JP2014039012A - ポリマー厚膜導体組成物のフォトニック焼結 - Google Patents
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Abstract
【課題】ポリマー厚膜導体組成物のフォトニック焼結を提供する。
【解決手段】本発明は、電気回路に電導体を形成するためにポリマー厚膜導体組成物を使用する方法であって、析出された厚膜導体組成物にフォトニック焼結を行う方法を提供する。また本発明は、電導体にフォトニック焼結を行う工程を含む、ポリマー厚膜導体組成物から形成された電導体の抵抗を低下させる方法を提供する。本発明は、さらに、これらの方法によって製造された電導体を含有するデバイスを提供する。
【選択図】なし
【解決手段】本発明は、電気回路に電導体を形成するためにポリマー厚膜導体組成物を使用する方法であって、析出された厚膜導体組成物にフォトニック焼結を行う方法を提供する。また本発明は、電導体にフォトニック焼結を行う工程を含む、ポリマー厚膜導体組成物から形成された電導体の抵抗を低下させる方法を提供する。本発明は、さらに、これらの方法によって製造された電導体を含有するデバイスを提供する。
【選択図】なし
Description
本発明は、様々な用途のためのポリマー厚膜(PTF)導体組成物のフォトニック硬化に関する。一実施形態において、PTF導体組成物は、ITOスパッタガラスなどの薄膜基板上にスクリーン印刷された導体として使用される。PTF導体はグリッド電極として機能する。さらにこの組成物は、伝導率(低抵抗率)が必要とされる他のいずれかの用途のために使用されてもよい。
本発明は、電子デバイスで使用するためのポリマー厚膜導体組成物に関する。PTF銀導体は、銀の低抵抗率(<50ミリオーム/スクエア)および信頼性のため、電子回路において適切な導体として非常に一般的である。しかしながら、近年では銀の価格は3倍になり30ドル/トロイオンスを超える程度となり、したがって、回路で使用には高価となっている。電気特性をほとんど妥協せず、費用が低い銀の代替物が求められている。そのような代替物を提供することが本発明の目的である。
本発明は、
a)基板を提供する工程と、
b)ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物、ポリマー厚膜はんだ合金/金属導体組成物、およびそれらの混合物からなる群から選択されるポリマー厚膜導体組成物を提供する工程と、
c)基板上へ厚膜導体組成物を塗布する工程と、
d)厚膜導体組成物にフォトニック焼結を行い、電導体を形成する工程と
を含む、電気回路において電導体を形成する方法を提供する。
a)基板を提供する工程と、
b)ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物、ポリマー厚膜はんだ合金/金属導体組成物、およびそれらの混合物からなる群から選択されるポリマー厚膜導体組成物を提供する工程と、
c)基板上へ厚膜導体組成物を塗布する工程と、
d)厚膜導体組成物にフォトニック焼結を行い、電導体を形成する工程と
を含む、電気回路において電導体を形成する方法を提供する。
一実施形態において、この方法は、工程(c)の後、工程(d)の前に実行される厚膜導体組成物を乾燥させる工程をさらに含む。組成物は、全溶媒を除去するために必要とされる時間および温度で処理されてもよい。さらに、乾燥工程後のフォトニック焼結によって、70〜80%抵抗が低下する。
一実施形態において、ポリマー厚膜導体組成物は、ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物の全重量に基づく重量%で、
(a)(b)の有機媒体に分散される、スズ、銀および銅からなり、そして2〜18μmの平均粒径および0.2〜1.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する65〜95重量%のはんだ合金粉末と、
(b)
(i)塩化ビニリデンおよびアクリロニトリルのビニルコポリマー樹脂であって、
(2)二塩基性エステルを含む有機溶媒に溶解される塩化ビニリデンおよびアクリロニトリルのビニルコポリマー樹脂
を含む、5〜35重量%の有機媒体と
を含むポリマー厚膜はんだ合金導体組成物である。
(a)(b)の有機媒体に分散される、スズ、銀および銅からなり、そして2〜18μmの平均粒径および0.2〜1.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する65〜95重量%のはんだ合金粉末と、
(b)
(i)塩化ビニリデンおよびアクリロニトリルのビニルコポリマー樹脂であって、
(2)二塩基性エステルを含む有機溶媒に溶解される塩化ビニリデンおよびアクリロニトリルのビニルコポリマー樹脂
を含む、5〜35重量%の有機媒体と
を含むポリマー厚膜はんだ合金導体組成物である。
別の実施形態において、ポリマー厚膜導体組成物は、ポリマー厚膜導体組成物の全重量に基づく重量%で、
(a)(i)スズ、銀および銅合金粉末、(ii)スズおよびビスマス合金粉末、ならびに(iii)それらの混合物からなる群から選択され、2〜18μmの平均粒径および0.2〜1.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する粒子からなる35〜94重量%のはんだ合金粉末と、
(b)銀、銅、金、アルミニウムおよびそれらの混合物からなる群から選択され、2〜18μmの平均粒径および0.1〜2.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する粒子からなる1〜30重量%の金属と、
(c)
(1)塩化ビニリデンおよびアクリロニトリルのビニルコポリマー樹脂またはフェノキシ樹脂である樹脂であって、
(2)二塩基性エステルまたはグリコールエーテルを含む有機溶媒が溶解される樹脂、
を含む、5〜35重量%の有機媒体と
を含むが、ただし、上記樹脂がフェノキシ樹脂である場合、上記金属は銀であり、上記はんだ合金粉末および上記金属は上記有機媒体に分散される、ポリマー厚膜はんだ合金/金属導体組成物である。
(a)(i)スズ、銀および銅合金粉末、(ii)スズおよびビスマス合金粉末、ならびに(iii)それらの混合物からなる群から選択され、2〜18μmの平均粒径および0.2〜1.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する粒子からなる35〜94重量%のはんだ合金粉末と、
(b)銀、銅、金、アルミニウムおよびそれらの混合物からなる群から選択され、2〜18μmの平均粒径および0.1〜2.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する粒子からなる1〜30重量%の金属と、
(c)
(1)塩化ビニリデンおよびアクリロニトリルのビニルコポリマー樹脂またはフェノキシ樹脂である樹脂であって、
(2)二塩基性エステルまたはグリコールエーテルを含む有機溶媒が溶解される樹脂、
を含む、5〜35重量%の有機媒体と
を含むが、ただし、上記樹脂がフェノキシ樹脂である場合、上記金属は銀であり、上記はんだ合金粉末および上記金属は上記有機媒体に分散される、ポリマー厚膜はんだ合金/金属導体組成物である。
また本発明は、上記方法の実施形態のいずれかによって形成された電導体を含む電気デバイスを提供する。
本発明は、電導体にフォトニック焼結を行う工程を含む、ポリマー厚膜導体組成物から形成された電導体の抵抗を低下させる方法をさらに提供する。そのような電導体を含む電気デバイスも提供する。
一般に、厚膜組成物は、組成物に適切な電気的機能特性を与える機能相を含む。機能相は、機能相の担体として作用する有機媒体に分散された電気的機能性粉末を含む。一般に、厚膜技術において、組成物は焼成されて、有機物を燃焼し、そして電気的機能特性がもたらされる。しかしながら、ポリマー厚膜の場合、有機物は、乾燥後の組成物の必要不可欠な部分として残存する。本明細書で使用される「有機物」は、厚膜組成物のポリマー、樹脂または結合剤成分を含む。これらの用語は交換可能に使用されてもよく、そしてそれらの全ては同一のものを意味する。
一実施形態において、ポリマー厚膜導体組成物は、ポリマー樹脂および溶媒を含む有機媒体に分散されるSAC(スズ、銀、銅)合金粉末を含むポリマー厚膜はんだ合金導体組成物である。
別の実施形態において、ポリマー厚膜導体組成物は、SAC合金粉末、Sn/Bi合金粉末または両方の混合物、ならびに銀、銅、金、アルミニウムおよびそれらの混合物からなる群から選択される金属を含み、はんだ合金粉末および金属が、ポリマー樹脂および溶媒を含む有機媒体に分散されるポリマー厚膜はんだ合金/金属導体組成物である。
要約すると、ポリマー厚膜導体組成物の主成分は、ポリマー樹脂および溶媒を含む有機媒体に分散される導体粉末である。2つの実施形態において使用されるポリマー厚膜導体組成物を以下に記載する。
厚膜はんだ合金導体組成物の実施形態
A.導体粉末
厚膜はんだ合金導体組成物の電気的機能性粉末は、SAC合金として既知のスズ、銀および銅を含有するはんだ合金導体粉末である。ここではスズが最大成分であり、すなわち、90重量%より多い。
A.導体粉末
厚膜はんだ合金導体組成物の電気的機能性粉末は、SAC合金として既知のスズ、銀および銅を含有するはんだ合金導体粉末である。ここではスズが最大成分であり、すなわち、90重量%より多い。
はんだ合金粉末で使用される粒子直径および形状は特に重要であり、適用方法に適切でなければならない。一実施形態において、粒子は球状である。別の実施形態において、粒子はフレークの形状である。はんだ合金粒子の粒径分布も、本発明の有効性に関して重要である。実際には、粒径は1〜100μmの範囲にある。一実施形態において、平均粒径は2〜18μmである。加えて、はんだ合金粒子の表面積/重量比率は0.2〜1.3m2/gの範囲にある。
さらに、導体の特性を改善するために、少量の1種またはそれ以上の他の金属をはんだ合金導体組成物に添加してもよいことが知られている。そのような金属のいくつかの例には、金、銀、銅、ニッケル、アルミニウム、白金、パラジウム、モリブデン、タングステン、タンタル、スズ、インジウム、ランタン、ガドリニウム、ホウ素、ルテニウム、コバルト、チタン、イットリウム、ユウロピウム、ガリウム、硫黄、亜鉛、ケイ素、マグネシウム、バリウム、セリウム、ストロンチウム、鉛、アンチモン、伝導性炭素、およびそれらの組み合わせ、ならびに厚膜組成物の技術において一般的な他が含まれる。追加的な金属は、全組成物約1.0重量%まで含んでなってもよい。
はんだ合金表面のあらゆる酸化を還元させるため、有機酸をはんだ合金のための還元剤として使用してもよい。
B.有機媒体
はんだ合金粉末は、典型的に、印刷に適切な粘稠性およびレオロジーを有する「ペースト」と呼ばれるペースト状組成物を形成するために機械的混合によって有機媒体(媒剤)と混合される。有機媒体は、固体が適度な安定性によって分散可能であるものでなければならない。有機媒体の流動学的特性は、それらが組成物に良好な塗布特性を与えるようなものでなければならない。そのような特性には、適度な安定性を有する固体の分散、組成物の良好な塗布、適切な粘度、チキソトロピー、基板および固体の適切な湿潤性、良好な乾燥速度、および乱暴な取り扱いに耐えるのに十分な乾燥膜強度が含まれる。
はんだ合金粉末は、典型的に、印刷に適切な粘稠性およびレオロジーを有する「ペースト」と呼ばれるペースト状組成物を形成するために機械的混合によって有機媒体(媒剤)と混合される。有機媒体は、固体が適度な安定性によって分散可能であるものでなければならない。有機媒体の流動学的特性は、それらが組成物に良好な塗布特性を与えるようなものでなければならない。そのような特性には、適度な安定性を有する固体の分散、組成物の良好な塗布、適切な粘度、チキソトロピー、基板および固体の適切な湿潤性、良好な乾燥速度、および乱暴な取り扱いに耐えるのに十分な乾燥膜強度が含まれる。
有機媒体は、有機溶媒中のポリマーの溶液を含む。有機媒体は当該技術では慣習的ではなく、組成物にユニークな特性を与える。
本実施形態で使用される樹脂は、塩化ビニリデンとアクリロニトリルとのビニルコポリマーであり、これは、はんだ合金粉末の高重量装填を可能にし、したがって、そして、基板に対する良好な接着力および低抵抗率(高い伝導率)の両方を達成するために役立つ。これら2つは、電子回路における導体に関して重要な特性である。追加的に、このポリマーは、ペースト中で自己流動成分として作用するようであり、外部還元剤は必要とされない。
広範囲の種々の不活性液体を、有機媒体中の溶媒として使用することができる。厚膜組成物で見られる最も広く使われる溶媒は、酢酸エチル、およびアルファまたはベータテルピネオールなどのテルペン、あるいはケロシン、ジブチルフタレート、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、ヘキシレングリコールならびに高沸点アルコールおよびアルコールエステルなどの他の溶媒とのそれらの混合物である。加えて、基板上に塗布後の急速硬化を促進するための揮発性の液体が溶剤に含まれることが可能である。本発明の多くの実施形態において、グリコールエーテル、ケトン、エステルおよび同様の沸点(180℃〜250℃の範囲)を有する他の溶媒などの溶媒、ならびにそれらの混合物が使用されてもよい。一実施形態において、有機媒体は、二塩基性エステルおよびC−11ケトン溶媒に基づく。これらおよび他の溶媒の様々な組み合わせは、所望の粘度および揮発性の必要条件を得るために調製される。
厚膜はんだ合金/金属導体組成物の実施形態
A.導体粉末
厚膜はんだ合金/金属導体組成物の電気的機能性粉末は、(1)SAC合金として既知の、スズが最大パーセント、すなわち90重量%より多いスズ、銀および銅合金粉末、少なくとも40重量%スズを有するSn/Bi合金粉末、ならびにそれらの混合物からなる群から選択されるはんだ合金導体粉末、ならびに(2)銀、銅、金、アルミニウムまたはそれらの混合物からなる群から選択される金属粉末/フレークである。
A.導体粉末
厚膜はんだ合金/金属導体組成物の電気的機能性粉末は、(1)SAC合金として既知の、スズが最大パーセント、すなわち90重量%より多いスズ、銀および銅合金粉末、少なくとも40重量%スズを有するSn/Bi合金粉末、ならびにそれらの混合物からなる群から選択されるはんだ合金導体粉末、ならびに(2)銀、銅、金、アルミニウムまたはそれらの混合物からなる群から選択される金属粉末/フレークである。
はんだ合金粉末および純粋金属の両方において使用される粒子直径および形状は特に重要であり、塗布方法に適切でなければならない。はんだ合金粒子および純粋金属の粒径分布も、本発明の有効性に関して重要である。実際には、粒径は1〜100μmの範囲にある。一実施形態において、はんだ合金および金属の両方の平均粒径は2〜18μmである。加えて、はんだ合金粒子の表面積/重量比率は0.2〜1.3m2/gの範囲にあり、一方、金属の場合は0.1〜2.3m2/gである。銀および銅が2つの好ましい金属粒子であるが、この実施形態はそれらの2つの金属に限定されず、そして金およびアルミニウムなどの他の金属も使用することができる。
はんだ合金表面のあらゆる酸化を還元させるため、有機酸をはんだ合金のための還元剤として使用してもよいが、ここでは必要とされない。
B.有機媒体
粉末は、典型的に、印刷に適切な粘稠性およびレオロジーを有する「ペースト」と呼ばれるペースト状組成物を形成するために機械的混合によって有機媒体(媒剤)と混合される。有機媒体は、固体が適度な安定性によって分散可能であるものでなければならない。有機媒体の流動学的特性は、それらが組成物に良好な塗布特性を与えるようなものでなければならない。そのような特性には、適度な安定性を有する固体の分散、組成物の良好な塗布、適切な粘度、チキソトロピー、基板および固体の適切な湿潤性、良好な乾燥速度、および乱暴な取り扱いに耐えるのに十分な乾燥膜強度が含まれる。
粉末は、典型的に、印刷に適切な粘稠性およびレオロジーを有する「ペースト」と呼ばれるペースト状組成物を形成するために機械的混合によって有機媒体(媒剤)と混合される。有機媒体は、固体が適度な安定性によって分散可能であるものでなければならない。有機媒体の流動学的特性は、それらが組成物に良好な塗布特性を与えるようなものでなければならない。そのような特性には、適度な安定性を有する固体の分散、組成物の良好な塗布、適切な粘度、チキソトロピー、基板および固体の適切な湿潤性、良好な乾燥速度、および乱暴な取り扱いに耐えるのに十分な乾燥膜強度が含まれる。
有機媒体は、有機溶媒中のポリマーの溶液を含む。有機媒体は当該技術では慣習的ではなく、組成物にユニークな特性を与える。
本実施形態のポリマー樹脂は、特に重要である。本発明で使用される適切な樹脂は、塩化ビニリデンとアクリロニトリルとのビニルコポリマーであり、これは、はんだ合金粉末の高重量装填を可能にし、したがって、そして、基板に対する良好な接着力および低抵抗率(高い伝導率)の両方を達成するために役立つ。これら2つは、電子回路における導体に関して重要な特性である。追加的に、このポリマーは、ペースト中で自己流動成分として作用するようであり、外部還元剤は必要とされない。あるいは、銀が添加された金属である場合のみ、フェノキシ樹脂をいくつかの調製物において使用してもよい。
広範囲の種々の不活性液体を、有機媒体中の溶媒として使用することができる。厚膜組成物で見られる最も広く使われる溶媒は、酢酸エチル、およびアルファまたはベータテルピネオールなどのテルペン、あるいはケロシン、ジブチルフタレート、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、ヘキシレングリコールならびに高沸点アルコールおよびアルコールエステルなどの他の溶媒とのそれらの混合物である。加えて、基板上に塗布後の急速硬化を促進するための揮発性の液体が溶剤に含まれることが可能である。本発明の多くの実施形態において、グリコールエーテル、ケトン、エステルおよび同様の沸点(180℃〜250℃の範囲)を有する他の溶媒などの溶媒、ならびにそれらの混合物が使用されてもよい。一実施形態において、有機媒体は、二塩基性エステルおよびC−11ケトンに基づく。これらおよび他の溶媒の様々な組み合わせは、所望の粘度および揮発性の必要条件を得るために調製される。
厚膜の塗布
「ペースト」としても知られるポリマー厚膜導体組成物は、典型的に、本質的に気体および水分に不浸透性であるITOスパッタガラスなどの基板上で析出される。基板は、可撓性材料のシートであることもできる。一例は、その上に析出された任意の金属または誘電層を有するプラスチックシートの組み合わせから構成される複合材料などの不浸透性プラスチックである。基板は、140℃の処理温度に耐えるようなものでなければならない。一実施形態において、基板は金属化はんだ合金ペーストによる層の蓄積であることができる。
「ペースト」としても知られるポリマー厚膜導体組成物は、典型的に、本質的に気体および水分に不浸透性であるITOスパッタガラスなどの基板上で析出される。基板は、可撓性材料のシートであることもできる。一例は、その上に析出された任意の金属または誘電層を有するプラスチックシートの組み合わせから構成される複合材料などの不浸透性プラスチックである。基板は、140℃の処理温度に耐えるようなものでなければならない。一実施形態において、基板は金属化はんだ合金ペーストによる層の蓄積であることができる。
ポリマー厚膜はんだ合金/金属組成物の析出は、好ましくは、スクリーン印刷によって実行されるが、ステンシル印刷、シリンジ分配またはコーティング技術などの他の析出技術を使用することもできる。スクリーン印刷の場合、スクリーンメッシュサイズによって、析出する厚膜の厚さが制御される。
フォトニック焼結
フォトニック焼結では、高温焼結を提供するために光が使用される。典型的に、光源を提供するためにフラッシュランプが使用され、そして高出力、短時間で、そして数ヘルツから数十ヘルツにわたるデューティサイクルで作動される。フォトニック焼結工程は簡単で、典型的にI分未満である。フォトニック焼結は、フォトニック硬化と呼ばれてもよい。
フォトニック焼結では、高温焼結を提供するために光が使用される。典型的に、光源を提供するためにフラッシュランプが使用され、そして高出力、短時間で、そして数ヘルツから数十ヘルツにわたるデューティサイクルで作動される。フォトニック焼結工程は簡単で、典型的にI分未満である。フォトニック焼結は、フォトニック硬化と呼ばれてもよい。
析出された厚膜導体組成物のフォトニック焼結は、低抵抗率、すなわち、10ミリオーム/スクエア未満程度の低さの導体を提供する。
一実施形態において、フォトニック焼結の前に、析出された厚膜導体組成物を、典型的に140℃で10〜15分間の低温加熱に曝露することによって乾燥させる。これは、はんだ合金(SAC305)の1種の液相線温度217℃より約80℃低い初期乾燥温度で達成される。
実際的な実施例によって本発明をより詳細に検討する。しかしながら、本発明の範囲は、これらの実際的な実施例によって制限さるものでは決してない。
実施例および比較実験
比較実験A
10μmの平均球状粒径(範囲は5〜15μmであった)を有するはんだ合金粉末SAC305(AMTECH,SMT International LLC,Deep River,CN)および5ミクロンの平均粒径を有する銀フレークを、塩化ビニリデンおよびアクリロニトリル樹脂(Saran(商標)F−310 resin,Dow Chemical Co.,Midland,MI)のコポリマーから構成される有機媒体と混合することによって、PTFはんだ合金/金属導体組成物を調製した。樹脂の分子量は約25,000であった。はんだ合金粉末を添加する前に樹脂を完全に溶解するために溶媒を使用した。溶媒は、二塩基性エステル(DuPont,Wilmington,DE)とEastman(商標)C−11ケトン溶媒Eastman Chemical,Kingsport,TN)との50/50混合物であった。
比較実験A
10μmの平均球状粒径(範囲は5〜15μmであった)を有するはんだ合金粉末SAC305(AMTECH,SMT International LLC,Deep River,CN)および5ミクロンの平均粒径を有する銀フレークを、塩化ビニリデンおよびアクリロニトリル樹脂(Saran(商標)F−310 resin,Dow Chemical Co.,Midland,MI)のコポリマーから構成される有機媒体と混合することによって、PTFはんだ合金/金属導体組成物を調製した。樹脂の分子量は約25,000であった。はんだ合金粉末を添加する前に樹脂を完全に溶解するために溶媒を使用した。溶媒は、二塩基性エステル(DuPont,Wilmington,DE)とEastman(商標)C−11ケトン溶媒Eastman Chemical,Kingsport,TN)との50/50混合物であった。
PTFはんだ合金/金属導体組成物の組成を以下に示す。
58.25% SAC305はんだ合金粉末−(96.5%Sn、3%Ag、0.5%Cu)
9.71 有機媒体(19.5%樹脂/80.5%溶媒)
29.12 銀フレーク(平均径5ミクロン)
0.92 カルビトールアセテート
2.00 二塩基性エステル
58.25% SAC305はんだ合金粉末−(96.5%Sn、3%Ag、0.5%Cu)
9.71 有機媒体(19.5%樹脂/80.5%溶媒)
29.12 銀フレーク(平均径5ミクロン)
0.92 カルビトールアセテート
2.00 二塩基性エステル
この組成物をThinky型攪拌器で10分間混合した。組成物を使用して、ガラス上にパターンをスクリーン印刷した。280メッシュステンレス鋼スクリーンを使用し、一連の線を印刷し、そしてはんだ合金ペーストを強制空気オーブン中で10分間140℃で乾燥した。次いで、抵抗は、30ミクロンの厚さで35ミリオーム/スクエアとして測定された。
実施例1
乾燥後に組成物にフォトニック焼結を行ったことを除き、同様のPTFはんだ合金/金属組成物を、本質的に比較実験Aに記載されるように調製および印刷した。調製物の他の全ての特性、はんだ合金粉末分布およびその後の処理は、比較実験Aと同一だった。
乾燥後に組成物にフォトニック焼結を行ったことを除き、同様のPTFはんだ合金/金属組成物を、本質的に比較実験Aに記載されるように調製および印刷した。調製物の他の全ての特性、はんだ合金粉末分布およびその後の処理は、比較実験Aと同一だった。
フォトニック焼結は、3段階で、Holst Flash Sintering Unit,(Holst Centre,Eindhoven,NL)で実行した:段階1:16.66Hz、60%出力。段階2:7.14Hz、50%出力。段階3:2.5Hz、100%出力。全時間は30秒であった。この組成物の抵抗は約9ミリオーム/スクエアであり、そしてそれは比較実験Aにおいてオーブン乾燥のみで得られる35ミリオーム/スクエアから実質的に低下している。フォトニック焼結がポリマー厚膜導体組成物の抵抗に対する有利な効果を有することは明白である。
Claims (9)
- 電気回路で電導体を形成する方法であって、
a)基板を提供する工程と、
b)ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物、ポリマー厚膜はんだ合金/金属導体組成物、およびそれらの混合物からなる群から選択されるポリマー厚膜導体組成物を提供する工程と、
c)前記基板上へ前記厚膜導体組成物を塗布する工程と、
d)任意選択で前記厚膜導体組成物を乾燥させる工程と、
d)前記厚膜導体組成物にフォトニック焼結を行い、前記電導体を形成する工程と
を含む方法。 - 前記ポリマー厚膜導体組成物が、ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物であり、前記ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物が、
(a)スズ、銀および銅からなり、そして2〜18μmの平均粒径および0.2〜1.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する、65〜95重量%のはんだ合金粉末であって、(b)の有機媒体に分散される、はんだ合金粉末と、
(b)5〜35重量%の有機媒体であって、前記有機媒体が、
(i)塩化ビニリデンおよびアクリロニトリルのビニルコポリマー樹脂であって、(2)の有機溶媒に溶解される、ビニルコポリマー樹脂と、
(2)二塩基性エステルを含む有機溶媒と
を含む、有機媒体と
を含み、前記重量%が前記ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物の全重量に基づいている、請求項1に記載の方法。 - 前記ポリマー厚膜導体組成物が、ポリマー厚膜はんだ合金/金属導体組成物であり、前記ポリマー厚膜はんだ合金/金属導体組成物が、
(a)(i)スズ、銀および銅合金粉末、(ii)スズおよびビスマス合金粉末、ならびに(iii)それらの混合物からなる群から選択される、35〜94重量%のはんだ合金粉末であって、前記合金粉末が、2〜18μmの平均粒径および0.2〜1.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する粒子からなる、はんだ合金粉末と、
(b)銀、銅、金、アルミニウムおよびそれらの混合物からなる群から選択される、1〜30重量%の金属であって、前記金属が、2〜18μmの平均粒径および0.1〜2.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する粒子からなる、金属と、
(c)5〜35重量%の有機媒体であって、前記有機媒体が、
(1)塩化ビニリデンおよびアクリロニトリルのビニルコポリマー樹脂またはフェノキシ樹脂であって、(2)の有機溶媒に溶解される、樹脂と、
(2)二塩基性エステルまたはグリコールエーテルを含む有機溶媒と
を含む、有機媒体と
を含み、前記樹脂がフェノキシ樹脂である場合、前記金属は銀であることを条件として、前記はんだ合金粉末および前記金属は前記有機媒体に分散され、前記重量%が前記ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物の全重量に基づいている、請求項1に記載の方法。 - ポリマー厚膜導体組成物から形成された電導体の抵抗を低下させる方法であって、前記方法が前記電導体にフォトニック焼結を行う工程を含む、方法。
- 前記ポリマー厚膜導体組成物が、ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物であり、前記ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物が、
(a)スズ、銀および銅からなり、そして2〜18μmの平均粒径および0.2〜1.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する、65〜95重量%のはんだ合金粉末であって、(b)の有機媒体に分散される、はんだ合金粉末と、
(b)5〜35重量%の有機媒体であって、前記有機媒体が
(i)塩化ビニリデンおよびアクリロニトリルのビニルコポリマー樹脂であって、(2)の有機溶媒に溶解される、ビニルコポリマー樹脂と、
(2)二塩基性エステルを含む有機溶媒と
を含む、有機媒体と
を含み、前記重量%が前記ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物の全重量に基づいている、請求項4に記載の方法。 - 前記ポリマー厚膜導体組成物が、ポリマー厚膜はんだ合金/金属導体組成物であり、前記ポリマー厚膜はんだ合金/金属導体組成物が、
(a)(i)スズ、銀および銅合金粉末、(ii)スズおよびビスマス合金粉末、ならびに(iii)それらの混合物からなる群から選択される、35〜94重量%のはんだ合金粉末であって、前記合金粉末が、2〜18μmの平均粒径および0.2〜1.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する粒子からなる、はんだ合金粉末と、
(b)銀、銅、金、アルミニウムおよびそれらの混合物からなる群から選択される、1〜30重量%の金属であって、前記金属が、2〜18μmの平均粒径および0.1〜2.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する粒子からなる、金属と、
(c)5〜35重量%の有機媒体であって、前記有機媒体が、
(1)塩化ビニリデンおよびアクリロニトリルのビニルコポリマー樹脂またはフェノキシ樹脂であって、(2)の有機媒体に溶解される、樹脂と、
(2)二塩基性エステルまたはグリコールエーテルを含む、有機溶媒と
を含む有機媒体と
を含み、前記樹脂がフェノキシ樹脂である場合、前記金属は銀であることを条件として、前記はんだ合金粉末および前記金属は前記有機媒体に分散され、前記重量%が前記ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物の全重量に基づいている、請求項4に記載の方法。 - ポリマー厚膜導体組成物から形成された電導体を含む電気デバイスであって、前記電導体がフォトニック焼結が行われたものである、電気デバイス。
- 前記ポリマー厚膜導体組成物が、ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物であり、前記ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物が、
(a)スズ、銀および銅からなり、そして2〜18μmの平均粒径および0.2〜1.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する、65〜95重量%のはんだ合金粉末であって、(b)の有機媒体に分散される、はんだ合金粉末と、
(b)5〜35重量%の有機媒体であって、前記有機媒体が、
(i)塩化ビニリデンおよびアクリロニトリルのビニルコポリマー樹脂であって、(2)の有機溶媒に溶解される、ビニルコポリマー樹脂と、
(2)二塩基性エステルを含む有機溶媒と
を含む、有機媒体と
を含み、前記重量%が前記ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物の全重量に基づいている、請求項7に記載のデバイス。 - 前記ポリマー厚膜導体組成物が、ポリマー厚膜はんだ合金/金属導体組成物であり、ポリマー厚膜はんだ合金/金属導体組成物が、
(a)(i)スズ、銀および銅合金粉末、(ii)スズおよびビスマス合金粉末、ならびに(iii)それらの混合物からなる群から選択される、35〜94重量%のはんだ合金粉末であって、前記合金粉末が、2〜18μmの平均粒径および0.2〜1.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する粒子からなる、はんだ合金粉末と、
(b)銀、銅、金、アルミニウムおよびそれらの混合物からなる群から選択される、1〜30重量%の金属であって、前記金属が、2〜18μmの平均粒径および0.1〜2.3m2/gの範囲の表面積/質量比を有する粒子からなる、金属と、
(c)5〜35重量%の有機媒体であって、前記有機媒体が、
(1)塩化ビニリデンおよびアクリロニトリルのビニルコポリマー樹脂またはフェノキシ樹脂であって、(2)の有機溶媒に溶解される、樹脂と、
(2)二塩基性エステルまたはグリコールエーテルを含む有機溶媒と
を含む、有機媒体と
を含み、前記樹脂がフェノキシ樹脂である場合、前記金属は銀であることを条件として、前記はんだ合金粉末および前記金属は前記有機媒体に分散され、前記重量%が前記ポリマー厚膜はんだ合金導体組成物の全重量に基づいている、請求項7に記載のデバイス。
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