JP2014049508A - 不揮発性記憶装置 - Google Patents
不揮発性記憶装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014049508A JP2014049508A JP2012189307A JP2012189307A JP2014049508A JP 2014049508 A JP2014049508 A JP 2014049508A JP 2012189307 A JP2012189307 A JP 2012189307A JP 2012189307 A JP2012189307 A JP 2012189307A JP 2014049508 A JP2014049508 A JP 2014049508A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor layer
- conductive
- memory device
- conductive part
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 96
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 87
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 87
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 20
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims abstract description 12
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims abstract description 9
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 claims abstract description 5
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000011575 calcium Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims abstract description 5
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 5
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 20
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 11
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 11
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 7
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 2
- -1 silver ions Chemical class 0.000 description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 2
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VLJQDHDVZJXNQL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-(oxomethylidene)benzenesulfonamide Chemical compound CC1=CC=C(S(=O)(=O)N=C=O)C=C1 VLJQDHDVZJXNQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102100022907 Acrosin-binding protein Human genes 0.000 description 1
- 101100042371 Caenorhabditis elegans set-3 gene Proteins 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101000756551 Homo sapiens Acrosin-binding protein Proteins 0.000 description 1
- 101000874141 Homo sapiens Probable ATP-dependent RNA helicase DDX43 Proteins 0.000 description 1
- 101000824971 Homo sapiens Sperm surface protein Sp17 Proteins 0.000 description 1
- 102100035724 Probable ATP-dependent RNA helicase DDX43 Human genes 0.000 description 1
- 101150055297 SET1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101150117538 Set2 gene Proteins 0.000 description 1
- 102100022441 Sperm surface protein Sp17 Human genes 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910021340 platinum monosilicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005381 potential energy Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
【解決手段】実施形態によれば、第1導電部と、第2導電部と、記憶層と、を備えた不揮発性記憶装置が提供される。第2導電部は、リチウム、クロム、鉄、銅、インジウム、テルル、カルシウム、ナトリウム、銀、コバルト、金、チタン、タングステン、エルビウム、白金、アルミニウム及びニッケルの少なくともいずれかの金属原子またはその合金を含む。記憶層は、第1導電型の第1半導体層と、第2導電型の第2半導体層と、を含む。第1半導体層は、第1導電部と第2導電部との間に設けられる。第2半導体層は、第1半導体層と第2導電部との間に設けられる。記憶層は、第1導電部と第2導電部とを介して印加される電圧及び供給される電流の少なくともいずれかにより、抵抗が低い第1状態と第1状態よりも抵抗が高い第2状態との間で可逆的に遷移する。
【選択図】図1
Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を例示する模式的断面図である。
図1に表したように、本実施形態に係る不揮発性記憶装置110は、第1導電部10と、第2導電部20と、記憶層15と、を備える。記憶層15は、第1導電部10と第2導電部20との間に設けられる。
図2は、記憶層15に含まれる不純物の濃度プロファイルを表す。
図2の横軸は、Z軸方向の位置z(nm)であり、縦軸は、不純物の濃度IC(cm−3)である。また、図2において、実線は、アクセプタの濃度を表し、破線は、ドナーの濃度を表す。
図2に表したように、第1半導体層31に含まれるドナーの濃度は、例えば、約7×1018cm−3(1×1018cm−3以上1×1019cm−3以下)である。第2半導体層32に含まれるアクセプタの濃度は、例えば、約1×1021cm−3(1×1019cm−3以上1×1022cm−3以下)である。
図3(a)は、高抵抗状態の記憶層15を表し、図3(b)及び図3(c)は、低抵抗状態の記憶層15を表す。
図3(a)〜図3(c)に表したように、記憶層15は、第2面15bから第1面15aに向かって延びる金属部16を有する。金属部16は、第2導電部20に含まれる金属原子を含む。すなわち、この例において、金属部16は、銀を含む。
(1)式には、
第1半導体層31と金属部16との間のZ軸方向に沿う距離Δd(cm)、
第2半導体層32の誘電率εsem(Fcm−1)、
金属部16のフェルミ準位を基準にした第2半導体層32の伝導バンドのショットキー・バリア高さφB(eV)(図4参照)、
単位素電荷q(C)、及び、
第2半導体層32の不純物濃度Nx(cm−3)、
が示される。
距離Δdは、より詳しくは、金属部16のZ軸方向の端部16aと第1半導体層31との間のZ軸方向に沿う距離である。単位素電荷qは、例えば、約1.6×10−19Cである。不純物濃度Nxは、アクセプタの濃度とドナーの濃度との差分で表される実効的な不純物濃度である。不純物濃度Nxは、いわゆるネット濃度である。
図4(a)〜図4(c)の縦軸は、ポテンシャルエネルギーEnであり、横軸は、Z軸方向の位置zである。
図4(a)においては、長さD1が、長さD2より短い。図4(b)及び図4(c)においては、長さD1が、長さD2より長い。また、図4(b)においては、長さD1が、第2半導体層32の厚さより短く、図4(c)においては、長さD1が、第2半導体層32の厚さより長い。すなわち、図4(a)は、図3(a)の状態に対応し、図4(b)は、図3(b)の状態に対応し、図4(c)は、図3(c)の状態に対応する。
一方、図4(c)に表したように、金属部16が第2半導体層32を貫通して第1半導体層31に達した場合、記憶層15は、ショットキーバリアダイオードの特性を示す。
また、図4(b)に表したように、長さD1が長さD2より長い場合(第1条件を満たす場合)には、金属部16と第1半導体層31との間の第2半導体層32の厚さが薄くなり、ショットキーバリアダイオードと実質的に同じ特性を示す。
図5に表したように、不揮発性記憶装置111は、制御部40を備える。制御部40は、第1導電部10及び第2導電部20と電気的に接続されている。制御部40は、第1導電部10と第2導電部20との間に電圧を印加することにより、記憶層15の低抵抗状態と高抵抗状態との切り替え、及び、記憶層15の状態の読み出しを行う。
制御部40は、(2)式で表される第2条件を満たす読み出し電圧を印加する。
(2)式には、
読み出し電圧Vread(V)、
ボルツマン定数kB(JK−1)、
絶対温度TA(K)、
単位素電荷q(C)、
第2半導体層32に含まれる電子の濃度Nn(cm−3)、及び、
第2半導体層32に含まれる正孔の濃度Np(cm−3)、
が示される。
ボルツマン定数kBは、例えば、約1.38×10−23(JK−1)である。
(5)式には、
第2半導体層32の伝導帯の有効状態密度NC(cm−3・eV)、
第2半導体層32の価電子帯の有効状態密度NV(cm−3・eV)、及び、
第2半導体層32のバンドギャップEgap(eV)、
が示される。
図6の横軸は、第2半導体層32のバンドギャップEgapであり、縦軸は、読み出し電圧Vreadである。
図6は、(2)式〜(7)式を用いて算出したバンドギャップEgapと読み出し電圧Vreadとの関係の一例を表す。
図6において、特性CT11は、第1導電部10にTiNを用い、ショットキー・バリア高さφBを、0.67eVとした例を表す。
特性CT12は、第1導電部10にPtSiを用い、ショットキー・バリア高さφBを、0.9eVとした例を表す。
特性CT13は、第1導電部10にErSi2を用い、ショットキー・バリア高さφBを、0.1eVとした例を表す。
図7は、第1導電部10と第2導電部20との間の電圧と電流との関係の実験の一例を表す。
図7の横軸は、第1導電部10と第2導電部20との間に印加する電圧(V)であり、縦軸は、第1導電部10と第2導電部20との間に流れる電流(μA)である。
実験においては、第1導電部10と第2導電部20との間に印加する電圧を変化させ、流れる電流を求める。
実験においては、図6の特性CT11と同じ条件を用いる。記憶層15には、シリコンを用いる。Z軸方向に対して直交する面の形状は、20nm×20nmの長方形とする。記憶層15の厚さは、500nmとする。第2半導体層32の厚さは、100nmとする。金属部16の幅(Z軸方向に対して直交する方向の長さ)は、2nmとする。
図7において、特性CT21は、金属部16の長さD1を70nmとした例であり、特性CT22は、長さD1を80nmとした例であり、特性CT23は、長さD1を90nmとした例であり、特性CT24は、長さD1を100nmとした例である。すなわち、特性CT24においては、金属部16が、第2半導体層32を貫通する。この例において、長さD2は、70nm以下である。実験においては、長さD2以上の範囲で長さD1を変化させている。
図8(a)に表したように、制御部40は、第1導電部10と第2導電部20との間に、順方向の第1書き込み電圧Vset1を印加することにより、金属部16の長さD1を第1長さd11にする。第1長さd11は、長さD2以上で、第2半導体層32の厚さより短い。
本実施形態に係る不揮発性記憶装置は、クロスポイント型の構成を有する。
図9は、第2の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を例示する模式的斜視図である。
図10は、第2の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を例示する模式的回路図である。
図9に表したように、本実施形態に係る不揮発性記憶装置120は、基板50を備える。基板50には、例えば、シリコン基板、半導体基板、無機物を含む基板、または、ポリマーを含む基板などが用いられる。半導体基板には、例えば、シリコン−オン−インシュレータ(SOI)基板などが用いられる。無機物を含む基板には、例えば、ガラスなどが用いられる。
本具体例では、第1配線がワード線となり、第2配線がビット線となる。ただし、第1配線がビット線で、第2配線がワード線でも良い。以下では、第1配線がワード線であり、第2配線がビット線であるとして説明する。
図11に表したように、ワード線WLiとビット線BLjとの間には、メモリセル12が設けられる。なお、ワード線WLiとビット線BLjとの上下の配置の関係は任意である。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
Claims (11)
- 第1導電部と、
リチウム、クロム、鉄、銅、インジウム、テルル、カルシウム、ナトリウム、銀、コバルト、金、チタン、タングステン、エルビウム、白金、アルミニウム及びニッケルの少なくともいずれかの金属原子、または前記少なくともいずれかの金属原子を含む合金を含む第2導電部と、
前記第1導電部と前記第2導電部との間に設けられた第1導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層と前記第2導電部との間に設けられた第2導電型の第2半導体層と、
を含み、前記第1導電部と前記第2導電部とを介して印加される電圧及び供給される電流の少なくともいずれかにより、抵抗が低い第1状態と前記第1状態よりも抵抗が高い第2状態との間で可逆的に遷移可能な記憶層と、
を備えた不揮発性記憶装置。 - 前記記憶層は、前記第1導電部と向かい合う第1面と、前記第2導電部と向かい合う第2面と、前記金属原子を含み前記第2面から前記第1面に向かって延びる金属部と、を有し、
前記金属部は、前記第1導電部と前記第2導電部とを介して印加される電圧及び供給される電流の少なくともいずれかにより、前記第1導電部と前記第2導電部との積層方向に沿う長さを変化させ、
前記記憶層は、前記金属部の前記長さによって前記第1状態と前記第2状態との間で遷移する請求項1記載の不揮発性記憶装置。 - 前記第1導電部は、タングステン、モリブデン、チタン、クロム、タンタル及びニッケルの少なくともいずれかを含む請求項1〜4のいずれか1つに記載の不揮発性記憶装置。
- 前記第2導電部は、導電性を有するマトリクス材料をさらに含み、
前記少なくともいずれかの金属原子または前記合金は、前記マトリクス材料中に含まれ、
前記金属原子の凝集エネルギーまたは前記合金の凝集エネルギーは、前記マトリクス材料の凝集エネルギーよりも低い請求項1〜5のいずれか1つに記載の不揮発性記憶装置。 - 前記マトリクス材料は、タングステン、モリブデン、チタン、クロム、タンタル及びニッケルの少なくともいずれかを含む請求項6記載の不揮発性記憶装置。
- 前記第1半導体層及び前記第2半導体層は、ポリシリコン及びアモルファスシリコンの少なくともいずれかを含む請求項1〜7のいずれか1つに記載の不揮発性記憶装置。
- 前記第1半導体層に含まれる不純物の濃度は、1×1018cm−3以上1×1019cm−3以下であり、
前記第2半導体層に含まれる不純物の濃度は、1×1019cm−3以上1×1022cm−3以下である請求項1〜8のいずれか1つに記載の不揮発性記憶装置。 - シリコン基板、半導体基板、無機物を含む基板、または、ポリマーを含む基板の少なくともいずれかの基板を、さらに備え、
前記第1導電部は、前記基板の上に設けられる請求項1〜9のいずれか1つに記載の不揮発性記憶装置。 - 第1方向に並ぶ複数の第1配線と、
前記第1方向に対して交差する第2方向に並ぶ複数の第2配線と、
前記第1導電部と前記第2導電部と前記記憶層とを含み、前記複数の第1配線と前記複数の第2配線とのそれぞれの交差部に設けられた複数のメモリセルと、
をさらに備えた請求項1〜10のいずれか1つに記載の不揮発性記憶装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012189307A JP5698714B2 (ja) | 2012-08-29 | 2012-08-29 | 不揮発性記憶装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012189307A JP5698714B2 (ja) | 2012-08-29 | 2012-08-29 | 不揮発性記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014049508A true JP2014049508A (ja) | 2014-03-17 |
JP5698714B2 JP5698714B2 (ja) | 2015-04-08 |
Family
ID=50608901
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012189307A Expired - Fee Related JP5698714B2 (ja) | 2012-08-29 | 2012-08-29 | 不揮発性記憶装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5698714B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016100416A (ja) * | 2014-11-19 | 2016-05-30 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001525606A (ja) * | 1997-12-04 | 2001-12-11 | アクソン テクノロジーズ コーポレイション | プログラム可能なサブサーフェス集合メタライゼーション構造およびその作製方法 |
US20020079483A1 (en) * | 2000-12-26 | 2002-06-27 | Charles Dennison | Phase-change memory bipolar array utilizing a single shallow trench isolation for creating an individual active area region for two memory array elements and one bipolar base contact |
JP2005101535A (ja) * | 2003-08-27 | 2005-04-14 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2007300100A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Samsung Electronics Co Ltd | 可変抵抗物質を含む不揮発性メモリ素子 |
JP2012069609A (ja) * | 2010-09-21 | 2012-04-05 | Toshiba Corp | 抵抗変化素子及びその製造方法 |
JP2012160640A (ja) * | 2011-02-02 | 2012-08-23 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
-
2012
- 2012-08-29 JP JP2012189307A patent/JP5698714B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001525606A (ja) * | 1997-12-04 | 2001-12-11 | アクソン テクノロジーズ コーポレイション | プログラム可能なサブサーフェス集合メタライゼーション構造およびその作製方法 |
US20020079483A1 (en) * | 2000-12-26 | 2002-06-27 | Charles Dennison | Phase-change memory bipolar array utilizing a single shallow trench isolation for creating an individual active area region for two memory array elements and one bipolar base contact |
JP2005101535A (ja) * | 2003-08-27 | 2005-04-14 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2007300100A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Samsung Electronics Co Ltd | 可変抵抗物質を含む不揮発性メモリ素子 |
JP2012069609A (ja) * | 2010-09-21 | 2012-04-05 | Toshiba Corp | 抵抗変化素子及びその製造方法 |
JP2012160640A (ja) * | 2011-02-02 | 2012-08-23 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016100416A (ja) * | 2014-11-19 | 2016-05-30 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5698714B2 (ja) | 2015-04-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11387277B2 (en) | Electrostatic discharge protection devices using carbon-based diodes | |
US9917139B2 (en) | Resistive change element array using vertically oriented bit lines | |
US10305036B2 (en) | Thermally optimized phase change memory cells and methods of fabricating the same | |
US9659999B2 (en) | 3-dimensional stack memory device | |
JP5808811B2 (ja) | 層構造を利用する改善されたデバイススイッチング | |
US9472756B2 (en) | Nonvolatile memory device | |
CN101859871B (zh) | 存储元件及其制造方法和半导体存储装置 | |
US8642988B2 (en) | Non-volatile memory device | |
TWI613807B (zh) | 電阻改變裝置及記憶胞陣列 | |
JP2014523637A (ja) | 非線形素子を有するスイッチングデバイス | |
JP2012174766A (ja) | 不揮発性抵抗変化素子 | |
US8384198B2 (en) | Resistance change memory and manufacturing method thereof | |
US9478307B2 (en) | Memory device, writing method, and reading method | |
TWI550621B (zh) | 單次可編程記憶體、電子系統、操作單次可編程記憶體方法及編程單次可編程記憶體方法 | |
US10312289B1 (en) | Semiconductor memory device | |
US9831290B2 (en) | Semiconductor memory device having local bit line with insulation layer formed therein | |
JP5698714B2 (ja) | 不揮発性記憶装置 | |
US8927957B2 (en) | Sidewall diode driving device and memory using same | |
KR20100063613A (ko) | 상변화 메모리 소자를 이용한 비휘발성 프로그래머블 스위치 소자 및 그 제조 방법 | |
CN106133841B (zh) | 单次可编程记忆体、电子系统、操作单次可编程记忆体方法及编程单次可编程记忆体方法 | |
CN103871464A (zh) | 可程序编辑电阻元件记忆体、操作方法及电子系统 | |
JP2013157444A (ja) | 不揮発性抵抗変化素子、書込み方法、および不揮発性メモリ | |
JP2014212300A (ja) | 記憶装置 | |
JP2017168664A (ja) | 半導体記憶装置 | |
KR20090029155A (ko) | 고체 전해질 메모리 소자 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140908 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140911 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150213 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5698714 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |