JP2013195041A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

【課題】使用状況に応じて気体循環装置の負荷を自動調節できるクリーンルームを提供すること。
【解決手段】人の有無を感知するセンサー１、クリーンルーム１０内に固定されている樹脂からなる気嚢２、気嚢２に対する給排気を行うエアポンプ３、気体循環装置４、及びセンサー１の感知結果に応じて気嚢２の体積が変化するようにエアポンプ３を制御し、且つ循環する気体の単位時間当りの循環量が変化するように気体循環装置４を制御する制御部５を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、使用状況に応じて、気体循環を行う余剰スペースの体積及び気体循環量の自動調節が可能なクリーンルームに関するものである。

近年、地球環境問題に対応するという観点及び電力供給の不安定時に備えるという観点から、電気機器の省エネルギー化が図られている。例えば、特許文献１には、隔壁の位置を変更することにより室内容積を変更することが可能であり、室内容積に応じて加温手段の加温能力を変更する手段を設けた保温装置が記載されている。

特開２００３−２４０４０３号公報（公開日２００３年８月２７日）

半導体集積回路、医薬品、又は医療機器の製造等において使用されるクリーンルームは、内部の空気清浄度を確保するために、クリーンルーム内で人が作業を行わない時にも、常時空気循環装置によって空気を循環させる必要があり、電力消費量が多い。しかし、クリーンルーム内で人が作業を行わない時に空気循環装置の負荷を手動で低減しようとしても、操作を忘れるという人為的ミスが発生することもあり、十分に電力消費量を低減することができないことがある。また、上記特許文献１に記載された方法のように、隔壁の位置を変更する方法は、クリーンルーム内の清浄度を低下させる虞があり採用が困難である。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、使用状況に応じて、気体循環を行う余剰スペースの体積及び気体の単位時間当りの循環量を自動的に調節することにより、省エネルギー化が可能なクリーンルームを提供することにある。

上記の課題を解決するために、本発明に係るクリーンルームは、（１）クリーンルーム内の人の有無を感知するセンサー、（２）クリーンルーム内に固定されている、樹脂からなる気嚢、（３）気嚢に接続されており、当該気嚢へ気体を供給し、当該気嚢から気体を排出するエアポンプ、（４）クリーンルーム内の気体を吸気し、当該気体をクリーンルーム内に戻して、当該気体を循環させる気体循環装置、並びに（５）上記センサーによる人の有無の感知結果に応じて、上記気嚢の体積が変化するように上記エアポンプを制御し、且つ上記気体循環装置によって循環する気体の単位時間当りの循環量が変化するように上記気体循環装置を制御する制御部を備える。

上記の構成によれば、センサーが、クリーンルーム内の人の有無を感知し、当該感知の結果に応じて、制御部が、エアポンプ及び気体循環装置を自動的に制御する。すなわち、エアポンプを制御して気嚢の体積が変化すると、クリーンルーム内の余剰スペースの体積、すなわち気体循環を行うべき体積が変化するので、この変化に合わせて気体循環装置によって循環する気体の単位時間当りの循環量が変化するように気体循環装置を制御する。すなわち、クリーンルームの使用状況に応じて、気体循環を行う余剰スペースの体積及び気体循環装置によって循環する気体の単位時間当りの循環量が自動的に調節され、気体循環装置の負荷が自動的に調節されるという効果を奏する。

本発明に係るクリーンルームにおいて、クリーンルーム内が無人になったことを上記センサーが感知した時に、上記制御部が、上記気嚢内へ気体を供給するように上記エアポンプを制御し、且つ上記気体の単位時間当りの循環量が減少するように上記気体循環装置を制御することが好ましい。

上記の構成によれば、センサーが、クリーンルーム内が無人になったことを感知した時に、エアポンプを制御して気嚢の体積が増加し、クリーンルーム内の余剰スペースの体積が減少するので、この減少に合わせて気体循環装置によって循環する気体の単位時間当りの循環量が減少するように気体循環装置を制御する。すなわち、クリーンルーム内が無人で、作業スペースの確保が不要な場合に、気体循環装置の負荷が自動的に低減されるという効果を奏する。

本発明に係るクリーンルームにおいて、クリーンルーム内が無人になっていることを上記センサーが一定時間以上にわたり感知した時に、上記制御部が、上記気嚢内へ気体を供給するように上記エアポンプを制御し、且つ上記気体の単位時間当りの循環量が減少するように上記気体循環装置を制御することがより好ましい。

上記の構成によれば、センサーが、クリーンルーム内が無人になっていることを一定時間以上にわたり感知した場合のみ、制御部が、エアポンプ及び気体循環装置を自動的に制御する。すなわち、一時的な無人状態であって、気体循環装置の負荷の低減が不要な場合等の制御を省略することができるという効果を奏する。

本発明に係るクリーンルームにおいて、クリーンルーム内が有人になったことを上記センサーが感知した時に、上記制御部が、上記気嚢内から気体を排出するように上記エアポンプを制御し、且つ上記気体の単位時間当りの循環量が増加するように上記気体循環装置を制御することが好ましい。

上記の構成によれば、センサーが、クリーンルーム内が有人になったことを感知した時に、エアポンプを制御して気嚢の体積が減少し、クリーンルーム内の余剰スペースの体積が増加するので、この増加に合わせて気体循環装置によって循環する気体の単位時間当りの循環量が増加するように気体循環装置を制御する。すなわち、クリーンルーム内に人がおり、作業スペースの確保を要する場合に、当該作業スペースの確保に応じて気体循環装置の負荷が自動的に調節されるという効果を奏する。

本発明に係るクリーンルームは、上記エアポンプに接続され、上記気嚢へ供給される気体及び上記気嚢から排出される気体を収容したタンクを備えていてもよい。

上記の構成によれば、気嚢へ供給される気体及び気嚢から排出される気体は閉鎖系（タンク、エアポンプ、及び気嚢）に閉じ込められるため、汚染の虞が少ない。そのため、気嚢から気体が漏れ出した場合でも、クリーンルーム内に塵埃等が入ることを防ぐことができるという効果を奏する。

本発明によれば、人の有無に応じて、気体循環の対象となるクリーンルーム内の余剰スペースの体積を変化させるとともに気体の単位時間当りの循環量を制御することで、使用状況に応じて、気体循環装置の負荷を自動的に調節することにより、省エネルギー化が可能なクリーンルームを提供することができる。

本発明の一実施形態に係るクリーンルームの概略構成を示す図である。 本発明の他の実施形態に係るクリーンルームの概略構成を示す図である。

（本発明に係るクリーンルームの概要）
本発明に係るクリーンルームは、（１）クリーンルーム内の人の有無を感知するセンサー、（２）クリーンルーム内に固定されている、樹脂からなる気嚢、（３）気嚢に接続されており、当該気嚢へ気体を供給し、当該気嚢から気体を排出するエアポンプ、（４）クリーンルーム内の気体を吸気し、当該気体をクリーンルーム内に戻して、当該気体を循環させる気体循環装置、並びに（５）上記センサーによる人の有無の感知結果に応じて、上記気嚢の体積が変化するように上記エアポンプを制御し、且つ上記気体循環装置によって循環する気体の単位時間当りの循環量が変化するように上記気体循環装置を制御する制御部を備えるクリーンルームである。

本発明のクリーンルームでは、クリーンルーム内の人の有無をセンサーが感知する。センサーによる人の有無の感知結果に応じて、クリーンルーム内の気嚢の体積が変化することで、クリーンルーム内の余剰スペースの体積が変化する。また、センサーによる上記人の有無の感知結果に応じて、気体循環装置によって循環する気体の単位時間当りの循環量が変化する。したがって、余剰スペースの体積の変化と気体循環装置によって循環する気体の単位時間当りの循環量の変化とが連動することとなる。その結果、クリーンルームの使用状況に応じて、クリーンルーム内の清浄度を維持しながら、気体循環装置の負荷を調節することができる。

以下、実施形態１及び２により、本発明に係るクリーンルームについてより具体的に説明を行う。

〔実施形態１〕
以下、本実施形態に係るクリーンルームについて、図１を用いて説明する。

（クリーンルーム）
図１は、本実施形態に係るクリーンルームの概略構成の一例を示す図である。（ａ）はクリーンルーム内が無人である場合の概略構成を示している。（ｂ）はクリーンルーム内が有人である場合の概略構成を示している。図１に示すように、クリーンルーム１０は、センサー１、気嚢２、エアポンプ３、気体循環装置４、及び制御部５を備えている。

クリーンルーム１０の幅、奥行、高さ、全体の容積及び形状は、使用の態様に応じて決めればよく、生産工場全体がクリーンルーム１０であってもよい。

また、クリーンルーム１０の用途としては、医療器具製造用途、及び食品製造用途等が挙げられる。クリーンルーム１０内には、照明、作業台、製造中の製品又は製造装置等が設置されていてもよい。また、クリーンルーム１０は、上記の構成の他に、温度制御装置又は湿度制御装置等をさらに備えていてもよい。

（センサー）
センサー１は、クリーンルーム１０内の人の有無を感知する。そして、センサー１は、人の有無の感知結果を、有線又は無線によって制御部５に送信する。

センサー１として、人感センサーを用いることができる。例えば、赤外線センサー、超音波センサー、及び可視光によって感知するセンサー等が挙げられる。センサー１の個数は、クリーンルーム１０の大きさ等に応じて適宜決めればよい。また、クリーンルーム１０内であれば、センサー１の配置も適宜決めればよく、例えば、クリーンルーム１０の天井、側面の壁又は床の何れに配置してもよい。

なお、クリーンルーム１０内における一部範囲（例えば、人が頻繁に移動をすると想定される範囲）のみを感知範囲とするように、センサー１を配置してもよい。例えば、作業台（図示せず）の後ろの壁にセンサー１を配置し、当該作業台と壁との間における人の有無を、センサー１が感知する構成が挙げられる。あるいは、クリーンルーム１０内の全範囲にわたって人の有無を感知できるように、センサー１を配置する。例えば、クリーンルーム１０の天井に複数個のセンサー１を配置することが挙げられる。

（気嚢）
気嚢２は、クリーンルーム１０内に固定されていて、且つ樹脂からなる。気嚢２はエアポンプ３が接続されており、気体２１が供給されると膨らみ、排出されると縮む。気嚢２は、エアポンプ３との接続口（図示せず）を除いて、閉じられた袋状の構造体である。

気嚢２は樹脂からなるため、塵埃が発生しにくく、クリーンルーム１０内の清浄度を低下させる虞が少ない。樹脂の種類は、気体２１の供給及び排出によって体積変化がしやすいように、柔軟性を有するものが好ましい。そのような樹脂としては、ポリオレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂が好ましい。ポリオレフィン樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン等が挙げられる。ポリエステル樹脂としては、ポリエチレンテレフタラート、ポリエチレンナフタレート、ポリ乳酸等が挙げられる。ポリアミド樹脂としては、６，６−ナイロン、６−ナイロン等が挙げられる。また、気嚢２の内面及び外面の少なくとも一方にはガスバリア性を高めるために、アルミニウム、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）又は二酸化ケイ素等のガスバリア性の材料からなる膜が蒸着等により形成されていることが好ましい。

気嚢２の大きさは、クリーンルーム１０の大きさ等によって適宜決めればよい。気嚢２の厚さは、強度及びガスバリア性の観点からは厚い方が好ましい。例えば、１０μｍ以上が好ましく、２０μｍ以上がより好ましい。また、気嚢２の軽量化の観点では、気嚢２の厚さは、５００μｍ以下が好ましく、２００μｍ以下がより好ましい。気嚢２の形状は、気嚢２の体積変化をしやすいように、蛇腹になっていることが好ましい。

気嚢２の配置は、気体２１が供給されるとクリーンルーム１０内に向かって膨らむ限り、クリーンルーム１０内の天井、側面、又は床等何れでもよい。人の邪魔にならないよう、気嚢２を天井に配置することが好ましい。また、気嚢２は、気体２１が供給されていない状態では天井の一部を形成する形態、気体２１が供給されると天井の一部が開いて気嚢２がクリーンルーム１０内に膨らむ形態、及び、気体２１が供給されると床板の一部と共にクリーンルーム１０内にせり上がって膨らむ形態等でもよい。

気嚢２はクリーンルーム１０内に予め固定されているため、クリーンルーム１０外から持ち込む場合と異なって、塵埃を持ち込む虞がなく、クリーンルーム１０内の清浄度を低下させる虞がない。

（エアポンプ）
エアポンプ３は、気嚢２に接続されており、気嚢２に対する気体２１の供給、及び気嚢２からの気体２１の排出を行う。

エアポンプ３として、気体２１の供給及び排出の両方を行うエアポンプを用いることができる。エアポンプ３の個数は気嚢２の個数と同じである必要はなく、複数個のエアポンプ３が気嚢２への気体２１の供給及び気嚢２からの気体２１の排出を行ってもよい。

気嚢２に供給される気体２１としては、例えば、空気、酸素、窒素、ヘリウム、アルゴン、二酸化炭素、及び当該気体の混合物等が挙げられ、気嚢２から漏れる虞を考慮すると、人体に影響がない空気が好ましい。

また、気体２１は清浄であることが好ましい。気体２１を清浄化するために、エアポンプ３は、内部又は気嚢２との接続面にフィルターを有していてもよい。

気嚢２に供給される気体２１は、クリーンルーム１０内、又はクリーンルーム１０外から、エアポンプ３を介して供給されてもよい。気嚢２から排出される気体２１は、エアポンプ３を介してクリーンルーム１０内、又はクリーンルーム１０外へ排出されてもよい。一方、後述するタンク６を備える場合は、気嚢２に供給される気体２１は、タンク６からエアポンプ３を介して供給され、エアポンプ３を介してタンク６へ排出されればよい。

エアポンプ３はクリーンルーム１０内の空気（気体）を気嚢２に対して供給し、気嚢２内の空気（気体）をクリーンルーム１０内に排出することがより好ましい。上記の場合には、気体２１の供給及び排出を行っても、クリーンルーム１０内の気圧が変化しないので、クリーンルーム１０外から清浄でない空気が入る虞をより確実に低減することが出来るからである。

（気体循環装置）
気体循環装置４は、クリーンルーム１０内の気体を吸気し、当該気体をクリーンルーム１０内に戻して、当該気体を循環（気体循環）させる。

気体循環装置４は、上記気体循環を行う装置であればよい。気体循環装置４の一例は、クリーンルーム１０内の気体を吸い込んでフィルター等で清浄化し、清浄化後の気体をクリーンルーム１０内に戻すことで、クリーンルーム１０内の清浄度を維持する気体清浄化装置である。なお、クリーンルーム１０内の気体が空気である場合、当該気体循環装置４は空気循環装置であり、気体清浄化装置は空気清浄化装置である。気体清浄化装置は、クリーンルーム１０内の気体を清浄化する機能の他に、温度又は湿度等を調整する機能を併せ持つ装置でもよい。

気体循環装置４が設置されている位置は、クリーンルーム１０内及びクリーンルーム１０外の何れでもよい。また、気体循環装置４の個数も、クリーンルーム１０の大きさ等に応じて適宜決めればよい。

（制御部）
制御部５は、センサー１による人の有無の感知結果に応じて、気嚢２の体積が変化するようにエアポンプ３を制御し、且つ気体の単位時間当りの循環量が変化するように気体循環装置４を制御する。

図１に示すように、制御部５は信号線１１を介してセンサー１に接続されている。また、エアポンプ３及び気体循環装置４は、それぞれ信号線１２及び信号線１３を介して、制御部５に接続されている。エアポンプ３は気嚢２に接続されている。制御部５はセンサー１の感知結果に応じて、エアポンプ３及び気体循環装置４を制御する。

クリーンルーム１０内が無人の場合、作業スペースの確保が不要となる。制御部５による制御の例では、クリーンルーム１０内が無人になったことをセンサー１が感知すると、制御部５が、気嚢２内へ気体２１を供給するようにエアポンプ３を制御し、且つ気体の単位時間当りの循環量が減少するように気体循環装置４を制御する。より具体的には、センサー１は、クリーンルーム１０内の人の有無の感知結果を制御部５に送り続ける。そして感知結果が有人から無人に変化したと制御部５が判断すると、制御部５はエアポンプ３に対して、気嚢２に気体２１を供給するよう信号を送り、且つ気体循環装置４に対して、気体の単位時間当りの循環量が減少するよう信号を送る。

クリーンルーム１０内が一時的に無人になることが頻繁に起きる場合において、その都度気体２１の供給及び排出を繰り返すと、かえって電力を消費する場合がある。したがって、制御部５による制御の好ましい例においては、クリーンルーム１０内が無人になっていることをセンサー１が一定時間以上にわたり感知すると、制御部５が、気嚢２内へ気体２１を供給するようにエアポンプ３を制御し、且つ気体の単位時間当りの循環量が減少するように気体循環装置４を制御する。より具体的には、感知結果が有人から無人に変化したと制御部５が判断した後に、感知結果が一定時間無人から有人に変化していないと制御部５が判断すると、制御部５はエアポンプ３に対して、気嚢２に気体２１を供給するよう信号を送り、且つ気体循環装置４に対して、気体の単位時間当りの循環量が減少するよう信号を送る。上記「一定時間」の長さは、例えば１０分間又は１時間等、適宜決めればよい。

一方、クリーンルーム１０内に人がいる場合は、作業スペースの確保が必要となる。制御部５による制御の他の例として、クリーンルーム１０内が有人になったことをセンサー１が感知すると、制御部５が、気嚢２内から気体２１を排出するようにエアポンプ３を制御し、且つ気体の単位時間当りの循環量が増加するように気体循環装置４を制御する。具体的には、センサー１は、クリーンルーム１０内の人の有無の感知結果を制御部５に送り続ける。そして感知結果が無人から有人に変化したと制御部５が判断すると、制御部５はエアポンプ３に対して、気嚢２から気体２１を排出するよう信号を送り、且つ気体循環装置４に対して、気体の単位時間当りの循環量が増加するよう信号を送る。

なお、制御部５は、無人になった場合（又は無人になっている場合）及び有人になった場合の両方において制御するものでもよい。また、上記のどちらか一方のみにおいて制御するものでもよい。その場合には、もう一方は手動で行う。例えば、クリーンルーム１０の入り口付近に気嚢２がある場合、気嚢２が膨らんでいる状態では人が入れず、センサー１が人の有無を感知できる所まで行くことができないこともあり得る。そのような場合には、エアポンプ３を手動（スイッチ等）で制御し、気嚢２から気体２１を排出させればよい。また、気体循環装置４を手動で制御し、気体の単位時間当りの循環量を増加させればよい。

クリーンルーム１０の好ましい一例では、無人になった場合（又は無人になっている場合）及び有人になった場合の両方において制御部５が制御するものであり、さらに、手動でもエアポンプ３及び気体循環装置４の制御が可能な手段（例えば、スイッチ）を備える。

クリーンルーム１０内の気体の清浄度を略一定に保つという観点では、気体２１が供給又は排出された後の気嚢２の体積と、気体循環装置４における気体の単位時間当りの循環量の調節幅（増加量又は減少量）とは、互いに相関するように制御されることが好ましい。気体２１が供給又は排出された後の気嚢２の体積は、クリーンルーム１０内の余剰スペースの変化量（増加量又は減少量）と略等しくなる。よって、気嚢２の体積（すなわち気体２１の供給量又は排出量）と、好適な気体の単位時間当りの循環量との関係は、クリーンルーム１０の容積、気体循環装置４の性能等に応じて決定することができる。

気嚢２に供給される気体２１の量を、制御部５又はエアポンプ３に予めセットすることができる。これにより、クリーンルーム１０内の作業台等の位置及び高さ等に合わせて、気嚢２の大きさを適宜変更することが可能となる。同様に気体の単位時間当りの循環量の変化量を、制御部５又は気体循環装置４に予めセットすることもできる。

また、制御部５は、無線によってセンサー１から感知結果を受け取ってもよい。同様に制御部５は、無線によってエアポンプ３及び気体循環装置４の制御を行ってもよい。

なお、制御部５は、エアポンプ３及び気体循環装置４をシーケンシャルに制御するものであってもよい。具体的な一例では、制御部５は、直接的にはエアポンプ３を制御し、エアポンプ３からエアポンプ３制御後の出力信号（供給又は排出した気体２１の量を反映した信号）を受けて気体循環装置４を間接的に制御する。

制御部５はクリーンルーム１０内及びクリーンルーム１０外の何れに設置してもよい。

（タンク）
クリーンルーム１０は、図１に示されるように、さらにタンク６を備えていてもよい。タンク６は、エアポンプ３に接続され、気嚢２へ供給及び気嚢２から排出される気体２１を収容する。

タンク６を有する場合、気体２１は閉鎖系（タンク６、エアポンプ３、及び気嚢２）に閉じ込められるため、汚染の虞が少ない。そのため、気嚢２から気体２１が漏れ出した場合でも、クリーンルーム１０内に塵埃等が入ることを防ぐことができる。

タンク６の材質は、塵埃が発生しないものが好ましい。気嚢２から気体２１が漏れ出した場合でも、クリーンルーム１０内に塵埃が入ることを防げるからである。また、ガスバリア性に優れた材質が好ましい。このような材質として、例えば、樹脂、ガラス、金属等が挙げられる。

タンク６の大きさ及び形状は、気嚢２の大きさ及び個数に応じて適宜決めればよい。例えば、気嚢２の収容量と同じ収容量を有するタンク６に気体２１をそのまま収容してもよい。その場合、タンク６は気嚢２への気体２１の供給及び気嚢２からの気体２１の排出に応じて、体積変化がしやすいように、柔軟性を有するものが好ましい。また、気嚢２よりも体積が小さいタンク６に気体２１を圧縮して収容してもよい。その場合、タンク６は体積が変化しないことが好ましい。

タンク６の配置は、クリーンルーム１０外であることが好ましい。タンク６の個数は、気嚢２の大きさ及び個数に応じて適宜決めればよい。

〔実施形態２〕
以下、本実施形態に係るクリーンルームについて、図２を用いて説明する。なお、上記実施形態１と同一の部材については同一の部材番号を付し、詳細な説明を省略する。

図２に示すクリーンルーム３０は、クリーンルーム１０（図１参照）と比べて、主に気嚢２を複数個備え、気嚢２毎に一つのエアポンプ３が設けられている点で相違する。また、各エアポンプ３は制御部５によって、互いに独立に制御されている。それゆえ供給される気体２１の量を気嚢２ごとに設定することができる。

したがって、クリーンルーム３０では、クリーンルーム３０内の作業台等の位置を変更しても、各エアポンプ３から供給される気体２１の量をその都度変えることで、クリーンルーム３０内のレイアウトに関係なく、余剰スペースを最小限にすることができる。そのため、クリーンルーム３０では、クリーンルーム１０と比べて、作業台等の位置変更に柔軟に対応して、気体循環装置４の負荷をより効果的に調節することができる。

なお、エアポンプ３を独立に制御する必要がない場合は、エアポンプ３の個数は気嚢２の個数と同じである必要はなく、１個のエアポンプ３が複数個の気嚢２への気体２１の供給及び気嚢２からの気体２１の排出を行ってもよい。

〔その他の実施形態〕
その他の実施形態として、気嚢はエアポンプを介して、間接的にクリーンルーム内に接続（固定）されている。例えば、クリーンルーム内の天井からエアポンプの気体の供給・排出用の管が出ており、当該管の先に気嚢が接続されているものが挙げられる。

また、本発明に係るクリーンルームを用いることによって、気体循環装置の負荷調節方法を実施することができる。すなわち、クリーンルーム内の人の有無をセンサーが感知し、制御部が、人の有無の感知結果に応じて、気嚢の体積が変化するようにエアポンプを制御し、且つ気体の単位時間当りの循環量が変化するように気体循環装置を制御することによって、気体循環装置の負荷を調節する方法を実施することができる。

さらに、上記方法において、クリーンルーム内が無人になったことをセンサーが感知すると、制御部が、気嚢内へ気体を供給するようにエアポンプを制御し、且つ気体の単位時間当りの循環量が減少するように気体循環装置を制御することによって、気体循環装置の負荷を調節する方法を実施することもできる。

さらに、上記方法において、クリーンルーム内が無人になっていることをセンサーが一定時間以上にわたり感知すると、制御部が、気嚢内へ気体を供給するようにエアポンプを制御し、且つ気体の単位時間当りの循環量が減少するように気体循環装置を制御することによって、気体循環装置の負荷を調節する方法を実施することもできる。

さらに、上記方法において、クリーンルーム内が有人になったことをセンサーが感知すると、制御部が、気嚢内から気体を排出するようにエアポンプを制御し、且つ気体の単位時間当りの循環量が増加するように気体循環装置を制御することによって、気体循環装置の負荷を調節する方法を実施することもできる。

本発明によれば、使用状況に応じて、気体循環を行う余剰スペースの体積及び気体の単位時間当りの循環量を自動的に調節することにより、省エネルギー化が可能なクリーンルームを提供することができる。

１ ・・・・センサー
２ ・・・・気嚢
３ ・・・・エアポンプ
４ ・・・・気体循環装置
５ ・・・・制御部
６ ・・・・タンク
１０ ・・・クリーンルーム
１１ ・・・信号線
１２ ・・・信号線
１３ ・・・信号線
２１ ・・・気体
３０ ・・・クリーンルーム

Claims (5)

1. （１）クリーンルーム内の人の有無を感知するセンサー、
   （２）クリーンルーム内に固定されている、樹脂からなる気嚢、
   （３）気嚢に接続されており、当該気嚢へ気体を供給し、当該気嚢から気体を排出するエアポンプ、
   （４）クリーンルーム内の気体を吸気し、当該気体をクリーンルーム内に戻して、当該気体を循環させる気体循環装置、並びに
   （５）上記センサーによる人の有無の感知結果に応じて、上記気嚢の体積が変化するように上記エアポンプを制御し、且つ上記気体循環装置によって循環する気体の単位時間当りの循環量が変化するように上記気体循環装置を制御する制御部
   を備えるクリーンルーム。
2. クリーンルーム内が無人になったことを上記センサーが感知した時に、上記制御部が、上記気嚢内へ気体を供給するように上記エアポンプを制御し、且つ上記気体の単位時間当りの循環量が減少するように上記気体循環装置を制御する請求項１に記載のクリーンルーム。
3. クリーンルーム内が無人になっていることを上記センサーが一定時間以上にわたり感知した時に、上記制御部が、上記気嚢内へ気体を供給するように上記エアポンプを制御し、且つ上記気体の単位時間当りの循環量が減少するように上記気体循環装置を制御する請求項１に記載のクリーンルーム。
4. クリーンルーム内が有人になったことを上記センサーが感知した時に、上記制御部が、上記気嚢内から気体を排出するように上記エアポンプを制御し、且つ上記気体の単位時間当りの循環量が増加するように上記気体循環装置を制御する請求項１〜３の何れか１項に記載のクリーンルーム。
5. 上記エアポンプに接続され、上記気嚢へ供給される気体及び上記気嚢から排出される気体を収容したタンクを備える請求項１〜４の何れか１項に記載のクリーンルーム。

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