JP2013543591A - 形状計測装置および形状計測方法 - Google Patents
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Abstract
Description
測する測距装置と、前記測距装置で得られた距離の情報を用いて、前記形状算出装置で得られた前記計測対象物の表面の3次元形状の空間位置を決定する決定装置と、を有する形状計測装置を提供する。
図1を参照して、本実施形態の形状計測装置の全体構成について説明する。図1は形状計測装置のハードウェア構成を模式的に示す図である。
源はそれぞれ別のものを用いるが、計測対象物4からの反射光の測定には同一の観測系(カメラ1)を用いている。
形状計測機能は、計測対象物表面の3次元形状を計測するための機能である。ここでは金属のような鏡面物体が計測対象となるため、以下に述べるような構造化照明を用いて物体表面の法線を計測し表面形状を復元する方法を用いる。
照明装置3は、図1に示すようにドーム形状をした面光源であり、このドーム形状の全てが発光領域である。照明装置3の天頂部分と側方にはそれぞれカメラ1とプロジェクタ2のための開口が設けられている。照明装置3は、例えば、ドーム形状のカラーフィルタと、その外部から白色光で計測対象物4を照射する光源とから構成することができる。また、例えば、複数のLEDチップをドームの内側に配列させて拡散板を通して計測対象物4を照射する構成にしても良い。また、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなどをドーム形状にして、照明装置3を構成することもできる。
測ステージ5)とのなす角度をθとしたとき、この等色線上での発光強度L(θ)はL(θ)=Lmin+(Lmax−Lmin)×(θ/π)の関係を満たすように発光強度を設定する。図3Aに示すように「極」を定義すると、このθは経度であり、本実施形態における光源分布(照明パタン)は経度に対して線形に変化すると表現することができる。あるいは、この照明パタンは、計測対象物が配置される点Oを通る計測ステージ5に平行な直線を中心軸として、この中心軸周りの角度θに対し発光強度が線形に変化するように設定されている、と表現することもできる。
次に図5および図6を参照して、形状計測に関わる機能および処理の流れを説明する。図5は本形状計測装置の計測処理の流れを示すフローチャートであり、図6はその計測処理の流れを模式的に図示したものである。図5に示す処理は、情報処理装置6のCPU60が記憶装置62からプログラムを読み込み実行することにより実現されるものである。これらの機能ブロックの一部または全部をASICやPLD(プログラマブルロジックデバイス)などで構成してもよい。
測距機能は、計測対象物表面の高さ(所定の基準位置からの距離)を計測するための機能である。ここでは位相シフト法を利用して、計測対象物の表面上の点の高さ情報を得る。
上記処理により計測対象物4の復元形状と測距結果が得られたら、復元形状と測距結果
を組み合わせて復元形状の空間位置(高さ)が決定される。具体的には、CPU60は、全画素の測距結果(高さ情報)の中から信頼度の高い測距結果を選別する処理を行う(ステップS30)。信頼度の評価指標としては、当該画素の明るさの変化のカーブと正弦波とのマッチング度合いを示すスコアを用いることができる。このスコアは、ステップS21において画素の明るさの変化に最も合致する正弦波を探索する際に求められる値である。ここでは、信頼度の値が所定の閾値よりも高い画素の測距結果のみ選出される。選出された測距結果の例を図6の(e)に示す。(d)と比較すると、ばらつきがかなり軽減されていることが分かる。信頼度の評価指標は画素の明るさの変化のカーブと正弦波とのマッチング度合いに限られず、明るさの変化から決定される位相、または、正反射成分の強度から決定される値を信頼度の評価指標として用いてもよい。
本実施形態の形状計測装置によれば、測距により求めた高さ情報を、形状計測により求めた復元形状に組み合わせることで、鏡面物体表面の3次元形状およびその空間位置を精度良く計測することができる。測距と形状計測における観測系(カメラ)を共通にしたことで、形状計測結果と測距結果の間のXY座標(画像座標)の位置合わせを省略できるという利点もある。もし測距と形状計測で異なる観測系を用いた場合は、測距により得られた高さ情報が、形状計測により得られた表面形状のどの点の高さを表しているのかを特定しなければならないが、このような位置同定処理を精度良く行うことは難しい。したがって、形状計測結果と測距結果の位置合わせを省略できることは、処理の簡易化ならびに精度の向上という観点から非常に好ましい。さらに観測系を共通にすることは、装置の小型化や低コスト化にも寄与する。
照射されたかのような撮影が可能である。したがって、例えば、はんだ検査を行う際に、はんだ以外の対象(基板、ICなど)については対象色に基づいた検査が実施可能となる。
ここで、pは物体表面上の計測点、(θi,φi)は光源の入射方向(θは天頂角成分、φは方位角成分。以下同じ。)、(θr,φr)は光源の光の反射方向(カメラの視線方向)、fは点pの反射特性、Ωは反射特性fでの鏡面ローブのプロスペクト立体角、kfは放射輝度の減衰比(物体表面の反射特性に依存する)である。
明するために、理想に近い光が得られる輝度変化方向の1次元方向を示した図である。ここでは、図10に示すように、角度a(正反射方向)、角度a+α、角度a−αの3点からの光についてのみ考える。角度a+α、a−αの位置からの光のローブ係数は、互いに等しくσであるとする。また、照明装置3の発光強度は、角度に比例するものとして、角度a−α、a、a+αのそれぞれの位置において、(a−α)L、aL、(a+α)Lであるとする。すると、この3点からの反射光の合成は、σ(a−α)L+aL+σ(a+α)L=(1+2σ)aLとなり、周囲からの光の拡散光による影響が相殺されることが分かる。ここではa±αの2点のみを考えているが、周囲からの光の拡散光の影響は全て相殺されることは容易に分かる。このことは、RGBそれぞれの光について成立し、したがって、RGBの各色の発光強度の比によって表される特徴量は、完全鏡面反射の場合と同一の値となる。よって、反射特性が均一でない物体の場合であっても、完全鏡面反射の場合と同様、1枚の撮影画像から計測対象物の表面形状を精度良く取得することができる。
上記実施形態の説明では、RGBの3色の発光強度が120度ずつ異なる方向に対して角度とともに変化するパタンを重ね合わせた照明装置を利用している。しかし、照明パタンはこれに限られるものではない。例えば、図11Aに示すように3色がそれぞれ下方向、右方向、左方向に変化するパタンのように、それぞれが異なる方向に対して変化するパタンを組み合わせたものを利用しても良い。3色全てを角度ともに変化させる必要はなく、図11Bに示すように1色については全面で均一の輝度で発光し、その他の2色については異なる方向に角度とともに変化するようなパタンを採用しても良い。
測ステージ5に平行な直線周りの角度である。あるいは、θは、照明装置3の発光領域上の等発光強度線(等色線)と点Pを通る平面と、計測ステージ5に平行な平面とのなす角と表現することもできる。
上記実施形態では位相シフト法により測距を行っている。代わりに、物体表面の高さ情報を得られるのであればいかなる測距方法を用いてもよい。中でも、縞状や格子状のパタンを物体に投影しそのパタンの歪を画像解析することによって高さ情報を得ることのできる測距方法が、観測系(カメラ)を共通にできるという点から好ましい。この種の測距方法としては、例えば、光切断法、縞解析法などがある。もちろん画像解析以外の測距方法を用いてもかまわない。例えば、X線、赤外線、超音波などを用いた測距センサを用いることもできる。いずれの方法であっても、物体表面上の少なくとも1点の高さを特定できれば、この高さ情報を法線積分による復元形状に組み合わせることで、3次元的な形状および位置を決定することが可能となる。
Claims (6)
- 計測対象物の3次元形状を計測する形状計測装置であって、
ステージ上に配置された計測対象物に光を照射する照明装置と、
前記計測対象物を撮像する撮像装置と、
前記照明装置から光を照射した状態で前記撮像装置による撮像を行うことにより得られた画像から、前記計測対象物の表面上の複数の点における法線の向きを算出し、その法線の向きの算出結果から前記計測対象物の表面の3次元形状を算出する形状算出装置と、
前記計測対象物の表面上の1以上の点について、所定の基準位置からの距離を計測する測距装置と、
前記測距装置で得られた距離の情報を用いて、前記形状算出装置で得られた前記計測対象物の表面の3次元形状の空間位置を決定する決定装置と、
を有する形状計測装置。 - 前記測距装置は、縞状または格子状のパタンを前記計測対象物に投影する投影装置を有しており、
前記測距装置は、縞状または格子状のパタンを投影した状態で撮像された前記計測対象物の画像を解析することにより前記計測対象物の表面上の点の距離を算出するものである請求項1に記載の形状計測装置。 - 前記撮像装置は、前記測距装置が測距用の画像を撮像するための装置を兼ねている請求項2に記載の形状計測装置。
- 前記照明装置は、所定の広さの発光領域を有する面光源であり、
前記発光領域内の各位置から照射される光のスペクトル分布が互いに異なっている
請求項1〜3のうちいずれか1項に記載の形状計測装置。 - 前記照明装置は、互いに異なる複数の照明パタンを重ね合わせた光を照射し、または、前記複数の照明パタンを順次照射する面光源であり、
各照明パタンは、前記計測対象物が配置される点を通る前記ステージに平行な所定の直線を中心軸として、前記中心軸周りの角度に対し発光強度が線形に変化するように設定されている
請求項1〜4のうちいずれか1項に記載の形状計測装置。 - 計測対象物の3次元形状を計測する形状計測方法であって、
ステージ上に配置された計測対象物に光を照射するステップと、
前記光を照射した状態で前記計測対象物を撮像するステップと、
前記撮像ステップで得られた画像から、前記計測対象物の表面上の複数の点における法線の向きを算出し、その算出結果から前記計測対象物の表面の3次元形状を算出するステップと、
前記計測対象物の表面上の1以上の点について、所定の基準位置からの距離を計測する測距ステップと、
前記測距ステップで得られた距離の情報を用いて、前記形状算出ステップで得られた前記計測対象物の表面の3次元形状の空間位置を決定するステップと、
を有する形状計測方法。
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