JP2013252617A - Method of manufacturing laminated thin film, and laminated thin film with masking film - Google Patents

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哲也 綾
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a laminated thin film which can restrain wrinkles from appearing when the films with a thickness of 25 μm or less are stacked and which has a good appearance, and the like.SOLUTION: In a method of manufacturing a laminated thin film 10, the laminated thin film is manufactured through steps including: a first thin film sticking step of forming a pressure sensitive adhesive layer on one surface of a masking film and sticking thin films A with a thickness of 25 μm or less together via the pressure sensitive adhesive layer; an adhesive layer forming step of forming an adhesive layer on the thin film; a drying step of drying the adhesive layer; a second thin film sticking step of sticking a thin film B with a thickness of 25 μm or less together on the adhesive layer after drying; and a peeling and removal step of peeling and removing the masking film. The adhesion of the pressure sensitive adhesive layer is in the range of 5-250 N/m, and the tensile strength of the masking film is in the range of 20-300 MPa.

Description

本発明は、積層型薄膜フィルムの製造方法、及びマスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムに関し、特に、各種表示装置のディスプレイに使用される積層型薄膜フィルムの製造方法、及びマスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムに関する。   TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for producing a laminated thin film film and a laminated thin film film with a masking film, and more particularly to a method for producing a laminated thin film used for displays of various display devices and a laminated thin film with a masking film. .

各種表示装置のディスプレイ分野(例えば、特許文献1参照)では、その用途によってはさらなる小型化が進んでおり、これに伴ってディスプレイ用の機能性フィルム、例えば、積層型のガスバリアフィルムは、その積層構造としての薄型化が必要とされている。これまでの積層型のガスバリアフィルムでは、積層される相手方フィルムが25μm以上の厚みがあればフィルムの剛性が高いため、既存の貼り合わせ技術により十分に対応することができた。   In the display field of various display devices (see, for example, Patent Document 1), further downsizing is progressing depending on the application, and accordingly, a functional film for display, for example, a laminated gas barrier film, is laminated. Thinning as a structure is required. In the conventional laminated gas barrier film, if the counterpart film to be laminated has a thickness of 25 μm or more, the rigidity of the film is high.

しかし、上述のように積層型のガスバリアフィルムの積層構造としての薄型化を達成すべく、フィルムの厚みが25μm未満のもの同士を積層しようとすると、フィルムの剛性が足りずに生産時にシワが発生してトラブルを起こしやすくなる。特に、溶剤系の接着剤を使用する場合は、溶剤を蒸発させるために高温での乾燥が要求される。そのため、この乾燥により収縮したようなシワが発生しやすくなる。このような状態でガスバリアフィルムをディスプレイ用に使用すると、表示画面に当該シワに起因する欠陥が生じてしまうことがあり外観を損ねてしまう。   However, as described above, when trying to laminate films with a thickness of less than 25 μm in order to achieve thinning as a laminated structure of a laminated gas barrier film, the film has insufficient rigidity and wrinkles occur during production. And it becomes easy to cause trouble. In particular, when using a solvent-based adhesive, drying at a high temperature is required to evaporate the solvent. For this reason, wrinkles such as shrinkage due to drying are likely to occur. When the gas barrier film is used for a display in such a state, a defect due to the wrinkles may occur on the display screen, and the appearance is impaired.

特開2009−274395号公報JP 2009-274395 A

以上から、本発明は上記従来の課題を解決することを目的とする。すなわち、本発明は、フィルムの厚みが25μm未満のもの同士を積層する際に、シワの発生を抑制することが可能で、良好な外観を有する積層型薄膜フィルムの製造方法、及びマスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムを提供することを目的とする。   In view of the above, an object of the present invention is to solve the above conventional problems. That is, the present invention is a method for producing a laminated thin film having a good appearance and capable of suppressing generation of wrinkles when laminating films having a thickness of less than 25 μm, and laminating with a masking film. An object of the present invention is to provide a mold thin film.

本発明者らは、前記目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、フィルムの厚みが25μm未満のもの同士を積層(貼り合わせ)する際に、特定のマスキングフィルム上に薄膜フィルムを設けた状態で、他の薄膜フィルムを貼り合わせると、シワの発生が抑制され、良好な外観を有する積層型薄膜フィルムを製造できることを見出し本発明に想到した。すなわち、本発明は下記の通りである。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors provided a thin film on a specific masking film when laminating (bonding) films having a thickness of less than 25 μm. In the state, when other thin film was bonded together, it was found that the generation of wrinkles was suppressed and a laminated thin film having a good appearance could be produced, and the present invention was conceived. That is, the present invention is as follows.

[1] 基材の少なくとも片面に粘着剤層が形成されてなるマスキングフィルムに、該粘着剤層を介して厚さ25μm未満の薄膜フィルムAを貼り合わせる第1の薄膜フィルム貼合工程と、
前記薄膜フィルムA上に接着剤層を形成する接着剤層形成工程と、
該接着剤層を乾燥する乾燥工程と、
乾燥後の前記接着剤層上に厚さ25μm未満の薄膜フィルムBを貼り合わせる第2の薄膜フィルム貼合工程と、
前記マスキングフィルムを剥離除去する剥離除去工程と、を経て薄膜フィルムAと接着剤層と薄膜フィルムBとで構成された積層型薄膜フィルムを製造する方法であって、
前記粘着剤層の粘着力が5〜250N/mであり、前記マスキングフィルムの引張強さが20〜300MPaである積層型薄膜フィルムの製造方法。
[2] 前記接着剤層を形成する接着剤が熱硬化性接着剤である上記[1]に記載の積層型薄膜フィルムの製造方法。
[3] 前記積層型薄膜フィルムがディスプレイ用ガスバリアフィルムである上記[1]又は[2]に記載の積層型薄膜フィルムの製造方法。
[1] A first thin film film laminating step in which a thin film A having a thickness of less than 25 μm is bonded to a masking film in which an adhesive layer is formed on at least one side of a base material via the adhesive layer;
An adhesive layer forming step of forming an adhesive layer on the thin film A;
A drying step of drying the adhesive layer;
A second thin film film laminating step for laminating a thin film B having a thickness of less than 25 μm on the adhesive layer after drying;
A method for producing a laminated thin film composed of a thin film A, an adhesive layer and a thin film B through a peeling and removing step for peeling and removing the masking film,
The manufacturing method of the laminated thin film film whose adhesive force of the said adhesive layer is 5-250 N / m, and whose tensile strength of the said masking film is 20-300 MPa.
[2] The method for producing a laminated thin film according to [1], wherein the adhesive forming the adhesive layer is a thermosetting adhesive.
[3] The method for producing a laminated thin film according to [1] or [2], wherein the laminated thin film is a gas barrier film for display.

[4] 基材の少なくとも片面に粘着剤層が形成されてなるマスキングフィルムに、該粘着剤層を介して、厚さ25μm未満の薄膜フィルムA、接着剤層、及び厚さ25μm未満の薄膜フィルムBが積層されてなり、
前記粘着剤層の粘着力が5〜250N/mであり、前記マスキングフィルムの引張強さが20〜300MPaであるマスキングフィルム付き積層型薄膜フィルム。
[5] 前記接着剤層を形成する接着剤が熱硬化性接着剤である上記[4]に記載のマスキングフィルム付き積層型薄膜フィルム。
[4] A thin film A having a thickness of less than 25 μm, an adhesive layer, and a thin film having a thickness of less than 25 μm are formed on a masking film having a pressure-sensitive adhesive layer formed on at least one side of a substrate. B is laminated,
A laminated thin film with a masking film, wherein the pressure-sensitive adhesive layer has an adhesive strength of 5 to 250 N / m and the masking film has a tensile strength of 20 to 300 MPa.
[5] The laminated thin film with a masking film according to the above [4], wherein the adhesive forming the adhesive layer is a thermosetting adhesive.

本発明によれば、フィルムの厚みが25μm未満のもの同士を積層する際に、シワの発生を抑制することが可能で、良好な外観を有する積層型薄膜フィルムの製造方法、及びマスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムを提供することができる。
従って、本発明の積層型薄膜フィルムの製造方法を、各種表示装置のディスプレイの製造プロセスに組み込むことが可能である。また、本発明のマスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムについても、各種表示装置のディスプレイの製造時に、ディスプレイ用の機能性フィルム(例えば、ガスバリアフィルム)用の部材として適用することができる。
According to the present invention, when laminating films having a thickness of less than 25 μm, it is possible to suppress generation of wrinkles, and a method for producing a laminated thin film having a good appearance, and lamination with a masking film A mold thin film can be provided.
Therefore, it is possible to incorporate the manufacturing method of the laminated thin film of the present invention into the display manufacturing process of various display devices. Moreover, the laminated thin film with a masking film of the present invention can also be applied as a member for a functional film for display (for example, a gas barrier film) when manufacturing displays of various display devices.

実施例のシワの発生量を評価するための評価方法を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the evaluation method for evaluating the generation amount of a wrinkle of an Example.

以下、本発明の積層型薄膜フィルムの製造方法を各工程に分けて説明する。
(第1の薄膜フィルム貼合工程)
第1の薄膜フィルム貼合工程においては、基材の少なくとも片面に粘着剤層が形成されてなるマスキングフィルムに、該粘着剤層を介して厚さ25μm未満の薄膜フィルムAを貼り合わせる。
Hereafter, the manufacturing method of the lamination type thin film of this invention is divided into each process, and is demonstrated.
(First thin film bonding process)
In the first thin film film bonding step, a thin film A having a thickness of less than 25 μm is bonded to a masking film in which an adhesive layer is formed on at least one side of the substrate via the adhesive layer.

マスキングフィルムの基材としては、耐熱性に優れるフィルムであることが好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリオレフィン(PO)フィルム、アラミドフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリフェニレンスルフィドフィルム、芳香族ポリスルホンフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、ポリアリレートフィルム、ポリエーテルエーテルケトンフィルム等を挙げることができる。
なかでも、耐熱性、耐薬品性、経済性等のバランスに優れる点から、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好適である。
このマスキングフィルムの厚さについては特に制限はないが、12〜50μmであることが好ましく、25〜40μmであることがより好ましい。12〜50μmであることで、良好な作業性を実現し、コストを抑えることができる。
The base material of the masking film is preferably a film having excellent heat resistance. For example, polyethylene terephthalate (PET) film, polycarbonate film, polyolefin (PO) film, aramid film, polyethylene naphthalate film, polyphenylene sulfide film, aromatic An aromatic polysulfone film, a polyetherimide film, a polyarylate film, a polyetheretherketone film, and the like can be given.
Of these, a polyethylene terephthalate film is preferred because of its excellent balance of heat resistance, chemical resistance, economy, and the like.
Although there is no restriction | limiting in particular about the thickness of this masking film, It is preferable that it is 12-50 micrometers, and it is more preferable that it is 25-40 micrometers. By being 12-50 micrometers, favorable workability | operativity is implement | achieved and cost can be held down.

また、積層型薄膜フィルムを作製する際には、当該フィルム全体の剛性を考慮する必要があるが、実際上はマスキングフィルムの引張強さで当該剛性を考慮することが便宜である。
マスキングフィルムの引張強さは20〜300MPaであり、50〜300MPaであることが好ましく、200〜300MPaであることがより好ましい。引張強さが20〜300MPaであることで、加工時の張力や熱によるダメージを低減することができる。
Moreover, when producing a laminated thin film, it is necessary to consider the rigidity of the entire film, but in practice it is convenient to consider the rigidity with the tensile strength of the masking film.
The tensile strength of the masking film is 20 to 300 MPa, preferably 50 to 300 MPa, and more preferably 200 to 300 MPa. When the tensile strength is 20 to 300 MPa, damage due to tension or heat during processing can be reduced.

引張強さは、例えば下記の通りにして測定することができる。
まず、10mm幅の短冊状の試験片を作製し、50mm/minの速度でフィルムを引っ張る。フィルムが破断した際の強度を測定し、引張強さとする。
The tensile strength can be measured, for example, as follows.
First, a strip-shaped test piece having a width of 10 mm is prepared, and the film is pulled at a speed of 50 mm / min. The strength when the film is broken is measured and defined as the tensile strength.

基材マスキングフィルムの一方の面に形成される粘着剤層は、その粘着力が5〜250N/mであり、30〜250μmであることが好ましく、70〜250μmであることがより好ましい。粘着力が5N/m未満であると、処理工程中で剥離が起こって不良発生の原因となる。粘着力が250N/mを超えると、後述の薄膜フィルムBを貼り合わせた後にマスキングフィルムを剥離する際に、剥離しづらくなって生産性を低下させたり、粘着層の成分が薄膜フィルムAに残留してしまい不良発生の原因となったりしてしまう。
上記粘着剤層の粘着力は後述の方法により測定することができる。
The pressure-sensitive adhesive layer formed on one surface of the substrate masking film has an adhesive strength of 5 to 250 N / m, preferably 30 to 250 μm, and more preferably 70 to 250 μm. When the adhesive strength is less than 5 N / m, peeling occurs during the treatment process, causing defects. When the adhesive strength exceeds 250 N / m, when the masking film is peeled off after the thin film B described later is bonded, it becomes difficult to peel off and the productivity is lowered, or the components of the adhesive layer remain in the thin film A. And cause defects.
The adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive layer can be measured by the method described later.

粘着剤層を構成する粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤等の何れであってもよいが、好ましくはアクリル系ポリマー、特に(メタ)アクリル酸エステル系ポリマーを主体とするアクリル系粘着剤である。
前記アクリル系ポリマーは、例えば、(メタ)アクリル酸アルキルエステルと官能基含有モノマーとを含むモノマー混合物を、重合開始剤を用いて常法よりラジカル重合させることにより得られる。
(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、アクリル酸メチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸2−エチルヘキシル等のアルキル基の炭素数が1〜12個程度のアクリル酸アルキルエステル又はメタクリル酸アルキルエステル等が挙げられる。これらの(メタ)アクリル酸アルキルエステルは単独で又は2種以上混合して用いることができる。
なお、この(メタ)アクリル酸アルキルエステルの一部を、必要に応じて、スチレンや酢酸ビニル等他の共重合性モノマーに置き換えてもよい。
上記官能基含有モノマーは、被着体表面に対する活性度や濡れ性を改良する成分として寄与するほか、架橋点としても作用して凝集力の向上に好結果を与えるものである。
このようなモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸等のカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー;アクリル酸2−ヒドロキシエチル、アクリル酸2−ヒドロキシルプロピル、2−ヒドロキシエチルビニルエーテル等の水酸基含有モノマー;アクリル酸N,N−ジメチルアミノエチル、メタクリル酸N,N−ジメチルアミノエチル等のアミノ基含有モノマー;アクリル酸アミド、メタクリル酸アミド等のアミド基含有モノマー等が挙げられ、その他エポキシ基、ホスフィン基、スルホン基等を有するポリマーも用いることができる。
The pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layer may be any of an acrylic pressure-sensitive adhesive, a rubber-based pressure-sensitive adhesive, a silicone-based pressure-sensitive adhesive, etc., but preferably an acrylic polymer, particularly a (meth) acrylic acid ester-based polymer. Is an acrylic adhesive mainly composed of
The acrylic polymer can be obtained, for example, by radical polymerization of a monomer mixture containing a (meth) acrylic acid alkyl ester and a functional group-containing monomer by a conventional method using a polymerization initiator.
Examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include acrylics having about 1 to 12 carbon atoms in the alkyl group such as methyl acrylate, butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate and the like. Examples include acid alkyl esters and methacrylic acid alkyl esters. These alkyl (meth) acrylates can be used alone or in combination of two or more.
In addition, you may replace a part of this (meth) acrylic-acid alkylester with other copolymerizable monomers, such as styrene and vinyl acetate, as needed.
The functional group-containing monomer contributes as a component for improving the activity and wettability with respect to the adherend surface, and also acts as a crosslinking point to give a good result in improving the cohesive force.
Examples of such monomers include carboxyl group or acid anhydride group-containing monomers such as acrylic acid, methacrylic acid, and maleic anhydride; hydroxyl groups such as 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, and 2-hydroxyethyl vinyl ether. Containing monomers; amino group-containing monomers such as N, N-dimethylaminoethyl acrylate and N, N-dimethylaminoethyl methacrylate; amide group-containing monomers such as acrylic amide and methacrylamide, and other epoxy groups , A polymer having a phosphine group, a sulfone group and the like can also be used.

粘着剤層はグラビアコート、ロールコート、バーコート、ダイコート、ナイフコートといった公知の方法により形成することができる。粘着剤層の厚さ(乾燥後)は、5〜40μmであることが好ましく、10〜30μmであることがより好ましい。
厚さが5〜40μmであることで、均一な塗工がされやすくなり、コストの上昇を抑えることができる。
The pressure-sensitive adhesive layer can be formed by a known method such as gravure coating, roll coating, bar coating, die coating, and knife coating. The thickness (after drying) of the pressure-sensitive adhesive layer is preferably 5 to 40 μm, and more preferably 10 to 30 μm.
When the thickness is 5 to 40 μm, uniform coating is easily performed, and an increase in cost can be suppressed.

マスキングフィルムの当該粘着剤層上には、厚さ25μm未満の薄膜フィルムAが公知の方法により貼り合わされる。
なお、当該粘着剤層は既述の通り、その粘着力が5〜250N/mであるため、薄膜フィルムAはマスキングフィルムの粘着剤層から剥離可能な程度に貼り合わされることになる。
On the adhesive layer of the masking film, a thin film A having a thickness of less than 25 μm is bonded by a known method.
Since the pressure-sensitive adhesive layer has an adhesive strength of 5 to 250 N / m as described above, the thin film A is bonded to such an extent that it can be peeled off from the pressure-sensitive adhesive layer of the masking film.

薄膜フィルムAとしては、基材フィルム(好ましくは、ガスバリア性を有する基材フィルム)、又は基材フィルムの少なくとも一方の面に無機膜を少なくとも1層有するガスバリア性フィルムであることが好ましい。
基材フィルムとしては、プラスチックフィルムが好ましく、その原料としては、通常の包装材料に使用し得る樹脂であれば特に制限なく用いることができる。具体的には、エチレン、プロピレン、ブテン等の単独重合体または共重合体等のポリオレフィン、環状ポリオレフィン等の非晶質ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート等のポリエステル、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン12、共重合ナイロン等のポリアミド系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体部分加水分解物(EVOH)、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ポリビニルブチラール、ポリアリレート、フッ素樹脂、アクリル樹脂、生分解性樹脂等が挙げられる。これらの中では、フィルム物性、コスト等の点から、ポリエステル、ポリアミド、ポリオレフィンが好ましい。なかでも、フィルム物性の点から、ポリエチレンテレフタレート及びポリエチレン−2,6−ナフタレート等のポリエステルが特に好ましい。
The thin film A is preferably a base film (preferably a base film having gas barrier properties) or a gas barrier film having at least one inorganic film on at least one surface of the base film.
As the base film, a plastic film is preferable, and as the raw material, any resin that can be used for ordinary packaging materials can be used without any particular limitation. Specifically, polyolefins such as homopolymers or copolymers such as ethylene, propylene and butene, amorphous polyolefins such as cyclic polyolefin, polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene-2,6-naphthalate, nylon 6, nylon 66, polyamide resin such as nylon 12, copolymer nylon, ethylene-vinyl acetate copolymer partial hydrolyzate (EVOH), polyimide, polyetherimide, polysulfone, polyethersulfone, polyetheretherketone, polycarbonate, polyvinyl Examples include butyral, polyarylate, fluororesin, acrylic resin, and biodegradable resin. Among these, polyesters, polyamides, and polyolefins are preferable from the viewpoints of film properties and cost. Of these, polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene-2,6-naphthalate are particularly preferred from the viewpoint of film properties.

また、上記基材フィルムは、公知の添加剤、例えば、帯電防止剤、光線遮断剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、フィラー、着色剤、安定剤、潤滑剤、架橋剤、ブロッキング防止剤、酸化防止剤等を含有することができる。   The base film is a known additive such as an antistatic agent, a light blocking agent, an ultraviolet absorber, a plasticizer, a lubricant, a filler, a colorant, a stabilizer, a lubricant, a crosslinking agent, an antiblocking agent, An antioxidant etc. can be contained.

上記基材フィルムとしてのプラスチックフィルムは、上記の原料を用いて成形してなるものであるが、基材として用いる際は、未延伸であってもよいし延伸したものであってもよい。また、単層であっても多層であってもよい。かかる基材フィルムは、従来公知の方法により製造することができ、例えば、原料を押出機により溶融し、環状ダイやTダイにより押出して、急冷することにより実質的に無定型で配向していない未延伸フィルムを製造することができる。また、多層ダイを用いることにより、樹脂1種単層フィルム、1種多層フィルム、多種多層フィルムを製造することができる。
この未延伸フィルムを一軸延伸、テンター式逐次二軸延伸、テンター式同時二軸延伸、チューブラー式同時二軸延伸等の公知の方法により、フィルムの流れ(縦軸)方向又はフィルムの流れ方向とそれに直角な(横軸)方向に延伸することにより、一軸方向または二軸方向に延伸したフィルムを製造することができる。延伸倍率は任意に設定できるが、150℃熱収縮率が、0.01〜5%、更には0.01〜2%であることが好ましい。
なかでもフィルム物性の点から、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、二軸延伸ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリエチレンテレフタレートとポリエチレンナフタレートの共押出二軸延伸フィルムが好ましい。
The plastic film as the substrate film is formed by using the above raw materials, but when used as a substrate, it may be unstretched or stretched. Further, it may be a single layer or a multilayer. Such a base film can be produced by a conventionally known method. For example, the raw material is melted by an extruder, extruded by an annular die or a T die, and rapidly cooled to be substantially amorphous and not oriented. An unstretched film can be manufactured. Moreover, by using a multilayer die, it is possible to produce a resin type 1 single layer film, a type 1 multilayer film, and a variety of multilayer films.
The unstretched film is subjected to a known method such as uniaxial stretching, tenter sequential biaxial stretching, tenter simultaneous biaxial stretching, tubular simultaneous biaxial stretching, or the like. A film stretched in a uniaxial direction or a biaxial direction can be produced by stretching in a direction (horizontal axis) perpendicular thereto. Although a draw ratio can be set arbitrarily, it is preferable that 150 degreeC heat shrink rate is 0.01 to 5%, Furthermore, it is preferable that it is 0.01 to 2%.
Among these, from the viewpoint of film properties, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film, a biaxially stretched polyethylene naphthalate film, and a coextruded biaxially stretched film of polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable.

基材フィルムの厚さは、ガスバリア性フィルムの基材としての機械強度、可撓性、透明性等の点から、その用途に応じ、通常5〜500μm、好ましくは10〜200μmの範囲で選択され、厚さが大きいシート状のものも含む。また、フィルムの幅や長さについては特に制限はなく、適宜用途に応じて選択することができる。
また、後述するアンカーコート剤の基材フィルムへの塗布性、接着性を改良するため、アンカーコート剤の塗布前にフィルムに通常の化学処理、放電処理等の表面処理を施してもよい。
The thickness of the base film is usually selected in the range of 5 to 500 μm, preferably 10 to 200 μm, depending on its use from the viewpoint of mechanical strength, flexibility, transparency, etc. as the base material of the gas barrier film. Also, a sheet having a large thickness is included. Moreover, there is no restriction | limiting in particular about the width | variety and length of a film, It can select according to a use suitably.
Moreover, in order to improve the applicability | paintability to the base film of the anchor coating agent mentioned later, and adhesiveness, you may perform surface treatments, such as a normal chemical treatment and electrical discharge treatment, before application | coating of an anchor coating agent.

上記基材フィルムには、無機膜との密着性向上のため、アンカーコート剤を塗布することが好ましい。アンカーコート剤としては、ポリエステル系樹脂、イソシアネート系樹脂、ウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリビニルアルコール樹脂やエチレンビニルアルコール樹脂等のビニルアルコール系樹脂、ビニルブチラール樹脂、樹脂、ニトロセルロース樹脂、オキサゾリン基含有樹脂、カルボジイミド基含有樹脂、メチレン基含有樹脂、エポキシ基含有樹脂、スチレン系樹脂及びシリコーン系樹脂等を単独、あるいは2種以上組み合わせて使用することができる。
また、シラン系カップリング剤、チタン系カップリング剤、アルキルチタネート、光線遮断剤、紫外線吸収剤、安定剤、潤滑剤、ブロッキング防止剤、酸化防止剤等を含有したり、それらを上記樹脂と共重合させたものを使用することができる。
It is preferable to apply an anchor coating agent to the base film in order to improve adhesion with the inorganic film. Anchor coating agents include polyester resins, isocyanate resins, urethane resins, acrylic resins, vinyl alcohol resins such as polyvinyl alcohol resins and ethylene vinyl alcohol resins, vinyl butyral resins, resins, nitrocellulose resins, and oxazoline groups. Resins, carbodiimide group-containing resins, methylene group-containing resins, epoxy group-containing resins, styrene resins, silicone resins, and the like can be used alone or in combination of two or more.
It also contains silane coupling agents, titanium coupling agents, alkyl titanates, light blockers, ultraviolet absorbers, stabilizers, lubricants, antiblocking agents, antioxidants, etc. A polymerized product can be used.

アンカーコート層の形成方法としては、公知のコーティング方法が適宜採択される。例えば、リバースロールコーター、グラビアコーター、ロッドコーター、エアドクタコーター、スプレイ等を用いたコーティング方法等の方法がいずれも使用できる。また、フィルムを樹脂液に浸漬して行ってもよい。塗布後は、80〜200℃程度の温度での熱風乾燥、熱ロール乾燥等の加熱乾燥や、赤外線乾燥等の公知の乾燥方法を用いて溶媒を蒸発させることができる。また、耐水性、耐久性を高めるために、電子線照射による架橋処理を行う事もできる。   As a method for forming the anchor coat layer, a known coating method is appropriately adopted. For example, any method such as a coating method using a reverse roll coater, a gravure coater, a rod coater, an air doctor coater, a spray or the like can be used. Alternatively, the film may be immersed in a resin solution. After coating, the solvent can be evaporated using a known drying method such as hot drying such as hot air drying or hot roll drying at a temperature of about 80 to 200 ° C. or infrared drying. Moreover, in order to improve water resistance and durability, the crosslinking process by electron beam irradiation can also be performed.

また、アンカーコート層の形成は、基材フィルムの製造ラインの途中で行う方法(インライン)でも、基材フィルム製造後に行う(オフライン)方法でも良い。
アンカーコート層の厚さは0.005〜5μm程度であり、0.01〜1μmであることが好ましい。5μm以下の厚さであれば、滑り性が良好であり、アンカーコート層自体の内部応力による基材フィルムからの剥離もほとんどなく、また、0.005μm以上の厚さであれば、均一な厚さを保つことができ好ましい。
また、アンカーコートによる基材フィルム表面の平坦化により、無機膜を形成する粒子が緻密に堆積し、且つ均一な厚さに形成しやすいことから、高いガスバリア性を得ることができる。
Further, the formation of the anchor coat layer may be a method performed in the middle of the substrate film production line (inline) or a method performed after the substrate film is manufactured (offline).
The thickness of the anchor coat layer is about 0.005 to 5 μm, and preferably 0.01 to 1 μm. If the thickness is 5 μm or less, the slipperiness is good, there is almost no peeling from the base film due to the internal stress of the anchor coat layer itself, and if the thickness is 0.005 μm or more, the thickness is uniform. It is possible to keep the thickness.
Further, since the surface of the base film is flattened by anchor coating, the particles forming the inorganic film are densely deposited and can be easily formed to have a uniform thickness, so that a high gas barrier property can be obtained.

無機膜の形成方法としては、蒸着法、コーティング法等の方法がいずれも使用できるが、ガスバリア性の高い均一な薄膜が得られるという点で蒸着法が好ましい。この蒸着法には、物理気相蒸着法(PVD)、あるいは化学気相蒸着法(CVD)等の方法が含まれる。物理気相蒸着法には、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング等が挙げられ、化学気相蒸着法には、プラズマを利用したプラズマCVD、加熱触媒体を用いて原料ガスを接触熱分解する触媒化学気相成長法(Cat−CVD)等が挙げられる。
基材フィルムの少なくとも一方の面に形成する無機膜を構成する無機物質としては、珪素、アルミニウム、マグネシウム、亜鉛、錫、ニッケル、チタン、ダイヤモンドライクカーボン等、あるいはこれらの酸化物、炭化物、窒化物またはそれらの混合物が挙げられるが、好ましくは酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化窒化炭化珪素、酸化アルミニウム、ダイヤモンドライクカーボンである。特に、酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化窒化炭化珪素、酸化アルミニウムは、高いガスバリア性が安定に維持できる点で好ましい。
As a method for forming the inorganic film, any method such as a vapor deposition method and a coating method can be used, but the vapor deposition method is preferable in that a uniform thin film having a high gas barrier property can be obtained. This vapor deposition method includes methods such as physical vapor deposition (PVD) and chemical vapor deposition (CVD). Examples of physical vapor deposition include vacuum deposition, ion plating, sputtering, etc. Chemical vapor deposition includes plasma CVD using plasma, and a catalyst that catalytically decomposes a source gas using a heated catalyst body. Examples include chemical vapor deposition (Cat-CVD).
Examples of the inorganic substance constituting the inorganic film formed on at least one surface of the base film include silicon, aluminum, magnesium, zinc, tin, nickel, titanium, diamond-like carbon, and oxides, carbides, and nitrides thereof. Or a mixture thereof, preferably silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, silicon oxynitride carbide, aluminum oxide, diamond-like carbon. In particular, silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, silicon oxynitride carbide, and aluminum oxide are preferable in that high gas barrier properties can be stably maintained.

化学気相蒸着に使用し得る原料ガスは、少なくとも1種以上のガスからなることが好ましく、例えば珪素化合物薄膜の形成においては、珪素を含む第一原料ガスに対して、第二原料ガスとして、アンモニア、窒素、酸素、水素やアルゴン等の希ガスを使用することが好ましい。珪素を含む第一原料ガスとしては、モノシラン、テトラメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、ヘキシルトリエトキシシラン、デシルトリメトキシシラン、デシルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシラザン等を単独、或いは2種組み合わせて使用することができる。また、原料ガスは、室温において液体でも気体でもよく、液体原料は、原料気化機により気化して装置内へ供給することができる。触媒化学気相成長法においては、加熱触媒体の劣化や反応性・反応速度の点から、モノシランガスが好ましい。   The source gas that can be used for chemical vapor deposition is preferably composed of at least one gas. For example, in the formation of a silicon compound thin film, as a second source gas with respect to the first source gas containing silicon, It is preferable to use a rare gas such as ammonia, nitrogen, oxygen, hydrogen or argon. Examples of the first source gas containing silicon include monosilane, tetramethoxysilane, methyltrimethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, diphenyldimethoxysilane, tetraethoxysilane, methyltriethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, phenyltrimethoxysilane. Ethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, hexyltrimethoxysilane, hexyltriethoxysilane, decyltrimethoxysilane, decyltrimethoxysilane, trifluoropropyltrimethoxysilane, hexamethyldisiloxane, hexamethyldisilazane, etc. alone or 2 Can be used in combination. The source gas may be liquid or gas at room temperature, and the liquid source can be vaporized by a source vaporizer and supplied into the apparatus. In the catalytic chemical vapor deposition method, monosilane gas is preferable from the viewpoint of deterioration of the heated catalyst body, reactivity, and reaction rate.

無機膜の厚さは、0.1〜500nm程度であることが好ましく、0.5〜40nmであることがより好ましい。上記範囲内であれば、十分なガスバリア性が得られ、また、無機膜に亀裂や剥離を発生させることなく、透明性にも優れている。   The thickness of the inorganic film is preferably about 0.1 to 500 nm, and more preferably 0.5 to 40 nm. If it is in the said range, sufficient gas barrier property will be acquired, and it will be excellent also in transparency, without generating a crack and peeling in an inorganic film.

ガスバリア性を高める観点で、無機膜を多層形成することが有効である。無機膜の多層化及び各層の順序は、例えば、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング、化学気相蒸着等のうち、何れか1つの製法により形成された薄膜を重ねても、異なる2種以上の製法により形成された各薄膜を交互に重ねてもよい。
無機膜の層数は、求めるガスバリア性が得られれば限定することはない。製造コストや成膜安定性の点では、1層から10層程度が好ましく、更には1層から5層が好ましい。
From the viewpoint of improving gas barrier properties, it is effective to form a multilayer inorganic film. Even if the thin film formed by any one manufacturing method is piled up, for example, vacuum deposition, ion plating, sputtering, chemical vapor deposition, etc., the multilayering of the inorganic film and the order of each layer are two or more different types. The thin films formed by the manufacturing method may be alternately stacked.
The number of layers of the inorganic film is not limited as long as the required gas barrier property is obtained. From the viewpoint of manufacturing cost and film formation stability, about 1 to 10 layers are preferable, and 1 to 5 layers are more preferable.

上述した無機膜を多層に重ねる場合には、無機膜と無機膜との間に樹脂層を有してもよい。樹脂層を有することにより、無機膜間の密着性向上、緻密な粒子堆積、粒子間の空隙埋め等の効果を得ることもできる。
該樹脂層の成分及び形成方法は、上述した「アンカーコート層」の場合と同じ内容とすることができる。
When the inorganic films described above are stacked in multiple layers, a resin layer may be provided between the inorganic films. By having the resin layer, effects such as improved adhesion between inorganic films, dense particle deposition, and void filling between particles can be obtained.
The components and the forming method of the resin layer can be the same as those in the above-described “anchor coat layer”.

また、無機膜間の密着性を向上させるために、前記樹脂層にはシラン系カップリング剤、チタン系カップリング剤を含有することが好ましい。
シランカプリング剤としては、例えば、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のエポキシ基含有シランカップリング剤、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジェトキシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリエトキシラン等のアミノ基含有シランカップリング剤等、及びそれらの混合物が挙げられる。好ましくは、シランカップリング剤としては、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、及びγ−アミノプロピルトリメトキシシランが挙げられる。これらは、単独又は種以上組み合わせて用いてもよい。また、密着性の点から、樹脂層を形成する樹脂に対して、0.1〜80質量%であることが好ましく、1〜50質量%であることがより好ましい。
In order to improve the adhesion between inorganic films, the resin layer preferably contains a silane coupling agent and a titanium coupling agent.
Examples of the silane coupling agent include epoxy group-containing silane cups such as β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxylane, and γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane. Ring agent, γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropylmethyljetoxylan, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxylane, N-β (aminoethyl) γ- Examples include amino group-containing silane coupling agents such as aminopropyltriethoxylane, and mixtures thereof. Preferably, the silane coupling agent includes γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane and γ-aminopropyltrimethoxysilane. These may be used alone or in combination. Moreover, it is preferable that it is 0.1-80 mass% with respect to resin which forms a resin layer from an adhesive point, and it is more preferable that it is 1-50 mass%.

エネルギー線架橋を行う場合は、紫外線や電子線で架橋する官能基を含有するモノマーであれば限定はないが、アクリロイル基又はメタクリロイル基、オキシラン基を有するモノマーを用いることが好ましい。例えば、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパン(メタ)アクリレート、エチレングリコール(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート等のうち、2官能以上のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するモノマーを架橋させて得られる高分子を主成分とすることが好ましい。これらの2官能以上のアクリロイル基またはメタクリロイル基を有するモノマーは2種類以上を混合して用いても、また1官能の(メタ)アクリレートを混合して用いてもよい。硬化速度の点からアクリロイル基を有するモノマーが最も好ましい。   When energy beam crosslinking is performed, there is no limitation as long as it is a monomer containing a functional group that is crosslinked by ultraviolet rays or electron beams, but it is preferable to use a monomer having an acryloyl group, a methacryloyl group, or an oxirane group. For example, epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, isocyanuric acid (meth) acrylate, pentaerythritol (meth) acrylate, trimethylolpropane (meth) acrylate, ethylene glycol (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, etc. Among these, it is preferable that the main component is a polymer obtained by crosslinking a monomer having a bifunctional or higher functional acryloyl group or methacryloyl group. These monomers having a bifunctional or higher functional acryloyl group or methacryloyl group may be used as a mixture of two or more kinds, or as a mixture of monofunctional (meth) acrylates. From the viewpoint of curing speed, a monomer having an acryloyl group is most preferable.

蒸着重合法により前記樹脂層を形成する場合は、真空蒸着し重合し得るモノマー及びオリゴマーを用い、重合硬化させて形成する。例えば、アクリル系等の重合し得るモノマー、オリゴマー又はそれらの混合物から成る樹脂成分を、真空下において、無機膜面に加熱気化させて噴霧コーティングし、加熱及び又は紫外線、電子線照射により重合硬化させて得る。紫外線照射にて硬化させる場合は、アクリル系等のモノマー、オリゴマー又はそれらの混合物からなる樹脂成分以外に、光重合開始剤を混合したアクリル系等の樹脂コーティング剤を用いる。光重合開始剤の例としては、ベンゾイルエーテル類、ベンゾフェノン類、キサントン類、アセトフェノン誘導体等が挙げられ、硬化後の樹脂層からの揮発を防ぐため、上述のモノマー、オリゴマー等に分子的に結合されたものが好ましく、モノマー、オリゴマー又はそれらの混合物に対して0.01〜10重量%で用いることが好ましく、0.1〜2重量%で用いることがより好ましい。
モノマー、オリゴマーの分子量は、10000以下であるのが好ましく、更に好ましくは2000以下、特に好ましくは1000以下である。その粘度は、常温で500cPs以下であるのが好ましく、更に好ましくは100cPs以下である。
When the resin layer is formed by vapor deposition polymerization, the resin layer is formed by polymerization and curing using a monomer and an oligomer that can be polymerized by vacuum deposition. For example, a resin component composed of a polymerizable monomer, oligomer or mixture thereof such as acrylic is vaporized and spray-coated on the surface of an inorganic film under vacuum, and polymerized and cured by heating and / or irradiation with ultraviolet rays or electron beams. Get. In the case of curing by ultraviolet irradiation, an acrylic resin coating agent mixed with a photopolymerization initiator is used in addition to a resin component comprising an acrylic monomer, oligomer, or a mixture thereof. Examples of photopolymerization initiators include benzoyl ethers, benzophenones, xanthones, acetophenone derivatives, etc., which are molecularly bonded to the above monomers, oligomers, etc. in order to prevent volatilization from the resin layer after curing. Are preferably used in an amount of 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 2% by weight based on the monomer, oligomer or mixture thereof.
The molecular weight of the monomer or oligomer is preferably 10,000 or less, more preferably 2000 or less, and particularly preferably 1000 or less. The viscosity is preferably 500 cPs or less at room temperature, more preferably 100 cPs or less.

上記樹脂層の厚さは、0.5nm〜0.1μm程度であり、密着性の点から0.5〜20nmが好ましく、0.5〜5nmがより好ましい。   The thickness of the resin layer is about 0.5 nm to 0.1 μm, preferably 0.5 to 20 nm, more preferably 0.5 to 5 nm from the viewpoint of adhesion.

更に無機膜の最上層を保護するために、保護層を有してもよい。該保護層を形成する樹脂としては、ポリエステル系樹脂、ウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂やエチレンビニルアルコール系樹脂等のビニルアルコール系樹脂、エチレン・不飽和カルボン酸共重合体、ビニルエステル系樹脂、ニトロセルロース系樹脂、シリコーン系樹脂、エポキシ系樹脂、スチレン系樹脂、イソシアネート基含有樹脂、カルボジイミド基含有樹脂、アルコキシル基含有樹脂、オキサゾリン基含有樹脂等を単独であるいは2種以上組み併せて使用することができる。中でも無機層のガスバリア性向上の点から上記のうち水溶性樹脂が好ましく、更に、ポリビニルアルコール系樹脂、エチレンビニルアルコール系樹脂及びエチレン・不飽和カルボン酸共重合体から選択される少なくとも1種が好ましい。
また、保護層には、バリア性、耐摩耗性、滑り性向上のため、シリカゾル、アルミナゾル等の無機酸化物ゾル等、粒子状無機フィラー及び層状無機フィラーから選ばれる1種以上の無機粒子を配合することができる。
Further, a protective layer may be provided to protect the uppermost layer of the inorganic film. Examples of the resin for forming the protective layer include polyester resins, urethane resins, acrylic resins, vinyl alcohol resins such as polyvinyl alcohol resins and ethylene vinyl alcohol resins, ethylene / unsaturated carboxylic acid copolymers, vinyls. Ester resin, nitrocellulose resin, silicone resin, epoxy resin, styrene resin, isocyanate group-containing resin, carbodiimide group-containing resin, alkoxyl group-containing resin, oxazoline group-containing resin, etc. alone or in combination Can be used. Among these, water-soluble resins are preferable from the viewpoint of improving gas barrier properties of the inorganic layer, and at least one selected from polyvinyl alcohol resins, ethylene vinyl alcohol resins, and ethylene / unsaturated carboxylic acid copolymers is preferable. .
In addition, the protective layer contains one or more inorganic particles selected from particulate inorganic fillers and layered inorganic fillers, such as inorganic sols such as silica sol and alumina sol, in order to improve barrier properties, abrasion resistance, and slipperiness. can do.

保護層の厚さは、印刷性、加工性の点から、好ましくは0.05〜10μm,更に好ましくは0.1〜3μmである。その形成方法としては、公知のコーティング方法が適宜採択される。例えば、リバースロールコーター、グラビアコーター、ロッドコーター、エアドクタコーター、スプレイを用いたコーティング方法等の方法がいずれも使用できる。塗布後は、80〜200℃程度の温度での熱風乾燥、熱ロール乾燥等の加熱乾燥や、赤外線乾燥等の公知の乾燥方法を用いて水分を蒸発させることができる。また、耐水性、耐久性を高めるために、電子線照射による架橋処理を行うこともできる。   The thickness of the protective layer is preferably 0.05 to 10 μm, more preferably 0.1 to 3 μm, from the viewpoints of printability and processability. A known coating method is appropriately adopted as the formation method. For example, any method such as a reverse roll coater, a gravure coater, a rod coater, an air doctor coater, and a coating method using a spray can be used. After application, moisture can be evaporated using a known drying method such as hot drying such as hot air drying or hot roll drying at a temperature of about 80 to 200 ° C. or infrared drying. Moreover, in order to improve water resistance and durability, the crosslinking process by electron beam irradiation can also be performed.

(接着剤層形成工程)
接着剤層形成工程では、薄膜フィルムA上に接着剤層を形成する。
接着剤層を構成する接着剤には、熱硬化性接着剤、活性エネルギー線硬化性接着剤及び水性接着剤を使用できる。これらのうち、熱硬化性接着剤が好ましい。
(Adhesive layer forming process)
In the adhesive layer forming step, an adhesive layer is formed on the thin film A.
As the adhesive constituting the adhesive layer, a thermosetting adhesive, an active energy ray curable adhesive and a water-based adhesive can be used. Of these, thermosetting adhesives are preferred.

熱硬化性接着剤としては、例えば、ポリエステル系樹脂、ウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、エーテル系樹脂、フェノール系樹脂、フラン系樹脂、尿素系樹脂、メラミン系樹脂、エポキシ系樹脂を成分とする接着剤等が挙げられる。
活性エネルギー線硬化型接着剤としては、例えば、ウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂等を成分とする接着剤が挙げられる。
Examples of thermosetting adhesives include adhesives composed of polyester resins, urethane resins, acrylic resins, ether resins, phenol resins, furan resins, urea resins, melamine resins, and epoxy resins. Agents and the like.
Examples of the active energy ray-curable adhesive include an adhesive containing urethane resin, polyester resin, and the like as components.

上記のうち、好ましくは、ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエステル系樹脂、及びアクリル系樹脂から選択される少なくとも1種を成分とする接着剤である。また、熱硬化性樹脂に限定されることなく、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルアミドイミド等の熱可塑性樹脂を用いてもよい。   Among the above, an adhesive containing at least one selected from a urethane resin, an epoxy resin, a polyester resin, and an acrylic resin as a component is preferable. Moreover, you may use thermoplastic resins, such as a polyimide, polyether imide, polyether amide imide, without being limited to a thermosetting resin.

上記接着剤に用いられる樹脂は、単独で使用することもできるが、2種以上組み合わせて使用することも可能である。
上記接着剤としては、なかでも、ガスバリア性を有する接着剤層を形成する接着剤や、ガスバリア性フィルム積層体の作製後に接着剤層で気泡を発生し難い接着剤が好ましい。
The resins used for the adhesive can be used alone or in combination of two or more.
As the above-mentioned adhesive, among them, an adhesive that forms an adhesive layer having gas barrier properties and an adhesive that does not easily generate bubbles in the adhesive layer after production of a gas barrier film laminate are preferable.

気泡を発生し難い接着剤の例としては、エポキシ硬化系が挙げられる。
また、ガスバリア性を有する接着剤層を形成する接着剤として好適に使用できる接着剤は下記の通りである。すなわち、メタキシレンジアミン骨格、パラキシレンジアミン骨格、ビスフェノール骨格等の芳香族環を多数有することを特徴として接着剤層にガスバリア性を持たせることのできる接着剤であることが好ましい。
また、更には、ガスバリア性フィルム積層体形成後に、接着剤層で気泡を発生させ難くする点では、エポキシ系樹脂を用いた硬化系が好ましい。
An example of an adhesive that hardly generates bubbles is an epoxy curing system.
Moreover, the adhesive agent which can be used conveniently as an adhesive agent which forms the adhesive bond layer which has gas-barrier property is as follows. That is, it is preferable that the adhesive layer has a gas barrier property because it has a large number of aromatic rings such as a metaxylenediamine skeleton, a paraxylenediamine skeleton, and a bisphenol skeleton.
Furthermore, a curing system using an epoxy resin is preferable in that it is difficult to generate bubbles in the adhesive layer after forming the gas barrier film laminate.

ガスバリア性を持ち気泡を生成し難いという利点を持つエポキシ系樹脂を用いた硬化系の接着剤のエポキシ系樹脂としては下記の通りである。
すなわち、メタキシリレンジアミンから誘導されたグリシジルアミン部位を有するエポキシ樹脂、1,3−ビス(アミノメチル)シクロヘキサンから誘導されたグリシジルアミン部位を有するエポキシ樹脂、ジアミノジフェニルメタンから誘導されたグリシジルアミン部位を有するエポキシ樹脂、パラアミノフェノールから誘導されたグリシジルアミン部位を有するエポキシ樹脂、ビスフェノールAから誘導されたグリシジルエーテル部位を有するエポキシ樹脂、ビスフェノールFから誘導されたグリシジルエーテル部位を有するエポキシ樹脂、フェノールノボラックから誘導されたグリシジルエーテル部位を有するエポキシ樹脂、及レゾルシノールから誘導されたグリシジルエーテル部位を有するエポキシ樹脂等が挙げられる。
The epoxy resin of the curable adhesive using the epoxy resin having the advantage of having gas barrier properties and hardly generating bubbles is as follows.
That is, an epoxy resin having a glycidylamine moiety derived from metaxylylenediamine, an epoxy resin having a glycidylamine moiety derived from 1,3-bis (aminomethyl) cyclohexane, and a glycidylamine moiety derived from diaminodiphenylmethane. Epoxy resin having glycidylamine moiety derived from paraaminophenol, epoxy resin having glycidyl ether moiety derived from bisphenol A, epoxy resin having glycidyl ether moiety derived from bisphenol F, derived from phenol novolac And an epoxy resin having a glycidyl ether moiety derived from resorcinol, and the like.

なかでも、メタキシリレンジアミンから誘導されたグリシジルアミン部位を有するエポキシ樹脂、及び/又はビスフェノールFから誘導されたグリシジルエーテル部位を有するエポキシ樹脂がガスバリア性の点で好ましい。   Among these, an epoxy resin having a glycidylamine moiety derived from metaxylylenediamine and / or an epoxy resin having a glycidyl ether moiety derived from bisphenol F is preferable from the viewpoint of gas barrier properties.

上記硬化性接着剤は主剤としての樹脂成分と併に通常硬化剤を使用するが、上記エポキシ系樹脂と併に使用する硬化剤としてはエポキシ系樹脂硬化剤が好ましく、例えば下記の(A)と(B)の反応生成物、又は(A)、(B)、及び(C)の反応生成物が挙げられる。   The curable adhesive usually uses a curing agent together with the resin component as the main agent, but the curing agent used together with the epoxy resin is preferably an epoxy resin curing agent. For example, the following (A) and The reaction product of (B) or the reaction product of (A), (B), and (C) is mentioned.

(A)メタキシリレンジアミン又はパラキシリレンジアミン
(B)ポリアミンとの反応によりアミド基部位を形成しオリゴマーを形成し得る、少なくとも1つのアシル基を有する多官能性化合物
(C)炭素数1〜8の一価カルボン酸及び/又はその誘導体
(A) a polyfunctional compound having at least one acyl group that can form an amide group site by reaction with metaxylylenediamine or paraxylylenediamine (B) polyamine to form an oligomer (C) having 1 to 1 carbon atoms 8 monovalent carboxylic acids and / or derivatives thereof

前記(B)多官能性化合物としては、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、こはく酸、リンゴ酸、酒石酸、アジピン酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸等のカルボン酸及びその誘導体、例えばエステル、アミド、酸無水物、酸塩化物等が挙げられ、特にアクリル酸、メタクリル酸及びそれらの誘導体が好ましい。また、前記(C)炭素数1〜8の一価カルボン酸及び/またはその誘導体は、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、乳酸、グリコール酸、安息香酸等の一価のカルボン酸及びそれらの誘導体、例えばエステル、アミド、酸無水物、酸塩化物等が挙げられる。
エポキシ系樹脂とエポキシ系樹脂硬化剤の配合割合については、一般にエポキシ系樹脂とエポキシ系樹脂硬化剤との反応によりエポキシ系樹脂硬化物を作製する場合の標準的な配合範囲であってよい。具体的には、エポキシ系樹脂中のエポキシ基の数に対するエポキシ系樹脂硬化剤中の活性水素数の比が0.5〜5.0、好ましくは0.8〜3.0の範囲である。
Examples of the polyfunctional compound (B) include carboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, fumaric acid, succinic acid, malic acid, tartaric acid, adipic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, pyromellitic acid, and trimellitic acid. Acids and derivatives thereof such as esters, amides, acid anhydrides, acid chlorides and the like can be mentioned, and acrylic acid, methacrylic acid and derivatives thereof are particularly preferable. In addition, the (C) monovalent carboxylic acid having 1 to 8 carbon atoms and / or a derivative thereof is a monovalent carboxylic acid such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, lactic acid, glycolic acid, benzoic acid, or a derivative thereof. Examples include esters, amides, acid anhydrides, acid chlorides, and the like.
About the mixture ratio of an epoxy resin and an epoxy resin hardening | curing agent, you may be a standard compounding range in the case of producing an epoxy resin hardened material by reaction of an epoxy resin and an epoxy resin hardening | curing agent generally. Specifically, the ratio of the number of active hydrogens in the epoxy resin curing agent to the number of epoxy groups in the epoxy resin is in the range of 0.5 to 5.0, preferably 0.8 to 3.0.

また、水性接着剤として、ポリオレフィン系ポリオールとポリイソシアネートとを反応させて得られるポリオレフィン系ポリオールを主骨格とするアニオン系水性ポリウレタンエマルジョンを主成分とし、その他の成分としてアミン類と水溶性高沸点有機溶媒等を含有するものを使用することもできる。このような水性接着剤はポリオレフィン系樹脂材料やポリエステル系樹脂材料の接着に有効である。   In addition, as an aqueous adhesive, the main component is an anionic aqueous polyurethane emulsion whose main skeleton is a polyolefin-based polyol obtained by reacting a polyolefin-based polyol and a polyisocyanate, and other components include amines and water-soluble high-boiling organics. What contains a solvent etc. can also be used. Such a water-based adhesive is effective for bonding a polyolefin resin material or a polyester resin material.

また、上記水性接着剤は、必要に応じて、ポリエーテル系ポリウレタンエマルジョン、ポリエステル系ポリウレタンエマルジョン、ポリカーボネート系ポリウレタンエマルジョン、ポリアクリル酸エステルエマルジョン、エチレン・酢酸ビニル共重合体エマルジョン、スチレン・ブタジエン共重合体エマルジョン、ポリ酢酸ビニルエマルジョン等の水性プラスチックエマルジョンから選ばれた1種または2種以上を含有することもできる。   In addition, the above-mentioned water-based adhesive may be a polyether polyurethane emulsion, a polyester polyurethane emulsion, a polycarbonate polyurethane emulsion, a polyacrylate emulsion, an ethylene / vinyl acetate copolymer emulsion, or a styrene / butadiene copolymer, if necessary. It can also contain 1 type, or 2 or more types chosen from aqueous plastic emulsions, such as an emulsion and a polyvinyl acetate emulsion.

接着剤の粘度は、接着剤組成の樹脂配合による調整以外に、接着剤ワニスの塗工時の温度、時間により残存溶媒量を調整したり、熱硬化系樹脂の場合はその半硬化状態を制御して調整したりすることができる。また接着剤は、結晶性シリカ、非晶性シリカ、水酸化アルミニウム、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、三酸化アンチモン等の無機粒子やシリコーンパウダー等の有機粒子を添加して調整することも可能である。
上記無機粒子及び有機粒子は、1種で用いてもよいが、2種以上を組み合わせて使用することもできる。
上記無機粒子としては、汎用性、安定性の点からシリカ粒子が好ましく用いられる。
耐熱水性、耐凝集破壊性の点から、無機粒子又は有機粒子の平均粒子径は、好ましくは0.005〜50μm、より好ましくは0.01〜20μm、さらに好ましくは0.05〜10μmである。また、接着剤中の無機粒子及び/又は有機粒子の含有量は、消泡性、接着強度の点から、0.01〜30質量%であることが好ましく、0.05〜10質量%であることがより好ましい。
接着剤には、上記のほか、必要に応じて、硬化促進剤、カップリング剤、無機イオン吸着剤、重合開始剤等の添加剤を適宜含有することができる。
In addition to adjusting the adhesive composition by resin formulation, the viscosity of the adhesive can be adjusted by adjusting the amount of residual solvent depending on the temperature and time when applying the adhesive varnish, and in the case of thermosetting resins, the semi-cured state is controlled Can be adjusted. The adhesive can also be adjusted by adding inorganic particles such as crystalline silica, amorphous silica, aluminum hydroxide, alumina, aluminum nitride, boron nitride, antimony trioxide and organic particles such as silicone powder. is there.
Although the said inorganic particle and organic particle | grains may be used by 1 type, they can also be used in combination of 2 or more type.
As the inorganic particles, silica particles are preferably used from the viewpoint of versatility and stability.
From the viewpoint of hot water resistance and cohesive fracture resistance, the average particle size of the inorganic particles or organic particles is preferably 0.005 to 50 μm, more preferably 0.01 to 20 μm, and still more preferably 0.05 to 10 μm. Further, the content of the inorganic particles and / or organic particles in the adhesive is preferably 0.01 to 30% by mass, and 0.05 to 10% by mass from the viewpoint of defoaming property and adhesive strength. It is more preferable.
In addition to the above, the adhesive may appropriately contain additives such as a curing accelerator, a coupling agent, an inorganic ion adsorbent, and a polymerization initiator as necessary.

接着剤層の厚さは、接着剤を塗布及び乾燥して形成する場合は、接着強度、加工性の点から、0.2〜30μmであることが好ましく、0.5〜10μmであることがより好ましい。また、フィルム状の接着剤(以下、「接着性フィルム」ということがある)を使用する場合は、加工性の点から、その厚さは1〜100μmであることが好ましく、5〜50μmであることがより好ましい。   The thickness of the adhesive layer is preferably 0.2 to 30 μm, and preferably 0.5 to 10 μm from the viewpoint of adhesive strength and workability when formed by applying and drying the adhesive. More preferred. Moreover, when using a film-form adhesive (henceforth "adhesive film"), from the point of workability, it is preferable that the thickness is 1-100 micrometers, and is 5-50 micrometers. It is more preferable.

上記接着性フィルムとしては、ガスバリアフィルムの熱膨張係数差から生ずる熱応力を低減するために低弾性率のものであることが好ましく、動的粘弾性測定装置を用いて測定した場合の貯蔵弾性率が25℃で10〜2000MPaであり、260℃で3〜50MPaのものであることが好ましい。
上記接着性フィルムとしては、例えば、エポキシ系樹脂、エポキシ基含有アクリル共重合体、フェノール系樹脂、エポキシ系樹脂硬化剤、及びエポキシ樹系脂硬化剤からなる半硬化状態のエポキシ系熱硬化系樹脂から選ばれる少なくとも一種からなるものが挙げられる。
The adhesive film preferably has a low elastic modulus in order to reduce the thermal stress resulting from the difference in thermal expansion coefficient of the gas barrier film, and the storage elastic modulus when measured using a dynamic viscoelasticity measuring device. Is 10 to 2000 MPa at 25 ° C., and preferably 3 to 50 MPa at 260 ° C.
Examples of the adhesive film include an epoxy resin, an epoxy group-containing acrylic copolymer, a phenol resin, an epoxy resin curing agent, and a semi-cured epoxy thermosetting resin composed of an epoxy resin fat curing agent. The thing which consists of at least 1 type chosen from is mentioned.

(乾燥工程)
乾燥工程では、形成された接着剤層を乾燥する。乾燥手段としては、公知の乾燥炉(乾燥装置)を使用することができる。乾燥温度は使用する接着剤又は希釈溶剤や乾燥炉の容積・風量等を考慮して適宜調整することが好ましい。
(Drying process)
In the drying step, the formed adhesive layer is dried. As a drying means, a known drying furnace (drying apparatus) can be used. The drying temperature is preferably adjusted as appropriate in consideration of the adhesive or dilution solvent to be used, the volume and air volume of the drying furnace, and the like.

(第2の薄膜フィルム貼合工程)
第2の薄膜フィルム貼合工程では、乾燥後の接着剤層上に厚さ25μm未満の薄膜フィルムBを貼り合わせる。
薄膜フィルムBとしては、薄膜フィルムAで挙げられた材質で構成することが可能で、薄膜フィルムAと同一物であっても異なるものであってもよい。薄膜フィルムBを貼り合わせる際の貼り合わせ手段は特に限定されず、公知の貼り合わせ手段を適用することができる。薄膜フィルムBが無機膜層を有する場合は無機膜面を接着剤層側に向けて積層する。
(Second thin film bonding process)
In the second thin film film bonding step, a thin film B having a thickness of less than 25 μm is bonded onto the dried adhesive layer.
The thin film B can be composed of the materials mentioned for the thin film A, and may be the same as or different from the thin film A. The laminating means for laminating the thin film B is not particularly limited, and known laminating means can be applied. When the thin film B has an inorganic film layer, the inorganic film surface is laminated toward the adhesive layer side.

第2の薄膜フィルム貼合工程までの工程を経ることで、マスキングフィルムの粘着剤層を介して、厚さ25μm未満の薄膜フィルムA、接着剤層、及び厚さ25μm未満の薄膜フィルムBが形成された、本発明のマスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムが作製される。
本発明のマスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムは、シワの発生が抑制され、良好な外観を有している。また、粘着剤層が適度な粘着力を有しているため、剥離性も良好で剥離時に外観を損ねることもない。
Through the steps up to the second thin film film bonding step, a thin film A having a thickness of less than 25 μm, an adhesive layer, and a thin film B having a thickness of less than 25 μm are formed via the pressure-sensitive adhesive layer of the masking film. Thus, the laminated thin film with a masking film of the present invention is produced.
The laminated thin film with a masking film of the present invention has a good appearance with suppressed generation of wrinkles. Moreover, since the pressure-sensitive adhesive layer has an appropriate pressure-sensitive adhesive force, the peelability is good and the appearance is not impaired during peeling.

(剥離除去工程)
剥離除去工程では、マスキングフィルムを薄膜フィルムAから剥離除去する。すなわち、マスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムからマスキングフィルムを剥離除去する。剥離除去の手段としては特に限定されず、公知の手段を適用することができる。
(Peeling removal process)
In the peeling and removing step, the masking film is peeled and removed from the thin film A. That is, the masking film is peeled and removed from the laminated thin film with a masking film. The means for peeling and removing is not particularly limited, and known means can be applied.

以上のような工程を経て、薄膜フィルムAと接着剤層と薄膜フィルムBとで構成された積層型薄膜フィルムが製造される。
本発明の積層型薄膜フィルムをディスプレイ用ガスバリアフィルムとして使用する場合は、薄膜フィルムA及び薄膜フィルムBのおける基材フィルムや無機膜の構成を適宜変更して、例えば、1.0(g/(m2・day))以下の水蒸気透過率とすればよい。
Through the steps as described above, a laminated thin film composed of the thin film A, the adhesive layer, and the thin film B is manufactured.
When the laminated thin film of the present invention is used as a gas barrier film for a display, the structure of the base film or inorganic film in the thin film A and the thin film B is appropriately changed, for example, 1.0 (g / ( m 2 · day)) The following water vapor transmission rate may be used.

次に、本発明を実施例により、さらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定されるものではない。各例の諸特性の評価方法を以下に示す。   EXAMPLES Next, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited at all by these examples. The evaluation methods of various characteristics in each example are shown below.

(マスキングフィルムの引張り強さ)
試験片:マスキングフィルムを10mm幅の短冊状に断裁して、試験片を作製した。
測定:引張試験機にて50mm/minの速度でマスキングフィルムを引張り、マスキングフィルムが破断した際の強度を測定し、引張り強さとした。
(粘着剤層の粘着力)
試験片:厚さ25μmのPETフィルムに各種粘着剤を厚さ25μmで塗布したサンプルを25mm巾の短冊状に裁断して、試験片を作製した。
被着体:SUS304鋼板を280番耐水研磨紙にて研磨したものを用いた。
貼付条件:2kgのゴムローラーで上記試験片と被着体を圧着した。
測定:圧着後、試験片を被着体から180°方向に300mm/minの速度で剥がし、その際の強度を測定した。
(Tensile strength of masking film)
Test piece: The masking film was cut into a strip shape having a width of 10 mm to prepare a test piece.
Measurement: The masking film was pulled at a speed of 50 mm / min with a tensile tester, and the strength when the masking film was broken was measured to obtain the tensile strength.
(Adhesive strength of the adhesive layer)
Test piece: A sample in which various adhesives were applied to a 25 μm thick PET film at a thickness of 25 μm was cut into a 25 mm wide strip to prepare a test piece.
Substrate: SUS304 steel plate polished with No. 280 water-resistant abrasive paper was used.
Affixing conditions: The test piece and the adherend were pressed with a 2 kg rubber roller.
Measurement: After pressure bonding, the test piece was peeled off from the adherend in the 180 ° direction at a speed of 300 mm / min, and the strength at that time was measured.

(シワの発生量)
実使用を考慮して、下記のような試験を行った。
すなわち、図1に示すようにロール12A及び12Bにより、作製した各マスキングフィルム付き積層型薄膜フィルム10(比較例1においては、マスキングフィルムは付いていない)を張架して、その一端に矢印方向の荷重(800g/670mm巾)を加えた上で、目視できるシワの発生量を調べた。
シワの発生量が3本以下の場合を○とし、4〜8本の場合を△とし、9本以上を×とした。
(Wrinkle generation amount)
Considering actual use, the following tests were conducted.
That is, as shown in FIG. 1, each of the produced laminated thin film films 10 with a masking film (without a masking film in Comparative Example 1) is stretched by rolls 12A and 12B, and one end thereof is in the direction of the arrow. After adding a load (800 g / 670 mm width), the amount of wrinkles that can be visually observed was examined.
The case where the amount of wrinkles generated was 3 or less was marked with ◯, the case where it was 4 to 8 was marked with △, and the number of wrinkles was marked with x.

(剥離後の外観)
マスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムからマスキングフィルムを剥離した後の積層型薄膜フィルムの外観を目視により観察した。
外観において、折れやシワと粘着剤残りが発生した場合を×とし、発生しなかった場合は○とした。
(Appearance after peeling)
The appearance of the laminated thin film after peeling the masking film from the laminated thin film with masking film was visually observed.
In the appearance, the case where creases, wrinkles, and adhesive residue occurred was evaluated as x, and the case where it did not occur was evaluated as ◯.

(総合判定)
シワの発生量及び剥離後の外観のそれぞれの評価から、各例に総合判定を行った。上記評価がいずれも○である場合は、総合判定も○とし、○及び△の組み合わせの場合は総合判定は△とし、いずれかに×がある場合は総合判定を×とした。
なお、総合判定が○及び△であれば実用的に問題なく、○であれば実用上特に優れていることを示す。
(Comprehensive judgment)
From each evaluation of the amount of wrinkles generated and the appearance after peeling, a comprehensive judgment was made on each example. When all of the above evaluations were ◯, the comprehensive judgment was also ◯, when the combination of ◯ and △ was combined, the comprehensive judgment was △, and when any of them was x, the comprehensive judgment was x.
It should be noted that if the comprehensive judgment is ◯ or Δ, there is no practical problem, and if it is ◯, it is particularly excellent in practice.

(実施例1)
厚さ25μmのPETフィルム(三菱樹脂社製 商品名:T100)の一方の面に粘着剤層(厚さ:25μm)を形成し、マスキングフィルムを作製した。
なお、粘着剤層を形成する粘着剤には、綜研化学社製SKダイン2147を主剤、TD−75及びA−50を硬化剤として使用、配合比は1:0.0004:0.0006とした。
形成した粘着剤層を介して厚さ12μmのPETフィルムを薄膜フィルムAとして貼り合わせた(第1の薄膜フィルム貼合工程)。
Example 1
A pressure-sensitive adhesive layer (thickness: 25 μm) was formed on one surface of a 25 μm-thick PET film (trade name: T100 manufactured by Mitsubishi Plastics) to prepare a masking film.
The pressure-sensitive adhesive forming the pressure-sensitive adhesive layer was SK Dyne 2147 manufactured by Soken Chemical Co., Ltd., and TD-75 and A-50 were used as curing agents, and the mixing ratio was 1: 0.0004: 0.0006. .
A PET film having a thickness of 12 μm was bonded as a thin film A through the formed pressure-sensitive adhesive layer (first thin film film bonding step).

薄膜フィルムA上に接着剤層(乾燥後の厚さ:5μm)を形成した(接着剤層形成工程)。
なお、接着剤層を形成する接着剤にはメタキシリレンジアミンから誘導されたグリシジルアミン部位を有するエポキシ樹脂(三菱ガス化学(株)製;TETRAD−X)を50重量部及び下記のエポキシ樹脂硬化剤Aを89重量部含むメタノール/酢酸エチル=1/1溶液(固形分濃度;30重量%)を作製し、そこにアクリル系湿潤剤(ビック・ケミー社製;BYK381)を0.02重量部加え、よく攪拌した接着剤を用いた。
An adhesive layer (thickness after drying: 5 μm) was formed on the thin film A (adhesive layer forming step).
In addition, 50 weight parts of epoxy resins having a glycidylamine moiety derived from metaxylylenediamine (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd .; TETRAD-X) and the following epoxy resin curing are used for the adhesive forming the adhesive layer. A methanol / ethyl acetate = 1/1 solution (solid content concentration: 30% by weight) containing 89 parts by weight of agent A was prepared, and 0.02 part by weight of an acrylic wetting agent (by BYK Chemie; BYK381) was prepared there. In addition, a well-stirred adhesive was used.

エポキシ樹脂硬化剤A:反応容器に1molのメタキシリレンジアミンを仕込んだ。窒素気流下60℃に昇温し、0.67molのアクリル酸メチルを1時間かけて滴下した。滴下終了後120℃で1時間攪拌し、さらに、生成するメタノールを留去しながら3時間で180℃まで昇温した。100℃まで冷却し、固形分濃度が70重量%になるように所定量のメタノールを加え、エポキシ樹脂硬化剤Aを得た。   Epoxy resin curing agent A: 1 mol of metaxylylenediamine was charged into a reaction vessel. The temperature was raised to 60 ° C. under a nitrogen stream, and 0.67 mol of methyl acrylate was added dropwise over 1 hour. After completion of dropping, the mixture was stirred at 120 ° C. for 1 hour, and further heated up to 180 ° C. in 3 hours while distilling off generated methanol. It cooled to 100 degreeC and the predetermined amount methanol was added so that solid content concentration might be 70 weight%, and the epoxy resin hardening | curing agent A was obtained.

次に、接着剤層を形成した後、80℃の乾燥炉へ移して乾燥を行った(乾燥工程)
乾燥後、接着剤層上に厚さ12μmのPETフィルムを薄膜フィルムBとして貼り合わせた(第2の薄膜フィルム貼合工程)。これにより、マスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムが製造された。
薄膜フィルムBの貼り合せ後、マスキングフィルムを剥離除去して、薄膜フィルムAと接着剤層と薄膜フィルムBとで構成された積層型薄膜フィルムを製造した。
Next, after forming an adhesive layer, it was transferred to a drying furnace at 80 ° C. and dried (drying step).
After drying, a PET film having a thickness of 12 μm was bonded as a thin film B on the adhesive layer (second thin film film bonding step). Thereby, the lamination type thin film film with a masking film was manufactured.
After the thin film B was bonded, the masking film was peeled off to produce a laminated thin film composed of the thin film A, the adhesive layer, and the thin film B.

積層型薄膜フィルムのシワの発生量とマスキングフィルムを剥離除去した後の外観を、既述の方法にて評価した。当該評価結果を、粘着剤層の粘着力、マスキングフィルムの引張強さの結果とともに下記表1に示す。   The amount of wrinkles generated in the laminated thin film and the appearance after peeling off the masking film were evaluated by the method described above. The said evaluation result is shown in following Table 1 with the result of the adhesive strength of an adhesive layer, and the tensile strength of a masking film.

(実施例2)
マスキングフィルムとして、PETフィルムの代わりにPOフィルム(タマポリ社製 商品名:M−6)を用いた以外は実施例1と同様にしてマスキングフィルム付き積層型薄膜フィルム及び積層型薄膜フィルムを製造した。実施例1と同様にして、マスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムのシワの発生量とマスキングフィルムを剥離除去した後の外観を評価した。当該評価結果を、粘着剤層の粘着力、マスキングフィルムの引張強さの結果とともに下記表1に示す。
(Example 2)
A laminated thin film with a masking film and a laminated thin film were produced in the same manner as in Example 1 except that a PO film (trade name: M-6, manufactured by Tamapoly Co., Ltd.) was used instead of the PET film as the masking film. In the same manner as in Example 1, the amount of wrinkles generated in the laminated thin film with a masking film and the appearance after the masking film was peeled and removed were evaluated. The said evaluation result is shown in following Table 1 with the result of the adhesive strength of an adhesive layer, and the tensile strength of a masking film.

(比較例1)
マスキングフィルムを用いなかった以外は実施例1と同様にして積層型薄膜フィルムを製造した。実施例1と同様にして、積層型薄膜フィルムのシワの発生量を評価した。当該評価結果を、下記表1に示す。
(Comparative Example 1)
A laminated thin film was produced in the same manner as in Example 1 except that no masking film was used. In the same manner as in Example 1, the amount of wrinkles generated in the laminated thin film was evaluated. The evaluation results are shown in Table 1 below.

(比較例2)
粘着剤として、綜研化学社製 SKダインFP−7を主剤、L−45及びE−5XMを硬化剤として使用(配合比は1:0.00185:0.0005)した以外は実施例1と同様にして積層型薄膜フィルムを製造した。実施例1と同様にして、マスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムのシワの発生量とマスキングフィルムを剥離除去した後の外観を評価した。当該評価結果を、粘着剤層の粘着力、マスキングフィルムの引張強さの結果とともに下記表1に示す。
(Comparative Example 2)
The same as Example 1 except that SK Dyne FP-7 manufactured by Soken Chemical Co., Ltd. was used as the main agent, and L-45 and E-5XM were used as the curing agent (mixing ratio was 1: 0.00185: 0.0005). Thus, a laminated thin film was produced. In the same manner as in Example 1, the amount of wrinkles generated in the laminated thin film with a masking film and the appearance after the masking film was peeled and removed were evaluated. The said evaluation result is shown in following Table 1 with the result of the adhesive strength of an adhesive layer, and the tensile strength of a masking film.

(比較例3)
粘着剤として、綜研化学社製 SKダインFP−7を主剤、L−45及びE−5XMを硬化剤として使用(配合比は1:0.00185:0.0005)した以外は実施例2と同様にしてマスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムを製造した。実施例1と同様にして、マスキングフィルム付き積層型薄膜フィルムのシワの発生量とマスキングフィルムを剥離除去した後の外観を評価した。当該評価結果を、粘着剤層の粘着力、マスキングフィルムの引張強さの結果とともに下記表1に示す。
(Comparative Example 3)
Same as Example 2 except that SK Dyne FP-7 manufactured by Soken Chemical Co., Ltd. was used as the main agent, and L-45 and E-5XM were used as the curing agent (mixing ratio was 1: 0.00185: 0.0005). Thus, a laminated thin film with a masking film was produced. In the same manner as in Example 1, the amount of wrinkles generated in the laminated thin film with a masking film and the appearance after the masking film was peeled and removed were evaluated. The said evaluation result is shown in following Table 1 with the result of the adhesive strength of an adhesive layer, and the tensile strength of a masking film.

Figure 2013252617
Figure 2013252617

フィルムの厚みが25μm未満のもの同士を積層しても、シワの発生が抑制されており、外観も良好であるであるため、本発明により製造される積層型薄膜フィルムは、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイといった各種表示装置のディスプレイ用途に好適である。   Even when films having a thickness of less than 25 μm are laminated, the generation of wrinkles is suppressed and the appearance is also good. Therefore, the laminated thin film produced according to the present invention can be used for a liquid crystal display or an organic EL. It is suitable for display applications of various display devices such as displays.

12A,12B・・・ロール
10・・・マスキングフィルム付き積層型薄膜フィルム
12A, 12B ... Roll 10 ... Laminated thin film with masking film

Claims (5)

基材の少なくとも片面に粘着剤層が形成されてなるマスキングフィルムに、該粘着剤層を介して厚さ25μm未満の薄膜フィルムAを貼り合わせる第1の薄膜フィルム貼合工程と、
前記薄膜フィルムA上に接着剤層を形成する接着剤層形成工程と、
該接着剤層を乾燥する乾燥工程と、
乾燥後の前記接着剤層上に厚さ25μm未満の薄膜フィルムBを貼り合わせる第2の薄膜フィルム貼合工程と、
前記マスキングフィルムを剥離除去する剥離除去工程と、を経て薄膜フィルムAと接着剤層と薄膜フィルムBとで構成された積層型薄膜フィルムを製造する方法であって、
前記粘着剤層の粘着力が5〜250N/mであり、前記マスキングフィルムの引張強さが20〜300MPaである積層型薄膜フィルムの製造方法。
A first thin film film laminating step of laminating a thin film A having a thickness of less than 25 μm through the pressure sensitive adhesive layer on a masking film having a pressure sensitive adhesive layer formed on at least one side of the substrate;
An adhesive layer forming step of forming an adhesive layer on the thin film A;
A drying step of drying the adhesive layer;
A second thin film film laminating step for laminating a thin film B having a thickness of less than 25 μm on the adhesive layer after drying;
A method for producing a laminated thin film composed of a thin film A, an adhesive layer and a thin film B through a peeling and removing step for peeling and removing the masking film,
The manufacturing method of the laminated thin film film whose adhesive force of the said adhesive layer is 5-250 N / m, and whose tensile strength of the said masking film is 20-300 MPa.
前記接着剤層を形成する接着剤が熱硬化性接着剤である請求項1に記載の積層型薄膜フィルムの製造方法。   The method for producing a laminated thin film according to claim 1, wherein the adhesive forming the adhesive layer is a thermosetting adhesive. 前記積層型薄膜フィルムがディスプレイ用ガスバリアフィルムである請求項1又は2に記載の積層型薄膜フィルムの製造方法。   The method for producing a laminated thin film according to claim 1, wherein the laminated thin film is a gas barrier film for display. 基材の少なくとも片面に粘着剤層が形成されてなるマスキングフィルムに、該粘着剤層を介して、厚さ25μm未満の薄膜フィルムA、接着剤層、及び厚さ25μm未満の薄膜フィルムBが積層形成されてなり、
前記粘着剤層の粘着力が5〜250N/mであり、前記マスキングフィルムの引張強さが20〜300MPaであるマスキングフィルム付き積層型薄膜フィルム。
A thin film A having a thickness of less than 25 μm, an adhesive layer, and a thin film B having a thickness of less than 25 μm are laminated on the masking film having a pressure-sensitive adhesive layer formed on at least one surface of the substrate. Formed,
A laminated thin film with a masking film, wherein the pressure-sensitive adhesive layer has an adhesive strength of 5 to 250 N / m and the masking film has a tensile strength of 20 to 300 MPa.
前記接着剤層を形成する接着剤が熱硬化性接着剤である請求項4に記載のマスキングフィルム付き積層型薄膜フィルム。   The laminated thin film film with a masking film according to claim 4, wherein the adhesive forming the adhesive layer is a thermosetting adhesive.
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