JP2014098472A - Tube connector - Google Patents
Tube connector Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014098472A JP2014098472A JP2012251946A JP2012251946A JP2014098472A JP 2014098472 A JP2014098472 A JP 2014098472A JP 2012251946 A JP2012251946 A JP 2012251946A JP 2012251946 A JP2012251946 A JP 2012251946A JP 2014098472 A JP2014098472 A JP 2014098472A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- connector
- connection hole
- peripheral surface
- core pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 abstract description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 abstract description 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 12
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Joints That Cut Off Fluids, And Hose Joints (AREA)
Abstract
Description
本発明は、流体を導入または導出するためのチューブを接続するためのチューブコネクターに関する。 The present invention relates to a tube connector for connecting a tube for introducing or discharging a fluid.
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にIC、LSI等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切削装置によってダイシングすることにより個々の半導体デバイスを製造している。切削装置は、ウエーハ等の被加工物を吸引保持する保持テーブルを備えた保持手段と、該保持手段に保持された被加工物に切削水を供給しつつ切削加工を施す切削手段と、保持手段と切削手段とを相対的に加工送り方向に加工送りする加工送り手段と、切削手段によって切削された被加工物に洗浄水を供給して洗浄する洗浄手段を具備している。このような切削装置においては、被加工物を吸引保持する保持テーブルを備えた保持手段は吸引源に連通するチューブがチューブコネクターを介して連結され、切削手段や洗浄手段は切削水や洗浄水を供給する純水供給源に連通するチューブがチューブコネクターを介して連結されている。 In the semiconductor device manufacturing process, a plurality of regions are partitioned by dividing lines called streets arranged in a lattice pattern on the surface of a substantially wafer-shaped semiconductor wafer, and devices such as ICs, LSIs, etc. are partitioned in the partitioned regions. Form. Individual semiconductor devices are manufactured by dicing the semiconductor wafer along the streets with a cutting device. The cutting apparatus includes a holding unit having a holding table for sucking and holding a workpiece such as a wafer, a cutting unit that performs cutting while supplying cutting water to the workpiece held by the holding unit, and a holding unit. And a cleaning means for supplying a cleaning water to the workpiece cut by the cutting means and cleaning the workpiece. In such a cutting apparatus, a holding means having a holding table for sucking and holding a workpiece is connected to a tube communicating with a suction source via a tube connector, and the cutting means and the cleaning means receive cutting water and cleaning water. A tube communicating with a pure water supply source to be supplied is connected via a tube connector.
上記チューブコネクターは、コネクター本体の接続部にチューブを挿入する際にチューブの先端がつぶれて水やエアー等の流体が漏れないように、チューブの先端部内側にコアパイプが配設される。(例えば、特許文献1)。 In the tube connector, the core pipe is disposed inside the distal end portion of the tube so that the distal end of the tube is not crushed and fluid such as water or air does not leak when the tube is inserted into the connection portion of the connector body. (For example, patent document 1).
而して、上記特許文献1に記載されたチューブコネクターは、チューブを接続する際に、チューブの先端部内側にコアパイプを挿入して配設しなければならず作業が面倒であるとともに、コアパイプの挿入を忘れる虞があるという問題がある。 Thus, the tube connector described in the above-mentioned Patent Document 1 is troublesome because the core pipe must be inserted and disposed inside the distal end of the tube when connecting the tubes. There is a problem that the insertion may be forgotten.
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、チューブを連結する際にチューブの先端部内側にコアパイプを挿入する必要がないチューブコネクターを提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described facts, and a main technical problem thereof is to provide a tube connector that does not require a core pipe to be inserted inside the distal end portion of the tube when connecting the tubes.
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、チューブを接続するための接続穴を備えたコネクター本体と、該コネクター本体の接続穴の内周面に装着され接続穴に挿入されたチューブの外周面をシールするシールリングおよびチューブの外周面を係止する係止手段と、を具備するチューブコネクターであって、
該コネクター本体の接続穴内に配設されチューブの接続穴への挿入によりチューブの先端部内側に嵌入するコアパイプが該コネクター本体に固定されている、
ことを特徴とするチューブコネクターが提供される。
In order to solve the above-mentioned main technical problem, according to the present invention, a connector main body having a connection hole for connecting a tube, and a tube mounted on the inner peripheral surface of the connection hole of the connector main body and inserted into the connection hole A sealing ring for sealing the outer peripheral surface of the tube and a locking means for locking the outer peripheral surface of the tube, and a tube connector comprising:
A core pipe, which is disposed in the connection hole of the connector body and is inserted into the distal end of the tube by being inserted into the connection hole of the tube, is fixed to the connector body.
A tube connector is provided.
本発明によるチューブコネクターは、コネクター本体の接続穴内に配設されチューブの接続穴への挿入によりチューブの先端部内側に嵌入するコアパイプが該コネクター本体に固定されているので、コネクター本体の接続穴にチューブを挿入し、チューブの先端部をコアパイプのチューブ保持部に嵌入するだけでチューブを連結することができる。従って、チューブにコアパイプを挿入する作業が不要になるとともに、コアパイプを付け忘れるという問題を解消することができる。 In the tube connector according to the present invention, the core pipe that is disposed in the connection hole of the connector body and is inserted into the distal end portion of the tube by being inserted into the connection hole of the tube is fixed to the connector body. A tube can be connected only by inserting a tube and inserting the front-end | tip part of a tube in the tube holding part of a core pipe. Therefore, the operation of inserting the core pipe into the tube is not necessary, and the problem of forgetting to attach the core pipe can be solved.
以下、本発明に従って構成されたチューブコネクターの好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。 Hereinafter, a preferred embodiment of a tube connector configured according to the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
図1には、本発明に従って構成されたチューブコネクターの断面図が示されている。
図示の実施形態におけるチューブコネクター2は、チューブ3を連結するためのコネクター本体21を具備している。コネクター本体21は、図示の実施形態においてはエルボ型に形成され両端部に接続穴211と212が形成されており、両接続穴211と212が連通されている。このコネクター本体21の一方の接続穴211の内周面には、チューブ3が挿入された状態で外周面をシールするシールリング22が装着されている。また、コネクター本体21の一方の接続穴211の内周面には、チューブ3が挿入された状態でチューブ3の外周面を係止する係止手段23が配設されている。この係止手段23は、チューブ3の外周面と係合する爪部材231と、該爪部材231を接続穴211の内周面に保持する爪押え部材232とからなっている。更に、接続穴211端部には、爪部材231のチューブ3の外周面との係合を解除するためのリリースブッシュ24が軸方向に摺動可能に配設されている。また、接続穴211端部には、リリースブッシュ24の抜けを防止するために抜け止め部材25が圧入されている。
上述したコネクター本体21と、シールリング22と、爪部材231と爪押え部材232とからなる係止手段23と、リリースブッシュ24および抜け止め部材25の構成は、従来公知の構成であり、更に詳細な説明は省略する。
FIG. 1 shows a cross-sectional view of a tube connector constructed in accordance with the present invention.
The tube connector 2 in the illustrated embodiment includes a connector
The structure of the connector
図1を参照して説明を続けると、図示の実施形態におけるチューブコネクター2は、コネクター本体21の接続穴211内に配設されチューブ3の接続穴211への挿入によりチューブ3の先端部内側に嵌入するコアパイプ26を備えている。このコアパイプ26は、チューブ3の先端部内側に嵌入するチューブ保持部261と、該チューブ保持部261の一端に径方向に形成された環状の取り付けフランジ部262とからなっており、取り付けフランジ部262がコネクター本体21に固定されている。更に詳細に説明すると、図示の実施形態におけるコアパイプ26はステンレス鋼等の金属材によって形成されており、コネクター本体21を鋳造する際にコアパイプ26の外周部を鋳込む方法によって装着する。このようにしてコネクター本体21に固定されたコアパイプ26は、チューブ保持部261が接続穴211の開口に向けて配設されている。
1, the tube connector 2 in the illustrated embodiment is disposed in the
図示の実施形態におけるチューブコネクター2は以上のように構成されており、チューブ3を連結するには、コネクター本体21の接続穴211にチューブ3を挿入し、図2に示すようにチューブ3の先端部をコアパイプ26のチューブ保持部261に嵌入する。このようにチューブ3の先端部をコアパイプ26のチューブ保持部261に嵌入することにより、チューブ3の外周面がシールリング22の内周面に密着するとともに、爪部材231がチューブ3の外周面に係合する。この爪部材231がチューブ3の外周面に係合することにより、チューブ3の抜けが防止される。なお、チューブ3をコネクター本体21から抜き取る場合には、リリースブッシュ24を爪部材231側に摺動させて爪部材231とチューブ3の外周面との係合を解除することにより、チューブ3を容易に抜き取ることができる。
The tube connector 2 in the illustrated embodiment is configured as described above. To connect the
以上のように図示の実施形態におけるチューブコネクター2は、コネクター本体21の接続穴211内にチューブ3の接続穴211への挿入によりチューブ3の先端部内側に嵌入するコアパイプ26がコネクター本体21に固定して配設されているので、コネクター本体21の接続穴211にチューブ3を挿入し、チューブ3の先端部をコアパイプ26のチューブ保持部261に嵌入するだけでチューブ3を連結することができる。従って、チューブ3にコアパイプを挿入する作業が不要になるとともに、コアパイプを付け忘れるという問題を解消することができる。
なお、上述した実施形態においてはエルボ型のコネクター本体を備えたチューブコネクターについて説明したが、本発明は直線状のコネクター本体を備えたチューブコネクターに適用してもよい。
As described above, in the tube connector 2 in the illustrated embodiment, the
In addition, although the tube connector provided with the elbow-type connector main body was demonstrated in embodiment mentioned above, this invention may be applied to the tube connector provided with the linear connector main body.
2:チューブコネクター
21:コネクター本体
211、212:接続穴
22:シールリング
23:係止手段
231:爪部材
232:爪押え部材
24:リリースブッシュ
25:抜け止め部材
26:コアパイプ
3:チューブ
2: Tube connector 21:
Claims (1)
該コネクター本体の接続穴内に配設されチューブの接続穴への挿入によりチューブの先端部内側に嵌入するコアパイプが該コネクター本体に固定されている、
ことを特徴とするチューブコネクター。 A connector main body having a connection hole for connecting a tube, a seal ring for sealing the outer peripheral surface of the tube attached to the inner peripheral surface of the connection hole of the connector main body and inserted in the connection hole, and an outer peripheral surface of the tube. A tube connector having locking means for stopping,
A core pipe, which is disposed in the connection hole of the connector body and is inserted into the distal end of the tube by being inserted into the connection hole of the tube, is fixed to the connector body.
A tube connector characterized by that.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012251946A JP2014098472A (en) | 2012-11-16 | 2012-11-16 | Tube connector |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012251946A JP2014098472A (en) | 2012-11-16 | 2012-11-16 | Tube connector |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014098472A true JP2014098472A (en) | 2014-05-29 |
Family
ID=50940638
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012251946A Pending JP2014098472A (en) | 2012-11-16 | 2012-11-16 | Tube connector |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014098472A (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07301381A (en) * | 1994-04-28 | 1995-11-14 | Tokai Rubber Ind Ltd | Tube joint |
JPH11325362A (en) * | 1998-05-13 | 1999-11-26 | Smc Corp | Pipe joint |
JP2003254483A (en) * | 2001-12-28 | 2003-09-10 | Smc Corp | Pipe joint |
JP2006038169A (en) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Nitta Moore Co | Pipe coupling |
-
2012
- 2012-11-16 JP JP2012251946A patent/JP2014098472A/en active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07301381A (en) * | 1994-04-28 | 1995-11-14 | Tokai Rubber Ind Ltd | Tube joint |
JPH11325362A (en) * | 1998-05-13 | 1999-11-26 | Smc Corp | Pipe joint |
JP2003254483A (en) * | 2001-12-28 | 2003-09-10 | Smc Corp | Pipe joint |
JP2006038169A (en) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Nitta Moore Co | Pipe coupling |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009033178A5 (en) | ||
JP6169422B2 (en) | Flow control device | |
US20210054932A1 (en) | Gasket and flow passage connector structure | |
NZ592253A (en) | A pipe coupling including gasket ring, deformable clinching sleeve and coupling nut | |
JP6285688B2 (en) | Apparatus, arrangement apparatus and arrangement method for arranging fluid coupling | |
TWI489050B (en) | Plug for water plumbing | |
JP2014098472A (en) | Tube connector | |
TWI511223B (en) | Semiconductor equipment | |
CN215445043U (en) | Sealed thermal desorption pipe assembly | |
JP2007154916A (en) | Pipe joint and male type member of pipe joint | |
WO2020199193A8 (en) | Polishing fluid collection apparatus and substrate polishing methods related thereto | |
JP4683206B2 (en) | How to remove fittings and piping | |
CN107958866B (en) | Wafer fixing device in evaporation coating process | |
CN207830792U (en) | Integral type hose connection device | |
TW201641863A (en) | Pipe joint | |
JP2011114144A (en) | Die bonder and method for manufacturing bonding arm for die bonder | |
JP2010007770A (en) | Fluid pipeline | |
JP6249917B2 (en) | Pipe fitting device | |
JP6490910B2 (en) | Removal jig | |
KR20110000458U (en) | One touch type coupler | |
US11168826B2 (en) | Mist capture device for hydraulic fitting | |
KR102163847B1 (en) | Method of installing chemical mechanical polishing system | |
JP2009269142A (en) | Tool holder | |
JP2013148143A (en) | Joint pipe header | |
JP5890166B2 (en) | Pipe fitting and locking member |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151019 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160804 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160809 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170221 |