JP2014011650A - Crystal vibration element - Google Patents
Crystal vibration element Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014011650A JP2014011650A JP2012147317A JP2012147317A JP2014011650A JP 2014011650 A JP2014011650 A JP 2014011650A JP 2012147317 A JP2012147317 A JP 2012147317A JP 2012147317 A JP2012147317 A JP 2012147317A JP 2014011650 A JP2014011650 A JP 2014011650A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- crystal piece
- plane
- edge
- excitation electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、水晶デバイスに用いられる水晶振動素子に関する。 The present invention relates to a crystal resonator element used in a crystal device.
従来より、水晶デバイスには水晶片に金属膜を設けて構成された水晶振動素子が用いられている。
この水晶片は、例えば、ATカットの水晶ウェハを従来周知のフォトリソグラフィ技術とエッチング技術を用いることで形成することができる。
このような水晶振動素子は、四角形に形成された水晶片と、この水晶片の両主面中央に設けられる四角形状の励振電極と、この励振電極と接続され水晶片の一方の端部に設けられる引き回しパターンとから構成されている。
ここで、励振電極に接続されている引き回しパターンは、水晶片の主面において、水晶片の短辺の中心と縁との間に設けられる(例えば、特許文献1参照)。
Conventionally, a quartz crystal element in which a quartz film is provided with a metal film is used for a quartz crystal device.
This crystal piece can be formed, for example, by using an AT-cut crystal wafer by using a conventionally known photolithography technique and etching technique.
Such a crystal resonator element includes a crystal piece formed in a square shape, a square excitation electrode provided at the center of both main surfaces of the crystal piece, and provided at one end of the crystal piece connected to the excitation electrode. And a routing pattern to be formed.
Here, the routing pattern connected to the excitation electrode is provided between the center and the edge of the short side of the crystal piece on the main surface of the crystal piece (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、従来の水晶振動素子は、引き回しパターンが水晶片の短辺の中心と縁との間に設けられているため、振動エネルギーが引き回しパターンを介して漏れる恐れがある。そのため、低いCI値(クリスタル・インピーダンス値)の実現が困難であった。 However, in the conventional quartz resonator element, since the routing pattern is provided between the center and the edge of the short side of the crystal piece, the vibration energy may leak through the routing pattern. For this reason, it has been difficult to realize a low CI value (crystal impedance value).
そこで、本発明は、低いCI値を実現するために振動エネルギーの漏れを軽減する水晶振動素子を提供することを課題とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a crystal resonator element that reduces leakage of vibration energy in order to realize a low CI value.
前記課題を解決するため、本発明は、水晶振動素子であって、平板状の水晶片と、この水晶片の両主面に設けられる励振電極と、この水晶片の一方の端部に設けられ、前記励振電極と接続する引き回しパターンとを備え、前記水晶片の側面にm面が設けられ、前記引き回しパターンが、前記m面の縁に沿って前記水晶片の主面又は/及び前記m面に設けられて構成されることを特徴とする。
なお、主面とは、水晶片に設けられる平面のうち、最も広い面とこの面と向かい合う面をいう。
In order to solve the above-described problems, the present invention provides a crystal resonator element, which is provided on a flat plate-shaped crystal piece, excitation electrodes provided on both main surfaces of the crystal piece, and one end of the crystal piece. A lead pattern connected to the excitation electrode, and an m-plane is provided on a side surface of the crystal piece, and the lead pattern extends along the edge of the m-plane and / or the m-plane of the crystal piece. It is characterized by being provided.
The main surface refers to the widest surface among the flat surfaces provided on the crystal piece and the surface facing this surface.
また、本発明は、前記励振電極が楕円形状となっていても良い。
また、本発明は、前記楕円形状の励振電極が、短径側の一方の端部をm面の縁と接して設けられていても良い。
また、本発明は、前記楕円形状の励振電極が、短径側の一方の端部をm面内に位置させて設けられていても良い。
In the present invention, the excitation electrode may have an elliptical shape.
In the present invention, the elliptical excitation electrode may be provided such that one end on the short diameter side is in contact with the edge of the m-plane.
In the present invention, the elliptical excitation electrode may be provided with one end on the short diameter side positioned in the m-plane.
このような水晶振動素子では、前記引き回しパターンが、前記m面の縁に沿って前記水晶片の主面又は/及び前記m面に設けられて構成されるので、水晶片の主面の内側を引き回しパターンが拘束することがなくなり、振動エネルギーが漏れるのを軽減することができる。 In such a crystal resonator element, since the routing pattern is provided on the main surface of the crystal piece or / and the m surface along the edge of the m-plane, the inner side of the main surface of the crystal piece is formed. The routing pattern is not restrained, and leakage of vibration energy can be reduced.
次に、本発明を実施するための最良の形態(以下、「実施形態」という。)について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各構成要素について、状態をわかりやすくするために、誇張して図示している。 Next, the best mode for carrying out the present invention (hereinafter referred to as “embodiment”) will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. Note that each component is exaggerated for easy understanding of the state.
(第一の実施形態)
図1(a)及び(b)に示すように、本発明の実施形態に係る水晶振動素子10は、四角形状の水晶片1とこの水晶片1の両主面に設けられる励振電極2と、この励振電極2と接続し水晶片1の一方の端部へ引き回されている引き回しパターン3とから構成されている。
(First embodiment)
As shown in FIGS. 1A and 1B, a
水晶片1は、例えばATカットの水晶ウェハから四角形状でかつ平板状に形成されており、長辺側の側面にm面1bが設けられている。
この水晶片1は、従来周知のフォトリソグラフィ技術とエッチング技術を用いて形成することができる。これにより設けられた水晶片1は、長辺側の側面にm面1bが形成された状態となる。つまり、m面1bは、水晶をエッチングしたときに側面側に生じる結晶面である。
なお、水晶片1は、引き回しパターン3が設けられる端部をX軸の+X方向とし、反対側の端部を−X方向としている。
The
This
The
励振電極2は、楕円形状となっており、楕円の一方の短径側の縁が水晶片1のm面1b側の主面の縁に接して形成されている。つまり、励振電極2の短径側の一方の端部は、m面の縁と接した状態となっている。
また、励振電極2は、水晶片1の両主面に設けられ、それぞれ対向するように設けられている。
The
Further, the
引き回しパターン3は、水晶片1の一方の端部に設けられ、励振電極2と接続している。この引き回しパターン3は、水晶片1の主面のm面1b側の縁に沿って設けられている。
The
例えば、引き回しパターン3は、2つ一対の接続パッド3aと引き回し配線3bとから構成されている。接続パッド3aは、水晶片1の一方の主面の角部に並んで設けられており、一方の接続パッド3aが一方の主面に設けられた励振電極2と引き回し配線3bを介して接続し、他方の接続パッド3aが他方の主面に設けられた励振電極2と引き回し配線3bを介して接続している。
また、引き回し配線3bは、水晶片1の主面のm面1b側の縁に沿って直線で形成されており、励振電極2から接続パッド3aまで設けられている。
For example, the
The routing wiring 3b is formed in a straight line along the edge of the main surface of the
このように本発明の実施形態に係る水晶振動素子10を構成したので、水晶片1の中央側に引き回しパターン3が設けられなくなり、水晶片1のm面1b側の縁側に引き回しパターン3が設けられるので、水晶片1の主面の内側を引き回しパターン3が拘束することがなくなる。
また、このような水晶振動素子は厚みすべりモードの振動をするため、水晶片1の主面に設けられる引き回しパターン3の占める割合を小さくすることができる。
これにより、振動エネルギーが引き回しパターン3を伝って漏れるのを軽減することができる。
Since the
In addition, since such a crystal resonator element vibrates in a thickness-shear mode, the proportion of the
As a result, it is possible to reduce the leakage of vibration energy along the
(第一の実施形態の変形例)
次に、本発明の第一の実施形態に係る水晶振動素子の変形例について説明する。
図1(c)に示すように、本発明の第一の実施形態に係る水晶振動素子の変形例は、引き回しパターン3の引き回し配線3bがm面1b内に設けられて構成されている。
引き回し配線3bは、励振電極2がm面1bの縁と接しているので、水晶片1の主面に設けられる部分が少なく構成することができる。
このように構成しても、第一の実施形態と同様の効果を奏する。
(Modification of the first embodiment)
Next, a modified example of the crystal resonator element according to the first embodiment of the invention will be described.
As shown in FIG. 1C, the modification of the crystal resonator element according to the first embodiment of the present invention is configured such that the routing wiring 3b of the
The lead-out wiring 3b can be configured with few portions provided on the main surface of the
Even if comprised in this way, there exists an effect similar to 1st embodiment.
(第一の実施形態のその他の変形例)
次に、本発明の第一の実施形態に係る水晶振動素子の変形例について説明する。
図1(d)に示すように、本発明の第一の実施形態に係る水晶振動素子のその他の変形例は、引き回しパターン3の引き回し配線3bが、略L字形状に形成されて構成されている。
例えば、引き回しパターン3は、接続パッド3aと引き回し配線3bとから構成されている。ここで、引き回し配線3bは、励振電極2からm面1bと直交する方向に設けられつつ、m面内を水晶片1の一方の角部の方へ引き回されて、略L字形状に形成されている。この引き回し配線3cは、接続パッド3aと接続している。
このように構成しても、第一の実施形態と同様の効果を奏する。
(Other variations of the first embodiment)
Next, a modified example of the crystal resonator element according to the first embodiment of the invention will be described.
As shown in FIG. 1D, another modification of the crystal resonator element according to the first embodiment of the present invention is configured such that the routing wiring 3b of the
For example, the
Even if comprised in this way, there exists an effect similar to 1st embodiment.
次に、本発明の第二の実施形態に係る水晶振動素子について説明する。
図2(a)及び(b)に示すように、本発明の第二の実施形態に係る水晶振動素子は、励振電極が、水晶片の主面とm面とに設けられて構成されている。
楕円形状の励振電極2は、一方の短径側の縁を前記水晶片の主面の一方の縁側に位置させ、他方の短径側の縁をm面1b内に位置させた状態となっている。
Next, a crystal resonator element according to a second embodiment of the invention will be described.
As shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), the crystal resonator element according to the second embodiment of the present invention is configured by providing excitation electrodes on the main surface and m-plane of the crystal piece. .
The
引き回しパターン3は、水晶片1の一方の端部に設けられ、励振電極2と接続している。この引き回しパターン3は、水晶片1の主面のm面1b側の縁に沿って設けられている。
The
例えば、引き回しパターン3は、2つ一対の接続パッド3aと引き回し配線3bとから構成されている。接続パッド3aは、水晶片1の一方の主面の角部に並んで設けられており、一方の接続パッド3aが一方の主面に設けられた励振電極2と引き回し配線3bを介して接続し、他方の接続パッド3aが他方の主面に設けられた励振電極2と引き回し配線3bを介して接続している。
また、引き回し配線3bは、水晶片1の主面のm面1b側の縁に沿って直線で形成されており、励振電極2から接続パッド3aまで設けられている。
For example, the
The routing wiring 3b is formed in a straight line along the edge of the main surface of the
このように本発明の実施形態に係る水晶振動素子10を構成したので、水晶片1の中央側に引き回しパターン3が設けられなくなり、水晶片1のm面1b側の縁側に引き回しパターン3が設けられるので、水晶片1の主面の内側を引き回しパターン3が拘束することがなくなる。
また、このような水晶振動素子は厚みすべりモードの振動をするため、水晶片1の主面に設けられる引き回しパターン3の占める割合を小さくすることができる。
これにより、振動エネルギーが引き回しパターン3を伝って漏れるのを軽減することができる。
また、励振電極2の短径方向の一方の端部をm面1b内に位置させたことにより、例えば、従来周知のべベル加工された水晶片や従来周知のコンベックス形状に形成された水晶片を用いたのと同様なエネルギー閉じ込めができる水晶振動子素子とすることができる。
Since the
In addition, since such a crystal resonator element vibrates in a thickness-shear mode, the proportion of the
As a result, it is possible to reduce the leakage of vibration energy along the
Further, by positioning one end of the
(第二の実施形態の変形例)
次に、本発明の第二の実施形態に係る水晶振動素子の変形例について説明する。
図2(c)に示すように、本発明の第二の実施形態に係る水晶振動素子の変形例は、引き回しパターン3の引き回し配線3bがm面1b内に設けられて構成されている。
引き回し配線3bは、励振電極2がm面1b内に位置しているので、水晶片1の主面に設けられる部分が少なく構成することができる。
このように構成しても、第二の実施形態と同様の効果を奏する。
(Modification of the second embodiment)
Next, a modified example of the crystal resonator element according to the second embodiment of the invention will be described.
As shown in FIG. 2C, the modification of the crystal resonator element according to the second embodiment of the present invention is configured such that the routing wiring 3b of the
Since the
Even if comprised in this way, there exists an effect similar to 2nd embodiment.
(第二の実施形態のその他の変形例)
次に、本発明の第二の実施形態に係る水晶振動素子のその他の変形例について説明する。
図2(d)に示すように、本発明の第二の実施形態に係る水晶振動素子は、励振電極が、水晶片の主面とm面とに設けられて構成されている。
楕円形状の励振電極2は、一方の短径側の縁を前記水晶片の主面の一方の縁側に位置させ、他方の短径側の縁をm面1b内に位置させた状態となっている。
(Other modifications of the second embodiment)
Next, other modified examples of the crystal resonator element according to the second embodiment of the invention will be described.
As shown in FIG. 2 (d), the crystal resonator element according to the second embodiment of the present invention is configured by providing excitation electrodes on the main surface and m-plane of the crystal piece.
The
例えば、引き回しパターン3は、接続パッド3aと引き回し配線3bとから構成されている。ここで、引き回し配線3bは、励振電極2からm面1bと直交する方向に設けられつつ、m面内を水晶片1の一方の角部の方へ引き回されて、略L字形状に形成されている。この引き回し配線3cは、接続パッド3aと接続している。
For example, the
このように、励振電極2は、短径側の縁をm面1b内に位置させたことから、水晶片1の主面の縁側に設けられる引き回しパターン3との接続が従来より短くなり、水晶片1の縁側の振動エネルギーを阻害しにくくなる。
また、このような水晶振動素子は厚みすべりモードの振動をするため、水晶片1の主面に設けられる引き回しパターン3の占める割合を小さくすることができる。
これにより、振動エネルギーが漏れるのを軽減させることができる。
In this way, the
In addition, since such a crystal resonator element vibrates in a thickness-shear mode, the proportion of the
Thereby, leakage of vibration energy can be reduced.
このように本発明の実施形態に係る水晶振動素子の変形例を構成しても同様の効果を奏する。 As described above, even when the modification of the crystal resonator element according to the embodiment of the present invention is configured, the same effect is obtained.
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態には限定されない。例えば、水晶片にm面が設けられていれば、ATカットに限定されず、種々のカットアングルの水晶片を用いることができる。
また、励振電極は、楕円形状に限定されず、円形状や四角形状となっていても良い。
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment. For example, if the crystal piece is provided with an m-plane, it is not limited to the AT cut, and crystal pieces having various cut angles can be used.
The excitation electrode is not limited to an elliptical shape, and may be a circular shape or a rectangular shape.
10 水晶振動素子
1 水晶片
1b m面
2 励振電極
3 引き回しパターン
DESCRIPTION OF
Claims (4)
この水晶片の両主面に設けられる励振電極と、
この水晶片の一方の端部に設けられ、前記励振電極と接続する引き回しパターンとを備え、
前記水晶片の側面にm面が設けられ、
前記引き回しパターンが、前記m面の縁に沿って前記水晶片の主面又は/及び前記m面に設けられて構成されることを特徴とする水晶振動素子。 A flat crystal piece,
Excitation electrodes provided on both main surfaces of the crystal piece;
Provided at one end of this crystal piece, with a routing pattern connected to the excitation electrode,
An m-plane is provided on the side surface of the crystal piece,
The crystal vibrating element, wherein the routing pattern is provided on the main surface of the crystal piece and / or the m surface along an edge of the m surface.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012147317A JP5972686B2 (en) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | Crystal oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012147317A JP5972686B2 (en) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | Crystal oscillator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014011650A true JP2014011650A (en) | 2014-01-20 |
JP5972686B2 JP5972686B2 (en) | 2016-08-17 |
Family
ID=50107962
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012147317A Active JP5972686B2 (en) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | Crystal oscillator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5972686B2 (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017221887A1 (en) * | 2016-06-21 | 2017-12-28 | 株式会社村田製作所 | Crystal oscillation element, crystal oscillator, and method for manufacturing crystal piece |
US10263597B2 (en) | 2015-09-03 | 2019-04-16 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Crystal unit |
JP2019149750A (en) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | 京セラ株式会社 | Crystal vibration element and crystal device |
JP2020136970A (en) * | 2019-02-21 | 2020-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | Vibration element, vibration device, electronic apparatus, and mobile body |
JP7337339B2 (en) | 2019-03-22 | 2023-09-04 | 国立大学法人東北大学 | Film thickness sensor element |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5160495A (en) * | 1974-11-22 | 1976-05-26 | Seiko Instr & Electronics | ATSUMISUBERISH INDOSHINO SHIJIKOZO |
JPS5162692A (en) * | 1974-11-28 | 1976-05-31 | Seiko Instr & Electronics | ATSUMISUBERISH INDOSHI |
JPS5250697A (en) * | 1975-10-21 | 1977-04-22 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Thickness sliding crystal vibrator |
JPH06252691A (en) * | 1993-02-27 | 1994-09-09 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Crystal vibrator |
JPH1168503A (en) * | 1997-08-11 | 1999-03-09 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Multiple mode crystal resonator |
JP2001044785A (en) * | 1999-07-26 | 2001-02-16 | Toyo Commun Equip Co Ltd | Piezoelectric vibrator |
JP2008067345A (en) * | 2006-08-09 | 2008-03-21 | Epson Toyocom Corp | At cut quartz crystal resonator element and method for manufacturing the same |
JP2009135830A (en) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Epson Toyocom Corp | Crystal vibration piece, crystal vibrator, and crystal oscillator |
JP2011193292A (en) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Seiko Instruments Inc | Crystal vibration piece |
JP2011193175A (en) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Seiko Instruments Inc | Crystal vibration plate and method for manufacturing the same |
-
2012
- 2012-06-29 JP JP2012147317A patent/JP5972686B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5160495A (en) * | 1974-11-22 | 1976-05-26 | Seiko Instr & Electronics | ATSUMISUBERISH INDOSHINO SHIJIKOZO |
JPS5162692A (en) * | 1974-11-28 | 1976-05-31 | Seiko Instr & Electronics | ATSUMISUBERISH INDOSHI |
JPS5250697A (en) * | 1975-10-21 | 1977-04-22 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Thickness sliding crystal vibrator |
JPH06252691A (en) * | 1993-02-27 | 1994-09-09 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Crystal vibrator |
JPH1168503A (en) * | 1997-08-11 | 1999-03-09 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Multiple mode crystal resonator |
JP2001044785A (en) * | 1999-07-26 | 2001-02-16 | Toyo Commun Equip Co Ltd | Piezoelectric vibrator |
JP2008067345A (en) * | 2006-08-09 | 2008-03-21 | Epson Toyocom Corp | At cut quartz crystal resonator element and method for manufacturing the same |
JP2009135830A (en) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Epson Toyocom Corp | Crystal vibration piece, crystal vibrator, and crystal oscillator |
JP2011193175A (en) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Seiko Instruments Inc | Crystal vibration plate and method for manufacturing the same |
JP2011193292A (en) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Seiko Instruments Inc | Crystal vibration piece |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10263597B2 (en) | 2015-09-03 | 2019-04-16 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Crystal unit |
WO2017221887A1 (en) * | 2016-06-21 | 2017-12-28 | 株式会社村田製作所 | Crystal oscillation element, crystal oscillator, and method for manufacturing crystal piece |
JPWO2017221887A1 (en) * | 2016-06-21 | 2018-06-21 | 株式会社村田製作所 | Quartz crystal resonator element, quartz crystal resonator, and crystal piece manufacturing method |
CN109314502A (en) * | 2016-06-21 | 2019-02-05 | 株式会社村田制作所 | The manufacturing method of crystal vibrating elements, quartz crystal and quartz plate |
US11342900B2 (en) | 2016-06-21 | 2022-05-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Quartz crystal resonator, quartz crystal resonator unit, and method of manufacturing quartz crystal resonator |
CN109314502B (en) * | 2016-06-21 | 2022-06-17 | 株式会社村田制作所 | Crystal oscillator element, crystal resonator, and method for manufacturing crystal oscillator element |
JP2019149750A (en) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | 京セラ株式会社 | Crystal vibration element and crystal device |
JP6998795B2 (en) | 2018-02-28 | 2022-01-18 | 京セラ株式会社 | Crystal vibrating element and crystal device |
JP2020136970A (en) * | 2019-02-21 | 2020-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | Vibration element, vibration device, electronic apparatus, and mobile body |
JP7247641B2 (en) | 2019-02-21 | 2023-03-29 | セイコーエプソン株式会社 | Vibration element, vibration device, electronic equipment and moving body |
JP7337339B2 (en) | 2019-03-22 | 2023-09-04 | 国立大学法人東北大学 | Film thickness sensor element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5972686B2 (en) | 2016-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5972686B2 (en) | Crystal oscillator | |
JP2011097369A (en) | Crystal oscillation element | |
JP6421874B2 (en) | Resonator | |
JP2014138414A5 (en) | ||
JP5936936B2 (en) | Crystal oscillator | |
US10938375B2 (en) | Resonator | |
JP2017060130A (en) | Tuning-fork type crystal vibration element | |
JP6108708B2 (en) | Crystal oscillator | |
JP6084068B2 (en) | Crystal oscillator | |
JP2012074860A (en) | Crystal vibration element | |
JP2007163200A (en) | Vibrating reed and angular velocity sensor | |
JP6061651B2 (en) | Crystal oscillator | |
JP2011139233A (en) | Tuning-fork type flexural crystal oscillation element | |
JP6086762B2 (en) | Crystal oscillator | |
JP6000724B2 (en) | Crystal oscillator | |
JP6525821B2 (en) | Tuning fork type crystal element | |
JP5918067B2 (en) | Crystal oscillator | |
JP2015019127A (en) | Crystal resonator piece and crystal device | |
JP2017098765A (en) | Tuning fork crystal oscillator element | |
JP2014011657A (en) | Crystal vibration element | |
JP6017350B2 (en) | Crystal oscillator | |
JPWO2013151048A1 (en) | Crystal vibrator | |
JP2017228818A (en) | Tuning-fork type crystal vibrator | |
JP6584257B2 (en) | Tuning-fork type crystal vibrating element | |
JP6021495B2 (en) | Crystal oscillator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150323 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160223 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160524 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160616 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160712 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160713 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5972686 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |