JP2013517465A - 小型干渉分光計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 干渉計は、包囲光路光学部品群と検出器を有し、包囲光路光学部品群は少なくとも2つの反射素子(221、222)とビームスプリッタ(210)を有し、ビームスプリッタは入力ビーム(205)を第1および第2ビーム(231、232)へ分割する。包囲光路光学部品群は第1および第2のビームを、領域を包囲する光路の逆方向に周回させ、第1および第2のビームを検出器(250)に向けて出力する。検出器は第1および第2のビームの干渉により生じたパターンを検知する。好ましい実施例では、2つの反射素子は一対の凹面鏡であり、包囲光路光学部品群は三角形の領域を包囲する。反射および結像のために凹面鏡を使用するので干渉計は小型になる。
【選択図】 図3
Description
・可視 − CCD、CMOS検出器など。
・近赤外 − InGaAs、InSb、Ge、MTCなど。
・中赤外 − MTC、量子井戸赤外フォトダイオード(QWIP:quantum well infrared photodiode)。
・広帯域ボロメータ・アレイ。
代わりに、単一素子の検出器が用いられてもよい。単一素子は、上述したとおり、像面を横切って機械的に走査するように構成されてもよい。
Claims (34)
- 包囲光路をなす光学部品群および検出器を有する干渉計であって、
前記包囲光路をなす光学部品群は、少なくとも2つの反射素子と、1つのビームスプリッタと、を有し、前記ビームスプリッタは入力ビームを第1のビームおよび第2のビームへと分割するように構成されており、前記包囲光路をなす光学部品群は、前記第1のビームおよび前記第2のビームを、領域を包囲する光路を逆方向に周るように進ませて、前記第1のビームおよび前記第2のビームを前記検出器に向けて出力し、
前記包囲光路をなす光学部品群は、前記第1のビームおよび前記第2のビームを前記検出器上に焦点合わせさせるように構成されており、
前記検出器は、前記第1のビームと前記第2のビームの干渉により生じたパターンを検出するよう構成されている、干渉計。 - 前記包囲光路をなす光学部品群による前記ビームの焦点合わせは、前記反射素子の少なくとも1つが湾曲していることによって行われる、請求項1に記載の干渉計。
- 前記包囲光路をなす光学部品群による前記ビームの焦点合わせは、前記反射素子の2つが湾曲していることによって行われる、請求項2に記載の干渉計。
- 前記反射素子の少なくとも1つの前記湾曲は、像面における光の場の形状が、前記検出器の表面の形状と実質的に一致するような態様で、前記第1のビームおよび前記第2のビームを前記検出器上に焦点合わせするよう構成されている、請求項2または請求項3に記載の干渉計。
- 前記反射素子の少なくとも1つの前記湾曲は、像面が平坦な光の場を持つような態様で、前記第1のビームおよび前記第2のビームを焦点合わせするよう構成されている、請求項2から4のいずれか一つに記載の干渉計。
- 2つの反射素子を有し、前記ビームスプリッタと2つの反射素子は、前記第1のビームが前記ビームスプリッタによって前記2つの反射素子のうちの第1の反射素子に向けられ、前記第2のビームが前記ビームスプリッタによって前記2つの反射素子のうちの第2の反射素子に向けられるよう配置されている、請求項1から5のいずれか一つに記載の干渉計。
- 前記反射素子のうちの第1の反射素子は、前記第1のビームを前記反射素子のうちの第2の反射素子に向けるように配置されており、前記反射素子のうちの第2の反射素子は、前記第2のビームを前記反射素子のうちの第1の反射素子に向けるように配置されており、前記第2および第1の反射素子は、それぞれ第1および第2のビームを前記ビームスプリッタに向けるよう配置されている、請求項6に記載の干渉計。
- 前記ビームスプリッタは、前記第1および第2のビームを、それぞれ、透過と反射によって生成する、請求項1から7のいずれか一つに記載の干渉計。
- 前記ビームスプリッタは、前記第1および第2のビームを前記包囲光路から前記検出器へと向ける、請求項1から8のいずれか一つに記載の干渉計。
- 前記ビームスプリッタは、前記第1および第2のビームを、それぞれ、透過と反射によって前記検出器へ向ける、請求項9に記載の干渉計。
- さらに、前記入力ビームをコリメートするための入力光学部品を有する、請求項1から10のいずれか一つに記載の干渉計。
- 前記入力光学部品は、望遠鏡または双眼鏡を構成する配置を有する、請求項11に記載の干渉計。
- 前記2つの反射素子の曲率は同じである、請求項3から12のいずれか一つに記載の干渉計。
- 前記反射素子の少なくとも1つは凹形である、請求項2から13のいずれか一つに記載の干渉計。
- 前記検出器は、前記第1および第2のビームの干渉によって作られたパターンを直線に沿って検知できるよう構成されている、請求項1から14のいずれか一つに記載の干渉計。
- 前記検出器は、センサの直線状アレイである、請求項15に記載の干渉計。
- 前記検出器は、直線に沿って走査するために動くよう構成された、少なくとも1つのセンサを有する、請求項15に記載の干渉計。
- 前記包囲光路は三角形である、請求項1から17のいずれか一つに記載の干渉計。
- 前記反射素子とビームスプリッタは、互いに対して固定されている、請求項1から18のいずれか一つに記載の干渉計。
- 前記検出器は、前記包囲光路をなす光学部品群に対して固定されている、請求項1から16および請求項18のいずれか一つに記載の干渉計。
- 前記ビームスプリッタは、前記入力ビームを、ほぼ等しい強度を有する第1ビームおよび第2ビームに分割する、請求項1から18のいずれか一つに記載の干渉計。
- 前記包囲光路をなす光学部品群、または、前記反射素子および前記ビームスプリッタは、モノリシックに形成されている、請求項1から21のいずれか一つに記載の干渉計。
- 前記検出器は、干渉パターン中における空間的変化を示す信号を出力するよう構成された、請求項1から22のいずれか一つに記載の干渉計。
- 請求項23に記載の干渉計を有し、さらに、干渉パターンのフーリエ変換に基づいて入力ビームに存在する波長を示すよう構成された分析器を有する、分光計。
- 請求項1から24のいずれか一つに記載の干渉計を有する結像分光計であって、前記検知器は、前記第1および第2のビームを組み合わせることによって生成されたパターンを2次元で検知するように構成されている、結像分光計。
- 前記検知器は、前記第1および第2のビームの干渉によって生成される空間的に変化するパターンを一方向において検知し、かつ、前記入力ビームについての結像情報を第2の方向において検知するよう構成されている、請求項25に記載の結像分光計。
- 前記検出器は、センサの2次元アレイである、請求項25または26に記載の結像分光計。
- 前記検出器は、領域を走査するために直線に沿って動くよう構成された、センサの直線状アレイである、請求項25または26に記載の結像分光計。
- 前記入力ビームの中にある波長と、前記入力ビームに関する結像情報と、を示すように構成された分析器をさらに有する、請求項25から28のいずれか一つに記載の結像分光計。
- 包囲光路の中の1つ以上の鏡が、逆循環ビームを検出器の上に焦点合わせするよう湾曲している、サニャク干渉計。
- ビーム分割光学部品群と検出器を有する干渉計であって、
前記ビーム分割光学部品群は、少なくとも2つの反射素子とビームスプリッタとを有し、前記ビームスプリッタは入力ビームを第1および第2のビームに分割するよう構成されており、第1の前記反射素子は前記第1のビームを第1の光路に沿って検出器へ向かわせるよう構成されており、第2の前記反射素子は前記第2のビームを第2の光路に沿って前記検出器へと向かわせるよう構成されており、前記第1および第2の光路は光路長差を有しており、
前記ビーム分割光学部品群は前記第1および第2のビームを前記検出器に焦点合わせするよう構成されており、
前記検出器は、前記第1および第2のビームの干渉によって生成されたパターンを検出するよう構成されている、干渉計。 - 前記ビーム分割光学部品群は、第1および第2のビームが領域を包囲する光路を逆方向に周って進むように配置される、請求項31に記載の干渉計。
- 前記第1および第2の反射素子が凹形である、請求項31または32に記載の干渉計。
- 前記ビーム分割光学部品群は、前記第1および第2のビームの干渉パターンを、前記干渉パターンが前記検出器の平面を横切って広がるように生成する、請求項31から33のいずれか一つに記載の干渉計。
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