal can be connected easily.

図1は、第1実施形態に係る電子デバイスに使用される電子部品の一例を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view illustrating an example of an electronic component used in the electronic device according to the first embodiment. 図2(a)、(b)は、第1実施形態に係る電子デバイスの製造方法の一例を示す側断面図である。2A and 2B are side cross-sectional views illustrating an example of a method for manufacturing an electronic device according to the first embodiment. 図3(a)〜(d)は、第1実施形態に係る電子デバイスの製造方法の一例を示す側断面図である。3A to 3D are side cross-sectional views illustrating an example of a method for manufacturing an electronic device according to the first embodiment. 図4(a)〜(c)は、第1実施形態に係る電子デバイスの製造方法の一例を示す側断面図である。4A to 4C are side cross-sectional views illustrating an example of a method for manufacturing an electronic device according to the first embodiment. 図5は、第1実施形態に係る電子デバイスの製造方法における加熱処理の一例を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view illustrating an example of a heat treatment in the electronic device manufacturing method according to the first embodiment. 図6は、第1実施形態に係る電子デバイスの製造方法における加熱処理の一例を示す側断面図である。FIG. 6 is a side cross-sectional view showing an example of a heat treatment in the electronic device manufacturing method according to the first embodiment. 図7(a)〜(c)は、第1実施形態に係る電子デバイスの製造方法に使用される加熱処理による温度分布の等高線の一例を示す斜視図である。7A to 7C are perspective views illustrating an example of contour lines of a temperature distribution by heat treatment used in the method for manufacturing an electronic device according to the first embodiment. 図8は、第1実施形態に係る電子デバイスの電子回路ブロック図の一例を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing an example of an electronic circuit block diagram of the electronic device according to the first embodiment. 図9は、第1実施形態に係る電子デバイスの側断面図の一例を示す側断面図である。FIG. 9 is a side sectional view showing an example of a side sectional view of the electronic device according to the first embodiment. 図10は、第2実施形態に係る電子デバイスとその製造方法における加熱処理の一例を示す平面図である。FIG. 10 is a plan view illustrating an example of a heat treatment in the electronic device and the manufacturing method thereof according to the second embodiment. 図11は、第2実施形態に係る電子デバイスの第1の変形例とその製造方法における加熱処理の一例を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view illustrating a first modification of the electronic device according to the second embodiment and an example of a heat treatment in the manufacturing method thereof. 図12は、第2実施形態に係る電子デバイスの第2の変形例とその製造方法における加熱処理の一例を示す平面図である。FIG. 12 is a plan view illustrating an example of a heat treatment in a second modification of the electronic device according to the second embodiment and a method for manufacturing the electronic device. 図13は、第3実施形態に係る電子デバイスとその製造方法における加熱処理の一例を示す側断面図である。FIG. 13 is a side sectional view showing an example of heat treatment in the electronic device and the manufacturing method thereof according to the third embodiment. 図14(a)〜(d)は、比較例に係る電子デバイスの製造方法の一例を示す側断面図である。14A to 14D are side cross-sectional views illustrating an example of a method for manufacturing an electronic device according to a comparative example.

以下に、図面を参照して実施形態を説明する。図面において、同様の構成要素には同じ参照番号が付されている。   Embodiments will be described below with reference to the drawings. In the drawings, similar components are given the same reference numerals.

(第1の実施の形態)
図1は、第1実施形態に係る電子デバイスに使用される素子の一例を示す平面図、図2〜図4、図6は、第1実施形態に係る電子デバイスの製造工程の一例を示す側断面図、図5は、第1実施形態に係る電子デバイスの製造工程の一例を示す平面図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is a plan view illustrating an example of an element used in the electronic device according to the first embodiment, and FIGS. 2 to 4 and 6 are diagrams illustrating an example of a manufacturing process of the electronic device according to the first embodiment. Sectional drawing and FIG. 5 are top views which show an example of the manufacturing process of the electronic device which concerns on 1st Embodiment.

図1(a)、(b)及び(c)はそれぞれ全固体二次電池1、熱電素子2、チップ部品3を示す平面図であり、互いに同一平面上に並べられて集積される。   FIGS. 1A, 1B, and 1C are plan views showing the all-solid-state secondary battery 1, the thermoelectric element 2, and the chip component 3, respectively, and are arranged and integrated on the same plane.

図1(a)に示す全固体二次電池1は、例えば一辺が10mm以下の平面四角形状を有するリチウムイオン電池であり、その一端には、本体の第1面に対し階段状に薄く形成される電極パッド形成領域1xを有している。電極パッド形成領域1xの第1面に対する段差は、全固体二次電池1の第1面に対して例えば数十μm〜数百μmに形成される。電極パッド形成領域1xの上には、金属、例えばアルミニウムから形成される一対の電極パッド、即ち正電極パッド1aと負電極パッド1bが露出して形成され、それらの上に異方性導電フィルム4が貼り付けられる。全固体二次電池1は、例えばLi全固体二次電池であり、その内部に収納される固体電解質として例えば硫化物系材料が使用され、正電極パッド1aに接続される正極の材料には例えばコバルト酸リチウムが使用され、負電極パッド1bに接続される負極の材料に例えば金属リチウムが使用される。   An all solid state secondary battery 1 shown in FIG. 1A is a lithium ion battery having a planar square shape with a side of 10 mm or less, for example, and is thinly formed in a stepped manner at one end with respect to the first surface of the main body. Electrode pad forming region 1x. The step with respect to the first surface of the electrode pad forming region 1x is formed with respect to the first surface of the all-solid-state secondary battery 1, for example, several tens μm to several hundreds μm. On the electrode pad forming region 1x, a pair of electrode pads made of metal, for example, aluminum, that is, a positive electrode pad 1a and a negative electrode pad 1b are exposed and formed thereon, and the anisotropic conductive film 4 is formed thereon. Is pasted. The all-solid-state secondary battery 1 is, for example, a Li all-solid-state secondary battery. For example, a sulfide-based material is used as the solid electrolyte housed therein, and the positive electrode material connected to the positive electrode pad 1a is, for example, Lithium cobalt oxide is used, and, for example, metallic lithium is used as a negative electrode material connected to the negative electrode pad 1b.

図1(b)に示す熱電素子2は、本体の第1面に対して階段状に薄く形成される電極端子形成領域2xを有し、端子形成領域2xには、金属から形成される一対の端子、即ち正電極端子2aと負電極端子2bが露出している。端子形成領域2xの段差は、熱電素子2の第1面に対して例えば数十μm〜数百μmに形成される。熱電素子2は、ゼーベック効果により正電極端子2aと負電極端子2bから電力が出力され、さらに正電極端子2aと負電極端子2bの間に電圧を印加することによりペルチェ効果により発熱・冷却する構造を有している。   The thermoelectric element 2 shown in FIG. 1 (b) has an electrode terminal forming region 2x that is thinly formed stepwise with respect to the first surface of the main body, and the terminal forming region 2x has a pair of metals formed from metal. The terminals, that is, the positive electrode terminal 2a and the negative electrode terminal 2b are exposed. The step in the terminal formation region 2x is formed with respect to the first surface of the thermoelectric element 2, for example, several tens μm to several hundreds μm. The thermoelectric element 2 has a structure in which power is output from the positive electrode terminal 2a and the negative electrode terminal 2b by the Seebeck effect, and heat is generated and cooled by the Peltier effect by applying a voltage between the positive electrode terminal 2a and the negative electrode terminal 2b. have.

熱電素子2は、例えば、ビスマス・テルル系材料やビスマス・アンチモン系材料などの複数の柱状の熱電効果層を有し、その上下には電極(不図示)が形成され、正電極端子2aと負電極端子2bに電気的に接続されている。熱電素子2は、熱伝導性の高いシリコン(半導体)や絶縁材から形成される熱伝導板2c、2dに挟まれている。   The thermoelectric element 2 has, for example, a plurality of columnar thermoelectric effect layers such as bismuth / tellurium-based materials and bismuth / antimony-based materials, and electrodes (not shown) are formed on the upper and lower sides of the thermoelectric elements 2. It is electrically connected to the electrode terminal 2b. The thermoelectric element 2 is sandwiched between heat conductive plates 2c and 2d formed of silicon (semiconductor) having high thermal conductivity or an insulating material.

図1(c)に示すチップ部品3は、例えば全固体二次電池1の蓄電制御に必要なチップ状コンデンサ、チップ状抵抗であり、その両端には第1、第2電極端子3a、3bが形成されている。   The chip component 3 shown in FIG. 1C is, for example, a chip capacitor and chip resistor necessary for power storage control of the all-solid-state secondary battery 1, and first and second electrode terminals 3a and 3b are provided at both ends thereof. Is formed.

全固体二次電池1、熱電素子2及びチップ部品3のそれぞれの第1面は、図2(a)に示すように、支持板5の上面の発泡性粘着シート6に貼り付けられ、配置されている。全固体二次電池1の電極パッド形成領域1xと熱電素子2の端子形成領域2xはいずれも支持板5に対向し、発泡性粘着シート6との間に隙間が形成される。また、全固体二次電池1の電極パッド形成領域1xと熱電素子2の端子形成領域2xの本体に対する向きは同一方向に配置される。なお、発泡性粘着シート6に全固体二次電池1などの部品を複数配置する場合にはマウンターを用いて正確に配置するのが一般的である。   The first surfaces of the all-solid-state secondary battery 1, the thermoelectric element 2, and the chip component 3 are attached and disposed on the foamable adhesive sheet 6 on the upper surface of the support plate 5 as shown in FIG. ing. The electrode pad formation region 1x of the all-solid-state secondary battery 1 and the terminal formation region 2x of the thermoelectric element 2 are both opposed to the support plate 5, and a gap is formed between the foamable adhesive sheet 6. Further, the electrode pad formation region 1x of the all-solid-state secondary battery 1 and the terminal formation region 2x of the thermoelectric element 2 are oriented in the same direction. In the case where a plurality of parts such as the all-solid-state secondary battery 1 are arranged on the foamable pressure-sensitive adhesive sheet 6, it is generally arranged accurately using a mounter.

全固体二次電池1を貼り付ける際には、発泡性粘着シート6と正電極パッド1a、負電極パッド1bの間に異方性導電フィルム4が挟まれる。異方性導電フィルム4は、導電性の微細金属粒子(導電性フィラー)を熱硬化性樹脂(バインダ)に混ぜ合わせた材料を膜状に成形したフィルムであり、初期状態では絶縁体であり、規定された温度範囲、例えば180℃〜200℃に加熱し、加圧することにより低抵抗化する。異方性導電フィルム4は、例えば、全固体二次電池1における第1面と電極パッド形成領域1xの段差と実質的に同じ厚さのものを使用する。なお、異方性導電フィルム4は、一層に限るものではなく複数層にしてその段差に厚さを合わせてもよい。   When the all-solid-state secondary battery 1 is attached, the anisotropic conductive film 4 is sandwiched between the foamable adhesive sheet 6 and the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b. The anisotropic conductive film 4 is a film formed by forming a material in which conductive fine metal particles (conductive filler) are mixed with a thermosetting resin (binder) into a film shape, and is an insulator in an initial state, The resistance is lowered by heating and pressurizing within a specified temperature range, for example, 180 ° C. to 200 ° C. As the anisotropic conductive film 4, for example, a film having substantially the same thickness as the step of the first surface and the electrode pad forming region 1x in the all-solid-state secondary battery 1 is used. The anisotropic conductive film 4 is not limited to a single layer, and a plurality of layers may be used to adjust the thickness to the steps.

続いて、支持板5とその上の全固体二次電池1、熱電素子2及びチップ部品3をモールド成型用の金型(不図示)のキャビティに入れる。キャビティは、全固体二次電池1、熱電素子2、チップ部品3の上に空間を存在させる直方体状の形状を有している。その状態で、キャビティ内にモールド樹脂として例えばシリカフィラー含有エポキシ樹脂を注入し、真空中で例えば約120℃で加熱しながら例えば数分間で加圧して型にはめる。これに
より、図2(b)に例示するように、発泡性粘着シート6上の全固体二次電池1、熱電素子2及びチップ部品3は、直方体のモールド樹脂層7に覆われ、埋め込まれた状態となる。
Subsequently, the support plate 5 and the all-solid-state secondary battery 1, the thermoelectric element 2, and the chip component 3 thereon are placed in a cavity of a mold for molding (not shown). The cavity has a rectangular parallelepiped shape in which a space exists on the all-solid-state secondary battery 1, the thermoelectric element 2, and the chip component 3. In this state, for example, a silica filler-containing epoxy resin is injected into the cavity as a mold resin, and is pressed into a mold, for example, for several minutes while heating at about 120 ° C. in a vacuum. Thereby, as illustrated in FIG. 2B, the all-solid-state secondary battery 1, the thermoelectric element 2, and the chip component 3 on the foamable adhesive sheet 6 are covered and embedded in the rectangular parallelepiped mold resin layer 7. It becomes a state.

その後、図3(a)に示すように、モールド樹脂層7、全固体二次電池1、熱電素子2及びチップ部品3の第1面から発泡性粘着シート6を剥離した後に、モールド樹脂層7を例えば150℃で約1時間の条件で硬化させる。これにより、モールド樹脂層7の第1面から異方性導電フィルム4、全固体二次電池1、熱電素子2及びチップ部品3のそれぞれの第1面が露出するが、全固体二次電池1の正電極パッド1a、負電極パッド1bと熱電素子2の正電極端子2a、負電極端子2bは露出しない。   Thereafter, as shown in FIG. 3A, after the foamable adhesive sheet 6 is peeled from the first surface of the mold resin layer 7, the all-solid-state secondary battery 1, the thermoelectric element 2, and the chip component 3, the mold resin layer 7 Is cured at 150 ° C. for about 1 hour. As a result, the first surfaces of the anisotropic conductive film 4, the all solid state secondary battery 1, the thermoelectric element 2, and the chip component 3 are exposed from the first surface of the mold resin layer 7, but the all solid state secondary battery 1. The positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b and the positive electrode terminal 2a and the negative electrode terminal 2b of the thermoelectric element 2 are not exposed.

続いて、図3(b)に例示するように、モールド樹脂層7の第2面にグライディングを施し、熱電素子2の第2面を露出させる。これにより、熱電素子2の第1面と第2面、即ち一対の熱伝導板2c、2dがモールド樹脂層7の第1面と第2面から露出する。なお、熱電素子2は、全固体二次電池1、チップ部品3よりも厚く形成されているので、グライディングが施された後の全固体二次電池1、チップ部品3の第2面はモールド樹脂層7に覆われた状態を維持している。   Subsequently, as illustrated in FIG. 3B, gliding is performed on the second surface of the mold resin layer 7 to expose the second surface of the thermoelectric element 2. Thereby, the first surface and the second surface of the thermoelectric element 2, that is, the pair of heat conduction plates 2 c and 2 d are exposed from the first surface and the second surface of the mold resin layer 7. Since the thermoelectric element 2 is formed thicker than the all-solid-state secondary battery 1 and the chip part 3, the second surface of the all-solid-state secondary battery 1 and the chip part 3 after the gliding is molded resin. The state covered with the layer 7 is maintained.

さらに、図3(c)に例示するように、モールド樹脂層7の第1面の一部にレーザ光を照射し、熱電素子2の正電極端子2a、負電極端子2bのそれぞれの上に開口部7a、7bを形成し、正電極端子2a、負電極端子2bを露出させる。レーザ光源として、例えばCOレーザを使用する。 Further, as illustrated in FIG. 3C, a part of the first surface of the mold resin layer 7 is irradiated with laser light, and an opening is formed on each of the positive electrode terminal 2a and the negative electrode terminal 2b of the thermoelectric element 2. The portions 7a and 7b are formed, and the positive electrode terminal 2a and the negative electrode terminal 2b are exposed. As the laser light source, for example, a CO 2 laser is used.

次に、図3(d)に例示するように、モールド樹脂層7、全固体二次電池1、異方性導電フィルム4、熱電素子2、チップ部品3の第1面の上と開口部7a、7bの底部の正電極端子2a、負電極端子2bの上に金属のシード層8を形成する。シード層8として、例えば、銅(Cu)層をスパッタ法により約数μmの厚さに形成する。さらに、シード層8上にフォトレジストを塗布し、これを露光、現像することによりレジストパターン10を形成する。レジストパターン10は、全固体二次電池1の正電極パッド1aの上方から熱伝導板2c上の半分に至る範囲に形成される第1の開口部10aと負電極パッド1bから熱伝導基板2cの残り半分に至る範囲に形成される第2の開口部10bを有している。この場合、第1開口部10aと第2開口部10bは間隔をおいて形成される。また、レジストパターン10は、熱電素子2の正電極端子2a、負電極端子2b上から側方に引き出される第3、4の開口部10c、10dと、チップ部品3の第1、第2電極パッド3a、3b上からそれぞれ引き出される第5、第6の開口部10e、10fを有している。   Next, as illustrated in FIG. 3D, the mold resin layer 7, the all-solid-state secondary battery 1, the anisotropic conductive film 4, the thermoelectric element 2, and the opening 7 a on the first surface of the chip component 3. A metal seed layer 8 is formed on the positive electrode terminal 2a and the negative electrode terminal 2b at the bottom of 7b. As the seed layer 8, for example, a copper (Cu) layer is formed to a thickness of about several μm by sputtering. Further, a photoresist is applied on the seed layer 8, and this is exposed and developed to form a resist pattern 10. The resist pattern 10 is formed on the heat conductive substrate 2c from the first opening 10a and the negative electrode pad 1b formed in a range from the upper side of the positive electrode pad 1a of the all-solid-state secondary battery 1 to the half on the heat conductive plate 2c. It has the 2nd opening part 10b formed in the range which reaches the other half. In this case, the first opening 10a and the second opening 10b are formed at an interval. The resist pattern 10 includes third and fourth openings 10c and 10d drawn laterally from the positive electrode terminal 2a and the negative electrode terminal 2b of the thermoelectric element 2, and the first and second electrode pads of the chip component 3. It has the 5th and 6th opening parts 10e and 10f pulled out from 3a and 3b, respectively.

続いて、図4(a)に例示するように、シード層8を電極に使用する電解めっき法により、熱伝導性が良く低抵抗の金属、例えばCu膜を第1〜第6の開口部10a〜10f内に例えば約20μmの厚さに形成する。これにより、第1の開口部10a内のCu膜とその下のシード層8を第1の熱伝導パターン兼配線9aとして使用し、第2の開口部10b内のCu膜とその下のシード層8を第2の熱伝導パターン兼配線9bとして使用し、それらは互いに分離される。また、第3、第4の開口部10c、10d内のCu膜とその下のシード層8を熱電素子2の正電極端子2aと負電極端子2bのそれぞれに接続される第3、第4の配線9c、9dとして使用する。さらに、第5、第6の開口部10e、10f内のCu膜とその下のシード層8をチップ状部品3の第1、第2の電極パッド3a、3bのそれぞれに接続される第5、第6の配線9e、9fとして使用する。   Subsequently, as illustrated in FIG. 4A, an electroplating method using the seed layer 8 as an electrode is used to convert a metal having a good thermal conductivity and a low resistance, such as a Cu film, into the first to sixth openings 10a. -10 f, for example, to a thickness of about 20 μm. Thereby, the Cu film in the first opening 10a and the seed layer 8 therebelow are used as the first heat conduction pattern / wiring 9a, and the Cu film in the second opening 10b and the seed layer therebelow are used. 8 is used as the second heat conduction pattern and wiring 9b, which are separated from each other. Further, the third and fourth electrodes in which the Cu films in the third and fourth openings 10c and 10d and the seed layer 8 therebelow are connected to the positive electrode terminal 2a and the negative electrode terminal 2b of the thermoelectric element 2, respectively. Used as wirings 9c and 9d. Further, the fifth and sixth openings 10e and 10f, and the seed layer 8 thereunder are connected to the first and second electrode pads 3a and 3b of the chip-like component 3, respectively. Used as sixth wirings 9e and 9f.

次に、図4(b)に例示するように、レジストパターン10を除去した後に、第1、第2の熱伝導パターン兼配線9a、9b、第3〜第6の配線9c〜9fをマスクに使用し、露出したシード層8をエッチングする。これにより、図4(c)、図5に例示するように
、第1、第2の熱伝導パターン兼配線9a、9b、第3〜第6の電極配線9c〜9fは形状的に分離される。
Next, as illustrated in FIG. 4B, after the resist pattern 10 is removed, the first and second heat conduction pattern / wirings 9a and 9b and the third to sixth wirings 9c to 9f are used as masks. In use, the exposed seed layer 8 is etched. Thereby, as illustrated in FIGS. 4C and 5, the first and second heat conduction pattern and wirings 9 a and 9 b and the third to sixth electrode wirings 9 c to 9 f are separated in shape. .

以上により電子デバイスの基本的な形状が完成した後に、次のような方法により第1の熱伝導パターン兼配線9aを全固体二次電池1の正電極パッド1aに電気的に接続し、第2の熱伝導パターン兼マイナス配線9bを全固体二次電池1の負電極パッド1bに電気的に接続する。   After the basic shape of the electronic device is completed as described above, the first heat conduction pattern / wiring 9a is electrically connected to the positive electrode pad 1a of the all-solid-state secondary battery 1 by the following method. Are electrically connected to the negative electrode pad 1 b of the all-solid-state secondary battery 1.

まず、図5に示すように、モールド樹脂層7の第1面を上向きにして、全固体二次電池1、熱電素子2等を備えたモールド樹脂層7を電源モジュールとして載置台13に載置する。その状態で、モールド樹脂層7の第2面を載置台13内のヒータにより加熱する。その加熱温度Tは、異方性導電フィルム4がキュアされず、しかも全固体二次電池1に含まれるリチウム(Li)が融解しない温度、例えば160℃に設定する。そして、図6の断面に示すように、正電極パッド1aと負電極パッド1bを介して異方性導電フィルム4の第1面を熱伝導の悪いフッ素樹脂棒14などで押圧し、さらに熱電素子2の第3、第4の配線9c、9dに直流電源12を接続し、熱電素子2をペルチェ効果により発熱させる。第3、第4の配線9c、9dに印加する電圧を例えば約5.6Vとする。また、印加時間は20秒から1分程度に設定する。 First, as shown in FIG. 5, with the first surface of the mold resin layer 7 facing upward, the mold resin layer 7 including the all-solid-state secondary battery 1, the thermoelectric element 2 and the like is mounted on the mounting table 13 as a power supply module. To do. In this state, the second surface of the mold resin layer 7 is heated by the heater in the mounting table 13. The heating temperature T 0 is set to a temperature at which the anisotropic conductive film 4 is not cured and lithium (Li) contained in the all-solid secondary battery 1 is not melted, for example, 160 ° C. Then, as shown in the cross section of FIG. 6, the first surface of the anisotropic conductive film 4 is pressed with a fluororesin rod 14 or the like having poor thermal conductivity via the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b, and the thermoelectric element. The DC power source 12 is connected to the second and fourth wirings 9c and 9d, and the thermoelectric element 2 is caused to generate heat by the Peltier effect. For example, the voltage applied to the third and fourth wirings 9c and 9d is about 5.6V. The application time is set to about 20 seconds to 1 minute.

これにより、熱電素子2で発生した熱Tは、第1、第2の熱伝導パターン兼配線9a、9bを介して全固体二次電池1の正電極パッド1aと負電極パッド1bの上方に伝導される。これにより、異方性導電フィルム4のうち正電極パッド1aと負電極パッド1bの上の部分が局所的に加熱され、上から加わる圧力とともにキュアされる。従って、異方性導電フィルム4のうち正電極パッド1aと負電極パッド1bの上の部分では、内部の粒子の微細金属粒子のメッキ層同士が接続しあうことで導電経路を形成する。また、圧力が加わらなかった部分の微細金属粒子間は絶縁が保持される。この結果、異方性導電フィルム4のうち正電極パッド1aと負電極パッド1bの上には厚さ向の導電性が確保されて低抵抗の導電部4a、4bとなり、さらにその他の領域では絶縁が保持される。   Thereby, the heat T generated in the thermoelectric element 2 is conducted above the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b of the all-solid-state secondary battery 1 through the first and second heat conduction pattern and wirings 9a and 9b. Is done. Thereby, the part on the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b of the anisotropic conductive film 4 is heated locally, and it cures with the pressure added from the top. Accordingly, in the portion of the anisotropic conductive film 4 above the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b, a conductive path is formed by connecting the plated layers of fine metal particles of the internal particles to each other. Further, insulation is maintained between the fine metal particles in the portion where no pressure is applied. As a result, in the anisotropic conductive film 4, the thickness direction conductivity is secured on the positive electrode pad 1 a and the negative electrode pad 1 b to form the low-resistance conductive portions 4 a and 4 b, and in other regions, insulation is performed. Is retained.

このように第1、第2の熱伝導パターン兼配線9a、9b等を形成した後で、熱電素子2に電流を流してペルチェ素子として動作させることにより正電極パッド1aと負電極パッド1bの上の部分を局所的に加熱し、さらに押圧する。これにより、全固体二次電池1の正電極パッド1aと第1の熱伝導パターン兼配線9a、さらに第2の熱伝導パターン兼配線9bと負電極パッド1bがそれぞれ電気的に接続される。   After the first and second heat conduction patterns / wirings 9a and 9b are formed in this way, a current is passed through the thermoelectric element 2 to operate as a Peltier element, so that the top of the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b. This part is locally heated and further pressed. Thereby, the positive electrode pad 1a of the all-solid-state secondary battery 1 and the first heat conduction pattern / wiring 9a, and the second heat conduction pattern / wiring 9b and the negative electrode pad 1b are electrically connected.

ここで上記のように加熱されたときの様子をモデル計算する。この場合、縦5mm、横5mm、厚さ300μmの大きさの全固体二次電池1と、縦4248μm、横3364μm、厚さ1090μmの大きさの熱電素子2を500μmの間隔をあけて配置する。全固体二次電池1の電極パッド形成領域1x上の正電極パッド1a、負電極パッド1bは、厚さ2μm、縦150μm、横150μmとする。また、第1面に対する全固体二次電池1の電極パッド形成領域1xの段差が35μmであり、その上の厚さ2μmの正電極パッド1a、負電極パッド1bとその上の厚さ35μmの異方性導電フィルム4がフッ素樹脂棒14に押圧される。この場合、異方性導電フィルム4に加わる圧力は約3.4MPaとして計算する。この場合、異方性導電フィルム4としてソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社製の型番CP9842Kを使用すると、その硬化条件の一つである圧力の2MPa〜4MPaは満たされる。   Here, the state when heated as described above is model-calculated. In this case, the all-solid-state secondary battery 1 having a length of 5 mm, a width of 5 mm, and a thickness of 300 μm, and a thermoelectric element 2 having a length of 4248 μm, a width of 3364 μm, and a thickness of 1090 μm are arranged with an interval of 500 μm. The positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b on the electrode pad forming region 1x of the all-solid-state secondary battery 1 are 2 μm thick, 150 μm long, and 150 μm wide. Further, the step of the electrode pad forming region 1x of the all-solid-state secondary battery 1 with respect to the first surface is 35 μm, the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b having a thickness of 2 μm thereon, and the difference of 35 μm in thickness thereon. The isotropic conductive film 4 is pressed against the fluororesin rod 14. In this case, the pressure applied to the anisotropic conductive film 4 is calculated as about 3.4 MPa. In this case, when model number CP9842K manufactured by Sony Chemical & Information Device Co., Ltd. is used as the anisotropic conductive film 4, a pressure of 2 MPa to 4 MPa, which is one of the curing conditions, is satisfied.

上記のようにモールド樹脂層7の第2面を160℃の温度で外部から加熱し、さらに熱電素子2の正電極端子2aと負電極端子2bの間に約5.6Vを印加すると熱電素子2の第1面が約200℃に加熱される。この時の温度の温度分布を示す等高線は例えば図7(
a)のようになる。この場合、第1、第2の熱伝導パターン兼配線9a、9bを介して熱電素子2の第1面から全固体二次電池1上の正電極パッド1a、負電極パッド1bに熱が伝わっていることがわかる。
As described above, when the second surface of the mold resin layer 7 is externally heated at a temperature of 160 ° C. and about 5.6 V is applied between the positive electrode terminal 2 a and the negative electrode terminal 2 b of the thermoelectric element 2, the thermoelectric element 2 Is heated to about 200 ° C. The contour line indicating the temperature distribution of the temperature at this time is, for example, FIG.
It becomes like a). In this case, heat is transmitted from the first surface of the thermoelectric element 2 to the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b on the all-solid-state secondary battery 1 via the first and second heat conduction patterns / wirings 9a and 9b. I understand that.

さらに、異方性導電フィルム4のみを取り出して温度分布を示すと図7(b)のようになる。異方性導電膜フィルム4は180℃〜200℃に加熱されていて、硬化条件180℃〜200℃を達成できていることがわかる。なお、モジュール全体が180℃未満で加熱されているので、加熱熱電素子2の発熱温度は、異方性導電膜フィルム4の温度を180℃〜200℃の範囲に達成させるために上乗せできる温度であればよく、200℃未満であってもよい。   Furthermore, when only the anisotropic conductive film 4 is taken out and temperature distribution is shown, it will become like FIG.7 (b). It can be seen that the anisotropic conductive film 4 is heated to 180 ° C. to 200 ° C. and the curing conditions of 180 ° C. to 200 ° C. can be achieved. In addition, since the whole module is heated at less than 180 degreeC, the heat_generation | fever temperature of the heating thermoelectric element 2 is a temperature which can be added in order to achieve the temperature of the anisotropic conductive film 4 in the range of 180 degreeC-200 degreeC. What is necessary is just to be less than 200 degreeC.

一方、熱電素子2と全固体二次電池1のみを取り出した温度分布を示すと図7(c)のようになり、全固体二次電池1の領域の温度は160℃からほぼ180℃未満の範囲に保たれていることがわかる。すなわち、上記の例により、全固体二次電池1の正電極パッド1a、負電極パッド1bのみを局所的に加熱、加圧することによりそれらの上に導電部4a、4bが形成され、それらの間の部分では高抵抗領域が形成される。従って、本実施例のように、数100μmサイズレベルの微細で局所的な加熱を近くの熱電素子2から発しているので、特殊な加熱工具が不必要である。しかも、ペルチェ効果による加熱は電流の供給により簡単で正確に行え、大変有効である。   On the other hand, a temperature distribution obtained by taking out only the thermoelectric element 2 and the all-solid-state secondary battery 1 is as shown in FIG. 7C, and the temperature of the region of the all-solid-state secondary battery 1 is from 160 ° C. to less than about 180 ° C. You can see that it is kept in range. That is, according to the above example, only the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b of the all-solid-state secondary battery 1 are locally heated and pressurized to form the conductive portions 4a and 4b on them, In this part, a high resistance region is formed. Therefore, as in this embodiment, fine local heating of a size level of several hundred μm is generated from the nearby thermoelectric element 2, so that a special heating tool is unnecessary. Moreover, heating by the Peltier effect can be performed easily and accurately by supplying current, which is very effective.

また、熱電素子2の第1面の上から全固体二次電池1の第1面上の正電極パッド1a、負電極パッド1bに至る領域に熱伝導パターン兼配線9a、9bを形成しているので、集積度が高くなり、デバイスを小型化することができる。また、モールド樹脂層7を介して集積された全固体二次電池1、電熱素子2、チップ状部品3を電源モジュールとすると、異方性導電フィルム4における導電部4a、4bの形成は、電源モジュールを取り付ける直前に行える。このため、全固体二次電池1を長時間未使用状態で保持することができ、全固体二次電池1の早期の劣化を防止することができる。しかも、正電極パッド1a、負電極パッド1bを絶縁状態の異方性導電フィルム4で覆っているので、新たな短絡防止策が不要となり取り扱いが容易になる。   Further, heat conduction pattern and wirings 9a and 9b are formed in a region from the first surface of the thermoelectric element 2 to the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b on the first surface of the all-solid-state secondary battery 1. Therefore, the degree of integration increases and the device can be miniaturized. When the all-solid-state secondary battery 1, the electrothermal element 2, and the chip-like component 3 integrated through the mold resin layer 7 are power supply modules, the formation of the conductive portions 4 a and 4 b in the anisotropic conductive film 4 is as follows. This can be done immediately before installing the module. For this reason, the all-solid-state secondary battery 1 can be kept unused for a long time, and early deterioration of the all-solid-state secondary battery 1 can be prevented. In addition, since the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b are covered with the anisotropic conductive film 4 in an insulating state, a new measure for preventing a short circuit becomes unnecessary and handling becomes easy.

次に、熱電素子2により発電された電力を全固体二次電池1に蓄積するとともに、上記のような加熱処理を施すための回路の一例を説明する。   Next, an example of a circuit for accumulating the electric power generated by the thermoelectric element 2 in the all solid state secondary battery 1 and performing the above heat treatment will be described.

上記の電子デバイスの製造工程では、配線9a〜9fの形成後に熱電素子2に電流を流してペルチェ素子として動作させることによって全固体二次電池1の正電極パッド1a、負電極パッド1bでの局所加熱を行っている。熱電素子2の熱伝導板2c、2dに対する高温側と低温側の方向が決まっている場合、熱電素子2としてのゼーベック効果による電流の方向と、ペルチェ素子としての電流の方向は逆になる。そのため、回路としてはこのことを考慮しなければならない。   In the manufacturing process of the electronic device described above, after the wirings 9a to 9f are formed, a current is passed through the thermoelectric element 2 so as to operate as a Peltier element, so that the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b of the all-solid-state secondary battery 1 are localized. Heating is taking place. When the directions of the high temperature side and the low temperature side of the thermoelectric element 2 with respect to the heat conductive plates 2c and 2d are determined, the direction of current due to the Seebeck effect as the thermoelectric element 2 and the direction of current as the Peltier element are reversed. Therefore, this must be considered for the circuit.

そのような手法を採用する場合の回路ブロックの一例を図8に示す。熱電素子2のゼーベック効果による出力の電圧は低いので、昇圧コンバータ回路21を熱電素子2の正電極端子2a、負電極端子2bに接続する。昇圧コンバータ回路21として、例えばリニアテクノロジー社製の型番LTC3109を用いる。また、昇圧コンバータ回路21の出力端は、分路バッテリー蓄積回路を有するリチウム電池制御IC22の入力端に接続される。また、リチウム電池制御IC22の第1の出力端は、全固体二次電池1の正電極パッド1aと負電極パッド1bに接続される。さらに、リチウム電池制御IC22は、全固体二次電子1に蓄積された電力か熱電素子2により発電された電力を出力する第2の出力端子22aを有している。   An example of a circuit block when such a method is employed is shown in FIG. Since the output voltage due to the Seebeck effect of the thermoelectric element 2 is low, the boost converter circuit 21 is connected to the positive electrode terminal 2 a and the negative electrode terminal 2 b of the thermoelectric element 2. As the boost converter circuit 21, for example, model number LTC3109 manufactured by Linear Technology is used. The output terminal of the boost converter circuit 21 is connected to the input terminal of a lithium battery control IC 22 having a shunt battery storage circuit. The first output terminal of the lithium battery control IC 22 is connected to the positive electrode pad 1 a and the negative electrode pad 1 b of the all solid state secondary battery 1. Further, the lithium battery control IC 22 has a second output terminal 22 a that outputs the power stored in the all-solid-state secondary electrons 1 or the power generated by the thermoelectric element 2.

熱電素子2により発電された電力は、昇圧コンバータ回路21により例えば約5Vに昇圧されて出力され、分路バッテリー蓄積回路を有するリチウム電池制御IC22の制御により全固体二次電池1に蓄積される。全固体二次電池1がフル充電の場合には、リチウム電池制御IC22は電力を第2の出力端子22aに出力する。この場合、最終的な出力電圧は、全固体二次電池1の出力電圧、例えば約4.1Vになる。   The electric power generated by the thermoelectric element 2 is boosted to, for example, about 5 V by the boost converter circuit 21 and output, and is stored in the all-solid-state secondary battery 1 under the control of the lithium battery control IC 22 having the shunt battery storage circuit. When the all-solid-state secondary battery 1 is fully charged, the lithium battery control IC 22 outputs power to the second output terminal 22a. In this case, the final output voltage is the output voltage of the all-solid-state secondary battery 1, for example, about 4.1V.

このような構成では、熱電素子2と昇圧コンバータ回路21の間に第3、第4の配線9c、9dを接続し、それらに電圧(Vheat−Vheat)を印加することにより電流Iを供給し熱電素子2を発熱させ異方性導電フィルム4に導電部4a、4bを形成する。これと同時に、昇圧コンバータ回路21、リチウム電池制御IC22を介して全固体二次電池1を初期充電することができる。その充電方向と発熱用電流供給方向を図8の破線で示す。   In such a configuration, the third and fourth wirings 9c and 9d are connected between the thermoelectric element 2 and the step-up converter circuit 21, and a voltage (Vheat-Vheat) is applied to them to supply the current I, thereby providing thermoelectricity. The element 2 is heated to form conductive portions 4 a and 4 b on the anisotropic conductive film 4. At the same time, the all-solid-state secondary battery 1 can be initially charged via the boost converter circuit 21 and the lithium battery control IC 22. The charging direction and the heating current supply direction are indicated by broken lines in FIG.

異方性導電フィルム4に導電部4a、4bが形成されて導通が完了した後は、熱電素子2から出力される電力の電流は、図9の矢印と図8の一点鎖線に示すように、加熱・冷却方向の違いによって電流が正負で逆転する。しかし、上記の昇圧コンバータ回路21であるLTC3109は、どちらの入力の極性であっても同じ極性に昇圧して出力することができるので、熱電素子2をペルチェ素子として利用する場合には都合がよい。   After the conductive portions 4a and 4b are formed in the anisotropic conductive film 4 and the conduction is completed, the current of the power output from the thermoelectric element 2 is as shown by the arrow in FIG. 9 and the one-dot chain line in FIG. The current is reversed between positive and negative depending on the heating / cooling direction. However, since the LTC3109, which is the boost converter circuit 21 described above, can boost and output the same polarity regardless of the input polarity, it is convenient when the thermoelectric element 2 is used as a Peltier element. .

なお、上記の説明では電池として全固体二次電池1を例として取り上げたが、集積可能な電池であれば、たとえば全固体二次電池1の代わりに、電解液を使用する二次電池、或いは一次電池を採用してもよい。これは以下の実施形態でも同様である。   In the above description, the all-solid secondary battery 1 is taken as an example of the battery. However, if the battery can be integrated, for example, a secondary battery using an electrolyte instead of the all-solid secondary battery 1 or A primary battery may be adopted. The same applies to the following embodiments.

以上説明したように本実施形態によれば、全固体二次電池1の電極パッド1a、1bと配線9a、9bの間に異方性導電フィルム4を挟み、その後に電極パッド1a、1bの上を局所的に加熱し、加圧する方法を採用している。これにより配線を形成した後で、全固体二次電池電極1と配線9a、9bとの導電性の接続を不可逆的に確保することができる。しかも、この方法により、めっきプロセスで配線9a、9bを形成するまでは全固体二次電池1の絶縁性が保たれているとともに、全固体二次電池1を劣化させる恐れのある高温プロセスを避けることが可能となる。従って、従来よりも電池の信頼性を保つことができ、二次電池を用いる電子デバイスの製造方法に大きく寄与する。しかも、熱電素子2を使用して電極パッド1a、1bを加熱する際に、全個体二次電池1に電力を供給することができるので、異方性導電フィルム4を局部的に加熱するための新たな素子は不要となり導電化処理が容易となる。   As described above, according to the present embodiment, the anisotropic conductive film 4 is sandwiched between the electrode pads 1a and 1b of the all-solid-state secondary battery 1 and the wirings 9a and 9b, and thereafter the electrode pads 1a and 1b are placed on the electrode pads 1a and 1b. The method of locally heating and pressurizing is adopted. Thus, after the wiring is formed, the conductive connection between the all-solid-state secondary battery electrode 1 and the wirings 9a and 9b can be irreversibly ensured. In addition, by this method, the insulating property of the all-solid-state secondary battery 1 is maintained until the wirings 9a and 9b are formed by the plating process, and a high-temperature process that may deteriorate the all-solid-state secondary battery 1 is avoided. It becomes possible. Therefore, the reliability of the battery can be maintained as compared with the prior art, which greatly contributes to the manufacturing method of the electronic device using the secondary battery. Moreover, when heating the electrode pads 1a, 1b using the thermoelectric element 2, it is possible to supply power to all the individual secondary batteries 1, so that the anisotropic conductive film 4 is locally heated. A new element becomes unnecessary and the conductive treatment becomes easy.

(第2の実施の形態)
図10は、第2実施形態に係る電子デバイスを示す平面図である。なお、図10において図1〜図6と同じ符号は同じ要素を示している。
(Second Embodiment)
FIG. 10 is a plan view showing an electronic device according to the second embodiment. In FIG. 10, the same reference numerals as those in FIGS. 1 to 6 denote the same elements.

図10において、熱電素子2の第1面の上には熱伝導性の良い金属、例えばCuの熱伝導パターン9jが形成されている。熱伝導パターン9jは、全固体二次電池1の電極パッド形成領域1x上に貼り付けられる異方性導電フィルム4のうち正電極パッド1aと負電極パッド1bの間の領域まで延びている。異方性導電フィルム4の上とその周辺での形状は、正電極パッド1a、負電極パッド1bの中間で異方性導電フィルム4の一部を露出させる略U字形状で示されているが、露出させない形状であってもよい。   In FIG. 10, a heat conduction pattern 9j of a metal having a good thermal conductivity, for example, Cu, is formed on the first surface of the thermoelectric element 2. The heat conductive pattern 9j extends to a region between the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b in the anisotropic conductive film 4 attached on the electrode pad forming region 1x of the all-solid-state secondary battery 1. The shape on and around the anisotropic conductive film 4 is shown as a substantially U-shape that exposes a portion of the anisotropic conductive film 4 between the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b. The shape may not be exposed.

また、全固体二次電池1の正電極パッド1a、負電極パッド1bのそれぞれの上には、プラス側配線9g、マイナス側配線9hが接続されている。熱伝導パターン9j、プラス配線9g、マイナス配線9hは、図3(d)に示したレジストパターン10の開口部10a、10bの形状を変え、その中にCu膜を電解めっき法により積層することにより形成される。   Further, on each of the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b of the all-solid-state secondary battery 1, a plus side wiring 9g and a minus side wiring 9h are connected. The heat conduction pattern 9j, the plus wiring 9g, and the minus wiring 9h are obtained by changing the shape of the openings 10a and 10b of the resist pattern 10 shown in FIG. 3D and laminating a Cu film therein by an electrolytic plating method. It is formed.

また、図4に示すようなシード層8のパターニングを終了した後に、載置台13上でモールド樹脂層7、全固体二次電池1等をリチウム融点以下の温度T、例えば約160℃に加熱する。さらに、第1実施形態と同様な条件で、フッ素樹脂棒14により正電極パッド1a、負電極パッド1bの直上のマイナス配線9g、プラス配線9hを押圧する。これに併せて熱電素子2に電気を流すことにより発熱させ、その熱Tを、熱伝導パターン9jを介して全固体二次電池1の正電極パッド1a、負電極パッド1b近傍まで伝達させその周囲の異方性導電フィルム4上の温度を180℃〜200℃まで高くする。これによって、全固体二次電池1の正電極パッド1a、負電極パッド1bの直上で異方性導電フィルム4はキュアされ、これにより導電部4a、4bとなる。この結果、正電極パッド1aはプラス配線9gに電気的に接続され、さらに負電極パッド1bはマイナス配線9hに電気的に接続させる。 Further, after the patterning of the seed layer 8 as shown in FIG. 4 is completed, the mold resin layer 7 and the all-solid-state secondary battery 1 are heated on the mounting table 13 to a temperature T 0 below the lithium melting point, for example, about 160 ° C. To do. Further, the negative wiring 9g and the positive wiring 9h immediately above the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b are pressed by the fluororesin rod 14 under the same conditions as in the first embodiment. At the same time, heat is generated by flowing electricity to the thermoelectric element 2, and the heat T is transmitted to the vicinity of the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b of the all-solid-state secondary battery 1 through the heat conduction pattern 9j. The temperature on the anisotropic conductive film 4 is increased to 180 ° C. to 200 ° C. As a result, the anisotropic conductive film 4 is cured immediately above the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b of the all-solid-state secondary battery 1, thereby forming conductive portions 4a and 4b. As a result, the positive electrode pad 1a is electrically connected to the plus wiring 9g, and the negative electrode pad 1b is electrically connected to the minus wiring 9h.

以上のように本実施形態によれば、熱電素子2上部に配置した熱伝導パターン9jを全固体二次電池1の電極パッド1a、1b近傍まで延長し、正電極パッド1a、負電極パッド1bには延在させていない。これにより、第1実施形態に示す作用効果を保持したままで、全固体二次電池1の正電極パッド1a、負電極パッド1bに電気的に接続される配線の自由度を高くすることができる。   As described above, according to the present embodiment, the heat conduction pattern 9j disposed on the thermoelectric element 2 is extended to the vicinity of the electrode pads 1a and 1b of the all-solid-state secondary battery 1, and is applied to the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b. Does not extend. Thereby, the freedom degree of the wiring electrically connected to the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b of the all-solid-state secondary battery 1 can be increased while maintaining the operational effects shown in the first embodiment. .

なお、本実施形態において図8に示した回路を採用してもよい。この場合、図9に示したと同様に、電熱素子2の上と下の加熱・冷却方向によって全固体二次電池1への充電電流が正負で逆転しても極性を揃えることができる。   In the present embodiment, the circuit shown in FIG. 8 may be employed. In this case, as shown in FIG. 9, the polarity can be made uniform even if the charging current to the all-solid-state secondary battery 1 is reversed between positive and negative depending on the heating and cooling directions above and below the heating element 2.

ところで、図11に示すように、全固体二次電池1の電極パッド形成領域1xにおいて正電極パッド1aと負電極パッド1bが接近する一方、両側端寄りに空きスペースがある場合には、そのスペースに異方性導電膜4をはみ出させてもよい。この場合、電極パッド形成領域1xのうち正電極パッド1aと負電極パッド1bに対して両側端寄りにはみ出した分部の異方性導電膜4に熱伝導パターン9jの先端部を接続し、熱を伝導して導電部4a、4bを形成する。   By the way, as shown in FIG. 11, when the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b approach in the electrode pad formation region 1x of the all-solid-state secondary battery 1 and there are empty spaces near both ends, the space Alternatively, the anisotropic conductive film 4 may protrude. In this case, the tip of the heat conduction pattern 9j is connected to the portion of the anisotropic conductive film 4 that protrudes toward both ends of the electrode pad formation region 1x with respect to the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b. Conductive portions 4a and 4b are formed.

また、図12に示すように、全固体二次電池1の電極パッド形成領域1xにおいて正電極パッド1aと負電極パッド1bの先端寄りに空きスペースがある場合には、そのスペースに異方性導電膜4をはみ出させてもよい。この場合には、正電極パッド1aと負電極パッド1bに対して先端寄りにはみ出した部分の異方性導電膜4に熱伝導パターン9jの先端部を接続し、熱を伝導して導電部4a、4bを形成する。   In addition, as shown in FIG. 12, when there is a vacant space near the tips of the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b in the electrode pad formation region 1x of the all-solid-state secondary battery 1, anisotropic conductivity is generated in the space. The film 4 may protrude. In this case, the tip portion of the heat conduction pattern 9j is connected to the portion of the anisotropic conductive film 4 that protrudes toward the tip with respect to the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b, and heat is conducted to conduct the conductive portion 4a. 4b.

図11、図12に示すように、1つの熱伝導パターン9jから正電極パッド1aと負電極パッド1bの近傍の異方性導電膜4に熱を伝導させる倍には、同時に正電極パッド1aと負電極パッド1bの上をフッ素樹脂棒14により押圧して導電部4a、4bを形成する。   As shown in FIGS. 11 and 12, in order to conduct heat from one heat conduction pattern 9j to the anisotropic conductive film 4 in the vicinity of the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b, the positive electrode pad 1a and The top of the negative electrode pad 1b is pressed by the fluororesin rod 14 to form the conductive portions 4a and 4b.

(第3の実施の形態)
図13は、第3実施形態に係る電子デバイスとその製造工程における加熱方法を示す側断面図である。なお、図13において図1〜図6と同じ符号は同じ要素を示している。
(Third embodiment)
FIG. 13 is a side sectional view showing an electronic device according to the third embodiment and a heating method in the manufacturing process thereof. In FIG. 13, the same reference numerals as those in FIGS. 1 to 6 denote the same elements.

図13において、全固体二次電池1の電極パッド形成領域1xに貼り付けられた異方性導電フィルム4のうち正電極パッド1a、負電極パッド1bのそれぞれの上方の領域にはマイナス配線9gとプラス配線9hが形成されている。プラス配線9g、マイナス配線9hは、図3(d)に示したレジストパターン10の開口部10a、10bの形状を変え、その中にCu膜を電解めっき法により積層することにより形成される。なお、本実施形態
では、熱電素子2の上には熱伝導パターンが形成されない構造となっている。
In FIG. 13, in the anisotropic conductive film 4 attached to the electrode pad formation region 1x of the all-solid-state secondary battery 1, negative wiring 9g and regions above the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b, respectively, A plus wiring 9h is formed. The plus wiring 9g and the minus wiring 9h are formed by changing the shapes of the openings 10a and 10b of the resist pattern 10 shown in FIG. 3D and laminating a Cu film therein by an electrolytic plating method. In the present embodiment, a heat conduction pattern is not formed on the thermoelectric element 2.

そしてCu膜を形成し、続いて、第1実施形態と同様にシード層8を部分的にエッチングする。その後に、レーザ照射装置、例えばレーザ微細はんだ付け装置を用いて、全固体二次電池1の正電極パッド1a、負電極パッド1bのそれぞれの中心から直径150μmの領域に向けてレーザ光を照射し、マイナス配線9g、プラス配線9hに局所加熱を行う。   Then, a Cu film is formed, and then the seed layer 8 is partially etched as in the first embodiment. Thereafter, using a laser irradiation apparatus, for example, a laser fine soldering apparatus, laser light is irradiated from the center of each of the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b of the all-solid-state secondary battery 1 toward a region having a diameter of 150 μm. Then, local heating is performed on the negative wiring 9g and the positive wiring 9h.

この場合の加熱温度は、正電極パッド1a、負電極パッド1bの直上の部分での異方性導電フィルム4の温度を約200℃にすることができ、その他の領域のマイナス配線9g、プラス配線9hの表面では熱伝導による冷却、例えば空冷により約150℃となるように調整している。当然ながら、マイナス配線9g、プラス配線9hが融解するまでの温度ではレーザ光照射は行わない。なお、異方性導電フィルム4をレーザ光により加熱した後に、正電極パッド1a、負電極パッド1bの直上の領域のマイナス配線9g、プラス配線9hを第1実施形態で示した条件によりフッ素系樹脂棒14により加圧してもよい。なお、フッ素樹脂棒14は加熱しておいてもよい。   As for the heating temperature in this case, the temperature of the anisotropic conductive film 4 at the portion immediately above the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b can be set to about 200 ° C. The surface of 9h is adjusted to be about 150 ° C. by cooling by heat conduction, for example, by air cooling. Naturally, laser light irradiation is not performed at a temperature until the minus wiring 9g and the plus wiring 9h are melted. After the anisotropic conductive film 4 is heated by laser light, the negative electrode 9g and the positive wire 9h in the region immediately above the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b are fluorinated resin under the conditions shown in the first embodiment. You may pressurize with the stick | rod 14. The fluororesin rod 14 may be heated.

このような局所加熱により、異方性導電フィルム4に低抵抗の導電部4a、4bが形成され、正電極パッド1aはプラス配線9gに電気的に接続され、マイナス配線9hは負電極パッド1bに電気的に接続される。   By such local heating, low resistance conductive portions 4a and 4b are formed in the anisotropic conductive film 4, the positive electrode pad 1a is electrically connected to the positive wiring 9g, and the negative wiring 9h is connected to the negative electrode pad 1b. Electrically connected.

以上のように、本実施形態によれば、全固体二次電池1において、正電極パッド1aとプラス配線9gの間、負電極パッド1bとマイナス配線9hの間のそれぞれに異方性導電フィルム4を挟む構造を採用している。さらに、正電極パッド1aと負電極パッド1bの直上のプラス配線9g、マイナス配線9hにレーザ光を照射してその下の異方性導電フィルム4を局所的に加熱した後に押圧し、導電部4a、4bを形成している。これにより、第1実施形態と同様な作用効果が得られ、微細な正電極パッド1a、負電極パッド1bに配線9g、9hを良好に接続することができる。   As described above, according to the present embodiment, in the all-solid-state secondary battery 1, the anisotropic conductive film 4 is provided between the positive electrode pad 1a and the positive wiring 9g and between the negative electrode pad 1b and the negative wiring 9h. The structure that sandwiches is adopted. Furthermore, the positive wiring 9g and the negative wiring 9h immediately above the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b are irradiated with laser light to locally heat the anisotropic conductive film 4 thereunder, and then pressed to form a conductive portion 4a. 4b. As a result, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and the wirings 9g and 9h can be well connected to the fine positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b.

ところで、第1、第2及び第3の実施形態では、全固体二次電池1を覆うモールド樹脂層7のうち正電極パッド1aと負電極パッド1bのそれぞれの上に開口部を形成し、開口部を介して直接に配線を接続する方法を採用していない。これは、次に示す比較例において生じる正電極パッド1aと負電極パッド1bの短絡を防止するためである。   By the way, in 1st, 2nd and 3rd embodiment, an opening part is formed on each of the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b among the mold resin layers 7 which cover the all-solid-state secondary battery 1, and opening The method of connecting the wiring directly through the section is not adopted. This is to prevent a short circuit between the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b which occurs in the comparative example shown below.

その比較例では、まず、図14(a)に示すように、支持板5の上面の発泡性粘着シート6に全固体二次電池1、熱電素子2及びチップ状部品3を貼り付ける。この場合、全固体二次電池1の正電極パッド1a、負電極パッド1bと発泡性粘着シート6の間に間隙を存在させている。この状態で、発泡性粘着シート6の上にモールド樹脂層7を形成すると、全固体二次電池1の正電極パッド1a、負電極パッド1bと発泡性粘着シート6の間にはモールド樹脂層7が介在することになる。   In the comparative example, first, as shown in FIG. 14A, the all-solid-state secondary battery 1, the thermoelectric element 2, and the chip-like component 3 are attached to the foamable adhesive sheet 6 on the upper surface of the support plate 5. In this case, a gap exists between the positive electrode pad 1 a and the negative electrode pad 1 b of the all-solid-state secondary battery 1 and the foamable adhesive sheet 6. In this state, when the mold resin layer 7 is formed on the foamable adhesive sheet 6, the mold resin layer 7 is interposed between the positive electrode pad 1 a and the negative electrode pad 1 b of the all-solid-state secondary battery 1 and the foamable adhesive sheet 6. Will intervene.

その後に、モールド樹脂層7、全固体二次電池1等を発泡性粘着シート6から剥がし、モールド樹脂層7の第2面側にグラインドを施し、薄層化して発電素子2の第2面を露出させる。これにより、図14(b)に示すように、全固体二次電池1の正電極パッド1aと負電極パッド1bはモールド樹脂層7に覆われた状態となっている。   Thereafter, the mold resin layer 7, the all-solid-state secondary battery 1 and the like are peeled off from the foamable pressure-sensitive adhesive sheet 6, and the second surface side of the mold resin layer 7 is grinded to reduce the thickness of the second surface of the power generating element 2. Expose. Accordingly, as shown in FIG. 14B, the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b of the all-solid-state secondary battery 1 are covered with the mold resin layer 7.

続いて、図14(c)に示すように、全固体二次電池1の正電極パッド1aと負電極パッド1bの上にレーザ光を照射して開口部7c、7dを形成する。さらに第1実施形態と同様に熱電素子2の正電極端子2aと負電極端子2bの上に開口部7a、7bを形成し、その後に図14(d)に示すようにモールド樹脂層7、熱電素子2、チップ状部品3の第
1面の上と開口部7a〜7dの内面にCuのシード層8を形成する。その後に、特に図示しないが、第3実施形態と同様にシード層8の上にプラス配線9g、マイナス配線9h等を形成し、さらにシード層8をパターニングすることになる。
Subsequently, as shown in FIG. 14C, openings 7c and 7d are formed by irradiating laser light on the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b of the all-solid-state secondary battery 1. Further, similarly to the first embodiment, openings 7a and 7b are formed on the positive electrode terminal 2a and the negative electrode terminal 2b of the thermoelectric element 2, and thereafter, as shown in FIG. A Cu seed layer 8 is formed on the first surface of the element 2 and the chip-like component 3 and on the inner surfaces of the openings 7a to 7d. Thereafter, although not particularly shown, a plus wiring 9g, a minus wiring 9h, etc. are formed on the seed layer 8 as in the third embodiment, and the seed layer 8 is further patterned.

このような工程によれば、開口部7a〜7d内とモールド樹脂層7上にシード層8を形成すると、全固体二次電池1の正電極端子2aと負電極端子2bがシード層8を介して短絡してしまうことになる。そのような短絡は、シード層8の形成からエッチングまでの長い時間で保持されるので、全固体二次電池1の致命的な劣化や短寿命化などについて信頼性を低下させる。   According to such a process, when the seed layer 8 is formed in the openings 7 a to 7 d and on the mold resin layer 7, the positive electrode terminal 2 a and the negative electrode terminal 2 b of the all-solid-state secondary battery 1 pass through the seed layer 8. Will cause a short circuit. Since such a short circuit is maintained for a long time from the formation of the seed layer 8 to the etching, the reliability of the all-solid-state secondary battery 1 is deteriorated due to a fatal deterioration or a shortened life.

その対策案として、モールド樹脂層7を形成する前にレジストなどの絶縁性材料で正電極パッド1a、負電極パッド1bを保護し、近くまで配線を引き、絶縁性材料を除去した後に配線と正電極パッド1a、負電極パッド1bを導電膜で接続するような手法も考えられる。しかし、モールド樹脂層7の形成工程では上記のように最低でも150℃で1時間の加熱処理を行うので、この条件に耐えられるレジスト材料が必要になるが、そのようなレジスト材料はほぼ皆無である。しかも、後から絶縁膜材料を除去して導電膜を形成するプロセスでは工程が複雑になり、有効な手法とは言えない。   As a countermeasure, the positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b are protected with an insulating material such as a resist before the molding resin layer 7 is formed. A method of connecting the electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b with a conductive film is also conceivable. However, as described above, since the heat treatment is performed at 150 ° C. for at least 1 hour in the forming process of the mold resin layer 7 as described above, a resist material that can withstand this condition is necessary, but there is almost no such resist material. is there. Moreover, the process of removing the insulating film material later to form the conductive film is complicated and cannot be said to be an effective technique.

これに対し、上記実施形態のように全固体二次電池1の電極パッド1a、1bと配線9a、9b、9g、9hにより異方性導電フィルム4を挟む構造を採用し、シード層8をエッチングした後に異方性導電フィルム4を局所的に導電化している。このため、シード層8による全固体二次電池1の正電極端子2aと負電極端子2bの短絡が異方性導電フィルム4により防止される上に、複雑な配線形成工程が不要となる。しかも、異方性導電フィルム4を局所的に導電化する前には全固体二次電池1が電気的に隔離されている。従って、異方性導電フィルム1の導電化前には、全固体二次電池1に接続されるプラス配線9a、9gとマイナス配線9b、9h同士が外部から誤って短絡されたとしても、それらの下の正電極パッド1aと負電極パッド1bが短絡することはなく、管理が容易になる。しかも、配線形成後の工程で異方性導電フィルム4に局所的に熱を加えるだけなので、全固体二次電池1の電極パッド1a、1bを局所的に加熱し、電池を劣化させる恐れのある高温加熱を避けることができ、これにより全固体二次電池1の劣化を防ぐことができる。   On the other hand, a structure in which the anisotropic conductive film 4 is sandwiched between the electrode pads 1a and 1b of the all-solid-state secondary battery 1 and the wirings 9a, 9b, 9g, and 9h as in the above embodiment is employed, and the seed layer 8 is etched. After that, the anisotropic conductive film 4 is locally made conductive. For this reason, a short circuit between the positive electrode terminal 2a and the negative electrode terminal 2b of the all-solid-state secondary battery 1 due to the seed layer 8 is prevented by the anisotropic conductive film 4, and a complicated wiring formation step is not required. Moreover, the all-solid-state secondary battery 1 is electrically isolated before the anisotropic conductive film 4 is locally made conductive. Therefore, before the anisotropic conductive film 1 is made conductive, even if the positive wires 9a and 9g and the negative wires 9b and 9h connected to the all-solid-state secondary battery 1 are accidentally short-circuited from the outside, those wires The lower positive electrode pad 1a and the negative electrode pad 1b are not short-circuited, and management becomes easy. Moreover, since heat is only locally applied to the anisotropic conductive film 4 in the process after the wiring is formed, the electrode pads 1a and 1b of the all-solid-state secondary battery 1 may be locally heated to deteriorate the battery. High-temperature heating can be avoided, whereby deterioration of the all-solid secondary battery 1 can be prevented.

ここで挙げた全ての例および条件的表現は、発明者が技術促進に貢献した発明および概念を読者が理解するのを助けるためのものであり、ここで具体的に挙げたそのような例および条件に限定することなく解釈され、また、明細書におけるそのような例の編成は本発明の優劣を示すこととは関係ない。本発明の実施形態を詳細に説明したが、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、それに対して種々の変更、置換および変形を施すことができると理解される。   All examples and conditional expressions given here are intended to help the reader understand the inventions and concepts that have contributed to the promotion of technology, such examples and It is interpreted without being limited to the conditions, and the organization of such examples in the specification is not related to showing the superiority or inferiority of the present invention. While embodiments of the present invention have been described in detail, it will be understood that various changes, substitutions and variations can be made thereto without departing from the spirit and scope of the invention.

次に、本発明の実施形態について付記する。
(付記1)正電極パッドと負電極パッドが形成される電極パッド形成領域を有する電池と、前記正電極パッドと前記負電極パッドの上に貼り付けられる異方性導電フィルムと、前記異方性導電フィルムのうち前記正電極パッドと前記負電極パッドのそれぞれの上方に形成される第1配線、第2配線と、正電極端子と負電極端子を有する熱電素子と、前記熱電素子の前記正電極端子と前記負電極端子にそれぞれ接続される第3配線と第4配線と、前記熱電素子の上から前記異方性導電フィルムに至る範囲に形成される熱伝導パターンと、を有する電子デバイス。
(付記2)前記異方性導電フィルムにおいて、前記正電極パッドと前記負電極パッドのそれぞれの上に第1導電部と第2導電部を有することを特徴とする付記1に記載の電子デバイス。
(付記3)前記熱伝導パターンは、前記第1配線を兼ねる第1熱伝導パターンと、前記第
2配線を兼ねる第2熱伝導パターンを有することを特徴とする付記1又は付記2に記載の電子デバイス。
(付記4)前記熱伝導パターンの端部は、前記正電極パッドと前記負電極パッドの近傍の領域の前記異方性導電フィルムの上に接続されることを特徴とする付記1又は付記2に記載の電子デバイス。
(付記5)前記電池は二次電池であり、前記第1配線と前記第2配線のそれぞれは電池制御半導体素子と昇圧回路を介して前記熱電素子の前記正電極端子と前記負電極端子に電気的に接続されていることを特徴とする付記1乃至付記4のいずれか1つに記載の電子デバイス。
(付記6)前記異方性導電フィルムの一面と前記熱電素子の両面を露出した状態で、前記電池と前記異方性導電フィルムと前記熱電素子を覆うモールド樹脂を有することを特徴とする付記1乃至付記5のいずれか1つに記載の電子デバイス。
(付記7)電池と熱電素子を配置する工程と、前記電池の電極パッド形成領域に形成される正電極パッドと負電極パッドの上に異方性導電フィルムを貼る工程と、前記異方性導電フィルムのうち前記正電極パッドと前記負電極パッドのそれぞれの上の第1領域と第2領域に接続する第1配線、第2配線を形成する工程と、前記熱電素子の上から前記異方性導電フィルムの上に至る範囲に熱伝導パターンを形成する工程と、電流供給により前記熱電素子でピエゾ効果により発生した第1の熱を、前記熱伝導パターンを介して前記異方性導電フィルムに伝導し、前記異方性導電フィルムのうち前記正電極パッド上の前記第1領域と前記負電極パッド上の前記第2領域の温度を上昇させる工程と、前記異方性導電フィルムにおいて前記温度が上昇した前記第1領域と前記第2領域のそれぞれを前記第1配線と前記第2配線を介して押圧することにより第1導電部と第2導電部に変える工程と、を有する電子デバイスの製造方法。
(付記8)前記異方性導電フィルムは、前記熱伝導パターンから伝達される前記第1の熱とともに外から第2の熱が供給されることを特徴とする付記7に記載の電子デバイスの製造方法。
(付記9)前記電池において、前記電極パッド形成領域の第1温度はその他の領域の第2温度よりも高く加熱されることを特徴とする付記7又は付記8に記載の電子デバイスの製造方法。
(付記10)前記第1温度は、180℃以上であることを特徴とする付記9に記載の付記4に記載の電子デバイスの製造方法。
(付記11)前記第2温度は180℃未満であることを特徴とする付記9又は付記10に記載の電子デバイスの製造方法。
(付記12)前記電池は二次電池であり、前記熱電素子に流す前記電流を前記第1熱伝導パターンと前記第2熱伝導パターンを介して前記二次電池の正電極パッドと負電極パッドに流すことにより前記二次電池を充電することを特徴とする付記7乃至付記11のいずれか1つに記載の電子デバイスの製造方法。
(付記13)前記熱伝導パターンは、前記第1配線を兼ねる第1熱伝導パターンと、前記第2配線を兼ねる第2熱伝導パターンを有することを特徴とする付記7乃至付記12のいずれか1つに記載の電子デバイスの製造方法。
(付記14)前記熱伝導パターンの端部は、前記異方性導電フィルムの前記第1領域の側部と前記第2領域の側部に接続されることを特徴とする付記7乃至付記12のいずれか1つに記載の電子デバイスの製造方法。
(付記15)正電極パッドと負電極パッドが形成される電極パッド形成領域を有する電池と、前記正電極パッドと前記負電極パッドの上に貼り付けられる異方性導電フィルムと、前記異方性導電フィルムのうち前記正電極パッドと前記負電極パッドのそれぞれの上方に形成される第1配線、第2配線と、を有する電子デバイス。
(付記16)電池の電極パッド形成領域に形成される正電極パッドと負電極パッドの上に異方性導電フィルムを貼る工程と、前記異方性導電フィルムのうち前記正電極パッドと前記負電極パッドのそれぞれの上方に第1配線、第2配線を形成する工程と、前記異方性導電フィルムのうち前記正電極パッドと前記負電極パッドの上の第1領域と第2領域の温度
を加熱により上昇させる工程と、前記異方性導電フィルムにおいて前記温度が上昇した前記第1領域と前記第2領域のそれぞれを前記第1配線と前記第2配線を介して押圧することにより第1導電部と第2導電部を形成する工程と、を有する電子デバイスの製造方法。
Next, an embodiment of the present invention will be additionally described.
(Appendix 1) A battery having an electrode pad forming region in which a positive electrode pad and a negative electrode pad are formed, an anisotropic conductive film attached on the positive electrode pad and the negative electrode pad, and the anisotropy A first wiring and a second wiring formed above each of the positive electrode pad and the negative electrode pad of the conductive film, a thermoelectric element having a positive electrode terminal and a negative electrode terminal, and the positive electrode of the thermoelectric element An electronic device comprising: a third wiring and a fourth wiring respectively connected to a terminal and the negative electrode terminal; and a heat conduction pattern formed in a range from the thermoelectric element to the anisotropic conductive film.
(Supplementary note 2) The electronic device according to supplementary note 1, wherein the anisotropic conductive film has a first conductive portion and a second conductive portion on each of the positive electrode pad and the negative electrode pad.
(Additional remark 3) The said heat conductive pattern has the 1st heat conductive pattern which serves as said 1st wiring, and the 2nd heat conductive pattern which also serves as said 2nd wiring, The electron of Additional remark 1 or Additional remark 2 characterized by the above-mentioned device.
(Supplementary note 4) In Supplementary note 1 or Supplementary note 2, the end portion of the thermal conduction pattern is connected to the anisotropic conductive film in a region in the vicinity of the positive electrode pad and the negative electrode pad. The electronic device described.
(Supplementary Note 5) The battery is a secondary battery, and each of the first wiring and the second wiring is electrically connected to the positive electrode terminal and the negative electrode terminal of the thermoelectric element via a battery control semiconductor element and a booster circuit. The electronic device according to any one of Supplementary Note 1 to Supplementary Note 4, wherein the electronic device is connected electrically.
(Additional remark 6) It has the mold resin which covers the said battery, the said anisotropic conductive film, and the said thermoelectric element in the state which exposed the one surface of the said anisotropic conductive film, and both surfaces of the said thermoelectric element. Or an electronic device according to any one of appendix 5.
(Additional remark 7) The process of arrange | positioning a battery and a thermoelectric element, The process of sticking an anisotropic conductive film on the positive electrode pad and negative electrode pad which are formed in the electrode pad formation area of the said battery, The said anisotropic conductivity Forming a first wiring and a second wiring connected to a first region and a second region on each of the positive electrode pad and the negative electrode pad of the film, and the anisotropy from above the thermoelectric element A process of forming a heat conduction pattern over the conductive film, and conducting the first heat generated by the piezoelectric effect in the thermoelectric element by supplying current to the anisotropic conductive film through the heat conduction pattern. And increasing the temperature of the first region on the positive electrode pad and the second region on the negative electrode pad of the anisotropic conductive film, and increasing the temperature in the anisotropic conductive film. Shi Method for manufacturing an electronic device and a step of changing the first conductive portion and the second conductive portion by pressing through the second wiring and the first wiring each of the first region and the second region.
(Additional remark 8) The said anisotropic conductive film is supplied with the 2nd heat from the outside with the said 1st heat transmitted from the said heat conductive pattern, The manufacture of the electronic device of Additional remark 7 characterized by the above-mentioned. Method.
(Additional remark 9) The said battery WHEREIN: 1st temperature of the said electrode pad formation area is heated higher than 2nd temperature of another area | region, The manufacturing method of the electronic device of Additional remark 7 or Additional remark 8 characterized by the above-mentioned.
(Additional remark 10) The said 1st temperature is 180 degreeC or more, The manufacturing method of the electronic device of Additional remark 4 of Additional remark 9 characterized by the above-mentioned.
(Additional remark 11) Said 2nd temperature is less than 180 degreeC, The manufacturing method of the electronic device of Additional remark 9 or Additional remark 10 characterized by the above-mentioned.
(Additional remark 12) The said battery is a secondary battery, The said electric current sent through the said thermoelectric element is sent to the positive electrode pad and negative electrode pad of the said secondary battery through the said 1st heat conductive pattern and the said 2nd heat conductive pattern. The method of manufacturing an electronic device according to any one of appendix 7 to appendix 11, wherein the secondary battery is charged by flowing the battery.
(Supplementary note 13) Any one of Supplementary notes 7 to 12, wherein the thermal conduction pattern includes a first thermal conduction pattern that also serves as the first wiring and a second thermal conduction pattern that also serves as the second wiring. The manufacturing method of the electronic device as described in one.
(Additional remark 14) The edge part of the said heat conductive pattern is connected to the side part of the said 1st area | region of the said anisotropic conductive film, and the side part of the said 2nd area | region, The additional remark 7 thru | or the remark 12 characterized by the above-mentioned The manufacturing method of the electronic device as described in any one.
(Additional remark 15) The battery which has an electrode pad formation area in which a positive electrode pad and a negative electrode pad are formed, an anisotropic conductive film affixed on the positive electrode pad and the negative electrode pad, and the anisotropy An electronic device having a first wiring and a second wiring formed above each of the positive electrode pad and the negative electrode pad in a conductive film.
(Additional remark 16) The process of sticking an anisotropic conductive film on the positive electrode pad and negative electrode pad which are formed in the electrode pad formation area of a battery, The positive electrode pad and the negative electrode among the anisotropic conductive films Forming a first wiring and a second wiring over each of the pads; and heating the temperatures of the first region and the second region of the anisotropic conductive film on the positive electrode pad and the negative electrode pad And the first conductive part by pressing the first region and the second region of the anisotropic conductive film through the first wiring and the second wiring, respectively. And a step of forming a second conductive portion.

1 全固体二次電池
1a 正電極パターン
1b 負電極パターン
2 熱電素子
2a 正電極端子
2b 負電極端子
3 チップ状部品
4 異方性導電フィルム
4a、4b 導電部
5 支持板
6 発泡性粘着シート
7 モールド樹脂層
8 シード層
9a、9b、9j 熱伝導パターン兼配線
9c、9d、9e、9f、9g、9h 配線
10 レジストパターン
12 電源
13 載置台
14 フッ素樹脂棒
21 昇圧コンバータ回路
22 リチウム電池制御IC
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 All-solid-state secondary battery 1a Positive electrode pattern 1b Negative electrode pattern 2 Thermoelectric element 2a Positive electrode terminal 2b Negative electrode terminal 3 Chip-shaped component 4 Anisotropic conductive film 4a, 4b Conductive part 5 Support plate 6 Foamable adhesive sheet 7 Mold Resin layer 8 Seed layers 9a, 9b, 9j Heat conduction pattern and wiring 9c, 9d, 9e, 9f, 9g, 9h Wiring 10 Resist pattern 12 Power supply 13 Mounting table 14 Fluoro resin rod 21 Boost converter circuit 22 Lithium battery control IC

Claims (7)

正電極パッドと負電極パッドが形成される電極パッド形成領域を有する電池と、
前記正電極パッドと前記負電極パッドの上に貼り付けられる異方性導電フィルムと、
前記異方性導電フィルムのうち前記正電極パッドと前記負電極パッドのそれぞれの上方に形成される第1配線、第2配線と、
正電極端子と負電極端子を有する熱電素子と、
前記熱電素子の前記正電極端子と前記負電極端子にそれぞれ接続される第3配線と第4配線と、
前記熱電素子の上から前記異方性導電フィルムに至る範囲に形成される熱伝導パターンと、
を有する電子デバイス。
A battery having an electrode pad forming region in which a positive electrode pad and a negative electrode pad are formed;
An anisotropic conductive film affixed on the positive electrode pad and the negative electrode pad;
A first wiring and a second wiring formed above each of the positive electrode pad and the negative electrode pad of the anisotropic conductive film;
A thermoelectric element having a positive electrode terminal and a negative electrode terminal;
A third wiring and a fourth wiring respectively connected to the positive electrode terminal and the negative electrode terminal of the thermoelectric element;
A heat conduction pattern formed in a range from the thermoelectric element to the anisotropic conductive film;
An electronic device.
前記異方性導電フィルムにおいて、前記正電極パッドと前記負電極パッドのそれぞれの上に第1導電部と第2導電部を有することを特徴とする請求項1に記載の電子デバイス。   The electronic device according to claim 1, wherein the anisotropic conductive film has a first conductive portion and a second conductive portion on each of the positive electrode pad and the negative electrode pad. 前記熱伝導パターンは、前記第1配線を兼ねる第1熱伝導パターンと、前記第2配線を兼ねる第2熱伝導パターンを有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電子デバイス。   3. The electronic device according to claim 1, wherein the thermal conduction pattern includes a first thermal conduction pattern that also serves as the first wiring and a second thermal conduction pattern that also serves as the second wiring. 4. 前記熱伝導パターンの端部は、前記正電極パッドと前記負電極パッドの近傍の領域の前記異方性導電フィルムの上に接続されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電子デバイス。   The end portion of the heat conduction pattern is connected to the anisotropic conductive film in a region in the vicinity of the positive electrode pad and the negative electrode pad. Electronic devices. 電池と熱電素子を配置する工程と、
前記電池の電極パッド形成領域に形成される正電極パッドと負電極パッドの上に異方性導電フィルムを貼る工程と、
前記異方性導電フィルムのうち前記正電極パッドと前記負電極パッドのそれぞれの上の第1領域と第2領域に接続する第1配線、第2配線を形成する工程と、
前記熱電素子の上から前記異方性導電フィルムの上に至る範囲に熱伝導パターンを形成する工程と、
電流供給により前記熱電素子でピエゾ効果により発生した第1の熱を、前記熱伝導パターンを介して前記異方性導電フィルムに伝導し、前記異方性導電フィルムのうち前記正電極パッド上の前記第1領域と前記負電極パッド上の前記第2領域の温度を上昇させる工程と、
前記異方性導電フィルムにおいて前記温度が上昇した前記第1領域と前記第2領域のそれぞれを前記第1配線と前記第2配線を介して押圧することにより第1導電部と第2導電部に変える工程と、
を有する電子デバイスの製造方法。
Arranging the battery and the thermoelectric element;
Pasting an anisotropic conductive film on the positive electrode pad and the negative electrode pad formed in the electrode pad formation region of the battery;
Forming a first wiring and a second wiring connected to a first region and a second region on each of the positive electrode pad and the negative electrode pad of the anisotropic conductive film;
Forming a heat conduction pattern in a range from above the thermoelectric element to the anisotropic conductive film;
The first heat generated by the piezoelectric effect in the thermoelectric element by supplying current is conducted to the anisotropic conductive film through the thermal conduction pattern, and the anisotropic electrode on the positive electrode pad of the anisotropic conductive film. Increasing the temperature of the first region and the second region on the negative electrode pad;
In the anisotropic conductive film, the first conductive portion and the second conductive portion are pressed by pressing the first region and the second region, respectively, where the temperature is increased, through the first wiring and the second wiring. Changing process,
Manufacturing method of electronic device having
前記異方性導電フィルムは、前記熱伝導パターンから伝達される前記第1の熱とともに外から第2の熱が供給されることを特徴とする請求項5に記載の電子デバイスの製造方法。   The method for manufacturing an electronic device according to claim 5, wherein the anisotropic conductive film is supplied with second heat from the outside together with the first heat transmitted from the heat conductive pattern. 前記電池において、前記電極パッド形成領域の第1温度はその他の領域の第2温度よりも高く加熱されることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の電子デバイスの製造方法。   7. The method of manufacturing an electronic device according to claim 5, wherein, in the battery, the first temperature in the electrode pad formation region is heated higher than the second temperature in the other region.
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