JP2014056085A - 撮像素子及びそれを用いた測距装置 - Google Patents

撮像素子及びそれを用いた測距装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2014056085A
JP2014056085A JP2012200414A JP2012200414A JP2014056085A JP 2014056085 A JP2014056085 A JP 2014056085A JP 2012200414 A JP2012200414 A JP 2012200414A JP 2012200414 A JP2012200414 A JP 2012200414A JP 2014056085 A JP2014056085 A JP 2014056085A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pixel
region
output signal
image sensor
pixels
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012200414A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6082212B2 (ja
JP2014056085A5 (ja
Inventor
Akinari Takagi
章成 高木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2012200414A priority Critical patent/JP6082212B2/ja
Priority to US14/016,905 priority patent/US9300890B2/en
Publication of JP2014056085A publication Critical patent/JP2014056085A/ja
Publication of JP2014056085A5 publication Critical patent/JP2014056085A5/ja
Priority to US15/048,053 priority patent/US20160173761A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6082212B2 publication Critical patent/JP6082212B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/14625Optical elements or arrangements associated with the device
    • H01L27/14627Microlenses
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/703SSIS architectures incorporating pixels for producing signals other than image signals
    • H04N25/704Pixels specially adapted for focusing, e.g. phase difference pixel sets
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/1462Coatings
    • H01L27/14623Optical shielding
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00Details of television systems
    • H04N5/222Studio circuitry; Studio devices; Studio equipment
    • H04N5/2224Studio circuitry; Studio devices; Studio equipment related to virtual studio applications
    • H04N5/2226Determination of depth image, e.g. for foreground/background separation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Focusing (AREA)

Abstract

【課題】撮影条件により、測距画像の画質が低下し、測距精度が低下することを防止できる撮像素子、測距装置などを提供する
【解決手段】撮像素子は、光学系101の射出瞳の第1の瞳領域からの光束を受光して光電変換する第1の画素110と、射出瞳の重心から第1の方向へ偏心した第2の瞳領域からの光束を受光して光電変換する第2の画素120と、射出瞳の重心から第1の方向とは反対の第2の方向へ偏心した第3の瞳領域からの光束を受光して光電変換する第3の画素130を有する。撮像素子は、第1の画素及び第2の画素を複数配置した第1の撮像素子領域と、第1の画素及び第3の画素を複数配置した第2の撮像素子領域を有し、光学系の光軸が通る撮像素子の位置を中心に、一方側にずれて第1の撮像素子領域が配置され、他方側にずれて前記第2の撮像素子領域が配置されている。
【選択図】図1

Description

本発明は、固体撮像素子に関し、特にデジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラなどに用いられる測距装置などに関するものである。
デジタルスチルカメラやビデオカメラにおいて、撮像素子の一部あるいは全部の画素に測距機能を有する測距画素を配置し、位相差方式で焦点調節状態を検出するようにした固体撮像素子が提案されている(特許文献1参照)。測距画素は、画素内のマイクロレンズ、及びマイクロレンズを介してカメラレンズの射出瞳と光学的に共役な位置に配置された遮光板を有している。これにより、カメラレンズの瞳上の一部領域を通過した光束が光電変換部に導かれるように構成される。さらに、カメラレンズの瞳中心を基準として互いに反対方向に偏心した領域の光束を受光する測距画素を設ける。各測距画素で得た信号により、異なる瞳領域を通過した光束で生成される複数の光像(以後、測距像と呼ぶ)を取得する。これらの測距像のズレ量を基に、ステレオ画像による三角測量を用いてデフォーカス量を算出し、被写体の距離を測定することができる。これによると、従来のコントラスト方式とは異なり、距離を測定するのでレンズを動かす必要が無いため、高速、高精度な測距が可能となる。
特許4797606号公報
しかしながら、撮影条件によっては、測距像の画質が低く、測距精度が低下するということがあった。一般に、ズームやフォーカス状態により、カメラレンズの射出瞳位置は変化する。よって、遮光板が射出瞳との共役関係から外れるとき、撮像素子内の各測距画素の位置に応じて、各測距画素で受光する光束が通過する瞳領域の偏心量は変化する。偏心量が大きくなると、カメラレンズ瞳内の周辺部を通過した光束だけで測距像が形成されることがある。一般に、カメラレンズ瞳内の周辺部を通過する光束は、瞳中心部を通過する光束よりも、収差が大きいため、前者の光束による測距像は、収差により像コントラストが低下することになりやすい。低画質な測距像を用いると、像ズレ量の読取誤差が大きくなり、測距精度が低下することになる。
上記課題に鑑み、本発明の撮像素子は、被写体の像を結像する光学系に対して当該撮像素子が位置決めされるときに光学系の射出瞳の第1の瞳領域からの光束を受光して光電変換するようにそれぞれ構成された複数の第1の画素と、第1の瞳領域の一部を含み、射出瞳の重心から第1の方向へ偏心した第2の瞳領域からの光束を受光して光電変換するようにそれぞれ構成された複数の第2の画素と、第1の瞳領域の一部を含み、射出瞳の重心から第1の方向とは反対の第2の方向へ偏心した第3の瞳領域からの光束を受光して光電変換するようにそれぞれ構成された複数の第3の画素と、を有する。そして、第1の画素及び第2の画素を複数配置した第1の撮像素子領域と、第1の画素及び第3の画素を複数配置した第2の撮像素子領域を有し、光学系の光軸が通る撮像素子の位置を中心に、第1及び第2の方向に対応する撮像素子上の方向の一方側にずれて第1の撮像素子領域が配置され、第1及び第2の方向に対応する撮像素子上の方向の他方側にずれて第2の撮像素子領域が配置されている。
本発明の撮像素子を測距装置、撮像装置などに用いれば、高画質な測距像が取得でき、高精度な測距ができる。
撮像素子を含む撮像装置及び撮像素子の中心付近の画素配置を示す図。 各画素を示す要部断面図。 各画素の画素特性を示す図。 撮像素子の各領域での光束の状態を示す図。 撮像素子の中心付近の画素配置の他の例を示す図。 各画素の他の例を示す要部断面図。 各画素の画素特性の他の例を示す図。 撮像素子の各領域での光束の状態の他の例を示す図。 各画素の他の例を示す要部断面図。 撮像素子の中心付近の画素配置の他の例を示す図。 各画素の他の例を示す要部断面図。
本発明の撮像素子は、少なくとも、上記の如き第1から第3の画素を有し、第1の画素及び第2の画素を複数配置した第1の撮像素子領域と、第1の画素及び第3の画素を複数配置した第2の撮像素子領域を有する。そして、光学系の光軸が通る当該撮像素子の位置を中心に、前記第1及び第2の方向に対応する当該撮像素子上の方向の一方側にずれて第1の撮像素子領域が配置され、この方向の他方側にずれて第2の撮像素子領域が配置されている。こうした撮像素子を測距装置に備えれば、第1の画素の出力信号と第2の画素の出力信号と第3の画素の出力信号、または第1の画素の出力信号と後述の第4の画素の出力信号と第5の画素の出力信号を用いて被写体の距離情報を取得できる。こうして、高精度な測距をすることができる。また、こうした測距装置をデジタルカメラなどの撮像装置に備えれば、高画質の被写体画像を得ることができる。また、こうした測距装置における測距方法では、複数の画素の出力信号と、注目する該画素の付近の前記第1の画素から得られた出力信号から該画素の出力信号を差し引いた信号を用いて測距像信号を取得する。こうして、高画質な測距像を用いて測距演算を行うことで高精度な測距ができる。
以下、図を用いて、本発明の撮像素子を用いた測距装置ないし撮像装置の実施の形態について説明する。その際、全ての図において同一の機能を有するものは同一の数字を付け、その繰り返しの説明は省略する。
(実施例1)
本発明の撮像素子を含む測距装置を有するデジタルカメラ100の構成例を図1に示す。図1(a)において、デジタルカメラ100は、被写体の像を結像する光学系である撮影レンズ101、撮影レンズ101に対して適切に位置決めされた撮像素子103、撮像素子103から信号が入力される測距演算部104を備える。撮像素子103は撮影レンズ101の光軸102上に配置され、撮影レンズ101は撮像素子103上に被写体の像を結像する。
図1(b)は撮像素子103の中心付近(光軸102が通る位置付近の領域)の画素配置を示した図である。画素110は、撮影レンズ101の射出瞳の第1の瞳領域からの光束を受光して光電変換する画素(第1の画素)である。第1の瞳領域は射出瞳の中心ないし重心を含む領域である。画素120は、第1の瞳領域の一部をなすか或いは含む、射出瞳の中心から第1の方向(−X方向)へ偏心した第2の瞳領域からの光束を受光して光電変換する画素(第2の画素)である。本実施例では、射出瞳は光軸102の回りに回転対称な円形、正方形などの形状を想定しているので射出瞳の中心を定義できる。しかし、射出瞳が回転非対称な形状であれば、中心を定義できないので射出瞳の重心(回転対称形状であれば中心でもある)から第1の方向(−X方向)へ偏心したということになる。画素130は、第1の瞳領域の一部をなすか或いは含む、射出瞳の中心から第2の瞳領域とはほぼ反対方向(+X方向)である第2の方向へ偏心した第3の瞳領域からの光束を受光して光電変換する画素(第3の画素)である。第3の瞳領域の偏心についても、第2の瞳領域の偏心と同様である。
領域1032(第1の撮像素子領域)は、画素110と画素120をそれぞれ複数配置した領域である。領域1033(第2の撮像素子領域)は、画素110と画素130をそれぞれ複数配置した領域である。撮像素子103の中心を通り前記第1及び第2の方向に対応する撮像素子上の方向に垂直な線分を境界線1031として、領域1032及び領域1033は境界線1031を挟んで配置されている。より一般的に言えば、領域1032及び領域1033は、光学系の光軸102が通る撮像素子103の位置を中心に、前記第1及び第2の方向に対応する撮像素子上の方向の一方側及び他方側に夫々ずれて配置されている。また、本実施例では、画素110、画素120及び画素130を複数配置した第3の撮像素子領域1034を、領域1032と領域1033の間(すなわち、光学系の光軸が通る撮像素子の位置を含む中心領域)に設けている。なお、図1(b)においては、簡単のため、画素4列で1つの領域を構成するように示したが、数十列以上など、より多くの画素列で構成してもよい。
測距演算部104は、異なる瞳領域を通過した光束による被写体像(測距像)の位置ズレ量をもとに、被写体距離を公知の方法により求める。第3の撮像素子領域1034においては、測距像信号として、複数の画素120からの出力信号及び複数の画素130からの出力信号を用いる。領域1032においては、測距像信号として、複数の画素120からの出力信号と、注目する画素120に隣接する画素110の出力信号から画素120の出力信号を差し引いた信号を用いる。領域1033においては、測距像信号として、複数の画素130からの出力信号と、注目する画素130に隣接する画素110の出力信号から画素130の出力信号を差し引いた信号を用いる。
図2に、各画素の要部断面図を示す。なお、各画素は図示しない配線やカラーフィルターを含む。図2(a)に示すように、画素110はマイクロレンズ111及び光電変換部112から構成される。画素120は、マイクロレンズ111、画素中心軸121から−X方向に偏心して配置された遮光部122、光電変換部112から構成される。本実施例では、マイクロレンズ111の光軸を画素中心軸121に一致させ、かつ遮光部122の画素中心側端面を画素中心軸121に一致させている。また図2(b)に示すように、画素130は、マイクロレンズ111、画素中心軸131から+X方向に偏心して配置された遮光部132、光電変換部112から構成される。画素120と同様に、マイクロレンズ111の光軸を画素中心軸131に一致させ、かつ遮光部132の画素中心側端面を画素中心軸131に一致させている。このような構成にすることにより、画素感度に入射角依存性を持たせることができる。
図3に各画素の画素感度の入射角依存性を示す。図3において、横軸は各画素へのXZ断面における光入射角度、縦軸は画素感度を表わす。画素110の感度特性113(実線)は、フラットな特性を示す。画素120の感度特性123(点線)は、マイナス方向(−X方向)からの入射光に対する感度が高く、プラス方向(+X方向)からの入射光に対する感度が低い。画素130の感度特性133(破線)は、マイナス方向(−X方向)からの入射光に対する感度が低く、プラス方向(+X方向)からの入射光に対する感度が高い。さらに、撮影レンズ101の射出瞳と撮像素子103の距離が無限大の時に、第2の瞳領域と第3の瞳領域が、射出瞳上で中心軸を中心に線対称に配置されるよう、光入射角0度を対称軸として、感度特性123と感度特性133が互いに対称な形状になっている。
次に、本実施例を含む本発明により、高画質な測距像を得ることができ、高精度な測距が可能になる理由を述べる。常に、撮影レンズ101の射出瞳と撮像素子103の距離が無限大に保持されていれば、図3に示す画素特性を持つことにより、第2の瞳領域と第3の瞳領域が射出瞳上で中心対称な配置になる。よって、両測距像とも射出瞳中心(重心)付近の光束により形成さるため、コントラストの高い像が得られる。しかし、小型化の要請から、実際の撮影レンズでは、ズーム状態に応じて、射出瞳位置は変化する。一般的に、望遠側では、射出瞳位置は撮像素子から遠く、広角側では、射出瞳位置は撮像素子に近くなる。また、撮影レンズがインナーフォーカスやリアフォーカスの構成の場合は、フォーカス状態に応じても、射出瞳位置が変動する。
撮影レンズ101の射出瞳1011が、撮像素子103から有限な距離にある場合(例えば、ズームレンズの広角側で撮影した場合に相当)を図4に示す。図4(a)は、撮像素子103の中心付近の第3の撮像素子領域1034での光束の状態を示す。画素110は、射出瞳1011の第1の瞳領域1012からの光束114を受光して光電変換する。画素120は、射出瞳1011の第2の瞳領域1013からの光束124を受光して光電変換する。画素130は、射出瞳1011の第3の瞳領域1014からの光束134を受光して光電変換する。上述した様に、測距演算部104は、異なる瞳領域を通過した光束による測距像の位置ズレ量をもとに、被写体距離を公知の方法により求める。この時、測距像信号として、複数の画素120からの出力信号、及び複数の画素130からの出力信号を用いる。
図4(b)は、撮像素子103の領域1032での光束の状態を示す。画素110は、射出瞳1011の第1の瞳領域1012’からの光束114’を受光して光電変換する。画素120は、射出瞳1011の第2の瞳領域1013’からの光束124’を受光して光電変換する。測距演算部104は、上記公知の方法により被写体距離を求めるが、この時、測距像信号として、複数の画素120からの出力信号と、注目する画素120に隣接する画素110の出力信号から画素120の出力信号を差し引いた信号を用いる。従来は、図4(b)に示す領域1032に相当する領域にも、画素130を配置していた。撮像素子全面に画素120または画素130のいずれかを配置した場合は、いずれかの撮像素子周辺部において、画素からの出力信号で形成される測距像のコントラストが低下し、測距精度が低下する。また、撮像素子全面に画素120及び画素130を配置した場合は、撮像素子周辺部において、いずれかの画素からの出力信号で形成される測距像のコントラストが低下し、測距精度が低下する。
その理由を述べる。射出瞳1011の第3の瞳領域1014’からの光束134’は、射出瞳1011の周辺部のみを通る光束であり、コマ収差など大きな光線収差を有する。よって、光束134’で形成され画素130から出力される測距像は、コントラストが低下し、画質が低くなる。低画質の測距像の信号を用いて像ズレ量を算出すると誤差が大きくなり、測距精度が低下する。従って、本実施例を含む本発明においては、画素周辺部のみを通る光束による測距像の信号を用いずに、測距演算を行う。つまり、画素110の出力信号から画素120の出力信号を差し引いて測距像信号を求めることにより、射出瞳1011の第3の瞳領域1014’からの光束134’で形成される測距像信号を得ている。
図4(c)は、撮像素子103の領域1033での光束の状態を示す。画素110は、射出瞳1011の第1の瞳領域1012”からの光束114”を受光して光電変換する。画素130は、射出瞳1011の第2の瞳領域1014”からの光束134”を受光して光電変換する。測距演算部104は、上記公知の方法により被写体距離を求めるが、この時、測距像信号として、複数の画素130からの出力信号と、注目する画素130に隣接する画素110の出力信号から画素130の出力信号を差し引いた信号を用いる。図4(b)に示す領域1032の場合と同様に、領域1033においても、高画質な測距像を取得でき、高精度な測距ができる。
図4(b)に示すように、第2の瞳領域1013’は、第3の瞳領域1014’よりも大きいため、光量が多い。また、図4b(c)に示すように、第3の瞳領域1014”は、第2の瞳領域1013”よりも大きいため、光量が多い。よって、何れの領域でも、像信号出力が大きいため、光電変換時や信号転送時のノイズによる信号劣化を低減し、高画質な測距像(高品質な測距信号)を得ることができ、高精度な測距ができる。
以上示したように、本実施例の構成にすることにより、撮影レンズのズーム状態、フォーカス状態によらず、撮像素子全面において、高精度な測距ができる。
なお、領域1032における測距像信号として、複数の画素120からの出力信号と、注目する画素120に隣接する画素110の出力信号から画素120の出力信号を差し引いた信号を用いたが、これに限定されるものではない。注目する画素120に近接する複数の画素110の出力信号平均値から画素120の出力信号を差し引いた信号を用いてもよい。複数画素からの出力信号の平均値を用いることにより、ノイズ等の影響を軽減でき、より高精度な測距ができる。領域1033における測距像信号についても、同様である。
また、画素120と画素130を含む第3の撮像素子領域1034を設けたが、図5に示すように、中央の領域1034を設けなくてもよい。ただし、領域1034を設けることにより、領域1034においては、直接2つの測距像を得ることができるため、演算負荷を減らせ、高速化や消費電力の削減を達成することができる。また、各領域の境界部近傍で、複数の信号処理方法を用いることにより、境界部でのエラーを低減することができる。また、本実施例においては、千鳥状に画素120及び画素130を配置したが、2画素おき、3画素おきなど、必要な測距精度に応じて配置を決定してよい。
一般的に、撮影レンズの射出瞳位置は、撮像素子に対して+Z側にあるため、次の様にするのが望ましい。すなわち、第2の瞳領域1013の偏心方向(第1の方向である−X方向)と、撮像素子中心に対する第1の撮像素子領域1032の偏心方向(第1の方向に対応する撮像素子上の方向である+X方向)とが逆であることが望ましい。しかし、撮影レンズの射出瞳位置が撮像素子に対して−Z側にある場合には、第2の瞳領域1013の偏心方向と、撮像素子中心に対する第1の撮像素子領域1032の偏心方向は、同方向であることが望ましい。第3の瞳領域1014の偏心方向と撮像素子中心に対する第2の撮像素子領域1033の偏心方向についても、同様である。
(実施例2)
次に、本発明を、撮影レンズの射出瞳位置が撮像素子から近い場合に最適化した例に関わる実施例2を説明する。実施例1に対して、画素110の代わりに図6(a)の画素160を、画素120の代わりに図6(a)の画素170を、画素130の代わりに図6(b)の画素180を用いた点が異なる。
図6に、各画素の要部断面図を示す。なお、各画素は図示しない配線やカラーフィルターを含む。図6(a)に示すように、画素160はマイクロレンズ161及び光電変換部162から構成される。マイクロレンズ161は、撮影レンズ101の射出瞳1011の中心(重心)を通った主光線が、光電変換部162の中心に入射するように偏心して配置する。画素170は、マイクロレンズ161、画素中心軸171から−X方向に偏心して配置された遮光部172、光電変換部162から構成される。また図6(b)に示すように、画素180は、マイクロレンズ161、画素中心軸181から+X方向に偏心して配置された遮光部182、光電変換部162から構成される。このような構成にすることにより、画素感度に入射角依存性を持たせることができる。
図7に各画素の画素感度の入射角依存性を示す。図7において、横軸は各画素へのXZ断面における光入射角度、縦軸は画素感度を表わす。画素160の感度特性163(実線)は、フラットな特性を示す。図7(a)に示すように、画素170の感度特性173(破線)は、マイナス方向(−X方向)からの入射光に対する感度が高く、プラス方向(+X方向)からの入射光に対する感度が低い。ただし、画素120の感度特性(図3の123)に対して、マイナス側にシフトしている。図7(b)に示すように、画素180の感度特性183(破線)は、マイナス方向(−X方向)からの入射光に対する感度が低く、プラス方向(+X方向)からの入射光に対する感度が高い。ただし、画素130の感度特性(図3の133)に対して、プラス側にシフトしている。なお、図7(a)に示す感度特性184(点線)は、画素180が図6(a)に示すマイクロレンズ161を備えた場合の感度特性を参考として示す。また、図7(b)に示す感度特性174(点線)は、画素170が図6(b)に示すマイクロレンズ161を備えた場合の感度特性を参考として示す。
図8は、撮像素子103の領域1032での光束の状態を示す。撮影レンズ101の射出瞳1011が、撮像素子103から有限な距離にある場合を図8(a)に示す。この場合、画素160は、射出瞳1011の第1の瞳領域1012からの光束164を受光して光電変換する。画素170は、射出瞳1011の第2の瞳領域1013からの光束175を受光して光電変換する。測距演算部104は、上記公知の方法により被写体距離を求めるが、この時、測距像信号として、複数の画素170からの出力信号と、注目する画素170に隣接する画素160の出力信号から画素170の出力信号を差し引いた信号を用いる。
撮影レンズ101の射出瞳1011が、撮像素子103から遠い場合(例えば、ズームレンズの望遠側で撮影した場合に相当)を図8(b)に示す。この場合、画素160は、射出瞳1011の第1の瞳領域1012’からの光束164’を受光して光電変換する。画素170は、射出瞳1011の第2の瞳領域1013’からの光束175’を受光して光電変換する。測距演算部104は、上記公知の方法により被写体距離を求めるが、この時、測距像信号として、複数の画素170からの出力信号と、注目する画素170に隣接する画素160の出力信号から画素170の出力信号を差し引いた信号を用いる。
同様に、撮像素子103の領域1033では、測距像信号として、複数の画素180からの出力信号と、注目する画素180に隣接する画素160の出力信号から画素180の出力信号を差し引いた信号を用いる。
図8(b)に示したように、画素の感度特性を決定した際の撮影条件と異なる場合は、実施例1と同じ理由で、従来のものでは高精度な測距ができない。つまり、光束185’を受光して光電変換する画素を設けて得られる測距像は、射出瞳周辺部のみの光束で形成された像であり、コントラストが低くなり、測距精度が低下する。本実施例では、演算により、射出瞳1011の第3の瞳領域1014’からの光束185’で形成される測距像信号を生成する。このため、像ズレ量の検出が高精度で行え、高精度な測距が可能になる。
以上示したように、本実施例の構成にすることにより、実施例1と同様に、撮影レンズのズーム状態、フォーカス状態によらず、撮像素子全面において、高精度な測距ができる。
(実施例3)
次に、本発明を、Y方向にも瞳分割して測距を行う測距装置に適用した例を説明する。図9に、Y方向に瞳分割するための各画素の要部断面図を示す。なお、各画素は図示しない配線やカラーフィルターを含む。図9(a)に示すように、第4の画素140は、マイクロレンズ111、画素中心軸141から−Y方向(第3の方向)に偏心して配置された遮光部142、光電変換部112から構成される。マイクロレンズ111の光軸を画素中心軸141に一致させ、かつ遮光部142の画素中心側端面を画素中心軸141に一致させている。また図9(b)に示すように、第5の画素150は、マイクロレンズ111、画素中心軸151から+Y方向(第4の方向)に偏心して配置された遮光部152、光電変換部112から構成される。画素140と同様に、マイクロレンズ111の光軸を画素中心軸151に一致させ、かつ遮光部152の画素中心側端面を画素中心軸151に一致させている。このような構成にすることにより、画素感度にYZ断面における入射角依存性を持たせることができる。
図10は撮像素子103の中心付近の画素配置を示した図である。画素140は、第1の瞳領域の一部をなすか或いは含み、射出瞳の中心(重心)から第3の方向(−Y方向)へ偏心した第4の瞳領域からの光束を受光して光電変換する画素(第4の画素)である。画素150は、第1の瞳領域の一部をなすか或いは含み、射出瞳の中心(重心)から第4の瞳領域とはほぼ反対方向の第4の方向(+Y方向)へ偏心した第5の瞳領域からの光束を受光して光電変換する画素(第5の画素)である。領域1036(第4の撮像素子領域)は、画素110と画素140を複数配置した領域である。領域1037(第5の撮像素子領域)は、画素110と画素150を複数配置した領域である。撮像素子103の中心を通り第2の方向に垂直な線分を境界線1035として、領域1036及び領域1037を境界線1035を挟んで配置している。図10においては、簡単のため、画素4行で1つの領域を構成するように示したが、数十行以上など、より多くの画素行で構成してもよい。
ここでも、測距演算部104は、異なる瞳領域を通過した光束による被写体像(測距像)の位置ズレ量をもとに、被写体距離を公知の方法により求める。領域1036においては、測距像信号として、複数の画素140からの出力信号と、注目する画素140に隣接する画素110の出力信号から画素140の出力信号を差し引いた信号を用いる。領域1037においては、測距像信号として、複数の画素150からの出力信号と、注目する画素150に隣接する画素110の出力信号から画素150の出力信号を差し引いた信号を用いる。以上の構成により、実施例1と同じ理由により、X方向に延びた線分により構成される被写体についても、撮影条件によらず高画質な測距像が取得でき、高精度な測距ができる。
以上の実施例においては、マイクロレンズと画素中心軸に対し偏心して配置した遮光部材を用いた画素構成を示したが、これに限定されるものではない。画素感度の入射角依存性を出す構成として、図11(a)に示すように、光電変換部へ光束を導く導波路114と画素中心軸121に対して偏心して配置した非対称な形状の遮光部122の構成でもよい。また、図11(b)に示すように、画素中心軸121に対して偏心した非対称な形状の導波路125と画素中心軸121上に配置した遮光部122の構成でもよい。すなわち、前記第2の画素等は、光電変換部へ光束を導く導波路と、光束伝播方向に関して光電変換部の前方の導波路内に配置された遮光部材を有してもよい。この場合、導波路及び/または遮光部材は、画素中心軸に対して非対称な形状である。このように導波路(特に図11に示す様に光入射側にコア部がテ―パ状に広がったもの)を用いて構成することにより、画素に入射した光を効率良く光電変換部に導くことが可能となり、より高画質な測距像を得ることができ、より高精度な測距ができる。
上述した本発明による撮像素子は、測距装置をはじめとして、測距装置を必要とするデジタルカメラなどの撮像装置に用いることができる。その際、撮像素子は、その構成に応じて、被写体の像を結像する光学系に対して適宜位置決めされる必要がある。
100・・カメラ(撮像装置)、101・・撮影レンズ(光学系)、102・・光軸、103・・撮像素子、104・・測距演算部、110・・第1の画素、120・・第2の画素、130・・第3の画素、1032・・第1の撮像素子領域、1033・・第2の撮像素子領域

Claims (12)

  1. 被写体の像を結像する光学系に対して当該撮像素子が位置決めされるときに前記光学系の射出瞳の第1の瞳領域からの光束を受光して光電変換するようにそれぞれ構成された複数の第1の画素と、
    前記第1の瞳領域の一部を含み、前記射出瞳の重心から第1の方向へ偏心した第2の瞳領域からの光束を受光して光電変換するようにそれぞれ構成された複数の第2の画素と、
    前記第1の瞳領域の一部を含み、前記射出瞳の重心から前記第1の方向とは反対の第2の方向へ偏心した第3の瞳領域からの光束を受光して光電変換するようにそれぞれ構成された複数の第3の画素と、
    を有する撮像素子であって、
    前記第1の画素及び前記第2の画素をそれぞれ複数配置した第1の撮像素子領域と、前記第1の画素及び前記第3の画素をそれぞれ複数配置した第2の撮像素子領域を有し、
    前記光学系の光軸が通る当該撮像素子の位置を中心として、前記第1及び第2の方向に対応する当該撮像素子上の方向の一方側にずれて前記第1の撮像素子領域が配置され、前記一方側とは反対の他方側にずれて前記第2の撮像素子領域が配置されていることを特徴とする撮像素子。
  2. 前記第2の瞳領域は、前記第1の瞳領域の一部をなし、前記射出瞳の中心から前記第1の方向へ偏心し、
    前記第3の瞳領域は、前記第1の瞳領域の一部をなし、前記射出瞳の中心から前記第2の方向へ偏心し、
    前記第1の撮像素子領域と前記第2の撮像素子領域は、当該撮像素子の中心を通り前記第1及び第2の方向に対応する当該撮像素子上の方向に垂直な線分を境界線とし、該境界線を挟んで配置されていることを特徴とする請求項1に記載の撮像素子。
  3. 前記第2の瞳領域の偏心方向である前記第1の方向に対応する当該撮像素子上の方向と、前記第1の撮像素子領域のずれ方向が逆であることを特徴とする請求項1または2に記載の撮像素子。
  4. 前記光学系の光軸が通る当該撮像素子の位置を含む中心領域に、前記第2の画素及び第3の画素をそれぞれ複数配置した第3の撮像素子領域が配置されていることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の撮像素子。
  5. 前記第2の画素は、マイクロレンズ、及び画素中心軸に対し偏心して配置された遮光部材を有し、前記第3の画素は、マイクロレンズ、及び画素中心軸に対し、前記第2の画素の遮光部材とは反対の方向に偏心して配置された遮光部材を有することを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の撮像素子。
  6. 前記第2の画素及び前記第3の画素は、それぞれ、光電変換部へ前記光束を導く導波路と、光束伝播方向に関して前記光電変換部の前方の前記導波路内に配置された遮光部材を有し、前記導波路及び/または前記遮光部材は、画素中心軸に対して非対称な形状であることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の撮像素子。
  7. 前記第1の瞳領域の一部を含み、前記射出瞳の重心から第3の方向へ偏心した第4の瞳領域からの光束を受光して光電変換するようにそれぞれ構成された複数の第4の画素と、
    前記第1の瞳領域の一部を含み、前記射出瞳の重心から前記第3の方向とは反対の第4の方向へ偏心した第5の瞳領域からの光束を受光して光電変換するようにそれぞれ構成された複数の第5の画素と、を備え、
    前記第1の画素及び前記第4の画素をそれぞれ複数配置した第4の撮像素子領域と、前記第1の画素及び前記第5の画素をそれぞれ複数配置した第5の撮像素子領域を有し、
    前記光学系の光軸が通る当該撮像素子の位置を中心として、前記第3及び第4の方向に対応する当該撮像素子上の方向の一方側にずれて前記第4の撮像素子領域が配置され、該一方側とは反対の他方側にずれて前記第5の撮像素子領域が配置されていることを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載の撮像素子。
  8. 請求項1から7の何れか1項に記載の撮像素子と、
    被写体の像を前記撮像素子上に結像する光学系と、
    を有する測距装置であって、
    前記第1の画素の出力信号と前記第2の画素の出力信号と前記第3の画素の出力信号、または前記第1の画素の出力信号と前記第4の画素の出力信号と前記第5の画素の出力信号を用いて被写体の距離情報を取得することを特徴とする測距装置。
  9. 前記第1の撮像素子領域では、前記第2の画素の出力信号と、前記第1の画素の出力信号と前記第2の画素の出力信号を用いて演算された信号を用い、前記第2の撮像素子領域では、前記第3の画素の出力信号と、前記第1の画素の出力信号と前記第3の画素の出力信号を用いて演算された信号を用いることを特徴とする請求項8に記載の測距装置。
  10. 前記第4の撮像素子領域では、前記第4の画素の出力信号と、前記第1の画素の出力信号と前記第4の画素の出力信号を用いて演算された信号を用い、前記第5の撮像素子領域では、前記第5の画素の出力信号と、前記第1の画素の出力信号と前記第5の画素の出力信号を用いて演算された信号を用いることを特徴とする請求項8または9に記載の測距装置。
  11. 請求項8から10の何れか1項に記載の測距装置を有することを特徴とする撮像装置。
  12. 請求項1から7の何れか1項に記載の撮像素子と、被写体の像を前記撮像素子上に結像する光学系と、を有する測距装置における測距方法であって、
    前記第1の撮像素子領域では、複数の前記第2の画素の出力信号と、注目する前記第2の画素の付近の前記第1の画素から得られた出力信号から該第2の画素の出力信号を差し引いた信号を用いて測距像信号を取得すると共に、前記第2の撮像素子領域では、複数の前記第3の画素の出力信号と、注目する前記第3の画素の付近の前記第1の画素から得られた出力信号から該第3の画素の出力信号を差し引いた信号を用いて測距像信号を取得して、測距演算を行うか、
    或いは、前記第4の撮像素子領域では、複数の前記第4の画素の出力信号と、注目する前記第4の画素の付近の前記第1の画素から得られた出力信号から該第4の画素の出力信号を差し引いた信号を用いて測距像信号を取得すると共に、前記第5の撮像素子領域では、複数の前記第5の画素の出力信号と、注目する前記第5の画素の付近の前記第1の画素から得られた出力信号から該第5の画素の出力信号を差し引いた信号を用いて測距像信号を取得して、測距演算を行うことを特徴とする測距方法。
JP2012200414A 2012-09-12 2012-09-12 撮像素子及びそれを用いた測距装置 Active JP6082212B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012200414A JP6082212B2 (ja) 2012-09-12 2012-09-12 撮像素子及びそれを用いた測距装置
US14/016,905 US9300890B2 (en) 2012-09-12 2013-09-03 Imaging and ranging devices and apparatus having first and second imaging areas with discrete pixel arrangements
US15/048,053 US20160173761A1 (en) 2012-09-12 2016-02-19 Imaging device, ranging device and imaging apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012200414A JP6082212B2 (ja) 2012-09-12 2012-09-12 撮像素子及びそれを用いた測距装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2014056085A true JP2014056085A (ja) 2014-03-27
JP2014056085A5 JP2014056085A5 (ja) 2015-11-05
JP6082212B2 JP6082212B2 (ja) 2017-02-15

Family

ID=50232923

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012200414A Active JP6082212B2 (ja) 2012-09-12 2012-09-12 撮像素子及びそれを用いた測距装置

Country Status (2)

Country Link
US (2) US9300890B2 (ja)
JP (1) JP6082212B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6226606B2 (ja) 2013-07-23 2017-11-08 キヤノン株式会社 カラーフィルタアレイ、固体撮像素子、撮像装置
JP2015212772A (ja) * 2014-05-02 2015-11-26 キヤノン株式会社 測距装置、撮像装置、測距方法、および測距パラメータ算出方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007155929A (ja) * 2005-12-01 2007-06-21 Nikon Corp 固体撮像素子及びこれを用いた撮像装置
JP2009244854A (ja) * 2008-03-11 2009-10-22 Canon Inc 撮像装置
WO2012066846A1 (ja) * 2010-11-18 2012-05-24 富士フイルム株式会社 固体撮像素子及び撮像装置
JP2012141435A (ja) * 2010-12-28 2012-07-26 Canon Inc 焦点検出装置及び焦点検出方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5539014B2 (ja) 2009-05-21 2014-07-02 キヤノン株式会社 固体撮像素子
JP5538803B2 (ja) 2009-10-07 2014-07-02 キヤノン株式会社 固体撮像素子及びそれを備えたカメラ
JP5506517B2 (ja) 2010-04-12 2014-05-28 キヤノン株式会社 固体撮像素子
JP5812610B2 (ja) 2011-01-18 2015-11-17 キヤノン株式会社 固体撮像素子及び固体撮像素子を有する撮像システム
KR101777351B1 (ko) * 2011-05-16 2017-09-11 삼성전자주식회사 촬상 소자, 이를 이용한 디지털 촬영 장치, 오토 포커싱 방법, 및 상기 방법을 수행하기 위한 컴퓨터 판독가능 저장매체

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007155929A (ja) * 2005-12-01 2007-06-21 Nikon Corp 固体撮像素子及びこれを用いた撮像装置
JP2009244854A (ja) * 2008-03-11 2009-10-22 Canon Inc 撮像装置
WO2012066846A1 (ja) * 2010-11-18 2012-05-24 富士フイルム株式会社 固体撮像素子及び撮像装置
JP2012141435A (ja) * 2010-12-28 2012-07-26 Canon Inc 焦点検出装置及び焦点検出方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20160173761A1 (en) 2016-06-16
JP6082212B2 (ja) 2017-02-15
US9300890B2 (en) 2016-03-29
US20140071320A1 (en) 2014-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9307140B2 (en) Distance detection apparatus, image sensing apparatus, program, recording medium, and distance detection method
JP6053347B2 (ja) 撮像装置およびその制御方法ならびにプログラム
JP2009175680A (ja) 受光装置、焦点検出装置および撮像装置
JP6214271B2 (ja) 距離検出装置、撮像装置、距離検出方法、プログラム及び記録媒体
US11297271B2 (en) Image sensor and image capture apparatus
JP2023098917A (ja) 撮像素子
US9841580B2 (en) Distance measuring apparatus
US20170359500A1 (en) Control apparatus, image capturing apparatus, control method, and non-transitory computer-readable storage medium
JP6082212B2 (ja) 撮像素子及びそれを用いた測距装置
US20200092489A1 (en) Optical apparatus, control method, and non-transitory computer-readable storage medium
US9402069B2 (en) Depth measurement apparatus, imaging apparatus, and method of controlling depth measurement apparatus
US20220206368A1 (en) Lens apparatus, image pickup apparatus, control method of lens apparatus, and storage medium
US11889186B2 (en) Focus detection device, focus detection method, and image capture apparatus
US9854153B2 (en) Imaging apparatus, and a method of controlling imaging apparatus using an imaging surface correction map for performing corrections
JP2015203756A (ja) 視差量算出装置、距離算出装置、撮像装置および視差量算出方法
US11500266B2 (en) Lens apparatus and calculation method
US11070715B2 (en) Image shift amount calculation apparatus and method, image capturing apparatus, defocus amount calculation apparatus, and distance calculation apparatus
JP5621615B2 (ja) 撮像装置
JP2017005509A (ja) 固体撮像素子、撮像装置、および測距装置
JP2010217507A (ja) 焦点検出光学系及びそれを備えた撮像装置
US20220232166A1 (en) Range measurement apparatus, storage medium and range measurement method
JP6257201B2 (ja) 焦点検出装置、その制御方法、および制御プログラム、並びに撮像装置
JP2016206556A (ja) 測距像の取得方法、およびそれを用いる撮像装置
US9407841B2 (en) Depth measurement apparatus, imaging apparatus, and method of controlling depth measurement apparatus
JP2016090975A (ja) 距離検出装置、撮像装置、距離検出方法、およびプログラム

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150912

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150912

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160629

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160707

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160830

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160930

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20161125

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161222

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170120

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6082212

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03