JP2013200188A - Radiation detecting device - Google Patents

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泰明 川崎
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress a thermal influence on a radiation detecting panel from a circuit board.SOLUTION: A radiation detecting device 30 includes a radiation detecting panel 21, a support plate 81, an analog circuit board 91, and a digital circuit board 92. The radiation detecting panel 21 detects radiation. The support plate 81 is formed into a form of a plate having a first plane for supporting the radiation detecting panel 21, and a second plane provided in an opposite side of the first plane. The inside of the support plate is partitioned by cell walls so as to be filled with a plurality of columnar spaces extending from the first plane toward the second plane. The analog circuit board 91 and the digital circuit board 92 are supported by the support plate 81 in the second plane side and drives the radiation detecting panel 21.

Description

実施形態は、概して、放射線を検出する放射線検出装置に関する。   Embodiments generally relate to a radiation detection apparatus for detecting radiation.

放射線、特にX線を検出するX線検出装置は、工業用の非破壊検査や医療診断、構造解析などの科学研究用など広い分野で利用されている。また近年では、たとえば医療診断装置において、固定されているものだけではなく、持ち運びが可能な可搬型のX線検出装置も用いられている。   X-ray detectors that detect radiation, particularly X-rays, are used in a wide range of fields such as industrial non-destructive inspection, medical diagnosis, and scientific research such as structural analysis. In recent years, for example, in medical diagnosis apparatuses, portable X-ray detection apparatuses that can be carried are used as well as fixed ones.

X線検出装置は、物理的な衝撃又は衝突による衝撃による損傷が極めて受け易い壊れ易い構成要素を含んでいる。また、X線検出装置は、ほこりや湿気などを嫌うため、筐体内部と外部とが完全に隔離された完全密封構造を持つ場合が多い。   X-ray detection devices include fragile components that are extremely susceptible to damage from physical or collisional impacts. In addition, since the X-ray detection apparatus dislikes dust and moisture, it often has a completely sealed structure in which the inside and outside of the housing are completely isolated.

X線検出装置の中でも高感度で高鮮鋭なものとして、複数のフォトセンサおよびTFT(Thin film Transistor:薄膜トランジスタ)が2次元に配置されたものがある。このX線検出装置は、フォトセンサおよびTFTが2次元に配列された光電変換素子部を持つ光検出器上に、X線を光電変換素子部で検出可能な光に変換する蛍光体層が直接形成されたX線検出パネルを備えている。   Among X-ray detection apparatuses, there is one in which a plurality of photosensors and TFTs (Thin Film Transistors) are two-dimensionally arranged as high sensitivity and sharpness. In this X-ray detection apparatus, a phosphor layer that converts X-rays into light that can be detected by the photoelectric conversion element portion is directly formed on a photodetector having a photoelectric conversion element portion in which a photosensor and a TFT are two-dimensionally arranged. The formed X-ray detection panel is provided.

このX線検出パネルは、板状の支持部材の一面に支持される。支持部材の他面には、X線検出パネルを駆動する回路基板が支持される。これらX線検出パネルと回路基板とは、フレキシブル回路基板にて電気的に接続される。   This X-ray detection panel is supported on one surface of a plate-like support member. A circuit board for driving the X-ray detection panel is supported on the other surface of the support member. The X-ray detection panel and the circuit board are electrically connected by a flexible circuit board.

X線検出装置が作動すると、回路基板から熱が発生する。回路基板が発生した熱は、その一部がX線検出装置の筐体内部の空気中へ放熱されるものの、そのほとんどが熱伝導によってより温度の低い部分へと移動し、熱抵抗に起因する温度差を作りながら筐体内外の温度分布を非均一にする。   When the X-ray detector is activated, heat is generated from the circuit board. Although some of the heat generated by the circuit board is dissipated into the air inside the housing of the X-ray detector, most of it moves to the lower temperature part due to heat conduction and is caused by thermal resistance. Make the temperature distribution inside and outside the housing non-uniform while creating a temperature difference.

たとえば回路基板から発生した熱は、回路基板を支持する支持部材へと流れ込む。さらに、支持部材に流れ込んだ熱は、より低温であるX線検出パネルへと流れ込む。   For example, heat generated from the circuit board flows into a support member that supports the circuit board. Further, the heat flowing into the support member flows into the X-ray detection panel having a lower temperature.

X線検出パネルに伝わった熱によってX線検出パネルの温度が上昇し、動作温度が高温となる。動作温度が高温になると、X線検出パネルの光電変換素子の暗電流およびTFTのリーク電流が増加し、固定ノイズの量が変動する。その結果、X線検出パネルによって撮像したX線画像にむらが発生する可能性がある。   Due to the heat transmitted to the X-ray detection panel, the temperature of the X-ray detection panel rises and the operating temperature becomes high. When the operating temperature becomes high, the dark current of the photoelectric conversion element of the X-ray detection panel and the leak current of the TFT increase, and the amount of fixed noise varies. As a result, the X-ray image captured by the X-ray detection panel may be uneven.

回路基板を冷却する手段としては、自然放冷式の冷却器の他、ペルチェ素子、冷水循環装置などによって冷却効率を高めたものがある。また、使用中にリーク電流が変化しないように、使用の24時間前から通電させるという方法もある。   As a means for cooling the circuit board, in addition to a natural cooling type cooler, there are those that have improved cooling efficiency by a Peltier element, a cold water circulation device, or the like. There is also a method of energizing 24 hours before use so that the leakage current does not change during use.

一方で、回路基板で発生した熱を筐体へ逃がす構造が提案されている。筐体へ熱を逃がす構造においては、熱を十分に伝導させるため金属部品が用いられることが一般的である。   On the other hand, a structure for releasing heat generated in the circuit board to the housing has been proposed. In a structure in which heat is released to the housing, metal parts are generally used in order to conduct heat sufficiently.

特開2005−283262号公報JP 2005-283262 A

しかし、X線検出装置の回路基板を冷却するためにペルチェ素子や冷水循環装置などの冷却装置を用いた場合、その冷却装置を制御する必要があるため、追加のシステムが必要になる。また、リーク電流の変化量が一定となるように、使用の24時間前から通電させるのでは、環境にやさしくないばかりか、使用できるまでに時間がかかりすぎ、実用的でない。さらに、金属物へ熱伝導させる構造では、装置が重くなり、可搬性が損なわれる。   However, when a cooling device such as a Peltier element or a chilled water circulation device is used to cool the circuit board of the X-ray detection device, it is necessary to control the cooling device, so that an additional system is required. In addition, it is not practical to energize 24 hours before use so that the amount of change in the leakage current is constant, because it is not environmentally friendly and takes too much time to use. Furthermore, in a structure that conducts heat to a metal object, the apparatus becomes heavy and portability is impaired.

そこで、実施形態は、放射線検出パネルへの回路基板からの熱的影響を抑制することを目的とする。   Therefore, an object of the embodiment is to suppress the thermal influence from the circuit board on the radiation detection panel.

上述の目的を達成するため、一実施形態によれば、放射線検出装置は、表面から入射した放射線を検出して2次元の放射線強度分布を電気信号として出力する平板状の放射線検出パネルと、前記放射線検出パネルの背面側に設けられ前記放射線検出パネルを駆動する回路基板と、前記放射線検出パネルに対向して前記放射線検出パネルを支持する第1面と前記回路基板に対向して前記回路基板を支持する第2面を持つ板状に形成され前記第1面から前記第2面に向かって延びる筒状のセル壁が前記第1面と前記第2面との間に隙間なく配列された支持板と、を具備することを特徴とする。   In order to achieve the above-described object, according to one embodiment, a radiation detection apparatus detects a radiation incident from a surface and outputs a two-dimensional radiation intensity distribution as an electrical signal; A circuit board provided on the back side of the radiation detection panel for driving the radiation detection panel; a first surface for supporting the radiation detection panel facing the radiation detection panel; and the circuit board facing the circuit board. A cylindrical cell wall formed in a plate shape having a second surface to be supported and extending from the first surface toward the second surface is arranged without gaps between the first surface and the second surface And a board.

また、一実施形態によれば、放射線検出装置は、表面から入射した放射線を検出して2次元の放射線強度分布を電気信号として出力する平板状の放射線検出パネルと、前記放射線検出パネルの背面側に設けられ前記放射線検出パネルを駆動する回路基板と、前記放射線検出パネルを支持する第1面とその第1面の反対側の第2面を持つ板状に形成された支持板と、前記放射線検出パネルに対向して前記放射線検出パネルを支持する第1面と前記回路基板に対向して前記回路基板を支持する第2面を持つ板状に形成された支持板と、ハニカム構造の周辺部を有しその周辺部の内側に前記放射線検出パネルと前記支持板と前記回路基板とを収容する収容空間が形成された筐体と、を具備することを特徴とする。   According to one embodiment, the radiation detection apparatus includes a flat radiation detection panel that detects radiation incident from the surface and outputs a two-dimensional radiation intensity distribution as an electrical signal, and a rear side of the radiation detection panel. A circuit board for driving the radiation detection panel, a support plate formed in a plate shape having a first surface supporting the radiation detection panel and a second surface opposite to the first surface, and the radiation A support plate formed in a plate shape having a first surface facing the detection panel and supporting the radiation detection panel; and a second surface facing the circuit board and supporting the circuit board; and a peripheral portion of the honeycomb structure And a housing in which a housing space for housing the radiation detection panel, the support plate, and the circuit board is formed inside the periphery.

第1実施形態による放射線検出装置のブロック図である。1 is a block diagram of a radiation detection apparatus according to a first embodiment. 第1実施形態による放射線検出パネルの模式的斜視図である。It is a typical perspective view of the radiation detection panel by 1st Embodiment. 第1実施形態による画像検出部の回路図である。It is a circuit diagram of the image detection part by 1st Embodiment. 第1実施形態における放射線検出パネルの平面図である。It is a top view of the radiation detection panel in 1st Embodiment. 第1実施の形態における放射線検出装置の側断面図である。It is a sectional side view of the radiation detection apparatus in 1st Embodiment. 第1実施形態による支持板の斜視図である。It is a perspective view of the support plate by 1st Embodiment. 第1実施形態による支持板の断面図である。It is sectional drawing of the support plate by 1st Embodiment. 第2実施形態による放射線検出装置の筐体の側断面図である。It is a sectional side view of the housing | casing of the radiation detection apparatus by 2nd Embodiment. 第2実施形態による放射線検出装置の横断面図である。It is a cross-sectional view of the radiation detection apparatus according to the second embodiment.

以下、いくつかの実施形態による放射線検出装置を、図面を参照して説明する。なお、同一または類似の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。   Hereinafter, radiation detection devices according to some embodiments will be described with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same or similar structure, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

[第1実施形態]
図1は、第1実施形態による放射線検出装置のブロック図である。図2は、本実施形態による放射線検出パネルの模式的斜視図である。図3は、本実施形態による画像検出部の回路図である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a block diagram of the radiation detection apparatus according to the first embodiment. FIG. 2 is a schematic perspective view of the radiation detection panel according to the present embodiment. FIG. 3 is a circuit diagram of the image detection unit according to the present embodiment.

放射線検出装置30は、放射線検出パネル21とゲートドライバー32と積分アンプ33とA/D変換器34と行選択回路35と画像合成回路36とを有している。放射線検出パネルは、入射したX線を検出して2次元の強度分布を電気信号として出力する平板状のデバイスである。   The radiation detection apparatus 30 includes a radiation detection panel 21, a gate driver 32, an integration amplifier 33, an A / D converter 34, a row selection circuit 35, and an image synthesis circuit 36. The radiation detection panel is a flat device that detects incident X-rays and outputs a two-dimensional intensity distribution as an electrical signal.

放射線検出パネル21は、蛍光変換膜38と画像検出部12とを有している。蛍光変換膜38は、X線37が入射すると可視光領域の蛍光を発生する。発生した蛍光は、画像検出部12の表面に到達する。   The radiation detection panel 21 includes a fluorescence conversion film 38 and an image detection unit 12. The fluorescence conversion film 38 generates fluorescence in the visible light region when the X-ray 37 enters. The generated fluorescence reaches the surface of the image detection unit 12.

画像検出部12は、蛍光変換膜38で発生した蛍光を受光して電気信号を発生する。その結果、入射したX線37によって蛍光変換膜38で発生した可視光像は、画像検出部12において電気信号で表現された画像情報に変換される。   The image detection unit 12 receives the fluorescence generated by the fluorescence conversion film 38 and generates an electrical signal. As a result, the visible light image generated in the fluorescence conversion film 38 by the incident X-rays 37 is converted into image information expressed by an electrical signal in the image detection unit 12.

画像検出部12は、正方格子状に配列された複数の微細な画素70を有している。それぞれの画素70は、ガラス基板11上に形成されている。なお、図2および図3において、画素は5行5列あるいは4行4列分しか記載していないが、実際にはもっと多く、解像度、撮像面積に応じて必要な画素が形成されている。また、図2において、蛍光変換膜38と画像検出部12と分離して描いているが、実際には両者は密着している。   The image detection unit 12 has a plurality of fine pixels 70 arranged in a square lattice pattern. Each pixel 70 is formed on the glass substrate 11. 2 and 3, the pixels are only described for 5 rows and 5 columns or 4 rows and 4 columns, but actually, more pixels are formed according to the resolution and the imaging area. In FIG. 2, the fluorescence conversion film 38 and the image detection unit 12 are illustrated separately, but in reality they are in close contact.

それぞれの画素70は、薄膜トランジスタ14とコンデンサー15とフォトダイオード39とを有している。フォトダイオード39とコンデンサー15とは、並列に薄膜トランジスタ14に接続されている。ゲート線13は、画素70が配列された格子の行の数と同数設けられていて、同じ行の画素中の薄膜トランジスタ14のゲート端子は同じゲート線13に接続されている。信号線17は、画素70が配列された格子の列の数と同数設けられていて、同じ列の画素中のコンデンサー15は薄膜トランジスタ14を介して同じ信号線17に接続されている。   Each pixel 70 includes a thin film transistor 14, a capacitor 15, and a photodiode 39. The photodiode 39 and the capacitor 15 are connected to the thin film transistor 14 in parallel. The gate lines 13 are provided in the same number as the number of rows in the grid in which the pixels 70 are arranged, and the gate terminals of the thin film transistors 14 in the pixels in the same row are connected to the same gate line 13. The signal lines 17 are provided in the same number as the number of columns in the grid in which the pixels 70 are arranged, and the capacitors 15 in the pixels in the same column are connected to the same signal line 17 through the thin film transistor 14.

ゲート線13は、それぞれゲートドライバー32に接続されている。ゲートドライバー32は、たとえば複数である。ゲートドライバー32は、行選択回路35に接続されている。ゲートドライバー32は行選択回路35からの信号を受信して、多数のゲート線13の電圧を順番に変更していく。行選択回路35は、X線画像を走査する所定の行を選択するための信号をゲートドライバー32へと送る。   Each gate line 13 is connected to a gate driver 32. There are a plurality of gate drivers 32, for example. The gate driver 32 is connected to the row selection circuit 35. The gate driver 32 receives a signal from the row selection circuit 35 and sequentially changes the voltages of the many gate lines 13. The row selection circuit 35 sends a signal for selecting a predetermined row for scanning the X-ray image to the gate driver 32.

信号線17は、それぞれ積分アンプ33に接続されている。積分アンプ33は、放射線検出パネル21から信号線17を通じて出力される極めて微小な電荷信号を増幅し出力する。積分アンプ33は、A/D変換器34に接続されている。A/D変換器34は、画像合成回路36に接続されている。   Each signal line 17 is connected to an integrating amplifier 33. The integrating amplifier 33 amplifies and outputs a very small charge signal output from the radiation detection panel 21 through the signal line 17. The integrating amplifier 33 is connected to the A / D converter 34. The A / D converter 34 is connected to the image composition circuit 36.

図4は、本実施形態における放射線検出パネルの平面図である。   FIG. 4 is a plan view of the radiation detection panel in the present embodiment.

放射線検出パネル21には、ゲート線13(図3参照)および信号線17(図3参照)を引き出す端子群61が形成されている。ゲート線13(図3参照)を引き出す端子群61および信号線17(図3参照)を引き出す端子群61は、それぞれ放射線検出パネル21の隣り合う辺に沿ってそれらの辺の近傍に配列されている。放射線検出パネル21には、蛍光変換膜38(図2参照)を覆う防湿体65が固定されていてもよい。   The radiation detection panel 21 is formed with a terminal group 61 for drawing out the gate line 13 (see FIG. 3) and the signal line 17 (see FIG. 3). The terminal group 61 that pulls out the gate line 13 (see FIG. 3) and the terminal group 61 that pulls out the signal line 17 (see FIG. 3) are arranged in the vicinity of those sides along the adjacent sides of the radiation detection panel 21, respectively. Yes. A moisture barrier 65 that covers the fluorescence conversion film 38 (see FIG. 2) may be fixed to the radiation detection panel 21.

図5は、本実施の形態における放射線検出装置の側断面図である。   FIG. 5 is a side sectional view of the radiation detection apparatus according to the present embodiment.

放射線検出装置30は、筐体22を有している。筐体22は、X線検知面側に放射線入射窓19で覆われた開口が形成された箱である。   The radiation detection device 30 has a housing 22. The housing 22 is a box in which an opening covered with the radiation incident window 19 is formed on the X-ray detection surface side.

筐体22の内部には、放射線検出パネル21、遮蔽板20、支持板81、回路基板群、フレキシブル基板18などが収められている。回路基板群は、たとえば複数枚の回路基板で構成され、放射線検出パネル21を電気的に駆動し、また、放射線検出パネル21が出力する電気信号に所定の処理を施して、画像データとして外部に出力する。回路基板群には、アナログ回路基板91およびデジタル回路基板92が含まれる。回路基板群は、放射線検出パネル21の背面側、すなわち、X線37の入射面に対して反対側に設けられている。   A radiation detection panel 21, a shielding plate 20, a support plate 81, a circuit board group, a flexible board 18, and the like are housed inside the housing 22. The circuit board group is composed of, for example, a plurality of circuit boards, electrically drives the radiation detection panel 21, performs predetermined processing on the electrical signals output from the radiation detection panel 21, and outputs them as image data to the outside. Output. The circuit board group includes an analog circuit board 91 and a digital circuit board 92. The circuit board group is provided on the back side of the radiation detection panel 21, that is, on the opposite side to the incident surface of the X-ray 37.

アナログ回路基板91は、放射線検出パネル21が出力したアナログ信号を受信し、所定の処理を施してデジタル信号へ変換する。デジタル回路基板92は、アナログ回路基板91が生成したデジタル信号を受信して、所定の処理を施して放射線検出装置30の外部のディスプレーなどに出力する。デジタル回路基板92は、他の回路基板の制御を行ってもよい。また、回路基板群には、放射線検出パネル21を制御する図示しない制御基板や、他の回路基板あるいは放射線検出パネル21に電源を供給するための電源回路基板93などを備えていてもよい。   The analog circuit board 91 receives the analog signal output from the radiation detection panel 21, performs a predetermined process, and converts it into a digital signal. The digital circuit board 92 receives the digital signal generated by the analog circuit board 91, performs a predetermined process, and outputs the digital signal to a display outside the radiation detection apparatus 30. The digital circuit board 92 may control other circuit boards. The circuit board group may include a control board (not shown) for controlling the radiation detection panel 21, a power supply circuit board 93 for supplying power to another circuit board or the radiation detection panel 21, and the like.

放射線検出パネル21は、遮蔽板20の一方の面に接するように配置される。放射線検出パネル21は、たとえば筐体22の内面との間に配置された図示しない弾性部材で遮蔽板20に押し付けられる。遮蔽板20は、たとえば鉛の板であって、放射線入射窓19および放射線検出パネル21を透過した放射線を遮蔽して、回路基板群への放射線の入射を抑制する。   The radiation detection panel 21 is disposed in contact with one surface of the shielding plate 20. The radiation detection panel 21 is pressed against the shielding plate 20 by an elastic member (not shown) disposed between, for example, the inner surface of the housing 22. The shielding plate 20 is, for example, a lead plate, shields the radiation transmitted through the radiation incident window 19 and the radiation detection panel 21, and suppresses the incidence of radiation to the circuit board group.

支持板81は、遮蔽板20を介して放射線検出パネル21を支持する第1面84と、その反対側の第2面85を持つ板状に形成されている。支持板81は、図示しない固定部材で筐体22に固定されている。支持板81は、遮蔽板20の放射線検出パネル21と接する面とは反対側の面に接して、遮蔽板20および放射線検出パネル21を支持している。なお、本実施形態では、支持板81と放射線検出パネル21との間に遮蔽板20を設けているが、支持板81で放射線検出パネル21を直接支持してもよい。   The support plate 81 is formed in a plate shape having a first surface 84 that supports the radiation detection panel 21 via the shielding plate 20 and a second surface 85 on the opposite side. The support plate 81 is fixed to the housing 22 by a fixing member (not shown). The support plate 81 is in contact with the surface of the shielding plate 20 opposite to the surface in contact with the radiation detection panel 21 and supports the shielding plate 20 and the radiation detection panel 21. In the present embodiment, the shielding plate 20 is provided between the support plate 81 and the radiation detection panel 21, but the radiation detection panel 21 may be directly supported by the support plate 81.

回路基板は、支持板81にスペーサ25を介して固定されている。断熱性の支持部材94を用いて回路基板を支持板81に固定してもよい。   The circuit board is fixed to the support plate 81 via the spacer 25. The circuit board may be fixed to the support plate 81 using a heat insulating support member 94.

フレキシブル基板18は、放射線検出パネル21の端子群61(図4参照)とアナログ回路基板91との間を電気的に接続している。フレキシブル基板18と端子群61(図4参照)との間は、たとえば異方導電性接着剤によって接着されて、電気的に接続されている。複数の回路基板の間、あるいは、放射線検出パネル21と他の図示しない制御基板との間も、フレキシブル基板18で電気的に接続してもよい。   The flexible substrate 18 electrically connects the terminal group 61 (see FIG. 4) of the radiation detection panel 21 and the analog circuit substrate 91. The flexible substrate 18 and the terminal group 61 (see FIG. 4) are electrically connected, for example, by bonding with an anisotropic conductive adhesive. The flexible substrate 18 may also be electrically connected between a plurality of circuit boards or between the radiation detection panel 21 and another control board (not shown).

図6は、本実施形態による支持板の斜視図である。図7は、本実施形態による支持板の断面図である。   FIG. 6 is a perspective view of the support plate according to the present embodiment. FIG. 7 is a cross-sectional view of the support plate according to the present embodiment.

支持板81の両面には、それぞれ表板86が配置されている。支持板81の第1面84(図5参照)および第2面85(図5参照)のそれぞれに設けられた表板86の間の空間は、第1面84(図5参照)から第2面85(図5参照)に向かって延びる複数の柱状空間88で充填されている。これらの柱状空間88は、セル壁87で仕切られている。   A front plate 86 is disposed on each side of the support plate 81. The space between the front plate 86 provided on each of the first surface 84 (see FIG. 5) and the second surface 85 (see FIG. 5) of the support plate 81 is from the first surface 84 (see FIG. 5) to the second. Filled with a plurality of columnar spaces 88 extending toward the surface 85 (see FIG. 5). These columnar spaces 88 are partitioned by cell walls 87.

2枚の表板86およびセル壁87は、いずれもCFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastics:炭素繊維強化プラスチック)製である。表板86およびセル壁87を、GFRP(Glass Fiber Reinforced Plastics:ガラス繊維強化プラスチック)で形成してもよい。   Both the two front plates 86 and the cell walls 87 are made of CFRP (Carbon Fiber Reinforced Plastics). The front plate 86 and the cell wall 87 may be formed of GFRP (Glass Fiber Reinforced Plastics).

セル壁87が仕切る柱状空間88は、いずれも正六角柱である。つまり、支持板81の内部は、正六角柱の柱状空間88を隙間なく配列したハニカム構造となっている。2枚の表板86は、CFRPよりも熱伝導率が小さい断熱材で形成されていてもよい。表板86とセル壁87とは、たとえば接着剤や両面テープで接着固定されている。   Each of the columnar spaces 88 partitioned by the cell walls 87 is a regular hexagonal column. That is, the inside of the support plate 81 has a honeycomb structure in which regular hexagonal columnar spaces 88 are arranged without gaps. The two front plates 86 may be formed of a heat insulating material having a thermal conductivity smaller than that of CFRP. The front plate 86 and the cell wall 87 are bonded and fixed with, for example, an adhesive or a double-sided tape.

支持板81の放射線検出パネル21に対向する面、すなわち、遮蔽板20に接する面に導電性を持たせてもよい。これにより、放射線検出パネル21で発生した静電気を除去することができる。   The surface of the support plate 81 facing the radiation detection panel 21, that is, the surface in contact with the shielding plate 20 may be made conductive. Thereby, static electricity generated in the radiation detection panel 21 can be removed.

次に、図1ないし図7を用いて、この放射線検出装置30の動作を説明する。   Next, the operation of the radiation detection apparatus 30 will be described with reference to FIGS.

初期状態では、フォトダイオード39と並列に接続されたコンデンサー15には、電荷が蓄えられており、並列接続されているフォトダイオード39には逆バイアス状態の電圧が加えられている。この電圧は、信号線17に加えられている電圧と同じである。フォトダイオード39はダイオードの一種なので、逆バイアスの電圧が加えられても電流はほとんど流れることは無い。そのためコンデンサー15に蓄えられた電荷は減少することなく保持されることになる。   In the initial state, a charge is stored in the capacitor 15 connected in parallel with the photodiode 39, and a reverse bias voltage is applied to the photodiode 39 connected in parallel. This voltage is the same as the voltage applied to the signal line 17. Since the photodiode 39 is a kind of diode, even if a reverse bias voltage is applied, almost no current flows. Therefore, the electric charge stored in the capacitor 15 is held without decreasing.

このような状況において、X線37が蛍光変換膜38に入射すると、蛍光変換膜38内部において高エネルギーのX線が低エネルギーの多数の可視光に変換される。蛍光変換膜38内部にて発生した蛍光の一部は、画像検出部12表面に配置されているフォトダイオード39へと到達する。   In such a situation, when X-rays 37 are incident on the fluorescence conversion film 38, high-energy X-rays are converted into a large amount of low-energy visible light inside the fluorescence conversion film 38. Part of the fluorescence generated inside the fluorescence conversion film 38 reaches the photodiode 39 disposed on the surface of the image detection unit 12.

フォトダイオード39に入射した蛍光は、フォトダイオード39内部で電子とホールからなる電荷に変換され、コンデンサー15にて印加されている電界方向に沿ってフォトダイオード39の持つ両端子へと到達する。この電荷の移動は、フォトダイオード39内部を流れる電流として観測される。   Fluorescence incident on the photodiode 39 is converted into charges composed of electrons and holes inside the photodiode 39, and reaches both terminals of the photodiode 39 along the direction of the electric field applied by the capacitor 15. This charge movement is observed as a current flowing through the photodiode 39.

蛍光の入射により発生したフォトダイオード39内部を流れる電流は、並列接続されているコンデンサー15へと流れ込む。これに伴い、コンデンサー15内部に蓄えられていた電荷が打ち消される。その結果、コンデンサー15に蓄えられていた電荷は減少し、コンデンサー15の端子間に発生していた電位差も初期状態と比べて低下する。   The current flowing inside the photodiode 39 generated by the incidence of fluorescence flows into the capacitor 15 connected in parallel. Along with this, the electric charge stored in the capacitor 15 is canceled. As a result, the charge stored in the capacitor 15 decreases, and the potential difference generated between the terminals of the capacitor 15 also decreases compared to the initial state.

ゲートドライバー32は、多数のゲート線13の電位を順番に変化させる機能を有している。ある特定の時間においては、ゲートドライバー32によって電位が変化しているゲート線13は1本のみである。電位の変化したゲート線13に接続されている信号線17に並列接続されている薄膜トランジスタ14のソース端子およびドレイン端子間は、絶縁状態から導通状態へと変化する。各信号線17には、特定の電圧がかけられている。信号線に印加された電圧は、電位の変化したゲート線13に接続された薄膜トランジスタ14のソースおよびドレイン端子を通じて接続されているコンデンサー15に印加されることになる。   The gate driver 32 has a function of changing the potentials of a large number of gate lines 13 in order. At a specific time, only one gate line 13 is changed in potential by the gate driver 32. Between the source terminal and the drain terminal of the thin film transistor 14 connected in parallel to the signal line 17 connected to the gate line 13 whose potential has changed, the state changes from an insulated state to a conductive state. A specific voltage is applied to each signal line 17. The voltage applied to the signal line is applied to the capacitor 15 connected through the source and drain terminals of the thin film transistor 14 connected to the gate line 13 whose potential has changed.

初期状態においてコンデンサー15は信号線17と同じ電位状態になっているため、コンデンサー15の電荷量が初期状態と変化していない場合、コンデンサー15には信号線17からの電荷の移動は発生しない。しかし、外部から入射したX線37によって蛍光変換膜38内部にて発生した蛍光が入射したフォトダイオード39と並列接続しているコンデンサー15では、内部に蓄えられている電荷が減少しており、初期状態の電位とは変化している。このため、導通状態となった薄膜トランジスタ14を通じて信号線17より電荷の移動が発生し、コンデンサー15内部に蓄えられた電荷量は初期状態に戻る。また、移動した電荷量は信号線17を流れる信号となり外部へと伝わる。   Since the capacitor 15 is in the same potential state as that of the signal line 17 in the initial state, when the charge amount of the capacitor 15 is not changed from the initial state, no charge transfer from the signal line 17 occurs in the capacitor 15. However, in the capacitor 15 connected in parallel with the photodiode 39 into which the fluorescence generated inside the fluorescence conversion film 38 by the X-ray 37 incident from the outside is incident, the charge stored inside is reduced, and the initial value is reduced. The potential of the state has changed. For this reason, the movement of the charge is generated from the signal line 17 through the thin film transistor 14 in the conductive state, and the amount of charge stored in the capacitor 15 returns to the initial state. Further, the amount of the electric charge that has moved becomes a signal flowing through the signal line 17 and is transmitted to the outside.

信号線17を流れる電流は、対応する積分アンプ33へと入力される。積分アンプ33では一定時間内に流れる電流を積分し、その積分値に対応した電圧を外部へと出力する。この動作をおこなうことで、ある一定時間内に信号線17を流れる電荷量を電圧値に変換することができる。この結果、X線37によって蛍光変換膜38内部に発生した蛍光の強弱分布に対応したフォトダイオード39内部に発生する電荷信号は、積分アンプ33によって電位情報へと変換される。   The current flowing through the signal line 17 is input to the corresponding integrating amplifier 33. The integrating amplifier 33 integrates the current that flows within a predetermined time, and outputs a voltage corresponding to the integrated value to the outside. By performing this operation, the amount of charge flowing through the signal line 17 within a certain time can be converted into a voltage value. As a result, the charge signal generated in the photodiode 39 corresponding to the fluorescence intensity distribution generated in the fluorescence conversion film 38 by the X-ray 37 is converted into potential information by the integrating amplifier 33.

積分アンプ33に発生した電位は、A/D変換器34によって順次デジタル信号へと変換される。デジタル値となった信号は、画像合成回路36内部で画像検出部12内部に配置された画素の行と列にしたがって順次整理され、画像信号として外部へと出力される。   The potential generated in the integrating amplifier 33 is sequentially converted into a digital signal by the A / D converter 34. The signals that have become digital values are sequentially arranged in accordance with the rows and columns of pixels arranged inside the image detection unit 12 inside the image composition circuit 36, and are output to the outside as image signals.

これらの動作を連続して行うことにより、外部から入射したX線画像情報は電気信号による画像情報へと変換され、外部へと出力される。外部へと出力された電気信号による画像情報は、たとえば一般的なディスプレー装置によって画像化され、その画像によりX線画像を可視光による画像として観察することができる。   By continuously performing these operations, the X-ray image information incident from the outside is converted into image information by an electric signal and output to the outside. The image information by the electric signal output to the outside is imaged by, for example, a general display device, and the X-ray image can be observed as an image by visible light by the image.

そして、放射線検出装置30が作動すると、放射線検出パネル21の裏面側に配置される各回路基板から熱が発生する。各回路基板から発生した熱は、一部が筐体22内部の空気中へ熱伝達される。回路基板で発生した熱のほとんどは、熱伝導により、より温度の低い部分へと移動し、熱抵抗により温度差を作りながら筐体22内部に温度分布を生成する。各回路基板から発生し筐体22へ伝わった熱は、筐体22の外側表面より外気へと放熱される。   When the radiation detection device 30 is activated, heat is generated from each circuit board disposed on the back side of the radiation detection panel 21. Part of the heat generated from each circuit board is transferred to the air inside the housing 22. Most of the heat generated in the circuit board moves to a lower temperature portion due to heat conduction, and generates a temperature distribution inside the housing 22 while creating a temperature difference due to thermal resistance. Heat generated from each circuit board and transmitted to the housing 22 is radiated from the outer surface of the housing 22 to the outside air.

各回路基板から発生した熱は、直接、もしくは空気層を介して支持板81に流れ込む。支持板81に流れ込んだ熱は、遮蔽板20を介して、より低温の放射線検出パネル21へと流れ込む。しかし、本実施形態では、支持板81はCFRP部材であるため、金属などのCFRPよりも熱伝導率が高い材料で製造された支持板を用いた場合に比べて、放射線検出パネル21への伝熱を低減することができる。また、CFRPは、熱伝導率に異方性をもつため、回路基板群から放射線検出パネル21への伝熱を小さくすることができる。さらに、支持板81は、内部がハニカム構造であり、中実な構造に比べて実質的な熱の伝導経路が狭い。このため、放射線検出パネル21への伝熱を極めて小さくすることができる。   The heat generated from each circuit board flows into the support plate 81 directly or through an air layer. The heat flowing into the support plate 81 flows into the lower temperature radiation detection panel 21 through the shielding plate 20. However, in the present embodiment, since the support plate 81 is a CFRP member, it is transmitted to the radiation detection panel 21 as compared with the case where a support plate made of a material having higher thermal conductivity than CFRP such as metal is used. Heat can be reduced. Moreover, since CFRP has anisotropy in thermal conductivity, heat transfer from the circuit board group to the radiation detection panel 21 can be reduced. Further, the support plate 81 has a honeycomb structure inside, and has a substantially narrow heat conduction path compared to a solid structure. For this reason, the heat transfer to the radiation detection panel 21 can be made extremely small.

さらに、放射線検出パネル21と遮蔽板20の間に断熱材(図示せず)を配置すると、回路基板群と放射線検出パネル21との間の熱抵抗がさらに大きくなる。その結果、放射線検出パネル21が回路基板群から熱的に隔離され、回路基板群の電源回路などで発生した熱の放射線検出パネル21への到達する割合が小さくなる。   Furthermore, when a heat insulating material (not shown) is disposed between the radiation detection panel 21 and the shielding plate 20, the thermal resistance between the circuit board group and the radiation detection panel 21 is further increased. As a result, the radiation detection panel 21 is thermally isolated from the circuit board group, and the rate at which the heat generated in the power supply circuit of the circuit board group reaches the radiation detection panel 21 is reduced.

また、CFRP製の支持板81のそれぞれの熱容量は比較的大きいため、これらに伝達された熱は、それぞれの各部に分散平坦化され、温度の経事変化を緩やかにする。そのため、冷却装置を用いることなく、回路基板群で発生した熱で放射線検出パネル21の動作温度が高くなる可能性を低減できる。また、急峻な温度変化を抑制することにより、X線画像の画像むらの発生を抑制できる。   Further, since the heat capacities of the CFRP support plates 81 are relatively large, the heat transferred to these is distributed and flattened in the respective parts, so that the temperature changes gradually. Therefore, it is possible to reduce the possibility that the operating temperature of the radiation detection panel 21 is increased by the heat generated in the circuit board group without using a cooling device. Further, by suppressing a sharp temperature change, it is possible to suppress the occurrence of image unevenness in the X-ray image.

CFRPは、金属などに比べて、強度を維持したまま、軽量化できる。また、ハニカム構造とすることにより、強度を維持したまま、使用材料を低減し、軽量化できる。その結果、支持板81が軽量化され、放射線検出装置30全体としても、軽量化される。   CFRP can be reduced in weight while maintaining strength as compared to metal or the like. Moreover, by using a honeycomb structure, the material used can be reduced and the weight can be reduced while maintaining the strength. As a result, the support plate 81 is reduced in weight, and the radiation detection apparatus 30 as a whole is also reduced in weight.

このように、本実施形態によれば、放射線検出装置30の各部の強度を維持し、かつ、放射線検出装置30全体を軽量化しつつ、放射線検出パネル21への回路基板からの熱的影響を抑制することができる。   Thus, according to the present embodiment, the thermal influence from the circuit board to the radiation detection panel 21 is suppressed while maintaining the strength of each part of the radiation detection device 30 and reducing the weight of the radiation detection device 30 as a whole. can do.

[第2実施形態]
図8は、第2実施形態による放射線検出装置の筐体の平断面図である。図9は、本実施形態による放射線検出装置の側断面図である。
[Second Embodiment]
FIG. 8 is a plan sectional view of the housing of the radiation detection apparatus according to the second embodiment. FIG. 9 is a side sectional view of the radiation detection apparatus according to the present embodiment.

本実施形態において、筐体40は、内部がハニカム構造の直方体の内部をくりぬいて、放射線検出パネル21、回路基板およびフレキシブル基板18などを収容する収容空間41を形成したものである。筐体40は、CFRPで形成されている。   In the present embodiment, the housing 40 is formed by hollowing out the inside of a rectangular parallelepiped having a honeycomb structure to form an accommodation space 41 for accommodating the radiation detection panel 21, the circuit board, the flexible board 18, and the like. The housing 40 is formed of CFRP.

収容空間41は、放射線検出パネル21、アナログ回路基板91、デジタル回路基板92、フレキシブル基板18などの収容される部品のそれぞれの大きさに対応してくり抜かれている。本実施形態において、収容空間41は、それぞれの部品を収容する空間を一体として形成したものであるが、それぞれの部品を収容する空間を離間して形成してもよい。   The accommodation space 41 is cut out so as to correspond to the size of each component accommodated, such as the radiation detection panel 21, the analog circuit board 91, the digital circuit board 92, and the flexible board 18. In the present embodiment, the storage space 41 is formed integrally with a space for storing each component. However, the space for storing each component may be formed separately.

より具体的には、筐体40は、平行に設けられた2つの表板42を有している。一方の表板42には、開口が形成され、その開口を覆うように放射線入射窓19が取り付けられている。   More specifically, the housing 40 has two front plates 42 provided in parallel. An opening is formed in one of the front plates 42, and a radiation incident window 19 is attached so as to cover the opening.

2つの表板42の間の空間の外周部は、セル壁44によって正六角柱の柱状空間45に仕切られている。柱状空間45で充填された外周部の内側には、収容空間41が形成されている。収容空間41の放射線入射窓19に対して反対側には、リブ89が設けられている。このリブ89は、放射線入射窓19が形成されたものとは反対側の表板42から筐体40の内部に向かって突出している。リブ89は、表板42の内面を柱状空間45の断面と同じ正六角形に区切るように設けられている。   The outer periphery of the space between the two front plates 42 is partitioned by a cell wall 44 into a regular hexagonal columnar space 45. An accommodation space 41 is formed inside the outer peripheral portion filled with the columnar space 45. A rib 89 is provided on the opposite side of the accommodation space 41 with respect to the radiation incident window 19. The rib 89 protrudes toward the inside of the housing 40 from the surface plate 42 on the side opposite to the side where the radiation incident window 19 is formed. The ribs 89 are provided so as to divide the inner surface of the front plate 42 into the same regular hexagon as the cross section of the columnar space 45.

また、筐体40の外周近傍には、一対の把持部43が設けられている。これらの把持部43は、放射線検出装置30の利用者がその装置を掴んで保持するために設けられている。   Further, a pair of grip portions 43 are provided in the vicinity of the outer periphery of the housing 40. These grip portions 43 are provided for the user of the radiation detection apparatus 30 to grip and hold the apparatus.

本実施形態では、筐体40はCFRP製であり、その一部がハニカム構造である。このため、同様の強度を持つ筐体40を金属製の箱体で形成する場合に比べて、軽量にすることができる。   In the present embodiment, the housing 40 is made of CFRP, and a part thereof has a honeycomb structure. For this reason, compared with the case where the housing | casing 40 with the same intensity | strength is formed with a metal box, it can be made lightweight.

また、発熱部であるアナログ回路基板91およびデジタル回路基板92と利用者の手が触れる把持部43との間に、柱状空間43が存在することになる。さらに、把持部43の周辺は、熱伝導率が金属などに比べて小さいCFRP製である。このため、アナログ回路基板91およびデジタル回路基板92で発生した熱が把持部43へ伝導しにくい。したがって、把持部43の温度が過度に上昇する可能性が低減し、利用者のやけどや低温やけどとなる可能性が小さくなる。   Further, the columnar space 43 exists between the analog circuit board 91 and the digital circuit board 92 which are heat generating parts and the grip part 43 which is touched by the user's hand. Furthermore, the periphery of the grip part 43 is made of CFRP, which has a smaller thermal conductivity than metal or the like. For this reason, heat generated in the analog circuit board 91 and the digital circuit board 92 is not easily conducted to the grip portion 43. Therefore, the possibility that the temperature of the gripping portion 43 rises excessively is reduced, and the possibility of a user burn or a low temperature burn is reduced.

[他の実施の形態]
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
[Other embodiments]
Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.

11…ガラス基板、12…画像検出部、13…ゲート線、14…薄膜トランジスタ、15…コンデンサー、17…信号線、18…フレキシブル基板、19…放射線入射窓、20…遮蔽板、21…放射線検出パネル、22…筐体、25…スペーサ、30…放射線検出装置、32…ゲートドライバー、33…積分アンプ、34…A/D変換器、35…行選択回路、36…画像合成回路、37…X線、38…蛍光変換膜、39…フォトダイオード、40…筐体、41…収容空間、42…表板、43…把持部、44…セル壁、45…柱状空間、61…端子群、65…防湿体、70…画素、81…支持板、86…表板、87…セル壁、88…柱状空間、89…リブ、91…アナログ回路基板、92…デジタル回路基板、94…支持部材

DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Glass substrate, 12 ... Image detection part, 13 ... Gate line, 14 ... Thin-film transistor, 15 ... Condenser, 17 ... Signal line, 18 ... Flexible substrate, 19 ... Radiation entrance window, 20 ... Shielding plate, 21 ... Radiation detection panel , 22 ... casing, 25 ... spacer, 30 ... radiation detector, 32 ... gate driver, 33 ... integration amplifier, 34 ... A / D converter, 35 ... row selection circuit, 36 ... image composition circuit, 37 ... X-ray 38 ... Fluorescent conversion film, 39 ... Photodiode, 40 ... Housing, 41 ... Accommodating space, 42 ... Front plate, 43 ... Grip portion, 44 ... Cell wall, 45 ... Columnar space, 61 ... Terminal group, 65 ... Moisture proof Body, 70 ... Pixel, 81 ... Support plate, 86 ... Front plate, 87 ... Cell wall, 88 ... Columnar space, 89 ... Rib, 91 ... Analog circuit board, 92 ... Digital circuit board, 94 ... Support member

Claims (8)

表面から入射した放射線を検出して2次元の放射線強度分布を電気信号として出力する平板状の放射線検出パネルと、
前記放射線検出パネルの背面側に設けられ前記放射線検出パネルを駆動する回路基板と、
前記放射線検出パネルに対向して前記放射線検出パネルを支持する第1面と前記回路基板に対向して前記回路基板を支持する第2面を持つ板状に形成され前記第1面から前記第2面に向かって延びる筒状のセル壁が前記第1面と前記第2面との間に隙間なく配列された支持板と、
を具備することを特徴とする放射線検出装置。
A flat radiation detection panel that detects radiation incident from the surface and outputs a two-dimensional radiation intensity distribution as an electrical signal;
A circuit board provided on the back side of the radiation detection panel and driving the radiation detection panel;
The plate is formed in a plate shape having a first surface that faces the radiation detection panel and supports the radiation detection panel, and a second surface that faces the circuit board and supports the circuit board. A support plate in which cylindrical cell walls extending toward the surface are arranged without gaps between the first surface and the second surface;
A radiation detection apparatus comprising:
前記支持部材は炭素繊維強化プラスチックおよびガラス繊維強化プラスチックのいずれかで形成されていることを特徴とする請求項1に記載の放射線検出装置。   The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein the support member is formed of one of carbon fiber reinforced plastic and glass fiber reinforced plastic. 前記支持部材は前記回路基板に対向する表板を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の放射線検出装置。   The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein the support member includes a front plate facing the circuit board. 前記表板は熱伝導率がセル壁よりも小さいことを特徴とする請求項3に記載の放射線検出装置。   The radiation detection apparatus according to claim 3, wherein the front plate has a thermal conductivity smaller than that of the cell wall. 前記支持部材の前記放射線検出パネルに対向する面は導電性を持つことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の放射線検出装置。   The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein a surface of the support member facing the radiation detection panel has conductivity. ハニカム構造の周辺部を有しその周辺部の内側に前記放射線検出パネルと前記支持板と前記回路基板とを収容する収容空間が形成された筐体をさらに有することを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の放射線検出器。   2. A housing having a peripheral portion of a honeycomb structure, and a housing space in which the radiation detection panel, the support plate, and the circuit board are accommodated is formed inside the peripheral portion. The radiation detector according to claim 5. 前記周辺部に把持部が設けられた請求項6に記載の放射線検出器。   The radiation detector according to claim 6, wherein a grip portion is provided at the peripheral portion. 表面から入射した放射線を検出して2次元の放射線強度分布を電気信号として出力する平板状の放射線検出パネルと、
前記放射線検出パネルの背面側に設けられ前記放射線検出パネルを駆動する回路基板と、
前記放射線検出パネルを支持する第1面とその第1面の反対側の第2面を持つ板状に形成された支持板と、
前記放射線検出パネルに対向して前記放射線検出パネルを支持する第1面と前記回路基板に対向して前記回路基板を支持する第2面を持つ板状に形成された支持板と、
ハニカム構造の周辺部を有しその周辺部の内側に前記放射線検出パネルと前記支持板と前記回路基板とを収容する収容空間が形成された筐体と、
を具備することを特徴とする放射線検出装置。

A flat radiation detection panel that detects radiation incident from the surface and outputs a two-dimensional radiation intensity distribution as an electrical signal;
A circuit board provided on the back side of the radiation detection panel and driving the radiation detection panel;
A support plate formed in a plate shape having a first surface that supports the radiation detection panel and a second surface opposite to the first surface;
A support plate formed in a plate shape having a first surface that faces the radiation detection panel and supports the radiation detection panel, and a second surface that faces the circuit board and supports the circuit board;
A housing having a peripheral portion of the honeycomb structure, and a housing space in which the radiation detection panel, the support plate, and the circuit board are accommodated inside the peripheral portion;
A radiation detection apparatus comprising:

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