JP2013211072A - Magnetic head positioning device and magnetic head inspection device - Google Patents

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Yasuhiro Ando
康大 安藤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic head positioning device and a magnetic head inspection device that improve positioning precision of a magnetic head.SOLUTION: A magnetic head positioning device includes a coarse movement actuator which places a magnetic head in coarse movement operation in two dimensions, a second fine movement actuator mounted on the coarse movement actuator, and a first movement fine actuator mounted on the second fine movement actuator. The first fine movement actuator has a fixed portion including a piezo actuator, a movable portion which has a head holding portion holding a head gimbal assembly (HGA) on a tip side, and moves the HGA by the piezo actuator, and an HGA replacement mechanism such that a pressing force generation portion having pressing force generation means of generating pressing force for holding the HGA and a replacing mechanism fixed portion for fixing the pressing force generation portion are provided to the fixed portion.

Description

本発明は、磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置に係り、特に磁気ヘッドの位置決め精度の向上を図れる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置に関する。   The present invention relates to a magnetic head positioning apparatus and a magnetic head inspection apparatus, and more particularly to a magnetic head positioning apparatus and a magnetic head inspection apparatus that can improve the positioning accuracy of a magnetic head.

磁気ヘッド検査装置を、図1に示す本発明の実施形態を参照して説明する。磁気ヘッド検査装置は、磁気ヘッド5をスピンドルSにより回転された磁気ディスクH上で浮上させながら、磁気ディスクへのデータの記録,再生を行い、磁気ヘッドの試験を行なう。   A magnetic head inspection apparatus will be described with reference to the embodiment of the present invention shown in FIG. The magnetic head inspection apparatus records and reproduces data on the magnetic disk while the magnetic head 5 is levitated on the magnetic disk H rotated by the spindle S, and tests the magnetic head.

磁気ヘッド検査装置は、磁気ヘッド6を搭載して移動する第1微動アクチュエータ100と、この第1微動アクチュエータ100を搭載して移動する第2微動アクチュエータ9と、第2微動アクチュエータ9を搭載して移動するX方向粗動アクチュエータであるX方向キャリッジ3及びY方向粗動アクチュエータであるY方向キャリッジ10とからなっている。   The magnetic head inspection apparatus includes a first fine movement actuator 100 that moves by mounting the magnetic head 6, a second fine movement actuator 9 that moves by mounting the first fine movement actuator 100, and a second fine movement actuator 9. The X-direction carriage 3 is a moving X-direction coarse actuator and the Y-direction carriage 10 is a Y-direction coarse actuator.

第1微動アクチュエータ100は、カートリッジベース9dに取り付けられた固定部1と、一端が固定部1に固定されて伸縮するピエゾアクチュエータ2と、このピエゾアクチュエータ2の伸縮により移動される可動部7とを有している。可動部7は、ビーム部42と、ビーム部の先端側に設けられ、磁気ヘッド6をアセンブルしたヘッドジンバルアセンブリ(HGA)12を保持するヘッド固定部であるアーム5とを有する。   The first fine movement actuator 100 includes a fixed portion 1 attached to the cartridge base 9d, a piezo actuator 2 which is fixed to the fixed portion 1 at one end and expands and contracts, and a movable portion 7 which is moved by the expansion and contraction of the piezo actuator 2. Have. The movable portion 7 includes a beam portion 42 and an arm 5 that is provided on the distal end side of the beam portion and is a head fixing portion that holds a head gimbal assembly (HGA) 12 assembled with the magnetic head 6.

磁気ヘッド6の試験は、HGA12を次々と交換して行なわれる。そのために、HGA12を交換できるHGA交換機構が必要である。従来のHGA交換機構としては、例えば、図8に模式的に示す特許文献1で開示されたものがある。図8に示すHGA交換機構は、HGA12を保持するためにHGA12をストッパ63に押付ける板バネ81と、HGA12を次のHGA12に交換するために、当該押付けを解除する一端が板バネに固定された固定棒83を回転させる操作レバー82とを可動部7のアーム5に設けている。   The test of the magnetic head 6 is performed by replacing the HGA 12 one after another. Therefore, an HGA exchange mechanism that can exchange the HGA 12 is necessary. As a conventional HGA exchange mechanism, for example, there is one disclosed in Patent Document 1 schematically shown in FIG. The HGA exchange mechanism shown in FIG. 8 has a plate spring 81 that presses the HGA 12 against the stopper 63 to hold the HGA 12, and one end that releases the press is fixed to the plate spring to replace the HGA 12 with the next HGA 12. An operating lever 82 for rotating the fixed rod 83 is provided on the arm 5 of the movable portion 7.

特開2010−225247号公報JP 2010-225247 A

昨今の磁気ディスクの高密度化に伴い、より一層の磁気ヘッドの位置決め精度が要求されるようになってきた。この要求に応えるためには、可動部の軽量化、共振周波数の高周波化が望まれる。従来の磁気ヘッド検査装置では、HGA交換機構が磁気ヘッド位置決め装置の可動部に設けられているため、その分だけ可動部の重量が重くなり、慣性力が大きくなる。また、その板バネは、共振周波数の低下を齎す一因となっていた。   With the recent increase in the density of magnetic disks, there has been a demand for higher magnetic head positioning accuracy. In order to meet this requirement, it is desired to reduce the weight of the movable part and increase the resonance frequency. In the conventional magnetic head inspection apparatus, since the HGA exchange mechanism is provided in the movable part of the magnetic head positioning apparatus, the weight of the movable part is increased correspondingly and the inertial force is increased. In addition, the leaf spring has been a factor in causing a decrease in resonance frequency.

本発明の目的は、上記の課題に鑑みてなされたもので、磁気ヘッドの位置決め精度の向上を図れる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a magnetic head positioning apparatus and a magnetic head inspection apparatus that can improve the positioning accuracy of a magnetic head.

本発明は、上記目的を達成するために、少なくとも下記の特徴を有する。
本発明は、磁気ヘッドを2次元に粗動動作させる粗動アクチュエータと、前記粗動アクチュエータに搭載された第2微動アクチュエータと、前記第2微動アクチュエータに搭載された第1微動アクチュエータと、を有し、前記第1微動アクチュエータは、ピエゾアクチュエータを備える固定部と、先端側にヘッドジンバルアセンブリ(HGA)保持するヘッド保持部を有し、前記ピエゾアクチュエータによって前記HGAを移動させる可動部と、前記HGAを保持するための押付力を発生する押付力発生手段を有する押付力発生部と前記押付発生部を固定する交換機構固定部とを前記固定部に設けたHGA交換機構と、を有することを第1の特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention has at least the following features.
The present invention includes a coarse actuator that coarsely moves a magnetic head in two dimensions, a second fine actuator mounted on the coarse actuator, and a first fine actuator mounted on the second fine actuator. The first fine actuator has a fixed portion having a piezo actuator, a head holding portion for holding a head gimbal assembly (HGA) on the tip side, a movable portion for moving the HGA by the piezo actuator, and the HGA And an HGA exchanging mechanism provided with a pressing force generating section having a pressing force generating means for generating a pressing force for holding the holding mechanism and an exchange mechanism fixing section for fixing the pressing generating section. One feature.

また、本発明は、前記固定部が、前記ピエゾアクチュエータの先端側であって、前記ピエゾアクチュエータの伸縮方向の中心線に対して左右に前記固定部に設けられたヒンジを有し、前記可動部は、前記ヒンジがそれぞれ設けられた2つのビームと、前記ヘッド保持部を有し、前記2つのビームの先端側に設けられたヘッド固定部と、を有することを第2の特徴とする。   Further, in the present invention, the fixed portion includes a hinge provided on the fixed portion on the left and right sides with respect to a center line in the expansion / contraction direction of the piezo actuator, on the tip side of the piezo actuator, and the movable portion The second feature is that it has two beams each provided with the hinges, and a head fixing portion that has the head holding portion and is provided on the front end side of the two beams.

さらに、本発明は、前記2つのビームの少なくとも一方と前記ヘッド固定部とのそれ等も含む間に所定の位置を設け、前記所定の位置と前記固定部との間に追加ヒンジを設けたことを第3の特徴とする。   Furthermore, in the present invention, a predetermined position is provided between at least one of the two beams and the head fixing portion, and an additional hinge is provided between the predetermined position and the fixing portion. Is the third feature.

また、本発明は、前記押付力発生部が、前記押付力を解除する操作手段と、一端側が前記HGAに設けた保持孔に前記押付力を作用させる保持棒とを有し、前記ヘッド保持部は、前記ヘッド固定部に固定され、前記HGAを保持するHGA保持部と、前記押付力によって前記HGAを係止するストッパとを有することを第4の特徴とする。   Further, in the present invention, the pressing force generating unit includes an operation unit that releases the pressing force, and a holding rod that has one end side that applies the pressing force to a holding hole provided in the HGA, and the head holding unit. The fourth feature is that it has an HGA holding portion that is fixed to the head fixing portion and holds the HGA, and a stopper that locks the HGA by the pressing force.

さらに、本発明は、前記押付力発生手段が、ねじりコイルバネであり、前記操作手段は、一端側が前記交換機構固定部に固定された前記ねじりコイルバネの他端側に固定された操作部を有し、前記保持棒は、その他端側が前記操作部に固定された、ことを第5の特徴とする。   Further, in the present invention, the pressing force generating means is a torsion coil spring, and the operation means has an operation portion fixed to the other end side of the torsion coil spring having one end side fixed to the exchange mechanism fixing portion. The fifth feature is that the other end of the holding rod is fixed to the operation portion.

また、本発明は、前記押付力発生手段は、引張バネ又は圧縮バネであり、前記保持棒は、他端側が前記引張バネ又は前記圧縮バネの一端側に固定され、前記操作手段は、前記引張バネ又は前記圧縮バネの他端側に固定されている操作部と、前記固定部又は前記交換機構固定部に固定され、前記操作部を保持する操作部保持部と、を有することを第6の特徴とする。   In the present invention, the pressing force generating means is a tension spring or a compression spring, the other end side of the holding rod is fixed to one end side of the tension spring or the compression spring, and the operation means is the tension spring. And an operation unit fixed to the other end of the spring or the compression spring, and an operation unit holding unit fixed to the fixing unit or the exchange mechanism fixing unit and holding the operation unit. Features.

さらに、本発明は、前記押付発生部を磁気ディスクに面する基面に設けたことを第7の特徴とする。   Furthermore, the present invention has as a seventh feature that the pressing generation portion is provided on a base surface facing the magnetic disk.

また、本発明は、第1乃至第7の特徴のいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置と、前記磁気ヘッド位置決め装置を制御し、前記HGAの先端に設けられた磁気ヘッドからデータを読み取り、前記磁気ヘッドの良否を判定する制御処理装置と、を有することを第8の特徴とする。   According to the present invention, the magnetic head positioning device according to any one of the first to seventh features, the magnetic head positioning device are controlled, data is read from a magnetic head provided at the tip of the HGA, It has an eighth feature that it has a control processing device for judging the quality of a magnetic head.

本発明によれば、上記の課題に鑑みてなされたもので、磁気ヘッドの位置決め精度の向上を図れる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置を提供できる。   The present invention has been made in view of the above problems, and can provide a magnetic head positioning apparatus and a magnetic head inspection apparatus capable of improving the positioning accuracy of the magnetic head.

本発明の実施形態である磁気ヘッド検査装置の概観図である。1 is an overview of a magnetic head inspection apparatus that is an embodiment of the present invention. 本実施形態における第1微動アクチュエータの構成と動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure and operation | movement of a 1st fine movement actuator in this embodiment. 図2に示した第1微動アクチュエータ及びHGA交換機構の概観図である。FIG. 3 is an overview of a first fine movement actuator and an HGA exchange mechanism shown in FIG. 2. HGA交換機構の第1の実施例を示す図である。It is a figure which shows the 1st Example of an HGA exchange mechanism. 図4(a)の断面図である。It is sectional drawing of Fig.4 (a). HGA交換機構の第2の実施例を示す図である。It is a figure which shows the 2nd Example of an HGA exchange mechanism. HGA交換機構の第3の実施例を示す図である。It is a figure which shows the 3rd Example of an HGA exchange mechanism. 従来のHGA交換機構を模式的に示す図である。It is a figure which shows the conventional HGA exchange mechanism typically.

以下、図面を用いて本発明の実施の形態説明をする。図1は、本発明の実施形態である磁気ヘッド検査装置の概観図である。
磁気ヘッド検査装置200は、磁気ヘッド位置決め装置20と、磁気ヘッド位置決め装置20を制御し、磁気ヘッド6からデータを読み取り磁気ヘッド6の良否を判定する制御処理装置30とを有する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view of a magnetic head inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
The magnetic head inspection device 200 includes a magnetic head positioning device 20 and a control processing device 30 that controls the magnetic head positioning device 20 and reads data from the magnetic head 6 to determine whether the magnetic head 6 is good or bad.

磁気ヘッド位置決め装置20は、第1微動アクチュエータ100と第2微動アクチュエータ9と、第2微動アクチュエータ9を搭載して移動するX方向粗動アクチュエータであるX方向キャリッジ3及びY方向粗動アクチュエータであるY方向キャリッジ10と、記録媒体である磁気ディスクHを高速に回転するスピンドルS、X方向キャリッジ3、Y方向キャリッジ10及びスピンドルSを搭載する定盤21と、磁気ディスクHに面する基面に設けられ、HGA12を交換するHGA交換機構70とを有する。なお、本実施形態では、磁気ヘッド位置決め装置20を横置きにして図1を平面図としているが、磁気ヘッド位置決め装置20を縦置きとしてもよい。   The magnetic head positioning device 20 includes a first fine movement actuator 100, a second fine movement actuator 9, an X direction carriage 3 that is an X direction coarse movement actuator that moves by mounting the second fine movement actuator 9, and a Y direction coarse movement actuator. On the base surface facing the magnetic disk H, the Y-direction carriage 10, the spindle S that rotates the magnetic disk H that is a recording medium at high speed, the X-direction carriage 3, the Y-direction carriage 10 and the spindle S are mounted. And an HGA exchange mechanism 70 for exchanging the HGA 12. In this embodiment, the magnetic head positioning device 20 is placed horizontally and FIG. 1 is a plan view. However, the magnetic head positioning device 20 may be placed vertically.

記録媒体である磁気ディスクHは、スピンドルSに着脱可能に装着されており、トラック幅が狭小化された高密度記録面を有するものである。スピンドルSはスピンドルモータ(図示せず)に装着され、スピンドルモータの回転に伴って高速に回転される。スピンドルモータは、定盤21に固定され、後部の左右中央部に設置されている。定盤21は薄型の矩形状に形成されており、その長手方向(前後方向)がX方向、その短手方向(左右方向)がY方向となる。   A magnetic disk H as a recording medium is detachably mounted on a spindle S and has a high-density recording surface with a narrow track width. The spindle S is mounted on a spindle motor (not shown) and is rotated at a high speed as the spindle motor rotates. The spindle motor is fixed to the surface plate 21 and is installed at the left and right center of the rear part. The surface plate 21 is formed in a thin rectangular shape, and its longitudinal direction (front-rear direction) is the X direction and its short direction (left-right direction) is the Y direction.

X方向キャリッジ3は、スピンドルSの前方に隣接して配置され、定盤21上に搭載されている。このX方向キャリッジ3は、定盤21に固定されたXモータ3aと、Xモータ3aの回転軸に固定されX方向に延びたXスクリュー3bと、Xスクリュー3bに移動可能に取り付けられたX移動部材3cと、X移動部材3cの遊端部に固定されこのX移動部材3cと共に移動可能なX移動ベース3dとからなっている。Xスクリュー3bとX移動ベース3dとは左右に並置されている。Xモータ3aの回転軸が回転することによりXスクリュー3bが回転し、これによってX移動部材3c及びX移動ベース3dが矢印X方向に移動する。X方向キャリッジ3は、磁気ヘッド6をX方向に移動するための粗動アクチュエータである。   The X-direction carriage 3 is disposed adjacent to the front of the spindle S and is mounted on the surface plate 21. The X direction carriage 3 includes an X motor 3a fixed to the surface plate 21, an X screw 3b fixed to the rotation shaft of the X motor 3a and extending in the X direction, and an X movement movably attached to the X screw 3b. It consists of a member 3c and an X moving base 3d which is fixed to the free end of the X moving member 3c and is movable together with the X moving member 3c. The X screw 3b and the X movement base 3d are juxtaposed on the left and right. As the rotation shaft of the X motor 3a rotates, the X screw 3b rotates, and thereby the X moving member 3c and the X moving base 3d move in the arrow X direction. The X direction carriage 3 is a coarse actuator for moving the magnetic head 6 in the X direction.

Y方向キャリッジ10は、X移動ベース3d上に搭載されて固定されたYモータ10aと、Yモータ10aの回転軸に固定されY方向に延びたYスクリュー10bと、Yスクリュー10bに移動可能に取り付けられたY移動部材10cと、Y移動部材10cの遊端部に固定されこのY移動部材10cと共に移動可能なY移動ベース10dとからなっている。Yスクリュー10bとY移動ベース10dとは、前後に並置されている。Yモータ10aの回転軸が回転することによりYスクリュー10bが回転し、これによってY移動部材10c及びY移動ベース10dがY方向(矢印B方向)に移動する。Y方向キャリッジ10は、磁気ヘッドをY方向に移動するための粗動アクチュエータである。なお、X方向キャリッジ3及びY方向キャリッジ10は、上述した構成に限るものではなく、直動モータ等においても代用可能である。   The Y direction carriage 10 is mounted on the X movement base 3d and fixed, a Y screw 10b fixed to the rotation shaft of the Y motor 10a and extending in the Y direction, and attached to the Y screw 10b to be movable. The Y moving member 10c and a Y moving base 10d which is fixed to the free end of the Y moving member 10c and is movable together with the Y moving member 10c. The Y screw 10b and the Y moving base 10d are juxtaposed in the front-rear direction. As the rotation shaft of the Y motor 10a rotates, the Y screw 10b rotates, and thereby the Y moving member 10c and the Y moving base 10d move in the Y direction (arrow B direction). The Y-direction carriage 10 is a coarse actuator for moving the magnetic head in the Y direction. Note that the X-direction carriage 3 and the Y-direction carriage 10 are not limited to the above-described configuration, and a linear motion motor or the like can be used instead.

第2微動アクチュエータ9は、第1微動アクチュエータ100を搭載する第2ヘッドユニット9bと、第2ヘッドユニット9bを駆動する第2駆動手段9aとを有する。   The second fine movement actuator 9 includes a second head unit 9b on which the first fine movement actuator 100 is mounted, and a second drive unit 9a that drives the second head unit 9b.

第1微動アクチュエータ100は、カートリッジベース9dに取り付けられた固定部1と、一端が固定部1に固定されて伸縮するピエゾアクチュエータ2と、このピエゾアクチュエータ2の伸縮により、アセンブルしたヘッドジンバルアセンブリ(HGA)12をE方向に移動させる可動部7とを有している。可動部7は、ピエゾアクチュエータ2の伸縮により、HGA12を方向Eに移動させるビーム部42と、ビーム部の先端側には、磁気ヘッド6をアセンブルしたヘッドジンバルアセンブリ(HGA)12を保持するアーム5とを有する。ピエゾアクチュエータ2は、第2微動アクチュエータ9より軽量で高速に駆動できるように構成されている。   The first fine actuator 100 includes a fixed portion 1 attached to the cartridge base 9d, a piezo actuator 2 having one end fixed to the fixed portion 1 and expanding and contracting, and a head gimbal assembly (HGA) assembled by expansion and contraction of the piezo actuator 2. ) And a movable portion 7 for moving 12 in the E direction. The movable portion 7 includes a beam portion 42 that moves the HGA 12 in the direction E by expansion and contraction of the piezo actuator 2, and an arm 5 that holds a head gimbal assembly (HGA) 12 assembled with the magnetic head 6 at the distal end side of the beam portion. And have. The piezo actuator 2 is configured to be lighter and faster than the second fine actuator 9.

このような構成によって、Xキャリッジ3とYキャリッジ10が磁気ディスクH上面まで移動し、第2微動アクチュエータ9が微動することで検査位置まで磁気ヘッド6を運ぶ。そして、第1微動アクチュエータ100を磁気ディスクの回転周波数と同期して方向Eに動き、磁気ヘッド6の検査を行う。   With such a configuration, the X carriage 3 and the Y carriage 10 move to the upper surface of the magnetic disk H, and the second fine movement actuator 9 finely moves the magnetic head 6 to the inspection position. Then, the first fine actuator 100 is moved in the direction E in synchronization with the rotational frequency of the magnetic disk, and the magnetic head 6 is inspected.

図2は、本実施形態における第1微動アクチュエータ100の構成と動作を示す説明図である。図3は、図2に示した第1微動アクチュエータ100及びHGA交換機構70の概観図である。第1微動アクチュエータ100において、磁気ディスクHに面する方を基面とし、その反対側を上面とすると、図2は、上面から見た図であり、図3は基面側から見た鳥瞰図である。なお、図3の2aは、ピエゾアクチュエータ2を設置する場所を示す。   FIG. 2 is an explanatory diagram showing the configuration and operation of the first fine movement actuator 100 in the present embodiment. FIG. 3 is a schematic view of the first fine actuator 100 and the HGA exchange mechanism 70 shown in FIG. In the first fine actuator 100, assuming that the surface facing the magnetic disk H is the base surface and the opposite side is the top surface, FIG. 2 is a view seen from the top surface, and FIG. 3 is a bird's eye view seen from the base surface side. is there. Note that 2a in FIG. 3 indicates a place where the piezo actuator 2 is installed.

図2及び図3に示すように、第1微動アクチュエータ100は、固定部1に取り付けられた1つのピエゾアクチュエータ2と、ピエゾアクチュエータ2の先端に圧接されているビーム結合部43とを有する。また、第1微動アクチュエータ100は、ピエゾアクチュエータ2の伸縮方向の中心線16に対して左右に配置したヒンジ4a、ヒンジ4bと、それぞれのヒンジ4a、4bが設けられ前記ビーム結合部43と結合し、ビーム部42を構成するpushビーム42a及びpullビーム42bと、pushビーム42a又はpullビーム42bに接続されているヒンジ接続部8a、8bとを有する。   As shown in FIGS. 2 and 3, the first fine movement actuator 100 includes one piezo actuator 2 attached to the fixed portion 1 and a beam coupling portion 43 that is in pressure contact with the tip of the piezo actuator 2. Further, the first fine actuator 100 is provided with hinges 4a and 4b arranged on the left and right with respect to the center line 16 in the expansion / contraction direction of the piezo actuator 2 and the hinges 4a and 4b. The push beam 42a and the pull beam 42b constituting the beam portion 42, and the hinge connection portions 8a and 8b connected to the push beam 42a or the pull beam 42b.

さらに、第1微動アクチュエータ100は、ヒンジ接続部8a、8bの先に接続されているヘッド固定部であるアーム5と、ヒンジ接続部8a、8bの近傍で、アーム5と固定部1との間に追加ヒンジ41と、を有する。ヒンジ接続部8a、8bはアーム5の根元5aにおいてアーム5の長手方向の中心線5cに対して左右に接続されている。また、ヒンジ接続部8a、8b間の距離L9に対しアームの長さL1が大きくなっており、HGA12の先端121の移動距離(以下ストロークと呼ぶ)を大きくできる。   Further, the first fine actuator 100 includes an arm 5 that is a head fixing portion connected to the tip of the hinge connecting portions 8a and 8b, and between the arm 5 and the fixing portion 1 in the vicinity of the hinge connecting portions 8a and 8b. And an additional hinge 41. The hinge connecting portions 8a and 8b are connected to the left and right of the center line 5c in the longitudinal direction of the arm 5 at the base 5a of the arm 5. Further, the arm length L1 is larger than the distance L9 between the hinge connecting portions 8a and 8b, and the moving distance (hereinafter referred to as a stroke) of the tip 121 of the HGA 12 can be increased.

HGA交換機構70(70A)は、アーム5に隣接した固定部1に設けられ、HGA12を保持するための押付力を発生する押付力発生手段及び押付力を解除する操作手段を有する押付力発生部50(50A)と、可動部7のアーム5に設けられ、HGA12を保持するヘッド保持部60(60A)とを有する。このHGA交換機構70によって、HGA12をアーム5に着脱可能である。なお、HGA交換機構70の詳細は後述する。   The HGA exchange mechanism 70 (70A) is provided in the fixed portion 1 adjacent to the arm 5 and has a pressing force generating unit that generates a pressing force for holding the HGA 12 and an operating unit that releases the pressing force. 50 (50A) and a head holding part 60 (60A) provided on the arm 5 of the movable part 7 and holding the HGA 12. With this HGA exchange mechanism 70, the HGA 12 can be attached to and detached from the arm 5. Details of the HGA exchange mechanism 70 will be described later.

図2に示すように、ピエゾアクチュエータ2が伸びると、pushビーム42a及びpullビーム42bがそれぞれ矢印13a、13bの様に左右に開く。左右に開いたpushビーム42a又はpullビーム42bに接続されたヒンジ接続部8a、8bは、一方が押され、他方は引っ張られ、アーム5が回動し、それに取り付けられたHGA12は矢印15のように変位する。   As shown in FIG. 2, when the piezo actuator 2 extends, the push beam 42a and the pull beam 42b open to the left and right as indicated by arrows 13a and 13b, respectively. One of the hinge connecting portions 8a and 8b connected to the push beam 42a or the pull beam 42b opened to the left and right is pushed, the other is pulled, the arm 5 is rotated, and the HGA 12 attached thereto is as indicated by an arrow 15 It is displaced to.

本実施形態では、ピエゾアクチュエータ2がニュートラルの状態にあるときは、pushビーム42a及びpullビーム42bは固定部1に対して平行で、且つピエゾアクチュエータ2の伸縮方向の中心線16と直交している。従って、磁気ヘッド位置決めに使用するときは、第1微動アクチュエータ100を所定のバイアス角度を持って設置する。勿論、ピエゾアクチュエータ2がニュートラルの状態にあるときに、pushビーム42a及びpullビーム42bを、互いに平行で、且つピエゾアクチュエータ2の伸縮方向の中心線16と直交を維持しながら、固定部1に対して所定のバイアス角度を持って設置しても良い。   In this embodiment, when the piezo actuator 2 is in the neutral state, the push beam 42a and the pull beam 42b are parallel to the fixed portion 1 and perpendicular to the center line 16 in the expansion / contraction direction of the piezo actuator 2. . Therefore, when used for magnetic head positioning, the first fine actuator 100 is installed with a predetermined bias angle. Of course, when the piezo actuator 2 is in the neutral state, the push beam 42a and the pull beam 42b are parallel to each other and maintained perpendicular to the center line 16 in the expansion / contraction direction of the piezo actuator 2 with respect to the fixed portion 1. May be installed with a predetermined bias angle.

第1微動アクチュエータ100において、ヒンジ4a、4bを押すアクチュエータとしてピエゾアクチュエータ2を利用する理由は、ピエゾアクチュエータの特徴が位置決め用のアクチュエータとして適しているためである。ピエゾアクチュエータの特徴としては、発生力が大きくかつ小形であることや高い変位分解能を有すること、電磁式と比較して消費電力が小さい、磁界を必要としないため漏洩磁束の問題がないことがある。   The reason why the piezoelectric actuator 2 is used as the actuator for pushing the hinges 4a and 4b in the first fine actuator 100 is that the characteristics of the piezoelectric actuator are suitable as an actuator for positioning. The characteristics of the piezo actuator include large generated force and small size, high displacement resolution, low power consumption compared to the electromagnetic type, and no magnetic flux, so there is no problem of leakage magnetic flux. .

本実施形態においては、追加ヒンジ41を有することにより、磁気ヘッド位置決め微動アクチュエータ100の共振周波数を高めている。例えば、図2において追加ヒンジ41を設けることで、設けないときに比べ共振周波数を30%高めることができる。また、追加ヒンジ位置がHGA12の先端121に近づく、即ちL2が小さくなるほど、先端121のストロークが低下し、逆に遠くなるほど共振周波数は小さくなる。しかし、L2を適切な位置に設定することで、ストロークを然程小さくすることなく、共振周波数を高めることができる。   In the present embodiment, the resonance frequency of the magnetic head positioning fine actuator 100 is increased by having the additional hinge 41. For example, by providing the additional hinge 41 in FIG. 2, the resonance frequency can be increased by 30% compared to when the additional hinge 41 is not provided. Further, the closer the additional hinge position is to the tip 121 of the HGA 12, that is, the smaller L2 is, the lower the stroke of the tip 121 is. However, by setting L2 to an appropriate position, the resonance frequency can be increased without reducing the stroke so much.

(HGA交換機構の実施例1)
図4は、HGA交換機構70の第1の実施例70Aを示す図である。図4(a)は、図3において矢印A方向から見た図である。図4(b)は、図4(a)において矢印Bから見た図である。図5は、図4(a)の断面図である。以下、図4を主体に、図3及び図5と合わせて実施例1であるHGA交換機構70Aを説明する。
(Example 1 of HGA exchange mechanism)
FIG. 4 is a diagram showing a first embodiment 70A of the HGA exchange mechanism 70. As shown in FIG. FIG. 4A is a view seen from the direction of arrow A in FIG. FIG. 4B is a diagram viewed from the arrow B in FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view of FIG. Hereinafter, the HGA exchanging mechanism 70A according to the first embodiment will be described with reference to FIG. 4 together with FIG. 3 and FIG.

HGA交換機構70Aは、前述したように、アーム5に隣接した固定部1に設けられ、HGA12を保持するための押付力を発生する押付力発生手段及び押付力を解除する操作手段を有する押付力発生部50Aと、アーム5に設けられ、HGA12を保持するヘッド保持部60Aとを有する。   As described above, the HGA exchanging mechanism 70A is provided in the fixed portion 1 adjacent to the arm 5, and has a pressing force generating means for generating a pressing force for holding the HGA 12 and an operating means for releasing the pressing force. The generator 50 </ b> A and a head holder 60 </ b> A that is provided on the arm 5 and holds the HGA 12 are included.

押付力発生部50Aは、押付力発生手段であるねじりコイルバネ52と、ねじりコイルバネ52を矢印Hの反対方向に回転させ、押付力を解除する操作手段である操作部51と、一端が操作部51に固定され、他端側でHGA12を保持するL字状の保持棒54と、保持棒54を矢印Hの方向に回転可能する貫通孔53hを備える交換機構固定部53とを有する。保持棒54は、貫通孔53hを通る貫通棒部54aと、貫通棒部54aと直交し、HGA12を保持する保持棒部54bとを有する。   The pressing force generation unit 50A includes a torsion coil spring 52 that is a pressing force generation unit, an operation unit 51 that is an operation unit that releases the pressing force by rotating the torsion coil spring 52 in the direction opposite to the arrow H, and one end of the operation unit 51. And an exchange mechanism fixing portion 53 having a through-hole 53h through which the holding rod 54 can be rotated in the direction of arrow H. The holding rod 54 includes a through rod portion 54 a that passes through the through hole 53 h and a holding rod portion 54 b that is orthogonal to the through rod portion 54 a and holds the HGA 12.

ねじりコイルバネ52は、その一端側を操作部51に、その他端側を交換機構固定部53に固定されており、常に矢印H方向にねじり力を発生させている。
なお、実施例では、操作部51を固定部1側に設けたが、実施例1で説明した操作部51をねじりコイルバネ52の単なるバネ固定部とし、アーム5、即ちヘッド保持部を挟んで固定部1とは反対側に貫通棒部54aを延在し、その端部に実際の操作部を設けてもよい。この場合は、保持棒54はT字状となり、Tの横棒を形成する貫通棒部54aは2つの端部を有する。
One end side of the torsion coil spring 52 is fixed to the operation unit 51 and the other end side thereof is fixed to the exchange mechanism fixing unit 53, and a torsional force is always generated in the arrow H direction.
In the embodiment, the operation portion 51 is provided on the fixing portion 1 side. However, the operation portion 51 described in the first embodiment is a simple spring fixing portion of the torsion coil spring 52, and is fixed with the arm 5, that is, the head holding portion interposed therebetween. The penetrating bar portion 54a may be extended on the side opposite to the portion 1, and an actual operation portion may be provided at an end portion thereof. In this case, the holding bar 54 is T-shaped, and the penetrating bar part 54a that forms the horizontal bar of T has two ends.

また、本実施例では、ねじりコイルバネ52は枠52wで保持されているが、ねじりコイルバネ52自体に操作部51を保持する保持力があれば、或いは、貫通孔53hに貫通棒部54aを保持する保持機構を設け、操作部51を保持することよって、枠52wを設けなくともよい。保持機構としては、ベアリングを設けてもよいし、貫通孔53の内面を摩擦抵抗の小さい摺動面としてもよい。   In the present embodiment, the torsion coil spring 52 is held by the frame 52w. However, if the torsion coil spring 52 itself has a holding force for holding the operation portion 51, or the through-hole portion 53h holds the through-rod portion 54a. By providing a holding mechanism and holding the operation unit 51, the frame 52w may not be provided. As the holding mechanism, a bearing may be provided, or the inner surface of the through hole 53 may be a sliding surface having a small frictional resistance.

一方、ヘッド保持部60Aは、アーム5の両側に設けられたHGA保持部61と、アーム5に固定され、保持棒54を内在する保持棒枠62と、アーム5に固定されたHGA12のストッパ63とを有する。保持棒枠62は、貫通棒部54aが通る孔62hを備え、アーム5は、保持棒部54bの矢印Hの方向に回転を可能とする保持棒部可動孔5hを備えている。なお、保持棒枠62は必ず設ける必要がなく、保持棒部54bを裸の状態にしてもよい。   On the other hand, the head holding portion 60A includes an HGA holding portion 61 provided on both sides of the arm 5, a holding rod frame 62 fixed to the arm 5 and including the holding rod 54, and a stopper 63 of the HGA 12 fixed to the arm 5. And have. The holding rod frame 62 includes a hole 62h through which the through rod portion 54a passes, and the arm 5 includes a holding rod portion movable hole 5h that can rotate in the direction of arrow H of the holding rod portion 54b. Note that the holding rod frame 62 is not necessarily provided, and the holding rod portion 54b may be bare.

このような構成によるHGA交換機構70Aの動作を説明する。ねじりコイルバネ52は、常に、H方向にねじり力を発生させている。従って、図4(b)に示すように、保持棒部54bは、常にH’方向に押付力を発生させている。それ故、HGA保持部61にHGA12が載置されていれば、HGA12は、その有する保持孔12hに内在する保持棒部54bの押付力によって、HGA12を係止するストッパ63に押付けられ、HGA保持部61に保持される。
HGA12をHGA保持部61から取り出すときは、操作部51をH方向とは反対方向に回転させ、押付力を解除することにより、保持棒部54bをHGA12から離間させ,HGA12を取り出す。
The operation of the HGA exchange mechanism 70A having such a configuration will be described. The torsion coil spring 52 always generates a torsional force in the H direction. Therefore, as shown in FIG. 4B, the holding bar portion 54b always generates a pressing force in the H ′ direction. Therefore, if the HGA 12 is placed on the HGA holding portion 61, the HGA 12 is pressed against the stopper 63 that locks the HGA 12 by the pressing force of the holding rod portion 54b that is present in the holding hole 12h that the HGA 12 has. Held in the part 61.
When taking out the HGA 12 from the HGA holding part 61, the operating part 51 is rotated in the direction opposite to the H direction to release the pressing force, thereby separating the holding bar part 54b from the HGA 12 and taking out the HGA 12.

従って、以上説明した実施例1によれば、HGA交換機構70Aの押付力発生部50Aを第1微動アクチュエータ100の固定部1に設けることにより、可動部7を軽くすることができる。その結果、可動部7の慣性力が小さくなり磁気ヘッド6の位置決め精度を向上することができる。それに伴い、ピエゾアクチュエータの出力も小さくなり、その結果ピエゾアクチュエータを小さくすることができ、省エネにもつながる。   Therefore, according to the first embodiment described above, the movable portion 7 can be lightened by providing the pressing force generating portion 50A of the HGA exchange mechanism 70A on the fixed portion 1 of the first fine actuator 100. As a result, the inertial force of the movable part 7 is reduced, and the positioning accuracy of the magnetic head 6 can be improved. Along with this, the output of the piezo actuator is also reduced. As a result, the piezo actuator can be made smaller, leading to energy saving.

さらに、以上説明した実施例1によれば、HGA12を固定するのに板ばねを使用しないため、装置の共振周波数を高くすることができ、磁気ヘッドの位置決め精度が向上することができる。   Furthermore, according to the first embodiment described above, since the leaf spring is not used to fix the HGA 12, the resonance frequency of the apparatus can be increased and the positioning accuracy of the magnetic head can be improved.

(HGA交換機構の実施例2)
図6は、HGA交換機構70の第2の実施例70Bを示す図である。図6(a)は、図4(b)に対応する図で、ヘッド保持部60Bを図4(a)に示す矢印Bから見た図である。図6(b)は、図4(a)に対応する実施例2において、図4(a)示す矢印Cから見た図である。なお、実施例2において、実施例1と同じ構造又は機能を有するものは同一符号を付している。
(Example 2 of HGA exchange mechanism)
FIG. 6 is a diagram showing a second embodiment 70B of the HGA exchange mechanism 70. As shown in FIG. FIG. 6A is a view corresponding to FIG. 4B, and is a view of the head holding portion 60B as viewed from the arrow B shown in FIG. 4A. FIG. 6B is a diagram viewed from an arrow C shown in FIG. 4A in the second embodiment corresponding to FIG. In the second embodiment, components having the same structure or function as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals.

実施例2の実施例1と異なる点は、ストッパ63をHGA12の中心側に設けた点である。それに伴い、次の2点を変更している。第1に、HGA12の中心側に、ストッパ63が通りストッパ63との接触部を有するストッパ貫通孔12sを設けた点である。第2に、ねじりコイルバネ52bが常にねじり力の発生する方向を、実施例1のH方向とは反対方向とした点である。その他の点は、実施例1と同じである。   The difference of the second embodiment from the first embodiment is that a stopper 63 is provided on the center side of the HGA 12. Accordingly, the following two points have been changed. First, the stopper through-hole 12s having a contact portion with the stopper 63 is provided on the center side of the HGA 12. Second, the direction in which the torsion coil spring 52b always generates a torsional force is the direction opposite to the H direction in the first embodiment. Other points are the same as those in the first embodiment.

実施例2においても、実施例1と同様な効果を奏することができる。   In the second embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

(HGA交換機構の実施例3)
図7は、HGA交換機構70の第3の実施例70Cを示す図である。図7(a)は、図4(a)に対応する実施例3において矢印Bから見た図である。図7(b)は、ヘッド保持部60Cを図7(a)において矢印Dから見た図である。なお、実施例3において、実施例1と同じ構造又は機能を有するものは同一符号を付している。
(Example 3 of HGA exchange mechanism)
FIG. 7 is a diagram showing a third embodiment 70C of the HGA exchange mechanism 70. As shown in FIG. FIG. 7A is a diagram viewed from an arrow B in the third embodiment corresponding to FIG. FIG. 7B is a view of the head holding portion 60C as viewed from the arrow D in FIG. In the third embodiment, components having the same structure or function as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals.

実施例3の実施例1と異なる点は、保持棒部54bのストッパ63への押付力の発生の仕方が異なる。実施例1では、ねじりコイルバネ52bで発生させていたのに対し、実施例3では、引張バネ57で押付力を矢印G方向に発生させている。引張バネ57は、その一端側が保持棒部54bに、その他端側を操作部51に固定されている。操作手段は、操作部51と、図示しない磁石を有し操作部51を磁力的に保持し、固定部1又は交換機構固定部53に固定された操作部保持部57sとを有する。また、貫通棒部54aは回転支点54cを有し、回転支点を中心に紙面内で回転し、それに伴い保持棒部54bは回転支点を中心に紙面に垂直な面で回転する。   The difference of the third embodiment from the first embodiment is that the method of generating the pressing force of the holding bar portion 54b against the stopper 63 is different. In the first embodiment, the force is generated by the torsion coil spring 52b, whereas in the third embodiment, the pressing force is generated in the direction of arrow G by the tension spring 57. One end of the tension spring 57 is fixed to the holding rod portion 54 b and the other end is fixed to the operation portion 51. The operation means includes an operation unit 51 and an operation unit holding unit 57 s that includes a magnet (not shown) and magnetically holds the operation unit 51 and is fixed to the fixing unit 1 or the exchange mechanism fixing unit 53. Further, the penetrating bar portion 54a has a rotation fulcrum 54c, and rotates around the rotation fulcrum in the paper, and accordingly, the holding rod 54b rotates around the rotation fulcrum on a plane perpendicular to the paper surface.

なお、操作部保持部57は、フック又は粘着材によって操作部51を保持する構成としてもよい。
その他の点は実施例1と同じである。
The operation unit holding unit 57 may be configured to hold the operation unit 51 with a hook or an adhesive material.
The other points are the same as in the first embodiment.

このような構成によるHGA交換機構70Cの動作を説明する。引張バネ57は、操作部51が操作部保持部57sに保持されているときには、G方向の引張力を発生させている。その結果、保持棒部54bは、支点54cを中心に、H’方向に押付力を発生させている。それ故、HGA保持部61にHGA12が載置されていれば、HGA12は、その有する保持孔12hに内在する保持棒部54bの押付力によってストッパ63に押付けられ、HGA保持部61に保持される。
HGA12をHGA保持部61から取り出すときは、操作部51を操作部保持部57sから離間させGと反対方向に押し込むことにより、保持棒部54bをHGA12から離間させ、HGA12を取り出す。
The operation of the HGA exchange mechanism 70C having such a configuration will be described. The tension spring 57 generates a tensile force in the G direction when the operation unit 51 is held by the operation unit holding unit 57s. As a result, the holding bar portion 54b generates a pressing force in the H ′ direction around the fulcrum 54c. Therefore, if the HGA 12 is placed on the HGA holding portion 61, the HGA 12 is pressed against the stopper 63 by the pressing force of the holding rod portion 54b that is present in the holding hole 12h that the HGA 12 has, and is held by the HGA holding portion 61. .
When the HGA 12 is taken out from the HGA holding part 61, the operation part 51 is separated from the operation part holding part 57s and pushed in the direction opposite to G, whereby the holding bar part 54b is separated from the HGA 12, and the HGA 12 is taken out.

なお、引張バネの替わりに圧縮バネを使用する場合は、図7(a)に示すバネの位置を貫通棒部54aに対して線対称の位置に設ければよい。   When a compression spring is used instead of the tension spring, the position of the spring shown in FIG. 7A may be provided at a line-symmetrical position with respect to the penetrating bar portion 54a.

実施例3においても、実施例1と同様な効果を奏することができる。   Also in Example 3, the same effect as Example 1 can be produced.

(HGA交換機構の他の実施例)
押付力発生手段として、図7(a)に示す引張バネの替わりに、エアシリンダを用いてもよい。この場合は、シリンダロッド又はエアシリンダの本体を貫通棒部54aに、逆にシリンダの本体又はシリンダロッドを操作部51に接続する。操作手段の構成は実施例3と同様な構成とする。シリンダを操作部に接続した状態でHGA12を保持するように押付力を矢印G方向に発生させる。
(Another embodiment of the HGA exchange mechanism)
As the pressing force generating means, an air cylinder may be used instead of the tension spring shown in FIG. In this case, the main body of the cylinder rod or air cylinder is connected to the through-rod portion 54a, and conversely, the main body of the cylinder or cylinder rod is connected to the operation portion 51. The configuration of the operation means is the same as that of the third embodiment. A pressing force is generated in the direction of arrow G so as to hold the HGA 12 with the cylinder connected to the operating portion.

また、実施例3では、支点54cを中心とした貫通棒部54の回転によって、引張バネの引張力を、HGA12に対する押付力を変換しているが、支点を設ける替わりに貫通棒部54aを平行移動させるリニアガイドを設けて押付力を発生してもよい。   In the third embodiment, the tension of the tension spring and the pressing force against the HGA 12 are converted by the rotation of the penetrating bar 54 around the fulcrum 54c. However, instead of providing the fulcrum, the penetrating bar 54a is parallel. A linear guide to be moved may be provided to generate a pressing force.

さらに、以上説明した実施例においては、押付力発生部50を第1微動アクチュエータの固定部1の基面に設けたが、図1に破線で示した位置の表面に設けてもよい。その場合、保持棒部54bは、基面に設けた場合に比べ長くなる。   Furthermore, in the embodiment described above, the pressing force generating portion 50 is provided on the base surface of the fixed portion 1 of the first fine actuator, but may be provided on the surface at the position indicated by the broken line in FIG. In that case, the holding rod portion 54b is longer than that provided on the base surface.

1:固定部 2:ピエゾアクチュエータ
3:X方向キャリッジ(X方向粗動アクチュエータ)
4a、4b:ヒンジ 5:アーム(ヘッド固定部)
6:磁気ヘッド 7:可動部
8a、8b:ヒンジ接続部 9:第2微動アクチュエータ
10:Y方向キャリッジ(Y方向粗動アクチュエータ)
12:HGA(ヘッドジンバルアセンブリ) 20:磁気ヘッド位置決め装置
21:定盤 30:制御処理装置
41:追加ヒンジ 42:ビーム部
42a:pushビーム 42b:pullビーム
50、50A、50C:押付力発生部 51:操作部
52:ねじりコイルバネ 53:交換機構固定部
53h:貫通孔 54:保持棒
54a:貫通棒部 54b:保持棒部
57;引張バネ 57s:操作部保持部
60、60A、60B、60C:ヘッド保持部
61:HGA保持部 62:保持棒枠
63:ストッパ
70、70A、70B、70C:HGA交換機構
81:板ばね 82:操作レバー
83:板バネ押付棒 100:第1微動アクチュエータ
200:磁気ヘッド検査装置 H:磁気ディスク
S:スピンドル
1: Fixed part 2: Piezo actuator 3: X direction carriage (X direction coarse actuator)
4a, 4b: Hinge 5: Arm (head fixing part)
6: Magnetic head 7: Movable part 8a, 8b: Hinge connection part 9: Second fine movement actuator 10: Y direction carriage (Y direction coarse movement actuator)
12: HGA (head gimbal assembly) 20: magnetic head positioning device 21: surface plate 30: control processing device 41: additional hinge 42: beam part 42a: push beam 42b: pull beam 50, 50A, 50C: pressing force generating part 51 : Operation part 52: Torsion coil spring 53: Exchange mechanism fixing part 53h: Through hole 54: Holding rod 54a: Through rod part 54b: Holding rod part 57; Tension spring 57s: Operating part holding part 60, 60A, 60B, 60C: Head Holding part 61: HGA holding part 62: Holding rod frame 63: Stopper 70, 70A, 70B, 70C: HGA exchange mechanism 81: Leaf spring 82: Operation lever 83: Leaf spring pressing rod 100: First fine movement actuator 200: Magnetic head Inspection device H: Magnetic disk S: Spindle

Claims (10)

磁気ヘッドを2次元に粗動動作させる粗動アクチュエータと、
前記粗動アクチュエータに搭載された第2微動アクチュエータと、
前記第2微動アクチュエータに搭載された第1微動アクチュエータと、を有し、
前記第1微動アクチュエータは、
ピエゾアクチュエータを備える固定部と、
先端側にヘッドジンバルアセンブリ(HGA)保持するヘッド保持部を有し、前記ピエゾアクチュエータによって前記HGAを移動させる可動部と、
前記HGAを保持するための押付力を発生する押付力発生手段を有する押付力発生部と前記押付発生部を固定する交換機構固定部とを前記固定部に設けたHGA交換機構と、
を有することを特徴とする磁気ヘッド位置決め装置。
A coarse actuator that coarsely moves the magnetic head in two dimensions;
A second fine actuator mounted on the coarse actuator;
A first fine actuator mounted on the second fine actuator;
The first fine actuator includes:
A fixed part comprising a piezo actuator;
A head holding part for holding a head gimbal assembly (HGA) on the tip side, and a movable part for moving the HGA by the piezo actuator;
An HGA exchanging mechanism in which a pressing force generating part having a pressing force generating means for generating a pressing force for holding the HGA and an exchange mechanism fixing part for fixing the pressing generating part are provided in the fixing part;
A magnetic head positioning device comprising:
前記固定部は、前記ピエゾアクチュエータの先端側であって、前記ピエゾアクチュエータの伸縮方向の中心線に対して左右に前記固定部に設けられたヒンジを有し、
前記可動部は、前記ヒンジがそれぞれ設けられた2つのビームと、前記ヘッド保持部を有し、前記2つのビームの先端側に設けられたヘッド固定部と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
The fixing portion is a tip side of the piezo actuator, and has a hinge provided on the fixing portion on the left and right with respect to a center line in the expansion / contraction direction of the piezo actuator,
The movable part includes two beams each provided with the hinges, the head holding part, and a head fixing part provided on a front end side of the two beams,
The magnetic head positioning device according to claim 1, comprising:
前記2つのビームの少なくとも一方と前記ヘッド固定部とのそれ等も含む間に所定の位置を設け、前記所定の位置と前記固定部との間に追加ヒンジを設けたことを特徴とする請求項2に記載の磁気ヘッド位置決め装置。   The predetermined position is provided between at least one of the two beams and the head fixing portion, and an additional hinge is provided between the predetermined position and the fixing portion. 3. A magnetic head positioning apparatus according to 2. 前記押付力発生部は、前記押付力を解除する操作手段と、一端側が前記HGAに設けた保持孔に前記押付力を作用させる保持棒とを有し、
前記ヘッド保持部は、前記ヘッド固定部に固定され、前記HGAを保持するHGA保持部と、前記押付力によって前記HGAを係止するストッパとを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置。
The pressing force generating unit includes an operating means for releasing the pressing force, and a holding rod for causing the pressing force to act on a holding hole provided on one end side of the HGA.
4. The head holding portion includes an HGA holding portion that is fixed to the head fixing portion and holds the HGA, and a stopper that locks the HGA by the pressing force. A magnetic head positioning apparatus according to claim 1.
前記押付力発生手段は、ねじりコイルバネであり、
前記操作手段は、一端側が前記交換機構固定部に固定された前記ねじりコイルバネの他端側に固定された操作部を有し、
前記保持棒は、その他端側が前記操作部に固定された、
ことを特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
The pressing force generating means is a torsion coil spring,
The operation means has an operation part fixed to the other end side of the torsion coil spring having one end side fixed to the exchange mechanism fixing part,
The other end side of the holding rod is fixed to the operation unit.
5. The magnetic head positioning apparatus according to claim 4, wherein
前記押付力発生手段は、ねじりコイルバネであり、他端を固定するバネ固定部を有し、
前記操作手段は、一端側が前記交換機構固定部に固定された前記ねじりコイルバネの他端側に固定されたバネ固定部と、前記押付力を解除する操作部とを有し、
前記保持棒は、その他端側が前記バネ固定部に固定され、前記ヘッド保持部を挟んで前記バネ固定部とは反対側に設けられたもう一つの他端部に前記操作部を有する、
ことを特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
The pressing force generating means is a torsion coil spring, and has a spring fixing portion that fixes the other end,
The operation means has a spring fixing portion fixed to the other end side of the torsion coil spring, one end side of which is fixed to the exchange mechanism fixing portion, and an operation portion for releasing the pressing force,
The other end of the holding rod is fixed to the spring fixing portion, and the operation portion is provided at the other end provided on the opposite side of the spring fixing portion across the head holding portion.
5. The magnetic head positioning apparatus according to claim 4, wherein
前記押付力発生手段は、引張バネ又は圧縮バネであり、
前記保持棒は、他端側が前記引張バネ又は前記圧縮バネの一端側に固定され、
前記操作手段は、前記引張バネ又は前記圧縮バネの他端側に固定されている操作部と、
前記固定部又は前記交換機構固定部に固定され、前記操作部を保持する操作部保持部と、
を有することを特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
The pressing force generating means is a tension spring or a compression spring,
The other end side of the holding rod is fixed to one end side of the tension spring or the compression spring,
The operation means includes an operation portion fixed to the other end side of the tension spring or the compression spring;
An operation unit holding unit fixed to the fixing unit or the exchange mechanism fixing unit and holding the operation unit;
The magnetic head positioning device according to claim 4, comprising:
前記押付力発生手段はエアシリンダであり、
前記保持棒は他端側がシリンダロッド又は前記エアシリンダの本体に固定され、
前記操作手段は、逆に前記シリンダの本体又は前記シリンダロッドに固定されている操作部と、前記固定部又は前記交換機構固定部に固定され、前記操作部を保持する操作部保持部と、
を特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
The pressing force generating means is an air cylinder,
The other end of the holding rod is fixed to the cylinder rod or the main body of the air cylinder,
The operation means, on the contrary, an operation unit fixed to the cylinder body or the cylinder rod, an operation unit holding unit fixed to the fixing unit or the exchange mechanism fixing unit, and holding the operation unit,
The magnetic head positioning apparatus according to claim 4, wherein:
前記押付発生部を磁気ディスクに面する基面に設けたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置。   4. The magnetic head positioning device according to claim 1, wherein the pressing generation portion is provided on a base surface facing the magnetic disk. 請求項1乃至9のいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置と、
前記磁気ヘッド位置決め装置を制御し、前記HGAの先端に設けられた磁気ヘッドからデータを読み取り、前記磁気ヘッドの良否を判定する制御処理装置と、
を有することを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
A magnetic head positioning device according to any one of claims 1 to 9,
A control processing device that controls the magnetic head positioning device, reads data from a magnetic head provided at the tip of the HGA, and determines whether the magnetic head is good or bad;
A magnetic head inspection apparatus comprising:
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