JP2013241297A - Method of cutting glass plate, method of producing glass plate product, and apparatus for cutting glass plate - Google Patents

Method of cutting glass plate, method of producing glass plate product, and apparatus for cutting glass plate Download PDF

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Yasuhiro Sugano
泰弘 菅野
Moriyuki Yamanaka
森行 山中
Kazuhiro Yamamoto
和宏 山本
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent minute cracks from occurring when cutting a glass plate, and to reduce processes required for cutting the glass plate for cost reduction.SOLUTION: A method of cutting a glass plate includes: a glass plate-supporting part-mounting step of mounting a glass plate-supporting part for supporting the glass plate onto the glass plate to prevent the glass plate from falling down or colliding due to cutting; and a cutting step of cutting the glass plate, onto which the glass plate-supporting part is mounted through the glass plate-supporting part-mounting step, by performing etching using an etchant.

Description

本発明は、ガラス板切断方法、ガラス板製品の製造方法及びガラス板切断装置に関するものであって、特に、ガラス板にエッチング処理を施すガラス板切断方法、ガラス板製品の製造方法及びガラス板切断装置に関する。   TECHNICAL FIELD The present invention relates to a glass plate cutting method, a glass plate product manufacturing method, and a glass plate cutting device, and in particular, a glass plate cutting method for etching a glass plate, a glass plate product manufacturing method, and a glass plate cutting. Relates to the device.

従来から、所定の大きさのガラス基板を取得するために、母材ガラスに物理的な力を加えて切断する方法が知られている。ガラス基板は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等において使用されているフラットパネルディスプレイ等の材料として用いられる。例えばG6サイズの母材ガラス(1500mm×1850mm)を2分割に切断することによって、930mm×920mmサイズのガラス基板を得ることができる。   Conventionally, in order to obtain a glass substrate having a predetermined size, a method of cutting a base glass by applying a physical force is known. The glass substrate is used as a material for a flat panel display or the like used in a liquid crystal display, a plasma display or the like. For example, a glass substrate having a size of 930 mm × 920 mm can be obtained by cutting a G6 size base glass (1500 mm × 1850 mm) into two parts.

このガラス基板の薄型化に伴って化学強化ガラスの需要が高まっている。化学強化ガラスを切断する場合、ガラス表面の化学強化層の影響によって、切断のための垂直クラックが内部に伝搬しにくい。このため、化学強化ガラスの硬い表面を切断するために、高い圧力をかける必要がある。しかしながら、高い圧力をかけて切断する場合は、切断箇所に 八の字型の水平クラックが増加する。したがって、圧力を加える前に、母材ガラスにケミカル処理を施す方法が知られている(例えば、特許文献1)。   With the thinning of this glass substrate, the demand for chemically strengthened glass is increasing. When cutting chemically strengthened glass, vertical cracks for cutting hardly propagate to the inside due to the influence of the chemically strengthened layer on the glass surface. For this reason, in order to cut | disconnect the hard surface of chemically strengthened glass, it is necessary to apply a high pressure. However, when cutting with high pressure, horizontal figure-shaped cracks increase at the cutting point. Therefore, a method of performing chemical treatment on the base glass before applying pressure is known (for example, Patent Document 1).

特許文献1には、ガラス表面へのスクライブライン形成後、ケミカル処理を行い、次いで、機械的又は熱的応力によって母材ガラスを切断分離する方法が記載されている。スクライブラインの形成は、ダイヤモンドカッター又は超硬合金製のホイールカッターで母材ガラスに線を刻み付けること等により行なわれる。ケミカル処理は、ガラス溶解性の薬品を含む液体を母材ガラスに接触させる処理である。ケミカル処理された母材ガラスを切断分離する機械的な力としては、引っ張り又は加圧が挙げられている。加圧する場合には、母材ガラスを2個の載置台に架渡すように設置し、次いで、スクライブラインの真上から加圧冶具によって加圧することによって、母材ガラスを切断分離している。熱的な力によって母材ガラスを切断分離する方法としては、スクライブラインの両側にレーザーを照射することが挙げられている。   Patent Document 1 describes a method of performing chemical treatment after forming a scribe line on the glass surface, and then cutting and separating the base glass by mechanical or thermal stress. The scribe line is formed by, for example, engraving a line on the base glass with a diamond cutter or a cemented carbide wheel cutter. The chemical treatment is a treatment in which a liquid containing a glass-dissolving chemical is brought into contact with the base glass. As the mechanical force for cutting and separating the chemically-treated base glass, pulling or pressing is mentioned. In the case of pressurization, the base glass is installed so as to be bridged over two mounting tables, and then the base glass is cut and separated by pressing with a pressure jig from directly above the scribe line. As a method of cutting and separating the base glass by a thermal force, laser irradiation is mentioned on both sides of the scribe line.

加えて、特許文献1には、上記スクライブラインを形成する代わりに、母材ガラス表面に切断分離パターンに対応したマスキングを施した後、ケミカル処理を行い、切断分離パターンに対応した溝を形成する方法が記載されている。この場合、上記スクライブラインを形成したガラス母材と同様に、母材ガラスに形成された上記溝の真上から圧力を加えたり、溝の両側にレーザーを照射したりすることによって母材ガラスを切断分離している。   In addition, in Patent Document 1, instead of forming the scribe line, masking corresponding to the cutting separation pattern is performed on the surface of the base glass, and then chemical treatment is performed to form a groove corresponding to the cutting separation pattern. A method is described. In this case, similarly to the glass base material on which the scribe line is formed, the base glass is applied by applying pressure from directly above the groove formed on the base glass or irradiating laser on both sides of the groove. Disconnected.

特開2004−307318号公報JP 2004-307318 A

しかしながら、上記特許文献1に記載された方法では、ケミカル処理の後に、機械的又は熱的応力によって母材ガラスを切断している。このように、母材ガラスを機械的又は熱的応力によって切断すると、ケミカル処理の後であったとしても、切断面に微少クラックが発生してしまう。この微小クラックは、後工程において、ガラス基板のワレ、カケの原因となる。   However, in the method described in Patent Document 1, the base glass is cut by mechanical or thermal stress after the chemical treatment. As described above, when the base glass is cut by mechanical or thermal stress, even if it is after the chemical treatment, a minute crack is generated on the cut surface. These micro cracks cause cracking and chipping of the glass substrate in a subsequent process.

上記特許文献1に記載された方法では、スクライブライン形成及びケミカル処理を経て、最終的に機械的又は熱的応力によってガラス母材の切断分離を行うか、又は、スクライブライン形成に代えてケミカル処理によって溝を形成し、最終的に機械的又は熱的応力によってガラス母材の切断分離を行っている。したがって、少なくとも、ケミカル処理工程と機械的又は熱的な力を加える切断分離工程との2工程が必要となる。よって、ガラス板の切断工程が複雑化すると共に、コスト面での負担が大きいという問題がある。   In the method described in Patent Document 1, the glass base material is cut and separated by mechanical or thermal stress after scribe line formation and chemical treatment, or chemical treatment is performed instead of scribe line formation. Grooves are formed by the above, and the glass base material is finally cut and separated by mechanical or thermal stress. Therefore, at least two steps of a chemical treatment step and a cutting / separating step for applying mechanical or thermal force are required. Therefore, there are problems that the cutting process of the glass plate is complicated and the burden on the cost is large.

そこで本発明の目的は、ガラス板の切断に伴う微少クラックの発生を抑制すると共に、ガラス板の切断に要する工程を減らしてコストを削減することである。   Therefore, an object of the present invention is to suppress the generation of micro cracks associated with the cutting of the glass plate and reduce the cost by reducing the steps required for cutting the glass plate.

本発明は、ガラス板切断方法に係るものである。本発明に係るガラス板切断方法は、切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板を保持するガラス板保持部を、ガラス板に取り付けるガラス板保持部取り付けステップと、ガラス板保持部取り付けステップによってガラス板保持部が取り付けられたガラス板を、エッチング液を用いたエッチングによって切断する切断ステップとを含む。   The present invention relates to a glass plate cutting method. The glass plate cutting method according to the present invention includes a glass plate holding portion attaching step for attaching a glass plate holding portion for holding a glass plate to the glass plate in order to prevent the glass plate from falling or colliding due to cutting, and a glass A cutting step of cutting the glass plate to which the glass plate holding portion is attached by the plate holding portion attaching step by etching using an etching solution.

ガラス板保持部取り付けステップの前に、ガラス板の表面にエッチング液に対するマスキング層を積層するマスキング層積層ステップをさらに含み、切断ステップにおいて、ガラス板保持部が取り付けられたガラス板をエッチング液に浸漬させて、エッチング液中においてガラス板を切断してもよい。   Before the glass plate holding part mounting step, the method further includes a masking layer laminating step for laminating a masking layer for the etching liquid on the surface of the glass plate, and in the cutting step, the glass plate with the glass plate holding part attached is immersed in the etching liquid. Then, the glass plate may be cut in the etching solution.

一例として、ガラス板保持部取り付けステップの前に、ガラス板における切断したい部分の表面をガラス板を切断しない程度にエッチングする事前エッチングステップをさらに含む。切断ステップにおいて、ガラス板を両面からエッチングしてもよい。   As an example, before the glass plate holding part mounting step, a pre-etching step of etching the surface of a portion of the glass plate that is desired to be cut to such an extent that the glass plate is not cut is further included. In the cutting step, the glass plate may be etched from both sides.

例えば、切断ステップにおいて、ガラス板の厚さ及び材質に応じてエッチング液の組成を選択することによって、ガラス板の切断面を鏡面仕上げとする。「鏡面仕上げ」とは、物体等の像が映る程度に表面を平滑化する仕上げのことをいう。   For example, in the cutting step, the cut surface of the glass plate is mirror finished by selecting the composition of the etching solution according to the thickness and material of the glass plate. “Mirror finish” refers to a finish that smoothes the surface to the extent that an image of an object or the like is reflected.

一例として、切断ステップは、エッチング液とガラス板の反応によって生じガラス板に付着した化学反応物をエッチングの途中で除去する付着物除去ステップを含む。切断ステップにおいて、ガラス板の切断したい部分をエッチング液に接触させる時間を変化させることによって、ガラス板の切断断面の形状を調整してもよい。   As an example, the cutting step includes a deposit removing step of removing a chemical reaction product generated by a reaction between the etching solution and the glass plate and adhered to the glass plate during the etching. In the cutting step, the shape of the cut cross section of the glass plate may be adjusted by changing the time for contacting the portion of the glass plate to be cut with the etching solution.

また、本発明は、所定の大きさに切断されたガラス板製品を製造するガラス板製品の製造方法に係るものである。本発明に係るガラス板製品の製造方法は、切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板を保持するガラス板保持部を、ガラス板に取り付けるガラス板保持部取り付けステップと、ガラス板保持部取り付けステップによってガラス板保持部が取り付けられたガラス板を、エッチング液を用いたエッチングによって切断し、所定の大きさに切断されたガラス板製品を取得する切断ステップとを含む。   Moreover, this invention concerns on the manufacturing method of the glass plate product which manufactures the glass plate product cut | disconnected by the predetermined magnitude | size. The glass plate product manufacturing method according to the present invention includes a glass plate holding portion mounting step for attaching a glass plate holding portion for holding a glass plate to the glass plate in order to prevent the glass plate from dropping or colliding by cutting. And a cutting step of obtaining the glass plate product cut into a predetermined size by cutting the glass plate to which the glass plate holding portion is attached by the glass plate holding portion attaching step by etching using an etching solution.

ガラス板保持部取り付けステップの前に、ガラス板の表面にエッチング液に対するマスキング層を積層するマスキング層積層ステップを含み、切断ステップにおいて、ガラス板保持部に取り付けられたガラス板をエッチング液に浸漬させて、エッチング液中においてガラス板を切断してもよい。   It includes a masking layer stacking step for stacking a masking layer for the etching solution on the surface of the glass plate before the glass plate holding unit mounting step, and in the cutting step, the glass plate attached to the glass plate holding unit is immersed in the etching solution. Then, the glass plate may be cut in the etching solution.

また、本発明は、ガラス板切断装置に係るものである。本発明に係るガラス板切断装置は、切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板を保持するガラス板保持部と、ガラス板をエッチングによって切断するために、エッチング液を入れたエッチング液槽とを備える。   The present invention also relates to a glass sheet cutting device. The glass plate cutting device according to the present invention includes a glass plate holding portion for holding a glass plate and an etching solution for cutting the glass plate by etching in order to prevent the glass plate from falling or colliding due to cutting. An etching solution tank is provided.

ガラス板保持部を取り付けた少なくとも1枚のガラス板をエッチング液槽内において支持するエッチング液槽内支持部とをさらに備えるように構成してもよい。   You may comprise so that the at least 1 glass plate which attached the glass plate holding | maintenance part may further be equipped with the support part in an etching liquid tank which supports in an etching liquid tank.

本発明に係るガラス板切断方法は、切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板を保持するガラス板保持部を、ガラス板に取り付けるガラス板保持部取り付けステップを含んでいる。したがって、エッチングによってガラス板を切断した場合であっても、切断されたガラス板が落下又は衝突するおそれがない。このように、ガラス板保持部によってガラス板を保持することにより、エッチングのみによるガラス板の切断が可能となっている。したがって、エッチング工程の後に、前述の従来技術に示すような機械的又は熱的な力を加える工程は不要となる。ガラス板の切断に際して、ガラス板に機械的又は熱的な力を加えないので、ガラス板の切断に伴う微少クラックの発生を抑制することができる。加えて、機械的又は熱的な力を加える工程が不要となるので、ガラス板の切断に要する工程を減らしてコストを削減することができる。   The glass plate cutting method according to the present invention includes a glass plate holding portion mounting step for attaching a glass plate holding portion for holding a glass plate to the glass plate in order to prevent the glass plate from falling or colliding due to cutting. Yes. Therefore, even when the glass plate is cut by etching, there is no possibility that the cut glass plate falls or collides. Thus, the glass plate can be cut only by etching by holding the glass plate by the glass plate holding portion. Therefore, after the etching process, a process of applying mechanical or thermal force as shown in the prior art is not required. When the glass plate is cut, no mechanical or thermal force is applied to the glass plate, so that the generation of micro cracks associated with the cutting of the glass plate can be suppressed. In addition, since a process of applying a mechanical or thermal force is not necessary, it is possible to reduce the cost by reducing the process required for cutting the glass plate.

切断ステップにおいて、ガラス板保持部が取り付けられたガラス板をエッチング液に浸漬させて、エッチング液中においてガラス板を切断する場合には、例えば、切断したい部分にエッチング液を吹き付ける場合と比較して、より均一なエッチングを行うことができる。   In the cutting step, when the glass plate to which the glass plate holding part is attached is immersed in the etching solution and the glass plate is cut in the etching solution, for example, compared with the case where the etching solution is sprayed on the portion to be cut. More uniform etching can be performed.

ガラス板保持部取り付けステップの前に、ガラス板における切断したい部分の表面をガラス板を切断しない程度にエッチングする事前エッチングステップをさらに含む場合には、エッチング液が入り込む隙間がより大きくなるため、切断したい部分にエッチング液をより接触させやすくすることができる。   Before the glass plate holding part mounting step, in the case of further including a pre-etching step for etching the surface of the portion to be cut in the glass plate to such an extent that the glass plate is not cut, the gap into which the etching solution enters becomes larger, so cutting The etching solution can be more easily brought into contact with a desired portion.

切断ステップにおいて、ガラス板を両面からエッチングする場合には、エッチング速度が加速するためエッチング処理に要する時間を短縮することができる。加えて、ガラス板の厚さ方向の中心においてガラス板の延在する方向に延びる中心線に対し、線対称となる切断断面形状のプロフィールを得ることができる。   In the cutting step, when the glass plate is etched from both sides, the etching speed is accelerated, so that the time required for the etching process can be shortened. In addition, it is possible to obtain a profile of a cut cross-sectional shape that is line symmetric with respect to a center line extending in the extending direction of the glass plate at the center in the thickness direction of the glass plate.

切断ステップにおいて、ガラス板の厚さ及び材質に応じてエッチング液の組成を選択することによって、ガラス板の切断面を鏡面仕上げとする場合には、切断面の鏡面化によって切断面の強度を高めることができる。   In the cutting step, by selecting the composition of the etching solution according to the thickness and material of the glass plate, when the cut surface of the glass plate is mirror finished, the strength of the cut surface is increased by mirroring the cut surface. be able to.

エッチング液とガラス板の反応によって生じガラス板に付着した化学反応物をエッチングの途中で除去する付着物除去ステップを含む場合には、エッチング作用を妨げる化学反応物を除去することによって、切断面の強度を高めると共にエッチングを均一に進行させることができる。   In the case of including a deposit removing step for removing chemical reactants generated by the reaction between the etchant and the glass plate in the course of etching, by removing the chemical reactants that hinder the etching action, It is possible to increase the strength and perform the etching uniformly.

切断ステップにおいて、ガラス板の切断したい部分をエッチング液に接触させる時間を変化させることによって、ガラス板の切断断面の形状を調整する場合には、エッチング処理の時間を変化させることによって所望の切断断面形状を得ることができる。   In the cutting step, when adjusting the shape of the cut cross section of the glass plate by changing the time for contacting the portion of the glass plate to be cut with the etching solution, the desired cut cross section can be obtained by changing the etching processing time. Shape can be obtained.

本発明に係るガラス板製品の製造方法は、切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板を保持するガラス板保持部を、ガラス板に取り付けるガラス板保持部取り付けステップを含んでいる。したがって、エッチングによってガラス板を切断した場合であっても、切断されたガラス板が落下又は衝突するおそれがない。このように、ガラス板保持部によってガラス板を保持することにより、エッチングのみによるガラス板の切断が可能となっている。したがって、前述したガラス板切断方法と同様に、ガラス板の切断に伴う微少クラックの発生を抑制すると共に、ガラス板の切断に要する工程を減らしてコストを削減することができる。   In order to prevent the glass plate from falling or colliding due to cutting, the glass plate product manufacturing method according to the present invention includes a glass plate holding portion attaching step for attaching the glass plate holding portion for holding the glass plate to the glass plate. Contains. Therefore, even when the glass plate is cut by etching, there is no possibility that the cut glass plate falls or collides. Thus, the glass plate can be cut only by etching by holding the glass plate by the glass plate holding portion. Therefore, similarly to the glass plate cutting method described above, the generation of micro cracks associated with the cutting of the glass plate can be suppressed, and the cost required for cutting the glass plate can be reduced.

上記ガラス板製品の製造方法に係る切断ステップにおいて、ガラス板保持部が取り付けられたガラス板をエッチング液に浸漬させて、エッチング液中においてガラス板を切断する場合には、例えば、切断したい部分にエッチング液を吹き付ける場合と比較して、より均一なエッチングを行うことができる。   In the cutting step according to the manufacturing method of the glass plate product, when the glass plate to which the glass plate holding portion is attached is immersed in an etching solution and the glass plate is cut in the etching solution, for example, in a portion to be cut Compared with the case where the etching solution is sprayed, more uniform etching can be performed.

本発明に係るガラス板切断装置は、切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板を保持するガラス板保持部を備える。したがって、エッチングによってガラス板を切断した場合であっても、切断されたガラス板が落下又は衝突するおそれがない。このように、ガラス板保持部によってガラスを保持することにより、エッチングのみによるガラス板の切断が可能となっている。したがって、前述したガラス板切断方法と同様に、ガラス板の切断に伴う微少クラックの発生を抑制すると共に、ガラス板の切断に要する工程を減らしてコストを削減することができる。   The glass plate cutting device according to the present invention includes a glass plate holding portion that holds the glass plate in order to prevent the glass plate from dropping or colliding due to cutting. Therefore, even when the glass plate is cut by etching, there is no possibility that the cut glass plate falls or collides. Thus, the glass plate can be cut only by etching by holding the glass by the glass plate holding portion. Therefore, similarly to the glass plate cutting method described above, the generation of micro cracks associated with the cutting of the glass plate can be suppressed, and the cost required for cutting the glass plate can be reduced.

ガラス板保持部を取り付けた少なくとも1枚のガラス板をエッチング液槽内において支持するエッチング液槽内支持部とをさらに備えるように構成した場合には、エッチング液槽内の任意の位置においてガラス板を支持することができる。加えて、複数のガラス板を同時にエッチング液槽内において支持することができる。   In the case of further comprising an etching solution tank support for supporting at least one glass plate to which the glass plate holding unit is attached in the etching solution tank, the glass plate at an arbitrary position in the etching solution tank. Can be supported. In addition, a plurality of glass plates can be simultaneously supported in the etching solution tank.

第1の実施形態に係るガラス板切断装置の正面図である。It is a front view of the glass plate cutting device concerning a 1st embodiment. 第1の実施形態に係るガラス板及びガラス板保持部の側面図である。It is a side view of the glass plate and glass plate holding | maintenance part which concern on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係るガラス板切断装置を用いて実行するガラス板切断方法及びガラス板製品の製造方法に関する工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process regarding the manufacturing method of the glass plate cutting method and glass plate product performed using the glass plate cutting device which concerns on 1st Embodiment. 第2の実施形態に係るガラス板切断装置の正面図である。It is a front view of the glass plate cutting device concerning a 2nd embodiment. 第2の実施形態に係るガラス板及びガラス板保持部の側面図である。It is a side view of the glass plate and glass plate holding | maintenance part which concern on 2nd Embodiment. 第2の実施形態に係るガラス板切断装置を用いて実行するガラス板切断方法及びガラス板製品の製造方法に関する工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process regarding the manufacturing method of the glass plate cutting method and glass plate product performed using the glass plate cutting device which concerns on 2nd Embodiment. 他の実施形態に係るガラス板の切断断面形状を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the cut | disconnected cross-sectional shape of the glass plate which concerns on other embodiment.

[第1の実施形態]
以下、本発明の実施の形態を添付の図により説明する。図1に第1の実施形態に係るガラス板切断装置の正面図を示す。第1の実施形態に係るガラス板切断装置は、ガラス板を所定の大きさに切断するものである。ガラス板切断装置1は、切断によってガラス板2が落下又は衝突することを防止するために、ガラス板2を保持するガラス板保持部3と、エッチング液5を入れたエッチング液槽6と、ガラス板保持部3を取り付けたガラス板2をエッチング液槽6内において支持するエッチング液槽内支持部7とを備えている。
[First Embodiment]
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. The front view of the glass plate cutting device which concerns on FIG. 1 at 1st Embodiment is shown. The glass plate cutting device according to the first embodiment cuts a glass plate into a predetermined size. In order to prevent the glass plate 2 from dropping or colliding due to cutting, the glass plate cutting device 1 includes a glass plate holding unit 3 for holding the glass plate 2, an etching solution tank 6 containing an etching solution 5, and a glass An etching solution tank support portion 7 that supports the glass plate 2 to which the plate holding unit 3 is attached in the etching solution tank 6 is provided.

ガラス板保持部3を取り付けたガラス板2の側面図を図2に示す。図1に示したガラス板2とガラス板保持部3は、図2に示すA−A線端面を示すものである。ガラス板2は、厚さ0.7mm程度の化学強化ガラスである。化学強化ガラスとは、ガラスを溶融塩に浸漬し、イオン交換することのよってガラス表面に圧縮層を形成したものである。一般的には、通常のガラスの約5倍以上の強度を有している。   The side view of the glass plate 2 to which the glass plate holding part 3 is attached is shown in FIG. The glass plate 2 and the glass plate holding | maintenance part 3 shown in FIG. 1 show the AA line end surface shown in FIG. The glass plate 2 is a chemically strengthened glass having a thickness of about 0.7 mm. Chemically tempered glass is a glass in which a compression layer is formed on the glass surface by immersing the glass in a molten salt and performing ion exchange. Generally, it has a strength about 5 times or more that of ordinary glass.

ガラス板表面2aには、マスキング層10が形成されている。マスキング層10は、エッチング液5に耐性のある材質によって構成されている。本実施形態においては、ガラス板表面2aと対向する側の表面に接着層を有するマスキングシートを、ガラス板表面2aに貼付することによって、マスキング層10を形成している。マスキング層10は、切断したい部分(以下、「切断予定ライン」という)9を除いて、ガラス板表面2aの略全面を覆っている。本実施形態においては、図1に示すように、ガラス板2の両面をマスキング層10によってマスキングしている。   A masking layer 10 is formed on the glass plate surface 2a. The masking layer 10 is made of a material resistant to the etching solution 5. In this embodiment, the masking layer 10 is formed by sticking a masking sheet having an adhesive layer on the surface facing the glass plate surface 2a to the glass plate surface 2a. The masking layer 10 covers substantially the entire surface of the glass plate surface 2a except for the portion 9 (hereinafter referred to as “scheduled cutting line”) 9 to be cut. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, both surfaces of the glass plate 2 are masked by the masking layer 10.

ガラス板保持部3は、ガラス板2をエッチングによって切断した際に、切断されたガラス板2がエッチング液槽6の中で落下又は衝突してガラス板2にワレ、カケが生じてしまうことを防止するために、ガラス板2を保持する治具である。ガラス板保持部3は、複数の棒状部材11を備えている。   When the glass plate holding part 3 cuts the glass plate 2 by etching, the cut glass plate 2 falls or collides in the etchant tank 6 and the glass plate 2 is cracked or chipped. In order to prevent this, it is a jig for holding the glass plate 2. The glass plate holding unit 3 includes a plurality of rod-like members 11.

図2に示すように、複数の棒状部材11はガラス板2の長さ方向に細長く延びている。複数の棒状部材11の先端には接着層11aが形成されている(図1)。ガラス板保持部3は、この接着層11aを介して、ガラス板2に着脱自在に取り付けられる。接着層11aは、切断予定ライン9によって画定された複数の領域(図2に示す例では、切断予定ライン9によって囲まれた内側の領域25と切断予定ライン9の外側の領域26)においてマスキング層10に接着している。このように、ガラス板保持部3は、切断予定ライン9によって分割された複数の領域を、これらの領域の相対的な位置関係がガラス板2を切断した後であっても変化しないように支持することによって、切断によってガラス板2が落下したり、複数個に切り離されたガラス板2が互いに衝突したりすることを防止している。   As shown in FIG. 2, the plurality of rod-like members 11 are elongated in the length direction of the glass plate 2. An adhesive layer 11a is formed at the tips of the plurality of rod-shaped members 11 (FIG. 1). The glass plate holding part 3 is detachably attached to the glass plate 2 through the adhesive layer 11a. The adhesive layer 11a is a masking layer in a plurality of regions defined by the planned cutting line 9 (in the example shown in FIG. 2, the inner region 25 surrounded by the planned cutting line 9 and the outer region 26 of the planned cutting line 9). 10 is adhered. As described above, the glass plate holding unit 3 supports a plurality of regions divided by the scheduled cutting line 9 so that the relative positional relationship between these regions does not change even after the glass plate 2 is cut. By doing so, the glass plate 2 is prevented from falling due to cutting, or the glass plates 2 cut into a plurality of pieces from colliding with each other.

ガラス板保持部3は、棒状部材11が延びる方向に対して垂直方向に延びる補強部14をさらに備えている。補強部14は、棒状部材11と同様に、ガラス板表面2aと対向する側の表面に接着層11aを備えている。補強部14によって、ガラス板保持部3がガラス板表面2aに接着する領域が増加するため、ガラス板保持部3の取り付け強度を補強することができる。   The glass plate holding part 3 further includes a reinforcing part 14 extending in a direction perpendicular to the direction in which the rod-shaped member 11 extends. Similar to the rod-shaped member 11, the reinforcing portion 14 includes an adhesive layer 11a on the surface facing the glass plate surface 2a. Since the area | region where the glass plate holding | maintenance part 3 adhere | attaches to the glass plate surface 2a increases by the reinforcement part 14, the attachment strength of the glass plate holding | maintenance part 3 can be reinforced.

ガラス板保持部3は、接着層11aを含め、エッチング液5に耐性のある材質によって形成されている。図1に示すように、本実施形態においてガラス板保持部3は、ガラス板2の両面に取り付けられるものである。   The glass plate holding part 3 is formed of a material resistant to the etching solution 5 including the adhesive layer 11a. As shown in FIG. 1, in this embodiment, the glass plate holding | maintenance part 3 is attached to both surfaces of the glass plate 2. As shown in FIG.

エッチング液槽6に満たされたエッチング液5は、ガラスを溶解させる性質を有する液体である。一例として、エッチング液5は、フッ化水素酸を含有する水溶液である。エッチング処理中に生じた化学反応物がガラス表面に付着する付着量を低減させるために、フッ化水素酸を含有する水溶液に無機酸等を添加してもよい。   The etching solution 5 filled in the etching solution tank 6 is a liquid having a property of dissolving glass. As an example, the etching solution 5 is an aqueous solution containing hydrofluoric acid. An inorganic acid or the like may be added to the aqueous solution containing hydrofluoric acid in order to reduce the amount of chemical reaction products generated during the etching process that adhere to the glass surface.

エッチング液槽6は、気泡23を発生させるバブリング架台22を備え、エッチング液5をバブリングしている。バブリングにより、エッチング液槽6内にあるエッチング液5が循環及び撹拌され、エッチング液組成、温度分布等のバラツキが低減する。これによって、より均一なエッチング処理を実行することができる。また、エッチング液5が循環及び撹拌されることによって、エッチングにより生成された化学反応物が押し流され、化学反応物がガラス板2に付着する量を低減させることができる。   The etching solution tank 6 includes a bubbling mount 22 that generates bubbles 23, and bubbles the etching solution 5. By bubbling, the etching solution 5 in the etching solution tank 6 is circulated and stirred, and variations in the etching solution composition, temperature distribution, and the like are reduced. As a result, a more uniform etching process can be performed. Further, by circulating and stirring the etching solution 5, the chemical reactant generated by the etching is washed away, and the amount of the chemical reactant attached to the glass plate 2 can be reduced.

エッチング液槽内支持部7は、ガラス板保持部3を取り付けたガラス板2を収納する略直方体形状のカセット部16と、カセット部16を吊り下げてエッチング液槽6内に支持するカセット支持部20とを備えてる。本実施形態においては、カセット部16の略直方体形状を画定する面の少なくとも1面は開放されているため、カセット部16内にガラス板保持部3を取り付けたガラス板2をセットし、カセット部16をエッチング液5を満たしたエッチング液槽6内に沈めることによって、カセット部16内に収納されたガラス板2が、エッチング液槽6内のエッチング液5に浸漬される。   The etchant tank support part 7 includes a substantially rectangular parallelepiped cassette part 16 that houses the glass plate 2 to which the glass plate holding part 3 is attached, and a cassette support part that suspends the cassette part 16 and supports it in the etchant tank 6. 20 and so on. In this embodiment, since at least one of the surfaces defining the substantially rectangular parallelepiped shape of the cassette portion 16 is open, the glass plate 2 to which the glass plate holding portion 3 is attached is set in the cassette portion 16, and the cassette portion The glass plate 2 accommodated in the cassette unit 16 is immersed in the etching solution 5 in the etching solution tank 6 by immersing 16 in the etching solution vessel 6 filled with the etching solution 5.

カセット部16には、ガラス板保持部3を取り付けたガラス板2を収納するために、ガラス板2の上端を収納する複数の上端ポケット18aと、ガラス板2の下端を収納する複数の下端ポケット18bとが設けられている。上端ポケット18aと下端ポケット18bは、それぞれ、カセット部16の内側面と、カセット部16の中心に向かって互いに離れる方向に延びる2個の壁部19によって画定されている。上端ポケット18aと下端ポケット18bは、複数個設けられているため、カセット部16内にガラス板保持部3を取り付けたガラス板2を複数個収納し、同時にエッチングすることができる。   In the cassette unit 16, a plurality of upper end pockets 18 a for storing the upper end of the glass plate 2 and a plurality of lower end pockets for storing the lower end of the glass plate 2 in order to store the glass plate 2 to which the glass plate holding unit 3 is attached. 18b. The upper end pocket 18 a and the lower end pocket 18 b are each defined by an inner surface of the cassette part 16 and two wall parts 19 extending in a direction away from each other toward the center of the cassette part 16. Since a plurality of upper end pockets 18a and lower end pockets 18b are provided, a plurality of glass plates 2 with the glass plate holding portions 3 attached thereto can be accommodated in the cassette portion 16 and etched simultaneously.

カセット支持部20は、カセット部16に対して着脱自在に構成されている。カセット部16にガラス板保持部3を取り付けたガラス板2をセットした後に、カセット支持部20をカセット部16に取り付け、カセット支持部20を移動させることによって、カセット部16をエッチング液槽6内に沈める。ガラス板2のエッチング処理中、カセット部16はカセット支持部20によって、エッチング液槽6内に吊り下げられている。エッチング処理が終了した後は、カセット支持部20を移動させることによって、切断したガラス板2を収納するカセット部16をエッチング液槽6内から引き揚げ、洗浄処理を行う洗浄槽等へ運搬する。カセット部16を移動させる又は支持する必要がなくなった段階で、カセット支持部20はカセット部16から取り外される。   The cassette support portion 20 is configured to be detachable from the cassette portion 16. After setting the glass plate 2 with the glass plate holding part 3 attached to the cassette part 16, the cassette support part 20 is attached to the cassette part 16 and the cassette support part 20 is moved so that the cassette part 16 is moved into the etching solution tank 6. Sink into. During the etching process of the glass plate 2, the cassette unit 16 is suspended in the etching solution tank 6 by the cassette support unit 20. After the etching process is completed, the cassette support part 20 is moved to lift the cassette part 16 for storing the cut glass plate 2 from the etching liquid tank 6 and transport it to a cleaning tank or the like for performing the cleaning process. When it is no longer necessary to move or support the cassette unit 16, the cassette support unit 20 is removed from the cassette unit 16.

次に、上記ガラス板切断装置1を用いて実行するガラス板切断方法及びガラス板製品の製造方法について、図3に示すフローチャートを参照しながら説明する。まず、ガラス板表面2aにマスキング層10を積層する(ステップ1)。前述のように、マスキング層10は、切断予定ライン9を除いてガラス板表面2aの略全面を覆うように形成される。マスキング層10は、ガラス板2の両面に積層される。   Next, a glass plate cutting method and a glass plate product manufacturing method executed using the glass plate cutting apparatus 1 will be described with reference to the flowchart shown in FIG. First, the masking layer 10 is laminated on the glass plate surface 2a (step 1). As described above, the masking layer 10 is formed so as to cover substantially the entire surface of the glass plate surface 2a except for the line 9 to be cut. The masking layer 10 is laminated on both surfaces of the glass plate 2.

マスキング層10を積層したガラス板2にガラス板保持部3を取り付ける(ステップ2)。前述のように、ガラス板保持部3は、切断予定ライン9によって画定された複数の領域(図2に示す例では、切断予定ライン9によって囲まれた内側の領域25と外側の領域26)においてガラス板2のマスキング層10に接着し、上記複数の領域を、これらの領域の相対的な位置関係がガラス板2を切断した後であっても変化しないように支持する。   The glass plate holding part 3 is attached to the glass plate 2 on which the masking layer 10 is laminated (step 2). As described above, the glass plate holding unit 3 is in a plurality of regions defined by the planned cutting line 9 (in the example shown in FIG. 2, the inner region 25 and the outer region 26 surrounded by the planned cutting line 9). It adheres to the masking layer 10 of the glass plate 2 and supports the plurality of regions so that the relative positional relationship between these regions does not change even after the glass plate 2 is cut.

次に、ガラス板保持部3が取り付けられたガラス板2をエッチング液5に浸漬させて、エッチング液5の中においてガラス板2を切断する(ステップ3)。まず、ガラス板保持部3が取り付けられたガラス板2をエッチング液槽内支持部7のカセット部16内にセットする。ガラス板2を収納したカセット部16をエッチング液5を満たしたエッチング液槽6内に沈める。これにより、ガラス板保持部3を取り付けたガラス板2がエッチング液5に浸漬される。カセット部16はカセット支持部20によって吊り下げられることによって、エッチング処理中、エッチング液槽6内に保持される。   Next, the glass plate 2 to which the glass plate holding unit 3 is attached is immersed in the etching solution 5 to cut the glass plate 2 in the etching solution 5 (step 3). First, the glass plate 2 to which the glass plate holding unit 3 is attached is set in the cassette unit 16 of the etching solution tank support unit 7. The cassette unit 16 containing the glass plate 2 is submerged in the etching solution tank 6 filled with the etching solution 5. Thereby, the glass plate 2 to which the glass plate holding part 3 is attached is immersed in the etching solution 5. The cassette part 16 is held in the etching solution tank 6 during the etching process by being suspended by the cassette support part 20.

本実施形態においては、ガラス板2の両面からエッチングが進行する。エッチングによってガラス板2の切断が完了すると、ガラス板2を収納したカセット部16はエッチング液5の中から引き揚げられる。ガラス板2には、ガラス板保持部3が取り付けられているため、ガラス板2は切断によって落下又は衝突することなく、エッチング液5から取り出される。   In the present embodiment, etching proceeds from both surfaces of the glass plate 2. When the cutting of the glass plate 2 is completed by the etching, the cassette unit 16 in which the glass plate 2 is stored is lifted from the etching solution 5. Since the glass plate holding part 3 is attached to the glass plate 2, the glass plate 2 is taken out from the etching solution 5 without being dropped or collided by cutting.

エッチング液5から引き揚げられたカセット部16は、ガラス板2を収納した状態で洗浄槽に移動する。洗浄槽においてガラス板2は洗浄されてエッチング液5が洗い流される。洗浄後、ガラス板保持部3から切断されたガラス板2を取り外す。取り外されたガラス板2からマスキング層10を除去すると、ガラス板製品として、フラットパネルディスプレイ等の材料として用いられる所定の大きさのガラス基板を得ることができる。   The cassette unit 16 drawn from the etching solution 5 moves to the cleaning tank in a state where the glass plate 2 is stored. In the washing tank, the glass plate 2 is washed and the etching solution 5 is washed away. The glass plate 2 cut | disconnected from the glass plate holding | maintenance part 3 is removed after washing | cleaning. When the masking layer 10 is removed from the removed glass plate 2, a glass substrate of a predetermined size used as a material for a flat panel display or the like can be obtained as a glass plate product.

以上に述べたように、第1の実施形態に係るガラス板切断装置1では、ガラス板2にガラス板保持部3が取り付けられているため、エッチングによってガラス板2を切断した場合であっても、切断されたガラス板2が落下又は衝突するおそれがない。ガラス板切断装置1は、エッチングのみによってガラス板2を切断するため、ガラス板2の切断に際して、ガラス板2に機械的又は熱的な力を加えない。したがって、ガラス板2の切断に伴う微少クラックの発生を抑制することができる。加えて、機械的又は熱的な力を加える工程が不要となるので、ガラス板2の切断に要する工程を減らしてコストを削減することができる。   As described above, in the glass plate cutting device 1 according to the first embodiment, since the glass plate holding unit 3 is attached to the glass plate 2, even when the glass plate 2 is cut by etching. There is no possibility that the cut glass plate 2 falls or collides. Since the glass plate cutting device 1 cuts the glass plate 2 only by etching, no mechanical or thermal force is applied to the glass plate 2 when the glass plate 2 is cut. Therefore, generation | occurrence | production of the micro crack accompanying the cutting | disconnection of the glass plate 2 can be suppressed. In addition, since a process of applying a mechanical or thermal force is not necessary, the process required for cutting the glass plate 2 can be reduced and the cost can be reduced.

[第2の実施形態]
図4に第2の実施形態に係るガラス板切断装置30の正面図を示す。ガラス板切断装置30は、第1の実施形態に係るガラス板切断装置1のガラス板保持部3と異なるガラス板保持部33を備えている。エッチング液槽6とエッチング液槽内支持部7は、第1の実施形態において前述したものと同様である。
[Second Embodiment]
The front view of the glass plate cutting device 30 which concerns on FIG. 4 at 2nd Embodiment is shown. The glass plate cutting device 30 includes a glass plate holding portion 33 different from the glass plate holding portion 3 of the glass plate cutting device 1 according to the first embodiment. The etchant tank 6 and the etchant tank support 7 are the same as those described above in the first embodiment.

第2の実施形態に係るガラス板保持部33の側面図を図5に示す。図4に示したガラス板2とガラス板保持部33は、図5に示すB−B線端面を示すものである。なお、図5においては、ガラス板保持部33のプレート部42に覆われるガラス板表面2aに形成された切断予定ライン9と、プレート部42とガラス板表面2aとの間に位置する構成要素を仮想的に図示している。ガラス板2の両面には、第1の実施形態において前述したガラス板2と同様に、切断予定ライン9以外の部分にマスキング層10が積層されている。第2の実施形態においては、このガラス板2にガラス板保持部33を取り付ける前に、切断予定ライン9に対応する部分のガラス板表面2aをガラス板2が切断されない程度にエッチングしておく。   The side view of the glass plate holding | maintenance part 33 which concerns on 2nd Embodiment is shown in FIG. The glass plate 2 and the glass plate holding | maintenance part 33 shown in FIG. 4 show the BB line end surface shown in FIG. In FIG. 5, the components that are located between the planned cutting line 9 formed on the glass plate surface 2 a covered by the plate portion 42 of the glass plate holding portion 33 and the plate portion 42 and the glass plate surface 2 a are shown. It is illustrated virtually. On both surfaces of the glass plate 2, masking layers 10 are laminated at portions other than the scheduled cutting line 9, as with the glass plate 2 described above in the first embodiment. In 2nd Embodiment, before attaching the glass plate holding | maintenance part 33 to this glass plate 2, the glass plate surface 2a of the part corresponding to the scheduled cutting line 9 is etched to such an extent that the glass plate 2 is not cut | disconnected.

第2の実施形態に係るガラス板保持部33は、ガラス板表面2aと対向してガラス板表面2aの略全面を覆うプレート部42と、プレート部42におけるガラス板表面2aと対向する側の表面に設けられた複数個の接着層41とを備えている。ガラス板保持部33は、この接着層41を介して、ガラス板2に着脱自在に取り付けられる。接着層41は、ガラス板2の幅方向に細長く延び、切断予定ライン9によって画定された複数の領域(図5に示す例では、切断予定ライン9によって囲まれた内側の領域25と切断予定ライン9の外側の領域26)においてマスキング層10に接着している。第1の実施形態と同様に、ガラス板保持部33は、接着層41を含め、エッチング液5に耐性のある材質によって形成されている。図4に示すように、本実施形態においてガラス板保持部33は、ガラス板2の両面に取り付けられるものである。   The glass plate holding portion 33 according to the second embodiment includes a plate portion 42 that faces the glass plate surface 2a and covers substantially the entire surface of the glass plate surface 2a, and a surface of the plate portion 42 that faces the glass plate surface 2a. And a plurality of adhesive layers 41 provided on the substrate. The glass plate holding part 33 is detachably attached to the glass plate 2 through the adhesive layer 41. The adhesive layer 41 is elongated in the width direction of the glass plate 2 and is defined by a plurality of regions defined by the planned cutting line 9 (in the example shown in FIG. 5, the inner region 25 surrounded by the planned cutting line 9 and the planned cutting line 9 9 is adhered to the masking layer 10 in the outer region 26). Similar to the first embodiment, the glass plate holding portion 33 includes the adhesive layer 41 and is formed of a material resistant to the etching solution 5. As shown in FIG. 4, in this embodiment, the glass plate holding | maintenance part 33 is attached to both surfaces of the glass plate 2. As shown in FIG.

次に、上記ガラス板切断装置を用いて実行するガラス板切断方法及びガラス板製品の製造方法について、図6に示すフローチャートを参照しながら説明する。まず、ガラス板表面2aにマスキング層10を積層する(ステップ11)。第1の実施形態と同様に、マスキング層10は、切断予定ライン9を除いてガラス板表面2aの略全面を覆うように形成される。マスキング層10は、ガラス板2の両面に積層される。   Next, a glass plate cutting method and a glass plate product manufacturing method executed using the glass plate cutting apparatus will be described with reference to the flowchart shown in FIG. First, the masking layer 10 is laminated on the glass plate surface 2a (step 11). Similar to the first embodiment, the masking layer 10 is formed so as to cover substantially the entire surface of the glass plate surface 2a except for the line 9 to be cut. The masking layer 10 is laminated on both surfaces of the glass plate 2.

マスキング層10を積層したガラス板2をエッチング液5に浸漬させる(ステップ12)。この段階では、ガラス板2にガラス板保持部33を取り付けなくてもよい。マスキングされたガラス板2をエッチング液槽内支持部7のカセット部16内にセットし、ガラス板2を収納したカセット部16をエッチング液槽6内に沈める。   The glass plate 2 on which the masking layer 10 is laminated is immersed in the etching solution 5 (step 12). At this stage, the glass plate holder 33 may not be attached to the glass plate 2. The masked glass plate 2 is set in the cassette portion 16 of the support portion 7 in the etching solution tank, and the cassette portion 16 containing the glass plate 2 is submerged in the etching solution tank 6.

これにより、切断予定ライン9に対応する部分のガラス板表面2aをガラス板2を切断しない程度にエッチングする(ステップ13)。ガラス板2を完全に切断するためのエッチングに先立って行うステップ13に示すエッチング処理(以下、「事前エッチング」という)が完了すると、ガラス板2を収納したカセット部16はエッチング液5の中から引き揚げられ、ガラス板2は洗浄されてエッチング液5が洗い流される。   As a result, the glass plate surface 2a corresponding to the planned cutting line 9 is etched to such an extent that the glass plate 2 is not cut (step 13). When the etching process shown in Step 13 (hereinafter referred to as “pre-etching”) performed prior to the etching for completely cutting the glass plate 2 is completed, the cassette unit 16 containing the glass plate 2 is removed from the etching solution 5. The glass plate 2 is washed and the etching solution 5 is washed away.

洗浄されたガラス板2にガラス板保持部33を取り付ける(ステップ14)。ガラス板保持部33は、切断予定ライン9によって画定された複数の領域(図5に示す例では、切断予定ライン9によって囲まれた内側の領域25と切断予定ライン9の外側の領域26)においてガラス板2のマスキング層10に接着し、上記複数の領域を、これらの領域の相対的な位置関係がガラス板2を切断した後であっても変化しないように支持する。   A glass plate holder 33 is attached to the cleaned glass plate 2 (step 14). The glass plate holding part 33 is in a plurality of regions defined by the planned cutting line 9 (in the example shown in FIG. 5, the inner region 25 surrounded by the planned cutting line 9 and the outer region 26 of the planned cutting line 9). It adheres to the masking layer 10 of the glass plate 2 and supports the plurality of regions so that the relative positional relationship between these regions does not change even after the glass plate 2 is cut.

次に、ガラス板保持部33が取り付けられたガラス板2をエッチング液5に浸漬させて、エッチング液5の中においてガラス板2を切断する(ステップ15)。ガラス板保持部33が取り付けられたガラス板2をエッチング液槽内支持部7のカセット部16にセットし、エッチング液槽6の中に沈める。これにより、ガラス板保持部33を取り付けたガラス板2がエッチング液5に浸漬される。   Next, the glass plate 2 to which the glass plate holding portion 33 is attached is immersed in the etching solution 5 to cut the glass plate 2 in the etching solution 5 (step 15). The glass plate 2 to which the glass plate holding part 33 is attached is set in the cassette part 16 of the supporting part 7 in the etching solution tank and submerged in the etching solution tank 6. Thereby, the glass plate 2 to which the glass plate holding part 33 is attached is immersed in the etching solution 5.

図4に示すように、ガラス板2の厚さは、切断予定ライン9と対応する部分において、事前エッチング(ステップ13)によって、他の部分よりも薄くなっている。一例として、ガラス板2の厚さは約0.7mmであり、事前エッチングによって薄くなった部分の厚さは約0.3mmである。切断予定ライン9と対応する部分のガラス板2の厚さを事前エッチングによって他の部分よりも薄くしておくことによって、ガラス板2における切断予定ライン9と対応する部分にエッチング液5がより入り込みやすくなっている。   As shown in FIG. 4, the thickness of the glass plate 2 is thinner than the other portions by the pre-etching (step 13) in the portion corresponding to the planned cutting line 9. As an example, the thickness of the glass plate 2 is about 0.7 mm, and the thickness of the portion thinned by the pre-etching is about 0.3 mm. By making the thickness of the glass plate 2 corresponding to the planned cutting line 9 thinner than other portions by pre-etching, the etching solution 5 enters more into the portion corresponding to the planned cutting line 9 in the glass plate 2. It has become easier.

第1の実施形態と同様に、エッチングはガラス板2の両面から進行する。エッチングによってガラス板2の切断が完了すると、ガラス板2を収納したカセット部16はエッチング液5の中から引き揚げられる。ガラス板2には、ガラス板保持部33が取り付けられているため、ガラス板2は切断によって落下又は衝突することなく、エッチング液5から取り出される。エッチング液5から引き揚げられたガラス板2を洗浄して、マスキング層10を除去すると、所定の大きさに切断されたガラス基板を得ることができる。   As in the first embodiment, etching proceeds from both surfaces of the glass plate 2. When the cutting of the glass plate 2 is completed by the etching, the cassette unit 16 in which the glass plate 2 is stored is lifted from the etching solution 5. Since the glass plate holding part 33 is attached to the glass plate 2, the glass plate 2 is taken out from the etching solution 5 without being dropped or collided by cutting. When the glass plate 2 lifted from the etching solution 5 is washed and the masking layer 10 is removed, a glass substrate cut into a predetermined size can be obtained.

以上に述べたように、第2の実施形態に係るガラス板切断装置は、第1の実施形態において前述した利点に加え、事前エッチング処理を行うことによって、切断箇所にエッチング液5をより接触させやすいという利点を有している。   As described above, the glass plate cutting device according to the second embodiment brings the etching solution 5 into more contact with the cut portion by performing a pre-etching process in addition to the advantages described above in the first embodiment. It has the advantage of being easy.

[他の実施形態]
以上、本発明の実施形態について述べたが、本発明は既述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて各種の変形及び変更が可能である。例えば、上記第1及び第2の実施形態において、ガラス板2の切断面が鏡面仕上げとなるように、ガラス板2の厚さ及び材質に応じてエッチング液5の組成を選択してもよい。ガラス板2の切断面を鏡面仕上げとすることによって、切断面の強度を高めることができる。
[Other Embodiments]
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes can be made based on the technical idea of the present invention. For example, in the first and second embodiments, the composition of the etching solution 5 may be selected according to the thickness and material of the glass plate 2 so that the cut surface of the glass plate 2 has a mirror finish. By making the cut surface of the glass plate 2 into a mirror finish, the strength of the cut surface can be increased.

切断面を鏡面仕上げにするためのエッチング液5の組成は、一例として、フッ化水素、硫酸、塩酸、硝酸等の重量パーセントが0%から50%となる混酸である。上記重量パーセントの範囲から、ガラス板2の厚さ及び材質に応じて、ガラス板2の切断面が鏡面仕上げとなる液組成を選択する。必要に応じて、界面活性剤を添加してもよい。なお、上記液組成は例示であって、ガラス板2の切断面を鏡面仕上げとすることが可能な他の組成を有するエッチング液5を用いてもよい。   As an example, the composition of the etching solution 5 for mirror-finishing the cut surface is a mixed acid in which the weight percentage of hydrogen fluoride, sulfuric acid, hydrochloric acid, nitric acid, etc. is 0% to 50%. From the above weight percent range, a liquid composition is selected in which the cut surface of the glass plate 2 is mirror-finished according to the thickness and material of the glass plate 2. A surfactant may be added as necessary. In addition, the said liquid composition is an illustration, Comprising: You may use the etching liquid 5 which has another composition which can make the cut surface of the glass plate 2 into a mirror surface finish.

上記第1及び第2の実施形態において、エッチング液5に浸漬させた状態でガラス板2を切断する(ステップ3,ステップ15)際に、エッチング処理の途中でガラス板2をエッチング液槽6から引き揚げて、切断している箇所の付着物を除去する付着物除去処理を実行してもよい。エッチング処理中、エッチングによる化学反応物が、ガラス板2の切断しようとしている箇所に付着してしまう可能性がある。この化学反応物はエッチング作用を妨げるものである。エッチングの途中でこの付着物を除去することによって、切断面の強度を高めると共にエッチングを均一に進行させることができる。   In the first and second embodiments, when the glass plate 2 is cut while being immersed in the etching solution 5 (steps 3 and 15), the glass plate 2 is removed from the etching solution tank 6 during the etching process. You may perform the deposit | attachment removal process which lifts and removes the deposit | attachment of the location currently cut | disconnected. During the etching process, a chemical reaction product due to etching may adhere to a location where the glass plate 2 is to be cut. This chemical reactant prevents the etching action. By removing this deposit during etching, the strength of the cut surface can be increased and the etching can be progressed uniformly.

例えば、ガラス板2の切断しようとしている箇所に、ブラシ処理又は振動撹拌を施すことによって付着物を除去する。また、ガラス板2の切断しようとしている箇所に、ケガキ処理を施すことによって付着物を除去してもよい。エッチング液槽6から引き揚げたガラス板2からガラス板保持部3,33を外して、付着物除去処理を行ってもよいし、ガラス板2にガラス板保持部3,33を取り付けた状態のままで付着物除去処理を行ってもよい。付着物除去処理が完了すると、ガラス板保持部3,33を取り付けたガラス板2を再びエッチング液5の中に戻してエッチング処理を続行する。エッチング処理中に、この付着物除去処理を1回又は複数回行ってもよい。   For example, the deposits are removed by applying brush treatment or vibration agitation to the portion of the glass plate 2 that is to be cut. Moreover, you may remove a deposit | attachment by giving a marking process to the location which is going to cut | disconnect the glass plate 2. FIG. The glass plate holders 3 and 33 may be removed from the glass plate 2 drawn up from the etching solution tank 6 to perform the deposit removal process, or the glass plate holders 3 and 33 are attached to the glass plate 2. The deposit removal process may be performed. When the deposit removal process is completed, the glass plate 2 to which the glass plate holders 3 and 33 are attached is returned to the etching solution 5 again to continue the etching process. During the etching process, the deposit removing process may be performed once or a plurality of times.

上記第1及び第2の実施形態において、ガラス板2をエッチング液5に接触させる時間を変化させることによって、ガラス板2の切断断面の形状を所望の形状に調整してもよい。図7に、ガラス板2における切断断面の形状を模式的に例示する。第1の断面形状51と第2の断面形状52は、ガラス板2をエッチング液5に接触させる時間が相対的に短い場合と相対的に長い場合の断面形状の例である。上記第1及び第2の実施形態では、ガラス板2の両面からエッチングしているため、切断断面形状のプロフィールは、ガラス板2の厚さ方向の中心においてガラス板2の延在する方向に延びる中心線Lに対して線対称となる。   In the said 1st and 2nd embodiment, you may adjust the shape of the cut cross section of the glass plate 2 to a desired shape by changing the time which makes the glass plate 2 contact the etching liquid 5. FIG. In FIG. 7, the shape of the cut cross section in the glass plate 2 is illustrated typically. The first cross-sectional shape 51 and the second cross-sectional shape 52 are examples of cross-sectional shapes when the time for bringing the glass plate 2 into contact with the etching solution 5 is relatively short and when the time is relatively long. In the said 1st and 2nd embodiment, since it etches from both surfaces of the glass plate 2, the profile of a cutting | disconnection cross-sectional shape is extended in the direction where the glass plate 2 is extended in the center of the thickness direction of the glass plate 2. FIG. The line is symmetrical with respect to the center line L.

ガラス板2をエッチング液5に接触させる時間が短い場合には、第1の断面形状51に示すように、ガラス板2の切断面には外側に突出する尖った角が形成される。この切断面における尖り状態を、エッチング処理時間によって調整する。ガラス板2をエッチング液5に接触させる時間が長い場合には、第1の断面形状51に示す尖った角がエッチングによって削られて、第2の断面形状52に示すように、ガラス板2の切断面は外側に向かって丸みを帯びた形状となる。一例として、ガラス板2の取り扱い時における安全性を重視する場合には、ガラス板2をエッチング液5に接触させる時間をより長くすることによって、第2の断面形状52に示すように、ガラス板2の切断面の形状を外側に向かって丸みを帯びた形状にすることができる。   When the time for bringing the glass plate 2 into contact with the etching solution 5 is short, as shown in the first cross-sectional shape 51, a sharp corner protruding outward is formed on the cut surface of the glass plate 2. The sharp state on the cut surface is adjusted by the etching processing time. When the time during which the glass plate 2 is brought into contact with the etching solution 5 is long, the sharp corners shown in the first cross-sectional shape 51 are shaved by etching, and as shown in the second cross-sectional shape 52, The cut surface has a rounded shape toward the outside. As an example, when importance is attached to the safety during handling of the glass plate 2, the glass plate 2 is brought into contact with the etching solution 5 for a longer time so that the glass plate 2 has a shape as shown in the second cross-sectional shape 52. The shape of the two cut surfaces can be rounded toward the outside.

上記ガラス板2は、そのガラスの組成によって限定されない。ガラス板2は、1枚のガラス板であってもよいし、複数のガラス板を貼りあわせて形成したガラス板であってもよい。また、ガラス板2は、液晶セル領域、薄膜トランジスタ、透明電極、配向膜等を備えるものであってもよい。   The glass plate 2 is not limited by the glass composition. The glass plate 2 may be a single glass plate or a glass plate formed by bonding a plurality of glass plates. The glass plate 2 may include a liquid crystal cell region, a thin film transistor, a transparent electrode, an alignment film, and the like.

マスキングの方法として、接着層を有するマスキングシートを板ガラスの表面に貼付する方法を述べたが、これに限定されない。例えば、フォトレジストをガラス板表面2aに塗布し、露光によってマスキングパターンを転写して、切断予定ライン9上のフォトレジストを除去することによって、板ガラスをマスキングしてもよい。   As a masking method, a method of sticking a masking sheet having an adhesive layer to the surface of a plate glass has been described, but the method is not limited thereto. For example, the plate glass may be masked by applying a photoresist to the glass plate surface 2a, transferring a masking pattern by exposure, and removing the photoresist on the line 9 to be cut.

上記第1の実施形態におけるガラス板保持部3は、切断予定ライン9によって画定された複数の領域25,26においてマスキング層10に接着される棒状部材であってもよく、切断予定ライン9によって画定された複数の領域25,26においてマスキング層10に接着される格子状部材であってもよい。   The glass plate holding part 3 in the first embodiment may be a rod-like member bonded to the masking layer 10 in the plurality of regions 25 and 26 defined by the planned cutting line 9, and is defined by the planned cutting line 9. The plurality of regions 25 and 26 may be lattice-like members that are bonded to the masking layer 10.

ガラス板2の切断予定ライン9にエッチング液5を接触させることができれば、ガラス板保持部3,33の接着層11a,41がガラス板表面2aの略全面に接着するようにガラス板保持部3,33を構成してもよい。例えば、切断予定ライン9がガラス板2の外縁まで延びている場合には、ガラス板表面2aの略全面に接着層11a,41が接着している場合であっても、ガラス板2の外縁から、切断予定ライン9上にエッチング液5を侵入させることが可能である。このように、ガラス板表面2aの略全面に接着層11a,41が接着する構成を採用する場合には、切断予定ライン9上にエッチング液5を侵入させやすくするために、前述した事前エッチング処理を行うことが望ましい。   If the etching solution 5 can be brought into contact with the scheduled cutting line 9 of the glass plate 2, the glass plate holding portion 3 is so adhered that the adhesive layers 11a and 41 of the glass plate holding portions 3 and 33 adhere to substantially the entire surface of the glass plate surface 2a. , 33 may be configured. For example, when the planned cutting line 9 extends to the outer edge of the glass plate 2, even if the adhesive layers 11 a and 41 are bonded to substantially the entire surface of the glass plate surface 2 a, Then, the etching solution 5 can be made to enter the line 9 to be cut. As described above, in the case of adopting a configuration in which the adhesive layers 11a and 41 adhere to substantially the entire surface of the glass plate surface 2a, the above-described pre-etching process is performed in order to make it easier for the etching solution 5 to enter the planned cutting line 9. It is desirable to do.

第1及び第2の実施形態においては、ガラス板2の両面にガラス板保持部を取り付けているが、ガラス板保持部3,33をガラス板2の片面のみに取り付けてもよい。   In 1st and 2nd embodiment, although the glass plate holding | maintenance part is attached to both surfaces of the glass plate 2, you may attach the glass plate holding | maintenance parts 3 and 33 only to the single side | surface of the glass plate 2. FIG.

エッチング液5は、ガラスを溶解する性質を有する液体であれば足り、その組成は限定されない。第1及び第2の実施形態においては、エッチングのために、ガラス板2をエッチング液5の中に浸漬させているが、これに限定されない。例えば、エッチング液5の蒸気中にガラス板保持部を取り付けたガラス板2を暴露させてもよい。   The etching solution 5 need only be a liquid having a property of dissolving glass, and its composition is not limited. In 1st and 2nd embodiment, although the glass plate 2 is immersed in the etching liquid 5 for an etching, it is not limited to this. For example, you may expose the glass plate 2 which attached the glass plate holding | maintenance part in the vapor | steam of the etching liquid 5. FIG.

第1及び第2の実施形態においては、エッチング液槽内支持部7のカセット部16に収納したガラス板2が、エッチング液槽6内において縦型配置されているが、これに限定されない。カセット部16に収納したガラス板2が、エッチング液槽6内において横型配置されるように、カセット部16の向きを変えてエッチング液槽6に沈めてもよい。   In 1st and 2nd embodiment, although the glass plate 2 accommodated in the cassette part 16 of the support part 7 in an etching liquid tank is vertically arranged in the etching liquid tank 6, it is not limited to this. The glass plate 2 housed in the cassette unit 16 may be submerged in the etching solution tank 6 by changing the orientation of the cassette unit 16 so that the glass plate 2 is horizontally disposed in the etching solution tank 6.

1,30 ガラス板切断装置
2 ガラス板
2a ガラス板表面
3,33 ガラス板保持部
5 エッチング液
6 エッチング液槽
7 エッチング液槽内支持部
9 切断予定ライン
10 マスキング層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,30 Glass plate cutting device 2 Glass plate 2a Glass plate surface 3,33 Glass plate holding | maintenance part 5 Etching liquid 6 Etching liquid tank 7 Support part in etching liquid tank 9 Line to cut 10 Masking layer

Claims (11)

切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、前記ガラス板を保持するガラス板保持部を、前記ガラス板に取り付けるガラス板保持部取り付けステップと、
前記ガラス板保持部取り付けステップによって前記ガラス板保持部が取り付けられた前記ガラス板を、エッチング液を用いたエッチングによって切断する切断ステップとを含むガラス板切断方法。
In order to prevent the glass plate from falling or colliding due to cutting, a glass plate holding portion for attaching the glass plate holding portion for holding the glass plate to the glass plate, and
A cutting step of cutting the glass plate to which the glass plate holding portion is attached by the glass plate holding portion attaching step by etching using an etchant.
前記ガラス板保持部取り付けステップの前に、前記ガラス板の表面に前記エッチング液に対するマスキング層を積層するマスキング層積層ステップをさらに含み、
前記切断ステップにおいて、前記ガラス板保持部が取り付けられた前記ガラス板を前記エッチング液に浸漬させて、前記エッチング液中において前記ガラス板を切断することを特徴とする請求項1記載のガラス板切断方法。
Before the glass plate holding part mounting step, further comprising a masking layer lamination step of laminating a masking layer for the etching solution on the surface of the glass plate,
2. The glass plate cutting according to claim 1, wherein in the cutting step, the glass plate to which the glass plate holding portion is attached is immersed in the etching solution, and the glass plate is cut in the etching solution. Method.
前記ガラス板保持部取り付けステップの前に、前記ガラス板における切断したい部分の表面を前記ガラス板を切断しない程度にエッチングする事前エッチングステップをさらに含むことを特徴とする請求項1又は2記載のガラス板切断方法。   3. The glass according to claim 1, further comprising a pre-etching step of etching a surface of a portion of the glass plate that is desired to be cut to the extent that the glass plate is not cut before the glass plate holding portion mounting step. Board cutting method. 前記切断ステップにおいて、前記ガラス板を両面からエッチングすることを特徴とする請求項1から3のいずれか1記載のガラス板切断方法。   The glass plate cutting method according to any one of claims 1 to 3, wherein the glass plate is etched from both sides in the cutting step. 前記切断ステップにおいて、前記ガラス板の厚さ及び材質に応じて前記エッチング液の組成を選択することによって、前記ガラス板の切断面を鏡面仕上げとすることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載のガラス板切断方法。   5. In the cutting step, the cut surface of the glass plate is mirror-finished by selecting the composition of the etching solution according to the thickness and material of the glass plate. The glass plate cutting method according to claim 1. 前記切断ステップは、前記エッチング液と前記ガラス板の反応によって生じ前記ガラス板に付着した化学反応物を前記エッチングの途中で除去する付着物除去ステップを含むことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項記載のガラス板切断方法。   The said cutting | disconnection step includes the deposit | attachment removal step which removes the chemical reaction material which arises by reaction of the said etching liquid and the said glass plate, and adhered to the said glass plate in the middle of the said etching. The glass plate cutting method according to any one of the preceding claims. 前記切断ステップにおいて、前記ガラス板の切断したい部分を前記エッチング液に接触させる時間を変化させることによって、前記ガラス板の切断断面の形状を調整することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項記載のガラス板切断方法。   The cutting step includes adjusting a shape of a cut cross section of the glass plate by changing a time for which a portion of the glass plate to be cut is brought into contact with the etching solution. The glass plate cutting method according to claim 1. 所定の大きさに切断されたガラス板製品を製造するガラス板製品の製造方法であって、
切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、前記ガラス板を保持するガラス板保持部を、前記ガラス板に取り付けるガラス板保持部取り付けステップと、
前記ガラス板保持部取り付けステップによって前記ガラス板保持部が取り付けられた前記ガラス板を、エッチング液を用いたエッチングによって切断し、所定の大きさに切断されたガラス板製品を取得する切断ステップとを含むガラス板製品の製造方法。
A glass plate product manufacturing method for manufacturing a glass plate product cut into a predetermined size,
In order to prevent the glass plate from falling or colliding due to cutting, a glass plate holding portion for attaching the glass plate holding portion for holding the glass plate to the glass plate, and
Cutting the glass plate to which the glass plate holding part is attached by the glass plate holding part attaching step by etching using an etchant to obtain a glass plate product cut to a predetermined size; A method for producing a glass plate product.
前記ガラス板保持部取り付けステップの前に、前記ガラス板の表面に前記エッチング液に対するマスキング層を積層するマスキング層積層ステップを含み、
前記切断ステップにおいて、前記ガラス板保持部に取り付けられた前記ガラス板を前記エッチング液に浸漬させて、前記エッチング液中において前記ガラス板を切断することを特徴とする請求項8記載のガラス板製品の製造方法。
Before the glass plate holding part mounting step, including a masking layer lamination step of laminating a masking layer for the etching solution on the surface of the glass plate,
The glass plate product according to claim 8, wherein, in the cutting step, the glass plate attached to the glass plate holding part is immersed in the etching solution, and the glass plate is cut in the etching solution. Manufacturing method.
切断によってガラス板が落下又は衝突することを防止するために、前記ガラス板を保持するガラス板保持部と、
前記ガラス板をエッチングによって切断するために、エッチング液を入れたエッチング液槽とを備えるガラス板切断装置。
In order to prevent the glass plate from dropping or colliding due to cutting, a glass plate holding part for holding the glass plate,
In order to cut | disconnect the said glass plate by an etching, the glass plate cutting device provided with the etching liquid tank which put the etching liquid.
前記ガラス板保持部を取り付けた少なくとも1枚の前記ガラス板を前記エッチング液槽内において支持するエッチング液槽内支持部とをさらに備えることを特徴とする請求項10記載のガラス板切断装置。   The glass plate cutting device according to claim 10, further comprising an etching solution tank support portion that supports at least one of the glass plates to which the glass plate holding portion is attached in the etching solution tank.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2016028002A (en) * 2014-07-11 2016-02-25 東京応化工業株式会社 Method for processing glass, glass etching solution, and glass substrate
JP2016208057A (en) * 2014-05-02 2016-12-08 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. Printed circuit board, printed circuit board strip and manufacturing method therefor
CN110615617A (en) * 2019-11-14 2019-12-27 广州连进玻璃科技有限公司 Glass surface sliding groove manufacturing equipment

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