JP2014007347A - Paste composition for solar battery electrodes - Google Patents
Paste composition for solar battery electrodes Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014007347A JP2014007347A JP2012143487A JP2012143487A JP2014007347A JP 2014007347 A JP2014007347 A JP 2014007347A JP 2012143487 A JP2012143487 A JP 2012143487A JP 2012143487 A JP2012143487 A JP 2012143487A JP 2014007347 A JP2014007347 A JP 2014007347A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mol
- amount
- glass
- range
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 98
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 176
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 25
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 claims description 20
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 claims description 12
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 26
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract description 19
- 239000004332 silver Substances 0.000 abstract description 18
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 17
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 11
- 230000006798 recombination Effects 0.000 abstract description 11
- 238000005215 recombination Methods 0.000 abstract description 11
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 41
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 40
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 35
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 34
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 28
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 27
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 26
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 19
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 17
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 16
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 16
- QHGNHLZPVBIIPX-UHFFFAOYSA-N tin(II) oxide Inorganic materials [Sn]=O QHGNHLZPVBIIPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 11
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 8
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 6
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 5
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 4
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 3
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910020617 PbO—B2O3—SiO2 Inorganic materials 0.000 description 2
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N ZrO Inorganic materials [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- LFVGISIMTYGQHF-UHFFFAOYSA-N ammonium dihydrogen phosphate Chemical compound [NH4+].OP(O)([O-])=O LFVGISIMTYGQHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000387 ammonium dihydrogen phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000007496 glass forming Methods 0.000 description 2
- 229910021478 group 5 element Inorganic materials 0.000 description 2
- XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L lithium carbonate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-]C([O-])=O XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910052808 lithium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 235000019837 monoammonium phosphate Nutrition 0.000 description 2
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 2
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 2
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- IRPGOXJVTQTAAN-UHFFFAOYSA-N 2,2,3,3,3-pentafluoropropanal Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C=O IRPGOXJVTQTAAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K Aluminum fluoride Inorganic materials F[Al](F)F KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- DBJLJFTWODWSOF-UHFFFAOYSA-L nickel(ii) fluoride Chemical compound F[Ni]F DBJLJFTWODWSOF-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000003223 protective agent Substances 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 150000003378 silver Chemical class 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 150000003606 tin compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 1
- 238000004017 vitrification Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
- H01L31/022483—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers composed of zinc oxide [ZnO]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
- H01B1/06—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors mainly consisting of other non-metallic substances
- H01B1/08—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors mainly consisting of other non-metallic substances oxides
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
Abstract
Description
本発明は、ファイヤースルー法で形成する太陽電池電極用に好適な導電性ペースト組成物に関する。 The present invention relates to a conductive paste composition suitable for a solar cell electrode formed by a fire-through method.
例えば、一般的なシリコン系太陽電池は、p型多結晶半導体であるシリコン基板の上面にn+層を介して反射防止膜および受光面電極が備えられると共に、下面にp+層を介して裏面電極(以下、これらを区別しないときは単に「電極」という。)が備えられた構造を有しており、受光により半導体のpn接合に生じた電力を電極を通して取り出すようになっている。上記反射防止膜は、十分な可視光透過率を保ちつつ表面反射率を低減して受光効率を高めるためのもので、窒化珪素、二酸化チタン、二酸化珪素等の薄膜から成る。 For example, a general silicon-based solar cell is provided with an antireflection film and a light-receiving surface electrode on an upper surface of a silicon substrate which is a p-type polycrystalline semiconductor via an n + layer, and on the lower surface via a p + layer. It has a structure provided with electrodes (hereinafter simply referred to as “electrodes” when they are not distinguished from each other), and power generated at the pn junction of the semiconductor by light reception is taken out through the electrodes. The antireflection film is for reducing the surface reflectance and increasing the light receiving efficiency while maintaining a sufficient visible light transmittance, and is made of a thin film such as silicon nitride, titanium dioxide, or silicon dioxide.
上記の反射防止膜は電気抵抗値が高いことから、半導体のpn接合に生じた電力を効率よく取り出すことの妨げとなる。そこで、太陽電池の受光面電極は、例えば、ファイヤースルーと称される方法で形成される。この電極形成方法では、例えば、前記反射防止膜をn+層上の全面に設けた後、例えばスクリーン印刷法を用いてその反射防止膜上に導電性ペーストを適宜の形状で塗布し、焼成処理を施す。上記導電性ペーストは、例えば、銀粉末と、ガラスフリット(ガラス原料を溶融し急冷した後に必要に応じて粉砕したフレーク状または粉末状のガラスのかけら)と、有機質ベヒクルと、有機溶媒とを主成分とするもので、焼成過程において、この導電性ペースト中のガラス成分が反射防止膜を破るので、導電性ペースト中の導体成分とn+層とによってオーミックコンタクトが形成される(例えば、特許文献1を参照。)。この導電性ペーストには、燐、バナジウム、ビスマス、タングステン等の金属或いは化合物等から成る各種微量成分を配合することで導通性を得ることが行われている。上記電極形成方法によれば、反射防止膜を部分的に除去してその除去部分に電極を形成する場合に比較して工程が簡単になり、除去部分と電極形成位置との位置ずれの問題も生じない。 Since the above-described antireflection film has a high electric resistance value, it prevents an electric power generated at the pn junction of the semiconductor from being efficiently extracted. Therefore, the light-receiving surface electrode of the solar cell is formed by a method called fire-through, for example. In this electrode forming method, for example, after the antireflection film is provided on the entire surface of the n + layer, a conductive paste is applied on the antireflection film in an appropriate shape by using, for example, a screen printing method, and is fired. Apply. The conductive paste is mainly composed of, for example, silver powder, glass frit (a piece of flaky or powdered glass that is crushed as necessary after melting and quenching the glass raw material), an organic vehicle, and an organic solvent. In the baking process, the glass component in the conductive paste breaks the antireflection film, so that an ohmic contact is formed by the conductive component in the conductive paste and the n + layer (for example, Patent Documents). See 1). In this conductive paste, conductivity is obtained by blending various trace components made of a metal or a compound such as phosphorus, vanadium, bismuth, and tungsten. According to the above electrode forming method, the process is simplified as compared with the case where the antireflection film is partially removed and an electrode is formed on the removed portion, and there is a problem of misalignment between the removed portion and the electrode forming position. Does not occur.
このような太陽電池の受光面電極形成において、ファイヤースルー性を向上させてオーミックコンタクトを改善し、延いては曲線因子(FF値)やエネルギー変換効率を高める等の目的で、従来から種々の提案が為されている。例えば、導電性ペーストに燐・バナジウム・ビスマスなどの5族元素を添加することによって、ガラスおよび銀の反射防止膜に対する酸化還元作用を促進し、ファイヤースルー性を向上させたものがある(例えば、前記特許文献1を参照。)。また、導電性ペーストに塩化物、臭化物、或いはフッ化物を添加することで、ガラスおよび銀が反射防止膜を破る作用をこれら添加物が補助してオーミックコンタクトを改善するものがある(例えば、特許文献2を参照。)。上記フッ化物としては、フッ化リチウム、フッ化ニッケル、フッ化アルミニウムが示されている。また、上記各添加物に加えて5族元素を添加することも示されている。なお、上記ガラスは例えば硼珪酸ガラスである。 In the formation of the light-receiving surface electrode of such a solar cell, various proposals have been made for the purpose of improving the fire-through property and improving the ohmic contact, and thus increasing the fill factor (FF value) and energy conversion efficiency. Has been made. For example, by adding a Group 5 element such as phosphorus, vanadium, bismuth or the like to the conductive paste, there is one that promotes the redox action on the glass and silver antireflection film and improves the fire-through property (for example, (See Patent Document 1). In addition, by adding chloride, bromide, or fluoride to the conductive paste, these additives help the glass and silver break the antireflection film, thereby improving ohmic contact (for example, patents). See reference 2.) Examples of the fluoride include lithium fluoride, nickel fluoride, and aluminum fluoride. It is also shown that a Group 5 element is added in addition to the above additives. The glass is, for example, borosilicate glass.
また、特許文献3に記載のペーストは、有機バインダ、溶剤、導電性粒子、ガラスフリットを混合してペーストを調製する際に、錫化合物を添加することでFF値の向上を図ったものである。このペーストによれば、形成した電極の接触抵抗が低くなって、優れたFF値が得られるものとされている。 Further, the paste described in Patent Document 3 is intended to improve the FF value by adding a tin compound when preparing a paste by mixing an organic binder, a solvent, conductive particles, and glass frit. . According to this paste, the contact resistance of the formed electrode is lowered, and an excellent FF value is obtained.
また、85〜99(wt%)の銀および1〜15(wt%)のガラスを含む銀含有ペーストにおいて、そのガラスを15〜75(mol%)のPbOおよび5〜50(mol%)のSiO2を含み、B2O3を含まない組成とすることが提案されている(例えば、特許文献4を参照。)。この銀含有ペーストは、太陽電池の電極形成に用いるものであって、上記組成のガラスを用いることによって、オーミックコンタクトが改善されるものとされている。上記ガラス中には、P2O5を0.1〜8.0(mol%)、或いはSb2O5を0.1〜10.0(mol%)含むことができ、更に、0.1〜15.0(mol%)のアルカリ金属酸化物(Na2O,K2O,Li2O)を含むことができる。 In a silver-containing paste containing 85 to 99 (wt%) silver and 1 to 15 (wt%) glass, the glass was mixed with 15 to 75 (mol%) PbO and 5 to 50 (mol%) SiO. comprises 2, it is a composition that does not contain B 2 O 3 has been proposed (e.g., see Patent Document 4.). This silver-containing paste is used for forming an electrode of a solar cell, and the ohmic contact is improved by using the glass having the above composition. The above glass, a P 2 O 5 0.1~8.0 (mol% ), or Sb 2 O 5 to be able to contain 0.1 to 10.0 (mol%), further, an alkali metal oxide of 0.1 to 15.0 (mol%) (Na 2 O, K 2 O, Li 2 O).
また、本願出願人は、ガラスフリットがPbOを46〜57(mol%)、B2O3を1〜7(mol%)、SiO2を38〜53(mol%)の範囲内で含むガラスから成る太陽電池電極用ペースト組成物を先に提案した(例えば特許文献5を参照。)。このペースト組成物は、太陽電池の焼成工程において最適焼成温度範囲を広くすることにより、製造ロット当たりの平均出力を向上させたものである。
Further, the present applicant has a glass
また、本願出願人は、ガラスフリットがLi2Oを0.6〜18(mol%)、PbOを20〜65(mol%)、B2O3を1〜18(mol%)、SiO2を20〜65(mol%)の範囲内で含むガラスから成る太陽電池電極用ペースト組成物を提案した(例えば特許文献6を参照。)。このペースト組成物によれば、優れたファイヤースルー性が得られることから、オーミックコンタクトやライン抵抗を悪化させることなく受光面電極を細線化できるので、光電変換効率の高い太陽電池セルが得られると共に、高シート抵抗のシャローエミッタに好適に用い得る。上記ガラスは、ドナーであるLiを従来に比べて多量に含むもので、Liは一般に半導体用途では避けられるが、太陽電池用途では適度に含むと良好なファイヤースルー性および浸食性が得られるのである。
Further, the present applicant has a glass frit Li 2 O 0.6~18 (mol%) , a
ところで、上述した太陽電池において、受光面側に位置するn層を薄くすることによって表面再結合速度を低下させ、より多くの電流を取り出せるようにしたシャローエミッタが提案されている。シャローエミッタ化すると、特に400(nm)付近の短波長側も発電に寄与するようになるため、太陽電池の効率向上の面では理想的な解と考えられている。その反面で、セルを高シート抵抗にする必要があること、表面近傍のドナー元素(例えば燐)濃度が低下するためAg-Si間のバリア障壁が増加し、受光面電極のオーミックコンタクトの確保が困難になること、pn接合が浅くなるためファイヤースルーで反射防止膜を十分に破り且つpn接合に電極が侵入しないような侵入深さ制御が非常に困難であること、などの不都合がある。 By the way, in the solar cell described above, a shallow emitter has been proposed in which the n-layer located on the light-receiving surface side is thinned to reduce the surface recombination speed and to extract more current. When a shallow emitter is used, the short wavelength side near 400 (nm) also contributes to power generation, so it is considered an ideal solution in terms of improving the efficiency of solar cells. On the other hand, the cell needs to have a high sheet resistance, the donor element (for example, phosphorus) concentration near the surface decreases, the barrier barrier between Ag and Si increases, and the ohmic contact of the light receiving surface electrode can be secured. There are inconveniences such that it becomes difficult, and since the pn junction becomes shallow, it is very difficult to control the penetration depth so that the antireflection film is sufficiently broken by fire-through and the electrode does not penetrate into the pn junction.
なお、従来のシリコン太陽電池セルのn層厚みは100〜200(nm)であり、シャローエミッタのそれは70〜100(nm)である。このように薄くなることで、受光により発生した電気のうちpn接合に達する前に熱に変わって有効に利用できなかった部分が減じられるので、短絡電流が増大し、延いては発電効率が高められる。 In addition, the n layer thickness of the conventional silicon solar battery cell is 100 to 200 (nm), and that of the shallow emitter is 70 to 100 (nm). This thinning reduces the portion of the electricity generated by light reception that could not be used effectively by changing to heat before reaching the pn junction, thus increasing the short-circuit current and thus increasing the power generation efficiency. It is done.
上述した特許文献1,2,4,5に記載されたペースト組成物は、従来構造の太陽電池において特性を改善しようとするものであったが、未だ十分とは言えなかった。しかも、シャローエミッタに用いる高シート抵抗セルには対応できず、良好なオーミックコンタクトが得られない問題があった。 The paste compositions described in Patent Documents 1, 2, 4, and 5 described above have been intended to improve the characteristics of solar cells having a conventional structure, but have not yet been sufficient. Moreover, it cannot cope with the high sheet resistance cell used for the shallow emitter, and there is a problem that a good ohmic contact cannot be obtained.
これに対して、前記特許文献6に記載のペースト組成物によれば、オーミックコンタクトが更に改善されており、前述したようにシャローエミッタにも適用可能である。しかしながら、このペースト組成物では、ファイヤースルー性およびおよび侵入量を共に適切に制御し、特にシャローエミッタのような浅いpn接合に侵入させないようにすることは困難であった。また、シャローエミッタ用の高シート抵抗セルではドナー濃度も不足するが、Liのドナー補償効果のみでは不足する問題もあった。すなわち、FF値や変換効率を十分に高めることが困難であった。 On the other hand, according to the paste composition described in Patent Document 6, ohmic contact is further improved, and can be applied to a shallow emitter as described above. However, with this paste composition, it has been difficult to appropriately control both the fire-through property and the penetration amount and not to penetrate into a shallow pn junction such as a shallow emitter. In addition, although the donor concentration is insufficient in the high sheet resistance cell for the shallow emitter, there is a problem that only the donor compensation effect of Li is insufficient. That is, it has been difficult to sufficiently increase the FF value and conversion efficiency.
また、前記特許文献3では、Sn化合物を含むペースト組成とすることにより、接触抵抗を低下させ、延いてはFF値を高めることが示されているが、本発明者等が追試を行ったところ、Sn化合物を添加することで若干の改善効果は認められるものの未だ不十分な特性に留まる結果となった。本発明者等は、更に検討を重ねた結果、上記Sn化合物の添加による効果は、Snがガラスの構造中に入り込み、これにより、ガラスへのAgの溶解度が高められて再結晶により生ずるAg結晶核が大きくなり、延いては接触抵抗が低下させられるものと推測するに至った。ガラス中に陽イオンの外殻電子数が18個、または18+2個持つような起分極性が強い元素、例えば、Sn、Zn、In、Pb、Sb、Bi、Fe、Cd、Teイオン等やアルカリ金属イオンを含むと強い余剰結合力が発生し、他の金属とガラス間の分子間力を強めることになり、ガラス中へのAg溶解量が増大するものと考えられる。 In addition, in Patent Document 3, it is shown that the contact resistance is lowered and the FF value is increased by using a paste composition containing an Sn compound. However, the inventors have made an additional test. The addition of Sn compounds resulted in a slight improvement effect, but still remained insufficient. As a result of further investigations, the present inventors have found that the effect of the addition of the Sn compound is that Sn enters the structure of the glass, thereby increasing the solubility of Ag in the glass, resulting in recrystallization of Ag crystals. It has been speculated that the nuclei become larger and the contact resistance can be lowered. Elements with strong polarizability such as 18 or 18 + 2 cation outer electrons in glass, such as Sn, Zn, In, Pb, Sb, Bi, Fe, Cd, Te ions, etc. and alkali If a metal ion is included, a strong excess bonding force is generated, which increases the intermolecular force between another metal and the glass, and it is considered that the amount of Ag dissolved in the glass increases.
図1(a)、(b)は、上記Ag結晶核によって特性が変化する作用を説明するための模式図である。上述したファイヤースルーによる受光面電極形成では、焼成過程においてシリコン基板50と受光面電極52との界面にガラス層54が形成され、そのガラス層54とシリコン基板50との界面に、高温でガラス中に溶け込んだAgが降温時に析出して再結晶する。再結晶Agは高い導電性を有するので、シリコン基板50から受光面電極52への導電パスとなるが、その導電パスは、この再結晶Agの発生状態で変化する。
FIGS. 1A and 1B are schematic diagrams for explaining the action of changing characteristics by the Ag crystal nucleus. In the above-described light-receiving surface electrode formation by fire-through, a
図1(a)は、比較的大きい再結晶Ag56が生成される場合である。Agの溶解度が大きいガラス(Te等の添加によるものを含む)を用いると、再結晶Ag56は大きくなり、数が減ってガラス-Si界面近傍に存在する個数が少なくなる。この構造では、図示の通り、発生した電子はシリコン基板50(n+層)内および再結晶Ag56内を通って、これに接する銀粒子58を経由して受光面電極52まで移動する。そのため、低抵抗である再結晶Ag56内部を通ることから直列抵抗 Rsは低下するが、再結晶Ag56の数が少ないことから再結合速度が速いn+層内を通る距離が長くなるので、電流が減少して変換効率が低くなる。前記特許文献3のSn化合物の添加は、このような作用により接触抵抗 Rcを低下させ、FF値を高くすることで効率改善を図ったものと思われるが、前述したように十分な効果を奏する追試結果は得られていない。
FIG. 1A shows a case where a relatively large
一方、図1(b)は、比較的小さい、例えばナノメートルオーダーの再結晶Ag60が多数生成される場合である。Agの溶解度が小さいガラス(例えばLiを含まない或いは少ないもの)を用いることで、再結晶Ag60が小さくなり且つ数が増えるので、シリコン基板50−ガラス層54界面近傍に存在する個数が多くなる。この構造では、図示の通り、発生した電子は界面の再結晶Ag60まで到達すると、一部は銀粒子58に直接伝導させられるが、多くはAg-ガラス-Ag-・・・というホッピング伝導が主となって抵抗値が高いガラス内を通り受光面電極52に至るので直列抵抗 Rsが高くなる。そのため、抵抗が高いガラス内で一部の電子は熱に変わって失われるものの、再結合速度は遅いので電流値は高くなるが、抵抗が高いためにFF値が低くなる。また、Ag溶解度の小さいガラスは、適当な組成のときはガラス層54全体にAg結晶核が析出し、その後比較的穏やかに結晶成長するため上記図1(b)に示す構造が得られる。しかしながら、例えばアルカリやPbが少なくSiが多い組成など、温度低下でAgの溶解度が急激に下がるガラス組成では、Si量やAg量の変化でAg溶解度や侵食速度が容易に変化する。溶解度が著しく低下すると、ガラス層54とシリコン基板50および受光面電極52との界面近傍で結晶核が生成し、結晶成長も急激になり再結晶Agも極めて大きくなることから、シリコン基板表面近傍のpn接合が損傷してリーク電流が発生し延いては出力特性が低下する。すなわち、Ag溶解度の小さいガラスは組成の最適範囲が狭くなる傾向にある。なお、前記図1(a)の場合でも微細な再結晶Ag60は存在するが、図1(b)の場合に比べて極めて少なく、電子の伝達経路の説明上無用であるため省略した。
On the other hand, FIG. 1B shows a case where a large number of recrystallized
本発明は、以上の事情を背景として為されたもので、その目的は、ファイヤースルー法による太陽電池の受光面電極形成、特にn層の薄いシャローエミッタ構造の太陽電池に好適に用いられ、接触抵抗を低下させ且つ発生した電子の再結合を抑制することにより、太陽電池セルのFF値および電流値を増大させ延いては変換効率を高くできる太陽電池電極用ペースト組成物を提供することにある。 The present invention has been made in the background of the above circumstances, and the object thereof is suitably used for formation of a light-receiving surface electrode of a solar cell by a fire-through method, in particular, a solar cell having a thin n-layer shallow emitter structure. An object of the present invention is to provide a solar cell electrode paste composition capable of increasing the FF value and current value of a solar battery cell and thereby increasing the conversion efficiency by reducing the resistance and suppressing the recombination of the generated electrons. .
斯かる目的を達成するため、本発明の要旨とするところは、導電性粉末と、ガラスフリットと、ベヒクルとを含む太陽電池電極用ペースト組成物であって、前記ガラスフリットは、酸化物換算でSnを0.5〜20.0(mol%)の範囲で含む鉛ガラスを含むことにある。 In order to achieve such an object, the gist of the present invention is a paste composition for a solar cell electrode containing a conductive powder, a glass frit, and a vehicle, wherein the glass frit is converted into an oxide. It is to contain lead glass containing Sn in the range of 0.5 to 20.0 (mol%).
このようにすれば、太陽電池電極用ペースト組成物は、ガラスフリットがSnを0.5〜20.0(mol%)の範囲で含む鉛ガラスを含むことから、これを用いてファイヤースルー法でシリコン基板上に受光面電極を形成すると、ガラス中へのAg溶解量が増大すると共にAg結晶核が適度に発生させられる。すなわち、前記図1(a)、(b)に示す状態の間の適切な状態とすることができる。そのため、シリコン基板と受光面電極との間に形成されるガラス層内を電子がホッピング伝導で移動すると共に、ガラス層から受光面電極への電子の移動は直接伝導の割合が多くなることから、十分に直列抵抗が低くなり且つ再結合も生じ難くなるので、FF値および電流値が大きく延いては変換効率の高い太陽電池セルが得られる。上記Snの含有量は、0.5(mol%)以上であることが必要であり、0.5(mol%)未満ではAg溶解量が過少になり延いては再結晶Agの大きさが小さくなり過ぎるので、直列抵抗が高くなって曲線因子が小さくなる。また、20.0(mol%)を越えるとAg溶解量が過剰になり延いては再結晶Agの大きさが大きくなり過ぎるので、再結合が生じ易くなって変換効率が低くなる。 In this way, the solar cell electrode paste composition contains lead glass containing Sn in the range of 0.5 to 20.0 (mol%) in the glass frit. When the light-receiving surface electrode is formed, the amount of Ag dissolved in the glass increases and Ag crystal nuclei are generated appropriately. That is, an appropriate state between the states shown in FIGS. 1A and 1B can be obtained. Therefore, electrons move in the glass layer formed between the silicon substrate and the light-receiving surface electrode by hopping conduction, and the movement of electrons from the glass layer to the light-receiving surface electrode has a higher direct conduction ratio. Since the series resistance becomes sufficiently low and recombination hardly occurs, a solar cell having high conversion efficiency can be obtained when the FF value and the current value are greatly increased. The content of Sn must be 0.5 (mol%) or more, and if it is less than 0.5 (mol%), the amount of dissolved Ag becomes too small and the size of recrystallized Ag becomes too small. The series resistance increases and the fill factor decreases. On the other hand, if it exceeds 20.0 (mol%), the amount of dissolved Ag becomes excessive, and the size of recrystallized Ag becomes excessively large, so that recombination easily occurs and conversion efficiency is lowered.
しかも、本発明によれば、Snを含むガラスフリットを用いることでAg溶解量が増大させられることから、浸食量の制御が容易な利点もある。因みに、Pb、Sb、Bi、Te量を十分に多くすることや、アルカリ量を十分に多くすること等でもAg溶解量を増大させ得るが、組成の変更、特にPb/Si比の変更は浸食量制御に影響を及ぼす問題がある。また、アルカリ量を多くして粘性を下げると浸食速度が速くなるので、適正な焼成温度範囲が狭くなる問題がある。 Moreover, according to the present invention, the amount of Ag dissolution can be increased by using a glass frit containing Sn, so that there is an advantage that the amount of erosion can be easily controlled. Incidentally, the amount of dissolved Ag can be increased by increasing the amount of Pb, Sb, Bi, Te, or increasing the amount of alkali, but changes in the composition, especially changes in the Pb / Si ratio, are eroded. There is a problem affecting quantity control. Further, if the viscosity is reduced by increasing the amount of alkali, the erosion rate increases, so that there is a problem that the proper firing temperature range becomes narrow.
なお、溶解したAg2OはNa2O等と同様にガラス構造中で網目修飾酸化物(-Si-O-Ag)として存在しているが、電極形成のための焼成処理が施される際に、多価原子価イオンによってAgイオンが熱的還元され、Ag結晶核の生成とAg結晶の成長が起こって再結晶Agが析出する。再結晶Agの析出挙動は、一般的な核生成および成長理論と同様であり、Ag溶解量、焼成温度、時間、冷却速度の影響を受ける。 The dissolved Ag 2 O exists as a network-modified oxide (-Si-O-Ag) in the glass structure, like Na 2 O, etc., but when the baking treatment for electrode formation is performed Furthermore, Ag ions are thermally reduced by multivalent valence ions, and Ag crystal nuclei are formed and Ag crystals grow, so that recrystallized Ag is deposited. The precipitation behavior of recrystallized Ag is the same as the general nucleation and growth theory, and is affected by the amount of Ag dissolved, the firing temperature, the time, and the cooling rate.
因みに、前記特許文献3に記載のペーストは、Snを含まないガラスが用いられ、ペーストを調製する際にSn化合物が添加されるが、前述したように、そのペースト中に含まれるSnがガラス構造中に入ることで、上述したようにAgイオンが熱的還元されて再結晶Agが析出するものと推定される。そのため、このような構成ではガラス構造中に入るSnは僅かな量に留まることから十分な添加効果が得られず、本発明のようにSnを含むガラス組成とすることにより、再結晶Agの析出を適切に制御することができる。 Incidentally, the paste described in Patent Document 3 uses glass that does not contain Sn, and an Sn compound is added when the paste is prepared. As described above, Sn contained in the paste has a glass structure. As described above, it is presumed that Ag ions are thermally reduced and recrystallized Ag precipitates as described above. Therefore, in such a configuration, Sn entering the glass structure remains in a small amount, so a sufficient addition effect cannot be obtained, and by using a glass composition containing Sn as in the present invention, precipitation of recrystallized Ag Can be controlled appropriately.
なお、前記ガラスフリットは、1種類の鉛ガラスであってもよいが、軟化点が相互に異なる2種類以上のガラスを混合したものであってもよい。混合するガラスは、全て鉛ガラスでもよく、上記Snを含む鉛ガラスの他は無鉛ガラスとしてもよい。 The glass frit may be one kind of lead glass, but may be a mixture of two or more kinds of glasses having different softening points. The glass to be mixed may be all lead glass, and may be lead-free glass other than the lead glass containing Sn.
また、本発明のペースト組成物は、安定なオーミック抵抗性を有し、低シート抵抗の基板だけでなく80〜120(Ω/□)程度の高シート抵抗基板に対しても十分低い接触抵抗が得られる利点もある。そのため、pn接合に電極が侵入しないように制御することにより、リーク電流が低くすなわち並列抵抗が高く、曲線因子が大きく、電流値が大きく、かつ光電変換率の高い太陽電池セルが得られる。 The paste composition of the present invention has a stable ohmic resistance, and has a sufficiently low contact resistance not only for a low sheet resistance substrate but also for a high sheet resistance substrate of about 80 to 120 (Ω / □). There are also benefits to be gained. Therefore, by controlling so that the electrode does not enter the pn junction, a solar cell with a low leakage current, that is, a high parallel resistance, a large fill factor, a large current value, and a high photoelectric conversion rate can be obtained.
ここで、好適には、前記鉛ガラスは、酸化物換算でSnを0.5〜20.0(mol%)、Li2Oを0.6〜18(mol%)、PbOを24〜64(mol%)、B2O3を1〜18(mol%)、SiO2を11〜40(mol%)、P2O5を0〜6.0(mol%)の範囲で含むものである。このようにすれば、Liを含む組成において、各成分量が一層適切な範囲に定められていることから、FF値が一層大きく且つ変換効率Effが一層高い太陽電池セルが得られる。 Here, preferably, the lead glass has an Sn equivalent of 0.5 to 20.0 (mol%), Li 2 O of 0.6 to 18 (mol%), PbO of 24 to 64 (mol%), B 2 O 3 is contained in the range of 1 to 18 (mol%), SiO 2 is contained in the range of 11 to 40 (mol%), and P 2 O 5 is contained in the range of 0 to 6.0 (mol%). In this way, in the composition containing Li, the amount of each component is set to a more appropriate range, so that a solar cell having a larger FF value and higher conversion efficiency Eff can be obtained.
また、好適には、前記鉛ガラスは、酸化物換算でSnを0.5〜12.0(mol%)、PbOを55〜65(mol%)、B2O3を1〜8(mol%)、SiO2を21〜36(mol%)、P2O5を0〜4.0(mol%)の範囲で含み、Li2Oを含まないものである。このようにすれば、Liを含まない組成において、各成分量が一層適切な範囲に定められていることから、曲線因子FFが一層大きく且つ変換効率Effが一層高い太陽電池セルが得られる。 Also, preferably, the lead glass is 0.5 to 12.0 (mol%) of Sn in terms of oxide, the PbO 55~65 (mol%), B 2 O 3 to 1~8 (mol%), SiO 2 the 21~36 (mol%), the P 2 O 5 comprises in the range of 0~4.0 (mol%), are those not containing Li 2 O. In this way, since the amount of each component is determined in a more appropriate range in the composition not containing Li, a solar battery cell having a larger fill factor FF and a higher conversion efficiency Eff can be obtained.
なお、上記各鉛ガラスの組成において、PbOは、ガラスの軟化点を低下させる成分で、低温焼成を可能とするための成分で、良好なファイヤースルー性を得るためには、Li含有組成においてはPbOが24(mol%)以上且つ64(mol%)以下、Li非含有組成においてはPbOが55(mol%)以上且つ65(mol%)以下であることがそれぞれ好ましい。何れの組成系においても、PbO量が下限値を下回ると軟化点が高くなり過ぎる傾向があり、ガラス化が困難になると共に反射防止膜へ浸食し難くなり、延いては良好なオーミックコンタクトを得ることが困難になる。一方、上限値を越えると軟化点が低くなり過ぎる傾向があり、浸食性が強くなり過ぎてpn接合が破壊され、延いてはFF値が小さくなる等の問題が生じ易い。PbO量は、Li含有組成においては30〜61(mol%)の範囲が一層好ましく、35〜60(mol%)の範囲が特に好ましい。また、Li非含有組成においては55〜62(mol%)の範囲が一層好ましく、58〜62(mol%)の範囲が特に好ましい。 In each lead glass composition, PbO is a component that lowers the softening point of the glass and is a component that enables low-temperature firing, and in order to obtain good fire-through properties, in the Li-containing composition PbO is preferably 24 (mol%) or more and 64 (mol%) or less, and in a Li-free composition, PbO is preferably 55 (mol%) or more and 65 (mol%) or less. In any composition system, if the amount of PbO falls below the lower limit value, the softening point tends to be too high, vitrification becomes difficult and it is difficult to erode the antireflection film, and thus a good ohmic contact is obtained. It becomes difficult. On the other hand, when the upper limit is exceeded, the softening point tends to be too low, and the erosion becomes so strong that the pn junction is broken and the FF value becomes small. The amount of PbO is more preferably in the range of 30 to 61 (mol%) and particularly preferably in the range of 35 to 60 (mol%) in the Li-containing composition. In the Li-free composition, the range of 55 to 62 (mol%) is more preferable, and the range of 58 to 62 (mol%) is particularly preferable.
また、B2O3は、ガラス形成酸化物(すなわちガラスの骨格を作る成分)であり、ガラスの軟化点を低くするための成分で、良好なファイヤースルー性を得るためには、Li含有組成においてはB2O3が1(mol%)以上且つ18(mol%)以下、Li非含有組成においてはB2O3が1(mol%)以上且つ8(mol%)以下であることがそれぞれ好ましい。何れの組成系においても、B2O3量が下限値を下回るとガラスの粘性が高くなる傾向があり、反射防止膜へ浸食し難くなり、延いては良好なオーミックコンタクトが得られ難くなると共に、耐湿性も低下し易い。また、B2O3量が少なくなり過ぎるとVocが低下すると共にリーク電流が増大する傾向が生じ易い問題もある。一方、上限値を越えても却ってVocが低下すると共にリーク電流が増大し、更に、ガラスの粘性が低くなり過ぎる傾向が生じ易く、延いては浸食性が強くなり過ぎてpn接合が破壊される等の問題が生じ易い。B2O3量は、Li含有組成においては2.8〜12(mol%)の範囲が一層好ましく、4〜8(mol%)の範囲が更に好ましい。 B 2 O 3 is a glass-forming oxide (that is, a component that forms a glass skeleton), a component for lowering the softening point of glass, and in order to obtain good fire-through properties, a Li-containing composition B 2 O 3 is 1 (mol%) and not more than 18 (mol%) or less in, in the Li-free composition B 2 O 3 is 1 (mol%) or more and 8 (mol%) in which it is respectively less preferable. In any composition system, when the amount of B 2 O 3 is lower than the lower limit, the viscosity of the glass tends to be high, and it is difficult to erode the antireflection film, and thus it is difficult to obtain a good ohmic contact. The moisture resistance is also likely to be lowered. In addition, when the amount of B 2 O 3 is too small, there is a problem that Voc tends to decrease and the leakage current tends to increase. On the other hand, even if the upper limit is exceeded, Voc decreases and leakage current increases, and the viscosity of the glass tends to become too low, and the erosion becomes so strong that the pn junction is broken. Etc. are likely to occur. The amount of B 2 O 3 is more preferably in the range of 2.8 to 12 (mol%), further preferably in the range of 4 to 8 (mol%) in the Li-containing composition.
また、SiO2は、ガラス形成酸化物であり、ガラスの耐化学性を高くするための成分で、良好なファイヤースルー性を得るためには、Li含有組成においてはSiO2が11(mol%)以上且つ40(mol%)以下、Li非含有組成においてはSiO2が21(mol%)以上且つ36(mol%)以下であることがそれぞれ好ましい。何れの組成系においても、SiO2量が下限値を下回ると耐化学性が不足すると共にガラス形成が困難になり易い。一方、上限値を越えると軟化点が高くなり過ぎてガラス化し難くなって反射防止膜へ浸食し難くなり、延いては良好なオーミックコンタクトが得られなくなり易い。SiO2量は、Li含有系においては20〜36(mol%)の範囲が一層好ましく、24〜32(mol%)の範囲が特に好ましい。また、Li非含有系においては25〜29(mol%)の範囲が一層好ましく、27〜29(mol%)の範囲が特に好ましい。 In addition, SiO 2 is a glass-forming oxide, a component for increasing the chemical resistance of glass, and in order to obtain good fire-through properties, SiO 2 is 11 (mol%) in the Li-containing composition. Above and 40 (mol%) or less, and in the Li-free composition, SiO 2 is preferably 21 (mol%) or more and 36 (mol%) or less. In any composition system, when the amount of SiO 2 falls below the lower limit, chemical resistance is insufficient and glass formation tends to be difficult. On the other hand, when the upper limit is exceeded, the softening point becomes too high and it becomes difficult to vitrify, and it becomes difficult to erode the antireflection film, and as a result, good ohmic contact is not easily obtained. The SiO 2 content is more preferably in the range of 20 to 36 (mol%), particularly preferably in the range of 24 to 32 (mol%) in the Li-containing system. In the Li-free system, the range of 25 to 29 (mol%) is more preferable, and the range of 27 to 29 (mol%) is particularly preferable.
また、PbOおよびSiO2がそれぞれ上記の範囲内にあるだけでなく、更にPb/Si(mol比)が、Li含有系においては0.6以上且つ5.0以下、Li非含有系においては1.5以上且つ2.9以下であることが、それぞれ好ましい。何れの組成系においても、Pb/Siモル比が下限値を下回ると、ファイヤースルー性が低下し、受光面電極とn層との接触抵抗が高くなり易い。一方、Pb/Siモル比が上限値を超えると、リーク電流が著しく大きくなり易いので、何れにしてもFF値が低下し、十分な出力特性が得られなくなり易い。Pb/Si(mol比)は、Li含有系においては1〜2.5の範囲が一層好ましく、1.19〜2.13の範囲が更に好ましい。また、Li非含有系においては2.14〜2.44の範囲が一層好ましく、2.14〜2.30の範囲が更に好ましい。 In addition, PbO and SiO 2 are not only within the above ranges, respectively, and Pb / Si (mol ratio) is 0.6 or more and 5.0 or less in a Li-containing system, and 1.5 or more and 2.9 or less in a Li-free system. It is preferable that it is respectively. In any composition system, when the Pb / Si molar ratio is lower than the lower limit value, the fire-through property is lowered, and the contact resistance between the light-receiving surface electrode and the n layer tends to be high. On the other hand, if the Pb / Si molar ratio exceeds the upper limit value, the leakage current tends to increase remarkably, so that the FF value is lowered anyway, and sufficient output characteristics are not easily obtained. Pb / Si (mol ratio) is more preferably in the range of 1 to 2.5 and more preferably in the range of 1.19 to 2.13 in the Li-containing system. In the Li-free system, the range of 2.14 to 2.44 is more preferable, and the range of 2.14 to 2.30 is more preferable.
また、Li2Oは、ガラスの軟化点を低下させる成分で、これを含む組成系においては、良好なファイヤースルー性を得るためには、Li2Oが0.6(mol%)以上且つ18(mol%)以下であることが好ましい。Li2Oが0.6(mol%)未満では軟化点が高くなり過ぎ延いては反射防止膜への浸食性が不十分になる。一方、18(mol%)を越えるとアルカリが溶出すると共に浸食性が強くなり過ぎるので却って電気的特性が低下する。因みに、Liは、拡散を促進することから一般に半導体に対しては不純物であって、特性を低下させる傾向があることから半導体用途では避けることが望まれるものである。特に、通常はPb量が多い場合にLiを含むと浸食性が強くなり過ぎて制御が困難になる傾向がある。しかしながら、上記のような太陽電池用途においては、Liを含むガラスを用いても特性低下が認められず、却って適量が含まれていることでファイヤースルー性が改善され、特性向上が認められた。また、Liはドナー元素であり、接触抵抗を低くする作用もある。しかも、Liを含む組成とすることにより、良好なファイヤースルー性を得ることのできるガラスの組成範囲が広くなる利点もある。Li2O量は、1〜15(mol%)の範囲が一層好ましい。 Li 2 O is a component that lowers the softening point of the glass.In a composition system containing this, Li 2 O is 0.6 (mol%) or more and 18 (mol mol) in order to obtain good fire-through properties. %) Or less. If Li 2 O is less than 0.6 (mol%), the softening point becomes too high and the erosion property to the antireflection film becomes insufficient. On the other hand, if it exceeds 18 (mol%), the alkali is eluted and the erodibility becomes too strong, so that the electrical characteristics deteriorate. Incidentally, Li is generally an impurity for semiconductors because it promotes diffusion, and Li tends to deteriorate the characteristics, so it is desirable to avoid it in semiconductor applications. In particular, when the amount of Pb is usually large and Li is contained, the erodibility tends to be too strong and control tends to be difficult. However, in solar cell applications such as those described above, no deterioration in properties was observed even when glass containing Li was used, but the proper amount was included on the contrary, thereby improving the fire-through property and enhancing the properties. Li is a donor element and has the effect of reducing contact resistance. Moreover, the composition containing Li has an advantage that the composition range of the glass capable of obtaining good fire-through properties is widened. The amount of Li 2 O is more preferably in the range of 1 to 15 (mol%).
また、P2O5は、n層に対するドナーであり且つSiへの不純物溶解度が2×10-21(atm/cm3)程度と高いことから、基板と受光面電極とのオーミックコンタクトが一層得られ易くなり、接触抵抗を一層低くできる利点がある。P2O5が多くなると軟化点が高くなる傾向があるため、P2O5の含有量はLi含有系においては6.0(mol%)以下、Li非含有系においては4.0(mol%)以下に、それぞれ留めることが好ましい。また、Li含有系においては2.0(mol%)以下に留めることが一層好ましく、Li非含有系においては1.0〜4.0(mol%)の範囲内とすることが一層好ましく、1.0〜2.0(mol%)の範囲内とすることが特に好ましい。 P 2 O 5 is a donor to the n layer and has a high impurity solubility of about 2 × 10 -21 (atm / cm 3 ), so that an ohmic contact between the substrate and the light-receiving surface electrode can be obtained further. This is advantageous in that the contact resistance can be further reduced. As P 2 O 5 increases, the softening point tends to increase, so the content of P 2 O 5 is 6.0 (mol%) or less in a Li-containing system and 4.0 (mol%) or less in a Li-free system. , Each is preferably fastened. Further, it is more preferable to keep 2.0 (mol%) or less in the Li-containing system, more preferably in the range of 1.0-4.0 (mol%) in the Li-free system, 1.0-2.0 (mol%) It is particularly preferable to set the value within the range.
因みに、シャローエミッタを構成する高シート抵抗のセルでは、例えばSi3N4から成る反射防止膜の厚さ寸法を80(nm)程度として、電極による浸食量を90〜110(nm)の範囲に制御すること、すなわち20(nm)の精度で制御することが望ましい。しかしながら、このような制御は極めて困難であり、導通確保のためには僅かに浸食過剰となった状態に制御せざるを得ない。上記のようにガラス中にドナー元素が含まれていると、その浸食過剰による出力低下がドナーの働きによって抑制されるので、オーミックコンタクトが得られ易くなる。 By the way, in the high sheet resistance cell constituting the shallow emitter, for example, the thickness dimension of the antireflection film made of Si 3 N 4 is set to about 80 (nm), and the amount of erosion by the electrode is in the range of 90 to 110 (nm). It is desirable to control, that is, control with an accuracy of 20 (nm). However, such control is extremely difficult, and in order to ensure conduction, control must be performed in a slightly excessively eroded state. When the donor element is contained in the glass as described above, an output decrease due to excessive erosion is suppressed by the action of the donor, so that an ohmic contact is easily obtained.
なお、前述したようにガラスフリットを軟化点が相互に異なる2種類以上のガラスを混合したものとする場合には、相対的に低軟化点のものをSnを含む鉛ガラス(以下、“侵食ガラス”という)とし、相対的に高軟化点のものをドナー量の多いガラス(以下、“ドナーガラス”という)とすることが好ましい。ドナーとしては、Pが好ましいが、侵食ガラスをPを多く含む組成にすると軟化点が高くなり易いので最適組成を得ることが困難になる。上記のように2種類以上のガラスを混合すれば、前述したSnの添加効果を十分に享受できると共に、十分なドナー補償効果も享受できる。ドナーガラスは、全ガラス量の10〜30(wt%)程度とすることが好ましい。また、ドナーガラスは、侵食ガラスよりも軟化点が50〜200(℃)程度高く、電極用ペーストに単独で用いた場合に50〜73程度のFF値が得られるものが好ましい。Ag粉の焼結開始温度付近にドナーガラスの軟化点を設定すれば、低軟化点の鉛ガラスで反射防止膜を侵食できなかった部分にドナーガラスが供給され、その反射防止膜を侵食させて一層安定したオーミックコンタクトが得られるようになる。Li含有系、非含有系の何れにおいても、侵食ガラスの軟化点は350〜500(℃)の範囲内が好ましく、400〜450(℃)の範囲内が特に好ましい。また、ドナーガラスの軟化点は450〜650(℃)の範囲内が好ましく、500〜600(℃)の範囲が特に好ましい。また、ドナーガラスは、リーク電流の低いガラスであることが好ましい。また、ドナーガラスを硫黄を含む組成にすると、ガラスの表面張力が低下するため、電極−基板界面への迅速なガラス供給に効果的である。 As described above, when glass frit is a mixture of two or more kinds of glasses having different softening points, lead glass containing Sn (hereinafter referred to as “erodible glass”) having a relatively low softening point. The glass having a relatively high softening point is preferably glass having a large amount of donor (hereinafter referred to as “donor glass”). As the donor, P is preferable. However, if the eroded glass has a composition containing a large amount of P, the softening point tends to be high, and it becomes difficult to obtain an optimum composition. When two or more kinds of glasses are mixed as described above, the above-described effect of adding Sn can be fully enjoyed, and a sufficient donor compensation effect can also be enjoyed. The donor glass is preferably about 10 to 30 (wt%) of the total glass amount. The donor glass preferably has a softening point higher than that of the eroded glass by about 50 to 200 (° C.) and can obtain an FF value of about 50 to 73 when used alone in the electrode paste. If the softening point of the donor glass is set near the sintering start temperature of the Ag powder, the donor glass is supplied to the part where the antireflection film could not be eroded by the low softening point lead glass, and the antireflection film was eroded. A more stable ohmic contact can be obtained. In both the Li-containing system and the non-containing system, the softening point of the eroding glass is preferably in the range of 350 to 500 (° C), and particularly preferably in the range of 400 to 450 (° C). The softening point of the donor glass is preferably in the range of 450 to 650 (° C.), particularly preferably in the range of 500 to 600 (° C.). The donor glass is preferably a glass having a low leakage current. In addition, when the donor glass has a composition containing sulfur, the surface tension of the glass is reduced, which is effective for rapid glass supply to the electrode-substrate interface.
また、上記各成分および後述する各成分は、ガラス中に如何なる形態で含まれているか必ずしも特定が困難であるが、これらの割合は何れも酸化物換算した値とした。 Moreover, although it is difficult to specify the above-mentioned components and each component described later in any form in the glass, these ratios are all values converted to oxides.
また、好適には、前記ガラスは、Al2O3、TiO2、ZnOの少なくとも一種を、Li含有系においてはAl2O3を9(mol%)以下、TiO2を6(mol%)以下、ZnOを15(mol%)以下、Li非含有系においてはAl2O3を6(mol%)以下、TiO2を3(mol%)以下、ZnOを4.5(mol%)以下の範囲でそれぞれ含むものである。これらを含む組成とすれば、PbO量を少なくできる利点がある。また、並列抵抗を向上させてリーク電流を小さくできると共に、開放電圧および短絡電流を大きくできる利点もある。その一方、これらが多くなるほどリーク電流が増大する傾向もあるので、これらは上記の量を上限とすることが好ましい。 Preferably, the glass contains at least one of Al 2 O 3 , TiO 2 and ZnO, and in a Li-containing system, Al 2 O 3 is 9 (mol%) or less, and TiO 2 is 6 (mol%) or less. ZnO is 15 (mol%) or less, and in the Li-free system, Al 2 O 3 is 6 (mol%) or less, TiO 2 is 3 (mol%) or less, and ZnO is 4.5 (mol%) or less. Is included. The composition containing these has the advantage that the amount of PbO can be reduced. In addition, the parallel resistance can be improved to reduce the leakage current, and the open circuit voltage and the short circuit current can be increased. On the other hand, since the leakage current tends to increase as the number of these elements increases, it is preferable to set the above amount as the upper limit.
なお、Al2O3はガラスの安定性を得るために有効な成分であって、Al2O3が含まれるとガラスの粘性や軟化点が高くなる傾向があり、更に、直列抵抗を低下させて曲線因子を大きくすると共に焼成温度範囲が広くなる傾向があるが、上述したようにリーク電流を増大させると共に過剰になると開放電圧を却って低下させる作用もあるため、Li含有系においては7(mol%)以下に留めることが一層好ましく、6(mol%)以下とすることが更に好ましい。また、Li非含有系においては6(mol%)以下に留めることが一層好ましく、1(mol%)以下に留めることが更に好ましい。 Al 2 O 3 is an effective component for obtaining the stability of the glass. If Al 2 O 3 is contained, the viscosity and softening point of the glass tend to increase, and the series resistance is further reduced. As described above, the firing temperature range tends to increase as the fill factor increases.However, as described above, the leakage current increases and excessively lowers the open-circuit voltage. %) Or less, more preferably 6 (mol%) or less. Further, in a Li-free system, it is more preferable to keep it at 6 (mol%) or less, and it is more preferred to keep it at 1 (mol%) or less.
また、TiO2はFF値を高める傾向があるが、過剰に添加すると軟化点が上昇し延いては接触抵抗が高くなる傾向があると共に、上述したようにリーク電流を増大させる作用もあるため、TiO2量は、Li含有系においては3(mol%)以下とすることが一層好ましく、Li非含有系においては含まない組成とすることが一層好ましい。 In addition, TiO 2 tends to increase the FF value, but when added excessively, the softening point rises and tends to increase the contact resistance, and also has the effect of increasing the leakage current as described above. The amount of TiO 2 is more preferably 3 (mol%) or less in the Li-containing system, and more preferably not included in the Li-free system.
また、ZnOの含有量が過剰になると開放電圧が低下するため、ZnO量は、Li含有系においては12(mol%)以下に留めることが一層好ましく、8.5(mol%)以下に留めることが更に好ましい。また、Li非含有系においては2(mol%)以下に留めることが一層好ましい。 In addition, since the open circuit voltage decreases when the ZnO content is excessive, the ZnO content is more preferably 12 (mol%) or less in a Li-containing system, and further 8.5 (mol%) or less. preferable. Further, in a Li-free system, it is more preferable to keep it at 2 (mol%) or less.
また、好適には、前記ガラスは、ZrO2をLi含有系およびLi非含有系の何れにおいても0.5(mol%)以下の範囲で含むものである。ZrO2は、ガラスの化学的耐久性を高めると共に、FF値を高める成分であるが、本発明では必須成分ではなく、含まれていなくとも差し支えない。 Preferably, the glass contains ZrO 2 in a range of 0.5 (mol%) or less in both the Li-containing system and the Li-free system. ZrO 2 is a component that increases the chemical durability of the glass and increases the FF value. However, in the present invention, ZrO 2 is not an essential component and may be omitted.
また、好適には、前記ガラスは、Bi2O3をLi含有系においては15(mol%)以下、Li非含有系においては2(mol%)以下の範囲でそれぞれ含むものである。Bi2O3は、ガラスの軟化点を低下させる成分で、低温焼成を可能とするために含まれることが好ましい。Bi2O3量は、Li含有系においては12(mol%)以下が一層好ましく、3(mol%)以下が更に好ましい。また、Li非含有系においてはBiを含まない組成とすることが一層好ましい。 Preferably, the glass contains Bi 2 O 3 in a range of 15 (mol%) or less in a Li-containing system and 2 (mol%) or less in a Li-free system. Bi 2 O 3 is a component that lowers the softening point of glass, and is preferably included to enable low-temperature firing. The amount of Bi 2 O 3 is more preferably 12 (mol%) or less, and further preferably 3 (mol%) or less in a Li-containing system. In a Li-free system, it is more preferable that the composition does not contain Bi.
また、好適には、前記ガラスは、Li含有系においてはNa2Oを1(mol%)以下の範囲で含むものである。Na2OはLi2Oと同様にガラスの軟化点を低下させる成分であるが、1(mol%)を越えると軟化点が低すぎる値になり、侵食が過剰になるため、リーク電流が増大し、太陽電池の電気的特性が不十分になる。 Preferably, the glass contains Na 2 O in a range of 1 (mol%) or less in a Li-containing system. Na 2 O is a component that lowers the softening point of glass like Li 2 O, but if it exceeds 1 (mol%), the softening point becomes too low, and erosion becomes excessive, increasing leakage current. However, the electrical characteristics of the solar cell become insufficient.
また、好適には、前記ガラスは、SO2をLi含有系においては2(mol%)以下、Li非含有系においては0.5(mol%)以下の範囲でそれぞれ含むものである。SO2はガラスが軟化したときの粘性を低下させ延いては表面張力を低下させることから、ガラス成分が速やかに電極−基板界面に供給されるので、その界面に均一な薄いガラス層が形成され、良好な電気的特性が得られる。そのため、電極材料の侵入量の制御が容易になり、オーミックコンタクトが一層容易に得られる。 Preferably, the glass contains SO 2 in a range of 2 (mol%) or less in a Li-containing system and 0.5 (mol%) or less in a Li-free system. Since SO 2 lowers the viscosity when the glass is softened and thus lowers the surface tension, the glass component is quickly supplied to the electrode-substrate interface, so that a uniform thin glass layer is formed at the interface. Good electrical characteristics can be obtained. As a result, the amount of penetration of the electrode material can be easily controlled, and an ohmic contact can be obtained more easily.
また、好適には、前記ガラスは、Ag2OをLi含有系においては2(mol%)以下、Li非含有系においては0.5(mol%)以下の範囲でそれぞれ含むものである。ガラス構造中に初期的に含まれるAgは、電極の焼成過程でガラス構造中に入るAgと共に還元されて再結晶させられるから、直列抵抗を一層低くできる。また、高温で保持される時間が短い高速焼成により電極形成が行われると、Agのガラス中への溶解が不十分となる場合があるが、初期的にガラス構造中にAgが存在することで焼成のプロセスマージンが広くなる効果がある。 Preferably, the glass contains Ag 2 O in a range of 2 (mol%) or less in a Li-containing system and 0.5 (mol%) or less in a Li-free system. Since the Ag initially contained in the glass structure is reduced and recrystallized together with the Ag entering the glass structure during the firing process of the electrode, the series resistance can be further reduced. In addition, when electrode formation is performed by high-speed firing that is held at a high temperature for a short time, Ag may not be sufficiently dissolved in the glass, but initially Ag exists in the glass structure. There is an effect of widening the process margin of firing.
また、前記ガラスフリットは平均粒径(D50)が0.3〜3.0(μm)の範囲内である。ガラスフリットの平均粒径が小さすぎると電極の焼成時に融解が早すぎるため電気的特性が低下するが、0.3(μm)以上であれば適度な融解性が得られるので電気的特性が一層高められる。しかも、凝集が生じ難いのでペースト調製時に一層良好な分散性が得られる。また、ガラスフリットの平均粒径が導電性粉末の平均粒径よりも著しく大きい場合にも粉末全体の分散性が低下するが、3.0(μm)以下であれば一層良好な分散性が得られる。しかも、ガラスの一層の溶融性が得られる。したがって、一層良好なオーミックコンタクトを得るためには上記平均粒径が好ましい。 The glass frit has an average particle size (D50) in the range of 0.3 to 3.0 (μm). If the average particle size of the glass frit is too small, melting will be too early when the electrode is fired, resulting in a decrease in electrical characteristics, but if it is 0.3 (μm) or more, moderate melting properties can be obtained, so that the electrical characteristics are further enhanced. . In addition, since agglomeration is unlikely to occur, better dispersibility can be obtained during paste preparation. Also, the dispersibility of the entire powder is lowered when the average particle size of the glass frit is significantly larger than the average particle size of the conductive powder, but better dispersibility can be obtained when it is 3.0 (μm) or less. Moreover, a further melting property of the glass can be obtained. Therefore, in order to obtain a better ohmic contact, the average particle diameter is preferable.
なお、上記ガラスフリットの平均粒径は空気透過法による値である。空気透過法は、粉体層に対する流体(例えば空気)の透過性から粉体の比表面積を測定する方法をいう。この測定方法の基礎となるのは、粉体層を構成する全粒子の濡れ表面積とそこを通過する流体の流速および圧力降下の関係を示すコゼニー・カーマン(Kozeny-Carmann)の式であり、装置によって定められた条件で充填された粉体層に対する流速と圧力降下を測定して試料の比表面積を求める。この方法は充填された粉体粒子の間隙を細孔と見立てて、空気の流れに抵抗となる粒子群の濡れ表面積を求めるもので、通常はガス吸着法で求めた比表面積よりも小さな値を示す。求められた上記比表面積および粒子密度から粉体粒子を仮定した平均粒径を算出できる。 The average particle size of the glass frit is a value obtained by the air permeation method. The air permeation method is a method for measuring the specific surface area of a powder from the permeability of a fluid (for example, air) to a powder layer. The basis of this measurement method is the Kozeny-Carmann equation, which shows the relationship between the wetted surface area of all particles making up the powder layer and the flow velocity and pressure drop of the fluid passing therethrough. The specific surface area of the sample is obtained by measuring the flow velocity and pressure drop with respect to the powder layer filled under the conditions determined by the above. In this method, the gap between the filled powder particles is regarded as pores, and the wetted surface area of the particles that resists the flow of air is determined. Usually, the value is smaller than the specific surface area determined by the gas adsorption method. Show. An average particle diameter assuming powder particles can be calculated from the obtained specific surface area and particle density.
また、好適には、前記導電性粉末は平均粒径(D50)が0.3〜3.0(μm)の範囲内の銀粉末である。導電性粉末としては銅粉末やニッケル粉末等も用い得るが、銀粉末が高い導電性を得るために最も好ましい。また、銀粉末の平均粒径が3.0(μm)以下であれば一層良好な分散性が得られるので一層高い導電性が得られる。また、0.3(μm)以上であれば凝集が抑制されて一層良好な分散性が得られる。なお、0.3(μm)未満の銀粉末は著しく高価であるため、製造コストの面からも0.3(μm)以上が好ましい。また、導電性粉末、ガラスフリット共に平均粒径が3.0(μm)以下であれば、細線パターンで電極を印刷形成する場合にも目詰まりが生じ難い利点がある。 Preferably, the conductive powder is a silver powder having an average particle diameter (D50) in the range of 0.3 to 3.0 (μm). Although copper powder, nickel powder, etc. can be used as the conductive powder, silver powder is most preferable in order to obtain high conductivity. Further, if the average particle size of the silver powder is 3.0 (μm) or less, better dispersibility can be obtained, and thus higher conductivity can be obtained. Moreover, if it is 0.3 (μm) or more, aggregation is suppressed and better dispersibility can be obtained. Since silver powder of less than 0.3 (μm) is extremely expensive, 0.3 (μm) or more is preferable from the viewpoint of manufacturing cost. Further, if the average particle diameter of both the conductive powder and the glass frit is 3.0 (μm) or less, there is an advantage that clogging hardly occurs even when the electrode is printed by a fine line pattern.
なお、前記銀粉末は特に限定されず、球状や鱗片状等、どのような形状の粉末が用いられる場合にも導電性を保ったまま細線化が可能であるという本発明の基本的効果を享受し得る。但し、球状粉を用いた場合が印刷性に優れると共に、塗布膜における銀粉末の充填率が高くなるため、導電性の高い銀が用いられることと相俟って、鱗片状等の他の形状の銀粉末が用いられる場合に比較して、その塗布膜から生成される電極の導電率が高くなる。そのため、必要な導電性を確保したまま線幅を一層細くすることが可能となることから、特に好ましい。 The silver powder is not particularly limited, and enjoys the basic effect of the present invention that thinning can be achieved while maintaining conductivity even when a powder of any shape such as a spherical shape or a scale shape is used. Can do. However, when the spherical powder is used, the printability is excellent and the filling rate of the silver powder in the coating film is increased, so that, together with the use of highly conductive silver, other shapes such as scales are used. Compared with the case where the silver powder of this is used, the electrical conductivity of the electrode produced | generated from the coating film becomes high. Therefore, it is particularly preferable because the line width can be further reduced while ensuring the necessary conductivity.
また、好適には、前記太陽電池電極用ペースト組成物は、25(℃)−20(rpm)における粘度が150〜250(Pa・s)の範囲内、粘度比(すなわち、[10(rpm)における粘度]/[100(rpm)における粘度])が3〜8である。このような粘度特性を有するペーストを用いることにより、スキージングの際に好適に低粘度化してスクリーンメッシュを透過し、その透過後には高粘度に戻って印刷幅の広がりが抑制されるので、スクリーンを容易に透過して目詰まりを生じないなど印刷性を保ったまま細線パターンが容易に得られる。ペースト組成物の粘度は、180〜220(Pa・s)の範囲が一層好ましく、粘度比は3.2〜6.5の範囲が一層好ましい。また、設計線幅が100(μm)以下の細線化には粘度比4〜6が望ましい。 Preferably, the solar cell electrode paste composition has a viscosity ratio (that is, [10 (rpm)) within a range of a viscosity of 150 to 250 (Pa · s) at 25 (° C.)-20 (rpm). Viscosity at] / [viscosity at 100 (rpm)]) is 3-8. By using a paste having such a viscosity characteristic, the viscosity is suitably reduced during squeezing and transmitted through the screen mesh. After the transmission, the viscosity returns to a high viscosity and the expansion of the printing width is suppressed. Thus, a fine line pattern can be easily obtained while maintaining the printability such that clogging does not easily occur and clogging does not occur. The viscosity of the paste composition is more preferably in the range of 180 to 220 (Pa · s), and the viscosity ratio is more preferably in the range of 3.2 to 6.5. In addition, a viscosity ratio of 4 to 6 is desirable for thinning a design line width of 100 (μm) or less.
なお、線幅を細くしても断面積が保たれるように膜厚を厚くすることは、例えば、印刷製版の乳剤厚みを厚くすること、テンションを高くすること、線径を細くして開口径を広げること等でも可能である。しかしながら、乳剤厚みを厚くすると版離れが悪くなるので印刷パターン形状の安定性が得られなくなる。また、テンションを高くし或いは線径を細くすると、スクリーンメッシュが伸び易くなるので寸法・形状精度を保つことが困難になると共に印刷製版の耐久性が低下する問題がある。しかも、太幅で設けられることから膜厚を厚くすることが無用なバスバーも厚くなるため、材料の無駄が多くなる問題もある。 Note that increasing the film thickness so that the cross-sectional area can be maintained even if the line width is reduced includes, for example, increasing the emulsion thickness of the printing plate, increasing the tension, and reducing the line diameter. It is also possible to widen the aperture. However, when the emulsion thickness is increased, the separation of the plate is deteriorated, so that the stability of the printed pattern shape cannot be obtained. In addition, when the tension is increased or the wire diameter is reduced, the screen mesh is easily stretched, so that it is difficult to maintain the dimensional and shape accuracy and the durability of the printing plate making is lowered. In addition, since it is provided with a large width, a bus bar that is unnecessary to increase the film thickness is also increased, resulting in a problem of waste of material.
また、好適には、前記太陽電池電極用ペースト組成物は、前記導電性粉末を64〜90重量部、前記ベヒクルを3〜20重量部の範囲内の割合で含むものである。このようにすれば、印刷性が良好で線幅の細く導電性の高い電極を容易に形成できるペースト組成物が得られる。 Preferably, the paste composition for a solar cell electrode includes the conductive powder in a proportion in the range of 64 to 90 parts by weight and the vehicle in a range of 3 to 20 parts by weight. In this way, a paste composition can be obtained that can easily form an electrode having good printability, thin line width, and high conductivity.
また、好適には、前記導電性ペースト組成物は、前記ガラスフリットを前記導電性粉末100重量部に対して1〜10重量部の範囲で含むものである。1重量部以上含まれていれば十分な浸食性(ファイヤスルー性)が得られるので、良好なオーミックコンタクトが得られる。また、10重量部以下に留められていれば絶縁層が形成され難いので十分な導電性が得られる。導電性粉末100重量部に対するガラス量は、1〜8重量部が一層好ましく、1〜7重量部が更に好ましい。 Preferably, the conductive paste composition contains the glass frit in a range of 1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the conductive powder. If it is contained in an amount of 1 part by weight or more, sufficient erosion property (fire-through property) can be obtained, so that a good ohmic contact can be obtained. Further, if it is kept at 10 parts by weight or less, it is difficult to form an insulating layer, and sufficient conductivity can be obtained. The amount of glass based on 100 parts by weight of the conductive powder is more preferably 1 to 8 parts by weight, and still more preferably 1 to 7 parts by weight.
また、前記ガラスフリットを構成する鉛ガラスは、前記組成範囲でガラス化可能な種々の原料から合成することができ、例えば、酸化物、炭酸塩、硝酸塩等が挙げられるが、例えば、Sn源としては一酸化錫 SnOを、Li源としては炭酸リチウム Li2CO3を、P源としては燐酸二水素アンモニウム NH4H2PO4を、Si源としては二酸化珪素 SiO2を、B源としては硼酸 B2O3を、Pb源としては鉛丹 Pb3O4を用い得る。 Further, the lead glass constituting the glass frit can be synthesized from various raw materials that can be vitrified in the composition range, and examples thereof include oxides, carbonates, nitrates, etc. Is tin monoxide SnO, lithium carbonate Li 2 CO 3 as the Li source, ammonium dihydrogen phosphate NH 4 H 2 PO 4 as the P source, silicon dioxide SiO 2 as the Si source, boric acid as the B source the B 2 O 3, as the Pb source may use red lead Pb 3 O 4.
また、上記成分の他にAl、Ti、Zn、Zr等の他の成分を含む組成とする場合には、例えばそれらの酸化物、水酸化物、炭酸塩、硝酸塩等を用いればよい。 Moreover, when it is set as the composition containing other components, such as Al, Ti, Zn, Zr other than the said component, those oxides, hydroxides, carbonates, nitrates etc. may be used, for example.
また、本発明の導電性ペーストを構成する前記ガラスは、その特性を損なわない範囲で他の種々のガラス構成成分や添加物を含み得る。例えば、Ca、Mg、K、Ba、Sr等が含まれていても差し支えない。これらは例えば合計30(mol%)以下の範囲で含まれ得る。 In addition, the glass constituting the conductive paste of the present invention may contain other various glass components and additives as long as the properties are not impaired. For example, Ca, Mg, K, Ba, Sr, etc. may be contained. These may be included in a total range of 30 (mol%) or less, for example.
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施例において図は適宜簡略化或いは変形されており、各部の寸法比および形状等は必ずしも正確に描かれていない。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following embodiments, the drawings are appropriately simplified or modified, and the dimensional ratios, shapes, and the like of the respective parts are not necessarily drawn accurately.
図2は、本発明の一実施例の導電性組成物が適用されたシリコン系太陽電池10を備えた太陽電池モジュール12の断面構造を模式的に示す図である。図2において、太陽電池モジュール12は、上記太陽電池10と、これを封止する封止材14と、受光面側において封止材14上に設けられた表面ガラス16と、裏面側から太陽電池10および封止材14を保護するために設けられた保護フィルム(すなわちバックシート)18とを備えている。上記封止材14は、例えば、EVAから成るもので、十分な耐候性を有するように、架橋剤、紫外線吸収剤、接着保護剤等が適宜配合されている。また、上記保護フィルム18は、例えば弗素樹脂やポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂、或いはPETやEVA等から成る樹脂フィルムを複数枚貼り合わせたもの等から成るもので、高い耐候性や水蒸気バリア性等を備えている。
FIG. 2 is a diagram schematically showing a cross-sectional structure of the
また、上記の太陽電池10は、例えばp型多結晶半導体であるシリコン基板20と、その上下面にそれぞれ形成されたn層22およびp+層24と、そのn層22上に形成された反射防止膜26および受光面電極28と、そのp+層24上に形成された裏面電極30とを備えている。上記シリコン基板20の厚さ寸法は例えば100〜200(μm)程度である。
The
上記のn層22およびp+層24は、シリコン基板20の上下面に不純物濃度の高い層を形成することで設けられたもので、その高濃度層の厚さ寸法はn層22が例えば70〜100(nm)程度、p+層24が例えば500(nm)程度である。n層22は、一般的なシリコン系太陽電池では100〜200(nm)程度であるが、本実施例ではそれよりも薄くなっており、シャローエミッタと称される構造を成している。なお、n層22に含まれる不純物は、n型のドーパント、例えば燐(P)で、p+層24に含まれる不純物は、p型のドーパント、例えばアルミニウム(Al)や硼素(B)である。
The
また、前記の反射防止膜26は、例えば、窒化珪素 Si3N4等から成る薄膜で、例えば可視光波長の1/4程度の光学的厚さ、例えば80(nm)程度で設けられることによって10(%)以下、例えば2(%)程度の極めて低い反射率に構成されている。
The
また、前記の受光面電極28は、例えば一様な厚さ寸法の厚膜導体から成るもので、図3に示されるように、受光面32の略全面に、多数本の細線部を有する櫛状を成す平面形状で設けられている。
The light-receiving
上記の厚膜導体は、Agを100重量部に対してガラスを1〜10重量部の範囲で、例えば4.5重量部程度含む厚膜銀から成るもので、そのガラスはLi含有鉛ガラス或いはLi非含有鉛ガラスである。 The above thick film conductor is made of thick film silver containing 1 to 10 parts by weight of glass with respect to 100 parts by weight of Ag, for example, about 4.5 parts by weight. Contains lead glass.
Li含有鉛ガラスの場合の組成は、酸化物換算した値で、PbOを24〜64(mol%)の範囲内、例えば51.0(mol%)程度、B2O3を1〜18(mol%)の範囲内、例えば6.0(mol%)程度、SiO2を11〜40(mol%)の範囲内、例えば24.0(mol%)程度、Al2O3を0〜9(mol%)の範囲内、例えば3.0(mol%)程度、Li2Oを0.6〜18(mol%)の範囲内、例えば3.0(mol%)程度、TiO2を0〜6(mol%)の範囲内、例えば3.0(mol%)程度、ZnOを0〜15(mol%)の範囲内、例えば5.5(mol%)程度、ZrO2を0〜0.5(mol%)の範囲内、例えば0(mol%)、P2O5を0〜6(mol%)の範囲内、例えば2.0(mol%)程度、Bi2O3を0〜15(mol%)の範囲内、例えば0(mol%)、Na2Oを0〜1(mol%)の範囲内、例えば0(mol%)、SnOを0.5〜20(mol%)の範囲内、例えば2.0(mol%)程度、SO2を0〜2(mol%)の範囲内、例えば0.5(mol%)程度、Ag2Oを0〜2(mol%)の範囲内、例えば0(mol%)、それぞれ含む鉛ガラスである。また、この鉛ガラスにおいて、PbOとSiO2は、Pb/Siモル比が0.6〜5.0の範囲内、例えば2.13程度の割合となるように含まれている。 The composition of the case of Li-containing lead glass, in terms of oxide value in the range of 24 to 64 a PbO (mol%), for example 51.0 (mol%) or so, the B 2 O 3 1~18 (mol% ) in the range of, for example, 6.0 (mol%) or so, the range of the SiO 2 11~40 (mol%), for example 24.0 (mol%) or so, the range of the Al 2 O 3 0~9 (mol% ), for example 3.0 (mol%) or so, in the range of 0.6 to 18 and Li 2 O (mol%), for example, 3.0 (mol%) or so, the range of the TiO 2 0~6 (mol%), for example, 3.0 (mol% ) approximately in the range of ZnO 0 to 15 (mol%), for example, 5.5 (mol%) or so, the ZrO 2 in the range of 0 to 0.5 (mol%), for example, 0 (mol%), the P 2 O 5 0-6 within the range of (mol%), for example, 2.0 (mol%) or so, the range of the Bi 2 O 3 0~15 (mol% ), for example, 0 (mol%), Na 2 O 0 to 1 ( in the range of mol%), for example, 0 (mol%), in the range of SnO 0.5 to 20 of (mol%), for example, 2.0 (mol%) of about, within the scope of the SO 2 0~2 (mol%), for example, Lead glass containing about 0.5 (mol%) and Ag 2 O in the range of 0 to 2 (mol%), for example, 0 (mol%). In this lead glass, PbO and SiO 2 are contained so that the Pb / Si molar ratio is in the range of 0.6 to 5.0, for example, about 2.13.
また、Li非含有鉛ガラスの場合の組成は、酸化物換算した値で、PbOを55〜65(mol%)の範囲内、例えば62.0(mol%)程度、B2O3を1〜8(mol%)の範囲内、例えば4.0(mol%)程度、SiO2を21〜36(mol%)の範囲内、例えば27.0(mol%)程度、Al2O3を0〜6(mol%)の範囲内、例えば1.0(mol%)程度、TiO2を0〜3(mol%)の範囲内、例えば0(mol%)、ZnOを0〜4.5(mol%)の範囲内、例えば2.0(mol%)程度、ZrO2を0〜0.5(mol%)の範囲内、例えば0(mol%)、P2O5を0〜4(mol%)の範囲内、例えば2.0(mol%)程度、Bi2O3を0〜2(mol%)の範囲内、例えば0(mol%)、SnOを0.5〜12(mol%)の範囲内、例えば2.0(mol%)程度、SO2を0〜0.5(mol%)の範囲内、例えば0(mol%)、Ag2Oを0〜0.5(mol%)の範囲内、例えば0(mol%)、それぞれ含む鉛ガラスである。また、この鉛ガラスにおいて、PbOとSiO2は、Pb/Siモル比が1.5〜2.9の範囲内、例えば2.30程度の割合となるように含まれている。 Further, the composition of the case of Li-free lead glass, in terms of oxide values, the range of the PbO 55 to 65 (mol%), for example 62.0 (mol%) of about, B 2 O 3 1-8 ( in the range of mol%), for example, 4.0 (mol%) or so, the range of SiO 2 and 21 to 36 (mol%), for example 27.0 (mol%) or so, Al 2 O 3 0-6 of (mol%) range, for example 1.0 (mol%) or so, the range of the TiO 2 0~3 (mol%), for example, 0 (mol%), the ZnO in the range of 0 to 4.5 (mol%), for example, 2.0 (mol% ZrO 2 in the range of 0 to 0.5 (mol%), for example 0 (mol%), P 2 O 5 in the range of 0 to 4 (mol%), for example, about 2.0 (mol%), Bi 2 O 3 within the range of 0 to 2 (mol%), for example, 0 (mol%), within the scope of the SnO 0.5~12 (mol%), for example, 2.0 (mol%) or so, the SO 2 0 to 0.5 (mol %), For example, 0 (mol%) and Ag 2 O in the range of 0 to 0.5 (mol%), for example 0 (mol%), respectively. In this lead glass, PbO and SiO 2 are contained so that the Pb / Si molar ratio is in the range of 1.5 to 2.9, for example, about 2.30.
また、上記の導体層の厚さ寸法は例えば20〜30(μm)の範囲内、例えば25(μm)程度で、細線部の各々の幅寸法は例えば60〜130(μm)の範囲内、例えば80(μm)程度で、十分に高い導電性を備えている。 In addition, the thickness dimension of the conductor layer is, for example, in the range of 20-30 (μm), for example, about 25 (μm), and the width dimension of each thin line portion is, for example, in the range of 60-130 (μm), for example, It is about 80 (μm) and has sufficiently high conductivity.
また、前記の裏面電極30は、p+層24上にアルミニウムを導体成分とする厚膜材料を略全面に塗布して形成された全面電極34と、その全面電極34上に帯状に塗布して形成された厚膜銀から成る帯状電極36とから構成されている。この帯状電極36は、裏面電極30に半田リボン38や導線等を半田付け可能にするために設けられたものである。前記受光面電極28にも裏面側と同様に半田リボン38が溶着されている。
The
本実施例の太陽電池10は、受光面電極28が前述した組成を有しSnOが0.5〜20(mol%)の範囲内の割合で含まれるLi含有鉛ガラス、或いは、SnOが0.5〜12(mol%)の範囲内の割合で含まれるLi非含有鉛ガラスを、銀100重量部に対して1〜10重量部の範囲で含む厚膜銀で構成されていることから、ファイヤースルーで受光面電極28を形成するに際して、ガラス中へのAg溶解量が十分に多くなると共にAg結晶核が適度に発生させられている。そのため、直列抵抗が低く且つ発生した電子の再結合も生じ難いので、FF値および電流値が大きく延いては変換効率が高い性能を有している。また、浸食量が90〜110(nm)程度すなわち反射防止膜18の厚さ寸法よりも最大で30(nm)程度だけ大きい深さに制御されているので、線幅が80(μm)程度に細くされているにも拘わらず、n層22との間で良好なオーミックコンタクトが得られ、接触抵抗が低くなっている。
In the
図4は、上記太陽電池10におけるシリコン基板20表面近傍から受光面電極28までの導電パスを説明するための模式図である。シリコン基板20と受光面電極28との間にはファイヤースルーの際にガラス層40が形成されている。本実施例のようにSnを含むガラス組成が選択されることによって適度なAg溶解量が実現されていると、上記ガラス層40内には、ナノメートルオーダーの再結晶Ag42と、それよりも大きい再結晶Ag44とが、それぞれ適量生成される。このような再結晶Ag42,44の生成状態は、前記図1(a)、(b)に示したAg溶解度が大きい場合と小さい場合との中間の状態であり、導電パスもそれらを混合した態様となる。
FIG. 4 is a schematic diagram for explaining a conductive path from the vicinity of the surface of the
すなわち、シリコン基板20内で発生した電子は、ガラス層40内の再結晶Ag42,44に到達すると、層面に沿った方向(図4における横方向)では概ねAg-ガラス-Ag-・・・の経路を通るホッピング伝導が主となるが、ガラス層40から受光面電極20への移動経路(図4における縦方向)は、ホッピング伝導の他に再結晶Ag42,44から受光面電極20内の銀粒子46への直接伝導があり、後者が主となる。そのため、横方向の電子伝導がシリコン基板20内を通らないので再結合が生じ難く、しかも、縦方向の電子伝導が直接伝導によって低抵抗になることから、前述したように、直列抵抗が低く且つ再結合も生じ難い太陽電池10が得られるのである。
That is, when the electrons generated in the
しかも、本実施例の受光面電極42は、前述したようにガラス量が4.5重量部程度と少量にされていることから高い導電性を有しているため、膜厚および線幅が何れも小さくされているにも拘わらずライン抵抗が低いので、接触抵抗が低いことと相俟って太陽電池10の光電変換効率が高められている。
Moreover, since the light receiving
上記のような受光面電極20は、例えば、導体粉末と、ガラスフリットと、ベヒクルと、溶剤とから成る電極用ペーストを用いて良く知られたファイヤースルー法によって形成されたものである。その受光面電極形成を含む太陽電池10の製造方法の一例を以下に説明する。
The light receiving
まず、上記ガラスフリットを作製する。Sn源として一酸化錫 SnOを、Li源として炭酸リチウム Li2CO3を、P源としてリン酸二水素アンモニウム NH4H2PO4を、Si源として二酸化珪素 SiO2を、B源として硼酸 B2O3を、Pb源として鉛丹 Pb3O4を、Al源として酸化アルミニウム Al2O3を、Ti源として酸化チタン TiO2を、Zn源として酸化亜鉛 ZnO等をそれぞれ用意し、前述した範囲内の適宜の組成となるように秤量して調合する。これを坩堝に投入して組成に応じた900〜1200(℃)の範囲内の温度で、30分〜1時間程度溶融し、急冷することでガラス化させる。このガラスを遊星ミルやボールミル等の適宜の粉砕装置を用いて粉砕する。粉砕後の平均粒径(D50)は例えば0.3〜3.0(μm)程度である。なお、上記ガラス粉末の平均粒径は空気透過法を用いて算出したものである。 First, the glass frit is produced. Tin monoxide SnO as Sn source, lithium carbonate Li 2 CO 3 as Li source, ammonium dihydrogen phosphate NH 4 H 2 PO 4 as P source, silicon dioxide SiO 2 as Si source, boric acid as B source B 2 O 3 was prepared as a Pb source Pb 3 O 4 , aluminum oxide as an Al source Al 2 O 3 , titanium oxide TiO 2 as a Ti source, zinc oxide ZnO as a Zn source, etc. Weigh and prepare so as to obtain an appropriate composition within the range. This is put into a crucible, melted at a temperature in the range of 900 to 1200 (° C.) according to the composition for about 30 minutes to 1 hour, and rapidly cooled to be vitrified. This glass is pulverized using an appropriate pulverizing apparatus such as a planetary mill or a ball mill. The average particle size (D50) after pulverization is, for example, about 0.3 to 3.0 (μm). In addition, the average particle diameter of the said glass powder is computed using the air permeation method.
一方、導体粉末として、例えば、平均粒径(D50)が0.3〜3.0(μm)の範囲内の市販の球状の銀粉末を用意する。このような平均粒径が十分に小さい銀粉末を用いることにより、塗布膜における銀粉末の充填率を高め延いては導体の導電率を高めることができる。また、前記ベヒクルは、有機溶剤に有機結合剤を溶解させて調製したもので、有機溶剤としては、例えばブチルカルビトールアセテートが、有機結合剤としては、例えばエチルセルロースが用いられる。ベヒクル中のエチルセルロースの割合は例えば15(wt%)程度である。また、ベヒクルとは別に添加する溶剤は、例えばブチルカルビトールアセテートである。すなわち、これに限定されるものではないが、ベヒクルに用いたものと同じ溶剤でよい。この溶剤は、ペーストの粘度調整の目的で添加される。 On the other hand, as the conductor powder, for example, a commercially available spherical silver powder having an average particle diameter (D50) in the range of 0.3 to 3.0 (μm) is prepared. By using such silver powder having a sufficiently small average particle diameter, the filling rate of the silver powder in the coating film can be increased and the electrical conductivity of the conductor can be increased. The vehicle is prepared by dissolving an organic binder in an organic solvent. For example, butyl carbitol acetate is used as the organic solvent, and ethyl cellulose is used as the organic binder. The ratio of ethyl cellulose in the vehicle is, for example, about 15 (wt%). A solvent added separately from the vehicle is, for example, butyl carbitol acetate. That is, although it is not limited to this, the same solvent as that used for the vehicle may be used. This solvent is added for the purpose of adjusting the viscosity of the paste.
以上のペースト原料をそれぞれ用意して、例えば導体粉末を77〜90(wt%)、ガラスフリットを1〜6(wt%)、ベヒクルを5〜14(wt%)、溶剤を3〜5(wt%)の割合で秤量し、攪拌機等を用いて混合した後、例えば三本ロールミルで分散処理を行う。これにより、前記電極用ペーストが得られる。 Prepare the above paste raw materials, for example, conductor powder 77-90 (wt%), glass frit 1-6 (wt%), vehicle 5-14 (wt%), solvent 3-5 (wt %) And are mixed using a stirrer or the like, and then subjected to a dispersion treatment using, for example, a three-roll mill. Thereby, the electrode paste is obtained.
上記のようにして電極用ペーストを調製する一方、適宜のシリコン基板に例えば、熱拡散法やイオンプランテーション等の良く知られた方法で不純物を拡散し或いは注入して前記n層22およびp+層24を形成することにより、前記シリコン基板20を作製する。次いで、これに例えばPE−CVD(プラズマCVD)等の適宜の方法で窒化珪素薄膜を形成し、前記反射防止膜26を設ける。
While preparing the electrode paste as described above, the
次いで、上記の反射防止膜26上に前記図3に示すパターンで前記電極用ペーストをスクリーン印刷する。これを例えば150(℃)で乾燥し、更に、近赤外炉において700〜900(℃)の範囲内の温度で焼成処理を施す。これにより、その焼成過程で電極用ペースト中のガラス成分が反射防止膜26を溶かし、その電極用ペーストが反射防止膜26を破るので、電極用ペースト中の導体成分すなわち銀とn層22との電気的接続が得られ、前記図2に示されるようにシリコン基板20と受光面電極28とのオーミックコンタクトが得られる。受光面電極28は、このようにして形成される。
Next, the electrode paste is screen-printed on the
なお、前記裏面電極30は、上記工程の後に形成してもよいが、受光面電極28と同時に焼成して形成することもできる。裏面電極30を形成するに際しては、上記シリコン基板20の裏面全面に、例えばアルミニウムペーストをスクリーン印刷法等で塗布し、焼成処理を施すことによってアルミニウム厚膜から成る前記全面電極34を形成する。更に、その全面電極34の表面に前記電極用ペーストをスクリーン印刷法等を用いて帯状に塗布して焼成処理を施すことによって、前記帯状電極36を形成する。これにより、裏面全面を覆う全面電極34と、その表面の一部に帯状に設けられた帯状電極36とから成る裏面電極30が形成され、前記の太陽電池10が得られる。上記工程において、同時焼成で製造する場合には、受光面電極20の焼成前に印刷処理を施すことになる。
The
ガラス組成を種々変更して、上記の製造工程に従って太陽電池10を製造し、市販のソーラーシミュレータを用いてその出力を測定して、曲線因子FF値、変換効率Eff、およびリーク電流Ivを評価した結果を、ガラス組成と併せて表1〜表4に示す。表1(No.1〜12)はLi非含有鉛ガラスを用いたもの、表2、3(No.13〜82)はLi含有鉛ガラスを用いたもの、表4はBi含有系で最適組成を検討したものである。FF値は良好なオーミックコンタクトが得られているか否かの判定であり、一般に、太陽電池はFF値が70以上であれば使用可能とされているが、高いほど好ましいのはもちろんであり、本実施例においては、FF値が75より大きいものを合格とした。また、変換効率は高い方がよく、電流値等の低下がなく総合的に変換効率が良好であるか否かを判定したもので、17(%)以上を合格とした。また、リーク電流は低い方が好ましく、pn接合に電極の侵入が起きたか否かの判定基準となる。リーク電流は10(V)における数値で0.1(A)以下を◎、0.2(A)以下を○、0.5(A)以下を△、0.5(A)超を×とした。
Various glass compositions were changed,
なお、各試料は平均粒径1.6(μm)の球状のAg粉と平均粒径1.5(μm)のガラスフリットとを用いて作製した。調合割合はAg粉 86(wt%)、ガラスフリット 4(wt%)、ベヒクル 6(wt%)、溶剤 4(wt%)を基本とし、印刷性を同等とするために、25(℃)−20(rpm)における粘度が200〜220(Pa・s)になるようにベヒクル量および溶剤量を適宜調整した。また、受光面電極28を形成する際の印刷製版は、線径23(μm)のSUS325製スクリーンメッシュに20(μm)厚の乳剤を設けたものとした。また、グリッドラインの幅寸法が80(μm)となるように印刷条件を設定した。また、5インチ単結晶基板を用い、基板のシート抵抗は90±10(Ω/□)を用いて評価を行った。
Each sample was prepared using spherical Ag powder having an average particle size of 1.6 (μm) and glass frit having an average particle size of 1.5 (μm). The mixing ratio is based on Ag powder 86 (wt%), glass frit 4 (wt%), vehicle 6 (wt%), solvent 4 (wt%), and 25 (° C) − The amount of vehicle and the amount of solvent were appropriately adjusted so that the viscosity at 20 (rpm) was 200 to 220 (Pa · s). The printing plate making for forming the light-receiving
上記表1に示すLi非含有鉛ガラスを用いた評価では、No.2〜4、6〜11が実施例、その他(No.1、5、12)が比較例である。この表1には、実施例として、基本骨格を構成するPbO-B2O3-SiO2にSnOが添加された4成分系と、これに更に、Al2O3、TiO2、ZnO、ZrO2、P2O5、Bi2O3、SO2、Ag2Oのうちのいくつかが添加された5成分系〜9成分系のガラスが示されている。 In the evaluation using the Li-free lead glass shown in Table 1, Nos. 2 to 4 and 6 to 11 are examples, and the others (No. 1, 5, and 12) are comparative examples. Table 1 shows, as an example, a four-component system in which SnO is added to PbO—B 2 O 3 —SiO 2 constituting the basic skeleton, and Al 2 O 3 , TiO 2 , ZnO, and ZrO. 5 to 9 component glasses to which some of 2 , P 2 O 5 , Bi 2 O 3 , SO 2 , and Ag 2 O are added are shown.
比較例No.1と実施例No.2〜4等とを対比すると、Pb量が61.0〜68.0(mol%)、B量が4.0〜8.0(mol%)、Si量が22.0〜26.0(mol%)、Al量が0(mol%)、Ti量が0〜3.0(mol%)、Zn量が0〜1.5(mol%)、Zr量が0〜0.5(mol%)、P量が0〜4.0(mol%)、Bi量が0(mol%)、Sn量が0.5〜12.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)、Ag量が0(mol%)、Pb/Si比が2.35〜2.96の範囲内の組成では、Pb量が61.0〜65.0(mol%)、B量が4.0〜8.0(mol%)、Si量が22.0〜26.0(mol%)、Ti量が0〜3.0(mol%)、Zn量が0(mol%)、Zr量が0〜0.5(mol%)、P量が0〜4.0(mol%)、Sn量が0.5〜12.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)、Pb/Si比が2.35〜2.82の範囲で、すなわち、Pb量に関しては、65.0(mol%)以下であればFF値が75以上、Effが17.0(%)以上と十分に高く、Ivが0.2(A)以下と十分に小さい特性が得られた。Pb量が68.0(mol%)と多く、結果的にPb/Siも2.96と大きい比較例No.1では、FF値が74、Effが16.7(%)に留まり、Ivも0.5(A)以下の結果となった。 Comparing Comparative Example No. 1 and Example Nos. 2 to 4 etc., the Pb amount is 61.0 to 68.0 (mol%), the B amount is 4.0 to 8.0 (mol%), the Si amount is 22.0 to 26.0 (mol%) ), Al amount 0 (mol%), Ti amount 0-3.0 (mol%), Zn amount 0-1.5 (mol%), Zr amount 0-0.5 (mol%), P amount 0-4.0 (mol%), Bi amount is 0 (mol%), Sn amount is 0.5 to 12.0 (mol%), S amount is 0 to 0.5 (mol%), Ag amount is 0 (mol%), Pb / Si ratio is In the composition in the range of 2.35 to 2.96, Pb amount is 61.0 to 65.0 (mol%), B amount is 4.0 to 8.0 (mol%), Si amount is 22.0 to 26.0 (mol%), Ti amount is 0 to 3.0 ( mol%), Zn amount 0 (mol%), Zr amount 0-0.5 (mol%), P amount 0-4.0 (mol%), Sn amount 0.5-12.0 (mol%), S amount 0 -0.5 (mol%), Pb / Si ratio is in the range of 2.35-2.82, that is, regarding Pb amount, if it is 65.0 (mol%) or less, FF value is 75 or more and Eff is 17.0 (%) or more. And Iv was 0.2 (A) or less, and a sufficiently small characteristic was obtained. In Comparative Example No. 1 where the amount of Pb is as large as 68.0 (mol%) and Pb / Si is also large as 2.96, the FF value is 74, Eff remains at 16.7 (%), and Iv is also 0.5 (A) or less As a result.
また、実施例No.3に示すように、B量を8.0(mol%)、P量を4.0(mol%)まで増し、Sn量を0.5(mol%)と減じても、FF値が76、Effが17.1(%)、Ivが0.2(A)以下と良好な結果が得られた。 Further, as shown in Example No. 3, even if the B amount is increased to 8.0 (mol%), the P amount is increased to 4.0 (mol%), and the Sn amount is decreased to 0.5 (mol%), the FF value is 76, Good results were obtained with Eff of 17.1 (%) and Iv of 0.2 (A) or less.
また、実施例No.4、6、比較例No.5とを対比すると、Pb量が59.5〜62.0(mol%)、B量が4.0〜6.0(mol%)、Si量が20.0〜22.0(mol%)、Al量が0〜3.0(mol%)、Ti量が0〜3.0(mol%)、Zn量が0〜3.0(mol%)、Zr量が0(mol%)、P量が0〜2.0(mol%)、Bi量が0(mol%)、Sn量が2.0〜15.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)、Ag量が0(mol%)、Pb/Si比が2.82〜3.00の範囲内の組成では、Pb量が59.5〜62.0(mol%)、B量が4.0〜6.0(mol%)、Si量が21.0〜22.0(mol%)、Al量が0〜3.0(mol%)、Ti量が0〜3.0(mol%)、Zn量が0〜3.0(mol%)、P量が0〜2.0(mol%)、Sn量が2.0〜12.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)、Pb/Si比が2.82〜2.83の範囲内で、すなわち、Si量を21.0(mol%)まで減じ、Sn量を12.0(mol%)まで増し、結果的にPb/Siを2.83まで増しても、FF値が75以上、Effが17.0(%)以上、Ivが0.2(A)以下と良好な結果が得られるが、Si量を20.0(mol%)まで減じ、Sn量を15.0(mol%)まで増すと、FF値が72、Effが16.4(%)に留まり、Ivも0.5(A)以上に増大する結果となった。なお、No.4に示すように、本発明における必須成分Pb、B、Si、Snのみの4成分系でも、十分な結果が得られる。 Further, when comparing Example No. 4 and 6 and Comparative Example No. 5, the Pb amount was 59.5 to 62.0 (mol%), the B amount was 4.0 to 6.0 (mol%), and the Si amount was 20.0 to 22.0 (mol). %), Al amount 0-3.0 (mol%), Ti amount 0-3.0 (mol%), Zn amount 0-3.0 (mol%), Zr amount 0 (mol%), P amount 0- 2.0 (mol%), Bi amount is 0 (mol%), Sn amount is 2.0 to 15.0 (mol%), S amount is 0 to 0.5 (mol%), Ag amount is 0 (mol%), Pb / Si ratio In the composition within the range of 2.82 to 3.00, the Pb amount is 59.5 to 62.0 (mol%), the B amount is 4.0 to 6.0 (mol%), the Si amount is 21.0 to 22.0 (mol%), and the Al amount is 0 to 3.0. (mol%), Ti amount 0 to 3.0 (mol%), Zn amount 0 to 3.0 (mol%), P amount 0 to 2.0 (mol%), Sn amount 2.0 to 12.0 (mol%), S Within the range of 0 to 0.5 (mol%) and Pb / Si ratio of 2.82 to 2.83, i.e., reducing the Si content to 21.0 (mol%) and increasing the Sn content to 12.0 (mol%), resulting in Even if Pb / Si is increased to 2.83, good results are obtained with FF value of 75 or more, Eff of 17.0 (%) or more, and Iv of 0.2 (A) or less, but the amount of Si is reduced to 20.0 (mol%). When the Sn content is increased to 15.0 (mol%), the FF value remains at 72 and Eff remains at 16.4 (%). , Resulted in Iv also increases 0.5 (A) above. In addition, as shown in No. 4, sufficient results can be obtained even in a four-component system including only the essential components Pb, B, Si, and Sn in the present invention.
また、実施例No.7〜10に示すように、Pb量が58.0〜62.0(mol%)、B量が4.0(mol%)、Si量が25.0〜29.0(mol%)、Al量が1.0〜6.0(mol%)、Ti量が3.0(mol%)以下、Zn量が2.0(mol%)以下、Zr量が0(mol%)、P量が1.0〜2.0(mol%)、Bi量が2.0(mol%)以下、Sn量が1.0〜2.0(mol%)、S量が0.5(mol%)以下、Ag量が0.5(mol%)以下の組成で、FF値が77〜78、Effが17.4〜17.6(%)、Ivが0.2(A)以下と、優れた特性が得られた。特に、Pb量が62.0(mol%)、Si量が27.0〜29.0(mol%)、Al量が1.0(mol%)、Ti量が0(mol%)、Zn量が1.0〜2.0(mol%)、P量が1.0〜2.0(mol%)、Bi量が0(mol%)のNo.8、9では、FF値が78、Effが17.6(%)、Ivが0.1(A)以下の極めて高い特性が得られた。また、No.8では、焼成温度範囲も720〜770(℃)と広い結果であり、Li非含有鉛ガラスを用いたペースト組成では最も優れた結果となった。 Further, as shown in Example Nos. 7 to 10, the Pb amount is 58.0 to 62.0 (mol%), the B amount is 4.0 (mol%), the Si amount is 25.0 to 29.0 (mol%), and the Al amount is 1.0 to 6.0 (mol%), Ti amount is 3.0 (mol%) or less, Zn amount is 2.0 (mol%) or less, Zr amount is 0 (mol%), P amount is 1.0 to 2.0 (mol%), Bi amount is 2.0 (mol%) or less, Sn amount is 1.0 to 2.0 (mol%), S amount is 0.5 (mol%) or less, Ag amount is 0.5 (mol%) or less, FF value is 77 to 78, Eff is 17.4 Excellent characteristics of ˜17.6 (%) and Iv of 0.2 (A) or less were obtained. In particular, Pb amount is 62.0 (mol%), Si amount is 27.0 to 29.0 (mol%), Al amount is 1.0 (mol%), Ti amount is 0 (mol%), Zn amount is 1.0 to 2.0 (mol%) No. 8 and 9 with P amount of 1.0-2.0 (mol%) and Bi amount of 0 (mol%), FF value is 78, Eff is 17.6 (%), Iv is 0.1 (A) or less Characteristics were obtained. In No. 8, the firing temperature range was as wide as 720 to 770 (° C.), and the paste composition using Li-free lead glass was the most excellent result.
また、実施例No.11、比較例No.12とを対比すると、Pb量が53.0〜55.0(mol%)、B量が1.0〜4.0(mol%)、Si量が36.0〜37.0(mol%)、Al量が1.0(mol%)、Ti量が0(mol%)、Zn量が2.0〜4.5(mol%)、Zr量が0〜0.5(mol%)、P量が1.0(mol%)、Bi量が0(mol%)、Sn量が1.0(mol%)、S量が0.5(mol%)、Ag量が0(mol%)、Pb/Si比が1.43〜1.53の範囲内の組成では、Pb量が55.0(mol%)、B量が1.0(mol%)、Si量が36.0(mol%)、Zn量が4.5(mol%)、Zr量が0(mol%)、Pb/Si比が1.53の組成で、すなわち、Pb量を55.0(mol%)まで、B量を1.0(mol%)まで減じ、Si量を36.0(mol%)まで、Zn量を4.5(mol%)まで増し、結果的にPb/Siが1.53まで減じても、FF値が76、Effが17.2(%)、Ivが0.2(A)以下と高い特性が得られるが、Pb量を53.0(mol%)まで減じ、Si量を37.0(mol%)まで増し、結果的にPb/Siを1.43まで減じると、FF値が74、Effが16.7(%)まで低下する結果となった。 Further, when comparing Example No. 11 and Comparative Example No. 12, the Pb amount is 53.0 to 55.0 (mol%), the B amount is 1.0 to 4.0 (mol%), and the Si amount is 36.0 to 37.0 (mol%). The amount of Al is 1.0 (mol%), the amount of Ti is 0 (mol%), the amount of Zn is 2.0 to 4.5 (mol%), the amount of Zr is 0 to 0.5 (mol%), the amount of P is 1.0 (mol%), In the composition where Bi amount is 0 (mol%), Sn amount is 1.0 (mol%), S amount is 0.5 (mol%), Ag amount is 0 (mol%), and Pb / Si ratio is in the range of 1.43 to 1.53. , Pb amount 55.0 (mol%), B amount 1.0 (mol%), Si amount 36.0 (mol%), Zn amount 4.5 (mol%), Zr amount 0 (mol%), Pb / Si ratio Has a composition of 1.53, that is, the amount of Pb is reduced to 55.0 (mol%), the amount of B is reduced to 1.0 (mol%), the amount of Si is increased to 36.0 (mol%), the amount of Zn is increased to 4.5 (mol%), As a result, even if Pb / Si is reduced to 1.53, high characteristics such as FF value of 76, Eff of 17.2 (%), and Iv of 0.2 (A) or less can be obtained, but the amount of Pb is reduced to 53.0 (mol%). When the amount of Si was increased to 37.0 (mol%) and Pb / Si was decreased to 1.43 as a result, the FF value decreased to 74 and Eff decreased to 16.7 (%).
これらの評価結果によれば、Li非含有鉛ガラスを用いた電極ペーストでは、他の元素との兼ね合いもあるが、Pb量は55.0〜65.0(mol%)、B量は1.0〜8.0(mol%)、Si量は21.0〜36.0(mol%)、Al量は6.0(mol%)以下、Ti量は3.0(mol%)以下、Zn量は4.5(mol%)以下、Zr量は0.5(mol%)、P量は4.0(mol%)以下、Bi量は2.0(mol%)以下、Sn量は0.5〜12.0(mol%)、S量は0.5(mol%)以下、Ag量は0.5(mol%)以下、Pb/Siは1.5〜2.9の範囲が好ましいと推定される。 According to these evaluation results, the electrode paste using Li-free lead glass has a balance with other elements, but the Pb amount is 55.0-65.0 (mol%), the B amount is 1.0-8.0 (mol%) ), Si amount is 21.0-36.0 (mol%), Al amount is 6.0 (mol%) or less, Ti amount is 3.0 (mol%) or less, Zn amount is 4.5 (mol%) or less, Zr amount is 0.5 (mol%) ), P amount is 4.0 (mol%) or less, Bi amount is 2.0 (mol%) or less, Sn amount is 0.5 to 12.0 (mol%), S amount is 0.5 (mol%) or less, Ag amount is 0.5 (mol%) ) Hereinafter, it is estimated that Pb / Si is preferably in the range of 1.5 to 2.9.
また、特に良好な結果が得られた実施例から、Pb量は55.0〜62.0(mol%)、Si量は25.0〜29.0(mol%)、Al量は1.0(mol%)以下、Ti量は0(mol%)、Zn量は2.0(mol%)以下、Zr量は0(mol%)、P量は1.0〜4.0(mol%)、Bi量は0(mol%)、Sn量は1.0〜2.0(mol%)、Pb/Siは2.1〜2.5の範囲が一層好ましい。また、Pb量は58.0〜62.0(mol%)、Si量は27.0〜29.0(mol%)、P量は1.0〜2.0(mol%)、Pb/Siは2.1〜2.3の範囲が特に好ましいと言える。 Further, from the examples where particularly good results were obtained, the Pb amount was 55.0-62.0 (mol%), the Si amount was 25.0-29.0 (mol%), the Al amount was 1.0 (mol%) or less, and the Ti amount was 0 (mol%), Zn amount is 2.0 (mol%) or less, Zr amount is 0 (mol%), P amount is 1.0-4.0 (mol%), Bi amount is 0 (mol%), Sn amount is 1.0-2.0 (mol%), Pb / Si is more preferably in the range of 2.1 to 2.5. Further, it can be said that the Pb amount is particularly preferably 58.0 to 62.0 (mol%), the Si amount is 27.0 to 29.0 (mol%), the P amount is 1.0 to 2.0 (mol%), and Pb / Si is preferably 2.1 to 2.3.
また、前記表2,3に示すLi含有鉛ガラスを用いた評価では、No.14〜20、22〜28、31〜42、44、45、48〜63、65、66、69〜81が実施例、その他(No.13、21、29、30、43、46、47、64、67、68、82)が比較例である。これら表2,3には、実施例として、基本骨格を構成するPbO-B2O3-SiO2にLi2OおよびSnOが添加された5成分系と、これに更に、Al2O3、TiO2、ZnO、ZrO2、P2O5、Bi2O3、Na2O、SO2、Ag2Oのうちのいくつかが添加された6成分系〜12成分系のガラスが示されている。
In the evaluation using the Li-containing lead glass shown in Tables 2 and 3, Nos. 14-20, 22-28, 31-42, 44, 45, 48-63, 65, 66, 69-81 were conducted. Examples and others (Nos. 13, 21, 29, 30, 43, 46, 47, 64, 67, 68, 82) are comparative examples. Tables 2 and 3 show, as examples, a five-component system in which Li 2 O and SnO are added to PbO—B 2 O 3 —SiO 2 constituting the basic skeleton, and further, Al 2 O 3 , TiO 2, ZnO, and ZrO 2, P 2 O 5, Bi 2 O 3, Na 2 O, SO 2, Ag 2 6
比較例No.13、実施例No.14等を対比すると、Pb量が64.0〜65.0(mol%)、B量が4.0(mol%)、Si量が24.0〜28.0(mol%)、Al量が0(mol%)、Li量が1.0(mol%)、Ti量が0〜3.0(mol%)、Zn量が0〜1.0(mol%)、Zr量が0〜0.5(mol%)、P量が0〜1.0(mol%)、Bi量が0(mol%)、Na量が0〜0.5(mol%)、Sn量が0.5〜2.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)、Ag量が0(mol%)、Pb/Si比が2.29〜2.71の範囲内の組成では、Pb量が64.0(mol%)、Si量が28.0(mol%)、Ti量が0(mol%)、Zn量が1.0(mol%)、Zr量が0(mol%)、P量が1.0(mol%)、Na量が0(mol%)、Sn量が0.5(mol%)、S量が0.5(mol%)、Pb/Si比が2.29の組成で、すなわち、Pb量が64.0(mol%)以下であれば、FF値が75以上、Effが17.0(%)以上と十分に高く、Ivが0.2(A)以下と十分に小さい特性が得られた。Pb量が65.0(mol%)と多い比較例No.13では、FF値が74、Effが16.8(%)に留まり、Ivも0.5(A)以下の結果となった。 Comparing Comparative Example No. 13, Example No. 14, etc., the Pb amount is 64.0-65.0 (mol%), the B amount is 4.0 (mol%), the Si amount is 24.0-28.0 (mol%), the Al amount is 0 (mol%), Li amount 1.0 (mol%), Ti amount 0-3.0 (mol%), Zn amount 0-1.0 (mol%), Zr amount 0-0.5 (mol%), P amount Is 0 to 1.0 (mol%), Bi amount is 0 (mol%), Na amount is 0 to 0.5 (mol%), Sn amount is 0.5 to 2.0 (mol%), S amount is 0 to 0.5 (mol%) In the composition where the Ag amount is 0 (mol%) and the Pb / Si ratio is in the range of 2.29 to 2.71, the Pb amount is 64.0 (mol%), the Si amount is 28.0 (mol%), and the Ti amount is 0 (mol%). ), Zn amount 1.0 (mol%), Zr amount 0 (mol%), P amount 1.0 (mol%), Na amount 0 (mol%), Sn amount 0.5 (mol%), S amount When the composition is 0.5 (mol%) and the Pb / Si ratio is 2.29, that is, when the Pb amount is 64.0 (mol%) or less, the FF value is 75 or more, Eff is 17.0 (%) or more, and Iv However, the characteristics were sufficiently small as 0.2 (A) or less. In Comparative Example No. 13, where the amount of Pb was as large as 65.0 (mol%), the FF value was 74, Eff was 16.8 (%), and Iv was 0.5 (A) or less.
また、実施例No.66等と比較例No.67とを対比すると、Pb量が20.0〜24.0(mol%)、B量が4.0〜8.0(mol%)、Si量が32.0〜34.0(mol%)、Al量が3.0(mol%)、Li量が12.0(mol%)、Ti量が3.0(mol%)、Zn量が15.0(mol%)、Zr量が0(mol%)、P量が0〜2.0(mol%)、Bi量が0〜5.0(mol%)、Na量が0〜0.5(mol%)、Sn量が2.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)、Ag量が0(mol%)、Pb/Si比が0.59〜0.75の範囲内の組成では、Pb量が24.0(mol%)、B量が4.0(mol%)、Si量が32.0(mol%)、P量が0(mol%)、Bi量が5.0(mol%)、Na量が0(mol%)、S量が0(mol%)、Pb/Si比が0.75の組成で、すなわち、Pb量が24.0(mol%)以上であれば、FF値が75以上、Effが17.0(%)以上と十分に高く、Ivが0.5(A)以下と十分に小さい特性が得られた。Pb量が20.0(mol%)と少ない比較例No.67では、FF値が73、Effが16.5(%)に留まる結果となった。 Further, when comparing Example No. 66 and Comparative Example No. 67, the Pb amount was 20.0 to 24.0 (mol%), the B amount was 4.0 to 8.0 (mol%), the Si amount was 32.0 to 34.0 (mol%). ), Al amount 3.0 (mol%), Li amount 12.0 (mol%), Ti amount 3.0 (mol%), Zn amount 15.0 (mol%), Zr amount 0 (mol%), P amount 0 to 2.0 (mol%), Bi amount is 0 to 5.0 (mol%), Na amount is 0 to 0.5 (mol%), Sn amount is 2.0 (mol%), S amount is 0 to 0.5 (mol%), In the composition where the Ag amount is 0 (mol%) and the Pb / Si ratio is in the range of 0.59 to 0.75, the Pb amount is 24.0 (mol%), the B amount is 4.0 (mol%), and the Si amount is 32.0 (mol%). , P amount is 0 (mol%), Bi amount is 5.0 (mol%), Na amount is 0 (mol%), S amount is 0 (mol%), Pb / Si ratio is 0.75, that is, Pb When the amount was 24.0 (mol%) or more, the characteristics were sufficiently small such that the FF value was 75 or more, Eff was 17.0 (%) or more, and Iv was 0.5 (A) or less. In Comparative Example No. 67 with a low Pb content of 20.0 (mol%), the FF value was 73 and Eff was only 16.5 (%).
また、実施例No.44、45等、比較例No.43、46を対比すると、Pb量が45.0〜52.0(mol%)、B量が0〜21.0(mol%)、Si量が19.0〜28.0(mol%)、Al量が0〜3.0(mol%)、Li量が6.0(mol%)、Ti量が0(mol%)、Zn量が0〜13.0(mol%)、Zr量が0(mol%)、P量が0(mol%)、Bi量が0(mol%)、Na量が0(mol%)、Sn量が2.0〜5.0(mol%)、S量が0(mol%)、Ag量が0(mol%)、Pb/Si比が1.61〜2.74の範囲内の組成では、B量が1.0〜18.0(mol%)、Si量が22.0〜27.0(mol%)、Pb/Si比が1.67〜2.36の範囲で良好な結果が得られた。すなわち、B量が1.0〜18.0(mol%)の範囲ではFF値が75以上、Effが17.0(%)以上、Ivが0.5(A)以下の良好な結果が得られたが、B量が21.0(mol%)、0(mol%)では、FF値が73〜74、Effが16.5〜16.6(%)と不十分な結果であった。 Further, when comparing Example No. 44, 45, etc. and Comparative Example No. 43, 46, Pb amount is 45.0-52.0 (mol%), B amount is 0-21.0 (mol%), Si amount is 19.0-28.0 (mol%), Al amount 0-3.0 (mol%), Li amount 6.0 (mol%), Ti amount 0 (mol%), Zn amount 0-13.0 (mol%), Zr amount 0 ( mol%), P amount 0 (mol%), Bi amount 0 (mol%), Na amount 0 (mol%), Sn amount 2.0-5.0 (mol%), S amount 0 (mol%) In the composition where the Ag amount is 0 (mol%) and the Pb / Si ratio is in the range of 1.61 to 2.74, the B amount is 1.0 to 18.0 (mol%), the Si amount is 22.0 to 27.0 (mol%), Pb / Si Good results were obtained when the ratio ranged from 1.67 to 2.36. That is, in the range of 1.0 to 18.0 (mol%) of B amount, good results were obtained with FF value of 75 or more, Eff of 17.0 (%) or more, and Iv of 0.5 (A) or less. In (mol%) and 0 (mol%), the FF value was 73 to 74 and Eff was 16.5 to 16.6 (%).
また、実施例No.31〜42、44、45、48、49、比較例No.30、47を対比すると、Pb量が40.0〜55.0(mol%)、B量が1.0〜18.0(mol%)、Si量が9.0〜42.0(mol%)、Al量が0〜6.0(mol%)、Li量が3.0〜6.0(mol%)、Ti量が0〜3.0(mol%)、Zn量が0〜13.0(mol%)、Zr量が0(mol%)、P量が0〜2.0(mol%)、Bi量が0〜17.0(mol%)、Na量が0〜0.5(mol%)、Sn量が1.0〜10.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)、Ag量が0〜2.0(mol%)、Pb/Si比が1.14〜5.56の範囲内の組成では、Si量が11.0〜40.0(mol%)、Bi量が0〜15.0(mol%)、Pb/Si比が1.23〜4.55の範囲で良好な結果が得られた。すなわち、Si量が11.0〜40.0(mol%)の範囲では、FF値が75〜78、Effが17.0〜17.9(%)、Ivが0.5(A)以下の良好な結果が得られた。Si量が9.0、42.0(mol%)では、FF値が71〜73、Effが15.8〜16.5(%)と不十分な結果であった。なお、No.36では、後述するNo.18と共に焼成温度範囲も720〜780(℃)と広く、Li含有鉛ガラスを用いたペースト組成で最も優れた結果となった。これらはLi量が1.0〜3.0(mol%)であり、少量のLiを含む組成は、前記No.8のようなLiを含まない組成のものに比べても焼成温度範囲が一層広く、好ましい。 Further, when comparing Example No. 31 to 42, 44, 45, 48, 49 and Comparative Example No. 30, 47, Pb amount was 40.0 to 55.0 (mol%), B amount was 1.0 to 18.0 (mol%) , Si amount is 9.0-42.0 (mol%), Al amount is 0-6.0 (mol%), Li amount is 3.0-6.0 (mol%), Ti amount is 0-3.0 (mol%), Zn amount is 0- 13.0 (mol%), Zr amount is 0 (mol%), P amount is 0 to 2.0 (mol%), Bi amount is 0 to 17.0 (mol%), Na amount is 0 to 0.5 (mol%), Sn amount Is 1.0 to 10.0 (mol%), S amount is 0 to 0.5 (mol%), Ag amount is 0 to 2.0 (mol%), Pb / Si ratio is in the range of 1.14 to 5.56, Si amount is 11.0. Good results were obtained in the range of ˜40.0 (mol%), Bi content of 0 to 15.0 (mol%), and Pb / Si ratio of 1.23 to 4.55. That is, when the Si content was in the range of 11.0 to 40.0 (mol%), good results were obtained with an FF value of 75 to 78, Eff of 17.0 to 17.9 (%), and Iv of 0.5 (A) or less. When the Si amount was 9.0 or 42.0 (mol%), the FF value was 71 to 73, and the Eff was 15.8 to 16.5 (%). In No. 36, the firing temperature range was wide as 720 to 780 (° C.) together with No. 18 described later, and the paste composition using Li-containing lead glass was the most excellent result. These have a Li content of 1.0 to 3.0 (mol%), and a composition containing a small amount of Li is preferable because the firing temperature range is wider than that of a composition containing no Li such as No. 8.
また、実施例No.14〜20等と、比較例No.68とを対比すると、Pb量が36.8〜64.0(mol%)、B量が4.0〜5.8(mol%)、Si量が25.5〜31.0(mol%)、Al量が0〜12.0(mol%)、Li量が1.0〜12.0(mol%)、Ti量が0〜2.0(mol%)、Zn量が0〜2.5(mol%)、Zr量が0〜0.5(mol%)、P量が0〜2.0(mol%)、Bi量が0〜2.0(mol%)、Na量が0〜0.5(mol%)、Sn量が0.5〜5.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)、Ag量が0(mol%)、Pb/Si比が1.21〜2.31の範囲内の組成では、Pb量が55.0〜64.0(mol%)、B量が4.0(mol%)、Al量が0〜9.0(mol%)、Li量が1.0(mol%)、Ti量が0(mol%)、Pb/Si比が1.97〜2.31の範囲内で、良好な結果が得られた。すなわち、Al量が0〜9.0(mol%)の範囲では、FF値が75〜78、Effが17.0〜17.8(%)の良好な結果が得られた。特に、Pb量が59.5(mol%)、B量が4.0(mol%)、Si量が30.0(mol%)、Al量が3.0(mol%)、Li量が1.0(mol%)、P量が1.0(mol%)、Sn量が1.0(mol%)、S量が0.5(mol%)のNo.18では、FF値が78、Effが17.8(%)と極めて優れた結果が得られた。一方、Al量が12.0(mol%)ではFF値が74、Effが16.6(%)の不十分な結果であった。 Further, when Example Nos. 14 to 20 and the like are compared with Comparative Example No. 68, the Pb amount is 36.8 to 64.0 (mol%), the B amount is 4.0 to 5.8 (mol%), and the Si amount is 25.5 to 31.0. (mol%), Al amount 0-12.0 (mol%), Li amount 1.0-12.0 (mol%), Ti amount 0-2.0 (mol%), Zn amount 0-2.5 (mol%), Zr Amount 0-0.5 (mol%), P amount 0-2.0 (mol%), Bi amount 0-2.0 (mol%), Na amount 0-0.5 (mol%), Sn amount 0.5-5.0 ( mol%), S amount is 0 to 0.5 (mol%), Ag amount is 0 (mol%), Pb / Si ratio is in the range of 1.21 to 2.31, Pb amount is 55.0 to 64.0 (mol%), B amount is 4.0 (mol%), Al amount is 0 to 9.0 (mol%), Li amount is 1.0 (mol%), Ti amount is 0 (mol%), and Pb / Si ratio is in the range of 1.97 to 2.31. Good results were obtained. That is, when the Al content was in the range of 0 to 9.0 (mol%), good results were obtained with an FF value of 75 to 78 and an Eff of 17.0 to 17.8 (%). Especially, Pb amount is 59.5 (mol%), B amount is 4.0 (mol%), Si amount is 30.0 (mol%), Al amount is 3.0 (mol%), Li amount is 1.0 (mol%), P amount is With No. 18 having 1.0 (mol%), Sn content of 1.0 (mol%), and S content of 0.5 (mol%), the FF value was 78 and Eff was 17.8 (%). On the other hand, when the Al content was 12.0 (mol%), the FF value was 74 and Eff was 16.6 (%), which was an insufficient result.
また、実施例No.22〜28、50、65、比較例No.21、29、64を対比すると、Pb量が38.0〜53.5(mol%)、B量が6.0(mol%)、Si量が18.0〜32.0(mol%)、Al量が0〜3.0(mol%)、Li量が3.0〜12.0(mol%)、Ti量が0〜5.0(mol%)、Zn量が0〜12.9(mol%)、Zr量が0〜0.5(mol%)、P量が0〜2.0(mol%)、Bi量が0(mol%)、Na量が0〜0.5(mol%)、Sn量が0.1〜25.0(mol%)、S量が0〜1.0(mol%)、Ag量が0(mol%)、Pb/Si比が1.19〜2.78の範囲内の組成では、Pb量が39.0〜53.5(mol%)、Si量が18.0〜31.5(mol%)、Al量が0.5〜3.0(mol%)、Ti量が0〜3.0(mol%)、Zn量が0〜12.5(mol%)、Zr量が0(mol%)、Sn量が0.5〜20.0(mol%)、Pb/Si比が1.24〜2.78の範囲で良好な結果が得られた。すなわち、Sn量が0.5〜20.0(mol%)の範囲では、FF値が75〜78、Effが17.0〜17.8(%)の良好な結果が得られた。特に、Pb量が50.0(mol%)、B量が6.0(mol%)、Si量が25.0(mol%)、Al量が3.0(mol%)、Li量が3.0(mol%)、Zn量が5.5〜8.5(mol%)、P量が2.0(mol%)、Sn量が2.0〜5.0(mol%)、S量が0.5(mol%)のNo.24、25では、FF値が78、Effが17.7〜17.8(%)と極めて優れた結果が得られた。一方、Sn量が0.1(mol%)ではFF値が74〜75、Effが16.7〜16.9(%)、25.0(mol%)では、FF値が72、Effが16.3(%)と、何れも不十分な結果であった。 Further, when comparing Example No. 22-28, 50, 65 and Comparative Example No. 21, 29, 64, Pb amount was 38.0-53.5 (mol%), B amount was 6.0 (mol%), Si amount was 18.0-32.0 (mol%), Al amount 0-3.0 (mol%), Li amount 3.0-12.0 (mol%), Ti amount 0-5.0 (mol%), Zn amount 0-12.9 (mol%) ), Zr amount is 0 to 0.5 (mol%), P amount is 0 to 2.0 (mol%), Bi amount is 0 (mol%), Na amount is 0 to 0.5 (mol%), Sn amount is 0.1 to 25.0 (mol%), S amount is 0 to 1.0 (mol%), Ag amount is 0 (mol%), and Pb / Si ratio is in the range of 1.19 to 2.78, Pb amount is 39.0 to 53.5 (mol%) , Si amount 18.0-31.5 (mol%), Al amount 0.5-3.0 (mol%), Ti amount 0-3.0 (mol%), Zn amount 0-12.5 (mol%), Zr amount 0 ( mol%), Sn amount was 0.5-20.0 (mol%), and Pb / Si ratio was 1.24-2.78. That is, when the Sn amount was in the range of 0.5 to 20.0 (mol%), good results were obtained with an FF value of 75 to 78 and an Eff of 17.0 to 17.8 (%). In particular, Pb amount is 50.0 (mol%), B amount is 6.0 (mol%), Si amount is 25.0 (mol%), Al amount is 3.0 (mol%), Li amount is 3.0 (mol%), Zn amount is In No. 24 and 25 with 5.5 to 8.5 (mol%), P amount of 2.0 (mol%), Sn amount of 2.0 to 5.0 (mol%), and S amount of 0.5 (mol%), FF value is 78, Eff However, 17.7 to 17.8 (%) was extremely excellent. On the other hand, when the Sn amount is 0.1 (mol%), the FF value is 74 to 75, Eff is 16.7 to 16.9 (%), and 25.0 (mol%), the FF value is 72 and Eff is 16.3 (%). The result was sufficient.
また、実施例No.28、31〜33、比較例No.30を対比すると、Pb量が50.0(mol%)、B量が6.0(mol%)、Si量が9.0〜21.0(mol%)、Al量が3.0(mol%)、Li量が3.0(mol%)、Ti量が0(mol%)、Zn量が0〜4.0(mol%)、Zr量が0(mol%)、P量が0〜2.0(mol%)、Bi量が0〜17.0(mol%)、Na量が0(mol%)、Sn量が5.0〜20.0(mol%)、S量が0(mol%)、Ag量が0(mol%)、Pb/Si比が2.38〜5.56の範囲内の組成では、Si量が11.0〜21.0(mol%)、Bi量が0〜15.0(mol%)、Pb/Si比が2.38〜4.55の範囲で、良好な結果が得られた。すなわち、Bi量が0〜15.0(mol%)の範囲では、FF値が75〜77、Effが17.0〜17.4(%)の良好な結果が得られた。一方、Bi量が17.0(mol%)ではFF値が71、Effが15.8(%)と、不十分な結果であった。 Further, when comparing Example No. 28, 31 to 33 and Comparative Example No. 30, the Pb amount was 50.0 (mol%), the B amount was 6.0 (mol%), the Si amount was 9.0 to 21.0 (mol%), Al amount is 3.0 (mol%), Li amount is 3.0 (mol%), Ti amount is 0 (mol%), Zn amount is 0 to 4.0 (mol%), Zr amount is 0 (mol%), P amount is 0 to 2.0 (mol%), Bi amount is 0 to 17.0 (mol%), Na amount is 0 (mol%), Sn amount is 5.0 to 20.0 (mol%), S amount is 0 (mol%), Ag amount Is 0 (mol%), Pb / Si ratio is in the range of 2.38 to 5.56, Si amount is 11.0 to 21.0 (mol%), Bi amount is 0 to 15.0 (mol%), Pb / Si ratio is 2.38. Good results were obtained in the range of ~ 4.55. That is, when the Bi amount was in the range of 0 to 15.0 (mol%), good results were obtained with an FF value of 75 to 77 and an Eff of 17.0 to 17.4 (%). On the other hand, when the Bi content was 17.0 (mol%), the FF value was 71 and Eff was 15.8 (%), which was insufficient.
また、実施例No.34〜42は、Tiを含む組成などで最適な条件を検討したもので、Pb量が49.0〜55.0(mol%)、B量が6.0(mol%)、Si量が20.0〜30.0(mol%)、Al量が3.0〜6.0(mol%)、Li量が3.0(mol%)、Ti量が0〜3.0(mol%)、Zn量が0〜6.5(mol%)、P量が1.0〜2.0(mol%)、Bi量が0〜12.0(mol%)、Na2O量が0〜0.5(mol%)、Sn量が1.0〜5.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)、Ag量が0〜2.0(mol%)の範囲では、FF値が75〜79、Effが17.0〜17.9(%)の良好な結果が得られた。特に、Pb量が49.0〜51.0(mol%)、Si量が24.0〜26.0(mol%)、Al量が3.0(mol%)、Ti量が3.0(mol%)、Zn量が5.5〜6.5(mol%)、P量が2.0(mol%)、Bi量が0(mol%)、Na2O量が0(mol%)、Sn量が2.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)、Ag量が0(mol%)の範囲では、FF値が78〜79、Effが17.7〜17.9(%)の優れた結果が得られた。 Further, Example Nos. 34 to 42 were examined for optimal conditions such as a composition containing Ti, Pb amount 49.0 to 55.0 (mol%), B amount 6.0 (mol%), Si amount 20.0 ~ 30.0 (mol%), Al amount 3.0 ~ 6.0 (mol%), Li amount 3.0 (mol%), Ti amount 0 ~ 3.0 (mol%), Zn amount 0 ~ 6.5 (mol%), P the amount is 1.0~2.0 (mol%), Bi amount 0~12.0 (mol%), Na 2 O amount is 0~0.5 (mol%), Sn amount is 1.0~5.0 (mol%), S amount is 0 In the range of 0.5 (mol%) and the Ag amount from 0 to 2.0 (mol%), good results were obtained with an FF value of 75 to 79 and an Eff of 17.0 to 17.9 (%). In particular, Pb amount is 49.0-51.0 (mol%), Si amount is 24.0-26.0 (mol%), Al amount is 3.0 (mol%), Ti amount is 3.0 (mol%), Zn amount is 5.5-6.5 (mol %), the amount of P is 2.0 (mol%), Bi amount is 0 (mol%), Na 2 O amount is 0 (mol%), Sn amount is 2.0 (mol%), S amount is 0 to 0.5 (mol% ), In the range of Ag amount 0 (mol%), excellent results were obtained with an FF value of 78 to 79 and an Eff of 17.7 to 17.9 (%).
また、実施例No.51〜52に示すように、P量が4.0〜6.0(mol%)の範囲でも、FF値が75、Effが17.0(%)の良好な結果が得られた。 Further, as shown in Example Nos. 51 to 52, good results were obtained in which the FF value was 75 and Eff was 17.0 (%) even in the range of the P amount from 4.0 to 6.0 (mol%).
また、実施例No.53〜63は、種々組成を変更してTi量、Na量、S量の上限等を検討したもので、Pb量が35.6〜54.8(mol%)、B量が2.8〜12.0(mol%)、Si量が23.5〜35.4(mol%)、Al量が0〜6.0(mol%)、Li量が6.0〜9.0(mol%)、Ti量が0〜6.0(mol%)、Zn量が0〜12.0(mol%)、Zr量が0〜0.5(mol%)、P量が0〜2.0(mol%)、Bi量が0〜3.0(mol%)、Na2O量が0〜1.0(mol%)、Sn量が1.0〜7.5(mol%)、S量が0〜2.0(mol%)の範囲では、FF値が75〜79、Effが17.0〜17.9(%)の良好な結果が得られた。特に、Pb量が44.0〜53.0(mol%)、Si量が5.0〜6.0(mol%)、Al量が0〜3.0(mol%)、Li量が6.0(mol%)、Ti量が0(mol%)、Zn量が0〜3.0(mol%)、Zr量が0(mol%)、P量が1.0〜2.0(mol%)、Bi量が0〜3.0(mol%)、Na2O量が0〜0.5(mol%)、Sn量が2.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)の範囲では、FF値が78〜79、Effが17.7〜17.9(%)の優れた結果が得られた。 In addition, Example Nos. 53 to 63 were obtained by changing various compositions and examining the upper limit of Ti amount, Na amount, S amount, etc., Pb amount 35.6-54.8 (mol%), B amount 2.8- 12.0 (mol%), Si amount 23.5-35.4 (mol%), Al amount 0-6.0 (mol%), Li amount 6.0-9.0 (mol%), Ti amount 0-6.0 (mol%), Zn amount 0~12.0 (mol%), Zr amount 0~0.5 (mol%), the amount of P is 0~2.0 (mol%), Bi amount 0~3.0 (mol%), Na 2 O amount is 0 -1.0 (mol%), Sn amount is 1.0-7.5 (mol%), S amount is in the range of 0-2.0 (mol%), FF value is 75-79, Eff is 17.0-17.9 (%) Results were obtained. In particular, Pb amount is 44.0-53.0 (mol%), Si amount is 5.0-6.0 (mol%), Al amount is 0-3.0 (mol%), Li amount is 6.0 (mol%), Ti amount is 0 (mol %), Zn amount 0~3.0 (mol%), Zr amount is 0 (mol%), the amount of P is 1.0~2.0 (mol%), Bi amount 0~3.0 (mol%), Na 2 O weight Excellent results with FF value of 78-79 and Eff of 17.7-17.9 (%) in the range of 0-0.5 (mol%), Sn amount 2.0 (mol%), S amount 0-0.5 (mol%) was gotten.
また、実施例No.70〜79は、種々組成を変更して最適条件を検討したもので、Pb量が30.0〜44.0(mol%)、B量が3.5〜8.0(mol%)、Si量が25.0〜36.0(mol%)、Al量が0〜7.0(mol%)、Li量が12.0(mol%)、Ti量が0〜3.0(mol%)、Zn量が0〜11.0(mol%)、P量が0〜2.0(mol%)、Bi量が0〜2.0(mol%)、Na2O量が0〜1.0(mol%)、Sn量が1.0〜10.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)、Ag量が0〜0.5(mol%)の範囲では、FF値が76〜79、Effが17.3〜17.9(%)の極めて良好な結果が得られた。特に、Pb量が35.0〜41.0(mol%)、B量が6.0〜8.0(mol%)、Si量が27.0〜32.0(mol%)、Al量が3.0〜6.0(mol%)、Li量が12.0(mol%)、Ti量が3.0(mol%)、Zn量が3.0〜4.0(mol%)、P量が0〜2.0(mol%)、Bi量が0〜1.0(mol%)、Na2O量が0(mol%)、Sn量が1.0〜5.0(mol%)、S量が0(mol%)、Ag量が0(mol%)の範囲では、FF値が78〜79、Effが17.5〜17.9(%)の優れた結果が得られた。 In addition, Example Nos. 70 to 79 were obtained by examining various optimum conditions by changing various compositions.The Pb amount was 30.0 to 44.0 (mol%), the B amount was 3.5 to 8.0 (mol%), and the Si amount was 25.0-36.0 (mol%), Al amount 0-7.0 (mol%), Li amount 12.0 (mol%), Ti amount 0-3.0 (mol%), Zn amount 0-11.0 (mol%), P amount is 0~2.0 (mol%), Bi amount 0~2.0 (mol%), Na 2 O amount is 0~1.0 (mol%), Sn amount is 1.0~10.0 (mol%), the S content 0 In the range of ˜0.5 (mol%) and the amount of Ag in the range of 0 to 0.5 (mol%), very good results were obtained with an FF value of 76 to 79 and an Eff of 17.3 to 17.9 (%). In particular, Pb amount is 35.0-41.0 (mol%), B amount is 6.0-8.0 (mol%), Si amount is 27.0-32.0 (mol%), Al amount is 3.0-6.0 (mol%), Li amount is 12.0 (mol%), Ti amount 3.0 (mol%), Zn amount 3.0-4.0 (mol%), P amount 0-2.0 (mol%), Bi amount 0-1.0 (mol%), Na 2 O When the amount is 0 (mol%), Sn amount is 1.0 to 5.0 (mol%), S amount is 0 (mol%), Ag amount is 0 (mol%), FF value is 78 to 79, Eff is 17.5 Excellent results of ~ 17.9 (%) were obtained.
また、実施例No.80、81、比較例No.82は、Li量の上限を検討したもので、Pb量が38.0(mol%)、B量が4.0(mol%)、Si量が32.0〜35.0(mol%)、Al量が3.0(mol%)、Li量が15.0〜18.0(mol%)、P量が0〜2.0(mol%)、Sn量が2.0〜5.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)、Ag量が0〜0.5(mol%)の組成では、FF値が75〜78、Effが17.0〜17.7(%)の良好な結果が得られた。一方、Pb量が36.0(mol%)、B量が4.0(mol%)、Si量が29.0(mol%)、Al量が7.0(mol%)、Li量が21.0(mol%)、Sn量が2.0(mol%)の組成では、FF値が72、Effが16.1(%)の不十分な結果となった。 Further, Example No. 80, 81, Comparative Example No. 82 was an examination of the upper limit of Li amount, Pb amount 38.0 (mol%), B amount 4.0 (mol%), Si amount 32.0 ~ 35.0 (mol%), Al amount 3.0 (mol%), Li amount 15.0-18.0 (mol%), P amount 0-2.0 (mol%), Sn amount 2.0-5.0 (mol%), S amount Is 0 to 0.5 (mol%) and the composition of Ag amount is 0 to 0.5 (mol%), the favorable results were obtained with FF values of 75 to 78 and Eff of 17.0 to 17.7 (%). On the other hand, Pb amount is 36.0 (mol%), B amount is 4.0 (mol%), Si amount is 29.0 (mol%), Al amount is 7.0 (mol%), Li amount is 21.0 (mol%), Sn amount is With a composition of 2.0 (mol%), the FF value was 72 and Eff was 16.1 (%).
また、実施例No.83〜92は、Bi含有系で主としてPb量およびLi量を変更して最適組成を検討したもので、Pb量が36.0〜58.0(mol%)、B量が3.0〜7.0(mol%)、Si量が26.1〜32.0(mol%)、Al量が3.0〜6.0(mol%)、Li量が1.0〜12.0(mol%)、Ti量が0〜3.0(mol%)、Zn量が0〜9.0(mol%)、Zr量が0(mol%)、P量が0〜2.0(mol%)、Bi量が1.0〜6.0(mol%)、Na量が0〜0.5(mol%)、Sn量が0.5〜5.0(mol%)、S量が0〜0.5(mol%)、Ag量が0(mol%)の範囲では、FF値が76〜79、Effが17.1〜17.9(%)の良好な結果が得られた。特に、Pb量が37.0(mol%)以上、B量が6.0(mol%)以下、Sn量が2.0(mol%)以下の組成では、FF値が77以上、Effが17.4(%)以上の一層良好な結果が得られ、また、Pb量が37.0(mol%)以上、B量が6.0(mol%)以下、Bi量が3.0(mol%)以下、Sn量が2.0(mol%)以下の組成では、FF値が78以上、Effが17.6(%)以上の更に優れた特性が得られ、Pb量が37.0(mol%)以上、B量が6.0(mol%)以下、Li量が3.0(mol%)以上、Bi量が3.0(mol%)以下、Sn量が2.0(mol%)以下の組成では、FF値が79、Effが17.8(%)以上の極めて優れた特性が得られた。 Examples Nos. 83 to 92 are those in which an optimum composition was studied by mainly changing the amount of Pb and Li in the Bi-containing system, and the amount of Pb was 36.0 to 58.0 (mol%) and the amount of B was 3.0 to 7.0. (mol%), Si amount 26.1-32.0 (mol%), Al amount 3.0-6.0 (mol%), Li amount 1.0-12.0 (mol%), Ti amount 0-3.0 (mol%), Zn The amount is 0-9.0 (mol%), Zr amount is 0 (mol%), P amount is 0-2.0 (mol%), Bi amount is 1.0-6.0 (mol%), Na amount is 0-0.5 (mol%) ), Sn amount is 0.5 to 5.0 (mol%), S amount is 0 to 0.5 (mol%), Ag amount is 0 (mol%), FF value is 76 to 79, Eff is 17.1 to 17.9 (% Good results were obtained. In particular, in the composition where the Pb amount is 37.0 (mol%) or more, the B amount is 6.0 (mol%) or less, and the Sn amount is 2.0 (mol%) or less, the FF value is 77 or more and the Eff is 17.4 (%) or more. Good results were obtained, and the composition was such that the Pb amount was 37.0 (mol%) or more, the B amount was 6.0 (mol%) or less, the Bi amount was 3.0 (mol%) or less, and the Sn amount was 2.0 (mol%) or less. Thus, further excellent characteristics with an FF value of 78 or more and Eff of 17.6 (%) or more are obtained, Pb amount is 37.0 (mol%) or more, B amount is 6.0 (mol%) or less, and Li amount is 3.0 (mol %), A Bi content of 3.0 (mol%) or less, and a Sn content of 2.0 (mol%) or less, extremely excellent characteristics with an FF value of 79 and an Eff of 17.8 (%) or more were obtained.
これらの評価結果によれば、Li含有鉛ガラスを用いた電極ペーストでは、他の元素との兼ね合いもあるが、Pb量は24.0〜64.0(mol%)、B量は1.0〜18.0(mol%)、Si量は11.0〜40.0(mol%)、Al量は9.0(mol%)以下、Li量は1.0〜18.0(mol%)、Ti量は6.0(mol%)以下、Zn量は15.0(mol%)以下、Zr量は0.5(mol%)以下、P量は6.0(mol%)以下、Bi量は15.0(mol%)以下、Na量は1.0(mol%)以下、Sn量は0.5〜20.0(mol%)、S量は2.0(mol%)以下、Ag量は2.0(mol%)以下、Pb/Siは0.6〜4.6の範囲が好ましいと推定される。 According to these evaluation results, the electrode paste using Li-containing lead glass has a balance with other elements, but the Pb amount is 24.0-64.0 (mol%), the B amount is 1.0-18.0 (mol%) , Si amount is 11.0-40.0 (mol%), Al amount is 9.0 (mol%) or less, Li amount is 1.0-18.0 (mol%), Ti amount is 6.0 (mol%) or less, Zn amount is 15.0 (mol%) ), Zr amount is 0.5 (mol%) or less, P amount is 6.0 (mol%) or less, Bi amount is 15.0 (mol%) or less, Na amount is 1.0 (mol%) or less, Sn amount is 0.5-20.0 ( mol%), S amount is 2.0 (mol%) or less, Ag amount is 2.0 (mol%) or less, and Pb / Si is estimated to be preferably in the range of 0.6 to 4.6.
また、特に良好な結果が得られた実施例から、Pb量は30.0〜61.0(mol%)、B量は2.8〜12.0(mol%)、Si量は20.0〜36.0(mol%)、Al量は7.0(mol%)以下、Li量は1.0〜15.0(mol%)、Ti量は3.0(mol%)以下、Zn量は12.0(mol%)以下、Zr量は0(mol%)、P量は2.0(mol%)以下、Bi量は12.0(mol%)以下、Na量は0.5(mol%)以下、Sn量は0.5〜10.0(mol%)、S量は0.5(mol%)以下、Ag量は0.5(mol%)以下、Pb/Siは1.0〜2.5の範囲が一層好ましい。また、Pb量は35.0〜59.5(mol%)、B量は4.0〜8.0(mol%)、Si量は24.0〜32.0(mol%)、Al量は6.0(mol%)以下、Zn量は8.5(mol%)以下、Bi量は3.0(mol%)以下、Sn量は1.0〜5.0(mol%)、Pb/Siは1.1〜2.1の範囲が特に好ましいと言える。 Further, from the examples where particularly good results were obtained, the Pb amount was 30.0 to 61.0 (mol%), the B amount was 2.8 to 12.0 (mol%), the Si amount was 20.0 to 36.0 (mol%), and the Al amount was 7.0 (mol%) or less, Li amount is 1.0-15.0 (mol%), Ti amount is 3.0 (mol%) or less, Zn amount is 12.0 (mol%) or less, Zr amount is 0 (mol%), P amount is 2.0 (mol%) or less, Bi amount is 12.0 (mol%) or less, Na amount is 0.5 (mol%) or less, Sn amount is 0.5-10.0 (mol%), S amount is 0.5 (mol%) or less, Ag amount Is more preferably 0.5 (mol%) or less, and Pb / Si is more preferably in the range of 1.0 to 2.5. Also, Pb amount is 35.0-59.5 (mol%), B amount is 4.0-8.0 (mol%), Si amount is 24.0-32.0 (mol%), Al amount is 6.0 (mol%) or less, Zn amount is 8.5 ( mol%) or less, Bi amount is 3.0 (mol%) or less, Sn amount is 1.0 to 5.0 (mol%), and Pb / Si is preferably 1.1 to 2.1.
なお、上記実験データにおいて、Li非含有系、Li含有系の何れにおいても、Alを含む組成ではリーク電流が多くなるが、FF値は高くなる傾向にあり、焼成温度範囲も広くなる。しかしながら、Alが多くなり過ぎると開放電圧が著しく低下する。 In the above experimental data, in both the Li-free system and the Li-containing system, the leakage current increases in the composition containing Al, but the FF value tends to increase, and the firing temperature range also increases. However, when the Al content is excessive, the open circuit voltage is significantly reduced.
また、Tiを含む組成ではFF値が高くなる傾向にあるが、Tiが多くなり過ぎると接触抵抗が高くなる傾向がある。 Moreover, in the composition containing Ti, the FF value tends to be high, but when Ti is excessive, the contact resistance tends to be high.
また、Bは過剰でも過少でも開放電圧が低下する傾向が認められる。そのため、何れの場合もFF値が低下する傾向がある。 In addition, B tends to decrease the open-circuit voltage whether it is excessive or insufficient. Therefore, in any case, the FF value tends to decrease.
ところで、上述した各実施例においては、電極ペーストを調製するに際してそれぞれ一種類のガラスを用いたが、2種類のガラス、すなわち低軟化点の侵食ガラスとドナー濃度の高いドナーガラスとを混合して用いることもできる。下記の表5に示すNo.93〜102は、ドナーガラスの組成例であり、本実施例では、Pb量が28.0〜44.0(mol%)、B量が3.0〜9.0(mol%)、Si量が24.1〜32.0(mol%)、Al量が0.5〜6.0(mol%)、Li量が10.0〜18.0(mol%)、Ti量が0〜6.0(mol%)、Zn量が0〜10.0(mol%)、Zr量が0〜0.5(mol%)、P量が4.0〜9.0(mol%)、Bi量が0〜1.0(mol%)、Na量が0〜0.5(mol%)、Sn量が0〜1.0(mol%)、S量が0〜1.5(mol%)、Pb/Si比が0.88〜1.56の範囲のガラスをドナーガラスとして用いる。上記P2O5はシリコン基板20に対するドナー供給源として比較的多い量が添加されている。このドナーガラスを単独で用いた場合のFF値は50〜73で、Ivは0.1(A)以下である。
By the way, in each Example mentioned above, when preparing the electrode paste, one kind of glass was used, but two kinds of glass, that is, erosion glass having a low softening point and donor glass having a high donor concentration were mixed. It can also be used. Nos. 93 to 102 shown in Table 5 below are examples of the composition of the donor glass. In this example, the Pb amount is 28.0 to 44.0 (mol%), the B amount is 3.0 to 9.0 (mol%), and the Si amount 24.1-32.0 (mol%), Al amount 0.5-6.0 (mol%), Li amount 10.0-18.0 (mol%), Ti amount 0-6.0 (mol%), Zn amount 0-100.0 (mol %), Zr amount 0-0.5 (mol%), P amount 4.0-9.0 (mol%), Bi amount 0-1.0 (mol%), Na amount 0-0.5 (mol%), Sn amount A glass having a range of 0 to 1.0 (mol%), an S amount of 0 to 1.5 (mol%), and a Pb / Si ratio of 0.88 to 1.56 is used as a donor glass. The P 2 O 5 is added in a relatively large amount as a donor supply source for the
上記表5に示すドナーガラスは、全ガラス量の10〜30(wt%)の割合となるように、前記表1〜4に示す各実施例のガラス(すなわち侵食ガラス)と混合して用いられる。例えば、前記のペースト調合仕様において、ガラスフリット 4(wt%)のうち、侵食ガラスを3.6(wt%)、ドナーガラスを0.4(wt%)とする。このとき、ドナーガラスは、侵食ガラスよりも軟化点が50〜200(℃)の範囲で高い組合せになるように選択される。例えば、侵食速度が遅い侵食ガラスに対しては、ドナーである燐が多く軟化点が高いドナーガラスを用いることが好ましい。 The donor glass shown in Table 5 is used by being mixed with the glass of each Example shown in Tables 1 to 4 (that is, eroded glass) so as to be a ratio of 10 to 30 (wt%) of the total glass amount. . For example, in the above paste formulation specification, out of the glass frit 4 (wt%), the eroded glass is 3.6 (wt%) and the donor glass is 0.4 (wt%). At this time, the donor glass is selected so that the softening point is higher in the range of 50 to 200 (° C.) than the eroded glass. For example, for eroded glass having a low erosion rate, it is preferable to use a donor glass having a high amount of phosphorus as a donor and a high softening point.
上記混合ガラス系において、侵食ガラスは表1〜4のうちの任意の実施例のガラスを用いることができ、ドナーガラスは表5の任意のガラスを用いることができるが、具体的には、例えば、ドナーガラス No.94と、侵食ガラス No.18、83、84、37のうちの何れかとの組合せが挙げられる。これらの混合ガラスを用いた電極ペーストで前記受光面電極20を形成すると、何れの組合せでも、FF値79以上、Eff 17.9(%)以上の極めて優れた結果が得られる。特に、ドナーガラス No.94と侵食ガラス No.83との組合せが好ましく、電流が増大するので、Eff 18(%)以上の結果が得られる。
In the above mixed glass system, the eroded glass can use the glass of any example in Tables 1 to 4, and the donor glass can use any glass of Table 5; And a combination of donor glass No. 94 and erosion glass No. 18, 83, 84, 37. When the light-receiving
また、ドナーガラスとしては侵食性が弱いガラス、すなわち、FF値が小さいガラスを用いても良好な結果が得られる。例えば、ドナーガラス No.100と侵食ガラス No.24、36の何れかとの組合せが挙げられる。これらの組合せでも、ドナーガラス No.94を用いた場合と同様に、FF値79以上、Eff 17.9(%)以上の優れた結果が得られる。 In addition, good results can be obtained even when a glass having a low erodibility, that is, a glass having a small FF value is used as the donor glass. For example, a combination of donor glass No. 100 and erosion glass No. 24 or 36 can be mentioned. Even in these combinations, excellent results with an FF value of 79 or more and Eff of 17.9 (%) or more can be obtained as in the case of using donor glass No. 94.
以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施でき、その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。 As mentioned above, although this invention was demonstrated in detail with reference to drawings, this invention can be implemented also in another aspect, A various change can be added in the range which does not deviate from the main point.
10:太陽電池、12:太陽電池モジュール、14:封止材、16:表面ガラス、18:保護フィルム、20:シリコン基板、22:n層、24:p+層、26:反射防止膜、28:受光面電極、30:裏面電極、32:受光面、34:全面電極、36:帯状電極、40:ガラス層、42:再結晶Ag、44:再結晶Ag、46:銀粒子、50:シリコン基板、52:受光面電極、54:ガラス層、56:再結晶Ag、58:銀粒子、60:再結晶Ag 10: solar cell, 12: solar cell module, 14: sealing material, 16: surface glass, 18: protective film, 20: silicon substrate, 22: n layer, 24: p + layer, 26: antireflection film, 28 : Light receiving surface electrode, 30: Back electrode, 32: Light receiving surface, 34: Full surface electrode, 36: Strip electrode, 40: Glass layer, 42: Recrystallized Ag, 44: Recrystallized Ag, 46: Silver particles, 50: Silicon Substrate, 52: Light-receiving surface electrode, 54: Glass layer, 56: Recrystallized Ag, 58: Silver particles, 60: Recrystallized Ag
Claims (3)
前記ガラスフリットは、酸化物換算でSnを0.5〜20.0(mol%)の範囲で含む鉛ガラスを含むことを特徴とする太陽電池電極用ペースト組成物。 A solar cell electrode paste composition comprising a conductive powder, a glass frit, and a vehicle,
The glass frit includes a lead glass containing Sn in a range of 0.5 to 20.0 (mol%) in terms of oxide, and is a paste composition for a solar cell electrode.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012143487A JP5937904B2 (en) | 2012-06-26 | 2012-06-26 | Paste composition for solar cell electrode |
TW102117883A TW201403627A (en) | 2012-06-26 | 2013-05-21 | Paste composition for solar cell electrode |
CN201310259487.0A CN103515459A (en) | 2012-06-26 | 2013-06-26 | Paste composition for solar battery electrode |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012143487A JP5937904B2 (en) | 2012-06-26 | 2012-06-26 | Paste composition for solar cell electrode |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014007347A true JP2014007347A (en) | 2014-01-16 |
JP5937904B2 JP5937904B2 (en) | 2016-06-22 |
Family
ID=49897867
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012143487A Expired - Fee Related JP5937904B2 (en) | 2012-06-26 | 2012-06-26 | Paste composition for solar cell electrode |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5937904B2 (en) |
CN (1) | CN103515459A (en) |
TW (1) | TW201403627A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150108709A (en) * | 2014-03-18 | 2015-09-30 | 제일모직주식회사 | Composition for forming solar cell electrode and electrode prepared using the same |
KR20210048503A (en) * | 2018-08-23 | 2021-05-03 | 소에이 가가쿠 고교 가부시키가이샤 | Conductive paste |
KR20220061399A (en) * | 2020-11-06 | 2022-05-13 | 엘에스니꼬동제련 주식회사 | Electrode Paste For Solar Cell's Electrode And Solar Cell using the same |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6046753B2 (en) * | 2014-01-17 | 2016-12-21 | ヘレウス プレシャス メタルズ ノース アメリカ コンショホーケン エルエルシー | Lead-bismuth-tellurium-silicate inorganic reaction system with improved adhesive properties |
CN105924015B (en) * | 2016-06-24 | 2019-02-19 | 常州聚和新材料股份有限公司 | A kind of frit of low melting point and silver paste prepared therefrom |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5652805A (en) * | 1979-10-03 | 1981-05-12 | Tanaka Massey Kk | Conductive composition |
JP2008042095A (en) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Semiconductor substrate, method of forming electrode, and method of manufacturing solar cell |
US20110232746A1 (en) * | 2010-05-04 | 2011-09-29 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Thick-film pastes containing lead-tellurium-boron-oxides, and their use in the manufacture of semiconductor devices |
JP2012015409A (en) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Noritake Co Ltd | Conductive paste composition for solar batteries |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102026927A (en) * | 2008-06-26 | 2011-04-20 | E.I.内穆尔杜邦公司 | Glass compositions used in conductors for photovoltaic cells |
TW201115592A (en) * | 2009-06-19 | 2011-05-01 | Du Pont | Glass compositions used in conductors for photovoltaic cells |
JP2011066353A (en) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Noritake Co Ltd | Aluminum paste for solar cell |
-
2012
- 2012-06-26 JP JP2012143487A patent/JP5937904B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-05-21 TW TW102117883A patent/TW201403627A/en unknown
- 2013-06-26 CN CN201310259487.0A patent/CN103515459A/en active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5652805A (en) * | 1979-10-03 | 1981-05-12 | Tanaka Massey Kk | Conductive composition |
JP2008042095A (en) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Semiconductor substrate, method of forming electrode, and method of manufacturing solar cell |
US20110232746A1 (en) * | 2010-05-04 | 2011-09-29 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Thick-film pastes containing lead-tellurium-boron-oxides, and their use in the manufacture of semiconductor devices |
JP2012015409A (en) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Noritake Co Ltd | Conductive paste composition for solar batteries |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150108709A (en) * | 2014-03-18 | 2015-09-30 | 제일모직주식회사 | Composition for forming solar cell electrode and electrode prepared using the same |
KR101691694B1 (en) | 2014-03-18 | 2016-12-30 | 제일모직주식회사 | Composition for forming solar cell electrode and electrode prepared using the same |
KR20210048503A (en) * | 2018-08-23 | 2021-05-03 | 소에이 가가쿠 고교 가부시키가이샤 | Conductive paste |
JPWO2020040138A1 (en) * | 2018-08-23 | 2021-06-03 | 昭栄化学工業株式会社 | Conductive paste |
KR102441705B1 (en) | 2018-08-23 | 2022-09-07 | 소에이 가가쿠 고교 가부시키가이샤 | Conductive paste for forming external electrodes of multilayer ceramic electronic components |
KR20220061399A (en) * | 2020-11-06 | 2022-05-13 | 엘에스니꼬동제련 주식회사 | Electrode Paste For Solar Cell's Electrode And Solar Cell using the same |
KR102539378B1 (en) * | 2020-11-06 | 2023-06-05 | 엘에스엠앤엠 주식회사 | Electrode Paste For Solar Cell's Electrode And Solar Cell using the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103515459A (en) | 2014-01-15 |
JP5937904B2 (en) | 2016-06-22 |
TW201403627A (en) | 2014-01-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5856277B1 (en) | Solar cell electrode paste and solar cell | |
US8889040B2 (en) | Conductive paste composition for solar cell | |
JP5856178B2 (en) | Lead-free conductive paste composition for solar cells | |
JP5756447B2 (en) | Conductive paste composition for solar cell | |
JP5144857B2 (en) | Conductive paste composition for solar cell | |
JP5903424B2 (en) | Conductive paste composition for solar cell and method for producing the same | |
TWI471282B (en) | Electrode paste composition for solar cell | |
BR102013009361A2 (en) | Electroconductive paste composition | |
WO2016084915A1 (en) | Conductive composition | |
JP5937904B2 (en) | Paste composition for solar cell electrode | |
JP6027765B2 (en) | Lead-free conductive paste composition for solar cells | |
US20240234602A1 (en) | Conductive paste composition, preparation method and use thereof, crystalline silicon solar cell | |
JP6027968B2 (en) | Conductive paste composition for solar cell, solar cell, and method for producing solar cell | |
JP5998178B2 (en) | Photovoltaic surface electrode paste for solar cell, method for producing the same, and method for producing solar cell | |
JP5279699B2 (en) | Conductive paste composition for solar cell | |
JP2013120807A (en) | Paste composition for solar cell electrode | |
JP2012142422A (en) | Glass for conductive paste for solar cell | |
JP6131038B2 (en) | Conductive paste composition for solar cell | |
JP2013077774A (en) | Conductive paste composition for solar cell |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150915 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160419 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160513 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5937904 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |