JP2014015943A - Control unit integrated type turbo-molecular pump - Google Patents
Control unit integrated type turbo-molecular pump Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014015943A JP2014015943A JP2013224029A JP2013224029A JP2014015943A JP 2014015943 A JP2014015943 A JP 2014015943A JP 2013224029 A JP2013224029 A JP 2013224029A JP 2013224029 A JP2013224029 A JP 2013224029A JP 2014015943 A JP2014015943 A JP 2014015943A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- control unit
- case
- pump
- opening
- pump body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
Description
本発明は、ロック機構付きのコネクタを用いた制御ユニット一体型ターボ分子ポンプに関する。 The present invention relates to a turbo unit pump integrated with a control unit using a connector with a lock mechanism.
ターボ分子ポンプや、ターボ分子ポンプが搭載される半導体製造装置においては、水冷による冷却機構が設けられることが多い。そのため、ポンプ本体と制御ユニットとを接続するコネクタには防滴仕様のものを用いるのが一般的である。一方で、防滴仕様のコネクタは高価なため、防滴仕様でないコネクタを用いて防滴機能を有する接続構造が提案されている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載のターボ分子ポンプは、制御ユニットとポンプ本体とを一体とすることで、防滴仕様のコネクタを用いることなく防滴構造としている。
In a turbo molecular pump or a semiconductor manufacturing apparatus equipped with a turbo molecular pump, a cooling mechanism by water cooling is often provided. For this reason, a drip-proof connector is generally used as a connector for connecting the pump body and the control unit. On the other hand, since a drip-proof connector is expensive, a connection structure having a drip-proof function using a non-drip-proof connector has been proposed (for example, see Patent Document 1). The turbo molecular pump described in
ところで、ターボ分子ポンプにおいてはコネクタが外れたり、不完全な接続状態になったりしないようにロック機構付きのコネクタが一般的に用いられる。しかし、特許文献1に記載の技術では、防滴性を確保するためにコネクタがケーシングで覆われるためロック機構付きのコネクタを使用できず、コネクタが取り付けられたパネルを、複数のボルトを用いてポンプ本体側に固定するようにしている。そのため、コネクタの固定に手間が掛かるとともに、固定する際に4本のボルトを均等に締め付けないと、コネクタが傾いてピンに無理な力が掛かるおそれがあった。
By the way, in the turbo molecular pump, a connector with a lock mechanism is generally used so that the connector is not disconnected or incompletely connected. However, in the technique described in
請求項1の発明の制御ユニット一体型ターボ分子ポンプは、ポンプ本体と、回路基板が収納された有底筒状のケースを有し、ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、ポンプ本体と制御ユニットとを電気的に接続し、電力や制御信号の授受を行うための接続装置と、制御ユニットおよびポンプ本体を一体状態に保持する保持部材と、を備え、接続装置は、ポンプ本体に設けられたポンプ側コネクタと、回路基板に実装され、有底筒状のケースのケース開口部がポンプ本体で塞がれるようにポンプ側コネクタを該ケースで覆うことにより、ポンプ側コネクタと接続される制御ユニット側コネクタと、ポンプ側コネクタと制御ユニット側コネクタとの接続状態をロックするロック機構と、を有し、ケースは、ロック機構と対向する位置に、ケース外部からロック機構を操作するためのロック操作用開口部を有し、保持部材は、一体状態の保持位置においてロック操作用開口部を水密封止する封止部を有することを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1に記載の制御ユニット一体型ターボ分子ポンプにおいて、保持部材に、一体状態の保持位置においてロック操作用開口部を水密封止する封止部に加えて、一体状態の保持位置と異なる第2の保持位置においてロック操作用開口部と対向し、該ロック操作用開口部を介してロック機構の操作を可能とする貫通孔を設けたものである。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載の制御ユニット一体型ターボ分子ポンプにおいて、有底筒状のケースとポンプ本体との間を水密封止するシール材を設けたものである。
請求項4の発明は、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の制御ユニット一体型ターボ分子ポンプにおいて、ケースは金属材料により形成され、回路基板に設けられた発熱素子は、その放熱部が記ケースに接触するように設けられていることを特徴とする。
A turbo unit pump integrated with a control unit according to
According to a second aspect of the present invention, there is provided the control unit-integrated turbomolecular pump according to the first aspect, wherein the holding member is integrated with the sealing portion for watertightly sealing the lock operation opening at the holding position in the integrated state. In the second holding position different from the holding position of the state, a through hole is provided which faces the lock operation opening and allows the lock mechanism to be operated through the lock operation opening.
According to a third aspect of the present invention, in the control unit-integrated turbomolecular pump according to the first or second aspect, a sealing material is provided for watertight sealing between the bottomed cylindrical case and the pump body.
According to a fourth aspect of the present invention, in the control unit-integrated turbomolecular pump according to any one of the first to third aspects, the case is formed of a metal material, and the heating element provided on the circuit board includes the heat dissipation portion. Is provided so as to contact the case.
本発明によれば、ケースで覆われた接続装置のロック機構を、ケース外部から容易に操作することができる。 According to the present invention, the locking mechanism of the connection device covered with the case can be easily operated from the outside of the case.
以下、図を参照して本発明によるターボ分子ポンプの実施の形態について説明する。図1に示すように、本実施の形態のターボ分子ポンプ1はポンプ本体2と制御ユニット3とを備え、ポンプ本体2と制御ユニット3とは結合部品300によって一体状態とされている。ポンプ本体2の吸気口フランジ11を真空チャンバ側のフランジに固定することにより、制御ユニット3を含むターボ分子ポンプ1全体が真空チャンバに取り付けられる。
Embodiments of a turbo molecular pump according to the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the turbo
ポンプ本体2のベース21の側面には、バックポンプを接続するための排気ポート22が設けられている。一般的に、制御ユニット3からポンプ本体2に電力や制御信号を入力するためのコネクタは、排気ポート22と反対側のベース側面に設けられる。すなわち、排気ポート22と反対側のベース側面にポンプ本体側コネクタであるレセプタクル30が設けられ、そのレセプタクル30に制御ユニット側コネクタであるプラグ31が接続される。レセプタクル30には、気密性に優れたハーメチックタイプのレセプタクルが用いられる。
An
図2〜4はベース21に固定された制御ユニット3の詳細を示す図である。図2はベース21の一部および制御ユニット3の断面を示す図である。制御ユニット3は、制御ユニット3の電装部品が収納されるケース32と、電装部品が実装される回路基板33とを備えている。ケース32は、アルミ等の金属で形成された有底筒状のケーシングである。ケース32は、ケース開口部321がベース21側を向くように、ベース21のケース取付部21aに横向きに取り付けられている。ケース取付部21aには、ケース32とケース取付部21aとの間を密封する水密用のシール材211が設けられている。
2 to 4 are diagrams showing details of the
ケース32の底面320には支柱34が立設され、その支柱34上(図示左側)には回路基板33が固定されている。電装部品は主に回路基板33のケース底面側に実装されており、発熱部品(例えば、パワー半導体素子)330に関しては、その放熱面330aが金属製のケース32の底面320に接するように設けられている。そのため、発熱部品330で発生した熱をケース外に効率よく放熱することができる。回路基板33のケース開口部321側には、ポンプ本体側のレセプタクル30に接続されるプラグ31が直接に実装されている。本実施の形態ではロック機構(例えば、バヨネット機構)付きのコネクタが用いられ、ロック機構311がプラグ31に回転自在に取り付けられている。このロッ
ク機構311を回転することにより、レセプタクル30に接続されたプラグ31のロック、アンロックが行われる。
A
レセプタクル30は、ベース21のケース取付部21aに取り付けられている。レセプタクル30とケース取付部21aとの間の気密には、真空用のOリングシール210が設けられている。結合部品300はL字形状を成す支持部材であって、水平部302はボルトB1によってポンプ本体2のベース底面に固定され、垂直部303はボルトB2によってケース32の底面320に固定されている。ボルトB1に関するボルト穴305は長穴となっている。また、ボルトB2に関するボルト穴307の内径寸法は、通常のボルト穴よりも大きく設定されている。
The
結合部品300によって、ケース32はベース21のケース取付部21aに付勢されるように保持される。ケース32はケース開口部321がケース取付部21aによって塞がれるように固定され、ケース32とケース取付部21aとの間には水密用のシール材211が設けられている。また、ケース32の図示下側の側面、すなわち、プラグ31が対向する側面には、ケース32の外側からプラグ31のロック機構311を回転操作するための開口322が形成されている。結合部品300の水平部302には、開口322と対向する位置に、開口322を塞ぐように水密用のシール材304が設けられている。その結果、ケース取付部21aに設けられたレセプタクル30がケース32によって覆われるとともに、ケース32の内側と外側とがシール材211,304によって水密封止されることになる。
The
図4に示すように、結合部品300の水平部302には切り欠き306が形成されている。矢印Cで示すように、ケース32の開口322からケース32内にアクセスしてプラグ31のロック機構311を操作する際には、この切り欠き306が開口322と対向するように結合部300の取り付け位置が調整される。なお、本実施の形態では、図4に示すような切り欠き306を水平部302に形成してケース内へのアクセスを可能としているが、図7に示すように、切り欠き306に代えて開口322と同様の形状を有する開口316を形成するようにしても良い。
As shown in FIG. 4, a
図3はコネクタ部分の分解斜視図である。ポンプ本体2のベース21に形成されたケース取付部21aは、取り付け面が平面状となっており、その取り付け面にシール部材211が設けられている。レセプタクル30は、マウント部30aをボルトB3により締結することによりケース取付部21aに固定される。一方、プラグ31は、そのマウント部312がボルトB4とナットN4とを用いて回路基板33に直接固定されている。マウント部312から突出している複数のコンタクトピン313は、回路基板33に形成されたスルーホール331に挿入され、半田付けされている。回路基板33をケース32に固定するための支柱34はボルトB5により回路基板33に固定されている。なお、支柱34は複数設けられているが、図3ではその内の一つのみを記載した。
FIG. 3 is an exploded perspective view of the connector portion. The
次に、制御ユニット3をポンプ本体1のベース21に取り付ける際の手順について、図5,6を参照して説明する。なお、図5(a),図6(a)は制御ユニット3および結合部品300をポンプ側方から見た断面図であり、図5(b)、図6(b)は制御ユニット3および結合部品300をポンプ底面側から見た図である。先ず、図5(a)、図5(b)に示すように、結合部品300をポンプ本体2のベース21の底面に取り付ける。このとき、ポンプ底面側から見たときに切り欠き306を通してレセプタクル30が見えるように、結合部品300の位置をX軸正方向にずらして固定する。
Next, a procedure for attaching the
その後、結合部品300の水平部302の上に制御ユニット3を載置し、図6(a),図6(b)に示すように制御ユニット3全体をポンプ本体側(X軸負方向)にずらして、
プラグ31をレセプタクル30に接続する。プラグ31をレセプタクル30に接続するために制御ユニット3を図示左側にずらすと、水平部302に形成された切り欠き306とケース32の開口322とが重なり、図6(b)に示すように、ポンプ底面側からレセプタクル30に接続されたプラグ31のロック機構311が見えるようになる。
Thereafter, the
図6(a),図6(b)に示すようにプラグ31をレセプタクル30に接続したならば、矢印Cに示すように水平部302の裏面側から、切り欠き306および開口322を介してケース32内にアクセスし、ロック機構311を回転してロックする。その後、ボルトB1を緩めて結合部品300をポンプ側へずらし、垂直部303によりケース32をケース取付部21aへと付勢する。そして、その付勢状態を保持した状態(図2に示す状態)のままボルトB1を締め付けて、結合部品300をベース21に固定する。その結果、水平部303に設けられたシール部材304が開口322を塞ぐ。最後に、ボルトB2により垂直部303とケース32の底面320(図2参照)とを締結する。
If the
なお、上述した実施の形態では、図6(b)に示す状態(一体状態の保持位置)において開口322と対向する位置に、切り欠き306や開口316などの貫通孔を水平部302に設けることで、結合部品300をベース21にボルト締結した状態で、ロック機構311にアクセスできるようにした。ただし、図8に示すように切り欠き306や開口316を設けていない結合部品300であっても良く、ケース32を保持する保持部材としての機構を十分有する。その場合、プラグ31をレセプタクル30に接続してロックをした後、ポンプ本体2に結合部品300を取り付けて、制御ユニット3を結合部品300で保持させるようにする。その結果、非遮蔽部を構成する水平部302がケース32の開口322と対向し、シール材304によって開口322が水密封止される。
In the embodiment described above, through holes such as the
このように、本実施の形態のターボ分子ポンプでは、ポンプ本体2を駆動制御する制御ユニット3は回路基板33が収納された有底筒状のケース32を有し、保持部材である結合部品300で制御ユニット3およびポンプ本体2を一体状態に保持する構成としている。そして、ポンプ本体2と制御ユニット3とを電気的に接続するコネクタは、ポンプ本体2に設けられたレセプタクル30と、回路基板33に実装され、有底筒状のケース32のケース開口部321がポンプ本体2で塞がれるようにレセプタクル30をケース32で覆うことにより、レセプタクル30と接続されるプラグ31と、レセプタクル30とプラグ31との接続状態をロックするロック機構311と、を有する。さらに、ケース32は、ロック機構311と対向する位置に、ケース外部からロック機構311を操作するための開口322を有する。また、結合部品300は、一体状態の保持位置において開口322を水密封止するシール材304を有する。
As described above, in the turbo molecular pump of the present embodiment, the
そのため、ポンプ本体2と制御ユニット3を接続するロック機能付きコネクタ(レセプタクル30、プラグ31、ロック機構311)を水密封止状態のケース内に収納するような一体構造であっても、容易にロック機構311の操作を行うことができる。また、ロック機能付きコネクタを使用することで、部品点数の削減、信頼性の向上を図ることができる。
Therefore, even if it is an integrated structure in which a connector with a lock function (
さらに、結合部品300に、一体状態の保持位置において開口322を水密封止するシール材304に加えて、一体状態の保持位置と異なる第2の保持位置において開口322と対向し、その開口322を介してロック機構311の操作を可能とする貫通孔としての切り欠き306や開口316を設けるようにしても良い。
Further, in addition to the
そのような構成とすることにより、結合部品300は、図2に示す一体状態の保持位置、および、図6(a)に示す第2の保持位置において制御ユニット3を保持することができる。その結果、ロック操作の際にコネクタに制御ユニット3全体の重量が掛かるのを防
止でき、ロック操作を容易に行うことができる。なお、開口322を介したロック機構311の操作がし易いように、図9に示すようなレバー311aをロック機構311に設けても良い。
With such a configuration, the
また、制御ユニット3側のプラグ31を回路基板33に実装することにより、プラグ31と回路基板33とを接続するためのハーネス等を省略することができ、制御ユニット3の小型化を図ることができる。
Further, by mounting the
上述した各実施形態はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施形態での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。 Each of the embodiments described above may be used alone or in combination. This is because the effects of the respective embodiments can be achieved independently or synergistically. In addition, the present invention is not limited to the above embodiment as long as the characteristics of the present invention are not impaired.
1:ターボ分子ポンプ、2:ポンプ本体、3:制御ユニット、21:ベース、21a:ケース取付部、30:レセプタクル、31:プラグ、32:ケース、33:回路基板、210:Oリングシール、211,304:シール材、300:結合部品、302:水平部、303:垂直部、306:切り欠き、311:ロック機構、316,322:開口、321:開口部、330:発熱部品、330a:放熱面 1: turbo molecular pump, 2: pump body, 3: control unit, 21: base, 21a: case mounting portion, 30: receptacle, 31: plug, 32: case, 33: circuit board, 210: O-ring seal, 211 , 304: sealing material, 300: coupling part, 302: horizontal part, 303: vertical part, 306: notch, 311: locking mechanism, 316, 322: opening, 321: opening part, 330: heat generating part, 330a: heat dissipation surface
Claims (4)
回路基板が収納された有底筒状のケースを有し、前記ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、
前記ポンプ本体と前記制御ユニットとを電気的に接続し、電力や制御信号の授受を行うための接続装置と、
前記制御ユニットおよび前記ポンプ本体を一体状態に保持する保持部材と、を備え、
前記接続装置は、
前記ポンプ本体に設けられたポンプ側コネクタと、
前記回路基板に実装され、前記有底筒状のケースのケース開口部が前記ポンプ本体で塞がれるように前記ポンプ側コネクタを該ケースで覆うことにより、前記ポンプ側コネクタと接続される制御ユニット側コネクタと、
前記ポンプ側コネクタと前記制御ユニット側コネクタとの接続状態をロックするロック機構と、を有し、
前記ケースは、前記ロック機構と対向する位置に、ケース外部から前記ロック機構を操作するためのロック操作用開口部を有し、
前記保持部材は、前記一体状態の保持位置において前記ロック操作用開口部を水密封止する封止部を有することを特徴とする制御ユニット一体型ターボ分子ポンプ。 A pump body;
A control unit having a bottomed cylindrical case in which a circuit board is housed, and driving and controlling the pump body;
A connection device for electrically connecting the pump body and the control unit, and for transferring power and control signals;
A holding member that holds the control unit and the pump body in an integrated state,
The connecting device is
A pump-side connector provided in the pump body;
A control unit mounted on the circuit board and connected to the pump-side connector by covering the pump-side connector with the case so that a case opening of the bottomed cylindrical case is closed with the pump body Side connector,
A locking mechanism that locks the connection state between the pump-side connector and the control unit-side connector,
The case has a lock operation opening for operating the lock mechanism from the outside of the case at a position facing the lock mechanism,
The control unit-integrated turbomolecular pump, wherein the holding member has a sealing portion for watertightly sealing the lock operation opening at the holding position in the integrated state.
前記保持部材は、前記一体状態の保持位置において前記ロック操作用開口部を水密封止する前記封止部に加えて、前記一体状態の保持位置と異なる第2の保持位置において前記ロック操作用開口部と対向し、該ロック操作用開口部を介して前記ロック機構の操作を可能とする貫通孔を有することを特徴とする制御ユニット一体型ターボ分子ポンプ。 The control unit-integrated turbomolecular pump according to claim 1,
In addition to the sealing portion that watertightly seals the opening for locking operation in the holding position in the integrated state, the holding member has the opening for locking operation in a second holding position different from the holding position in the integrated state. A control unit-integrated turbomolecular pump characterized by having a through-hole facing the portion and enabling the operation of the lock mechanism through the lock operation opening.
前記有底筒状のケースと前記ポンプ本体との間を水密封止するシール材を設けたことを特徴とする制御ユニット一体型ターボ分子ポンプ。 The control unit-integrated turbomolecular pump according to claim 1 or 2,
A control unit-integrated turbomolecular pump comprising a sealing material for watertight sealing between the bottomed cylindrical case and the pump body.
前記ケースは金属材料により形成され、
前記回路基板に設けられた発熱素子は、その放熱部が前記ケースに接触するように設けられていることを特徴とする制御ユニット一体型ターボ分子ポンプ。 The control unit-integrated turbomolecular pump according to any one of claims 1 to 3,
The case is made of a metal material,
The heat generating element provided on the circuit board is provided so that a heat radiating portion thereof is in contact with the case.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013224029A JP5733369B2 (en) | 2013-10-29 | 2013-10-29 | Turbo unit pump with integrated control unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013224029A JP5733369B2 (en) | 2013-10-29 | 2013-10-29 | Turbo unit pump with integrated control unit |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011000145U Continuation JP3166864U (en) | 2011-01-14 | 2011-01-14 | Turbo unit pump with integrated control unit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014015943A true JP2014015943A (en) | 2014-01-30 |
JP5733369B2 JP5733369B2 (en) | 2015-06-10 |
Family
ID=50110828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013224029A Active JP5733369B2 (en) | 2013-10-29 | 2013-10-29 | Turbo unit pump with integrated control unit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5733369B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019078233A (en) * | 2017-10-25 | 2019-05-23 | 株式会社島津製作所 | Vacuum pump |
-
2013
- 2013-10-29 JP JP2013224029A patent/JP5733369B2/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019078233A (en) * | 2017-10-25 | 2019-05-23 | 株式会社島津製作所 | Vacuum pump |
JP7022265B2 (en) | 2017-10-25 | 2022-02-18 | 株式会社島津製作所 | Vacuum pump |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5733369B2 (en) | 2015-06-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4661278B2 (en) | Turbo molecular pump | |
KR102379046B1 (en) | Electronic display rear cover and mounting bracket | |
US7997761B2 (en) | LED based hazardous location light with versatile mounting configurations | |
US10465691B2 (en) | Pump control having repositionable display | |
US11215186B2 (en) | Vacuum pump control apparatus and vacuum pump, and assembly method of vacuum pump control apparatus | |
WO2018126536A1 (en) | Motor, power device, power set, and aerial vehicle | |
US20170064865A1 (en) | Transmitter and electronic device | |
JP5733369B2 (en) | Turbo unit pump with integrated control unit | |
JP3138105U (en) | Turbo molecular pump | |
JP3166864U (en) | Turbo unit pump with integrated control unit | |
JP3172822U (en) | Vacuum pump | |
JP2010048169A (en) | Turbo molecular pump | |
JP2008096910A (en) | Display device | |
JP6451201B2 (en) | Vacuum pump | |
JP2018206958A (en) | Electronic equipment | |
KR102068549B1 (en) | Internal Protection Structure Integration Type Motor | |
JP5808703B2 (en) | Electronic control unit | |
JP5671692B2 (en) | Inverter unit integrated electric compressor | |
CN213757925U (en) | Cup seat assembly and food processor | |
JP2016509316A (en) | Server heat dissipation system | |
JP2013047501A (en) | Water supply device | |
US9019116B2 (en) | Signaling device comprising an audio signaling unit and comprising a light signaling unit | |
KR20060084715A (en) | Motor for vacuum cleaner | |
JP2000041363A (en) | Electric motor unit | |
JP2023142259A (en) | Electronic device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131111 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131029 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140827 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140902 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141031 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150317 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150330 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5733369 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |