JP3166864U

JP3166864U - Turbo unit pump with integrated control unit

Info

Publication number: JP3166864U
Application number: JP2011000145U
Authority: JP
Inventors: 中村　雅哉; 雅哉中村
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2011-01-14
Filing date: 2011-01-14
Publication date: 2011-03-24
Anticipated expiration: 2021-01-14

Abstract

【課題】ロック機構をケース外部から容易に操作することができる制御ユニット一体型ターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】ターボ分子ポンプは、ポンプ本体２と、制御ユニット３と、ポンプ本体２と制御ユニット３とを電気的に接続するためのレセプタクル３０，プラグ３１およびロック機構３１１と、制御ユニット３およびポンプ本体２を一体状態に保持する結合部品３００とを備える。回路基板３３に実装されたプラグ３１は、ケース開口部がポンプ本体２で塞がれるようにレセプタクル３０をケース３２で覆うことにより、レセプタクル３０と接続される。ケース３２は、ロック機構３１１と対向する位置に、ケース外部からロック機構３１１を操作するための開口３２２を有し、結合部品３００は、一体状態の保持位置において開口３２２を水密封止するシール材３０４を有する。【選択図】図２PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a turbo molecular pump integrated with a control unit capable of easily operating a lock mechanism from the outside of a case. SOLUTION: A turbo molecular pump includes a pump main body 2, a control unit 3, a receptacle 30, a plug 31, a lock mechanism 311 for electrically connecting the pump main body 2 and the control unit 3, a control unit 3 and the like. It includes a coupling component 300 that holds the pump body 2 in an integrated state. The plug 31 mounted on the circuit board 33 is connected to the receptacle 30 by covering the receptacle 30 with the case 32 so that the case opening is closed by the pump body 2. The case 32 has an opening 322 for operating the lock mechanism 311 from the outside of the case at a position facing the lock mechanism 311. It has 304. [Selection diagram] Fig. 2

Description

本考案は、ロック機構付きのコネクタを用いた制御ユニット一体型ターボ分子ポンプに関する。 The present invention relates to a turbo unit pump integrated with a control unit using a connector with a lock mechanism.

ターボ分子ポンプや、ターボ分子ポンプが搭載される半導体製造装置においては、水冷による冷却機構が設けられることが多い。そのため、ポンプ本体と制御ユニットとを接続するコネクタには防滴仕様のものを用いるのが一般的である。一方で、防滴仕様のコネクタは高価なため、防滴仕様でないコネクタを用いて防滴機能を有する接続構造が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のターボ分子ポンプは、制御ユニットとポンプ本体とを一体とすることで、防滴仕様のコネクタを用いることなく防滴構造としている。 In a turbo molecular pump or a semiconductor manufacturing apparatus equipped with a turbo molecular pump, a cooling mechanism by water cooling is often provided. For this reason, a drip-proof connector is generally used as a connector for connecting the pump body and the control unit. On the other hand, since a drip-proof connector is expensive, a connection structure having a drip-proof function using a non-drip-proof connector has been proposed (for example, see Patent Document 1). The turbo molecular pump described in Patent Document 1 has a drip-proof structure by integrating a control unit and a pump body without using a drip-proof connector.

実用新案登録第３１３８１０５号公報Utility Model Registration No. 3138105

ところで、ターボ分子ポンプにおいてはコネクタが外れたり、不完全な接続状態になったりしないようにロック機構付きのコネクタが一般的に用いられる。しかし、特許文献１に記載の技術では、防滴性を確保するためにコネクタがケーシングで覆われるためロック機構付きのコネクタを使用できず、コネクタが取り付けられたパネルを、複数のボルトを用いてポンプ本体側に固定するようにしている。そのため、コネクタの固定に手間が掛かるとともに、固定する際に４本のボルトを均等に締め付けないと、コネクタが傾いてピンに無理な力が掛かるおそれがあった。 By the way, in the turbo molecular pump, a connector with a lock mechanism is generally used so that the connector is not disconnected or incompletely connected. However, in the technique described in Patent Document 1, a connector with a lock mechanism cannot be used because the connector is covered with a casing in order to ensure drip-proofness, and the panel to which the connector is attached is attached using a plurality of bolts. It is fixed to the pump body. For this reason, it takes time to fix the connector, and if the four bolts are not tightened evenly when fixing, the connector may tilt and an excessive force may be applied to the pins.

請求項１の考案の制御ユニット一体型ターボ分子ポンプは、ポンプ本体と、回路基板が収納された有底筒状のケースを有し、ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、ポンプ本体と制御ユニットとを電気的に接続し、電力や制御信号の授受を行うための接続装置と、制御ユニットおよびポンプ本体を一体状態に保持する保持部材と、を備え、接続装置は、ポンプ本体に設けられたポンプ側コネクタと、回路基板に実装され、有底筒状のケースのケース開口部がポンプ本体で塞がれるようにポンプ側コネクタを該ケースで覆うことにより、ポンプ側コネクタと接続される制御ユニット側コネクタと、ポンプ側コネクタと制御ユニット側コネクタとの接続状態をロックするロック機構と、を有し、ケースは、ロック機構と対向する位置に、ケース外部からロック機構を操作するためのロック操作用開口部を有し、保持部材は、一体状態の保持位置においてロック操作用開口部を水密封止する封止部を有することを特徴とする。
請求項２の考案は、請求項１に記載の制御ユニット一体型ターボ分子ポンプにおいて、保持部材に、一体状態の保持位置においてロック操作用開口部を水密封止する封止部に加えて、一体状態の保持位置と異なる第２の保持位置においてロック操作用開口部と対向し、該ロック操作用開口部を介してロック機構の操作を可能とする貫通孔を設けたものである。
請求項３の考案は、請求項１または２に記載の制御ユニット一体型ターボ分子ポンプにおいて、有底筒状のケースとポンプ本体との間を水密封止するシール材を設けたものである。
請求項４の考案は、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の制御ユニット一体型ターボ分子ポンプにおいて、ケースは金属材料により形成され、回路基板に設けられた発熱素子は、その放熱部が記ケースに接触するように設けられていることを特徴とする。 A turbo unit pump integrated with a control unit according to claim 1 has a pump body, a bottomed cylindrical case in which a circuit board is housed, a control unit that drives and controls the pump body, a pump body, and a control unit And a holding device for holding the control unit and the pump main body in an integrated state, and the connection device is provided in the pump main body. A pump-side connector and a control unit mounted on the circuit board and connected to the pump-side connector by covering the pump-side connector with the case so that the case opening of the bottomed cylindrical case is closed with the pump body And a lock mechanism that locks the connection state between the pump-side connector and the control unit-side connector. Has a locking opening for operating the locking mechanism from the outside, the holding member is characterized by having a sealing portion for watertight seal a locking opening in the holding position of the integral state.
The invention of claim 2 is a turbo unit pump integrated with a control unit according to claim 1, wherein the holding member is integrated with the sealing portion for watertightly sealing the lock operation opening at the holding position in the integrated state. In the second holding position different from the holding position of the state, a through hole is provided which faces the lock operation opening and allows the lock mechanism to be operated through the lock operation opening.
The invention of claim 3 is the control unit-integrated turbomolecular pump according to claim 1 or 2, wherein a sealing material is provided for watertight sealing between the bottomed cylindrical case and the pump body.
The invention of claim 4 is the control unit-integrated turbomolecular pump according to any one of claims 1 to 3, wherein the case is made of a metal material, and the heat generating element provided on the circuit board has a heat radiating portion thereof. Is provided in contact with the case.

本考案によれば、ケースで覆われた接続装置のロック機構を、ケース外部から容易に操作することができる。 According to the present invention, the locking mechanism of the connection device covered with the case can be easily operated from the outside of the case.

本実施の形態のターボ分子ポンプ１の外観を示す図である。It is a figure which shows the external appearance of the turbo-molecular pump 1 of this Embodiment. ベース２１に固定された制御ユニット３の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the control unit 3 fixed to a base 21. コネクタ部分の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a connector part. 制御ユニット３と結合部品３００とを示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a control unit 3 and a coupling component 300. 制御ユニット３の取り付け手順を説明する図である。It is a figure explaining the attachment procedure of the control unit. 制御ユニット３の取り付け手順を説明する図である。It is a figure explaining the attachment procedure of the control unit. 結合部品３００の他の例を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing another example of a coupling component 300. 貫通孔の無い結合部品３００を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the coupling component 300 without a through-hole. レバー３１１ａが設けられたロック機構３１１を示す図である。It is a figure which shows the lock mechanism 311 in which the lever 311a was provided.

以下、図を参照して本考案によるターボ分子ポンプの実施の形態について説明する。図１に示すように、本実施の形態のターボ分子ポンプ１はポンプ本体２と制御ユニット３とを備え、ポンプ本体２と制御ユニット３とは結合部品３００によって一体状態とされている。ポンプ本体２の吸気口フランジ１１を真空チャンバ側のフランジに固定することにより、制御ユニット３を含むターボ分子ポンプ１全体が真空チャンバに取り付けられる。 Embodiments of a turbo molecular pump according to the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the turbo molecular pump 1 of the present embodiment includes a pump main body 2 and a control unit 3, and the pump main body 2 and the control unit 3 are integrated by a coupling component 300. By fixing the inlet flange 11 of the pump body 2 to the flange on the vacuum chamber side, the entire turbo molecular pump 1 including the control unit 3 is attached to the vacuum chamber.

ポンプ本体２のベース２１の側面には、バックポンプを接続するための排気ポート２２が設けられている。一般的に、制御ユニット３らポンプ本体２に電力や制御信号を入力するためのコネクタは、排気ポート２２と反対側のベース側面に設けられる。すなわち、排気ポート２２と反対側のベース側面にポンプ本体側コネクタであるレセプタクル３０が設けられ、そのレセプタクル３０に制御ユニット側コネクタであるプラグ３１が接続される。レセプタクル３０には、気密性に優れたハーメチックタイプのレセプタクルが用いられる。 An exhaust port 22 for connecting a back pump is provided on the side surface of the base 21 of the pump body 2. In general, a connector for inputting power and control signals from the control unit 3 to the pump body 2 is provided on the side surface of the base opposite to the exhaust port 22. That is, a receptacle 30 that is a pump body side connector is provided on the side of the base opposite to the exhaust port 22, and a plug 31 that is a control unit side connector is connected to the receptacle 30. For the receptacle 30, a hermetic type receptacle having excellent airtightness is used.

図２〜４はベース２１に固定された制御ユニット３の詳細を示す図である。図２はベース２１の一部および制御ユニット３の断面を示す図である。制御ユニット３は、制御ユニット３の電装部品が収納されるケース３２と、電装部品が実装される回路基板３３とを備えている。ケース３２は、アルミ等の金属で形成された有底筒状のケーシングである。ケース３２は、ケース開口部３２１がベース２１側を向くように、ベース２１のケース取付部２１ａに横向きに取り付けられている。ケース取付部２１ａには、ケース３２とケース取付部２１ａとの間を密封する水密用のシール材２１１が設けられている。 2 to 4 are diagrams showing details of the control unit 3 fixed to the base 21. FIG. 2 is a view showing a part of the base 21 and a cross section of the control unit 3. The control unit 3 includes a case 32 in which the electrical components of the control unit 3 are stored, and a circuit board 33 on which the electrical components are mounted. The case 32 is a bottomed cylindrical casing formed of a metal such as aluminum. The case 32 is attached sideways to the case attaching portion 21a of the base 21 so that the case opening 321 faces the base 21 side. The case attachment portion 21a is provided with a watertight seal material 211 that seals between the case 32 and the case attachment portion 21a.

ケース３２の底面３２０には支柱３４が立設され、その支柱３４上（図示左側）には回路基板３３が固定されている。電装部品は主に回路基板３３のケース底面側に実装されており、発熱部品（例えば、パワー半導体素子）３３０に関しては、その放熱面３３０ａが金属製のケース３２の底面３２０に接するように設けられている。そのため、発熱部品３３０で発生した熱をケース外に効率よく放熱することができる。回路基板３３のケース開口部３２１側には、ポンプ本体側のレセプタクル３０に接続されるプラグ３１が直接に実装されている。本実施の形態ではロック機構（例えば、バヨネット機構）付きのコネクタが用いられ、ロック機構３１１がプラグ３１に回転自在に取り付けられている。このロック機構３１１を回転することにより、レセプタクル３０に接続されたプラグ３１のロック、アンロックが行われる。 A column 34 is erected on the bottom surface 320 of the case 32, and the circuit board 33 is fixed on the column 34 (left side in the drawing). The electrical components are mainly mounted on the case bottom surface side of the circuit board 33. With respect to the heat generating component (for example, power semiconductor element) 330, the heat radiating surface 330a is provided in contact with the bottom surface 320 of the metal case 32. ing. Therefore, the heat generated in the heat generating component 330 can be efficiently radiated outside the case. A plug 31 connected to the receptacle 30 on the pump body side is directly mounted on the case opening 321 side of the circuit board 33. In the present embodiment, a connector with a lock mechanism (for example, a bayonet mechanism) is used, and the lock mechanism 311 is rotatably attached to the plug 31. By rotating the lock mechanism 311, the plug 31 connected to the receptacle 30 is locked and unlocked.

レセプタクル３０は、ベース２１のケース取付部２１ａに取り付けられている。レセプタクル３０とケース取付部２１ａとの間の気密には、真空用のＯリングシール２１０が設けられている。結合部品３００はＬ字形状を成す支持部材であって、水平部３０２はボルトＢ１によってポンプ本体２のベース底面に固定され、垂直部３０３はボルトＢ２によってケース３２の底面３２０に固定されている。ボルトＢ１に関するボルト穴３０５は長穴となっている。また、ボルトＢ２に関するボルト穴３０７の内径寸法は、通常のボルト穴よりも大きく設定されている。 The receptacle 30 is attached to the case attachment portion 21 a of the base 21. An O-ring seal 210 for vacuum is provided for airtightness between the receptacle 30 and the case mounting portion 21a. The coupling component 300 is an L-shaped support member. The horizontal portion 302 is fixed to the bottom surface of the base of the pump body 2 by bolts B1, and the vertical portion 303 is fixed to the bottom surface 320 of the case 32 by bolts B2. The bolt hole 305 related to the bolt B1 is a long hole. Further, the inner diameter of the bolt hole 307 with respect to the bolt B2 is set larger than that of a normal bolt hole.

結合部品３００によって、ケース３２はベース２１のケース取付部２１ａに付勢されるように保持される。ケース３２はケース開口部３２１がケース取付部２１ａによって塞がれるように固定され、ケース３２とケース取付部２１ａとの間には水密用のシール材２１１が設けられている。また、ケース３２の図示下側の側面、すなわち、プラグ３１が対向する側面には、ケース３２の外側からプラグ３１のロック機構３１１を回転操作するための開口３２２が形成されている。結合部品３００の水平部３０２には、開口３２２と対向する位置に、開口３２２を塞ぐように水密用のシール材３０４が設けられている。その結果、ケース取付部２１ａに設けられたレセプタクル３０がケース３２によって覆われるとともに、ケース３２の内側と外側とがシール材２１１，３０４によって水密封止されることになる。 The case 32 is held by the coupling component 300 so as to be urged by the case attachment portion 21 a of the base 21. The case 32 is fixed so that the case opening 321 is closed by the case attachment portion 21a, and a watertight seal material 211 is provided between the case 32 and the case attachment portion 21a. In addition, an opening 322 for rotating the lock mechanism 311 of the plug 31 from the outside of the case 32 is formed on the lower side surface of the case 32 in the figure, that is, the side surface facing the plug 31. In the horizontal portion 302 of the coupling component 300, a watertight seal material 304 is provided at a position facing the opening 322 so as to close the opening 322. As a result, the receptacle 30 provided in the case attachment portion 21 a is covered with the case 32, and the inside and outside of the case 32 are watertightly sealed with the sealing materials 211 and 304.

図４に示すように、結合部品３００の水平部３０２には切り欠き３０６が形成されている。矢印Ｃで示すように、ケース３２の開口３２２からケース３２内にアクセスしてプラグ３１のロック機構３１１を操作する際には、この切り欠き３０６が開口３２２と対向するように結合部３００の取り付け位置が調整される。なお、本実施の形態では、図４に示すような切り欠き３０６を水平部３０２に形成してケース内へのアクセスを可能としているが、図７に示すように、切り欠き３０６に代えて開口３２２と同様の形状を有する開口３１６を形成するようにしても良い。 As shown in FIG. 4, a cutout 306 is formed in the horizontal portion 302 of the coupling component 300. As indicated by an arrow C, when the case 32 is accessed from the opening 322 of the case 32 and the lock mechanism 311 of the plug 31 is operated, the coupling portion 300 is attached so that the notch 306 faces the opening 322. The position is adjusted. In the present embodiment, a cutout 306 as shown in FIG. 4 is formed in the horizontal portion 302 to allow access to the inside of the case. However, as shown in FIG. An opening 316 having the same shape as 322 may be formed.

図３はコネクタ部分の分解斜視図である。ポンプ本体２のベース２１に形成されたケース取付部２１ａは、取り付け面が平面状となっており、その取り付け面にシール部材２１１が設けられている。レセプタクル３０は、マウント部３０ａをボルトＢ３により締結することによりケース取付部２１ａに固定される。一方、プラグ３１は、そのマウント部３１２がボルトＢ４とナットＮ４とを用いて回路基板３３に直接固定されている。マウント部３１２から突出している複数のコンタクトピン３１３は、回路基板３３に形成されたスルーホール３３１に挿入され、半田付けされている。回路基板３３をケース３２に固定するための支柱３４はボルトＢ５により回路基板３３に固定されている。なお、支柱３４は複数設けられているが、図３ではその内の一つのみを記載した。 FIG. 3 is an exploded perspective view of the connector portion. The case mounting portion 21a formed on the base 21 of the pump body 2 has a flat mounting surface, and a sealing member 211 is provided on the mounting surface. The receptacle 30 is fixed to the case attachment portion 21a by fastening the mount portion 30a with a bolt B3. On the other hand, the mounting portion 312 of the plug 31 is directly fixed to the circuit board 33 using bolts B4 and nuts N4. The plurality of contact pins 313 protruding from the mount portion 312 are inserted into the through holes 331 formed in the circuit board 33 and soldered. The support 34 for fixing the circuit board 33 to the case 32 is fixed to the circuit board 33 by bolts B5. In addition, although the support | pillar 34 is provided with two or more, only one of them was described in FIG.

次に、制御ユニット３をポンプ本体１のベース２１に取り付ける際の手順について、図５，６を参照して説明する。なお、図５（ａ），図６（ａ）は制御ユニット３および結合部品３００をポンプ側方から見た断面図であり、図５（ｂ）、図６（ｂ）は制御ユニット３および結合部品３００をポンプ底面側から見た図である。先ず、図５（ａ）、図５（ｂ）に示すように、結合部品３００をポンプ本体２のベース２１の底面に取り付ける。このとき、ポンプ底面側から見たときに切り欠き３０６を通してレセプタクル３０が見えるように、結合部品３００の位置をＸ軸正方向にずらして固定する。 Next, a procedure for attaching the control unit 3 to the base 21 of the pump body 1 will be described with reference to FIGS. 5 (a) and 6 (a) are cross-sectional views of the control unit 3 and the coupling component 300 as viewed from the side of the pump, and FIGS. 5 (b) and 6 (b) illustrate the control unit 3 and the coupling unit. It is the figure which looked at the components 300 from the pump bottom face side. First, as shown in FIGS. 5A and 5B, the coupling component 300 is attached to the bottom surface of the base 21 of the pump body 2. At this time, the position of the coupling component 300 is shifted and fixed in the X-axis positive direction so that the receptacle 30 can be seen through the notch 306 when viewed from the bottom side of the pump.

その後、結合部品３００の水平部３０２の上に制御ユニット３を載置し、図６（ａ），図６（ｂ）に示すように制御ユニット３全体をポンプ本体側（Ｘ軸負方向）にずらして、プラグ３１をレセプタクル３０に接続する。プラグ３１をレセプタクル３０に接続するために制御ユニット３を図示左側にずらすと、水平部３０２に形成された切り欠き３０６とケース３２の開口３２２とが重なり、図６（ｂ）に示すように、ポンプ底面側からレセプタクル３０に接続されたプラグ３１のロック機構３１１が見えるようになる。 Thereafter, the control unit 3 is placed on the horizontal portion 302 of the coupling component 300, and the entire control unit 3 is placed on the pump body side (X-axis negative direction) as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b). The plug 31 is connected to the receptacle 30 by shifting. When the control unit 3 is shifted to the left in the figure in order to connect the plug 31 to the receptacle 30, the notch 306 formed in the horizontal portion 302 and the opening 322 of the case 32 overlap, and as shown in FIG. The lock mechanism 311 of the plug 31 connected to the receptacle 30 can be seen from the bottom side of the pump.

図６（ａ），図６（ｂ）に示すようにプラグ３１をレセプタクル３０に接続したならば、矢印Ｃに示すように水平部３０２の裏面側から、切り欠き３０６および開口３２２を介してケース３２内にアクセスし、ロック機構３１１を回転してロックする。その後、ボルトＢ１を緩めて結合部品３００をポンプ側へずらし、垂直部３０３によりケース３２をケース取付部２１ａへと付勢する。そして、その付勢状態を保持した状態（図２に示す状態）のままボルトＢ１を締め付けて、結合部品３００をベース２１に固定する。その結果、水平部３０３に設けられたシール部材３０４が開口３２２を塞ぐ。最後に、ボルトＢ２により垂直部３０３とケース３２の底面３２０（図２参照）とを締結する。 If the plug 31 is connected to the receptacle 30 as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b), the case from the back surface side of the horizontal portion 302 through the notch 306 and the opening 322 as shown by the arrow C. 32 is accessed and the lock mechanism 311 is rotated and locked. Thereafter, the bolt B1 is loosened to shift the coupling component 300 to the pump side, and the case 32 is urged toward the case attachment portion 21a by the vertical portion 303. Then, the bolt B <b> 1 is tightened with the biased state maintained (the state shown in FIG. 2) to fix the coupling component 300 to the base 21. As a result, the seal member 304 provided in the horizontal portion 303 closes the opening 322. Finally, the vertical portion 303 and the bottom surface 320 (see FIG. 2) of the case 32 are fastened by the bolt B2.

なお、上述した実施の形態では、図６（ｂ）に示す状態（一体状態の保持位置）において開口３２２と対向する位置に、切り欠き３０６や開口３１６などの貫通孔を水平部３０２に設けることで、結合部品３００をベース２１にボルト締結した状態で、ロック機構３１１にアクセスできるようにした。ただし、図８に示すように切り欠き３０６や開口３１６を設けていない結合部品３００であっても良く、ケース３２を保持する保持部材としての機構を十分有する。その場合、プラグ３１をレセプタクル３０に接続してロックをした後、ポンプ本体２に結合部品３００を取り付けて、制御ユニット３を結合部品３００で保持させるようにする。その結果、非遮蔽部を構成する水平部３０２がケース３２の開口３２２と対向し、シール材３０４によって開口３２２が水密封止される。 In the embodiment described above, through holes such as the notch 306 and the opening 316 are provided in the horizontal portion 302 at a position facing the opening 322 in the state shown in FIG. Thus, the lock mechanism 311 can be accessed in a state where the coupling component 300 is bolted to the base 21. However, as shown in FIG. 8, the coupling component 300 may not be provided with the notch 306 or the opening 316, and has a sufficient mechanism as a holding member that holds the case 32. In that case, after connecting the plug 31 to the receptacle 30 and locking it, the coupling part 300 is attached to the pump body 2 so that the control unit 3 is held by the coupling part 300. As a result, the horizontal portion 302 constituting the non-shielding portion faces the opening 322 of the case 32, and the opening 322 is watertightly sealed by the sealing material 304.

このように、本実施の形態のターボ分子ポンプでは、ポンプ本体２を駆動制御する制御ユニット３は回路基板３３が収納された有底筒状のケース３２を有し、保持部材である結合部品３００で制御ユニット３およびポンプ本体２を一体状態に保持する構成としている。そして、ポンプ本体２と制御ユニット３とを電気的に接続するコネクタは、ポンプ本体２に設けられたレセプタクル３０と、回路基板３３に実装され、有底筒状のケース３２のケース開口部３２１がポンプ本体２で塞がれるようにレセプタクル３０をケース３２で覆うことにより、レセプタクル３０と接続されるプラグ３１と、レセプタクル３０とプラグ３１との接続状態をロックするロック機構３１１と、を有する。さらに、ケース３２は、ロック機構３１１と対向する位置に、ケース外部からロック機構３１１を操作するための開口３２２を有する。また、結合部品３００は、一体状態の保持位置において開口３２２を水密封止するシール材３０４を有する。 As described above, in the turbo molecular pump of the present embodiment, the control unit 3 that drives and controls the pump body 2 includes the bottomed cylindrical case 32 in which the circuit board 33 is accommodated, and the coupling component 300 that is a holding member. Thus, the control unit 3 and the pump body 2 are held in an integrated state. A connector for electrically connecting the pump body 2 and the control unit 3 is mounted on the receptacle 30 provided on the pump body 2 and the circuit board 33, and the case opening 321 of the bottomed cylindrical case 32 is provided. The receptacle 30 is covered with a case 32 so as to be closed by the pump body 2, thereby having a plug 31 connected to the receptacle 30 and a lock mechanism 311 that locks the connection state between the receptacle 30 and the plug 31. Further, the case 32 has an opening 322 for operating the lock mechanism 311 from the outside of the case at a position facing the lock mechanism 311. In addition, the coupling component 300 includes a sealing material 304 that seals the opening 322 in a watertight manner in the integrated holding position.

そのため、ポンプ本体２と制御ユニット３を接続するロック機能付きコネクタ（レセプタクル３０、プラグ３１、ロック機構３１１）を水密封止状態のケース内に収納するような一体構造であっても、容易にロック機構３１１の操作を行うことができる。また、ロック機能付きコネクタを使用することで、部品点数の削減、信頼性の向上を図ることができる。 Therefore, even if it is an integrated structure in which a connector with a lock function (receptacle 30, plug 31, lock mechanism 311) for connecting the pump body 2 and the control unit 3 is housed in a watertight sealed case, it can be easily locked. The mechanism 311 can be operated. Further, by using the connector with a lock function, the number of parts can be reduced and the reliability can be improved.

さらに、結合部品３００に、一体状態の保持位置において開口３２２を水密封止するシール材３０４に加えて、一体状態の保持位置と異なる第２の保持位置において開口３２２と対向し、その開口３２２を介してロック機構３１１の操作を可能とする貫通孔としての切り欠き３０６や開口３１６を設けるようにしても良い。 Further, in addition to the sealant 304 that seals the opening 322 in a watertight seal at the holding position in the integrated state, the coupling member 300 is opposed to the opening 322 in a second holding position different from the holding position in the integrated state, and the opening 322 is formed. A notch 306 or an opening 316 may be provided as a through hole that allows the lock mechanism 311 to be operated.

そのような構成とすることにより、結合部品３００は、図２に示す一体状態の保持位置、および、図６（ａ）に示す第２の保持位置において制御ユニット３を保持することができる。その結果、ロック操作の際にコネクタに制御ユニット３全体の重量が掛かるのを防止でき、ロック操作を容易に行うことができる。なお、開口３２２を介したロック機構３１１の操作がし易いように、図９に示すようなレバー３１１ａをロック機構３１１に設けても良い。 With such a configuration, the coupling component 300 can hold the control unit 3 at the holding position in the integrated state shown in FIG. 2 and the second holding position shown in FIG. As a result, the overall weight of the control unit 3 can be prevented from being applied to the connector during the locking operation, and the locking operation can be easily performed. Note that a lever 311 a as shown in FIG. 9 may be provided in the lock mechanism 311 so that the lock mechanism 311 can be easily operated via the opening 322.

また、制御ユニット３側のプラグ３１を回路基板３３に実装することにより、プラグ３１と回路基板３３とを接続するためのハーネス等を省略することができ、制御ユニット３の小型化を図ることができる。 Further, by mounting the plug 31 on the control unit 3 side on the circuit board 33, a harness or the like for connecting the plug 31 and the circuit board 33 can be omitted, and the control unit 3 can be downsized. it can.

上述した各実施形態はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施形態での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、本考案の特徴を損なわない限り、本考案は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。 Each of the embodiments described above may be used alone or in combination. This is because the effects of the respective embodiments can be achieved independently or synergistically. In addition, the present invention is not limited to the above embodiment as long as the features of the present invention are not impaired.

１：ターボ分子ポンプ、２：ポンプ本体、３：制御ユニット、２１：ベース、２１ａ：ケース取付部、３０：レセプタクル、３１：プラグ、３２：ケース、３３：回路基板、２１０：Ｏリングシール、２１１，３０４：シール材、３００：結合部品、３０２：水平部、３０３：垂直部、３０６：切り欠き、３１１：ロック機構、３１６，３２２：開口、３２１：開口部、３３０：発熱部品、３３０ａ：放熱面 1: turbo molecular pump, 2: pump body, 3: control unit, 21: base, 21a: case mounting portion, 30: receptacle, 31: plug, 32: case, 33: circuit board, 210: O-ring seal, 211 , 304: sealing material, 300: coupling part, 302: horizontal part, 303: vertical part, 306: notch, 311: lock mechanism, 316, 322: opening, 321: opening part, 330: heat generating part, 330a: heat dissipation surface

Claims

A pump body;
A control unit having a bottomed cylindrical case in which a circuit board is housed, and driving and controlling the pump body;
A connection device for electrically connecting the pump body and the control unit, and for transferring power and control signals;
A holding member that holds the control unit and the pump body in an integrated state,
The connecting device is
A pump-side connector provided in the pump body;
A control unit mounted on the circuit board and connected to the pump-side connector by covering the pump-side connector with the case so that a case opening of the bottomed cylindrical case is closed with the pump body Side connector,
A lock mechanism for locking the connection state between the pump side connector and the control unit side connector,
The case has a lock operation opening for operating the lock mechanism from the outside of the case at a position facing the lock mechanism,
The control unit-integrated turbomolecular pump, wherein the holding member has a sealing portion for watertightly sealing the lock operation opening at the holding position in the integrated state.

The control unit-integrated turbomolecular pump according to claim 1,
In addition to the sealing portion that watertightly seals the opening for locking operation in the holding position in the integrated state, the holding member has the opening for locking operation in a second holding position different from the holding position in the integrated state. A control unit-integrated turbomolecular pump characterized by having a through-hole facing the portion and enabling the operation of the lock mechanism through the lock operation opening.

The control unit-integrated turbomolecular pump according to claim 1 or 2,
A control unit-integrated turbomolecular pump comprising a sealing material for watertight sealing between the bottomed cylindrical case and the pump body.

The control unit-integrated turbomolecular pump according to any one of claims 1 to 3,
The case is made of a metal material,
The heat generating element provided on the circuit board is provided so that a heat radiating portion thereof is in contact with the case.