JP2013222727A - 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ツインステージ型の露光装置によって露光された基板の品質のばらつきを低減する。
【解決手段】 ツインステージ型の露光装置に搬入された基板は、計測ステーションで基板ステージにロードされ、露光処理がなされた基板は、計測ステーションで基板ステージからアンロードされて露光装置から搬出される。後の基板に対する計測処理の終了時刻が目標時刻よりも遅いと判定される場合には、露光装置は、先の基板に対する露光処理を行った後、後の基板に対する計測処理を終了することなく基板ステージの入れ替えと先の基板のアンロードとを順次行い、その後に後の基板に対して計測ステーションで行うべき処理のうちの少なくとも一部の処理を行う。
【選択図】 図6
【解決手段】 ツインステージ型の露光装置に搬入された基板は、計測ステーションで基板ステージにロードされ、露光処理がなされた基板は、計測ステーションで基板ステージからアンロードされて露光装置から搬出される。後の基板に対する計測処理の終了時刻が目標時刻よりも遅いと判定される場合には、露光装置は、先の基板に対する露光処理を行った後、後の基板に対する計測処理を終了することなく基板ステージの入れ替えと先の基板のアンロードとを順次行い、その後に後の基板に対して計測ステーションで行うべき処理のうちの少なくとも一部の処理を行う。
【選択図】 図6
Description
本発明は、半導体デバイス製造におけるリソグラフィ工程で用いられる露光装置、露光方法及びデバイス製造方法に関する。
LSI又は超LSI等の極微細パターンで構成される半導体デバイスの製造工程において、マスクに形成されたパターンを感光剤が塗布された基板上に投影して転写する露光装置が使用されている。このような露光装置においては、一定時間内にどれだけの枚数の基板を露光処理できるかという処理能力、すなわちスループットの向上が重要な事項の1つであり、スループットを向上すべく、種々の技術が提案されている。例えば、特許文献1や特許文献2では、ツインステージ型の露光装置により、スループットを飛躍的に向上させる方法が提案されている。
ツインステージ型の露光装置は、基板を保持する基板ステージを2台備え、一方の基板ステージに搭載された基板に対して、露光ステーション上で露光処理を行う。ツインステージ型の露光装置は、露光処理と並行して、他方の基板ステージ側に搭載された基板に対して計測ステーションで基板のアンロード、新たな基板のロード及び新たな基板に対する計測処理を行う。そして、両方の基板ステージにおける露光処理及び計測処理がそれぞれ完了すると、2つの基板ステージの交換作業であるステージのスワップを実行する。スワップにより、計測ステーションで計測された基板を搭載した基板ステージが、露光ステーションに移動される。それと同時に、露光ステーションで露光された基板を搭載した基板ステージが、計測ステーションに移動される。
露光装置は、露光ステーションに移動された基板ステージに搭載された基板に対して露光処理を行う。一方、露光装置は、計測ステーションに戻った基板ステージから露光処理が完了した基板をアンロードする。基板のアンロードが完了すると、新たな基板が基板ステージ上にロードされる。基板のロードが完了すると、基板の計測処理が実施される。この一連の動作の繰り返しで複数の基板が処理される。基板の計測処理は、基板上のアライメントマークを検出することによるアライメント計測処理及び基板表面の基板の形状の計測を行う処理である。さらに、露光処理は、基板の計測処理によって得られた情報に基づいて基板を位置決めしながら前記基板に露光を行う処理である。露光装置は、通常、塗布現像装置と接続されて使用される。塗布現像装置で感光剤が塗布された基板は、塗布現像装置から露光装置に受け渡される。露光装置は、受け渡された基板に対して露光を実行する。露光された基板は、露光装置から塗布現像装置に受け渡され、塗布現像装置は基板のベーキング及び現像処理を行う。
ツインステージ型の露光装置は、塗布現像装置との接続の関係上、塗布現像装置から受け取った基板の基板ステージへの搭載や、露光済みの基板を塗布現像装置に受け渡すための基板ステージからの取り外しを、計測ステーションで行う。一方、露光処理は露光ステーションで行われるため、露光が完了した基板は、一旦スワップにより、計測ステーションに移動された後、アンロードされ、塗布現像装置に受け渡される。
近年、基板上に塗布されるフォトレジストとして、化学増幅型レジストが用いられている。化学増幅型レジストが塗布された基板では、大気雰囲気内で露光が行われた時から化学増幅型レジストの化学反応が始まり、基板が塗布現像装置に搬送されてベーキング及び現像処理が開始されるまで、化学増幅型レジストの化学反応は進行する。そのため、基板の露光工程が完了してから、該基板のベーキング及び現像処理が開始されるまでの搬送時間の変動、すなわちポストエクスポージャの遅延が、そのまま化学増幅レジストの化学反応時間のばらつきとなる。化学増幅レジストの化学反応時間のばらつきは、基板上の臨界寸法(CD)の均一性が変動することになるため、基板の品質にばらつきが生じることにつながる。
ツインステージ型の露光装置では、露光ステーションでの露光処理と並行して実施されている計測ステーション上での計測処理の状況によっては、基板の露光完了からスワップまでの待ち時間がばらついて、ポストエクスポージャが遅延することがある。例えば、塗布現像装置から基板の受け渡しが遅れたことにより、基板のロードに予定外の時間が発生すると、露光ステーション上で露光処理が完了しても、計測ステーション上の処理が完了するまで、スワップが実行できないため、待ち状態となる。
また、計測処理では、所定の基板の集合(ロット)における特定の基板に対して、より詳細な計測を行うことがある。例えば、特許第3002351号公報で開示されているように、アライメント計測処理において、ロット内の特定の基板に対して全ショットのアライメントマークを計測し、その他の基板に対してはサンプルショットのみのアライメントマークを計測することがある。この場合、同一ロット内の基板でも計測ステーション上での計測処理にかかる時間にばらつきが発生する。一方、露光ステーション上での露光処理にかかる時間は、同一ロット内であればほぼ一定である。そのため、基板の露光処理が完了しても、計測ステーション上の計測処理が完了するまで、待ち状態になることがある。この待ち状態の期間(待ち時間)は、そのまま、ポストエクスポージャの遅延につながる。待ち時間にばらつきがあると、基板上の臨界寸法(CD)の均一性が変動することになるため、基板の品質にばらつきが生じることにつながる。
そこで、本発明は、ツインステージ型の露光装置によって露光された基板の品質のばらつきを低減することを目的とする。
本発明は、計測ステーションと、露光ステーションと、前記計測ステーション及び前記露光ステーションにわたる入れ替えが可能な複数の基板ステージと、制御部と、を備え、前記露光ステーションにおける先の基板の露光処理と前記計測ステーションにおける後の基板の計測処理とを並行して行うことが可能な露光装置であって、前記露光装置に搬入された基板は、前記計測ステーションで基板ステージにロードされ、かつ、前記露光処理がなされた基板は、前記計測ステーションで基板ステージからアンロードされて前記露光装置から搬出され、前記制御部は、前記後の基板に対する前記計測処理の終了時刻が目標時刻よりも遅いと判定する場合には、前記先の基板に対する前記露光処理を行った後、前記後の基板に対する前記計測処理を終了することなく前記基板ステージの入れ替えと前記先の基板のアンロードとを順次行い、その後に前記後の基板に対して前記計測ステーションで行うべき処理のうちの少なくとも一部の処理を行うように、前記計測処理、前記露光処理及び前記複数の基板ステージの駆動を制御することを特徴とする。
本発明によれば、ツインステージ型の露光装置によって露光された基板の品質のばらつきを低減することができる。
以下に、本発明の好ましい実施形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。図1は、第1実施形態及び第2実施形態で用いられるツインステージ型の露光装置の概略構成を示す側面図である。露光装置100は、露光処理が実施される露光ステーションESTと計測処理が実施される計測ステーションMSTとを備える。露光ステーションESTは、照明系ILからの照明光をレチクル(原版)R上に形成されたパターンに照射して、投影光学系POを介して、基板W1又は基板W2に対して露光を行う。一方、計測ステーションMSTは、基板W1又は基板W2に対してアライメント用の計測やフォーカス、レベリング計測等の計測を行う。
露光ステーションESTは、光源を含む照明系IL、レチクルステージRST、レチクルステージRSTの下方に配置された投影光学系PO、前記投影光学系POの下方に配置された基板ステージWST1を備える。レチクルステージRSTは、レチクルRを保持して所定の走査方向に駆動する。基板ステージWST1は、基板W1を保持し独立して2次元移動可能である。計測ステーションMSTには、アライメント計測を行うアライメントスコープWASと、フォーカス計測を行うフォーカス・レベリングセンサFLSと、基板ステージWST2が備えられている。基板ステージWST2は、基板W2を保持し独立して2次元移動可能である。
露光装置100は、ステージ定盤SPを備え、基板ステージWST1及び基板ステージWST2は、例えばエアベアリングを介して、ステージ定盤SP上に浮上支持される。図1においては、基板ステージWST1が露光ステーションESTに、基板ステージWST2が計測ステーションMSTに位置している。しかし、基板ステージWST1及び基板ステージWST2は、互いに位置するステーションを入れ替えることが可能である。したがって、露光ステーションESTが基板ステージWST2を備え、計測ステーションMSTが基板ステージWST1を備えることも可能である。
照明系ILは、光源、照度を均一化する光学系、リレーレンズ、可変NDフィルタ、可変視野絞り、マスキングブレード(いずれも不図示)などを含む。照明系ILは、レチクルR上に、マスキングブレードで規定されたスリット上の照明領域部分に対してほぼ均一な照度で照明する。光源は、ArFエキシマレーザ光(波長193nm)などの紫外光などを射出する。
レチクルステージRSTは、レチクルRを保持するレチクルチャック(不図示)を有し、レチクルチャックによりレチクルRを真空吸着して保持する。レチクルステージRSTは、例えばリニアモータやボイスコイルモータを含むレチクル駆動系(不図示)により、6軸方向の微動駆動が可能である。レチクルステージRSTは、さらに、不図示のRS定盤上を走査方向であるY軸方向に所定ストローク範囲で指定された走査速度で駆動が可能である。レチクルステージRSTは、エアベアリングを介してRS定盤の上面の上方に浮上支持される。レチクルステージRSTは、レチクルステージRSTの位置を計測するために、レチクル干渉計IFRを備える。レチクル干渉計IFRからのレチクルステージRSTの位置情報又は速度情報は、図2に示されるステージ制御部2に送られる。ステージ制御部2は、主制御部1の指示に基づいて、レチクル駆動系を介してレチクルステージRSTの移動を制御する。
基板ステージWST1は、基板W1を保持する基板チャック(不図示)を有し、基板チャックで基板W1を真空吸着して保持する。同様に、基板ステージWST2は、基板W2を保持する基板チャック(不図示)を有し、基板チャックで基板W2を真空吸着して保持する。基板ステージWST1及び基板ステージWST2は、例えばリニアモータやボイスコイルモータを含むステージ駆動系(不図示)により、6軸方向の微動駆動が可能である。基板ステージWST1及び基板ステージWST2は、さらに、ステージ定盤SP上で、XY軸方向に所定ストローク範囲で指定された走査速度で駆動が可能である。
ステージ干渉計IFEは、基板ステージWST1の位置を計測する。基板ステージWST1の位置情報(又は速度情報)は、ステージ干渉計IFEからステージ制御部2に送られる。ステージ制御部2は、主制御部1の指示に基づいて、ステージ駆動系を介して基板ステージWST1の移動を制御する。ステージ干渉計IFMは、基板ステージWST2の位置を計測する。基板ステージWST2の位置情報(又は速度情報)は、ステージ干渉計IFMからステージ制御部2に送られる。ステージ制御部2は、主制御部1の指示に基づいて、ステージ駆動系を介して基板ステージWST2の移動を制御する。
基板ステージWST1の上面には、基準マーク板SRM1が基板W1とほぼ同じ高さになるように設置されている。基準マーク板SRM1の上面には、基準マーク(不図示)が形成されている。基板ステージWST2の上面にも、同様に基準マーク板SRM2が設置されている。基準マーク板SRM2の上面にも、同様に基準マーク(不図示)が形成されている。アライメントセンサWASは、基板ステージWST2上に保持された基板W2のアライメントマーク、及び、基準マーク板SRM2上に形成された基準マークの位置を計測する。また、フォーカス・レベリングセンサFLSは、基板ステージWST2上に保持された基板W2の表面形状を計測する。
不図示であるが、基板ステージWST1及び基板ステージWST2の内部には、それぞれ投影光学系POを介したレチクルRと基板ステージWST1及び基板ステージWST2との位置合わせを行うための空間像の計測器が設けられている。空間像の計測器は、例えば、レチクルRに形成されたスリット(不図示)を照明系ILから照明された照明光で照射する。空間像の計測器は、レチクルRに形成されたスリット、投影光学系PO、基準マーク板SRM1又は基準マーク板SRM2の上面に形成されたスリット板(不図示)を透過した照明光を光センサで受光する。光センサは、受光量に応じた光電変換信号を空間像の計測制御部(不図示)に送る。空間像の計測制御部は、受け取った光電変換信号から位置情報を計算し、主制御部1に送る。空間像の計測器の詳細は、特開2002−014005号公報等に開示されている。
図2は、第1実施形態及び第2実施形態で用いられるリソグラフィーシステムの概略構成を示す上面図である。図2に示すリソグラフィーシステム300は、図1に示すツインステージ型の露光装置100と、塗布現像装置200とを含む。露光装置100は、露光チャンバECを備える。露光装置100の本体部分は、露光チャンバEC内に配置される。露光チャンバEC内には、露光装置側の基板搬送ユニット(EXPO搬送ユニット)WF、送り込みハンドSH、受け取りハンドRH、ステージ定盤SP、主制御部1、ステージ制御部2、基板搬送制御部3が配置されている。主制御部1、ステージ制御部2、基板搬送制御部3は、計測処理、露光処理、基板ステージWST1,WST2の駆動を制御する制御部を構成している。
EXPO搬送ユニットWF、送り込みハンドSH、受け取りハンドRHは、ステージ定盤SPの計測ステーションMST側に配置されている。したがって、EXPO搬送ユニットWFと基板ステージWST1,WST2との基板の受け渡しは、送り込みハンドSH、受け取りハンドRHを介して、計測ステーションMST側のみで行うことができる。
塗布現像装置200は、塗布現像チャンバCCを備える。塗布現像装置200の本体部分は、塗布現像チャンバCC内に配置される。塗布現像チャンバCC内には、塗布現像装置側の基板搬送ユニット(CD搬送ユニット)TH、塗布現像装置制御部10が配置されている。塗布現像装置200と露光装置100の間での基板の受け渡しを行うために、搬入ステーションIN、搬出ステーションOUTが設けられている。搬入ステーションINは、塗布現像装置200でフォトレジストが塗布された基板を露光装置100に受け渡すためのバッファとして使用される。搬出ステーションOUTは、露光装置100により露光処理が行われた基板を塗布現像装置200に受け渡すためのバッファとして使用される。
EXPO搬送ユニットWFは、CD搬送ユニットTHが搬入ステーションINまで搬送した基板を受け取り、送り込みハンドSHに搬送する。EXPO搬送ユニットWFは、受け取りハンドRHで保持している基板を受け取り、搬出ステーションOUTまで搬送する。EXPO搬送ユニットWFは、内部に複数の搬送ユニットを有することができる。また、EXPO搬送ユニットWFは、内部にプリアライメントユニットを有し、基板の位置合わせを行ってから、送り込みハンドSHに搬送してもよい。送り込みハンドSHは、EXPO搬送ユニットWFから受け取った基板を、計測ステーションMST上の基板ステージにロードする。受け取りハンドRHは、露光処理が完了した基板を計測ステーションMST上の基板ステージからアンロードし、受け取りハンドRH内で保持する。EXPO搬送ユニットWF、送り込みハンドSH、受け取りハンドRHは、基板搬送制御部3により制御される。基板搬送制御部3は、主制御部1により制御される。CD搬送ユニットTHは、塗布現像装置制御部10により制御される。
次に、露光装置100が塗布現像装置200と連携して行う基本的な露光シーケンス処理について説明する。便宜上、初期状態として、計測ステーションMST上に基板ステージWST1が、露光ステーションEST上に基板ステージWST2が位置するとする。なお、ステーションと基板ステージとの関係は逆でもよい。露光ステーションEST及び計測ステーションMSTにおける基板の通常の処理について、併せて図3のタイムチャートを用いて説明する。まず、ホストコンピュータ20が、露光装置100内の主制御部1に対して、露光シーケンス処理を実行する指示を出す。これと共に、ホストコンピュータ20が、塗布現像装置200内の塗布現像装置制御部10に対して、塗布現像処理を実行する指示を出す。
主制御部1は、露光シーケンス処理の指示を受けると、必要な事前処理を行った後、塗布現像装置200から搬入ステーションINを経由して受け取るべき基板が到着するのを待つ。塗布現像制御部10は、塗布現像処理の指示を受けると、所定の基板の集合(ロット)に対して、各々の基板に対して、順次にフォトレジストを塗布し、搬入ステーションINを介して、塗布が完了した基板を露光装置100に受け渡す。なお、本説明では、所定の基板の集合が先の基板W1及び後の基板W2の2枚であるとして説明する。
搬入ステーションINに基板W1が到着すると、基板搬送制御部3は、送り込みハンドSHに基板が搭載されていないことを確認してから、EXPO搬送ユニットWFを介して搬入ステーションIN上の基板W1を送り込みハンドSHに搬送する。露光装置100が搬入ステーションINの基板を受け取ると、塗布現像制御部10は、次に露光予定の基板、すなわち基板W2を搬入ステーションINに搭載する。塗布現像装置200は、この作業を露光予定の基板が無くなるまで実行する。すなわち、基板W2までが搬入ステーションINに搭載されることになる。
送り込みハンドSHに基板W1が到着すると、主制御部1は、基板W1のロード303を実行する。すなわち、主制御部1は、基板搬送制御部3及びステージ制御部2を介して、送り込みハンドSH上にある基板W1を計測ステーションMST上にある基板ステージWST1にロードする。ロード303が完了すると、主制御部1は、基板ステージWST1の原点出し304を実行する。すなわち、主制御部1は、ステージ制御部2を介して、基準マーク板SRM1上の基準マークがアライメントセンサWASの直下に来るように基板ステージWST1を移動させ、アライメントセンサWASにより基準マークの位置を検出する。
原点出し304が完了すると、主制御部1は、基板W1のアライメント処理305を実行する。すなわち、主制御部1は、ステージ制御部2を介して、基板W1上の所定のサンプルショットのアライメントマークがアライメントセンサWASに来るように、基板ステージWST1を移動させ、アライメントセンサWASを用いてアライメントマークを計測する。主制御部1は、計測された複数のアライメントマークの検出結果と基準マークの位置の検出結果とに基づいて、基板W1の全ショット領域の位置を求める。
アライメント処理305が完了すると、主制御部1は、基板W1のフォーカス処理306を実行する。すなわち、主制御部1は、基板W1上の任意の位置にフォーカス・レベリングセンサFLSが来るように基板ステージWST1を移動させ、フォーカス・レベリングセンサFLSを用いて、基板W1の高さを計測(フォーカスマッピング)する。なお、フォーカスマッピングについては、特開2000−323404号公報等に詳細に開示されている。
フォーカス処理306が完了すると、基板W1に対する計測ステーションMST上での処理は全て完了する。これに伴い、主制御部1は、ステージ制御部2を介して、基板ステージWST1と基板ステージWST2とのステーション位置を入れ替えるスワップ301を実行する。基板W1の計測ステーションMST上での処理又はスワップの実行中に、主制御部1は、不図示のレチクル搬送系を経由して、レチクルRをレチクルステージRSTにロードする。
スワップ301が完了すると、主制御部1は、露光ステーションEST上に移動した基板W1に対する処理を開始する。それと並行して、主制御部1は、計測ステーションMST上では次の基板W2が送り込みハンドSHに到着しているかどうか確認する。確認の結果、次の基板W2が送り込みハンドSHに到着していると判断すると、主制御部1は、基板W2のロード303を開始する。基板W2の送り込みハンドSHまでの搬送は、基板W1の計測ステーションMST上での処理の間に、基板搬送制御部3が並行して実行する。そのため、通常、この時点では送り込みハンドSHに基板W2が到着している。したがって、すぐに基板W2のロードが可能である。基板W2のロードが完了すると、主制御部1は、基板ステージWST2の原点出し304、基板W2に対するアライメント処理305及びフォーカス処理306を順次行う。
露光ステーションEST上では、基板W1に対する処理の開始に伴い、主制御部1は、まず、基板ステージWST1の原点出し307を実行する。すなわち、主制御部1は、レチクルRに形成されたスリットを照明系ILから照明された照明光で照射し、投影光学系POを介して得られた基板ステージ側の空間像を検出して、レチクルRに対する基板ステージWST1の位置及び高さ情報を検出する。
基板ステージWST1の原点出し307が完了すると、主制御部1は、基板W1に対して露光処理308を実行する。主制御部1は、全ショット領域の位置及び高さの情報とレチクルRに対する基板ステージWST1の位置及び高さの情報とに基づいて、基板ステージWST1とレチクルステージRSTとを走査開始位置に位置決めして、第1ショット領域の走査露光を行う。第1ショット領域に対する走査露光が完了すると、主制御部1は、次に露光する第2ショット領域の走査開始位置へ基板ステージWST1をステップ移動させ、前記第2ショット領域に対する走査露光を上述と同様にして行う。以降、上述のショット間のステップ移動とショット領域に対する走査露光とが繰り返され、基板W1上の全ショット領域にレチクルRのパターンが転写される。露光処理308が完了すると、基板W1に対する露光処理は全て完了する。
基板W1に対する露光処理と並行して、計測ステーションMST上では基板W2に対する処理が行われる。基板W1に対する露光処理と、基板W2に対する計測ステーションMST上での処理とが共に完了すると、主制御部1は、ステージ制御部2を介して基板ステージWST1と基板ステージWST2のステーション位置を入れ替えるスワップ301を実行する。
スワップ301が完了すると、主制御部1は、露光ステーションEST上に移動した基板W2に対する処理を実行する。すなわち、主制御部1は、基板ステージWST2に対する原点出し307及び基板W2に対する露光処理308を順次行う。それと並行して、主制御部1は、基板W1を塗布現像装置200に受け渡すために基板W1のアンロード301を実行する。すなわち、主制御部1は、ステージ制御部2及び基板搬送制御部3を介して、計測ステーションMST上に位置する基板ステージWST1に搭載された基板W1をアンロードし、受け取りハンドRHに搬送する。アンロード301が完了すると、主制御部1は、次の基板が送り込みハンドSHに到着しているかどうか確認する。確認の結果、次の基板が無いと判断されると、主制御部1は、計測ステーションMST上での処理は行わない。
受け取りハンドRHに基板が到着すると、基板搬送制御部3は、搬出ステーションOUTに基板が搭載されていないことを確認してから、EXPO搬送ユニットWFを介して、受け取りハンドRH上の基板W1を搬出ステーションOUTに搬送する。搬出ステーションOUTに基板W1が到着すると、塗布現像制御部10は、搬出ステーションOUT上の基板W1を受け取った後、塗布現像装置200内で、基板W1に対するベーク処理、現像処理等を行う。
基板W1に対するベーク処理及び現像処理等が完了すると、塗布現像制御部10は、搬入ステーションINを経由して露光装置100に受け渡した基板の枚数と、搬出ステーションOUTを経由して露光装置100から受け取った基板の枚数を比較する。この時点では、露光装置100に受け渡した基板の枚数は基板W1及び基板W2の2枚であるが、露光装置100から受け取った基板の枚数は基板W1のみの1枚であるため、枚数の値は一致しない。値が一致しない場合には、塗布現像制御部10は、まだ露光装置100に受け渡した基板が残っていると判断し、搬出ステーションOUTに基板が搭載されるまで待機する。基板W2に対する露光ステーションEST上の処理が完了すると、主制御部1は、ステージ制御部2を介して、基板ステージWST1と基板ステージWST2のステーション位置を入れ替えるスワップを実行する。
スワップが完了すると、主制御部1は、基板W2を塗布現像装置200に受け渡すために基板W2のアンロードを実行する。すなわち、主制御部1は、計測ステーションMST上に位置する基板ステージWST2から基板W2をアンロードし、受け取りハンドRHに搬送する。なお、露光ステーションEST上に移動した基板ステージWST1には基板が搭載されていないため、露光ステーションEST上での処理は行われない。受け取りハンドRHに基板が到着すると、基板搬送制御部3は、搬出ステーションOUTに基板が搭載されていないことを確認してから、EXPO搬送ユニットWFを介して、受け取りハンドRH上の基板W2を搬出ステーションOUTに搬送する。搬出ステーションOUTに基板W2が到着すると、塗布現像制御部10は、搬出ステーションOUT上の基板W2を受け取った後、塗布現像装置200内で、基板W2に対するベーク処理、現像処理等を行う。
基板W2に対するベーク処理、現像処理等が完了すると、塗布現像制御部10は、搬入ステーションINを経由して露光装置100に受け渡した基板の枚数と、搬出ステーションOUTを経由して露光装置100から受け取った基板の枚数を比較する。この時点では、露光装置100に受け渡した基板の枚数は基板W1及び基板W2の2枚であるが、露光装置100から受け取った基板の枚数も基板W1及び基板W2の2枚であるため、値は一致する。この値が一致した場合、塗布現像制御部10は、全ての基板が露光装置100から受け取ったと判断し、ホストコンピュータ20に塗布現像処理の完了通知を行い、塗布現像装置200は塗布現像処理を完了する。
一方、主制御部1は、基板W2のアンロードが完了すると、露光予定の次の基板が無いことと、基板ステージWST1及び基板ステージWST2に基板が搭載されていないことを確認する。主制御部1は、その後、最後に露光した基板すなわち基板W2が搬出ステーションOUTから塗布現像装置200に受け渡されるまで待機する。基板W2が搬出ステーションOUTから塗布現像装置200に受け渡されると、主制御部1は、ホストコンピュータ20に露光シーケンス処理の完了通知を行い、露光装置100は露光シーケンス処理を完了する。
〔第1実施形態〕
第1実施形態の露光方法では、主制御部1が、先の基板の露光ステーションEST上での露光処理の終了からスワップの開始までの所要時間がほぼゼロとなるように、次の(後の)基板に対する計測ステーションMST上での処理を実行するかどうか判断する。次の基板に対する計測ステーションMST上での処理を実行すると判定するための条件は、次の基板に対する計測処理の終了時刻がその目標時刻よりも早いことである。次の基板に対する計測処理の終了の目標時刻は、例えば、先の基板に対する露光処理の終了時刻である。次の基板に対する計測処理の終了時刻は、次の基板の所在位置又は次の基板のロードが開始される時刻に基づいて推定することができる。第1実施形態では、次の基板のロードの開始目標時刻までに、次の基板が送り込みハンドSHまで到着していないとき、主制御部1は、次の基板に対する計測処理の終了時刻がその目標時刻よりも遅いと判定する。
第1実施形態の露光方法では、主制御部1が、先の基板の露光ステーションEST上での露光処理の終了からスワップの開始までの所要時間がほぼゼロとなるように、次の(後の)基板に対する計測ステーションMST上での処理を実行するかどうか判断する。次の基板に対する計測ステーションMST上での処理を実行すると判定するための条件は、次の基板に対する計測処理の終了時刻がその目標時刻よりも早いことである。次の基板に対する計測処理の終了の目標時刻は、例えば、先の基板に対する露光処理の終了時刻である。次の基板に対する計測処理の終了時刻は、次の基板の所在位置又は次の基板のロードが開始される時刻に基づいて推定することができる。第1実施形態では、次の基板のロードの開始目標時刻までに、次の基板が送り込みハンドSHまで到着していないとき、主制御部1は、次の基板に対する計測処理の終了時刻がその目標時刻よりも遅いと判定する。
次の基板のロードの開始目標時刻までに、次の基板が送り込みハンドSHまで到着していた場合、主制御部1は、露光ステーションEST上で先の基板の処理を行いつつ、計測ステーションMST上で次の基板に対してロード以降の処理も行う。この場合の先の基板及び次の基板に対する処理の内容は、図3で説明したとおりである。
一方、次の基板のロードの開始目標時刻までに、次の基板が送り込みハンドSHまで到着していなかった異常事態が発生した場合、主制御部1は、露光ステーションEST上で先の基板に対して処理を行う。しかし、この場合、主制御部1は、計測ステーションMST上で次の基板に対してロード以降の処理のすべてを行わない。その後、露光ステーションEST上で先の基板の処理が完了すると、主制御部1は、ステージのスワップを行い、先の基板に対するアンロードを行った後、計測ステーションMST上で次の基板に対してロード以降の処理を行う。
以下、第1実施形態における、主制御部1が実行する露光シーケンス処理を、図6を用いて説明する。初期状態では、計測ステーションMST上に基板ステージWST1が、露光ステーションEST上に基板ステージWST2が位置するとする。また、図6のフローチャートの初期状態は、基板W1→W2→W3→W4→・・・の順に露光を行う露光シーケンス処理において基板W1が送り込みハンドSHに到着した状態とする。
S601で処理が開始されると、主制御部1は、S614で、露光予定の次の基板が送り込みハンドSHまで到着しているかどうか確認する。確認の結果、次の基板である基板W1が送り込みハンドSHに到着していると判断すると、主制御部1は、S615からS618までを順次行う。すなわち、主制御部1は、送り込みハンドSHに搭載された基板W1を基板ステージWST1にロード後、基板ステージWST1に対する原点出し、基板W1に対するアライメント処理及びフォーカス処理を順次行う。S615〜S618の処理は、図3におけるロード303からフォーカス処理306までの計測ステーションMST上での一連の処理と対応する。
S618が完了すると、S602で、主制御部1は、ステージのスワップを実行する。すなわち、基板ステージWST1が、計測ステーションMSTから露光ステーションESTに移動し、それと同時に基板ステージWST2が、露光ステーションESTから計測ステーションMSTに移動する。
S602が完了すると、S651にて、主制御部1は、露光ステーションEST上に移動した基板ステージWST1に基板が搭載されているか確認する。基板W1が搭載されていると、主制御部1は、S652及びS653を順次行う。すなわち、主制御部1は、基板ステージWST1に対する原点出し及び基板W1に対する露光処理を順次行う。S652及びS653の処理は、図3における原点出し307から露光処理308までの露光ステーションEST上での一連の処理と対応する。それと並行して、主制御部1は、S611で、計測ステーションMST上に移動した基板ステージWST2に基板が搭載されているか確認する。搭載されていない場合、主制御部1は、S613にて露光シーケンス処理が完了かどうか確認する。露光シーケンス処理の完了の条件は、露光予定の次の基板が無い、かつ、前記2つの基板ステージ上から露光済みの基板を全てアンロードしたことである。しかし、この時点では、基板ステージWST1に基板W1が搭載されているため、まだ露光シーケンス処理は完了していない。
S613で露光シーケンス処理がまだ完了していないと判断されると、主制御部1は、S614にて、露光予定の次の基板が送り込みハンドSHに到着しているかどうか確認する。確認の結果、次の基板である基板W2が送り込みハンドSHに到着していると判断すると、S615からS618の処理を基板W2に対して順次行う。
これ以降の説明は、図4で示したタイムチャートと合わせて説明する。図4は、前記次の基板に対するロードを行うべきタイミングの直前までに、次の基板が送り込みハンドSHまで到着せず、少し遅れて到着した場合のタイムチャートである。S653の基板W1の露光処理408及びS618の基板W2のフォーカス処理406が共に完了すると、主制御部1は、S602にてステージのスワップ401を実行する。すなわち、基板ステージWST2が、計測ステーションMSTから露光ステーションESTに移動し、それと同時に基板ステージWST1が、露光ステーションESTから計測ステーションMSTに移動する。
S602が完了すると、主制御部1は、S651で、露光ステーションEST上に移動した基板ステージWST2に搭載された基板W2を確認後、S652からS653を順次行う。すなわち、主制御部1は、基板ステージWST2に対する原点出し417及び基板W2に対する露光処理418を順次行う。それと並行して、主制御部1は、S611で、計測ステーションMSTに移動した基板ステージWST1に搭載された基板W1を確認する。その後、主制御部1は、S612で、基板W1のアンロード402を実行する。すなわち、主制御部1は、計測ステーションMST上に位置する基板ステージWST1から基板W1をアンロードして、受け取りハンドRHに受け渡す。
S612が完了すると、主制御部1は、S613で、露光シーケンス処理が完了していないことを確認する。その後、主制御部1は、S614で、露光予定の次の基板である基板W3が送り込みハンドSHに到着しているかどうか確認する(到着確認409)。通常の状態においては、基板W2が計測ステーションMST上での処理が完了して露光ステーションESTに移動するまでの間に、基板W3は、塗布現像装置200から露光装置100に受け渡されて送り込みハンドSHまで到着している。このような場合は、図3で説明したタイムチャートのように、基板W2に対して露光ステーションEST上での処理を行いつつ、基板W3に対して計測ステーションMST上での処理を行うように動作する。
しかしながら、例えば、塗布現像装置200の都合により、露光装置100に受け渡す基板の準備が滞るなどの事態が生じることがある。そのような場合には、基板W2が計測ステーションMST上での処理が完了して露光ステーションESTに移動した後も、基板W3が送り込みハンドSHまで到着していないことがある。基板W3のロードの開始目標時刻で、基板W3が送り込みハンドSHに到着していない場合、主制御部1は、基板W3に対する計測ステーションMST上でのロード以降の処理のすべて、すなわちS615〜S618を実行しない。そして、主制御部1は、基板W2に対する露光ステーションEST上での処理が完了するまで待機する。
露光処理418(S653)中に、基板W3が送り込みハンドSHに到着したとする(SH到着490)。S653が完了すると、主制御部1は、S602で、ステージのスワップ411を実行する。すなわち、基板ステージWST1が、計測ステーションMSTから露光ステーションESTに移動し、それと同時に基板ステージWST2が、露光ステーションESTから計測ステーションMSTに移動する。
S602が完了すると、主制御部1は、S651で、露光ステーションEST上に移動した基板ステージWST2に基板が搭載されていないことを確認後、S652〜S653を実行せずに、計測ステーションMST上での処理が完了するまで待機する。それと並行して、主制御部1は、S611で、計測ステーションMST上の基板ステージWST2に搭載された基板W2を確認後、S612で、基板W2のアンロード412を実行する。すなわち、主制御部1は、計測ステーションMST上に位置する基板ステージWST2から基板W2をアンロードして、受け取りハンドRHに受け渡す。
S612が完了すると、主制御部1は、S613で、露光シーケンス処理が完了していないことを確認後、S614で、露光予定の次の基板W3が送り込みハンドSHに到着しているかどうか確認する(到着確認419)。「SH到着490」より後のこの時点では、基板W3が送り込みハンドSHにまで到着している。そこで、主制御部1は、S615で、基板W3のロード413を実行する。すなわち、計測ステーションMST上に位置する基板ステージWST2へ基板W3をロードする。
S615が完了すると、引き続き、主制御部1は、S616からS618を順次行う。すなわち、主制御部1は、基板ステージWST2に対するステージ原点出し304及び基板W3に対するアライメント処理405及び基板W3に対するフォーカス処理406を順次行う。S617でアライメント処理405がなされる間に、基板W4が送り込みハンドSHに到着する(SH到着491)。
S618の基板W3のフォーカス処理406が完了すると、主制御部1は、S602にて、ステージのスワップ421を実行する。すなわち、基板ステージWST2が、計測ステーションMSTから露光ステーションESTに移動し、それと同時に基板ステージWST1が、露光ステーションESTから計測ステーションMSTに移動する。
S602が完了すると、主制御部1は、S651で露光ステーションEST上に移動した基板ステージWST2に搭載された基板W3を確認後、S652からS653を順次行う。すなわち、主制御部1は、露光ステーションEST上での処理として、基板ステージWST2に対するステージ原点出し427及び基板W3に対する露光処理428を順次行う。それと並行に、主制御部1は、S611にて、計測ステーションMST上の基板ステージWST1に基板が搭載されていないことを確認して、S612を実行しない。その後、主制御部1は、S613にて、露光シーケンス処理が完了していないことを確認後、S614にて、露光予定の次の基板である基板W4が送り込みハンドSHに到着しているかどうか確認する(到着確認429)。「SH到着491」により、基板W4が送り込みハンドSHまで到着しているため、主制御部1は、S615にて、基板W4のロード413を実行する。すなわち、主制御部1は、計測ステーションMST上に位置する基板ステージWST1へ基板W4をロードする。これ以降は、図3における「ロード303」及び「原点出し307」以降のタイムチャートと同等の露光シーケンス処理として動作していく。
本実施形態では、先の基板の露光処理の完了からステージのスワップの開始までの所要時間をほぼゼロとしていたが、所定の時間だけ待機するようにしてもよい。また、前記所定の待機時間は、例えばロット単位のような、ある特定の基板の集合に対して、個別に設定しても良い。また、本実施形態では、次の基板に対して計測処理の実行を判断する条件として、次の基板のロードの実行時点までに次の基板が送り込みハンドSHまで到着していることとしたが、これに限られるものではない。例えば、次の基板のロードの実行時点までに、主制御部1が、先の基板に対する露光処理の完了時刻と次の基板に対する計測処理の完了時刻とをそれぞれ予測し、予測した結果に基づいて決定してもよい。
〔第2実施形態〕
第2実施形態の露光方法について図5、図7を用いて説明する。第2実施形態では、次の基板の送り込みハンドSHへの到着が遅れる場合であっても、次の基板に対する計測ステーションMST上での処理のうち、主制御部1が次の基板のロードのみを先の基板の露光処理と並行して実行するかどうかの判断も行う。次の基板のロードを先の基板の露光処理と並行して行うと判定するための条件は、次の基板のロードが開始される時刻が先の基板に対する露光処理の開始目標時刻よりも早いことである。例えば、先の基板を搭載した基板ステージに対する露光ステーションEST上での原点出しの完了までに、次の基板が送り込みハンドSHまで到着するならば、判定条件を満たすとする。
第2実施形態の露光方法について図5、図7を用いて説明する。第2実施形態では、次の基板の送り込みハンドSHへの到着が遅れる場合であっても、次の基板に対する計測ステーションMST上での処理のうち、主制御部1が次の基板のロードのみを先の基板の露光処理と並行して実行するかどうかの判断も行う。次の基板のロードを先の基板の露光処理と並行して行うと判定するための条件は、次の基板のロードが開始される時刻が先の基板に対する露光処理の開始目標時刻よりも早いことである。例えば、先の基板を搭載した基板ステージに対する露光ステーションEST上での原点出しの完了までに、次の基板が送り込みハンドSHまで到着するならば、判定条件を満たすとする。
露光ステーションEST上でのステージ原点出しの完了までに、次の基板が送り込みハンドSHまで到着していた場合、主制御部1は、先の基板の露光処理と並行して、次の基板に対する計測ステーションMST上でのロード(一部の処理)のみを行う。その後、先の基板の露光処理及び次の基板のロードが共に完了すると、主制御部1は、ステージのスワップを行い、先の基板のアンロードを行った後、再度ステージのスワップを行い、次の基板に対して計測ステーションMST上でのロード以外の残部の処理を行う。
一方、露光ステーションEST上でのステージ原点出しの完了までに、次の基板が送り込みハンドSHまで到着していない場合、主制御部1は、先の基板の露光処理を行うが、次の基板に対する計測ステーションMST上でのロード以降の処理のすべてを行わない。先の基板の露光処理が完了すると、主制御部1は、ステージのスワップを行い、先の基板に対するアンロードを行った後、次の基板に対する計測ステーションMST上でのロード以降の処理を行う。
以下、第2実施形態における、主制御部1が実行する露光シーケンス処理のアルゴリズムを示す図7のフローチャートに沿って、かつ適宜その他の図を参照しつつ詳述する。なお、初期状態として、計測ステーションMST上に基板ステージWST1が、露光ステーションEST上に基板ステージWST2が位置するとする。また、図7のフローチャートの初期状態として、基板W1→W2→W3→W4→・・・の順に露光を行う露光シーケンス処理において、基板W1が送り込みハンドSHに到着した段階から説明する。
まず、S701により処理が開始されると、主制御部1は、S717にて次の基板が送り込みハンドSHまで到着しているかどうか確認する。確認の結果、次の基板W1が送り込みハンドSHに到着していると判断すると、主制御部1は、S718からS721までを順次行う。すなわち、主制御部1は、送り込みハンドSHに搭載された基板W1を基板ステージWST1にロードした後、基板ステージWST1に対する原点出し、基板W1に対するアライメント処理及びフォーカス処理を順次行う。これらは、図3におけるロード303からフォーカス処理306までの一連の計測ステーションMST上での処理と対応する。これにより、基板W1の計測処理は完了したことになる。
S721が完了すると、S702にて、主制御部1は、ステージのスワップを実行する。すなわち、基板ステージWST1が、計測ステーションMSTから露光ステーションESTに移動し、それと同時に基板ステージWST2が、露光ステーションESTから計測ステーションMSTに移動する。
S702が完了すると、主制御部1は、S751にて、露光ステーションEST上に移動した基板ステージWST1に基板が搭載されているか確認する。基板W1が搭載されていると、S752にて、主制御部1は、前記基板における計測ステーションMST上での計測処理が全て完了しているかどうか確認する。基板W1は、前記ステージのスワップ前の計測ステーションMST上での処理は全て完了しているため、主制御部1は、S753及びS754を順次行う。すなわち、主制御部1は、基板ステージWST1に対する原点出し及び基板W1に対する露光処理を順次行う。これらは、図3における原点出し307から露光処理308までの一連の露光ステーションEST上での処理と対応する。それと並行して、主制御部1は、S711により、計測ステーションMST上に移動した基板ステージWST2に基板が搭載されているか確認する。搭載されていない場合、主制御部1は、S716にて、露光シーケンス処理が完了かどうか確認する。露光シーケンス処理の完了の条件は、露光予定の次の基板が無く、かつ、前記2つの基板ステージ上から露光済みの基板を全てアンロードしたことである。しかし、この時点では、基板ステージWST1に基板W1が搭載されているため、露光シーケンス処理は未完了となる。
S716により露光シーケンス処理がまだ完了していないと判断されると、主制御部1は、S717にて、次の基板が送り込みハンドSHに到着しているかどうか確認する。確認の結果、次の基板W2が送り込みハンドSHに到着していると判断すると、主制御部1は、S718からS721を基板W2に対して順次行う。これにより、基板W2の計測は完了したことになる。
さて、これ以降の説明は、図5で示したタイムチャートと合わせて説明する。図5は、先の基板の露光ステーションEST上でのステージ原点出し完了までに、次の基板が送り込みハンドSHまで到着した場合のタイムチャートである。S754の基板W1の露光処理508及びS721の基板W2のフォーカス処理506が共に完了すると、主制御部1は、S702にてステージのスワップ501を実行する。すなわち、基板ステージWST2が、計測ステーションMSTから露光ステーションESTに移動し、それと同時に基板ステージWST1が、露光ステーションESTから計測ステーションMSTに移動する。
S702が完了すると、主制御部1は、S751及びS752により、露光ステーションEST上に移動した基板ステージWST2に搭載された基板W2が計測完了していることを確認後、S753からS754を順次行う。すなわち、主制御部1は、基板ステージWST2に対する原点出し517及び基板W2に対する露光処理518を順次行う。それと並行して、主制御部1は、S711にて、計測ステーションMSTに移動した基板ステージWST1に基板W1が搭載されていることを確認後、S712にて、基板W1が露光済みかどうか確認する。基板W1は露光処理508により露光が完了しているため、露光済みと判断し、主制御部1は、S713にて、基板W1に対してアンロード502を実行する。すなわち、主制御部1は、計測ステーションMST上に位置する基板ステージWST1から基板W1をアンロードして、受け取りハンドRHに受け渡す。これは、図3におけるアンロード302と対応する。
S713が完了すると、主制御部1は、S714にて、露光ステーション上に位置する基板ステージに基板が搭載されているかどうか確認する。基板ステージには基板が搭載されていないため、主制御部1は、S716にて、露光シーケンス処理が完了していないことを確認後、S717にて、次の基板W3が送り込みハンドSHに到着しているかどうか確認する(到着確認509)。基板W3が送り込みハンドSHに到着していない場合、主制御部1は、S722にて、露光ステーションESTに位置する基板ステージWST2に対する原点出し517の完了ないしは基板W3の送り込みハンドSHへの到着完了のいずれかの完了待ちをする。原点出し517(S753)中に、基板W3が送り込みハンドSHに到着する(SH到着590)とS722が完了する。
S722が完了すると、主制御部1は、S723にて、再度基板W3が送り込みハンドSHに到着しているかどうか確認する。SH到着590により、基板W3は到着しているため、主制御部1は、S724にて、基板W3に対するロード503を実行する。すなわち、主制御部1は、計測ステーションMST上に位置する基板ステージWST1へ基板W3をロードする。S724が完了すると、主制御部1は、計測ステーションMST上での残りの処理(原点出し、アライメント計測、フォーカス処理)を実行せず、露光ステーションESTでの処理が完了するまで待機する。これにより、基板W3の計測は未完了のままとなる。
S754及びS724が共に完了すると、主制御部1は、S702にて、ステージのスワップ511を実行する。すなわち、基板ステージWST1が、計測ステーションMSTから露光ステーションESTに移動し、それと同時に基板ステージWST2が、露光ステーションESTから計測ステーションMSTに移動する。S702が完了すると、主制御部1は、S751により、露光ステーションEST上に移動した基板ステージWST1に基板W3が搭載されていることを確認後、S752により、基板W3が計測完了しているかどうかを確認する。しかし、基板W3は、ステージのスワップ前の計測ステーションMST上での処理として基板のロードのみしか実行されていないため、基板W3の計測は未完了であると判断される。これにより、主制御部1は、S753からS754を実行せず、計測ステーションMST上の処理が完了するまで待機する。
それと並行して、主制御部1は、S711及びS712により、計測ステーションMSTに移動した基板ステージWST2に搭載されている基板W2が露光済みであることを確認する。その後、S713にて、基板W2に対してアンロード512を実行する。すなわち、主制御部1は、計測ステーションMST上に位置する基板ステージWST2から基板W2をアンロードして、受け取りハンドRHに受け渡す。S713が完了すると、主制御部1は、S714にて、露光ステーション上に位置する基板ステージWST1に基板が搭載されていることを確認後、S715により、基板W3が計測完了しているかどうかを確認する。しかし、基板W3の計測は未完了であるため、主制御部1は、S716以降の処理を実行せず、計測ステーションMST上の処理を完了とする。
S752及びS715が共に完了すると、主制御部1は、S702にて、ステージのスワップ521を実行する。これは、計測処理の途中であった基板W3が、露光ステーションESTに移動したため、再度ステージをスワップすることで、計測ステーションMSTに戻すために実行されるものである。これにより、基板ステージWST2が、計測ステーションMSTから露光ステーションESTに移動し、それと同時に基板ステージWST1が、露光ステーションESTから計測ステーションMSTに移動する。
S702が完了すると、主制御部1は、S751にて、露光ステーションEST上に移動した基板ステージWST1に基板が搭載されていないことを確認後、S752からS754を実行せず、計測ステーションMST上の処理が完了するまで待機する。それと並行して、主制御部1は、S711にて、計測ステーションMSTに移動した基板ステージWST1に基板が搭載されていることを確認後、S712にて、前記基板が露光済みかどうか確認する。基板W3は、ステージのスワップ前の露光ステーションEST上の処理は行われていないため、露光済みではないと判断される。これにより、主制御部1は、S719からS721を順次行う。すなわち、主制御部1は、基板ステージWST1に対する原点出し504、基板W3に対するアライメント処理505及びフォーカス処理506を順次行う。これにより、基板W3の計測は完了したことになる。アライメント処理505(S720)中に、基板W4が送り込みハンドSHに到着する(SH到着591)。
S721が完了すると、主制御部1は、S702にて、ステージのスワップ531を実行する。すなわち、基板ステージWST1が、計測ステーションMSTから露光ステーションESTに移動し、それと同時に基板ステージWST2が、露光ステーションESTから計測ステーションMSTに移動する。S702が完了すると、主制御部1は、S751及びS752により、露光ステーションEST上に移動した基板ステージWST1に搭載された基板W3が計測完了していることを確認後、S753からS754を順次行う。それと並行して、S711により、計測ステーションMST上に移動した基板ステージWST2に基板が搭載されていないことを確認する。その後、主制御部1は、S716にて、露光シーケンス処理が完了していないことを確認後、S717にて、次の基板W4が送り込みハンドSHに到着しているかどうか確認する(到着確認529)。SH到着591により、基板W4が送り込みハンドSHまで到着しているため、主制御部1は、S718にて、基板W4に対するロード513を実行する。すなわち、主制御部1は、計測ステーションMST上に位置する基板ステージWST2へ基板W4をロードする。これ以降は、図3におけるロード303及び原点出し307以降のタイムチャートと同等の露光シーケンス処理として動作していく。
第2実施形態は、第1実施形態に比べて、次の基板に対する計測ステーションMST上での処理を実行するかどうかの判断に加えて、基板のロードのみ実行するかどうかの判断が追加されている。これにより、基板のロードが露光ステーションEST上での処理と並行して実行可能となる(図5におけるロード503と原点出し517及び露光処理518)。そのため、第1の実施形態に対して、スループットがより向上する効果がある。また、前記第1の実施形態と前記第2の実施形態におけるタイムチャート上での違いは、図4における到着確認419及びロード403と、図5におけるスワップ521の違いとなる。したがって、図4における到着確認419及びロード403にかかる所要時間より、図5におけるスワップ521にかかる所要時間の方が短い場合、第1の実施形態に対して、よりスループットが向上する効果がある。
本実施形態では、先の基板の露光ステーションEST上での処理の完了からステージのスワップの開始までの所要時間をほぼゼロとしていたが、所定の待機時間まで待つようにしてもよい。また、所定の待機時間は、例えばロット単位のような、ある特定の基板の集合に対して、個別に設定しても良い。また、本実施形態では、判断の条件として、露光ステーションEST上でのステージ原点出しの完了までに、次の基板が送り込みハンドSHまで到着するものとしていたが、これに限られるものではない。例えば、次の基板に対するロードの実行前までに、先の基板に対する露光ステーションEST上での処理の完了時刻を予測する。そして、予想した完了時刻に基づいて次の基板に対する計測ステーションMST上で実行する一部の処理を決定し、一部の処理の実行内容に基づくことによる条件としてもよい。
また、本実施形態では、次の基板に対するロードのみを露光処理と並行して実行するかどうか判断するが、これに限定されるものではない。例えば、次の基板に対するロードからアライメント処理までと言ったような、次の基板に対する計測ステーション上での一部の処理だけを実行するかどうかを判断しても良い。主制御部1が、次の基板に対する計測処理のうちの一部、例えば、アライメント処理だけを先の基板の露光処理と並行して行ってもよい。この場合、露光処理がなされた先の基板を計測ステーションMSTでアンロードするためにステージのスワップを行い、さらに、次の基板を保持するステージを計測ステーションに移動するためにさらにステージのスワップを行う必要がある。その上で、次の基板に対してやり残したフォーカス処理を行い、さらにステージをスワップさせて露光ステーションESTで次の基板に対して露光処理を行うこととなる。その結果、次の基板に対するアライメント処理と露光処理との間に3回のスワップが介在し、かつ、相当の時間差も生じるので、露光処理を行う時点ではアライメント処理結果の劣化が生じることがある。
〔デバイス製造方法〕
半導体デバイス、液晶表示デバイス等の製造方法について説明する。ここでは、半導体デバイスの製造方法を例に説明する。半導体デバイスは、ウエハに集積回路を作る前工程と、前工程で作られたウエハ上の集積回路チップを製品として完成させる後工程を経ることにより製造される。前工程は、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたウエハを露光する工程と、ウエハを現像する工程を含む。後工程は、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)と、パッケージング工程(封入)を含む。なお、液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造される。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、ガラス基板を現像する工程を含む。本実施形態のデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。
半導体デバイス、液晶表示デバイス等の製造方法について説明する。ここでは、半導体デバイスの製造方法を例に説明する。半導体デバイスは、ウエハに集積回路を作る前工程と、前工程で作られたウエハ上の集積回路チップを製品として完成させる後工程を経ることにより製造される。前工程は、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたウエハを露光する工程と、ウエハを現像する工程を含む。後工程は、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)と、パッケージング工程(封入)を含む。なお、液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造される。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、ガラス基板を現像する工程を含む。本実施形態のデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
Claims (8)
- 計測ステーションと、露光ステーションと、前記計測ステーション及び前記露光ステーションにわたる入れ替えが可能な複数の基板ステージと、制御部と、を備え、前記露光ステーションにおける先の基板の露光処理と前記計測ステーションにおける後の基板の計測処理とを並行して行うことが可能な露光装置であって、
前記露光装置に搬入された基板は、前記計測ステーションで基板ステージにロードされ、かつ、前記露光処理がなされた基板は、前記計測ステーションで基板ステージからアンロードされて前記露光装置から搬出され、
前記制御部は、前記後の基板に対する前記計測処理の終了時刻が目標時刻よりも遅いと判定する場合には、前記先の基板に対する前記露光処理を行った後、前記後の基板に対する前記計測処理を終了することなく前記基板ステージの入れ替えと前記先の基板のアンロードとを順次行い、その後に前記後の基板に対して前記計測ステーションで行うべき処理のうちの少なくとも一部の処理を行うように、前記計測処理、前記露光処理及び前記複数の基板ステージの駆動を制御することを特徴とする露光装置。 - 前記制御部は、前記後の基板の所在位置又は前記後の基板のロードが開始される時刻に基づいて、前記後の基板に対する前記計測処理の終了時刻を推定する、ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記制御部は、前記後の基板のロードが開始される時刻が前記後の基板に対する前記計測処理の開始目標時刻よりも遅い場合には、前記後の基板に対する前記計測処理の終了時刻が前記目標時刻よりも遅いと判定し、前記先の基板に対する前記露光処理と前記基板ステージの入れ替えとを行った後に、前記先の基板のアンロード、前記後の基板のロード及び前記後の基板に対する前記計測処理を順次行うように、前記計測処理、前記露光処理及び前記複数の基板ステージの駆動を制御することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装置。
- 前記制御部は、前記後の基板のロードが開始される時刻が前記後の基板に対する前記計測処理の開始目標時刻よりも遅いが前記先の基板に対する前記露光処理の開始目標時刻よりも早い場合には、前記後の基板に対する前記計測処理の終了時刻が前記目標時刻よりも遅いと判定し、前記後の基板に対して前記計測ステーションで行うべき処理のうちの一部の処理を前記先の基板に対する前記露光処理と並行して行い、前記先の基板に対する前記露光処理と前記基板ステージの入れ替えとを順次行った後、前記先の基板のアンロードを行い、前記基板ステージの入れ替えをさらに行った後で前記後の基板に対して前記計測ステーションで行うべき処理のうちの残部の処理を行うように、前記計測処理、前記露光処理及び前記複数の基板ステージの駆動を制御することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装置。
- 前記一部の処理は、前記後の基板のロードを含み、前記残部の処理は、前記後の基板に対する前記計測処理を含む、ことを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記一部の処理は、前記後の基板のロードと前記後の基板に対する前記計測処理の一部とを含み、前記残部の処理は、前記後の基板に対する前記計測処理の残部を含む、ことを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 計測ステーションと、露光ステーションと、前記計測ステーションおよび前記露光ステーションにわたる入れ替えが可能な複数の基板ステージと、を備え、前記露光ステーションにおける先の基板の露光処理と前記計測ステーションにおける後の基板の計測処理とを並行して行うことが可能な露光装置を用いて基板を露光する露光方法であって、
前記露光装置に搬入された基板は、前記計測ステーションで基板ステージにロードされ、かつ、前記露光処理がなされた基板は、前記計測ステーションで基板ステージからアンロードされて前記露光装置から搬出され、
前記後の基板に対する前記計測処理の終了時刻が目標時刻よりも遅いと判定する場合には、前記先の基板に対する前記露光処理を行った後、前記後の基板に対する前記計測処理を終了することなく前記基板ステージの入れ替えと前記先の基板のアンロードとを順次行い、その後に前記後の基板に対して前記計測ステーションで行うべき処理のうちの少なくとも一部の処理を行う、
ことを特徴とする露光方法。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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JP2012091369A JP2013222727A (ja) | 2012-04-12 | 2012-04-12 | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
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