JP2013246382A - 偏向器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本明細書が開示する偏向器は、基板部と、基板部に対する位置が実質的に固定された支持点において、ピッチ軸、ロール軸およびヨー軸の三軸に関して揺動可能に支持された可動部と、反射面がヨー軸に直交するように可動部に形成された反射部と、可動部の接触縁を基板部の表面に接触させながら可動部をヨー軸周りに回転駆動する駆動機構を備えている。その偏向器では、可動部の形状が、支持点から接触縁までの距離が位相角に応じて変化する形状に形成されている。
【選択図】 図1
Description
図15は本実施例の偏向器110を示している。以下では実施例1の偏向器10と同様の構成については、同一の参照符号を付して、詳細な説明を省略する。偏向器110は、基板部12と、支持柱14と、可動部116と、駆動機構18を備えている。
Claims (8)
- 基板部と、
基板部に対する位置が実質的に固定された支持点において、ピッチ軸、ロール軸およびヨー軸の三軸に関して揺動可能に支持された可動部と、
反射面がヨー軸に直交するように可動部に形成された反射部と、
可動部の接触縁を基板部の表面に接触させながら可動部をヨー軸周りに回転駆動する駆動機構を備えており、
可動部の形状が、支持点から接触縁までの距離が位相角に応じて変化する形状に形成されている偏向器。 - 可動部の形状が、支持点から接触縁までのヨー軸に直交する方向の距離が位相角に応じて変化する形状に形成されている請求項1の偏向器。
- ヨー軸に直交する面で見たときに、可動部の接触縁が支持点を中心とする楕円形状である請求項2の偏向器。
- ヨー軸に直交する面で見たときに、可動部の接触縁が支持点からオフセットした位置を中心とする円形状である請求項2の偏向器。
- ヨー軸に直交する面で見たときに、可動部の接触縁が支持点を中心とする多角形状である請求項2の偏向器。
- 可動部の形状が、反射面から接触縁までのヨー軸方向の距離が位相角に応じて変化する形状に形成されている請求項1から5の何れか一項の偏向器。
- 下端が基板部に固定された基板部側支持部を備えており、
支持点が基板側支持部の上端に設けられている請求項1から6の何れか一項の偏向器。 - 上端が可動部に固定された可動部側支持部を備えており、
支持点が可動部側支持部の下端に設けられている請求項1から7の何れか一項の偏向器。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006323358A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-30 | Ricoh Co Ltd | 光偏向装置、光偏向アレー、光学システム、画像投影表示装置および画像形成装置 |
JP2008003309A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Fujifilm Corp | 微小電気機械素子及び微小電気機械素子アレイ並びに変調装置 |
JP2009529157A (ja) * | 2006-03-06 | 2009-08-13 | ステレオ ディスプレイ,インコーポレイテッド | プログラム可能なマイクロミラー動作制御システム |
JP2010054627A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Toyota Central R&D Labs Inc | 光学装置 |
JP2013076984A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-25 | Denso Corp | 光走査装置 |
-
2012
- 2012-05-29 JP JP2012121812A patent/JP5803812B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006323358A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-30 | Ricoh Co Ltd | 光偏向装置、光偏向アレー、光学システム、画像投影表示装置および画像形成装置 |
JP2009529157A (ja) * | 2006-03-06 | 2009-08-13 | ステレオ ディスプレイ,インコーポレイテッド | プログラム可能なマイクロミラー動作制御システム |
JP2008003309A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Fujifilm Corp | 微小電気機械素子及び微小電気機械素子アレイ並びに変調装置 |
JP2010054627A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Toyota Central R&D Labs Inc | 光学装置 |
JP2013076984A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-25 | Denso Corp | 光走査装置 |
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