JP2013208868A - 離型方法及び離型装置 - Google Patents

Abstract

【課題】インプリント型と被転写材との迅速且つ確実な離型を行う。
【解決手段】離型装置１０は、インプリント型３０のパターン３１が転写された被転写材２０からインプリント型３０を離型するものであって、被転写材２０と共にインプリント型３０を押さえ板１８及びナット１９で保持する被転写材側ステージ１１ａと、この被転写材側ステージ１１ａの被転写材２０側から被転写材２０に形成された貫通穴２１から露出するインプリント型３０に向けて突出するイジェクトピン１３とを備える。
【選択図】図１

Description

この発明は、インプリント型が押し付けられた被転写材からインプリント型を離型する離型方法及び離型装置に関する。

従来より、インプリント型を被転写材に押し付けて、所望のパターンを被転写材に転写するインプリント法が知られている（例えば、特許文献１参照）。このインプリント法において、インプリント型を被転写材から離型する場合、被転写材にインプリント型を圧着する方向と反対方向に被転写材からインプリント型を引き離すと共に、上記圧着する方向と同一方向に被転写材にイジェクトピンを押し付けることが行われる。

特開２０１１−１７１３６４号公報

しかしながら、上記特許文献１に開示された従来技術のインプリント法における離型方法では、イジェクトピンを通すための貫通穴をインプリント型に設けているため、転写時に貫通穴内に被転写材が入り込んでしまう場合があり、このような場合は貫通穴に挿入されるイジェクトピンによる押し付けが妨げられて、インプリント型と被転写材との迅速且つ確実な離型が困難となる可能性がある。

この発明は、上述した従来技術による問題点を解消し、インプリント型と被転写材との迅速且つ確実な離型を行うことができる離型方法及び離型装置を提供することを目的とする。

本発明に係る離型方法は、インプリント型を押し付けて、被転写材に形成された貫通穴から露出するインプリント型に前記被転写材側からイジェクトピンの先端を当接させる工程と、前記イジェクトピンを前記インプリント型に押し付けながら前記被転写材から前記インプリント型を離型する工程とを備えたことを特徴とする。

本発明に係る離型方法によれば、イジェクトピンを挿入する貫通穴がインプリント型ではなく被転写材に設けられているので、従来のようにインプリント型を被転写材に押し付けたときに貫通穴内に被転写材が入り込むことはなく、イジェクトピンを貫通穴内に確実に挿入してインプリント型と被転写材とを迅速且つ確実に離型することができる。

本発明の一実施形態においては、前記インプリント型の離型時に前記被転写材をステージに保持する工程を含む。

本発明の他の実施形態においては、前記イジェクトピン当接用の突起が形成された前記インプリント型を前記被転写材に押し付けて前記インプリント型のパターンを前記被転写材に転写すると共に前記貫通穴を形成する工程を含み、前記インプリント型の離型時に前記突起の端面に前記イジェクトピンを押し当てて前記インプリント型を離型する。

本発明の更に他の実施形態においては、前記イジェクトピン当接用の突起が形成された前記インプリント型のパターン面上に液状の被転写材を塗布した後に、前記突起の端面が露出するように前記被転写材を硬化させて前記インプリント型のパターンを前記被転写材に転写する工程を含み、前記インプリント型の離型時に前記突起の端面に前記イジェクトピンを押し当てて前記インプリント型を離型する。

本発明の更に他の実施形態においては、前記インプリント型の離型時に前記インプリント型の前記イジェクトピンの当接部にガスを注入して前記インプリント型に離型圧力をかける工程を含む。当接部にガスを注入することで、離型圧力がインプリント型に加わるので、更に迅速且つ確実に離型することができる。

本発明の更に他の実施形態においては、前記インプリント型の離型時に前記インプリント型側を減圧雰囲気にして前記インプリント型に離型圧力をかける工程を含む。インプリント型側を減圧雰囲気にすることで、離型圧力がインプリント型に加わるので、更に迅速且つ確実に離型することができる。

本発明に係る離型装置は、インプリント型が押し付けられた被転写材から前記インプリント型を離型する離型装置であって、前記被転写材と共に前記インプリント型を保持する保持機構を有するステージと、前記ステージの前記被転写材側から前記被転写材に形成された貫通穴から露出する前記インプリント型に向けて突出するイジェクトピンとを備えたことを特徴とする。

本発明に係る離型装置によれば、上記離型方法における作用効果と同様に、イジェクトピンを貫通穴内に確実に挿入してインプリント型と被転写材とを迅速且つ確実に離型することができる。

本発明の一実施形態においては、前記インプリント型の前記イジェクトピンの当接部にガスを注入して前記インプリント型に離型圧力をかけるガス加圧機構、及び前記インプリント型側を減圧雰囲気にして前記インプリント型に離型圧力をかける減圧機構の少なくとも一つを備える。

本発明によれば、インプリント型と被転写材との迅速且つ確実な離型を行うことができる。

本発明の第１の実施形態に係る離型装置を示す断面図である。 同離型装置の前段の転写装置を示す断面図である。 同離型装置による離型工程を示すフローチャートである。 同離型装置の離型時の様子を示す断面図である。 本発明の第２の実施形態に係る離型装置を示す断面図である。 同離型装置の離型時の様子を示す断面図である。 本発明の第３の実施形態に係る離型装置を示す断面図である。 同離型装置の離型時の様子を示す断面図である。 本発明の第４の実施形態に係る離型装置を示す断面図である。 同離型装置の離型時の様子を示す断面図である。 本発明の第５の実施形態に係る離型装置の一部を示す断面図である。 同離型装置のイジェクトピンの突出時の様子を示す斜視図である。 本発明の第６の実施形態に係る離型装置による離型工程を断面で示す工程図である。 本発明の第７の実施形態に係る離型装置の前段の転写装置を示す断面図である。 同離型装置による離型工程を断面で示す工程図である。

以下、添付の図面を参照して、この発明の実施の形態に係る離型方法及び離型装置を詳細に説明する。

［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る離型装置を示す断面図である。図２は、離型装置の前段の転写装置を示す断面図である。図３は、離型装置による離型工程を示すフローチャートである。図４は、離型装置の離型時の様子を示す断面図である。図１に示すように、第１の実施形態に係る離型装置１０は、例えば樹脂フィルムからなる被転写材２０と、この被転写材２０にパターン３１が転写されたインプリント型３０とを離型する装置である。

被転写材２０は、本実施形態においては、例えば厚さ２５μｍ程度の熱可塑性のポリイミド、ポリオレフィン、液晶ポリマーなどからなる樹脂フィルムや、熱硬化性のエポキシ樹脂からなる樹脂フィルムなどが用いられる。被転写材２０には、予めインプリント型３０のパターン３１を転写しない領域に、厚さ方向に貫通する貫通穴２１が形成されている。

インプリント型３０は、モールドやダイなどの金型であり、被転写材２０に転写する凹凸のパターン３１が形成されている。インプリント型３０は、例えばシリコンからなり、そのパターン３１は、最小ライン／スペース（Ｌ／Ｓ）が５μｍ／５μｍで、高さ５μｍのパターンに形成されている。

なお、インプリント型３０は、例えばニッケル、銅、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）等により形成され、所望のピッチのパターン３１が形成されたものを用いても良い。また、インプリント型３０のパターン３１側の表面には、例えばフッ素樹脂などがコーティングされた易離型処理が施されていても良い。

離型装置１０は、被転写材２０が配置される被転写材側ステージ１１ａと、インプリント型３０が配置されるインプリント型側ステージ１１ｂとを備える。被転写材側ステージ１１ａには、配置された被転写材２０の貫通穴２１と対応する位置にピン穴１２が形成されており、このピン穴１２を通るイジェクトピン１３を有するピン駆動装置１０ａが設けられている。

ピン駆動装置１０ａは、例えば筐体１０ｂと、この筐体１０ｂの内部に基端部が収容されたイジェクトピン１３と、イジェクトピン１３の基端部と筐体１０ｂの内壁との間でイジェクトピン１３を筐体１０の外側に付勢するばね１４と、筐体１０ｂの内部でイジェクトピン１３の基端部と当接するイジェクト板１５と、このイジェクト板１５を上下駆動する駆動軸１６及び駆動モータ１７とを備えて構成されている。

また、被転写材側ステージ１１ａには、配置された被転写材２０を固定保持する保持機構として、被転写材２０を被転写材側ステージ１１ａのステージ上に押さえる押さえ板１８と、この押さえ板１８を上下方向に締めたり緩めたりするためのボルト１９ａ及びナット１９とが設けられている。

一方、インプリント型側ステージ１１ｂには、インプリント型３０が配置される位置に対応する箇所に吸引穴１１ｃが形成されており、この吸引穴１１ｃを介してインプリント型３０をステージ上に吸着させるための図示しない吸着装置が設けられている。このように構成された離型装置１０には、離型に際して図２（ｂ）に示すような前段の転写装置４０においてパターン３１が転写された状態の被転写材２０とインプリント型３０とが搬送されてくる。

すなわち、図２（ａ）に示すように、転写段階においては、貫通穴２１を形成した被転写材料２０とインプリント型３０とを準備し、被転写材２０のパターン転写箇所とインプリント型３０のパターン３１の位置とを位置合わせした上で、転写装置４０のステージ８，９にこれらを配置する。

そして、インプリント型３０又は被転写材２０の少なくとも一方を加熱しながら、例えばステージ８をステージ９側に移動させて、被転写材２０にインプリント型３０を押し付けてパターン３１を転写する。このとき、被転写材２０が柔らかくなる温度まで被転写材２０を加熱しながら押し付けることが好ましいが、被転写材２０が熱可塑性樹脂からなる場合は、ガラス転移点以上の温度まで加熱することが望ましい。

なお、図２（ｂ）に示すように、被転写材２０に設けた貫通穴２１は転写時に樹脂流動によりその径が縮小することとなるので、その場合にもイジェクトピン１３が十分に通ることができる径を維持するように、予め被転写材２０に形成する際の貫通穴２１の径を設定しておけば良い。

こうしてパターン３１が転写された後、被転写材２０が柔らかくなる温度以下にインプリント型３０と被転写材２０とを冷却し、これらが一体化した状態で離型装置１０に搬送して、離型装置１０による離型工程を開始する。ここで、図３を参照しながら離型工程について説明する。

まず、図１に示すように、被転写材２０の貫通穴２１とイジェクトピン１３とを位置合わせして被転写材２０をイジェクトピン１３配置側の被転写材側ステージ１１ａ上に配置する（ステップＳ１００）。そして、ナット１９を締めることにより押さえ板１８を被転写材２０に当接して被転写材２０を被転写材側ステージ１１ａに固定すると共に、インプリント型側ステージ１１ｂをインプリント型３０に当接してインプリント型側ステージ１１ｂに吸着させて固定する。なお、吸引による吸着方式の他、上述した押さえ板１８による固定方式や、静電吸着式或いは粘着シート等を用いた粘着式などにより固定させることができる。

次に、ピン駆動装置１０ａを起動させて、駆動モータ１７により駆動軸１６及びイジェクト板１５をばね１４のばね力に抗して上方向に移動させ、イジェクトピン１３を貫通穴２１に挿入してインプリント型３０に当接させる（ステップＳ１０２）。イジェクトピン１３がインプリント型３０に当接したら、図４に示すように、各ステージ１１ａ，１１ｂを連動させて互いに離れる方向に移動させると共に、更にイジェクト板１５等を上方向に移動させてイジェクトピン１３をインプリント型３０に押し付け、インプリント型３０を被転写材２０から離型し（ステップＳ１０４）、本フローチャートによる一連の処理を終了する。インプリント型３０を被転写材２０から離型することで、被転写材２０に転写パターン２２が形成される。

このように、第１の実施形態に係る離型装置１０による離型方法によれば、インプリント型３０にイジェクトピン１３を挿入する貫通穴を形成することなく、被転写材２０に形成された貫通穴２１を利用して、イジェクトピン１３をインプリント型３０に押し付けることができる。これにより、パターン３１による転写パターン２２が形成された被転写材２０からインプリント型３０を迅速且つ確実に離型することが可能となる。

なお、従来例においては、インプリント型を被転写材から離型するための剥離力は、インプリント型を保持する力に依存しているので、例えばインプリント型の上面や側面を吸着して保持した状態で被転写材から引き剥がすと仮定すると、このような吸着だけではインプリント型の保持力が弱くなり、それに伴う剥離力も弱くなるので、本例の場合と比較して迅速に離型を行うことができないと想定される。

［第２の実施形態］
図５は、本発明の第２の実施形態に係る離型装置を示す断面図である。図６は、離型装置の離型時の様子を示す断面図である。なお、以降において既に説明した部分と重複する箇所には同一の符号を附して説明を割愛する。第２の実施形態に係る離型装置１０Ａは、インプリント型３０の離型時にインプリント型３０におけるイジェクトピン１３の当接部分にガスを注入するガス加圧機構を設け、インプリント型３０にイジェクトピン１３による押圧力のみならず離型圧力をかける点が、第１の実施形態に係る離型装置１０と相違している。

すなわち、図５に示すように、離型装置１０Ａは、被転写材側ステージ１１ａに形成された、ピン穴１２に連通するガスチャンバ４１と、このガスチャンバ４１と図示しないガス供給加圧装置とを連通させるガス通路４２及びガス供給口４２ａとを有するガス加圧機構を備える点が、第１の実施形態に係る離型装置１０と相違している。

この離型装置１０Ａにおいて、被転写材側ステージ１１ａ及びピン駆動装置１０ａのガスチャンバ４１からピン駆動装置１０ａに向かう部分には、イジェクトピン１３と摺接する複数のシール材４３が設けられている。これにより、イジェクト板１５が上下動する筐体１０ｂの内部空間内にガスチャンバ４１及びガス通路４２を通るガスが流入しないように構成されている。

このように構成された第２の実施形態に係る離型装置１０Ａによる離型方法によれば、図６に示すように、離型時において、イジェクトピン１３によるインプリント型３０への押圧と共に、ガス供給加圧装置から供給されてガス供給口４２ａ、ガス通路４２及びガスチャンバ４１を通ったガスが、ピン穴１２の内周面とイジェクトピン１３の外周面との間を通ってインプリント型３０のイジェクトピン１３との当接部に所定の圧力を持って図中矢印で示すように供給される。従って、被転写材２０からインプリント型３０を更に迅速且つ確実に離型することが可能となる。

［第３の実施形態］
図７は、本発明の第３の実施形態に係る離型装置を示す断面図である。図８は、離型装置の離型時の様子を示す断面図である。第３の実施形態に係る離型装置１０Ｂは、インプリント型側ステージ１１ｂの代わりに、インプリント型３０の離型時にインプリント型３０側を減圧雰囲気にしてインプリント型３０に離型圧力をかける減圧機構を設け、インプリント型３０にイジェクトピン１３による押圧力及びガス加圧機構による離型圧力のみならず、更なる離型圧力をかける点が、第２の実施形態に係る離型装置１０Ａと相違している。

すなわち、図７に示すように、離型装置１０Ｂは、被転写材２０が固定された被転写材側ステージ１１ａを密閉するように、シーリング４４を介して覆うように取り付けられた減圧空間形成部４５と、この減圧空間形成部４５に形成された減圧穴４６を介して減圧空間４７と連通される図示しないガス吸入装置とを有する減圧機構を備える点が、第２の実施形態に係る離型装置１０Ａと相違している。

このように構成された第３の実施形態に係る離型装置１０Ｂによる離型方法によれば、図８に示すように、離型時において、イジェクトピン１３によるインプリント型３０への押圧及びピン穴１２を介した上記当接部分へのガス供給と共に、減圧穴４６を介した減圧空間４７からの図中矢印で示すガスの吸入による真空引きにより、インプリント型３０が減圧穴４６側へ引き付けられる。従って、被転写材２０からインプリント型３０を更に迅速且つ確実に離型することが可能となる。なお、本実施形態では、ガス供給加圧装置とガス吸入装置の双方を備え、インプリント型３０を被転写材２０から離型させる形態としたが、ガス吸入装置のみを備え、インプリント型３０を被転写材２０から離型させる形態としてもよい。

［第４の実施形態］
図９は、本発明の第４の実施形態に係る離型装置を示す断面図である。図１０は、離型装置の離型時の様子を示す断面図である。第４の実施形態に係る離型装置１０Ｃは、ガス加圧機構及び減圧機構のガス経路が繋がっている点が、第３の実施形態に係る離型装置１０Ｂと相違している。

すなわち、図９に示すように、離型装置１０Ｃは、ピン駆動装置１０ａの筐体５０の一部がピン穴１２を有する被転写材側ステージ１１ａを兼ね、この筐体５０の内部空間５０ａにガス供給加圧装置からガス供給口４２ａを介してガスを供給して、図中矢印で示すようにピン穴１２を介して上記当接部分に離型圧力をかける。これと共に、減圧機構により減圧空間４７から減圧穴４６を介して図中矢印で示すようにガスを吸引し真空引きを行う。

ガス供給加圧装置からガス吸入装置へ至るガスの経路は、ガス供給口４２ａ、内部空間５０ａ、ピン穴１２、減圧空間４７及び減圧穴４６と一連の連通した経路となる。なお、ピン駆動装置１０ａの内部空間５０ａには、ピン穴１２の下方側にばね１４の一端部が固定される固定板５１が、イジェクト板１５を案内するガイド軸５２を介して筐体５０に取り付けられた状態で設けられている。

このように構成された第４の実施形態に係る離型装置１０Ｃによる離型方法によれば、図１０に示すように、離型時において、イジェクトピン１３によるインプリント型３０への押圧、ピン穴１２を介した上記当接部分へのガス供給と減圧穴４６を介した減圧空間４７からのガスの真空引きを同一ガス経路で行い、インプリント型３０が減圧穴４６側へ引き付けられる。従って、シール材４３等が不要な構造で被転写材２０からインプリント型３０を更に迅速且つ確実に離型することが可能となる。

［第５の実施形態］
図１１は、本発明の第５の実施形態に係る離型装置の一部を示す断面図である。図１２は、離型装置のイジェクトピンの突出時の様子を示す斜視図である。第５の実施形態に係る離型装置１０Ｄは、イジェクトピン１３を一括駆動するピン駆動装置１０ａの代わりに、各イジェクトピン１３にそれぞれピン駆動装置５５が設けられ、各イジェクトピン１３の変位量や駆動（押出）速度等を個別に制御することができるように構成されている点が、上記第１〜第４の実施形態に係る離型装置１０〜１０Ｃと相違している。

ピン駆動装置５５内には、それぞれ上述したようなばねや駆動軸、駆動モータ等が内蔵されており、イジェクトピン１３の押出量を任意に制御可能である。このように構成された第５の実施形態に係る離型装置１０Ｄによれば、図１１及び図１２に示すように、インプリント型３０の上記当接部分毎におけるイジェクトピン１３のピン駆動装置５５からの突出量を変化させることにより、貫通穴２１を通ったイジェクトピン１３の押出量を変化させ、例えばインプリント型３０を被転写材２０に対して非平行状態で離型することが可能となる。

［第６の実施形態］
図１３は、本発明の第６の実施形態に係る離型装置による離型工程を断面で示す工程図である。第６の実施形態に係る離型装置１０Ｅは、インプリント型３０Ａにイジェクトピン１３の当接用の突起３９が形成され、被転写材２０に予め貫通穴２１を設けることなく転写装置４０でのパターン３１の転写時にこの突起３９により貫通穴２１が形成される点が、第１の実施形態に係る離型装置１０と相違している。

離型時には、図１３（ａ）に示すように、転写装置４０から搬送された被転写材２０におけるインプリント型３０Ａの突起３９の端面とイジェクトピン１３とを位置合わせして被転写材２０をイジェクトピン１３配置側の被転写材側ステージ１１ａ上に配置する。そして、図１３（ｂ）に示すように、ナット１９を締めることにより押さえ板１８を被転写材２０に当接して被転写材２０を被転写材側ステージ１１ａに固定すると共に、インプリント型側ステージ１１ｂをインプリント型３０Ａに当接してインプリント型側ステージ１１ｂに吸着させて固定する。

最後に、図１３（ｃ）に示すように、ピン駆動装置１０ａを起動させて、駆動モータ１７により駆動軸１６及びイジェクト板１５をばね１４のばね力に抗して上方向に移動させ、イジェクトピン１３を突起３９に当接させて、各ステージ１１ａ，１１ｂを連動させて互いに離れる方向に移動させると共に、イジェクト板１５等を上方向に移動させてイジェクトピン１３を突起３９に押し付け、インプリント型３０Ａを被転写材２０から離型する。

このように、第６の実施形態に係る離型装置１０Ｅによる離型方法によれば、被転写材２０に予めイジェクトピン１３を挿入する貫通穴２１を形成することなく、転写時に被転写材２０に押し付けられた突起３９を利用して、イジェクトピン１３をインプリント型３０Ａに押し付けて離型することができる。これにより、被転写材２０に貫通穴２１を予め形成する工程を省くことができると共に、迅速且つ確実に離型することが可能となる。

［第７の実施形態］
図１４は、本発明の第７の実施形態に係る離型装置の前段の転写装置を示す断面図である。図１５は、離型装置による離型工程を断面で示す工程図である。第７の実施形態に係る離型装置１０Ｆは、被転写材２０Ａが樹脂フィルムではなく液状の熱硬化性樹脂や紫外線硬化型樹脂などの樹脂部材からなり、被転写材２０Ａを被転写材側ステージ１１ａに吸着により固定する点が、第６の実施形態に係る離型装置１０Ｅと相違している。

従って、転写段階においては、図１４（ａ）に示すように、突起３９を形成したインプリント型３０Ａの突起３９形成部分を含むパターン３１上に被転写材２０Ａを塗布し、図１４（ｂ）に示すように、転写装置４０のステージ８，９間にこれらを挟み込んで加熱・加圧或いは加圧・紫外線照射して、被転写材２０Ａを硬化させる。これにより、被転写材２０Ａにパターン３１を転写すると共に貫通穴２１を形成する。

その後、図１５（ａ）に示すように、離型装置１０Ｆにおいて、インプリント型３０Ａの突起３９の端面とイジェクトピン１３とを位置合わせして、被転写材２０Ａと一体化したインプリント型３０Ａをインプリント型側ステージ１１ｂに吸着させて固定する。次に、図１５（ｂ）に示すように、被転写材側ステージ１１ａを移動させて被転写材２０Ａをイジェクトピン１３配置側の被転写材側ステージ１１ａ上に吸着し、図１５（ｃ）に示すように、ピン駆動装置１０ａを起動させて、駆動モータ１７により駆動軸１６及びイジェクト板１５をばね１４のばね力に抗して上方向に移動させ、イジェクトピン１３を突起３９に当接させて、各ステージ１１ａ，１１ｂを連動させて互いに離れる方向に移動させると共に、イジェクト板１５等を上方向に移動させてイジェクトピン１３を突起３９に押し付け、インプリント型３０を被転写材２０Ａから離型する。

このように、第７の実施形態に係る離型装置１０Ｆによる離型方法によれば、被転写材２０Ａが貫通穴２１を形成し難い液状の樹脂部材からなるが、インプリント型３０Ａの突起３９により容易に貫通穴２１を形成することができるので、上記と同様にインプリント型３０Ａ及び被転写材２０Ａを迅速且つ確実に離型することが可能となる。

なお、図示は省略するが、上述した実施形態に係る離型装置においては、被転写材に複数のインプリント型を押し付けたり、複数のインプリント型に被転写材を塗布したりしてパターンを転写した後、これら複数のインプリント型を一括して離型したり、各々に離型したりすることが可能である。また、被転写材において貫通穴が形成された部分は、離型後に切断等して除去するので、被転写材の製品には何ら影響がない。

１０ 離型装置
１０ａ ピン駆動装置
１０ｂ 筐体
１１ａ 被転写材側ステージ
１１ｂ インプリント型側ステージ
１１ｃ 吸引穴
１２ ピン穴
１３ イジェクトピン
１４ ばね
１５ イジェクト板
１６ 駆動軸
１７ 駆動モータ
１８ 押さえ板
１９ ナット
２０ 被転写材
２１ 貫通穴
２２ 転写パターン
３０ インプリント型
３１ パターン

Claims (8)

1. インプリント型を押し付けて、被転写材に形成された貫通穴から露出するインプリント型に前記被転写材側からイジェクトピンの先端を当接させる工程と、
   前記イジェクトピンを前記インプリント型に押し付けながら前記被転写材から前記インプリント型を離型する工程とを備えた
   ことを特徴とする離型方法。
2. 前記インプリント型の離型時に前記被転写材をステージに保持する工程を含む
   ことを特徴とする請求項１記載の離型方法。
3. 前記イジェクトピン当接用の突起が形成された前記インプリント型を前記被転写材に押し付けて前記インプリント型のパターンを前記被転写材に転写すると共に前記貫通穴を形成する工程を含み、
   前記インプリント型の離型時に前記突起の端面に前記イジェクトピンを押し当てて前記インプリント型を離型する
   ことを特徴とする請求項１又は２記載の離型方法。
4. 前記イジェクトピン当接用の突起が形成された前記インプリント型のパターン面上に液状の被転写材を塗布した後に、前記突起の端面が露出するように前記被転写材を硬化させて前記インプリント型のパターンを前記被転写材に転写する工程を含み、
   前記インプリント型の離型時に前記突起の端面に前記イジェクトピンを押し当てて前記インプリント型を離型する
   ことを特徴とする請求項１又は２記載の離型方法。
5. 前記インプリント型の離型時に前記インプリント型の前記イジェクトピンの当接部にガスを注入して前記インプリント型に離型圧力をかける工程を含む
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の離型方法。
6. 前記インプリント型の離型時に前記インプリント型側を減圧雰囲気にして前記インプリント型に離型圧力をかける工程を含む
   ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載の離型方法。
7. インプリント型が押し付けられた被転写材から前記インプリント型を離型する離型装置であって、
   前記被転写材と共に前記インプリント型を保持する保持機構を有するステージと、
   前記ステージの前記被転写材側から前記被転写材に形成された貫通穴から露出する前記インプリント型に向けて突出するイジェクトピンとを備えた
   ことを特徴とする離型装置。
8. 前記インプリント型の前記イジェクトピンの当接部にガスを注入して前記インプリント型に離型圧力をかけるガス加圧機構、及び前記インプリント型側を減圧雰囲気にして前記インプリント型に離型圧力をかける減圧機構の少なくとも一つを備えた
   ことを特徴とする請求項７記載の離型装置。

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