JP2014025871A - Encoder output signal correction apparatus - Google Patents

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Tetsuo Kiriyama
哲郎 桐山
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an encoder output signal correction apparatus which can efficiently detect a correction value of a two-phase sinusoidal wave outputted by an encoder by suppressing a change with respect to fluctuation of a signal.SOLUTION: An encoder output signal correction apparatus has detection means for detecting correction values of an off-set error included in a Lissajous waveform formed by a two-phase sinusoidal wave signal, an amplitude error, and a phase error of the two-phase sinusoidal wave signal. The detection means evenly divides a phase angle of the Lissajous waveform formed by the two-phase sinusoidal wave signal after correction into N (N is an integral number equal to 8 or larger). Moreover, the detection means obtains a change of the sinusoidal wave form represented by a radius of the Lissajous waveform every phase angle and according to an amplitude and a phase of the change, detects a changed portion of the correction value of the off-set error included in the Lissajous waveform, a changed portion of the correction value of the amplitude error, and a changes portion of the correction value of the phase error.

Description

本発明は、位置、角度、速度、角速度等の検出を行うエンコーダの2相正弦波状信号を補正するエンコーダ出力信号補正装置に関する。   The present invention relates to an encoder output signal correction device that corrects a two-phase sinusoidal signal of an encoder that detects position, angle, velocity, angular velocity, and the like.

エンコーダのスケールに形成される格子の間隔には加工限界があるため、スケール格子より細かい間隔を測定するには、エンコーダが出力する正弦波状信号の位相変化の空間周期を更に細分して内挿する必要がある。このため、従来より種々の内挿回路が用いられている。ディジタル処理による内挿回路は例えば、エンコーダから出力される90°位相が異なるA、B相正弦波状信号を所定の周波数でサンプリングしてディジタルデータに変換するA/Dコンバータと、このA/Dコンバータにより得られたディジタルデータDA、DBに基づいて各サンプル点の位相角データPHを求めるルックアップテーブルを記憶したメモリとから構成される。ルックアップテーブルは、逆正接関数(ATAN)を用いた、PH=ATAN(DB/DA)に基づいて作成される。   Since there is a processing limit on the interval of the grating formed on the encoder scale, in order to measure an interval finer than the scale grating, the spatial period of the phase change of the sinusoidal signal output from the encoder is further subdivided and interpolated. There is a need. For this reason, various interpolation circuits are conventionally used. An interpolation circuit by digital processing is, for example, an A / D converter that samples A and B phase sinusoidal signals output from an encoder with different 90 ° phases and converts them into digital data, and this A / D converter. And a memory storing a lookup table for obtaining the phase angle data PH of each sample point based on the digital data DA and DB obtained by the above. The lookup table is created based on PH = ATAN (DB / DA) using an arctangent function (ATAN).

エンコーダが出力するA、B相正弦波状信号は、通常完全な正弦波ではなく、これを直交座標で表すと、一般に楕円状のリサージュ波形を描く。A、B相正弦波状信号電圧の振幅が異なると、リサージュ波形は楕円となり、また各信号電圧のオフセット誤差により、リサージュ波形は原点からずれた円又は楕円の波形となる。また、位相誤差が存在すると、楕円の長軸及び短軸が座標軸と平行でなくなる。内挿回路はA、B相正弦波状信号を正弦波と仮定して作られているため、理想的な正弦波からのズレは内挿精度に悪影響を与える。このため、A、B相正弦波状信号におけるオフセット誤差、振幅誤差、及び位相誤差を補正するための装置が、例えば特許文献1により提案されている。   The A and B phase sine wave signals output from the encoder are not usually perfect sine waves, and generally represent an elliptical Lissajous waveform when expressed in orthogonal coordinates. When the amplitudes of the A and B phase sinusoidal signal voltages are different, the Lissajous waveform becomes an ellipse, and the Lissajous waveform becomes a circle or ellipse waveform deviated from the origin due to the offset error of each signal voltage. Also, if there is a phase error, the major and minor axes of the ellipse will not be parallel to the coordinate axis. Since the interpolation circuit is made on the assumption that the A and B phase sine wave signals are sine waves, the deviation from the ideal sine wave adversely affects the interpolation accuracy. For this reason, for example, Patent Document 1 proposes an apparatus for correcting an offset error, an amplitude error, and a phase error in A and B phase sinusoidal signals.

この特許文献1に記載の装置においては、リサージュ波形をプロットしたXY座標のX=0、Y=0、Y=X、Y=−Xの各直線とリサージュ波形との8つの交点に基づき補正値が算出される。しかし、このような補正値の算出方法では、検出ヘッドの送り速度が大きい場合、サンプリング位置がデータ取得位置に一致せず、データを取逃すことが多く、データが取得できなければ補正値を更新することができない。すなわち、特許文献1の方法では、補正値の更新の機会は少なく、動的補正を効率よく実行できない。また、特許文献1の方法により求められる補正値は、ノイズやスケール上の欠陥などに起因する信号の変動に対して大きく変化する。   In the apparatus described in Patent Document 1, correction values are based on eight intersections of each line of X = 0, Y = 0, Y = X, and Y = −X of the XY coordinates on which the Lissajous waveform is plotted and the Lissajous waveform. Is calculated. However, in such a correction value calculation method, when the feed speed of the detection head is large, the sampling position does not coincide with the data acquisition position, and data is often missed. If data cannot be acquired, the correction value is updated. Can not do it. That is, with the method of Patent Document 1, there are few opportunities for updating correction values, and dynamic correction cannot be performed efficiently. In addition, the correction value obtained by the method of Patent Document 1 changes greatly with respect to signal fluctuations caused by noise, scale defects, and the like.

特開2006−112862JP2006-112862

本発明は、エンコーダから出力される2相正弦波の補正値を効率よく且つ信号変動に対する変化を抑えて取得可能なエンコーダ出力信号補正装置を提供することを目的とする。   It is an object of the present invention to provide an encoder output signal correction apparatus that can acquire a correction value of a two-phase sine wave output from an encoder efficiently and while suppressing a change with respect to signal fluctuation.

本発明に係るエンコーダ出力信号補正装置は、エンコーダから出力される位相のずれた2相正弦波状信号を補正する。エンコーダ出力信号補正装置は、検出手段、及び補正手段を有する。検出手段は、2相正弦波状信号によって形成されるリサージュ波形に含まれるオフセット誤差、振幅誤差、及び2相正弦波信号の位相誤差の補正値を検出する。補正手段は、検出手段で検出されたオフセット誤差、振幅誤差、及び位相誤差の補正値で2相正弦波状信号を補正する。検出手段は、補正手段で補正した後の2相正弦波状信号によって形成されるリサージュ波形の位相角をN(Nは8以上の整数)等分する。更に、検出手段は、位相角毎のリサージュ波形の半径によって表される正弦波状の変化を求め、この変化の振幅及び位相からリサージュ波形に含まれるオフセット誤差の補正値の変化分、振幅誤差の補正値の変化分、及び位相誤差の補正値の変化分を検出する。そして、検出手段は、検出されたそれらの補正値の変化分を累積演算して新たな補正値とすることで、動的に補正値を更新する。   The encoder output signal correction apparatus according to the present invention corrects a phase-shifted two-phase sinusoidal signal output from the encoder. The encoder output signal correction apparatus includes a detection unit and a correction unit. The detecting means detects a correction value of an offset error, an amplitude error, and a phase error of the two-phase sine wave signal included in the Lissajous waveform formed by the two-phase sine wave signal. The correction unit corrects the two-phase sinusoidal signal with correction values of the offset error, amplitude error, and phase error detected by the detection unit. The detection means equally divides the phase angle of the Lissajous waveform formed by the two-phase sinusoidal signal after correction by the correction means into N (N is an integer of 8 or more). Further, the detection means obtains a sinusoidal change represented by the radius of the Lissajous waveform for each phase angle, and corrects the amplitude error by the change in the offset error correction value included in the Lissajous waveform from the amplitude and phase of this change. A change in the value and a change in the correction value of the phase error are detected. Then, the detection means dynamically updates the correction values by accumulating the detected changes in the correction values to obtain new correction values.

本発明によれば、エンコーダから出力される2相正弦波の補正値を効率よく且つ信号の変動に対する変化を抑えて検出可能なエンコーダ出力信号補正装置を提供できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the encoder output signal correction apparatus which can detect the correction value of the two-phase sine wave output from an encoder efficiently, suppressing the change with respect to the fluctuation | variation of a signal can be provided.

この発明の実施の形態に係るエンコーダ出力信号補正装置10の基本構成を示すブロック図である。1 is a block diagram showing a basic configuration of an encoder output signal correction apparatus 10 according to an embodiment of the present invention. 同補正装置10の処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process of the correction apparatus. 観測されるリサージュ波形の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the Lissajous waveform observed. 図2のオフセット補正、振幅補正及び位相補正の詳細を示すフローチャートである。3 is a flowchart showing details of offset correction, amplitude correction, and phase correction of FIG. 2. リサージュ波形、及び位相角θと径Rの変化を示す図である。It is a figure which shows a Lissajous waveform and the change of phase angle (theta) and the diameter R. FIG. リサージュ波形、及び位相角θと径Rの変化を示す図である。It is a figure which shows a Lissajous waveform and the change of phase angle (theta) and the diameter R. FIG. リサージュ波形、及び位相角θと径Rの変化を示す図である。It is a figure which shows a Lissajous waveform and the change of phase angle (theta) and the diameter R. FIG. リサージュ波形、及び位相角θと径Rの変化を示す図である。It is a figure which shows a Lissajous waveform and the change of phase angle (theta) and the diameter R. FIG. リサージュ波形、及び位相角θと径Rの変化を示す図である。It is a figure which shows a Lissajous waveform and the change of phase angle (theta) and the diameter R. FIG.

次に、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。   Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、この発明の実施の形態に係るエンコーダ出力信号補正装置10の基本構成を示すブロック図である。エンコーダ出力信号補正装置10は、A/Dコンバータ20、21、オフセット・振幅・位相補正部30、オフセット・振幅・位相検出部31、及びR−θ変換部40を備え、これによりエンコーダ50の出力信号A0、B0を補正するものである。   FIG. 1 is a block diagram showing a basic configuration of an encoder output signal correction apparatus 10 according to an embodiment of the present invention. The encoder output signal correction apparatus 10 includes A / D converters 20 and 21, an offset / amplitude / phase correction unit 30, an offset / amplitude / phase detection unit 31, and an R-θ conversion unit 40. The signals A0 and B0 are corrected.

エンコーダ50はその検出原理は問わないが、例えば光電式或いは磁気式である。エンコーダ50から出力されるA相正弦波状信号、B相正弦波状信号A0、B0は、通常、オフセット誤差、振幅誤差、位相誤差等を含んでいる。   The detection principle of the encoder 50 is not questioned, but is, for example, a photoelectric type or a magnetic type. The A-phase sinusoidal signal and the B-phase sinusoidal signals A0 and B0 output from the encoder 50 usually include an offset error, an amplitude error, a phase error, and the like.

信号A0、B0は、それぞれA/Dコンバータ20、21により、所定の周波数でサンプリングされてディジタル信号A1、B1に変換され、オフセット・振幅・位相補正部30に入力される。オフセット・振幅・位相補正部30は、オフセット・振幅・位相検出部31により演算された補正値に基づいて、ディジタル信号A1、B1のオフセット、振幅及び位相を補正して出力信号A4、B4を出力する。   The signals A 0 and B 0 are sampled at predetermined frequencies by the A / D converters 20 and 21, converted into digital signals A 1 and B 1, and input to the offset / amplitude / phase correction unit 30. The offset / amplitude / phase correction unit 30 corrects the offset, amplitude, and phase of the digital signals A1 and B1 based on the correction values calculated by the offset / amplitude / phase detection unit 31 and outputs output signals A4 and B4. To do.

出力信号A4、B4は、振幅、位相、及びオフセットが補正された正弦波状の出力信号である。R−θ変換部40は、出力信号A4、B4から適宜、補間処理を行ってリサージュ波形を生成し、このリサージュ波形の位相角θごとの半径Rを演算する。オフセット・振幅・位相検出部31は、R−θ変換部40から出力される位相角θごとの半径Rを内部のR−θレジスタ31aに保管し、このR−θレジスタ31aに基づいてオフセット・振幅・位相補正部30における補正値を演算する。   The output signals A4 and B4 are sinusoidal output signals whose amplitude, phase, and offset are corrected. The R-θ conversion unit 40 appropriately performs interpolation processing from the output signals A4 and B4 to generate a Lissajous waveform, and calculates a radius R for each phase angle θ of the Lissajous waveform. The offset / amplitude / phase detector 31 stores the radius R for each phase angle θ output from the R-θ converter 40 in an internal R-θ register 31a, and based on this R-θ register 31a The correction value in the amplitude / phase correction unit 30 is calculated.

次に、エンコーダ出力信号補正装置10を用いた補正処理の詳細について図2を参照して説明する。図2は、補正処理を示すフローチャートである。   Next, details of correction processing using the encoder output signal correction apparatus 10 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a flowchart showing the correction process.

エンコーダ50から出力されるA相正弦波状信号、B相正弦波状信号A0、B0は、まずAD変換され(S11)、ディジタルのA相正弦波状信号、B相正弦波状信号A1、B1となる。この信号A1,B1は、下記数1のように表すことができる。   The A-phase sine wave signal and the B-phase sine wave signals A0 and B0 output from the encoder 50 are first AD converted (S11) to become digital A-phase sine wave signals and B-phase sine wave signals A1 and B1. The signals A1 and B1 can be expressed as the following formula 1.

Figure 2014025871
Figure 2014025871

ここで、a,bはA相及びB相のオフセット誤差、a,bはA相及びB相の振幅誤差、φはA相に対するB相の位相誤差、u=2πx/λ、xは変位、λは信号ピッチをそれぞれ示している。これらの誤差のうちオフセット誤差、振幅誤差及び位相誤差は、オフセット・振幅・位相補正部30及びオフセット・振幅・位相検出部31により実行されるオフセット補正処理ステップ(S12)、振幅補正処理ステップ(S13)及び位相補正処理ステップ(S14)で順次除去される。最後に、誤差が除去された2相正弦波状信号A4,B4を用いてR−θ変換部40で位相角θが求められる。 Here, a 0 and b 0 are offset errors of the A phase and the B phase, a 1 and b 1 are amplitude errors of the A phase and the B phase, φ 1 is a phase error of the B phase with respect to the A phase, and u = 2πx / λ , X represents displacement, and λ represents signal pitch. Among these errors, the offset error, amplitude error, and phase error are offset correction processing step (S12) and amplitude correction processing step (S13) executed by the offset / amplitude / phase correction unit 30 and the offset / amplitude / phase detection unit 31, respectively. ) And phase correction processing step (S14). Finally, the phase angle θ is obtained by the R-θ converter 40 using the two-phase sinusoidal signals A4 and B4 from which the error has been removed.

この実施形態では、上述した各補正処理ステップ(S12〜S14)において、それぞれ漸化式を用いた動的補正を行う。   In this embodiment, dynamic correction using a recurrence formula is performed in each of the correction processing steps (S12 to S14) described above.

次に、図3及び図4を参照して、補正処理ステップを詳細に説明する。図3は補正処理ステップに用いられるリサージュ波形を示し、図4は補正処理ステップ(S12〜S14)のフローチャート図を示す。まず、図3に示すように、A相及びB相の正弦波状信号A4,B4から補間処理を行って一周分のリサージュ波形が得られる。そして、リサージュ波形の位相角をN等分するように、リサージュ波形上の点を2π/N毎にサンプル点Pi(i=0〜N−1)として取得する。リサージュ波形をN等分しているので、サンプル点PiはA/Dコンバータ20、21のサンプル点と一致する必要はない。なお、Nは8以上の整数であることが望ましい。Nが大きいほど演算時間は増えるが、補正値演算精度は向上する。図3では、N=32の例を示す。   Next, the correction processing step will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 3 shows a Lissajous waveform used in the correction processing step, and FIG. 4 shows a flowchart of the correction processing steps (S12 to S14). First, as shown in FIG. 3, a Lissajous waveform for one round is obtained by performing interpolation processing from the A-phase and B-phase sinusoidal signals A4 and B4. Then, the points on the Lissajous waveform are acquired as sample points Pi (i = 0 to N−1) every 2π / N so that the phase angle of the Lissajous waveform is equally divided into N. Since the Lissajous waveform is divided into N equal parts, the sample point Pi does not need to coincide with the sample points of the A / D converters 20 and 21. N is preferably an integer of 8 or more. The calculation time increases as N increases, but the correction value calculation accuracy improves. FIG. 3 shows an example where N = 32.

そして、図4に示すように、それらサンプル点Piから、X軸及びY軸方向のオフセット誤差の補正値の変化分Δda1,Δdb1が次のように求められる(S111)。なお、以下の式において、それぞれのサンプル点Piにおける位相角を2πθi/N (i=0〜N−1,θi=−0.5〜0.5)とし、それぞれのサンプル点Piにおける原点からの径をRi (i=0〜N−1)とし、重み係数をwdとする。   Then, as shown in FIG. 4, changes Δda1 and Δdb1 of offset error correction values in the X-axis and Y-axis directions are obtained from the sample points Pi as follows (S111). In the following equation, the phase angle at each sample point Pi is 2πθi / N (i = 0 to N−1, θi = −0.5 to 0.5), and the phase angle from the origin at each sample point Pi is The diameter is Ri (i = 0 to N−1), and the weight coefficient is wd.

Figure 2014025871
Figure 2014025871

ここで求められたΔda1,Δdb1は、オフセット誤差a0,b0に近いが、振幅誤差及び位相誤差があるため、完全には一致していない。そこで、フィードバック処理を数回繰り返すことにより、この誤差を徐々に収束させていく。すなわち、補正値da1,db1を累積加算値として、以下のように求める(S112)。   Δda1 and Δdb1 obtained here are close to the offset errors a0 and b0, but do not completely coincide with each other due to the amplitude error and the phase error. Therefore, this error is gradually converged by repeating the feedback process several times. That is, the correction values da1 and db1 are obtained as the cumulative addition values as follows (S112).

Figure 2014025871
Figure 2014025871

そして、以下の式により信号A1,B1からオフセット誤差を除去するための補正処理が実行される(S113)。   Then, a correction process for removing the offset error from the signals A1 and B1 is executed by the following equation (S113).

Figure 2014025871
Figure 2014025871

上記と同様に、リサージュ波形上のサンプル点PiからX軸方向の振幅に対するY軸方向の振幅誤差の補正値の変化分Δkabが次の式のように求められる(S121)。なお、以下の式において、それぞれのサンプル点Piにおける位相角を2πθi/N (i=0〜N−1,θi=−0.5〜0.5)とし、それぞれのサンプル点における原点からの径をRi (i=0〜N−1)とし、重み係数をwkとする。   Similarly to the above, the change Δkab of the correction value of the amplitude error in the Y-axis direction with respect to the amplitude in the X-axis direction from the sample point Pi on the Lissajous waveform is obtained as in the following equation (S121). In the following equation, the phase angle at each sample point Pi is 2πθi / N (i = 0 to N−1, θi = −0.5 to 0.5), and the diameter from the origin at each sample point. Is Ri (i = 0 to N−1), and the weighting coefficient is wk.

Figure 2014025871
Figure 2014025871

この場合にも、フィードバック処理を数回繰り返すことにより、誤差を徐々に収束させていく。すなわち、補正値kb1を累積積算値として、以下の式のように求める(S122)。なお、補正値ka1はka1=1に固定する。   Also in this case, the error is gradually converged by repeating the feedback process several times. That is, the correction value kb1 is obtained as a cumulative integrated value as shown in the following equation (S122). The correction value ka1 is fixed at ka1 = 1.

Figure 2014025871
Figure 2014025871

そして、以下の数式により信号A2,B2から振幅誤差を除去するための補正処理が実行される(S123)。   Then, correction processing for removing the amplitude error from the signals A2 and B2 is executed according to the following formula (S123).

Figure 2014025871
Figure 2014025871

上記と同様に、リサージュ波形上のサンプル点PiからA相及びB相の位相誤差の補正値の変化分Δkp1が次の式のように求められる(S131)。なお、以下の式において、それぞれのサンプル点Piにおける位相角を2πθi/N (i=0〜N−1,θi=−0.5〜0.5)とし、それぞれのサンプル点における原点からの径をRi (i=0〜N−1)とし、重み係数をwkp1とする。   Similarly to the above, the change Δkp1 in the correction value of the phase error of the A phase and the B phase is obtained from the sample point Pi on the Lissajous waveform as follows (S131). In the following equation, the phase angle at each sample point Pi is 2πθi / N (i = 0 to N−1, θi = −0.5 to 0.5), and the diameter from the origin at each sample point. Is Ri (i = 0 to N−1) and the weighting coefficient is wkp1.

Figure 2014025871
Figure 2014025871

この場合にも、フィードバック処理を数回繰り返すことにより、誤差を徐々に収束させていく。すなわち、補正値kp1を累積乗算値として、以下の式のように求める(S132)。   Also in this case, the error is gradually converged by repeating the feedback process several times. That is, the correction value kp1 is obtained as an accumulated multiplication value as in the following equation (S132).

Figure 2014025871
Figure 2014025871

そして、次の式により信号A3,B3から位相誤差を除去するための補正処理が実行される(S133)。   Then, a correction process for removing the phase error from the signals A3 and B3 is executed by the following equation (S133).

Figure 2014025871
Figure 2014025871

以上、本実施の形態は、A/Dコンバータ20、21のサンプル点ではなく、リサージュ波形の位相角をN等分(Nは8以上の整数)して検出されたサンプル点Piに基づき2相正弦波状信号を補正可能である。したがって、本実施の形態によれば、従来よりも補正値の検出・更新機会が増え、補正値を効率よく取得できる。特に、サンプリング速度が小さい場合、検出ヘッドの送り速度が大きい場合、信号ピッチ周期が小さい場合に本実施の形態は有効である。また、本実施の形態によれば、全サンプル点Piを用いて正弦波関数及び余弦波関数の加算演算によって補正値を求めているので、スケール上の目盛りの不均一性や、スケールの取り付けアライメントの不均一性、及びスケールの部分的な汚染に対するロバスト性を向上させることができる。また、本実施の形態によれば、ノイズなどに起因する短時間(短距離)の信号変動に対するロバスト性を向上させることができる。   As described above, this embodiment is not based on the sample points of the A / D converters 20 and 21, but based on the sample points Pi detected by dividing the phase angle of the Lissajous waveform into N equal parts (N is an integer of 8 or more). A sinusoidal signal can be corrected. Therefore, according to the present embodiment, the correction value detection / update opportunities are increased as compared with the conventional case, and the correction value can be acquired efficiently. In particular, the present embodiment is effective when the sampling speed is low, the detection head feed speed is high, or the signal pitch period is small. In addition, according to the present embodiment, since the correction value is obtained by adding the sine wave function and the cosine wave function using all the sample points Pi, the scale non-uniformity on the scale and the scale mounting alignment are obtained. And the robustness against partial contamination of the scale can be improved. Further, according to the present embodiment, it is possible to improve robustness against short-time (short distance) signal fluctuations caused by noise or the like.

次に、図5〜図9を参照して、オフセット誤差の補正値の算出で用いた(数2)の式、振幅誤差の補正値の算出で用いた(数5)の式、及び位相誤差の補正値の算出で用いた(数8)の式について説明する。図5〜図9はリサージュ波形、及び位相角θと径Rの変化を示す図である。   Next, referring to FIG. 5 to FIG. 9, the equation (Equation 2) used for calculating the offset error correction value, the equation (Equation 5) used for calculating the amplitude error correction value, and the phase error (Equation 8) used in the calculation of the correction value will be described. 5 to 9 are diagrams showing changes in the Lissajous waveform and the phase angle θ and the diameter R. FIG.

図5に示すように、リサージュ波形が理想的な真円状であると共にその中心が原点に重なる場合、位相角θの変化に対して径Rは一定となる。これに対して、図6に示すように、リサージュ波形がX軸方向のオフセット誤差を含む場合、径Rは位相角θに対して余弦波状に変化する。すなわち、この変化は以下の近似比例式で示される。   As shown in FIG. 5, when the Lissajous waveform is an ideal perfect circle and its center overlaps the origin, the diameter R is constant with respect to the change in the phase angle θ. On the other hand, as shown in FIG. 6, when the Lissajous waveform includes an offset error in the X-axis direction, the diameter R changes in a cosine wave shape with respect to the phase angle θ. That is, this change is represented by the following approximate proportional expression.

Figure 2014025871
Figure 2014025871

したがって、Rとcos2πθとの相関係数に基づき適切な重み係数を乗ずれば、(数2)のΔda1の式が求められる。   Therefore, if an appropriate weighting factor is multiplied based on the correlation coefficient between R and cos2πθ, the equation of Δda1 in (Equation 2) is obtained.

また、図7に示すように、リサージュ波形がY軸方向のオフセット誤差を含む場合、径Rは位相角θに対して正弦波状に変化する。すなわち、この変化は以下の近似比例式で示される。   As shown in FIG. 7, when the Lissajous waveform includes an offset error in the Y-axis direction, the diameter R changes in a sine wave shape with respect to the phase angle θ. That is, this change is represented by the following approximate proportional expression.

Figure 2014025871
Figure 2014025871

したがって、Rとsin2πθとの相関係数に基づき適切な重み係数を乗ずれば、(数2)のΔdb1の式が求められる。   Therefore, if an appropriate weighting factor is multiplied based on the correlation coefficient between R and sin2πθ, the equation of Δdb1 in (Equation 2) can be obtained.

図8に示すように、リサージュ波形が振幅誤差を含む場合、径Rは位相角θに対して余弦波状に変化する。すなわち、この変化は以下の近似比例式で示される。   As shown in FIG. 8, when the Lissajous waveform includes an amplitude error, the diameter R changes in a cosine wave shape with respect to the phase angle θ. That is, this change is represented by the following approximate proportional expression.

Figure 2014025871
Figure 2014025871

したがって、Rとcos4πθとの相関係数に基づき適切な重み係数を乗ずれば、(数5)の式が求められる。   Therefore, if an appropriate weighting factor is multiplied based on the correlation coefficient between R and cos4πθ, the formula (Equation 5) is obtained.

図9に示すように、リサージュ波形が位相誤差を含む場合、径Rは位相角θに対して正弦波状に変化する。すなわち、この変化は以下の近似比例式で示される。   As shown in FIG. 9, when the Lissajous waveform includes a phase error, the diameter R changes in a sine wave shape with respect to the phase angle θ. That is, this change is represented by the following approximate proportional expression.

Figure 2014025871
Figure 2014025871

したがって、Rとsin4πθとの相関係数に基づき適切な重み係数を乗ずれば、(数8)の式が求められる。   Therefore, if an appropriate weighting factor is multiplied based on the correlation coefficient between R and sin4πθ, the equation (Equation 8) is obtained.

以上、発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、追加等が可能である。例えば、上記の実施の形態では、振幅や位相等の補正をディジタル回路により実行したが、DSPやソフトウエア等により同様の処理を行ってもよい。   Although the embodiments of the invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications and additions can be made without departing from the spirit of the invention. For example, in the above embodiment, correction of amplitude, phase, and the like is executed by a digital circuit, but similar processing may be performed by a DSP, software, or the like.

10…エンコーダ出力信号補正装置、 20、21A…A/Dコンバータ、30…オフセット・振幅・位相補正部、 31…オフセット・振幅・位相検出部、 40…R−θ変換部、 50…エンコーダ。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Encoder output signal correction device 20, 21A ... A / D converter, 30 ... Offset / amplitude / phase correction part, 31 ... Offset / amplitude / phase detection part, 40 ... R-theta conversion part, 50 ... Encoder.

Claims (5)

エンコーダから出力される位相のずれた2相正弦波状信号を補正するエンコーダ出力信号補正装置において、
前記2相正弦波状信号によって形成されるリサージュ波形に含まれるオフセット誤差、振幅誤差、及び2相正弦波信号の位相誤差の補正値を検出する検出手段と、
前記検出手段で検出された前記オフセット誤差、前記振幅誤差、及び前記位相誤差の補正値で前記2相正弦波状信号を補正する補正手段とを備え、
前記検出手段は、前記補正手段で補正した後の2相正弦波状信号によって形成されるリサージュ波形の位相角をN(Nは8以上の整数)等分し、位相角毎の前記リサージュ波形の半径によって表される正弦波状の変化を求め、この変化の振幅及び位相から前記リサージュ波形に含まれる前記オフセット誤差の補正値の変化分、前記振幅誤差の補正値の変化分、及び前記位相誤差の補正値の変化分を検出し、検出されたそれらの補正値の変化分を累積演算して新たな補正値とすることで、動的に前記補正値を更新する
ことを特徴とするエンコーダ出力信号補正装置。
In an encoder output signal correction device that corrects a phase-shifted two-phase sinusoidal signal output from an encoder,
Detecting means for detecting a correction value of an offset error, an amplitude error, and a phase error of the two-phase sine wave signal included in the Lissajous waveform formed by the two-phase sine wave signal;
Correction means for correcting the two-phase sinusoidal signal with correction values of the offset error, the amplitude error, and the phase error detected by the detection means;
The detection means equally divides the phase angle of the Lissajous waveform formed by the two-phase sinusoidal signal after correction by the correction means into N (N is an integer of 8 or more), and the radius of the Lissajous waveform for each phase angle. A change in the correction value of the offset error, a change in the correction value of the amplitude error, and a correction of the phase error included in the Lissajous waveform are obtained from the amplitude and phase of the change. Encoder output signal correction characterized in that the correction value is dynamically updated by detecting a change in the value and accumulating the detected change in the correction value to obtain a new correction value. apparatus.
前記検出手段は、位相角毎の前記リサージュ波形の半径によって表される正弦波関数又は余弦波関数の前記リサージュ波形1周分の加算演算によって前記リサージュ波形に含まれる前記オフセット誤差の補正値の変化分、前記振幅誤差の補正値の変化分、及び前記位相誤差の補正値の変化分を検出する
ことを特徴とする請求項1記載のエンコーダ出力信号補正装置。
The detecting means changes the correction value of the offset error included in the Lissajous waveform by adding the sine wave function or cosine wave function represented by one radius of the Lissajous waveform for each phase angle. The encoder output signal correction apparatus according to claim 1, wherein a change amount, a change amount of the correction value of the amplitude error, and a change amount of the correction value of the phase error are detected.
リサージュ波形における位相角を2πθi/N (i=0〜N−1,θi=−0.5〜0.5)とし、それぞれの前記位相角における前記リサージュ波形の半径をRi (i=0〜N−1)とし、重み係数をwdとすると、
前記検出手段は、前記リサージュ波形が描かれるX軸、Y軸に対するオフセット誤差の補正値の変化分Δda1、Δdb1をそれぞれ次の数式を用いて算出する
Figure 2014025871
ことを特徴とする請求項2記載のエンコーダ出力信号補正装置。
The phase angle in the Lissajous waveform is 2πθi / N (i = 0 to N−1, θi = −0.5 to 0.5), and the radius of the Lissajous waveform at each phase angle is Ri (i = 0 to N). -1) and the weighting factor is wd,
The detecting means calculates changes Δda1 and Δdb1 of offset error correction values with respect to the X axis and Y axis on which the Lissajous waveform is drawn, using the following equations, respectively.
Figure 2014025871
The encoder output signal correction apparatus according to claim 2, wherein
リサージュ波形における位相角を2πθi/N (i=0〜N−1,θi=−0.5〜0.5)とし、それぞれの前記位相角における前記リサージュ波形の半径をRi (i=0〜N−1)とし、重み係数をwkとすると、
前記検出手段は、一方の正弦波状信号に対する他方の正弦波状信号の前記振幅誤差の補正値の変化分Δkabを次の数式を用いて算出する
Figure 2014025871
ことを特徴とする請求項2又は請求項3記載のエンコーダ出力信号補正装置。
The phase angle in the Lissajous waveform is 2πθi / N (i = 0 to N−1, θi = −0.5 to 0.5), and the radius of the Lissajous waveform at each phase angle is Ri (i = 0 to N). -1) and the weighting factor is wk,
The detecting means calculates a change Δkab of the correction value of the amplitude error of the other sine wave signal with respect to one sine wave signal using the following equation:
Figure 2014025871
The encoder output signal correction apparatus according to claim 2 or 3,
リサージュ波形における位相角を2πθi/N (i=0〜N−1,θi=−0.5〜0.5)とし、それぞれの前記位相角における前記リサージュ波形の半径をRi (i=0〜N−1)とし、重み係数をwkp1とすると、
前記検出手段は、前記位相誤差の補正値の変化分Δkp1を次の数式を用いて算出する
Figure 2014025871
ことを特徴とする請求項2乃至請求項4記載のエンコーダ出力信号補正装置。
The phase angle in the Lissajous waveform is 2πθi / N (i = 0 to N−1, θi = −0.5 to 0.5), and the radius of the Lissajous waveform at each phase angle is Ri (i = 0 to N). -1) and the weighting factor is wkp1,
The detecting means calculates a change Δkp1 in the correction value of the phase error using the following formula:
Figure 2014025871
5. The encoder output signal correction apparatus according to claim 2, wherein the encoder output signal correction apparatus is characterized in that
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