JP2014057506A

JP2014057506A - Canned motor, vacuum pump

Info

Publication number: JP2014057506A
Application number: JP2013012284A
Authority: JP
Inventors: Takashi Hozumi; 崇史穂積; Shinya Yoshida; 真也吉田; Yoshinori Kojima; 善徳小島; Takanori Inada; 高典稲田; Toshiharu Nakazawa; 敏治中澤
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2012-08-13
Filing date: 2013-01-25
Publication date: 2014-03-27
Anticipated expiration: 2033-01-25
Also published as: JP6140460B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the thickness of a resin can.SOLUTION: A canned motor coupled with a vacuum pump and being used as a rotary drive source of a vacuum pump includes a stator core, a rotor arranged on the inside of the stator core, and a nonconductive can disposed between the stator core and the rotor, isolating the stator core and the rotor, and using resin, ceramics or their composite material as the material. The can is bonded to the stator core by an adhesive.

Description

本発明は、キャンドモータに関する。 The present invention relates to a canned motor.

従来から、例えば、下記特許文献１に記載されるようなモータを備えた真空ポンプが知られている。かかる真空ポンプは、半導体製造工程における真空チャンバ内のプロセスガスの排気などに広く使用されている。 Conventionally, for example, a vacuum pump provided with a motor as described in Patent Document 1 below is known. Such a vacuum pump is widely used for exhausting process gas in a vacuum chamber in a semiconductor manufacturing process.

このような真空ポンプ用のモータでは、真空ポンプをシールするために、モータステータとモータロータとを隔離するロータ室が形成されており、ロータ室は、真空ポンプ側に固定される隔壁、すなわち、キャンによって、モータステータに対して密閉された空間となっている。この様に、モータステータとモータロータとがキャンによって隔離された構造を備えるモータは、キャンドモータと称される。 In such a vacuum pump motor, a rotor chamber that separates the motor stator and the motor rotor is formed to seal the vacuum pump, and the rotor chamber is a partition that is fixed to the vacuum pump side, that is, a can. By this, it becomes the space sealed with respect to the motor stator. Thus, a motor having a structure in which the motor stator and the motor rotor are separated by a can is called a canned motor.

かかるキャンドモータでは、従来、薄肉ステンレススチール等の非磁性金属製のキャンが使用されてきた。しかし、非磁性金属製のキャンを使用した場合、モータステータからの磁束の作用によって表面に渦電流が発生し、このときの損失によってモータ効率が低下する。かかるモータ効率の低下を防ぐために、樹脂製のキャンを使用する技術が知られている。一方で、キャンドモータでは、モータ特性の向上の観点から、モータステータと、モータロータとの離隔距離を小さくすることが望ましい。すなわち、樹脂製のキャンの厚みを極力小さくすることが望ましい。 In such a canned motor, a can made of a nonmagnetic metal such as thin stainless steel has been conventionally used. However, when a non-magnetic metal can is used, an eddy current is generated on the surface by the action of magnetic flux from the motor stator, and the motor efficiency decreases due to the loss at this time. In order to prevent such a reduction in motor efficiency, a technique using a resin can is known. On the other hand, in the canned motor, it is desirable to reduce the separation distance between the motor stator and the motor rotor from the viewpoint of improving the motor characteristics. That is, it is desirable to make the thickness of the resin can as small as possible.

樹脂製のキャンを備えるキャンドモータでは、キャンの厚みを小さくし過ぎると、キャンの機械的強度が低下し、真空ポンプの圧力変動に耐えきれなくなる恐れが生じる。このため、キャンの厚みを小さくすることには限界がある。樹脂製のキャンの厚みは、通常、ＪＩＳＢ８２６７等に記載の圧力容器計算方法に基づいて設定され、１．５〜２．０ｍｍ程度である。 In a can motor having a resin can, if the thickness of the can is made too small, the mechanical strength of the can decreases, and there is a risk that the can cannot withstand the pressure fluctuation of the vacuum pump. For this reason, there is a limit to reducing the thickness of the can. The thickness of the resin can is usually set based on the pressure vessel calculation method described in JIS B8267 and is about 1.5 to 2.0 mm.

特開２００５−１８４９５８号公報JP 2005-184958 A 特開２０１１−１０１５９４号公報JP 2011-101594 A 特開平１１−８９１５８号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-89158

以上から、樹脂製のキャンの厚みを従来よりも低減して、モータ特性を向上することが求められる。また、真空ポンプの一般的な課題として、製造を行いやすくすること、維持管理の負担を軽減することなどが求められる。 From the above, it is required to improve the motor characteristics by reducing the thickness of the resin can compared to the conventional case. Moreover, as a general problem of a vacuum pump, it is required to facilitate manufacture and to reduce a maintenance burden.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、例えば、以下の形態として実現することが可能である。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as, for example, the following forms.

本発明の第１の形態は、真空ポンプに連結され、真空ポンプの回転駆動源として使用されるキャンドモータとして提供される。このキャンドモータは、ステータコアと、ステータコアの内側に配置されたロータと、ステータコアとロータとの間に配置され、ステータ
コアと当接した状態で、ステータコアとロータとを隔離するキャンであって、樹脂、セラミックス、または、それらの複合材を材料とする、非導電性のキャンとを備える。キャンは、接着剤によってステータコアと接着されている。 A first aspect of the present invention is provided as a canned motor that is connected to a vacuum pump and used as a rotational drive source of the vacuum pump. This can motor is a can that isolates the stator core and the rotor in a state of being in contact with the stator core, arranged between the stator core, the rotor disposed inside the stator core, and between the stator core and the rotor. A non-conductive can made of ceramics or a composite material thereof. The can is bonded to the stator core with an adhesive.

かかるキャンドモータによれば、キャンとステータコアとが当接し、さらに、接着剤によって接着されているので、キャンとステータコアとが一体的に形成された状態となる。したがって、ステータコアに対応する位置のキャンの機械的強度をステータコアが補強することができ、その分だけ、当該位置における樹脂製のキャンの厚みを低減できる。その結果、モータ特性を向上できる。 According to such a canned motor, the can and the stator core are in contact with each other, and are further bonded by an adhesive, so that the can and the stator core are integrally formed. Therefore, the stator core can reinforce the mechanical strength of the can at the position corresponding to the stator core, and the thickness of the resin can at that position can be reduced accordingly. As a result, motor characteristics can be improved.

本発明の第２の形態は、真空ポンプに連結され、真空ポンプの回転駆動源として使用されるキャンドモータとして提供される。このキャンドモータは、ステータコアと、ステータコアの内側に配置されたロータと、ステータコアとロータとの間に配置され、ステータコアと当接した状態で、ステータコアとロータとを隔離するキャンであって、樹脂、セラミックス、または、それらの複合材を材料とする、非導電性のキャンとを備える。キャンは、キャンの外表面に形成された下地層を介して、接着剤によってステータコアと接着されており、下地層は、キャンよりも接着剤との親和性が高い非導電性材料によって形成される。 The second aspect of the present invention is provided as a canned motor that is connected to a vacuum pump and used as a rotational drive source of the vacuum pump. This can motor is a can that isolates the stator core and the rotor in a state of being in contact with the stator core, arranged between the stator core, the rotor disposed inside the stator core, and between the stator core and the rotor. A non-conductive can made of ceramics or a composite material thereof. The can is bonded to the stator core by an adhesive via an underlayer formed on the outer surface of the can, and the underlayer is formed of a non-conductive material having a higher affinity with the adhesive than the can. .

かかるキャンドモータによれば、ステータコアとキャンとの接着強度が向上するので、ステータコアがキャンの機械的強度をいっそう補強することができる。その結果、樹脂製のキャンの厚みをいっそう低減できる。 According to such a canned motor, since the adhesive strength between the stator core and the can is improved, the stator core can further reinforce the mechanical strength of the can. As a result, the thickness of the resin can can be further reduced.

本発明の第３の形態として、第１または第２の形態のキャンドモータは、さらに、ロータの回転中心軸線方向におけるステータコアの外側に配置される環状の補強部材であって、キャンの外面と周方向に当接する補強部材を備えていてもよい。かかる形態によれば、ステータコアの外側の領域においても、キャンの機械的強度を補強部材が補強することができ、その分だけ、当該位置における樹脂製のキャンの厚みを低減できる。 As a third aspect of the present invention, the canned motor according to the first or second aspect is an annular reinforcing member disposed outside the stator core in the direction of the rotation center axis of the rotor, You may provide the reinforcement member contact | abutted to a direction. According to this configuration, the reinforcing member can reinforce the mechanical strength of the can also in the region outside the stator core, and the thickness of the resin can at that position can be reduced accordingly.

本発明の第４の形態として、第３の形態のキャンドモータが備えるキャンは、接着剤によって補強部材と接着されていてもよい。かかる形態によれば、キャンと補強部材とが一体的に形成された状態となるので、ステータコアの外側の領域におけるキャンの機械的強度をいっそう補強でき、その分だけ、当該位置における樹脂製のキャンの厚みを低減できる。 As a fourth embodiment of the present invention, the can provided in the can motor of the third embodiment may be bonded to the reinforcing member with an adhesive. According to such a form, since the can and the reinforcing member are integrally formed, the mechanical strength of the can in the outer region of the stator core can be further reinforced, and the resin can Can be reduced.

本発明の第５の形態として、第３の形態において、キャンは、キャンの外表面に形成された下地層を介して、接着剤によって補強部材と接着されていてもよい。下地層は、補強部材よりも接着剤との親和性が高い非導電性材料によって形成されていてもよい。かかる形態によれば、補強部材とキャンとの接着強度が向上するので、補強部材がキャンの機械的強度をいっそう補強することができ、樹脂製のキャンの厚みをいっそう低減できる。 As a fifth aspect of the present invention, in the third aspect, the can may be bonded to the reinforcing member with an adhesive via a base layer formed on the outer surface of the can. The underlayer may be formed of a non-conductive material having a higher affinity with the adhesive than the reinforcing member. According to this form, since the adhesive strength between the reinforcing member and the can is improved, the reinforcing member can reinforce the mechanical strength of the can, and the thickness of the resin can can be further reduced.

本発明の第６の形態として、第３ないし第５のいずれかの形態のキャンドモータにおいて、補強部材の線膨張係数は、ステータコアの線膨張係数以下であってもよい。かかる形態によれば、真空ポンプの駆動によって圧縮熱が生じて、補強部材が熱膨張した際に補強部材からキャンに作用する応力を低減できる。したがって、キャンに必要な機械的強度を低減でき、その結果、キャンの厚みを低減できる。 As a sixth aspect of the present invention, in the canned motor according to any one of the third to fifth aspects, the linear expansion coefficient of the reinforcing member may be equal to or less than the linear expansion coefficient of the stator core. According to this configuration, when the vacuum pump is driven to generate compression heat, the stress acting on the can from the reinforcing member when the reinforcing member is thermally expanded can be reduced. Therefore, the mechanical strength required for the can can be reduced, and as a result, the thickness of the can can be reduced.

本発明の第７の形態として、第１ないし第６のいずれかの形態において、ステータコアにおいてステータコアの中心に向かって突出する複数のティースの内周側の端部間の空間に、ティースと係合する非導電性の部材が配置されていてもよい。かかる形態によれば、
接着剤の接着面積が大きくなるので、ステータコアとキャンとの接着強度を高めることができる。したがって、ステータコアがキャンの機械的強度をいっそう補強することができ、樹脂製のキャンの厚みをいっそう低減できる。 As a seventh aspect of the present invention, in any one of the first to sixth aspects, the tooth is engaged with the space between the inner peripheral ends of the plurality of teeth protruding toward the center of the stator core in the stator core. A non-conductive member may be disposed. According to this form,
Since the adhesive area of the adhesive is increased, the adhesive strength between the stator core and the can can be increased. Therefore, the stator core can further reinforce the mechanical strength of the can, and the thickness of the resin can can be further reduced.

本発明の第８の形態として、第１ないし第７のいずれかのキャンドモータは、さらに、ステータコアよりもロータの回転中心軸線方向に長く形成されるステータフレームであって、ステータフレームの内部空間にステータコアが嵌め込まれた状態で、ステータコアを固定するステータフレームと、ステータコアの回転中心軸線方向の両端からステータコアの外側に向けて突出したコイル部に対応する領域であって、ステータフレームとキャンとの間の領域に形成された閉鎖空間に充填された樹脂とを備えていてもよい。かかる形態によれば、充填された樹脂によって、キャンの機械的強度をいっそう補強でき、その分だけ、当該位置における樹脂製のキャンの厚みを低減できる。 As an eighth aspect of the present invention, any one of the first to seventh canned motors is further a stator frame formed longer in the direction of the rotation center axis of the rotor than the stator core, and is disposed in the internal space of the stator frame. A region corresponding to a stator frame that fixes the stator core in a state in which the stator core is fitted and a coil portion that protrudes from both ends of the stator core toward the outside of the stator core and between the stator frame and the can. And a resin filled in a closed space formed in this area. According to this form, the mechanical strength of the can can be further reinforced by the filled resin, and the thickness of the resin can at that position can be reduced accordingly.

本発明の第９の形態として、第８の形態のキャンドモータにおいて、充填された樹脂の線膨張係数は、ステータコアの線膨張係数以下であってもよい。かかる形態によれば、真空ポンプの駆動によって圧縮熱が生じて、充填された樹脂が熱膨張した際に、充填された樹脂から補強部材を介してキャンに作用する応力を低減できる。したがって、キャンに必要な機械的強度を低減でき、その結果、キャンの厚みを低減できる。 As a ninth aspect of the present invention, in the canned motor according to the eighth aspect, the linear expansion coefficient of the filled resin may be equal to or less than the linear expansion coefficient of the stator core. According to this aspect, when compression heat is generated by driving the vacuum pump and the filled resin is thermally expanded, the stress acting on the can from the filled resin via the reinforcing member can be reduced. Therefore, the mechanical strength required for the can can be reduced, and as a result, the thickness of the can can be reduced.

本発明の第１０の形態として、第１ないし第９のいずれかの形態のキャンドモータにおいて、キャンは、ロータの回転中心軸線方向に延びる中空形状の胴部と、回転中心軸線方向のうちの第１の側で、胴部の内部空間を閉じる閉塞部と、胴部の、第１の側と反対側である第２の側の開口を形成する開口部とを有していてもよい。閉塞部は、第２の側から第１の側に向かって、内径が縮径する部位を含んでいてもよい。かかる形態によれば、キャンの内部の容積が低減され、その結果、真空ポンプを駆動させた際の、キャン内部と真空ポンプ（ポンプ室）との間での気体移動量が低減する。すなわち、キャンの内部とポンプ室との間に設置される軸受部を通過する気体量が低減する。したがって、気体移動に伴う潤滑剤の低減を抑制でき、真空ポンプの維持管理の負担を低減できる。 As a tenth aspect of the present invention, in the canned motor according to any one of the first to ninth aspects, the can has a hollow body extending in the rotation center axis direction of the rotor, and a first of the rotation center axis directions. On the first side, there may be a closed portion that closes the internal space of the body portion, and an opening portion that forms an opening on the second side of the body portion opposite to the first side. The obstruction | occlusion part may contain the site | part from which an internal diameter shrinks toward the 1st side from the 2nd side. According to this configuration, the internal volume of the can is reduced, and as a result, the amount of gas movement between the inside of the can and the vacuum pump (pump chamber) when the vacuum pump is driven is reduced. That is, the amount of gas passing through the bearing portion installed between the inside of the can and the pump chamber is reduced. Therefore, the reduction of the lubricant accompanying the gas movement can be suppressed, and the burden of maintenance and management of the vacuum pump can be reduced.

本発明の第１１の形態として、第１０の形態のキャンドモータにおいて、閉塞部は、中央部が、第２の側から第１の側に向かって膨らんだドーム形状を有していてもよい。かかる形態によれば、閉塞部の機械的強度を向上できる。また、それによって、閉塞部の厚みを低減することもできる。閉塞部の厚みが低減すれば、胴部と閉塞部との厚みの差が低減するので、樹脂製のキャンを射出成形によって製造しやすくなる。 As an eleventh aspect of the present invention, in the canned motor according to the tenth aspect, the closing portion may have a dome shape in which the central portion swells from the second side toward the first side. According to this form, the mechanical strength of the closed part can be improved. Thereby, the thickness of the blocking portion can also be reduced. If the thickness of the closed portion is reduced, the difference in thickness between the body portion and the closed portion is reduced, so that a resin can can be easily manufactured by injection molding.

本発明の第１２の形態として、第１０または第１１の形態のキャンドモータにおいて、閉塞部の第１の側の面および第２の側の面の少なくとも一方にリブが形成されていてもよい。かかる形態によれば、閉塞部の機械的強度を向上できる。また、それによって、閉塞部の厚みを低減することもでき、第８の形態と同様の効果を奏する。さらに、射出成形においては、成形後、脱型する際に、成形品を内型（雄型）に残すことになる。このため、閉塞部の第２の側の面にリブが形成される場合には、成形品が内型に係止されやすくなり、その結果、樹脂製のキャンを射出成形によって製造しやすくなる。 As a twelfth aspect of the present invention, in the canned motor of the tenth or eleventh aspect, a rib may be formed on at least one of the first side surface and the second side surface of the closing portion. According to this form, the mechanical strength of the closed part can be improved. Moreover, it can also reduce the thickness of the obstruction | occlusion part and there exists an effect similar to an 8th form. Furthermore, in injection molding, when the mold is removed after molding, the molded product is left in the inner mold (male mold). For this reason, when the rib is formed on the second side surface of the closing portion, the molded product is easily locked to the inner mold, and as a result, the resin can can be easily manufactured by injection molding.

本発明の第１３の形態は、真空ポンプとして提供される。この真空ポンプは、第１ないし第１２の形態のいずれかのキャンドモータを備えていてもよい。 A thirteenth aspect of the present invention is provided as a vacuum pump. This vacuum pump may include the canned motor according to any of the first to twelfth aspects.

本発明の第１４の形態は、真空ポンプに連結され、真空ポンプの回転駆動源として使用されるキャンドモータとして提供される。このキャンドモータは、ステータコアと、ステータコアの内側に配置されたロータと、ステータコアとロータとの間に配置され、ステータコアと当接した状態で、ステータコアとロータとを隔離するキャンとを備える。キャン
は、ロータの回転中心軸線方向に延びる中空形状の胴部と、回転中心軸線方向のうちの第１の側で、胴部の内部空間を閉じる閉塞部と、胴部の、第１の側と反対側である第２の側の開口を形成する開口部とを有する。閉塞部は、第２の側から第１の側に向かって、内径が縮径する部位を含む。 A fourteenth aspect of the present invention is provided as a canned motor that is connected to a vacuum pump and used as a rotational drive source of the vacuum pump. The canned motor includes a stator core, a rotor disposed inside the stator core, a can disposed between the stator core and the rotor, and separating the stator core and the rotor in contact with the stator core. The can has a hollow body portion extending in the direction of the rotation center axis of the rotor, a closed portion that closes the internal space of the body portion on the first side in the direction of the rotation center axis, and a first side of the body portion And an opening for forming a second side opening opposite to the first side. The blocking portion includes a portion whose inner diameter is reduced from the second side toward the first side.

本発明の第１５の形態として、第１４の形態のキャンドモータにおいて、閉塞部は、中央部が、第２の側から第１の側に向かって膨らんだドーム形状を有していてもよい。本発明の第１６の形態として、第１４または第１５の形態のキャンドモータにおいて、閉塞部の第１の側の面および第２の側の面の少なくとも一方にリブが形成されていてもよい。 As a fifteenth aspect of the present invention, in the canned motor according to the fourteenth aspect, the closing part may have a dome shape in which the central part swells from the second side toward the first side. As a sixteenth aspect of the present invention, in the canned motor according to the fourteenth or fifteenth aspect, a rib may be formed on at least one of the first side surface and the second side surface of the closing portion.

本発明の実施例としての真空ポンプの概略構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic structure of the vacuum pump as an Example of this invention. 実施例としてのキャンドモータの概略構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic structure of the canned motor as an Example. 第２実施例としてのキャンドモータのキャンの構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the can of the canned motor as 2nd Example. 第３実施例としてのキャンドモータのキャンの構成を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the structure of the can of the canned motor as 3rd Example. 第４実施例としてのキャンとステータコアとの接着構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the adhesion structure of the can and stator core as 4th Example. 第５実施例としてのキャンとステータコアとの接着構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the adhesion structure of the can and stator core as 5th Example.

Ａ．第１実施例：
図１は、真空ポンプ２０の概略断面を示す。図１では、真空ポンプ２０が有する回転中心軸線ＡＲを含む断面を示している。図示するように、真空ポンプ２０は、一対のロータ３０（図１では、一方のロータのみを示す）を備えている。本実施例では、ロータ３０は、第１段ロータ３１、第２段ロータ３２および第３段ロータ３３と、ポンプ主軸３４とを備えている。かかるロータ３０は、その両端部の近傍で、軸受部材５０，６０に設けられた軸受５１，６１によって支承されている。このロータ３０は、ケーシング４０に収容されている。ケーシング４０の上方には、吸気口（図示省略）が形成され、下方には、排気口（図示省略）が形成される。 A. First embodiment:
FIG. 1 shows a schematic cross section of a vacuum pump 20. In FIG. 1, the cross section containing the rotation center axis line AR which the vacuum pump 20 has is shown. As illustrated, the vacuum pump 20 includes a pair of rotors 30 (only one rotor is shown in FIG. 1). In this embodiment, the rotor 30 includes a first stage rotor 31, a second stage rotor 32, a third stage rotor 33, and a pump main shaft 34. The rotor 30 is supported by bearings 51 and 61 provided on the bearing members 50 and 60 in the vicinity of both end portions thereof. The rotor 30 is accommodated in the casing 40. An intake port (not shown) is formed above the casing 40, and an exhaust port (not shown) is formed below.

かかるロータ３０は、真空ポンプ２０の回転中心軸線ＡＲの一端側に設けられたモータ１００によって駆動される。一対のロータ３０の一端側の軸端には、互いに噛み合う一対のタイミングギア７０（図１では一方のギヤのみ示す）が固定されている。ロータ３０の他端側の軸端は、モータ１００に連結されている。本実施例では、モータ１００は、ブラシレス直流モータである。なお、図１では、モータ１００の構成を簡略化して示している。 The rotor 30 is driven by a motor 100 provided on one end side of the rotation center axis AR of the vacuum pump 20. A pair of timing gears 70 (only one gear is shown in FIG. 1) are fixed to the shaft ends on one end side of the pair of rotors 30. The shaft end on the other end side of the rotor 30 is connected to the motor 100. In this embodiment, the motor 100 is a brushless DC motor. In FIG. 1, the configuration of the motor 100 is simplified.

モータ１００を駆動すると、一対のロータ３０は、ケーシング４０の内面およびロータ３０同士の間にわずかな隙間を保持して、非接触で逆方向に回転する。一対のロータ３０の回転につれて、吸込側のガスは、ロータ３０とケーシング４０との間に閉じこめられて、吐出側に移送される。吸気口（図示省略）から導入されたガスは、３段のロータ３０により圧縮移送されて、排気口（図示省略）から排出される。 When the motor 100 is driven, the pair of rotors 30 rotate in the opposite direction without contact while holding a slight gap between the inner surface of the casing 40 and the rotors 30. As the pair of rotors 30 rotate, the suction side gas is confined between the rotor 30 and the casing 40 and transferred to the discharge side. The gas introduced from the intake port (not shown) is compressed and transferred by the three-stage rotor 30 and discharged from the exhaust port (not shown).

図２は、ロータ３０を回転駆動するモータ１００の概略構成を示す。以下の説明では、モータ１００について、回転中心軸線ＡＲ方向のうちの、真空ポンプ２０（より具体的には、ロータ３０）に連結される側を連結側Ｓ２とも呼び、連結側Ｓ２と反対側を外方側Ｓ１とも呼ぶ。外方側Ｓ１は、請求項の第１の側に該当し、連結側Ｓ２は、請求項の第２の側に該当する。図２に示すように、モータ１００は、ステータ１１０とロータ１２０とキ
ャン１３０とステータフレーム１４０と補強部材１５０，１６０とを備える。 FIG. 2 shows a schematic configuration of the motor 100 that rotationally drives the rotor 30. In the following description, regarding the motor 100, the side connected to the vacuum pump 20 (more specifically, the rotor 30) in the direction of the rotation center axis AR is also referred to as a connection side S2, and the side opposite to the connection side S2 is referred to as the side. Also called the outward side S1. The outer side S1 corresponds to the first side of the claims, and the connection side S2 corresponds to the second side of the claims. As shown in FIG. 2, the motor 100 includes a stator 110, a rotor 120, a can 130, a stator frame 140, and reinforcing members 150 and 160.

ステータフレーム１４０は、フレーム本体１４１と側板１４２とを備える。フレーム本体１４１は、回転中心軸線ＡＲに沿って内部空間が形成された、円筒形状を有している。フレーム本体１４１は、突出部１４６を備えている。突出部１４６は、フレーム本体１４１の内面から、内側に突出した部位であり、フレーム本体１４１の連結側Ｓ２の端部付近に、回転中心軸線ＡＲを中心として環状に形成されている。突出部１４６の突出長さは、開口部１３３が胴部１３１（詳細は後述）から突出する突出長さと略等しく形成されている。側板１４２は、円板形状を有しており、フレーム本体１４１の外方側Ｓ１の開口を閉じる。フレーム本体１４１の外方側Ｓ１の端面には、凹部１４５が形成され、この凹部１４５にＯリング１５３が配置されている。Ｏリング１５３は、フレーム本体１４１と側板１４２との間で、回転中心軸線ＡＲ方向に圧縮され、ステータフレーム１４０の内部と外部との間をシールする。なお、側板１４２は、ボルト（図示省略）によって、フレーム本体１４１に取り付けられている。かかるステータフレーム１４０は、例えば、鉄やアルミで形成できる。ステータ１１０、ロータ１２０およびキャン１３０は、このステータフレーム１４０の内部空間に収容されている。 The stator frame 140 includes a frame main body 141 and a side plate 142. The frame main body 141 has a cylindrical shape in which an internal space is formed along the rotation center axis AR. The frame main body 141 includes a protrusion 146. The projecting portion 146 is a portion projecting inward from the inner surface of the frame main body 141, and is formed in an annular shape around the rotation center axis AR in the vicinity of the end portion on the connection side S 2 of the frame main body 141. The protruding length of the protruding portion 146 is substantially equal to the protruding length at which the opening 133 protrudes from the body portion 131 (details will be described later). The side plate 142 has a disc shape and closes the opening on the outer side S1 of the frame main body 141. A concave portion 145 is formed on the end surface of the outer side S1 of the frame main body 141, and an O-ring 153 is disposed in the concave portion 145. The O-ring 153 is compressed in the direction of the rotation center axis AR between the frame main body 141 and the side plate 142 and seals between the inside and the outside of the stator frame 140. The side plate 142 is attached to the frame main body 141 with bolts (not shown). The stator frame 140 can be formed of, for example, iron or aluminum. The stator 110, the rotor 120, and the can 130 are accommodated in the internal space of the stator frame 140.

ステータ１１０は、ステータコア１１１にコイルが装着された構成を有する。ステータ１１０の回転中心軸線ＡＲ方向の両端では、ステータコア１１１の外方に向けてコイル部１１２，１１３が突出している。ステータ１１０は、ステータフレーム１４０のフレーム本体１４１の内部にステータコア１１１が嵌め込まれることによって、回転中心軸線ＡＲと同心にステータフレーム１４０に固定される。ステータコア１１１は、例えば、珪素鋼板を積層して形成できる。ロータ１２０は、ステータ１１０の内部に、回転中心軸線ＡＲと同心に配置され、真空ポンプ２０のロータ３０のポンプ主軸３４に直結されている。 The stator 110 has a configuration in which a coil is attached to the stator core 111. Coil portions 112 and 113 protrude outward from the stator core 111 at both ends of the stator 110 in the rotation center axis AR direction. The stator 110 is fixed to the stator frame 140 concentrically with the rotation center axis AR by fitting the stator core 111 into the frame main body 141 of the stator frame 140. The stator core 111 can be formed by laminating silicon steel plates, for example. The rotor 120 is disposed inside the stator 110 so as to be concentric with the rotation center axis AR, and is directly connected to the pump main shaft 34 of the rotor 30 of the vacuum pump 20.

かかるステータ１１０とロータ１２０との間には、キャン１３０が設けられている。キャン１３０は、ステータ１１０とロータ１２０とを離隔する。このキャン１３０は、胴部１３１と、閉塞部１３２と、開口部１３３とを備えている。胴部１３１は、略円筒形状を有し、回転中心軸線ＡＲと同心に配置されている。この胴部１３１は、回転中心軸線ＡＲ方向におけるステータ１１０の設置範囲の全体に延びて形成されている。 A can 130 is provided between the stator 110 and the rotor 120. The can 130 separates the stator 110 and the rotor 120 from each other. The can 130 includes a body portion 131, a closing portion 132, and an opening 133. The body 131 has a substantially cylindrical shape and is disposed concentrically with the rotation center axis AR. The body 131 is formed to extend over the entire installation range of the stator 110 in the direction of the rotation center axis AR.

閉塞部１３２は、キャン１３０の外方側Ｓ１の端面であり、胴部１３１の内部空間を、胴部１３１の外方側Ｓ１の端部で閉じる。開口部１３３は、キャン１３０の連結側Ｓ２の端部であり、キャン１３０の連結側Ｓ２の開口を形成する。開口部１３３は、本実施例では、その外径が胴部１３１の外径よりも大きく形成されたフランジ形状を有している。 The closing part 132 is an end surface on the outer side S 1 of the can 130, and closes the internal space of the body part 131 at the end part on the outer side S 1 of the body part 131. The opening 133 is an end of the connection side S2 of the can 130, and forms an opening of the connection side S2 of the can 130. In this embodiment, the opening 133 has a flange shape in which the outer diameter is larger than the outer diameter of the body 131.

かかるキャン１３０は、非導電性の樹脂によって形成されており、胴部１３１、閉塞部１３２および開口部１３３は、一体的に形成されている。キャン１３０の材料は、樹脂に限らず、セラミックスであってもよいし、樹脂とセラミックスとの複合材であってもよい。本実施例では、キャン１３０の材質は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂である。胴部１３１および開口部１３３の厚みは、薄肉に、具体的には、例えば、０．５ｍｍ〜１．０ｍｍとすることができる。閉塞部１３２の厚みは、胴部１３１の厚みよりも大きく形成されており、例えば、１．５ｍｍ〜２．０ｍｍとすることができる。胴部１３１の厚みは、モータ特性の向上の観点から、極力小さいことが望ましい。また、開口部１３３（フランジ形状）の、回転中心軸線ＡＲ方向の幅は、軸受５１と、モータ１００の外方側Ｓ１の端部との距離であるオーバハングを短くする観点から、極力小さいことが望ましい。 The can 130 is made of a non-conductive resin, and the body 131, the closing portion 132, and the opening 133 are integrally formed. The material of the can 130 is not limited to resin, but may be ceramic or a composite material of resin and ceramic. In the present embodiment, the material of the can 130 is PPS (polyphenylene sulfide) resin. The thickness of the trunk | drum 131 and the opening part 133 can be thin, specifically, can be 0.5 mm-1.0 mm, for example. The thickness of the closing part 132 is formed larger than the thickness of the trunk part 131, and can be set to, for example, 1.5 mm to 2.0 mm. The thickness of the body 131 is desirably as small as possible from the viewpoint of improving motor characteristics. The width of the opening 133 (flange shape) in the direction of the rotation center axis AR is as small as possible from the viewpoint of shortening the overhang that is the distance between the bearing 51 and the end of the motor 100 on the outer side S1. desirable.

かかるキャン１３０は、ステータコア１１１と、胴部１３１とが周方向に当接するように、取り付けられる。さらに、ステータコア１１１と胴部１３１とは、当該当接箇所で接
着剤によって、接着される。このように、ステータコア１１１と胴部１３１とが接着剤によって接着されることにより、ステータコア１１１と胴部１３１とが一体的に形成された状態となる。このため、ステータコア１１１に対応する位置の胴部１３１の機械的強度をステータコア１１１が補強することができる。これによって、ステータコア１１１に対応する位置において、上述の胴部１３１の薄肉化が可能となる。なお、接着剤には、真空ポンプ２０の稼働時における耐熱性を考慮して、シリコン系やエポキシ系などを使用可能である。 The can 130 is attached such that the stator core 111 and the body 131 are in contact with each other in the circumferential direction. Further, the stator core 111 and the body 131 are bonded by an adhesive at the contact portion. In this way, the stator core 111 and the body 131 are bonded together by the adhesive, so that the stator core 111 and the body 131 are integrally formed. For this reason, the stator core 111 can reinforce the mechanical strength of the body 131 at a position corresponding to the stator core 111. Accordingly, the body 131 can be thinned at a position corresponding to the stator core 111. For the adhesive, in consideration of the heat resistance when the vacuum pump 20 is operated, silicon or epoxy can be used.

また、キャン１３０は、突出部１４６の連結側Ｓ２の端面と、開口部１３３の外方側Ｓ１の端面とが当接した状態で、取り付けられる。このとき、突出部１４６の内側の端面は、胴部１３１の外面と周方向に当接する。この突出部１４６は、キャン１３０の回転中心軸線ＡＲ方向の位置決め機能を有している。 Further, the can 130 is attached in a state where the end surface on the connection side S2 of the protruding portion 146 and the end surface on the outer side S1 of the opening 133 are in contact with each other. At this time, the inner end surface of the protruding portion 146 contacts the outer surface of the body portion 131 in the circumferential direction. The protrusion 146 has a positioning function of the can 130 in the direction of the rotation center axis AR.

補強部材１５０は、胴部１３１の外径と略等しい内径の環状形状を有する。この補強部材１５０は、補強部材１５０と胴部１３１とが周方向に当接するように、回転中心軸線ＡＲにおけるステータコア１１１よりも外側（連結側Ｓ２）に嵌め込まれる。補強部材１５０の外方側Ｓ１の端部は、ステータコア１１１に当接し、連結側Ｓ２の端部は、突出部１４６の外方側Ｓ１に形成された切欠き形状に嵌まり込んで当接している。補強部材１５０は、１００ＭＰａ以上の引っ張り強さを有する樹脂製部材または非磁性金属部材であることが望ましい。 The reinforcing member 150 has an annular shape having an inner diameter substantially equal to the outer diameter of the body 131. The reinforcing member 150 is fitted on the outer side (connection side S2) of the stator core 111 in the rotation center axis AR so that the reinforcing member 150 and the body 131 are in contact with each other in the circumferential direction. The end of the reinforcing member 150 on the outer side S1 contacts the stator core 111, and the end of the connecting side S2 fits into the notch shape formed on the outer side S1 of the protruding portion 146 and contacts. Yes. The reinforcing member 150 is preferably a resin member or a nonmagnetic metal member having a tensile strength of 100 MPa or more.

さらに、補強部材１５０と胴部１３１とは、それらの当接箇所で接着剤によって接着される。このように、補強部材１５０と胴部１３１とが接着剤によって接着されることにより、補強部材１５０と胴部１３１とが一体的に形成された状態となる。このため、ステータコア１１１よりも連結側Ｓ２においても、胴部１３１の機械的強度を補強部材１５０が補強することができる。これによって、ステータコア１１１よりも連結側Ｓ２の胴部１３１の薄肉化が可能となる。なお、補強部材１５０よりも連結側Ｓ２の胴部１３１は、突出部１４６と当接することによって、その機械的強度が補強される。勿論、胴部１３１と突出部１４６とが、接着剤によって接着されていてもよい。 Furthermore, the reinforcement member 150 and the trunk | drum 131 are adhere | attached with an adhesive agent in those contact location. In this way, the reinforcing member 150 and the body 131 are bonded together by the adhesive, whereby the reinforcing member 150 and the body 131 are integrally formed. For this reason, the reinforcing member 150 can reinforce the mechanical strength of the trunk portion 131 also on the connection side S2 from the stator core 111. Accordingly, it is possible to reduce the thickness of the body 131 on the connection side S2 relative to the stator core 111. In addition, the mechanical strength of the body 131 on the connection side S2 with respect to the reinforcing member 150 is reinforced by coming into contact with the protruding portion 146. Of course, the trunk | drum 131 and the protrusion part 146 may be adhere | attached with the adhesive agent.

補強部材１６０は、第１部位１６１と第２部位１６２と第３部位１６３とを備える。第１部位１６１は、補強部材１６０のうちで最も連結側Ｓ２に位置し、胴部１３１の外径と略等しい内径の環状形状を有する。第２部位１６２は、第１部位１６１から径方向外方に向かって同心状に延びたフランジ形状を有する。第３部位１６３は、第２部位１６２の外方側の端部から、外方側Ｓ１に向かって延びる環状形状を有する。 The reinforcing member 160 includes a first part 161, a second part 162, and a third part 163. The first portion 161 is located closest to the coupling side S 2 among the reinforcing members 160 and has an annular shape having an inner diameter substantially equal to the outer diameter of the body portion 131. The second portion 162 has a flange shape extending concentrically from the first portion 161 toward the radially outer side. The third portion 163 has an annular shape extending from the outer end of the second portion 162 toward the outer side S1.

かかる補強部材１６０は、第１部位１６１と胴部１３１とが周方向に当接するように、回転中心軸線ＡＲにおけるステータコア１１１よりも外側に嵌め込まれる。このとき、第１部位１６１の外方側Ｓ１側の端部は、コイル部１１３よりも外方側Ｓ１に位置するとともに、回転中心軸線ＡＲ方向において、キャン１３０の胴部１３１の外方側Ｓ１側の端部と同じ位置にある。第１部位１６１の連結側Ｓ２の端部は、ステータコア１１１に当接する。さらに、第１部位１６１と胴部１３１とは、それらの当接箇所で接着剤によって接着されている。このため、ステータコア１１１の外方側Ｓ１の胴部１３１の機械的強度を第１部位１６１が補強することができる。これによって、ステータコア１１１よりも外方側Ｓ１の胴部１３１の薄肉化が可能となる。 The reinforcing member 160 is fitted outside the stator core 111 in the rotation center axis AR so that the first portion 161 and the body 131 are in contact with each other in the circumferential direction. At this time, the end on the outer side S1 side of the first portion 161 is located on the outer side S1 with respect to the coil portion 113, and the outer side S1 of the body 131 of the can 130 in the direction of the rotation center axis AR It is in the same position as the end on the side. The end of the first portion 161 on the connection side S 2 contacts the stator core 111. Furthermore, the 1st site | part 161 and the trunk | drum 131 are adhere | attached with the adhesive agent in those contact location. For this reason, the 1st site | part 161 can reinforce the mechanical strength of the trunk | drum 131 of the outer side S1 of the stator core 111. FIG. Accordingly, it is possible to reduce the thickness of the body 131 on the outer side S 1 from the stator core 111.

また、第２部位１６２の回転中心軸線ＡＲに直交する方向の長さは、胴部１３１の外面とフレーム本体１４１の内面との離隔距離と同じ長さに形成されている。このため、第３部位１６３は、フレーム本体１４１の内面に当接する。かかる構成により、ステータコア１１１よりも外方側Ｓ１の胴部１３１の機械的強度がいっそう補強される。 Further, the length of the second portion 162 in the direction orthogonal to the rotation center axis AR is formed to be the same as the separation distance between the outer surface of the body 131 and the inner surface of the frame main body 141. For this reason, the third portion 163 contacts the inner surface of the frame main body 141. With this configuration, the mechanical strength of the body 131 on the outer side S1 from the stator core 111 is further reinforced.

フレーム本体１４１の第３部位１６３に対応する位置には、凹部１４７が形成され、この凹部１４７にＯリング１５４が配置されている。このＯリング１５４は、フレーム本体１４１と第３部位１６３との間で、回転中心軸線ＡＲと直交する方向に圧縮され、補強部材１６０の連結側Ｓ２と外方側Ｓ１との間をシールする。 A recess 147 is formed at a position corresponding to the third portion 163 of the frame body 141, and an O-ring 154 is disposed in the recess 147. The O-ring 154 is compressed between the frame main body 141 and the third portion 163 in a direction orthogonal to the rotation center axis AR, and seals between the connection side S2 and the outer side S1 of the reinforcing member 160.

また、コイル部１１２，１１３の周囲には、フレーム本体１４１と胴部１３１との間の領域に密閉空間が形成され、コイル部１１２，１１３は、この密閉空間内に収容される。具体的には、連結側Ｓ２側のコイル部１１２は、フレーム本体１４１，突出部１４６、補強部材１５０およびステータコア１１１によって閉鎖された空間に収容される。また、外方側Ｓ１側のコイル部１１３は、フレーム本体１４１、第１部位１６１および第２部位１６２によって閉鎖された空間に収容される。これらの閉鎖空間には、それぞれ、樹脂１７１，１７２が充填されている。かかる構成により、ステータコア１１１の両端部における胴部１３１の機械的強度をいっそう補強できる。 A sealed space is formed around the coil portions 112 and 113 in a region between the frame main body 141 and the body portion 131, and the coil portions 112 and 113 are accommodated in the sealed space. Specifically, the coil portion 112 on the connection side S 2 side is accommodated in a space closed by the frame main body 141, the protruding portion 146, the reinforcing member 150, and the stator core 111. Further, the coil portion 113 on the outer side S 1 side is accommodated in a space closed by the frame main body 141, the first portion 161, and the second portion 162. These closed spaces are filled with resins 171 and 172, respectively. With this configuration, the mechanical strength of the body 131 at both ends of the stator core 111 can be further reinforced.

かかるモータ１００において、補強部材１５０，１６０の線膨張係数は、ステータコア１１１の線膨張係数以下とすることが望ましい。同様に、樹脂１７１，１７２の線膨張係数は、ステータコア１１１の線膨張係数以下とすることが望ましい。こうすれば、真空ポンプ２０の駆動によって圧縮熱が生じて、補強部材１５０，１６０や樹脂１７１，１７２が熱膨張した際に、補強部材１５０，１６０や樹脂１７１，１７２から胴部１３１に作用する応力を低減できる。したがって、胴部１３１に必要な機械的強度を低減でき、その結果、胴部１３１の厚みを低減できる。また、同様の理由から、ステータコア１１１と胴部１３１との接着、および、補強部材１５０，１６０と胴部１３１との接着に使用する接着剤の線膨張係数は、ステータコア１１１の線膨張係数以下とすることが望ましい。なお、同様に、補強部材１５０，１６０および樹脂１７１，１７２の線膨張係数は、フレーム本体１４１の線膨張係数以下とすることが望ましいが、通常、フレーム本体１４１の線膨張係数は、ステータコア１１１の線膨張係数以上である。このため、補強部材１５０，１６０および樹脂１７１，１７２の線膨張係数は、ステータコア１１１の線膨張係数以下であれば、通常、フレーム本体１４１の線膨張係数以下である点も満たす。 In such a motor 100, it is desirable that the linear expansion coefficients of the reinforcing members 150 and 160 be not more than the linear expansion coefficient of the stator core 111. Similarly, it is desirable that the linear expansion coefficients of the resins 171 and 172 be equal to or less than the linear expansion coefficient of the stator core 111. In this way, when the vacuum pump 20 is driven and compression heat is generated and the reinforcing members 150 and 160 and the resins 171 and 172 are thermally expanded, they act on the body 131 from the reinforcing members 150 and 160 and the resins 171 and 172. Stress can be reduced. Therefore, the mechanical strength required for the body 131 can be reduced, and as a result, the thickness of the body 131 can be reduced. For the same reason, the linear expansion coefficient of the adhesive used for bonding between the stator core 111 and the body 131 and bonding between the reinforcing members 150 and 160 and the body 131 is less than or equal to the linear expansion coefficient of the stator core 111. It is desirable to do. Similarly, it is desirable that the linear expansion coefficients of the reinforcing members 150 and 160 and the resins 171 and 172 be equal to or smaller than the linear expansion coefficient of the frame main body 141, but usually the linear expansion coefficient of the frame main body 141 is equal to that of the stator core 111. It is more than the linear expansion coefficient. For this reason, if the linear expansion coefficients of the reinforcing members 150 and 160 and the resins 171 and 172 are equal to or smaller than the linear expansion coefficient of the stator core 111, the linear expansion coefficient of the frame main body 141 is generally satisfied.

かかるモータ１００によれば、上述した種々の構成によって、キャン１３０の胴部１３１の機械的強度を補強することによって、その分、胴部１３１の厚みを薄くすることができる。したがって、モータ１００の特性が向上する。また、キャン１３０の閉塞部１３２の厚みを胴部１３１よりも厚くすることによって、閉塞部１３２に必要な機械的強度を確保することができる。 According to the motor 100, the mechanical strength of the body 131 of the can 130 can be reinforced by the various configurations described above, thereby reducing the thickness of the body 131 accordingly. Therefore, the characteristics of the motor 100 are improved. Further, by making the thickness of the closing portion 132 of the can 130 thicker than that of the body portion 131, the mechanical strength necessary for the closing portion 132 can be ensured.

かかるモータ１００のキャン１３０は、射出成形によっても好適に製造することができる。射出成形では、金型のキャビティ内に樹脂を円滑に流通させるために、成形品の厚みは、ある程度揃っていることが望ましい。そこで、キャン１３０は、次のように製造してもよい。すなわち、まず、胴部１３１、閉塞部１３２および開口部１３３を、閉塞部１３２の厚みで射出成形し、その後、胴部１３１および開口部１３３を切削加工などによって、薄肉化してもよい。また、射出成形においては、成形後、円滑に脱型する際に、成形品には、若干の勾配が設けられる。上述のように、胴部１３１および開口部１３３を切削加工などによって、薄肉化する場合には、かかる勾配が生じないように加工することも可能である。こうすれば、胴部１３１と、ステータコア１１１および補強部材１５０，１６０とを接着剤によって接着しやすくできる。 The can 130 of the motor 100 can be preferably manufactured by injection molding. In the injection molding, it is desirable that the thickness of the molded product is uniform to some extent in order to smoothly distribute the resin in the cavity of the mold. Therefore, the can 130 may be manufactured as follows. That is, first, the body 131, the closing part 132, and the opening 133 may be injection-molded with the thickness of the closing part 132, and then the body 131 and the opening 133 may be thinned by cutting or the like. In the injection molding, when the mold is smoothly removed after molding, the molded product is provided with a slight gradient. As described above, when the body 131 and the opening 133 are thinned by cutting or the like, the body 131 and the opening 133 can be processed so as not to generate such a gradient. If it carries out like this, the trunk | drum 131, the stator core 111, and the reinforcement members 150 and 160 can be easily adhere | attached with an adhesive agent.

Ｂ．第２実施例：
図３は、第２実施例としての真空ポンプのキャン２３０の構成を示す。第２実施例としての真空ポンプは、キャンの構成の一部分のみが第１実施例と異なり、その他の点は、第
１実施例と共通する。このため、以下では、キャン２３０について、第１実施例と異なる点についてのみ説明する。図３（Ａ）は、キャン２３０の部分断面図である。図３（Ｂ）は、キャン２３０を連結側Ｓ２から見た図である。 B. Second embodiment:
FIG. 3 shows the configuration of the can 230 of the vacuum pump as the second embodiment. The vacuum pump as the second embodiment differs from the first embodiment only in a part of the configuration of the can, and the other points are common to the first embodiment. Therefore, in the following, only the differences of the can 230 from the first embodiment will be described. FIG. 3A is a partial cross-sectional view of the can 230. FIG. 3B is a view of the can 230 as viewed from the connection side S2.

キャン２３０は、第１実施例と同様に、胴部２３１と閉塞部２３２と開口部２３３とを備える。閉塞部２３２は、胴部２３１との接続側の端部において、若干の丸みを帯びている。閉塞部２３２の内面には、胴部２３１の外方側Ｓ１の端部から、閉塞部２３２の中心部の付近に向かって、リブ２３４が周方向に点在して形成されている。リブ２３４は、胴部２３１の外方側Ｓ１の端部から徐々に厚みが小さくなりつつ、閉塞部２３２の中心部の付近にすり付くように形成される。このため、リブ２３４は、キャン２３０の閉塞部２３２付近の内部空間のうちの、回転中心軸線ＡＲの付近の空間に配置される、ボルトなどのロータ３０の取付け部材と干渉することがない。 The can 230 includes a body portion 231, a closing portion 232, and an opening portion 233 as in the first embodiment. The blocking portion 232 is slightly rounded at the end portion on the connection side with the body portion 231. On the inner surface of the closing portion 232, ribs 234 are formed in a dotted manner in the circumferential direction from the end portion on the outer side S1 of the body portion 231 toward the vicinity of the central portion of the closing portion 232. The rib 234 is formed so as to be rubbed in the vicinity of the central portion of the closing portion 232 while gradually decreasing in thickness from the end of the outer side S1 of the body portion 231. For this reason, the rib 234 does not interfere with the attachment member of the rotor 30 such as a bolt disposed in the space near the rotation center axis AR in the internal space near the closing portion 232 of the can 230.

かかる構成によれば、閉塞部２３２の強度を高めることができる。また、それによって、その分だけ、閉塞部２３２の厚みを小さくすることもできる。このため、上述したように、射出成形によって、閉塞部２３２の厚みを全体に有する成形品を製造した後、切削加工してキャン２３０を製造する場合、射出成形する成形品の厚みを小さくすることができ、その結果、切削加工量を低減できる。 According to such a configuration, the strength of the blocking portion 232 can be increased. In addition, the thickness of the blocking portion 232 can be reduced accordingly. For this reason, as described above, after manufacturing a molded product having the entire thickness of the blocking portion 232 by injection molding, when manufacturing the can 230 by cutting, the thickness of the molded product to be injection molded should be reduced. As a result, the amount of cutting can be reduced.

また、かかる構成によれば、リブ２３４が形成された箇所の断面においては、連結側Ｓ２から外方側Ｓ１に向かって内径が縮径するため、その分だけ、つまり、リブ２３４の容積分だけ、キャン２３０の内部の空間容積が小さくなる。その結果、真空ポンプ２０を駆動させた際の、キャン２３０の内部と真空ポンプ２０との間での気体移動量が低減する。すなわち、キャン２３０の内部空間と、真空ポンプ２０のケーシング４０の内部空間との間に設置される軸受５１を通過する気体量が低減する。したがって、気体移動に伴う潤滑剤の低減を抑制でき、真空ポンプ２０の維持管理の負担を低減できる。 Further, according to such a configuration, in the cross section of the portion where the rib 234 is formed, the inner diameter is reduced from the connection side S2 toward the outer side S1, and accordingly, that is, only the volume of the rib 234. The space volume inside the can 230 is reduced. As a result, the amount of gas movement between the inside of the can 230 and the vacuum pump 20 when the vacuum pump 20 is driven is reduced. That is, the amount of gas passing through the bearing 51 installed between the internal space of the can 230 and the internal space of the casing 40 of the vacuum pump 20 is reduced. Therefore, the reduction of the lubricant accompanying the gas movement can be suppressed, and the maintenance burden of the vacuum pump 20 can be reduced.

さらに、射出成形においては、成形後、脱型する際に、成形品を内型に残すことになる。キャン２３０によれば、キャン２３０を射出成形によって製造する場合、キャン２３０にリブ２３４が形成されていることによって、成形品が内型に係止されやすくなり、その結果、キャン２３０を製造しやすくなる。 Furthermore, in the injection molding, when the mold is removed after molding, the molded product is left in the inner mold. According to the can 230, when the can 230 is manufactured by injection molding, since the rib 234 is formed on the can 230, the molded product is easily locked to the inner mold, and as a result, the can 230 can be easily manufactured. Become.

Ｃ．第３実施例：
図４は、第３実施例としての真空ポンプのキャン３３０の構成を示す部分断面図である。図示するように、キャン３３０の閉塞部３３２は、中央部が連結側Ｓ２から外方側Ｓ１に向かって膨らんだドーム形状を有している。閉塞部３３２の内面は、外面に追随した形状を有している。かかるキャン３３０によれば、閉塞部３３２の機械的強度をさらに向上できる。しかも、閉塞部３３２の内径は、連結側Ｓ２から外方側Ｓ１に向かって縮径するので、第２実施例と同様の効果を奏する。勿論、キャン３３０にも、第２実施例と同様に、リブが形成されていてもよい。 C. Third embodiment:
FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing the configuration of the can 330 of the vacuum pump as the third embodiment. As shown in the drawing, the closing portion 332 of the can 330 has a dome shape in which the central portion swells from the connection side S2 toward the outer side S1. The inner surface of the closing part 332 has a shape following the outer surface. According to the can 330, the mechanical strength of the closing portion 332 can be further improved. In addition, since the inner diameter of the closing portion 332 is reduced from the connection side S2 toward the outer side S1, the same effect as in the second embodiment can be obtained. Of course, ribs may also be formed on the can 330 as in the second embodiment.

Ｄ．第４実施例：
図５は、第４実施例としての真空ポンプのキャン４３０とステータコア４１１との接着構成を示す断面図である。図示するように、本実施例では、キャン４３０は、キャン４３０の外表面に形成された下地層４８２を介して、接着剤４８１によって、ステータコア４１１と接着されている。つまり、キャン４３０の外表面には、下地層４８２が形成され、この下地層４８２が接着剤４８１によって、ステータコア４１１に接着されている。本実施例では、下地層４８２は、キャン４３０の外表面のうちの、ステータコア４１１との接着領域のみに形成されているが、キャン４３０の外表面の全体に亘って形成されていてもよい。 D. Fourth embodiment:
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a bonding configuration between the can 430 and the stator core 411 of the vacuum pump as the fourth embodiment. As shown in the figure, in this embodiment, the can 430 is bonded to the stator core 411 with an adhesive 481 through a base layer 482 formed on the outer surface of the can 430. That is, a base layer 482 is formed on the outer surface of the can 430, and the base layer 482 is bonded to the stator core 411 with the adhesive 481. In the present embodiment, the base layer 482 is formed only on the outer surface of the can 430 in the adhesion region with the stator core 411, but may be formed over the entire outer surface of the can 430.

下地層４８２は、キャン４３０よりも接着剤４８１との親和性が高い種々の非導電性材料によって形成できる。こうした非導電性材料として、例えば、ポリイミド樹脂および架橋成分が使用されてもよい。下地層４８２は、ペースト材料の塗布によって形成されてもよく、メッキやコーティングなどによって形成されてもよい。 The underlayer 482 can be formed of various non-conductive materials having higher affinity with the adhesive 481 than the can 430. As such a non-conductive material, for example, a polyimide resin and a crosslinking component may be used. The base layer 482 may be formed by applying a paste material, or may be formed by plating or coating.

かかる構成によれば、キャン１３０が、接着剤４８１との親和性が比較的低い材料、例えば、ＰＰＳなどのエンジニアプラスティックで形成されている場合であっても、ステータコア４１１とキャン４３０との接着強度が向上するので、ステータコア４１１がキャン４３０の機械的強度を好適に補強できる。その結果、キャン４３０の厚みを低減できる。 According to such a configuration, even if the can 130 is formed of a material having a relatively low affinity with the adhesive 481, for example, an engineer plastic such as PPS, the adhesive strength between the stator core 411 and the can 430. Therefore, the stator core 411 can suitably reinforce the mechanical strength of the can 430. As a result, the thickness of the can 430 can be reduced.

さらに、下地層４８２は、キャン４３０よりも引張強度が大きい非導電性材料によって形成されてもよい。こうした材料としては、例えば、Ａｌ_２Ｏ_３等のセラミックスが使用されてもよい。この場合、セラミックスをキャン４３０の表面に溶射して、下地層４８２を形成してもよい。かかる構成によれば、薄肉化されたキャン４３０の強度を補強することができる。 Further, the base layer 482 may be formed of a nonconductive material having a tensile strength higher than that of the can 430. As such a material, for example, ceramics such as Al ₂ O ₃ may be used. In this case, ceramics may be sprayed on the surface of the can 430 to form the base layer 482. According to this configuration, the strength of the thinned can 430 can be reinforced.

図示は省略するが、上述した第４実施例の構成に加えて、あるいは、代えて、キャン４３０は、下地層４８２を介して、接着剤４８１によって補強部材１５０，１６０（第１実施例参照）と接着されていてもよい。かかる構成によれば、補強部材１５０，１６０とキャン４３０との接着強度が向上するので、補強部材１５０，１６０がキャンの機械的強度をいっそう補強することができ、キャン４３０の厚みをいっそう低減できる。 Although not shown, in addition to or instead of the configuration of the fourth embodiment described above, the can 430 is reinforced by the adhesive member 481 and the reinforcing members 150 and 160 (see the first embodiment) via the base layer 482. And may be adhered. According to this configuration, since the adhesive strength between the reinforcing members 150 and 160 and the can 430 is improved, the reinforcing members 150 and 160 can further reinforce the mechanical strength of the can, and the thickness of the can 430 can be further reduced. .

Ｅ．第５実施例：
図６は、第５実施例としての真空ポンプのキャン５３０とステータコア５１１との接着構成を示す断面図である。図６は、回転中心軸線ＡＲに直交する断面を示している。図示するように、ステータコア５１１は、ステータコア５１１の中心に向かって突出する複数のティース５１５を備えている。複数のティース５１５には、コイル５１２が集中巻きされている。複数のティース５１５の内周側の端部間には、空間５１６が形成されている。この空間５１６の各々には、その両側のティース５１５と係合する非導電性の部材５８５が配置されている。 E. Example 5:
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a bonding configuration between a can 530 and a stator core 511 of a vacuum pump as a fifth embodiment. FIG. 6 shows a cross section orthogonal to the rotation center axis AR. As illustrated, the stator core 511 includes a plurality of teeth 515 that protrude toward the center of the stator core 511. A coil 512 is concentratedly wound around the plurality of teeth 515. A space 516 is formed between the inner peripheral ends of the plurality of teeth 515. In each of the spaces 516, non-conductive members 585 that engage with the teeth 515 on both sides thereof are disposed.

部材５８５は、クサビ形状を有しており、空間５１６を閉塞するように、ステータコア５１１の内部に挿入されている。本実施例では、部材５８５は、ガラスエポキシ樹脂によって形成されている。かかる構成によれば、キャン５３０と、ステータコア５１１のティース５１５とが接着剤５８１によって接着される。さらに、空間５１６においては、キャン５３０と部材５８５とが接着剤５８１によって接着される。部材５８５は、ティース５１５と係合しているので、キャン５３０と部材５８５との接着は、キャン５３０とステータコア５１１との接着強度の向上に寄与する。このように、接着剤５８１の接着面積が大きくなることによって、キャン５３０とステータコア５１１との接着強度が高まり、ステータコア５１１がキャン５３０の機械的強度をいっそう補強することができる。その結果、キャン５３０の厚みをいっそう低減できる。 The member 585 has a wedge shape, and is inserted into the stator core 511 so as to close the space 516. In this embodiment, the member 585 is made of glass epoxy resin. According to this configuration, the can 530 and the teeth 515 of the stator core 511 are bonded by the adhesive 581. Further, in the space 516, the can 530 and the member 585 are bonded by the adhesive 581. Since the member 585 is engaged with the tooth 515, the adhesion between the can 530 and the member 585 contributes to the improvement in the adhesion strength between the can 530 and the stator core 511. As described above, by increasing the bonding area of the adhesive 581, the bonding strength between the can 530 and the stator core 511 is increased, and the stator core 511 can further reinforce the mechanical strength of the can 530. As a result, the thickness of the can 530 can be further reduced.

部材５８５は、空間５１６に樹脂を充填して形成されてもよい。また、充填する樹脂は、接着剤であってもよい。この場合、接着剤は、モータ１００の使用温度に耐え得る耐熱性を有することが望ましい。また、接着剤の接着強度は、１ｋｇ／ｃｍ２（０．０９８ＭＰａ）以上であることが望ましい。これらの点は、接着剤５８１についても同様である。 The member 585 may be formed by filling the space 516 with resin. The resin to be filled may be an adhesive. In this case, the adhesive desirably has heat resistance that can withstand the operating temperature of the motor 100. The adhesive strength of the adhesive is desirably 1 kg / cm 2 (0.098 MPa) or more. These points also apply to the adhesive 581.

Ｆ．変形例：
Ｆ−１．変形例１：
第２実施例や第３実施例で示したキャンの閉塞部の内径が、連結側Ｓ２から外方側Ｓ１に向かって縮径する形状は、上述の例に限らず、種々の形状とすることができる。例えば、閉塞部の形状は、円錐形状、円錐台形状、凸形状などとすることができる。かかる場合、閉塞部の外面側にリブが形成されていてもよい。勿論、閉塞部の内面と外面との両方にリブが形成されていてもよい。 F. Variations:
F-1. Modification 1:
The shape in which the inner diameter of the closing portion of the can shown in the second embodiment and the third embodiment is reduced from the connection side S2 toward the outer side S1 is not limited to the above-described example, and may be various shapes. Can do. For example, the shape of the blocking portion can be a conical shape, a truncated cone shape, a convex shape, or the like. In such a case, a rib may be formed on the outer surface side of the closing portion. Of course, ribs may be formed on both the inner and outer surfaces of the closing portion.

Ｆ−２．変形例２：
キャン１３０の胴部１３１は、その全体が薄肉化されている形状に限らず、全体の一部分のみが薄肉化されていてもよい。例えば、胴部１３１のうちのステータコア１１１と当接する部分のみが薄肉化されていてもよい。かかる形状のキャンは、射出成形後に切削加工することによって、製造してもよい。 F-2. Modification 2:
The body portion 131 of the can 130 is not limited to a shape that is thinned as a whole, and only a part of the whole portion may be thinned. For example, only the portion of the body 131 that contacts the stator core 111 may be thinned. The can having such a shape may be manufactured by cutting after injection molding.

以上、いくつかの実施例に基づいて本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の組み合わせ、または、省略が可能である。例えば、上述した第３実施例および変形例１の構成は、実施例１，２の構成と切り離して実現することができ、例えば、ステータコア１１１と胴部１３１とを接着材によって接着していないキャンドモータや、補強部材１５０を備えていないキャンドモータなどにも適用可能である。 The embodiments of the present invention have been described above based on some examples. However, the above-described embodiments of the present invention are for facilitating the understanding of the present invention and limit the present invention. It is not a thing. The present invention can be changed and improved without departing from the gist thereof, and the present invention includes the equivalents thereof. Moreover, in the range which can solve at least one part of the subject mentioned above, or the range which exhibits at least one part of an effect, the combination of each component described in the claim and the specification, or omission is possible. . For example, the configurations of the third embodiment and the first modification described above can be realized separately from the configurations of the first and second embodiments. For example, the can core in which the stator core 111 and the body 131 are not bonded by an adhesive. The present invention is also applicable to a motor, a canned motor that does not include the reinforcing member 150, and the like.

２０…真空ポンプ
３０…ロータ
３１…第１段ロータ
３２…第２段ロータ
３３…第３段ロータ
３４…ポンプ主軸
４０…ケーシング
５０，６０…軸受部材
５１，６１…軸受
７０…タイミングギア
１００…モータ
１１０…ステータ
１１１，４１１，５１１…ステータコア
１１２，１１３…コイル部
１２０…ロータ
１３０，２３０，３３０，４３０，５３０…キャン
１３１，２３１，３３１…胴部
１３２，２３２，３３２…閉塞部
１３３，２３３，３３３…開口部
１４０…ステータフレーム
１４１…フレーム本体
１４２…側板
１４５，１４７…凹部
１４６…突出部
１５０，１６０…補強部材
１５３，１５４…Ｏリング
１６１…第１部位
１６２…第２部位
１６３…第３部位
１７１，１７２…樹脂
２３４…リブ
４８１，５８１…接着剤
４８２…下地層
５１５…ティース
５１６…空間
５８５…部材
Ｓ１…外方側
Ｓ２…連結側
ＡＲ…回転中心軸線 DESCRIPTION OF SYMBOLS 20 ... Vacuum pump 30 ... Rotor 31 ... 1st stage rotor 32 ... 2nd stage rotor 33 ... 3rd stage rotor 34 ... Pump main shaft 40 ... Casing 50, 60 ... Bearing member 51, 61 ... Bearing 70 ... Timing gear 100 ... Motor DESCRIPTION OF SYMBOLS 110 ... Stator 111,411,511 ... Stator core 112,113 ... Coil part 120 ... Rotor 130,230,330,430,530 ... Can 131,231,331 ... Body part 132,232,332 ... Blocking part 133,233 333: opening 140 ... stator frame 141 ... frame main body 142 ... side plate 145, 147 ... concave portion 146 ... projection 150, 160 ... reinforcing member 153, 154 ... O-ring 161 ... first part 162 ... second part 163 ... third Site 171, 172 ... Resin 234 ... Rib 481, 581 ... Adhesion Agent 482 ... Underlayer 515 ... Teeth 516 ... Space 585 ... Member S1 ... Outer side S2 ... Connection side AR ... Center axis of rotation

Claims

A canned motor connected to a vacuum pump and used as a rotational drive source of the vacuum pump,
A stator core;
A rotor disposed inside the stator core;
A can that is disposed between the stator core and the rotor and that separates the stator core and the rotor in a state of being in contact with the stator core, and is made of resin, ceramics, or a composite material thereof. With a non-conductive can and
The can is a canned motor bonded to the stator core by an adhesive.

A canned motor connected to a vacuum pump and used as a rotational drive source of the vacuum pump,
A stator core;
A rotor disposed inside the stator core;
A can that is disposed between the stator core and the rotor and that separates the stator core and the rotor in a state of being in contact with the stator core, and is made of resin, ceramics, or a composite material thereof. With a non-conductive can and
The can is bonded to the stator core by an adhesive via a base layer formed on the outer surface of the can,
The canned motor is formed of a non-conductive material having a higher affinity with the adhesive than the can.

The canned motor according to claim 1 or 2, wherein
A canned motor comprising an annular reinforcing member disposed on the outer side of the stator core in the rotation center axis direction of the rotor, the reinforcing member being in contact with the outer surface of the can in the circumferential direction.

The can motor according to claim 3, wherein the can is bonded to the reinforcing member with an adhesive.

The canned motor according to claim 3,
The can is bonded to the reinforcing member by an adhesive via a base layer formed on the outer surface of the can,
The canned motor is formed of a non-conductive material having a higher affinity with the adhesive than the reinforcing member.

The canned motor according to any one of claims 3 to 5, wherein a linear expansion coefficient of the reinforcing member is equal to or less than a linear expansion coefficient of the stator core.

A canned motor according to any one of claims 1 to 6,
A canned motor in which a non-conductive member that engages with the teeth is disposed in a space between inner peripheral ends of a plurality of teeth protruding toward the center of the stator core in the stator core.

A canned motor according to any one of claims 1 to 7,
A stator frame that is formed longer than the stator core in the direction of the rotation center axis of the rotor, and in a state in which the stator core is fitted in an internal space of the stator frame, and a stator frame that fixes the stator core;
A region corresponding to the coil portion projecting from both ends of the rotation axis of the stator core toward the outside of the stator core and filled in a closed space formed in a region between the stator frame and the can A canned motor equipped with plastic.

The canned motor according to claim 8, wherein a linear expansion coefficient of the filled resin is equal to or less than a linear expansion coefficient of the stator core.

A canned motor according to any one of claims 1 to 9,
The can
A hollow body extending in the direction of the rotation center axis of the rotor;
A closing portion that closes an internal space of the body portion on the first side in the rotation center axis direction;
An opening for forming an opening on a second side of the barrel opposite to the first side,
The closed part includes a portion whose inner diameter is reduced from the second side toward the first side.

The canned motor according to claim 10, wherein the closing portion has a dome shape in which a central portion swells from the second side toward the first side.

The canned motor according to claim 10 or 11, wherein a rib is formed on at least one of the first-side surface and the second-side surface of the closing portion.

A vacuum pump comprising the canned motor according to any one of claims 1 to 12.

A canned motor connected to a vacuum pump and used as a rotational drive source of the vacuum pump,
A stator core;
A rotor disposed inside the stator core;
A can that is disposed between the stator core and the rotor and that separates the stator core and the rotor in a state of being in contact with the stator core;
The can
A hollow body extending in the direction of the rotation center axis of the rotor;
A closing portion that closes an internal space of the body portion on the first side in the rotation center axis direction;
An opening for forming an opening on a second side of the barrel opposite to the first side,
The closed part includes a portion whose inner diameter is reduced from the second side toward the first side.

The canned motor according to claim 14, wherein the closing portion has a dome shape in which a central portion swells from the second side toward the first side.

The canned motor according to claim 14 or 15, wherein a rib is formed on at least one of the first side surface and the second side surface of the closing portion.