JP2014060259A - Ceramic laminate cutting method, ceramic laminate cutting device, and method of manufacturing laminated ceramic electronic component - Google Patents
Ceramic laminate cutting method, ceramic laminate cutting device, and method of manufacturing laminated ceramic electronic component Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014060259A JP2014060259A JP2012204309A JP2012204309A JP2014060259A JP 2014060259 A JP2014060259 A JP 2014060259A JP 2012204309 A JP2012204309 A JP 2012204309A JP 2012204309 A JP2012204309 A JP 2012204309A JP 2014060259 A JP2014060259 A JP 2014060259A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- cutting
- laminate
- ceramic laminate
- cut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、例えば、積層セラミックコンデンサや積層バリスタのような積層セラミック電子部品の製造工程において用いられる、セラミック積層体のカット方法、セラミック積層体のカット装置、および積層セラミック電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for cutting a ceramic laminate, a cutting device for a ceramic laminate, and a method for producing a multilayer ceramic electronic component used in a process for producing a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor or a multilayer varistor.
代表的なセラミック電子部品の一つに、例えば、図7に示すような構造を有する積層セラミックコンデンサがある。そして、積層セラミックコンデンサは、図7に示すように、誘電体層であるセラミック層42を介して複数の内部電極41a,41bが積層された積層セラミックコンデンサ素子43の両端面に、内部電極41a,41bと導通するように外部電極44a,44bが配設された構造を有している。
One typical ceramic electronic component is, for example, a multilayer ceramic capacitor having a structure as shown in FIG. As shown in FIG. 7, the multilayer ceramic capacitor has
ところで、このような積層セラミックコンデンサを製造する場合、通常、
(a)複数の内部電極パターンが、未焼成セラミック層を介して積層された構造を有する未焼成のセラミック積層体(マザー積層体)を形成する工程、
(b)このセラミック積層体を所定の位置でカットして、個々の積層セラミック電子部品に対応する積層体(個々の積層セラミック素子)に分割する工程、
(c)分割された個々の積層セラミック素子を焼成する工程、
(d)焼成後の積層セラミック素子の所定の位置に外部電極形成用の導電性ペーストを塗布して焼き付けることにより外部電極を形成する工程
などを経て製造される。
By the way, when manufacturing such a multilayer ceramic capacitor, usually,
(A) a step of forming an unfired ceramic laminate (mother laminate) having a structure in which a plurality of internal electrode patterns are laminated via an unfired ceramic layer;
(B) cutting the ceramic laminated body at a predetermined position and dividing it into laminated bodies (individual laminated ceramic elements) corresponding to individual laminated ceramic electronic components;
(C) firing the divided individual multilayer ceramic elements;
(D) It is manufactured through a process of forming an external electrode by applying and baking a conductive paste for forming an external electrode on a predetermined position of the fired multilayer ceramic element.
ところで、このような積層セラミック電子部品の製造方法として、図8に示すように、負圧室111に通じる吸引孔112を備えたテーブル110上に載置されたセラミック積層体(マザー積層体)101の一端面102を基準ガイド103に当接させ、セラミック積層体101の位置決めを行った後、等間隔でカット刃(押し切り刃)104を順次移動させながら、カット刃104を垂直に下降させて、セラミック積層体101を厚み方向に押し切りカットする工程を経て積層セラミック電子部品を製造する方法が提案されている(特許文献1参照)。
By the way, as a manufacturing method of such a multilayer ceramic electronic component, as shown in FIG. 8, the ceramic laminated body (mother laminated body) 101 mounted on the table 110 provided with the
しかしながら、上述の特許文献1の方法の場合、位置決め用の基準ガイド103が当接するセラミック積層体(マザー積層体)の一端面102は、セラミック積層体をカットして個々の積層セラミック電子部品に対応する積層体に分割する前に、セラミック積層体(マザー積層体)を所定の位置で切断することにより形成される切断端面であることから、以下の問題が生じる。
However, in the case of the method disclosed in
(1)例えば、セラミック積層体(マザー積層体)101の端面102が、押し切り刃を用いた押し切りカットによる切断端面である場合、押し切り刃の先端の形状精度、押し切り刃がセラミック積層体(マザー積層体)101に入る角度、押し切りカットを行う際の力の加わり方などによって、セラミック積層体101の端面(切断端面)102(図9参照)が、セラミック積層体の主面に対して垂直に形成されず、また、端面の平坦性や直線性も悪くなる。また、押し切り方向(垂直方向)の直線性ばかりでなく、押し切り刃の長手方向と平行な方向の直線性も低下する傾向がある。
特に押し切り開始主面から離れた領域(押し切り深さが深い領域)では、端面の平坦性や直線性が低下する。
(1) For example, when the
In particular, the flatness and linearity of the end face are deteriorated in a region away from the press-cut starting main surface (a region where the press cut depth is deep).
(2)また、セラミック積層体(マザー積層体)は、通常、内部電極とセラミックグリーンシートが交互に複数層積層されてなる有効層と、内部電極を介在させずにセラミックグリーンシートを複数積層してなる保護用セラミック層とを備えており、有効層と保護用セラミック層とでは、硬さが異なるため、上述のような押し切りの方法で切断した場合、硬さの位置的な差異により、端面(切断端面)が、セラミック積層体の主面に対して垂直に形成されず、直線性が悪くなる。また、押し切り方向(垂直方向)の直線性ばかりでなく、押し切り刃の長手方向と平行な方向の直線性についても低下する。 (2) Also, the ceramic laminate (mother laminate) is usually an effective layer in which a plurality of internal electrodes and ceramic green sheets are alternately laminated, and a plurality of ceramic green sheets laminated without interposing the internal electrodes. Since the hardness is different between the effective layer and the protective ceramic layer, the end face is caused by the positional difference in hardness when cut by the above-described pressing method. The (cut end face) is not formed perpendicular to the main surface of the ceramic laminate, and the linearity deteriorates. Further, not only the linearity in the push cutting direction (vertical direction) but also the linearity in the direction parallel to the longitudinal direction of the push cutting blade is reduced.
このため、図9に示すように、基準ガイド103のセラミック積層体101の端面102に当接する先端部103aの厚みが厚い場合、位置決めガイドがセラミック積層体101の端面102の垂直でない、傾きのある部分や、直線性が悪い部分に当接することになる。その結果、基準ガイド103の位置と、それに当接した状態にあるセラミック積層体101の位置が一定にならない場合が生じたり、セラミック積層体102を個々の積層セラミック電子部品に対応する積層体(積層セラミック素子)に分割する際(切断中)にセラミック積層体101の位置がずれたりして、切断位置精度が低下するという問題点がある。
For this reason, as shown in FIG. 9, when the thickness of the
本発明は、上記課題を解決するものであり、セラミック積層体を意図する位置で精度よくカットすることが可能なセラミック積層体のカット方法、それに用いられるセラミック積層体のカット装置、および信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能な積層セラミック電子部品の製造方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-described problem, and a ceramic laminate cutting method capable of accurately cutting a ceramic laminate at an intended position, a ceramic laminate cutting apparatus used therefor, and reliability It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component capable of efficiently manufacturing a high multilayer ceramic electronic component.
上記課題を解決するために、セラミック積層体のカット方法は、
未焼成のセラミック層を介して内部電極パターンが積層された有効層部と、前記有効層部の一対の主面のうちの少なくとも一方側に配設された保護用セラミック層とを有し、一対の主面のうちのいずれか一方の主面から押し切り刃を進入させて厚み方向に押し切りカットすることにより形成された基準面を備えたセラミック積層体を所定の位置でカットする方法であって、
前記セラミック積層体に形成された前記基準面の、前記基準面形成時に前記押し切り刃を進入させた方の主面である押し切り開始主面側端部から厚み方向1/2までの領域に位置決めガイドを当接させ、前記セラミック積層体を所定の位置に保持した状態で、前記セラミック積層体の一対の主面のうちのいずれか一方の主面から押し切り刃を進入させて厚み方向に押し切りカットすること
を特徴としている。
In order to solve the above problems, the method of cutting the ceramic laminate is as follows:
An effective layer portion in which internal electrode patterns are laminated via an unfired ceramic layer, and a protective ceramic layer disposed on at least one side of a pair of main surfaces of the effective layer portion, A method of cutting a ceramic laminate including a reference surface formed by entering a pressing blade from one of the main surfaces and cutting in the thickness direction at a predetermined position,
Positioning guide of the reference surface formed in the ceramic laminate to a region from the end of the press cutting start main surface side that is the main surface into which the press cutting blade enters when forming the reference surface to the
また、本発明のセラミック積層体のカット方法においては、前記保護用セラミック層が、前記基準面形成時の前記押し切り開始主面側に配設されている場合において、当該保護用セラミック層に前記位置決めガイドを当接させることが好ましい。 Further, in the method for cutting a ceramic laminate according to the present invention, when the protective ceramic layer is disposed on the main surface of the press cut when the reference surface is formed, the positioning is performed on the protective ceramic layer. It is preferable to abut the guide.
保護用セラミック層が、セラミック積層体の有効層部の押し切り開始主面側に配設されている場合において、該保護用セラミック層に位置決めガイドを当接させることにより、位置決めガイドが、上記基準面における、該基準面を形成する際の押し切り開始主面に近く、直線性、平坦性が高く、押し切り開始主面に対する垂直性に優れた領域に当接するため、セラミック積層体を意図する位置で精度よくカットすることが可能になり、本発明をより実効あらしめることができる。 In the case where the protective ceramic layer is disposed on the main surface side of the effective layer portion of the ceramic laminate, the positioning guide is brought into contact with the reference ceramic surface by bringing the positioning guide into contact with the protective ceramic layer. Because it is close to the press-cut starting main surface when forming the reference surface, and is in contact with a region having high linearity and flatness and excellent perpendicularity to the press-cut starting main surface, the ceramic laminated body is accurate at the intended position. It becomes possible to cut well, and the present invention can be made more effective.
また、前記位置決めガイドとして、前記セラミック積層体の前記基準面に当接する先端部の厚みが、該先端部が当接する前記保護用セラミック層の厚みよりも薄い位置決めガイドを用いることが好ましい。 In addition, as the positioning guide, it is preferable to use a positioning guide in which the thickness of the front end portion in contact with the reference surface of the ceramic laminate is thinner than the thickness of the protective ceramic layer in contact with the front end portion.
セラミック積層体の基準面に当接する先端部の厚みが、セラミック積層体の、前記保護用セラミック層の厚みよりも薄い位置決めガイドを用いることにより、上述の直線性、平坦性、垂直性の高い、保護用セラミック層のみに位置決めガイドを確実に当接させることが可能になる。その結果、セラミック積層体の位置決め精度をさらに向上させることが可能になるとともに、押し切りカット中のセラミック積層体の位置ずれを低減することが可能になり、カット位置精度を向上させ、所望のカット形状を得ることができるようになる。 By using a positioning guide in which the thickness of the front end portion in contact with the reference surface of the ceramic laminate is thinner than the thickness of the protective ceramic layer of the ceramic laminate, the above-described linearity, flatness, and verticality are high. The positioning guide can be reliably brought into contact with only the protective ceramic layer. As a result, it becomes possible to further improve the positioning accuracy of the ceramic laminate, and also to reduce the positional deviation of the ceramic laminate during the press-cutting, improve the cut position accuracy and improve the desired cut shape. You will be able to get
また、本発明のセラミック積層体のカット装置は、
未焼成のセラミック層を介して内部電極パターンが積層された有効層部と、前記有効層部の一対の主面のうちの少なくとも一方側に配設された保護用セラミック層とを有し、一対の主面のうちのいずれか一方の主面から押し切り刃を進入させて厚み方向に押し切りカットすることにより形成された基準面を備えたセラミック積層体を所定の位置でカットするのに用いられるセラミック積層体のカット装置であって、
前記セラミック積層体が載置されるテーブルと、
前記セラミック積層体に押し当てられて、前記セラミック積層体を厚み方向に押し切りカットする押し切り刃と、
前記セラミック積層体に形成された前記基準面の、前記基準面形成時に前記押し切り刃を進入させた方の主面である押し切り開始主面側端部から厚み方向1/2までの領域に当接して、前記セラミック積層体の位置決めを行う位置決めガイドと、
前記テーブルを駆動するテーブル駆動手段と、
前記セラミック積層体が押し切りカットされるように、前記押し切り刃を動作させる押し切り刃駆動手段と
を備え、
前記位置決めガイドが前記基準面の前記領域に当接し、前記セラミック積層体が所定の位置に保持された状態で、前記セラミック積層体の一対の主面のうちのいずれか一方の主面から押し切り刃が進入することにより、前記セラミック積層体が所定の位置で押し切りカットされるように構成されていること
を特徴としている。
Moreover, the cutting device of the ceramic laminate of the present invention,
An effective layer portion in which internal electrode patterns are laminated via an unfired ceramic layer, and a protective ceramic layer disposed on at least one side of a pair of main surfaces of the effective layer portion, A ceramic used to cut a ceramic laminate having a reference surface formed at a predetermined position by pushing a cutting blade from any one of the main surfaces and cutting it in the thickness direction. A laminate cutting apparatus,
A table on which the ceramic laminate is placed;
A pressing blade that is pressed against the ceramic laminate and cuts and cuts the ceramic laminate in the thickness direction;
The reference surface formed on the ceramic laminate is in contact with the region from the end of the press-cut starting main surface side, which is the main surface into which the press cutting blade enters when forming the reference surface, to the
Table driving means for driving the table;
A cutting blade driving means for operating the cutting blade so that the ceramic laminate is cut and cut;
The positioning guide is in contact with the region of the reference surface, and the ceramic laminate is held in a predetermined position from one of the main surfaces of the ceramic laminate. It is characterized in that the ceramic laminated body is cut and cut at a predetermined position by entering.
本発明のセラミック積層体のカット装置においては、前記セラミック積層体を構成する前記保護用セラミック層が、前記基準面形成時の前記押し切り開始主面側に配設されている場合において、前記位置決めガイドとして、前記セラミック積層体の前記基準面に当接する先端部の厚みが、該先端部が当接する前記保護用セラミック層の厚みよりも薄い位置決めガイドが用いられていることが好ましい。 In the ceramic laminated body cutting apparatus of the present invention, when the protective ceramic layer constituting the ceramic laminated body is disposed on the push-cut starting main surface side when the reference surface is formed, the positioning guide It is preferable that a positioning guide is used in which the thickness of the tip of the ceramic laminate that contacts the reference surface is thinner than the thickness of the protective ceramic layer that contacts the tip.
上記構成を備えることにより、前記基準面における、直線性、平坦性、垂直性に大きな乱れが生じていない確率のより高い領域に位置決めガイドを当接させて、セラミック積層体を意図する位置でより精度よくカットすることが可能になり、本発明をさらに実効あらしめることができる。 By providing the above-described configuration, the positioning guide is brought into contact with a higher probability that no large disturbances in linearity, flatness, and verticality occur in the reference plane, and the ceramic laminate is more at the intended position. It becomes possible to cut with high accuracy, and the present invention can be further effectively realized.
また、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、
前記セラミック積層体を構成する前記保護用セラミック層が、前記基準面形成時の前記押し切り開始主面側に配設されている場合において、前記位置決めガイドとして、前記セラミック積層体の前記基準面に当接する先端部の厚みが、該先端部が当接する前記保護用セラミック層の厚みよりも薄い位置決めガイドが用いられていることを特徴としている。
また、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、
複数の内部電極がセラミック層を介して積層された構造を有する積層セラミック素子を備えた積層セラミック電子部品の製造方法であって、
(a)複数の内部電極パターンが、未焼成セラミック層を介して積層された構造を有する未焼成のセラミック積層体を形成する工程と、
(b)前記セラミック積層体を所定の位置でカットして、個々の積層セラミック電子部品に対応する個々の積層セラミック素子に分割する工程と、
(c)分割された個々の積層セラミック素子を焼成する工程と
を備えた積層セラミック電子部品の製造方法であって、
前記(b)の工程において、請求項1〜3のいずれかに記載のセラミック積層体のカット方法を用いて、前記セラミック積層体をカットすることにより、個々の積層セラミック素子に分割すること
を特徴としている。
In addition, the method for manufacturing the multilayer ceramic electronic component of the present invention includes:
In the case where the protective ceramic layer constituting the ceramic laminate is disposed on the push-cut start main surface side when the reference surface is formed, the protective ceramic layer contacts the reference surface of the ceramic laminate as the positioning guide. A positioning guide is used in which the thickness of the tip portion in contact is thinner than the thickness of the protective ceramic layer with which the tip portion abuts.
In addition, the method for manufacturing the multilayer ceramic electronic component of the present invention includes:
A method for producing a multilayer ceramic electronic component comprising a multilayer ceramic element having a structure in which a plurality of internal electrodes are laminated via a ceramic layer,
(A) forming an unfired ceramic laminate having a structure in which a plurality of internal electrode patterns are laminated via unfired ceramic layers;
(B) cutting the ceramic laminate at a predetermined position and dividing the ceramic laminate into individual multilayer ceramic elements corresponding to individual multilayer ceramic electronic components;
(C) a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component comprising a step of firing individual divided multilayer ceramic elements,
In the step (b), by using the method for cutting a ceramic laminate according to any one of
本発明のセラミック積層体のカット方法は、セラミック積層体に形成された基準面の、基準面形成時に押し切り刃を進入させた方の主面である押し切り開始主面側端部から厚み方向1/2までの領域に位置決めガイドを当接させ、セラミック積層体を所定の位置に保持した状態で、前記セラミック積層体の一対の主面のうちのいずれか一方の主面から押し切り刃を進入させて厚み方向に押し切りカットするようにしているので、位置決めガイドが、上記基準面における、該基準面を形成する際の押し切り開始主面に近く、直線性、平坦性が高く、押し切り開始主面に対する垂直性に優れた領域に当接するため、セラミック積層体を意図する位置で精度よくカットすることが可能になる。
なお、基準面を形成する際の押し切り開始主面に近くは、押し切り方向(垂直方向)の直線性ばかりでなく、押し切り刃の長手方向の直線性も高いため、押し切り刃の長手方向に平行な方向の直線性も高くなることから、その点でもセラミック積層体を精度よくカットすることが可能になる。
The method for cutting a ceramic laminate according to the present invention is a method in which the reference surface formed in the ceramic laminate has a thickness direction from the end of the press cutting start main surface, which is the main surface into which the press cutting blade has entered when forming the reference surface. In a state where the positioning guide is brought into contact with the region up to 2 and the ceramic laminated body is held in a predetermined position, a push cutting blade is made to enter from one of the main faces of the ceramic laminated body. Since the cut-off cut is made in the thickness direction, the positioning guide is close to the cut-off start main surface at the time of forming the reference surface on the reference surface, and has high linearity and flatness, and is perpendicular to the cut-off start main surface. Since it abuts on a region having excellent properties, the ceramic laminate can be cut with high precision at the intended position.
It should be noted that not only the linearity in the direction of cutting (vertical direction) but also the linearity in the longitudinal direction of the cutting blade is high near the main surface of the cutting surface when forming the reference surface, so that it is parallel to the longitudinal direction of the cutting blade. Since the linearity of the direction is also improved, the ceramic laminate can be cut with high accuracy in this respect.
すなわち、基準面形成時に押し切り刃が入る押し切り開始主面に近い部分では、刃先の形状精度、刃の入る角度、切断時の力のかかり方の違いによる直線性、平坦性、垂直性の悪化が生じにくく、位置決めガイドが当接する領域の直線性、平坦性、垂直性が良好で、押し切りカット中のセラミック積層体の位置ずれを低減して、カット位置精度を向上させることが可能になるとともに、所望のカット形状を得ることが可能になる。 In other words, in the part close to the push cutting start main surface where the push cutting blade enters when the reference surface is formed, the linearity, flatness, and verticality deteriorate due to the difference in the shape accuracy of the blade edge, the angle at which the blade enters, and the way the force is applied during cutting. It is difficult to occur, the linearity, flatness, and verticality of the area where the positioning guide abuts are good, it is possible to reduce the positional deviation of the ceramic laminate during push-cutting, and improve the cutting position accuracy, A desired cut shape can be obtained.
また、本発明のセラミック積層体のカット装置は、セラミック積層体が載置されるテーブルと、セラミック積層体を厚み方向にカットする押し切り刃と、セラミック積層体に形成された基準面の、基準面形成時に前記押し切り刃を進入させた方の主面側端部から厚み方向1/2までの領域に当接して、セラミック積層体の位置決めを行う位置決めガイドと、テーブル駆動手段と、押し切り刃を動作させる押し切り刃駆動手段とを備え、位置決めガイドが基準面の上記領域に当接し、セラミック積層体が所定の位置に保持された状態で、セラミック積層体の一対の主面のうちのいずれか一方の主面から押し切り刃が進入することにより、セラミック積層体が所定の位置で押し切りカットされるように構成されているので、押し切りカット中のセラミック積層体の位置ずれを低減して、カット位置精度を向上させることが可能になるとともに、所望のカット形状を得ることが可能になる。
Moreover, the cutting device for a ceramic laminate of the present invention includes a table on which the ceramic laminate is placed, a press cutting blade for cutting the ceramic laminate in the thickness direction, and a reference surface of a reference surface formed on the ceramic laminate. Positioning guide for positioning the ceramic laminate, table driving means, and press cutting blade are operated in contact with the region from the main surface side end where the press cutting blade is introduced to the
また、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、複数の内部電極がセラミック層を介して積層された構造を有する積層セラミック素子を備えた積層セラミック電子部品を製造方法するにあたって、(a)未焼成のセラミック積層体を形成する工程、(b)セラミック積層体を所定の位置でカットして、個々の積層セラミック素子に分割する工程、(c)得られた個々の積層セラミック素子を焼成する工程、を備えており、かつ、上記(b)の工程において、本発明のセラミック積層体のカット方法を用いて、前記セラミック積層体をカットすることにより、個々の積層セラミック素子に分割するようにしているので、カット位置精度やカット形状精度が高く、個々の積層セラミック素子における内部電極が所望の位置に配設された信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。 The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention includes a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component including a multilayer ceramic element having a structure in which a plurality of internal electrodes are stacked via ceramic layers. A step of forming a fired ceramic laminate, (b) a step of cutting the ceramic laminate at a predetermined position and dividing it into individual multilayer ceramic elements, and (c) a step of firing the obtained individual multilayer ceramic elements. In the step (b), the ceramic laminate is cut using the method for cutting a ceramic laminate of the present invention so as to be divided into individual multilayer ceramic elements. Therefore, the cut position accuracy and cut shape accuracy are high, and the internal electrodes of each multilayer ceramic element are reliable at the desired position. It is possible to efficiently high laminated ceramic electronic component in the manufacturing.
以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。 Embodiments of the present invention will be described below to describe the features of the present invention in more detail.
図1は本発明の実施形態にかかるセラミック積層体のカット装置の構成を模式的に示す斜視図、図2は本発明の実施形態にかかるカット装置によりカットされるセラミック積層体の構成を示す断面図、図3は本発明の実施形態においてセラミック積層体の基準面を形成する方法を示す図であり、(a)は押し切り刃によりセラミック積層体の一辺をカットしている状態を示す図、(b)はカットすることにより基準面を形成した後のセラミック積層体の基準面を示す図である。 FIG. 1 is a perspective view schematically showing a configuration of a ceramic laminate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing a configuration of a ceramic laminate cut by the cutting apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a diagram showing a method of forming a reference surface of a ceramic laminate in an embodiment of the present invention, and FIG. 3A is a diagram showing a state in which one side of the ceramic laminate is cut by a press cutting blade. b) is a diagram showing the reference surface of the ceramic laminate after the reference surface is formed by cutting.
図1および2に示すように、このセラミック積層体のカット装置20は、セラミック積層体1を保持するテーブル2と、セラミック積層体1に押し当てられて、セラミック積層体1を厚み方向に押し切りカットする押し切り刃3と、押し切り刃3を把持するクランプ部4と、セラミック積層体1に形成された基準面11に当接して、セラミック積層体1が押し切り工程で位置ずれを生じないようにする位置決めガイド5と、テーブル1を駆動するテーブル駆動手段6と、セラミック積層体1が押し切りカットされるように、クランプ部4を介して押し切り刃3を上下に動作させる押し切り刃駆動手段7と、セラミック積層体1が有する内部電極パターン22(図2参照)の間隔、すなわち、分割後に個々の積層セラミック素子31(図2参照)となる領域のそれぞれに含まれる内部電極パターン22の間隔を検出して、セラミック積層体1を押し切りカットする位置を決定するためのセンサ(この実施形態ではCCDカメラ)8a,8bを備えている。
As shown in FIGS. 1 and 2, this ceramic
また、このカット装置20を用いてカットされるセラミック積層体1は、積層セラミック電子部品(この実施形態では積層セラミックコンデンサ)の製造工程において形成されるものであり、例えば、図2に模式的に示すように、未焼成のセラミック層21を介して内部電極パターン22が積層された有効層部23と、有効層部23を両主面側から挟み込むように配設された保護用セラミック層24とを有している。なお、内部電極パターン22は、分割後に個々の積層セラミック素子31となる領域のそれぞれに、未焼成のセラミック層22を介して配設されている。
Moreover, the ceramic
なお、セラミック積層体1の有効層部23の厚みは1600μm、その上下の保護用セラミック層24の厚みはそれぞれ100μmとされている。
The thickness of the
また、セラミック積層体1の上述の基準面11は、図3(a)に示すように、一対の主面のうちのいずれか一方の主面(この実施形態では上側主面)1aから押し切り刃13を進入させて厚み方向に押し切りカットすることにより形成されている。
Moreover, the above-mentioned
なお、この実施形態では、基準面11を形成する際の押し切り刃13として、セラミック積層体をカットするために用いられる押し切り刃3と同じものを用いている。ただし、異なる押し切り刃を用いることも可能である。
In addition, in this embodiment, the same thing as the
また、図3(b)に、模式的に示すように、基準面11は、押し切り刃13を進入させた方の主面(押し切り開始主面)1aに近い領域、すなわち、押し切り開始主面1aから、厚み方向1/2付近までの領域は、直線性、平坦性が高く、押し切り開始主面1aに対する垂直性に優れているが、厚み方向1/2付近を越えた領域は、直線性、平坦性が低く、押し切り開始主面1aに対する垂直性に劣る領域となっている。
Further, as schematically shown in FIG. 3 (b), the
また、この実施形態において用いられている位置決めガイド5は、セラミック積層体1の基準面11に当接する先端部5aの厚みT(図4,図5参照)が、セラミック積層体1の、保護用セラミック層24(24a)の厚みよりも薄く形成されている(先端部5aの厚みT=50μm)。
Further, in the
次に、上述のカット装置20を用いてセラミック積層体1を押し切りカットする方法、および、押し切りカットすることにより得られる個々の積層セラミック素子31を用いて、積層セラミック電子部品(積層セラミックコンデンサを製造する方法について説明する。
Next, a multilayer ceramic electronic component (multilayer ceramic capacitor is manufactured by using the above-described
(1)まず、未焼成のセラミック積層体1を、カット装置20のテーブル2上に載置する。
(1) First, the unfired
セラミック積層体1を作製する方法としては、例えば、内部電極パターンが印刷されたセラミックグリーンシートを複数枚積層し、上下に適宜の枚数の内部電極パターンが印刷されていない保護層用のセラミックグリーンシートを積層する方法が挙げられる。
As a method for producing the
ただし、セラミックペーストを印刷し、乾燥した後に、内部電極ペーストを印刷する工程を繰り返すことにより、未焼成のセラミック積層体(未焼成マザーセラミック積層体)を作製する方法を採用することもできる。 However, a method of producing an unfired ceramic laminate (unfired mother ceramic laminate) by repeating the steps of printing the internal paste after the ceramic paste is printed and dried can also be employed.
(2)それから、セラミック積層体1の4辺を、上述のように、押し切り刃13(3)により押し切りカットして、基準面11を形成する。なお、この実施形態では、基準面形成用の押し切り刃13として、セラミック積層体を、個々の積層セラミック素子31に分割するために用いる押し切り刃3と同じものを用いている。ただし、別のテーブル上で、別の押し切り刃を用いてセラミック積層体をカットして、基準面を形成することも可能である。
(2) Then, the four sides of the
(3)それから、図4に示すように、セラミック積層体1の所定の基準面11の、上側の保護用セラミック層24(24a)に、位置決めガイド5の先端部5aを当接させ、セラミック積層体1の位置決めを行う。
なお、この実施形態では、位置決めガイド5のセラミック積層体1の基準面11への当接位置は、セラミック積層体1の上側主面1aから0〜50μm下の位置に、位置決めガイド5の先端部5aの上端が位置するように設定される。
(3) Then, as shown in FIG. 4, the
In this embodiment, the contact position of the
(4)次に、センサ8a,8bによりセラミック積層体1の所定のカット位置が検出され、位置決めガイド5によりセラミック積層体1が所定の位置に位置決めされた状態で、押し切り刃駆動手段7により、クランプ部4を介して押し切り刃3を動作させることにより、図5に示すように、押し切り刃3をセラミック積層体1に進入させ、厚み方向に押し切りカットする。
(4) Next, a predetermined cutting position of the ceramic
その後、テーブル駆動手段6によりテーブル2を移動させ、先のカットラインと平行な複数の所定位置で、同様の方法でセラミック積層体1を押し切りカットした後、テーブル2を90°回転させる。そして、先と同様の方法でセラミック積層体1を平行な複数の所定位置で押し切りカットして、セラミック積層体1を個々の積層セラミック素子31(図6参照)に分割する。
Thereafter, the table 2 is moved by the table driving means 6, and the
なお、この実施形態では、位置決めガイド4の先端部5aの厚みT(50μmと)が、セラミック積層体1の、該先端部5aが当接する保護用セラミック層24(24a)の厚み(100μm)よりも薄く形成されており、基準面11の、直線性、平坦性が高く、押し切り開始主面1aに対する垂直性に優れた領域(押し切り開始主面1a側の保護用セラミック層24(24a)の端面に当接するため、セラミック積層体1の位置ズレによるカットずれ不良を改善して、セラミック積層体1を、所定の位置で確実に分割して、形状精度や、内部電極パターンの位置精度などに優れた個々の積層セラミック素子31を得ることができる。
なお、基準面11の、押し切り開始主面1aに近い領域は、押し切り方向(垂直方向)の直線性ばかりでなく、押し切り刃3の長手方向の直線性も高いため、基準面11の、押し切り刃3に平行な方向の直線性も高くなり、その点でもセラミック積層体1を精度よくカットすることが可能になる。
In this embodiment, the thickness T (50 μm) of the
In addition, since the area | region close | similar to the press-cut start
また、この実施形態では、セラミック積層体1の基準面11に当接する先端部の厚みが50μmの位置決めガイドを用いた本発明の実施形態にかかるカット方法でセラミック積層体1をカットした場合と、セラミック積層体1の基準面11に当接する先端部の厚みが1000μmで、セラミック積層体の厚みの1/2を超える位置決めガイドを用いた比較例のカット方法でセラミック積層体をカットした場合の、カット位置ずれ不良の発生率を調べた。
Further, in this embodiment, when the
ここでは、セラミック積層体1をカットすることにより得られる個々の積層セラミック素子31(図6参照)における、内部電極22の端部と、積層セラミック素子31の端面31aとの間隔(サイドギャップ)Gの目標値を220μmとした場合において、サイドギャップGが70μm未満になった試料をカット位置ずれ不良が生じた試料と判定し、試験に供した試料数に対する不良発生試料数の割合を調べ、上記実施形態の場合と比較例の場合でその発生率を比較した。
Here, the distance (side gap) G between the end of the
その結果、本発明の実施形態にかかるカット方法の場合、カット位置ずれ不良の発生率を、比較例のカット方法の場合の約2割にまで減少させることができた。 As a result, in the case of the cutting method according to the embodiment of the present invention, it was possible to reduce the occurrence rate of the cut position deviation failure to about 20% in the case of the cutting method of the comparative example.
(5)それから、個々の積層セラミック素子31を、カット装置20から排出し、所定の温度に加熱して脱脂した後、焼成し、焼結済みの積層セラミック素子を得る。
(5) Then, the individual multilayer
(6)次に、この焼結済みの積層セラミック素子の両端面に外部電極形成用の導電性ペーストを塗布して焼き付けることにより外部電極を形成する。 (6) Next, an external electrode is formed by applying and baking a conductive paste for forming an external electrode on both end faces of the sintered multilayer ceramic element.
なお、外部電極の形成は、個々の積層セラミック電子部品単位の積層セラミック素子を焼成する前に、その両端部に外部電極形成用の導電ペーストを積層体に塗布し、積層セラミック素子の焼成工程において同時に外部電極形成用の導電性ペーストを焼き付けることによって形成することも可能である。 The external electrode is formed by applying a conductive paste for forming an external electrode on both ends of the multilayer ceramic element before firing the multilayer ceramic element of each multilayer ceramic electronic component unit in the firing process of the multilayer ceramic element. At the same time, it can be formed by baking a conductive paste for forming external electrodes.
これにより、図7に示すように、複数の内部電極41a,41bがセラミック層42を介して積層された構造を有する、焼結済みの積層セラミック素子43(セラミックコンデンサ素子)の両端に、内部電極41a,41bと導通する外部電極44a,44bが配設されたチップ型の積層セラミックコンデンサ40が得られる。なお、この実施形態で作製した積層セラミックコンデンサは、長さ:3.2mm、幅:1.6mm、厚み:1.6mmの寸法を有するものである。
As a result, as shown in FIG. 7, the
なお、上記実施形態では、積層セラミックコンデンサを製造する場合を例にとって説明したが、本発明は、インダクタ、圧電部品、サーミスタ、バリスタなどの製造にも適用することが可能である。 In the above embodiment, the case where a multilayer ceramic capacitor is manufactured has been described as an example. However, the present invention can also be applied to manufacturing inductors, piezoelectric parts, thermistors, varistors, and the like.
具体的には、
(a)インダクタの場合、例えば、フェライトなどの磁性体セラミック材料を用いた未焼成のセラミック積層体を個々の積層セラミック素子に分割する工程、
(b)圧電部品の場合、例えば、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)系セラミックスなどの圧電セラミック材料を用いた未焼成のセラミック積層体を個々の積層セラミック素子に分割する工程、
(c)サーミスタの場合、例えば、半導体セラミック材料(スピネル系セラミックなど)を用いた未焼成のセラミック積層体を個々の積層セラミック素子に分割する工程、
(d)バリスタの場合、例えば、電圧非直線性セラミック材料(酸化亜鉛、チタン酸ストロンチウムなど)を用いた未焼成のセラミック積層体を個々の積層セラミック素子に分割する工程
などに本発明のセラミック積層体のカット方法およびカット装置を用いることが可能であり、また、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法を適用することができる。
In particular,
(A) In the case of an inductor, for example, a step of dividing an unfired ceramic laminate using a magnetic ceramic material such as ferrite into individual multilayer ceramic elements;
(B) In the case of a piezoelectric component, for example, a step of dividing an unfired ceramic laminate using a piezoelectric ceramic material such as PZT (lead zirconate titanate) -based ceramics into individual multilayer ceramic elements;
(C) In the case of the thermistor, for example, a step of dividing an unfired ceramic laminate using a semiconductor ceramic material (such as spinel ceramic) into individual laminated ceramic elements,
(D) In the case of a varistor, for example, the ceramic laminate of the present invention is used in a step of dividing an unfired ceramic laminate using a voltage non-linear ceramic material (such as zinc oxide or strontium titanate) into individual laminated ceramic elements. A body cutting method and a cutting apparatus can be used, and the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component of the present invention can be applied.
なお、上記実施形態では、セラミック積層体の基準面の形成と、その後のセラミック積層体の押し切りカットを同じテーブル上で、同じ押し切り刃を用いて行うようにしているが、別のテーブル上で、別の押し切り刃を用いてセラミック積層体をカットして、基準面を形成し、その個々の積層セラミック素子に分割するためのテーブルにセラミック積層体を載置して押し切りカットを行うように構成することも可能である。 In the above embodiment, the formation of the reference surface of the ceramic laminate and the subsequent cut-off cut of the ceramic laminate are performed on the same table using the same push-cut blade, but on another table, The ceramic laminated body is cut using another press cutting blade to form a reference plane, and the ceramic laminated body is placed on a table for dividing the individual laminated ceramic elements to perform the push cutting. It is also possible.
また、別のテーブルで、基準面を形成したセラミック積層体を、裏返して(すなわち、基準面形成時の押し切り開始主面が下側になるようにして)、個々の積層セラミック素子に分割するためのカットが行われるテーブルに載置し、基準ガイドを基準面形成時の押し切り開始主面側の保護用セラミック層(下側の保護用セラミック層)に当接させて位置決めを行うように構成することも可能である。 In another table, the ceramic laminate having the reference surface formed thereon is turned over (that is, the main surface of the cut-off start at the time of forming the reference surface is on the lower side) and divided into individual multilayer ceramic elements. The reference guide is positioned in contact with the protective ceramic layer (lower protective ceramic layer) on the main surface side of the press-cut start when the reference surface is formed. It is also possible.
また、本発明は、セラミック積層体が保護用セラミック層を備えていないものである場合にも適用することが可能である。 The present invention can also be applied when the ceramic laminate is not provided with a protective ceramic layer.
本発明は、さらにその他の点においても、上記実施形態に限定されるものではなく、セラミック積層体の具体的な構成(未焼成のセラミック層を介して内部電極パターンが積層された有効層部の厚み、有効層部を構成する内部電極パターンの積層数、保護用セラミック層の厚みなど)、セラミック積層体のカット装置を構成する押し切り刃、テーブル、位置決めガイド、テーブル駆動手段、押し切り刃駆動手段などの構成その他に関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。 The present invention is not limited to the above embodiment in other respects as well, and the specific structure of the ceramic laminate (the effective layer portion in which the internal electrode pattern is laminated through the unfired ceramic layer) Thickness, the number of laminated internal electrode patterns constituting the effective layer portion, the thickness of the protective ceramic layer, etc.), the press cutting blade, table, positioning guide, table driving means, press cutting blade driving means, etc. constituting the ceramic laminate cutting device Various applications and modifications can be made within the scope of the invention with respect to the configuration and the like.
1 セラミック積層体
1a 押し切り開始主面
2 テーブル
3 押し切り刃
4 クランプ部
5 位置決めガイド
5a 位置決めガイドの先端部
6 テーブル駆動手段
7 押し切り刃駆動手段
8a,8b センサ(CCDカメラ)
11 基準面
20 セラミック積層体のカット装置
21 未焼成のセラミック層
22 内部電極パターン
23 有効層部
24 保護用セラミック層
24a 押し切り開始主面側の保護用セラミック層
31 分割後に得られる積層セラミック素子
31a 積層セラミック素子の端面
40 積層セラミックコンデンサ
41a,41b 内部電極
42 セラミック層(誘電体セラミック層)
43 積層セラミック素子(セラミックコンデンサ素子)
44a,44b 外部電極
G サイドギャップ
T 位置決めガイドの先端部の厚み
DESCRIPTION OF
DESCRIPTION OF
43 Multilayer ceramic elements (ceramic capacitor elements)
44a, 44b External electrode G Side gap T Thickness of the tip of the positioning guide
Claims (6)
前記セラミック積層体に形成された前記基準面の、前記基準面形成時に前記押し切り刃を進入させた方の主面である押し切り開始主面側端部から厚み方向1/2までの領域に位置決めガイドを当接させ、前記セラミック積層体を所定の位置に保持した状態で、前記セラミック積層体の一対の主面のうちのいずれか一方の主面から押し切り刃を進入させて厚み方向に押し切りカットすること
を特徴とするセラミック積層体のカット方法。 An effective layer portion in which internal electrode patterns are laminated via an unfired ceramic layer, and a protective ceramic layer disposed on at least one side of a pair of main surfaces of the effective layer portion, A method of cutting a ceramic laminate including a reference surface formed by entering a pressing blade from one of the main surfaces and cutting in the thickness direction at a predetermined position,
Positioning guide of the reference surface formed in the ceramic laminate to a region from the end of the press cutting start main surface side that is the main surface into which the press cutting blade enters when forming the reference surface to the thickness direction 1/2. In a state where the ceramic laminated body is held at a predetermined position, a push cutting blade enters from one of the main surfaces of the ceramic laminated body and cuts in the thickness direction. A method for cutting a ceramic laminate, characterized by:
前記セラミック積層体が載置されるテーブルと、
前記セラミック積層体に押し当てられて、前記セラミック積層体を厚み方向に押し切りカットする押し切り刃と、
前記セラミック積層体に形成された前記基準面の、前記基準面形成時に前記押し切り刃を進入させた方の主面である押し切り開始主面側端部から厚み方向1/2までの領域に当接して、前記セラミック積層体の位置決めを行う位置決めガイドと、
前記テーブルを駆動するテーブル駆動手段と、
前記セラミック積層体が押し切りカットされるように、前記押し切り刃を動作させる押し切り刃駆動手段と
を備え、
前記位置決めガイドが前記基準面の前記領域に当接し、前記セラミック積層体が所定の位置に保持された状態で、前記セラミック積層体の一対の主面のうちのいずれか一方の主面から押し切り刃が進入することにより、前記セラミック積層体が所定の位置で押し切りカットされるように構成されていること
を特徴とするセラミック積層体のカット装置。 An effective layer portion in which internal electrode patterns are laminated via an unfired ceramic layer, and a protective ceramic layer disposed on at least one side of a pair of main surfaces of the effective layer portion, A ceramic used to cut a ceramic laminate having a reference surface formed at a predetermined position by pushing a cutting blade from any one of the main surfaces and cutting it in the thickness direction. A laminate cutting apparatus,
A table on which the ceramic laminate is placed;
A pressing blade that is pressed against the ceramic laminate and cuts and cuts the ceramic laminate in the thickness direction;
The reference surface formed on the ceramic laminate is in contact with the region from the end of the press-cut starting main surface side, which is the main surface into which the press cutting blade enters when forming the reference surface, to the thickness direction 1/2. Positioning guide for positioning the ceramic laminate,
Table driving means for driving the table;
A cutting blade driving means for operating the cutting blade so that the ceramic laminate is cut and cut;
The positioning guide is in contact with the region of the reference surface, and the ceramic laminate is held in a predetermined position from one of the main surfaces of the ceramic laminate. The ceramic laminated body cutting apparatus is configured such that the ceramic laminated body is pushed and cut at a predetermined position when the ceramic enters.
(a)複数の内部電極パターンが、未焼成セラミック層を介して積層された構造を有する未焼成のセラミック積層体を形成する工程と、
(b)前記セラミック積層体を所定の位置でカットして、個々の積層セラミック電子部品に対応する個々の積層セラミック素子に分割する工程と、
(c)分割された個々の積層セラミック素子を焼成する工程と
を備えた積層セラミック電子部品の製造方法であって、
前記(b)の工程において、請求項1〜3のいずれかに記載のセラミック積層体のカット方法を用いて、前記セラミック積層体をカットすることにより、個々の積層セラミック素子に分割すること
を特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。 A method for producing a multilayer ceramic electronic component comprising a multilayer ceramic element having a structure in which a plurality of internal electrodes are laminated via a ceramic layer,
(A) forming an unfired ceramic laminate having a structure in which a plurality of internal electrode patterns are laminated via unfired ceramic layers;
(B) cutting the ceramic laminate at a predetermined position and dividing the ceramic laminate into individual multilayer ceramic elements corresponding to individual multilayer ceramic electronic components;
(C) a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component comprising a step of firing individual divided multilayer ceramic elements,
In the step (b), by using the method for cutting a ceramic laminate according to any one of claims 1 to 3, the ceramic laminate is cut to be divided into individual multilayer ceramic elements. A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012204309A JP2014060259A (en) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | Ceramic laminate cutting method, ceramic laminate cutting device, and method of manufacturing laminated ceramic electronic component |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012204309A JP2014060259A (en) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | Ceramic laminate cutting method, ceramic laminate cutting device, and method of manufacturing laminated ceramic electronic component |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014060259A true JP2014060259A (en) | 2014-04-03 |
Family
ID=50616479
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012204309A Pending JP2014060259A (en) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | Ceramic laminate cutting method, ceramic laminate cutting device, and method of manufacturing laminated ceramic electronic component |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014060259A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106426575A (en) * | 2015-08-04 | 2017-02-22 | 株式会社村田制作所 | Apparatus for cutting a ceramic formation body and method for manufacturing a monolithic ceramic electronic part |
CN106904016A (en) * | 2015-12-21 | 2017-06-30 | 株式会社村田制作所 | The manufacture method of galley, the printing equipment for possessing the galley and laminated ceramic electronic component |
-
2012
- 2012-09-18 JP JP2012204309A patent/JP2014060259A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106426575A (en) * | 2015-08-04 | 2017-02-22 | 株式会社村田制作所 | Apparatus for cutting a ceramic formation body and method for manufacturing a monolithic ceramic electronic part |
KR101860104B1 (en) * | 2015-08-04 | 2018-05-23 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | Apparatus for cutting a ceramic formation body and method for manufacturing a monolithic ceramic electronic part |
CN106904016A (en) * | 2015-12-21 | 2017-06-30 | 株式会社村田制作所 | The manufacture method of galley, the printing equipment for possessing the galley and laminated ceramic electronic component |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101486979B1 (en) | Method for manufacturing monolithic ceramic electronic components | |
KR101514512B1 (en) | A multilayer ceramic capacitor and a method for manufactuaring the same | |
KR101565640B1 (en) | A multilayer ceramic capacitor and a method for manufactuaring the same | |
KR101533411B1 (en) | Lamination type ceramic electronic part | |
KR101634598B1 (en) | Multilayer ceramic electronic component, series of electronic components stored in a tape, and method of manufacturing multilayer ceramic electronic component | |
KR20140121728A (en) | A multilayer ceramic capacitor and a method for manufactuaring the same | |
US10453615B2 (en) | Method for manufacturing multilayer ceramic electronic component | |
JP2018067568A (en) | Method of manufacturing multilayer ceramic capacitor | |
KR20180065917A (en) | Method for manufacturing multilayer ceramic electronic component | |
JP4771649B2 (en) | Manufacturing method of multilayer electronic component | |
JP2014060259A (en) | Ceramic laminate cutting method, ceramic laminate cutting device, and method of manufacturing laminated ceramic electronic component | |
JP2009135322A (en) | Defect detecting method for multilayer electronic component, and method of manufacturing multilayer electronic component | |
JP5218219B2 (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component | |
KR101709285B1 (en) | Method of manufacturing electronic component | |
KR101565725B1 (en) | A multilayer ceramic capacitor and a method for manufactuaring the same | |
JPH07106656A (en) | Piezoelectric actuator and manufacture thereof | |
JP4561826B2 (en) | Manufacturing method of multilayer electronic component | |
JP2000150292A (en) | Layered ceramic capacitor | |
JP6536171B2 (en) | Rolling device, rolling jig, and method of manufacturing electronic component | |
JP4779976B2 (en) | Manufacturing method of electronic parts | |
JP5994657B2 (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component | |
JP5810501B2 (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component | |
JP2009164189A (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component | |
US20140376151A1 (en) | Method of manufacturing multilayer ceramic electronic component and multilayer ceramic electronic component manufactured thereby | |
JP2008124276A (en) | Manufacturing method for electronic component |