JP2014101155A - Wicket, wicket conveyor, and wicket conveyor drying device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば、基板等の搬送物を複数支持することができるウイケットに関するものである。そして、このウイケットをコンベアに複数搭載して搬送物を搬送して乾燥室で乾燥させる乾燥装置に関するものである。 The present invention relates to a wicket capable of supporting a plurality of conveyed objects such as substrates, for example. And it is related with the drying apparatus which carries multiple wickets on a conveyor, conveys a conveyed product, and dries it in a drying chamber.
従来のウイケットは、搬送物である基板の底部を支持する部分が平面である。(例えば、特許文献1)。 In the conventional wicket, the portion that supports the bottom of the substrate, which is a conveyed product, is flat. (For example, patent document 1).
従来のウイケットは、搬送物の底部を支持する部分が平面である為、搬送物が軽量で薄いものである場合に、搬送物が移動したり、ズレたりする恐れがあった。 In the conventional wickets, since the portion that supports the bottom of the conveyed product is a flat surface, the conveyed product may move or shift when the conveyed product is light and thin.
本発明は、例えば、軽量小型で薄型の搬送物が移動、ズレることなく、或いは、搬送物を傷つけることなく搬送できるウイケットを提供することを主な目的とする。 The main object of the present invention is to provide, for example, a wicket that can be transported without moving, shifting, or damaging the transported object.
また、本発明は、例えば、上記ウイケットを用いたウイケットコンベア及びウイケットコンベア乾燥装置を提供することを主な目的とする。 Moreover, this invention sets it as the main objective to provide the wicket conveyor and wicket conveyor drying apparatus which used the said wicket, for example.
本発明に係るウイケットは、
長手形状の底板と、
底板に固定され、搬送物の挿抜をガイドし搬送物の側部を支持する一対のガイド部と、
一対のガイド部の間にある底板をカバーするとともに、一対のガイド部の間において長手方向に搬送物の底部を支持するへこみ部を有するカバー板と
を備えたことを特徴とする。
The wicket according to the present invention is
A long bottom plate;
A pair of guide portions that are fixed to the bottom plate, guide the insertion / extraction of the conveyed product, and support the side portion of the conveyed product;
A cover plate is provided that covers a bottom plate between the pair of guide portions and has a dent portion that supports the bottom portion of the conveyed product in the longitudinal direction between the pair of guide portions.
上記カバー板は、
長手方向と直交する断面の形状がV字状又はU字状の長尺の天カバー部を有することを特徴とする。
The cover plate
The cross-sectional shape orthogonal to the longitudinal direction has a V-shaped or U-shaped long top cover portion.
上記底板は、長手方向と直交する断面の形状がL字状の断面形状をしており、
上記底板は、
平行な一辺と他辺からなる2辺を有する長尺の底部と、
底部の他辺から底部に対して傾斜して設けられた長尺の後面部と
を有し、
上記カバー板は、長手方向と直交する断面の形状がM字状の断面形状をしており、
上記カバー板は、
天カバー部の一辺から前面の空間を覆うように底部の一辺に向かって設けられた長尺の前カバー部と、
天カバー部の他辺から後面部を覆うように底部の他辺に向かって設けられた長尺の後カバー部と
を有することを特徴とする。
The bottom plate has an L-shaped cross-sectional shape orthogonal to the longitudinal direction,
The bottom plate
A long bottom having two sides consisting of a parallel side and the other side;
A long rear surface portion inclined from the other side of the bottom portion with respect to the bottom portion,
The cover plate has an M-shaped cross-sectional shape orthogonal to the longitudinal direction,
The cover plate
A long front cover provided toward one side of the bottom so as to cover the front space from one side of the top cover,
And a long rear cover portion provided toward the other side of the bottom portion so as to cover the rear surface portion from the other side of the top cover portion.
上記底板は、長手方向に、一対のガイド部を複数対、取り付け、
上記カバー板は、ガイド部が背中合わせに存在する部分に、背中合わせに存在する2個のガイド部を通過させるガイド孔を有し、
上記カバー板は、上記底板に対して、上記カバー板の両端側部と上記カバー板のガイド孔の中央側部とのみで溶接されていることを特徴とする。
The bottom plate has a plurality of pairs of guide portions attached in the longitudinal direction,
The cover plate has a guide hole through which the two guide portions existing in the back-to-back direction are passed in a portion where the guide portions exist in the back-to-back relationship,
The cover plate is welded to the bottom plate only at both end sides of the cover plate and a central side portion of the guide hole of the cover plate.
上記底板は、一対のガイド部の各ガイド部を取り付ける位置に凸部を有し、
上記一対のガイド部の各ガイド部は、
搬送物の側面を支持するサイド部と、
搬送物の前面を支持するとともに、風穴を有するフロント部と、
搬送物の後面を支持するとともに、風穴を有するリア部と、
上記サイド部とフロント部とリア部とのいずれかの下端に設けられ、上記底板の凸部が嵌め込まれる位置決め孔を有する床部と
を有することを特徴とする。
The bottom plate has a convex portion at a position where each guide portion of the pair of guide portions is attached,
Each guide part of the pair of guide parts is
A side part for supporting the side surface of the conveyed product;
A front part that supports the front surface of the conveyed product and has an air hole,
While supporting the rear surface of the conveyed product, a rear part having an air hole,
It has a floor part which has a positioning hole which is provided in the lower end in any one of the side part, the front part, and the rear part, and into which the convex part of the bottom plate is inserted.
上記サイド部は、搬送物の側面をガイド部内にガイドする舌部と、搬送物の側面をガイド部内でスライドさせるサイド板とを有し、
上記フロント部とリア部との間隔は、ガイド部の中央に向かって次第に広くなっており、
上記フロント部及びリア部の上辺は、ガイド部の中央に向かって、
舌部によってガイドされた搬送物をガイド部の中央方向にガイドする傾斜辺と、
搬送物の側端辺がスライドする水平辺と、
搬送物が引っかからないようにしたテーパ辺と
を有することを特徴とする。
The side portion includes a tongue portion that guides the side surface of the conveyed product into the guide portion, and a side plate that slides the side surface of the conveyed product within the guide portion,
The distance between the front part and the rear part gradually becomes wider toward the center of the guide part,
The upper side of the front part and the rear part toward the center of the guide part,
An inclined side for guiding the conveyance object guided by the tongue portion toward the center of the guide portion;
A horizontal side on which the side edge of the conveyed object slides,
And a tapered side that prevents the conveyed product from being caught.
上記カバー板のへこみ部の傾斜面同士のなす角度は、120度以上170度以下であることを特徴とする。 The angle formed by the inclined surfaces of the recessed portions of the cover plate is 120 degrees or more and 170 degrees or less.
上記カバー板のへこみ部の傾斜面同士のなす角度は、150度以上160度以下であることを特徴とする。 The angle formed by the inclined surfaces of the recessed portions of the cover plate is 150 degrees or more and 160 degrees or less.
また、本発明に係るウイケットコンベアは、
上記ウイケットをコンベアに複数取り付けて搬送物を搬送することを特徴とする。
Moreover, the wicket conveyor according to the present invention is
A plurality of the wickets are attached to a conveyor to convey a conveyed product.
また、本発明に係るウイケットコンベア乾燥装置は、
上記ウイケットコンベアを用いて搬送物を乾燥することを特徴とする。
Moreover, the wicket conveyor drying apparatus according to the present invention is
The conveyed product is dried using the wicket conveyor.
本発明に係るウイケットは、搬送物の底部を支持するへこみ部が有ることにより、軽量小型で薄型の搬送物が移動、ズレることがなく、搬送物を傷つけることなく搬送することが可能である。 Since the wicket according to the present invention has a dent portion that supports the bottom of the conveyed product, the light, small, and thin conveyed product does not move or shift, and can be conveyed without damaging the conveyed product.
以下、本発明の実施の形態について、図を用いて説明する。なお、各実施の形態の説明において、「上」、「下」、「左」、「右」、「前」、「後」、「表」、「裏」といった方向は、説明の便宜上、そのように記しているだけであって、装置、器具、部品等の配置や向き等を限定するものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the description of each embodiment, the directions such as “up”, “down”, “left”, “right”, “front”, “back”, “front”, “back” are However, it is not intended to limit the arrangement or orientation of devices, instruments, parts, or the like.
実施の形態1.
(ウイケットの構成)
図1は、ウイケット96の部分斜視図(分解図)である。
ウイケット96は、長手形状の底板53と複数のガイド対とカバー板30とを備える。図1においてカバー板30は取り外されている。なお、ガイド対とは、一対のガイド部(左ガイド部71及び右ガイド部81)のことである。
ウイケット96の底板53には、長手方向(行方向)に複数のガイド対が取り付けられている。ガイド対の数は限定されるものではない。
ガイド対は、底板53に直線上に設けられている。底板53は、底部55と後面部56とを有する。
底板53は、ボルト92により後述するチェーンコンベアに取り付けられる。そして、ウイケット96は、矢印Sの方向(列方向)にコンベアにより移動する。
(Composition of wickets)
FIG. 1 is a partial perspective view (exploded view) of the
The
A plurality of guide pairs are attached to the
The guide pair is provided on the
The
右ガイド部81は、右フロント部83と右リア部84と右サイド部82とによりコの字型の右ガイド溝88を構成している。この右ガイド溝88に搬送物が挿抜される。ここで、搬送物とは例えば、シリコンウェハなどの板状のものである。更に、右サイド部82は、右サイド板85と右舌部86(右ガイド片)とを有している。また、右フロント部83と右リア部84とは、風穴40を有している。この風穴40の数は限定されるものではない。
そして、右ガイド部81は、床部87を有している。床部87は、位置決め孔89aと位置決め孔89bとを有する。位置決め孔89aは、底部55に設けられた凸部80aと嵌合し、位置決め孔89bは、底部55に設けられた凸部80bと嵌合する。そして、位置決め孔89aと位置決め孔89bとの中央の溶接部41bにて、床部87と底部55とが溶接により固定される。
また、溶接部41aにて、右フロント部83と底部55とが溶接により固定されてもよい。
なお、右ガイド部81と底板53とを溶接する箇所が増えると、例えば底板53の変形が起こり易くなる為に、溶接する箇所は少ない方が望ましい。
そして、右ガイド部81と底板53とが溶接部41aと溶接部41bとの2カ所のみで溶接されることにより、溶接する箇所が最小で、かつ、右ガイド部81と底板53との接合強度が最大となる。
In the
The
Moreover, the right
In addition, when the location which welds the
The
左ガイド部71の構造は、右ガイド部81と同じである。すなわち、左ガイド部71も右ガイド部81と同様に、左フロント部73と左リア部74と左サイド部72とによりコの字型の左ガイド溝78を構成している。更に、左サイド部72は、左サイド板75と左舌部76(左ガイド片)とを有している。
そして、図示は省略するが、左ガイド部71も床部を有している。この底部の構造も右ガイド部81と同じである。左ガイド部71の床部と底部55とが溶接により固定される。また、溶接部41cにて、左フロント部73と底部55とが溶接により固定されてもよい。また、左フロント部73と左リア部74とは、風穴40を有している。
なお以降で説明の図2、図6、図7、図8において、床部、位置決め孔、凸部の図示は省略している。
The structure of the
And although illustration is abbreviate | omitted, the
In FIG. 2, FIG. 6, FIG. 7, and FIG. 8 described below, illustration of the floor portion, the positioning hole, and the convex portion is omitted.
すなわち、ガイド対は、底板53に固定される。そして、搬送物が支持される部分(空間)を支持スロット51と称する。
このように、支持スロット51は、左ガイド溝78と右ガイド溝88とが向かい合ったガイド対から構成されている。なお、以降、左ガイド溝78と右ガイド溝88とを総称して「ガイド溝」と記載する。これらの左ガイド部71と右ガイド部81は、前述の通り、底板53、即ち、底部55に溶接止めされている。そして、この溶接止めを補強するため、前カバー部34と左ガイド部71及び右ガイド部81の側部とが溶接止めされる。また、左ガイド部71と右ガイド部81の側部は溶接部41aと溶接部41cとで底部55に溶接されてもよい。
That is, the guide pair is fixed to the
As described above, the
カバー板30は、前カバー部34と後カバー部31と天カバー部36とを有する。天カバー部36も長手方向に長尺である。そして、天カバー部36は傾斜面32と傾斜面33とを有する。傾斜面32と傾斜面33とでへこみ部45が形成され、傾斜面32と傾斜面33とが接する部分が、へこみ部45のうち、中央の一番へこんでいる箇所である最深部35となる。
また、カバー板30は、ガイド孔44aとガイド孔44bとを有する。なお、ガイド孔44a及びガイド孔44b以外の図示を省略しているが、ガイド孔はガイド対と同じ数設けられる。図1に示すガイド孔44aは、背中合わせに存在する2個のガイド部(右ガイド部81a及び左ガイド部71b)を通過させる。ここで、背中合わせに存在する2個のガイド部とは、サイド部同士が対向して配置される2個のガイド部である。その為、カバー板30が底板53に装着された場合に、2個のガイド部が背中合わせに存在する部分に、カバー板30はガイド孔44aを有する。
また、カバー板30は平行な2辺(カバー辺28及びカバー辺29)を有する。
The
The
The
図2は、ウイケット96の組立後の部分斜視図である。
カバー板30は、底板53に固定される。より具体的には、カバー板30は、底板53に対して、カバー板30の両端側部とカバー板30のガイド孔44aの中央側部とガイド孔44bの中央側部とのみで溶接されている。
ここで、図2において、カバー板30の両端側部の溶接箇所は、溶接部42aと溶接部42bである。なお、図2では、カバー板30の両端側部のうちの一方の端のみ図示し、他方の端は図示を省略しているが、他方の端も同様である。
また、図2において、カバー板30のガイド孔44aの中央側部の溶接箇所は、溶接部42c及び溶接部42dとである。また、カバー板30のガイド孔44aの中央側部の溶接箇所は溶接部42e及び溶接部42fである。図2では、ガイド孔44a、ガイド孔44bのみを図示しているが、図示を省略しているガイド孔ごとに中央側部2ケ所が同様に溶接される。
前述と同様に、溶接する箇所が多いと例えば、カバー板30及び底板53の変形が生じ、ウイケット96の長手方向の直線性が悪くなる。その為、溶接する箇所は少ない方が好ましい。そして、カバー板30及び底板53の両端側部と、ガイド孔の中央側部のみで溶接されることにより、溶接する箇所が最小で、かつ、カバー板30と底板53との接合強度が最大となる。
そして、カバー板30の天カバー部36は、ガイド対(左ガイド部71及び右ガイド部81)の間にある底板53をカバーする。
FIG. 2 is a partial perspective view of the
The
Here, in FIG. 2, the welding location of the both ends side part of the
Moreover, in FIG. 2, the welding location of the center side part of the
As described above, if there are many locations to be welded, for example, the
The
1つの支持スロット51は、ガイド対(左ガイド部71及び右ガイド部81)と天カバー部36(へこみ部45)とにより構成されている。
前述の通り、ガイド対により形成されるガイド溝に搬送物61が挿抜される。すなわち、ガイド対は、搬送物61の挿抜をガイドし、搬送物61の側部(搬送物側部65)を支持する。
そして、ガイド対(左ガイド部71及び右ガイド部81)の間において、カバー板30が有するへこみ部45が長手方向に搬送物61の底部(搬送物底部63)を支持する。
左フロント部73と左リア部74は、ともに左サイド板75の面垂直方向から外側に約15度開いている。このように、15度開いて左フロント部73と左リア部74が取り付けられている理由は、ガイド溝によって支持される搬送物61が左フロント部73と左リア部74と面接触しないようにするためである。15度の角度をもって開いていることにより、左フロント部73又は左リア部74は、搬送物61と面接触することはなく、左フロント部73、左リア部74は、搬送物61の搬送物側部65と点で接触することになる。右フロント部83及び右リア部84も同様である。
より具体的には、図2に示す左フロント部73bは、搬送物61の側端辺66aと点で接触し、右フロント部83bは、搬送物61の側端辺66bと点で接触する。ここで、搬送物61の側端辺とは、搬送物61の搬送物側部65と搬送物61の前面(搬送物前面67)とが接する辺、もしくは、搬送物61の搬送物側部65と搬送物61の後面(搬送物後面68)とが接する辺である。
右フロント部83と搬送物61の側端辺66bとの点接触の例を改めて後述する。
なお、右フロント部83aと前カバー部34とは溶接部42mにて溶接される。ただし、右フロント部83と底部55とが前述の溶接部41aにて溶接されている場合は、溶接部42mにて溶接されなくてもよい。左フロント部73aと前カバー部34とは溶接部42nにて溶接される。ただし、右フロント部73aと底部55とが前述の溶接部41cにて溶接されている場合は、溶接部42nにて溶接されなくてもよい。
One
As described above, the conveyed
And between the guide pair (the
Both the left
More specifically, the
An example of point contact between the right
In addition, the right
(ウイケット96の取り付け状態)
図3は、ウイケット96の取り付け状態を示す側面図である。
ウイケット96は、列方向の間隔Kを例えば25.4mmとしてチェーンコンベアに取り付けられる。即ち、チェーンコンベアのチェーンは25.4mmのサイズで1つの単位を構成している。ウイケット96は、後ろ側に75度の角度で傾けられてチェーンベルトに取り付けられる。このように、ウイケット96が75度の傾斜をつけて取り付けられているのは、搬送物61の乾燥を効率よく行うためである。
(
FIG. 3 is a side view showing an attached state of the
The
(ウイケットコンベア乾燥装置99の説明)
図4は、ウイケットコンベア乾燥装置99の側面図である。
図5は、ウイケットコンベア乾燥装置99の平面図である。
(Description of wicket conveyor drying device 99)
FIG. 4 is a side view of the wicket
FIG. 5 is a plan view of the wicket
ウイケットコンベア乾燥装置99は、乾燥室95とウイケットコンベア98から構成されている。ウイケットコンベア98は、複数のウイケット96とコンベア97から構成されている。コンベア97は、チェーンコンベアを用いている。チェーンコンベアの各チェーンには、ウイケット96が1つずつ取り付けられている。即ち、コンベア97の周囲全体に複数のウイケット96が取り付けられ、コンベア97の循環移動によりウイケット96も循環移動し、搬送物61を搬送するようになっている。
挿入位置センサ93は、搬送物61の挿入位置を検出するために、コンベア97の側部に設けられている。挿入位置センサ93は、搬送物61が水平方向に挿入できるウイケット96の位置を検出する。即ち、図4に示すように、角度θ、或いは、高さHの部分にウイケット96がきたことを検出し、コンベア97を停止させる。搬送物61は、コンベア97が停止している間に支持スロット51に挿入される。
一方、搬送物61を支持スロット51から抜き取る場合には、抜去位置センサ94によりウイケット96が角度θ、或いは、高さHになったことを検出し、コンベア97を停止させる。コンベア97が停止している間に、搬送物61が抜き取られる。
挿入位置センサ93によるコンベア97の停止と抜去位置センサ94によるコンベア97の停止とは、それぞれ正確な挿抜ができるようにするために、個別に交互に行われる。
The wicket
The
On the other hand, when extracting the conveyed
The stop of the
乾燥室95の内部においては、搬送物61が熱風や温風や送風により乾燥される。
これらの乾燥のための気流の送風は、支持スロット51の上部から支持スロット51の下部に向かって、或いは、支持スロット51の下部から支持スロット51の上部に向かって行われる。このように、上下の方向に送風するのは、複数の搬送物61を均等に乾燥させるためである。左右方向(長手方向)から送風すると、両端の搬送物61が乾燥しやすくなり、中央部分の搬送物61が乾燥しにくいという欠点があるため、上下方向に送風することにより複数の搬送物61が均等に乾燥される。
さらに、左フロント部73及び左リア部74、右フロント部83及び右リア部84は、風穴40を有しており、気流が風穴40を通ることにより、搬送物61が乾燥しやすくなる。
Inside the drying
The airflow for drying is blown from the upper part of the
Furthermore, the left
(ウイケット96の詳細説明)
図6は、ウイケット96の全体図である(図6の(a)は平面図、図6の(b)は正面図)。
図7は、支持スロット51と搬送物61とを示す図である(図7の(a)は平面図、図7の(b)は正面図、図7の(c)は搬送物61の側面図)。
図8は、支持スロット51の平面図である。
なお、図6の(b)は、搬送物61がガイド溝に挿入されたまま、ウイケット96が水平に傾けられた状態である。すなわち、図4において、角度θ、或いは、高さHの部分にウイケット96がある状態と同じである。
(Detailed explanation of wicket 96)
6 is an overall view of the wicket 96 (FIG. 6A is a plan view and FIG. 6B is a front view).
FIG. 7 is a view showing the
FIG. 8 is a plan view of the
FIG. 6B shows a state in which the
図6の(b)に示すように、1つのウイケット96には、長手方向に4つの支持スロット51(ガイド対)が設けられている。即ち、1つのウイケット96で4つの搬送物61を搬送することができる。なお、前述の通り、1つのウイケット96に設けられる支持スロット51(ガイド対)の数は限定されるものではない。
ネジ孔90は、例えば図1のボルト92が嵌めこまれる孔である。
右舌部86は、図6の(b)に示すように、右サイド板85の面から外側上方に15度開いた格好で取り付けられている。このように、右舌部86が外側上方に開いているのは、搬送物61がガイド溝に入りやすいように搬送物61の挿入時に、搬送物61の挿入位置を調整するためである。左舌部76も同様である。
すなわち、左舌部76と右舌部86とは、搬送物61の搬送物側部65をガイド部内(ガイド溝内)にガイドする。
また、ウイケット96が傾いて、搬送物61がガイド部内で移動する場合などに、左サイド板75の表面を搬送物61の搬送物側部65がスライドする。すなわち、左サイド板75は、搬送物61の搬送物側部65をガイド部内でスライドさせる。右サイド板85も同様である。
As shown in FIG. 6B, one
The
As shown in FIG. 6B, the
That is, the
Further, when the
更に、右フロント部83の上辺は、支持スロット51(ガイド対)の中央に向かって、傾斜辺39と水平辺38とテーパ辺37とを有する。左フロント部73、左リア部74、右リア部84も同様であり、ここでは、右フロント部83を例に説明する。
搬送物61が支持スロット51(ガイド対)に挿入される場合に、右舌部86によってガイドされた搬送物61は、側端辺66bが傾斜辺39によってスライドして、支持スロット51(ガイド対)の中央方向に移動する。すなわち、傾斜辺39は、右舌部86によってガイドされた搬送物61を支持スロット51(ガイド対)の中央方向にガイドする。
また、振動などにより、搬送物61が支持スロット51内(ガイド対内)で長手方向に移動する場合に、搬送物61の側端辺66bが水平辺38にあたりながらスライドする。すなわち、水平辺38は、搬送物61の側端辺66bがスライドする辺である。
Further, the upper side of the
When the transported
Further, when the conveyed
ここで、図7を用いて、搬送物61がスライドする様子を説明する。
図7(a)は、図6の(a)の支持スロット51と同じものである。
そして、図7の(c)では、搬送物61と天カバー部36のみを図示している。図7の(c)は、図7の(a)の側面図である。
図7の(c)に示すように、搬送物61の搬送物底部63は、へこみ部45によって支持されている。そして、ウイケット96が水平に傾けられることによって、搬送物61はフロント側(右フロント部83側)に傾いている。
そして、図7の(a)の搬送物61の斜線部分は、図7の(b)及び図7の(c)のD−D箇所の断面を図示している。そして、搬送物61がフロント側に傾いていることにより図7の(a)において搬送物後面68が見える状態になっている。
なお、図6の(a)の搬送物61も同様である。
Here, a state in which the conveyed
FIG. 7A is the same as the
In FIG. 7C, only the conveyed
As shown in FIG. 7C, the conveyed
And the shaded part of the conveyed
The same applies to the conveyed
そして、例えば、図7の(a)もしくは図7の(b)に示すように、搬送物61が支持スロット51の中心ではなく、右ガイド部81側にずれて挿入された場合でも、例えば搬送中の振動などによって、搬送物61の側端辺66bが傾斜辺39によって、図7の(a)もしくは図7の(b)に示す黒矢印の方向にスライドする。そして、搬送物61の側端辺66bは、水平辺38の部分に移動する。
For example, as shown in (a) of FIG. 7 or (b) of FIG. 7, even when the conveyed
なお、図6の(b)に示すように、左ガイド部71の水平辺38と右ガイド部81の水平辺38との内側端点距離(最短距離)Nは、搬送物61の幅Iよりも小さく、左ガイド部71の水平辺38と右ガイド部81の水平辺38との外側端点距離(最長距離)Mは、搬送物61の幅Iよりも大きい。これにより、搬送物61の側端辺66aは、左ガイド部71の水平辺38の範囲内に収まり、搬送物61の側端辺66bは、右ガイド部81の水平辺38の範囲内に収まる。
6B, the inner end point distance (shortest distance) N between the
また、テーパ辺37は、搬送物61が支持スロット51(ガイド対)に挿入される場合などに、搬送物61が引っかからないように、右フロント部83の角が面取りされた部分である。これにより、搬送物61に傷がつきにくくなる。
Further, the tapered
図6の(b)に示すように、左ガイド部71と右ガイド部81の距離Gは、搬送物61の幅Iよりも小さい。また、左サイド板75と右サイド板85の間隔Jは、搬送物61の幅Iよりも大きい。
また、図6の(a)に示すように、左サイド板75と右サイド板85の幅Wは、搬送物61の厚さよりも広い。このようにして、左ガイド部71と右ガイド部81で作られるガイド溝は、搬送物61の幅と厚さよりも余裕のあるものとなる。即ち、搬送物61は、左ガイド部71と右ガイド部81により固定されているのではなく、余裕を持って保持されている状態となる。従って、搬送物61が支持スロット51(ガイド対)に挿入された時点、或いは、搬送されている時点においては、搬送物61が支持スロット51(ガイド対)に対して斜めの状態(図7で説明の状態)、或いは、ねじれた状態で保持されている場合がある。或いは、コンベアの移動とともに、その振動を受けて搬送物61が支持スロット51(ガイド対)の内部で移動する場合がある。
As shown in FIG. 6B, the distance G between the
Further, as shown in FIG. 6A, the width W of the
図6の(b)に示すように、左ガイド部71と右ガイド部81との高さEは、搬送物61の高さFの50%以上あればよい。しかし、搬送物61の高さF以上に左ガイド部71と右ガイド部81との高さEがある必要はなく、左ガイド部71と右ガイド部81の高さEは、搬送物61の高さFの70%前後が望ましい。その理由は、搬送物61の挿入及び抜き取りが容易になること、及び、左ガイド部71と右ガイド部81による乾燥妨害が少なくなることからである。
As shown in FIG. 6B, the height E between the
また、左ガイド部71と右ガイド部81の高さEは、搬送物61の高さFの70%前後が望ましいのは、搬送物61が取り出されるとき、左フロント部73、右フロント部83に搬送物61の搬送物側部65が確実に点接触できるようにするためである。
改めて、図7を用いて、右フロント部83と搬送物61の側端辺66bとの点接触の例を説明する。なお、右リア部84及び左フロント部73及び左リア部74も同様である。
図7の(a)に示すように、右フロント部83と搬送物61の側端辺66bとが接触箇所T(破線の丸部b)で接触している。なお、前述の通り、図7の(a)の搬送物61の斜線部分は図7の(b)及び図7の(c)のD−D箇所の断面を図示しており、図7の(b)及び図7の(c)に示すように、搬送物61は、接触箇所Tよりも高く突き出している。
そして、図7の(a)の平面図で見ても、図7の(c)の側面図で見ても、接触箇所Tは1点であり、搬送物61(搬送物側部65もしくは側端辺66b)が右フロント部83(右フロント部83の傾斜辺39)と点接触していることが分かる。
点接触する理由は、搬送物61の下端(搬送物底部63)が天カバー部36のV字(へこみ部45)の中央に有るからである。この天カバー部36のV字(へこみ部45)が無ければ、搬送物61の側端辺66bは、右フロント部83と線接触になる可能性がある。
The height E of the
Again, an example of point contact between the
As shown to (a) of FIG. 7, the right
7A and 7C, the contact point T is one point, and the transported object 61 (the transported
The reason for the point contact is that the lower end (conveyed object bottom 63) of the conveyed
図6の(b)は、搬送物61が支持スロット51(ガイド対)に斜めに挿入された状態(搬送物61の側端辺66aが左フロント部73に点接触しており、搬送物61の側端辺66bが右フロント部83に点接触している状態)である。他に、搬送物61が支持スロット51(ガイド対)に斜めに挿入された状態として、搬送物61がガイド溝にねじれたまま挿入されている状態も想定される。
そして、搬送物61が支持スロット51(ガイド対)に斜めに挿入された状態で搬送された場合に、搬送物61の搬送物側部65とガイド溝との摩擦により、或いは、搬送物61の搬送物底部63と底部55との摩擦により搬送物61が斜めに挿入されたまま(ねじれて挿入されたまま)抜き取られようとすると、抜き取り装置の構造によっては抜き取ることができない場合がある。このため、搬送物61の上部をなるべく(搬送物61の高さFの30%〜50%)露出させておき、ウイケット96が図4の矢印Dのように水平方向に傾いてきた場合には、搬送物61の上部の自重により搬送物61が自動的に左フロント部73、右フロント部83に点接触するようにする。
こうして、搬送物61は、全て支持スロット内の同位置にくるので、抜き取りに失敗がなくなる。
6B shows a state in which the conveyed
And when the conveyed
In this way, all of the conveyed
図8に示すように、左フロント部73と左リア部74とは、ともに左サイド板75の面垂直方向から外側に約15度開いている。同様に右フロント部83と右リア部84とは、ともに右サイド板85の面垂直方向から外側に約15度開いている。
すなわち、左フロント部73と左リア部74との間隔は、ガイド対の中央に向かって次第に広くなっている。右フロント部83と右リア部84との間隔も同様である。
As shown in FIG. 8, both the
That is, the distance between the
また、ガイド対に左サイド部72(左サイド板75)と右サイド部82(右サイド板85)とを設けているのは、挿入された搬送物61が左右に移動して隣の搬送物61と重ならないようにするためである。1つのウイケットで1つの基板を搬入する場合は、隣り合う基板同士が重なってしまう恐れがないため、左サイド部72(左サイド板75)と右サイド部82(右サイド板85)とを設ける必要がなかった。
すなわち、左サイド部72と右サイド部82とは、搬送物61の側面(搬送物側部65)を支持する。
Further, the left side portion 72 (left side plate 75) and the right side portion 82 (right side plate 85) are provided in the guide pair because the inserted transported
That is, the
また、ガイド対に左リア部74、右リア部84を設けているのは、挿入された搬送物61が後ろ側に倒れないようにするためである。すなわち、左リア部74と右リア部84とは、搬送物61の搬送物後面68を支持する。
また、ガイド対に左フロント部73、右フロント部83を設けているのは、挿入した搬送物61が前方に倒れないようにするためである。特に、図4の矢印Dに示すように、回転によりウイケット96が前方に倒れかけてきた場合に、ウイケット96が抜去位置センサ94により水平になることが検出されるまでの間、搬送物61が前方に落下してしまうことを防止している。左フロント部73、右フロント部83がなければ、搬送物61は、約90度垂直方向から水平方向に回転して落下することになる。シリコンウェハのように薄い基板が、90度回転して落下した場合には、基板が破損する可能性がある。この基板の破損を防ぐために、左フロント部73と右フロント部83とにより基板の前方落下を防止しているのである。すなわち、左フロント部73と右フロント部83とは、搬送物61の搬送物前面67を支持する。
大型の基板を搬送するウイケットの場合には、基板が壊れることを余り意識していなかった。従って、基板を前方で支えるという考えはなかった。
Further, the reason why the left
Further, the reason why the
In the case of a wicket that transports a large substrate, it was not much aware that the substrate would break. Therefore, there was no idea of supporting the substrate in the front.
(カバー板30の説明)
図9は、カバー板30の組立前の板金を示す図である。
例えば、図1のカバー板30の折れ曲がり部分を全て平らにしたものが図9に示すカバー板30である。
カバー板は、前述の通り、後カバー部31、天カバー部36(傾斜面32及び傾斜面33)、前カバー部34、ガイド孔44を有する。
そして、天カバー部36は、平行な2辺(カバー辺28及びカバー辺29)を有する。
また、前カバー部34は、長手方向に長尺であり、天カバー部36の一辺(カバー辺29)から設けられている。また、後カバー部31は、長手方向に長尺であり、天カバー部36の他辺(カバー辺28)から設けられている。
(Description of cover plate 30)
FIG. 9 is a view showing the sheet metal before the
For example, the
As described above, the cover plate includes the
The
Further, the
(底板53の説明)
図10は、底板53の組立前の板金を示す図である。
例えば、図1の底板53の折れ曲がり部分を全て平らにしたものが図10に示す底板53である。
底板53は前述の通り、底部55、後面部56を有する。
底部55は、長手方向に長尺であり、平行な2辺(底板辺58及び底板辺59)を有する。換言すると、底部55は、平行な、一辺(底板辺59)と他辺(底板辺58)からなる2辺を有する。
また、後面部56は、長手方向に長尺であり、底部55の他辺(底板辺58)から設けられている。
更に、底部55(底板53)は、各ガイド部(左ガイド部71及び右ガイド部81)を取り付ける位置に凸部80を有する。
(Description of bottom plate 53)
FIG. 10 is a view showing a sheet metal before the
For example, the
The
The bottom 55 is elongated in the longitudinal direction and has two parallel sides (a
Further, the
Furthermore, the bottom part 55 (bottom plate 53) has the convex part 80 in the position which attaches each guide part (the
(ガイド部の説明)
図11は、右ガイド部81の組立前の板金を示す図である。
例えば、図1の右ガイド部81の折れ曲がり部分を全て平らにしたものが図11に示す右ガイド部81である。
ここでは、右ガイド部81を例に説明を進めるが、左ガイド部71も同様である。
右ガイド部81は、前述の通り、右サイド部82(右サイド板85及び右舌部86)、右フロント部83、右リア部84、床部87を有する。
床部87は、底部55に設けられた凸部80aが嵌め込まれる位置決め孔89aと、底部55に設けられた凸部80bが嵌め込まれる位置決め孔89bとを有する。
そして、図11の例では、床部87は、右リア部84の下端に設けられているが、床部87は、右サイド部82と右フロント部83と右リア部84とのいずれかの下端に設けられていればよい。
そして、溶接部41bにて床部87と底板53の底部55とが溶接される。
(Description of guide section)
FIG. 11 is a diagram illustrating the sheet metal before the
For example, the
Here, the description is given by taking the
As described above, the
The
In the example of FIG. 11, the
And the
(ウイケット96の断面形状の説明)
図12は、ウイケット96の断面を示す図である。
図6のA−A断面を示したものが図12である。ここでA−A断面は、ウイケット96の長手方向と直交する断面である。
底板53は、底部55と後面部56とにより、L字状の断面形状をしている。
底部55に対する後面部56の傾斜は、「180度−75度=105度」である。
(Description of cross-sectional shape of wicket 96)
FIG. 12 is a view showing a cross section of the
FIG. 12 shows an AA cross section of FIG. Here, the AA cross section is a cross section orthogonal to the longitudinal direction of the
The
The inclination of the
一方、カバー板30は、後カバー部31と天カバー部36(傾斜面32及び傾斜面33)と前カバー部34とによりM字状の断面形状をしている。
そして、天カバー部36(傾斜面32及び傾斜面33)は、V字状の断面形状をしている。なお、天カバー部36の断面形状はU字状であってもよい。すなわち、天カバー部36によりへこみ部45が形成されればよい。
前カバー部34は天カバー部36の一片(カバー辺29)から前面の空間100を覆うように底部55の一辺(底板辺59)に向かって設けられ、後カバー部31は天カバー部36の他辺(カバー辺28)から後面部56を覆うように底部55の他辺(底板辺58)に向かって設けられている。後カバー部31は、前カバー部34よりも高さが低い。
そして、天カバー部36(傾斜面32及び傾斜面33)によりへこみ部45が形成されている。傾斜面32と傾斜面33とは角度φをなす。
また、傾斜面33は、底部55と平行な面(水平面)に対して、角度αをなし、傾斜面32は、底部55と平行な面に対して、角度βをなす。角度βは0(ゼロ)度以上であり、角度αは角度βよりも大きい。すなわち、「角度α>角度β>0(ゼロ)」の関係である。
角度βが0(ゼロ)度以上であることにより、搬送物61がリア側(右リア部84)にズレにくくなる。
On the other hand, the
And the top cover part 36 (the
The
And the
The
When the angle β is equal to or greater than 0 (zero) degrees, the conveyed
図13は、ウイケット96の断面を示す図である。
図6のB−B断面を示したものが図13である。
底部55に設けられた凸部80aが位置決め孔89aに嵌め込まれる。
FIG. 13 is a view showing a cross section of the
FIG. 13 shows a cross section taken along line BB in FIG.
A
図14は、天カバー部36の角度φが鋭角の場合を示す図である。
図15は、天カバー部36の角度φが鈍角の場合を示す図である。
図14と図15とは、図6のC−C断面に対応する。
図14と図15とに示すように、へこみ部45は搬送物61の搬送物底部63を支持する。
そして、コンベア97によりウイケット96が搬送される際に、ウイケット96内の搬送物61は振動もしくは移動する。そして、角度φが鋭角の場合(図14)、搬送物61と天カバー部36との摩擦が大きくなり、搬送物61の搬送物底部63にクラックが発生しやすくなる。特に、搬送物61の底端辺69aと底端辺69bとでクラックが発生しやすくなる。
一方、角度φが鈍角の場合(図15)、搬送物61と天カバー部36との摩擦が緩和され、クラックの発生を防止することが可能である。
具体的には、角度φは、120度以上170度以下であればよい。更には、角度φは、150度以上160度以下であることが望ましい。そして、角度φは、154度であることが最適である。
FIG. 14 is a diagram illustrating a case where the angle φ of the
FIG. 15 is a diagram illustrating a case where the angle φ of the
14 and 15 correspond to the CC cross section of FIG.
As shown in FIG. 14 and FIG. 15, the
And when the
On the other hand, when the angle φ is an obtuse angle (FIG. 15), the friction between the conveyed
Specifically, the angle φ may be 120 degrees or more and 170 degrees or less. Furthermore, the angle φ is desirably 150 degrees or greater and 160 degrees or less. The angle φ is optimally 154 degrees.
図16は、最深部35が天カバー部36の中心から偏移している例を示す図である。
図16に示すように、最深部35は天カバー部36の中心から偏移していてもよい。例えば、最深部35は天カバー部36の中心からフロント側(右フロント部83側)に偏移していてもよい。このようにすることで、搬送物61はリア側(右リア部84側)に傾きやすくなる。そして、全ての支持スロット51において、搬送物61がリア側に傾いていれば(搬送物61の傾き方向が統一されていれば)、搬送物61の抜き取り作業がしやすくなる。
FIG. 16 is a diagram illustrating an example in which the
As shown in FIG. 16, the
(実施の形態1の効果)
ウイケット96が搬送物61の搬送物底部63を支持するへこみ部45を有することにより、軽量小型で薄型の搬送物61が支持スロット51内で移動、ズレることがない。そして、搬送物61を支持スロット51内で傷つけることなく搬送することが可能である。
また、カバー板30の後カバー部31と前カバー部34とが、支持スロットと支持スロットとの間にも有ることにより、ウイケット96全体が補強され、ウイケット96のねじれなどの変形が起こりにくくなる。
(Effect of Embodiment 1)
Since the
Further, since the
上記実施の形態では、ウイケット96が4つの支持スロット51(ガイド対)を有している場合を示したが、2以上の支持スロット51(ガイド対)があればよい。
また、この実施の形態においては、底板53が底部55を兼ねる場合を示したが、底板53以外に底部55を別途設けても構わない。
また、ウイケット96の材料は、乾燥室95の熱に耐えうるものであればどのようなものでもよいが、特にステンレスを用いることが望ましい。ステンレスは錆びにくいし、また、基板の挿抜の際に基板の側部との摩擦が小さいので、挿抜がしやすいという利点がある。
Although the case where the
Further, in this embodiment, the case where the
The material of the
また、この実施の形態では、チェーンコンベアを用いる場合を示したが、他のコンベアを用いる場合でも構わない。
また、この実施の形態では、乾燥装置の場合を示したが、洗浄装置や塗布装置や、単なる搬送装置の場合であっても構わない。
また、この実施の形態では、シリコンウェハを搬送する場合を示したが、セラミック基板やプリント基板やその他の基板を搬送する場合でもよいし、その他の金属板やプラスチック板や樹脂板等を支持スロット51(ガイド対)に挿入可能なものであればどのようなものを扱うものであっても構わない。
また、搬送物の形状も、矩形のものに限らず、多角形や円形やその他複雑な形状をしたものでもよい。
In this embodiment, the case where a chain conveyor is used is shown, but another conveyor may be used.
In this embodiment, the case of a drying device is shown, but a case of a cleaning device, a coating device, or a simple conveying device may be used.
In this embodiment, the silicon wafer is transported. However, a ceramic substrate, a printed circuit board, or another substrate may be transported, or another metal plate, plastic plate, resin plate, or the like may be supported. Anything can be used as long as it can be inserted into 51 (guide pair).
Further, the shape of the conveyed product is not limited to a rectangular shape, but may be a polygonal shape, a circular shape, or other complicated shapes.
実施の形態2.
本実施の形態について、主に実施の形態1との差異を説明する。
図17は、ウイケット96の部分斜視図(分解図)である。
実施の形態2のウイケット96は、カバー板30のみが実施の形態1と異なる。
実施の形態2のカバー板30は、左ガイド部71と右ガイド部81との間にのみ固定される。そして、1つのウイケット96に対し、支持スロット51(ガイド対)の個数と同じ個数のカバー板30が設けられる。
そして、カバー板30は、前カバー部34と前面部54とが少なくとも1ケ所溶接され、後カバー部31と後面部56とが少なくとも1ケ所溶接されることで底板53に固定される。
このような構成においても、ウイケット96が搬送物61の搬送物底部63を支持するへこみ部45を有することにより、軽量小型で薄型の搬送物61が移動、落下することがない。そして、搬送物61を破壊することなく搬送することが可能である。
Embodiment 2. FIG.
In the present embodiment, differences from the first embodiment will be mainly described.
FIG. 17 is a partial perspective view (exploded view) of the
The
The
The
Even in such a configuration, the
実施の形態3.
本実施の形態について、主に実施の形態1との差異を説明する。
図18は、カバー板30を示す図である。
実施の形態3のウイケット96は、カバー板30のみが実施の形態1と異なる。
実施の形態3のカバー板30は、左ガイド部71の左ガイド溝78と右ガイド部81の右ガイド溝88とが合致する形状のガイド孔44を有する。
換言すると、天カバー部36が左ガイド部71と右ガイド部81とに合致する形状である。
天カバー部36(ガイド孔44)がこのような形状であることによって、搬送物61の搬送物底部63を支持する長さが長くなる。その為、天カバー部36から搬送物61に加わるストレスが分散されるとともに、搬送物61が安定して支持される。
また、天カバー部36(ガイド孔44)がこのような形状であることにより、カバー板30を底板53に固定した際に、左ガイド部71(左サイド部72、左フロント部73、左リア部74)と右ガイド部81(右サイド部82、右フロント部83、右リア部84)とが変形しにくくなる。換言すると、左ガイド溝78と右ガイド溝88とが変形しにくくなる。また、左ガイド部71と右ガイド部81とに加わるストレスが、カバー板30にも分散される。
そして、より安定して搬送物61を搬送することが可能である。
Embodiment 3 FIG.
In the present embodiment, differences from the first embodiment will be mainly described.
FIG. 18 is a view showing the
The
The
In other words, the
Since the top cover part 36 (guide hole 44) has such a shape, the length for supporting the conveyed
Further, since the top cover portion 36 (guide hole 44) has such a shape, when the
And it is possible to convey the conveyed
実施の形態4.
本実施の形態について、主に実施の形態1との差異を説明する。
図19は、ウイケットの部分斜視図(分解図)である。
図20は、ウイケット96の断面を示す図である。
実施の形態1で説明した図12と同様に、図20は、ウイケット96の長手方向と直交する断面を示す。後述の図21〜図27も同様である。
実施の形態1の底板53は、底部55と後面部56とにより、L字状の断面形状をしているが、図19と図20とに示すように、底板53は、底板53は、底部55と後面部56とにより、コ字状の断面形状をしていてもよい。すなわち、底板53は、底部55と前面部54と後面部56とを有していてもよい。前面部54は、長手方向に長尺であり、底部55の一辺(底板辺59)から設けられている。
前面部54は、所定の高さで底部55に対して傾斜して設けられている。また、後面部56は、前面部54よりも高さが低く、底部55に対して傾斜して設けられている。
底部55に対する前面部54の傾斜は、図3に示すウイケット96の傾斜(75度)とも略同等である。
前面部54は、底板53が曲げられて形成される。そして、前面部54と左ガイド部71及び右ガイド部81の側部とが溶接止めされてもよい。
このような構成にすることで、ウイケット96の強度が向上する。
Embodiment 4 FIG.
In the present embodiment, differences from the first embodiment will be mainly described.
FIG. 19 is a partial perspective view (exploded view) of a wicket.
FIG. 20 is a view showing a cross section of the
Similar to FIG. 12 described in the first embodiment, FIG. 20 shows a cross section orthogonal to the longitudinal direction of the
The
The
The inclination of the
The
With such a configuration, the strength of the
図21は、ウイケット96の断面を示す図である。
図21に示すように、底板53は、底板53は、底部55と前面部54とにより、L字状の断面形状をしていてもよい。
FIG. 21 is a view showing a cross section of the
As shown in FIG. 21, the
図22は、ウイケット96の断面を示す図である。
図22に示すように、底板53は、底部55のみで構成されていてもよい。
FIG. 22 is a view showing a cross section of the
As shown in FIG. 22, the
図23は、ウイケット96の断面を示す図である。
図23に示すように、カバー板30は、天カバー部36と後カバー部31とにより構成されていてもよい。
FIG. 23 is a view showing a cross section of the
As shown in FIG. 23, the
図24は、ウイケット96の断面を示す図である。
図24に示すように、カバー板30は、天カバー部36と前カバー部34とにより構成されていてもよい。
FIG. 24 is a view showing a cross section of the
As shown in FIG. 24, the
図25は、ウイケット96の断面を示す図である。
図25に示すように、カバー板30は、天カバー部36のみで構成されていてもよい。
FIG. 25 is a view showing a cross section of the
As shown in FIG. 25, the
図26は、ウイケット96の断面を示す図である。
図26に示すように、底板53は、後面部56と底部55とから構成され、かつ、カバー板30は、天カバー部36と前カバー部34とから構成されていてもよい。
FIG. 26 is a view showing a cross section of the
As shown in FIG. 26, the
図27は、ウイケット96の断面を示す図である。
図27に示すように、底板53は、前面部54と底部55とから構成され、かつ、カバー板30は、天カバー部36と後カバー部31とから構成されていてもよい。
FIG. 27 is a view showing a cross section of the
As shown in FIG. 27, the
以上、本発明の実施の形態について説明したが、これらの実施の形態のうち、2つ以上を組み合わせて実施しても構わない。あるいは、これらの実施の形態のうち、1つを部分的に実施しても構わない。あるいは、これらの実施の形態のうち、2つ以上を部分的に組み合わせて実施しても構わない。なお、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, you may implement in combination of 2 or more among these embodiment. Alternatively, one of these embodiments may be partially implemented. Alternatively, two or more of these embodiments may be partially combined. In addition, this invention is not limited to these embodiment, A various change is possible as needed.
28 カバー辺、29 カバー辺、30 カバー板、31 後カバー部、32 傾斜面、33 傾斜面、34 前カバー部、35 最深部、36 天カバー部、37 テーパ辺、38 水平辺、39 傾斜辺、40 風穴、41〜42 溶接部、44 ガイド孔、45 へこみ部、51 支持スロット、53 底板、54 前面部、55 底部、56 後面部、58 底板辺、59 底板辺、61 搬送物、63 搬送物底部、65 搬送物側部、66 側端辺、67 搬送物前面、68 搬送物後面、69 底端辺、71 左ガイド部、72 左サイド部、73 左フロント部、74 左リア部、75 左サイド板、76 左舌部、78 左ガイド溝、80 凸部、81 右ガイド部、82 右サイド部、83 右フロント部、84 右リア部、85 右サイド板、86 右舌部、87 床部、88 右ガイド溝、89 位置決め孔、90 ネジ孔、92 ボルト、93 挿入位置センサ、94 抜去位置センサ、95 乾燥室、96 ウイケット、97 コンベア、98 ウイケットコンベア、99 ウイケットコンベア乾燥装置、100 空間。 28 Cover Side, 29 Cover Side, 30 Cover Plate, 31 Rear Cover Part, 32 Inclined Surface, 33 Inclined Surface, 34 Front Cover Part, 35 Deepest Part, 36 Top Cover Part, 37 Tapered Side, 38 Horizontal Side, 39 Inclined Side , 40 Air hole, 41 to 42 welded portion, 44 guide hole, 45 dent portion, 51 support slot, 53 bottom plate, 54 front surface portion, 55 bottom portion, 56 rear surface portion, 58 bottom plate side, 59 bottom plate side, 61 transported object, 63 transport Object bottom, 65 Transported object side, 66 Side edge, 67 Transported object front, 68 Transported object rear surface, 69 Bottom edge, 71 Left guide part, 72 Left side part, 73 Left front part, 74 Left rear part, 75 Left side plate, 76 Left tongue, 78 Left guide groove, 80 Convex portion, 81 Right guide portion, 82 Right side portion, 83 Right front portion, 84 Right rear portion, 85 Right side plate, 86 Right tongue, 87 floor, 88 right guide groove, 89 positioning hole, 90 screw hole, 92 bolt, 93 insertion position sensor, 94 removal position sensor, 95 drying chamber, 96 wickets, 97 conveyor, 98 wicket conveyor, 99 Wicket conveyor drying device, 100 spaces.
Claims (10)
底板に固定され、搬送物の挿抜をガイドし搬送物の側部を支持する一対のガイド部と、
一対のガイド部の間にある底板をカバーするとともに、一対のガイド部の間において長手方向に搬送物の底部を支持するへこみ部を有するカバー板と
を備えたことを特徴とするウイケット。 A long bottom plate;
A pair of guide portions that are fixed to the bottom plate, guide the insertion / extraction of the conveyed product, and support the side portion of the conveyed product;
A wicket comprising a cover plate that covers a bottom plate between a pair of guide portions and has a dent portion that supports a bottom portion of a conveyed product in a longitudinal direction between the pair of guide portions.
長手方向と直交する断面の形状がV字状又はU字状の長尺の天カバー部を有することを特徴とする請求項1記載のウイケット。 The cover plate
The wicket according to claim 1, wherein the wicket has a long top cover portion having a V-shaped or U-shaped cross section perpendicular to the longitudinal direction.
上記底板は、
平行な一辺と他辺からなる2辺を有する長尺の底部と、
底部の他辺から底部に対して傾斜して設けられた長尺の後面部と
を有し、
上記カバー板は、長手方向と直交する断面の形状がM字状の断面形状をしており、
上記カバー板は、
天カバー部の一辺から前面の空間を覆うように底部の一辺に向かって設けられた長尺の前カバー部と、
天カバー部の他辺から後面部を覆うように底部の他辺に向かって設けられた長尺の後カバー部と
を有することを特徴とする請求項2記載のウイケット。 The bottom plate has an L-shaped cross-sectional shape orthogonal to the longitudinal direction,
The bottom plate
A long bottom having two sides consisting of a parallel side and the other side;
A long rear surface portion inclined from the other side of the bottom portion with respect to the bottom portion,
The cover plate has an M-shaped cross-sectional shape orthogonal to the longitudinal direction,
The cover plate
A long front cover provided toward one side of the bottom so as to cover the front space from one side of the top cover,
The wicket according to claim 2, further comprising a long rear cover portion provided toward the other side of the bottom portion so as to cover the rear surface portion from the other side of the top cover portion.
上記カバー板は、ガイド部が背中合わせに存在する部分に、背中合わせに存在する2個のガイド部を通過させるガイド孔を有し、
上記カバー板は、上記底板に対して、上記カバー板の両端側部と上記カバー板のガイド孔の中央側部とのみで溶接されていることを特徴とする請求項1〜3いずれかに記載のウイケット。 The bottom plate has a plurality of pairs of guide portions attached in the longitudinal direction,
The cover plate has a guide hole through which the two guide portions existing in the back-to-back direction are passed in a portion where the guide portions exist in the back-to-back relationship,
The said cover plate is welded only with the both ends side part of the said cover plate, and the center side part of the guide hole of the said cover plate with respect to the said baseplate. Wickets.
上記一対のガイド部の各ガイド部は、
搬送物の側面を支持するサイド部と、
搬送物の前面を支持するとともに、風穴を有するフロント部と、
搬送物の後面を支持するとともに、風穴を有するリア部と、
上記サイド部とフロント部とリア部とのいずれかの下端に設けられ、上記底板の凸部が嵌め込まれる位置決め孔を有する床部と
を有することを特徴とする請求項1〜4いずれかに記載のウイケット。 The bottom plate has a convex portion at a position where each guide portion of the pair of guide portions is attached,
Each guide part of the pair of guide parts is
A side part for supporting the side surface of the conveyed product;
A front part that supports the front surface of the conveyed product and has an air hole,
While supporting the rear surface of the conveyed product, a rear part having an air hole,
The floor part which has a positioning hole which is provided in the lower end in any one of the said side part, a front part, and a rear part, and the convex part of the said baseplate is fitted is characterized by the above-mentioned. Wickets.
上記フロント部とリア部との間隔は、ガイド部の中央に向かって次第に広くなっており、
上記フロント部及びリア部の上辺は、ガイド部の中央に向かって、
舌部によってガイドされた搬送物をガイド部の中央方向にガイドする傾斜辺と、
搬送物の側端辺がスライドする水平辺と、
搬送物が引っかからないようにしたテーパ辺と
を有することを特徴とする請求項5記載のウイケット。 The side portion includes a tongue portion that guides the side surface of the conveyed product into the guide portion, and a side plate that slides the side surface of the conveyed product within the guide portion,
The distance between the front part and the rear part gradually becomes wider toward the center of the guide part,
The upper side of the front part and the rear part toward the center of the guide part,
An inclined side for guiding the conveyance object guided by the tongue portion toward the center of the guide portion;
A horizontal side on which the side edge of the conveyed object slides,
6. The wicket according to claim 5, further comprising a tapered side which prevents the conveyed product from being caught.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014101155A true JP2014101155A (en) | 2014-06-05 |
JP6059966B2 JP6059966B2 (en) | 2017-01-11 |
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---|---|
JP (1) | JP6059966B2 (en) |
Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
WO2018173221A1 (en) * | 2017-03-23 | 2018-09-27 | マイクロ・テック株式会社 | Wicket, wicket conveyor and wicket conveyor drying device |
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---|---|---|---|---|
JP7335854B2 (en) | 2020-06-15 | 2023-08-30 | 株式会社神戸製鋼所 | linear motor |
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