JP2013507650A - 顕微鏡用レーザーシステム、及び、顕微鏡用レーザーシステムの操作方法 - Google Patents
顕微鏡用レーザーシステム、及び、顕微鏡用レーザーシステムの操作方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
22 レーザーモジュール
24 光ビーム
26 ビーム補正装置
27 光ダイオード
28 補正された光ビーム
29 レンズ
30 第一鏡
31 光ファイバー
32 補正された第一部分光ビーム
33 波長フィルタ
34 測定要素
35 コリメータレンズ
36 実際の強度値
38 補正された第二部分光ビーム
39 電源(電力供給)
40 アプリケーション装置
41 内部コントローラ
42 第一絞り
43 集束レンズ(集束光学系)
44 第二鏡
46 偏向装置
47 レーザーダイオード
48 別の集束光学系
49 偏光フィルタ
50 試料
52 検出光ビーム
54 第二絞り
56 検出器
Claims (10)
- レーザーモジュール(22)と、
ビーム補正装置(26)と、
光ファイバー(31)と、
測定要素(34)と、及び、
外部コントローラ(37)とを有する、顕微鏡用レーザーシステム(20)において、
前記レーザーモジュール(22)は、光ビーム(24)を生じ、
前記ビーム補正装置(26)を前記光ビーム(24)が通り抜け、且つ、当該ビーム補正装置は、光ビーム(24)の少なくとも一つのパラメータにおける、予め定められた目標値からの実際値のずれを補正し、
前記光ファイバー(31)に、前記補正された光ビーム(24)が結びつけられ、
前記測定要素(34)は、光ファイバー(31)の下流に設けられ、且つ、補正された光ビーム(24)の少なくとも一つの部分ビーム(32)の実際の強度値(36)を捕捉し、及び、
前記外部コントローラ(37)は、前記レーザーモジュール(22)の電源(39)と前記測定要素(34)とに結合され、且つ、前記電源(39)によって、実際の強度値(36)を予め決められた目標強度値へ調整する、レーザーシステム。 - 光ファイバー(31)が単一モードガラスファイバーを備える、請求項1に記載のレーザーシステム(20)。
- 単一モードガラスファイバーのコア径が、光ビーム(24)の波長範囲内に存在する、請求項2に記載のレーザーシステム(20)。
- ビーム補正装置(26)が、絞りと、波長フィルタ(33)と、ピンホールと、及び/又は、偏光フィルタ(49)とを備えている、請求項1〜3のいずれか一項に記載のレーザーシステム(20)。
- レーザーモジュール(22)が半導体レーザーを備えている、請求項1〜4のいずれか一項に記載のレーザーシステム(20)。
- 半導体レーザーが、表面発光型レーザーダイオード、又は、端面発光型レーザーダイオード(47)を含んでいる、請求項5に記載のレーザーシステム(20)。
- レーザーモジュール(22)を通る実際の電流値を、目標電流値に調整する内部コントローラ(41)を備える、請求項1〜6のいずれか一項に記載のレーザーシステム(20)。
- 顕微鏡用レーザーシステム(20)を操作する方法であって、
レーザーモジュール(22)によって光ビーム(24)を作り出し、
前記光ビーム(24)の少なくとも一つのパラメータ値の、目標値からの実際値のずれを補正し、
前記補正した光ビーム(24)を光ファイバー(31)に結びつけ、
前記光ファイバー(31)から出てくる補正された光ビーム(24)の実際の強度値(36)を捕捉して、
前記レーザーモジュール(22)への電力供給(39)によって、前記実際の強度値(36)を目標強度値に調整する、方法。 - 実際の強度値(36)と目標強度値との間のずれに基いて、レーザーダイオード(22)を流れる目標電流値が規定され、且つ、実際の電流値が捕捉されて、前記目標電流値に調整される、請求項8に記載の方法。
- 光強度を変調するために、目標強度値をダイナミックに規定する、請求項8又は9に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102009048710.7 | 2009-10-08 | ||
DE102009048710.7A DE102009048710B4 (de) | 2009-10-08 | 2009-10-08 | Lasersystem für ein Mikroskop und Verfahren zum Betreiben eines Lasersystems für ein Mikroskop |
PCT/EP2010/065071 WO2011042524A1 (de) | 2009-10-08 | 2010-10-08 | Lasersystem für ein mikroskop und verfahren zum betreiben eines lasersystems für ein mikroskop |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013507650A true JP2013507650A (ja) | 2013-03-04 |
JP2013507650A5 JP2013507650A5 (ja) | 2013-11-21 |
Family
ID=43510320
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012532608A Pending JP2013507650A (ja) | 2009-10-08 | 2010-10-08 | 顕微鏡用レーザーシステム、及び、顕微鏡用レーザーシステムの操作方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120193513A1 (ja) |
JP (1) | JP2013507650A (ja) |
DE (1) | DE102009048710B4 (ja) |
WO (1) | WO2011042524A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6500474B2 (ja) * | 2015-02-09 | 2019-04-17 | 株式会社島津製作所 | 光学分析装置 |
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JP5307439B2 (ja) * | 2007-04-23 | 2013-10-02 | オリンパス株式会社 | レーザ顕微鏡 |
-
2009
- 2009-10-08 DE DE102009048710.7A patent/DE102009048710B4/de active Active
-
2010
- 2010-10-08 US US13/500,160 patent/US20120193513A1/en not_active Abandoned
- 2010-10-08 JP JP2012532608A patent/JP2013507650A/ja active Pending
- 2010-10-08 WO PCT/EP2010/065071 patent/WO2011042524A1/de active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011042524A1 (de) | 2011-04-14 |
DE102009048710B4 (de) | 2020-04-02 |
US20120193513A1 (en) | 2012-08-02 |
DE102009048710A1 (de) | 2011-04-21 |
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