JP2014055845A - Component inspection apparatus and component inspection method - Google Patents

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Tetsuhiro Miwa
哲広 三輪
Naoki Ito
直樹 伊藤
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Aisin Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that in a conventional technique, it is difficult to accurately detect the shape of a component arranged in a bottom surface in a cylindrical object, because light reflected by the inside of the cylindrical object and a both end-opened type conical mirror is irregularly reflected in the cylindrical object, to enter an imaging apparatus.SOLUTION: A component inspection apparatus (100) includes a cylindrical scope (105), a light-emitting component (103) fixed to the outer periphery of the scope, and an imaging apparatus (104) connected to the scope and photographing an inspection target formed in a cylindrical inspected body.

Description

本発明は、部品検査装置及び部品検査方法に関する。特に、本発明は、円筒状検査体内部の底面にある部品を撮影し、その画像から部品を検査する技術に関する。   The present invention relates to a component inspection apparatus and a component inspection method. In particular, the present invention relates to a technique for photographing a part on a bottom surface inside a cylindrical inspection body and inspecting the part from the image.

特許文献1は、円筒状物体に上端及び下端が開口している両端開口型円錐ミラーを挿入し、円筒状物体の内外側面と内底面とを同時に撮像する検査技術を開示する。特許文献1の技術では、照明装置からの照明光が、両端開口型円錐ミラーの内部を通じて円筒状物体の内底面に照射される。そして、円筒状物体の内底面で反射された光が、両端開口型円錐ミラーの内部を通じて、撮像装置へ入射することで、円筒状物体の内部の画像を取得する。   Patent Document 1 discloses an inspection technique in which a double-end-opening conical mirror having an upper end and a lower end is inserted into a cylindrical object, and images of the inner and outer surfaces and the inner bottom surface of the cylindrical object are simultaneously captured. In the technique of Patent Document 1, the illumination light from the illumination device is applied to the inner bottom surface of the cylindrical object through the inside of the double-end open conical mirror. Then, the light reflected from the inner bottom surface of the cylindrical object enters the imaging device through the inside of the double-end open conical mirror, thereby acquiring an image inside the cylindrical object.

特開2003−207458号公報JP 2003-207458 A

特許文献1の技術では、照明装置からの照明光が両端開口型円錐ミラーの内部を通じて円筒状物体の内底面に照射されるため、円筒状物体内部及び両端開口型円錐ミラーによる反射光が円筒状物体内で乱反射して撮像装置へ入る。このため、特許文献1の技術では、円筒状物体内部の底面に配置された部品形状を正確に検出することが難しい。   In the technique of Patent Document 1, since the illumination light from the illumination device is irradiated to the inner bottom surface of the cylindrical object through the inside of the double-end opening conical mirror, the reflected light from the inside of the cylindrical object and the double-end opening conical mirror is cylindrical. The light is diffusely reflected in the object and enters the imaging device. For this reason, with the technique of Patent Document 1, it is difficult to accurately detect the part shape arranged on the bottom surface inside the cylindrical object.

本発明の第1の態様は、円筒状のスコープと、スコープの外周に固定された発光部品と、スコープに接続され、円筒状の検査体の内部に形成された検査対象物を撮影する撮像装置とを備える、部品検査装置である。   According to a first aspect of the present invention, there is provided a cylindrical scope, a light-emitting component fixed to the outer periphery of the scope, an imaging apparatus that is connected to the scope and photographs an inspection object formed inside the cylindrical inspection body. And a parts inspection device.

本発明の第2の態様は、円筒状のスコープと、スコープの外周に固定された発光部品と、スコープに接続され、円筒状の検査体の内部に形成された検査対象物を撮影する撮像装置とを備える部品検査装置を準備するステップと、検査対象物を検査するステップとを備える部品検査方法である。   According to a second aspect of the present invention, there is provided an imaging apparatus for photographing a cylindrical scope, a light emitting component fixed to the outer periphery of the scope, and an inspection object connected to the scope and formed inside the cylindrical inspection body. A component inspection method comprising: preparing a component inspection apparatus including: and inspecting an inspection object.

本発明に係る部品検査装置及び部品検査方法では、検査体内部の検査対象物の上面の縁を確実に認識できる。そのため、組み付け部品の欠けや歪み等の欠陥の正確な検査が実現される。   In the component inspection apparatus and the component inspection method according to the present invention, the edge of the upper surface of the inspection object inside the inspection object can be reliably recognized. Therefore, accurate inspection of defects such as chipping and distortion of the assembled parts is realized.

本発明の第1実施形態に係る部品検査装置を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the component inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態に係る治具の一例を示す模式図である。It is a mimetic diagram showing an example of the jig concerning a 1st embodiment of the present invention. 検査体にスコープが挿入され、検査対象物を検査する状態にある部品検査装置を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the components inspection apparatus in the state which inserts a scope in a test body and inspects a test object. 図3における検査体等を一点鎖線A1−A2を含む鉛直平面で破断した断面図である。It is sectional drawing which fractured | ruptured the test body etc. in FIG. 3 in the perpendicular plane containing dashed-dotted line A1-A2. 図4の断面図において、スコープ及び光ファイバの検査体の内底面からの距離を変えた場合の、光ファイバから照射された光の反射の違いを示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a difference in reflection of light irradiated from the optical fiber when the distance from the inner bottom surface of the inspection object of the scope and the optical fiber is changed in the cross-sectional view of FIG. 4. 、図4の断面図において、スコープ及び光ファイバの検査体の内底面からの距離を変えた場合の、スコープの撮影範囲を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic view showing a photographing range of the scope when the distance from the inner bottom surface of the inspection object of the scope and the optical fiber is changed in the cross-sectional view of FIG. 4. 図3における検査対象物等を一点鎖線A3−A4を含む水平面で破断した断面図である。It is sectional drawing which fractured | ruptured the test target etc. in FIG. 3 in the horizontal surface containing dashed-dotted line A3-A4. 検査対象物の上面の縁の画像データを合成する概念図である。It is a conceptual diagram which synthesize | combines the image data of the edge of the upper surface of a test target object. 欠けや歪みを有する検査対象物の上面の縁に関する合成画像データと制御装置に予め記憶されている当該縁に関する基準データを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the synthetic | combination image data regarding the edge of the upper surface of the test target which has a chip | tip and distortion, and the reference data regarding the said edge currently stored beforehand by the control apparatus. 本発明の第1実施形態に係る部品検査装置による検査対象物の検査制御フローチャートである。It is a test | inspection control flowchart of the test target object by the components inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態に係る部品検査システムを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the components inspection system which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態に係る部品検査装置を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the component inspection apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 図4と同様に、スコープ、発光部品、検査体等を鉛直平面で破断した断面図である。It is sectional drawing which fractured | ruptured the scope, the light emitting component, the test body, etc. by the vertical plane similarly to FIG.

以下、本発明を実施するための例示的な実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。ただし、以下の実施形態で説明する寸法、材料、形状、構成要素の相対的な位置等は任意であり、本発明が適用される装置の構造又は様々な条件に応じて変更できる。また、特別な記載がない限り、本発明の範囲は、以下に説明される実施形態で具体的に記載された形態に限定されるものではない。なお、以下で説明する図面で、同機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略することもある。   Hereinafter, exemplary embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, dimensions, materials, shapes, relative positions of components, and the like described in the following embodiments are arbitrary, and can be changed according to the structure of the apparatus to which the present invention is applied or various conditions. Further, unless otherwise specified, the scope of the present invention is not limited to the form specifically described in the embodiments described below. In the drawings described below, components having the same function are denoted by the same reference numerals, and repeated description thereof may be omitted.

[第1実施形態]
図1は、本発明の第1実施形態に係る部品検査装置100を示す模式図である。部品検査装置100は、制御装置101、照明装置102、n本の光ファイバ103(nは1以上の整数)、撮像装置104、スコープ105、治具106、及び出力装置107を備える。
[First embodiment]
FIG. 1 is a schematic diagram showing a component inspection apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention. The component inspection apparatus 100 includes a control device 101, an illumination device 102, n optical fibers 103 (n is an integer of 1 or more), an imaging device 104, a scope 105, a jig 106, and an output device 107.

本実施形態に係る部品検査装置100は、検査体108の内部に形成された検査対象物109の上面の縁(輪郭)の欠けや歪み等の欠陥の存在を画像処理により検査することができる。   The component inspection apparatus 100 according to the present embodiment can inspect the presence of defects such as chipping and distortion of the edge (contour) of the upper surface of the inspection object 109 formed inside the inspection body 108 by image processing.

制御装置101は、CPUやメモリを含むコンピュータであり、照明装置102、撮像装置104、スコープ105及び出力装置107に接続される。制御装置101は、オペレータ又はプログラムの命令に応じて、照明装置102、撮像装置104及びスコープ105を制御することにより、検査体108の内部画像を撮影し、撮影された内部画像を処理して出力装置107へ提供する。   The control device 101 is a computer including a CPU and a memory, and is connected to the illumination device 102, the imaging device 104, the scope 105, and the output device 107. The control device 101 controls the illumination device 102, the imaging device 104, and the scope 105 in accordance with an operator or a program command to capture an internal image of the inspection object 108, process the captured internal image, and output the processed internal image. To the device 107.

照明装置102は、光ファイバ103に接続され、LED照明、蛍光灯又は電球等の発光源を含む。照明装置102は、制御装置101からの制御信号に応じて、光ファイバ103を介して所定の場所(検査するべき部位)に光を提供する。なお、本実施形態に係る光ファイバ103は、照明装置102からの光を所定の位置まで導光するラインであればよく、光ファイバに限定されるものではない。また、光ファイバ103は、その先端から照明装置102からの光を放出するため、発光部品であるともいえる。   The illumination device 102 is connected to the optical fiber 103 and includes a light emission source such as an LED illumination, a fluorescent lamp, or a light bulb. The illuminating device 102 provides light to a predetermined place (site to be inspected) via the optical fiber 103 in accordance with a control signal from the control device 101. The optical fiber 103 according to the present embodiment is not limited to an optical fiber as long as it is a line that guides light from the illumination device 102 to a predetermined position. Further, the optical fiber 103 emits light from the lighting device 102 from its tip, and thus can be said to be a light emitting component.

撮像装置104は、制御装置101からの制御信号に応じて、スコープ105を介して検査すべき対象物を撮影し、当該対象物の画像データを制御装置101へ提供するデジタルカメラである。   The imaging apparatus 104 is a digital camera that captures an image of an object to be inspected via the scope 105 in accordance with a control signal from the control apparatus 101 and provides image data of the object to the control apparatus 101.

スコープ105は、直線状に延在する円筒形状を有し、その内部にはレンズ等が設けられている。スコープ105の一方の先端105sに入射した光は、他方の先端に接続された撮像装置104へ導光される。また、スコープ105の外側面には、スコープ105の先端105sと光ファイバ103の先端103sが同一平面上に位置するように、治具106により光ファイバ103が固定される。   The scope 105 has a cylindrical shape extending in a straight line, and a lens or the like is provided therein. The light incident on one end 105s of the scope 105 is guided to the imaging device 104 connected to the other end. The optical fiber 103 is fixed to the outer surface of the scope 105 by the jig 106 so that the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 103s of the optical fiber 103 are located on the same plane.

出力装置107は、ディスプレイ、プリンタ等を備えたコンピュータシステムによって構成されている。この出力装置107は、制御装置101から提供されたデータを画面に表示し、印刷し、他のデバイスへの応用のためにそのデータを所定のデータに変更し、又はオペレータの必要に応じたその他の機能を有する。   The output device 107 is configured by a computer system including a display, a printer, and the like. The output device 107 displays the data provided from the control device 101 on the screen, prints it, changes the data to predetermined data for application to other devices, or others according to the needs of the operator It has the function of.

検査体108は、上面が開口した円筒形状を有し、所定の用途に使用される部品である。検査体108の内底面(即ち、内部の底面)には、検査されるべき部品である検査対象物109が形成されている。例えば、検査体108は車両用エンジンのシリンダ、油圧シリンダ等であり、検査対象物109はシリンダの内底面に設けられた突起部等である。   The inspection body 108 has a cylindrical shape with an upper surface opened, and is a component used for a predetermined application. An inspection object 109 that is a component to be inspected is formed on the inner bottom surface (that is, the inner bottom surface) of the inspection body 108. For example, the inspection body 108 is a cylinder of a vehicle engine, a hydraulic cylinder, or the like, and the inspection object 109 is a protrusion or the like provided on the inner bottom surface of the cylinder.

検査対象物109は、半径a、高さZを有する円柱又は円筒形状を有し、検査対象物109の中心軸は検査体108の中心軸と一致している。また、検査対象物109の底面は検査体108の内底面に固定され、検査対象物109の上面は検査体108の開口に向けられている。   The inspection object 109 has a cylindrical or cylindrical shape having a radius a and a height Z, and the central axis of the inspection object 109 coincides with the central axis of the inspection object 108. Further, the bottom surface of the inspection object 109 is fixed to the inner bottom surface of the inspection object 108, and the upper surface of the inspection object 109 is directed to the opening of the inspection object 108.

検査体108及び検査対象物109の形状、寸法、材質等は、オペレータによる設計事項であり、これらに関する情報は、予め制御装置101に記憶させておくことができる。本実施形態に係る部品検査装置100は、後述するように、検査体108及び検査対象物109の寸法等に応じて、検査体108及び検査対象物109に対する光ファイバ103及びスコープ105の位置を予め決定しておくことができる。   The shapes, dimensions, materials, and the like of the inspection object 108 and the inspection object 109 are design items by the operator, and information regarding these can be stored in the control device 101 in advance. As will be described later, the component inspection apparatus 100 according to the present embodiment determines the positions of the optical fiber 103 and the scope 105 with respect to the inspection body 108 and the inspection object 109 in advance according to the dimensions of the inspection body 108 and the inspection object 109. Can be determined.

図2は、本実施形態に係る治具106の一例を示す模式図である。治具106は、環状形状を有する。治具106の中心には、スコープ105を通過させ、スコープ105に固定するためのスコープ固定孔106aが形成されている。スコープ固定孔106aの外周には、n個の光ファイバ固定孔106aが設けられている。これらの光ファイバ固定孔106aは、光ファイバ103を通過させ、光ファイバ103を固定するために用いられる。スコープ固定孔106aの直径は、スコープ105の外径に概ね一致し、光ファイバ固定孔106bの直径は、光ファイバ103の外径に概ね一致する。   FIG. 2 is a schematic diagram illustrating an example of the jig 106 according to the present embodiment. The jig 106 has an annular shape. In the center of the jig 106, a scope fixing hole 106a for allowing the scope 105 to pass and fixing to the scope 105 is formed. On the outer periphery of the scope fixing hole 106a, n optical fiber fixing holes 106a are provided. These optical fiber fixing holes 106 a are used for passing the optical fiber 103 and fixing the optical fiber 103. The diameter of the scope fixing hole 106 a substantially matches the outer diameter of the scope 105, and the diameter of the optical fiber fixing hole 106 b substantially matches the outer diameter of the optical fiber 103.

本実施形態に係る部品検査装置100においては、検査対象物109の中心軸とスコープ105の中心軸とを一致させて検査体108の内部にスコープ105及び光ファイバ103が挿入される。また、図4等に示されるように、検査対象物109を検査するときに光ファイバ103の中心軸が検査対象物109の上面の縁の真上に位置するように(当該中心軸が当該縁に沿うように)、光ファイバ103は、治具106により固定されている。   In the component inspection apparatus 100 according to the present embodiment, the scope 105 and the optical fiber 103 are inserted into the inspection body 108 with the central axis of the inspection object 109 and the central axis of the scope 105 aligned. Also, as shown in FIG. 4 and the like, the center axis of the optical fiber 103 is positioned directly above the edge of the upper surface of the inspection object 109 when the inspection object 109 is inspected (the center axis is the edge The optical fiber 103 is fixed by a jig 106.

図3は、検査体108にスコープ105が挿入され、検査対象物109を検査する状態にある場合の部品検査装置100を示す模式図である。図3に示されるように、スコープ105及び光ファイバ103は、検査時において、検査体108及び検査対象物109に対して所定の位置に配置されるように、検査体108に挿入される。   FIG. 3 is a schematic diagram showing the component inspection apparatus 100 when the scope 105 is inserted into the inspection body 108 and the inspection object 109 is in an inspection state. As shown in FIG. 3, the scope 105 and the optical fiber 103 are inserted into the inspection body 108 so as to be disposed at predetermined positions with respect to the inspection body 108 and the inspection object 109 at the time of inspection.

図4は、図3におけるスコープ105、光ファイバ103、検査体108等を、一点鎖線A1−A2を含む鉛直平面で破断した断面図である。なお、以後の図において、説明を簡単にするために、治具106を省略する。   FIG. 4 is a cross-sectional view of the scope 105, the optical fiber 103, the inspection body 108, and the like in FIG. 3 cut along a vertical plane including the alternate long and short dash line A1-A2. In the following drawings, the jig 106 is omitted for simplicity of explanation.

スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sが検査体108の内底面から距離Xだけ離隔するように、スコープ105及び光ファイバ103は、検査体108の内部に挿入され、配置される。   The scope 105 and the optical fiber 103 are inserted and disposed inside the inspection body 108 so that the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 103s of the optical fiber 103 are separated from the inner bottom surface of the inspection body 108 by a distance X.

スコープ105の中心軸105cと検査対象物109の中心軸109cは一致し、光ファイバ103の中心軸103cは、検査対象物109の上面の縁の真上に位置する。後述するように、スコープ105の中心軸105cは検査対象物109の中心軸109cに概ね一致することが望ましいが、光ファイバ103の中心軸103cは検査対象物109の上面の縁の真上に必ずしも位置する必要はない。本発明の目的を逸脱しない範囲において、位置の誤差は許容され得る。   The central axis 105 c of the scope 105 and the central axis 109 c of the inspection object 109 coincide with each other, and the central axis 103 c of the optical fiber 103 is located immediately above the edge of the upper surface of the inspection object 109. As will be described later, it is desirable that the center axis 105c of the scope 105 substantially coincides with the center axis 109c of the inspection object 109, but the center axis 103c of the optical fiber 103 is not necessarily directly above the edge of the upper surface of the inspection object 109. There is no need to be located. Positional errors can be tolerated without departing from the purpose of the present invention.

ここで、スコープ105の半径及び画角をそれぞれd及び2θ、光ファイバ103の半径及び照射角をそれぞれc及び2α、並びに検査対象物109の半径及び高さをそれぞれa及びZで表す。また、検査対象物109の側面からスコープ105の撮影範囲外周までの距離をb、及び検査対象物109の側面から検査体108の内側面までの距離をYで表す。図4から理解されるように、d≦a−cであり、Xtanθ=a+bの関係がある。これらの値は、オペレータにより予め決定しておくことができ、かつ、制御装置101等に予め記憶させておくことができる既知のパラメータである。   Here, the radius and angle of view of the scope 105 are represented by d and 2θ, the radius and irradiation angle of the optical fiber 103 are represented by c and 2α, respectively, and the radius and height of the inspection object 109 are represented by a and Z, respectively. Further, the distance from the side surface of the inspection object 109 to the outer periphery of the imaging range of the scope 105 is represented by b, and the distance from the side surface of the inspection object 109 to the inner surface of the inspection object 108 is represented by Y. As can be understood from FIG. 4, d ≦ a−c, and there is a relationship of Xtan θ = a + b. These values are known parameters that can be determined in advance by the operator and can be stored in advance in the control device 101 or the like.

光ファイバ103から検査対象物109の上面に向けて光が照射されると、検査対象物109の上面の縁部分へ照射される光は乱反射する。そのため、当該縁部分で乱反射した光DRは、スコープ105へほとんど入射しない。一方、光ファイバ103から検査対象物109の上面の他の部分へ照射された光は正反射し、その正反射した光MR1はスコープ105へ入射する。そのため、撮像装置104は、コントラストの高い画像を撮影でき、検査対象物109の上面の形状を正確に認識することが可能となる。   When light is irradiated from the optical fiber 103 toward the upper surface of the inspection object 109, the light irradiated to the edge portion of the upper surface of the inspection object 109 is irregularly reflected. For this reason, the light DR irregularly reflected at the edge portion hardly enters the scope 105. On the other hand, the light irradiated from the optical fiber 103 to the other part of the upper surface of the inspection object 109 is specularly reflected, and the specularly reflected light MR1 enters the scope 105. Therefore, the imaging device 104 can capture an image with high contrast, and can accurately recognize the shape of the upper surface of the inspection object 109.

画像のコントラストを高くし、検査対象物109の上面の形状を正確に認識するためには、光ファイバ103から照射された光が検査対象物109以外の部分から正反射され、その正反射された光MR2がスコープ105に入射するのを回避する必要がある。なぜなら、検査対象物109以外の反射光は、検査対象物109の画像のコントラストを低下させ、検査対象物109の上面の画像にノイズとして混入する可能性があるからである。   In order to increase the contrast of the image and accurately recognize the shape of the upper surface of the inspection object 109, the light irradiated from the optical fiber 103 is regularly reflected from a part other than the inspection object 109, and the regular reflection is performed. It is necessary to avoid that the light MR2 enters the scope 105. This is because reflected light other than the inspection object 109 may reduce the contrast of the image of the inspection object 109 and may be mixed as noise in the image on the upper surface of the inspection object 109.

図4に示されるように、光ファイバ103から照射された光が検査体108の内底面で一次反射すると、この反射光MR2はスコープ105の外側面へ向かい、スコープ105に入射しない。すなわち、検査体108の内底面での一次反射光が撮影画像に与える影響は少ない。   As shown in FIG. 4, when the light irradiated from the optical fiber 103 is primarily reflected on the inner bottom surface of the inspection object 108, the reflected light MR <b> 2 goes to the outer surface of the scope 105 and does not enter the scope 105. That is, the influence of the primary reflected light on the inner bottom surface of the inspection object 108 on the captured image is small.

しかしながら、光ファイバ103から照射された光が検査体108の内側面で一次反射すると、その反射光が、さらに検査体108の内底面で二次反射し、この二次反射光がスコープ105へ入射する可能性がある。画像のコントラストを高くし、検査対象物109の上面の形状を正確に認識するためには、光ファイバ103から検査体108の内側面へ直接に照射される光を減らすことが望ましい。   However, when the light irradiated from the optical fiber 103 is primarily reflected on the inner side surface of the inspection object 108, the reflected light is secondarily reflected on the inner bottom surface of the inspection object 108, and this secondary reflected light is incident on the scope 105. there's a possibility that. In order to increase the contrast of the image and accurately recognize the shape of the upper surface of the inspection object 109, it is desirable to reduce the light directly irradiated from the optical fiber 103 to the inner surface of the inspection object 108.

本実施形態においては、以下に示すように、スコープ105の高さ、すなわち、スコープ105から検査体108の内底面までの距離Xを最適に設定することにより、2次反射光がスコープ105に入射することを回避している。   In the present embodiment, the secondary reflected light is incident on the scope 105 by optimally setting the height of the scope 105, that is, the distance X from the scope 105 to the inner bottom surface of the inspection object 108, as shown below. To avoid that.

図5は、図4の断面図において、スコープ105及び光ファイバ103の検査体108の内底面からの距離Xを変えた場合における反射光の光路変化を示す模式図である。光ファイバ103の照射角(2α)が一定の場合、光ファイバ103から照射された光が検査体108の内側面に直接あたるか否かは、光ファイバ103の先端103sの検査体108の内底面からの距離Xに依存する。   FIG. 5 is a schematic diagram showing a change in the optical path of the reflected light when the distance X from the inner bottom surface of the inspection body 108 of the scope 105 and the optical fiber 103 is changed in the cross-sectional view of FIG. When the irradiation angle (2α) of the optical fiber 103 is constant, whether or not the light irradiated from the optical fiber 103 directly hits the inner surface of the inspection body 108 depends on the inner bottom surface of the inspection body 108 at the tip 103s of the optical fiber 103. Depending on the distance X from

スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sが検査体108の内底面から距離X1だけ離隔して配置されたと仮定する。この場合、光ファイバ103の先端103sの端(検査体108の内側面に最も近い部分)から照射された光(点線L1)は、検査体108の内底面で一次反射し、検査体108の内側面で二次反射した後、スコープ105の外側面に向かう。よって、この場合、検査体108の内底面及び内側面から、スコープ105に入射する二次反射光は比較的少ない。   Assume that the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 103s of the optical fiber 103 are spaced apart from the inner bottom surface of the inspection body 108 by a distance X1. In this case, the light (dotted line L1) emitted from the end of the tip 103s of the optical fiber 103 (portion closest to the inner side surface of the inspection body 108) is primarily reflected on the inner bottom surface of the inspection body 108, After secondary reflection on the side surface, it goes to the outer surface of the scope 105. Therefore, in this case, the secondary reflected light that enters the scope 105 from the inner bottom surface and the inner side surface of the inspection object 108 is relatively small.

次に、スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sが検査体108の内底面から距離X2(X2>X1)だけ離隔して配置されたと仮定する。この場合、光ファイバ103の先端103sの端(その最も検査体108の内側面に近い部分)から照射された光(一点鎖線L2)は、検査体108の内底面の角で乱反射する。よって、この場合も、検査体108の内側面及び内底面から一次反射し、スコープ105に入射する二次反射光は比較的少ない。   Next, it is assumed that the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 103s of the optical fiber 103 are spaced apart from the inner bottom surface of the inspection body 108 by a distance X2 (X2> X1). In this case, light (one-dot chain line L2) irradiated from the end of the tip 103s of the optical fiber 103 (the portion closest to the inner surface of the inspection body 108) is irregularly reflected at the corner of the inner bottom surface of the inspection body 108. Therefore, also in this case, the secondary reflected light that is primarily reflected from the inner side surface and the inner bottom surface of the inspection object 108 and enters the scope 105 is relatively small.

一方、スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sが検査体108の内底面から距離X3(X3>X2)だけ離隔して配置されたと仮定する。この場合、光ファイバ103の先端103sの端(その最も検査体108の内側面に近い部分)から照射された光(直線L3)は、検査体108の内側面で一次反射し、検査体108の内底面でさらに二次反射した後、スコープ105に入射する。このように、光ファイバ103から照射された光が検査体108の内側面で一次反射する場合には、検査体108の内側面及び内底面から、スコープ105に入射する二次反射光が多くなってしまう。   On the other hand, it is assumed that the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 103s of the optical fiber 103 are spaced apart from the inner bottom surface of the inspection body 108 by a distance X3 (X3> X2). In this case, the light (straight line L3) irradiated from the end of the tip 103s of the optical fiber 103 (the portion closest to the inner surface of the inspection body 108) is primarily reflected on the inner surface of the inspection body 108, and After further secondary reflection at the inner bottom surface, the light enters the scope 105. As described above, when the light irradiated from the optical fiber 103 is primarily reflected on the inner side surface of the inspection body 108, the secondary reflected light incident on the scope 105 increases from the inner side surface and the inner bottom surface of the inspection body 108. End up.

従って、検査体108の内底面及び内側面で正反射してスコープ105に入射する光量を低減するために、スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sを、検査体108の内底面から距離X2以下に離隔して配置するのが望ましい。   Therefore, in order to reduce the amount of light that is regularly reflected from the inner bottom surface and the inner side surface of the inspection body 108 and enters the scope 105, the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 103s of the optical fiber 103 are separated from the inner bottom surface of the inspection body 108. It is desirable to arrange them apart from X2.

なお、光ファイバ103が複数本ある場合においても、同様に上述の構成を採用することができる。   Even when there are a plurality of optical fibers 103, the above-described configuration can be similarly adopted.

図6は、図4の断面図において、スコープ105及び光ファイバ103の検査体108の内底面からの距離Xを変えた場合の、スコープ105の撮影範囲を示す模式図である。スコープ105の画角(2θ)が一定の場合、スコープ105の撮影範囲(スコープ105が光を取得できる範囲)は、スコープ105の先端105sの検査体108の内底面からの距離Xに依存する。   FIG. 6 is a schematic diagram showing an imaging range of the scope 105 when the distance X from the inner bottom surface of the inspection body 108 of the scope 105 and the optical fiber 103 is changed in the cross-sectional view of FIG. When the angle of view (2θ) of the scope 105 is constant, the imaging range of the scope 105 (the range in which the scope 105 can acquire light) depends on the distance X from the inner bottom surface of the inspection object 108 of the distal end 105s of the scope 105.

スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sが検査体108の内底面から距離X4だけ離隔して配置される場合、スコープ105の中心軸105cにおける撮影範囲(撮影範囲の外周である点線IA4で囲まれる範囲)は、検査対象物109の上面の一部のみである。この場合、スコープ105(及び撮像装置104)は、検査すべき当該上面の縁を撮影することができない。   When the distal end 105 s of the scope 105 and the distal end 103 s of the optical fiber 103 are spaced apart from the inner bottom surface of the inspection body 108 by a distance X4, the imaging range (the dotted line IA4 that is the outer periphery of the imaging range) on the central axis 105 c of the scope 105. The enclosed range) is only a part of the upper surface of the inspection object 109. In this case, the scope 105 (and the imaging device 104) cannot capture the edge of the upper surface to be inspected.

スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sが検査体108の内底面から距離X5だけ離隔して配置される場合、スコープ105の中心軸105cにおける撮影範囲(撮影範囲の外周である一点鎖線IA5で囲まれる範囲)は、検査対象物109の上面の縁を含む。また、当該撮影範囲の外周(一点鎖線IA5)は、検査体108の内底面において検査対象物109の側面から距離b2だけ離隔している。この場合、スコープ105は、検査すべき当該上面の縁を撮影することができる。   When the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 103s of the optical fiber 103 are spaced apart from the inner bottom surface of the inspection body 108 by a distance X5, an imaging range (a chain line IA5 that is an outer periphery of the imaging range) on the central axis 105c of the scope 105 is disposed. ) Includes the edge of the upper surface of the inspection object 109. Further, the outer periphery of the imaging range (dashed line IA5) is separated from the side surface of the inspection object 109 by a distance b2 on the inner bottom surface of the inspection object 108. In this case, the scope 105 can photograph the edge of the upper surface to be inspected.

スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sが検査体108の内底面から距離X6だけ離隔して配置される場合、スコープ105の中心軸105cにおける撮影範囲(撮影範囲の外周である直線IA6で囲まれる範囲)は、十分に、検査対象物109の上面の縁を含む。また、当該撮影範囲の外周(直線IA6)は、スコープ105の中心軸105cに平行な方向において検査対象物109の上面の縁から距離h(h≧0、好ましくはh≧Z)だけ離隔し、そして検査体108の内底面において検査対象物109の側面から距離b3だけ離隔している。この場合、スコープ105は、検査すべき当該上面の縁を十分に撮影することができる。   When the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 103s of the optical fiber 103 are spaced apart from the inner bottom surface of the inspection body 108 by a distance X6, the imaging range (the straight line IA6 that is the outer periphery of the imaging range) on the central axis 105c of the scope 105 is arranged. The enclosed area) sufficiently includes the edge of the upper surface of the inspection object 109. The outer periphery (straight line IA6) of the imaging range is separated from the edge of the upper surface of the inspection object 109 by a distance h (h ≧ 0, preferably h ≧ Z) in a direction parallel to the central axis 105c of the scope 105, The inner bottom surface of the inspection body 108 is separated from the side surface of the inspection object 109 by a distance b3. In this case, the scope 105 can sufficiently capture the edge of the upper surface to be inspected.

従って、スコープ105が検査すべき検査体108の上面の縁を撮影するために、スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sを、検査体108の内底面から距離X5以上に離隔して配置する必要がある。   Therefore, in order to photograph the upper edge of the inspection object 108 to be inspected by the scope 105, the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 103s of the optical fiber 103 are arranged apart from the inner bottom surface of the inspection object 108 by a distance X5 or more. There is a need to.

以上より、検査対象物109の上面の縁を正確に検査するためには、スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sを、検査体108の内底面から距離X5以上に離隔して配置する必要がある。さらに、コントラストを明確にし検査対象物109の上面の形状の認識を正確にするために、検査体108の内底面から距離X2以下に離隔して配置することが望ましい。以下、この事を数式で表現する。   As described above, in order to accurately inspect the edge of the upper surface of the inspection object 109, the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 103s of the optical fiber 103 are spaced apart from the inner bottom surface of the inspection body 108 by a distance X5 or more. There is a need. Further, in order to clarify the contrast and to accurately recognize the shape of the upper surface of the inspection object 109, it is desirable to dispose it at a distance X2 or less from the inner bottom surface of the inspection object 108. Hereafter, this is expressed by a mathematical formula.

スコープ105の撮影範囲に関して、図4〜図6から、Xtanθ=a+b、及び、b=(h+Z)tanθであるため、h=X−Z−(a/tanθ)であることが確認できる。検査対象物109の上面の縁がスコープ105の撮影範囲に含まれるためにはh≧0でなければならないので、X−Z−(a/tanθ)≧0、即ち、X≧Z+(a/tanθ)を満たすように、スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sが検査体108の内底面から距離Xだけ離隔して配置される必要がある。   With respect to the imaging range of the scope 105, it can be confirmed from FIGS. 4 to 6 that since Xtanθ = a + b and b = (h + Z) tanθ, h = XZ− (a / tanθ). In order for the edge of the upper surface of the inspection object 109 to be included in the imaging range of the scope 105, h ≧ 0 must be satisfied, so X−Z− (a / tan θ) ≧ 0, that is, X ≧ Z + (a / tan θ ) So that the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 103s of the optical fiber 103 are separated from the inner bottom surface of the inspection body 108 by a distance X.

光ファイバ103の照射範囲に関して、光ファイバ103の先端103sの端(検査体108の内側面に最も近い部分)から照射される光が検査体108の内側面で一次反射するのを避けるために、図5において、Xtanα≦(Y−c)、つまり、X≦(Y−c)/tanαとするのが望ましい。ここで、Yは、検査体108の内底面における、検査対象物109の側面から検査体108の内側面までの距離である。   Regarding the irradiation range of the optical fiber 103, in order to avoid the light irradiated from the end of the tip 103s of the optical fiber 103 (the portion closest to the inner surface of the inspection body 108) being primarily reflected on the inner surface of the inspection body 108, In FIG. 5, it is desirable that Xtanα ≦ (Yc), that is, X ≦ (Yc) / tanα. Here, Y is the distance from the side surface of the inspection object 109 to the inner side surface of the inspection object 108 on the inner bottom surface of the inspection object 108.

以上より、スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sは、数式1:
を満たすように、検査体108の内底面から距離Xだけ離隔して配置されることが望ましい。
From the above, the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 103s of the optical fiber 103 are expressed by Equation 1:
It is desirable that the distance from the inner bottom surface of the inspection body 108 is a distance X so as to satisfy the above condition.

次に、検査対象物109の上面の縁を正確に検査するために、光ファイバ103が照射する光が、検査対象物109の上面の縁全てを照らすことが必要である。なお、本実施形態では、検査対象物109の上面の縁の全てを検査する対象としているため、当該縁の全てを光ファイバ103で照らす必要があるが、当該縁の一部のみを検査する場合には当該縁の全てを照らす必要は無く、当該一部のみを照らすことができればよい。   Next, in order to accurately inspect the edge of the upper surface of the inspection object 109, it is necessary that the light irradiated by the optical fiber 103 illuminates all the edges of the upper surface of the inspection object 109. In this embodiment, since all the edges on the upper surface of the inspection object 109 are to be inspected, it is necessary to illuminate all of the edges with the optical fiber 103. However, when only a part of the edges is inspected. It is not necessary to illuminate all of the edges, as long as it is possible to illuminate only that part.

図7は、図3に示された検査対象物109を、一点鎖線A3−A4を含む水平面で破断した断面図である。本実施形態では、n本の光ファイバ103の各々は、その中心軸103cが検査対象物109の上面の縁に沿って等間隔に位置するよう、配置されている。また、この図において、それぞれの光ファイバ103の照射範囲LRを鎖線で示す。   FIG. 7 is a cross-sectional view in which the inspection object 109 shown in FIG. 3 is broken along a horizontal plane including the alternate long and short dash line A3-A4. In the present embodiment, each of the n optical fibers 103 is arranged such that the central axis 103 c is positioned at equal intervals along the edge of the upper surface of the inspection object 109. Moreover, in this figure, the irradiation range LR of each optical fiber 103 is shown with a chain line.

図7において、それぞれの光ファイバ103による検査対象物109の上面における照射範囲103LRの半径は、概ねasinφである。ここで、φは、1つの照射範囲103LR内に含まれる、検査対象物109の上面の縁の円周角の1/2に相当する。また、図5に示されるように、照射範囲103LRの半径は{c+(X−Z)tanα}で表される。よって、asinφ={c+(X−Z)tanα}であり、φ=sin-1{[c+(X−Z)tanα]/a}である。 In FIG. 7, the radius of the irradiation range 103LR on the upper surface of the inspection object 109 by each optical fiber 103 is approximately asinφ. Here, φ corresponds to ½ of the circumferential angle of the edge of the upper surface of the inspection object 109 included in one irradiation range 103LR. Further, as shown in FIG. 5, the radius of the irradiation range 103LR is represented by {c + (X−Z) tan α}. Therefore, asin φ = {c + (X−Z) tan α} and φ = sin −1 {[c + (X−Z) tan α] / a}.

そして、正確に検査対象物109の上面の縁全てを検査するためには、それぞれの照射範囲が少なくとも互いに接している必要がある。すなわち、少なくともφ=2π/2nである必要がある。よって、検査対象物109の上面の縁全てを照らすためには、φが2π/2n以上であればよい。   And in order to inspect | inspect all the edges of the upper surface of the test object 109 correctly, each irradiation range needs to contact | connect at least mutually. That is, it is necessary that at least φ = 2π / 2n. Therefore, in order to illuminate all the edges of the upper surface of the inspection object 109, φ may be 2π / 2n or more.

従って、n本の光ファイバ103で検査対象物109の上面の縁全てを照らすための条件は、φ=sin-1{[c+(X−Z)tanα]/a}≧2π/2nであり、これをXについて表すと、式2:
となる。
Therefore, the condition for illuminating all the edges of the upper surface of the inspection object 109 with the n optical fibers 103 is φ = sin −1 {[c + (X−Z) tan α] / a} ≧ 2π / 2n. Expressing this for X, Equation 2:
It becomes.

以上より、本実施形態において、検査対象物109の上面の縁を正確に検査するためには、式1及び式2を満たすように、スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sが検査体108の内底面から距離Xだけ離隔して配置されることが望ましい。   As described above, in this embodiment, in order to accurately inspect the edge of the upper surface of the inspection object 109, the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 103s of the optical fiber 103 are inspected so as to satisfy Expressions 1 and 2. It is desirable that the distance 108 be spaced from the inner bottom surface 108 by a distance X.

次に、検査対象物109の上面の縁の画像を取得するときに、照明装置102から複数の光ファイバ103全てに光を導光すると、隣接する光ファイバ103間で光の干渉が生じ、当該縁の一部でハレーションが起こる蓋然性が高まり、検査対象物109の上面の縁を検出するのが困難になることがある。   Next, when acquiring an image of the edge of the upper surface of the inspection object 109, if light is guided from the illumination device 102 to all the plurality of optical fibers 103, light interference occurs between the adjacent optical fibers 103, and The probability that halation occurs at a part of the edge increases, and it may be difficult to detect the edge of the upper surface of the inspection object 109.

そのようなハレーションを生じさせないために、本実施形態に係る部品検査装置100は、照明装置102によってn本の光ファイバ103の各々に光を順次導光し、撮像装置104によって検査対象物109の上面の縁の画像データを順次取得することが望ましい。そして、取得された当該縁のn個の画像データを制御装置101において合成することで、当該縁の1つの画像データを取得することができる。   In order to prevent such halation from occurring, the component inspection apparatus 100 according to the present embodiment sequentially guides light to each of the n optical fibers 103 by the illumination apparatus 102, and the imaging apparatus 104 detects the inspection object 109. It is desirable to sequentially acquire image data of the upper edge. Then, by synthesizing the acquired n pieces of image data of the edge in the control device 101, one piece of image data of the edge can be acquired.

図8は、検査対象物109の上面の縁の画像データを合成する概念図である。本実施形態においては、n本の光ファイバ103の各々に順次光を導光させ、検査対象物109の上面の縁の部分画像を取得し、これらの部分画像を合成することができる。   FIG. 8 is a conceptual diagram for synthesizing image data of the edge of the upper surface of the inspection object 109. In the present embodiment, light can be sequentially guided to each of the n optical fibers 103 to obtain partial images of the edge of the upper surface of the inspection object 109 and synthesize these partial images.

すなわち、図8の符号801で示されるように、照明装置102が第1番目の光ファイバ103へ光を導光すると、第1番目の光ファイバ103による照射範囲103LR−1にある画像データ109D−1が撮像装置104により取得される。   That is, as indicated by reference numeral 801 in FIG. 8, when the lighting device 102 guides light to the first optical fiber 103, the image data 109 </ b> D− in the irradiation range 103 </ b> LR- 1 by the first optical fiber 103 is used. 1 is acquired by the imaging device 104.

なお、上述したように、光ファイバ103から照射され検査対象物109の上面の縁にあたる光は乱反射するため、この二次反射光はスコープ105に殆ど入射しない。一方、検査対象物109上面における一次反射光はスコープ105に入射する。このため、取得した画像データのコントラストは高く、この画像データを二値化することにより検査対象物109の縁を正確に認識することができる。   As described above, the light that is irradiated from the optical fiber 103 and hits the edge of the upper surface of the inspection object 109 is irregularly reflected, so that the secondary reflected light hardly enters the scope 105. On the other hand, the primary reflected light on the upper surface of the inspection object 109 enters the scope 105. For this reason, the contrast of the acquired image data is high, and the edge of the inspection object 109 can be accurately recognized by binarizing the image data.

画像データ109D−1が取得された後、照明装置102は、第1番目の光ファイバ103への光の導光を止め、第2番目の光ファイバ103へ光を導光する。図8の符号802で示されるように、第2番目の光ファイバ103による照射範囲103LR−2にある画像データ109D−2が撮像装置104により取得される。   After the image data 109 </ b> D- 1 is acquired, the lighting device 102 stops guiding light to the first optical fiber 103 and guides light to the second optical fiber 103. As indicated by reference numeral 802 in FIG. 8, image data 109 </ b> D- 2 in the irradiation range 103 </ b> LR- 2 by the second optical fiber 103 is acquired by the imaging device 104.

そして、同様の処理が、第3〜第n番目の光ファイバ103に関しても行われ、検査対象物109の上面の縁の画像データ109D−3〜109D−nが取得される。   The same processing is performed for the third to nth optical fibers 103, and image data 109D-3 to 109D-n of the upper edge of the inspection object 109 are acquired.

取得されたn個の画像データ109D−1〜109D−nは、制御装置101により合成され、合成画像データ109Dが生成される(符号805)。この合成画像データ109Dを基に、検査対象物109の上面の縁に欠けや歪み等の欠陥が無いかどうかを検査することができる。   The acquired n pieces of image data 109D-1 to 109D-n are combined by the control device 101 to generate combined image data 109D (reference numeral 805). Based on the composite image data 109D, it is possible to inspect whether or not there is a defect such as a chip or distortion on the edge of the upper surface of the inspection object 109.

図9は、欠けや歪みを有する検査対象物109の上面の縁に関する合成画像データ109Dと制御装置101に予め記憶されている当該縁に関する基準データ900を示す模式図である。   FIG. 9 is a schematic diagram showing composite image data 109D relating to the upper edge of the inspection object 109 having chipping or distortion and reference data 900 relating to the edge stored in advance in the control device 101.

制御装置101において、合成画像データ109Dは、仮想座標上に配置され、検査対象物109の上面の縁に関する既知の基準データ900と比較される。検査対象物109の上面の縁に欠けや歪み等の欠陥がある場合には、合成画像データ109D上に、基準データ900と異なるデータを有する座標901(欠けに対応)及び座標902(歪みに対応)が存在する。そのため、制御装置101は、当該上面の縁の欠陥の存在を認識することができる。   In the control device 101, the composite image data 109 </ b> D is arranged on virtual coordinates and compared with known reference data 900 regarding the upper edge of the inspection target 109. If there is a defect such as a chip or distortion on the upper edge of the inspection object 109, coordinates 901 (corresponding to the chip) and coordinates 902 (corresponding to the distortion) having data different from the reference data 900 on the composite image data 109D. ) Exists. Therefore, the control device 101 can recognize the presence of a defect at the edge of the upper surface.

従って、本実施形態に係る部品検査装置100は、検査対象物109の上面の縁の画像データを取得することで、当該上面の欠けや歪み等の欠陥の存在を検査することができる。   Therefore, the component inspection apparatus 100 according to the present embodiment can inspect the presence of defects such as chipping and distortion of the upper surface by acquiring image data of the edge of the upper surface of the inspection object 109.

なお、上述の説明において、スコープ105の中心軸105cと検査対象物109の中心軸109cが一致し、光ファイバ103の中心軸103cが検査対象物109の上面の縁の真上に位置する構成を説明した。しかしながら、光ファイバ103により導光された光が検査対象物109の上面の縁に照射されれば、それぞれの中心軸103、105c、109cの位置のずれが存在しても良い。例えば、スコープ105の中心軸105cと検査対象物109の中心軸109cが互いに距離Δだけずれていたとしても、上記式1及び式2において、ずれ量を考慮してa=a+Δ、Y=Y+Δと表現することができる。   In the above description, the configuration is such that the central axis 105 c of the scope 105 and the central axis 109 c of the inspection object 109 coincide with each other, and the central axis 103 c of the optical fiber 103 is positioned directly above the edge of the upper surface of the inspection object 109. explained. However, if the light guided by the optical fiber 103 is irradiated on the edge of the upper surface of the inspection object 109, there may be a shift in the positions of the central axes 103, 105c, and 109c. For example, even if the center axis 105c of the scope 105 and the center axis 109c of the inspection object 109 are shifted from each other by the distance Δ, in the above formulas 1 and 2, a = a + Δ, Y = Y + Δ Can be expressed.

図10は、本実施形態に係る部品検査装置100による検査対象物109の検査制御フローチャートである。   FIG. 10 is an inspection control flowchart of the inspection object 109 by the component inspection apparatus 100 according to the present embodiment.

検査プロセスを開始すると、オペレータ(又は不図示の自動搬送機械)は、部品検査装置100を準備する。(S1001)   When the inspection process is started, an operator (or an automatic conveyance machine (not shown)) prepares the component inspection apparatus 100. (S1001)

オペレータ(又は不図示の自動搬送機械)は、検査体108を準備する。(S1002)   An operator (or an automatic conveyance machine (not shown)) prepares the inspection object 108. (S1002)

検査体108は、円筒形状を有し、その内底面に円柱又は円筒状の検査対象物109が形成されている。部品検査装置100の制御部101は、スコープ105を動かし、検査対象物109の中心軸と部品検査装置100のスコープ105の中心軸とを概ね一致させる。(S1003)   The inspection body 108 has a cylindrical shape, and a cylindrical or cylindrical inspection object 109 is formed on the inner bottom surface thereof. The control unit 101 of the component inspection apparatus 100 moves the scope 105 so that the central axis of the inspection object 109 substantially coincides with the central axis of the scope 105 of the component inspection apparatus 100. (S1003)

制御部101は、スコープ105等を動かし、検査体108の開口部から検査体108内部に、スコープ105及びその外周に固定されたn本の光ファイバ103を挿入する。(S1004)   The control unit 101 moves the scope 105 and the like, and inserts the scope 105 and n optical fibers 103 fixed to the outer periphery thereof into the inspection body 108 from the opening of the inspection body 108. (S1004)

制御部101は、検査体108の内底面から所定の位置Xに、スコープ105の先端105s及び光ファイバ103の先端103sを配置する。所定の位置Xは、前述のように、スコープ105、光ファイバ103、検査体108、及び検査対象物109の形状、寸法等に基づき好ましい範囲に適宜決定される。(S1005)   The control unit 101 arranges the distal end 105 s of the scope 105 and the distal end 103 s of the optical fiber 103 at a predetermined position X from the inner bottom surface of the inspection body 108. As described above, the predetermined position X is appropriately determined within a preferable range based on the shapes, dimensions, and the like of the scope 105, the optical fiber 103, the inspection object 108, and the inspection object 109. (S1005)

制御部101は、部品検査装置100の照明装置102を制御し、照明装置102は、n本の光ファイバ103の各々に対して光を順次導光する。光ファイバ103の各々は、光を検査対象物109の上面の縁を照らすように順次照射し、それとともに、部品検査装置100の撮像装置104は、当該上面の縁の(n個の)画像データ109D−k(k=1〜n)を順次取得する。(S1006)   The control unit 101 controls the illumination device 102 of the component inspection apparatus 100, and the illumination device 102 sequentially guides light to each of the n optical fibers 103. Each of the optical fibers 103 sequentially emits light so as to illuminate the edge of the upper surface of the inspection object 109, and at the same time, the imaging device 104 of the component inspection apparatus 100 performs (n) image data of the edge of the upper surface. 109D-k (k = 1 to n) are sequentially acquired. (S1006)

撮像装置104は、取得した画像データ109D−kを制御装置101へ提供する。制御装置101は、画像データ109D−kを合成し、合成画像データ109Dを生成する。(S1007)   The imaging device 104 provides the acquired image data 109D-k to the control device 101. The control device 101 synthesizes the image data 109D-k to generate composite image data 109D. (S1007)

制御装置101は、合成画像データ109Dと基準データ900を比較することで、当該上面の縁の欠けや歪み等の欠陥の存在を検査する(S1008)。   The control device 101 compares the composite image data 109D with the reference data 900 to inspect for the presence of defects such as chipping and distortion of the upper surface (S1008).

他に検査すべき検査体108がある場合、検査プロセスはS1002へ戻り(S1009のYes)、他に検査すべき検査体108が無い場合、検査プロセスは終了する(S1009のNo)。   If there is another inspection body 108 to be inspected, the inspection process returns to S1002 (Yes in S1009), and if there is no other inspection body 108 to be inspected, the inspection process ends (No in S1009).

本実施形態に係る部品検査装置100は、検査体108内部の検査対象物109の上面の縁(輪郭)を確実に認識できるため、組み付け部品の欠けや歪み等の欠陥を検査できる。また、本実施形態に係る部品検査装置100は、特許文献1の技術のように円筒状物体の内外側面に嵌合してミラーを挿入するものではなく、検査機構(スコープ105及び光ファイバ103)が検査体108の内側面と接触しないため、その面を傷つけることはない。   Since the component inspection apparatus 100 according to the present embodiment can reliably recognize the edge (contour) of the upper surface of the inspection object 109 inside the inspection object 108, it can inspect defects such as chipping and distortion of the assembled component. Further, the component inspection apparatus 100 according to the present embodiment does not insert a mirror by fitting to the inner and outer surfaces of a cylindrical object as in the technique of Patent Document 1, but an inspection mechanism (scope 105 and optical fiber 103). Does not come into contact with the inner side surface of the inspection body 108, so that the surface is not damaged.

本実施形態に係る部品検査装置100では、スコープ105の中心軸105cと検査対象物109の中心軸109cとを厳密に一致させる必要がなく、検査速度及び検査精度の向上、ひいては製造コストの低減が実現される。また、本実施形態に係る部品検査装置100は、n本の光ファイバ103の各々に光を順次導光し、照らされた当該上面の画像データを順次取得し、その後画像データを合成するため、ハレーションを防止することができる。   In the component inspection apparatus 100 according to the present embodiment, there is no need to strictly match the central axis 105c of the scope 105 and the central axis 109c of the inspection object 109, so that the inspection speed and inspection accuracy can be improved and the manufacturing cost can be reduced. Realized. The component inspection apparatus 100 according to the present embodiment sequentially guides light to each of the n optical fibers 103, sequentially acquires image data of the illuminated upper surface, and then synthesizes the image data. Halation can be prevented.

[第2実施形態]
図11は、本発明の第2実施形態であって、第1実施形態に係る部品検査装置100を含む部品検査システム1100を示す模式図である。
[Second Embodiment]
FIG. 11 is a schematic diagram showing a component inspection system 1100 including the component inspection apparatus 100 according to the first embodiment, which is the second embodiment of the present invention.

本実施形態に係る部品検査システム1100は、部品検査装置100に加えて、システム用台座1101と、フレーム1102と、ボールネジ1103と、ホルダ1104と、撮像装置用台座1105と、モータ1106と、検査体用台座1107とを備える。   In addition to the component inspection apparatus 100, the component inspection system 1100 according to the present embodiment includes a system pedestal 1101, a frame 1102, a ball screw 1103, a holder 1104, an imaging apparatus pedestal 1105, a motor 1106, and an inspection object. A pedestal 1107 is provided.

システム用台座1101の上にフレーム1102が固定されている。フレーム1102を通じてモータ1106に接続されたボールネジ1103が配置されている。ボールネジ1103にホルダ1104が嵌められている。ホルダ1104には、撮像装置用台座1105が固定されている。   A frame 1102 is fixed on the system base 1101. A ball screw 1103 connected to the motor 1106 through the frame 1102 is disposed. A holder 1104 is fitted on the ball screw 1103. An imaging device base 1105 is fixed to the holder 1104.

モータ1106がボールネジ1103を回転させることにより、ホルダ1104が前後に移動する。それに伴い、ホルダ1104及び撮像装置用台座1105、並びに撮像装置104及びスコープ105が前後に移動する。このように、スコープ105及び光ファイバ103は、検査体108内部に挿入される。   As the motor 1106 rotates the ball screw 1103, the holder 1104 moves back and forth. Accordingly, the holder 1104 and the imaging device base 1105, and the imaging device 104 and the scope 105 move back and forth. Thus, the scope 105 and the optical fiber 103 are inserted into the inspection body 108.

例えば、本実施形態において、具体的には、8本の光ファイバ103が治具106により等間隔にスコープ105の外周に固定されている。スコープ105の半径dは3mmで、その画角2θは100度である。光ファイバ103の半径cは1mmで、その照射角2αは35度である。検査対象物109の半径aは5mmで、その高さZは10mmである。また、検査体108の内底面における検査対象物109の側面から検査体108の内側面までの距離Yは12mmである。   For example, in the present embodiment, specifically, eight optical fibers 103 are fixed to the outer periphery of the scope 105 at equal intervals by a jig 106. The scope 105 has a radius d of 3 mm and an angle of view 2θ of 100 degrees. The radius c of the optical fiber 103 is 1 mm, and the irradiation angle 2α is 35 degrees. The inspection object 109 has a radius a of 5 mm and a height Z of 10 mm. Further, the distance Y from the side surface of the inspection object 109 on the inner bottom surface of the inspection body 108 to the inner surface of the inspection body 108 is 12 mm.

この場合において、スコープ105及び光ファイバ103を検査体108の内底面からX(mm)の距離まで挿入すると、Xは式1及び式2を満たすようにするのが望ましい。すなわち、式1から、14.20≦X≦34.89であり、式2から、X≧12.90であるのが望ましい。   In this case, when the scope 105 and the optical fiber 103 are inserted up to a distance of X (mm) from the inner bottom surface of the inspection body 108, it is desirable that X satisfies Expression 1 and Expression 2. That is, from Equation 1, it is desirable that 14.20 ≦ X ≦ 34.89, and from Equation 2 that X ≧ 12.90.

よって、本実施形態に係る部品検査システム1000において、スコープ105及び光ファイバ103を、検査体108の内底面から14.20≦X≦34.89(mm)の範囲に挿入することで、検査対象物109の上面の縁の欠けや歪み等の欠陥を正確に検査できる。   Therefore, in the component inspection system 1000 according to the present embodiment, the scope 105 and the optical fiber 103 are inserted into the range of 14.20 ≦ X ≦ 34.89 (mm) from the inner bottom surface of the inspection object 108, thereby being inspected. Defects such as chipping and distortion of the upper surface of the object 109 can be accurately inspected.

[第3実施形態]
図12は、本発明の第3実施形態に係る部品検査装置1200を示す模式図である。部品検査装置1200は、第1実施形態に係る部品検査装置100と略同一であるが、照明装置102及び光ファイバ103の代わりに、発光部品用電源1201、導電線1202及び発光部品1203を備える点で異なる。そのため、第1及び第2実施形態と重複する説明は適宜省略する。
[Third Embodiment]
FIG. 12 is a schematic diagram showing a component inspection apparatus 1200 according to the third embodiment of the present invention. The component inspection device 1200 is substantially the same as the component inspection device 100 according to the first embodiment, but includes a light emitting component power source 1201, a conductive wire 1202, and a light emitting component 1203 instead of the illumination device 102 and the optical fiber 103. It is different. Therefore, the description overlapping with the first and second embodiments is omitted as appropriate.

部品検査装置1200は、制御装置101、発光部品用電源1201、導電線1202、n個の発光部品1203、撮像装置104、スコープ105、及び出力装置107を備える。ここで、nは1以上の整数である。制御装置101、撮像装置104、スコープ105、及び出力装置107は、第1及び第2実施形態に係るものと同じである。   The component inspection apparatus 1200 includes a control device 101, a light emitting component power source 1201, a conductive wire 1202, n light emitting components 1203, an imaging device 104, a scope 105, and an output device 107. Here, n is an integer of 1 or more. The control device 101, the imaging device 104, the scope 105, and the output device 107 are the same as those according to the first and second embodiments.

発光部品用電源1201は、導電線1202を介して、発光部品1203に電源を供給する。導電線1202は、銅線、その他の電気を流す金属線であり、接着剤やバンド等(不図示)によりスコープ105の外側面に固定される。発光部品1203は、その先端1203sから光を放出する小型のLED照明や電球等である。発光部品1203の先端1203sとスコープ105の先端105sとが同一平面上に位置するように、発光部品1203は、接着剤やバンド等(不図示)によりスコープ105の外側面に固定される。   The light-emitting component power source 1201 supplies power to the light-emitting component 1203 through the conductive line 1202. The conductive wire 1202 is a copper wire or other metal wire that conducts electricity, and is fixed to the outer surface of the scope 105 with an adhesive, a band, or the like (not shown). The light emitting component 1203 is a small LED lighting or a light bulb that emits light from the tip 1203s. The light emitting component 1203 is fixed to the outer surface of the scope 105 with an adhesive, a band, or the like (not shown) so that the tip 1203s of the light emitting component 1203 and the tip 105s of the scope 105 are located on the same plane.

図13は、図4と同様に、スコープ105、発光部品1203、検査体108等を鉛直平面で破断した断面図である。   FIG. 13 is a cross-sectional view in which the scope 105, the light emitting component 1203, the inspection body 108, and the like are broken along a vertical plane, as in FIG.

スコープ105の中心軸105cと検査対象物109の中心軸109cは一致し、発光部品1203の中心軸1203cは、検査対象物109の上面の縁の真上に位置する。なお、後述するように、スコープ105の中心軸105cは検査対象物109の中心軸109cに概ね一致することが望ましいが、発光部品1203の中心軸1203cは検査対象物109の上面の縁の真上に必ずしも位置する必要はない。本発明の目的を逸脱しない範囲において、位置の誤差は許容され得る。   The central axis 105 c of the scope 105 and the central axis 109 c of the inspection target 109 coincide with each other, and the central axis 1203 c of the light emitting component 1203 is located immediately above the edge of the upper surface of the inspection target 109. As will be described later, it is desirable that the center axis 105c of the scope 105 substantially coincides with the center axis 109c of the inspection object 109, but the center axis 1203c of the light emitting component 1203 is directly above the edge of the upper surface of the inspection object 109. It does not necessarily have to be located in Positional errors can be tolerated without departing from the purpose of the present invention.

本実施形態において、検査対象物109の上面の縁を正確に検査するためには、第1実施形態に係る場合と同様に、発光部品1203の半径及び照射角をそれぞれc及び2αとすると、前述の式1及び式2を満たすように、スコープ105の先端105s及び発光部品1203の先端1203sが検査体108の内底面から距離Xだけ離隔して配置されることが望ましい。   In the present embodiment, in order to accurately inspect the edge of the upper surface of the inspection object 109, as in the case of the first embodiment, assuming that the radius and the irradiation angle of the light emitting component 1203 are c and 2α, respectively, It is desirable that the distal end 105s of the scope 105 and the distal end 1203s of the light emitting component 1203 are spaced apart from the inner bottom surface of the inspection body 108 by a distance X so as to satisfy the expressions 1 and 2.

また、隣接する発光部品1203間で光の干渉によるハレーションを生じさせないために、好ましくは、部品検査装置1200は、発光部品用電源1201によりn個の発光部品1203の各々に電源を順次供給し、発光部品1203を順次発光させる。それに伴い、部品検査装置1200は、撮像装置104により検査対象物109の上面の縁の画像データを順次取得する。そして、取得された当該縁のn個の画像データを制御装置101において合成することで、当該縁の1つの画像データを取得することができる。   In order not to cause halation due to light interference between adjacent light emitting components 1203, preferably, the component inspection apparatus 1200 sequentially supplies power to each of the n light emitting components 1203 by the light emitting component power supply 1201. The light emitting parts 1203 are caused to emit light sequentially. Accordingly, the component inspection apparatus 1200 sequentially acquires image data of the upper edge of the inspection object 109 by the imaging apparatus 104. Then, by synthesizing the acquired n pieces of image data of the edge in the control device 101, one piece of image data of the edge can be acquired.

本実施形態に係る部品検査装置1200は、検査体108内部の検査対象物109の上面の縁(輪郭)を確実に認識できるため、組み付け部品の欠けや歪み等の欠陥を検査できる。また、本実施形態に係る部品検査装置100は、特許文献1の技術のように円筒状物体の内外側面に嵌合してミラーを挿入するものではなく、検査機構(スコープ105及び発光部品1203)が検査体108の内側面と接触しないため、その面を傷つけることはない。   Since the component inspection apparatus 1200 according to the present embodiment can reliably recognize the edge (contour) of the upper surface of the inspection object 109 inside the inspection object 108, it can inspect defects such as chipping and distortion of the assembled component. Further, the component inspection apparatus 100 according to the present embodiment does not insert a mirror by fitting to the inner and outer surfaces of a cylindrical object as in the technique of Patent Document 1, but an inspection mechanism (scope 105 and light emitting component 1203). Does not come into contact with the inner side surface of the inspection body 108, so that the surface is not damaged.

本実施形態に係る部品検査装置1200では、スコープ105の中心軸105cと検査対象物109の中心軸109cとを厳密に一致させる必要がなく、検査速度及び検査精度の向上、ひいては製造コストの低減が実現される。また、本実施形態に係る部品検査装置1200は、n個の発光部品1203の各々に電源を順次供給し、発光部品1203を順次発光させる。そして、部品検査装置1200は、照らされた当該上面の画像データを順次取得し、その後画像データを合成するため、ハレーションを防止することができる。   In the component inspection apparatus 1200 according to the present embodiment, the central axis 105c of the scope 105 and the central axis 109c of the inspection object 109 do not need to be strictly matched, and the inspection speed and inspection accuracy are improved, and thus the manufacturing cost is reduced. Realized. In addition, the component inspection apparatus 1200 according to the present embodiment sequentially supplies power to each of the n light emitting components 1203 to cause the light emitting components 1203 to emit light sequentially. And since the component inspection apparatus 1200 acquires the image data of the illuminated said upper surface sequentially, and synthesize | combines image data after that, it can prevent halation.

100:部品検査装置、101:制御装置、102:照明装置、103:光ファイバ、104:撮像装置、105:スコープ、106:治具、107:出力装置、108:検査体、109:検査対象物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100: Component inspection apparatus, 101: Control apparatus, 102: Illumination apparatus, 103: Optical fiber, 104: Imaging apparatus, 105: Scope, 106: Jig, 107: Output apparatus, 108: Inspection object, 109: Inspection object

Claims (10)

円筒状のスコープと、
前記スコープの外周に固定された発光部品と、
前記スコープに接続され、円筒状の検査体の内部に形成された検査対象物を撮影する撮像装置とを備える部品検査装置。
A cylindrical scope,
A light-emitting component fixed to the outer periphery of the scope;
A component inspection apparatus comprising: an imaging apparatus connected to the scope and configured to image an inspection object formed inside a cylindrical inspection object.
前記発光部品を複数備え、
前記発光部品を順次発光させ、前記撮像装置により前記検査対象物の画像データを順次取得する、請求項1に記載の部品検査装置。
A plurality of the light emitting components
The component inspection apparatus according to claim 1, wherein the light emitting component is caused to emit light sequentially, and image data of the inspection object is sequentially acquired by the imaging device.
前記発光部品は、その先端が前記スコープの先端と同一平面上に位置するように、前記スコープの外周に固定され、
前記検査対象物は前記検査体の内底面に円筒又は円柱状に形成されており、
前記スコープ及び発光部品は、前記スコープ及び発光部品の先端が前記検査体の内底面から所定の距離だけ離隔するように、前記検査体内部に挿入され、
前記所定の距離は、前記スコープの画角、前記発光部品の数、半径及び照射角、前記検査対象物の高さ及び半径、並びに、前記検査体の内底面における前記検査対象物の側面から前記検査体の内側面までの距離に応じて決定される、請求項1又は2に記載の部品検査装置。
The light emitting component is fixed to the outer periphery of the scope so that the tip thereof is located on the same plane as the tip of the scope,
The inspection object is formed in a cylindrical or columnar shape on the inner bottom surface of the inspection object,
The scope and the light emitting component are inserted into the inspection body so that the distal ends of the scope and the light emitting component are separated from the inner bottom surface of the inspection body by a predetermined distance,
The predetermined distance includes the angle of view of the scope, the number of light emitting components, the radius and the irradiation angle, the height and radius of the inspection object, and the side surface of the inspection object on the inner bottom surface of the inspection object. The component inspection apparatus according to claim 1, wherein the component inspection apparatus is determined according to a distance to an inner surface of the inspection body.
前記所定の距離をX、前記スコープの画角を2θ、前記発光部品の数、半径及び照射角をそれぞれn、c及び2α、前記検査対象物の高さ及び半径をそれぞれZ及びa、並びに、前記検査体の内底面における前記検査対象物の側面から前記検査体の内側面までの距離をYとすると、式1:
を満たす、請求項3に記載の部品検査装置。
The predetermined distance is X, the angle of view of the scope is 2θ, the number of light-emitting components, the radius and the irradiation angle are n, c and 2α, respectively, the height and radius of the inspection object are Z and a, respectively, and When the distance from the side surface of the inspection object to the inner side surface of the inspection object on the inner bottom surface of the inspection object is Y, Equation 1:
The component inspection apparatus according to claim 3, wherein:
前記発光部品は、光ファイバであり、
前記光ファイバに光を導光する照明装置をさらに備える、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の部品検査装置。
The light emitting component is an optical fiber,
The component inspection apparatus according to claim 1, further comprising an illumination device that guides light to the optical fiber.
円筒状のスコープと、前記スコープの外周に固定された発光部品と、前記スコープに接続され、円筒状の検査体の内部に形成された検査対象物を撮影する撮像装置とを備える部品検査装置を準備するステップと、
前記検査対象物を検査するステップとを具備する部品検査方法。
A component inspection apparatus comprising: a cylindrical scope; a light-emitting component fixed to an outer periphery of the scope; and an imaging device connected to the scope and imaging an inspection object formed inside a cylindrical inspection object The steps to prepare,
A component inspection method comprising: inspecting the inspection object.
前記部品検査装置は、前記発光部品を複数備え、
前記検査するステップは、
前記スコープ及び発光部品の先端が前記検査体の内底面から所定の距離だけ離隔するように、前記スコープ及び発光部品を前記検査体内部に挿入するステップと、
前記発光部品を順次発光させ、前記撮像装置により前記検査対象物の画像データを順次取得するステップとを含む、請求項6に記載の部品検査方法。
The component inspection apparatus includes a plurality of the light emitting components,
The inspecting step includes
Inserting the scope and the light-emitting component into the inspection body such that the distal ends of the scope and the light-emitting component are separated from the inner bottom surface of the inspection body by a predetermined distance;
The component inspection method according to claim 6, further comprising: sequentially emitting light from the light-emitting component and sequentially acquiring image data of the inspection object by the imaging device.
前記発光部品は、その先端が前記スコープの先端と同一面内で揃うように、前記スコープの外周に等間隔で固定され、
前記検査対象物は前記検査体の内底面に円筒又は円柱状に形成されており、
前記所定の距離は、前記スコープの画角、前記発光部品の数、半径及び照射角、前記検査対象物の高さ及び半径、並びに、前記検査体の内底面における前記検査対象物の側面から前記検査体の内側面までの距離に応じて決定される、請求項7に記載の部品検査方法。
The light-emitting component is fixed to the outer periphery of the scope at equal intervals so that the tip is aligned in the same plane as the tip of the scope,
The inspection object is formed in a cylindrical or columnar shape on the inner bottom surface of the inspection object,
The predetermined distance includes the angle of view of the scope, the number of light emitting components, the radius and the irradiation angle, the height and radius of the inspection object, and the side surface of the inspection object on the inner bottom surface of the inspection object. The component inspection method according to claim 7, wherein the component inspection method is determined according to a distance to an inner surface of the inspection body.
前記所定の距離をX、前記スコープの画角を2θ、前記発光部品の数、半径及び照射角をそれぞれn、c及び2α、前記検査対象物の高さ及び半径をそれぞれZ及びa、並びに、前記検査体の内底面における前記検査対象物の側面から前記検査体の内側面までの距離をYとすると、式1:
を満たす、請求項8に記載の部品検査方法。
The predetermined distance is X, the angle of view of the scope is 2θ, the number of light-emitting components, the radius and the irradiation angle are n, c and 2α, respectively, the height and radius of the inspection object are Z and a, respectively, and When the distance from the side surface of the inspection object to the inner side surface of the inspection object on the inner bottom surface of the inspection object is Y, Equation 1:
The component inspection method according to claim 8, wherein:
前記発光部品は、光ファイバであり、
前記部品検査装置が、前記光ファイバに光を導光する照明装置をさらに備える、請求項6乃至9のいずれか1項に記載の部品検査方法。
The light emitting component is an optical fiber,
The component inspection method according to claim 6, wherein the component inspection device further includes an illumination device that guides light to the optical fiber.
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CN113125110A (en) * 2021-04-09 2021-07-16 国网山东省电力公司安丘市供电公司 Device and method for rapidly checking ODF optical core bit sequence

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