JP2014013783A - Method of manufacturing solar cell - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method capable of manufacturing a solar cell having highly accurate shape of electrodes.SOLUTION: A downstream-side end portion 21a1 of a first opening 21, which is a second opening-side end portion located closer to the other side of one direction y than to a second opening 22a, includes a first portion 23 and a second portion 24. The first portion 23 is tapered toward a second primary surface 20b side of a photoelectric conversion portion 10 side from a first primary surface 20a at the opposite side of the photoelectric conversion 10 of a printing plate 20. The second portion 24 is located closer to the photoelectric conversion portion 10 side than to the first portion 23. The second portion 24 has the same opening area as that at an apex of the first portion 23 at the photoelectric conversion portion 10 side.

Description

本発明は、太陽電池の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a solar cell.

近年、環境負荷が小さいエネルギー源として、太陽電池が大いに注目されている。太陽電池は、受光することにより電子や正孔などのキャリアを生成させる光電変換部と、光電変換部において生成したキャリアを収集する電極とを有している。このキャリアを収集するための電極としては、複数のフィンガー電極部と、それら複数のフィンガー電極部と交差しており、複数のフィンガー電極部を電気的に接続しているバスバーとを有する電極(以下、「くし型電極」とすることがある。)が広く用いられている。   In recent years, solar cells have attracted a great deal of attention as an energy source with a low environmental load. A solar cell has a photoelectric conversion unit that generates carriers such as electrons and holes by receiving light, and an electrode that collects carriers generated in the photoelectric conversion unit. As an electrode for collecting the carrier, an electrode having a plurality of finger electrode portions and a bus bar that intersects with the plurality of finger electrode portions and electrically connects the plurality of finger electrode portions (hereinafter referred to as the electrodes) , "Comb-shaped electrode") is widely used.

くし型電極の形成方法としては、例えば、下記の特許文献1においてスクリーン印刷による形成方法が提案されている。特許文献1には、くし型電極形成用のスクリーン印刷版として、フィンガー電極部形成用の開口のうち、バスバー部形成用の開口に対する接続部の一方側部分の幅が他方側部分の幅よりも小さいスクリーン印刷版が提案されている。このスクリーン印刷版を用いて、他方側から一方側にスキージを移動させて電極の印刷を行うことにより、フィンガー電極部のバスバー部との接続部が他の部分よりも太くなることを抑制できる旨が特許文献1に記載されている。   As a method for forming a comb-type electrode, for example, the following Patent Document 1 proposes a method of forming by screen printing. In Patent Document 1, as a screen printing plate for forming a comb-shaped electrode, among the openings for forming the finger electrodes, the width of one side portion of the connecting portion to the opening for forming the bus bar portion is larger than the width of the other side portion. A small screen printing version has been proposed. By using this screen printing plate to move the squeegee from the other side to the one side to perform electrode printing, it is possible to prevent the connection portion between the finger electrode portion and the bus bar portion from becoming thicker than the other portions. Is described in Patent Document 1.

特許第4391803号公報Japanese Patent No. 4391803

しかしながら、特許文献1に記載のスクリーン印刷版では、フィンガー電極部形成用の開口の一部を他の部分よりも幅狭にする必要があるため、細いフィンガー電極部を形成しようとすると、その幅狭部の幅が小さくなりすぎる。このため、ペーストが幅狭部を通過しなくなる。従って、特許文献1に記載のスクリーン印刷版を用いたのでは、光電変換効率を高めるためにフィンガー電極部が細線化された太陽電池を好適に製造できないという問題がある。   However, in the screen printing plate described in Patent Document 1, it is necessary to make a part of the opening for forming the finger electrode part narrower than the other part. The width of the narrow part becomes too small. For this reason, the paste does not pass through the narrow portion. Therefore, when the screen printing plate described in Patent Document 1 is used, there is a problem that it is not possible to suitably manufacture a solar cell in which the finger electrode portions are thinned in order to increase the photoelectric conversion efficiency.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、電極の形状精度が高い太陽電池を製造し得る方法を提供することにある。   This invention is made | formed in view of this point, The objective is to provide the method which can manufacture a solar cell with the high shape precision of an electrode.

本発明に係る太陽電池の製造方法は、光電変換部と、光電変換部の一主面上に配された電極とを備え、電極が一方向に延びるフィンガー電極部と、フィンガー電極部に電気的に接続されており、フィンガー電極部と交差しているバスバー部とを有する太陽電池を製造する方法に関する。本発明に係る太陽電池の製造方法は、光電変換部の一主面の上に印刷版を配置する工程と、印刷版の上に導電性ペーストを供給し、印刷版の上を、スキージを一方向の一方側から他方側に向けて移動させることにより電極を形成する工程とを備える。印刷版は、第1の開口と、第2の開口とを有する。第1の開口は、フィンガー電極部を形成するための開口である。第2の開口は、バスバー部を形成するための開口である。第2の開口は、第1の開口と交差している。第1の開口の第2の開口よりも一方向の他方側に位置する下流側部分の第2の開口側端部である下流側端部は、第1の部分と、第2の部分とを含む。第1の部分は、印刷版の光電変換部とは反対側の第1の主面から光電変換部側の第2の主面側に向かって先細っている。第2の部分は、第1の部分よりも光電変換部側に位置している。第2の部分は、第1の部分の光電変換部側の先端における開口面積と等しい開口面積を有する。   The method for manufacturing a solar cell according to the present invention includes a photoelectric conversion unit and an electrode disposed on one main surface of the photoelectric conversion unit, the electrode extending in one direction, and the finger electrode unit electrically The present invention relates to a method of manufacturing a solar cell having a bus bar portion that is connected to the finger electrode portion and intersects the finger electrode portion. The method for manufacturing a solar cell according to the present invention includes a step of placing a printing plate on one main surface of a photoelectric conversion unit, a conductive paste on the printing plate, and a squeegee on the printing plate. Forming an electrode by moving from one side of the direction toward the other side. The printing plate has a first opening and a second opening. The first opening is an opening for forming the finger electrode portion. The second opening is an opening for forming the bus bar portion. The second opening intersects the first opening. The downstream end, which is the second opening side end of the downstream portion located on the other side in the one direction from the second opening of the first opening, includes the first portion and the second portion. Including. The first portion tapers from the first main surface opposite to the photoelectric conversion unit of the printing plate toward the second main surface side on the photoelectric conversion unit side. The second part is located closer to the photoelectric conversion unit than the first part. The second portion has an opening area equal to the opening area at the tip of the first portion on the photoelectric conversion unit side.

本発明によれば、電極の形状精度が高い太陽電池を製造し得る方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the method which can manufacture a solar cell with the high shape precision of an electrode can be provided.

本発明を実施した一実施形態に係る太陽電池の略図的平面図である。1 is a schematic plan view of a solar cell according to an embodiment of the present invention. 電極を印刷する工程を表す略図的側面図である。It is a schematic side view showing the process of printing an electrode. 印刷版の略図的平面図である。It is a schematic plan view of a printing plate. 図3のIV部分を拡大した略図的平面図である。FIG. 4 is a schematic plan view in which a portion IV in FIG. 3 is enlarged. 図4の線V−V部分の略図的断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view taken along line VV in FIG. 4. 図4の線VI−VI部分の略図的断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG. 4. 図4の線VII−VII部分の略図的断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view taken along line VII-VII in FIG. 4. 比較例において形成される電極の構造を表す模式的平面図である。It is a typical top view showing the structure of the electrode formed in a comparative example. 第1の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的平面図である。It is a schematic plan view showing a part of a printing plate according to a first modification. 第2の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的平面図である。It is a schematic plan view showing a part of a printing plate according to a second modification. 第3の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的断面図である。It is a schematic sectional drawing showing a part of printing plate concerning the 3rd modification. 第4の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的断面図である。It is a schematic sectional drawing showing a part of printing plate concerning the 4th modification. 第5の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的断面図である。It is a schematic sectional drawing showing a part of printing plate concerning the 5th modification. 第6の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的断面図である。It is a schematic sectional drawing showing a part of printing plate concerning the 6th modification. 第7の変形例に係る印刷版の一部分を表す略図的断面図である。It is a schematic sectional drawing showing a part of printing plate concerning the 7th modification.

以下、本発明を実施した好ましい形態について、図1に示す太陽電池1を例に挙げて説明する。但し、太陽電池1は、単なる例示である。本発明は、太陽電池1に何ら限定されない。   Hereinafter, the preferable form which implemented this invention is described, taking the solar cell 1 shown in FIG. 1 as an example. However, the solar cell 1 is merely an example. The present invention is not limited to the solar cell 1 at all.

また、実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものであり、図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。   Moreover, in each drawing referred in embodiment etc., the member which has a substantially the same function shall be referred with the same code | symbol. The drawings referred to in the embodiments and the like are schematically described, and the ratio of the dimensions of the objects drawn in the drawings may be different from the ratio of the dimensions of the actual objects. The dimensional ratio of the object may be different between the drawings. The specific dimensional ratio of the object should be determined in consideration of the following description.

(太陽電池1の構成)
図1に示すように、太陽電池1は、光電変換部10を有する。光電変換部10は、受光することによって電子や正孔などのキャリアを生成させる部材である。光電変換部10は、例えば、一の導電型を有する結晶性半導体基板を有するものであってもよい。また、光電変換部10は、一の導電型を有する結晶性半導体基板と、その結晶性半導体基板の一主面上に配されており、他の導電型を有する第1の非晶質半導体層と、結晶性半導体基板の他主面上に配されており、一の導電型を有する第2の非晶質半導体層とを有するものであってもよい。また、光電変換部10は、n型ドーパント拡散領域とp型ドーパント拡散領域とが表面に露出している半導体基板を有するものであってもよい。
(Configuration of solar cell 1)
As shown in FIG. 1, the solar cell 1 has a photoelectric conversion unit 10. The photoelectric conversion unit 10 is a member that generates carriers such as electrons and holes by receiving light. For example, the photoelectric conversion unit 10 may include a crystalline semiconductor substrate having one conductivity type. In addition, the photoelectric conversion unit 10 is arranged on one main surface of a crystalline semiconductor substrate having one conductivity type, and a first amorphous semiconductor layer having another conductivity type. And a second amorphous semiconductor layer having one conductivity type disposed on the other main surface of the crystalline semiconductor substrate. Moreover, the photoelectric conversion part 10 may have a semiconductor substrate in which the n-type dopant diffusion region and the p-type dopant diffusion region are exposed on the surface.

光電変換部10は、受光面10aと、裏面10bとを有する。受光面10aの上には、電極11が形成されている。図示は省略するが、裏面10bの上にも、同様に電極が形成されている。裏面10bの上に形成されている電極の形状は特に限定されない。裏面10bの上に形成されている電極は、例えば、電極11と実質的に同様の形状を有していてもよいし、面状に形成されていてもよい。   The photoelectric conversion unit 10 has a light receiving surface 10a and a back surface 10b. An electrode 11 is formed on the light receiving surface 10a. Although illustration is omitted, electrodes are similarly formed on the back surface 10b. The shape of the electrode formed on the back surface 10b is not particularly limited. For example, the electrode formed on the back surface 10b may have substantially the same shape as the electrode 11 or may be formed in a planar shape.

なお、電極の材質は、導電材料である限りにおいて特に限定されない。電極は、例えば、銀、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、クロムなどの金属や、それらの金属のうちの一種以上を含む合金により形成することができる。また、電極は、例えば、上記金属や合金からなる複数の導電層の積層体により構成されていてもよい。   The material of the electrode is not particularly limited as long as it is a conductive material. The electrode can be formed of, for example, a metal such as silver, copper, aluminum, titanium, nickel, or chromium, or an alloy containing one or more of these metals. Moreover, the electrode may be comprised by the laminated body of the some conductive layer which consists of the said metal and alloy, for example.

電極11は、複数のフィンガー電極部12と、複数のバスバー部13a、13bとを有する。複数のフィンガー電極部12のそれぞれは、y方向に沿って延びている。複数のフィンガー電極部12は、y方向に垂直なx方向に沿って配列されている。バスバー部13a、13bは、複数のフィンガー電極部12に電気的に接続されている。バスバー部13a、13bは、複数のフィンガー電極部12と交差している。具体的には、本実施形態では、バスバー部13a、13bのそれぞれは、x方向に沿って延びている。   The electrode 11 has a plurality of finger electrode portions 12 and a plurality of bus bar portions 13a and 13b. Each of the plurality of finger electrode portions 12 extends along the y direction. The plurality of finger electrode portions 12 are arranged along the x direction perpendicular to the y direction. The bus bar portions 13 a and 13 b are electrically connected to the plurality of finger electrode portions 12. The bus bar portions 13 a and 13 b intersect with the plurality of finger electrode portions 12. Specifically, in the present embodiment, each of the bus bar portions 13a and 13b extends along the x direction.

(太陽電池1の製造方法)
次に、太陽電池1の製造方法について説明する。
(Manufacturing method of solar cell 1)
Next, the manufacturing method of the solar cell 1 is demonstrated.

まず、光電変換部10を用意する。次に、図2に示すように、光電変換部10の受光面10aの上に印刷版20を配置する。その印刷版20の上に導電性ペースト31を供給し、印刷版20の上をスキージ30をy2側からy1側へと移動方向Fに沿って移動させることにより、導電性ペースト31を印刷することにより、電極11を形成する。同様にして裏面の上に形成されている電極も形成する。以上により、太陽電池1を完成させる。   First, the photoelectric conversion unit 10 is prepared. Next, as illustrated in FIG. 2, the printing plate 20 is disposed on the light receiving surface 10 a of the photoelectric conversion unit 10. The conductive paste 31 is supplied onto the printing plate 20, and the conductive paste 31 is printed on the printing plate 20 by moving the squeegee 30 from the y2 side to the y1 side along the movement direction F. Thus, the electrode 11 is formed. Similarly, an electrode formed on the back surface is also formed. The solar cell 1 is completed by the above.

なお、電極の形成に用いられる導電性ペーストは、電極を形成するための導電材料を含むものである限りにおいて特に限定されない。導電性ペーストは、例えば、導電性粒子が分散した樹脂からなるものであってもよい。   Note that the conductive paste used for forming the electrode is not particularly limited as long as it includes a conductive material for forming the electrode. For example, the conductive paste may be made of a resin in which conductive particles are dispersed.

次に、上記電極11の印刷工程において使用する印刷版20の構成について、図3〜図7を参照しながら詳細に使用する。   Next, the configuration of the printing plate 20 used in the printing process of the electrode 11 will be described in detail with reference to FIGS.

図3に示すように、印刷版20には、第1及び第2の開口21,22a、22bが形成されている。第1の開口21は、フィンガー電極部12を形成するための開口である。このため、第1の開口21は、y方向に沿って延びるように複数形成されている。一方、第2の開口22a、22bは、バスバー部13a、13bを形成するための開口である。このため、第2の開口22a、22bは、x方向に沿って延びており、複数の第1の開口21と直交している。   As shown in FIG. 3, the printing plate 20 has first and second openings 21, 22a, and 22b. The first opening 21 is an opening for forming the finger electrode portion 12. Therefore, a plurality of first openings 21 are formed so as to extend along the y direction. On the other hand, the second openings 22a and 22b are openings for forming the bus bar portions 13a and 13b. Therefore, the second openings 22 a and 22 b extend along the x direction and are orthogonal to the plurality of first openings 21.

第1の開口21は、バスバー部13a、13bのy1側に位置する下流側端部21a1,21a2と、バスバー部13a、13bのy2側に位置する上流側端部21b1,21b2と、その他の部分21cとを含む。本実施形態では、下流側端部21a1,21a2と、上流側端部21b1,21b2と、その他の部分21cとでは、形状が相互に異なっている。下流側端部21a1と下流側端部21a2とは実質的に同様の形状を有する。このため、ここでは、下流側端部21a1の形状を図6に示し、下流側端部21a2に関しては、図6を援用することとする。また、上流側端部21b1と上流側端部21b2とも実質的に同様の形状を有する。このため、ここでは、上流側端部21b1の形状を図7に示し、上流側端部21b2に関しては、図7を援用することとする。   The first opening 21 includes downstream end portions 21a1, 21a2 located on the y1 side of the bus bar portions 13a, 13b, upstream end portions 21b1, 21b2 located on the y2 side of the bus bar portions 13a, 13b, and other portions. 21c. In the present embodiment, the downstream end portions 21a1, 21a2, the upstream end portions 21b1, 21b2, and the other portions 21c have different shapes. The downstream end 21a1 and the downstream end 21a2 have substantially the same shape. Therefore, here, the shape of the downstream end 21a1 is shown in FIG. 6, and FIG. 6 is used for the downstream end 21a2. The upstream end 21b1 and the upstream end 21b2 have substantially the same shape. For this reason, the shape of the upstream end 21b1 is shown in FIG. 7, and FIG. 7 is used for the upstream end 21b2.

図5に示すように、その他の部分21cは、z方向に幅が一定となるように形成されている。すなわち、その他の部分21cにおいては、z方向のいずれの部分においても、幅がW1である。その他の部分21cの幅は、y方向においては一定である。   As shown in FIG. 5, the other part 21c is formed so that the width is constant in the z direction. That is, in the other portion 21c, the width is W1 in any portion in the z direction. The width of the other portion 21c is constant in the y direction.

一方、下流側端部21a1,21a2は、第1の部分23と、第2の部分24とを有する。第1の部分23は、印刷版20の光電変換部10とは反対側の第1の主面20a側の部分に設けられている。第1の部分23は、第1の主面20aから、光電変換部10側の第2の主面20b側に向かって先細っている。すなわち、第1の部分23の幅は、第1の主面20aから第2の主面20b側に向かって小さくなっている。具体的には、本実施形態では、第1の部分23の幅は、第1の主面20aから第2の主面20b側に向かって、一次関数的に単調減少している。   On the other hand, the downstream end portions 21 a 1 and 21 a 2 have a first portion 23 and a second portion 24. The first portion 23 is provided in a portion of the printing plate 20 on the first main surface 20a side opposite to the photoelectric conversion unit 10. The first portion 23 tapers from the first main surface 20a toward the second main surface 20b side on the photoelectric conversion unit 10 side. That is, the width of the first portion 23 decreases from the first main surface 20a toward the second main surface 20b. Specifically, in the present embodiment, the width of the first portion 23 decreases monotonically in a linear function from the first main surface 20a toward the second main surface 20b.

第2の部分24は、第1の部分23よりも第2の主面20b側に位置している。本実施形態では、第2の部分24は、第1の部分23の第2の主面20b側先端から第2の主面20bにまで至っている。第2の部分24の幅は、z方向において一定である。第2の部分24の幅は、第1の部分23の第2の主面20b側の先端における幅と等しい。このため、第2の部分24の開口面積は、第1の部分23の第2の主面20b側の先端における開口面積と等しい。なお、本実施形態において、第1の部分23の第1の主面20aにおける幅W2は、その他の部分21cの第1の主面20aにおける幅W1と等しい。   The second portion 24 is located closer to the second main surface 20b than the first portion 23 is. In the present embodiment, the second portion 24 extends from the tip of the first portion 23 on the second main surface 20b side to the second main surface 20b. The width of the second portion 24 is constant in the z direction. The width of the second portion 24 is equal to the width at the tip of the first portion 23 on the second main surface 20b side. For this reason, the opening area of the second portion 24 is equal to the opening area at the tip of the first portion 23 on the second main surface 20b side. In the present embodiment, the width W2 of the first main surface 20a of the first portion 23 is equal to the width W1 of the first main surface 20a of the other portion 21c.

第1の部分23のz方向に沿った長さは、印刷版20の厚みの0.1倍〜0.6倍であることが好ましい。第2の部分24のz方向に沿った長さは、印刷版20の厚みの0.4倍〜0.9倍であることが好ましい。第2の部分24のz方向に沿った長さは、第1の部分23のz方向に沿った長さの0.8倍〜1.0倍であることが好ましい。   The length along the z direction of the first portion 23 is preferably 0.1 to 0.6 times the thickness of the printing plate 20. The length along the z direction of the second portion 24 is preferably 0.4 to 0.9 times the thickness of the printing plate 20. The length of the second portion 24 along the z direction is preferably 0.8 to 1.0 times the length of the first portion 23 along the z direction.

本実施形態では、下流側端部21a1の幅は、y方向において一定である。   In the present embodiment, the width of the downstream end 21a1 is constant in the y direction.

上流側端部21b1は、第1の主面20a側から第2の主面20b側に向かって先細っている部分を有する。本実施形態では、上流側端部21b1の全体が、第1の主面20a側から第2の主面20b側に向かって先細っている。すなわち、上流側端部21b1の幅は、第1の主面20aから第2の主面20bに向かって狭くなっている。本実施形態では、上流側端部21b1の第2の主面20bにおける幅W5が、その他の部分21cの幅W1と等しい。上流側端部21b1の第1の主面20aにおける幅W4は、その他の部分21cの幅W1よりも広い。本実施形態では、上流側端部21b1の幅は、y方向において一定である。   The upstream end 21b1 has a portion that tapers from the first main surface 20a side toward the second main surface 20b side. In the present embodiment, the entire upstream end 21b1 tapers from the first main surface 20a side toward the second main surface 20b side. That is, the width of the upstream end 21b1 is narrowed from the first main surface 20a toward the second main surface 20b. In the present embodiment, the width W5 of the second main surface 20b of the upstream end 21b1 is equal to the width W1 of the other portion 21c. The width W4 of the first main surface 20a of the upstream end 21b1 is wider than the width W1 of the other portion 21c. In the present embodiment, the width of the upstream end 21b1 is constant in the y direction.

上流側端部21b1のy方向に沿った長さは、下流側端部21a1のy方向に沿った長さよりも短い。   The length of the upstream end 21b1 along the y direction is shorter than the length of the downstream end 21a1 along the y direction.

ところで、第1の開口の全体の幅がz方向において一定である印刷版を用いて電極の印刷を行うことも考えられる。しかしながら、その場合は、第1の開口の上流側端部及び下流側端部のそれぞれにおけるペーストの通過量が、その他の部分におけるペーストの通過量と異なる。具体的には、下流側端部におけるペーストの通過量は、その他の部分におけるペーストの通過量よりも多くなる。また、下流側端部におけるペーストの通過量は、第2の開口に近づくにつれて多くなる。一方、上流側端部におけるペーストの通過量は、その他の部分におけるペーストの通過量よりも少なくなる。また、上流側端部におけるペーストの通過量は、第2の開口に近づくにつれて少なくなる。よって、図8に示すように、フィンガー電極部112のバスバー部よりも上流側に位置している部分112b1の幅は、バスバー部に近づくにつれて細くなる一方、バスバー部よりも下流側に位置している部分112a1の幅は、バスバー部に近づくにつれて太くなる。従って、フィンガー電極部を均一な幅で、高精度に形成することができない。   By the way, it is also conceivable to perform electrode printing using a printing plate in which the entire width of the first opening is constant in the z direction. However, in that case, the amount of paste passing through each of the upstream end and the downstream end of the first opening is different from the amount of paste passing through the other portions. Specifically, the amount of paste passing through the downstream end is greater than the amount of paste passing through other portions. Further, the amount of paste passing through the downstream end increases as it approaches the second opening. On the other hand, the passage amount of the paste at the upstream end is smaller than the passage amount of the paste at the other portions. Further, the amount of paste passing through the upstream end portion decreases as the second opening is approached. Therefore, as shown in FIG. 8, the width of the portion 112b1 located on the upstream side of the bus bar portion of the finger electrode portion 112 becomes narrower as it approaches the bus bar portion, while located on the downstream side of the bus bar portion. The width of the portion 112a1 becomes thicker as it approaches the bus bar portion. Therefore, the finger electrode portion cannot be formed with a uniform width and high accuracy.

例えば特許文献1に記載の印刷版を用いた場合は、印刷版の上流側端部におけるペーストの通過量を多くできると共に、下流側端部におけるペーストの通過量を少なくすることができる。このため、形成されるフィンガー電極部の幅の均一性を高めることができる。しかしながら、フィンガー電極部の幅が細い場合は、下流側端部の幅を非常に細くする必要がある。このため、下流側端部におけるペーストの通過量が不所望に少なくなりすぎたり、極端な場合にはペーストが通過しなくなってしまったりする場合がある。このため、フィンガー電極部の幅が狭い太陽電池の製造に際し、特許文献1に記載の印刷版を使用すると、フィンガー電極部の断線や電気抵抗の増大が生じることがある。   For example, when the printing plate described in Patent Document 1 is used, the amount of paste passing through the upstream end of the printing plate can be increased, and the amount of paste passing through the downstream end can be reduced. For this reason, the uniformity of the width | variety of the finger electrode part formed can be improved. However, when the width of the finger electrode portion is thin, it is necessary to make the width of the downstream end portion very thin. For this reason, the passing amount of the paste at the downstream end is undesirably too small, or in an extreme case, the paste may not pass. For this reason, when a printing plate described in Patent Document 1 is used in the manufacture of a solar cell having a narrow finger electrode portion, disconnection of the finger electrode portion and an increase in electrical resistance may occur.

それに対して、本実施形態では、下流側端部21a1は、第1の主面20aから第2の主面20b側に向かって幅狭となる第1の部分23と、開口面積が小さな第2の部分24とを有する。このため、第2の部分24を細くすることによって下流側端部21a1におけるペーストの通過量を少なくすることができる。また、第2の部分24を第1の主面20aから離れた位置に設け、かつ第1の主面20aにおける開口面積が大きい第1の部分23を設けることによって、下流側端部21a1におけるペーストの通過量を少なくした場合であっても、ペーストの通過量が不所望に少なくなりすぎたり、下流側端部21a1が詰まってしまったりし難い。特に、第1の部分23の第1の主面20aにおける幅W2を、その他の部分21cの幅W1と等しくした場合は、ペーストの通過量が不所望に少なくなりすぎたり、下流側端部21a1が詰まってしまったりさらにし難くなる。従って、本実施形態の印刷版20を用いることにより、フィンガー電極部12が細い場合であっても、高い形状精度でフィンガー電極部12を形成することができる。   On the other hand, in the present embodiment, the downstream end portion 21a1 includes the first portion 23 that becomes narrower from the first main surface 20a toward the second main surface 20b side, and the second portion having a small opening area. Part 24. For this reason, the amount of paste passing through the downstream end 21a1 can be reduced by making the second portion 24 thinner. Further, the paste at the downstream end 21a1 is provided by providing the second portion 24 at a position away from the first main surface 20a and providing the first portion 23 having a large opening area on the first main surface 20a. Even when the passage amount is reduced, it is difficult for the passage amount of the paste to become undesirably too small or the downstream end 21a1 is clogged. In particular, when the width W2 of the first main surface 20a of the first portion 23 is equal to the width W1 of the other portion 21c, the amount of paste passing is undesirably reduced or the downstream end 21a1. Becomes clogged or even harder. Therefore, by using the printing plate 20 of the present embodiment, even when the finger electrode portion 12 is thin, the finger electrode portion 12 can be formed with high shape accuracy.

また、本実施形態では、上流側端部21b1は、第1の主面20a側から第2の主面20b側に向かって先細る部分を有しており、かつ、上流側端部21b1の第2の主面20bにおける幅W4が、その他の部分21cの幅W1よりも大きい。このため、上流側端部21b1におけるペーストの通過量が増大されている。よって、フィンガー電極部12のバスバー部13a、13bに対する上流側接続部が細くなることを抑制することができる。従って、フィンガー電極部12をより高い形状精度で形成することができる。なお、幅狭になりがちな、フィンガー電極部のバスバー部に対する上流側接続部の長さは、幅広になりがちな、フィンガー電極部のバスバー部に対する下流側接続部の長さよりも短い。このため、上流側端部21b1の長さは、下流側端部21a1の長さよりも短いことが好ましい。   In the present embodiment, the upstream end portion 21b1 has a portion that tapers from the first main surface 20a side toward the second main surface 20b side, and the upstream end portion 21b1 The width W4 of the second main surface 20b is larger than the width W1 of the other portion 21c. For this reason, the passage amount of the paste at the upstream end 21b1 is increased. Therefore, it can suppress that the upstream connection part with respect to the bus-bar parts 13a and 13b of the finger electrode part 12 becomes thin. Therefore, the finger electrode portion 12 can be formed with higher shape accuracy. In addition, the length of the upstream side connection part with respect to the bus-bar part of a finger electrode part which tends to become narrow is shorter than the length of the downstream side connection part with respect to the bus-bar part of a finger electrode part which tends to become wide. For this reason, it is preferable that the length of the upstream end 21b1 is shorter than the length of the downstream end 21a1.

以下、上記実施形態の変形例について説明する。以下の説明において、上記実施形態と実質的共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。   Hereinafter, modifications of the embodiment will be described. In the following description, members having substantially the same functions as those of the above embodiment are referred to by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

以下の第1〜第7の変形例において説明する特徴は、単独で実施してもよいし、2つ以上を組み合わせて実施することもできる。例えば、太陽電池は、第1の変形例の特徴と第2の変形例の特徴との両方を満たしていてもよい。   The features described in the following first to seventh modifications may be implemented singly or in combination of two or more. For example, the solar cell may satisfy both the characteristics of the first modification and the characteristics of the second modification.

(第1の変形例)
上記実施形態では、下流側端部21a1の第1の主面20aにおける幅W2がその他の部分21cの幅W1と等しい場合について説明したが、図9に示すように、幅W2を幅W1よりも狭くしてもよい。そうすることにより、フィンガー電極部のバスバー部に対する上流側接続部の幅が太くなることをより効果的に抑制することができる。
(First modification)
In the above embodiment, the case where the width W2 of the first main surface 20a of the downstream end portion 21a1 is equal to the width W1 of the other portion 21c has been described. However, as shown in FIG. It may be narrowed. By doing so, it can suppress more effectively that the width | variety of the upstream connection part with respect to the bus-bar part of a finger electrode part becomes thick.

(第2の変形例)
上記実施形態では、上流側端部21b1,21b2及び下流側端部21a1,21a2のそれぞれにおいて幅がy方向に一定である例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図10に示すように、下流側端部21a1、21a2における幅W2が第2の開口22a、22b側に向かって狭くなるようにしてもよい。そうすることにより、フィンガー電極部のバスバー部に対する上流側接続部の幅をより均一にすることができる。
(Second modification)
In the above-described embodiment, the example in which the width is constant in the y direction at each of the upstream end portions 21b1 and 21b2 and the downstream end portions 21a1 and 21a2 has been described. However, the present invention is not limited to this configuration. For example, as shown in FIG. 10, the width W2 at the downstream end portions 21a1, 21a2 may be narrowed toward the second openings 22a, 22b. By doing so, the width | variety of the upstream connection part with respect to the bus-bar part of a finger electrode part can be made more uniform.

また、上流側端部21b1、21b2における幅W4が第2の開口22a、22b側に向かって広くなるようにしてもよい。そうすることにより、フィンガー電極部のバスバー部に対する下流側接続部の幅をより均一にすることができる。   Further, the width W4 at the upstream end portions 21b1 and 21b2 may be increased toward the second openings 22a and 22b. By doing so, the width | variety of the downstream connection part with respect to the bus-bar part of a finger electrode part can be made more uniform.

(第3の変形例)
上記実施形態では、第2の部分24のz方向における長さがy方向に一定である例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図11に示すように、第2の部分24のz方向における長さは、第2の開口22a、22b側にいくほど長くなるようにしてもよい。そうすることにより、フィンガー電極部のバスバー部に対する上流側接続部の幅をより均一にすることができる。
(Third Modification)
In the above embodiment, the example in which the length in the z direction of the second portion 24 is constant in the y direction has been described. However, the present invention is not limited to this configuration. For example, as shown in FIG. 11, the length in the z direction of the second portion 24 may be increased toward the second openings 22a and 22b. By doing so, the width | variety of the upstream connection part with respect to the bus-bar part of a finger electrode part can be made more uniform.

(第4の変形例)
上記実施形態では、上流側端部21b1、21b2の全体がz方向において第2の主面20b側に向かって先細る形状に形成されている例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図12に示すように、上流側端部21b1、21b2も、第2の主面20b側に向かって先細る第1の部分23と、幅が一定である第2の部分24とを有していてもよい。
(Fourth modification)
In the above-described embodiment, the example in which the entire upstream end portions 21b1 and 21b2 are formed in a tapered shape toward the second main surface 20b side in the z direction has been described. However, the present invention is not limited to this configuration. For example, as shown in FIG. 12, the upstream end portions 21b1 and 21b2 also have a first portion 23 tapered toward the second main surface 20b side and a second portion 24 having a constant width. You may do it.

(第5の変形例)
上記実施形態では、下流側端部21a1、21a2が、第1及び第2の部分23,24により構成されている例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図13に示すように、第2の部分24よりも第2の主面20b側に、第2の主面20b側に向かって幅広となる第3の部分25が設けられていてもよい。
(Fifth modification)
In the above embodiment, an example in which the downstream end portions 21a1 and 21a2 are configured by the first and second portions 23 and 24 has been described. However, the present invention is not limited to this configuration. For example, as shown in FIG. 13, a third portion 25 that is wider toward the second main surface 20 b side than the second portion 24 may be provided on the second main surface 20 b side. .

(第6及び第7の変形例)
上記実施形態では、下流側端部21a1、21a2の第1の部分23の幅が第2の主面20b側に向かって線形的に細くなる例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図14や図15に示すように、下流側端部21a1、21a2の第1の部分23の幅は、第2の主面20b側に向かって高次関数的に細くなっていてもよい。
(6th and 7th modification)
In the above-described embodiment, the example in which the width of the first portion 23 of the downstream end portions 21a1 and 21a2 is linearly narrowed toward the second main surface 20b side has been described. However, the present invention is not limited to this configuration. For example, as shown in FIGS. 14 and 15, the width of the first portion 23 of the downstream end portions 21a1 and 21a2 may be narrowed in a high-order function toward the second main surface 20b side. .

また、上記実施形態では、バスバー部13a、13bのそれぞれが直線状である例について説明した。但し、本発明においては、バスバー部は、直線状である必要は必ずしもない。バスバー部は、例えば、ジグザグ形状に形成されていてもよい。   Moreover, in the said embodiment, the bus bar parts 13a and 13b each demonstrated the example which is linear. However, in the present invention, the bus bar portion does not necessarily have to be linear. The bus bar portion may be formed in a zigzag shape, for example.

また、上記実施形態では、上流側端部21b1を第2の主面20b側に向かって先細る形状としたが、上流側端部は、上流側端部及び下流側端部以外の部分と同様に、z方向に幅が均一なものであってもよい。   In the above embodiment, the upstream end 21b1 is tapered toward the second main surface 20b. However, the upstream end is the same as the portion other than the upstream end and the downstream end. In addition, the width may be uniform in the z direction.

上記実施形態では、第1の部分23の第1の主面20aにおける幅W2が、その他の部分21cの幅W1と等しい例について説明したが、幅W2は、幅W1よりも大きくてもよい。その場合であっても、第2の部分24が設けられているため、下流側端部21a1におけるペーストの通過量が多くなりすぎることを抑制することができる。   In the above embodiment, the example in which the width W2 of the first main surface 20a of the first portion 23 is equal to the width W1 of the other portion 21c has been described, but the width W2 may be larger than the width W1. Even in such a case, since the second portion 24 is provided, it is possible to suppress an excessive amount of paste passing through the downstream end 21a1.

また、上記実施形態では、その他の部分21cは、z方向に幅が一定である例について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。   In the above-described embodiment, an example in which the width of the other portion 21c is constant in the z direction has been described, but the present invention is not limited to this.

1…太陽電池
10…光電変換部
10a…受光面
10b…裏面
11…電極
12…フィンガー電極部
13a、13b…バスバー部
20…印刷版
20a…第1の主面
20b…第2の主面
21…第1の開口
21a1,21a2…下流側端部
21b1,21b2…上流側端部
22a、22b…第2の開口
23…第1の部分
24…第2の部分
25…第3の部分
30…スキージ
31…導電性ペースト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Solar cell 10 ... Photoelectric conversion part 10a ... Light-receiving surface 10b ... Back surface 11 ... Electrode 12 ... Finger electrode part 13a, 13b ... Bus-bar part 20 ... Printing plate 20a ... 1st main surface 20b ... 2nd main surface 21 ... 1st opening 21a1, 21a2 ... downstream end part 21b1, 21b2 ... upstream end part 22a, 22b ... 2nd opening 23 ... 1st part 24 ... 2nd part 25 ... 3rd part 30 ... Squeegee 31 ... Conductive paste

Claims (9)

光電変換部と、前記光電変換部の一主面上に配された電極とを備え、前記電極が一方向に延びるフィンガー電極部と、前記フィンガー電極部に電気的に接続されており、前記フィンガー電極部と交差しているバスバー部とを有する太陽電池の製造方法であって、
前記光電変換部の一主面の上に印刷版を配置する工程と、
前記印刷版の上に導電性ペーストを供給し、前記印刷版の上を、スキージを前記一方向の一方側から他方側に向けて移動させることにより前記電極を形成する工程と、
を備え、
前記印刷版は、前記フィンガー電極部を形成するための第1の開口と、前記バスバー部を形成するための開口であって、前記第1の開口と交差している第2の開口とを有し、
前記第1の開口の前記第2の開口よりも前記一方向の他方側に位置する下流側部分の前記第2の開口側端部である下流側端部は、前記印刷版の前記光電変換部とは反対側の第1の主面から前記光電変換部側の第2の主面側に向かって先細る第1の部分と、前記第1の部分よりも前記光電変換部側に位置しており、前記第1の部分の前記光電変換部側の先端における開口面積と等しい開口面積を有する第2の部分とを含む、太陽電池の製造方法。
A photoelectric conversion unit; and an electrode disposed on one main surface of the photoelectric conversion unit, the electrode extending in one direction, the electrode being electrically connected to the finger electrode unit, and the finger A method of manufacturing a solar cell having a bus bar portion intersecting with an electrode portion,
Placing a printing plate on one main surface of the photoelectric conversion unit;
Supplying a conductive paste on the printing plate, and forming the electrode on the printing plate by moving a squeegee from one side to the other side in the one direction;
With
The printing plate has a first opening for forming the finger electrode portion and a second opening for forming the bus bar portion and intersecting the first opening. And
The downstream end which is the second opening side end of the downstream portion located on the other side in the one direction with respect to the second opening of the first opening is the photoelectric conversion unit of the printing plate A first portion that tapers from a first main surface opposite to the second main surface side on the photoelectric conversion unit side, and is positioned closer to the photoelectric conversion unit side than the first portion And a second part having an opening area equal to the opening area at the tip of the first part on the photoelectric conversion part side.
前記下流側端部の前記第1の主面における幅は、前記下流側部分の前記下流側端部以外の部分の前記第1の主面における幅と等しい、請求項1に記載の太陽電池の製造方法。   2. The solar cell according to claim 1, wherein a width of the downstream end portion on the first main surface is equal to a width of the first main surface of a portion other than the downstream end portion of the downstream portion. Production method. 前記下流側端部の前記第1の主面における幅は、前記下流側部分の前記下流側端部以外の部分の前記第1の主面における幅よりも狭い、請求項1に記載の太陽電池の製造方法。   2. The solar cell according to claim 1, wherein a width of the downstream end portion on the first main surface is narrower than a width of the first main surface of a portion other than the downstream end portion of the downstream portion. Manufacturing method. 前記下流側端部の前記第1の主面における幅は、前記第2の開口側に向かって狭くなる、請求項3に記載の太陽電池の製造方法。   4. The method for manufacturing a solar cell according to claim 3, wherein a width of the downstream end portion on the first main surface becomes narrower toward the second opening side. 5. 前記第2の部分の厚み方向における長さは、前記第2の開口側にいくほど長くなる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。   5. The method for manufacturing a solar cell according to claim 1, wherein a length of the second portion in the thickness direction is longer as it goes toward the second opening. 前記第2の部分の厚み方向における長さは、前記印刷版の厚み方向における長さの0.1倍〜0.6倍の範囲内にある、請求項1〜5のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。   6. The length in the thickness direction of the second portion is in a range of 0.1 to 0.6 times the length in the thickness direction of the printing plate. 6. Solar cell manufacturing method. 前記第1の開口の前記第2の開口よりも前記一方向の一方側に位置する上流側部分の前記第2の開口側端部である上流側端部は、前記第1の主面側から前記第2の主面側に向かって先細る部分を有し、前記上流側端部の前記第1の主面における幅は、前記上流側部分の前記上流側端部以外の部分の前記第1の主面における幅よりも広い、請求項1〜6のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。   An upstream end which is the second opening side end of the upstream portion located on one side in the one direction from the second opening of the first opening is from the first main surface side. The first main surface of the upstream end portion has a portion that tapers toward the second main surface side, and the width of the first main surface of the upstream portion other than the upstream end portion is the first width of the upstream end portion. The manufacturing method of the solar cell as described in any one of Claims 1-6 wider than the width | variety in the main surface. 前記上流側端部の前記第1の主面における幅は、前記第2の開口側に向かって広くなる、請求項7に記載の太陽電池の製造方法。   The method for manufacturing a solar cell according to claim 7, wherein a width of the upstream end portion on the first main surface becomes wider toward the second opening side. 前記下流側部分の前記一方向に沿った長さは、前記上流側端部の前記一方向に沿った長さよりも長い、請求項7または8に記載の太陽電池の製造方法。   The method for manufacturing a solar cell according to claim 7 or 8, wherein a length of the downstream portion along the one direction is longer than a length of the upstream end portion along the one direction.
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