JP2013202520A - Coating film forming apparatus and coating film forming method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating film forming apparatus and a coating film forming method capable of shortening the time taken for forming a coating film.SOLUTION: A coating film forming apparatus 10 includes: a first tank 18a for forcibly feeding a first liquid body from a supply port; a second tank 18b for forcibly feeding a second liquid body from the supply port; a first flow rate control valve 23a for controlling the flow rate of the first liquid body; and a second flow rate control valve 23b for controlling the flow rate of the second liquid body. The first flow rate control valve 23a and the second flow rate control valve 23b are connected in parallel to a nozzle 17, and a control part switches the state of opening only the first flow rate control valve 23a and making the liquid body flow to the nozzle 17 and the state of opening only the second flow rate control valve 23b and making the liquid body flow to the nozzle 17.

Description

本開示の技術は、基板に向けて液柱状の塗布液を切れ目なく吐出することにより塗布膜を形成する塗布膜形成装置、及び、塗布膜形成方法に関する。   The technology of the present disclosure relates to a coating film forming apparatus and a coating film forming method for forming a coating film by discharging a liquid column-shaped coating solution toward a substrate without breaks.

近年、有機EL素子における発光層等の機能層を液体から形成する装置の一つとして、インクジェット装置が知られている。インクジェット装置は、インクを微小な液滴として吐出するノズルを備えて、機能層の形成材料が含まれる液滴を機能層が形成される部位に吐出する。しかしながら、インクジェット装置では、微小な液滴が間欠的に吐出されるため、微細な液膜を形成することが可能であるとは言え、インクの乾燥によるノズルの目詰まりが不可避な問題となっている。そこで、例えば特許文献1に記載のように、塗布液を液柱状に切れ目なく吐出するノズルを備えて、該ノズルを基板に対して相対的に移動させながら塗布液を塗布することにより、基板上に塗布膜を形成する塗布膜形成装置が提案されている。   In recent years, an ink jet apparatus has been known as one of apparatuses that form a functional layer such as a light emitting layer in an organic EL element from a liquid. The ink jet apparatus includes a nozzle that ejects ink as fine droplets, and ejects droplets containing a functional layer forming material to a portion where the functional layer is formed. However, in an inkjet apparatus, minute droplets are ejected intermittently, so that a fine liquid film can be formed, but clogging of nozzles due to drying of ink is an inevitable problem. Yes. Therefore, for example, as described in Patent Document 1, a nozzle that discharges the coating liquid in a liquid column shape without breaks is provided, and the coating liquid is applied while moving the nozzle relative to the substrate. A coating film forming apparatus for forming a coating film is proposed.

特開2002−75640号公報JP 2002-75640 A

ところで、上記特許文献1に記載のような塗布液を液柱状に吐出して塗布膜を形成する装置では、塗布液の吐出状態が変化することを抑えるために、塗布膜の形成が繰り返される期間は、塗布液をノズルから吐出し続けることが望ましい。しかしながら、塗布液を貯留するためのタンク内の塗布液が無くなれば、塗布液をタンクに補充するために、塗布液をノズルから吐出することを一旦停止せざるを得ない。こうして一旦塗布液の吐出が停止されると、塗布液が補充された後に塗布膜の形成が再開されるまでには、吐出される塗布液の性状の安定化や流量の調整に時間を要するため、結果として塗布膜の形成効率の低下を招くこととなる。また、タンクに保存することの可能な塗布液の量には、塗布液の性状を安定に保つ上で限りがあるため、タンクの容量を増大することにも限界がある。   By the way, in an apparatus for forming a coating film by discharging a coating liquid in the form of a liquid column as described in Patent Document 1, a period in which the formation of the coating film is repeated in order to suppress a change in the discharge state of the coating liquid. In this case, it is desirable to continue discharging the coating liquid from the nozzle. However, when there is no more coating liquid in the tank for storing the coating liquid, it is necessary to temporarily stop discharging the coating liquid from the nozzle in order to replenish the tank with the coating liquid. Once the discharge of the coating liquid is stopped in this way, it takes time to stabilize the properties of the discharged coating liquid and adjust the flow rate until the formation of the coating film is resumed after the coating liquid is replenished. As a result, the formation efficiency of the coating film is reduced. Further, since the amount of the coating liquid that can be stored in the tank is limited in order to keep the properties of the coating liquid stable, there is a limit to increasing the capacity of the tank.

なお、上述の問題は、塗布液をタンクに補充する場合に限らず、切れ目なく液状体を流すことで流量の安定化が図られるノズルが用いられる装置にて概ね共通する。例えば、塗布膜形成装置に多品種の基板が投入されて、基板ごとに塗布液の変更が行われる場合にも、上述と同様の問題が生じる。   The above-described problem is not limited to the case where the coating liquid is replenished to the tank, but is generally common to apparatuses using a nozzle that can stabilize the flow rate by flowing a liquid material without a break. For example, the same problem as described above also occurs when various types of substrates are loaded into the coating film forming apparatus and the coating solution is changed for each substrate.

本開示の技術は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、塗布膜の形成に要する時間を短くすることの可能な塗布膜形成装置、及び、塗布膜形成方法を提供することにある。   The technology of the present disclosure has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a coating film forming apparatus and a coating film forming method capable of shortening the time required for forming the coating film. There is to do.

本開示における塗布膜形成装置の一態様は、基板に向けて切れ目なく液状体を流すノズルに対して相対的に基板を動かして基板に塗布膜を形成する塗布膜形成装置であって、第1の液状体を供給口から圧送する第1タンクと、第2の液状体を供給口から圧送する第2タンクと、前記第1タンクから圧送される液状体の流路上に設けられて前記第1の液状体の流量を制御する第1流量制御弁と、前記第2タンクから圧送される液状体の流路上に設けられて前記第2の液状体の流量を制御する第2流量制御弁と、前記第1流量制御弁の開度と前記第2流量制御弁の開度とを制御する制御部とを備え、前記第1流量制御弁と前記第2流量制御弁とが前記ノズルに対して並列に繋がれ、前記制御部は、前記第1流量制御弁のみを開弁する状態と前記第2流量制御弁のみを開弁する状態とを切り替えることを要旨とする。   One aspect of the coating film forming apparatus according to the present disclosure is a coating film forming apparatus that forms a coating film on a substrate by moving the substrate relative to a nozzle that flows a liquid material toward the substrate without a break. A first tank that pumps the liquid material from the supply port; a second tank that pumps the second liquid material from the supply port; and the first tank provided on the flow path of the liquid material pumped from the first tank. A first flow rate control valve for controlling the flow rate of the liquid material, a second flow rate control valve for controlling the flow rate of the second liquid material provided on the flow path of the liquid material pumped from the second tank, A controller for controlling the opening of the first flow control valve and the opening of the second flow control valve, wherein the first flow control valve and the second flow control valve are parallel to the nozzle. The controller is configured to open only the first flow rate control valve and the first flow control valve. And summarized in that switching between a state to be opened only flow control valve.

上記の態様によれば、一方の流量制御弁のみが開弁されて一方のタンクからのみノズルへ液状体が流されている状態であるときに、他方のタンクに液状体の補充を行うことが可能となる。そのため、液状体として塗布液を補充する際に、ノズルから液状体が吐出され続ける。したがって、塗布液を補充する期間に液状体の吐出が停止される態様と比較して、ノズルから吐出される塗布液の性状の安定化や流量の調整に費やされる時間が短縮あるいは省略できる結果、塗布膜の形成に要する時間を短くすることが可能となる。   According to the above aspect, when only one flow rate control valve is opened and the liquid material is flowing from only one tank to the nozzle, the other tank can be replenished with the liquid material. It becomes possible. For this reason, when the coating liquid is replenished as a liquid material, the liquid material is continuously discharged from the nozzle. Therefore, as compared with the aspect in which the discharge of the liquid material is stopped during the period of replenishing the coating liquid, the time spent for stabilizing the properties of the coating liquid discharged from the nozzle and adjusting the flow rate can be shortened or omitted, The time required for forming the coating film can be shortened.

本開示における塗布膜形成装置の一態様は、前記第1流量制御弁のみを開弁する状態を、前記第2流量制御弁のみを開弁する状態に切り替えるときに、第1流量制御弁と第2流量制御弁との双方を開弁する状態を有することを要旨とする。   In one aspect of the coating film forming apparatus according to the present disclosure, when the state in which only the first flow rate control valve is opened is switched to the state in which only the second flow rate control valve is opened, The gist is to have a state in which both the two flow rate control valves are opened.

上記の態様によれば、ノズルに流される液状体が、一方のタンク内の液状体から他方のタンク内の液状体へ、両方の液状体が混合された液状体を経て切り替えられるため、ノズルから吐出される液状体の性状が不安定となることを抑制することができる。   According to the above aspect, since the liquid material flowing through the nozzle is switched from the liquid material in one tank to the liquid material in the other tank through the liquid material in which both liquid materials are mixed, It can suppress that the property of the discharged liquid becomes unstable.

本開示における塗布膜形成装置の一態様は、前記第1タンクと前記第2タンクとの少なくとも一方と前記ノズルとの間に、液状体から空気を抜く脱気部をさらに備えることを要旨とする。   One aspect of the coating film forming apparatus according to the present disclosure is further provided with a deaeration unit that draws air from the liquid material between at least one of the first tank and the second tank and the nozzle. .

上記の態様によれば、脱気部にて液状体の脱気が行われるため、ノズルに流される液状体に気泡が含まれることが抑えられる。したがって、ノズルから吐出される液状体の性状の安定性を高めることができる。   According to the above aspect, since the liquid material is degassed in the degassing part, it is possible to suppress bubbles from being included in the liquid material that is flowed to the nozzle. Therefore, the stability of the properties of the liquid material discharged from the nozzle can be improved.

本開示における塗布膜形成装置の一態様は、前記脱気部が、前記第1流量制御弁と前記第2流量制御弁とに並列に接続される脱気タンクであることを要旨とする。
上記の態様によれば、2つのタンクから供給される液状体が合流された後に、液状体に対して脱気が行われることとなる。したがって、例えば2つの液状体が合流するときに液状体に気泡が含まれたとしても、ノズルに流される液状体に気泡が含まれることを抑えることが可能となる。
A gist of one aspect of the coating film forming apparatus according to the present disclosure is that the deaeration unit is a deaeration tank connected in parallel to the first flow rate control valve and the second flow rate control valve.
According to the above aspect, after the liquid materials supplied from the two tanks are merged, the liquid material is deaerated. Therefore, for example, even if bubbles are included in the liquid when the two liquids merge, it is possible to suppress the bubbles from being included in the liquid flowing through the nozzle.

本開示における塗布膜形成方法の一態様は、基板ステージに向けて切れ目なく液状体を流すノズルに対して相対的に基板ステージを動かして前記基板ステージに載置された基板に塗布膜を形成することを、互いに異なる基板に対して繰り返して行う塗布膜形成方法であって、前記ノズルに第1タンクから圧送される第1の液状体のみを流す工程と、前記ノズルに第2タンクから圧送される第2の液状体のみを流す工程とを有することを要旨とする。   One aspect of the method for forming a coating film in the present disclosure is to form a coating film on a substrate placed on the substrate stage by moving the substrate stage relative to a nozzle that flows a liquid material toward the substrate stage without a break. This is a coating film forming method that is repeatedly performed on different substrates, the step of flowing only the first liquid material pumped from the first tank to the nozzle, and the pumping from the second tank to the nozzle. And a step of flowing only the second liquid material.

上記の態様によれば、一方のタンクからのみノズルへ液状体が流されているときに、他方のタンクに液状体の補充を行うことが可能となる。そのため、液状体として塗布液を補充する際、ノズルから液状体が吐出され続ける。したがって、液状体の吐出を停止して塗布液を補充する態様と比較して、ノズルから吐出される塗布液の性状の安定化や流量の調整に費やされる時間が短縮あるいは省略できる結果、塗布膜の形成に要する時間を短くすることが可能となる。   According to the above aspect, when the liquid material is flowing from only one tank to the nozzle, the other tank can be replenished with the liquid material. Therefore, when the coating liquid is replenished as a liquid material, the liquid material is continuously discharged from the nozzle. Therefore, compared with the mode in which the discharge of the liquid material is stopped and the coating liquid is replenished, the time spent for stabilizing the properties of the coating liquid discharged from the nozzle and adjusting the flow rate can be shortened or omitted. It is possible to shorten the time required for forming the film.

本開示における塗布膜形成方法の一態様は、前記第1の液状体のみを流す工程と前記第2の液状体のみを流す工程との間に、前記第1の液状体と前記第2の液状体とが混合された液状体を前記ノズルに流す工程をさらに有することを要旨とする。   In one aspect of the coating film forming method in the present disclosure, the first liquid material and the second liquid material are provided between the step of flowing only the first liquid material and the step of flowing only the second liquid material. The gist of the present invention is to further include a step of flowing a liquid mixed with the body through the nozzle.

上記の態様によれば、ノズルに流される液状体が、一方のタンク内の液状体から他方のタンク内の液状体へ、両方の液状体が混合された液状体を経て切り替えられるため、ノズルから吐出される液状体の性状が不安定となることを抑制することができる。   According to the above aspect, since the liquid material flowing through the nozzle is switched from the liquid material in one tank to the liquid material in the other tank through the liquid material in which both liquid materials are mixed, It can suppress that the property of the discharged liquid becomes unstable.

本開示における塗布膜形成方法の一態様は、前記第1の液状体の粘度と前記第2の液状体の粘度が互いに異なることを要旨とする。
上記の態様によれば、ノズルに流される液状体が、粘度の低い方の液状体から粘度の高い方の液状体へ、両方の液状体が混合された液状体を経て切り替えられるため、高粘度の液状体がノズルから安定して吐出されるまでに要する時間を短縮することができる。
One aspect of the coating film forming method in the present disclosure is that the viscosity of the first liquid and the viscosity of the second liquid are different from each other.
According to the above aspect, the liquid flowing through the nozzle is switched from the liquid with a lower viscosity to the liquid with a higher viscosity through a liquid in which both liquids are mixed. The time required for the liquid material to be stably discharged from the nozzle can be shortened.

本開示における塗布膜形成方法の一態様は、前記第1の液状体よりも低い粘度を有する前記第2の液状体が、前記第1の液状体の溶媒であり、前記第1の液状体のみを流す工程において、前記基板に塗布膜を形成することを要旨とする。   In one aspect of the coating film forming method in the present disclosure, the second liquid material having a lower viscosity than the first liquid material is a solvent for the first liquid material, and only the first liquid material is used. In the step of flowing, the gist is to form a coating film on the substrate.

上記の態様によれば、ノズルに第2の液状体のみを流す工程と、第1の液状体と第2の液状体とが混合された液状体を流す工程は、基板に塗布膜を形成していないときに行われる。すなわち、タンク内に液状体を補充するときを含めて基板に塗布膜を形成していないときに、ノズルに第2の液状体である溶媒が含まれた液状体が流されるため、塗布膜の形成に使われる第1の液状体を節約することができる。   According to the above aspect, the step of flowing only the second liquid material to the nozzle and the step of flowing the liquid material in which the first liquid material and the second liquid material are mixed form the coating film on the substrate. Not done when. That is, when the coating film is not formed on the substrate including when the liquid material is replenished in the tank, the liquid material containing the solvent that is the second liquid material is caused to flow through the nozzle. The first liquid used for forming can be saved.

本開示の塗布膜形成装置、及び、塗布膜形成方法によれば、塗布膜の形成に要する時間を短くすることが可能となる。   According to the coating film forming apparatus and the coating film forming method of the present disclosure, it is possible to shorten the time required for forming the coating film.

本開示における塗布膜形成装置の各実施形態の全体構成を示す構成図。The block diagram which shows the whole structure of each embodiment of the coating film forming apparatus in this indication. 各実施形態における塗布膜形成装置の電気的構成を示すブロック図。The block diagram which shows the electrical constitution of the coating film forming apparatus in each embodiment. 本開示における第1の実施形態での2つの加圧タンクからノズルへ供給される液状体の供給流量の推移を示すタイミングチャート。4 is a timing chart showing transition of the supply flow rate of the liquid material supplied from two pressurized tanks to the nozzle in the first embodiment of the present disclosure. 本開示における第2の実施形態での2つの加圧タンクからノズルへ供給される液状体の供給流量の推移を示すタイミングチャート。The timing chart which shows transition of the supply flow volume of the liquid material supplied to a nozzle from two pressurized tanks in 2nd Embodiment in this indication.

(第1の実施形態)
以下、本開示の塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法における第1の実施形態について、図1〜図3を参照して説明する。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of a coating film forming apparatus and a coating film forming method according to the present disclosure will be described with reference to FIGS.

[装置構成]
まず、本実施形態の塗布膜形成装置の構成について図1を参照して説明する。図1に示される本実施形態の塗布膜形成装置10は、塗布液が切れ目なく液柱状に吐出されるノズルを基板ステージに対して相対的に移動させて塗布膜を形成する装置であって、有機エレクトロルミネッセンス素子の発光層となる塗布膜を形成する装置である。なお、切れ目のない状態とは、ノズルと基板との間の全体にわたり柱状の塗布液が連なる状態であって、塗布液を塗布する動作のなかで少なくともこうした状態が含まれればよい。
[Device configuration]
First, the configuration of the coating film forming apparatus of this embodiment will be described with reference to FIG. A coating film forming apparatus 10 of the present embodiment shown in FIG. 1 is an apparatus that forms a coating film by moving a nozzle that discharges a coating liquid in a liquid column shape without a break relative to a substrate stage. It is an apparatus for forming a coating film to be a light emitting layer of an organic electroluminescence element. In addition, the state without a cut | interruption is a state where a columnar coating liquid continues between the nozzle and the substrate, and at least such a state may be included in the operation of applying the coating liquid.

図1に示されるように、1つの方向に延びる固定軸である2つのステージガイド11a,11bは、該ステージガイド11a,11bの延びる方向である主走査方向と直交する方向である副走査方向に並設されている。これらステージガイド11a,11bには、基板13の載置される基板ステージ12が、ステージガイド11a,11bに沿って主走査方向に往動及び復動可能に連結されている。   As shown in FIG. 1, two stage guides 11a and 11b, which are fixed shafts extending in one direction, are arranged in a sub-scanning direction that is a direction orthogonal to the main scanning direction in which the stage guides 11a and 11b extend. It is installed side by side. A substrate stage 12 on which the substrate 13 is placed is connected to these stage guides 11a and 11b so as to be able to move forward and backward along the stage guides 11a and 11b in the main scanning direction.

基板13は、例えば、ガラス基板等の透光性の基板であって、その上面に、パネルとなる領域であるパネル領域14を有している。パネル領域14には、副走査方向に延びる赤色用塗布領域と緑色用塗布領域と青色用塗布領域とが、この順に繰り返して形成されている。赤色用塗布領域とは、複数の赤色用画素が副走査方向に並べられて画素列を形成する領域であり、緑色用塗布領域とは、緑色用画素が副走査方向に並べられて画素列を形成する領域であり、青色用塗布領域とは、青色用画素が副走査方向に並べられて画素列を形成する領域である。   The substrate 13 is a light-transmitting substrate such as a glass substrate, for example, and has a panel region 14 that is a region to be a panel on the upper surface thereof. In the panel region 14, a red coating region, a green coating region, and a blue coating region extending in the sub-scanning direction are repeatedly formed in this order. The red coating region is a region in which a plurality of red pixels are arranged in the sub-scanning direction to form a pixel row, and the green coating region is a pixel row in which the green pixels are arranged in the sub-scanning direction. The blue application region is a region in which blue pixels are arranged in the sub-scanning direction to form a pixel column.

基板ステージ12は、ステージモーターMaの駆動力を受けて、ステージガイド11a,11bに沿い、ステージガイド11a,11bの両端部の間を往動及び復動する。基板ステージ12が移動する位置のうち、ステージガイド11a,11bの一端側に設定される塗布準備位置は、塗布液の塗布前の基板13を基板ステージ12に載置する等、塗布液を塗布するための準備が行われる位置である。基板ステージ12が移動する位置のうち、ステージガイド11a,11bの長手方向の両端の中間に設定される塗布開始位置は、パネル領域14への塗布液の塗布が開始される位置である。基板ステージ12が移動する位置のうち、ステージガイド11a,11bの他端側に設定される塗布完了位置は、塗布液の塗布が終了した基板13が回収される等の後処理が行われる位置である。   The substrate stage 12 receives the driving force of the stage motor Ma and moves forward and backward between the both ends of the stage guides 11a and 11b along the stage guides 11a and 11b. Among the positions where the substrate stage 12 moves, the coating preparation position set on one end side of the stage guides 11a and 11b applies the coating liquid, such as placing the substrate 13 on the substrate stage 12 before coating the coating liquid. This is the position where preparations are made. Of the positions where the substrate stage 12 moves, the application start position set in the middle between both ends in the longitudinal direction of the stage guides 11a and 11b is a position where application of the application liquid to the panel region 14 is started. Of the positions where the substrate stage 12 moves, the application completion position set on the other end side of the stage guides 11a and 11b is a position where post-processing such as recovery of the substrate 13 after application of the application liquid is performed. is there.

ステージガイド11a,11bにおける長手方向の両端の中間部分の上方には、ノズル部15が配設されている。ノズル部15は、副走査方向に延びる固定軸である副走査ガイド16と、該副走査ガイドに連結されたノズル17とから構成される。ノズル17は、ノズルモーターMbの駆動力を受けて、副走査ガイド16に沿って副走査方向に往動及び復動する。また、ノズル17の下面には、塗布液を下方に向かって吐出する吐出口が形成されており、塗布液は吐出口から液柱状に切れ目なく吐出される。   A nozzle portion 15 is disposed above an intermediate portion at both ends in the longitudinal direction of the stage guides 11a and 11b. The nozzle unit 15 includes a sub-scanning guide 16 that is a fixed shaft extending in the sub-scanning direction, and a nozzle 17 connected to the sub-scanning guide. The nozzle 17 receives the driving force of the nozzle motor Mb and moves forward and backward along the sub-scanning guide 16 in the sub-scanning direction. In addition, a discharge port for discharging the coating liquid downward is formed on the lower surface of the nozzle 17, and the coating liquid is discharged from the discharge port in a liquid column shape without a break.

塗布膜が形成される場合には、まず、基板ステージ12が、塗布準備位置から塗布開始位置まで往動される。塗布開始位置は、副走査ガイド16における副走査方向の端部に配置されたノズル17の直下に、パネル領域14に塗布を開始するための塗布開始点が配置されるように設定される。   When the coating film is formed, first, the substrate stage 12 is moved forward from the coating preparation position to the coating start position. The application start position is set so that an application start point for starting application is arranged in the panel region 14 immediately below the nozzle 17 arranged at the end of the sub-scanning guide 16 in the sub-scanning direction.

基板ステージ12が塗布開始位置に配置されると、ノズル17が副走査ガイド16に沿って副走査方向へ動かされてパネル領域14への塗布液の塗布が開始される。そして、基板ステージ12が塗布開始位置から塗布完了位置に向けて主走査方向へ所定量ずつ往動される主走査とノズル17が副走査方向へ動かされる副走査とが交互に繰り返されてパネル領域14への塗布液の塗布が行われる。   When the substrate stage 12 is arranged at the application start position, the nozzle 17 is moved in the sub-scanning direction along the sub-scanning guide 16 to start application of the coating liquid to the panel region 14. Then, the main scanning in which the substrate stage 12 is moved by a predetermined amount in the main scanning direction from the coating start position to the coating completion position and the sub scanning in which the nozzle 17 is moved in the sub scanning direction are alternately repeated to obtain a panel region. The coating liquid is applied to 14.

ノズル17の下方をパネル領域14が通過して、パネル領域14への塗布液の塗布が終了すると、基板ステージ12が塗布完了位置まで移動される。そして、塗布完了位置にて上述の後処理が行われ、こうした後処理が終わると、基板ステージ12は塗布完了位置から塗布準備位置まで復動されて一連の塗布膜の形成工程が繰り返される。   When the panel area 14 passes under the nozzle 17 and the application of the coating liquid to the panel area 14 is completed, the substrate stage 12 is moved to the application completion position. Then, the above-described post-processing is performed at the coating completion position. When such post-processing is completed, the substrate stage 12 is moved back from the coating completion position to the coating preparation position, and a series of coating film forming steps is repeated.

次に、ノズル17へ塗布液を供給する塗布液の供給系の構成について説明する。
塗布膜形成装置10には、第1加圧タンク18aと第2加圧タンク18bとが備えられて、第1加圧タンク18aと第2加圧タンク18bとの各々には、特定の色を発光する有機発光材料を含む液状体が塗布液として貯留されている。加圧タンク18a,18bの双方には、同じ種類の塗布液が入れられている。これらの加圧タンク18a,18bでは、タンク内に窒素等のガスが送り込まれることにより、タンク内の塗布液が供給口から圧送される。また、各加圧タンク18a,18bは、タンクの重量を計測する重量計に載置されており、重量計の計測値によって各々の加圧タンク18a,18b内の塗布液の残量が把握される。
Next, the configuration of the coating liquid supply system that supplies the coating liquid to the nozzle 17 will be described.
The coating film forming apparatus 10 includes a first pressure tank 18a and a second pressure tank 18b. Each of the first pressure tank 18a and the second pressure tank 18b has a specific color. A liquid containing an organic light emitting material that emits light is stored as a coating solution. The same type of coating solution is placed in both the pressurized tanks 18a and 18b. In these pressurized tanks 18a and 18b, when a gas such as nitrogen is fed into the tank, the coating liquid in the tank is fed from the supply port. Moreover, each pressurization tank 18a, 18b is mounted in the weight meter which measures the weight of a tank, and the residual amount of the coating liquid in each pressurization tank 18a, 18b is grasped | ascertained by the measured value of a weight meter. The

加圧タンク18a,18bの各々の供給口から延びる流路は、合流点P1にて合流し、合流した1つの流路は、ノズル17に繋がっている。このうち、第1加圧タンク18aと合流点P1の間の流路に設けられる構成について、第1加圧タンク18a側から順に説明する。   The flow paths extending from the supply ports of the pressurized tanks 18 a and 18 b merge at the merge point P 1, and the merged single flow path is connected to the nozzle 17. Among these, the structure provided in the flow path between the 1st pressurization tank 18a and the confluence | merging point P1 is demonstrated in order from the 1st pressurization tank 18a side.

第1加圧タンク18aの供給口には、塗布液の流路を開閉する第1タンク供給弁19aが接続されている。第1加圧タンク18aは、第1タンク供給弁19aの一次側で第1タンク供給弁19aから切り離し可能な状態で、第1タンク供給弁19aの一次側に接続されている。第1加圧タンク18aと第1タンク供給弁19aとの間の流路には、分岐点P2から分岐する分岐路である第1ベントライン20aが接続されている。第1ベントライン20aは、第1加圧タンク18a内を大気圧に戻すための分岐路である。第1タンク供給弁19aが閉弁された状態で、第1ベントライン20aが開かれることにより、第1加圧タンク18a内が大気圧に戻される。   A first tank supply valve 19a for opening and closing the flow path of the coating liquid is connected to the supply port of the first pressurized tank 18a. The first pressurized tank 18a is connected to the primary side of the first tank supply valve 19a in a state where it can be separated from the first tank supply valve 19a on the primary side of the first tank supply valve 19a. A first vent line 20a, which is a branch path branched from the branch point P2, is connected to the flow path between the first pressurized tank 18a and the first tank supply valve 19a. The first vent line 20a is a branch path for returning the inside of the first pressurized tank 18a to atmospheric pressure. With the first tank supply valve 19a closed, the first vent line 20a is opened, whereby the inside of the first pressurized tank 18a is returned to atmospheric pressure.

第1タンク供給弁19aには、第1脱気タンク21aが接続されている。第1脱気タンク21aでは、塗布液がタンクに一旦溜められて、タンク底部から塗布液が流出される。これにより、タンク内に溜められた塗布液の液面の上部から塗布液内の気体が排気されて、塗布液の脱気が行われる。   A first deaeration tank 21a is connected to the first tank supply valve 19a. In the first degassing tank 21a, the coating liquid is once stored in the tank, and the coating liquid flows out from the bottom of the tank. Thereby, the gas in the coating liquid is exhausted from the upper part of the liquid level of the coating liquid stored in the tank, and the coating liquid is deaerated.

第1脱気タンク21aには、流路を流れる塗布液の流量を計測する第1タンク流量計22aが接続され、第1タンク流量計22aには、流路を開閉して塗布液の流量を制御する第1タンク流量制御弁23aが接続されている。第1加圧タンク18aから供給されて第1加圧タンク18aから合流点P1までの流路を流れる塗布液の流量は、第1タンク流量計22aにて計測される。そして、第1タンク流量制御弁23aの開度は、第1タンク流量計22aの計測値に応じて、該第1タンク流量計22aの計測値が所定の値となるように制御される。   The first degassing tank 21a is connected to a first tank flow meter 22a that measures the flow rate of the coating liquid flowing through the flow path. The first tank flow meter 22a opens and closes the flow path to control the flow rate of the coating liquid. A first tank flow rate control valve 23a to be controlled is connected. The flow rate of the coating liquid supplied from the first pressurized tank 18a and flowing through the flow path from the first pressurized tank 18a to the junction P1 is measured by the first tank flow meter 22a. The opening degree of the first tank flow control valve 23a is controlled so that the measured value of the first tank flow meter 22a becomes a predetermined value according to the measured value of the first tank flow meter 22a.

第2加圧タンク18bと合流点P1の間の流路にも、上述の第1加圧タンク18aと合流点P1の間の流路に設けられる構成と同様の構成が設けられる。
すなわち、第2加圧タンク18bの供給口には、塗布液の流路を開閉する第2タンク供給弁19bが接続されている。また、第2加圧タンク18bと第2タンク供給弁19bとの間の流路には、分岐点P3から分岐する分岐路である第2ベントライン20bが設けられている。
A configuration similar to the configuration provided in the flow path between the first pressurization tank 18a and the junction P1 is also provided in the flow path between the second pressurization tank 18b and the junction P1.
In other words, the second tank supply valve 19b for opening and closing the flow path of the coating liquid is connected to the supply port of the second pressure tank 18b. Further, a second vent line 20b, which is a branch path branched from the branch point P3, is provided in the flow path between the second pressurized tank 18b and the second tank supply valve 19b.

さらに、第2タンク供給弁19bには、塗布液の脱気が行われる第2脱気タンク21bが接続されている。第2脱気タンク21bには、塗布液の流量を計測する第2タンク流量計22bが接続され、第2タンク流量計22bには、塗布液の流量を制御する第2タンク流量制御弁23bが接続されている。すなわち、第2加圧タンク18bから供給されて第2加圧タンク18bから合流点P1までの流路を流れる塗布液の流量は、第2タンク流量計22bにて計測される。そして、第2タンク流量制御弁23bの開度は、第2タンク流量計22bの計測値に応じて、該第2タンク流量計22bの計測値が所定の値となるように制御される。   Furthermore, the second tank supply valve 19b is connected to a second deaeration tank 21b where the coating liquid is deaerated. A second tank flow meter 22b for measuring the flow rate of the coating liquid is connected to the second degassing tank 21b, and a second tank flow rate control valve 23b for controlling the flow rate of the coating liquid is connected to the second tank flow meter 22b. It is connected. That is, the flow rate of the coating liquid supplied from the second pressurized tank 18b and flowing through the flow path from the second pressurized tank 18b to the junction P1 is measured by the second tank flow meter 22b. The opening degree of the second tank flow rate control valve 23b is controlled so that the measured value of the second tank flow meter 22b becomes a predetermined value according to the measured value of the second tank flow meter 22b.

第1タンク流量制御弁23aと第2タンク流量制御弁23bとは、合流点P1を経由してノズル流量制御弁24に並列に接続されている。ノズル流量制御弁24とノズル17との間には、流路を流れる塗布液の流量を計測するノズル流量計25が接続されている。ノズル17へ供給される塗布液の流量は、ノズル流量制御弁24の開度によって制御されるとともにノズル流量計25にて計測される。ノズル流量制御弁24の開度は、ノズル流量計25の計測値に応じて、該ノズル流量計25の計測値が所定の値となるように制御される。   The first tank flow rate control valve 23a and the second tank flow rate control valve 23b are connected in parallel to the nozzle flow rate control valve 24 via the junction P1. A nozzle flow meter 25 for measuring the flow rate of the coating liquid flowing through the flow path is connected between the nozzle flow rate control valve 24 and the nozzle 17. The flow rate of the coating liquid supplied to the nozzle 17 is controlled by the opening degree of the nozzle flow rate control valve 24 and is measured by the nozzle flow meter 25. The opening degree of the nozzle flow control valve 24 is controlled so that the measurement value of the nozzle flow meter 25 becomes a predetermined value according to the measurement value of the nozzle flow meter 25.

このように、第1タンク流量制御弁23aと第2タンク流量制御弁23bとは、ノズル17に並列に繋がれている。そして、第1タンク流量制御弁23aの開度と第2タンク流量制御弁23bの開度とが制御されることにより、ノズル17には、第1加圧タンク18aと第2加圧タンク18bとのいずれか一方、もしくは両方から塗布液が供給される。   Thus, the first tank flow rate control valve 23a and the second tank flow rate control valve 23b are connected to the nozzle 17 in parallel. Then, by controlling the opening degree of the first tank flow rate control valve 23a and the opening degree of the second tank flow rate control valve 23b, the nozzle 17 has a first pressurized tank 18a, a second pressurized tank 18b, The coating liquid is supplied from either one or both.

[電気的構成]
次に、本実施形態の塗布膜形成装置の電気的な構成について、図2を参照して説明する。塗布膜形成装置は、中央処理装置(CPU)、不揮発性メモリー(ROM)、及び揮発性メモリー(RAM)を有するマイクロコンピューターを中心に構成される制御部30を備えている。
[Electrical configuration]
Next, the electrical configuration of the coating film forming apparatus of this embodiment will be described with reference to FIG. The coating film forming apparatus includes a control unit 30 configured mainly by a microcomputer having a central processing unit (CPU), a nonvolatile memory (ROM), and a volatile memory (RAM).

図2に示されるように、制御部30は、制御部30に入力される各種の入力信号の入力処理や各駆動部への制御信号の出力処理を行う入出力部30aと、制御部30の制御信号に基づいて各種の演算を実行する算出部30bと、塗布液の補充に関する処理を実行する実行部30cとを備える。また、制御部30は、算出部30bの演算結果等を記憶する記憶部30dと、基板ステージ12やノズル17の走査に関わる制御を行う走査系駆動部32と、塗布液の供給系に関わる制御を行う供給系制御部33とを備えている。   As shown in FIG. 2, the control unit 30 includes an input / output unit 30 a that performs input processing of various input signals input to the control unit 30 and output processing of control signals to each driving unit, and the control unit 30. A calculation unit 30b that executes various calculations based on the control signal and an execution unit 30c that executes processing related to replenishment of the coating liquid are provided. The control unit 30 also includes a storage unit 30d that stores the calculation result of the calculation unit 30b, a scanning system driving unit 32 that performs control related to scanning of the substrate stage 12 and the nozzle 17, and control related to the coating liquid supply system. And a supply system control unit 33 for performing the above.

入出力部30aには、各種のボタンやタッチパネル等から構成される操作部40が接続されている。操作部40は、基板13に関する情報である基板情報や塗布条件に関する情報である塗布情報を入出力部30aに出力する。   An operation unit 40 composed of various buttons, a touch panel, and the like is connected to the input / output unit 30a. The operation unit 40 outputs substrate information, which is information about the substrate 13, and application information, which is information about application conditions, to the input / output unit 30a.

基板情報は、パネル領域14の大きさや、画素列の幅や数等がある。塗布情報は、基板ステージ12の走査量や走査速度、ノズル17の走査量や走査速度、基板13に塗布する塗布液の流量等に関する情報である。また、塗布情報は、第1加圧タンク18aからの塗布液の供給が許容される第1加圧タンク18aの下限の重量である第1下限残量や、第2加圧タンク18bからの塗布液の供給が許容される第2加圧タンク18bの下限の重量である第2下限残量である。また、塗布情報は、第1加圧タンク18aからの塗布液の供給と第2加圧タンク18bからの塗布液の供給とを切り替える際の各タンク流量制御弁23a,23bにおける設定値である。   The substrate information includes the size of the panel region 14 and the width and number of pixel columns. The application information is information relating to the scanning amount and scanning speed of the substrate stage 12, the scanning amount and scanning speed of the nozzle 17, the flow rate of the coating liquid applied to the substrate 13, and the like. The application information includes the first lower limit remaining amount that is the lower limit weight of the first pressurization tank 18a that is allowed to be supplied with the application liquid from the first pressurization tank 18a, and the application information from the second pressurization tank 18b. This is the second lower limit remaining amount that is the lower limit weight of the second pressurized tank 18b that is allowed to supply liquid. The application information is a set value in each of the tank flow rate control valves 23a and 23b when the supply of the application liquid from the first pressurization tank 18a and the supply of the application liquid from the second pressurization tank 18b are switched.

入出力部30aは、第1タンク重量計41aから第1加圧タンク18aの重量を入力し、第2タンク重量計41bから第2加圧タンク18bの重量を入力する。算出部30bは、走査量算出部31a、及び、ノズル流量算出部31bとして機能する。走査量算出部31aとしての機能とノズル流量算出部31bとしての機能は、ハードウェアで構成されるが、ソフトウェアで構成することも可能である。実行部30cは、塗布液補充判断部31c、及び、タンク切り替え部31dとして機能する。塗布液補充判断部31cとしての機能とタンク切り替え部31dとしての機能は、ハードウェアで構成されるが、ソフトウェアで構成することも可能である。   The input / output unit 30a inputs the weight of the first pressurized tank 18a from the first tank weight meter 41a, and inputs the weight of the second pressurized tank 18b from the second tank weight meter 41b. The calculation unit 30b functions as a scanning amount calculation unit 31a and a nozzle flow rate calculation unit 31b. The function as the scanning amount calculation unit 31a and the function as the nozzle flow rate calculation unit 31b are configured by hardware, but can also be configured by software. The execution unit 30c functions as a coating solution replenishment determination unit 31c and a tank switching unit 31d. The function as the coating liquid replenishment determination unit 31c and the function as the tank switching unit 31d are configured by hardware, but can also be configured by software.

走査量算出部31aは、入出力部30aが入力する基板情報と塗布情報とに基づいて、主走査における基板ステージ12の移動量と、副走査におけるノズル17の移動量とを算出する。   The scanning amount calculation unit 31a calculates the movement amount of the substrate stage 12 in the main scanning and the movement amount of the nozzle 17 in the sub scanning based on the substrate information and the application information input by the input / output unit 30a.

ノズル流量算出部31bは、入出力部30aが入力する塗布情報に基づいて、ノズル17に供給される塗布液の流量の目標値を算出する。
塗布液補充判断部31cは、入出力部30aが入力する第1加圧タンク18aの重量に基づき、第1加圧タンク18a内の塗布液の残量が第1下限残量未満であるか否かを判断ずる。また、塗布液補充判断部31cは、入出力部30aが入力する第2加圧タンク18bの重量に基づき、第2加圧タンク18b内の塗布液の残量が第2下限重量未満であるか否かを判断する。
The nozzle flow rate calculation unit 31b calculates a target value of the flow rate of the coating liquid supplied to the nozzle 17 based on the coating information input by the input / output unit 30a.
The coating liquid replenishment determining unit 31c determines whether or not the remaining amount of the coating liquid in the first pressurized tank 18a is less than the first lower limit remaining amount based on the weight of the first pressurized tank 18a input by the input / output unit 30a. Judge whether or not. Further, the coating liquid replenishment determining unit 31c determines whether the remaining amount of the coating liquid in the second pressurized tank 18b is less than the second lower limit weight based on the weight of the second pressurized tank 18b input by the input / output unit 30a. Judge whether or not.

第1加圧タンク18aにおける塗布液の残量が第1下限残量未満であると塗布液補充判断部31cが判断すると、実行部30cは、所定の表示指令を入出力部30aから表示部50に出力させる。所定の表示指令を受ける表示部50は、第1加圧タンク18aで塗布液が不足していることを表示する。また、第2加圧タンク18bにおける塗布液の残量が第2下限残量未満であると塗布液補充判断部31cが判断すると、実行部30cは、所定の表示指令を入出力部30aから表示部50に出力させる。所定の表示指令を受ける表示部50は、第2加圧タンク18bで塗布液が不足していることを表示する。なお、塗布液補充判断部31cによる上述の塗布液補充の要否判断は、1つの基板への塗布液の塗布が終了するごとに塗布プログラムに従って行われる。   When the coating liquid replenishment determining unit 31c determines that the remaining amount of the coating liquid in the first pressurized tank 18a is less than the first lower limit remaining amount, the execution unit 30c sends a predetermined display command from the input / output unit 30a to the display unit 50. To output. The display unit 50 that receives a predetermined display command displays that the coating liquid is insufficient in the first pressure tank 18a. When the coating liquid replenishment determination unit 31c determines that the remaining amount of the coating liquid in the second pressurized tank 18b is less than the second lower limit remaining amount, the execution unit 30c displays a predetermined display command from the input / output unit 30a. Output to the unit 50. The display unit 50 that receives a predetermined display command displays that the coating liquid is insufficient in the second pressurized tank 18b. Note that the above-described determination of necessity of replenishment of the coating liquid by the coating liquid replenishment determination unit 31c is performed according to the coating program every time application of the coating liquid to one substrate is completed.

タンク切り替え部31dは、タンク切り替えプログラムに従って、各タンク流量制御弁23a,23bの駆動の態様を制御する制御信号とともに、各タンク流量制御弁23a,23bにおける塗布液の流量の目標値を供給系制御部33に出力する。また、タンク切り替え部31dは、タンク供給弁19a,19bの各々の開閉を指示する信号を供給系制御部33に出力する。   The tank switching unit 31d supplies the target value of the flow rate of the coating liquid in each of the tank flow rate control valves 23a and 23b together with the control signal for controlling the driving mode of the tank flow rate control valves 23a and 23b according to the tank switching program. To the unit 33. In addition, the tank switching unit 31d outputs a signal instructing opening / closing of each of the tank supply valves 19a and 19b to the supply system control unit 33.

走査系駆動部32は、基板ステージ12の動作を制御するステージ駆動部32aと、ノズル17の動作を制御するノズル駆動部32bとを有している。
ステージ駆動部32aは、走査量算出部31aの算出した移動量に基づく駆動電流を生成し、その駆動電流をステージモーターMaに出力する。ステージモーターMaは、ステージ駆動部32aから入力される駆動電流によって駆動されて基板ステージ12の主走査を行う。
The scanning system drive unit 32 includes a stage drive unit 32 a that controls the operation of the substrate stage 12 and a nozzle drive unit 32 b that controls the operation of the nozzle 17.
The stage drive unit 32a generates a drive current based on the movement amount calculated by the scanning amount calculation unit 31a, and outputs the drive current to the stage motor Ma. The stage motor Ma is driven by the drive current input from the stage drive unit 32a to perform main scanning of the substrate stage 12.

ノズル駆動部32bは、走査量算出部31aの算出した移動量に基づく駆動電流を生成し、その駆動電流をノズルモーターMbに出力する。ノズルモーターMbは、ノズル駆動部32bから入力される駆動電流によって駆動されてノズル17の副走査を行う。   The nozzle drive unit 32b generates a drive current based on the movement amount calculated by the scanning amount calculation unit 31a, and outputs the drive current to the nozzle motor Mb. The nozzle motor Mb is driven by the driving current input from the nozzle driving unit 32b and performs sub-scanning of the nozzle 17.

供給系制御部33は、ノズル流量制御部33aと、第1タンク流量制御部33bと、第2タンク流量制御部33cと、供給弁開閉部33dとを有している。
ノズル流量制御部33aには、ノズル流量制御弁24とノズル流量計25とが接続されている。ノズル流量制御部33aは、ノズル流量算出部31bの算出する目標値とノズル流量計25から入力される計測値とに基づいて、計測値が目標値となるように、ノズル流量制御弁24の駆動量を算出する。ノズル流量制御部33aは、算出された駆動量に応じた駆動信号を生成してその駆動信号をノズル流量制御弁24へ出力する。ノズル流量制御弁24は、駆動信号に応じた開度で弁体を駆動して、ノズル17に供給される塗布液の流量を制御する。
The supply system control unit 33 includes a nozzle flow rate control unit 33a, a first tank flow rate control unit 33b, a second tank flow rate control unit 33c, and a supply valve opening / closing unit 33d.
A nozzle flow rate control valve 24 and a nozzle flow meter 25 are connected to the nozzle flow rate control unit 33a. The nozzle flow rate control unit 33a drives the nozzle flow rate control valve 24 so that the measured value becomes the target value based on the target value calculated by the nozzle flow rate calculating unit 31b and the measured value input from the nozzle flow meter 25. Calculate the amount. The nozzle flow rate control unit 33 a generates a drive signal corresponding to the calculated drive amount and outputs the drive signal to the nozzle flow rate control valve 24. The nozzle flow rate control valve 24 drives the valve body at an opening degree corresponding to the drive signal, and controls the flow rate of the coating liquid supplied to the nozzle 17.

第1タンク流量制御部33bには、第1タンク流量制御弁23aと第1タンク流量計22aとが接続されている。第1タンク流量制御部33bは、タンク切り替え部31dから入力された目標値と第1タンク流量計22aから入力される計測値とに基づいて、計測値が目標値となるように、第1タンク流量制御弁23aの駆動量を算出する。第1タンク流量制御部33bは、算出された駆動量に応じた駆動信号を生成してその駆動信号を第1タンク流量制御弁23aへ出力する。第1タンク流量制御弁23aは、駆動信号に応じた開度で弁体を駆動して、第1加圧タンク18aから供給されて第1加圧タンク18aから合流点P1までの流路を流れる塗布液の流量を制御する。   A first tank flow rate control valve 23a and a first tank flow meter 22a are connected to the first tank flow rate control unit 33b. The first tank flow rate control unit 33b is configured so that the measured value becomes the target value based on the target value input from the tank switching unit 31d and the measured value input from the first tank flow meter 22a. The driving amount of the flow control valve 23a is calculated. The first tank flow rate control unit 33b generates a drive signal corresponding to the calculated drive amount and outputs the drive signal to the first tank flow rate control valve 23a. The first tank flow rate control valve 23a drives the valve body at an opening degree corresponding to the drive signal, and is supplied from the first pressure tank 18a and flows through the flow path from the first pressure tank 18a to the junction P1. The flow rate of the coating solution is controlled.

第2タンク流量制御部33cには、第2タンク流量制御弁23bと第2タンク流量計22bとが接続されている。第2タンク流量制御部33cは、タンク切り替え部31dから入力された目標値と第2タンク流量計22bから入力される計測値とに基づいて、計測値が目標値となるように、第2タンク流量制御弁23bの駆動量を算出する。第2タンク流量制御部33cは、算出された駆動量に応じた駆動信号を生成してその駆動信号を第2タンク流量制御弁23bへ出力する。第2タンク流量制御弁23bは、駆動信号に応じた開度で弁体を駆動して、第2加圧タンク18bから供給されて第2加圧タンク18bから合流点P1までの流路を流れる塗布液の流量を制御する。   A second tank flow rate control valve 23b and a second tank flow meter 22b are connected to the second tank flow rate control unit 33c. The second tank flow rate control unit 33c is configured so that the measured value becomes the target value based on the target value input from the tank switching unit 31d and the measured value input from the second tank flow meter 22b. The driving amount of the flow control valve 23b is calculated. The second tank flow rate control unit 33c generates a drive signal corresponding to the calculated drive amount and outputs the drive signal to the second tank flow rate control valve 23b. The second tank flow rate control valve 23b drives the valve body at an opening degree corresponding to the drive signal, and is supplied from the second pressurized tank 18b and flows through the flow path from the second pressurized tank 18b to the junction P1. The flow rate of the coating solution is controlled.

供給弁開閉部33dには、第1タンク供給弁19aと第2タンク供給弁19bとが接続されている。供給弁開閉部33dは、タンク切り替え部31dから入力された第1タンク供給弁19aの開閉指令に基づいて、第1タンク供給弁19aの駆動信号を生成するとともに、該駆動信号を第1タンク供給弁19aに出力する。第1タンク供給弁19aは、入力された信号に応じて開閉動作を行う。また、供給弁開閉部33dは、タンク切り替え部31dから入力された第2タンク供給弁19bの開閉指令に基づいて、第2タンク供給弁19bの駆動信号を生成するとともに、該駆動信号を第2タンク供給弁19bに出力する。第2タンク供給弁19bは、入力された信号に応じて開閉動作を行う。   A first tank supply valve 19a and a second tank supply valve 19b are connected to the supply valve opening / closing part 33d. The supply valve opening / closing part 33d generates a drive signal for the first tank supply valve 19a based on the opening / closing command for the first tank supply valve 19a input from the tank switching part 31d, and supplies the drive signal to the first tank supply. Output to the valve 19a. The first tank supply valve 19a opens and closes according to the input signal. The supply valve opening / closing part 33d generates a drive signal for the second tank supply valve 19b based on the opening / closing command for the second tank supply valve 19b input from the tank switching part 31d, and outputs the drive signal to the second Output to the tank supply valve 19b. The second tank supply valve 19b opens and closes according to the input signal.

[タンク切り替えの態様]
次に、上述のタンク切り替え部31dを通じて行われる、塗布液補充時における第1加圧タンク18aからの供給流量と第2加圧タンク18bからの供給流量の制御態様について、図3を参照して説明する。
[Tank switching mode]
Next, referring to FIG. 3, a control mode of the supply flow rate from the first pressurization tank 18a and the supply flow rate from the second pressurization tank 18b at the time of replenishment of the coating liquid performed through the tank switching unit 31d described above will be described. explain.

本実施形態では、1つの基板に対する塗布液の塗布が行われている間は、一方の加圧タンクからのみノズル17への塗布液の供給が行われる。すなわち、図3に示されるように、基板Aに対して塗布液の塗布が行われているときには、第1加圧タンク18aからのみノズル17への塗布液の供給が行われる。このとき、第1タンク流量計22aの目標値は塗布用の目標値とされるとともに第2タンク流量計22bの目標値は0とされる。したがって、第1タンク流量制御弁23aが開かれる一方、第2タンク流量制御弁23bが閉じられるため、第1加圧タンク18aからのみノズル17への塗布液の供給が行われる。   In the present embodiment, while the coating liquid is applied to one substrate, the coating liquid is supplied to the nozzle 17 only from one pressure tank. That is, as shown in FIG. 3, when the coating liquid is applied to the substrate A, the coating liquid is supplied to the nozzle 17 only from the first pressure tank 18a. At this time, the target value of the first tank flow meter 22a is set to a target value for application, and the target value of the second tank flow meter 22b is set to 0. Accordingly, since the first tank flow rate control valve 23a is opened and the second tank flow rate control valve 23b is closed, the coating liquid is supplied to the nozzle 17 only from the first pressurized tank 18a.

時刻t1にて基板Aへの塗布液の塗布が終了すると、上述の塗布液補充判断部31cによる塗布液補充の要否判断が行われる。ここで、第1加圧タンク18a内の塗布液の残量が第1下限残量未満であると判定されると、タンク切り替え部31dは、第1タンク流量計22aの目標値を徐々に小さくするとともに、第2タンク流量計22bの目標値を徐々に大きくする。このとき、第1タンク流量計22aの目標値と第2タンク流量計22bの目標値との合計は、先の塗布用の目標値に保たれる。これにより、第1タンク流量制御弁23aの開度が徐々に小さくされる一方、第2タンク流量制御弁23bの開度が徐々に大きくされる。その結果、ノズル17へ供給される塗布液の流量は、第1加圧タンク18aからの供給流量が徐々に小さくなる一方、第2加圧タンク18bからの供給流量が徐々に大きくなる。このとき、ノズル17へは、第1加圧タンク18aと第2加圧タンク18bとの双方から塗布液が供給される状態となる。   When the application of the coating liquid to the substrate A is completed at time t1, the above-described coating liquid replenishment determining unit 31c determines whether or not the coating liquid needs to be replenished. Here, if it is determined that the remaining amount of the coating liquid in the first pressurized tank 18a is less than the first lower limit remaining amount, the tank switching unit 31d gradually decreases the target value of the first tank flow meter 22a. At the same time, the target value of the second tank flow meter 22b is gradually increased. At this time, the sum of the target value of the first tank flow meter 22a and the target value of the second tank flow meter 22b is maintained at the previous target value for application. Thereby, the opening degree of the first tank flow rate control valve 23a is gradually reduced, while the opening degree of the second tank flow rate control valve 23b is gradually increased. As a result, the flow rate of the coating liquid supplied to the nozzle 17 gradually decreases as the supply flow rate from the first pressurization tank 18a, while the supply flow rate from the second pressurization tank 18b gradually increases. At this time, the coating liquid is supplied to the nozzle 17 from both the first pressurized tank 18a and the second pressurized tank 18b.

次いで、第1タンク流量計22aの目標値が0に到達し、第2タンク流量計22bの目標値が塗布用の目標値に到達すると、第2加圧タンク18bからのみノズル17へ塗布液の供給が行われる状態となる。こうしてノズル17へ塗布液の供給を行う加圧タンクが第2加圧タンク18bへ切り替えられている間に、基板ステージ12上では塗布液の塗布が終了した基板Aの回収や、次に塗布液を塗布する基板Bの載置等が行われる。ノズル17へ塗布液の供給を行う加圧タンクの切り替えと基板Bへの塗布液の塗布の準備とが完了すると、時刻t2にて基板Bへの塗布液の塗布が開始される。基板Bに対して塗布液の塗布が行われているときには、第2加圧タンク18bからのみノズル17へ塗布液の供給が行われる。   Next, when the target value of the first tank flow meter 22a reaches 0 and the target value of the second tank flow meter 22b reaches the target value for application, the application liquid is applied to the nozzle 17 only from the second pressure tank 18b. Supply will be performed. While the pressure tank for supplying the coating liquid to the nozzle 17 is switched to the second pressure tank 18b, the substrate A after the application of the coating liquid is recovered on the substrate stage 12, and then the coating liquid is collected. The substrate B to be coated is placed. When the switching of the pressurized tank for supplying the coating liquid to the nozzle 17 and the preparation for applying the coating liquid to the substrate B are completed, the application of the coating liquid to the substrate B is started at time t2. When the coating liquid is applied to the substrate B, the coating liquid is supplied to the nozzle 17 only from the second pressure tank 18b.

一方、第1タンク流量制御弁23aが閉じられて第1タンク流量計22aの計測値が0となると、タンク切り替え部31dは、第1タンク供給弁19aを閉じる信号を供給弁開閉部33dに出力する。これにより、第1タンク供給弁19aが閉弁される。   On the other hand, when the first tank flow control valve 23a is closed and the measured value of the first tank flow meter 22a becomes 0, the tank switching unit 31d outputs a signal for closing the first tank supply valve 19a to the supply valve opening / closing unit 33d. To do. As a result, the first tank supply valve 19a is closed.

塗布膜形成装置10の操作者は、表示部50に塗布液不足サインが表示されると、第1タンク供給弁19aが閉弁されたことを確認した後に、第1ベントライン20aを開いて第1加圧タンク18a内を大気圧に戻す。そして、第1加圧タンク18aを開けて新たな塗布液を入れる。タンク切り替え部31dは、第1タンク重量計41aの計測値に基づき、第1加圧タンク18aに塗布液が補充されたと判断されると、第1タンク供給弁19aを開く信号を供給弁開閉部33dに出力する。これにより、第1タンク供給弁19aが開弁される。こうして、時刻t3にて塗布液の補充が完了する。   The operator of the coating film forming apparatus 10 opens the first vent line 20a after confirming that the first tank supply valve 19a is closed when the lack of coating liquid sign is displayed on the display unit 50. 1 The inside of the pressurized tank 18a is returned to atmospheric pressure. And the 1st pressurization tank 18a is opened and a new coating liquid is put. When it is determined that the coating liquid has been replenished to the first pressurized tank 18a based on the measured value of the first tank weight meter 41a, the tank switching unit 31d provides a signal for opening the first tank supply valve 19a. To 33d. As a result, the first tank supply valve 19a is opened. Thus, the replenishment of the coating solution is completed at time t3.

以後、ノズル17へ塗布液の供給を行っている第2加圧タンク18b内の塗布液の残量が第2下限残量未満となると、同様にしてノズル17へ塗布液を供給する加圧タンクが切り替えられて塗布液の補充が行われる。   Thereafter, when the remaining amount of the coating liquid in the second pressurized tank 18b that supplies the coating liquid to the nozzle 17 becomes less than the second lower limit remaining amount, the pressurized tank that supplies the coating liquid to the nozzle 17 in the same manner. Is switched to replenish the coating solution.

このように、本実施形態では、ノズル17へ塗布液の供給を行っている一方の加圧タンク内の塗布液の残量が下限残量未満となると、ノズル17へ塗布液を供給する加圧タンクが他方の加圧タンクに切り替えられる。そして、他方の加圧タンクからノズル17へ塗布液の供給が行われている間に、一方の加圧タンクに塗布液の補充が行われる。したがって、塗布液の補充が行われている間も、ノズル17からは塗布液が吐出され続ける。そのため、塗布液の補充に際し、ノズル17からの塗布液の吐出が停止されないため、吐出される塗布液の性状の安定化や流量の調整に費やされる時間が短縮できる結果、塗布膜の形成に要する時間を短くすることが可能となる。   As described above, in this embodiment, when the remaining amount of the coating liquid in one of the pressure tanks that supplies the coating liquid to the nozzle 17 is less than the lower limit remaining amount, the pressure is supplied to supply the coating liquid to the nozzle 17. The tank is switched to the other pressurized tank. Then, while the coating liquid is being supplied from the other pressurized tank to the nozzle 17, the one pressurized tank is replenished with the coating liquid. Therefore, the coating liquid is continuously discharged from the nozzle 17 while the coating liquid is being replenished. Therefore, when the coating liquid is replenished, the discharge of the coating liquid from the nozzle 17 is not stopped, so that the time spent for stabilizing the properties of the discharged coating liquid and adjusting the flow rate can be shortened. The time can be shortened.

以上説明したように、本実施形態の塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法によれば、以下に列挙する効果を得ることができる。
(1)第1加圧タンク18aからのみノズル17への塗布液の供給が行われる状態と、第2加圧タンク18bからのみノズル17へ塗布液の供給が行われる状態とが切り替えられる。したがって、一方の加圧タンクからのみノズル17への塗布液の供給が行われている間に、他方の加圧タンクに塗布液の補充を行うことが可能となる。その結果、塗布液の補充に際して、ノズル17からの塗布液の吐出が停止されることがないため、吐出される塗布液の性状の安定化や流量の調整に費やされる時間が短縮できる結果、塗布膜の形成に要する時間を短くすることが可能となる。
As described above, according to the coating film forming apparatus and the coating film forming method of the present embodiment, the effects listed below can be obtained.
(1) The state where the coating liquid is supplied to the nozzle 17 only from the first pressure tank 18a and the state where the coating liquid is supplied to the nozzle 17 only from the second pressure tank 18b are switched. Therefore, it is possible to replenish the other pressurizing tank with the coating liquid while the coating liquid is supplied to the nozzle 17 only from one of the pressurized tanks. As a result, since the discharge of the coating liquid from the nozzle 17 is not stopped when the coating liquid is replenished, the time spent for stabilizing the properties of the discharged coating liquid and adjusting the flow rate can be reduced. The time required for forming the film can be shortened.

(2)第1加圧タンク18aからのみノズル17への塗布液の供給が行われる状態と、第2加圧タンク18bからのみノズル17へ塗布液の供給が行われる状態とが、第1加圧タンク18aと第2加圧タンク18bとの双方からノズル17への塗布液の供給が行われる状態を挟んで切り替えられる。したがって、ノズル17へ供給される塗布液が、一方の加圧タンク内の塗布液から他方の加圧タンク内の塗布液に徐々に切り替えられるため、ノズル17から吐出される塗布液の性状が不安定となることを抑制することができる。   (2) The state in which the coating liquid is supplied to the nozzle 17 only from the first pressurized tank 18a and the state in which the coating liquid is supplied to the nozzle 17 only from the second pressurized tank 18b It is switched across the state where the coating liquid is supplied to the nozzle 17 from both the pressure tank 18a and the second pressure tank 18b. Accordingly, since the coating liquid supplied to the nozzle 17 is gradually switched from the coating liquid in one pressure tank to the coating liquid in the other pressure tank, the properties of the coating liquid discharged from the nozzle 17 are not good. It can suppress becoming stable.

(3)ノズル17へ供給される塗布液の流量が、2つの加圧タンク18a,18bからの流路が合流する合流点P1とノズル17との間の流路に設けられたノズル流量制御弁24とノズル流量計25とにより制御される。すなわち、最終的にノズル17へ供給される塗布液の流量は、2つの加圧タンク18a,18bから供給される塗布液が合流された後に制御される。したがって、ノズル17へ塗布液を供給する加圧タンクの切り替えが行われている間に、ノズル17から吐出される塗布液の流量が変動することを抑制することができる。   (3) The nozzle flow rate control valve provided in the flow path between the junction P1 where the flow rate of the coating liquid supplied to the nozzle 17 joins the flow paths from the two pressurized tanks 18a and 18b and the nozzle 17 24 and the nozzle flow meter 25. That is, the flow rate of the coating solution finally supplied to the nozzle 17 is controlled after the coating solutions supplied from the two pressure tanks 18a and 18b are merged. Therefore, fluctuations in the flow rate of the coating liquid discharged from the nozzle 17 can be suppressed while the pressure tank that supplies the coating liquid to the nozzle 17 is being switched.

(4)第1加圧タンク18aから合流点P1までの流路と、第2加圧タンク18bから合流点P1までの流路の各々に、脱気タンク21a,21bが設けられている。これにより、それぞれの流路にて塗布液の脱気が行われるため、ノズル17に供給される塗布液に気泡が含まれることが適切に抑えられる結果、ノズル17から吐出される塗布液の性状の安定性を高めることができる。   (4) Deaeration tanks 21a and 21b are provided in each of the flow path from the first pressurized tank 18a to the junction P1 and the flow path from the second pressurized tank 18b to the junction P1. As a result, since the coating liquid is degassed in each flow path, it is possible to appropriately prevent bubbles from being included in the coating liquid supplied to the nozzle 17, and as a result, the properties of the coating liquid discharged from the nozzle 17. Can improve the stability.

(5)各タンク流量制御弁23a,23bの一次側に各タンク流量計22a,22bが配置されるため、各加圧タンク18a,18bから圧送される塗布液の流量が安定しているか否かを各タンク流量計22a,22bの計測値で検知することが可能にもなる。   (5) Since the tank flow meters 22a and 22b are arranged on the primary side of the tank flow control valves 23a and 23b, whether or not the flow rate of the coating liquid fed from the pressurized tanks 18a and 18b is stable. Can be detected by the measured values of the tank flow meters 22a and 22b.

(第2の実施形態)
以下、本開示の塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法における第2の実施形態について、図4を参照して説明する。なお、第2の実施形態の塗布膜形成装置は、第1加圧タンク18aには塗布液が、第2加圧タンク18bには塗布液の溶媒が入れられており、塗布液補充時における第1加圧タンク18aからの供給流量と第2加圧タンク18bからの供給流量の制御態様が第1の実施形態と異なっている。そのため、以下では、こうした差異について詳細に説明し、第1の実施形態と同様の装置構成及び電気的構成の説明は割愛する。
(Second Embodiment)
Hereinafter, a second embodiment of the coating film forming apparatus and the coating film forming method of the present disclosure will be described with reference to FIG. In the coating film forming apparatus of the second embodiment, the first pressurizing tank 18a contains the coating liquid, and the second pressurized tank 18b contains the solvent of the coating liquid. The control mode of the supply flow rate from the first pressurization tank 18a and the supply flow rate from the second pressurization tank 18b is different from the first embodiment. Therefore, in the following, such differences will be described in detail, and description of the same device configuration and electrical configuration as those in the first embodiment will be omitted.

[タンク切り替えの態様]
図4に示されるように、基板Aに対して塗布液の塗布が行われているときには、塗布液が入っている第1加圧タンク18aからのみノズル17への液状体の供給が行われる。このとき、第1タンク流量計22aの目標値はノズルへの供給流量の目標値とされるとともに第2タンク流量計22bの目標値は0とされる。したがって、第1タンク流量制御弁23aが開かれる一方、第2タンク流量制御弁23bが閉じられるため、第1加圧タンク18aからのみノズル17への液状体の供給が行われる。
[Tank switching mode]
As shown in FIG. 4, when the coating liquid is applied to the substrate A, the liquid material is supplied to the nozzle 17 only from the first pressure tank 18a containing the coating liquid. At this time, the target value of the first tank flow meter 22a is set to the target value of the supply flow rate to the nozzle, and the target value of the second tank flow meter 22b is set to 0. Accordingly, since the first tank flow rate control valve 23a is opened and the second tank flow rate control valve 23b is closed, the liquid material is supplied to the nozzle 17 only from the first pressurized tank 18a.

時刻t1にて基板Aへの塗布液の塗布が終了すると、塗布液補充判断部31cによる塗布液補充の要否判断が行われる。ここで、第1加圧タンク18a内の塗布液の残量が第1下限残量未満であると判定されると、タンク切り替え部31dは、第1タンク流量計22aの目標値を徐々に小さくするとともに、第2タンク流量計22bの目標値を徐々に大きくする。このとき、第1タンク流量計22aの目標値と第2タンク流量計22bの目標値との合計は、先の塗布用の目標値に保たれる。これにより、第1タンク流量制御弁23aの開度が徐々に小さくされる一方、第2タンク流量制御弁23bの開度が徐々に大きくされる。その結果、ノズル17へ供給される液状体の流量は、第1加圧タンク18aからの供給流量が徐々に小さくなる一方、第2加圧タンク18bからの供給流量が徐々に大きくなる。そして、第1タンク流量計22aの目標値が0に到達し、第2タンク流量計22bの目標値が塗布用の目標値に到達すると、第1タンク流量制御弁23aが閉じられる一方、第2タンク流量制御弁23bが開かれて、溶媒が入っている第2加圧タンク18bからのみノズル17へ液状体の供給が行われる状態となる。   When the application of the coating liquid to the substrate A is completed at time t1, the coating liquid replenishment determining unit 31c determines whether or not the coating liquid needs to be replenished. Here, if it is determined that the remaining amount of the coating liquid in the first pressurized tank 18a is less than the first lower limit remaining amount, the tank switching unit 31d gradually decreases the target value of the first tank flow meter 22a. At the same time, the target value of the second tank flow meter 22b is gradually increased. At this time, the sum of the target value of the first tank flow meter 22a and the target value of the second tank flow meter 22b is maintained at the previous target value for application. Thereby, the opening degree of the first tank flow rate control valve 23a is gradually reduced, while the opening degree of the second tank flow rate control valve 23b is gradually increased. As a result, the flow rate of the liquid material supplied to the nozzle 17 gradually decreases from the first pressurization tank 18a while the supply flow rate from the second pressurization tank 18b gradually increases. When the target value of the first tank flow meter 22a reaches 0 and the target value of the second tank flow meter 22b reaches the target value for application, the first tank flow control valve 23a is closed while the second value is The tank flow rate control valve 23b is opened, and the liquid material is supplied to the nozzle 17 only from the second pressurized tank 18b containing the solvent.

タンク切り替え部31dは、第1タンク流量制御弁23aが閉じられて第1タンク流量計22aの計測値が0となると、時刻t2にて、第1タンク供給弁19aを閉じる信号を供給弁開閉部33dに出力する。これにより、第1タンク供給弁19aが閉弁される。   When the first tank flow rate control valve 23a is closed and the measured value of the first tank flow meter 22a becomes 0, the tank switching unit 31d sends a signal for closing the first tank supply valve 19a at time t2 to the supply valve opening / closing unit. To 33d. As a result, the first tank supply valve 19a is closed.

塗布膜形成装置10の操作者は、表示部50に塗布液不足サインが表示されると、第1タンク供給弁19aが閉弁されたことを確認した後に、第1ベントライン20aを開いて第1加圧タンク18a内を大気圧に戻す。そして、第1加圧タンク18aを開けて新たな塗布液を入れる。タンク切り替え部31dは、第1タンク重量計41aの計測値に基づき、第1加圧タンク18aに塗布液が補充されたと判断されると、第1タンク供給弁19aを開く信号を供給弁開閉部33dに出力する。これにより、第1タンク供給弁19aが開弁される。こうして、時刻t3にて塗布液の補充が完了する。   The operator of the coating film forming apparatus 10 opens the first vent line 20a after confirming that the first tank supply valve 19a is closed when the lack of coating liquid sign is displayed on the display unit 50. 1 The inside of the pressurized tank 18a is returned to atmospheric pressure. And the 1st pressurization tank 18a is opened and a new coating liquid is put. When it is determined that the coating liquid has been replenished to the first pressurized tank 18a based on the measured value of the first tank weight meter 41a, the tank switching unit 31d provides a signal for opening the first tank supply valve 19a. To 33d. As a result, the first tank supply valve 19a is opened. Thus, the replenishment of the coating solution is completed at time t3.

第1タンク供給弁19aが開弁されると、タンク切り替え部31dは、第1タンク流量計22aの目標値を徐々に大きくするとともに、第2タンク流量計22bの目標値を徐々に小さくする。ここでも、第1タンク流量計22aの目標値と第2タンク流量計22bの目標値との合計は、先の塗布用の目標値に保たれる。これにより、第1タンク流量制御弁23aの開度が徐々に大きくされる一方、第2タンク流量制御弁23bの開度が徐々に小さくされる。その結果、ノズル17へ供給される液状体の流量は、第1加圧タンク18aからの供給流量が徐々に大きくなる一方、第2加圧タンク18bからの供給流量が徐々に小さくなる。   When the first tank supply valve 19a is opened, the tank switching unit 31d gradually increases the target value of the first tank flow meter 22a and gradually decreases the target value of the second tank flow meter 22b. Again, the sum of the target value of the first tank flow meter 22a and the target value of the second tank flow meter 22b is kept at the previous target value for application. Thereby, the opening degree of the first tank flow rate control valve 23a is gradually increased, while the opening degree of the second tank flow rate control valve 23b is gradually reduced. As a result, the flow rate of the liquid supplied to the nozzle 17 is gradually increased from the first pressurized tank 18a, while the flow rate from the second pressurized tank 18b is gradually decreased.

そして、第1タンク流量計22aの目標値がノズルへの供給流量の目標値に到達し、第2タンク流量計22bの目標値が0に到達すると、第1タンク流量制御弁23aが開かれる一方、第2タンク流量制御弁23bが閉じられて、塗布液が入っている第1加圧タンク18aからのみノズル17へ液状体の供給が行われる状態となる。こうして、第1加圧タンク18aへの塗布液の補充が行われている間に、基板ステージ12上では塗布液の塗布が終了した基板Aの回収や、次に塗布液を塗布する基板Bの載置等が行われる。塗布液の補充が行われた第1加圧タンク18aからのみノズル17へ液状体が供給されるようになるとともに、基板Bへの塗布液の塗布の準備が完了すると、時刻t4にて基板Bへの塗布液の塗布が開始される。   When the target value of the first tank flow meter 22a reaches the target value of the supply flow rate to the nozzle and the target value of the second tank flow meter 22b reaches 0, the first tank flow control valve 23a is opened. The second tank flow rate control valve 23b is closed, and the liquid material is supplied to the nozzle 17 only from the first pressurized tank 18a containing the coating liquid. In this manner, while the first pressurizing tank 18a is being replenished with the coating liquid, the substrate A on which the coating liquid has been applied is collected on the substrate stage 12, and the substrate B to which the coating liquid is applied next is collected. Placement or the like is performed. When the liquid material is supplied to the nozzle 17 only from the first pressurized tank 18a that has been replenished with the coating liquid, and the preparation for coating the coating liquid on the substrate B is completed, the substrate B at time t4. Application of the coating liquid to is started.

このように、本実施形態では、塗布液が入った第1加圧タンク18aの残量が第1下限残量未満となると、ノズル17へ液状体を供給する加圧タンクが、溶媒の入った第2加圧タンク18bに切り替えられる。そして、第2加圧タンク18bからノズル17へ液状体の供給が行われている間に、第1加圧タンク18aに塗布液の補充が行われる。第1加圧タンク18aに塗布液が補充されると、ノズル17へ液状体を供給する加圧タンクが、塗布液の入った第1加圧タンク18aに切り替えられて、基板への塗布液の塗布が開始される。   Thus, in this embodiment, when the remaining amount of the first pressurized tank 18a containing the coating liquid becomes less than the first lower limit remaining amount, the pressurized tank that supplies the liquid material to the nozzle 17 contains the solvent. It is switched to the second pressurized tank 18b. While the liquid material is being supplied from the second pressure tank 18b to the nozzle 17, the first pressure tank 18a is replenished with the coating liquid. When the first pressurizing tank 18a is replenished with the coating liquid, the pressurizing tank for supplying the liquid material to the nozzle 17 is switched to the first pressurizing tank 18a containing the coating liquid, and the coating liquid for the substrate is supplied. Application is started.

一般に、塗布液は粘度が高くなるほど、吐出が開始されてから安定して吐出されるようになるまでに時間を要する。この点、本実施形態では、塗布液よりも粘度の低い溶媒が塗布液と切り替えられてノズル17から吐出されることにより、塗布液の補充が行われている間も、ノズル17からは液状体が吐出され続ける。そして、塗布液補充後に再び塗布液をノズル17から吐出させる際には、高粘度の塗布液が低粘度の溶媒と徐々に切り替えられることで、吐出される塗布液の性状の安定化や流量の調整に費やされる時間が短縮できる。その結果、塗布膜の形成に要する時間を短くすることが可能となる。また、塗布液の補充が行われていて基板への塗布液の塗布が行われていない間は、ノズル17からは塗布液の溶媒が吐出されるため、塗布液が節約されて塗布液の効率的な利用が可能となる。   In general, the higher the viscosity of the coating liquid, the longer it takes to start discharging stably after the start of discharging. In this regard, in the present embodiment, a solvent having a viscosity lower than that of the coating liquid is switched from the coating liquid and discharged from the nozzle 17, so that the liquid material is discharged from the nozzle 17 while the coating liquid is being replenished. Continues to be discharged. When the coating liquid is discharged again from the nozzle 17 after replenishing the coating liquid, the high-viscosity coating liquid is gradually switched to the low-viscosity solvent, thereby stabilizing the properties of the discharged coating liquid and the flow rate. The time spent for adjustment can be shortened. As a result, it is possible to shorten the time required for forming the coating film. Further, while the coating solution is being replenished and the coating solution is not applied to the substrate, the solvent of the coating solution is discharged from the nozzle 17, so that the coating solution is saved and the efficiency of the coating solution is reduced. Use is possible.

以上説明したように、本実施形態の塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法によれば、第1の実施形態の(3)〜(5)の効果に加えて、以下に列挙する効果を得ることができる。
(6)塗布液の補充が行われている間、ノズル17からは塗布液の溶媒が吐出され続けるため、塗布液が補充された後にノズル17から吐出される塗布液の性状の安定化や流量の調整に費やされる時間が短縮できる。その結果、塗布膜の形成に要する時間を短くすることが可能となる。
As described above, according to the coating film forming apparatus and the coating film forming method of the present embodiment, in addition to the effects (3) to (5) of the first embodiment, the effects listed below can be obtained. Can do.
(6) Since the solvent of the coating liquid is continuously discharged from the nozzle 17 while the coating liquid is being replenished, the properties and flow rate of the coating liquid discharged from the nozzle 17 after the coating liquid is replenished The time spent for adjustment can be shortened. As a result, it is possible to shorten the time required for forming the coating film.

(7)ノズル17へ供給される液状体が、塗布液から溶媒へ、また溶媒から塗布液へ徐々に切り替えられるため、ノズル17から吐出される液状体の性状が不安定となることを抑制することができる。特に、低粘度の溶媒から高粘度の塗布液への切り替えが徐々に行われることにより、ノズル17から塗布液が安定して吐出されるまでに要する時間を短縮することが可能となる。   (7) Since the liquid material supplied to the nozzle 17 is gradually switched from the coating solution to the solvent and from the solvent to the coating solution, the property of the liquid material discharged from the nozzle 17 is prevented from becoming unstable. be able to. In particular, by gradually switching from a low-viscosity solvent to a high-viscosity coating liquid, it is possible to shorten the time required for the coating liquid to be stably discharged from the nozzle 17.

(8)基板13への塗布液の塗布が行われていないときに、ノズル17から塗布液の溶媒が吐出されて塗布液の補充が行われる。したがって、塗布液の補充時にもノズル17から塗布液を吐出し続ける態様と比較して、塗布液が節約されて塗布液の効率的な利用が可能となる。   (8) When the application liquid is not applied to the substrate 13, the solvent of the application liquid is discharged from the nozzle 17 to replenish the application liquid. Therefore, compared with the mode in which the coating liquid is continuously discharged from the nozzle 17 even when the coating liquid is replenished, the coating liquid is saved and the coating liquid can be used efficiently.

なお、上記の各実施形態は、以下のような形態にて実施することもできる。
・上記第1の実施形態では、基板への塗布液の塗布が行われていないときに、ノズル17へ塗布液を供給する加圧タンクの切り替えを行うようにしたが、各々の加圧タンクからノズル17へ供給される塗布液の比率が緩やかに推移される場合であれば、基板へ塗布液の塗布が行われている間に加圧タンクの切り替えを行うようにしてもよい。この場合、上記(2),(3)の作用がより有効に働くこととなる。
In addition, each said embodiment can also be implemented with the following forms.
In the first embodiment, when the application liquid is not applied to the substrate, the pressure tank for supplying the application liquid to the nozzle 17 is switched. If the ratio of the coating liquid supplied to the nozzle 17 is gradually changed, the pressurized tank may be switched while the coating liquid is being applied to the substrate. In this case, the operations (2) and (3) are more effective.

・上記第2の実施形態では、第1加圧タンク18aに塗布液が、第2加圧タンク18bに溶媒が入れられているものとしたが、塗布液の補充時にノズル17から吐出される液状体は、塗布液よりも低粘度の液状体であれば、上記(6),(7)の効果を得ることができる。例えば、第2加圧タンク18b内の液状体を、塗布液と同じ溶媒及び溶質からなる液状体であって、塗布液よりも濃度の低い液状体としてもよい。   In the second embodiment, the application liquid is stored in the first pressure tank 18a and the solvent is stored in the second pressure tank 18b. However, the liquid discharged from the nozzle 17 when the application liquid is replenished. If the body is a liquid body having a viscosity lower than that of the coating solution, the effects (6) and (7) can be obtained. For example, the liquid body in the second pressurized tank 18b may be a liquid body made of the same solvent and solute as the coating liquid and having a lower concentration than the coating liquid.

・上記第2の実施形態では、塗布液の補充が行われないときであっても、基板の回収や載置等が行われていて基板への塗布液の塗布が行われていないときには、ノズル17へ供給される液状体を溶媒に切り替えるようにしてもよい。これによれば、塗布液をより節約することができるため、塗布液のさらなる効率的な利用が可能となる。   In the second embodiment, even when the application liquid is not replenished, the nozzle is recovered when the substrate is recovered or placed and the application liquid is not applied to the substrate. The liquid supplied to 17 may be switched to a solvent. According to this, since the coating liquid can be further saved, the coating liquid can be used more efficiently.

・上記第2の実施形態では、塗布膜形成装置10にて、最初にノズル17から塗布液を吐出させるときに、ノズル17へ供給される液状体が、溶媒から徐々に塗布液に切り替えられるようにしてもよい。これによれば、最初にノズル17から塗布液を吐出させるときにも、低粘度の溶媒から高粘度の塗布液への切り替えが徐々に行われることにより、ノズル17から塗布液が安定して吐出されるまでに要する時間を短縮することが可能となる。   In the second embodiment, when the coating film forming apparatus 10 first discharges the coating liquid from the nozzle 17, the liquid material supplied to the nozzle 17 is gradually switched from the solvent to the coating liquid. It may be. According to this, even when the coating liquid is discharged from the nozzle 17 for the first time, the switching from the low-viscosity solvent to the high-viscosity coating liquid is gradually performed, so that the coating liquid is stably discharged from the nozzle 17. It is possible to shorten the time required for the process.

・上記第2の実施形態では、基板への塗布液の塗布が行われていないときにノズル17から吐出された溶媒を回収して再利用するようにしてもよい。これによれば、溶媒の利用効率を高めることができる。   In the second embodiment, the solvent discharged from the nozzle 17 when the coating liquid is not applied to the substrate may be collected and reused. According to this, the utilization efficiency of a solvent can be improved.

・上記各実施形態では、第1タンク流量計22a及び第2タンク流量計22bの目標値を連続的に変化させることにより、ノズル17へ液状体を供給する加圧タンクを一方のタンクから他方のタンクへ徐々に切り替えることとした。これに代えて、第1タンク流量計22a及び第2タンク流量計22bの目標値を段階的に、例えば塗布用の目標値と0との2段階に変化させるようにしてもよい。   In each of the above embodiments, by continuously changing the target values of the first tank flow meter 22a and the second tank flow meter 22b, the pressurized tank that supplies the liquid material to the nozzle 17 is changed from one tank to the other. It was decided to switch to the tank gradually. Instead, the target values of the first tank flow meter 22a and the second tank flow meter 22b may be changed stepwise, for example, in two steps of a target value for application and 0.

・上記各実施形態では、加圧タンク18a,18b内の液状体の残量を、加圧タンク18a,18bの重量によって把握するものとしたが、例えば加圧タンク18a,18bの各々から供給された液状体の積算流量を制御部30にて監視することによって把握するようにしてもよい。   In each of the above embodiments, the remaining amount of the liquid material in the pressurized tanks 18a and 18b is grasped by the weight of the pressurized tanks 18a and 18b, but is supplied from each of the pressurized tanks 18a and 18b, for example. The accumulated flow rate of the liquid material may be grasped by monitoring the control unit 30.

・上記各実施形態では、ノズル17に供給される液状体の流量を常に一定としたが、例えば塗布液の補充が行われていて基板に塗布液の塗布が行われていない間は、流量の調整時間に影響を及ぼさない範囲でノズル17に供給される液状体の流量を少なくするようにしてもよい。   In each of the above embodiments, the flow rate of the liquid material supplied to the nozzle 17 is always constant. For example, while the coating solution is being replenished and the coating solution is not applied to the substrate, the flow rate You may make it reduce the flow volume of the liquid body supplied to the nozzle 17 in the range which does not affect adjustment time.

・脱気タンク21a,21bはタンク流量制御弁23a,23bと合流点P1との間に設けるようにしてもよい。また、例えば上記第2の実施形態においては、塗布液の入った第1加圧タンク18aに繋がる脱気タンク21aのみを設けるようにしてもよい。また、ノズル17から吐出される塗布液に含まれる気泡が塗布液の性状に影響を与えない程度であれば、脱気タンク21a,21bを設けなくてもよい。   The degassing tanks 21a and 21b may be provided between the tank flow control valves 23a and 23b and the junction P1. For example, in the second embodiment, only the deaeration tank 21a connected to the first pressure tank 18a containing the coating liquid may be provided. Further, the deaeration tanks 21a and 21b may not be provided as long as the bubbles contained in the coating liquid discharged from the nozzle 17 do not affect the properties of the coating liquid.

・脱気タンクは、合流点P1とノズル17との間に設けられて、タンク流量制御弁23a,23bと並列に接続されるものであってもよい。これによれば、第1加圧タンク18aから供給される液状体と第2加圧タンク18bから供給される液状体とが合流された後に、液状体に対して脱気が行われることとなる。したがって、例えば2つの液状体が合流するときに液状体に気泡が含まれたとしても、ノズル17に供給される液状体に気泡が含まれることを適切に抑えることが可能となる。この場合、タンク流量制御弁23a,23bと直列に繋がる脱気タンク21a,21bは、設けられていてもよいし、設けられていなくてもよい。   -A deaeration tank may be provided between the junction P1 and the nozzle 17, and may be connected in parallel with the tank flow control valves 23a and 23b. According to this, after the liquid material supplied from the first pressurized tank 18a and the liquid material supplied from the second pressurized tank 18b are merged, the liquid material is deaerated. . Therefore, for example, even if bubbles are included in the liquid when the two liquids merge, it is possible to appropriately suppress the bubbles included in the liquid supplied to the nozzle 17. In this case, the deaeration tanks 21a and 21b connected in series with the tank flow control valves 23a and 23b may be provided or may not be provided.

・タンク供給弁19a,19bを、流路を流れる液状体の流速を制御する弁としてもよい。これによれば、例えば一方の加圧タンクからの液状体の供給流量と他方の加圧タンクからの液状体の供給流量とに大きな差がある場合であっても、加圧タンク18a,18bに近い位置で液状体の流速が制御されるため、合流点P1で合流する2つの液状体の流速の差が不要に大きくなることを抑えることができる。   -Tank supply valve 19a, 19b is good also as a valve which controls the flow velocity of the liquid which flows through a flow path. According to this, even if there is a large difference between the supply flow rate of the liquid material from one pressurized tank and the supply flow rate of the liquid material from the other pressurized tank, the pressure tanks 18a and 18b Since the flow velocity of the liquid material is controlled at a close position, it is possible to suppress an unnecessarily large difference in flow velocity between the two liquid materials that merge at the merge point P1.

・第1タンク流量計22aと第1タンク流量制御弁23aの配列の順番は逆であってもよい。すなわち、第1加圧タンク18a側から、第1脱気タンク21aに第1タンク流量制御弁23aが接続され、第1タンク流量制御弁23aに第1タンク流量計22aが接続されていてもよい。同様に、第2タンク流量計22bと第2タンク流量制御弁23bの配列の順番も逆であってもよい。上述の構成であれば、各タンク流量制御弁23a,23bを通して流れる液状体の流量を正確に計測できる。   The order of arrangement of the first tank flow meter 22a and the first tank flow control valve 23a may be reversed. That is, from the first pressurized tank 18a side, the first tank flow rate control valve 23a may be connected to the first degassing tank 21a, and the first tank flow meter 22a may be connected to the first tank flow rate control valve 23a. . Similarly, the order of arrangement of the second tank flow meter 22b and the second tank flow control valve 23b may be reversed. If it is the above-mentioned composition, the flow volume of the liquid which flows through each tank flow control valve 23a, 23b can be measured correctly.

・ノズル流量制御弁24とノズル流量計25の配列の順番は逆であってもよい。すなわち、合流点P1側にノズル流量計25が設けられ、ノズル流量制御弁24とノズル17が接続されていてもよい。上述の構成であれば、ノズル流量制御弁24に供給される液状体の流量を正確に計測できる。   The order of arrangement of the nozzle flow control valve 24 and the nozzle flow meter 25 may be reversed. That is, the nozzle flow meter 25 may be provided on the junction P1 side, and the nozzle flow control valve 24 and the nozzle 17 may be connected. If it is the above-mentioned composition, the flow volume of the liquid supplied to nozzle flow control valve 24 can be measured correctly.

・上記各実施形態では、加圧タンクが2つ備えられるものとしたが、3つ以上備えられてもよい。この場合も、ノズル17へ液状体を供給する加圧タンクを順次切り替えて、ノズル17への液状体の供給が行われていない加圧タンクに液状体を補充するようにすればよい。   In the above embodiments, two pressurized tanks are provided, but three or more pressurized tanks may be provided. In this case as well, the pressurized tank that supplies the liquid material to the nozzle 17 may be sequentially switched so that the liquid material is replenished to the pressurized tank in which the liquid material is not supplied to the nozzle 17.

・基板ステージ12が固定され、ノズル17の移動によって副走査と主走査が行われてもよく、ノズル17が固定されて基板ステージ12の移動によって副走査と主走査が行われてもよい。要は、ノズル17に対して相対的に基板ステージ12が動かされて基板13に塗布膜が形成される装置であればよい。   The substrate stage 12 may be fixed and sub-scanning and main scanning may be performed by moving the nozzle 17, or the nozzle 17 may be fixed and sub-scanning and main scanning may be performed by moving the substrate stage 12. In short, any apparatus may be used as long as the substrate stage 12 is moved relative to the nozzle 17 to form a coating film on the substrate 13.

・上記各実施形態では、有機EL素子の発光層となる塗布膜を形成したが、これに代えて、有機EL素子における正孔輸送層等の他の機能層や色変換層等を形成するようにしてもよい。また、有機EL素子に限らず、例えば、カラーフィルタやTFT基板の配線等を形成するようにしてもよい。   In each of the above embodiments, the coating film to be the light emitting layer of the organic EL element is formed. Instead, other functional layers such as a hole transport layer in the organic EL element, a color conversion layer, and the like are formed. It may be. In addition to the organic EL element, for example, a color filter or a wiring of a TFT substrate may be formed.

Ma…ステージモーター、Mb…ノズルモーター、10…塗布膜形成装置、11a,11b…ステージガイド、12…基板ステージ、13…基板、14…パネル領域、15…ノズル部、16…副走査ガイド、17…ノズル、18a…第1加圧タンク、18b…第2加圧タンク、19a…第1タンク供給弁、19b…第2タンク供給弁、20a…第1ベントライン、20b…第2ベントライン、21a…第1脱気タンク、21b…第2脱気タンク、22a…第1タンク流量計、22b…第2タンク流量計、23a…第1タンク流量制御弁、23b…第2タンク流量制御弁、24…ノズル流量制御弁、25…ノズル流量計、30…制御部、30a…入出力部、30b…算出部、30c…実行部、30d…記憶部、31a…走査量算出部、31b…ノズル流量算出部、31c…塗布液補充判断部、31d…タンク切り替え部、32…走査系駆動部、32a…ステージ駆動部、32b…ノズル駆動部、33…供給系制御部、33a…ノズル流量制御部、33b…第1タンク流量制御部、33c…第2タンク流量制御部、33d…供給弁開閉部、40…操作部、41a…第1タンク重量計、41b…第2タンク重量計、50…表示部。   Ma ... Stage motor, Mb ... Nozzle motor, 10 ... Coating film forming apparatus, 11a, 11b ... Stage guide, 12 ... Substrate stage, 13 ... Substrate, 14 ... Panel region, 15 ... Nozzle section, 16 ... Sub-scanning guide, 17 ... Nozzle, 18a ... first pressurized tank, 18b ... second pressurized tank, 19a ... first tank supply valve, 19b ... second tank supply valve, 20a ... first vent line, 20b ... second vent line, 21a ... 1st deaeration tank, 21b ... 2nd deaeration tank, 22a ... 1st tank flow meter, 22b ... 2nd tank flow meter, 23a ... 1st tank flow control valve, 23b ... 2nd tank flow control valve, 24 ... nozzle flow rate control valve, 25 ... nozzle flow meter, 30 ... control unit, 30a ... input / output unit, 30b ... calculation unit, 30c ... execution unit, 30d ... storage unit, 31a ... scanning amount calculation unit, 31b ... Slurry flow rate calculation unit, 31c ... coating liquid replenishment determination unit, 31d ... tank switching unit, 32 ... scanning system drive unit, 32a ... stage drive unit, 32b ... nozzle drive unit, 33 ... supply system control unit, 33a ... nozzle flow rate control 33b: first tank flow rate control unit, 33c: second tank flow rate control unit, 33d ... supply valve opening / closing unit, 40 ... operation unit, 41a ... first tank weight meter, 41b ... second tank weight meter, 50 ... Display section.

Claims (8)

基板に向けて切れ目なく液状体を流すノズルに対して相対的に基板を動かして基板に塗布膜を形成する塗布膜形成装置であって、
第1の液状体を供給口から圧送する第1タンクと、
第2の液状体を供給口から圧送する第2タンクと、
前記第1タンクから圧送される液状体の流路上に設けられて前記第1の液状体の流量を制御する第1流量制御弁と、
前記第2タンクから圧送される液状体の流路上に設けられて前記第2の液状体の流量を制御する第2流量制御弁と、
前記第1流量制御弁の開度と前記第2流量制御弁の開度とを制御する制御部とを備え、
前記第1流量制御弁と前記第2流量制御弁とが前記ノズルに対して並列に繋がれ、
前記制御部は、前記第1流量制御弁のみを開弁する状態と前記第2流量制御弁のみを開弁する状態とを切り替える
ことを特徴とする塗布膜形成装置。
A coating film forming apparatus that forms a coating film on a substrate by moving the substrate relative to a nozzle that flows a liquid material toward the substrate without breaks,
A first tank for pumping the first liquid from the supply port;
A second tank for pumping the second liquid material from the supply port;
A first flow rate control valve provided on a flow path of the liquid material pumped from the first tank and controlling a flow rate of the first liquid material;
A second flow rate control valve provided on the flow path of the liquid material pumped from the second tank and controlling the flow rate of the second liquid material;
A controller that controls the opening of the first flow control valve and the opening of the second flow control valve;
The first flow control valve and the second flow control valve are connected in parallel to the nozzle,
The said control part switches the state which opens only the said 1st flow control valve, and the state which opens only the said 2nd flow control valve. The coating film forming apparatus characterized by the above-mentioned.
前記制御部が、前記第1流量制御弁のみを開弁する状態を、前記第2流量制御弁のみを開弁する状態に切り替えるときに、第1流量制御弁と第2流量制御弁との双方を開弁する状態を有する
請求項1に記載の塗布膜形成装置。
When the control unit switches the state of opening only the first flow rate control valve to the state of opening only the second flow rate control valve, both the first flow rate control valve and the second flow rate control valve The coating film formation apparatus of Claim 1. It has the state which opens valve.
前記第1タンクと前記第2タンクとの少なくとも一方と前記ノズルとの間に、液状体から空気を抜く脱気部をさらに備える
請求項1または2に記載の塗布膜形成装置。
The coating film forming apparatus according to claim 1, further comprising a deaeration unit that extracts air from the liquid material between at least one of the first tank and the second tank and the nozzle.
前記脱気部が、前記第1流量制御弁と前記第2流量制御弁とに並列に接続される脱気タンクである
請求項3に記載の塗布膜形成装置。
The coating film forming apparatus according to claim 3, wherein the deaeration unit is a deaeration tank connected in parallel to the first flow rate control valve and the second flow rate control valve.
基板ステージに向けて切れ目なく液状体を流すノズルに対して相対的に基板ステージを動かして前記基板ステージに載置された基板に塗布膜を形成することを、互いに異なる基板に対して繰り返して行う塗布膜形成方法であって、
前記ノズルに第1タンクから圧送される第1の液状体のみを流す工程と、
前記ノズルに第2タンクから圧送される第2の液状体のみを流す工程とを有する
ことを特徴とする塗布膜形成方法。
The substrate stage is moved relative to the nozzle that flows the liquid material toward the substrate stage and the coating film is formed on the substrate placed on the substrate stage, and is repeatedly performed on different substrates. A coating film forming method comprising:
Flowing only the first liquid material pumped from the first tank to the nozzle;
A method of flowing only the second liquid material pumped from the second tank to the nozzle.
前記第1の液状体のみを流す工程と前記第2の液状体のみを流す工程との間に、前記第1の液状体と前記第2の液状体とが混合された液状体を前記ノズルに流す工程をさらに有する
請求項5に記載の塗布膜形成方法。
A liquid material in which the first liquid material and the second liquid material are mixed between the step of flowing only the first liquid material and the step of flowing only the second liquid material is used as the nozzle. The coating film forming method according to claim 5, further comprising a flow step.
前記第1の液状体の粘度と前記第2の液状体の粘度が互いに異なる
請求項6に記載の塗布膜形成方法。
The method for forming a coating film according to claim 6, wherein the viscosity of the first liquid material and the viscosity of the second liquid material are different from each other.
前記第1の液状体よりも低い粘度を有する前記第2の液状体が、前記第1の液状体の溶媒であり、
前記第1の液状体のみを流す工程において、前記基板に塗布膜を形成する
請求項7に記載の塗布膜形成方法。
The second liquid having a lower viscosity than the first liquid is a solvent for the first liquid;
The coating film forming method according to claim 7, wherein a coating film is formed on the substrate in the step of flowing only the first liquid material.
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