JP2014100872A

JP2014100872A - Screen printer

Info

Publication number: JP2014100872A
Application number: JP2012255403A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Ishikawa; 川洋石
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2012-11-21
Filing date: 2012-11-21
Publication date: 2014-06-05

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a screen printer which maintains a constant temperature of a paste and a constant temperature of a printed object during printing.SOLUTION: A screen printer includes: a stage on which a printed object is placed; a screen printing plate placed above the stage; a squeegee disposed above the screen printing plate; and a squeegee transfer device which moves the squeegee in a vertical direction and a horizontal direction on the screen printing plate. The screen printer further includes a temperature control device provided at the stage.

Description

本発明は、スクリーン印刷機に関する。 The present invention relates to a screen printing machine.

従来、スクリーン印刷では、スクリーン版上に供給されたペーストから揮発性の溶剤成分が揮発して、ペーストの粘度が時間の経過とともに変化することがある。また、スクリーン版上に供給されたペーストが雰囲気中の酸素と反応して、ペーストの化学的組成が時間の経過とともに変化することもある。これらの場合、同じ印刷条件で印刷が行われても、印刷状態（印刷品質）が時間の経過とともに変化してしまう。 Conventionally, in screen printing, a volatile solvent component is volatilized from the paste supplied on the screen plate, and the viscosity of the paste may change over time. In addition, the paste supplied on the screen plate may react with oxygen in the atmosphere, and the chemical composition of the paste may change over time. In these cases, even if printing is performed under the same printing conditions, the printing state (printing quality) changes with time.

この問題を解決するために、特許文献１に記載されたスクリーン印刷機では、スクリーン版とスキージとを含む印刷部が、気密カバー等によって覆われて気密にされている。これにより、印刷部の雰囲気と外部雰囲気との間におけるガスの出入りが抑制され、スクリーン版上のペーストにおける溶剤成分の揮発や酸素との反応が低減される。 In order to solve this problem, in the screen printing machine described in Patent Document 1, the printing unit including the screen plate and the squeegee is covered and hermetically sealed with an airtight cover or the like. As a result, the entry and exit of gas between the atmosphere of the printing section and the external atmosphere is suppressed, and the volatilization of the solvent component in the paste on the screen plate and the reaction with oxygen are reduced.

特許第３８２９６４２号公報Japanese Patent No. 3829642

本件発明者によれば、ペーストの粘度は温度によって変化するため、印刷状態を安定させるためには、印刷時のペーストの温度及び被印刷物の温度を一定に保つことが有効であることが知見された。 According to the present inventor, since the viscosity of the paste changes depending on the temperature, it has been found that it is effective to keep the temperature of the paste at the time of printing and the temperature of the printing material constant in order to stabilize the printing state. It was.

特許文献１に記載されたスクリーン印刷機では、印刷時のペーストの温度及び被印刷物の温度を一定に保つための構成要素は設けられておらず、すなわち、印刷時のペーストの温度及び被印刷物の温度を一定に保つことは考慮されていない。 In the screen printing machine described in Patent Document 1, no component is provided for keeping the temperature of the paste at the time of printing and the temperature of the printed material constant, that is, the temperature of the paste at the time of printing and the temperature of the printed material. It is not considered to keep the temperature constant.

また、本件発明者は、気密に保たれた印刷部の環境温度を一定に保つために、当該印刷部に温度制御されたエアを送ることも検討した。しかしながら、エアを送る方式では、当該印刷部において気流が発生してしまい、結果的に印刷状態が悪化するおそれがある。 In addition, the present inventor has also considered sending temperature-controlled air to the printing unit in order to keep the environmental temperature of the printing unit kept airtight. However, in the method of sending air, an air flow is generated in the printing unit, and as a result, the printing state may be deteriorated.

本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、その目的は、印刷時のペーストの温度及び被印刷対象物の温度を一定に保つことができるスクリーン印刷機を提供することである。 The present invention has been made paying attention to such problems, and an object of the present invention is to provide a screen printing machine capable of keeping the temperature of the paste at the time of printing and the temperature of the object to be printed constant. It is.

本発明は、被印刷物が載置されるステージと、前記ステージの上方に配置されたスクリーン版と、前記スクリーン版の上方に配置されたスキージと、前記スキージを前記スクリーン版上において上下方向及び水平方向に移動させるスキージ移動装置と、を備え、前記ステージに設けられた温調装置と、を更に備えたことを特徴とするスクリーン印刷機である。 The present invention provides a stage on which a substrate is placed, a screen plate disposed above the stage, a squeegee disposed above the screen plate, and the squeegee on the screen plate in a vertical direction and a horizontal direction. A screen printing machine comprising: a squeegee moving device that moves in a direction; and a temperature control device provided on the stage.

本発明によれば、ステージに設けられた温調装置により、ステージの温度及び当該ステージ上に載置された被印刷物の温度が効果的に一定に保たれる。また、印刷時、スクリーン版が被印刷物に当接されて熱伝導が生じることにより、スクリーン版の当接位置の温度及び当該当接位置近傍のペーストの温度も一定に保たれる。これにより、印刷時のペーストの温度も一定に保たれることになり、印刷状態が更に安定される。 According to the present invention, the temperature of the stage and the temperature of the substrate placed on the stage are effectively kept constant by the temperature control device provided on the stage. Further, at the time of printing, the screen plate is brought into contact with the substrate and heat conduction occurs, so that the temperature at the contact position of the screen plate and the temperature of the paste in the vicinity of the contact position are kept constant. Thereby, the temperature of the paste at the time of printing is also kept constant, and the printing state is further stabilized.

好ましくは、前記ステージ上に載置された前記被印刷物の温度を検出する温度検出装置と、前記温度検出装置の検出結果に基づいて、前記温調装置を制御する制御装置と、を更に備える。このような態様によれば、印刷時のペーストの温度及び被印刷物の温度を一定に保つことが自動化され得る。 Preferably, the apparatus further includes a temperature detection device that detects a temperature of the printing material placed on the stage, and a control device that controls the temperature adjustment device based on a detection result of the temperature detection device. According to such an aspect, it can be automated to keep the temperature of the paste during printing and the temperature of the printing material constant.

具体的には、例えば、前記ステージに配管が設けられており、前記制御装置は、前記温度検出装置の検出結果に基づいて、前記温調装置から前記配管内へと供給される前記流体の温度を調整するようになっている。 Specifically, for example, a pipe is provided on the stage, and the control device detects the temperature of the fluid supplied from the temperature adjustment device into the pipe based on the detection result of the temperature detection device. To be adjusted.

また、好ましくは、前記配管は、前記ステージの内部を貫いて設けられている。このような態様によれば、ステージ及び当該ステージ上に載置された被印刷物と配管との間の距離を短く設計することができるため、当該ステージの温度及び当該被印刷部の温度を効果的に一定に保つことが容易である。 Preferably, the piping is provided through the inside of the stage. According to such an aspect, since the distance between the stage and the printed material placed on the stage and the piping can be designed to be short, the temperature of the stage and the temperature of the printed part are effectively reduced. It is easy to keep constant.

また、好ましくは、前記スクリーン版の上方は、気密カバーで覆われている。このような態様によれば、スクリーン版上に供給されたペーストにおける溶剤成分の揮発や酸素との反応が低減される。 Preferably, the upper part of the screen plate is covered with an airtight cover. According to such an aspect, the volatilization of the solvent component in the paste supplied onto the screen plate and the reaction with oxygen are reduced.

本発明の一実施の形態によるスクリーン印刷機の概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a screen printing machine according to an embodiment of the present invention. 図１のスクリーン印刷機におけるステージの一例の概略斜視図である。It is a schematic perspective view of an example of the stage in the screen printer of FIG. 図２のステージの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the stage of FIG. 被印刷物が印刷室に搬入される工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process in which to-be-printed material is carried in into a printing chamber. スキージによってスクリーン版が下方に押圧される工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process by which a screen plate is pressed below with a squeegee. スキージがスクリーン版上を水平移動されていく工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process in which a squeegee is horizontally moved on a screen plate. 図６におけるスクリーン版の当接位置の拡大図である。It is an enlarged view of the contact position of the screen plate in FIG. 被印刷物が印刷室から搬出される工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the process in which to-be-printed material is carried out of a printing chamber. 図１のスクリーン印刷機におけるステージの別例の概略斜視図である。It is a schematic perspective view of another example of the stage in the screen printer of FIG.

以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。 Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

図１は、本発明の一実施の形態によるスクリーン印刷機の概略構成図である。図１に示すように、本実施の形態のスクリーン印刷機３０は、被印刷物１１が載置されるステージ３３と、ステージ３３の上方に配置されたスクリーン版３４と、スクリーン版３４の上方に配置されたスキージ３７と、スキージ３７をスクリーン版３４上において上下方向及び水平方向に移動させるスキージ移動装置３８と、を備えている。被印刷物１１は、例えば銅箔である。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a screen printing machine according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the screen printing machine 30 according to the present embodiment includes a stage 33 on which the substrate 11 is placed, a screen plate 34 disposed above the stage 33, and a screen plate 34 disposed above the screen plate 34. And a squeegee moving device 38 for moving the squeegee 37 in the vertical direction and the horizontal direction on the screen plate 34. The substrate 11 is a copper foil, for example.

本実施の形態では、ステージ３３の下方には台座３１が配置され、台座３１上には直線状のレール３２が水平に延設されている。また、台座３１上にはレール３２に沿って印刷室３９と搬入出室４９とが配設されている。 In the present embodiment, a pedestal 31 is disposed below the stage 33, and a linear rail 32 extends horizontally on the pedestal 31. A printing chamber 39 and a loading / unloading chamber 49 are disposed on the base 31 along the rails 32.

そして、ステージ３３は、レール３２上に当該レール３２に対して摺動可能に取り付けられており、不図示の駆動装置によって印刷室３９と搬入出室４９との間を水平移動されるようになっている。 The stage 33 is slidably attached to the rail 32 on the rail 32, and is horizontally moved between the printing chamber 39 and the loading / unloading chamber 49 by a driving device (not shown). ing.

一方、スクリーン版３４とスキージ３７とスキージ移動装置３８とは、いずれも印刷室３９内に配置されている。 On the other hand, the screen plate 34, the squeegee 37, and the squeegee moving device 38 are all disposed in the printing chamber 39.

本実施の形態のスクリーン版３４は、図７に示すように、メタルスクリーン版３４ａと、メタルスクリーン版３４ａの下面に配設された所定の厚みのスペーサ３４ｂと、を有している。メタルスクリーン版３４ａには、複数個の貫通孔４５が所定のパターンで形成されている。また、メタルスクリーン版３４ａの貫通孔４５に対応するスペーサ３４ｂの領域には、当該貫通孔４５より径の大きい開口部４６が形成されている。 As shown in FIG. 7, the screen plate 34 of the present embodiment includes a metal screen plate 34a and a spacer 34b having a predetermined thickness disposed on the lower surface of the metal screen plate 34a. In the metal screen plate 34a, a plurality of through holes 45 are formed in a predetermined pattern. An opening 46 having a diameter larger than that of the through hole 45 is formed in the region of the spacer 34b corresponding to the through hole 45 of the metal screen plate 34a.

図１に戻って、スクリーン版３４の端部にはスクリーン版保持部材３５、３６が固定されており、スクリーン版３４はスクリーン版保持部材３５、３６によって平面状に張られて保持されている。 Returning to FIG. 1, screen plate holding members 35, 36 are fixed to the end portions of the screen plate 34, and the screen plate 34 is stretched and held in a plane by the screen plate holding members 35, 36.

本実施の形態では、スクリーン版３４の上方は、気密カバー４８で覆われており、スキージ３７とスキージ移動装置３８とは、気密カバー４８の内側に配置されている。気密カバー４８は、ドーム状を有しており、気密カバー４８の下端部はスクリーン保持部材３５、３６に気密に固定されている。これにより、気密カバー４８の内側が気密に保たれるようになっている。 In the present embodiment, the upper portion of the screen plate 34 is covered with an airtight cover 48, and the squeegee 37 and the squeegee moving device 38 are disposed inside the airtight cover 48. The hermetic cover 48 has a dome shape, and the lower end of the hermetic cover 48 is hermetically fixed to the screen holding members 35 and 36. Thereby, the inside of the airtight cover 48 is kept airtight.

また、本実施の形態では、印刷室３９に温度湿度調整器４３が接続されており、当該温度湿度調整器４３によって、印刷室３９内の雰囲気の温度及び湿度が所定の値になるように調整されている。 In the present embodiment, a temperature / humidity adjuster 43 is connected to the printing chamber 39, and the temperature and humidity adjuster 43 adjusts the temperature and humidity of the atmosphere in the printing chamber 39 to predetermined values. Has been.

次に、本実施の形態のスクリーン印刷機３０におけるステージ３３に関して詳細に説明する。図２は、本実施の形態によるステージ３３の一例の概略斜視図、図３は、当該ステージ３３の縦断面図である。 Next, the stage 33 in the screen printer 30 of the present embodiment will be described in detail. FIG. 2 is a schematic perspective view of an example of the stage 33 according to the present embodiment, and FIG. 3 is a longitudinal sectional view of the stage 33.

図２及び図３に示すように、ステージ３３には温調装置２２が設けられている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the stage 33 is provided with a temperature control device 22.

本実施の形態では、ステージ３３に配管２１が設けられており、温調装置２２は、配管２１内に所定の温度に温度制御された流体を供給するようになっている。ステージ３３の材質は、例えばＳＵＳである。 In the present embodiment, a pipe 21 is provided on the stage 33, and the temperature control device 22 supplies a fluid whose temperature is controlled to a predetermined temperature in the pipe 21. The material of the stage 33 is, for example, SUS.

図３に示すように、本実施の形態のステージ３３は、ステージ本体３３ａと、ステージ本体３３ａの下面に配設されたチャック３３ｂと、を有している。そして、配管２１は、ステージ本体３３ａの内部を貫いて設けられている。 As shown in FIG. 3, the stage 33 according to the present embodiment includes a stage main body 33a and a chuck 33b disposed on the lower surface of the stage main body 33a. The pipe 21 is provided through the inside of the stage main body 33a.

また、図２に示すように、本実施の形態の配管２１は、具体的には、一対の縦配管と、当該一対の縦配管を連結する複数の横配管と、を含む梯子形状を有している。一対の縦配管と複数の横配管とは、それぞれステージ本体３３ａの上面と平行に延ばされている。 As shown in FIG. 2, the pipe 21 of the present embodiment specifically has a ladder shape including a pair of vertical pipes and a plurality of horizontal pipes connecting the pair of vertical pipes. ing. The pair of vertical pipes and the plurality of horizontal pipes are each extended in parallel with the upper surface of the stage main body 33a.

そして、配管２１の一方の縦配管には温調装置２２の供給口が接続され、他方の縦配管には温調装置２２の排出口が接続されている。これにより、温調装置２２の供給口から一方の縦配管内に供給される流体は、当該一方の縦配管内から複数の横配管内の各々に分流され、次に複数の横配管内から他方の縦配管内へと合流され、当該他方の縦配管内から温調装置２２の排出口へと排出されるようになっている。 And the supply port of the temperature control apparatus 22 is connected to one vertical pipe of the piping 21, and the discharge port of the temperature control apparatus 22 is connected to the other vertical pipe. Thereby, the fluid supplied into one vertical pipe from the supply port of the temperature control device 22 is divided into each of the plurality of horizontal pipes from the one vertical pipe, and then from the plurality of horizontal pipes to the other. And is discharged from the other vertical pipe to the discharge port of the temperature control device 22.

また、図２に示すように、本実施の形態のスクリーン印刷機３０は、ステージ３３上に載置された被印刷物１１の温度を検出する温度検出装置２７と、温度検出装置２７の検出結果に基づいて、温調装置２２を制御する制御装置２８と、を更に備えている。 As shown in FIG. 2, the screen printing machine 30 according to the present embodiment includes a temperature detection device 27 that detects the temperature of the substrate 11 placed on the stage 33, and a detection result of the temperature detection device 27. And a control device 28 for controlling the temperature control device 22.

本実施の形態の温度検出装置２７は、具体的には熱電対を有しており、ステージ３３の上面の中央部分に埋設されている。そして、温度検出装置２７の測温部分がステージ３３上に載置された被印刷物１１の下面と対向されることにより、当該被印刷物１１の温度が温度検出装置２７によって検出されるようになっている。 Specifically, the temperature detection device 27 of the present embodiment has a thermocouple and is embedded in the central portion of the upper surface of the stage 33. The temperature detecting portion of the temperature detecting device 27 is opposed to the lower surface of the printed material 11 placed on the stage 33, so that the temperature of the printed material 11 is detected by the temperature detecting device 27. Yes.

制御装置２８は、温度検出装置２７と温調装置２２とにそれぞれ接続されている。制御装置２８は、具体的にはコンピュータシステムによって構成されている。 The control device 28 is connected to the temperature detection device 27 and the temperature adjustment device 22, respectively. Specifically, the control device 28 is configured by a computer system.

本実施の形態では、制御装置２８は、温度検出装置２７の検出結果に基づいて、温調装置２２から配管２１内へと供給される流体の温度を調整するようになっている。具体的には、制御装置２８には所定の目標温度（例えば２０℃〜３０℃の間の値）が記憶されるようになっており、温度検出装置２７の検出結果が目標温度より大の場合には、温調装置２２から配管２１内へと供給される流体の温度が目標温度よりも低い温度に調整され、温度検出装置２７の検出結果が目標温度になった瞬間に当該流体の温度も目標温度に戻される。また、温度検出装置２７の検出結果が目標温度より小の場合には、温調装置２２から配管２１内へと供給される流体の温度が目標温度よりも高い温度に調整され、温度検出装置２７の検出結果が目標温度になった瞬間に当該流体の温度も目標温度に戻される。これにより、ステージ３３の温度及び被印刷物１１の温度が目標温度に保たれる。 In the present embodiment, the control device 28 adjusts the temperature of the fluid supplied from the temperature adjustment device 22 into the pipe 21 based on the detection result of the temperature detection device 27. Specifically, a predetermined target temperature (for example, a value between 20 ° C. and 30 ° C.) is stored in the control device 28, and the detection result of the temperature detection device 27 is larger than the target temperature. The temperature of the fluid supplied from the temperature control device 22 into the pipe 21 is adjusted to a temperature lower than the target temperature, and the temperature of the fluid also changes at the moment when the detection result of the temperature detection device 27 reaches the target temperature. Return to target temperature. Further, when the detection result of the temperature detection device 27 is smaller than the target temperature, the temperature of the fluid supplied from the temperature adjustment device 22 into the pipe 21 is adjusted to a temperature higher than the target temperature, and the temperature detection device 27. The temperature of the fluid is also returned to the target temperature at the moment when the detection result becomes the target temperature. As a result, the temperature of the stage 33 and the temperature of the substrate 11 are maintained at the target temperature.

図３に示すように、チャック３３ｂの内部には吸気空間２５が設けられており、当該吸気空間２５には真空ポンプ２６が接続されている。一方、ステージ本体３３ａには、複数の吸気孔２４がそれぞれ配管２１を避けるよう配設されており、各吸気孔２４はチャック３３ｂの吸気空間２５に連通されている。そして、真空ポンプ２６によって吸気空間２５が減圧されることにより、各吸気孔２４内も減圧され、ステージ３３上に載置された被印刷物１１は当該ステージ３３に吸着されるようになっている。 As shown in FIG. 3, an intake space 25 is provided inside the chuck 33 b, and a vacuum pump 26 is connected to the intake space 25. On the other hand, the stage main body 33a is provided with a plurality of intake holes 24 so as to avoid the pipes 21, and each intake hole 24 communicates with the intake space 25 of the chuck 33b. Then, the suction space 25 is decompressed by the vacuum pump 26, so that the interior of each suction hole 24 is decompressed, and the substrate 11 placed on the stage 33 is attracted to the stage 33.

次に、以上のような本実施の形態の作用について説明する。 Next, the operation of the present embodiment as described above will be described.

まず、図１に示すように、被印刷物１１が搬入出室４９内に搬入され、ステージ３３上に載置される。そして、図３に示すように、真空ポンプ２６の動作が開始されて、チャック３３ｂの吸気空間２５が減圧され、各吸気孔２４内も減圧されて、ステージ３３上に載置された被印刷物１１は当該ステージ３３に吸着される。 First, as shown in FIG. 1, the substrate 11 is carried into the carry-in / out chamber 49 and placed on the stage 33. Then, as shown in FIG. 3, the operation of the vacuum pump 26 is started, the suction space 25 of the chuck 33 b is decompressed, the interior of each suction hole 24 is decompressed, and the substrate 11 placed on the stage 33. Is adsorbed to the stage 33.

また、温調装置２２から配管２１内へ所定の目標温度に温度制御された流体が供給され始める。配管２１内を流れる流体とステージ３３との間の熱伝導により、ステージ３３の温度は所定の目標温度に保たれる。そして、当該ステージ３３と当該ステージ３３上の被印刷物１１との間の熱伝導により、当該被印刷物１１の温度も所定の目標温度に保たれる。 Further, the fluid whose temperature is controlled to a predetermined target temperature starts to be supplied from the temperature control device 22 into the pipe 21. Due to heat conduction between the fluid flowing in the pipe 21 and the stage 33, the temperature of the stage 33 is maintained at a predetermined target temperature. And the temperature of the said to-be-printed material 11 is also maintained by the predetermined target temperature by the heat conduction between the said stage 33 and the to-be-printed material 11 on the said stage 33. FIG.

以後、制御装置２８によって温度検出装置２７の検出結果が周期的に読み出され、温度検出装置２７の検出結果が目標温度より大の場合には、温調装置２２から配管２１内へと供給される流体の温度が目標温度よりも低い温度に調整され、温度検出装置２７の検出結果が目標温度になった瞬間に当該流体の温度が目標温度に戻される。また、温度検出装置２７の検出結果が目標温度より小の場合には、温調装置２２から配管２１内へと供給される流体の温度が目標温度よりも高い温度に調整され、温度検出装置２７の検出結果が目標温度になった瞬間に当該流体の温度が目標温度に戻される。これにより、ステージ３３の温度及び被印刷物１１の温度が目標温度に自動的に保たれる。 Thereafter, the detection result of the temperature detection device 27 is periodically read out by the control device 28, and when the detection result of the temperature detection device 27 is larger than the target temperature, it is supplied from the temperature adjustment device 22 into the pipe 21. The temperature of the fluid is adjusted to a temperature lower than the target temperature, and the temperature of the fluid is returned to the target temperature at the moment when the detection result of the temperature detection device 27 reaches the target temperature. Further, when the detection result of the temperature detection device 27 is smaller than the target temperature, the temperature of the fluid supplied from the temperature adjustment device 22 into the pipe 21 is adjusted to a temperature higher than the target temperature, and the temperature detection device 27. The fluid temperature is returned to the target temperature at the moment when the detection result becomes the target temperature. As a result, the temperature of the stage 33 and the temperature of the substrate 11 are automatically maintained at the target temperature.

次に、図４に示すように、ステージ３３が被印刷物１１と一緒にレール３２に沿って移動され、印刷室３９内へ搬入される。そして、スクリーン版３４と被印刷物１１とが相対的に位置合わせされる。具体的には、被印刷物１１に設けられた不図示のアライメントマークが、印刷室３９内に設けられた不図示のＣＣＤカメラによって撮像され、当該ＣＣＤカメラの撮像結果に基づいて、被印刷物１１の位置が調整される。そして、スクリーン版３４の上面に、不図示のペースト供給装置からペースト（インク）４１が供給される。本実施の形態では、ペースト４１として、銀、金、はんだ、銅等の合金からなる一般的な導電性ペーストが用いられる。 Next, as shown in FIG. 4, the stage 33 is moved along the rail 32 together with the substrate 11 and is carried into the printing chamber 39. Then, the screen plate 34 and the substrate 11 are relatively aligned. Specifically, an alignment mark (not shown) provided on the printing object 11 is imaged by a CCD camera (not shown) provided in the printing chamber 39, and based on the imaging result of the CCD camera, the alignment mark of the printing object 11 is captured. The position is adjusted. Then, a paste (ink) 41 is supplied to the upper surface of the screen plate 34 from a paste supply device (not shown). In the present embodiment, a general conductive paste made of an alloy such as silver, gold, solder, or copper is used as the paste 41.

次に、図５に示すように、スキージ移動装置３８によってスキージ３７が下方に移動され、スクリーン版３４の上面に当接される。そして、スキージ３７によってスクリーン版３４が下方に押圧され、スクリーン版３４が被印刷物１１に当接される。スクリーン版３４が被印刷物１１に当接されて熱伝導が生じることにより、スクリーン版３４の当接位置の温度及び当該当接位置近傍のペースト４１の温度も被印刷物１１の温度と同じ所定の目標値に保たれる。 Next, as shown in FIG. 5, the squeegee 37 is moved downward by the squeegee moving device 38 and brought into contact with the upper surface of the screen plate 34. Then, the screen plate 34 is pressed downward by the squeegee 37, and the screen plate 34 is brought into contact with the substrate 11. When the screen plate 34 is brought into contact with the substrate 11 and heat conduction occurs, the temperature at the contact position of the screen plate 34 and the temperature of the paste 41 in the vicinity of the contact position are the same predetermined target as the temperature of the substrate 11. Kept at the value.

次に、図６に示すように、スクリーン版３４の当接状態を維持しながら、スキージ移動装置３８によって、スキージ３７がスクリーン版３４上を水平移動されていく（スクリーン版３４の当接位置が移動していく）。本実施の形態では、スキージ３７の水平移動に対応して、スキージ３７の移動方向後方側に位置するスクリーン版保持部材３５が上方に移動されていく。 Next, as shown in FIG. 6, the squeegee 37 is horizontally moved on the screen plate 34 by the squeegee moving device 38 while maintaining the contact state of the screen plate 34 (the contact position of the screen plate 34 is changed). Will move). In the present embodiment, in response to the horizontal movement of the squeegee 37, the screen plate holding member 35 located on the rear side in the movement direction of the squeegee 37 is moved upward.

図７は、スクリーン版３４の当接位置の拡大図である。図７に示すように、スキージ３７の移動方向前方にペースト４１が提供されており、スキージ３７が当該ペースト４１をメタルスクリーン版３４ａに対して擦り込むように充填する。この時、メタルスクリーン版３４ａはスペーサ３４ｂを介して被印刷物１１に当接されるため、メタルスクリーン版３４ａの貫通孔４５に擦り込み充填されるペースト４１の下端は、スペーサ３４ｂの開口部４６を通過した後で、被印刷物１１の上面に付着する。 FIG. 7 is an enlarged view of the contact position of the screen plate 34. As shown in FIG. 7, a paste 41 is provided in front of the movement direction of the squeegee 37, and the squeegee 37 fills the paste 41 so as to rub against the metal screen plate 34a. At this time, since the metal screen plate 34a is brought into contact with the substrate 11 through the spacer 34b, the lower end of the paste 41 rubbed into the through hole 45 of the metal screen plate 34a passes through the opening 46 of the spacer 34b. After that, it adheres to the upper surface of the substrate 11.

そして、スキージ３７が移動してしまってスクリーン版３４が被印刷物１１から離版されると、スクリーン版３４と被印刷物１１との間でペースト４１が引き伸ばされる。そして、引き伸ばされたペースト４１は、スクリーン版３４側と被印刷物１１側とに分裂され、被印刷物１１上に略円錐状の導電性バンプ１３が形成される。 Then, when the squeegee 37 moves and the screen plate 34 is released from the substrate 11, the paste 41 is stretched between the screen plate 34 and the substrate 11. Then, the stretched paste 41 is divided into the screen plate 34 side and the substrate 11 side, and the substantially conical conductive bumps 13 are formed on the substrate 11.

スキージ３７の水平移動が終了した後、図８に示すように、スキージ移動装置３８によってスキージ３７が上方に移動され、スクリーン版３４の当接状態が解消される。そして、ステージ３３が被印刷物１１と一緒にレール３２に沿って移動され、印刷室３９から搬出される。 After the horizontal movement of the squeegee 37 is completed, the squeegee 37 is moved upward by the squeegee moving device 38 as shown in FIG. Then, the stage 33 is moved along the rail 32 together with the substrate 11 and is carried out of the printing chamber 39.

その後、被印刷物１１及び導電性バンプ１３の乾燥が行われて、導電性バンプ１３が硬化される。 Thereafter, the substrate 11 and the conductive bumps 13 are dried, and the conductive bumps 13 are cured.

本件発明者によって、硬化された導電性バンプ１３の形状（高さ及び画像）が、顕微鏡等を用いて実際に検証された。その結果、本実施の形態によれば、印刷状態（印刷品質）が十分に安定されることが確認された。 The shape (height and image) of the cured conductive bump 13 was actually verified by the inventor using a microscope or the like. As a result, according to the present embodiment, it was confirmed that the printing state (printing quality) was sufficiently stabilized.

すなわち、以上のような本実施の形態によれば、ステージ３３に設けられた温調装置２２により、ステージ３３の温度及び当該ステージ３３上に載置された被印刷物１１の温度が効果的に一定に保たれる。また、印刷時、スクリーン版３４が被印刷物１１に当接されて熱伝導が生じることにより、スクリーン版３４の当接位置の温度及び当該当接位置近傍のペースト４１の温度も一定に保たれる。これにより、印刷時のペースト４１の温度も一定に保たれることになり、印刷状態が更に安定される。 That is, according to the present embodiment as described above, the temperature of the stage 33 and the temperature of the printing material 11 placed on the stage 33 are effectively constant by the temperature control device 22 provided on the stage 33. To be kept. Further, at the time of printing, the screen plate 34 is brought into contact with the substrate 11 and heat conduction occurs, so that the temperature at the contact position of the screen plate 34 and the temperature of the paste 41 near the contact position are also kept constant. . Thereby, the temperature of the paste 41 at the time of printing is also kept constant, and the printing state is further stabilized.

また、本実施の形態によれば、温度検出装置２７の検出結果に基づいて温調装置２２が制御されることにより、印刷時のペースト４１の温度及び被印刷物１１の温度を一定に保つことが自動化され得る。 Further, according to the present embodiment, the temperature adjustment device 22 is controlled based on the detection result of the temperature detection device 27, whereby the temperature of the paste 41 during printing and the temperature of the substrate 11 can be kept constant. Can be automated.

また、本実施の形態によれば、配管２１がステージ３３の内部を貫いて設けられていることにより、ステージ３３及び当該ステージ３３上に載置された被印刷物１１と配管２１との間の距離を短く設計することができる。そのため、当該ステージ３３の温度及び当該被印刷部１１の温度を効果的に一定に保つことが容易である。 Further, according to the present embodiment, since the pipe 21 is provided through the inside of the stage 33, the distance between the stage 33 and the printed material 11 placed on the stage 33 and the pipe 21. Can be designed short. Therefore, it is easy to effectively keep the temperature of the stage 33 and the temperature of the printing part 11 constant.

また、本実施の形態によれば、スクリーン版３４の上方が気密カバー４８で覆われていることにより、スクリーン版３４上に供給されたペースト４１における溶剤成分の揮発や酸素との反応が低減される。 Further, according to the present embodiment, since the upper part of the screen plate 34 is covered with the airtight cover 48, the volatilization of the solvent component and the reaction with oxygen in the paste 41 supplied onto the screen plate 34 are reduced. The

なお、本実施の形態の配管２１は、図２に示すように梯子形状を有していたが、これに限定されない。 In addition, although the piping 21 of this Embodiment had a ladder shape as shown in FIG. 2, it is not limited to this.

また、本実施の形態の配管２１は、図３に示すようにステージ３３の内部を貫いて設けられていたが、これに限定されず、ステージ３３の下面または側面に接触して設けられていてもよい。但し、ステージ３３の内部を貫いて設けられている方が、ステージ３３及び当該ステージ３３上に載置された被印刷物１１と配管２１との間の距離を短く設計することができるため、好ましい。 Moreover, although the piping 21 of this Embodiment was provided through the inside of the stage 33 as shown in FIG. 3, it is not limited to this, It is provided in contact with the lower surface or side surface of the stage 33. Also good. However, it is preferable to pass through the inside of the stage 33 because the distance between the stage 33 and the printed material 11 placed on the stage 33 and the pipe 21 can be designed to be short.

また、本実施の形態の制御装置２８は、温度検出装置２７の検出結果に基づいて、温調装置２２から配管２１内へと供給される流体の温度を調整するように構成されていたが、これに限定されず、例えば温調装置２２から配管２１内へと供給される流体の流速を調整するように構成されていてもよい。 The control device 28 of the present embodiment is configured to adjust the temperature of the fluid supplied from the temperature adjustment device 22 into the pipe 21 based on the detection result of the temperature detection device 27. It is not limited to this, For example, you may be comprised so that the flow rate of the fluid supplied into the piping 21 from the temperature control apparatus 22 may be adjusted.

また、本実施の形態ではステージ３３に配管２１が設けられ、温調装置２２は当該配管２１内に所定の温度に温度制御された流体を供給するようになっていたが、これに限定されない。図９は、ステージ３３の別例の概略平面図である。 In the present embodiment, the stage 33 is provided with the pipe 21 and the temperature adjusting device 22 supplies the fluid whose temperature is controlled to a predetermined temperature in the pipe 21. However, the present invention is not limited to this. FIG. 9 is a schematic plan view of another example of the stage 33.

図９において、温調装置２２’は、具体的には直流電源である。ステージ３３には複数のペルチェ素子２９とヒーター２３（例えばニクロム線）とが設けられており、各ペルチェ素子２９とヒーター２３とはそれぞれ温調装置２２’に電気的に接続されている。 In FIG. 9, the temperature control device 22 'is specifically a DC power source. The stage 33 is provided with a plurality of Peltier elements 29 and heaters 23 (for example, nichrome wire), and each of the Peltier elements 29 and the heaters 23 is electrically connected to the temperature control device 22 '.

温調装置２２’から各ペルチェ素子２９に直流電圧が供給されることにより、各ペルチェ素子２９の吸熱面が冷却され、各ペルチェ素子２９の吸熱面とステージ３３との間の熱伝導により、ステージ３３が冷却されるようになっている。また、温調装置２２’からヒーター２３に直流電流が供給されることにより、ヒーター２３が発熱され、ヒーター２３とステージ３３との間の熱伝導により、ステージ３３が加熱されるようになっている。 A DC voltage is supplied from the temperature control device 22 ′ to each Peltier element 29, whereby the heat absorption surface of each Peltier element 29 is cooled, and heat conduction between the heat absorption surface of each Peltier element 29 and the stage 33 results in a stage. 33 is cooled. In addition, when a direct current is supplied from the temperature control device 22 ′ to the heater 23, the heater 23 generates heat, and the stage 33 is heated by heat conduction between the heater 23 and the stage 33. .

そして、制御装置２８は、温度検出装置２７の検出結果に基づいて、温調装置２２から各ペルチェ素子２９に供給される直流電圧と、ヒーター２３に供給される直流電流と、を調整するようになっている。具体的には、制御装置２８には所定の目標温度（例えば２０℃〜３０℃の間の値）が記憶されるようになっており、温度検出装置２７の検出結果が目標温度より大の場合には、温調装置２２から各ペルチェ素子２９に直流電圧が供給され、温度検出装置２７の検出結果が目標温度になった瞬間に当該直流電圧の供給が停止される。また、温度検出装置２７の検出結果が目標温度より小の場合には、温調装置２２からヒーター２３に直流電流が供給され、温度検出装置２７の検出結果が目標温度になった瞬間に当該直流電流の供給が停止される。これにより、ステージ３３の温度及び被印刷物１１の温度が目標温度に保たれる。 Then, the control device 28 adjusts the DC voltage supplied from the temperature control device 22 to each Peltier element 29 and the DC current supplied to the heater 23 based on the detection result of the temperature detection device 27. It has become. Specifically, a predetermined target temperature (for example, a value between 20 ° C. and 30 ° C.) is stored in the control device 28, and the detection result of the temperature detection device 27 is larger than the target temperature. The DC voltage is supplied from the temperature control device 22 to each Peltier element 29, and the supply of the DC voltage is stopped at the moment when the detection result of the temperature detection device 27 reaches the target temperature. In addition, when the detection result of the temperature detection device 27 is smaller than the target temperature, a direct current is supplied from the temperature adjustment device 22 to the heater 23, and the direct current is instantaneously detected when the detection result of the temperature detection device 27 reaches the target temperature. The supply of current is stopped. As a result, the temperature of the stage 33 and the temperature of the substrate 11 are maintained at the target temperature.

１１被印刷物
１３導電性バンプ
２１配管
２２、２２’ 温調装置
２３ヒーター
２４吸気孔
２５吸気空間
２６真空ポンプ
２７温度検出装置
２８制御装置
２９ペルチェ素子
３０スクリーン印刷機
３１台座
３２レール
３３ステージ
３３ａステージ本体
３３ｂチャック
３４スクリーン版
３４ａメタルスクリーン版
３４ｂスペーサ
３５、３６スクリーン版保持部材
３７スキージ
３８スキージ移動装置
３９印刷室
４１導電性ペースト
４３温度湿度調整器
４５スクリーン版貫通孔
４６開口部
４８気密カバー
４９搬入出室 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Printed material 13 Conductive bump 21 Piping 22, 22 'Temperature control device 23 Heater 24 Intake hole 25 Intake space 26 Vacuum pump 27 Temperature detection device 28 Control device 29 Peltier device 30 Screen printer 31 Base 32 Rail 33 Stage 33a Stage body 33b Chuck 34 Screen plate 34a Metal screen plate 34b Spacer 35, 36 Screen plate holding member 37 Squeegee 38 Squeegee moving device 39 Printing chamber 41 Conductive paste 43 Temperature / humidity adjuster 45 Screen plate through hole 46 Opening 48 Airtight cover 49 Carrying in / out Room

Claims

A stage on which the substrate is placed;
A screen plate disposed above the stage;
A squeegee disposed above the screen plate;
A squeegee moving device for moving the squeegee vertically and horizontally on the screen plate;
With
A temperature control device provided on the stage;
A screen printing machine further comprising:

A temperature detecting device for detecting the temperature of the substrate placed on the stage;
A control device for controlling the temperature control device based on a detection result of the temperature detection device;
The screen printing machine according to claim 1, further comprising:

Piping is provided on the stage,
The temperature control device is adapted to supply a fluid whose temperature is controlled to a predetermined temperature in the pipe,
The said control apparatus adjusts the temperature of the said fluid supplied into the said piping from the said temperature control apparatus based on the detection result of the said temperature detection apparatus, The Claim 2 characterized by the above-mentioned. The screen printing machine described.

The screen printing machine according to claim 1, wherein the pipe is provided through the inside of the stage.

The screen printing machine according to claim 1, wherein an upper portion of the screen plate is covered with an airtight cover.