JP2014026300A - ステージ装置及び試料搬送装置並びに位置決め制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料搬送装置及びステージ装置として、摺動機構を有する搬送又は移動機構と、搬送又は移動機構を駆動するアクチュエータと、初期駆動条件と目標位置に対する停止誤差量の関係を学習する機能を有し、初期駆動条件から停止誤差量を推定する演算部201と、初期駆動条件の一つである目標位置と推定された停止誤差量とに基づいてアクチュエータの実駆動条件を演算し、アクチュエータを制御する制御部200とを有する。
【選択図】図3
Description
[装置の全体構成]
図1に、実施例1に係る半導体検査装置10の構成例を示す。因みに、半導体検査装置10は、荷電粒子として電子を使用する。半導体検査装置10は、鏡体部11と、試料室15と、二次電子検出部16と、試料搬送装置24と、表示装置30を主要部として有している。
図2に、ステージ装置19の内部構成例を示す。ステージ装置19は、制御装置105と、モータ107と、摺動機構である試料移動台機構109を主要部として有している。なお、制御装置105には、停止誤差量の推定値を演算する制御量演算器200が内蔵されている。
以上説明したように、本実施例に係るステージ装置19では、その移動を繰り返すたびに、初期駆動条件と実際の停止誤差量の関係が逐次オンラインで学習される。従って、ステージ装置19が有する摺動機構の摺動面特性が駆動条件や経過時間に応じて非線形に変化する場合にも、位置決め精度を移動毎に向上させることができる。また、本実施例の場合、摺動機構を用いたステージ装置19を用いるため、高精度な位置決め精度を有する小型の半導体検査装置を安価に提供することができる。
前述したように、実施例1で説明した制御量演算器200(図3)は、過去の学習成果を使用し、推定演算器201が停止誤差量103を推定する。このため、実際に発生した停止誤差量の情報は、次回以降の推定結果に反映されることになり、学習成果の反映に遅延が生じてしまう。
前述した2つの実施例におけるニューラルネットワーク102においては、式1の結合度ベクトルWを決定するために、過去に入力された全ての初期駆動条件と移動結果の関係を教師データとして使用した。
試料搬送装置24は、前述したステージ装置19と同様、摺動機構を有している。従って、前述した各実施例における制御量演算器200は、試料搬送装置24の制御にも適用することができる。
本発明は上述した形態例に限定されるものでなく、様々な変形例が含まれる。例えば前述の各実施例では、半導体検査装置について説明したが、半導体製造装置にも適用することができる。また、摺動機構を有する位置決め装置を搭載する装置であれば、半導体検査装置や半導体製造装置に限らない。
24…試料搬送装置
102…ニューラルネットワーク
105…制御装置
200…制御量演算器
201…推定演算器
250…駆動制御器
300…外挿演算器
401…摺動機構
403…摺動機構
404…制御装置
Claims (12)
- 摺動機構を有する搬送機構と、
前記搬送機構を駆動するアクチュエータと、
初期駆動条件と目標位置に対する停止誤差量の関係を学習する機能を有し、初期駆動条件から停止誤差量を推定する演算部と、
初期駆動条件の一つである目標位置と推定された停止誤差量とに基づいて前記アクチュエータの実駆動条件を演算し、前記アクチュエータを制御する制御部と
を有する試料搬送装置。 - 請求項1に記載の試料搬送装置において、
前記演算部は非線形学習機構を有する
ことを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1に記載の試料搬送装置において、
前記演算部で推定された停止誤差量を外挿法によって補間演算し、補間演算結果を用いて未来時刻の停止誤差量を演算する外挿演算器を有する
ことを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1に記載の試料搬送装置において、
初期駆動条件と停止誤差量の関係を学習する際、古い情報を忘却する機能を有する
ことを特徴とする試料搬送装置。 - 摺動機構を有する移動機構と、
前記移動機構を駆動するアクチュエータと、
初期駆動条件と目標位置に対する停止誤差量の関係を学習する機能を有し、初期駆動条件から停止誤差量を推定する演算部と、
初期駆動条件の一つである目標位置と推定された停止誤差量とに基づいて前記アクチュエータの実駆動条件を演算し、前記アクチュエータを制御する制御部と
を有するステージ装置。 - 請求項5に記載のステージ装置において、
前記演算部は非線形学習機構を有する
ことを特徴とするステージ装置。 - 請求項5に記載のステージ装置において、
前記演算部で推定された停止誤差量を外挿法によって補間演算し、補間演算結果を用いて未来時刻の停止誤差量を演算する外挿演算器を有する
ことを特徴とするステージ装置。 - 請求項5に記載のステージ装置において、
初期駆動条件と停止誤差量の関係を学習する際、古い情報を忘却する機能を有する
ことを特徴とするステージ装置。 - 現在位置と目標位置とに基づいてアクチュエータの実駆動条件を演算し、演算結果を用いてアクチュエータを制御する位置決め制御方法において、
初期駆動条件と目標位置に対する停止誤差量の関係を学習する機能に基づいて、初期駆動条件から停止誤差量を推定する処理と、
初期駆動条件の一つである目標位置と推定された停止誤差量とに基づいて前記アクチュエータの実駆動条件を演算し、前記アクチュエータを制御する処理と
を有する位置決め制御方法。 - 請求項9に記載の位置決め制御方法において、
前記学習する機能は、初期駆動条件から停止誤差量を非線形に計算する処理手順を有する
ことを特徴とする位置決め制御方法。 - 請求項9に記載の位置決め制御方法において、
推定された停止誤差量を外挿法によって補間演算し、補間演算結果を用いて未来時刻の停止誤差量を演算する計算手順を有する
ことを特徴とする位置決め制御方法。 - 請求項9に記載の位置決め制御方法において、
初期駆動条件と停止誤差量の関係を学習する際、古い情報を忘却する計算手順を有する
ことを特徴とする位置決め制御方法。
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