JP2013241297A - Method of cutting glass plate, method of producing glass plate product, and apparatus for cutting glass plate - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガラス板切断方法、ガラス板製品の製造方法及びガラス板切断装置に関するものであって、特に、ガラス板にエッチング処理を施すガラス板切断方法、ガラス板製品の製造方法及びガラス板切断装置に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a glass plate cutting method, a glass plate product manufacturing method, and a glass plate cutting device, and in particular, a glass plate cutting method for etching a glass plate, a glass plate product manufacturing method, and a glass plate cutting. Relates to the device.
従来から、所定の大きさのガラス基板を取得するために、母材ガラスに物理的な力を加えて切断する方法が知られている。ガラス基板は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等において使用されているフラットパネルディスプレイ等の材料として用いられる。例えばG6サイズの母材ガラス(1500mm×1850mm)を2分割に切断することによって、930mm×920mmサイズのガラス基板を得ることができる。 Conventionally, in order to obtain a glass substrate having a predetermined size, a method of cutting a base glass by applying a physical force is known. The glass substrate is used as a material for a flat panel display or the like used in a liquid crystal display, a plasma display or the like. For example, a glass substrate having a size of 930 mm × 920 mm can be obtained by cutting a G6 size base glass (1500 mm × 1850 mm) into two parts.
このガラス基板の薄型化に伴って化学強化ガラスの需要が高まっている。化学強化ガラスを切断する場合、ガラス表面の化学強化層の影響によって、切断のための垂直クラックが内部に伝搬しにくい。このため、化学強化ガラスの硬い表面を切断するために、高い圧力をかける必要がある。しかしながら、高い圧力をかけて切断する場合は、切断箇所に 八の字型の水平クラックが増加する。したがって、圧力を加える前に、母材ガラスにケミカル処理を施す方法が知られている(例えば、特許文献1)。 With the thinning of this glass substrate, the demand for chemically strengthened glass is increasing. When cutting chemically strengthened glass, vertical cracks for cutting hardly propagate to the inside due to the influence of the chemically strengthened layer on the glass surface. For this reason, in order to cut | disconnect the hard surface of chemically strengthened glass, it is necessary to apply a high pressure. However, when cutting with high pressure, horizontal figure-shaped cracks increase at the cutting point. Therefore, a method of performing chemical treatment on the base glass before applying pressure is known (for example, Patent Document 1).
特許文献1には、ガラス表面へのスクライブライン形成後、ケミカル処理を行い、次いで、機械的又は熱的応力によって母材ガラスを切断分離する方法が記載されている。スクライブラインの形成は、ダイヤモンドカッター又は超硬合金製のホイールカッターで母材ガラスに線を刻み付けること等により行なわれる。ケミカル処理は、ガラス溶解性の薬品を含む液体を母材ガラスに接触させる処理である。ケミカル処理された母材ガラスを切断分離する機械的な力としては、引っ張り又は加圧が挙げられている。加圧する場合には、母材ガラスを2個の載置台に架渡すように設置し、次いで、スクライブラインの真上から加圧冶具によって加圧することによって、母材ガラスを切断分離している。熱的な力によって母材ガラスを切断分離する方法としては、スクライブラインの両側にレーザーを照射することが挙げられている。
加えて、特許文献1には、上記スクライブラインを形成する代わりに、母材ガラス表面に切断分離パターンに対応したマスキングを施した後、ケミカル処理を行い、切断分離パターンに対応した溝を形成する方法が記載されている。この場合、上記スクライブラインを形成したガラス母材と同様に、母材ガラスに形成された上記溝の真上から圧力を加えたり、溝の両側にレーザーを照射したりすることによって母材ガラスを切断分離している。
In addition, in
しかしながら、上記特許文献1に記載された方法では、ケミカル処理の後に、機械的又は熱的応力によって母材ガラスを切断している。このように、母材ガラスを機械的又は熱的応力によって切断すると、ケミカル処理の後であったとしても、切断面に微少クラックが発生してしまう。この微小クラックは、後工程において、ガラス基板のワレ、カケの原因となる。
However, in the method described in
上記特許文献1に記載された方法では、スクライブライン形成及びケミカル処理を経て、最終的に機械的又は熱的応力によってガラス母材の切断分離を行うか、又は、スクライブライン形成に代えてケミカル処理によって溝を形成し、最終的に機械的又は熱的応力によってガラス母材の切断分離を行っている。したがって、少なくとも、ケミカル処理工程と機械的又は熱的な力を加える切断分離工程との2工程が必要となる。よって、ガラス板の切断工程が複雑化すると共に、コスト面での負担が大きいという問題がある。
In the method described in
そこで本発明の目的は、ガラス板の切断に伴う微少クラックの発生を抑制すると共に、ガラス板の切断に要する工程を減らしてコストを削減することである。 Therefore, an object of the present invention is to suppress the generation of micro cracks associated with the cutting of the glass plate and reduce the cost by reducing the steps required for cutting the glass plate.
本発明は、ガラス板切断方法に係るものである。本発明に係るガラス板切断方法は、切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板を保持するガラス板保持部を、ガラス板に取り付けるガラス板保持部取り付けステップと、ガラス板保持部取り付けステップによってガラス板保持部が取り付けられたガラス板を、エッチング液を用いたエッチングによって切断する切断ステップとを含む。 The present invention relates to a glass plate cutting method. The glass plate cutting method according to the present invention includes a glass plate holding portion attaching step for attaching a glass plate holding portion for holding a glass plate to the glass plate in order to prevent the glass plate from falling or colliding due to cutting, and a glass A cutting step of cutting the glass plate to which the glass plate holding portion is attached by the plate holding portion attaching step by etching using an etching solution.
ガラス板保持部取り付けステップの前に、ガラス板の表面にエッチング液に対するマスキング層を積層するマスキング層積層ステップをさらに含み、切断ステップにおいて、ガラス板保持部が取り付けられたガラス板をエッチング液に浸漬させて、エッチング液中においてガラス板を切断してもよい。 Before the glass plate holding part mounting step, the method further includes a masking layer laminating step for laminating a masking layer for the etching liquid on the surface of the glass plate, and in the cutting step, the glass plate with the glass plate holding part attached is immersed in the etching liquid. Then, the glass plate may be cut in the etching solution.
一例として、ガラス板保持部取り付けステップの前に、ガラス板における切断したい部分の表面をガラス板を切断しない程度にエッチングする事前エッチングステップをさらに含む。切断ステップにおいて、ガラス板を両面からエッチングしてもよい。 As an example, before the glass plate holding part mounting step, a pre-etching step of etching the surface of a portion of the glass plate that is desired to be cut to such an extent that the glass plate is not cut is further included. In the cutting step, the glass plate may be etched from both sides.
例えば、切断ステップにおいて、ガラス板の厚さ及び材質に応じてエッチング液の組成を選択することによって、ガラス板の切断面を鏡面仕上げとする。「鏡面仕上げ」とは、物体等の像が映る程度に表面を平滑化する仕上げのことをいう。 For example, in the cutting step, the cut surface of the glass plate is mirror finished by selecting the composition of the etching solution according to the thickness and material of the glass plate. “Mirror finish” refers to a finish that smoothes the surface to the extent that an image of an object or the like is reflected.
一例として、切断ステップは、エッチング液とガラス板の反応によって生じガラス板に付着した化学反応物をエッチングの途中で除去する付着物除去ステップを含む。切断ステップにおいて、ガラス板の切断したい部分をエッチング液に接触させる時間を変化させることによって、ガラス板の切断断面の形状を調整してもよい。 As an example, the cutting step includes a deposit removing step of removing a chemical reaction product generated by a reaction between the etching solution and the glass plate and adhered to the glass plate during the etching. In the cutting step, the shape of the cut cross section of the glass plate may be adjusted by changing the time for contacting the portion of the glass plate to be cut with the etching solution.
また、本発明は、所定の大きさに切断されたガラス板製品を製造するガラス板製品の製造方法に係るものである。本発明に係るガラス板製品の製造方法は、切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板を保持するガラス板保持部を、ガラス板に取り付けるガラス板保持部取り付けステップと、ガラス板保持部取り付けステップによってガラス板保持部が取り付けられたガラス板を、エッチング液を用いたエッチングによって切断し、所定の大きさに切断されたガラス板製品を取得する切断ステップとを含む。 Moreover, this invention concerns on the manufacturing method of the glass plate product which manufactures the glass plate product cut | disconnected by the predetermined magnitude | size. The glass plate product manufacturing method according to the present invention includes a glass plate holding portion mounting step for attaching a glass plate holding portion for holding a glass plate to the glass plate in order to prevent the glass plate from dropping or colliding by cutting. And a cutting step of obtaining the glass plate product cut into a predetermined size by cutting the glass plate to which the glass plate holding portion is attached by the glass plate holding portion attaching step by etching using an etching solution.
ガラス板保持部取り付けステップの前に、ガラス板の表面にエッチング液に対するマスキング層を積層するマスキング層積層ステップを含み、切断ステップにおいて、ガラス板保持部に取り付けられたガラス板をエッチング液に浸漬させて、エッチング液中においてガラス板を切断してもよい。 It includes a masking layer stacking step for stacking a masking layer for the etching solution on the surface of the glass plate before the glass plate holding unit mounting step, and in the cutting step, the glass plate attached to the glass plate holding unit is immersed in the etching solution. Then, the glass plate may be cut in the etching solution.
また、本発明は、ガラス板切断装置に係るものである。本発明に係るガラス板切断装置は、切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板を保持するガラス板保持部と、ガラス板をエッチングによって切断するために、エッチング液を入れたエッチング液槽とを備える。 The present invention also relates to a glass sheet cutting device. The glass plate cutting device according to the present invention includes a glass plate holding portion for holding a glass plate and an etching solution for cutting the glass plate by etching in order to prevent the glass plate from falling or colliding due to cutting. An etching solution tank is provided.
ガラス板保持部を取り付けた少なくとも1枚のガラス板をエッチング液槽内において支持するエッチング液槽内支持部とをさらに備えるように構成してもよい。 You may comprise so that the at least 1 glass plate which attached the glass plate holding | maintenance part may further be equipped with the support part in an etching liquid tank which supports in an etching liquid tank.
本発明に係るガラス板切断方法は、切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板を保持するガラス板保持部を、ガラス板に取り付けるガラス板保持部取り付けステップを含んでいる。したがって、エッチングによってガラス板を切断した場合であっても、切断されたガラス板が落下又は衝突するおそれがない。このように、ガラス板保持部によってガラス板を保持することにより、エッチングのみによるガラス板の切断が可能となっている。したがって、エッチング工程の後に、前述の従来技術に示すような機械的又は熱的な力を加える工程は不要となる。ガラス板の切断に際して、ガラス板に機械的又は熱的な力を加えないので、ガラス板の切断に伴う微少クラックの発生を抑制することができる。加えて、機械的又は熱的な力を加える工程が不要となるので、ガラス板の切断に要する工程を減らしてコストを削減することができる。 The glass plate cutting method according to the present invention includes a glass plate holding portion mounting step for attaching a glass plate holding portion for holding a glass plate to the glass plate in order to prevent the glass plate from falling or colliding due to cutting. Yes. Therefore, even when the glass plate is cut by etching, there is no possibility that the cut glass plate falls or collides. Thus, the glass plate can be cut only by etching by holding the glass plate by the glass plate holding portion. Therefore, after the etching process, a process of applying mechanical or thermal force as shown in the prior art is not required. When the glass plate is cut, no mechanical or thermal force is applied to the glass plate, so that the generation of micro cracks associated with the cutting of the glass plate can be suppressed. In addition, since a process of applying a mechanical or thermal force is not necessary, it is possible to reduce the cost by reducing the process required for cutting the glass plate.
切断ステップにおいて、ガラス板保持部が取り付けられたガラス板をエッチング液に浸漬させて、エッチング液中においてガラス板を切断する場合には、例えば、切断したい部分にエッチング液を吹き付ける場合と比較して、より均一なエッチングを行うことができる。 In the cutting step, when the glass plate to which the glass plate holding part is attached is immersed in the etching solution and the glass plate is cut in the etching solution, for example, compared with the case where the etching solution is sprayed on the portion to be cut. More uniform etching can be performed.
ガラス板保持部取り付けステップの前に、ガラス板における切断したい部分の表面をガラス板を切断しない程度にエッチングする事前エッチングステップをさらに含む場合には、エッチング液が入り込む隙間がより大きくなるため、切断したい部分にエッチング液をより接触させやすくすることができる。 Before the glass plate holding part mounting step, in the case of further including a pre-etching step for etching the surface of the portion to be cut in the glass plate to such an extent that the glass plate is not cut, the gap into which the etching solution enters becomes larger, so cutting The etching solution can be more easily brought into contact with a desired portion.
切断ステップにおいて、ガラス板を両面からエッチングする場合には、エッチング速度が加速するためエッチング処理に要する時間を短縮することができる。加えて、ガラス板の厚さ方向の中心においてガラス板の延在する方向に延びる中心線に対し、線対称となる切断断面形状のプロフィールを得ることができる。 In the cutting step, when the glass plate is etched from both sides, the etching speed is accelerated, so that the time required for the etching process can be shortened. In addition, it is possible to obtain a profile of a cut cross-sectional shape that is line symmetric with respect to a center line extending in the extending direction of the glass plate at the center in the thickness direction of the glass plate.
切断ステップにおいて、ガラス板の厚さ及び材質に応じてエッチング液の組成を選択することによって、ガラス板の切断面を鏡面仕上げとする場合には、切断面の鏡面化によって切断面の強度を高めることができる。 In the cutting step, by selecting the composition of the etching solution according to the thickness and material of the glass plate, when the cut surface of the glass plate is mirror finished, the strength of the cut surface is increased by mirroring the cut surface. be able to.
エッチング液とガラス板の反応によって生じガラス板に付着した化学反応物をエッチングの途中で除去する付着物除去ステップを含む場合には、エッチング作用を妨げる化学反応物を除去することによって、切断面の強度を高めると共にエッチングを均一に進行させることができる。 In the case of including a deposit removing step for removing chemical reactants generated by the reaction between the etchant and the glass plate in the course of etching, by removing the chemical reactants that hinder the etching action, It is possible to increase the strength and perform the etching uniformly.
切断ステップにおいて、ガラス板の切断したい部分をエッチング液に接触させる時間を変化させることによって、ガラス板の切断断面の形状を調整する場合には、エッチング処理の時間を変化させることによって所望の切断断面形状を得ることができる。 In the cutting step, when adjusting the shape of the cut cross section of the glass plate by changing the time for contacting the portion of the glass plate to be cut with the etching solution, the desired cut cross section can be obtained by changing the etching processing time. Shape can be obtained.
本発明に係るガラス板製品の製造方法は、切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板を保持するガラス板保持部を、ガラス板に取り付けるガラス板保持部取り付けステップを含んでいる。したがって、エッチングによってガラス板を切断した場合であっても、切断されたガラス板が落下又は衝突するおそれがない。このように、ガラス板保持部によってガラス板を保持することにより、エッチングのみによるガラス板の切断が可能となっている。したがって、前述したガラス板切断方法と同様に、ガラス板の切断に伴う微少クラックの発生を抑制すると共に、ガラス板の切断に要する工程を減らしてコストを削減することができる。 In order to prevent the glass plate from falling or colliding due to cutting, the glass plate product manufacturing method according to the present invention includes a glass plate holding portion attaching step for attaching the glass plate holding portion for holding the glass plate to the glass plate. Contains. Therefore, even when the glass plate is cut by etching, there is no possibility that the cut glass plate falls or collides. Thus, the glass plate can be cut only by etching by holding the glass plate by the glass plate holding portion. Therefore, similarly to the glass plate cutting method described above, the generation of micro cracks associated with the cutting of the glass plate can be suppressed, and the cost required for cutting the glass plate can be reduced.
上記ガラス板製品の製造方法に係る切断ステップにおいて、ガラス板保持部が取り付けられたガラス板をエッチング液に浸漬させて、エッチング液中においてガラス板を切断する場合には、例えば、切断したい部分にエッチング液を吹き付ける場合と比較して、より均一なエッチングを行うことができる。 In the cutting step according to the manufacturing method of the glass plate product, when the glass plate to which the glass plate holding portion is attached is immersed in an etching solution and the glass plate is cut in the etching solution, for example, in a portion to be cut Compared with the case where the etching solution is sprayed, more uniform etching can be performed.
本発明に係るガラス板切断装置は、切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板を保持するガラス板保持部を備える。したがって、エッチングによってガラス板を切断した場合であっても、切断されたガラス板が落下又は衝突するおそれがない。このように、ガラス板保持部によってガラスを保持することにより、エッチングのみによるガラス板の切断が可能となっている。したがって、前述したガラス板切断方法と同様に、ガラス板の切断に伴う微少クラックの発生を抑制すると共に、ガラス板の切断に要する工程を減らしてコストを削減することができる。 The glass plate cutting device according to the present invention includes a glass plate holding portion that holds the glass plate in order to prevent the glass plate from dropping or colliding due to cutting. Therefore, even when the glass plate is cut by etching, there is no possibility that the cut glass plate falls or collides. Thus, the glass plate can be cut only by etching by holding the glass by the glass plate holding portion. Therefore, similarly to the glass plate cutting method described above, the generation of micro cracks associated with the cutting of the glass plate can be suppressed, and the cost required for cutting the glass plate can be reduced.
ガラス板保持部を取り付けた少なくとも1枚のガラス板をエッチング液槽内において支持するエッチング液槽内支持部とをさらに備えるように構成した場合には、エッチング液槽内の任意の位置においてガラス板を支持することができる。加えて、複数のガラス板を同時にエッチング液槽内において支持することができる。 In the case of further comprising an etching solution tank support for supporting at least one glass plate to which the glass plate holding unit is attached in the etching solution tank, the glass plate at an arbitrary position in the etching solution tank. Can be supported. In addition, a plurality of glass plates can be simultaneously supported in the etching solution tank.
[第1の実施形態]
以下、本発明の実施の形態を添付の図により説明する。図1に第1の実施形態に係るガラス板切断装置の正面図を示す。第1の実施形態に係るガラス板切断装置は、ガラス板を所定の大きさに切断するものである。ガラス板切断装置1は、切断によってガラス板2が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板2を保持するガラス板保持部3と、エッチング液5を入れたエッチング液槽6と、ガラス板保持部3を取り付けたガラス板2をエッチング液槽6内において支持するエッチング液槽内支持部7とを備えている。
[First Embodiment]
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. The front view of the glass plate cutting device which concerns on FIG. 1 at 1st Embodiment is shown. The glass plate cutting device according to the first embodiment cuts a glass plate into a predetermined size. In order to prevent the
ガラス板保持部3を取り付けたガラス板2の側面図を図2に示す。図1に示したガラス板2とガラス板保持部3は、図2に示すA−A線端面を示すものである。ガラス板2は、厚さ0.7mm程度の化学強化ガラスである。化学強化ガラスとは、ガラスを溶融塩に浸漬し、イオン交換することのよってガラス表面に圧縮層を形成したものである。一般的には、通常のガラスの約5倍以上の強度を有している。
The side view of the
ガラス板表面2aには、マスキング層10が形成されている。マスキング層10は、エッチング液5に耐性のある材質によって構成されている。本実施形態においては、ガラス板表面2aと対向する側の表面に接着層を有するマスキングシートを、ガラス板表面2aに貼付することによって、マスキング層10を形成している。マスキング層10は、切断したい部分(以下、「切断予定ライン」という)9を除いて、ガラス板表面2aの略全面を覆っている。本実施形態においては、図1に示すように、ガラス板2の両面をマスキング層10によってマスキングしている。
A
ガラス板保持部3は、ガラス板2をエッチングによって切断した際に、切断されたガラス板2がエッチング液槽6の中で落下又は衝突してガラス板2にワレ、カケが生じてしまうことを防止するために、ガラス板2を保持する治具である。ガラス板保持部3は、複数の棒状部材11を備えている。
When the glass
図2に示すように、複数の棒状部材11はガラス板2の長さ方向に細長く延びている。複数の棒状部材11の先端には接着層11aが形成されている(図1)。ガラス板保持部3は、この接着層11aを介して、ガラス板2に着脱自在に取り付けられる。接着層11aは、切断予定ライン9によって画定された複数の領域(図2に示す例では、切断予定ライン9によって囲まれた内側の領域25と切断予定ライン9の外側の領域26)においてマスキング層10に接着している。このように、ガラス板保持部3は、切断予定ライン9によって分割された複数の領域を、これらの領域の相対的な位置関係がガラス板2を切断した後であっても変化しないように支持することによって、切断によってガラス板2が落下したり、複数個に切り離されたガラス板2が互いに衝突したりすることを防止している。
As shown in FIG. 2, the plurality of rod-
ガラス板保持部3は、棒状部材11が延びる方向に対して垂直方向に延びる補強部14をさらに備えている。補強部14は、棒状部材11と同様に、ガラス板表面2aと対向する側の表面に接着層11aを備えている。補強部14によって、ガラス板保持部3がガラス板表面2aに接着する領域が増加するため、ガラス板保持部3の取り付け強度を補強することができる。
The glass
ガラス板保持部3は、接着層11aを含め、エッチング液5に耐性のある材質によって形成されている。図1に示すように、本実施形態においてガラス板保持部3は、ガラス板2の両面に取り付けられるものである。
The glass
エッチング液槽6に満たされたエッチング液5は、ガラスを溶解させる性質を有する液体である。一例として、エッチング液5は、フッ化水素酸を含有する水溶液である。エッチング処理中に生じた化学反応物がガラス表面に付着する付着量を低減させるために、フッ化水素酸を含有する水溶液に無機酸等を添加してもよい。
The
エッチング液槽6は、気泡23を発生させるバブリング架台22を備え、エッチング液5をバブリングしている。バブリングにより、エッチング液槽6内にあるエッチング液5が循環及び撹拌され、エッチング液組成、温度分布等のバラツキが低減する。これによって、より均一なエッチング処理を実行することができる。また、エッチング液5が循環及び撹拌されることによって、エッチングにより生成された化学反応物が押し流され、化学反応物がガラス板2に付着する量を低減させることができる。
The
エッチング液槽内支持部7は、ガラス板保持部3を取り付けたガラス板2を収納する略直方体形状のカセット部16と、カセット部16を吊り下げてエッチング液槽6内に支持するカセット支持部20とを備えてる。本実施形態においては、カセット部16の略直方体形状を画定する面の少なくとも1面は開放されているため、カセット部16内にガラス板保持部3を取り付けたガラス板2をセットし、カセット部16をエッチング液5を満たしたエッチング液槽6内に沈めることによって、カセット部16内に収納されたガラス板2が、エッチング液槽6内のエッチング液5に浸漬される。
The etchant
カセット部16には、ガラス板保持部3を取り付けたガラス板2を収納するために、ガラス板2の上端を収納する複数の上端ポケット18aと、ガラス板2の下端を収納する複数の下端ポケット18bとが設けられている。上端ポケット18aと下端ポケット18bは、それぞれ、カセット部16の内側面と、カセット部16の中心に向かって互いに離れる方向に延びる2個の壁部19によって画定されている。上端ポケット18aと下端ポケット18bは、複数個設けられているため、カセット部16内にガラス板保持部3を取り付けたガラス板2を複数個収納し、同時にエッチングすることができる。
In the
カセット支持部20は、カセット部16に対して着脱自在に構成されている。カセット部16にガラス板保持部3を取り付けたガラス板2をセットした後に、カセット支持部20をカセット部16に取り付け、カセット支持部20を移動させることによって、カセット部16をエッチング液槽6内に沈める。ガラス板2のエッチング処理中、カセット部16はカセット支持部20によって、エッチング液槽6内に吊り下げられている。エッチング処理が終了した後は、カセット支持部20を移動させることによって、切断したガラス板2を収納するカセット部16をエッチング液槽6内から引き揚げ、洗浄処理を行う洗浄槽等へ運搬する。カセット部16を移動させる又は支持する必要がなくなった段階で、カセット支持部20はカセット部16から取り外される。
The
次に、上記ガラス板切断装置1を用いて実行するガラス板切断方法及びガラス板製品の製造方法について、図3に示すフローチャートを参照しながら説明する。まず、ガラス板表面2aにマスキング層10を積層する(ステップ1)。前述のように、マスキング層10は、切断予定ライン9を除いてガラス板表面2aの略全面を覆うように形成される。マスキング層10は、ガラス板2の両面に積層される。
Next, a glass plate cutting method and a glass plate product manufacturing method executed using the glass
マスキング層10を積層したガラス板2にガラス板保持部3を取り付ける(ステップ2)。前述のように、ガラス板保持部3は、切断予定ライン9によって画定された複数の領域(図2に示す例では、切断予定ライン9によって囲まれた内側の領域25と外側の領域26)においてガラス板2のマスキング層10に接着し、上記複数の領域を、これらの領域の相対的な位置関係がガラス板2を切断した後であっても変化しないように支持する。
The glass
次に、ガラス板保持部3が取り付けられたガラス板2をエッチング液5に浸漬させて、エッチング液5の中においてガラス板2を切断する(ステップ3)。まず、ガラス板保持部3が取り付けられたガラス板2をエッチング液槽内支持部7のカセット部16内にセットする。ガラス板2を収納したカセット部16をエッチング液5を満たしたエッチング液槽6内に沈める。これにより、ガラス板保持部3を取り付けたガラス板2がエッチング液5に浸漬される。カセット部16はカセット支持部20によって吊り下げられることによって、エッチング処理中、エッチング液槽6内に保持される。
Next, the
本実施形態においては、ガラス板2の両面からエッチングが進行する。エッチングによってガラス板2の切断が完了すると、ガラス板2を収納したカセット部16はエッチング液5の中から引き揚げられる。ガラス板2には、ガラス板保持部3が取り付けられているため、ガラス板2は切断によって落下又は衝突することなく、エッチング液5から取り出される。
In the present embodiment, etching proceeds from both surfaces of the
エッチング液5から引き揚げられたカセット部16は、ガラス板2を収納した状態で洗浄槽に移動する。洗浄槽においてガラス板2は洗浄されてエッチング液5が洗い流される。洗浄後、ガラス板保持部3から切断されたガラス板2を取り外す。取り外されたガラス板2からマスキング層10を除去すると、ガラス板製品として、フラットパネルディスプレイ等の材料として用いられる所定の大きさのガラス基板を得ることができる。
The
以上に述べたように、第1の実施形態に係るガラス板切断装置1では、ガラス板2にガラス板保持部3が取り付けられているため、エッチングによってガラス板2を切断した場合であっても、切断されたガラス板2が落下又は衝突するおそれがない。ガラス板切断装置1は、エッチングのみによってガラス板2を切断するため、ガラス板2の切断に際して、ガラス板2に機械的又は熱的な力を加えない。したがって、ガラス板2の切断に伴う微少クラックの発生を抑制することができる。加えて、機械的又は熱的な力を加える工程が不要となるので、ガラス板2の切断に要する工程を減らしてコストを削減することができる。
As described above, in the glass
[第2の実施形態]
図4に第2の実施形態に係るガラス板切断装置30の正面図を示す。ガラス板切断装置30は、第1の実施形態に係るガラス板切断装置1のガラス板保持部3と異なるガラス板保持部33を備えている。エッチング液槽6とエッチング液槽内支持部7は、第1の実施形態において前述したものと同様である。
[Second Embodiment]
The front view of the glass
第2の実施形態に係るガラス板保持部33の側面図を図5に示す。図4に示したガラス板2とガラス板保持部33は、図5に示すB−B線端面を示すものである。なお、図5においては、ガラス板保持部33のプレート部42に覆われるガラス板表面2aに形成された切断予定ライン9と、プレート部42とガラス板表面2aとの間に位置する構成要素を仮想的に図示している。ガラス板2の両面には、第1の実施形態において前述したガラス板2と同様に、切断予定ライン9以外の部分にマスキング層10が積層されている。第2の実施形態においては、このガラス板2にガラス板保持部33を取り付ける前に、切断予定ライン9に対応する部分のガラス板表面2aをガラス板2が切断されない程度にエッチングしておく。
The side view of the glass plate holding |
第2の実施形態に係るガラス板保持部33は、ガラス板表面2aと対向してガラス板表面2aの略全面を覆うプレート部42と、プレート部42におけるガラス板表面2aと対向する側の表面に設けられた複数個の接着層41とを備えている。ガラス板保持部33は、この接着層41を介して、ガラス板2に着脱自在に取り付けられる。接着層41は、ガラス板2の幅方向に細長く延び、切断予定ライン9によって画定された複数の領域(図5に示す例では、切断予定ライン9によって囲まれた内側の領域25と切断予定ライン9の外側の領域26)においてマスキング層10に接着している。第1の実施形態と同様に、ガラス板保持部33は、接着層41を含め、エッチング液5に耐性のある材質によって形成されている。図4に示すように、本実施形態においてガラス板保持部33は、ガラス板2の両面に取り付けられるものである。
The glass
次に、上記ガラス板切断装置を用いて実行するガラス板切断方法及びガラス板製品の製造方法について、図6に示すフローチャートを参照しながら説明する。まず、ガラス板表面2aにマスキング層10を積層する(ステップ11)。第1の実施形態と同様に、マスキング層10は、切断予定ライン9を除いてガラス板表面2aの略全面を覆うように形成される。マスキング層10は、ガラス板2の両面に積層される。
Next, a glass plate cutting method and a glass plate product manufacturing method executed using the glass plate cutting apparatus will be described with reference to the flowchart shown in FIG. First, the
マスキング層10を積層したガラス板2をエッチング液5に浸漬させる(ステップ12)。この段階では、ガラス板2にガラス板保持部33を取り付けなくてもよい。マスキングされたガラス板2をエッチング液槽内支持部7のカセット部16内にセットし、ガラス板2を収納したカセット部16をエッチング液槽6内に沈める。
The
これにより、切断予定ライン9に対応する部分のガラス板表面2aをガラス板2を切断しない程度にエッチングする(ステップ13)。ガラス板2を完全に切断するためのエッチングに先立って行うステップ13に示すエッチング処理(以下、「事前エッチング」という)が完了すると、ガラス板2を収納したカセット部16はエッチング液5の中から引き揚げられ、ガラス板2は洗浄されてエッチング液5が洗い流される。
As a result, the glass plate surface 2a corresponding to the
洗浄されたガラス板2にガラス板保持部33を取り付ける(ステップ14)。ガラス板保持部33は、切断予定ライン9によって画定された複数の領域(図5に示す例では、切断予定ライン9によって囲まれた内側の領域25と切断予定ライン9の外側の領域26)においてガラス板2のマスキング層10に接着し、上記複数の領域を、これらの領域の相対的な位置関係がガラス板2を切断した後であっても変化しないように支持する。
A
次に、ガラス板保持部33が取り付けられたガラス板2をエッチング液5に浸漬させて、エッチング液5の中においてガラス板2を切断する(ステップ15)。ガラス板保持部33が取り付けられたガラス板2をエッチング液槽内支持部7のカセット部16にセットし、エッチング液槽6の中に沈める。これにより、ガラス板保持部33を取り付けたガラス板2がエッチング液5に浸漬される。
Next, the
図4に示すように、ガラス板2の厚さは、切断予定ライン9と対応する部分において、事前エッチング(ステップ13)によって、他の部分よりも薄くなっている。一例として、ガラス板2の厚さは約0.7mmであり、事前エッチングによって薄くなった部分の厚さは約0.3mmである。切断予定ライン9と対応する部分のガラス板2の厚さを事前エッチングによって他の部分よりも薄くしておくことによって、ガラス板2における切断予定ライン9と対応する部分にエッチング液5がより入り込みやすくなっている。
As shown in FIG. 4, the thickness of the
第1の実施形態と同様に、エッチングはガラス板2の両面から進行する。エッチングによってガラス板2の切断が完了すると、ガラス板2を収納したカセット部16はエッチング液5の中から引き揚げられる。ガラス板2には、ガラス板保持部33が取り付けられているため、ガラス板2は切断によって落下又は衝突することなく、エッチング液5から取り出される。エッチング液5から引き揚げられたガラス板2を洗浄して、マスキング層10を除去すると、所定の大きさに切断されたガラス基板を得ることができる。
As in the first embodiment, etching proceeds from both surfaces of the
以上に述べたように、第2の実施形態に係るガラス板切断装置は、第1の実施形態において前述した利点に加え、事前エッチング処理を行うことによって、切断箇所にエッチング液5をより接触させやすいという利点を有している。
As described above, the glass plate cutting device according to the second embodiment brings the
[他の実施形態]
以上、本発明の実施形態について述べたが、本発明は既述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて各種の変形及び変更が可能である。例えば、上記第1及び第2の実施形態において、ガラス板2の切断面が鏡面仕上げとなるように、ガラス板2の厚さ及び材質に応じてエッチング液5の組成を選択してもよい。ガラス板2の切断面を鏡面仕上げとすることによって、切断面の強度を高めることができる。
[Other Embodiments]
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes can be made based on the technical idea of the present invention. For example, in the first and second embodiments, the composition of the
切断面を鏡面仕上げにするためのエッチング液5の組成は、一例として、フッ化水素、硫酸、塩酸、硝酸等の重量パーセントが0%から50%となる混酸である。上記重量パーセントの範囲から、ガラス板2の厚さ及び材質に応じて、ガラス板2の切断面が鏡面仕上げとなる液組成を選択する。必要に応じて、界面活性剤を添加してもよい。なお、上記液組成は例示であって、ガラス板2の切断面を鏡面仕上げとすることが可能な他の組成を有するエッチング液5を用いてもよい。
As an example, the composition of the
上記第1及び第2の実施形態において、エッチング液5に浸漬させた状態でガラス板2を切断する(ステップ3,ステップ15)際に、エッチング処理の途中でガラス板2をエッチング液槽6から引き揚げて、切断している箇所の付着物を除去する付着物除去処理を実行してもよい。エッチング処理中、エッチングによる化学反応物が、ガラス板2の切断しようとしている箇所に付着してしまう可能性がある。この化学反応物はエッチング作用を妨げるものである。エッチングの途中でこの付着物を除去することによって、切断面の強度を高めると共にエッチングを均一に進行させることができる。
In the first and second embodiments, when the
例えば、ガラス板2の切断しようとしている箇所に、ブラシ処理又は振動撹拌を施すことによって付着物を除去する。また、ガラス板2の切断しようとしている箇所に、ケガキ処理を施すことによって付着物を除去してもよい。エッチング液槽6から引き揚げたガラス板2からガラス板保持部3,33を外して、付着物除去処理を行ってもよいし、ガラス板2にガラス板保持部3,33を取り付けた状態のままで付着物除去処理を行ってもよい。付着物除去処理が完了すると、ガラス板保持部3,33を取り付けたガラス板2を再びエッチング液5の中に戻してエッチング処理を続行する。エッチング処理中に、この付着物除去処理を1回又は複数回行ってもよい。
For example, the deposits are removed by applying brush treatment or vibration agitation to the portion of the
上記第1及び第2の実施形態において、ガラス板2をエッチング液5に接触させる時間を変化させることによって、ガラス板2の切断断面の形状を所望の形状に調整してもよい。図7に、ガラス板2における切断断面の形状を模式的に例示する。第1の断面形状51と第2の断面形状52は、ガラス板2をエッチング液5に接触させる時間が相対的に短い場合と相対的に長い場合の断面形状の例である。上記第1及び第2の実施形態では、ガラス板2の両面からエッチングしているため、切断断面形状のプロフィールは、ガラス板2の厚さ方向の中心においてガラス板2の延在する方向に延びる中心線Lに対して線対称となる。
In the said 1st and 2nd embodiment, you may adjust the shape of the cut cross section of the
ガラス板2をエッチング液5に接触させる時間が短い場合には、第1の断面形状51に示すように、ガラス板2の切断面には外側に突出する尖った角が形成される。この切断面における尖り状態を、エッチング処理時間によって調整する。ガラス板2をエッチング液5に接触させる時間が長い場合には、第1の断面形状51に示す尖った角がエッチングによって削られて、第2の断面形状52に示すように、ガラス板2の切断面は外側に向かって丸みを帯びた形状となる。一例として、ガラス板2の取り扱い時における安全性を重視する場合には、ガラス板2をエッチング液5に接触させる時間をより長くすることによって、第2の断面形状52に示すように、ガラス板2の切断面の形状を外側に向かって丸みを帯びた形状にすることができる。
When the time for bringing the
上記ガラス板2は、そのガラスの組成によって限定されない。ガラス板2は、1枚のガラス板であってもよいし、複数のガラス板を貼りあわせて形成したガラス板であってもよい。また、ガラス板2は、液晶セル領域、薄膜トランジスタ、透明電極、配向膜等を備えるものであってもよい。
The
マスキングの方法として、接着層を有するマスキングシートを板ガラスの表面に貼付する方法を述べたが、これに限定されない。例えば、フォトレジストをガラス板表面2aに塗布し、露光によってマスキングパターンを転写して、切断予定ライン9上のフォトレジストを除去することによって、板ガラスをマスキングしてもよい。
As a masking method, a method of sticking a masking sheet having an adhesive layer to the surface of a plate glass has been described, but the method is not limited thereto. For example, the plate glass may be masked by applying a photoresist to the glass plate surface 2a, transferring a masking pattern by exposure, and removing the photoresist on the
上記第1の実施形態におけるガラス板保持部3は、切断予定ライン9によって画定された複数の領域25,26においてマスキング層10に接着される棒状部材であってもよく、切断予定ライン9によって画定された複数の領域25,26においてマスキング層10に接着される格子状部材であってもよい。
The glass
ガラス板2の切断予定ライン9にエッチング液5を接触させることができれば、ガラス板保持部3,33の接着層11a,41がガラス板表面2aの略全面に接着するようにガラス板保持部3,33を構成してもよい。例えば、切断予定ライン9がガラス板2の外縁まで延びている場合には、ガラス板表面2aの略全面に接着層11a,41が接着している場合であっても、ガラス板2の外縁から、切断予定ライン9上にエッチング液5を侵入させることが可能である。このように、ガラス板表面2aの略全面に接着層11a,41が接着する構成を採用する場合には、切断予定ライン9上にエッチング液5を侵入させやすくするために、前述した事前エッチング処理を行うことが望ましい。
If the
第1及び第2の実施形態においては、ガラス板2の両面にガラス板保持部を取り付けているが、ガラス板保持部3,33をガラス板2の片面のみに取り付けてもよい。
In 1st and 2nd embodiment, although the glass plate holding | maintenance part is attached to both surfaces of the
エッチング液5は、ガラスを溶解する性質を有する液体であれば足り、その組成は限定されない。第1及び第2の実施形態においては、エッチングのために、ガラス板2をエッチング液5の中に浸漬させているが、これに限定されない。例えば、エッチング液5の蒸気中にガラス板保持部を取り付けたガラス板2を暴露させてもよい。
The
第1及び第2の実施形態においては、エッチング液槽内支持部7のカセット部16に収納したガラス板2が、エッチング液槽6内において縦型配置されているが、これに限定されない。カセット部16に収納したガラス板2が、エッチング液槽6内において横型配置されるように、カセット部16の向きを変えてエッチング液槽6に沈めてもよい。
In 1st and 2nd embodiment, although the
1,30 ガラス板切断装置
2 ガラス板
2a ガラス板表面
3,33 ガラス板保持部
5 エッチング液
6 エッチング液槽
7 エッチング液槽内支持部
9 切断予定ライン
10 マスキング層
DESCRIPTION OF
Claims (11)
前記ガラス板保持部取り付けステップによって前記ガラス板保持部が取り付けられた前記ガラス板を、エッチング液を用いたエッチングによって切断する切断ステップとを含むガラス板切断方法。 In order to prevent the glass plate from falling or colliding due to cutting, a glass plate holding portion for attaching the glass plate holding portion for holding the glass plate to the glass plate, and
A cutting step of cutting the glass plate to which the glass plate holding portion is attached by the glass plate holding portion attaching step by etching using an etchant.
前記切断ステップにおいて、前記ガラス板保持部が取り付けられた前記ガラス板を前記エッチング液に浸漬させて、前記エッチング液中において前記ガラス板を切断することを特徴とする請求項1記載のガラス板切断方法。 Before the glass plate holding part mounting step, further comprising a masking layer lamination step of laminating a masking layer for the etching solution on the surface of the glass plate,
2. The glass plate cutting according to claim 1, wherein in the cutting step, the glass plate to which the glass plate holding portion is attached is immersed in the etching solution, and the glass plate is cut in the etching solution. Method.
切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、前記ガラス板を保持するガラス板保持部を、前記ガラス板に取り付けるガラス板保持部取り付けステップと、
前記ガラス板保持部取り付けステップによって前記ガラス板保持部が取り付けられた前記ガラス板を、エッチング液を用いたエッチングによって切断し、所定の大きさに切断されたガラス板製品を取得する切断ステップとを含むガラス板製品の製造方法。 A glass plate product manufacturing method for manufacturing a glass plate product cut into a predetermined size,
In order to prevent the glass plate from falling or colliding due to cutting, a glass plate holding portion for attaching the glass plate holding portion for holding the glass plate to the glass plate, and
Cutting the glass plate to which the glass plate holding part is attached by the glass plate holding part attaching step by etching using an etchant to obtain a glass plate product cut to a predetermined size; A method for producing a glass plate product.
前記切断ステップにおいて、前記ガラス板保持部に取り付けられた前記ガラス板を前記エッチング液に浸漬させて、前記エッチング液中において前記ガラス板を切断することを特徴とする請求項8記載のガラス板製品の製造方法。 Before the glass plate holding part mounting step, including a masking layer lamination step of laminating a masking layer for the etching solution on the surface of the glass plate,
The glass plate product according to claim 8, wherein, in the cutting step, the glass plate attached to the glass plate holding part is immersed in the etching solution, and the glass plate is cut in the etching solution. Manufacturing method.
前記ガラス板をエッチングによって切断するために、エッチング液を入れたエッチング液槽とを備えるガラス板切断装置。 In order to prevent the glass plate from dropping or colliding due to cutting, a glass plate holding part for holding the glass plate,
In order to cut | disconnect the said glass plate by an etching, the glass plate cutting device provided with the etching liquid tank which put the etching liquid.
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