JP2013227884A - 変位機構 - Google Patents

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Hiroyuki Takizawa
宏行 瀧澤
Tetsuyuki Sakamoto
哲幸 坂本
Yasuaki Kasai
靖明 葛西
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Abstract

【課題】形状記憶合金ワイヤの少ない変位を活用して大きな湾曲角度を得ることのできる変位機構を提供する。
【解決手段】固定部を有する第1の管と、ガイド部を有する第2の管と、第1の管と第2の管を連結する連結部と、固定部に固着されるとともにガイド部によって保持された形状記憶部材と、形状記憶部材に設けられ形状記憶部材を固定するストッパと、を有し、第1の管及び第2の管は、形状記憶部材の収縮により連結部を中心に回動し、連結部は、回動の範囲が拡大するように第1の管及び第2の管に対して所定位置に配置される。
【選択図】図1

Description

本発明は、変位機構に関するものである。
従来の変位機構として、特許文献1及び特許文献2には、複数の管状体を回動自在に連結し、形状記憶合金に通電加熱することにより、連結された管状体を湾曲させる湾曲装置が開示されている。
また、特許文献3には、複数の関節駒からなる管状体において、関節駒を互いに回動自在に連結する回動軸が管状体の中心軸上から径方向に交互にずらして配置されている湾曲構造が開示されている。
特公昭63−62213号公報 特公平6−75565号公報 特開平5−184525号公報
しかしながら、特許文献1、2記載の湾曲装置では、形状記憶合金の収縮変位量が少なく湾曲角度が十分にとれないという問題点がある。
また、特許文献3記載の湾曲構造では、連結部としての回動軸を径方向にずらしてはいるものの、形状記憶合金ワイヤとの位置関係が具体的に記載されておらず、関節駒の湾曲角度が十分にとれないおそれがある。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、形状記憶合金ワイヤの少ない変位を活用して大きな湾曲角度を得ることのできる変位機構を提供することを目的としている。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る変位機構は、固定部を有する第1の管と、ガイド部を有する第2の管と、第1の管と第2の管を連結する連結部と、固定部に固着されるとともにガイド部によって保持された形状記憶部材と、形状記憶部材に設けられ形状記憶部材を固定するストッパと、を有し、第1の管及び第2の管は、形状記憶部材の収縮により連結部を中心に回動し、連結部は、回動の範囲が拡大するように第1の管及び第2の管に対して所定位置に配置されることを特徴としている。
本発明に係る変位機構において、所定位置は、第1の管及び第2の管のそれぞれについて、連結部とガイド部の中心との間の径方向の距離D1と、ガイド部の中心から、管の外周面のうちガイド部から最も遠い位置までの距離D0と、が次式(1)を満足する位置であることが好ましい。
D0−D1>D1 (1)
本発明に係る変位機構において、第1の管と、複数の第2の管と、が連結されていることが好ましい。
本発明に係る変位機構は、形状記憶合金ワイヤの少ない変位を活用して大きな湾曲角度を得ることができるという効果を奏する。
また、形状記憶部材に設けたストッパを固定する部材を別途設けることなく、ストッパの動きを規制することができる。これにより、簡単な構成で、変位を拡大するための変位拡大機構を実現することができる。
本発明の実施形態の基本構成における変位機構の構成を示す側面図である。 図1の変位機構において、2本のSMAワイヤに通電していない状態を示す側面図である。 図2の変位機構において、第1SMAワイヤのみに通電し、第1SMAワイヤが収縮し始めた状態を示す側面図である。 図3の変位機構において、通電により第1SMAワイヤがさらに収縮し、連結部を中心にして第1の管、第2の管、及び第3の管がそれぞれ回動した状態を示す側面図である。 本発明の実施形態に係る変位機構の構成を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る変位機構の一部の構成を示す分解斜視図である。 本発明の実施形態に係る変位機構の構成を示す側面図である。 本発明の実施形態に係る変位機構の構成を示す正面図である。 本発明の実施形態に係る変位機構の構成を示す背面図である。 本発明の実施形態に係る変位機構の構成を示す下面図である。
以下に、本発明に係る変位機構の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
以下の実施形態に係る変位機構は、連結部を中心に回動することによって、第1の管、第2の管、及び第3の管がそれぞれ変位する。別言すると、本実施形態の変位機構における変位は、少なくとも第1の管、第2の管、及び第3の管が連結部の周りを回動する動きを含む。
(基本構成)
まず、図1〜図4を参照しつつ、本実施形態の基本構成について説明する。図1は、本発明の実施形態の基本構成における変位機構の構成を示す側面図である。図2は、図1の変位機構において、2本のSMAワイヤ51、61に通電していない状態を示す側面図である。図3は、図2の変位機構において、2本のSMAワイヤ51、61のうち、第1SMAワイヤ51のみに通電し、所定温度以上に加熱された第1SMAワイヤ51が収縮し始めた状態を示す側面図である。図4は、図3の変位機構において、通電により第1SMAワイヤ51がさらに収縮し、連結部としての連結ピン41、42を中心にして第1の管10、第2の管20、及び第3の管30がそれぞれ回動した状態を示す側面図である。
図1〜図4では、第1の管10、第2の管20、及び第3の管30を1つずつ連結しているが、これらを複数連結してもよい。また、第3の管30を用いずに、第1の管10と第2の管20を1つずつ、又は複数連結しても良い。
図1に示す変位機構は、略円筒状の第1の管10と、略円筒状の第2の管20と、略円筒状の第3の管30と、形状記憶部材としての2本のSMAワイヤ51、61と、SMAワイヤ51、61がそれぞれ挿通される2本のチューブ52、62と、を備える。
第1の管10は、2つの固定部11、13と、2つのガイド部12、14と、第2の管20側へ延びる腕部15と、を備える。
第2の管20は、4つのガイド部21、22、23、24と、第3の管30側へ延びる第1腕部25と、第1の管10側へ延びる第2腕部26と、を備える。
第3の管30は、4つのガイド部31、32、33、34と、第2の管20側へ延びる腕部36と、を備える。
第1の管10、第2の管20、第3の管30は、この順序で配置される。第3の管30において、第2の管20とは反対側に、チューブ52、62の一端が固定され、チューブ52、62は第3の管30から離れる方向に延びるように配置される。
なお、第1の管10、第2の管20、及び第3の管30は、ある直線に沿って延びる中空形状であれば、円筒以外の形状であってもよい。
SMAワイヤ51は、一端が固定部11に固着されるとともに、ガイド部12、21、22、31、32によって順に保持され、さらにチューブ52内に挿通され、他端が外部へ延出する。チューブ52から外部へ延出した端部には球状のストッパ53が設けられている。このストッパ53は、チューブ52の内径よりも大きな外径を有しており、SMAワイヤ51が収縮したときにチューブ52内に入ることはなく、チューブ52の端部に当接して留まる。
ガイド部12、21、22、31、32は、SMAワイヤ51の伸縮の動きを妨げずに保持する。
SMAワイヤ61は、一端が固定部13に固着されるとともに、ガイド部14、23、24、33、34によって順に保持され、さらにチューブ62内に挿通され、他端が外部へ延出する。チューブ62から外部へ延出した端部には球状のストッパ63が設けられている。このストッパ63は、チューブ62の内径よりも大きな外径を有しており、SMAワイヤ61が収縮したときにチューブ62内に入ることはなく、チューブ62の端部に当接して留まる。
ガイド部14、23、24、33、34は、SMAワイヤ61の伸縮の動きを妨げずに保持する。
SMAワイヤ51、61は、第1の管10、第2の管20、及び第3の管30が連結された状態で、中心軸AXに沿うように配置される。
ストッパ53、63は、SMAワイヤ51、61の収縮時にチューブ52、62内に入り込まなければ、球以外の形状であってもよい。
第1の管10と第2の管20は、第1の管10の腕部15及び第2の管20の第2腕部26に連結ピン41を貫通させることにより、連結ピン41を介して互いに連結される。これにより、第1の管10と第2の管20は連結ピン41を中心にしてそれぞれ回動可能となる。ここで、第1の管10と第2の管20は、所望の角度、例えば90度、まで互いに接触しないで回動可能な間隔で連結される。この間隔は、第1の管10の腕部15と第2の管20の第2腕部26の長さ、及び、腕部15、第2腕部26において連結ピン41を貫通させる連結孔の位置によって任意に定めることができる。
第2の管20と第3の管30は、第2の管20の第1腕部25及び第3の管30の腕部36に連結ピン42を貫通させることにより、連結ピン42を介して互いに連結される。これにより、第2の管20と第3の管30は連結ピン42を中心にしてそれぞれ回動可能となる。ここで、第2の管20と第3の管30は、所望の角度、例えば90度、まで互いに接触しないで回動可能な間隔で連結される。この間隔は、第2の管20の第1腕部25と第3の管30の第2腕部36の長さ、及び、第1腕部25、36において連結ピン42を貫通させる連結孔の位置によって任意に定めることができる。
SMAワイヤ51、61として、通電により所定温度以上に加熱することにより収縮する形状記憶合金を用いた場合、所定温度以上に加熱されたSMAワイヤは収縮し、これにともなって第1の管10と第2の管20が連結ピン41を中心として回動し、第2の管20と第3の管30が連結ピン42を中心として回動するため、変位機構は全体として湾曲する。
図1〜図4に示す変位機構においては、図1に示すように、第1の管10、第2の管20、及び第3の管30のいずれについても、径方向Rにおける、連結ピンとガイド部の中心との間の距離D1と、ガイド部の中心から、それぞれの管の外周面のうちガイド部から最も遠い位置までの距離D0と、が次式(1)を満足していることが好ましい。
D0−D1>D1 (1)
この式(1)を満足することにより、SMAワイヤ51、61のわずかな収縮によって、第1の管10を連結ピン41の周りに大きく湾曲させ、第2の管20を連結ピン42の周りに大きく湾曲させることが可能となる。別言すると、連結部としての連結ピンは、第1の管10、第2の管20、及び第3の管30に対して所定位置に配置されており、これにより形状記憶部材としてのSMAワイヤ51、61の変位を拡大することができる。
ここで、図1において、D2は、D0からD1を減じた距離であり、連結ピンから、第1の管10、第2の管20、第3の管30の対応する外周面のうちガイド部から最も遠い位置までの距離である。
次に、変位機構の動作例について図2〜図4を参照しつつ説明する。
2本のSMAワイヤ51、61のいずれにも通電していない状態(図2)から、SMAワイヤ51のみに通電して所定温度以上に加熱するとSMAワイヤ51は収縮し始める。SMAワイヤ51は、一端が固定部11に固定されているため、収縮によってストッパ53がチューブ52側へ移動し、ストッパ53がチューブ52の端部に当接した状態に至る(図3)。この状態からさらにSMAワイヤ51が収縮すると、ストッパ53はチューブ52の端部に留まり、SMAワイヤ51は、上方向(SMAワイヤ61から遠ざかる方向(図4の上方向))に湾曲する。この湾曲にともなって、一端が固定部13に固定されたSMAワイヤ61は、ストッパ63がチューブ62の端部に当接するまで移動し、SMAワイヤ51と同じ方向に湾曲する。このように、SMAワイヤ51を通電加熱することにより、第1の管10、第2の管20、及び第3の管30に対して連結ピン41、42を上述のように配置しているため、SMAワイヤ51の収縮から大きな湾曲変位を得ることができる。
(具体的構成)
次に、図5〜図10を参照しつつ、本実施形態に係る変位機構100の具体的な構成について説明する。
ここで、図5は、本実施形態に係る変位機構の構成を示す斜視図である。図6は、本実施形態における変位機構の一部の構成を示す分解斜視図である。図7〜図10は、本実施形態に係る変位機構の構成を示す図であって、図7は側面図、図8は正面図、図9は背面図、図10は下面図である。
変位機構100は、第1の管110と、第2の管120と、第3の管130と、第4の管140と、形状記憶部材としての2本のSMAワイヤ151、161と、第1の管110、第2の管120、第3の管130、及び第4の管140を順に連結する長板状の複数の連結部材と、チューブ152、162と、を備える。
本実施形態においては、第1の管110、第2の管120、及び第3の管130を1つずつ連結しているが、これらを複数連結してもよい。また、第3の管130を用いずに、第1の管110と第2の管120を1つずつ、又は複数連結しても良い。さらにまた、第4の管140を設けずに、第3の管にチューブ152、162を固定しても良い。
第1の管110は、略円筒形状を有し、その外周面110aの上部に着脱可能な固定部111及びガイド部112を備え、外周面110aの下部に着脱可能な固定部113及びガイド部114を備える。
固定部111は、固定部111を貫通した2本のネジを第1の管110の周壁110bに設けた2つの孔にそれぞれ螺合することによって固定される。
固定部113は、固定部113を貫通した2本のネジを第1の管110の周壁110bに設けた2つの孔にそれぞれ螺合することによって固定される。
ガイド部112は、固定部111よりも第2の管120側に配置され、ガイド部112を貫通した2本のネジを第1の管110の周壁110bに設けた2つの孔にそれぞれ螺合することによって固定される。
ガイド部114は、固定部113よりも第2の管120側に配置され、ガイド部114を貫通した2本のネジを第1の管110の周壁110bに設けた2つの孔にそれぞれ螺合することによって固定される。
第2の管120は、略円筒形状を有し、その外周面120aの上部に着脱可能なガイド部121、122を備え、外周面120aの下部に着脱可能なガイド部123、124を備える。
ガイド部121は、ガイド部121を貫通した2本のネジを第2の管120の周壁120bに設けた2つの孔にそれぞれ螺合することによって固定される。
ガイド部122は、ガイド部121よりも第3の管130側に配置され、ガイド部122を貫通した2本のネジを第2の管120の周壁120bに設けた2つの孔にそれぞれ螺合することによって固定される。
ガイド部123は、ガイド部123を貫通した2本のネジを第2の管120の周壁120bに設けた2つの孔にそれぞれ螺合することによって固定される。
ガイド部124は、ガイド部123よりも第3の管130側に配置され、ガイド部124を貫通した2本のネジを第2の管120の周壁120bに設けた2つの孔にそれぞれ螺合することによって固定される。
第3の管130は、略円筒形状を有し、その外周面130aの上部に着脱可能なガイド部131、132を備え、外周面130aの下部に着脱可能なガイド部133、134を備える。第3の管130に対する、ガイド部131、132、133、134の固定方法及び固定位置については、上述した、第2の管120に対する、ガイド部121、122、123、124の固定と同様である。
第1の管110のガイド部112、第2の管120のガイド部121、122、並びに、第3の管130のガイド部131、132は、下面の中央部に溝をそれぞれ備える。これらの溝は、それぞれのガイド部を対象の管に固定した状態において中心軸AXに沿うように、それぞれ形成されている。
また、第1の管110のガイド部114、第2の管120のガイド部123、124、並びに、第3の管130のガイド部133、134は、上面の中央部に溝をそれぞれ備える。これらの溝は、それぞれのガイド部を対象の管に固定した状態において中心軸AXに沿うように、それぞれ形成されている。
第4の管140は、第3の管130と連結される第1板部141と、チューブ152及びチューブ162の端部が固定された第2板部142と、を備える。第1板部141には、SMAワイヤ151及びSMAワイヤ161をそれぞれ挿通可能な2つのガイド孔が設けられている。第2板部142には、第1板部141の2つのガイド孔に対応する位置に設けられ、SMAワイヤ151及びSMAワイヤ161をそれぞれ挿通可能な2つのガイド孔が設けられている。
第1の管110、第2の管120、第3の管130、及び第4の管140は、この順序で配置される。
また、第1の管110、第2の管120、及び第3の管130は、中心軸AX(図6)に沿って延びる中空形状であれば、円筒以外の形状であってもよい。
チューブ152は、その内部がガイド孔に連なるように第2板部142に固定され、チューブ162は、その内部がガイド孔に連なるように第2板部142に固定されている。
チューブ152、162は、第4の管140から離れる方向に延びるように配置され、第4の管140から遠い側の端部は円板状部材145にそれぞれ固定される。円板状部材145には、チューブ152、162の内部にそれぞれ連なって厚み方向に貫通する2つのガイド孔が設けられている。
SMAワイヤ151は、一端が固定部111と第1の管110の間で固着されるとともに、ガイド部112、121、122、131、132によって順に保持され、さらにチューブ152内に挿通され、他端が円板状部材145から外部へ延出する。ガイド部112、121、122、131、132、及びチューブ152は、SMAワイヤ151の伸縮の動きを妨げずに保持する。
円板状部材145から外部へ延出したSMAワイヤ151の端部には球状のストッパ153が設けられている。このストッパ153は、円板状部材145のガイド孔及びチューブ152の内径よりも大きな外径を有しており、SMAワイヤ151が収縮したときに円板状部材145及びチューブ152内に入ることはなく、円板状部材145に当接して留まる。
SMAワイヤ161は、一端が固定部113と第1の管110の間で固着されるとともに、ガイド部114、123、124、133、134によって順に保持され、さらにチューブ162内に挿通され、他端が円板状部材145から外部へ延出する。ガイド部114、123、124、133、134、及びチューブ162は、SMAワイヤ161の伸縮の動きを妨げずに保持する。
円板状部材145から外部へ延出したSMAワイヤ161の端部には球状のストッパ163が設けられている。このストッパ163は、円板状部材145のガイド孔及びチューブ162の内径よりも大きな外径を有しており、SMAワイヤ161が収縮したときに円板状部材145及びチューブ162内に入ることはなく、円板状部材145に当接して留まる。
また、SMAワイヤ151、161は、第1の管110、第2の管120、第3の管130、及び第4の管140が連結された状態で、これらに共通の中心軸AXに沿うように配置される。
第1の管110と第2の管120は、連結部材170とこれに対向配置される連結部材175によって連結され、第2の管120と第3の管130は、連結部材180とこれに対向配置される連結部材185によって連結されている。これらと同様に、第3の管130と第4の管140は、連結部材190とこれに対向配置される連結部材195によって連結されている。
連結部材170と連結部材175は、同一の長板状の形状を備え、第1の管110、第2の管120、及び第3の管130の中心軸AXに関して略対称に配置される。
連結部材170は、その厚み方向に貫通する2つの孔部を備える。連結部としての連結ピン173、174は、これらの孔部を介して、第1の管110の周壁110bに設けた連結孔、及び、第2の管120の周壁120bに設けた連結孔にそれぞれ結合される。
連結部材175は、その厚み方向に貫通する2つの孔部を備える。連結部としての連結ピン178、179は、これらの孔部を介して、第1の管110の周壁110bに設けた連結孔、及び、第2の管120の周壁120bに設けた連結孔にそれぞれ結合される。
連結部材180と連結部材185は、同一の長板状の形状を備え、中心軸AXに関して略対称に配置される。
連結部材180は、その厚み方向に貫通する2つの孔部を備える。連結部としての連結ピン183、184は、これらの孔部を介して、第2の管120の周壁120bに設けた連結孔、及び、第3の管130の周壁130bに設けた連結孔にそれぞれ結合される。
連結部材185は、その厚み方向に貫通する2つの孔部を備える。連結部としての連結ピン188、189は、これらの孔部を介して、第2の管120の周壁120bに設けた連結孔、及び、第3の管130の周壁130bに設けた連結孔にそれぞれ結合される。
連結部材190と連結部材195は、同一の長板状の形状を備え、中心軸AXに関して略対称に配置される。
連結部材190は、その厚み方向に貫通する2つの孔部を備える。連結部としての連結ピン193、194は、これらの孔部を介して、第3の管130の周壁に設けた連結孔、及び、第4の管140の第1板部141の周壁に設けた連結孔にそれぞれ結合される。
連結部材195は、その厚み方向に貫通する2つの孔部を備える。連結部としての連結ピン198、199は、これらの孔部を介して、第3の管130の周壁130bに設けた連結孔、及び、第4の管140の第2板部142の周壁に設けた連結孔にそれぞれ結合される。
このような構成により、第1の管110は連結ピン173、178を中心にして回動可能であり、第2の管120は、連結ピン174、179、及び連結ピン183、188を中心にして回動可能となる。第3の管130は、連結ピン184、189、及び連結ピン193、198を中心にして回動可能となる。
図5〜図10に示す変位機構においては、図7に示すように、第1の管110、第2の管120、及び第3の管130のいずれについても、径方向Rにおける、連結ピンとガイド部の中心との間の距離D1と、ガイド部の中心から、それぞれの管の外周面のうちガイド部から最も遠い位置までの距離D0と、が次式(1)を満足していることが好ましい。
D0−D1>D1 (1)
この式(1)を満足することにより、SMAワイヤ151、161のわずかな収縮によって、第1の管110を連結ピン173、178の周りに大きく湾曲させ、第2の管120を連結ピン174、179、183、188の周りに大きく湾曲させ、第3の管130を連結ピン184、189、193、198の周りに大きく湾曲させることが可能となる。別言すると、連結部としての連結ピンは、第1の管110、第2の管120、及び第3の管130に対して所定位置に配置されており、これにより形状記憶部材としてのSMAワイヤ151、161の変位を拡大することができる。
ここで、図7において、D2は、D0からD1を減じた距離であり、連結ピンから、第1の管110、第2の管120、第3の管130の対応する外周面のうちガイド部から最も遠い位置までの距離である。
次に、変位機構の動作例について説明する。動作原理は、図2〜図4に示す基本構成の動作例と同様であるため図示は省略する。
2本のSMAワイヤ151、161のいずれにも通電していない状態から、SMAワイヤ151のみに通電して所定温度以上に加熱するとSMAワイヤ151は収縮し始める。SMAワイヤ151は、一端が固定部111に固定されているため、収縮によってストッパ153がチューブ152側へ移動し、ストッパ153が円板状部材145に当接した状態に至る。この状態からさらにSMAワイヤ151が収縮すると、ストッパ153は円板状部材145に当接した状態で留まり、SMAワイヤ151は、上方向(SMAワイヤ161から遠ざかる方向(図7の上方向))に湾曲する。この湾曲にともなって、一端が固定部113に固定されたSMAワイヤ161は、ストッパ163が円板状部材145に当接するまで移動し、SMAワイヤ151と同じ方向に湾曲する。このように、SMAワイヤ151を通電加熱することにより、第1の管110、第2の管120、第3の管130、及び第4の管140に対してそれぞれの連結部材及び連結ピンを上述のように配置しているため、SMAワイヤ151の収縮から大きな湾曲変位を得ることができる。
以上のように、本発明に係る変位機構は、小型の管状体を複数連結した構造の湾曲に有用である。
10 第1の管
11 固定部
12 ガイド部
13 固定部
14 ガイド部
15 腕部
20 第2の管
21、22、23、24 ガイド部
25 腕部
26 第2腕部
30 第3の管
31、32、33、34 ガイド部
36 腕部
41、42 連結ピン
51 SMAワイヤ
52 チューブ
53 ストッパ
61 SMAワイヤ
62 チューブ
63 ストッパ
100 変位機構
110 第1の管
111 固定部
112 ガイド部
113 固定部
114 ガイド部
120 第2の管
121 ガイド部
122 ガイド部
123 ガイド部
124 ガイド部
130 第3の管
131 ガイド部
132 ガイド部
133 ガイド部
134 ガイド部
140 第4の管
141 第1板部
142 第2板部
145 円板状部材
151 SMAワイヤ
152 チューブ
153 ストッパ
161 SMAワイヤ
162 チューブ
163 ストッパ
170 連結部材
173、174 連結ピン
175 連結部材
178、179 連結ピン
180 連結部材
183、184 連結ピン
185 連結部材
188、189 連結ピン
190 連結部材
193、194 連結ピン
195 連結部材
198、199 連結ピン
AX 中心軸

Claims (3)

  1. 固定部を有する第1の管と、
    ガイド部を有する第2の管と、
    前記第1の管と前記第2の管を連結する連結部と、
    前記固定部に固着されるとともに前記ガイド部によって保持された形状記憶部材と、
    前記形状記憶部材に設けられ前記形状記憶部材を固定するストッパと、を有し、
    前記第1の管及び前記第2の管は、前記形状記憶部材の収縮により前記連結部を中心に回動し、
    前記連結部は、前記回動の範囲が拡大するように前記第1の管及び前記第2の管に対して所定位置に配置されることを特徴とする変位機構。
  2. 前記所定位置は、
    前記第1の管及び前記第2の管のそれぞれについて、前記連結部と前記ガイド部の中心との間の径方向の距離D1と、前記ガイド部の中心から、管の外周面のうち前記ガイド部から最も遠い位置までの距離D0と、が次式(1)を満足する位置であることを特徴とする請求項1に記載の変位機構。
    D0−D1>D1 (1)
  3. 前記第1の管と、複数の前記第2の管と、が連結されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の変位機構。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020063682A (ja) * 2018-10-15 2020-04-23 株式会社青電舎 アクチュエータおよびアクチュエータ駆動回路

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