JP2014057366A - 振動片、振動子、発振器、及びセンサー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動腕部3の腕幅Wより大きく(太く)、且つ先端錘部5の腕幅W2より小さい(細い)腕幅W1を有して形成された中間錘部4を備えることで、中間錘部4を振動腕部3の振動(振幅)に追従させる。さらに中間錘部4の腕幅W1より大きい(太い)腕幅W2を有して形成された先端錘部5を備えることで、振動腕部3および中間錘部4の振動(振幅)に追従させるので、振動腕部3の振動特性を安定させることができる。
【選択図】図1
Description
以下、第1実施形態について、図1を参照して説明する。
図1(a)は、第1実施形態の水晶振動片を示す概略平面図である。図1(b)は、図1(a)の部分拡大図である。図1(c)は、図1(a)のA−A断面図である。
そして、水晶振動片1は、基部2と、2本の振動腕部3と、中間錘部4と、先端錘部5と、長溝部6と、接続部11と、支持部12とを備えている。
中間錘部4は、振動腕部3の腕幅Wより大きい腕幅W1を有して、振動腕部3の先端に形成されている。先端錘部5は、中間錘部4の腕幅W1より大きい腕幅W2を有して、中間錘部4の先端に形成されている。中間錘部4および先端錘部5は、B−Bで示す一点鎖線に関して対称に形成されている。
励振電極14aと励振電極14bとの間に電流を流すことにより電界が発生して、振動腕部3は、図1(a)に一点鎖線矢印および破線矢印で示すように、圧電効果により振動し、水晶振動片1は駆動する。
(変形例1)
図2(a)に変形例1を示す。図2(a)に示すように、変形例1の中間錘部4は、一点鎖線に関して対称に形成されていなく、先端錘部5は、一点鎖線に関して対称に形成されている。そして、中間錘部4の腕幅W1の一端は、先端錘部5の腕幅W2の一端と一直線に形成されている。
図2(b)に変形例2を示す。図2(b)に示すように、変形例1と同様に、変形例2の中間錘部4は、一点鎖線に関して対称に形成されていなく、先端錘部5は、一点鎖線に関して対称に形成されている。
そして、変形例1との相違は、中間錘部4の腕幅W1の一端が、振動腕部3の腕幅Wの一端と一直線に形成されている点である。
図2(d)に変形例3を示す。図2(d)に示すように、変形例3の中間錘部4および先端錘部5は、一点鎖線に関して対称に形成されていない。中間錘部4の腕幅W1および先端錘部5の腕幅W2の一端は、振動腕部3の腕幅Wの一端と一直線に形成されている。
図2(e)に変形例4を示す。図2(e)に示すように、中間錘部4および先端錘部5の両方が一点鎖線に関して対称に形成されていない。そして、変形例1〜3との相違は、振動腕部3の腕幅Wの一端および他端、中間錘部4の腕幅W1の一端および他端、および先端錘部5の腕幅W2の一端および他端は、一直線に形成されていない点である。
以下、第2実施形態について、図3を参照して説明する。
第2実施形態の水晶デバイスは、図1に示した第1実施形態の水晶振動片を用いた水晶振動子であり、同様の構成については、同一の符号を付与し、構成の説明を省略する。
第2実施形態の水晶振動子が、第1実施形態の水晶振動片と相違する点は、水晶振動子が収納されるパッケージを備えることである。
ベース23は、ベース基板15と、積層基板16,17と、接合部18と、導通固定部25a,25bと、外部接続端子26と、収納室27とを備えている。
そして、外部接続端子26は、たとえばベース基板15に配線(図示省略)が施され、導通固定部25と電気的に接続されている。
導電性接着剤28は、シリコン系樹脂、エポキシ系樹脂、またはポリイミド系樹脂などからなり、銀(Ag)またはプラチナ(Pt)などの導電性粉末が配合されている。
蓋体22は、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)などの金属、またはこれら金属を配合した合金、または酸化アルミニウム質などからなるセラミック、あるいはガラスで形成されている。
以下、第3実施形態について、図4を参照して説明する。
第3実施形態の水晶デバイスは、図1に示した第1実施形態の水晶振動片を用いた水晶発振器であり、同様の構成については、同一の符号を付与し、構成の説明を省略する。
内部接続端子33は、複数個備え、ベース23の内側であるベース基板15の上面、つまり収納室27内に形成されている。内部接続端子33は、ベース基板15の上面に、たとえばタングステンメタライズ、ニッケルメッキ、および金メッキの順に形成することにより得られる。
そして、内部接続端子33は、たとえばベース基板15に配線(図示省略)が施され、導通固定部25と外部接続端子26と電気的に接続されている。
または、振動腕部と中間錘部との間に、振動腕部の腕幅Wより大きく、且つ中間錘部の腕幅W1より小さい腕幅W(N)の第N錘部を有していてもよい。つまり、第N錘部の腕幅W(N)(Nは3以上の整数)と腕幅W1と腕幅W2との関係は、W<W(N)<W(N+1)<・・・・<W(N+M)<W1<W2であってもよい。
さらには、先端錘部の先端に、先端錘部の腕幅W2より大きい腕幅W(N)の第N錘部を有していてもよい。つまり、第N錘部の腕幅W(N)(Nは3以上の整数)と腕幅W1と腕幅W2との関係は、W<W1<W2<W(N)<W(N+1)<・・・・<W(N+M)であってもよい。
本発明のある形態に係る振動片は、基部と、平面視で前記基部から第1方向に延出されている振動腕部と、を含み、前記振動腕は、先端錘部と、前記先端錘部よりも前記第1方向と交差する第2方向に沿った幅が小さく、且つ、平面視で前記先端錘部と前記基部との間に配置され、前記先端錘部に向って前記基部から延出されている腕部と、平面視で前記先端錘部と前記腕部との間に配置され、前記第2方向に沿った幅が、前記先端錘部よりも小さく、且つ、前記腕部よりも大きい中間錘部と、平面視で前記腕部と前記中間錘部との間に配置され、前記腕部から前記中間錘部へ向かうに従って前記第2方向に沿った幅が徐々に拡幅し、且つ、前記中間錘部の前記第1方向の単位長さあたりの前記第2方向に沿った幅の変化の割合と異なっている第1拡幅部と、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動腕は、平面視で、前記中間錘部と前記先端錘部との間に配置され、前記中間錘部と前記先端錘部とを接続し、前記中間錘部から前記先端錘部へ向かうに従って前記第2方向に沿った幅が徐々に拡幅している第2拡幅部を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動腕は、平面視で主面に溝が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、平面視で、前記基部の前記振動腕と反対側に設けられている支持部と、前記支持部と前記基部とを接続し、前記基部よりも前記第2方向に沿った幅が小さい接続部と、含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記基部と前記支持部との間に設けられ、前記第2方向に沿って前記接続部と並んで切込部が配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記支持部が、前記第1方向に沿って延出され、前記第2方向に沿って前記振動腕部と並んで配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記振動片と、前記振動片が収納されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る発振器は、前記振動片と、回路と、を備えていることを特徴とする発振器。
本発明のある別の形態に係る発振器は、前記振動片を備えていることを特徴とする。
中間錘部4は、振動腕部3の腕部の前記第1方向と交差する第2方向に沿った腕幅Wより大きい腕幅W1を有して、振動腕部3の前記腕部より先端側に形成されている。先端錘部5は、中間錘部4の前記第2方向に沿った腕幅W1より大きい腕幅W2を有して、中間錘部4より先端側に形成されている。中間錘部4および先端錘部5は、B−Bで示す一点鎖線に関して対称に形成されている。
Claims (6)
- 圧電材料により形成された基部と、
前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕部と、
前記振動腕部の長手方向に沿って形成された長溝部と、
前記振動腕部の腕幅より大きい腕幅を有して、前記振動腕部の先端に形成された中間錘部と、
前記中間錘部の腕幅より大きい腕幅を有して、前記中間錘部の先端に形成された先端錘部とを備えることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片において、
前記振動腕部と前記中間錘部との間に、前記振動腕部の腕幅から前記中間錘部の腕幅へと徐々に腕幅を拡幅する第1拡幅部を備えることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1または2に記載の圧電振動片において、
前記中間錘部と前記先端錘部との間に、前記中間錘部の腕幅から前記先端錘部の腕幅へと徐々に腕幅を拡幅する第2拡幅部を備えることを特徴とする圧電振動片。 - 圧電材料により形成された基部と、
前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕部と、
前記振動腕部の長手方向に沿って形成された長溝部と、
前記振動腕部の腕幅より大きい腕幅を有して、前記振動腕部の先端に形成された中間錘部と、
前記中間錘部の腕幅より大きい腕幅を有して、前記中間錘部の先端に形成された先端錘部とを備える圧電振動片と、
前記圧電振動片を収納するパッケージとを備えることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項4に記載の圧電デバイスにおいて、
前記振動腕部と前記中間錘部との間に、前記振動腕部の腕幅から前記中間錘部の腕幅へと徐々に腕幅を拡幅する第1拡幅部を備えることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項4または5に記載の圧電デバイスにおいて、
前記中間錘部と前記先端錘部との間に、前記中間錘部の腕幅から前記先端錘部の腕幅へと徐々に腕幅を拡幅する第2拡幅部を備えることを特徴とする圧電デバイス。
Priority Applications (1)
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JP2013254808A JP2014057366A (ja) | 2013-12-10 | 2013-12-10 | 振動片、振動子、発振器、及びセンサー |
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JP2010060326A Division JP5434712B2 (ja) | 2010-03-17 | 2010-03-17 | 圧電振動片および圧電デバイス |
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Family Applications (1)
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JP2013254808A Pending JP2014057366A (ja) | 2013-12-10 | 2013-12-10 | 振動片、振動子、発振器、及びセンサー |
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2013
- 2013-12-10 JP JP2013254808A patent/JP2014057366A/ja active Pending
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